JP2009109287A - Optical unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical unit suppressing maximally generation of aberration even with a simple constitution, and detecting highly accurately an incident angle of a beam. <P>SOLUTION: This unit has: a light source 1; a light receiving element row 3; and a prism 2 for allowing outgoing light from the light source 1 to enter a sample arrangement part 2a<SB>1</SB>, and for guiding totally-reflected light from the sample arrangement part 2a<SB>1</SB>to the light receiving element row 3. The prism has a parabolically-shaped optical surface 2a having the sample arrangement part 2a<SB>1</SB>, and an emission surface 2b from which light entering the optical surface 2a from a focal point P on the parabolically-shaped optical surface 2a and totally reflected by the optical surface 2a is emitted vertically to the outside of the prism 2. Each light receiving element on the light receiving element row 3 is arranged so as to receive vertically the light emitted vertically from the emission surface 2b by the light receiving surface. The unit is configured so that the outgoing light from the light source 1 becomes divergent light diverging around the focal point P on the parabolically-shaped optical surface 2a. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、屈折率や免疫測定値など、試料又は試料中の物質を定量分析する試料分析光学ユニットに関する。   The present invention relates to a sample analysis optical unit that quantitatively analyzes a sample or a substance in the sample such as a refractive index and an immunoassay.

従来、試料分析装置として、試料配置部に対し、全反射する角度を含む所定範囲の入射角を有する光(以下、所定の光とする)を入射させ、該試料配置部からの夫々の入射角に対応した反射光の強度を夫々検出し、検出した強度が急激に変化したときの入射角を検出する装置がある。   Conventionally, as a sample analyzer, light having an incident angle within a predetermined range including a total reflection angle (hereinafter referred to as predetermined light) is incident on a sample placement unit, and each incident angle from the sample placement unit There is a device for detecting the incident angle when the intensity of the reflected light corresponding to each of these is detected and the detected intensity changes abruptly.

このような試料分析装置として、例えば、物質同士の屈折率差を利用して分析を行なう装置がある。この試料分析装置では、屈折率が既知の物質からなる試料配置部に、被検査試料を配置する。そして、この試料配置部の表面に、収束する所定の光を入射させる。すると、全反射臨界角より小さい角度で入射した光は、試料配置部の表面で全反射しなくなる。このときの入射角度を検出することにより、被検査試料の屈折率が求まり、被検出試料の物性が解析できる。   As such a sample analyzer, for example, there is an apparatus for performing analysis using a difference in refractive index between substances. In this sample analyzer, a sample to be inspected is placed in a sample placement portion made of a substance having a known refractive index. Then, predetermined convergent light is made incident on the surface of the sample placement portion. Then, light incident at an angle smaller than the total reflection critical angle is not totally reflected on the surface of the sample placement portion. By detecting the incident angle at this time, the refractive index of the sample to be inspected can be obtained, and the physical properties of the sample to be detected can be analyzed.

また、例えば、表面プラズモンの発生を利用した試料分析装置では、上記試料配置部の表面に金属膜を備えている。そして、試料配置部の金属膜に被検査試料を配置し、この金属膜の表面に、収束する所定の光を入射させる。ここで、臨界角以上の角度の光が入射すると、金属膜と被検査試料との界面において電界分布を有するエバネッセント波が生じる。そして、このエバネッセント波によって、金属膜に表面プラズモンが励起される。そして更に、臨界角以上の角度で入射した光のうち、特定の入射角度で入射した光に関して、エバネッセント波と表面プラズモンとが波数整合を生じて共鳴状態となる。この共鳴状態のときには、光のエネルギーが表面プラズモンに移行する。そのため、特定の入射角度で入射した光では、反射した光の強度が急激に低下する。そこで、この反射した光の強度が急激に低下するときの入射角度を検出することにより、表面プラズモンの波数が求まり、被検出試料の物性が解析できる。   In addition, for example, in a sample analyzer using generation of surface plasmons, a metal film is provided on the surface of the sample placement portion. Then, the sample to be inspected is placed on the metal film of the sample placement portion, and predetermined light that converges is incident on the surface of the metal film. Here, when light having an angle greater than the critical angle is incident, an evanescent wave having an electric field distribution is generated at the interface between the metal film and the sample to be inspected. Then, surface plasmons are excited in the metal film by the evanescent wave. Furthermore, among the light incident at an angle greater than the critical angle, with respect to the light incident at a specific incident angle, the evanescent wave and the surface plasmon are brought into resonance by causing wave number matching. In this resonance state, light energy is transferred to surface plasmons. For this reason, the intensity of the reflected light sharply decreases with light incident at a specific incident angle. Therefore, by detecting the incident angle when the intensity of the reflected light rapidly decreases, the wave number of the surface plasmon can be obtained and the physical properties of the sample to be detected can be analyzed.

表面プラズモンの発生を利用した試料分析装置として、次の特許文献1に記載のものが開示されている。
特許文献1の試料分析装置は、図10に示すように、光源部、レンズ55、透明基板56及び光検出器58で構成されている。光源部は、レーザ光照射装置51、光ファイバー52、コリメーションレンズ53、ミラー54に備わる短冊形状の開口部(図示省略)を有している。特許文献1では、光源部からの平行光P1をレンズ55を介して収束光に変換する。試料(図示省略)が配置される透明基板56の反対側の面には、金属膜57が成膜されている。そして、この金属膜57の表面に収束光が照射される。そして、全反射した光を、レンズ55を介して収集する。収集された光は、光源部からの平行光と逆向きの平行光P2に変換され光検出器58で検出される。
従来、試料分析装置は、この特許文献1に記載の試料分析装置のように、光を検査位置に照射させる際に、光源部からの平行光を、レンズを介して収束光に変換させていた。
特開2005−337940号公報
As a sample analyzer using generation of surface plasmons, the one described in Patent Document 1 below is disclosed.
As shown in FIG. 10, the sample analyzer of Patent Literature 1 includes a light source unit, a lens 55, a transparent substrate 56, and a photodetector 58. The light source unit has a strip-shaped opening (not shown) provided in the laser light irradiation device 51, the optical fiber 52, the collimation lens 53, and the mirror 54. In Patent Document 1, parallel light P <b> 1 from the light source unit is converted into convergent light via a lens 55. A metal film 57 is formed on the opposite surface of the transparent substrate 56 on which the sample (not shown) is arranged. Then, the surface of the metal film 57 is irradiated with convergent light. Then, the totally reflected light is collected through the lens 55. The collected light is converted into parallel light P <b> 2 opposite to the parallel light from the light source unit and detected by the photodetector 58.
Conventionally, the sample analyzer, like the sample analyzer described in Patent Document 1, converts the parallel light from the light source unit into convergent light via a lens when irradiating the inspection position with light. .
JP 2005-337940 A

しかし、特許文献1に記載の試料分析装置では、レンズを介して平行光を収束光に変換させて、収束する所定の光を発生させている。この場合、レンズに収差があると、各光線が光軸と交わる位置および角度が、レンズへの入射位置に応じて理想状態からずれてしまう。   However, in the sample analyzer described in Patent Document 1, parallel light is converted into convergent light via a lens to generate predetermined converged light. In this case, if there is aberration in the lens, the position and angle at which each light ray intersects the optical axis deviates from the ideal state depending on the incident position on the lens.

例えば、レンズに収差がない場合は、レンズに入射する光線の光線高が高くなるにつれて、金属膜57の表面に入射する光線の角度も大きくなる。したがって、入射角が臨界角よりも大きい角度範囲の光線では、必ず全反射が生じる。ところが、レンズに収差がある場合は、レンズに入射する光線の光線高が高くなるにつれて、金属膜57の表面に入射する光線の角度が理想状態の角度よりも大きくなったり、小さくなったりする。そのため、入射角が臨界角よりも大きい角度範囲の光線であっても、全反射が生じたり生じなかったりする。   For example, when there is no aberration in the lens, the angle of the light incident on the surface of the metal film 57 increases as the height of the light incident on the lens increases. Therefore, total reflection always occurs in a light beam having an angle of incidence larger than the critical angle. However, when there is aberration in the lens, the angle of light incident on the surface of the metal film 57 becomes larger or smaller than the ideal angle as the height of light incident on the lens increases. For this reason, even if the incident angle is a light beam having an angle range larger than the critical angle, total reflection may or may not occur.

このため、全反射した光を光検出器で検出しても、入射角を高精度に特定できない。レンズの収差を抑えるためには、収差補正用のレンズを複数枚用いたり、あるいはレンズ面を非球面形状にする必要があるが、それでは、部材点数が増加してスペースが多くとられたり、コスト高になってしまう。   For this reason, even if the totally reflected light is detected by the photodetector, the incident angle cannot be specified with high accuracy. In order to suppress the aberration of the lens, it is necessary to use a plurality of aberration correcting lenses or to make the lens surface aspherical. However, this increases the number of members and takes a lot of space. It becomes high.

また、検出できる入射角の幅を拡げるには、所定の光における入射角の範囲を大きくする必要がある。そのためには、レンズのNAを大きくする必要があるが、レンズのNAを大きくすると収差がさらに大きくなってしまう。その収差を抑えるために、収差補正用のレンズを複数枚用いるか、あるいはレンズ面を非球面形状にするのでは、部材点数がさらに増加して複雑な構成になる。さらにスペースが多くとられるので、コスト高になってしまう。   Further, in order to widen the width of the incident angle that can be detected, it is necessary to increase the range of the incident angle in the predetermined light. For this purpose, it is necessary to increase the NA of the lens. However, increasing the NA of the lens further increases the aberration. In order to suppress the aberration, using a plurality of aberration correcting lenses or making the lens surface an aspherical shape further increases the number of members, resulting in a complicated configuration. In addition, because more space is taken, the cost becomes higher.

