JP2009115678A - Semiconductor testing apparatus - Google Patents

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connector
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semiconductor test
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Masayuki Fujiwara
雅之 藤原
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor testing apparatus for using effectively merits of a fixed-type connector and a floating connector, as to the connectors used in a mother board portion. <P>SOLUTION: This semiconductor testing apparatus, provided with a measuring module substrate connector-connected to the connector provided in the mother board, is provided with the mother board provided with the fixed-type connectors of prescribed number, a prescribed number of attaching panels provided respectively with the floating connectors; a plate-like template provided between the mother board and the attaching panels, the first positioning means provided in the template and the mother board; the second positioning means provided in the template and the attaching panels; and the third positioning means provided in the template and the measuring module substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、測定対象のアプリケーション毎に最適な測定モジュール基板を任意のスロットに実装することのできるユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置に関するものである。
更に詳述すれば、マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタの利点を有効に利用できる半導体試験装置に関するものである。
The present invention relates to a universal slot type semiconductor test apparatus capable of mounting an optimal measurement module board in an arbitrary slot for each application to be measured.
More specifically, the present invention relates to a semiconductor test apparatus that can effectively use the advantages of a fixed connector and a floating connector attached to a connector used in a mother board portion.

半導体試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。   Prior art documents related to semiconductor test equipment include the following.

特開平08−062288号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-062288

図5は従来より一般に使用されている従来例の要部構成斜視説明図である。
図において、測定モジュール基板1には、測定モジュール基板側の固定式コネクタ2aが取付けられている。
マザーボード3には、マザーボード側の固定式コネクタ2bが取付けられている。
測定モジュール基板側の固定式コネクタ2aとマザーボード側の固定式コネクタ2bとにより、固定式コネクタユニット2が構成される。
FIG. 5 is an explanatory perspective view of the main part of a conventional example that is generally used.
In the figure, a fixed connector 2 a on the measurement module substrate side is attached to the measurement module substrate 1.
A fixed connector 2b on the motherboard side is attached to the motherboard 3.
The fixed connector unit 2 is constituted by the fixed connector 2a on the measurement module substrate side and the fixed connector 2b on the motherboard side.

以上の構成において、固定式コネクタ2bに固定式コネクタ2aが、コネクタ接続される。
プリント基板3に実装される固定式のコネクタ2は、コスト面や量産性の良さから、制御信号や高速の同期クロック信号、デジタル化した測定データを流す各測定モジュールに共通のバスラインに好適である。
In the above configuration, the fixed connector 2a is connected to the fixed connector 2b.
The fixed connector 2 mounted on the printed circuit board 3 is suitable for a bus line common to each measurement module for flowing control signals, high-speed synchronous clock signals, and digitized measurement data because of its cost and mass productivity. is there.

図5は従来より一般に使用されている他の従来例の要部構成斜視説明図である。
図において、測定モジュール基板1には、測定モジュール基板側のフローティングコネクタ4aが取付けられている。
コネクタ取り付けパネル5には、パネル側のフローティングコネクタ4bが取付けられている。
FIG. 5 is a perspective view showing the construction of the main part of another conventional example that is generally used.
In the figure, a floating connector 4 a on the measurement module substrate side is attached to the measurement module substrate 1.
A panel-side floating connector 4 b is attached to the connector attachment panel 5.

測定モジュール基板側のフローティングコネクタ4aとコネクタ取り付けパネル側のフローティングコネクタ4bとにより、フローティングコネクタユニット4が構成される。
フローティングコネクタ4は、ガタをもたせた保持部品によりパネル5に固定され、可動(フローティング動作)することが出来るコネクタである。
The floating connector unit 4 is constituted by the floating connector 4a on the measurement module substrate side and the floating connector 4b on the connector mounting panel side.
The floating connector 4 is a connector that can be fixed and movable (floating operation) by being fixed to the panel 5 by a holding part having a backlash.

