JP2009147470A - Condenser microphone and electronic apparatus - Google Patents

Condenser microphone and electronic apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2009147470A
JP2009147470A JP2007320208A JP2007320208A JP2009147470A JP 2009147470 A JP2009147470 A JP 2009147470A JP 2007320208 A JP2007320208 A JP 2007320208A JP 2007320208 A JP2007320208 A JP 2007320208A JP 2009147470 A JP2009147470 A JP 2009147470A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
microphone
substrate
hole
condenser
capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007320208A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5024671B2 (en
Inventor
Tatsuya Uetake
達哉 上竹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Ericsson Mobile Communications Japan Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Ericsson Mobile Communications Japan Inc filed Critical Sony Ericsson Mobile Communications Japan Inc
Priority to JP2007320208A priority Critical patent/JP5024671B2/en
Publication of JP2009147470A publication Critical patent/JP2009147470A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5024671B2 publication Critical patent/JP5024671B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a condenser microphone that reduces a portion protruding from a substrate to be mounted in height by reducing a gap between a circuit board and a condenser portion, and to provide an electronic apparatus with the condenser microphone. <P>SOLUTION: The condenser microphone 1 mounted on an equipment substrate 121 includes: a condenser portion 4 having a vibration film 6 vibrating by sound waves and a back electrode plate 5 disposed opposite to the vibration film 6; a microphone substrate 8 having a through-hole 15; a field effect transistor 10 mounted on the surface of the microphone substrate 8 which is opposite to a surface facing the condenser portion 4; and an electrostatic shielding member 25 attached on the microphone substrate 8 and covering the field effect transistor 10 and the through-hole 15. The field effect transistor 10 and the electrostatic shielding member 25 are inserted into an opening 121a formed on the equipment substrate 121. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電界効果トランジスタ等の変換器を有するコンデンサマイクロホン、及びそのコンデンサマイクロホンを備えた携帯電話端末、ビデオカメラ等の電子機器に関するものである。   The present invention relates to a condenser microphone having a converter such as a field effect transistor, and an electronic device such as a mobile phone terminal and a video camera provided with the condenser microphone.

携帯電話端末やビデオカメラ等の電子機器に搭載されるマイクロホンとして、コンデンサマイクロホンが知られている。近年、コンデンサマイクロホンが搭載される携帯電話端末等の電子機器には、小型化及び薄型化の要求が強く、それに伴ってコンデンサマイクロホンにも薄型化が要求されている。   A condenser microphone is known as a microphone mounted on an electronic device such as a mobile phone terminal or a video camera. In recent years, there has been a strong demand for downsizing and thinning electronic devices such as mobile phone terminals on which a condenser microphone is mounted, and accordingly, thinning of the condenser microphone is also required.

従来のこの種のコンデンサマイクロホンとしては、例えば、特許文献1に記載されているようなものがある。特許文献1には、製品の量産性及び品質を大幅に向上させ得る超薄型コンデンサマイクロホンに関するものが記載されている。この特許文献1に記載された超薄型コンデンサマイクロホンは、「一連の音波流入口が形成された円筒形状のケースと、前記ケースに搭載され、前記音波流入口を通して入力される音波により振動する円盤形状の振動板と、前記ケースに搭載された状態で前記振動板と一定サイズの間隙を保持する円盤形状の誘電体板と、前記誘電体板を支持する第1ベースリングと、前記第1ベースリングの周囲を包みながら、前記ケースの内側壁に接触される第2ベースリングと、前記ケースに搭載され、一連の電気的なパータンを備え、前記第1ベースリングと電気的に接触され、前記誘電体板との間に前記第1ベースリングにより定義されたバックチャンバを有するPCBとを備え、前記第1ベースリング及び第2ベースリングの間には一定サイズのギャップが形成されている」ことを特徴としている。   As a conventional condenser microphone of this type, for example, there is one described in Patent Document 1. Patent Document 1 describes an ultra-thin condenser microphone that can greatly improve the mass productivity and quality of a product. The ultra-thin condenser microphone described in Patent Document 1 includes a “cylindrical case in which a series of sound wave inlets are formed, and a disk mounted on the case and vibrated by sound waves input through the sound wave inlets. A diaphragm having a shape, a disk-shaped dielectric plate that holds a gap of a certain size from the diaphragm when mounted on the case, a first base ring that supports the dielectric plate, and the first base A second base ring that comes into contact with the inner wall of the case while wrapping around the ring, and is mounted on the case and includes a series of electrical patterns, and is in electrical contact with the first base ring, A PCB having a back chamber defined by the first base ring between the dielectric plate and a fixed size between the first base ring and the second base ring. Cap is characterized in that "is formed.

このような構成を有する特許文献1に記載の超薄型コンデンサマイクロホンによれば、「誘電体板及びベースリングは圧入工程を原因とする変形、損傷等の被害を全然被らなくなり、これにより、構造物内に配置された振動板、誘電体板等は厳密な平衡度を保障され得る(段落[0047]を参照)」等の効果が期待される。
特表2004−516725号公報
According to the ultra-thin condenser microphone described in Patent Document 1 having such a configuration, “the dielectric plate and the base ring do not suffer any damage such as deformation and damage caused by the press-fitting process. A diaphragm, a dielectric plate, and the like arranged in the structure can be expected to have a strict balance (see paragraph [0047]).
JP-T-2004-516725

特許文献1に記載されているような従来のコンデンサマイクロホンでは、その高さ(厚み)を決定する要素として、ケース内に収納される電界効果トランジスタの高さが挙げられる。図9は、電界効果トランジスタを搭載した従来のコンデンサマイクロホンの断面図を示すものである。このコンデンサマイクロホン301は、外装部をなすケース302を有している。ケース302の一面には、音波を通過させる複数の音通過孔302aが設けられており、ケース302の一面と対向する他面には、開口窓302bが設けられている。   In the conventional condenser microphone as described in Patent Document 1, the height (thickness) is determined by the height of the field effect transistor housed in the case. FIG. 9 shows a cross-sectional view of a conventional condenser microphone equipped with a field effect transistor. The condenser microphone 301 has a case 302 that forms an exterior part. A plurality of sound passage holes 302 a for allowing sound waves to pass through are provided on one surface of the case 302, and an opening window 302 b is provided on the other surface facing the one surface of the case 302.

ケース302の内部には、背極板305と振動膜306等によって形成されたコンデンサ部304と、コンデンサ部304の背極板305とケース302の内面との間に介在されるメッシュ部材307と、振動膜306と所定の距離を開けて配置されるマイクロホン用基板308と、振動膜306とマイクロホン用基板308とを電気的に接続する導電部材309と、マイクロホン用基板308の振動膜306側の面に実装される電界効果トランジスタ310等が収納されている。そして、マイクロホン用基板308の電界効果トランジスタ310が実装される面と反対側の面が、ケース302の開口窓302bから露出されている。   Inside the case 302, a capacitor part 304 formed by the back electrode plate 305 and the vibration film 306, etc., a mesh member 307 interposed between the back electrode plate 305 of the capacitor part 304 and the inner surface of the case 302, A microphone substrate 308 disposed at a predetermined distance from the vibration film 306, a conductive member 309 that electrically connects the vibration film 306 and the microphone substrate 308, and a surface of the microphone substrate 308 on the vibration film 306 side The field effect transistor 310 and the like to be mounted are housed. The surface of the microphone substrate 308 opposite to the surface on which the field effect transistor 310 is mounted is exposed from the opening window 302b of the case 302.