本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成でありながら収差の発生を極力抑え、光線の入射角を高精度に検出することが可能な光学ユニットを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and provides an optical unit capable of detecting the incident angle of light with high accuracy while suppressing the generation of aberration as much as possible while having a simple configuration. With the goal.

上記目的を達成するため、本発明による光学ユニットは、光源と、受光素子列と、前記光源からの出射光を前記試料配置部に入射させると共に該試料配置部からの全反射光を前記受光素子列に導くプリズムとを有し、前記プリズムは、前記試料配置部を有する放物形状の光学面と、前記放物形状の光学面の焦点から前記放物形状の光学面に入射し該前記放物形状の光学面で全反射した光を該プリズムの外部に垂直に出射させる出射面を有し、前記受光素子列の各受光素子は、前記出射面から垂直に出射した光を受光面で垂直に受光するように配置され、さらに、前記光源からの出射光が、前記放物形状の光学面の焦点を中心として発散する発散光となるように構成されていることを特徴としている。   In order to achieve the above object, an optical unit according to the present invention includes a light source, a light receiving element array, and light emitted from the light source to be incident on the sample placement unit and totally reflected light from the sample placement unit. A prism that leads to a row, and the prism is incident on the parabolic optical surface from the focal point of the parabolic optical surface and the parabolic optical surface having the sample placement portion. A light emitting surface for emitting light totally reflected by the object-shaped optical surface perpendicularly to the outside of the prism; each light receiving element of the light receiving element array is perpendicular to the light emitted from the light emitting surface by the light receiving surface; Further, the light emitted from the light source is configured to be divergent light that diverges around the focal point of the parabolic optical surface.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記プリズムは、全体が略二分の一のカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、前記出射面が前記放物形状の対称軸に垂直な平面で構成され、さらに、前記放物形状の対称軸を含み該対称軸に平行な平面を有し、前記光源は、発散光を出射し、且つ、前記放物形状の対称軸を含み該対称軸に平行な平面における前記放物形状の光学面の焦点位置に配置されているのが好ましい。   Further, in the optical unit of the present invention, the prism is composed of a transparent member that is formed in a substantially half of the kamaboko shape as a whole, and the exit surface is composed of a plane perpendicular to the parabolic symmetry axis. And having a plane that includes the parabolic symmetry axis and is parallel to the symmetry axis, the light source emits divergent light, and includes the parabolic symmetry axis and is parallel to the symmetry axis. It is preferably arranged at the focal position of the parabolic optical surface in a flat plane.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記プリズムは、さらに、前記放物形状の光学面の焦点を中心とする前記光源からの発散光を垂直に入射させる球面形状の入射面を有するのが好ましい。   In the optical unit according to the aspect of the invention, it is preferable that the prism further includes a spherical incident surface on which divergent light from the light source that is centered on a focal point of the parabolic optical surface is incident vertically. .

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記プリズムは、全体が前記放物形状の光学面の対称軸を中心として、放物線を所定の角度回転させた形状に形成された透明部材で構成され、前記出射面が前記放物形状の対称軸に垂直な平面で構成され、さらに、前記放物形状の光学面の焦点を中心とする前記光源からの出射光を垂直に入射させる球面形状の入射面を有し、前記光源は、発散光を出射し、且つ、前記入射面における前記放物形状の光学面の焦点位置に配置され、前記受光素子列の各受光素子は、2次元方向に配置されているのが好ましい。   Further, in the optical unit of the present invention, the prism is composed of a transparent member formed in a shape obtained by rotating a parabola by a predetermined angle around the symmetry axis of the parabolic optical surface, An exit surface is formed of a plane perpendicular to the parabolic symmetry axis, and further includes a spherical entrance surface for allowing the exit light from the light source to be incident perpendicularly about the focal point of the parabolic optical surface. The light source emits divergent light and is disposed at a focal position of the parabolic optical surface on the incident surface, and each light receiving element of the light receiving element array is disposed in a two-dimensional direction. It is preferable.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記プリズムは、全体が略二分の一のカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、さらに、前記放物形状の対称軸に垂直な面に対して垂直な入射面と、前記放物形状の光学面の焦点位置上方から前記入射面に対し垂直に入射した平行光を発散光に変換して前記放物形状の光学面に偏向する発散光変換手段を有し、前記光源は、平行光を出射し、且つ、出射した該平行光が前記プリズムにおける前記放物形状の光学面の焦点位置上方から前記入射面に対し垂直に入射するように配置されているのが好ましい。   Further, in the optical unit of the present invention, the prism is composed of a transparent member that is formed in a substantially half of the kamaboko shape, and is perpendicular to a plane perpendicular to the parabolic symmetry axis. A divergent light converting means for converting parallel light incident perpendicularly to the incident surface from above the focal position of the incident surface and the parabolic optical surface into divergent light and deflecting the divergent light to the parabolic optical surface; The light source emits parallel light, and the emitted parallel light is arranged so as to be perpendicularly incident on the incident surface from above the focal position of the parabolic optical surface of the prism. It is preferable.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記発散光変換手段は、前記放物形状の光学面の焦点を通り、前記放物形状の対称軸に対して垂直で、且つ、頂点が前記入射面側を向いた円錐形状の孔に反射膜を備えてなる反射面からなるのが好ましい。   In the optical unit of the present invention, the divergent light converting means passes through the focal point of the parabolic optical surface, is perpendicular to the parabolic symmetry axis, and has a vertex at the incident surface side. It is preferable to comprise a reflective surface provided with a reflective film in a conical hole facing the surface.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記プリズムは、全体がカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、さらに、前記放物形状の光学面の対称軸を隔てて前記出射面と同一平面上に設けられた入射面を有し、前記光源は、平行光を出射し、且つ、出射した該平行光が前記プリズムにおける前記入射面に対し垂直に入射するように配置されているのが好ましい。   Further, in the optical unit of the present invention, the prism is composed of a transparent member formed entirely in a kamaboko shape, and further, is coplanar with the emission surface with an axis of symmetry of the parabolic optical surface being separated. It is preferable that the light source emits parallel light and is arranged so that the emitted parallel light is perpendicularly incident on the incident surface of the prism.

また、本発明の光学ユニットにおいては、前記試料配置部に金属膜が蒸着されているのが好ましい。   In the optical unit of the present invention, it is preferable that a metal film is deposited on the sample placement portion.

本発明によれば、低コストで収差を生ずることなく、全反射光の強度が急激に変化する入射角を、高精度に検出することが可能な光学ユニットが得られる。   According to the present invention, it is possible to obtain an optical unit capable of detecting with high accuracy an incident angle at which the intensity of the total reflected light rapidly changes without causing aberration at low cost.

実施形態の説明に先立ち、光学ユニットの基本構成及び作用について、概略的に説明する。
図1は光学ユニットの基本構成を概念的に示すブロック図である。
光学ユニットは、光源1と、プリズム2と、受光素子列3とを有して構成されている。
光源1は、プリズム2の放物形状の光学面2aと向かい合う位置に配置されている。この光源1の位置は、プリズム2の放物形状の光学面2aの焦点位置である。なお、プリズム2の具体的な構成については後述する。この光源1は、発散光を出射させるように構成されている。発散光を出射させることができる構成であれば、光源1は、例えば、光源1にレンズを組合せた構成、あるいは、ファイバーを組合せた構成など、どのような構成でもよい。
Prior to the description of the embodiments, the basic configuration and operation of the optical unit will be schematically described.
FIG. 1 is a block diagram conceptually showing the basic structure of the optical unit.
The optical unit includes a light source 1, a prism 2, and a light receiving element array 3.
The light source 1 is disposed at a position facing the parabolic optical surface 2 a of the prism 2. The position of the light source 1 is the focal position of the parabolic optical surface 2 a of the prism 2. The specific configuration of the prism 2 will be described later. The light source 1 is configured to emit divergent light. As long as the configuration can emit diverging light, the light source 1 may have any configuration such as a configuration combining a lens with the light source 1 or a configuration combining fibers.

受光素子列3は、プリズム2の出射面2bと向かい合う位置に配置されている。また、受光素子列3の各素子は、1つの方向に沿って配置されている。ここで、試料配置部2a1には、発散する所定の光が入射する。この発散する所定の光の各光線は、その入射角が徐々に変化する。受光素子列3の各素子は、この入射角の変化に対応する方向に配置されている。なお、試料配置部2a1は、後述するプリズム2の一部である。また、光学ユニットでは、受光した反射光の強度の変化に基づいて、入射角が検出される。反射光の強度の変化が生じる位置は、受光素子の位置から検出することができる。よって、光源1と受光素子列3は、このような検出ができるように調整されている。 The light receiving element array 3 is disposed at a position facing the emission surface 2 b of the prism 2. Each element of the light receiving element array 3 is arranged along one direction. Here, the diverging predetermined light is incident on the sample placement portion 2a1. The incident angle of each divergent ray of light gradually changes. Each element of the light receiving element array 3 is arranged in a direction corresponding to the change in the incident angle. The sample placement portion 2a 1 is a part of the prism 2 described later. In the optical unit, the incident angle is detected based on the change in the intensity of the received reflected light. The position where the intensity change of the reflected light occurs can be detected from the position of the light receiving element. Therefore, the light source 1 and the light receiving element array 3 are adjusted so that such detection can be performed.

