JP2009086571A - Liquid crystal display apparatus and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示装置、及び液晶表示装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a liquid crystal display device and a method for manufacturing the liquid crystal display device.
液滴吐出ヘッドによりインクを吐出するインクジェット法(液滴吐出法)を用いて、配向膜を形成することが提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。このようなインクジェット法では、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出ヘッド群を基板上に相対的に移動させながら、前記各液滴吐出ヘッドのノズルからインクを吐出することで基板の全面に配向膜を形成することができる。
このように複数の液滴吐出ヘッドを用いたインク吐出工程では、隣接するヘッド間におけるノズルピッチを近づけるべく、移動方向に対して液滴吐出ヘッドを前後に配置した構成が採用される。しかしながら、このような移動方向に対して液滴吐出ヘッドが前後に配置された構成を有する液滴吐出ヘッド群は、ヘッドの連結部において隣接するヘッドのノズルから吐出されるインクが基板上に時間差がある状態で着弾する。そのため、インクの混じり方に差が生じて均一な乾燥を行うことができず、膜厚ムラ(ムラ)が生じてしまう。すると、この膜厚ムラに起因して輝度ムラが生じ、表示品位が低下するといった問題がある。そこで、このような配向膜のムラに起因する表示品質の低下を抑制することのできる技術が望まれる。 In this way, in the ink ejection process using a plurality of droplet ejection heads, a configuration is adopted in which the droplet ejection heads are arranged at the front and rear with respect to the movement direction in order to bring the nozzle pitch between adjacent heads closer. However, a droplet discharge head group having a configuration in which the droplet discharge heads are arranged in the front and rear with respect to the moving direction, the ink discharged from the nozzles of the adjacent heads at the head connecting portion has a time difference on the substrate. Landing in a state where there is. For this reason, there is a difference in how ink is mixed, and uniform drying cannot be performed, resulting in uneven film thickness (unevenness). Then, luminance unevenness occurs due to the film thickness unevenness, and there is a problem that display quality is deteriorated. Therefore, a technique that can suppress a decrease in display quality due to such unevenness of the alignment film is desired.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、配向膜に生じるムラに起因する表示品位の低下を抑制することのできる、液晶表示装置、及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a liquid crystal display device and a method for manufacturing the liquid crystal display device, which can suppress deterioration in display quality caused by unevenness generated in an alignment film. The purpose is that.
上記課題を解決するために、本発明の液晶表示装置は、第1の基板及び第2の基板に挟持された液晶層を有する液晶表示装置であって、前記各基板における前記液晶層側には、それぞれ液滴吐出法によって形成された際のスジ状のムラを含む配向膜が設けられており、前記各基板は、前記各基板に設けられた配向膜の前記スジ状のムラが互いにスジ状に重ならないように配置されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a liquid crystal display device of the present invention is a liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between a first substrate and a second substrate, and the liquid crystal layer side of each substrate is on the liquid crystal layer side. , Each of the substrates is provided with an alignment film including streak-like unevenness when formed by a droplet discharge method, and each of the substrates has a streak-like unevenness of the alignment film provided on each of the substrates. It arrange | positions so that it may not overlap.
本発明の液晶表示装置によれば、液滴吐出法によって形成した際のムラがスジ状に重なることがないので、スジ状に重なったムラが強調されてしまい、表示品位が低下するといった不具合が生じることが防止され、配向膜に生じるムラに起因する表示品位の低下を抑制できる。 According to the liquid crystal display device of the present invention, since the unevenness when formed by the droplet discharge method does not overlap in the form of streaks, the unevenness in the form of streaks is emphasized and the display quality is deteriorated. Occurrence is prevented, and deterioration of display quality due to unevenness generated in the alignment film can be suppressed.
また、上記液晶表示装置においては、前記各基板に設けられた前記配向膜の前記スジ状のムラがそれぞれ平行に配置されるのが好ましい。
この構成によれば、それぞれの基板におけるムラが平面視した状態で重なることがないので、ムラが分散されることで表示品位の低下を抑制することができ、結果的に表示品位の高いものを提供できる。
In the liquid crystal display device, it is preferable that the stripe-shaped unevenness of the alignment film provided on each substrate is arranged in parallel.
According to this configuration, since unevenness in each substrate does not overlap in a plan view, it is possible to suppress deterioration in display quality by dispersion of unevenness, resulting in high display quality. Can be provided.
本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1の基板及び第2の基板に挟持された液晶層を有する液晶表示装置の製造方法であって、前記第1の基板と、液滴吐出ヘッドが複数配置されてなる液滴吐出ヘッド群とを相対的に走査し、前記第1の基板上に機能液を吐出することでスジ状のムラを含む第1の配向膜を形成する工程と、前記第2の基板と、前記液滴吐出ヘッド群とを相対的に走査し、前記第2の基板上に機能液を吐出することでスジ状のムラを含む第2の配向膜を形成する工程と、前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせる工程と、を備え、前記第1の配向膜と前記第2の配向膜は、前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせた時に、それぞれのスジ状のムラが互いにスジ状に重ならないように形成することを特徴とする。 A method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between a first substrate and a second substrate, wherein the first substrate and a droplet discharge head are provided. Forming a first alignment film including streaky unevenness by relatively scanning a plurality of droplet discharge head groups and discharging a functional liquid onto the first substrate; Forming a second alignment film including streak-like unevenness by relatively scanning the second substrate and the droplet discharge head group and discharging a functional liquid onto the second substrate; Bonding the first substrate and the second substrate, wherein the first alignment film and the second alignment film are formed by combining the first substrate and the second substrate. It is characterized by forming each stripe-like unevenness so that they do not overlap each other when they are bonded together. .