しかしながら、従来のコンデンサマイクロホン301では、マイクロホン用基板308のコンデンサ部304側の面に電界効果トランジスタ310が実装されていた。そのため、マイクロホン用基板308とコンデンサ部304との間には、少なくとも電界効果トランジスタ310の高さを考慮した間隙が必要となり、マイクロホンの薄型化を図る際の妨げになるという問題があった。   However, in the conventional condenser microphone 301, the field effect transistor 310 is mounted on the surface of the microphone substrate 308 on the condenser portion 304 side. For this reason, a gap in consideration of at least the height of the field effect transistor 310 is required between the microphone substrate 308 and the capacitor unit 304, which hinders a reduction in the thickness of the microphone.

本発明の目的は、上述の問題点を考慮し、回路基板とコンデンサ部との間に生じる間隙を小さくして実装される基板から突出する部分の高さを低くすることができるコンデンサマイクロホン及びそのコンデンサマイクロホンを備えた電子機器を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a condenser microphone that can reduce the height of a portion protruding from a substrate to be mounted by reducing the gap generated between the circuit board and the capacitor portion in consideration of the above-described problems, and the same. An object is to provide an electronic device including a condenser microphone.

本発明のコンデンサマイクロホンは、電子機器に設けられた機器用基板に実装されるコンデンサマイクロホンである。このコンデンサマイクロホンは、音波によって振動する振動膜とその振動膜に対向して配置される背極板とを有するコンデンサ部と、コンデンサ部に対向した貫通孔を有するマイクロホン用基板と、マイクロホン用基板のコンデンサ部に対向する面と反対側の面に実装され、コンデンサ部の静電容量の変化をインピーダンス変換する変換器と、マイクロホン用基板に取り付けられると共に変換器及び貫通孔を覆う静電シールド部材と、を備えている。そして、変換器及び静電シールド部材は、機器用基板に設けられた開口部に挿入されることを最も主要な特徴とする。   The condenser microphone of the present invention is a condenser microphone mounted on a device substrate provided in an electronic device. The condenser microphone includes a capacitor part having a vibration film that vibrates by sound waves and a back electrode plate disposed to face the vibration film, a microphone substrate having a through-hole facing the capacitor part, and a microphone substrate. A transducer mounted on a surface opposite to the surface facing the capacitor portion and impedance-converting a change in capacitance of the capacitor portion; an electrostatic shield member attached to the microphone substrate and covering the transducer and the through hole; It is equipped with. The converter and the electrostatic shield member are most characterized by being inserted into an opening provided in the device substrate.

本発明の電子機器は、音波が通過する集音孔を有する機器筐体と、機器筐体の内部に配置されると共に開口部を有する機器用基板と、機器用基板に実装されると共に機器筐体の集音孔に対向されるコンデンサマイクロホンと、を備えている。この電子機器のコンデンサマイクロホンは、音波によって振動する振動膜とその振動膜に対向して配置される背極板とを有するコンデンサ部と、コンデンサ部に対向した貫通孔を有するマイクロホン用基板と、マイクロホン用基板のコンデンサ部に対向する面と反対側の面に実装され、コンデンサ部の静電容量の変化をインピーダンス変換する変換器と、マイクロホン用基板に取り付けられると共に変換器及び貫通孔を覆う静電シールド部材と、を有している。そして、変換器及び静電シールド部材は、機器用基板の開口部に挿入されることを特徴とする。   An electronic device according to the present invention includes a device housing having a sound collection hole through which sound waves pass, a device board disposed in the device housing and having an opening, and mounted on the device board and the device housing. A condenser microphone facing the sound collection hole of the body. A capacitor microphone of this electronic device includes a capacitor part having a vibration film that vibrates by sound waves and a back electrode plate disposed to face the vibration film, a microphone substrate having a through hole facing the capacitor part, and a microphone. Mounted on the surface opposite to the capacitor portion of the circuit board for the capacitor, and converts the capacitance of the capacitor section to impedance conversion, and is mounted on the microphone substrate and electrostatically covers the converter and the through hole. And a shield member. And a converter and an electrostatic shielding member are inserted in the opening part of the board | substrate for apparatuses, It is characterized by the above-mentioned.

本発明のコンデンサマイクロホン及び電子機器によれば、回路基板とコンデンサ部との間の間隙を小さくすることができ、電子機器の基板に実装された状態において、その基板から突出する高さを低くすることができる。その結果、マイクロホンを備えた機器の小型化、薄型化を実現することができる。   According to the condenser microphone and the electronic apparatus of the present invention, the gap between the circuit board and the capacitor unit can be reduced, and the height protruding from the board is reduced when mounted on the board of the electronic apparatus. be able to. As a result, it is possible to reduce the size and thickness of a device including a microphone.

以下、本発明のコンデンサマイクロホン及び電子機器を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明するが、本発明は以下の形態に限定されるものではない。   Hereinafter, the best mode for carrying out the condenser microphone and the electronic apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following mode.

図1は本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態を上方からみた斜視図、図2は同じく下方から見た斜視図、図3はコンデンサマイクロホンから静電シールド部材を取り外した状態を説明する説明図である。   FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of a condenser microphone according to the present invention as viewed from above, FIG. 2 is a perspective view of the same as seen from below, and FIG. 3 illustrates a state where an electrostatic shield member is removed from the condenser microphone. It is explanatory drawing.

図1及び図2に示すように、本発明の第1の実施の形態を示すコンデンサマイクロホン1は、外装部をなすケース2を有している。このケース2は、真鍮等の金属製の部材からなり、一方が閉じられた有底の円筒体をなしている。このケース2の閉じられた側となる上面板2Aには、音波を通過させる複数(本実施の形態では4つ)のケース側音通過孔2aが設けられている。また、上面板2Aに対向する開口部は、後述するマイクロホン用基板8が露出される開口窓2bとなっている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the condenser microphone 1 showing the first embodiment of the present invention has a case 2 that forms an exterior part. The case 2 is made of a metal member such as brass and has a bottomed cylindrical body closed on one side. A plurality of (four in the present embodiment) case-side sound passage holes 2a through which sound waves pass are provided in the upper surface plate 2A on the closed side of the case 2. Further, the opening facing the upper surface plate 2A is an opening window 2b through which a microphone substrate 8 described later is exposed.

図3Aはコンデンサマイクロホン1の平面図、図3Bは図3Aに示すX−X線部分の断面図である。図3Bに示すように、ケース2の内部には、背極板5及び振動膜6を有するコンデンサ部4と、メッシュ部材7と、マイクロホン用基板8と、導電部材9等が収容されている。また、ケース2の内面には、ケース2とその内部に収容されるコンデンサ部4等の部品とを絶縁する絶縁フィルム3が設けられている。   3A is a plan view of the condenser microphone 1, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line XX shown in FIG. 3A. As shown in FIG. 3B, inside the case 2 are accommodated a capacitor portion 4 having a back electrode plate 5 and a diaphragm 6, a mesh member 7, a microphone substrate 8, a conductive member 9, and the like. An insulating film 3 is provided on the inner surface of the case 2 to insulate the case 2 from components such as the capacitor portion 4 accommodated therein.

コンデンサ部4は、ケース2の上面板2A側に配置される背極板5と、この背極板5に対向されて開口窓2b側に配置される振動膜6と、背極板5と振動膜6との間に介在されるスペーサ12等を備えて構成されている。   The capacitor unit 4 includes a back electrode plate 5 disposed on the upper surface plate 2A side of the case 2, a vibration film 6 disposed on the opening window 2b side facing the back electrode plate 5, and the back electrode plate 5 and the vibration. A spacer 12 or the like interposed between the film 6 and the like is provided.

