JP2009076348A - Organic el display and its repair method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、修復可能な有機ELディスプレイ及びその修復方法に関する。 The present invention relates to a repairable organic EL display and a repair method thereof.
電子輸送材料、発光材料、ホール輸送材料等を積層し、導電材料で挟持してなる有機EL素子とスイッチング素子を配置してなる有機ELディスプレイは、低電圧駆動ディスプレイとして広く知られている。図8は従来例であり、有機ELディスプレイに配列する有機EL素子の断面図を示す。図中、1はスイッチング素子を有する基板、2はアノード電極、3はホール輸送層、4は発光層、5は電子輸送層、6は電子注入層、7はカソード電極を表す。 An organic EL display in which an organic EL element in which an electron transport material, a light emitting material, a hole transport material, and the like are stacked and sandwiched between conductive materials and a switching element are arranged is widely known as a low voltage drive display. FIG. 8 is a conventional example and shows a cross-sectional view of organic EL elements arranged in an organic EL display. In the figure, 1 is a substrate having a switching element, 2 is an anode electrode, 3 is a hole transport layer, 4 is a light emitting layer, 5 is an electron transport layer, 6 is an electron injection layer, and 7 is a cathode electrode.
有機ELディスプレイの製造において、異物やパターニング残渣の存在により、まれに作製工程において有機EL素子のアノード電極とカソード電極とが短絡して発光しない非点灯の有機EL素子が形成される。この短絡した有機EL素子の修復方法として、有機EL素子を分割形成して、修復する方法が知られている。分割された有機EL素子中の異物部をレーザーにより焼き切って修復する方法(特許文献1参照)や、分割された有機EL素子内に、過剰電流により切断する部分を設ける修復方法(特許文献2参照)が知られている。 In the production of an organic EL display, due to the presence of foreign matters and patterning residues, an anode electrode and a cathode electrode of an organic EL element are rarely short-circuited in a manufacturing process, and a non-lighting organic EL element that does not emit light is formed. As a method for repairing this short-circuited organic EL element, there is known a method in which an organic EL element is divided and repaired. A method for repairing a foreign matter portion in a divided organic EL element by burning it off with a laser (see Patent Document 1), or a repair method for providing a portion to be cut by excess current in the divided organic EL element (Patent Document 2) See).
しかしながら、短絡部を切断して有機EL素子を修復する際に、有機EL素子の短絡部周辺にダメージが発生する。発光領域でレーザー照射や過剰電流により修復を行った場合には、修復時のダメージにより、有機ELディスプレイの信頼性を損ねる問題がしばしば発生した。 However, when the organic EL element is repaired by cutting the short-circuit portion, damage occurs around the short-circuit portion of the organic EL element. When repairing is performed by laser irradiation or excess current in the light emitting region, there is often a problem that the reliability of the organic EL display is impaired due to damage at the time of repairing.
本発明は、修復時のダメージを低減でき、高い信頼性の有機ELディスプレイ及びその修復方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a highly reliable organic EL display that can reduce damage during repair and a repair method thereof.
上記課題を解決するための手段として、本発明は、
スイッチング素子及び有機EL素子を配列したアクティブマトリックス型の有機ELディスプレイにおいて、
各有機EL素子が複数の副素子を有しており、前記有機EL素子を駆動するスイッチング素子と各副素子との間の非発光領域に電流遮断部を有することを特徴とする。
As means for solving the above problems, the present invention provides:
In an active matrix type organic EL display in which switching elements and organic EL elements are arranged,
Each organic EL element has a plurality of sub-elements, and a current blocking portion is provided in a non-light-emitting region between the switching element that drives the organic EL element and each sub-element.
本発明により、短絡した有機EL素子の修復時に発生する有機EL素子へのダメージを低減し、信頼性の高い有機ELディスプレイの提供が可能となる。 According to the present invention, it is possible to reduce damage to an organic EL element that occurs at the time of repairing a short-circuited organic EL element and to provide a highly reliable organic EL display.