プリズム2は、光源1からの出射光を試料配置部2a1に入射させると共に、試料配置部2a1からの全反射光を受光素子列3に導くように構成されている。詳しくは、プリズム2は、放物形状の光学面2aと、出射面2bを有している。放物形状の光学面2aは、試料配置部2a1を有している。試料配置部2a1は放物形状の光学面2aの一部ということができる。出射面2bは、試料配置部2a1(放物形状の光学面2a)で全反射した光を、プリズム2の外部に出射させるように構成されている。このとき、全反射した光は平行光になっている。そこで、出射面2bは、面の法線が各光線に対して垂直となるような平面とするのが好ましい。なお、プリズム2において、光源1と向かい合う面は入射面となる。この入射面は、面の法線が各光線に対して垂直となるような面となるのが好ましい。 The prism 2 is configured to cause the light emitted from the light source 1 to enter the sample placement portion 2 a 1 and to guide the total reflected light from the sample placement portion 2 a 1 to the light receiving element array 3. Specifically, the prism 2 has a parabolic optical surface 2a and an exit surface 2b. The parabolic optical surface 2a has a sample placement portion 2a 1 . The sample placement portion 2a 1 can be said to be a part of the parabolic optical surface 2a. The exit surface 2 b is configured to emit the light totally reflected by the sample placement portion 2 a 1 (parabolic optical surface 2 a) to the outside of the prism 2. At this time, the totally reflected light is parallel light. Therefore, the exit surface 2b is preferably a flat surface in which the normal of the surface is perpendicular to each light ray. In the prism 2, the surface facing the light source 1 is an incident surface. This incident surface is preferably a surface whose normal to the surface is perpendicular to each ray.

また、受光素子列3の各受光素子は、プリズム2における出射面2bから垂直に出射した光を受光面で垂直に受光するように配置されている。
さらに、この光学ユニットでは、光源1からの出射光が、発散光となるように構成されている。この発散光は所定の光であって、プリズム2における放物形状の光学面2aの焦点(不図示)を中心として発散する光である。
In addition, each light receiving element of the light receiving element array 3 is arranged so that light emitted vertically from the emission surface 2b of the prism 2 is received vertically by the light receiving surface.
Furthermore, this optical unit is configured so that the light emitted from the light source 1 becomes divergent light. This diverging light is predetermined light, and is diverging around the focal point (not shown) of the parabolic optical surface 2 a in the prism 2.

このように構成された光学ユニットでは、光源1から出射した光は、プリズム2における放物形状の光学面2aの焦点(不図示)を中心として発散する発散光となる。この発散光は、入射面を介してプリズム2に入射する。プリズム2の内部に入射した発散光は、所定の光となって、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1に入射する。ここで、発散光は、放物形状の光学面2aの焦点(不図示)を中心とする光である。よって、放物形状の光学面2aは、発散光を全反射することにより平行光に変換する作用を有する。このため、試料配置部2a1に入射した発散光(所定の光)は、試料配置部2a1で全反射されることにより平行光に変換される。平行光に変換された光は、出射面2bからプリズム2の外部に垂直に出射する。出射面2bからプリズム2の外部に垂直に出射した光は、受光素子列3における各受光素子の受光面で受光される。 In the optical unit configured as described above, the light emitted from the light source 1 becomes divergent light that diverges around the focal point (not shown) of the parabolic optical surface 2 a in the prism 2. This divergent light is incident on the prism 2 via the incident surface. The divergent light incident on the inside of the prism 2 becomes predetermined light and enters the sample placement portion 2a 1 on the parabolic optical surface 2a. Here, the divergent light is light centered on the focal point (not shown) of the parabolic optical surface 2a. Therefore, the parabolic optical surface 2a has an effect of converting divergent light into parallel light by total reflection. Accordingly, divergent light incident on the sample placement unit 2a 1 (predetermined light) is converted into parallel light by being totally reflected by the sample placement unit 2a 1. The light converted into parallel light is emitted vertically from the emission surface 2 b to the outside of the prism 2. The light emitted perpendicularly from the emission surface 2 b to the outside of the prism 2 is received by the light receiving surface of each light receiving element in the light receiving element array 3.

このように、上記の光学ユニットでは、光源1からの出射光が、発散光となるようにしている。この発散光は、プリズム2における放物形状の光学面2aの焦点(不図示)を中心として発散する光である。プリズム2の内部に入射した光は、プリズム2以外の媒質を通ることなく所定の光のままで試料配置部2a1に入射する。そして、放物形状の光学面2aを介して、入射する発散光を構成する全ての光線を平行光に変換して反射させるようにしている。さらに、出射面2dは、放物形状の光学面2aによって変換された平行光を垂直に出射させる。このとき、全反射した光を構成する各光線は、いずれも全反射したときの角度を射出位置の情報として保持している。 As described above, in the optical unit described above, the light emitted from the light source 1 becomes divergent light. This divergent light is light that diverges around the focal point (not shown) of the parabolic optical surface 2 a in the prism 2. The light incident on the inside of the prism 2 enters the sample placement portion 2a 1 as it is as predetermined light without passing through a medium other than the prism 2. Through the parabolic optical surface 2a, all light rays constituting the incident diverging light are converted into parallel light and reflected. Further, the exit surface 2d emits the parallel light converted by the parabolic optical surface 2a vertically. At this time, each light beam constituting the totally reflected light holds the angle when the light is totally reflected as information on the emission position.

即ち、この光学ユニットによれば、プリズム2の内部で放物形状の光学面2aへ向かう発散光、及びプリズム2から出射する平行光が、いずれも屈折させられることがない。しかも、所定の光の入射及び全反射による平行光への変換が、放物形状の光学面2aで行われる。このため、この光学ユニットによれば、プリズム2で発生する収差を小さく抑えることができる。特に、入射面が面の法線が各光線に対して垂直となるような面であれば、収差を生じない。   That is, according to this optical unit, neither the diverging light traveling toward the parabolic optical surface 2a inside the prism 2 nor the parallel light exiting from the prism 2 is refracted. In addition, conversion to parallel light by incidence of predetermined light and total reflection is performed on the parabolic optical surface 2a. For this reason, according to this optical unit, the aberration which generate | occur | produces in the prism 2 can be restrained small. In particular, if the incident surface is a surface in which the normal of the surface is perpendicular to each ray, no aberration occurs.

このように、光源1からの出射光を構成する各光線は、いずれも、発散する所定の光となる。さらに、プリズム2では収差が良好に補正されている(あるいは無収差)ので、所定の収束光は、位置ずれ及び角度ずれを生じることなく試料配置部2a1(放物形状の光学面2a)の所定位置に夫々入射する。また、試料配置部2a1(放物形状の光学面2a)で全反射した発散光は、平行光に変換されて出射面2bから垂直に出射される。出射面2bから射出された平行光は、位置ずれ及び角度ずれを生じることなく受光素子列3において夫々対応する受光素子で受光される。 In this way, each light beam constituting the light emitted from the light source 1 is a predetermined light that diverges. Furthermore, since the aberration is corrected well in the prism 2 (or no aberration), the predetermined convergent light does not cause a positional shift and an angular shift on the sample placement portion 2a 1 (the parabolic optical surface 2a). Each is incident on a predetermined position. Further, the divergent light totally reflected by the sample placement portion 2a 1 (the parabolic optical surface 2a) is converted into parallel light and is emitted vertically from the emission surface 2b. The parallel light emitted from the emission surface 2b is received by the corresponding light receiving elements in the light receiving element array 3 without causing positional deviation and angular deviation.

このような光学ユニットは、例えば、試料分析用装置に利用することができる。試料分析用装置では、この光学ユニットの試料配置部2a1に放物形状に試料を配置する。このとき、試料は変形可能であることが望ましい。そして、放物形状の光学面2aの焦点位置に発散する所定の光を照射し、全反射して得られる反射光を受光素子列3で受光する。受光素子列3では、入射角度に対応する位置の受光素子によって光強度の分布が得られる。この光強度分布を解析することにより、臨界角となる入射角を高精度に求めることができる。そして、その入射角から試料の諸物性を特定することができる。
また、この光学ユニットにおいて試料配置部2a1に、例えば、金属薄膜や金属微粒子をコーティングする等、金属膜を蒸着する。このようにすれば、表面プラズモン共鳴により反射光の強度が急激に変化するときの入射角を高精度に求めることができる。そして、その入射角から試料の諸物性を特定することができる。
なお、この光学ユニットでは、所定の光におけるそれぞれの光線は、試料配置部2a1の夫々異なる部位に入射する構成となっている。従って、この光学ユニットにおいては、全体に均質で、且つ、放物形状に変形可能な試料が分析対象となる。
Such an optical unit can be used, for example, in a sample analysis apparatus. In the sample analysis apparatus, the sample is arranged in a parabolic shape in the sample arrangement portion 2a 1 of the optical unit. At this time, it is desirable that the sample is deformable. Then, predetermined light that diverges is irradiated to the focal position of the parabolic optical surface 2 a, and the reflected light obtained by total reflection is received by the light receiving element array 3. In the light receiving element row 3, a light intensity distribution is obtained by the light receiving element at a position corresponding to the incident angle. By analyzing the light intensity distribution, it is possible to obtain the incident angle as the critical angle with high accuracy. And various physical properties of the sample can be specified from the incident angle.
Further, in this optical unit, a metal film is deposited on the sample placement portion 2a 1 by, for example, coating a metal thin film or metal fine particles. In this way, the incident angle when the intensity of the reflected light rapidly changes due to surface plasmon resonance can be obtained with high accuracy. And various physical properties of the sample can be specified from the incident angle.
In this optical unit, each light beam in the predetermined light is configured to enter different portions of the sample placement portion 2a 1 . Therefore, in this optical unit, a sample that is homogeneous throughout and can be transformed into a parabolic shape is the object of analysis.