コンデンサ部4の背極板5は、例えば、金属メッキを施したプラスチックの薄板からなり、ケース2の内部に見合った大きさの円形に形成されている。この背極板5には、ケース2のケース側音通過孔2aに対向する複数の音通過孔5aが設けられている。この音通過孔5aには、ケース側音通過孔2aから進入した音波が通過される。また、背極板5の振動膜6側の面には、フッ化エチレンプロピレン(Fluorinated Ethylene Propylene)等の高分子フィルムからなる図には表れないエレクトレット層が設けられている。   The back electrode plate 5 of the capacitor unit 4 is made of, for example, a plastic thin plate plated with metal, and is formed in a circular shape having a size corresponding to the inside of the case 2. The back electrode plate 5 is provided with a plurality of sound passage holes 5 a facing the case side sound passage holes 2 a of the case 2. The sound wave that has entered from the case-side sound passage hole 2a passes through the sound passage hole 5a. Further, an electret layer that does not appear in the figure made of a polymer film such as fluorinated ethylene propylene is provided on the surface of the back electrode plate 5 on the vibrating membrane 6 side.

コンデンサ部4の振動膜6は、蒸着等により金属を貼り付けた合成樹脂フィルム或いは金属薄膜からなり、平面の大きさが背極板5と略等しい大きさに設定されている。この振動膜6が背極板5の音通過孔5aを通過した音波によって振動することにより、振動膜6と背極板5との間の距離が変化する。そして、振動膜6と背極板5との距離が変化することにより、コンデンサ部4の静電容量が音波の周波数、振幅等に応じて変化する。   The vibration film 6 of the capacitor unit 4 is made of a synthetic resin film or a metal thin film to which a metal is attached by vapor deposition or the like, and the size of the plane is set to be substantially equal to that of the back electrode plate 5. The vibration film 6 is vibrated by the sound wave that has passed through the sound passage hole 5 a of the back electrode plate 5, whereby the distance between the vibration film 6 and the back electrode plate 5 changes. Then, as the distance between the vibrating membrane 6 and the back electrode plate 5 changes, the capacitance of the capacitor unit 4 changes according to the frequency, amplitude, etc. of the sound wave.

メッシュ部材7は、ケース2の上面板2Aとコンデンサ部4の背極板5との間に介在されている。このメッシュ部材7は、背極板5の複数の音通過孔5aを全て覆う大きさに設定されている。このメッシュ部材7をケース2の上面板2Aと背極板5との間に介在させることにより、背極板5の音通過孔5aから振動膜6側に塵や埃等が入ることを防止することができ、コンデンサ部4の性能劣化を防ぐことができる。   The mesh member 7 is interposed between the upper surface plate 2 </ b> A of the case 2 and the back electrode plate 5 of the capacitor unit 4. The mesh member 7 is set to a size that covers all the plurality of sound passage holes 5 a of the back electrode plate 5. By interposing the mesh member 7 between the upper surface plate 2A of the case 2 and the back electrode plate 5, dust, dust, and the like are prevented from entering the vibrating membrane 6 from the sound passage hole 5a of the back electrode plate 5. Therefore, the performance deterioration of the capacitor unit 4 can be prevented.

導電部材9は、コンデンサ部4の振動膜6とマイクロホン用基板8とを電気的に接続する。この導電部材9は、銅合金等の導電体からなり、背極板5及び振動膜6の外形と略等しい大きさのリング状に形成されている。コンデンサ部4は、導電部材9を介してマイクロホン用基板8に載置されている。   The conductive member 9 electrically connects the diaphragm 6 of the capacitor unit 4 and the microphone substrate 8. The conductive member 9 is made of a conductor such as a copper alloy, and is formed in a ring shape having a size substantially equal to the outer shape of the back electrode plate 5 and the diaphragm 6. The capacitor unit 4 is placed on the microphone substrate 8 via the conductive member 9.

マイクロホン用基板8は、ケース2の内部に見合った大きさの円板からなっている。この回路基板の中央には、貫通孔15が設けられている。この貫通孔15は、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4との間の空間と、後述する静電シールド部材25によって形成されるマイクロホン用基板8のコンデンサ部4と反対側の空間を連通させる。マイクロホン用基板8のコンデンサ部4側の面である上面8aには、導電部材9が配置される。また、マイクロホン用基板8のコンデンサ部4と反対側の面である下面8bは、ケース2の開口窓2bから露出される。   The microphone substrate 8 is made of a disc having a size corresponding to the inside of the case 2. A through hole 15 is provided in the center of the circuit board. The through-hole 15 allows communication between the space between the microphone substrate 8 and the capacitor portion 4 and the space opposite to the capacitor portion 4 of the microphone substrate 8 formed by the electrostatic shield member 25 described later. A conductive member 9 is disposed on the upper surface 8a which is the surface of the microphone substrate 8 on the capacitor unit 4 side. Further, the lower surface 8 b, which is the surface opposite to the capacitor portion 4 of the microphone substrate 8, is exposed from the opening window 2 b of the case 2.

図4は、コンデンサマイクロホン1から静電シールド部材25を取り外した状態を示す分解斜視図である。図4に示すように、マイクロホン用基板8の下面8bには、信号側電極17と、接地側電極18と、静電シールド用電極19が設けられている。信号側電極17及び接地側電極18は、曲率半径の等しい円弧状とされており、それぞれマイクロホン用基板8の中心と同心に形成されている。静電シールド用電極19は、マイクロホン用基板8の中心と同心に形成されリング状とされており、信号側電極17及び接地側電極18の内側に配置されている。この静電シールド用電極19は、図示しない電極を介して接地側電極18と電気的に接続されている。   FIG. 4 is an exploded perspective view showing a state in which the electrostatic shield member 25 is removed from the condenser microphone 1. As shown in FIG. 4, a signal side electrode 17, a ground side electrode 18, and an electrostatic shield electrode 19 are provided on the lower surface 8 b of the microphone substrate 8. The signal side electrode 17 and the ground side electrode 18 have an arc shape with the same radius of curvature, and are formed concentrically with the center of the microphone substrate 8. The electrostatic shield electrode 19 is formed concentrically with the center of the microphone substrate 8 and has a ring shape, and is disposed inside the signal side electrode 17 and the ground side electrode 18. The electrostatic shield electrode 19 is electrically connected to the ground side electrode 18 via an electrode (not shown).

マイクロホン用基板8の下面8bにおいて、静電シールド用電極19の内側には、変換器の一具体例を示す電界効果トランジスタ10と、コンデンサ等の電子部品21が実装されている。電界効果トランジスタ10は、ゲート端子10aと、ドレイン端子10bと、ソース端子10cを有しており、ゲート端子10aがマイクロホン用基板8及び導電部材9を介してコンデンサ部4と電気的に接続されている。また、電界効果トランジスタ10のドレイン端子10bは、図示しない電極を介してマイクロホン用基板8の信号側電極17に電気的に接続され、ソース端子10cは、図示しない電極を介して接地側電極18に電気的に接続されている。   On the lower surface 8 b of the microphone substrate 8, a field effect transistor 10 showing a specific example of the converter and an electronic component 21 such as a capacitor are mounted inside the electrostatic shield electrode 19. The field effect transistor 10 includes a gate terminal 10a, a drain terminal 10b, and a source terminal 10c. The gate terminal 10a is electrically connected to the capacitor unit 4 via the microphone substrate 8 and the conductive member 9. Yes. The drain terminal 10b of the field effect transistor 10 is electrically connected to the signal side electrode 17 of the microphone substrate 8 via an electrode (not shown), and the source terminal 10c is connected to the ground side electrode 18 via an electrode (not shown). Electrically connected.