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態を説明する。
(Embodiment 1)
Embodiments of the present invention will be described below.
図1から図3は、本発明の実施形態の一例を示すものである。 1 to 3 show an example of an embodiment of the present invention.
図1は、有機EL素子を配列した有機ELディスプレイの一部を示す上面図である。図2は、本発明の有機ELディスプレイの作製方法を説明するための素子断面図であり、図中(a)から(e)はその途中の状態を示す。図3は、本実施形態の非点灯の有機EL素子の修復方法を説明するためのフロー図である。 FIG. 1 is a top view showing a part of an organic EL display in which organic EL elements are arranged. FIG. 2 is an element cross-sectional view for explaining a method for producing an organic EL display of the present invention, and (a) to (e) in the figure show the state in the middle. FIG. 3 is a flowchart for explaining the method for repairing the non-lighted organic EL element of the present embodiment.
図1及び図2において、101乃至104は下部電極であるアノード電極、105はスイッチング素子、106はスイッチング素子とアノード電極との接続線である。107、108は各々縦方向配線、横方向配線であり、スイッチング素子に接続されている。109は上部電極であるカソード電極、110は平坦化膜に形成したコンタクトホール、111は電流遮断部、112はスイッチング素子、縦方向配線、横方向配線、スイッチング素子とアノード電極との接続線を形成する基板である。113は平坦化膜、114は絶縁部、115は有機蒸着層である。
1 and 2,
図1に示す有機ELディスプレイは、スイッチング素子及び有機EL素子を配列したアクティブマトリックス型の有機ELディスプレイであり、各有機EL素子は複数(4つ)の副画素を有する。本実施形態では、1つの有機EL素子で一つの色を出し、赤、緑、青の3色の有機EL素子を順番に並べて画素を形成し、フルカラー表示させる構成とされている。 The organic EL display shown in FIG. 1 is an active matrix type organic EL display in which switching elements and organic EL elements are arranged, and each organic EL element has a plurality (four) of subpixels. In the present embodiment, one organic EL element emits one color, and the organic EL elements of three colors of red, green, and blue are arranged in order to form a pixel and display in full color.
各々の副画素は、副画素ごとに分割されたアノード電極101乃至104を有し、各々のアノード電極はスイッチング素子との接続線106と電気的に接続する引き出し部を有する。各々のアノード電極は絶縁部114により分割されるが、このとき前記絶縁部114は発光領域においてアノード電極の光取り出し側の面と略面一な平坦面を持つことが好ましい。絶縁部114の表面での外光の乱反射を防止できる。
Each sub-pixel has
スイッチング素子105には、非発光領域に形成された接続線106が電気的に接続されており、前記接続線106は、アノード電極の引き出し部と電気的に接続する引き出し部を有する。この接続線106の引き出し部は、接続された副画素が短絡している際に電流集中によって熱発光し、かつ少ない回数のレーザー照射で切断することができる幅、高さとされており、この部分が本実施形態で云う、電流遮断部111となる。なお、電流遮断部111はスイッチング素子105を覆う平坦化膜113に形成されたコンタクトホール領域に形成されていることが好ましい。発光領域へ切断部からの飛散物が付着しにくくなり、電気的又は光学的な問題が発生しにくくなる。
A
その他の構成は、通例の有機ELディスプレイと同様に、アノード電極上に有機蒸着層115が形成され、さらにその上にカソード電極109が形成されている。
In other configurations, the organic vapor-deposited
上記構成の有機ELディスプレイは、詳細は後述するが、非発光領域の電流遮断部で短絡して有機EL素子を修復できるので、その際に発生する有機EL素子へのダメージを低減し、信頼性の高い有機ELディスプレイの提供が可能となる。 Although the organic EL display having the above-described configuration will be described in detail later, the organic EL element can be repaired by short-circuiting at a current interrupting portion in a non-light emitting region, thereby reducing damage to the organic EL element that occurs and reliability It is possible to provide an organic EL display with high brightness.