本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、第1の基板に生じるムラと第2の基板に生じるムラとが基板貼り合せ時にスジ状に重なることがないので、スジ状に重なったムラが強調されてしまい、表示品位が低下するといった不具合が生じることが防止され、配向膜に生じるムラに起因する表示品位の低下を抑制できる。 According to the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the unevenness that occurs on the first substrate and the unevenness that occurs on the second substrate do not overlap in the form of streaks when the substrates are bonded together. It is emphasized, and it is possible to prevent a problem such as a deterioration in display quality, and it is possible to suppress a reduction in display quality due to unevenness generated in the alignment film.
また、上記液晶表示装置の製造方法においては、前記第1の配向膜及び前記第2の配向膜の前記スジ状のムラがそれぞれ平行となるように前記第1の基板と前記第2の基板を貼り合わせるのが好ましい。
この構成によれば、第1の基板、及び第2の基板におけるムラが平面視した状態で重なることがないので、ムラが分散されることで表示品位の低下を抑制することができ、より表示品位の高いものを提供できる。
In the method of manufacturing the liquid crystal display device, the first substrate and the second substrate are arranged so that the stripe-shaped unevenness of the first alignment film and the second alignment film are parallel to each other. It is preferable to bond them together.
According to this configuration, since unevenness in the first substrate and the second substrate does not overlap in a plan view, deterioration in display quality can be suppressed by dispersion of unevenness, and more display. High quality can be provided.
また、上記液晶表示装置の製造方法においては、前記第2の配向膜を形成する工程においては、前記第1の配向膜を形成する工程における前記第1の基板と前記液滴吐出ヘッド群の相対位置を走査方向に交差する方向に前記液滴吐出ヘッドのノズル1ピッチ以上ずらした状態で走査するのが好ましい。
この構成によれば、第2の配向膜を形成する際に、基板に対する液滴吐出ヘッド群の相対位置をノズル1ピッチ以上ずらすことで、第1の配向膜のムラにスジ状に重ならない第2の配向膜を容易に形成することができる。
In the method of manufacturing the liquid crystal display device, in the step of forming the second alignment film, the first substrate and the droplet discharge head group in the step of forming the first alignment film may be relative to each other. It is preferable to scan in a state where the position is shifted by one pitch or more of the nozzles of the droplet discharge head in a direction crossing the scanning direction.
According to this configuration, when the second alignment film is formed, the relative position of the droplet discharge head group with respect to the substrate is shifted by one pitch or more of the nozzles, so that the first alignment film does not overlap with the unevenness of the first alignment film. 2 alignment films can be easily formed.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。また、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the technical scope of the present invention is not limited to the following embodiments. In the drawings used for the following description, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size.
まず、本発明の液晶表示装置の製造方法の一実施形態に基づいて製造された液晶表示装置の構成について説明する。
図1(a)は液晶表示装置のうち、主に配向膜を示す部分平面構成図であり、図1(b)は図1(a)に対応する液晶表示装置100の部分断面構成図である。図2は液晶表示装置100の全体構成を示す図であり、図3は液晶表示装置100の等価回路を示す図である。
First, the structure of the liquid crystal display device manufactured based on one Embodiment of the manufacturing method of the liquid crystal display device of this invention is demonstrated.
