JP2009139458A - Method of forming black matrix in flat panel display, and method of manufacturing flat panel display - Google Patents

Method of forming black matrix in flat panel display, and method of manufacturing flat panel display Download PDF

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隆二 山本
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勝則 横山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a flat panel display achieving a black matrix reduced in pixel deviation, at a low cost and achieving a color filter reduced in pixel deviation, at a low cost. <P>SOLUTION: The method is provided for forming the black matrix in a flat panel display 100 of full color display using a filter method and having a self-luminous panel device A serving as a light emitting element matrix, color filters 32r, 32g, 32b serving as pixel parts provided on the light extraction side of the self-luminous panel device, and the black matrixes 33 provided at the boundary parts of the respective pixel parts. The method includes processes of (1) forming the self-luminous panel device provided with a photosensitive layer 31 on the light extraction side, and (2) forming the black matrixes 33 of colorants on the photosensitive layer of the self-luminous panel device formed in the process (1), by an electrophotographic method using light from the light emitting elements of the self-luminous panel device. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルター法(白色法)を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイにおけるブラックマトリクスの形成方法、及びカラーフィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method of forming a black matrix in a flat panel display of a full color display using a color filter method (white method), and a method of manufacturing a flat panel display of a full color display using a color filter method.

有機EL等の自己発光素子を用いたフラットパネルディスプレイにおける色制御には、塗り分け方式とカラーフィルター方式がある。塗り分け方式は、ドット状の画素に赤色・緑色・青色の発光材料を塗り分ける方式である。カラーフィルター方式は、発光素子そのものは白色材料を使い、赤色・緑色・青色のカラーフィルターで制御する方式である。   Color control in a flat panel display using a self-luminous element such as an organic EL includes a separate coating method and a color filter method. The painting method is a method in which red, green, and blue light emitting materials are separately applied to dot-like pixels. The color filter method uses a white material for the light emitting element itself and is controlled by red, green, and blue color filters.

カラーフィルター方式の場合、液晶パネルのような自発光素子でないフラットパネルディスプレイと同じ技術で製造することができる。例えば、透明な基板上にフォトリソグラフィ技術を用いて、感光性樹脂から形成されたパターンを染色する染色法や、顔料色素を分散した感光性樹脂からなる顔料分散法がある。他には、電着法や印刷法が知られている。   In the case of a color filter system, it can be manufactured by the same technique as a flat panel display that is not a self-luminous element such as a liquid crystal panel. For example, there are a dyeing method for dyeing a pattern formed from a photosensitive resin using a photolithography technique on a transparent substrate, and a pigment dispersion method comprising a photosensitive resin in which pigment dyes are dispersed. In addition, an electrodeposition method and a printing method are known.

しかし、これらの手法は、煩雑なフォトリソグラフィを伴うため、製造に時間を要したり、カラーフィルターの形状や配列に大きな制約が生じたりといった問題が生じていた。   However, since these methods involve complicated photolithography, there have been problems such as time required for production and great restrictions on the shape and arrangement of the color filters.

一方、ガラス基板に設けられた透明光導電層上に静電潜像を形成し、静電潜像にトナーを付与してカラーフィルターを製造する電子写真法が特許文献1で知られている。   On the other hand, Patent Document 1 discloses an electrophotographic method in which an electrostatic latent image is formed on a transparent photoconductive layer provided on a glass substrate, and a toner is applied to the electrostatic latent image to produce a color filter.

この電子写真法では、感光性材料の塗布等の煩雑な工程を経ることがないため短時間で、また、廃材がほとんど生じないため低コストで所望のセル形状や配列のカラーフィルターを製造することができる。   In this electrophotographic method, a color filter having a desired cell shape and arrangement can be produced in a short time because there is no complicated process such as application of a photosensitive material and almost no waste material is produced. Can do.

また、特許文献2に示すように、インクジェット法でカラーフィルターを製造する方法が提案されている。この方法を用いると、低コストに製造することができ、なおかつ混色・色ムラ・白抜けを減らすことができる。   Moreover, as shown in Patent Document 2, a method of manufacturing a color filter by an ink jet method has been proposed. If this method is used, it can be manufactured at low cost, and color mixing, color unevenness, and white spots can be reduced.

また、いずれの方式を用いても、カラーフィルターの性能を向上させるために、各色画素の境界部に遮光性の細線が設けられる。この遮光性細線パターンはブラックマトリクスと呼ばれ、色の混ざりや無色部分(白抜け)の悪影響を防止することによって、表示コントラストを向上させる目的で形成される。   In addition, regardless of which method is used, in order to improve the performance of the color filter, a light-shielding thin line is provided at the boundary portion of each color pixel. This light-shielding fine line pattern is called a black matrix, and is formed for the purpose of improving display contrast by preventing adverse effects of color mixing and colorless portions (white spots).

このブラックマトリクスの形成方法として、蒸着クロム薄膜をフォトエッチングして製造する方法が、多用されている。   As a method for forming this black matrix, a method of manufacturing a vapor-deposited chromium thin film by photoetching is frequently used.

製造工程を単純にし、コストを下げるための方法として、前記電子写真法や前記インクジェット法を用いてブラックマトリクスを形成する方法がある。
特開平5−323112号公報 特開平8−227012号公報
As a method for simplifying the manufacturing process and reducing the cost, there is a method of forming a black matrix using the electrophotographic method or the inkjet method.
Japanese Patent Laid-Open No. 5-323112 JP-A-8-227010

しかし、特許文献1の方法でカラーフィルターを製造しても、製造したカラーフィルターをフラットパネルディスプレイに転写しなければならない。そのため、転写の際にフラットパネルディスプレイ側の画素とカラーフィルターとして形成したトナーがずれる(画素ズレ)という問題があった。   However, even if a color filter is manufactured by the method of Patent Document 1, the manufactured color filter must be transferred to a flat panel display. For this reason, there has been a problem in that the toner formed as a color filter is displaced from the pixel on the flat panel display side during transfer (pixel displacement).

また、特許文献2の方法も、フラットパネルディスプレイパネル側の画素とカラーフィルターとして形成したインクとの間の画素ズレの問題は解消されない。   Also, the method of Patent Document 2 does not solve the problem of pixel misalignment between pixels on the flat panel display panel side and ink formed as a color filter.

また、ブラックマトリクスの形成方法として、蒸着クロム薄膜をフォトエッチングして得るブラックマトリクスは、製造工程が複雑で、かつ、クロム薄膜が高価であるため、全体としてコストアップに繋がるという問題があった。   Further, as a method for forming a black matrix, a black matrix obtained by photoetching a vapor-deposited chrome thin film has a problem that the manufacturing process is complicated and the chrome thin film is expensive, leading to an increase in cost as a whole.

また、前記電子写真法や前記インクジェット法を用いてブラックマトリクスを形成する方法の場合も、カラーフィルターの場合と同様に画素ズレの問題は解決できない。   Also, in the case of a method of forming a black matrix using the electrophotographic method or the ink jet method, the problem of pixel shift cannot be solved as in the case of a color filter.