上記構成の有機ELディスプレイは、以下のように作製される。 The organic EL display having the above configuration is manufactured as follows.
先ず、図2(a)に示すように、スイッチング素子、縦方向配線、横方向配線、スイッチング素子とアノード電極との接続線106が形成された基板112上に平坦化膜113を形成し、前記平坦化膜113にコンタクトホール110を形成する。スイッチング素子105は、発光領域外の駆動回路と接続された縦方向配線及び横方向配線と接続する。スイッチング素子とアノード電極との接続線106は、スイッチング素子105の形成と同時にCr及びAl合金を積層して形成する。平坦化膜113は感光性アクリル樹脂材料を用いて例えば0.9ミクロンの厚さに形成する。このとき、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングを行い、コンタクトホール110を形成する。
First, as shown in FIG. 2A, a
次に、図2(b)に示すように、アノード電極101及びその引き出し部を形成する。アノード電極101及びその引き出し部は、スパッタ法を用いて例えば0.4ミクロンの厚さで形成した後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法を用いて、所望のパターンに形成する。なお、アノード電極101は、コンタクトホール110内まで引き出された接続線106の引き出し部と接続する。上述したように、接続線106の引き出し部は、電流集中によって熱発光し、かつ少ない回数のレーザー照射で切断することができる幅、高さとされており、この部分が電流遮断部111とされる。
Next, as shown in FIG. 2B, the
次に、図2(c)に示すように絶縁部114を形成する。絶縁部114は窒化シリコン膜を例えば0.6ミクロンの厚さに形成する。
Next, an
次に、図2(d)に示すように、研磨粒子を用いて表面研磨を行いアノード電極101と絶縁部114とを平面化する。その結果、アノード電極101乃至104は、発光領域においてアノード電極と略面一な面をもつ絶縁部114によって分割される構成となる。
Next, as shown in FIG. 2D, surface polishing is performed using abrasive particles to planarize the
次に、図2(e)に示すように、有機蒸着膜115を形成し、さらにその上にカソード電極109を形成する。本実施形態においては、カソード電極109は、スパッタ法を用いてITOを例えば0.1ミクロンの厚さに形成する。なお、カソ−ド電極109は、スパッタ時にマスクを用いてストライプ状に形成し、表示領域周辺部で駆動回路(図示せず)に接続する。
Next, as shown in FIG.2 (e), the organic
上記構成の有機ELディスプレイを用いて、図3に示すように、本発明の修復方法は実施される。 As shown in FIG. 3, the repair method of the present invention is carried out using the organic EL display having the above configuration.
先ず、有機ELディスプレイを全白点灯させた際のCCDカメラ画像データから非点灯有機EL素子の有無とその位置を特定する(工程301)。 First, the presence / absence of a non-lighting organic EL element and its position are specified from the CCD camera image data when the organic EL display is turned on in all white (step 301).
次に、高感度CCDカメラ又は赤外線カメラを用いて、非点灯有機EL素子を観察し、前記非点灯有機EL素子のうち短絡している副画素を検出する(工程302)。このとき、短絡している副画素の短絡箇所又は予め電流断面積を小さくしてある電流遮断部は、電流集中により発光する。異物観察により短絡した副画素を推定して修復を行う方法において、異物が複数存在する場合は、短絡した副画素の特定が困難である。本発明により、有機EL素子を駆動するスイッチング素子に接続する複数の副素子のうち、短絡をしている副素子を確実に特定することが可能となる。 Next, a non-lighting organic EL element is observed using a high-sensitivity CCD camera or an infrared camera, and sub-pixels that are short-circuited among the non-lighting organic EL elements are detected (step 302). At this time, the short-circuited portion of the sub-pixel that is short-circuited or the current interrupting portion whose current cross-sectional area has been reduced in advance emits light due to current concentration. In the method of estimating and repairing a subpixel short-circuited by foreign object observation, if there are a plurality of foreign objects, it is difficult to identify the shorted sub-pixel. According to the present invention, it is possible to reliably identify a short-circuited subelement among a plurality of subelements connected to a switching element that drives an organic EL element.