FIG. 1A is a partial plan configuration diagram mainly showing an alignment film in the liquid crystal display device, and FIG. 1B is a partial cross-sectional configuration diagram of the liquid
図1(b)に示す断面構造をみると、液晶表示装置100は、TFTアレイ基板(第1の基板)10と、これに対向配置される対向基板(第2の基板)25とを備え、これら両基板10,25間に液晶層50が挟持されている。液晶層50は基板面内でほぼ一定の層厚に形成されている。TFTアレイ基板10の外面側にあたる液晶パネルの背面側には、光源、リフレクタ、導光板などを有するバックライト60が配設されている。
Referring to the cross-sectional structure shown in FIG. 1B, the liquid
前記基板10,25の液晶層50側には、配向膜(第1の配向膜)14、及び配向膜(第2の配向膜)24が設けられている。これら配向膜14,24は、詳細については後述するように液滴吐出法(インクジェット法)により形成されたものであって、ポリイミドから構成される。また、本実施形態では、複数の液滴吐出ヘッドを含む液滴吐出ヘッド群を基板上に移動させつつ、配向膜の形成材料を含んだインクを基板上に吐出することで配向膜14,24を形成している。
An alignment film (first alignment film) 14 and an alignment film (second alignment film) 24 are provided on the
このような液滴吐出プロセスを用いた場合、配向膜14,24にはスジ状のムラ14a,24aが形成されてしまう。すなわち、本実施形態に係る配向膜14,24は、スジ状のムラ14a,24aを含んだものとなる。
When such a droplet discharge process is used,
図1(a)は液晶表示装置100を対向基板25側から視たものであり、図に示されるようにこれらムラ14a,24aがスジ状に重ならないようになっている。具体的に本実施形態では、各配向膜14,24のムラ14a,24aがそれぞれ平行となるように配置される。
FIG. 1A shows the liquid
ところで、TFTアレイ基板10側における配向膜14のムラ14a、及び対向基板25側における配向膜24のムラ24aが平面視した状態で重なるとムラが強調されることで液晶表示装置100における表示品位が低下するといった問題が発生してしまう。
By the way, when the
一方、本実施形態に係る液晶表示装置100では、上述したように各配向膜14,24のムラ14a,24aがそれぞれ平行となっているので、表示領域内においてムラ14a.24a同士が重なる(交点)が生じることが防止される。したがって、表示領域全体にムラが分散されることで、ムラ14a,24aに起因する表示品位の低下が抑制されたものとなる。
On the other hand, in the liquid
TFTアレイ基板10は、石英、ガラス等の透光性材料からなる基板本体10Aを基体としてなり、基板本体10Aの内面側(液晶層50側)に、ITO(インジウム錫酸化物)等の透光性導電材料からなる画素電極9が各画素領域にそれぞれ形成されており、該画素電極9を覆うように上記配向膜14が形成されている。
The
なお、TFTアレイ基板10には画素電極9を駆動するスイッチング素子としてのTFTが形成されているが、本図ではその図示を省略している。また、基板本体10Aの外面側には、位相差板16と偏光板17とが、基板本体10A側から順に積層されている。
Note that a TFT as a switching element for driving the
対向基板25は、石英、ガラス等の透光性材料からなる基板本体25Aを基体として備え、基板本体25Aの内面側には、上述したように遮光部45によって区画された領域にカラーフィルタ層22が形成されている。
The
遮光部45は例えばカーボンブラックを含む導電性材料等から構成される。また、カラーフィルタ層22は、平面視略格子状に延在する遮光部45と、遮光部45の間隙に形成された複数の平面視略矩形状の各色が着色された着色層22R,22G,22Bとを備えている。この遮光部45によって区画される領域は、液晶表示装置100における各画素領域を構成している。また、遮光部45は、隣接する着色層22R,22G,22Bからの光の混色を防ぐ機能を奏する。
The
また、遮光部45及びカラーフィルタ層22を覆うようにしてITO(インジウム錫酸化物)等の透光性導電材料からなる共通電極23が形成されている。さらに、共通電極23を覆うようにして上記配向膜24が形成されている。
A
基板本体25Aの外面側には、位相差板26と偏光板27とが基板本体25A側から順に積層されている。
上記偏光板17,27は、特定方向に振動する直線偏光のみを透過させる機能を有する。また位相差板16,26は、必要に応じて設けられ、例えば可視光の波長に対して略1/4波長の位相差を持つλ/4位相差板や、視角補償機能を有する位相差板が用いられる。
On the outer surface side of the
The
次に、図2、図3を参照して本発明に係る液晶表示装置の具体的な構成例について説明する。なお、図2、図3において図1に示した液晶表示装置100と共通の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略することとする。
Next, a specific configuration example of the liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3, the same reference numerals are given to the same components as those of the liquid
図2に示すように、液晶表示装置100は、TFTアレイ基板10と、対向基板25とが、平面視略矩形枠状のシール材52を介して貼り合わされ、このシール材52によって区画された領域内に液晶層50が封入された構成を備える。シール材52の内側の領域には、遮光性材料からなる周辺見切部53が矩形枠状に形成されている。シール材52の外側の周辺回路領域には、データ線駆動回路201および外部回路実装端子202がTFTアレイ基板10の一辺に沿って配設されており、この一辺に隣接する2辺に沿って走査線駆動回路104,104が設けられている。TFTアレイ基板10の残る一辺には、表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路104,104間を接続する複数の配線105が形成されている。また、対向基板25の角部には、TFTアレイ基板10と対向基板25との間で電気的導通をとるための基板間導通材106が配設されている。
As shown in FIG. 2, the liquid
図3は、本実施形態の液晶表示装置100の透過回路図である。本実施の形態の液晶表示装置において、画像表示領域を構成するマトリクス状に配置された複数のドットには、画素電極9と当該画素電極9を制御するためのスイッチング素子であるTFT30がそれぞれ形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給されるか、あるいは相隣接する複数のデータ線6aに対してグループ毎に供給される。また、走査線3aがTFT30のゲートに電気的に接続されており、複数の走査線3aに対して走査信号G1、G2、…、Gmが所定のタイミングでパルス的に線順次で印加される。また、画素電極9はTFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけオンすることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。
FIG. 3 is a transmission circuit diagram of the liquid
画素電極9を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、共通電極23との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ここで、保持された画像信号がリークするのを防止するために、画素電極9と共通電極23との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70が付加されている。尚、符号3bは容量線である。
Image signals S1, S2,..., Sn written at a predetermined level on the liquid crystal via the
本実施形態に係る液晶表示装置100によれば、液滴吐出法によって配向膜14,24を形成した際に配向膜14,24に生じるムラが重なることがないので、ムラが強調されてしまい、表示品位が低下するといった不具合が防止され、配向膜14,24に生じたムラに起因した表示品位の低下が抑制されたものとすることができる。