そこで、本発明の目的は、画素ズレの低減したブラックマトリクスを低コストで実現し、さらに画素ズレの低減したカラーフィルターを低コストで実現するフラットパネルディスプレイの製造方法を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a flat panel display manufacturing method that realizes a black matrix with reduced pixel shift at low cost and further realizes a color filter with reduced pixel shift at low cost.

上記の目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイにおけるブラックマトリクスの形成方法の代表的な構成は、発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイにおけるブラックマトリクスの形成方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程、
を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a typical configuration of a black matrix forming method in a flat panel display according to the present invention includes a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix and a light extraction side of the self-luminous panel device. A method of forming a black matrix in a flat panel display of a full color display using a filter method, having a color filter to be a pixel portion provided in and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) A step of forming a black matrix with a colorant by electrophotography using light of a light emitting element of the self light emitting panel device on the photosensitive layer of the self light emitting panel device prepared in the step 1);
It is characterized by having.

また、上記の目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造方法の代表的な構成は、発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイの製造方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程と、
3)前記2)の工程で作成されたブラックマトリクスをバンクとして利用して、インクジェット法によりカラーフィルター用インクを前記バンクの内側に流し込むことによりカラーフィルターを形成する工程と、
を有することを特徴とする。
Moreover, the typical structure of the manufacturing method of the flat panel display which concerns on this invention for achieving said objective is the self-light-emitting panel device as a light emitting element matrix, and the light extraction side of this self-light-emitting panel device. A manufacturing method of a flat panel display of a full color display using a filter method, having a color filter to be provided pixel portion and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) A step of forming a black matrix with a colorant by electrophotography using light of a light-emitting element of the self-luminous panel device on the photosensitive layer of the self-luminous panel device created in the step 1);
3) Using the black matrix created in the step 2) as a bank, forming a color filter by pouring the color filter ink into the bank by an inkjet method;
It is characterized by having.

また、上記の目的を達成するための本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造方法の他の代表的な構成は、発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイの製造方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、カラーフィルターを形成する工程と、
3)前記2)の工程で作成された、カラーフィルターを有する自発光型パネルデバイスのる感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程と、
を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, another typical configuration of the flat panel display manufacturing method according to the present invention includes a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix and light extraction of the self-luminous panel device. A method of manufacturing a full-color flat panel display using a filter method, having a color filter serving as a pixel portion provided on the side and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) a step of forming a color filter on the photosensitive layer of the self-luminous panel device prepared in the step 1);
3) On the photosensitive layer of the self-luminous panel device having a color filter prepared in the above step 2), black with a colorant by electrophotography using light of the light-emitting element of the self-luminous panel device. The process of creating a matrix;
It is characterized by having.

本発明によると、画素ズレの低減したブラックマトリクスを低コストで実現し、さらに画素ズレの低減したカラーフィルターを低コストで実現するフラットパネルディスプレイの製造方法を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the flat panel display which implement | achieves the color filter which reduced the pixel shift at low cost and implement | achieved the color filter which reduced the pixel shift at low cost can be provided.

以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置、工程の順序などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。   The best mode for carrying out the present invention will be exemplarily described in detail below with reference to the drawings. However, the size, material, shape, relative arrangement, order of steps, etc. of the components described in this embodiment limit the scope of the present invention only to those unless otherwise specified. It is not intended.

[実施例1]
(1)フラットパネルディスプレイの構成
図1は、本発明に係る製造方法によって製作されるフラットパネルディスプレイ100の一例の層構成を示す部分的な断面模型図である。このフラットパネルディスプレイ100は、発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び画素部の境界に設けられたブラックマトリックスとを有する。図1は、このディスプレイ100の、赤色光を出力するR発光サブピクセル、緑色光を出力するG発光サブピクセル、青色光を出力するB発光サブピクセルの3つのサブピクセルから構成される1ピクセル(画素)部分の断面を表したものである。
[Example 1]
(1) Configuration of Flat Panel Display FIG. 1 is a partial cross-sectional model diagram showing a layer configuration of an example of a flat panel display 100 manufactured by the manufacturing method according to the present invention. The flat panel display 100 includes a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix, a color filter serving as a pixel portion provided on the light extraction side of the self-luminous panel device, and a black matrix provided at the boundary of the pixel portion. And have. FIG. 1 shows one pixel (1 pixel) composed of three sub-pixels of this display 100: an R light-emitting subpixel that outputs red light, a G light-emitting subpixel that outputs green light, and a B light-emitting subpixel that outputs blue light. This represents a cross section of a (pixel) portion.

ここで、以下の説明において、TFTは薄型トランジスタ(Thin-Film-Transistor)である。ELはエレクトロルミネッセンス(電界発光:electro luminescence)である。SOIはシリコン・オン・インシュレータである。ITOは透明導電酸化物である。   Here, in the following description, TFT is a thin-film transistor. EL is electroluminescence (electroluminescence). SOI is a silicon-on-insulator. ITO is a transparent conductive oxide.

図1のフラットパネルディスプレイ100は、機能層として、大きく分けて、発光素子マトリックス層としての自発光型パネルデバイス部A(発光アレイモジュール)と、その上部に積層されたカラーフィルター部Dとを有する。   The flat panel display 100 of FIG. 1 has a self-luminous panel device part A (light emitting array module) as a light emitting element matrix layer and a color filter part D stacked on the light emitting element matrix layer, as functional layers. .

本実施例において、自発光型パネルデバイス部Aは、トップエミッション方式の白色発光アレイTFTモジュールであり、単色発光TFTアレイ部Bと、その上部に積層された感光層部Cとを有する。   In this embodiment, the self-luminous panel device unit A is a top emission type white light-emitting array TFT module, and has a single-color light-emitting TFT array unit B and a photosensitive layer unit C stacked thereon.

単色発光TFTアレイ部Bは、白色発光のアクティブマトリクス駆動の有機ELディスプレイモジュール(AM−OLED)であり、SOI基板10上に画素駆動用TFT11を有する制御回路部13が形成されている。そして、この制御回路部13の上にTFT11のドレインに接続された金属陰極12、有機EL層20、透明導電層(透明導電膜)21、バリヤ層(薄膜バリヤ層)22、をこの順に積層して、単色発光TFTアレイ部Bを構成している。発光時には、TFT11を駆動し、金属陰極12、透明導電層21からキャリアが有機EL層20に注入され、一重項励起による蛍光発光が生じる。   The monochromatic light emitting TFT array part B is a white light emitting active matrix driving organic EL display module (AM-OLED), and a control circuit part 13 having a pixel driving TFT 11 is formed on an SOI substrate 10. Then, a metal cathode 12 connected to the drain of the TFT 11, an organic EL layer 20, a transparent conductive layer (transparent conductive layer) 21, and a barrier layer (thin film barrier layer) 22 are laminated on the control circuit unit 13 in this order. Thus, a monochromatic light emitting TFT array portion B is configured. At the time of light emission, the TFT 11 is driven, carriers are injected from the metal cathode 12 and the transparent conductive layer 21 into the organic EL layer 20, and fluorescent light emission is generated by singlet excitation.