このように、上記の光学ユニットによれば、被検査対象を、入射角に幅を持たせた光で収差を生じることなく照射できる。このため、光線の入射角を高精度に検出するために、収差補正用レンズや非球面レンズを用いずに済む。また、配置スペースを減らして小型化、さらにはコストを低減できる。   Thus, according to the above optical unit, the object to be inspected can be irradiated with light having a wide incident angle without causing aberration. For this reason, it is not necessary to use an aberration correction lens or an aspheric lens in order to detect the incident angle of the light beam with high accuracy. Further, the arrangement space can be reduced to reduce the size and further reduce the cost.

第一実施形態
図2は第一実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す図であって、(a)は光軸方向に沿う断面図、(b)は受光素子側から見た図である。図3は図2に示す光学ユニットに用いるプリズムの外観を示す斜視図である。なお、図2中、Sは試料である。また、座標系を図のように取ることとする。
First Embodiment FIG. 2 is a diagram schematically showing the overall configuration of the optical unit according to the first embodiment, in which (a) is a sectional view along the optical axis direction, and (b) is a view from the light receiving element side. It is a figure. FIG. 3 is a perspective view showing an appearance of a prism used in the optical unit shown in FIG. In FIG. 2, S is a sample. The coordinate system is taken as shown in the figure.

第一実施形態の光学ユニットでは、プリズム2は、全体が略二分の一のカマボコ形状(略1/4円筒形状)に形成された透明部材で構成されている。このプリズム2は、放物形状の光学面2a、出射面2b及び平面2cを有している。放物形状の光学面2aは、放物面の一部を帯状に切り取ったものである。ただし、本実施形態では、放物形状の光学面2aは、放物線を短手方向(y方向)に平行移動して形成された面となっている。すなわち、放物形状の光学面2aは、長手方向(x方向)には光学的パワーを有するが、短手方向(y方向)には光学的パワーを持っていない。
また、対称軸Lは、放物面の回転対称軸(中心軸)である。出射面2bは、対称軸Lに垂直な平面で構成されている。また、平面2cは、対称軸Lを含み対称軸Lに平行な面である。なお、プリズム2の平面2cにおける焦点Pの位置近傍に、光源1を収納可能な溝(図示省略)を設けてもよい。
光源1は、発散光を発する点光源で構成されている。そして、光源1は、例えば、プリズム2の平面2cにおける焦点Pの位置近傍に設けた溝(図示省略)に収容されている。このようにすることによって、平面2cにおける放物形状の光学面2aの焦点Pの位置に光源1が配置される。
その他の構成は、図1に示した構成と同じである。
In the optical unit of the first embodiment, the prism 2 is composed of a transparent member that is formed in a substantially half-bulb shape (substantially 1/4 cylindrical shape) as a whole. The prism 2 has a parabolic optical surface 2a, an emission surface 2b, and a flat surface 2c. The parabolic optical surface 2a is obtained by cutting a part of the parabolic surface into a strip shape. However, in the present embodiment, the parabolic optical surface 2a is a surface formed by translating a parabola in the short direction (y direction). That is, the parabolic optical surface 2a has optical power in the longitudinal direction (x direction), but does not have optical power in the short direction (y direction).
The symmetry axis L is a rotational symmetry axis (center axis) of the paraboloid. The exit surface 2b is configured by a plane perpendicular to the symmetry axis L. The plane 2c is a plane that includes the symmetry axis L and is parallel to the symmetry axis L. A groove (not shown) in which the light source 1 can be stored may be provided in the vicinity of the position of the focal point P on the plane 2c of the prism 2.
The light source 1 is composed of a point light source that emits divergent light. And the light source 1 is accommodated in the groove | channel (illustration omitted) provided in the position of the focus P in the plane 2c of the prism 2, for example. By doing in this way, the light source 1 is arrange | positioned in the position of the focus P of the parabolic optical surface 2a in the plane 2c.
Other configurations are the same as those shown in FIG.

このように構成された第一実施形態の光学ユニットでは、光源1から出射した発散光は、プリズム2の内部に入射する。プリズム2の内部に入射した発散光は、放物形状の光学面2aの焦点Pを中心として発散する発散光である。さらに、この発散光は、発散する所定の光である。この発散光は、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1に入射する。ここで、放物形状の光学面2aは、放物形状の光学面2aの焦点Pを中心として発散する発散光を、全反射することにより平行光に変換する作用を有する。このため、試料配置部2a1に入射した発散光は、試料配置部2a1で全反射されることにより平行光に変換される。平行光に変換された光は、出射面2bからプリズム2の外部に垂直に出射する。出射面2bからプリズム2の外部に垂直に出射した光は、受光素子列3における各受光素子の受光面で垂直に受光される。 In the optical unit of the first embodiment configured as described above, divergent light emitted from the light source 1 enters the prism 2. The divergent light that has entered the prism 2 is divergent light that diverges around the focal point P of the parabolic optical surface 2a. Furthermore, this diverging light is a predetermined light that diverges. This divergent light is incident on the sample placement portion 2a 1 on the parabolic optical surface 2a. Here, the parabolic optical surface 2a has a function of converting divergent light, which diverges around the focal point P of the parabolic optical surface 2a, into parallel light by total reflection. Accordingly, divergent light incident on the sample placement unit 2a 1 is converted into parallel light by being totally reflected by the sample placement unit 2a 1. The light converted into parallel light is emitted vertically from the emission surface 2 b to the outside of the prism 2. Light emitted perpendicularly from the emission surface 2 b to the outside of the prism 2 is received vertically by the light receiving surfaces of the respective light receiving elements in the light receiving element array 3.

上述のように、本実施形態の放物形状の光学面2aは、短手方向には光学的パワーを持っていない。そのため、光源1から射出した発散光のうち、短手方向に広がる発散角の大きな光は、放物形状の光学面2aに入射する前に、側面2fの間で全反射する。あるいは、発散角の大きな光は、放物形状の光学面2aで反射された後に、側面2fの間で全反射を繰り返す。よって、出射面2bから射出する光束の形状は複雑な形状になる。
側面2fの間での反射を防止するには、光源から射出する発散光の発散角を小さくすれば良い。ただし、このようにすると、試料配置部2a1の面積が小さくなるので、試料Sの大きさが制限される。また、試料出射面2bから射出する光の形状を受光素子(受光面)の形状(略長方形状)と同じにするには、例えば、光源1が配置されている溝部の面形状をシリンドリカル状にすれば良い。このようにすると、長手方向には発散し、短手方向には平行な光を形成することができる。あるいは、光源1をプリズム2から離れた位置に配置し、光源1とプリズム2の間にシリンドリカルレンズを配置する。そして、焦点Pに線状の収束光が形成されるようにしても良い。
As described above, the parabolic optical surface 2a of the present embodiment does not have optical power in the lateral direction. Therefore, of the divergent light emitted from the light source 1, light having a large divergence angle that spreads in the short direction is totally reflected between the side surfaces 2f before entering the parabolic optical surface 2a. Alternatively, light having a large divergence angle is totally reflected between the side surfaces 2f after being reflected by the parabolic optical surface 2a. Therefore, the shape of the light beam emitted from the emission surface 2b becomes a complicated shape.
In order to prevent reflection between the side surfaces 2f, the divergence angle of diverging light emitted from the light source may be reduced. However, in this case, since the area of the sample placement unit 2a 1 becomes smaller, the size of the sample S is limited. In addition, in order to make the shape of the light emitted from the sample exit surface 2b the same as the shape (substantially rectangular shape) of the light receiving element (light receiving surface), for example, the surface shape of the groove portion in which the light source 1 is arranged is cylindrical. Just do it. In this way, light that diverges in the longitudinal direction and parallel to the lateral direction can be formed. Alternatively, the light source 1 is disposed at a position away from the prism 2, and a cylindrical lens is disposed between the light source 1 and the prism 2. Then, linear convergent light may be formed at the focal point P.

このように、第一実施形態の光学ユニットでは、光源1からの出射光が、発散光となるようにしている。この発散光は、プリズム2における放物形状の光学面2aの焦点(不図示)を中心として発散する光である。プリズム2の内部に入射した光は、プリズム2以外の媒質を通ることなく所定の光のままで試料配置部2a1に入射する。そして、放物形状の光学面2aを介して、入射する発散光を構成する全ての光線を平行光に変換して反射させるようにしている。さらに、出射面2dは、放物形状の光学面2aによって変換された平行光を垂直に出射させる。このとき、全反射した光を構成する各光線は、いずれも全反射したときの角度を射出位置の情報として保持している。 As described above, in the optical unit according to the first embodiment, the light emitted from the light source 1 becomes divergent light. This divergent light is light that diverges around the focal point (not shown) of the parabolic optical surface 2 a in the prism 2. The light incident on the inside of the prism 2 enters the sample placement portion 2a 1 as it is as predetermined light without passing through a medium other than the prism 2. Through the parabolic optical surface 2a, all light rays constituting the incident diverging light are converted into parallel light and reflected. Further, the exit surface 2d emits the parallel light converted by the parabolic optical surface 2a vertically. At this time, each light beam constituting the totally reflected light holds the angle when the light is totally reflected as information on the emission position.

即ち、第一実施形態の光学ユニットによれば、プリズム2の内部で放物形状の光学面2aへ向かう発散光、及びプリズム2から出射する平行光が、いずれも屈折させられることがない。しかも、所定の光の入射及び全反射による平行光への変換が、放物形状の光学面2aで行われる。このため、この光学ユニットによれば、プリズム2で収差が生じない。   That is, according to the optical unit of the first embodiment, neither the diverging light traveling toward the parabolic optical surface 2a inside the prism 2 nor the parallel light exiting from the prism 2 is refracted. In addition, conversion to parallel light by incidence of predetermined light and total reflection is performed on the parabolic optical surface 2a. For this reason, according to this optical unit, no aberration occurs in the prism 2.