According to the liquid
(液晶表示装置の製造方法)
次に、本発明に係る液晶表示装置の製造方法の一実施形態として、上記液晶表示装置100を製造する工程を例に説明する。本発明に係る製造方法は、TFTアレイ基板10、対向基板25の内面側(液晶層50側)に液滴吐出法を用いて配向膜14,24を形成する工程に特徴を有している。以下の説明では液滴吐出法を用いた配向膜14,24の形成工程について詳細に説明する。
(Manufacturing method of liquid crystal display device)
Next, as an embodiment of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, a process for manufacturing the liquid
まず、配向膜14,24を形成するインクジェット(液滴吐出)プロセスに用いられる液滴吐出装置IJの構成について説明する。図4は、液滴吐出装置IJの概略構成を示す図である。
First, the configuration of the droplet discharge device IJ used in the inkjet (droplet discharge) process for forming the
液滴吐出装置IJは、図4に示すように、基材Z上にインク(液状材料)を所定のパターンで供給可能な液滴吐出装置(インクジェット装置)であり、水平に設置されたベース112と、ベース112上に設けられて基材Zを支持するステージ138と、ベース112とステージ138との間に介在してステージ138を移動可能に支持する第1移動装置130と、ステージ138に支持されている基材Zに対して所定の材料を含むインク滴を定量的に吐出(滴下)可能な液滴吐出ヘッド群20と、液滴吐出ヘッド群20を移動可能に支持する第2移動装置140とを備える。
As shown in FIG. 4, the droplet discharge device IJ is a droplet discharge device (inkjet device) that can supply ink (liquid material) in a predetermined pattern onto a substrate Z, and has a base 112 installed horizontally. A
ここで、上記液滴吐出ヘッド群20の構成について詳しく説明する。図5は液滴吐出ヘッド群20の概略構成図である。図5に示されるように、液滴吐出ヘッド群20は、インクを吐出するためのノズル19が形成された液滴吐出ヘッド20aを複数備えており、その幅がインクを吐出するための基材Z(本実施形態では、基板10,25に相当)の横幅よりも広くなっている。これにより、液滴吐出ヘッド群20は基材Z上を1度だけ走査することで基材Zの全面に所望の薄膜を形成可能となっている(本実施形態では、配向膜14,24を形成している)。
Here, the configuration of the droplet
これら各液滴吐出ヘッド20aは基材Zに対する相対的な移動方向に対して前後にずれて配置(本実施形態では、千鳥状に配置)されている。
このような配置構成を採用することで、図5中波線で囲まれる領域内において隣接するヘッド20a同士のノズル19間のピッチを狭めることが可能となる。
また、液滴吐出ヘッド群20は、2つの液滴吐出ヘッド20aを備えた第一ヘッド列29と、3つの液滴吐出ヘッド20aを備えた第二ヘッド列28とを含んでいる。したがって、第一ヘッド列29のヘッド20aからインクが吐出されない領域を補間するように第二ヘッド列28のヘッド20aからインクが吐出することで、基材Zの横幅全体に亘ってインクを吐出することが可能となる。
Each of these droplet discharge heads 20a is disposed so as to be shifted back and forth with respect to the relative movement direction with respect to the substrate Z (arranged in a staggered manner in this embodiment).
By adopting such an arrangement, it is possible to reduce the pitch between the
The droplet
ところで、各液滴吐出ヘッド20aはピエゾ方式を採用したものであり、このピエゾ方式による液滴吐出は、インクに熱を加えないため、インクの組成に影響を与えにくいという利点を有している。具体的に、液滴吐出ヘッド20aには、図6に示されるようにインク(機能液)Iを収容する液体室121に隣接してピエゾ素子122が設置されている。液体室121には、インクを収容するタンクを含むインク供給系123を介してインクが供給される。
By the way, each
ピエゾ素子122は、駆動回路124に接続されており、この駆動回路124を介してピエゾ素子122に電圧を印加すると、ピエゾ素子122が変形し、液体室121を押圧することによって、インクIをノズル19から吐出させる。この場合、印加する電圧値を変化させることにより、ピエゾ素子122の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子122の歪み速度が制御される。
The
また、インクの吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。このうち、帯電制御方式は、インクに帯電電極で電荷を付与し、偏向電極でインクの飛翔方向を制御してノズルからインクを吐出させるものである。一方、加圧振動方式は、インクに30kg/cm2程度の超高圧を印加して、ノズルの先端からインクを吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には、ノズルからインクが直進して吐出され、制御電圧をかけると、インク間に静電的な反発が起こり、インクが飛散してノズルから吐出されない。
一方、電気機械変換方式は、上述したように、ピエゾ素子(圧電素子)がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによってインクを貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間からインクを押し出してノズルからインクを吐出させるものである。
一方、電気熱変換方式は、インクを貯留した空間内に設けたヒータにより、インクを急激に気化させてバブル(泡)を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、インクを貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルにインクのメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてからインクを引き出すものである。
また、この他にも、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術もある。インクジェット法は、インクの使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量のインクを的確に配置できるという利点を有する。なお、インクジェット法により吐出されるインク(流動体)の一滴の量は、例えば1〜300ナノグラムである。
Examples of the ink ejection technique include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method. Among these, the charge control method applies charge to ink with a charging electrode, and controls the flight direction of the ink with a deflection electrode to discharge the ink from the nozzle. On the other hand, the pressure vibration method applies an ultra-high pressure of about 30 kg /
On the other hand, as described above, the electromechanical conversion method uses the property that a piezo element (piezoelectric element) deforms in response to a pulsed electric signal, and the piezo element deforms into a space where ink is stored. Pressure is applied through a flexible material, ink is pushed out from this space, and ink is ejected from the nozzles.