ここで、金属陰極12としてMgCu合金、透明導電層21は陽極材料としてITOを用いている。また、有機EL層20は電子注入層/発光層/ホール輸送層を1つの機能層として、これをPN接合層を介して複数段積層したマルチスタック構成を用いて白色発光を実現している。また、バリヤ層22はSiONxのCVD蒸着により形成された薄膜封止層であり、層厚は約6μmである。   Here, MgCu alloy is used as the metal cathode 12, and ITO is used as the anode material for the transparent conductive layer 21. In addition, the organic EL layer 20 realizes white light emission by using a multi-stack configuration in which an electron injection layer / a light emitting layer / a hole transport layer are used as one functional layer and a plurality of layers are stacked via a PN junction layer. The barrier layer 22 is a thin film sealing layer formed by CVD deposition of SiONx, and the layer thickness is about 6 μm.

感光層部Cは、単色発光TFTアレイ部Bの上部に順次に積層された透明導電層30と感光層31を有する。透明導電層30はスパッタ法により成膜されたITO薄膜であり、膜厚は1000Å、表面抵抗値1KΩ/□以下である。感光層31はキャリア発生層(CGL)とキャリア輸送層(CTL)の2層構造の負帯電型の有機感光体層である。   The photosensitive layer portion C includes a transparent conductive layer 30 and a photosensitive layer 31 that are sequentially stacked on top of the monochromatic light emitting TFT array portion B. The transparent conductive layer 30 is an ITO thin film formed by sputtering, and has a film thickness of 1000 mm and a surface resistance value of 1 KΩ / □ or less. The photosensitive layer 31 is a negatively charged organic photoreceptor layer having a two-layer structure of a carrier generation layer (CGL) and a carrier transport layer (CTL).

ここで、感光層部Cは、その光学的特性において、可視光領域(波長400nm〜780nmにおける光透過率80%以上を維持する様に、その組成、膜厚、及び成膜条件を制御している。   Here, the photosensitive layer portion C is controlled in its optical characteristics by controlling the composition, film thickness, and film forming conditions so as to maintain a light transmittance of 80% or more in the visible light region (wavelength of 400 nm to 780 nm). Yes.

フィルター部Dは、前記感光層部Cの上部(感光層31上)に形成されており、R発光サブピクセル内の発光素子上に光透過性のあるRフィルター着色パターン32rが形成されている。また、G発光サブピクセル内の発光素子上に光透過性のあるGフィルター着色パターン32gが形成されている。そして、B発光サブピクセル内の発光素子上に光透過性のあるBフィルター着色パターン32bが形成される。Rフィルター着色パターン32r、Gフィルター着色パターン32g、Bフィルター着色パターン32bがRGBのカラーフィルターである。   The filter part D is formed above the photosensitive layer part C (on the photosensitive layer 31), and an R filter coloring pattern 32r having light transmittance is formed on the light emitting element in the R light emitting subpixel. A light-transmitting G filter coloring pattern 32g is formed on the light emitting elements in the G light emitting subpixel. Then, a light-transmitting B filter coloring pattern 32b is formed on the light emitting element in the B light emitting subpixel. The R filter coloring pattern 32r, the G filter coloring pattern 32g, and the B filter coloring pattern 32b are RGB color filters.

また、表示画面上のサブピクセル領域外(非発光領域)には、遮光性のブラックマトリクスパターン33が形成されている。さらに、フィルター層の上層はポリカーボネイトを主成分とした透明保護層34で被覆されている。   Further, a light-shielding black matrix pattern 33 is formed outside the subpixel area (non-light emitting area) on the display screen. Further, the upper layer of the filter layer is covered with a transparent protective layer 34 mainly composed of polycarbonate.

(2)ディスプレイ100の製造方法
図2は上記のフラットパネルディスプレイ100の製造方法の工程ブロック図であり、製造工程は、大きく分けて、第1工程50、第2工程60、第3工程70を有している。
(2) Manufacturing Method of Display 100 FIG. 2 is a process block diagram of the manufacturing method of the flat panel display 100 described above. The manufacturing process is roughly divided into a first process 50, a second process 60, and a third process 70. Have.

第1工程50は、表面(光取り出し側)に感光層31を具備させた形態の自発光型パネルデバイス部(以下、発光アレイTFTモジュールと記す)Aを作成する工程である。   The first step 50 is a step of creating a self-luminous panel device portion (hereinafter referred to as a light emitting array TFT module) A having a photosensitive layer 31 on the surface (light extraction side).

第2工程60は、その発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に、カラーフィルター部Dを形成する工程である。   The second step 60 is a step of forming the color filter portion D on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A.

第3工程は、第1工程50と第2工程60とにより製造されたフラットパネルディスプレイ100の検査する工程である。   The third step is a step of inspecting the flat panel display 100 manufactured by the first step 50 and the second step 60.

1)第1工程50
表面に感光層31を具備させた形態の発光アレイTFTモジュールAは、工程51〜55により作成される。
1) First step 50
The light emitting array TFT module A having the photosensitive layer 31 on the surface is formed by steps 51 to 55.

工程51は、SOI基板10上に、画素駆動用TFT11のアレイを有する制御回路部13を形成するTFTアレイ形成工程である。例えば、ガラス基板上にpoly−Siプロセスで形成されたTFTアレイ回路を所謂デバイス転写法によって基板10上に転写して形成される。TFT11の駆動ドライバー(定電流回路、点灯時間制御回路、シフトレジスター、バッファ等)を同一デバイス上に形成する。   Step 51 is a TFT array forming step of forming the control circuit unit 13 having the array of pixel driving TFTs 11 on the SOI substrate 10. For example, a TFT array circuit formed on a glass substrate by a poly-Si process is transferred onto the substrate 10 by a so-called device transfer method. A driver for driving the TFT 11 (constant current circuit, lighting time control circuit, shift register, buffer, etc.) is formed on the same device.

工程52は、上記のように形成したTFTアレイ上に、TFT11のドレインに接続された金属陰極12、有機EL層(発光層)20、透明導電層21、をこの順に積層するEL層/電極形成工程である。   Step 52 is an EL layer / electrode formation in which the metal cathode 12 connected to the drain of the TFT 11, the organic EL layer (light emitting layer) 20, and the transparent conductive layer 21 are stacked in this order on the TFT array formed as described above. It is a process.

工程53は、透明導電層21の上にバリヤ層22を形成するバリヤ層形成工程である。   Step 53 is a barrier layer forming step for forming the barrier layer 22 on the transparent conductive layer 21.

工程54は、バリヤ層22の上に透明導電層30と感光層31をこの順に積層する導電層/感光層形成工程である。即ち、感光層31は、自発光型パネルデバイスの光取り出し側に透明導電層30を介して積層されている。   Step 54 is a conductive layer / photosensitive layer forming step of laminating the transparent conductive layer 30 and the photosensitive layer 31 in this order on the barrier layer 22. That is, the photosensitive layer 31 is laminated via the transparent conductive layer 30 on the light extraction side of the self-luminous panel device.

上記の工程51〜54により、表面に感光層31を具備させた形態の発光アレイTFTモジュールAが作成される。   Through the above steps 51 to 54, the light emitting array TFT module A having the photosensitive layer 31 on the surface is produced.

工程55は、発光アレイTFTモジュールAに画素駆動用のドライバーICを実装するOLB工程である。本実施例では、画素駆動用の外部装置とのIO接点数を低減する目的で、OLB工程55において画素駆動用のドライバーICを実装している。   Step 55 is an OLB step of mounting a driver IC for driving a pixel on the light emitting array TFT module A. In this embodiment, in order to reduce the number of IO contacts with the external device for driving the pixel, a driver IC for driving the pixel is mounted in the OLB process 55.

2)第2工程60
上記のように作成された発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に対するカラーフィルター部Dの形成は、工程61と62でなされる。
2) Second step 60
Formation of the color filter portion D on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A produced as described above is performed in steps 61 and 62.

工程61は、感光層31の表面にフィルター層を形成する工程である。この工程61においては、ブラックマトリクス形成工程でブラックマトリクス33を形成した後に、インクジェットによる吐出工程にてカラーフィルター用インクでカラーフィルター32r・32g・32bを形成する。このフィルター層形成工程61については、次の3)項で詳述する。   Step 61 is a step of forming a filter layer on the surface of the photosensitive layer 31. In this step 61, after the black matrix 33 is formed in the black matrix forming step, the color filters 32r, 32g, and 32b are formed with the color filter ink in the inkjet discharging step. The filter layer forming step 61 will be described in detail in the next section 3).

工程62は、工程61で形成されたフィルター層を、ポリカーボネイトを主成分とした透明保護層34で被覆する保護層形成工程である。   Step 62 is a protective layer forming step of covering the filter layer formed in step 61 with the transparent protective layer 34 mainly composed of polycarbonate.

3)フィルター層形成工程61の詳細
図3はフィルター層形成工程61の更に詳細な工程図である。フィルター層形成工程61は、大別して、第1工程61Aと第2工程61Bを有する。
3) Details of Filter Layer Formation Step 61 FIG. 3 is a more detailed process diagram of the filter layer formation step 61. The filter layer forming step 61 is roughly divided into a first step 61A and a second step 61B.

第1工程61Aは、発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に、発光アレイTFTモジュールAの発光層20の光を用いて電子写真方式(電子写真画像形成方法)によりブラックマトリクス33を形成するブラックマトリクス形成工程である。   In the first step 61A, the black matrix 33 is formed on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A by the electrophotographic method (electrophotographic image forming method) using the light of the light emitting layer 20 of the light emitting array TFT module A. This is a black matrix forming step.

第2工程61Bは、第1工程61Aでブラックマトリクス33を形成した後に、インクジェットによる吐出工程にて光透過性のカラーフィルター用インクでカラーフィルター32r・32g・32bを形成するカラーフィルター形成工程である。   The second step 61B is a color filter forming step in which, after the black matrix 33 is formed in the first step 61A, the color filters 32r, 32g, and 32b are formed with a light transmissive color filter ink in an ink jet discharge step. .

第1工程61Aは、工程I、II、III、IVを有する。   The first step 61A includes steps I, II, III, and IV.

工程I(図4):前記第1工程50で製作された発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面を、遮光下で、帯電手段45により所定の極性・電位に一様帯電する帯電工程である。   Step I (FIG. 4): a charging step in which the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A manufactured in the first step 50 is uniformly charged to a predetermined polarity and potential by the charging means 45 under light shielding. is there.

本実施例においては、帯電手段45としてコロナ帯電器を用いている。そして、透明導電層30を接地し、コロナ帯電器45のグリッド45aに電圧−700Vの電圧を印加し、ワイヤ45bの電流を600μAの定電流制御として、感光層31の表面を負極性に一様帯電させ、表面電位−500Vを得た。また、本実施例では、コロナ帯電器45に対して発光アレイTFTモジュールAを相対移動して感光層31の表面を帯電させる構成をとった為、上記の帯電状態を得るためのワイヤ電流値は帯電幅、相対速度に基づいて決定する必要がある。   In this embodiment, a corona charger is used as the charging means 45. Then, the transparent conductive layer 30 is grounded, a voltage of −700 V is applied to the grid 45 a of the corona charger 45, and the current of the wire 45 b is controlled at a constant current of 600 μA so that the surface of the photosensitive layer 31 is uniformly negative. Charging was performed to obtain a surface potential of -500V. In this embodiment, since the light emitting array TFT module A is moved relative to the corona charger 45 to charge the surface of the photosensitive layer 31, the wire current value for obtaining the above charged state is as follows. It is necessary to determine based on the charging width and relative speed.

工程II(図5):発光アレイTFTモジュールAの発光層である有機EL層20の光を用いて感光層31を露光してブラックマトリクス33に対応する静電潜像を形成する露光工程である。即ち、前記帯電後に自発光型パネルデバイスの発光素子を発光させて感光層を内側から露光する露光工程である。   Step II (FIG. 5): An exposure step in which the photosensitive layer 31 is exposed to light from the organic EL layer 20 that is the light emitting layer of the light emitting array TFT module A to form an electrostatic latent image corresponding to the black matrix 33. . That is, it is an exposure process in which the light-emitting element of the self-luminous panel device emits light after the charging to expose the photosensitive layer from the inside.

具体的には、発光アレイTFTモジュールAは、OLB工程55(図2)において画素駆動用のドライバーが実装されている。そこで、このドライバーにより、全画素の発光サブピクセル、G発光サブピクセル、B発光サブピクセルの各サブピクセルに対応の発光素子をすべて駆動する。そうすると、全ての発光素子が白色発光40し、層構成上、各発光素子の直上にある感光層31内のキャリア発生層(CGL)が露光される。キャリア発生層では、光吸収により電子と正孔からなるキャリアが励起される。発生した正孔は、感光層31の表面に形成された負極性の電荷がつくる電場によってキャリア輸送層(CTL)の表面に向かって移動し、その領域の表面電荷を打ち消す。この結果、工程Iで一様帯電した表面電位−500Vに対して、露光した全ての発光素子の直上部に対応する感光層部分の表面電位はほぼ0Vとなる。サブピクセルとサブピクセルの間、即ちブラックマトリクス33に対応する感光層部分は露光されないので−500Vの表面電位を保っている。これにより、ブラックマトリクスパターンに対応して約500Vのコントラストを有する電荷密度の分布パターン、即ちブラックマトリクスパターン41の静電潜像が得られる。   Specifically, the light emitting array TFT module A is mounted with a driver for driving pixels in the OLB process 55 (FIG. 2). Therefore, all the light emitting elements corresponding to the sub pixels of the light emitting subpixel, the G light emitting subpixel, and the B light emitting subpixel of all the pixels are driven by this driver. Then, all the light emitting elements emit white light 40, and the carrier generation layer (CGL) in the photosensitive layer 31 immediately above each light emitting element is exposed in the layer structure. In the carrier generation layer, carriers composed of electrons and holes are excited by light absorption. The generated holes move toward the surface of the carrier transport layer (CTL) by the electric field generated by the negative charge formed on the surface of the photosensitive layer 31, and cancel the surface charge in that region. As a result, with respect to the surface potential of −500 V that is uniformly charged in Step I, the surface potential of the photosensitive layer portion corresponding to the portion immediately above all the exposed light emitting elements is approximately 0 V. Since the photosensitive layer portion corresponding to the black matrix 33 is not exposed between the subpixels, that is, the black matrix 33, the surface potential is kept at -500V. Thereby, a charge density distribution pattern having a contrast of about 500 V corresponding to the black matrix pattern, that is, an electrostatic latent image of the black matrix pattern 41 is obtained.

工程III(図6):工程IIの露光プロセスによって形成された静電潜像41を、現像器(現像手段)により遮光性の着色剤(ブラックトナー:ポジトナー)tでブラックマトリックス33として正規現像する現像工程である。即ち、前記露光後の感光層31の表面を、前記帯電工程で帯電した電荷の極性とは逆極性に帯電した着色剤により正規現像して感光層の非露光部を現像する工程である。   Step III (FIG. 6): The electrostatic latent image 41 formed by the exposure process of Step II is normally developed as a black matrix 33 with a light-shielding colorant (black toner: positive toner) t by a developing device (developing means). Development process. That is, it is a step of developing the non-exposed portion of the photosensitive layer by regular development of the surface of the photosensitive layer 31 after the exposure with a colorant charged in the opposite polarity to the polarity of the charge charged in the charging step.

本実施例においては、現像器の現像方式は、レーザービームプリンタや複写機などで一般的に用いられている二成分乾式現像方式である。ブラックトナーtは平均粒径5μmであり、含窒素カップリング剤を含む外添剤により、正に帯電する。ブラックトナーtは、二成分現像器内をキャリアとの混合により帯電し、現像スリーブ500の回転に伴って搬送される。現像スリーブ500に矩形交番電圧を印加しながら、現像スリーブ500と発光アレイTFTモジュールAの表面を一定の間隔を保持しつつ相対移動させる。そうすると、非露光部であるサブピクセル間に対応する感光層部分にのみに、帯電による負電荷と正帯電したブラックトナーtが引きつけあってトナーtが付着する。即ち、ブラックマトリクスパターンの静電潜像41がブラックトナーtでブラックマトリックス33として正規現像される。   In this embodiment, the developing system is a two-component dry developing system generally used in laser beam printers, copiers and the like. The black toner t has an average particle diameter of 5 μm and is positively charged by an external additive containing a nitrogen-containing coupling agent. The black toner t is charged by mixing with the carrier in the two-component developing device, and is conveyed along with the rotation of the developing sleeve 500. While applying a rectangular alternating voltage to the developing sleeve 500, the developing sleeve 500 and the surface of the light emitting array TFT module A are relatively moved while maintaining a certain distance. Then, the negative charge due to charging and the positively charged black toner t are attracted only to the photosensitive layer portions corresponding to the non-exposed portions between the sub-pixels, and the toner t adheres. That is, the electrostatic latent image 41 having the black matrix pattern is normally developed as the black matrix 33 with the black toner t.

本実施例においては、現像スリーブ500に印加する現像バイアス値46a及び交流値46bを制御することによって濃度変動、カブリ発生を防止している。   In this embodiment, density fluctuations and fogging are prevented by controlling the developing bias value 46a and the alternating current value 46b applied to the developing sleeve 500.

工程IV(図7):工程IIIで形成された現像像であるブラックマトリックス33はこの段階においては未定着の状態である。工程IVはその未定着の状態のブラックマトリックス33を定着手段により加熱加圧して感光層31の表面に定着させる定着工程である。   Step IV (FIG. 7): The black matrix 33 which is the developed image formed in Step III is in an unfixed state at this stage. Step IV is a fixing step in which the unfixed black matrix 33 is heated and pressed by a fixing unit to fix it on the surface of the photosensitive layer 31.

例えば、130℃の加熱下で、表面に離型層を持つゴムローラ等の定着ローラ600により未定着のブラックマトリクス33を感光層31の表面に加圧溶融して平滑化すると共に感光層31の表面に定着させる。   For example, under heating at 130 ° C., the unfixed black matrix 33 is pressed and melted on the surface of the photosensitive layer 31 and smoothed by a fixing roller 600 such as a rubber roller having a release layer on the surface, and the surface of the photosensitive layer 31 is smoothed. To settle.

第2工程61Bは、上記のように第1工程61Aによりブラックマトリクス33を形成した後に、図8に示すように、インクジェットによるRGB吐出工程にてカラーフィルター32r・32g・32bを形成するカラーフィルター形成工程である。即ち、前記定着工程で定着されたブラックマトリクス33をバンクとして利用して、インクジェット法によりカラーフィルター用インクをバンク33の内側に流し込むことによりカラーフィルターを形成する工程である。   In the second step 61B, after forming the black matrix 33 by the first step 61A as described above, as shown in FIG. It is a process. That is, the color filter is formed by using the black matrix 33 fixed in the fixing step as a bank and pouring the color filter ink into the bank 33 by an ink jet method.

具体的には、RGBノズルヘッド700を備えたインクジェット装置によって、R発光サブピクセルにレッドインクが、G発光サブピクセルにグリーンインクが、B発光サブピクセルにブルーインクが吐出される。これにより、RGBのカラーフィルター32r・32g・32bが形成される。   Specifically, an inkjet apparatus including the RGB nozzle head 700 discharges red ink to the R light emitting subpixel, green ink to the G light emitting subpixel, and blue ink to the B light emitting subpixel. Thereby, RGB color filters 32r, 32g, and 32b are formed.

インクが吐出される際、第1工程61Bで先に形成したブラックマトリクス33がバンクとして働くため、インクが他の画素に干渉することなく精度良くインクを載せることができる。   When ink is ejected, the black matrix 33 previously formed in the first step 61B functions as a bank, so that the ink can be accurately placed without interfering with other pixels.

そして、最終工程として、定着処理されたフィルター層の上層にポリカーボネイトを主成分とした透明保護層34を形成して、フラットパネルデバイス100が完成する。   Then, as a final step, the transparent protective layer 34 mainly composed of polycarbonate is formed on the upper layer of the filter layer subjected to the fixing process, and the flat panel device 100 is completed.

かくして、画素ズレの低減したブラックマトリクスを低コストで実現し、さらに画素ズレの低減したカラーフィルターを低コストで実現するフラットパネルディスプレイの製造方法を提供できる。   Thus, it is possible to provide a method for manufacturing a flat panel display that realizes a black matrix with reduced pixel shift at low cost and further realizes a color filter with reduced pixel shift at low cost.

本実施例におけるブラックマトリクス33の形成は、感光層31の非露光部にトナーが付着するいわゆる正規現像を用いる必要がある。そこで、本実施例では、負極性帯電の感光層31を使い、一様帯電の極性−負、トナーの帯電極性−正の系を用いた。これとは逆に、正極性帯電の感光層31を使って、一様帯電の極性−正、トナーの帯電極性−負とする系を用いてもよい。   The formation of the black matrix 33 in this embodiment needs to use so-called regular development in which toner adheres to the non-exposed portion of the photosensitive layer 31. Therefore, in this embodiment, the negatively charged photosensitive layer 31 is used, and the system of uniform charging polarity-negative and toner charging polarity-positive is used. On the contrary, a system in which the positively charged photosensitive layer 31 is used and the polarity of the uniform charge is positive and the charge polarity of the toner is negative may be used.

[実施例2]
本実施例は、発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に、先に、RGBのカラーフィルター32r・32g・32bを形成する。その後で、実施例1と同様の工程によりブラックマトリクス33を形成するものである。
[Example 2]
In this embodiment, RGB color filters 32r, 32g, and 32b are first formed on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A. Thereafter, the black matrix 33 is formed by the same process as in the first embodiment.

図9は、発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に対するカラーフィルター形成装置800の一例の概略図である。このカラーフィルター形成装置800は中間転写体を用いた電子写真装置である。801は回転ドラム型の電子写真感光体(以下、感光体ドラムと記す)であり、矢印の反時計方向に所定の速度で回転駆動される。感光体ドラム801は回転状態において帯電装置802により所定の極性・電位に一様に帯電される。次いで、その帯電面に対して、露光装置803により、カラーフィルター層の全画素の例えばRフィルターに対応するパターンの露光がなされる。これにより、感光体ドラム面に全画素のRフィルターパターンに対応する静電潜像が形成される。次いで、その静電潜像が光透過性のあるR色の着色剤(レッドトナー)を収容したレッド現像装置804Rによりレッドトナー像として反転現像される。そして、そのレッドトナー像が回転中間転写体としての中間転写ドラム805の表面に対して一次転写装置806の電界により一次転写される。この一次転写後に感光体ドラム801の表面に残った一次転写残トナーはクリーニング装置807により感光体ドラム801の表面から除去される。   FIG. 9 is a schematic diagram of an example of a color filter forming apparatus 800 for the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A. The color filter forming apparatus 800 is an electrophotographic apparatus using an intermediate transfer member. Reference numeral 801 denotes a rotating drum type electrophotographic photosensitive member (hereinafter referred to as a photosensitive drum), which is driven to rotate at a predetermined speed in a counterclockwise direction indicated by an arrow. The photosensitive drum 801 is uniformly charged to a predetermined polarity and potential by the charging device 802 in the rotating state. Next, the exposure device 803 exposes the charged surface to a pattern corresponding to, for example, the R filter of all the pixels of the color filter layer. Thereby, an electrostatic latent image corresponding to the R filter pattern of all pixels is formed on the surface of the photosensitive drum. Next, the electrostatic latent image is reversely developed as a red toner image by a red developing device 804R containing a light-transmitting R colorant (red toner). Then, the red toner image is primarily transferred by the electric field of the primary transfer device 806 to the surface of the intermediate transfer drum 805 as a rotating intermediate transfer member. The primary transfer residual toner remaining on the surface of the photosensitive drum 801 after the primary transfer is removed from the surface of the photosensitive drum 801 by the cleaning device 807.

そして、上記の帯電・露光・現像・一次転写・クリーニングの電子写真プロセスによるカラーフィルターの形成が、GフィルターパターンとBフィルターパターンとについても実行される。なお、Gフィルターパターン形成の場合は光透過性のあるG色の着色剤(グリーントナー)を収容したグリーン現像装置804Gが動作する。Bフィルターパターン形成の場合は光透過性のあるB色の着色剤(ブルートナー)を収容したブルー現像装置804Bが動作する。   Then, the formation of the color filter by the above-described electrophotographic process of charging, exposure, development, primary transfer, and cleaning is executed for the G filter pattern and the B filter pattern. In the case of forming a G filter pattern, a green developing device 804G that contains a light-transmitting G colorant (green toner) operates. In the case of forming a B filter pattern, a blue developing device 804B that contains a light-transmitting B colorant (blue toner) operates.

これにより、中間転写ドラム805の表面に、全画素のRGB各色のフィルターパターンに対応する、レッドトナー像、グリーントナー像、ブルートナー像が形成される。   As a result, a red toner image, a green toner image, and a blue toner image corresponding to the RGB color filter patterns of all pixels are formed on the surface of the intermediate transfer drum 805.

そして、この中間転写ドラム805から発光アレイTFTモジュールAの感光層31に対して、図10に示すように、レッドトナー像tr、グリーントナー像tg、ブルートナー像tbが、透明導電層30に印加した電圧の電界により二次転写される。この二次転写は、全画素の発光サブピクセル、G発光サブピクセル、B発光サブピクセルの発光素子に対して、レッドトナー像tr、グリーントナー像tg、ブルートナー像tbが対応するようにレジストされてなされる。   Then, a red toner image tr, a green toner image tg, and a blue toner image tb are applied to the transparent conductive layer 30 from the intermediate transfer drum 805 to the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A as shown in FIG. Secondary transfer is performed by the electric field of the applied voltage. This secondary transfer is registered so that the red toner image tr, the green toner image tg, and the blue toner image tb correspond to the light emitting elements of the light emitting subpixel, the G light emitting subpixel, and the B light emitting subpixel of all pixels. It is done.

そして、発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に二次転写されたレッドトナー像tr、グリーントナー像tg、ブルートナー像tbを定着手段により定着する。定着は、実施例1におけるブラックマトリクス33の定着(図7)と同様の方法でなされる。即ち、例えば、130℃の加熱下で、表面に離型層を持つゴムローラ等の定着ローラによりトナー像を感光層31の表面に加圧溶融して平滑化すると共に感光層31の表面に定着させる。トナー表面の平滑化により、フィルター光学特性が維持される。この平滑化されて定着されたレッドトナー像tr、グリーントナー像tg、ブルートナー像tbがそれぞれRGBのカラーフィルター32r・32g・32bとなる。   Then, the red toner image tr, the green toner image tg, and the blue toner image tb that are secondarily transferred onto the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A are fixed by a fixing unit. Fixing is performed by the same method as the fixing of the black matrix 33 in the first embodiment (FIG. 7). That is, for example, under heating at 130 ° C., the toner image is pressed and melted on the surface of the photosensitive layer 31 by a fixing roller such as a rubber roller having a release layer on the surface, and is smoothed and fixed on the surface of the photosensitive layer 31. . Filter optical characteristics are maintained by smoothing the toner surface. The smoothed and fixed red toner image tr, green toner image tg, and blue toner image tb become RGB color filters 32r, 32g, and 32b, respectively.

次に、上記のように、カラーフィルター32r・32g・32bを先に形成した発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に対してブラックマトリクス33を形成する。その形成方法は、実施例1に示したブラックマトリクス形成方法の工程I〜IVと同様である。   Next, as described above, the black matrix 33 is formed on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A in which the color filters 32r, 32g, and 32b have been previously formed. The formation method is the same as steps I to IV of the black matrix formation method shown in the first embodiment.

即ち、図11(工程I)に示すように、カラーフィルター32r・32g・32bを先に形成した発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面を一様に帯電する。   That is, as shown in FIG. 11 (step I), the surface of the photosensitive layer 31 of the light-emitting array TFT module A in which the color filters 32r, 32g, and 32b are previously formed is uniformly charged.

次に、図12(工程II)に示すように、全画素の発光サブピクセル、G発光サブピクセル、B発光サブピクセルの各サブピクセルに対応の発光素子をすべて駆動する。そうすると、カラーフィルター32r・32g・32b部分の表面電位はほぼ0Vとなる。サブピクセルとサブピクセルの間、即ちブラックマトリクス33に対応する感光層部分は露光されないので−500Vの表面電位を保っている。これにより、ブラックマトリクスパターンに対応して約500Vのコントラストを有する電荷密度の分布パターン、即ちブラックマトリクスパターンの静電潜像41が得られる。   Next, as shown in FIG. 12 (process II), all the light emitting elements corresponding to the light emitting subpixels, G light emitting subpixels, and B light emitting subpixels of all pixels are driven. As a result, the surface potentials of the color filters 32r, 32g, and 32b become approximately 0V. Since the photosensitive layer portion corresponding to the black matrix 33 is not exposed between the subpixels, that is, the black matrix 33, the surface potential is kept at -500V. As a result, a charge density distribution pattern having a contrast of about 500 V corresponding to the black matrix pattern, that is, the electrostatic latent image 41 of the black matrix pattern is obtained.

次に、図12(工程III)に示すように、工程IIの露光プロセスによって形成された静電潜像41を、現像器により遮光性の着色剤としてのブラックトナーtにてブラックマトリックス33として正規現像する。   Next, as shown in FIG. 12 (step III), the electrostatic latent image 41 formed by the exposure process of step II is regularly formed as a black matrix 33 with black toner t as a light-shielding colorant by a developing device. develop.

次に、図14(工程IV)に示すように、工程IIIで形成された未定着のブラックマトリックス33を定着手段により加熱加圧して感光層31の表面に定着させる。   Next, as shown in FIG. 14 (step IV), the unfixed black matrix 33 formed in step III is heated and pressurized by the fixing means to be fixed on the surface of the photosensitive layer 31.

そして、最終工程として、定着処理されたフィルター層(カラーフィルター32r・32g・32bとブラックマトリックス33)の上層にポリカーボネイトを主成分とした透明保護層34を形成して、フラットパネルデバイス100が完成する。   Then, as a final step, the transparent protective layer 34 mainly composed of polycarbonate is formed on the upper layer of the filter layer (color filters 32r, 32g, 32b and the black matrix 33) subjected to the fixing process, and the flat panel device 100 is completed. .

上記の実施例2の方法でブラックマトリックスを形成することにより、以下のa)やb)のような効果がある。   By forming the black matrix by the method of Example 2 described above, there are the following effects a) and b).

a)少なくともブラックマトリックスはズレない。   a) At least the black matrix is not misaligned.

b)カラーフィルターが多少ズレていても、ブラックマトリックスが正確に形成されているため、カラーフィルターのズレをある程度補正できる。   b) Even if the color filter is slightly misaligned, the color matrix misalignment can be corrected to some extent because the black matrix is accurately formed.

本実施例においては、発光アレイTFTモジュールAの感光層31の表面に、先に形成するRGBのカラーフィルター32r・32g・32bを、中間転写体を用いた転写式電子写真方式を用いたけれども、これに限られるものではない。   In this embodiment, although the transfer type electrophotographic method using the intermediate transfer member is used for the RGB color filters 32r, 32g, and 32b formed on the surface of the photosensitive layer 31 of the light emitting array TFT module A, It is not limited to this.

実施例1におけるフラットパネルディスプレイの層構成を説明する断面模式図Cross-sectional schematic diagram illustrating the layer configuration of the flat panel display in Example 1 実施例1におけるフラットパネルディスプレイの製造方法の工程ブロック図Process block diagram of the manufacturing method of the flat panel display in Example 1 実施例1におけるフィルター層の形成順序を説明する工程ブロック図Process block diagram explaining the formation order of the filter layer in Example 1 実施例1におけるブラックマトリックス形成方法の工程I(一様帯電工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating step I (uniform charging step) of the black matrix forming method in the first embodiment. 実施例1におけるブラックマトリックス形成方法の工程II(露光工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating Step II (exposure step) of the black matrix forming method in Example 1 実施例1におけるブラックマトリックス形成方法の工程III(正規現像工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating Step III (regular development step) of the black matrix forming method in Example 1 実施例1におけるブラックマトリックス形成方法の工程IV(定着工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating Step IV (fixing step) of the black matrix forming method in Example 1 実施例1におけるカラーフィルターの形成方法を説明する模式図Schematic diagram illustrating a method of forming a color filter in Example 1 実施例2におけるカラーフィルター形成装置の概略図Schematic of the color filter forming apparatus in Example 2 中間転写ドラムから発光アレイTFTモジュールの感光層表面へのレッドトナー像、グリーントナー像、ブルートナー像の二次転写を説明する模式図Schematic diagram illustrating secondary transfer of red toner image, green toner image, and blue toner image from the intermediate transfer drum to the photosensitive layer surface of the light emitting array TFT module 実施例2におけるブラックマトリックス形成方法の工程I(一様帯電工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating Step I (Uniform Charging Step) of the black matrix forming method in Example 2 実施例2におけるブラックマトリックス形成方法の工程II(露光工程)を説明する模式図Schematic explaining Step II (exposure step) of the black matrix forming method in Example 2 実施例2におけるブラックマトリックス形成方法の工程III(正規現像工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating step III (regular development step) of the black matrix forming method in Example 2 実施例2におけるブラックマトリックス形成方法の工程IV(定着工程)を説明する模式図Schematic diagram illustrating Step IV (fixing step) of the black matrix forming method in Example 2

符号の説明Explanation of symbols

A・・発光アレイTFTモジュール、B・・単色発光TFTアレイ部、C・・感光層部、D・・フィルター部、32r・・Rフィルター着色パターン、32g・・Gフィルター着色パターン、32b・・Bフィルター着色パターン、33・・ブラックマトリクスパターン、31・・感光層、45・・コロナ帯電器、20・・有機EL層、500・・現像スリーブ、600・・定着ローラ、700・・RGBノズルヘッド   A ... Light emitting array TFT module, B ... Monochromatic light emitting TFT array part, C ... Photosensitive layer part, D ... Filter part, 32r ... R filter coloring pattern, 32g ... G filter coloring pattern, 32b ... B Filter coloring pattern, 33 ... Black matrix pattern, 31 ... Photosensitive layer, 45 ... Corona charger, 20 ... Organic EL layer, 500 ... Development sleeve, 600 ... Fixing roller, 700 ... RGB nozzle head

Claims (7)

発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイにおけるブラックマトリクスの形成方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程、
を有することを特徴とするブラックマトリクスの形成方法。
A filter having a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix, a color filter serving as a pixel portion provided on the light extraction side of the self-luminous panel device, and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion A method of forming a black matrix in a full-color flat panel display using a method,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) A step of forming a black matrix with a colorant by electrophotography using light of a light emitting element of the self light emitting panel device on the photosensitive layer of the self light emitting panel device prepared in the step 1),
A method for forming a black matrix, comprising:
前記電子写真方式は、感光層の表面を一様に帯電する帯電工程と、前記帯電後に自発光型パネルデバイスの発光素子を発光させて感光層を内側から露光する露光工程と、前記露光後の感光層の表面を、前記帯電工程で帯電した電荷の極性とは逆極性に帯電した着色剤により正規現像して感光層の非露光部を現像する現像工程と、前記着色剤による現像像を定着する定着工程と、を有することを特徴とする請求項1に記載のブラックマトリクスの形成方法。   The electrophotographic method includes a charging step for uniformly charging the surface of the photosensitive layer, an exposure step for exposing the photosensitive layer from the inside by emitting light from a light emitting element of the self-luminous panel device after the charging, and a post-exposure step. A development process in which the surface of the photosensitive layer is normally developed with a colorant charged to a polarity opposite to the polarity of the charge charged in the charging process to develop a non-exposed portion of the photosensitive layer, and a developed image by the colorant is fixed. The method for forming a black matrix according to claim 1, further comprising: a fixing step. 発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイの製造方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程と、
3)前記2)の工程で作成されたブラックマトリクスをバンクとして利用して、インクジェット法によりカラーフィルター用インクを前記バンクの内側に流し込むことによりカラーフィルターを形成する工程と、
を有することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
A filter having a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix, a color filter serving as a pixel portion provided on the light extraction side of the self-luminous panel device, and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion A method for manufacturing a full-color flat panel display using a method,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) A step of forming a black matrix with a colorant by electrophotography using light of a light-emitting element of the self-luminous panel device on the photosensitive layer of the self-luminous panel device created in the step 1);
3) Using the black matrix created in the step 2) as a bank, forming a color filter by pouring the color filter ink into the bank by an inkjet method;
A method for producing a flat panel display, comprising:
前記電子写真方式は、感光層の表面を一様に帯電する帯電工程と、前記帯電後に自発光型パネルデバイスの発光素子を発光させて感光層を内側から露光する露光工程と、前記露光後の感光層の表面を、前記帯電工程で帯電した電荷の極性とは逆極性に帯電した着色剤により正規現像して感光層の非露光部を現像する現像工程と、前記着色剤による現像像を定着する定着工程と、を有することを特徴とする請求項1に記載のブラックマトリクスの形成方法。   The electrophotographic method includes a charging step for uniformly charging the surface of the photosensitive layer, an exposure step for exposing the photosensitive layer from the inside by emitting light from a light emitting element of the self-luminous panel device after the charging, and a post-exposure step. A development process in which the surface of the photosensitive layer is normally developed with a colorant charged to a polarity opposite to the polarity of the charge charged in the charging process to develop a non-exposed portion of the photosensitive layer, and a developed image by the colorant is fixed. The black matrix forming method according to claim 1, further comprising a fixing step. 発光素子マトリックスとしての自発光型パネルデバイスと、この自発光型パネルデバイスの光取り出し側に設けられた画素部となるカラーフィルター及び各画素部の境界部に設けられたブラックマトリクスとを有する、フィルター法を用いたフルカラー表示のフラットパネルディスプレイの製造方法であって、
1)光取り出し側に感光層を具備させた自発光型パネルデバイスを作成する工程と、
2)前記1)の工程で作成された自発光型パネルデバイスの感光層の上に、カラーフィルターを形成する工程と、
3)前記2)の工程で作成された、カラーフィルターを有する自発光型パネルデバイスのる感光層の上に、自発光型パネルデバイスの発光素子の光を用いて電子写真方式で着色剤によるブラックマトリクスを作る工程と、
を有することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
A filter having a self-luminous panel device as a light-emitting element matrix, a color filter serving as a pixel portion provided on the light extraction side of the self-luminous panel device, and a black matrix provided at a boundary portion of each pixel portion A method for manufacturing a full-color flat panel display using a method,
1) creating a self-luminous panel device having a photosensitive layer on the light extraction side;
2) a step of forming a color filter on the photosensitive layer of the self-luminous panel device prepared in the step 1);
3) On the photosensitive layer of the self-luminous panel device having a color filter prepared in the above step 2), black with a colorant by electrophotography using light of the light-emitting element of the self-luminous panel device. The process of creating a matrix;
A method for producing a flat panel display, comprising:
前記カラーフィルターの形成が転写式電子写真方式でなされることを特徴とする請求項5に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。   6. The method of manufacturing a flat panel display according to claim 5, wherein the color filter is formed by a transfer type electrophotographic system. 前記カラーフィルターを有する自発光型パネルデバイスの感光層の上にブラックマトリクスを作る電子写真方式は、感光層の表面を一様に帯電する帯電工程と、前記帯電後に自発光型パネルデバイスの発光素子を発光させて感光層を内側から露光する露光工程と、前記露光後の感光層の表面を、前記帯電工程で帯電した電荷の極性とは逆極性に帯電した着色剤により正規現像して感光層の非露光部を現像する現像工程と、前記着色剤による現像像を定着する定着工程と、を有することを特徴とする請求項5又は6に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。   An electrophotographic method for forming a black matrix on a photosensitive layer of a self-luminous panel device having the color filter includes a charging step for uniformly charging the surface of the photosensitive layer, and a light-emitting element of the self-luminous panel device after the charging And exposing the surface of the photosensitive layer from the inside, and the surface of the photosensitive layer after the exposure is normally developed with a colorant charged to a polarity opposite to the polarity of the charge charged in the charging step. The method for producing a flat panel display according to claim 5, further comprising: a developing step for developing the non-exposed portion of the film, and a fixing step for fixing the developed image with the colorant.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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