電界効果トランジスタ10は、ゲート端子10aを介して供給されたコンデンサ部4の静電容量の変化を電気信号に変換(インピーダンス変換)し、その電気信号をドレイン端子10bから出力する。そして、ドレイン端子10bから出力された電気信号が、信号側電極17を介してコンデンサマイクロホン1が実装される電子機器の機器用基板121に供給される。   The field effect transistor 10 converts the change in the capacitance of the capacitor unit 4 supplied via the gate terminal 10a into an electric signal (impedance conversion), and outputs the electric signal from the drain terminal 10b. Then, the electrical signal output from the drain terminal 10 b is supplied to the device board 121 of the electronic device on which the capacitor microphone 1 is mounted via the signal side electrode 17.

マイクロホン用基板8の静電シールド用電極19には、貫通孔15と、電界効果トランジスタ10及びコンデンサ等の電子部品21を覆う静電シールド部材25が半田付けによって取り付けられている。この静電シールド部材25は、ケース2と同様に、真鍮等の金属製の部材からなり、一方が閉じられた有底の円筒体をなしている。コンデンサマイクロホン1を電子機器の機器用基板121に実装した状態において、静電シールド部材25及びこの静電シールド部材25に覆われた電界効果トランジスタ10は、機器用基板121に設けられた開口部121aに挿入される。   An electrostatic shield member 25 that covers the through hole 15 and the electronic component 21 such as the field effect transistor 10 and the capacitor is attached to the electrostatic shield electrode 19 of the microphone substrate 8 by soldering. Like the case 2, the electrostatic shield member 25 is made of a metal member such as brass, and has a bottomed cylindrical body closed on one side. In a state where the capacitor microphone 1 is mounted on the device substrate 121 of the electronic device, the electrostatic shield member 25 and the field effect transistor 10 covered by the electrostatic shield member 25 are provided with an opening 121a provided on the device substrate 121. Inserted into.

このような構成を有するコンデンサマイクロホン1によれば、電界効果トランジスタ10をマイクロホン用基板8の下面8bに実装し、その電界効果トランジスタ10を静電シールド部材25によって覆う。そのため、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4との間に形成される間隙を小さくすることができる。また、静電誘導等による外来雑音の電界効果トランジスタ10に対する影響を低減することができ、信号対雑音比(S/N)の劣化を抑制して高品質なマイクロホンを実現することができる。   According to the condenser microphone 1 having such a configuration, the field effect transistor 10 is mounted on the lower surface 8 b of the microphone substrate 8, and the field effect transistor 10 is covered with the electrostatic shield member 25. Therefore, the gap formed between the microphone substrate 8 and the capacitor unit 4 can be reduced. In addition, the influence of external noise on the field effect transistor 10 due to electrostatic induction or the like can be reduced, and deterioration of the signal-to-noise ratio (S / N) can be suppressed to realize a high-quality microphone.

そして、コンデンサマイクロホン1を機器用基板121に実装した状態において、静電シールド部材25及びこの静電シールド部材25に覆われた電界効果トランジスタ10を機器用基板121の開口部121aに挿入する。これにより、コンデンサマイクロホン1の機器用基板121から突出する高さを低くすることができ、コンデンサマイクロホン1を備えた機器の小型化、薄型化を実現することができる。   Then, in a state where the capacitor microphone 1 is mounted on the device substrate 121, the electrostatic shield member 25 and the field effect transistor 10 covered with the electrostatic shield member 25 are inserted into the opening 121 a of the device substrate 121. Thereby, the height which protrudes from the apparatus board | substrate 121 of the capacitor | condenser microphone 1 can be made low, and size reduction and thickness reduction of the apparatus provided with the capacitor | condenser microphone 1 are realizable.

上述したように、コンデンサマイクロホン1では、電界効果トランジスタ10をマイクロホン用基板8の下面8bに実装したため、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4との間隙を小さくすることができる。これにより、マイクロホン用基板8に対向する振動膜6の周辺の空間容積が小さくなる。   As described above, in the capacitor microphone 1, since the field effect transistor 10 is mounted on the lower surface 8 b of the microphone substrate 8, the gap between the microphone substrate 8 and the capacitor unit 4 can be reduced. As a result, the space volume around the vibrating membrane 6 facing the microphone substrate 8 is reduced.

振動膜6周辺の空間容積は、マイクロホンの感度を制限する要因の1つとされている。これは、振動膜6周辺の空間容積が小さくなると、振動膜6周辺の空間における剛性(stiffness due to back cavity)が大きくなるため、空気ブレーキと同様の制動効果が働いて振動膜6の振動量を制限してしまうからである。したがって、マイクロホン用基板8の上面8aとコンデンサ部4の振動膜6との間隙を小さくすると、振動膜6周辺の空間容積が小さくなり、マイクロホンの感度が低下するという心配がある。   The space volume around the vibrating membrane 6 is one of the factors that limit the sensitivity of the microphone. This is because when the space volume around the diaphragm 6 is reduced, the stiffness in the space around the diaphragm 6 increases (stiffness due to back cavity). It is because it restricts. Therefore, if the gap between the upper surface 8a of the microphone substrate 8 and the vibrating membrane 6 of the capacitor unit 4 is reduced, the spatial volume around the vibrating membrane 6 is reduced, and there is a concern that the sensitivity of the microphone is lowered.

そのため、コンデンサマイクロホン1では、マイクロホン用基板8に貫通孔15を設け、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4によって形成される空間と、マイクロホン用基板8と静電シールド部材25によって形成される空間を連通させた。これにより、振動膜6周辺の空間容積を増やすことができ、振動膜6が振動し易い環境にすることができる。その結果、マイクロホンの感度を低下させずに、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4との間隙を小さくすることができる。   Therefore, in the condenser microphone 1, the through-hole 15 is provided in the microphone substrate 8, and the space formed by the microphone substrate 8 and the capacitor unit 4 communicates with the space formed by the microphone substrate 8 and the electrostatic shield member 25. I let you. Thereby, the space volume around the vibration film 6 can be increased, and an environment in which the vibration film 6 easily vibrates can be obtained. As a result, the gap between the microphone substrate 8 and the capacitor unit 4 can be reduced without reducing the sensitivity of the microphone.

本実施の形態では、静電シールド部材25及び電界効果トランジスタ10が機器用基板121の開口部121aを貫通しない(図3Bを参照)構成としたが、静電シールド部材25及び電界効果トランジスタ10は、開口部121aを貫通してもよい。機器用基板121は、一般的に両面に電子部品が実装される。そのため、電界効果トランジスタ10等が開口部121aを貫通しても、機器用基板121から突出する部分の高さが機器用基板121に実装された電子部品の高さを越えないように設定する。これにより、機器用基板121とコンデンサマイクロホン1を合わせた厚みを従来よりも薄くすることができる。   In the present embodiment, the electrostatic shield member 25 and the field effect transistor 10 are configured not to penetrate the opening 121a of the device substrate 121 (see FIG. 3B), but the electrostatic shield member 25 and the field effect transistor 10 are configured as follows. The opening 121a may be penetrated. The device substrate 121 is generally mounted with electronic components on both sides. Therefore, even if the field effect transistor 10 or the like passes through the opening 121a, the height of the portion protruding from the device substrate 121 is set so as not to exceed the height of the electronic component mounted on the device substrate 121. As a result, the combined thickness of the device substrate 121 and the condenser microphone 1 can be made thinner than before.