このように、光源1からの出射光を構成する各光線は、いずれも、発散する所定の光となる。さらに、プリズム2では収差が良好に補正されている(あるいは無収差)ので、所定の収束光は、位置ずれ及び角度ずれを生じることなく試料配置部2a1(放物形状の光学面2a)の所定位置に夫々入射する。また、試料配置部2a1(放物形状の光学面2a)で全反射した発散光は、平行光に変換されて出射面2bから垂直に出射される。出射面2bから射出された平行光は、位置ずれ及び角度ずれを生じることなく受光素子列3において夫々対応する受光素子で受光される。 In this way, each light beam constituting the light emitted from the light source 1 is a predetermined light that diverges. Furthermore, since the aberration is corrected well in the prism 2 (or no aberration), the predetermined convergent light does not cause a positional shift and an angular shift on the sample placement portion 2a 1 (the parabolic optical surface 2a). Each is incident on a predetermined position. Further, the divergent light totally reflected by the sample placement portion 2a 1 (the parabolic optical surface 2a) is converted into parallel light and is emitted vertically from the emission surface 2b. The parallel light emitted from the emission surface 2b is received by the corresponding light receiving elements in the light receiving element array 3 without causing positional deviation and angular deviation.

このような光学ユニットは、例えば、試料分析用装置に利用することができる。試料分析用装置では、この光学ユニットの試料配置部2a1に放物形状に試料を配置する。このとき、試料は変形可能であることが望ましい。そして、放物形状の光学面2aの焦点位置に発散する所定の光を照射し、全反射して得られる反射光を受光素子列3で受光する。受光素子列3では、入射角度に対応する位置の受光素子によって光強度の分布が得られる。この光強度分布を解析することにより、臨界角となる入射角を高精度に求めることができる。そして、その入射角から試料の諸物性を特定することができる。
また、この光学ユニットにおいて試料配置部2a1に、例えば、金属薄膜や金属微粒子をコーティングする等、金属膜を蒸着する。このようにすれば、表面プラズモン共鳴により反射光の強度が急激に変化するときの入射角を高精度に求めることができる。そして、その入射角から試料の諸物性を特定することができる。
なお、第一実施形態の光学ユニットでは、所定の光におけるそれぞれの光線は、試料配置部2a1の夫々異なる部位に入射する構成となっている。従って、この光学ユニットにおいては、全体に均質で、且つ、放物形状に変形可能な試料が分析対象となる。
Such an optical unit can be used, for example, in a sample analysis apparatus. In the sample analysis apparatus, the sample is arranged in a parabolic shape in the sample arrangement portion 2a 1 of the optical unit. At this time, it is desirable that the sample is deformable. Then, predetermined light that diverges is irradiated to the focal position of the parabolic optical surface 2 a, and the reflected light obtained by total reflection is received by the light receiving element array 3. In the light receiving element row 3, a light intensity distribution is obtained by the light receiving element at a position corresponding to the incident angle. By analyzing the light intensity distribution, it is possible to obtain the incident angle as the critical angle with high accuracy. And various physical properties of the sample can be specified from the incident angle.
Further, in this optical unit, a metal film is deposited on the sample placement portion 2a 1 by, for example, coating a metal thin film or metal fine particles. In this way, the incident angle when the intensity of the reflected light rapidly changes due to surface plasmon resonance can be obtained with high accuracy. And various physical properties of the sample can be specified from the incident angle.
In the optical unit of the first embodiment, each of the light in a given light it is configured to be incident on each different site sample placement unit 2a 1. Therefore, in this optical unit, a sample that is homogeneous throughout and can be transformed into a parabolic shape is the object of analysis.

このように、第一実施形態の光学ユニットによれば、被検査対象を、入射角に幅を持たせた光で収差を生じることなく照射できる。このため、光線の入射角を高精度に検出するために、収差補正用レンズや非球面レンズを用いずに済む。また、配置スペースを減らして小型化、さらにはコストを低減できる。   Thus, according to the optical unit of the first embodiment, the object to be inspected can be irradiated with light having a wide incident angle without causing aberration. For this reason, it is not necessary to use an aberration correction lens or an aspheric lens in order to detect the incident angle of the light beam with high accuracy. Further, the arrangement space can be reduced to reduce the size and further reduce the cost.

なお、第一実施形態の光学ユニットにおいては、プリズム2の平面2cにおける焦点Pの位置近傍に、光源1を収納可能な溝(図示省略)を設けている。しかしながら、その代わりに、図4(a),(b)に示すように、球面形状の入射面2dを設けてもよい。この場合、球面形状の入射面2dは、放物形状の光学面2aの焦点Pに光源1を配置したとき、焦点Pを中心とする発散光が垂直に入射するような形状であるのが好ましい。
このようにすれば、プリズム2の入射面2dは、光源1から出射した発散光をプリズム2の内部に垂直に入射させることになる。よって、光源1から出射した発散光を構成する各光線は、いずれも焦点Pを中心として発散する方向がそのまま保持される。ここで、上記のように、プリズム2の内部で放物形状の光学面2aへ向かう発散光、及び平行光に変換されたプリズム2からの出射光は、屈折させられることがない。このため、入射面2dを球面形状にすれば、この発散光及び平行光に加えて、光源1からプリズム2へ入射する入射光も屈折させられることがなくなる。そして、光源1からの出射光(発散する所定の光)を構成する各光線は、いずれも、プリズム2の内部において、より位置ずれ及び角度ずれを生じることがない。すなわち、光源1からの出射光は、より正確に、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1の所定位置に入射するようになる。その結果、受光素子列3を介して、臨界角となる入射角をより一層高精度に検出することができる。
In the optical unit of the first embodiment, a groove (not shown) that can store the light source 1 is provided near the position of the focal point P on the plane 2c of the prism 2. However, instead, a spherical incident surface 2d may be provided as shown in FIGS. In this case, it is preferable that the spherical incident surface 2d has such a shape that divergent light centered on the focal point P is incident vertically when the light source 1 is disposed at the focal point P of the parabolic optical surface 2a. .
In this way, the incident surface 2 d of the prism 2 allows diverging light emitted from the light source 1 to enter the prism 2 vertically. Therefore, each light beam constituting the divergent light emitted from the light source 1 maintains the direction in which the light diverges around the focal point P as it is. Here, as described above, the diverging light traveling toward the parabolic optical surface 2a inside the prism 2 and the outgoing light from the prism 2 converted into parallel light are not refracted. For this reason, if the incident surface 2d has a spherical shape, incident light incident on the prism 2 from the light source 1 will not be refracted in addition to the diverging light and parallel light. Further, each of the light beams constituting the light emitted from the light source 1 (predetermined light to diverge) does not cause further positional deviation and angular deviation inside the prism 2. That is, the emitted light from the light source 1 enters the predetermined position of the sample placement portion 2a 1 on the parabolic optical surface 2a more accurately. As a result, the incident angle as the critical angle can be detected with higher accuracy through the light receiving element array 3.

第二実施形態
図5は本発明の第二実施形態にかかる光学ユニットの要部の構成を示す説明図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は光源側から見た側面図、(c)は受光素子側から見た側面図、(d)は変形例を示す図である。なお、図5中、Sは試料である。また、座標系を図のように取ることとする。
Second Embodiment FIGS. 5A and 5B are explanatory views showing the configuration of the main part of an optical unit according to the second embodiment of the present invention, in which FIG. 5A is a sectional view along the optical axis, and FIG. (C) is a side view seen from the light receiving element side, and (d) is a view showing a modification. In FIG. 5, S is a sample. The coordinate system is taken as shown in the figure.

第二実施形態の光学ユニットでは、プリズム2は、全体が1/8球形状(半球を1/4にした形状)に形成された透明部材で構成されている。このプリズム2は、放物形状の光学面2a、出射面2b、平面2c及び入射面2dを有している。放物形状の光学面2aは、対称軸Lを中心として放物線を90°回転させた形状になっている。
出射面2bは、対称軸Lに垂直な平面2bで構成されている。また、入射面2dは平面2cの一部に設けられている。入射面2dの形状は、放物形状の光学面2aの焦点Pを中心とする球面形状となっている。
光源1は、発散光を発する点光源で構成されている。そして、光源1は、入射面2dにおける放物形状の光学面2aの焦点Pに配置されている。
受光素子列3の各受光素子は、光分布のy方向に対して積分できるようなサイズを有しているもの、もしくは検出器が2次元的に配置されたCCDのようなものである。
それ以外の構成は第一実施形態と同様である。
また、図5(d)に示すプリズム2は変形例であって、全体が1/4球形状(半球を1/2にした形状)に形成された透明部材で構成されている。放物形状の光学面2aは、対称軸Lを中心として放物線を180°回転させた形状になっている。
図2と図5を用いて両者の光の分布を比較すると、図2〜4のプリズムの場合、出射面2bから出射した光はシート状に分布する。これに対して、図5では紙面に垂直な方向にも、同様に広がることとなる。つまり、断面が円形もしくは円形の一部の形状を持つコリメート光となって出射面2bより出射する。
この場合には、受光素子列3がy方向に積分できるようなサイズを有すればよい。もしくはCCDのような2次元撮像素子で画像取得後にy方向について積分すればよい。
その他の構成及び作用は、図4に示した第一実施形態の変形例の光学ユニットと略同じで、効果についても第一実施形態の光学ユニットと略同じである。
In the optical unit of the second embodiment, the prism 2 is composed of a transparent member formed entirely in a 1/8 spherical shape (a shape in which a hemisphere is 1/4). The prism 2 has a parabolic optical surface 2a, an exit surface 2b, a plane 2c, and an entrance surface 2d. The parabolic optical surface 2a has a shape obtained by rotating the parabola by 90 ° about the symmetry axis L.
The emission surface 2b is constituted by a plane 2b perpendicular to the symmetry axis L. The incident surface 2d is provided on a part of the flat surface 2c. The shape of the incident surface 2d is a spherical shape centered on the focal point P of the parabolic optical surface 2a.
The light source 1 is composed of a point light source that emits divergent light. The light source 1 is disposed at the focal point P of the parabolic optical surface 2a on the incident surface 2d.
Each light receiving element of the light receiving element array 3 has a size that can be integrated with respect to the y direction of the light distribution, or a CCD in which detectors are two-dimensionally arranged.
Other configurations are the same as those in the first embodiment.
Further, the prism 2 shown in FIG. 5 (d) is a modified example, and is composed of a transparent member formed entirely in a 1/4 spherical shape (a shape in which the hemisphere is halved). The parabolic optical surface 2a has a shape obtained by rotating a parabola 180 degrees around the axis of symmetry L.
Comparing the distribution of the light of both using FIGS. 2 and 5, in the case of the prisms of FIGS. 2 to 4, the light emitted from the emission surface 2b is distributed in a sheet form. On the other hand, in FIG. 5, it also spreads in the direction perpendicular to the paper surface. That is, the light is emitted from the emission surface 2b as collimated light having a circular cross section or a partial circular shape.
In this case, it is sufficient that the light receiving element array 3 has a size that can be integrated in the y direction. Alternatively, integration may be performed in the y direction after acquiring an image with a two-dimensional imaging device such as a CCD.
Other configurations and operations are substantially the same as those of the optical unit according to the modification of the first embodiment shown in FIG. 4, and the effects are also substantially the same as those of the optical unit of the first embodiment.