短絡箇所の熱発光が検出された場合は、その副素子の電流遮断部にレーザーを照射して電気的に切断し修復処理を行う(工程303)。 When thermoluminescence at the short-circuited portion is detected, the current interrupting portion of the subelement is irradiated with a laser to be electrically disconnected and a repair process is performed (step 303).
次に、非点灯有機EL素子の点灯確認を行い、処理を終了する(工程304)。点灯しない場合は、再度、工程302に戻り、有機EL素子内の他の副素子の修復処理を行う。 Next, lighting confirmation of the non-lighting organic EL element is performed, and the processing is ended (step 304). If it is not lit, the process returns to step 302 again to repair other subelements in the organic EL element.
上記の有機ELディスプレイの修復方法は、非発光領域の電流遮断部で短絡した有機EL素子を修復するので、その際に発生する有機EL素子へのダメージを低減し、信頼性の高い有機ELディスプレイの提供が可能となる。 The organic EL display repairing method repairs an organic EL element that is short-circuited at a current blocking portion in a non-light-emitting region. Therefore, damage to the organic EL element that occurs at that time is reduced, and a highly reliable organic EL display Can be provided.
また、スイッチング素子と各々のアノード電極とは並列回路で接続されているため、各々の副画素は定電流駆動であり、修復した有機EL素子も他の有機EL素子に近い明るさで点灯させることができる。そのため、非点灯有機EL素子がなく均一な有機ELディスプレイが提供できる。また、長期に渡り信頼性の高い有機ELディスプレイの提供ができる。 In addition, since the switching element and each anode electrode are connected in a parallel circuit, each sub-pixel is driven with a constant current, and the repaired organic EL element is lit with brightness close to that of other organic EL elements. Can do. Therefore, a uniform organic EL display without a non-lighting organic EL element can be provided. In addition, a highly reliable organic EL display can be provided over a long period of time.
(実施の形態2)
次に、本発明の第2の実施形態の説明を行う。
(Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
図4は、本実施形態の有機ELディスプレイの作製方法を説明するための素子断面図であり、図中(a)から(e)はその途中の状態を示す。図中、201は発光領域であり、他の符号は、実施形態1と同様である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an element for explaining a method for producing an organic EL display according to the present embodiment. In the figure,
本実施形態においては、絶縁部114をスパッタで形成後、フォトリソグラフィ法を用いて発光領域201をエッチング除去している。他は、実施形態1と同様に作製する。
In this embodiment, after the insulating
本実施形態の有機ELディスプレイも、実施形態1と同様に修復することができ、非発光領域の電流遮断部で短絡した有機EL素子を修復できるので、その際に発生する有機EL素子へのダメージを低減し、信頼性の高い有機ELディスプレイの提供が可能となる。 The organic EL display of the present embodiment can also be repaired in the same manner as in the first embodiment, and the organic EL element that is short-circuited at the current blocking portion in the non-light emitting region can be repaired. Thus, it is possible to provide a highly reliable organic EL display.
(実施の形態3)
次に、本発明を適用した他の実施形態を説明する。
(Embodiment 3)
Next, another embodiment to which the present invention is applied will be described.
図5は、電流遮断部が形成されるコンタクトホール周辺の上面図である。図中、501はアノード電極101の引き出し部と接続線106の引き出し部との接続部である。コンタクトホール110の中で、接続線106の引き出し部の先端が細く形成され、当該部分が電流遮断部111とされている。
FIG. 5 is a top view of the periphery of the contact hole where the current interrupting part is formed. In the figure,
図5に示す形態は、アノード電極101と接続線106とを接続する接続部501を、電流遮断部111と別に設ける。そのため、アノード電極101の形成位置のずれに関わらず、電流遮断部111は一定のサイズとなり、修復処理の信頼性を更に高めることが可能である。
In the embodiment shown in FIG. 5, the
図6は、副画素の配置を変更した有機EL素子の上面図である。 FIG. 6 is a top view of an organic EL element in which the arrangement of subpixels is changed.