以上の構成において、フローティングコネクタ4bにフローティングコネクタ4aが、コネクタ接続される。
高密度実装のため、狭ピッチコネクタを基板の両面に実装することが要求される場合において、基板の厚みのコントロールは難しい。
In the above configuration, the floating connector 4a is connected to the floating connector 4b.
Due to the high density mounting, it is difficult to control the thickness of the board when it is required to mount narrow pitch connectors on both sides of the board.

よって両面に狭ピッチコネクタを実装すると表裏のコネクタの相対的な実装位置精度が、コネクタの嵌合保証ズレ量を超えることもあり得る。
そのためには、フローティング機構を持ったフローティングコネクタ4が有利になる。
Therefore, when a narrow pitch connector is mounted on both sides, the relative mounting position accuracy of the front and back connectors may exceed the amount of guaranteed connector fitting.
For this purpose, the floating connector 4 having a floating mechanism is advantageous.

このような装置においては、以下の間題点がある。
1枚のマザーボードに複数スロット分のコネクタを実装するバスラインに適した固定式コネクタと、測定モジュール基板の両面実装に適したフローティングコネクタを1枚の測定モジュール基板に混在させることはコスト高となる。
Such an apparatus has the following problems.
It is expensive to mix a fixed connector suitable for a bus line for mounting connectors for a plurality of slots on one motherboard and a floating connector suitable for double-side mounting of a measurement module board on one measurement module board. .

マザーボード上にフローティング機構を組み付ければよいが、モジュールを頻繁に入れ替えることを目的とするユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置では現実的ではなく、スロットごとに独立したパネルにコネクタを実装する機構が望ましく、独立したパネルにすると、今度は、バスラインを有するマザーボード基板の構成が複雑になり、バスラインを実現するのにコスト高となる。   A floating mechanism may be assembled on the motherboard, but it is not realistic in a universal slot specification semiconductor test device for the purpose of frequently changing modules, and a mechanism for mounting a connector on an independent panel for each slot is desirable. If an independent panel is used, this time, the configuration of the mother board having the bus line becomes complicated, and the cost for realizing the bus line becomes high.

本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、
ユニバーサルスロット仕様の半導体試験装置において、固定式コネクタを採用した各モジュール共通のバスラインと、フローティングコネクタを使用した個別に独立したパネルとを設けて、マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタの利点を有効に利用できる半導体試験装置を提供することにある。
The object of the present invention is to solve the above problems.
In a universal slot specification semiconductor test equipment, a fixed bus connector common bus line and an independent panel using a floating connector are provided, and attached to the connector used on the motherboard, and fixed. It is an object of the present invention to provide a semiconductor test apparatus that can effectively use the advantages of the connector and the floating connector.

このような課題を達成するために、本発明では、請求項1の半導体試験装置においては、
マザーボードに設けられたコネクタにコネクタ接続される測定モジュール基板を具備する半導体試験装置において、所定数の固定式コネクタが設けられたマザーボードと、フローティングコネクタがそれぞれ設けられた所定数の取付けパネルと、前記マザーボードと前記取付けパネルとの間に設けられた板状のテンプレートと、このテンプレートと前記マザーボードとに設けられた第1の位置出し手段と、前記テンプレートと前記取付けパネルとに設けられた第2の位置出し手段と、前記テンプレートと前記測定モジュール基板とに設けられた第3の位置出し手段とを具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a problem, in the present invention, in the semiconductor test apparatus of claim 1,
In a semiconductor test apparatus comprising a measurement module substrate connected to a connector provided on a motherboard, a mother board provided with a predetermined number of fixed connectors, a predetermined number of mounting panels each provided with a floating connector, A plate-shaped template provided between the mother board and the mounting panel, first positioning means provided on the template and the mother board, and a second template provided on the template and the mounting panel. It is characterized by comprising positioning means, and third positioning means provided on the template and the measurement module substrate.