第三実施形態
図6は本発明の第三実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す説明図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は(a)の放物形状の焦点側をみた側面図である。なお、図6中、Sは試料である。
Third Embodiment FIG. 6 is an explanatory view schematically showing the overall configuration of an optical unit according to a third embodiment of the present invention, where (a) is a sectional view along the optical axis, and (b) is (a). It is the side view which looked at the focal side of the parabolic shape of). In FIG. 6, S is a sample.

第三実施形態の光学ユニットでは、プリズム2は、全体が略二分の一のカマボコ形状(略半円筒形状)に形成された透明部材で構成されている。このプリズム2は、放物形状の光学面2a、出射面2b、入射面2d及び発散光変換手段2eを有している。入射面2dは、対称軸Lに垂直な面、例えば出射面2bに対して垂直な面となっている。   In the optical unit according to the third embodiment, the prism 2 is formed of a transparent member that is formed in a substantially half-bulb shape (substantially semi-cylindrical shape) as a whole. The prism 2 has a parabolic optical surface 2a, an exit surface 2b, an entrance surface 2d, and divergent light converting means 2e. The incident surface 2d is a surface perpendicular to the symmetry axis L, for example, a surface perpendicular to the emission surface 2b.

発散光変換手段2eは、円錐形状の孔と、円錐面に反射膜が形成された反射面で構成されている。この円錐形状の孔は、その中心軸が放物形状の光学面2aの焦点Pを通るように形成されている。また、円錐形状の孔は、その中心軸が対称軸Lに対して垂直で、且つ、その頂点が入射面2d側を向いて形成されている。よって、発散光変換手段2eにおける反射面は、放物形状の光学面2aと向かい合うことになる。   The divergent light converting means 2e is composed of a conical hole and a reflecting surface in which a reflecting film is formed on the conical surface. The conical hole is formed such that its central axis passes through the focal point P of the parabolic optical surface 2a. The conical hole is formed such that its central axis is perpendicular to the symmetry axis L and its apex faces the incident surface 2d side. Therefore, the reflecting surface in the divergent light converting means 2e faces the parabolic optical surface 2a.

光源1は、プリズム2の入射面2dと向かい合う位置に配置されている。また、光源1は、平行光を出射するように構成されている。平行光を出射させることができる構成であれば、例えば、発散光を出射する光源にコリメートレンズを組合せた構成、あるいは、さらにそれにファイバーを組合せた構成など、どのような構成でもよい。また、光源1は、出射した平行光がプリズム2における放物形状の光学面2aの焦点P位置上方から入射面2dに対し垂直に入射するように配置されている。
その他の構成は、図3に示した第一実施形態の変形例の光学ユニットと略同じである。
The light source 1 is disposed at a position facing the incident surface 2 d of the prism 2. The light source 1 is configured to emit parallel light. As long as the configuration can emit parallel light, for example, any configuration such as a configuration in which a collimator lens is combined with a light source that emits divergent light, or a configuration in which a fiber is further combined therewith may be used. The light source 1 is arranged so that the emitted parallel light is perpendicularly incident on the incident surface 2d from above the focal point P position of the parabolic optical surface 2a of the prism 2.
Other configurations are substantially the same as those of the optical unit of the modification of the first embodiment shown in FIG.

このように構成された第三実施形態の光学ユニットでは、光源1から出射した平行光は、プリズム2の入射面2dに垂直に入射する。入射面2dを透過してプリズム2の内部に入射した光は、発散光変換手段2eである円錐形状の反射面に入射する。円錐形状の反射面2eに入射した平行光は、円錐形状の反射面2eで反射されることにより、発散光に変換される。この発散光は、プリズム2における放物形状の光学面2aの焦点Pを中心として発散する光である。これにより、発散する所定の光となって、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1に入射する。
以下の作用は、第一実施形態の光学ユニットと略同じである。
In the optical unit of the third embodiment configured as described above, the parallel light emitted from the light source 1 enters the incident surface 2d of the prism 2 perpendicularly. The light that has passed through the incident surface 2d and entered the prism 2 enters the conical reflecting surface that is the diverging light converting means 2e. The parallel light incident on the conical reflecting surface 2e is converted to divergent light by being reflected by the conical reflecting surface 2e. This diverging light is light that diverges around the focal point P of the parabolic optical surface 2 a in the prism 2. Thus, a predetermined light scattered, and enters the sample placement unit 2a 1 of the optical surfaces 2a of the parabolic shape.
The following operations are substantially the same as those of the optical unit of the first embodiment.

このように、第三実施形態の光学ユニットでは、プリズム2の入射面2dは、光源1から出射した平行光を、プリズム2の内部に垂直に入射させる。よって、平行光を構成する各光線は、いずれも平行のままの状態が保持される。また、発散光変換手段2eを、プリズム2の内部(放物形状の光学面2aの焦点Pの位置)に設けている。これにより、プリズム2の内部に入射した平行光を、扇形状の発散光に変換している。この扇形状の発散光は、放物形状の光学面2aの焦点P位置を中心とした発散光である。よって、発散光変換手段2eによって、扇形状の発散光を所定の光にして放物形状の光学面2aに入射させることができる。このため、プリズム2の内部で放物形状の光学面2aへ向かう光及び平行光に変換されたプリズム2からの出射光に加えて、光源1から出射したプリズム2への入射光も屈折させられることがなくなる。そして、光源1からの出射光を構成する各光線は、いずれも、プリズム2の内部において、より正確に位置ずれ及び角度すれを起こすことがない。そして、この各光線は、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1の所定位置に夫々入射するようになる。その結果、受光素子列3を介して、臨界角となる入射角をより一層高精度に検出することができる。
その他の効果は、第一実施形態の光学ユニットと略同じである。
As described above, in the optical unit of the third embodiment, the incident surface 2 d of the prism 2 allows the parallel light emitted from the light source 1 to enter the prism 2 vertically. Therefore, each light beam constituting the parallel light is kept in a parallel state. Further, the divergent light converting means 2e is provided inside the prism 2 (position of the focal point P of the parabolic optical surface 2a). Thereby, the parallel light incident on the inside of the prism 2 is converted into a fan-shaped divergent light. This fan-shaped divergent light is divergent light centered on the focal point P of the parabolic optical surface 2a. Therefore, the divergent light converting means 2e can make the fan-shaped divergent light incident on the parabolic optical surface 2a as predetermined light. For this reason, in addition to the light traveling toward the parabolic optical surface 2a inside the prism 2 and the light emitted from the prism 2 converted into parallel light, the light incident on the prism 2 emitted from the light source 1 is also refracted. Nothing will happen. Then, each of the light beams constituting the light emitted from the light source 1 does not cause a more accurate positional shift and angular deviation within the prism 2. Each light beam is incident on a predetermined position of the sample placement portion 2a 1 on the parabolic optical surface 2a. As a result, the incident angle as the critical angle can be detected with higher accuracy through the light receiving element array 3.
Other effects are substantially the same as those of the optical unit of the first embodiment.

第四実施形態
図7は本発明の第四実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は受光素子側から見た図である。図8は図7に示す光学ユニットに用いるプリズムの外観を示す斜視図である。なお、図7中、Sは試料である。また、座標系を図のように取ることとする。
Fourth Embodiment FIG. 7 is a diagram schematically showing the overall configuration of an optical unit according to a fourth embodiment of the present invention, where (a) is a cross-sectional view along the optical axis, and (b) is the light receiving element side. It is the figure seen from. FIG. 8 is a perspective view showing an appearance of a prism used in the optical unit shown in FIG. In FIG. 7, S is a sample. The coordinate system is taken as shown in the figure.

第四実施形態の光学ユニットでは、プリズム2は、全体がカマボコ形状(略半円筒形状)に形成された透明部材で構成されている。このプリズム2は、放物形状の光学面2a、出射面2b及び入射面2dを有している。プリズム2において、入射面2dは、放物形状の光学面2aの対称軸Lを隔てて出射面2bと同一平面上に設けられている。
光源1は、平行光を出射するように構成されている。平行光を出射させることができる構成であれば、例えば、発散光を出射する光源にコリメートレンズを組合せた構成、あるいは、さらにそれにファイバーを組合せた構成など、どのような構成でもよい。また、光源1は、出射した平行光がプリズム2における入射面2dに対し垂直に入射するように配置されている。
その他の構成は、図3に示した第一実施形態の変形例の光学ユニットと略同じである。
In the optical unit of the fourth embodiment, the prism 2 is composed of a transparent member that is entirely formed in a kamaboko shape (substantially semi-cylindrical shape). The prism 2 has a parabolic optical surface 2a, an exit surface 2b, and an entrance surface 2d. In the prism 2, the entrance surface 2d is provided on the same plane as the exit surface 2b with the axis of symmetry L of the parabolic optical surface 2a.
The light source 1 is configured to emit parallel light. As long as the configuration can emit parallel light, for example, any configuration such as a configuration in which a collimator lens is combined with a light source that emits divergent light, or a configuration in which a fiber is further combined therewith may be used. The light source 1 is arranged so that the emitted parallel light is incident on the incident surface 2d of the prism 2 perpendicularly.
Other configurations are substantially the same as those of the optical unit of the modification of the first embodiment shown in FIG.

このように構成された第四実施形態の光学ユニットでは、光源1から出射した平行光は、プリズム2の入射面2dに垂直に入射する。この平行光は、平行光のまま入射面2dを透過してプリズム2の内部に入射する。入射した平行光は、対称軸Lを隔てて試料配置部2a1とは反対側の所定部位に入射する。ここで、放物形状の光学面2aは、対称軸Lと平行に入射する光を反射することにより、焦点Pに向かう収束光に変換する作用を有する。このため、所定部位に入射した平行光は、放物形状の光学面2aで反射されることによって、収束光に変換される。この収束光は焦点Pに向かい、焦点Pを通った後に焦点Pを中心として発散する発散光となる。この発散光は、発散する所定の光である。これにより、発散する所定の光が、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1に入射する。
以下の作用は、第一実施形態の光学ユニットと略同じである。
In the optical unit of the fourth embodiment configured as described above, the parallel light emitted from the light source 1 enters the incident surface 2d of the prism 2 perpendicularly. The parallel light passes through the incident surface 2d as parallel light and enters the prism 2. The incident parallel light is incident on a predetermined portion on the opposite side of the sample placement portion 2a 1 with the symmetry axis L therebetween. Here, the parabolic optical surface 2a has an effect of converting light incident in parallel with the symmetry axis L into light convergent toward the focal point P. For this reason, the parallel light incident on the predetermined part is converted into convergent light by being reflected by the parabolic optical surface 2a. The convergent light is directed to the focal point P, and becomes divergent light that diverges around the focal point P after passing through the focal point P. This diverging light is predetermined light that diverges. Thus, a predetermined light scattered is incident on the sample placement unit 2a 1 of the optical surfaces 2a of the parabolic shape.
The following operations are substantially the same as those of the optical unit of the first embodiment.

このように、第四実施形態の光学ユニットでは、プリズム2の入射面2dは、光源1から出射した平行光を、プリズム2の内部に垂直に入射させる。よって、平行光を構成する各光線は、いずれも平行のままの状態が保持される。また、プリズム2の内部に入射した平行光は、対称軸Lに平行な光である。このような平行光を、放物形状の光学面2aにおける対称軸Lを隔てて試料配置部2a1とは反対側の所定部位に入射させるようにしている。これにより、プリズム2の内部に入射した平行光を、放物形状の光学面2aの焦点Pに集光することができる。さらに、焦点Pの位置で集光した光は、焦点Pを中心とした発散光に変換される。これにより、発散する所定の光が得られる。そして、この発散する所定の光を、放物形状の光学面2aに入射させることができる。更に、発散する所定の光は、放物形状の光学面2aで反射されて平行光になり、プリズム2の外に射出する。このため、光源1から出射したプリズム2へ入射する入射光、プリズム2の内部の所定部位へ向かう光及び平行光に変換されたプリズム2からの出射光は、いずれも屈折させられることがなくなる。そして、光源1からの出射光を構成する各光線は、いずれも、プリズム2の内部において、より正確に位置ずれ及び角度ずれを生じることがない。そして、この各光線は、放物形状の光学面2aにおける試料配置部2a1の所定位置に夫々入射するようになる。その結果、受光素子列3を介して、臨界角となる入射角をより一層高精度に検出することができる。
その他の効果は、第一実施形態の光学ユニットと略同じである。
As described above, in the optical unit of the fourth embodiment, the incident surface 2 d of the prism 2 allows the parallel light emitted from the light source 1 to enter the prism 2 vertically. Therefore, each light beam constituting the parallel light is kept in a parallel state. Moreover, the parallel light incident on the prism 2 is light parallel to the symmetry axis L. Such parallel light is made incident on a predetermined portion on the opposite side of the sample placement portion 2a 1 across the symmetry axis L of the parabolic optical surface 2a. Thereby, the parallel light incident on the inside of the prism 2 can be condensed on the focal point P of the parabolic optical surface 2a. Furthermore, the light condensed at the position of the focal point P is converted into divergent light with the focal point P as the center. Thereby, the predetermined | prescribed light to diverge is obtained. Then, the diverging predetermined light can be incident on the parabolic optical surface 2a. Further, the predetermined light that diverges is reflected by the parabolic optical surface 2 a to become parallel light and is emitted out of the prism 2. For this reason, the incident light incident on the prism 2 emitted from the light source 1, the light directed to a predetermined portion inside the prism 2, and the emitted light from the prism 2 converted into parallel light are not refracted. In addition, each light beam constituting the light emitted from the light source 1 does not cause a position shift and an angle shift more accurately in the prism 2. Each light beam is incident on a predetermined position of the sample placement portion 2a 1 on the parabolic optical surface 2a. As a result, the incident angle as the critical angle can be detected with higher accuracy through the light receiving element array 3.
Other effects are substantially the same as those of the optical unit of the first embodiment.

第五実施形態
図9は本発明の第五実施形態にかかる光学ユニットの構成を概略的に示す説明図であって、(a)は全体の構成を概略的に示す斜視図、(b)はプリズムの放物形状の光学面側から見た平面図、(c)は受光素子側から見た図である。なお、図9中、Sは試料である。また、座標系を図のように取ることとする。
Fifth Embodiment FIG. 9 is an explanatory view schematically showing the configuration of an optical unit according to the fifth embodiment of the present invention, in which (a) is a perspective view schematically showing the overall configuration, and (b) is FIG. 4C is a plan view of the prism viewed from the parabolic optical surface side, and FIG. 5C is a diagram viewed from the light receiving element side. In FIG. 9, S is a sample. The coordinate system is taken as shown in the figure.

第五実施形態の光学ユニットでは、プリズム2は、半球形状に形成された透明部材で構成されている。このプリズム2は、放物形状の光学面2a、出射面2b及び入射面2dを有している。放物形状の光学面2aは、対称軸Lを中心として放物線を360°回転させた形状になっている。また、プリズム2において、入射面2dは、放物形状の光学面2aの対称軸Lを隔てて出射面2bと同一平面上に設けられている。
光源1は、平行光を出射するように構成されている。平行光を出射させることができる構成であれば、例えば、発散光を出射する光源にコリメートレンズを組合せた構成、あるいは、さらにそれにファイバーを組合せた構成など、どのような構成でもよい。また、光源1は、出射した平行光がプリズム2における入射面2dに対し垂直に入射するように配置されている。
受光素子列3の各受光素子は、光分布のy方向に対して積分できるようなサイズを有しているもの、もしくは検出器が2次元的に配置されたCCDのようなものである。
その他の構成は、図7(a)に示した第四実施形態の変形例の光学ユニットと略同じである。
In the optical unit of the fifth embodiment, the prism 2 is composed of a transparent member formed in a hemispherical shape. The prism 2 has a parabolic optical surface 2a, an exit surface 2b, and an entrance surface 2d. The parabolic optical surface 2a has a shape obtained by rotating a parabola around the symmetry axis L by 360 °. Further, in the prism 2, the incident surface 2d is provided on the same plane as the emission surface 2b, with the symmetry axis L of the parabolic optical surface 2a.
The light source 1 is configured to emit parallel light. As long as the configuration can emit parallel light, for example, any configuration such as a configuration in which a collimator lens is combined with a light source that emits divergent light, or a configuration in which a fiber is further combined therewith may be used. The light source 1 is arranged so that the emitted parallel light is incident on the incident surface 2d of the prism 2 perpendicularly.
Each light receiving element of the light receiving element array 3 has a size that can be integrated with respect to the y direction of the light distribution, or a CCD in which detectors are two-dimensionally arranged.
Other configurations are substantially the same as those of the optical unit of the modified example of the fourth embodiment shown in FIG.

図7b、9cを用いて両者の光の分布を比較すると、第四実施形態のプリズムの場合、出射面2bから出射した光はシート状に分布するのに対し、本第五実施形態では、断面が円形のコリメート光となって出射面2bより出射する。
この場合には、受光素子列3がy方向に積分できるようなサイズを有すればよい。もしくはCCDのような2次元撮像素子で画像取得後にy方向について積分すればよい。
その他作用及び効果は第四実施形態と略同様である。
7b and 9c, when comparing the light distributions of the two, in the case of the prism of the fourth embodiment, the light emitted from the emission surface 2b is distributed in a sheet form, whereas in the fifth embodiment, the cross section Becomes circular collimated light and is emitted from the emission surface 2b.
In this case, it is sufficient that the light receiving element array 3 has a size that can be integrated in the y direction. Alternatively, integration may be performed in the y direction after acquiring an image with a two-dimensional imaging device such as a CCD.
Other actions and effects are substantially the same as in the fourth embodiment.

本発明の光学ユニットは、全反射を利用して試料の物性を分析する医療、医学、生物学の分野に有用である。   The optical unit of the present invention is useful in the medical, medical, and biological fields in which the physical properties of a sample are analyzed using total reflection.

本発明の光学ユニットの基本構成を概念的に示すブロック図である。It is a block diagram which shows notionally the basic composition of the optical unit of this invention. 本発明の第一実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す図であって、(a)は光軸方向に沿う断面図、(b)は受光素子側から見た図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematically the whole structure of the optical unit concerning 1st embodiment of this invention, (a) is sectional drawing in alignment with an optical axis direction, (b) is the figure seen from the light receiving element side. . 図2に示す光学ユニットに用いるプリズムの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the prism used for the optical unit shown in FIG. 本発明の第一実施形態にかかる光学ユニットの変形例を示す説明図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は光学ユニットにおけるプリズムを光源側から見た斜視図である。It is explanatory drawing which shows the modification of the optical unit concerning 1st embodiment of this invention, Comprising: (a) is sectional drawing which follows an optical axis, (b) is the perspective view which looked at the prism in an optical unit from the light source side. is there. 本発明の第二実施形態にかかる光学ユニットの要部の構成を示す説明図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は光源側から見た側面図、(c)は受光素子側から見た側面図、(d)は変形例を示す図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the principal part of the optical unit concerning 2nd embodiment of this invention, (a) is sectional drawing in alignment with an optical axis, (b) is the side view seen from the light source side, (c) Is a side view seen from the light receiving element side, and (d) is a diagram showing a modification. 本発明の第三実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す説明図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は(a)の放物形状の焦点側を見た側面図である。It is explanatory drawing which shows roughly the structure of the whole optical unit concerning 3rd embodiment of this invention, Comprising: (a) is sectional drawing in alignment with an optical axis, (b) is a parabolic focus of (a). It is the side view which looked at the side. 本発明の第四実施形態にかかる光学ユニットの全体の構成を概略的に示す図であって、(a)は光軸に沿う断面図、(b)は受光素子側から見た図である。It is a figure which shows schematically the whole structure of the optical unit concerning 4th embodiment of this invention, Comprising: (a) is sectional drawing which follows an optical axis, (b) is the figure seen from the light receiving element side. 図7に示す光学ユニットに用いるプリズムの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the prism used for the optical unit shown in FIG. 本発明の第五実施形態にかかる光学ユニットの構成を概略的に示す説明図であって、(a)は全体の構成を概略的に示す斜視図、(b)はプリズムの放物形状の光学面側から見た平面図、(c)は受光素子側から見た図である。It is explanatory drawing which shows roughly the structure of the optical unit concerning 5th embodiment of this invention, Comprising: (a) is a perspective view which shows the whole structure schematically, (b) is the parabolic optical of a prism. A plan view seen from the surface side, (c) is a view seen from the light receiving element side. 従来の試料分析装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the conventional sample analyzer.

符号の説明Explanation of symbols

1 光源
2 プリズム
2a 放物形状の光学面
2a1 試料配置部
2b 出射面
2c 放物形状の対称軸Lを含み対称軸Lに平行な平面
2d 入射面
2e 発散光変換手段
3 受光素子列
51 レーザ光照射装置
52 光ファイバー
53 コリメーションレンズ
54 ミラー
55 レンズ
56 透明基板
57 金属膜
58 光検出器
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 2 Prism 2a Parabolic optical surface 2a 1 Sample arrangement | positioning part 2b Outgoing surface 2c The plane containing the parabolic symmetry axis L and parallel to the symmetry axis L 2d Incidence surface 2e Divergence light conversion means 3 Light receiving element row | line | column 51 Laser Light irradiation device 52 Optical fiber 53 Collimation lens 54 Mirror 55 Lens 56 Transparent substrate 57 Metal film 58 Photodetector

Claims (8)

光源と、
受光素子列と、
前記光源からの出射光を前記試料配置部に入射させると共に該試料配置部からの全反射光を前記受光素子列に導くプリズムとを有し、
前記プリズムは、前記試料配置部を有する放物形状の光学面と、前記放物形状の光学面の焦点から前記放物形状の光学面に入射し該前記放物形状の光学面で全反射した光を該プリズムの外部に垂直に出射させる出射面を有し、
前記受光素子列の各受光素子は、前記出射面から垂直に出射した光を受光面で垂直に受光するように配置され、さらに、
前記光源からの出射光が、前記放物形状の光学面の焦点を中心として発散する発散光となるように構成されていることを特徴とする光学ユニット。
A light source;
A light receiving element array;
A prism that causes the light emitted from the light source to enter the sample placement portion and guides the total reflected light from the sample placement portion to the light receiving element array;
The prism is incident on the parabolic optical surface from the parabolic optical surface having the sample placement portion and the focal point of the parabolic optical surface, and is totally reflected by the parabolic optical surface. Having an exit surface for emitting light vertically to the outside of the prism;
Each light receiving element of the light receiving element array is disposed so as to receive light vertically emitted from the emitting surface vertically by the light receiving surface,
An optical unit configured so that light emitted from the light source becomes divergent light that diverges around the focal point of the parabolic optical surface.
前記プリズムは、全体が略二分の一のカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、前記出射面が前記放物形状の対称軸に垂直な平面で構成され、さらに、前記放物形状の対称軸を含み該対称軸に平行な平面を有し、
前記光源は、発散光を出射し、且つ、前記放物形状の対称軸を含み該対称軸に平行な平面における前記放物形状の光学面の焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学ユニット。
The prism is composed of a transparent member that is formed in a substantially half of a semi-cylindrical shape as a whole, the exit surface is composed of a plane perpendicular to the parabolic symmetry axis, and the parabolic symmetry. Having a plane including and parallel to the axis of symmetry;
The light source emits divergent light and is disposed at a focal position of the parabolic optical surface in a plane including the parabolic symmetry axis and parallel to the symmetry axis. Item 2. The optical unit according to Item 1.
前記プリズムは、さらに、前記放物形状の光学面の焦点を中心とする前記光源からの発散光を垂直に入射させる球面形状の入射面を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光学ユニット。   3. The prism according to claim 1, further comprising a spherical incident surface on which divergent light from the light source that is centered on a focal point of the parabolic optical surface is incident vertically. Optical unit. 前記プリズムは、全体が前記放物形状の光学面の対称軸を中心として、放物線を所定の角度回転させた形状に形成された透明部材で構成され、前記出射面が前記放物形状の対称軸に垂直な平面で構成され、さらに、前記放物形状の光学面の焦点を中心とする前記光源からの出射光を垂直に入射させる球面形状の入射面を有し、
前記光源は、発散光を出射し、且つ、前記入射面における前記放物形状の光学面の焦点位置に配置され、
前記受光素子列の各受光素子は、2次元方向に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学ユニット。
The prism is composed of a transparent member formed in a shape obtained by rotating a parabola by a predetermined angle around the symmetry axis of the parabolic optical surface, and the exit surface is a symmetry axis of the parabolic shape. Further comprising a spherical incident surface for vertically emitting light emitted from the light source centered on the focal point of the parabolic optical surface,
The light source emits divergent light and is disposed at a focal position of the parabolic optical surface on the incident surface;
The optical unit according to claim 1, wherein each light receiving element of the light receiving element array is arranged in a two-dimensional direction.
前記プリズムは、全体が略二分の一のカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、さらに、前記放物形状の対称軸に垂直な面に対して垂直な入射面と、前記放物形状の光学面の焦点位置上方から前記入射面に対し垂直に入射した平行光を発散光に変換して前記放物形状の光学面に偏向する発散光変換手段を有し、
前記光源は、平行光を出射し、且つ、出射した該平行光が前記プリズムにおける前記放物形状の光学面の焦点位置上方から前記入射面に対し垂直に入射するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学ユニット。
The prism is composed of a transparent member that is formed in a substantially half of a semi-cylindrical shape as a whole, and further includes an incident surface perpendicular to a surface perpendicular to the symmetry axis of the parabolic shape, and the parabolic shape. A divergent light converting means for converting parallel light incident perpendicularly to the incident surface from above the focal position of the optical surface into divergent light and deflecting it to the parabolic optical surface;
The light source emits parallel light, and the emitted parallel light is disposed so as to be perpendicularly incident on the incident surface from above the focal position of the parabolic optical surface of the prism. The optical unit according to claim 1.
前記発散光変換手段は、前記放物形状の光学面の焦点を通り、前記放物形状の対称軸に対して垂直で、且つ、頂点が前記入射面側を向いた円錐形状の孔に反射膜を備えてなる反射面からなることを特徴とする請求項5に記載の光学ユニット。   The divergent light converting means passes through the focal point of the parabolic optical surface, is perpendicular to the axis of symmetry of the parabolic shape, and has a reflecting film on a conical hole whose apex faces the incident surface side. The optical unit according to claim 5, wherein the optical unit comprises a reflecting surface. 前記プリズムは、全体がカマボコ形状に形成された透明部材で構成され、さらに、前記放物形状の光学面の対称軸を隔てて前記出射面と同一平面上に設けられた入射面を有し、
前記光源は、平行光を出射し、且つ、出射した該平行光が前記プリズムにおける前記入射面に対し垂直に入射するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学ユニット。
The prism is composed of a transparent member formed entirely in a kamaboko shape, and further has an incident surface provided on the same plane as the exit surface with an axis of symmetry of the parabolic optical surface,
2. The optical unit according to claim 1, wherein the light source emits parallel light, and the emitted parallel light is arranged so as to be perpendicular to the incident surface of the prism.
前記試料配置部に金属膜が蒸着されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の光学ユニット。   The optical unit according to claim 1, wherein a metal film is deposited on the sample placement portion.
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