図5及び図6は、第1の実施の形態のコンデンサマイクロホン1の変形例を示すものであり、図5は上方から見た斜視図、図6は下方から見た斜視図である。図5及び図6に示すコンデンサマイクロホン31は、第1の実施の形態のコンデンサマイクロホン1と同様の構成を有しており、異なるところは外形のみである。   5 and 6 show a modification of the condenser microphone 1 of the first embodiment. FIG. 5 is a perspective view seen from above, and FIG. 6 is a perspective view seen from below. The condenser microphone 31 shown in FIGS. 5 and 6 has the same configuration as the condenser microphone 1 of the first embodiment, and the only difference is the outer shape.

このコンデンサマイクロホン31は、外装部をなすケース32を有している。このケース32は、真鍮等の金属製の部材からなり、一方が閉じられた有底の角筒体をなしている。このケース32の閉じられた側となる上面板32Aには、音波を通過させる複数(本実施の形態では11個)のケース側音通過孔32aが設けられている。また、上面板32Aに対向する開口部は、マイクロホン用基板38が露出される開口窓32bとなっている。   The condenser microphone 31 has a case 32 that forms an exterior part. The case 32 is made of a metal member such as brass, and has a bottomed rectangular tube with one side closed. The upper surface plate 32A on the closed side of the case 32 is provided with a plurality of (11 in this embodiment) case-side sound passage holes 32a through which sound waves pass. The opening facing the upper plate 32A is an opening window 32b through which the microphone substrate 38 is exposed.

図示しないが、ケース32の内部には、コンデンサマイクロホン1と同様に、コンデンサ部と、メッシュ部材と、導電部材と、マイクロホン用基板38等が収容されている。これらケース32の内部に収容される各部材は、ケース32の内部に見合った大きさの四角形に形成されている。   Although not shown, like the condenser microphone 1, a capacitor portion, a mesh member, a conductive member, a microphone substrate 38 and the like are accommodated in the case 32. Each member accommodated in the case 32 is formed in a square having a size corresponding to the inside of the case 32.

マイクロホン用基板38には、第1の実施の形態に係るマイクロホン用基板8と同様に、貫通孔(図示せず)が設けられている。また、マイクロホン用基板38の下面38bには、2つの信号側電極47と、2つの接地側電極48と、静電シールド用電極(図示せず)が設けられている。そして、静電シールド用電極には、マイクロホン用基板38の貫通孔や電界効果トランジスタ(図示せず)等を覆う静電シールド部材45が半田付けによって取り付けられている。   Similar to the microphone substrate 8 according to the first embodiment, a through hole (not shown) is provided in the microphone substrate 38. Further, two signal side electrodes 47, two ground side electrodes 48, and an electrostatic shield electrode (not shown) are provided on the lower surface 38b of the microphone substrate 38. An electrostatic shield member 45 that covers the through hole of the microphone substrate 38, a field effect transistor (not shown), and the like is attached to the electrostatic shield electrode by soldering.

このような構成を有するコンデンサマイクロホン31によっても、第1の実施の形態のコンデンサマイクロホン1と同様の効果を得ることができる。つまり、コンデンサマイクロホン31を機器用基板121に実装した状態において、コンデンサマイクロホン31の機器用基板121から突出する高さを低くすることができ、機器の小型化、薄型化を実現することができる。しかも、静電誘導等による外来雑音の電界効果トランジスタに対する影響を低減することができ、信号対雑音比(S/N)の劣化を抑制して高品質なマイクロホンを実現することができる。また、マイクロホン用基板38に貫通孔を設けたため、振動膜周辺の空間容積を増やすことができ、マイクロホンの感度を低下させずに、マイクロホン用基板38とコンデンサ部との間隙を小さくすることができる。   Also with the condenser microphone 31 having such a configuration, the same effect as that of the condenser microphone 1 of the first embodiment can be obtained. That is, in a state where the capacitor microphone 31 is mounted on the device substrate 121, the height of the capacitor microphone 31 protruding from the device substrate 121 can be reduced, and the device can be reduced in size and thickness. In addition, the influence of external noise on the field effect transistor due to electrostatic induction or the like can be reduced, and deterioration of the signal-to-noise ratio (S / N) can be suppressed to realize a high-quality microphone. In addition, since the through hole is provided in the microphone substrate 38, the space volume around the diaphragm can be increased, and the gap between the microphone substrate 38 and the capacitor portion can be reduced without reducing the sensitivity of the microphone. .

次に、図7を参照して、本発明のコンデンサマイクロホンの第2の実施の形態について説明する。図7は、本発明のコンデンサマイクロホンの第2の実施の形態を示す断面図である。   Next, a second embodiment of the condenser microphone of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the condenser microphone of the present invention.

図7に示すコンデンサマイクロホン51は、第1の実施の形態のコンデンサマイクロホン1と同様な構成を有しており、異なるところは、静電シールド部材25を機器用基板121に取り付けることのみである。したがって、コンデンサマイクロホン51の各構成部品には、第1の実施の形態のコンデンサマイクロホン1の各構成部品と同一の符号を付して重複した説明を省略する。   The condenser microphone 51 shown in FIG. 7 has the same configuration as the condenser microphone 1 of the first embodiment, and the only difference is that the electrostatic shield member 25 is attached to the device substrate 121. Therefore, the same components as those of the condenser microphone 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the condenser microphone 51, and redundant description is omitted.

図7に示すように、コンデンサマイクロホン51の静電シールド部材25は、機器用基板121に設けられた静電シールド用電極121bに半田付けによって取り付けられている。機器用基板121に取り付けられた静電シールド部材25は、機器用基板121に設けられた開口部121aを覆う。   As shown in FIG. 7, the electrostatic shield member 25 of the condenser microphone 51 is attached to the electrostatic shield electrode 121b provided on the equipment substrate 121 by soldering. The electrostatic shield member 25 attached to the device substrate 121 covers the opening 121 a provided in the device substrate 121.

機器用基板121には、コンデンサマイクロホン51を機器用基板121に実装した状態において、コンデンサマイクロホン51の接地側電極18と静電シールド用電極121bとを電気的に接続するためのスルーホール電極121cが設けられている。これにより、静電シールド部材25は、コンデンサマイクロホン51の接地側電極18と電気的に接続される。   The device substrate 121 has a through-hole electrode 121c for electrically connecting the ground side electrode 18 of the capacitor microphone 51 and the electrostatic shield electrode 121b in a state where the capacitor microphone 51 is mounted on the device substrate 121. Is provided. Thereby, the electrostatic shield member 25 is electrically connected to the ground-side electrode 18 of the condenser microphone 51.

コンデンサマイクロホン51を機器用基板121に実装した状態において、マイクロホン用基板8の下面8bに実装された電界効果トランジスタ10は、機器用基板121の開口部121aに挿入される。また、マイクロホン用基板8の貫通孔15は、機器用基板121の開口部121aに対向される。   In a state where the capacitor microphone 51 is mounted on the device substrate 121, the field effect transistor 10 mounted on the lower surface 8 b of the microphone substrate 8 is inserted into the opening 121 a of the device substrate 121. The through hole 15 of the microphone substrate 8 is opposed to the opening 121 a of the device substrate 121.