On the other hand, in the electrothermal conversion method, a heater provided in a space in which ink is stored causes the ink to rapidly vaporize to generate bubbles, and the material in the space is ejected by the pressure of the bubbles. In the electrostatic suction method, a minute pressure is applied to a space in which ink is stored to form an ink meniscus in the nozzle, and an electrostatic attractive force is applied in this state before the ink is drawn out.
In addition, there are other techniques such as a system that uses a change in the viscosity of a fluid due to an electric field and a system that uses a discharge spark. The ink jet method has an advantage that the use of ink is less wasteful and a desired amount of ink can be accurately disposed at a desired position. The amount of one drop of ink (fluid) ejected by the ink jet method is, for example, 1 to 300 nanograms.
液滴吐出ヘッド群20の吐出動作や第1移動装置130及び第2移動装置140の移動動作を含む液滴吐出装置IJの動作等を制御する制御装置61を備える。
なお、ベース112の前後方向に沿った方向をY方向、これに対してベース112の左右方向に沿った方向をX方向とする。また、X方向及びY方向に垂直な方向をZ方向、Z軸回りの回転方法をθz方向とする。
A
A direction along the front-rear direction of the
第1移動装置130は、ベース112の上に設置されたガイドレール132と、このガイドレール132に沿って移動可能に支持されたスライダー134と、スライダー134を移動させるリニアモータ等の駆動部(不図示)とから構成される。
そして、制御装置61からの指示により、第1移動装置130を駆動することにより、スライダー134をガイドレール132に沿ってY方向に移動させて、基材Zの位置決めすることができる。
The first moving
Then, by driving the first moving
また、スライダー134上には、Z軸回り(θz)用のモータ136を介してステージ138が支持される。モータ136は、例えばダイレクトドライブモータであり、モータ136を駆動することによりステージ138をスライダー134に対して微少にθz方向に回転させることができる。すなわち、第1移動装置130は、ステージ138をY方向及びθz方向に移動可能に支持する。ステージ138は基材Zを保持するものであり、上面に設けた不図示の吸着保持装置により、基材Zをステージ138上に吸着保持可能としている。
A
第2移動装置140は、ベース112の略中央に立設された2本の支柱74と、支柱74によりX方向に沿って固定されたコラム76と、コラム76に支持されたガイドレール142と、ガイドレール142に沿ってX方向に移動可能に支持されたスライダー144と、スライダー144を移動させるリニアモータ等の駆動部(不図示)とから構成される。
そして、制御装置61からの指示により、第2移動装置140を駆動することにより、スライダー144をガイドレール142に沿ってX方向に移動させて、液滴吐出ヘッド群20の位置決めすることができる。なお、第2移動装置140によるスライダー144の移動方向であるフィード方向は、第1移動装置130によるスライダー134の移動方向であるスキャン方向と直交する方向である。
The second moving
Then, by driving the second moving
また、スライダー144には、モータ146、48を介して液滴吐出ヘッド群20が支持される。そして、モータ146を作動することにより、液滴吐出ヘッド群20をZ方向に沿って微少に上下移動させて位置決めが可能となる。また、モータ148を作動することにより、液滴吐出ヘッド群20をZ軸回り(θz方向)に微少回転して位置決め可能である。
The
すなわち、第2移動装置140は、液滴吐出ヘッド群20をX方向に移動可能に支持するとともに、液滴吐出ヘッド群20をZ方向、θz方向に微動可能に支持する。これにより、液滴吐出ヘッド群20の液滴吐出面をステージ138上に戴置した基材Zに対して正確に位置合わせすることができる。なお、液滴吐出ヘッド群20の液滴吐出面と基材Zの上面とを1mm以下に近接させることにより、吐出した液滴の飛行曲りを抑えて、液滴の配置精度の向上が図られる。
That is, the second moving
続いて、上記液滴吐出装置IJを用いて配向膜を製造する工程について説明する。
図7(a)はTFTアレイ基板10上に配向膜14を形成する工程を示す図であり、図7(b)は対向基板25上に配向膜24を形成する工程を示す図である。なお、同図中においては両基板10,25の構成を簡略化した状態で図示している。
Next, a process for manufacturing an alignment film using the droplet discharge device IJ will be described.