本発明の請求項2の半導体試験装置においては、請求項1記載の半導体試験装置において、
前記第1の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第1の位置出しピンと、前記マザーボードに設けられ前記第1の位置出しピンが挿入される第1の位置出し孔とを具備したことを特徴とする。
In the semiconductor test apparatus according to claim 2 of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to claim 1,
The first positioning means includes a first positioning pin provided in the template and a first positioning hole provided in the motherboard and into which the first positioning pin is inserted. Features.

本発明の請求項3の半導体試験装置においては、請求項1又は請求項2記載の半導体試験装置において、
前記第2の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第2の位置出しピンと、前記取付けパネルに設けられ前記第2の位置出しピンが挿入される第2の位置出し孔とを具備したことを特徴とする。
In the semiconductor test apparatus according to claim 3 of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to claim 1 or 2,
The second positioning means includes a second positioning pin provided in the template, and a second positioning hole provided in the mounting panel and into which the second positioning pin is inserted. It is characterized by.

本発明の請求項4の半導体試験装置においては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記第3の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられたパイロットピンと、前記測定モジュール基板に設けられ前記パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットとを具備したことを特徴とする。
In a semiconductor test apparatus according to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to any one of the first to third aspects,
The third positioning means includes a pilot pin provided on the template and a pilot pin socket provided on the measurement module board and into which the pilot pin is inserted.

本発明の請求項5の半導体試験装置においては、請求項1乃至請求項4の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記テンプレートは、前記マザーボードが中央部に配置されリング状に構成されたことを特徴とする。
In a semiconductor test apparatus according to a fifth aspect of the present invention, in the semiconductor test apparatus according to any one of the first to fourth aspects,
The template is characterized in that the mother board is arranged in a central portion and configured in a ring shape.

本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
マザーボード部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタとフローティングコネクタとを使い分けて、固定式コネクタとフローティングコネクタとの利点を有効に利用できる半導体試験装置が得られる。
According to claim 1 of the present invention, there are the following effects.
A semiconductor test apparatus capable of effectively utilizing the advantages of the fixed connector and the floating connector is obtained by using the fixed connector and the floating connector separately for the connector used for the mother board portion.

独立した取り付けパネルを、それぞれ位置出しするための第2の位置出し手段をテンプレートと取り付けパネルに用意したので、フローティングコネクタのフローティング動作の基準点(あるいは中心点)の位置は精度良く決定できて、フローティングコネクタの限られたフローティング量を有効に使うことができる半導体試験装置が得られる。   Since the second positioning means for positioning each independent mounting panel is prepared in the template and the mounting panel, the position of the reference point (or center point) of the floating operation of the floating connector can be accurately determined, A semiconductor test apparatus capable of effectively using the limited floating amount of the floating connector is obtained.

一般に全体の基準位置から離れた部品間に介在する部品点数が多いほど公差の累積により位置精度が悪くなるが、マザーボードと全体の位置出しの基準となるテンプレートとマザーボードとに直接第1の位置出し手段が設けられたので、公差の累積が少なくできる半導体試験装置が得られる。   In general, the greater the number of parts interposed between parts away from the overall reference position, the worse the positional accuracy due to the accumulation of tolerances. Since the means is provided, a semiconductor test apparatus that can reduce the accumulation of tolerances can be obtained.

測定モジュール基板と全体の位置出しの基準となるテンプレートとに第3の位置出し手段が設けられたので、マザーボード側と測定モジュール基板側の位置出し精度が向上できる半導体試験装置が得られる。   Since the third positioning means is provided on the measurement module substrate and the template serving as a reference for overall positioning, a semiconductor test apparatus capable of improving positioning accuracy on the mother board side and the measurement module substrate side is obtained.

本発明の請求項2によれば、次のような効果がある。
第1の位置出し手段は、テンプレートに設けられた第1の位置出しピンと、マザーボードに設けられ、第1の位置出しピンが挿入される第1の位置出し孔とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
According to claim 2 of the present invention, there are the following effects.
The first positioning means is provided with a first positioning pin provided in the template and a first positioning hole provided in the mother board and into which the first positioning pin is inserted. A simple and inexpensive semiconductor test apparatus can be obtained.