このような構成を有するコンデンサマイクロホン51によれば、電界効果トランジスタ10をマイクロホン用基板8の下面8bに実装する。そのため、マイクロホン用基板8とコンデンサ部4との間に形成される間隙を小さくすることができる。そして、コンデンサマイクロホン51を機器用基板121に実装した状態において、電界効果トランジスタ10を機器用基板121の開口部121aに挿入する。これにより、コンデンサマイクロホン51の機器用基板121から突出する高さを低くすることができ、コンデンサマイクロホン51を備えた機器の小型化、薄型化を実現することができる。   According to the condenser microphone 51 having such a configuration, the field effect transistor 10 is mounted on the lower surface 8 b of the microphone substrate 8. Therefore, the gap formed between the microphone substrate 8 and the capacitor unit 4 can be reduced. Then, in a state where the capacitor microphone 51 is mounted on the device substrate 121, the field effect transistor 10 is inserted into the opening 121 a of the device substrate 121. Thereby, the height which protrudes from the board | substrate 121 for apparatuses of the capacitor | condenser microphone 51 can be made low, and size reduction and thickness reduction of the apparatus provided with the capacitor | condenser microphone 51 are realizable.

また、コンデンサマイクロホン51によれば、電界効果トランジスタ10が挿入される機器用基板121の開口部121aを静電シールド部材25によって覆う。そのため、静電誘導等による外来雑音の電界効果トランジスタ10に対する影響を低減することができ、信号対雑音比(S/N)の劣化を抑制して高品質なマイクロホンを実現することができる。   Further, according to the condenser microphone 51, the opening 121 a of the device substrate 121 into which the field effect transistor 10 is inserted is covered with the electrostatic shield member 25. Therefore, the influence of external noise on the field-effect transistor 10 due to electrostatic induction or the like can be reduced, and a high-quality microphone can be realized while suppressing deterioration of the signal-to-noise ratio (S / N).

上述した第1及び第2の実施の形態では、ケース2及び静電シールド部材25を真鍮等の金属製の部材から形成したが、本発明に係るケース2及び静電シールド部材25の材質としては、これに限定されるものではない。本発明に係るケース2及び静電シールド部材25としては、例えば、金属粉末を含有させた合成樹脂によって形成することもできる。   In the first and second embodiments described above, the case 2 and the electrostatic shield member 25 are formed of a metal member such as brass. However, as the material of the case 2 and the electrostatic shield member 25 according to the present invention, However, the present invention is not limited to this. The case 2 and the electrostatic shield member 25 according to the present invention can be formed of, for example, a synthetic resin containing metal powder.

図8は、前述したような構成及び作用を有するコンデンサマイクロホン1を備えた電子機器の一例としての携帯電話端末を示すものである。この携帯電話端末101は、連結部を介して2つの筐体を折りたたみ可能に構成した、いわゆる折りたたみ式携帯電話端末である。図8に示すように、携帯電話端末101は、機器筐体の一具体例を示す第1筐体102と及び第2筐体103と、第1筐体102と第2筐体103を回動可能に連結するヒンジ部104等を備えている。   FIG. 8 shows a mobile phone terminal as an example of an electronic apparatus provided with the condenser microphone 1 having the configuration and operation as described above. The mobile phone terminal 101 is a so-called foldable mobile phone terminal configured such that two housings can be folded via a connecting portion. As shown in FIG. 8, the mobile phone terminal 101 rotates the first housing 102 and the second housing 103, which show a specific example of the device housing, and the first housing 102 and the second housing 103. The hinge part 104 grade | etc., Connected so that it is possible is provided.

第1筐体102は、扁平の直方体状に形成されている。この第1筐体102の第2筐体103と重ね合わされる面である内面102aには、表示画面の一具体例を示す液晶ディスプレイ111と、スピーカ用孔112と、カメラ部113が設けられている。液晶ディスプレイ111は、内面102aを大きく占有するように大型に形成されている。スピーカ用孔112及びカメラ部113は、ヒンジ部104と反対側の端部に配置されている。   The first housing 102 is formed in a flat rectangular parallelepiped shape. A liquid crystal display 111 showing a specific example of a display screen, a speaker hole 112, and a camera unit 113 are provided on an inner surface 102a that is a surface of the first housing 102 that is overlapped with the second housing 103. Yes. The liquid crystal display 111 is formed in a large size so as to occupy the inner surface 102a. The speaker hole 112 and the camera portion 113 are disposed at the end opposite to the hinge portion 104.

第2筐体103は、第1筐体102と同様に、扁平の直方体状に形成されている。この第2筐体103の第1筐体102と重ね合わされる面である内面103aには、複数の操作キー115と、4つの機能切替キー116と、ジョグシャトル操作部117と、集音孔の一具体例を示すマイクロホン用孔119等が設けられている。複数の操作キー115は、内面103aの略中央部に配置されている。4つの機能切替キー116及びジョグシャトル操作部117は、ヒンジ部104側の端部に配置されており、マイクロホン用孔119は、ヒンジ部104と反対側の端部に配置されている。   Similar to the first housing 102, the second housing 103 is formed in a flat rectangular parallelepiped shape. A plurality of operation keys 115, four function switching keys 116, a jog shuttle operation unit 117, and a sound collecting hole are provided on an inner surface 103 a that is a surface of the second housing 103 that is overlapped with the first housing 102. A microphone hole 119 or the like showing a specific example is provided. The plurality of operation keys 115 are disposed at a substantially central portion of the inner surface 103a. The four function switching keys 116 and the jog shuttle operation part 117 are arranged at the end part on the hinge part 104 side, and the microphone hole 119 is arranged at the end part opposite to the hinge part 104.

複数の操作キー115としては、例えば、1,2,3…9,0の数字や記号に対応したダイヤルキー、発信キー、終了キーを挙げることができる。また、4つの機能切替キー116としては、例えば、携帯電話端末101の機能をメール機能に切り替えるメールキーや、カメラ機能に切り替えるカメラキー等を挙げることができる。ジョグシャトル操作部117は、液晶ディスプレイ111に表示されたメニューを選択する選択ボタンや、携帯電話端末101の機能をカメラ機能にした際のシャッタボタン等の役割を有している。   Examples of the plurality of operation keys 115 include a dial key, a call key, and an end key corresponding to numbers and symbols of 1, 2, 3,. Examples of the four function switching keys 116 include a mail key for switching the function of the mobile phone terminal 101 to a mail function, a camera key for switching to a camera function, and the like. The jog shuttle operation unit 117 functions as a selection button for selecting a menu displayed on the liquid crystal display 111 and a shutter button when the function of the mobile phone terminal 101 is changed to a camera function.

第2筐体103の内部には、機器用基板121が設けられている。この機器用基板121には、各種電子部品が実装されている。機器用基板121のマイクロホン用孔119に対応する位置には、開口部121a(図3Bを参照)が設けられており、この開口部121aを覆うようにしてコンデンサマイクロホン1が実装されている。機器用基板121の開口部121aには、コンデンサマイクロホン1の静電シールド部材25及びこの静電シールド部材25に覆われた電界効果トランジスタ10が挿入されている(図3Bを参照)。このコンデンサマイクロホン1により、マイクロホン用孔119を通過した音波が電気信号に変換される。   A device substrate 121 is provided inside the second housing 103. Various electronic components are mounted on the device substrate 121. An opening 121a (see FIG. 3B) is provided at a position corresponding to the microphone hole 119 of the device substrate 121, and the condenser microphone 1 is mounted so as to cover the opening 121a. The electrostatic shield member 25 of the capacitor microphone 1 and the field effect transistor 10 covered with the electrostatic shield member 25 are inserted into the opening 121a of the device substrate 121 (see FIG. 3B). The condenser microphone 1 converts the sound wave that has passed through the microphone hole 119 into an electrical signal.