図6に示す形態は、コンタクトホール110を、複数の副画素で共有している。この形態を適用した場合には、コンタクトホールの共通化により、画素密度を高めることが可能である。
In the form shown in FIG. 6, the
図7は、コンタクトホール周辺の断面図である。 FIG. 7 is a cross-sectional view around the contact hole.
図7に示す形態は、電流遮断部111をコンタクトホール110の斜面部に形成している。アノード電極101を形成する際にスパッタ法を用いることにより、斜面部での膜厚を平面部よりも薄く形成することができる。この形態においては、平面部におけるアノード電極厚を0.1ミクロンとし、斜面部では0.05ミクロンとした。コンタクトホール110の斜面部に電流遮断部111を形成すると、厚さを薄くできるため切断しやすい。
In the form shown in FIG. 7, the current interrupting
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の有機ELディスプレイは大画面ディスプレイ(対角10インチ以上のディスプレイ)として用いる場合に好ましく適用できる。大画面ディスプレイの場合、本発明のように1画素を複数に分割する構造をより歩留まりよく作製することができる。また、1画素の面積が大きくなるほど非点灯有機EL素子が目立ちやすいが、本発明はこの問題を解決できる効果が大きい。なお、このようなディスプレイはテレビ受像機やコンピュータのモニタ等に好ましく用いることができる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, when using the organic electroluminescent display of this invention as a large screen display (display of diagonal 10 inches or more), it can apply preferably. In the case of a large screen display, a structure in which one pixel is divided into a plurality of parts as in the present invention can be manufactured with a higher yield. Further, the non-lighting organic EL element becomes more conspicuous as the area of one pixel increases, but the present invention has a great effect of solving this problem. Such a display can be preferably used for a television receiver or a computer monitor.
101、102、103、104 下部電極
105 スイッチング素子
106 接続線
107 縦方向配線
108 横方向配線
109 上部電極
110 コンタクトホール
111 電流遮断部
112 基板
113 平坦化膜
114 絶縁部
115 有機蒸着層
501 接続部
101, 102, 103, 104
Claims (5)
各有機EL素子が複数の副素子を有しており、前記有機EL素子を駆動するスイッチング素子と各副素子との間の非発光領域に電流遮断部を有することを特徴とする有機ELディスプレイ。 In an active matrix type organic EL display in which switching elements and organic EL elements are arranged,
An organic EL display, wherein each organic EL element has a plurality of subelements, and a current blocking portion is provided in a non-light-emitting region between the switching element that drives the organic EL element and each subelement.
前記有機ELディスプレイは、各有機EL素子が複数の副素子を有し、有機EL素子を駆動するスイッチング素子と各副素子との間に電流遮断部を有しており、
前記有機ELディスプレイを発光させた際に非点灯の有機EL素子を検出する工程と、
前記非点灯の有機EL素子のうち短絡している副素子を検出する工程と、
前記短絡している副素子に接続されている電流遮断部を切断する工程と、
を有することを特徴とする有機ELディスプレイの修復方法。 A method of repairing an active matrix type organic EL display in which switching elements and organic EL elements are arranged,
In the organic EL display, each organic EL element has a plurality of sub-elements, and has a current blocking unit between the switching element that drives the organic EL element and each sub-element,
A step of detecting a non-lighted organic EL element when the organic EL display emits light;
Detecting a short-circuited sub-element among the non-lighting organic EL elements;
Cutting the current interrupting unit connected to the shorted subelement;
A method for repairing an organic EL display, comprising:
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A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20101207 |