本発明の請求項3によれば、次のような効果がある。
第2の位置出し手段は、テンプレートに設けられた第2の位置出しピンと、取付けパネルに設けられ、第2の位置出しピンが挿入される第2の位置出し孔とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。
According to claim 3 of the present invention, there are the following effects.
The second positioning means includes a second positioning pin provided in the template and a second positioning hole provided in the mounting panel and into which the second positioning pin is inserted. Therefore, an inexpensive semiconductor test apparatus can be obtained.

本発明の請求項4によれば、次のような効果がある。
第3の位置出し手段は、テンプレートに設けられたパイロットピンと、測定モジュール基板に設けられ、パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットとが設けられたので、位置出し固定までの距離間隔が長い、テンプレートと測定モジュール基板間の位置決めを確実にできる半導体試験装置が得られる。
According to claim 4 of the present invention, there are the following effects.
The third positioning means is provided with a pilot pin provided on the template and a pilot pin socket provided on the measurement module substrate and into which the pilot pin is inserted, so that the distance interval until positioning is fixed is long. And a semiconductor test apparatus capable of reliably positioning the measurement module substrate.

本発明の請求項5によれば、次のような効果がある。
テンプレートは、マザーボードが中央部に配置されリング状をなすので、マザーボードを中心にして周囲に多数の取り付けパネルを配置できる半導体試験装置が得られる。
According to claim 5 of the present invention, there are the following effects.
Since the motherboard has a ring shape with the mother board arranged at the center, a semiconductor test apparatus capable of arranging a large number of mounting panels around the mother board is obtained.

以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の要部側面図である。
図において、図5,図6と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図5,図6との相違部分のみ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is an explanatory view of the main part configuration of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the main part of FIG.
In the figure, configurations with the same symbols as in FIGS. 5 and 6 represent the same functions.
Only the differences from FIGS. 5 and 6 will be described below.

図1,図2において、測定モジュール基板11は、マザーボード12に設けられたコネクタにコネクタ接続される。
マザーボード12は、所定数のマザーボード側の固定式コネクタ131が設けられている。
所定数の取付けパネル14は、一個の取付けパネル側のフローティングコネクタ151がそれぞれ設けられている。
1 and 2, the measurement module substrate 11 is connected to a connector provided on the mother board 12.
The motherboard 12 is provided with a predetermined number of fixed connectors 131 on the motherboard side.
Each of the predetermined number of mounting panels 14 is provided with one floating connector 151 on the side of the mounting panel.

なお、測定モジュール基板11には、測定モジュール基板側の固定式コネクタ132とフローティングコネクタ152とが設けられている。
マザーボード側の固定式コネクタ131と測定モジュール基板側の固定式コネクタ132とで、1個の固定式コネクタユニット13が形成されている。
The measurement module board 11 is provided with a fixed connector 132 and a floating connector 152 on the measurement module board side.
One fixed connector unit 13 is formed by the fixed connector 131 on the motherboard side and the fixed connector 132 on the measurement module substrate side.

パネル側のフローティングコネクタ151と測定モジュール基板側のフローティングコネクタ152とで、1個のフローティングコネクタユニット15が形成されている。
板状のテンプレート16は、マザーボード12と取付けパネル14との間に設けられている。
One floating connector unit 15 is formed by the floating connector 151 on the panel side and the floating connector 152 on the measurement module substrate side.
The plate-shaped template 16 is provided between the mother board 12 and the mounting panel 14.

第1の位置出し手段17は、テンプレート16とマザーボード12とに設けられている。
この場合は、第1の位置出し手段17は、テンプレート16に設けられた第1の位置出しピン171と、マザーボード12に設けられ、第1の位置出しピン171が挿入される第1の位置出し孔172とを有する。
The first positioning means 17 is provided on the template 16 and the mother board 12.
In this case, the first positioning means 17 includes a first positioning pin 171 provided on the template 16 and a first positioning pin 171 provided on the mother board 12 into which the first positioning pin 171 is inserted. Hole 172.

第2の位置出し手段18は、テンプレート16と取付けパネル14とに設けられている。
この場合は、第2の位置出し手段18は、テンプレート16に設けられた第2の位置出しピン181と、取付けパネル14に設けられ、第2の位置出しピン181が挿入される第2の位置出し孔182とを有する。
The second positioning means 18 is provided on the template 16 and the mounting panel 14.
In this case, the second positioning means 18 includes a second positioning pin 181 provided on the template 16 and a second position provided on the mounting panel 14 and into which the second positioning pin 181 is inserted. And an outlet hole 182.

第3の位置出し手段19は、テンプレート16と測定モジュール基板11とに設けられている。
この場合は、第3の位置出し手段19は、テンプレート16に設けられたパイロットピン191と、測定モジュール基板11に設けられ、パイロットピン191が挿入されるパイロットピンソケット192とを有する。
The third positioning means 19 is provided on the template 16 and the measurement module substrate 11.
In this case, the third positioning means 19 has a pilot pin 191 provided on the template 16 and a pilot pin socket 192 provided on the measurement module substrate 11 and into which the pilot pin 191 is inserted.

以上の構成において、図2に示す如く、測定モジュール基板11は矢印A方向に、マザーボード12に対してコネクタ接続の抜き挿しを行う。   In the above configuration, as shown in FIG. 2, the measurement module substrate 11 inserts and removes the connector connection with respect to the mother board 12 in the arrow A direction.

この結果、マザーボード12の部分に使用されるコネクタに付いて、固定式コネクタ13とフローティングコネクタ15とを使い分けて、固定式コネクタ13とフローティングコネクタ15との利点を有効に利用できる半導体試験装置が得られる。   As a result, there is obtained a semiconductor test apparatus that can effectively use the advantages of the fixed connector 13 and the floating connector 15 by using the fixed connector 13 and the floating connector 15 separately on the connector used for the mother board 12 portion. It is done.

独立した取り付けパネル14を、それぞれ位置出しするための第2の位置出し手段18をテンプレート16と取り付けパネル14に用意したので、フローティングコネクタ15のフローティング動作の基準点(あるいは中心点)の位置は精度良く決定できて、フローティングコネクタ15の限られたフローティング量を有効に使うことができる半導体試験装置が得られる。   Since the second positioning means 18 for positioning the independent mounting panels 14 is prepared in the template 16 and the mounting panel 14, the position of the reference point (or center point) of the floating operation of the floating connector 15 is accurate. A semiconductor test apparatus that can be determined well and can effectively use the limited floating amount of the floating connector 15 is obtained.

一般に全体の基準位置から離れた部品間に介在する部品点数が多いほど公差の累積により位置精度が悪くなるが、マザーボード12と全体の位置出しの基準となるテンプレート16とに直接第1の位置出し手段17が設けられたので、公差の累積が少なくできる半導体試験装置が得られる。   In general, the greater the number of parts interposed between parts away from the overall reference position, the worse the positional accuracy due to the accumulation of tolerances. Since the means 17 is provided, a semiconductor test apparatus capable of reducing the accumulation of tolerances can be obtained.

測定モジュール基板11と全体の位置出しの基準となるテンプレート16とに第3の位置出し手段19が設けられたので、マザーボード12の側と測定モジュール基板11の側の位置出し精度が向上できる半導体試験装置が得られる。   Since the third positioning means 19 is provided on the measurement module substrate 11 and the template 16 serving as a reference for the entire positioning, a semiconductor test capable of improving positioning accuracy on the mother board 12 side and the measurement module substrate 11 side. A device is obtained.

第1の位置出し手段17は、テンプレート16に設けられた第1の位置出しピン171と、マザーボード12に設けられ、第1の位置出しピン171が挿入される第1の位置出し孔172とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。   The first positioning means 17 includes a first positioning pin 171 provided in the template 16 and a first positioning hole 172 provided in the mother board 12 and into which the first positioning pin 171 is inserted. Since it is provided, the configuration can be simplified and an inexpensive semiconductor test apparatus can be obtained.

第2の位置出し手段18は、テンプレート16に設けられた第2の位置出しピン181と、取付けパネル14に設けられ、第2の位置出しピン181が挿入される第2の位置出し孔182とが設けられたので、構成が簡単にでき、安価な半導体試験装置が得られる。   The second positioning means 18 includes a second positioning pin 181 provided in the template 16, a second positioning hole 182 provided in the mounting panel 14 and into which the second positioning pin 181 is inserted. Therefore, the configuration can be simplified and an inexpensive semiconductor test apparatus can be obtained.

第3の位置出し手段19は、テンプレート16に設けられたパイロットピン191と、測定モジュール基板11に設けられ、パイロットピン191が挿入されるパイロットピンソケット192とが設けられたので、位置出し固定までの距離間隔が長い、テンプレート16と測定モジュール基板11間の位置決めを確実にできる半導体試験装置が得られる。   The third positioning means 19 is provided with a pilot pin 191 provided on the template 16 and a pilot pin socket 192 into which the pilot pin 191 is inserted. A semiconductor test apparatus capable of reliably positioning the template 16 and the measurement module substrate 11 is obtained.

図3は、本発明の他の実施例の要部構成説明図、図4は図3の要部側面図である。
図3,図4において、テンプレート31は、マザーボード12が中央部に配置されリング状に構成されている。
FIG. 3 is an explanatory view showing the structure of the main part of another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the main part of FIG.
3 and 4, the template 31 is configured in a ring shape with the mother board 12 disposed in the center.

この結果、テンプレート31は、マザーボード12が中央部に配置されリング状をなすので、マザーボード12を中心にして周囲に多数の取り付けパネル14を配置できる半導体試験装置が得られる。   As a result, the template 31 has a ring shape with the mother board 12 arranged at the center, so that a semiconductor test apparatus capable of arranging a large number of mounting panels 14 around the mother board 12 is obtained.

なお、図3,図4では、測定モジュール基板11が図の左右2方向の対向型の例を示したが、上下左右の4方向、あるいは放射状に測定モジュール基板11が配置されても良いことは勿論である。   3 and 4 show examples in which the measurement module substrate 11 is opposed to the left and right two directions in the figure, but the measurement module substrate 11 may be arranged in four directions (up, down, left and right) or radially. Of course.

なお、測定モジュール基板11の実装の際には、測定モジュール基板11の縁を保持するガイドレールを設けることが一般的だが、そのガイドレールの位置出し機構をもテンプレート16,31に実装することができ、さらに、システム全体を覆う筐体との位置関係もテンプレート16,31により決定する構造にすることもできる。   When mounting the measurement module substrate 11, a guide rail that holds the edge of the measurement module substrate 11 is generally provided. However, the guide rail positioning mechanism can also be mounted on the templates 16 and 31. Further, the positional relationship with the casing covering the entire system can be determined by the templates 16 and 31.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

本発明の一実施例の要部構成説明図である。It is principal part structure explanatory drawing of one Example of this invention. 図1の要部側面図である。It is a principal part side view of FIG. 本発明の他の実施例の要部構成説明図である。It is principal part structure explanatory drawing of the other Example of this invention. 図3の要部側面図である。It is a principal part side view of FIG. 従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。It is structure explanatory drawing of the prior art example generally used conventionally. 従来より一般に使用されている他の従来例の構成説明図である。It is composition explanatory drawing of the other conventional example generally used conventionally.

符号の説明Explanation of symbols

1 測定モジュール基板
2 固定式コネクタユニット
2a 測定モジュール基板側の固定式コネクタ
2b マザーボード側の固定式コネクタ
3 マザーボード
4 フローティングコネクタユニット
4a 測定モジュール基板側のフローティングコネクタ
4b パネル側のフローティングコネクタ
5 コネクタ取り付けパネル
11 測定モジュール基板
12 マザーボード
13 固定式コネクタユニット
131 マザーボード側の固定式コネクタ
132 測定モジュール基板側の固定式コネクタ
14 取付けパネル
15 フローティングコネクタユニット
151 パネル側のフローティングコネクタ
152 測定モジュール基板側のフローティングコネクタ
16 テンプレート
17 第1の位置出し手段
171 第1の位置出しピン
172 第1の位置出し孔
18 第2の位置出し手段
181 第2の位置出しピン
182 第2の位置出し孔
19 第3の位置出し手段
191 パイロットピン
192 パイロットピンソケット
31 テンプレート
A 矢印
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Measurement module board 2 Fixed connector unit 2a Fixed connector on the measurement module board side 2b Fixed connector on the motherboard side 3 Motherboard 4 Floating connector unit 4a Floating connector on the measurement module board side 4b Floating connector on the panel side 5 Connector mounting panel 11 Measurement module board 12 Motherboard 13 Fixed connector unit 131 Fixed connector on the motherboard side 132 Fixed connector on the measurement module board side 14 Mounting panel 15 Floating connector unit 151 Floating connector on the panel side 152 Floating connector on the measurement module board side 16 Template 17 First positioning means 171 First positioning pin 172 First positioning hole 8 second positioning means 181 second positioning pin 182 second positioning holes 19 a third positioning means 191 pilot pin 192 pilot pin socket 31 Template A arrow

Claims (5)

マザーボードに設けられたコネクタにコネクタ接続される測定モジュール基板を具備する半導体試験装置において、
所定数の固定式コネクタが設けられたマザーボードと、
フローティングコネクタがそれぞれ設けられた所定数の取付けパネルと、
前記マザーボードと前記取付けパネルとの間に設けられた板状のテンプレートと、
このテンプレートと前記マザーボードとに設けられた第1の位置出し手段と、
前記テンプレートと前記取付けパネルとに設けられた第2の位置出し手段と、
前記テンプレートと前記測定モジュール基板とに設けられた第3の位置出し手段と
を具備したことを特徴とする半導体試験装置。
In a semiconductor test apparatus comprising a measurement module substrate connected to a connector provided on a motherboard,
A motherboard provided with a predetermined number of fixed connectors;
A predetermined number of mounting panels each provided with a floating connector;
A plate-like template provided between the motherboard and the mounting panel;
First positioning means provided on the template and the motherboard;
Second positioning means provided on the template and the mounting panel;
A semiconductor test apparatus comprising: a third positioning unit provided on the template and the measurement module substrate.
前記第1の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第1の位置出しピンと、
前記マザーボードに設けられ前記第1の位置出しピンが挿入される第1の位置出し孔と
を具備したことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。
The first positioning means includes a first positioning pin provided on the template;
The semiconductor testing apparatus according to claim 1, further comprising: a first positioning hole provided in the motherboard and into which the first positioning pin is inserted.
前記第2の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられた第2の位置出しピンと、
前記取付けパネルに設けられ前記第2の位置出しピンが挿入される第2の位置出し孔と
を具備したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体試験装置。
The second positioning means includes a second positioning pin provided in the template;
The semiconductor test apparatus according to claim 1, further comprising: a second positioning hole provided in the mounting panel and into which the second positioning pin is inserted.
前記第3の位置出し手段は、前記テンプレートに設けられたパイロットピンと、
前記測定モジュール基板に設けられ前記パイロットピンが挿入されるパイロットピンソケットと
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の半導体試験装置。
The third positioning means includes a pilot pin provided on the template;
4. The semiconductor test apparatus according to claim 1, further comprising: a pilot pin socket provided on the measurement module substrate and into which the pilot pin is inserted.
前記テンプレートは、前記マザーボードが中央部に配置されリング状に構成されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の半導体試験装置。
The semiconductor test apparatus according to claim 1, wherein the template is configured in a ring shape with the mother board disposed in a central portion.
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