このような構成を有する携帯電話端末101に本発明のコンデンサマイクロホン1(31,51)を適用することにより、コンデンサマイクロホン1及び機器用基板121を合わせた厚みを薄くすることができる。その結果、第2筐体103の厚みを薄くすることができ、携帯電話端末101全体の薄型化に貢献することができる。   By applying the condenser microphone 1 (31, 51) of the present invention to the mobile phone terminal 101 having such a configuration, the combined thickness of the condenser microphone 1 and the device substrate 121 can be reduced. As a result, the thickness of the second housing 103 can be reduced, which can contribute to reducing the thickness of the entire mobile phone terminal 101.

以上説明したように、本発明のコンデンサマイクロホン及び電子機器によれば、変換器をマイクロホン用基板のコンデンサ部側の面と反対側の面に実装し、その変換器を静電シールド部材によって覆う。そして、コンデンサマイクロホンを機器用基板に実装した状態において、変換器及び静電シールド部材を機器用基板の開口部に挿入する。そのため、コンデンサマイクロホンの機器用基板から突出する部分の高さを低くすることができ、コンデンサマイクロホンと機器用基板を合わせた厚みを薄くすることができる。その結果、コンデンサマイクロホンを備えた機器の小型化、薄型化を実現することができる。   As described above, according to the condenser microphone and the electronic apparatus of the present invention, the converter is mounted on the surface of the microphone substrate opposite to the capacitor portion side, and the converter is covered with the electrostatic shield member. Then, in a state where the condenser microphone is mounted on the device substrate, the converter and the electrostatic shield member are inserted into the opening of the device substrate. Therefore, the height of the portion of the condenser microphone protruding from the device substrate can be reduced, and the combined thickness of the capacitor microphone and the device substrate can be reduced. As a result, it is possible to reduce the size and thickness of the device including the condenser microphone.

また、マイクロホン用基板に貫通孔を設け、マイクロホン用基板とコンデンサ部によって形成される空間と、マイクロホン用基板と静電シールド部材によって形成される空間を連通させた。これにより、振動膜周辺の空間容積を増やすことができ、振動膜が振動し易い環境にすることができる。その結果、マイクロホンの感度を低下させずに、マイクロホン用基板とコンデンサ部との間隙を小さくすることができる。   In addition, a through hole was provided in the microphone substrate so that the space formed by the microphone substrate and the capacitor portion communicated with the space formed by the microphone substrate and the electrostatic shield member. Thereby, the space volume around the vibration film can be increased, and an environment in which the vibration film easily vibrates can be obtained. As a result, the gap between the microphone substrate and the capacitor unit can be reduced without reducing the sensitivity of the microphone.

本発明は前述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、前記実施の形態においては、電子機器として携帯電話端末を例に挙げて説明したが、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、ポータブル音声レコーダ等のその他の電子機器にも適用できるものである。   The present invention is not limited to the embodiment described above and shown in the drawings, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, in the above embodiment, a mobile phone terminal has been described as an example of the electronic device. However, the present invention can also be applied to other electronic devices such as a video camera, a digital still camera, and a portable audio recorder.

本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態を上方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the 1st embodiment of the condenser microphone of the present invention from the upper part. 本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態を下方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the 1st embodiment of the condenser microphone of the present invention from the lower part. 図3Aは本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態の平面図、図3Bは図3Aに示すX−X線部分の断面図である。3A is a plan view of the first embodiment of the condenser microphone of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line XX shown in FIG. 3A. 本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態から静電シールド部材を取り外した状態を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the state which removed the electrostatic shielding member from 1st Embodiment of the condenser microphone of this invention. 本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態の変形例を上方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the modification of 1st Embodiment of the condenser microphone of this invention from the upper direction. 本発明のコンデンサマイクロホンの第1の実施の形態の変形例を下方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the modification of 1st Embodiment of the condenser microphone of this invention from the downward direction. 本発明のコンデンサマイクロホンの第2の実施の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows 2nd Embodiment of the condenser microphone of this invention. 本発明のコンデンサマイクロホンを備えた電子機器の一例を示す携帯電話端末の説明図である。It is explanatory drawing of the mobile telephone terminal which shows an example of the electronic device provided with the capacitor | condenser microphone of this invention. 従来のコンデンサマイクロホンを説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the conventional condenser microphone.

符号の説明Explanation of symbols

1,31,51…コンデンサマイクロホン、 2,32…ケース、 2a…ケース側音通過孔、 3…絶縁フィルム、 4…コンデンサ部、 5…背極板、 5a…音通過孔、 6…振動膜、 7…メッシュ部材、 8,38…マイクロホン用基板、 9…導電部材、 10…電界効果トランジスタ(変換器)、 10a…ゲート端子、 10b…ドレイン端子、 10c…ソース端子、 15…貫通孔、 17,47…信号側電極、 18,48…接地側電極、 19…静電シールド用電極、 25…静電シールド部材、 101…携帯電話端末(電子機器)、 102…第1筐体、 103…第2筐体(機器筐体)、 119…マイクロホン用孔(集音孔)、 121…機器用基板、 121a…開口部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 31, 51 ... Condenser microphone, 2, 32 ... Case, 2a ... Case side sound passage hole, 3 ... Insulating film, 4 ... Condenser part, 5 ... Back electrode plate, 5a ... Sound passage hole, 6 ... Vibration membrane, DESCRIPTION OF SYMBOLS 7 ... Mesh member 8, 38 ... Microphone board | substrate, 9 ... Conductive member, 10 ... Field effect transistor (converter), 10a ... Gate terminal, 10b ... Drain terminal, 10c ... Source terminal, 15 ... Through-hole, 17, 47 ... Signal side electrode 18, 48 ... Ground side electrode, 19 ... Electrostatic shield electrode, 25 ... Electrostatic shield member, 101 ... Mobile phone terminal (electronic device), 102 ... First housing, 103 ... Second Enclosure (equipment enclosure), 119 ... Microphone hole (sound collecting hole), 121 ... Equipment substrate, 121a ... Opening

Claims (5)