FIG. 7A is a diagram showing a process of forming the
図7(a)に示される工程では、まず従来公知の方法によりTFT30及び画素電極9等を形成した基板本体10Aを基材Zとして液滴吐出装置IJのステージ138上に配置する。また、図7(b)に示される工程においても同様に、従来公知の方法によりカラーフィルタ層22及び共通電極23を形成した基板本体25Aを基材Zとして液滴吐出装置IJのステージ138上に配置する。
In the step shown in FIG. 7A, first, a
続いて、液滴吐出ヘッド群20から配向膜形成材料を含むインクIを吐出し、乾燥処理を施すことで基板本体10A,25A上に配向膜14、24を形成できる。
。
Subsequently, the
.
インクIの溶媒としては、凝集を起こさないものであれば特に限定されるものではなく、例えば、水や、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、n−ヘプタン、n−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、p−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。 The solvent of the ink I is not particularly limited as long as it does not cause aggregation. For example, water, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, and butanol, n-heptane, n-octane, decane, Hydrocarbon compounds such as dodecane, tetradecane, toluene, xylene, cymene, durene, indene, dipentene, tetrahydronaphthalene, decahydronaphthalene, cyclohexylbenzene, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, Diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, - ether compounds such as dioxane, propylene carbonate, .gamma.-butyrolactone, N- methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, and cyclohexanone.
インクIの表面張力は、0.02N/m〜0.07N/mの範囲内であることが好ましい。インクジェット法でインクを吐出する際、表面張力が0.02N/m未満であると、インクのノズルに対する濡れ性が増大するため、飛行曲りが生じやすくなり、0.07N/mを超えると、ノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため、吐出量や、吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、前記溶媒には、基材との接触角を大きく低下させず、かつ液晶の配向に影響のない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、インクIの基板への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。 The surface tension of the ink I is preferably in the range of 0.02 N / m to 0.07 N / m. When the ink is ejected by the ink jet method, if the surface tension is less than 0.02 N / m, the wettability of the ink to the nozzle increases, and thus flight bending easily occurs. If the surface tension exceeds 0.07 N / m, the nozzle Since the shape of the meniscus at the tip is not stable, it becomes difficult to control the discharge amount and the discharge timing. In order to adjust the surface tension, the solvent may contain a surface tension regulator such as a fluorine-based, silicone-based, or nonionic-based material in a range that does not significantly reduce the contact angle with the substrate and does not affect the alignment of the liquid crystal. Add a trace amount. The nonionic surface tension modifier improves the wettability of the ink I to the substrate, improves the leveling property of the film, and helps prevent the occurrence of fine irregularities in the film. The surface tension adjusting agent may contain an organic compound such as alcohol, ether, ester, and ketone, if necessary.
インクIの粘度は、1mPa・s〜50mPa・sであることが好ましい。インクジェット法を用いてインクIを液滴として吐出する際、粘度が1mPa・sより小さい場合には、ノズル周辺部がインクIの流出により汚染されやすく、また粘度が50mPa・sより大きい場合は、ノズルの目詰まり頻度が高くなり、円滑な液滴の吐出が困難となる。 The viscosity of the ink I is preferably 1 mPa · s to 50 mPa · s. When the ink I is ejected as droplets using the inkjet method, if the viscosity is less than 1 mPa · s, the nozzle periphery is easily contaminated by the outflow of the ink I, and if the viscosity is greater than 50 mPa · s, The frequency of clogging of the nozzles increases, and it becomes difficult to smoothly discharge droplets.
基板上に吐出したインクIの乾燥処理としては、例えばホットプレートや、電気炉などによる加熱処理によって行うことができる。また、この乾燥処理は、ランプアニールによって行うこともできる。ランプアニールに使用する光の光源としては、特に限定されないが、赤外線ランプ、キセノンランプ、YAGレーザ、アルゴンレーザ、炭酸ガスレーザ、XeF、XeCl、XeBr、KrF、KrCl、ArF、ArClなどのエキシマレーザなどを光源として使用することができる。なお、このような熱処理又は光処理は、通常大気中で行うが、必要に応じて、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス雰囲気中で行うこともできる。 The drying process of the ink I discharged onto the substrate can be performed by a heating process using, for example, a hot plate or an electric furnace. This drying process can also be performed by lamp annealing. The light source used for lamp annealing is not particularly limited, but excimer lasers such as infrared lamps, xenon lamps, YAG lasers, argon lasers, carbon dioxide lasers, XeF, XeCl, XeBr, KrF, KrCl, ArF, ArCl, etc. It can be used as a light source. In addition, although such heat processing or light processing is normally performed in air | atmosphere, it can also be performed in inert gas atmosphere, such as nitrogen, argon, and helium, as needed.
ところで配向膜14、24には、スジ状のムラ14a,24aがそれぞれ生じる。
以下、配向膜14、24にムラ14a,24aが生じる理由について説明する。
図8は液滴吐出ヘッド群20から基材Z上にインクを吐出した状態を示す図である。液滴吐出工程では、まず基材Z上に図8(a)に示されるように液滴吐出ヘッド群20のうち、第一ヘッド列29の液滴吐出ヘッド20aからインクIが吐出される。これにより、第一ヘッド列29の各液滴吐出ヘッド20aに対応する位置にインク滴IAが形成される。液滴吐出ヘッド群20の移動に伴って、図8(b)に示すように、第二ヘッド列28の液滴吐出ヘッド20aからインクIが吐出される。これにより、第二ヘッド列28の各液滴吐出ヘッド20aに対応する位置にインク滴IBが形成される。
By the way,
Hereinafter, the reason why the
FIG. 8 is a diagram showing a state in which ink is ejected from the droplet
したがって、隣接する第一ヘッド列29の液滴吐出ヘッド20a及び第二ヘッド列28の液滴吐出ヘッド20aから吐出されるインク滴IA,IBは、それぞれ時間差が生じた状態で基材Z上に着弾するようになる。そのため、インク滴IA,IBの混じり方に差が生じることで乾燥工程において均一な乾燥が行われず、膜厚ムラとなる。すなわち、液滴吐出ヘッド群20を用いて基板10,25上に配向膜14,24を形成した場合、第一ヘッド列29及び第二ヘッド列28の境界部に対応する位置において図7(a),(b)に示されるようなムラ14a,24aが生じることとなる。
Therefore, the ink droplets IA and IB ejected from the
本実施形態では、図7(b)に示される対向基板25における配向膜24の形成時に、基板に対する液滴吐出ヘッド群20の相対位置Xを液滴吐出ヘッド20aにおけるノズル1ピッチP以上ずらした状態で行っている。これにより、図7(b)に示されるように配向膜24に生じるムラ24aを図7(a)で形成された配向膜14に生じるムラ14aに対して簡便且つ確実にずらすことができる。
In this embodiment, when the
このとき、液滴吐出ヘッド群20は、基板10A,25Aに対して平行に移動する。そのため、上記ムラ14a,24aはそれぞれ液滴吐出ヘッド群20の移動方向に沿ってスジ状に形成される。
At this time, the droplet
続いて、このようにして形成した基板10,25間に液晶層50を挟持するとともに、シール材52を介して互いに貼り合わせる。
このとき、前記ムラ14a,24aがそれぞれ平行となるように両方の基板10,25を貼り合わせる。これにより、TFTアレイ基板10、及び対向基板25におけるムラ14a,24aが平面視した状態で重なることがなくなり、ムラが分散されることで表示品位の低下が抑制された表示品位の高い液晶表示装置100を製造することができる。
Subsequently, the
At this time, both the
(変形例)
上記実施形態では、複数の液滴吐出ヘッド20aを備えた液滴吐出ヘッド群20を移動させることで基板上に配向膜を形成している。しかしながら、配向膜を形成する基板の幅に対して液滴吐出ヘッドの吐出面積が小さい、すなわち図9に示されるように1個の液滴吐出ヘッド20aを用いて基板上に配向膜を形成する場合、同図中−Y軸方向に沿ってインクを吐出しながら液滴吐出ヘッド20aを基板の一端側に到達させた後、基板の他端側に液滴吐出ヘッド20aを戻しつつ同図中+X軸方向に移動させる。そして、再度基板上にインクを吐出する。このように液滴吐出ヘッド20aを改行させつつ、インク吐出を行うことによっても基板全面に配向膜を形成することが可能となる。図9に示されるように液滴吐出ヘッドを改行する部分において上述したようなムラが形成される。このような場合においても、本発明は有効である。
(Modification)
In the above-described embodiment, the alignment film is formed on the substrate by moving the droplet
この場合、TFTアレイ基板10の配向膜形成時と、対向基板25の配向膜形成時とにおいて、基板に対する液滴吐出ヘッド20aの吐出開始位置(相対位置)をそれぞれ異ならせることで配向膜14,24に形成されるムラの位置を異ならせるようにすればよい。これにより、ムラが少なくともスジ状に重ならないように基板10,25を貼り合せることができ、ムラが分散されることで表示品位の低下が抑制された表示品位の高い液晶表示装置を製造することができる。
In this case, when the alignment film of the
(電子機器)
次に、本発明の液晶表示装置を適用した電子機器について説明する。
図10は、本発明を適用した電子機器の一例として示す携帯電話機1000の斜視図である。
図10に示す携帯電話機1000は、表示部1001と、複数の操作ボタン1002と、受話口1003と、送話口1004とを備え、表示部1001に、上述した液晶表示装置100を備えて構成されている。したがって、このような液晶表示装置100を備えた携帯電話機1000では、表示部1001において輝度ムラのない高品質のカラー表示を行うことができる。
(Electronics)
Next, electronic devices to which the liquid crystal display device of the present invention is applied will be described.
FIG. 10 is a perspective view of a mobile phone 1000 shown as an example of an electronic apparatus to which the present invention is applied.
A cellular phone 1000 illustrated in FIG. 10 includes a display portion 1001, a plurality of operation buttons 1002, a mouthpiece 1003, and a mouthpiece 1004. The display portion 1001 includes the liquid
なお、本発明を適用した電子機器としては、このような携帯電話機1000に限らず、例えば、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器などを挙げることできる。すなわち、本発明は、画像表示手段を備えた電子機器に広く適用することができ、何れの電子機器においても、色特性に優れた高品質のカラー表示を行うことができる。 Note that the electronic apparatus to which the present invention is applied is not limited to such a cellular phone 1000. For example, an electronic book, a personal computer, a digital still camera, a liquid crystal television, a viewfinder type or a monitor direct view type video tape recorder, a car Examples include a navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a workstation, a video phone, a POS terminal, and a device equipped with a touch panel. That is, the present invention can be widely applied to electronic devices including image display means, and any electronic device can perform high-quality color display with excellent color characteristics.
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。 The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention, and the specific materials and configurations described in the embodiment. These are merely examples, and can be changed as appropriate.
10…TFTアレイ基板(第1の基板)、14…配向膜(第1の配向膜)、20…液滴吐出ヘッド群、20a…液滴吐出ヘッド、24…配向膜(第2の配向膜)、24a…ムラ、25…対向基板(第2の基板)、25a…ムラ、50…液晶層、100…液晶表示装置、I…インク(機能液)
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記各基板における前記液晶層側には、それぞれ液滴吐出法によって形成された際のスジ状のムラを含む配向膜が設けられており、
前記各基板は、前記各基板に設けられた配向膜の前記スジ状のムラが互いにスジ状に重ならないように配置されることを特徴とする液晶表示装置。 A liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between a first substrate and a second substrate,
On the liquid crystal layer side of each substrate, an alignment film including streaky unevenness when formed by a droplet discharge method is provided,
The liquid crystal display device, wherein each of the substrates is arranged so that the stripe-shaped unevenness of the alignment film provided on the substrates does not overlap with each other.
前記第1の基板と、液滴吐出ヘッドが複数配置されてなる液滴吐出ヘッド群とを相対的に走査し、前記第1の基板上に機能液を吐出することでスジ状のムラを含む第1の配向膜を形成する工程と、
前記第2の基板と、前記液滴吐出ヘッド群とを相対的に走査し、前記第2の基板上に機能液を吐出することでスジ状のムラを含む第2の配向膜を形成する工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせる工程と、を備え、
前記第1の配向膜と前記第2の配向膜は、前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせた時に、それぞれのスジ状のムラが互いにスジ状に重ならないように形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A method of manufacturing a liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between a first substrate and a second substrate,
The first substrate and a droplet discharge head group in which a plurality of droplet discharge heads are arranged are relatively scanned, and functional liquid is discharged onto the first substrate, thereby causing streak-like unevenness. Forming a first alignment film;
Forming a second alignment film including streaky irregularities by relatively scanning the second substrate and the droplet discharge head group and discharging a functional liquid onto the second substrate; When,
Bonding the first substrate and the second substrate, and
The first alignment film and the second alignment film are formed such that when the first substrate and the second substrate are bonded to each other, the respective streaky irregularities do not overlap each other in a streak shape. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012124063A (en) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Sumitomo Chemical Co Ltd | Method for manufacturing light guide plate |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09105939A (en) * | 1995-10-12 | 1997-04-22 | Toshiba Corp | Formation of oriented film of liquid crystal display element and apparatus therefor |
JP2002196127A (en) * | 2000-10-17 | 2002-07-10 | Seiko Epson Corp | Inkjet recording apparatus and manufacturing method for functional liquid applied substrate |
JP2003121630A (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-23 | Seiko Epson Corp | Electrooptic device and its manufacturing method |
JP2005262744A (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ishii Hyoki Corp | Inkjet head, method for regulating position of line-type inkjet nozzle, method for regulating position of inkjet nozzle unit and alignment layer forming device |
JP2006102580A (en) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus, method for manufacturing panel, image display device and electronic equipment |
JP2007054703A (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Seiko Epson Corp | Apparatus and method for discharge of droplet, electro-optical apparatus and electronic equipment |
-
2007
- 2007-10-03 JP JP2007259487A patent/JP5233231B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09105939A (en) * | 1995-10-12 | 1997-04-22 | Toshiba Corp | Formation of oriented film of liquid crystal display element and apparatus therefor |
JP2002196127A (en) * | 2000-10-17 | 2002-07-10 | Seiko Epson Corp | Inkjet recording apparatus and manufacturing method for functional liquid applied substrate |
JP2003121630A (en) * | 2001-10-12 | 2003-04-23 | Seiko Epson Corp | Electrooptic device and its manufacturing method |
JP2005262744A (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Ishii Hyoki Corp | Inkjet head, method for regulating position of line-type inkjet nozzle, method for regulating position of inkjet nozzle unit and alignment layer forming device |
JP2006102580A (en) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Seiko Epson Corp | Droplet discharge apparatus, method for manufacturing panel, image display device and electronic equipment |
JP2007054703A (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Seiko Epson Corp | Apparatus and method for discharge of droplet, electro-optical apparatus and electronic equipment |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012124063A (en) * | 2010-12-09 | 2012-06-28 | Sumitomo Chemical Co Ltd | Method for manufacturing light guide plate |
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