電子機器に設けられた機器用基板に実装されるコンデンサマイクロホンにおいて、
音波によって振動する振動膜と当該振動膜に対向して配置される背極板とを有するコンデンサ部と、
前記コンデンサ部に対向した貫通孔を有するマイクロホン用基板と、
前記マイクロホン用基板の前記コンデンサ部に対向する面と反対側の面に実装され、前記コンデンサ部の静電容量の変化をインピーダンス変換する変換器と、
前記マイクロホン用基板に取り付けられると共に前記変換器及び前記貫通孔を覆う静電シールド部材と、を備え、
前記変換器及び前記静電シールド部材は、前記機器用基板に設けられた開口部に挿入されること
を特徴とするコンデンサマイクロホン。
In condenser microphones mounted on equipment boards provided in electronic equipment,
A capacitor unit having a vibration film that vibrates by sound waves and a back electrode plate disposed to face the vibration film;
A microphone substrate having a through hole facing the capacitor portion;
A transducer that is mounted on a surface opposite to the surface facing the capacitor portion of the microphone substrate, and that converts impedance of the capacitance of the capacitor portion,
An electrostatic shield member attached to the microphone substrate and covering the converter and the through hole, and
The converter microphone and the electrostatic shield member are inserted into an opening provided in the device board.
前記背極板は、前記音波が通過する音通過孔を有し、
前記背極板と前記回路基板との間に前記振動膜を配置したこと
を特徴とする請求項1記載のコンデンサマイクロホン。
The back electrode plate has a sound passage hole through which the sound wave passes,
The condenser microphone according to claim 1, wherein the vibration film is disposed between the back electrode plate and the circuit board.
前記コンデンサ部と前記マイクロホン用基板を収容するケースを備え、
前記ケースは、前記マイクロホン用基板の前記変換器が実装された面を露出させる開口窓と、前記背極板の前記音通過孔に対向したケース側音通過孔とを有すること
を特徴とする請求項2記載のコンデンサマイクロホン。
A case for accommodating the capacitor unit and the microphone substrate;
The case has an opening window that exposes a surface of the microphone substrate on which the converter is mounted, and a case-side sound passage hole facing the sound passage hole of the back electrode plate. Item 3. A condenser microphone according to Item 2.
電子機器に設けられた機器用基板に実装されるコンデンサマイクロホンにおいて、
音波によって振動する振動膜と当該振動膜に対向して配置される背極板とを有するコンデンサ部と、
前記コンデンサ部に対向した貫通孔を有するマイクロホン用基板と、
前記マイクロホン用基板の前記コンデンサ部に対向する面と反対側の面に実装され、前記コンデンサ部の静電容量の変化をインピーダンス変換する変換器と、
前記機器用基板に設けられた開口部を塞ぐ静電シールド部材と、を備え、
前記変換器は、前記機器用基板の前記開口部に挿入されると共に、前記貫通孔が前記開口部に対向されること
を特徴とするコンデンサマイクロホン。
In condenser microphones mounted on equipment boards provided in electronic equipment,
A capacitor unit having a vibration film that vibrates by sound waves and a back electrode plate disposed to face the vibration film;
A microphone substrate having a through hole facing the capacitor portion;
A transducer that is mounted on a surface opposite to the surface facing the capacitor portion of the microphone substrate, and that converts impedance of the capacitance of the capacitor portion,
An electrostatic shield member that closes an opening provided in the device substrate;
The condenser microphone is inserted into the opening of the device substrate, and the through hole is opposed to the opening.
音波が通過する集音孔を有する機器筐体と、
前記機器筐体の内部に配置されると共に開口部を有する機器用基板と、
前記機器用基板に実装されると共に前記機器筐体の前記集音孔に対向されるコンデンサマイクロホンと、を備え、
前記コンデンサマイクロホンは、
音波によって振動する振動膜と当該振動膜に対向して配置される背極板とを有するコンデンサ部と、
前記コンデンサ部に対向した貫通孔を有するマイクロホン用基板と、
前記マイクロホン用基板の前記コンデンサ部に対向する面と反対側の面に実装され、前記コンデンサ部の静電容量の変化をインピーダンス変換する変換器と、
前記マイクロホン用基板に取り付けられると共に前記変換器及び前記貫通孔を覆う静電シールド部材と、を有し、
前記変換器及び前記静電シールド部材は、前記機器用基板の前記開口部に挿入されること
を特徴とする電子機器。
A device housing having a sound collecting hole through which sound waves pass;
A device substrate disposed inside the device housing and having an opening;
A condenser microphone mounted on the device substrate and opposed to the sound collecting hole of the device housing;
The condenser microphone is:
A capacitor unit having a vibration film that vibrates by sound waves and a back electrode plate disposed to face the vibration film;
A microphone substrate having a through hole facing the capacitor portion;
A transducer that is mounted on a surface opposite to the surface facing the capacitor portion of the microphone substrate, and that converts impedance of the capacitance of the capacitor portion,
An electrostatic shield member attached to the microphone substrate and covering the converter and the through hole, and
The electronic device, wherein the converter and the electrostatic shield member are inserted into the opening of the device substrate.
JP2007320208A 2007-12-11 2007-12-11 Condenser microphone and electronic equipment Expired - Fee Related JP5024671B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007320208A JP5024671B2 (en) 2007-12-11 2007-12-11 Condenser microphone and electronic equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007320208A JP5024671B2 (en) 2007-12-11 2007-12-11 Condenser microphone and electronic equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009147470A true JP2009147470A (en) 2009-07-02
JP5024671B2 JP5024671B2 (en) 2012-09-12

Family

ID=40917614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007320208A Expired - Fee Related JP5024671B2 (en) 2007-12-11 2007-12-11 Condenser microphone and electronic equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5024671B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109922644A (en) * 2017-12-12 2019-06-21 北京小米移动软件有限公司 A kind of screen terminal comprehensively
CN113853802A (en) * 2019-05-23 2021-12-28 星电株式会社 Substrate and microphone unit

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5646400A (en) * 1979-09-21 1981-04-27 Toshiba Corp Capacitor type microphone
JP2002354592A (en) * 2001-05-18 2002-12-06 Akg Acoustics Gmbh Electrostatic microphone
JP2007082233A (en) * 2005-09-14 2007-03-29 Bse Co Ltd Silicon capacitor microphone and method for packaging same
WO2007054071A1 (en) * 2005-11-10 2007-05-18 Epcos Ag Mems microphone, production method and method for installing

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5646400A (en) * 1979-09-21 1981-04-27 Toshiba Corp Capacitor type microphone
JP2002354592A (en) * 2001-05-18 2002-12-06 Akg Acoustics Gmbh Electrostatic microphone
JP2007082233A (en) * 2005-09-14 2007-03-29 Bse Co Ltd Silicon capacitor microphone and method for packaging same
WO2007054071A1 (en) * 2005-11-10 2007-05-18 Epcos Ag Mems microphone, production method and method for installing

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109922644A (en) * 2017-12-12 2019-06-21 北京小米移动软件有限公司 A kind of screen terminal comprehensively
CN109922644B (en) * 2017-12-12 2022-03-25 北京小米移动软件有限公司 Comprehensive screen terminal
CN113853802A (en) * 2019-05-23 2021-12-28 星电株式会社 Substrate and microphone unit

Also Published As

Publication number Publication date
JP5024671B2 (en) 2012-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4751057B2 (en) Condenser microphone and manufacturing method thereof
US9521499B2 (en) Electronic device with large back volume for electromechanical transducer
JP4435841B2 (en) Electronics
US20130195306A1 (en) Microphone Shield with Common Mode Interference Reduction
US8254616B2 (en) Microphone with a low frequency noise shunt
US20050089188A1 (en) High performance capacitor microphone and manufacturing method thereof
JP2003230195A (en) Electret capacitor microphone
CN105307080A (en) Microphone unit and sound input device incorporating same
US8144898B2 (en) High performance microphone and manufacturing method thereof
JP2010177901A (en) Microphone unit
KR880000963B1 (en) Electret microphone shield
US20080310657A1 (en) Electret condenser microphone
EP2356822B1 (en) Electronic devices including substrate mounted acoustic actuators and related methods and mobile radiotelephones
US20100296690A1 (en) Electro-acoustic transducer
US8301188B2 (en) Electronic devices including substrate mounted acoustic actuators and related methods and mobile radiotelephones
US9357313B2 (en) Microphone unit having a plurality of diaphragms and a signal processing unit
JP5024671B2 (en) Condenser microphone and electronic equipment
JP5006376B2 (en) Electronics
JP2013090142A (en) Electret capacitor microphone
US11540044B2 (en) Speaker device
US9953628B1 (en) Microphone device
JP2008048329A (en) Capacitor microphone, and method of manufacturing layered structure for capacitor microphone
JP2008219435A (en) Capacitor microphone
JP2013031146A (en) Microphone unit and sound input device including the same
JP2008258834A (en) Capacitor microphone and electronic apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101126

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120426

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120522

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120607

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees