JP2009015532A - Manufacturing process monitoring apparatus, method, program and recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、生産ラインにおける複数の製造工程を監視することができる製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体に関し、特に、複数の製造工程および少なくとも1つの検査工程からなる生産ラインにおいて、少なくとも1つの製造工程を観測対象の観測工程と定めて、製造工程を監視する製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体に関する。 The present invention relates to a manufacturing process monitoring apparatus, method, program, and recording medium capable of monitoring a plurality of manufacturing processes in a production line, and in particular, in a production line comprising a plurality of manufacturing processes and at least one inspection process. The present invention relates to a manufacturing process monitoring apparatus, method, program, and recording medium for monitoring one manufacturing process by defining one manufacturing process as an observation process to be observed.
製品を生産する生産ラインにおいて、製品の不良は、不意にかつ一時的に発生する場合が多く、作業者の目視による監視のみでは、不良発生の原因を究明することができない可能性が高いと考えられる。 In production lines that produce products, product defects often occur unexpectedly and temporarily, and it is highly possible that the cause of the failure cannot be determined by visual monitoring alone. It is done.
そこで、作業者の目視だけで監視を行うのではなく、観測装置としてVTR(Video
Tape Recorder)を利用する場合がある。ところが、観測装置としてVTRを利用する場合、観測点を長時間連続して録画しなければならず、不良の発生が少ない観測点では、そのVTRで録画されたビデオテープのほとんどが無駄になってしまう。
Therefore, instead of monitoring only by the visual observation of the worker, the VTR (Video
(Tape Recorder) may be used. However, when a VTR is used as an observation device, the observation points must be recorded continuously for a long time, and most of the video tapes recorded with the VTR are wasted at the observation points where the occurrence of defects is small. End up.
従来の技術として、直列、並列に設置された複数のラインが分岐、合流する生産ラインにおいて、不良発生時の原因究明およびその対応を迅速に行うことができるようにした生産工程監視装置がある。この生産工程監視装置は、複数の生産工程中の各々に複数の工程作業観測点を設け、個々の被加工品の作業状況に関する観測情報を時系列的に観測し、その観測情報を個々の被加工品を特定する固有情報と共に記憶する。観測情報は、たとえば被加工品を測定した計測情報および被加工品を撮影した静止画像情報である。そして、生産工程での異常発見時に被加工品の固有情報に基づいて、この被加工品の生産工程の各観測点における観測情報を、前記記憶された観測情報の中から検索して異常発見時から遡って表示する。 As a conventional technique, there is a production process monitoring apparatus capable of quickly investigating a cause when a defect occurs and responding to it in a production line where a plurality of lines installed in series and in parallel branch and merge. This production process monitoring device is provided with a plurality of process work observation points in each of a plurality of production processes, and observes observation information on the work status of each workpiece in time series, and the observation information is received for each work piece. Stored together with specific information for specifying the processed product. The observation information is, for example, measurement information obtained by measuring a workpiece and still image information obtained by photographing the workpiece. Then, based on the unique information of the workpiece at the time of abnormality detection in the production process, the observation information at each observation point of the production process of this workpiece is searched from the stored observation information, and when the abnormality is detected Display retroactively.
生産工程監視装置は、観測情報が静止画像の情報であるので、長時間連続して録画する必要がなく、記憶する情報量を削減することができ、ビデオテープの無駄をなくすことができる(たとえば特許文献1参照)。 In the production process monitoring device, since the observation information is still image information, it is not necessary to record continuously for a long time, the amount of information to be stored can be reduced, and the waste of the video tape can be eliminated (for example, Patent Document 1).
しかしながら、従来の技術の生産工程監視装置は、すべての観測点で観測して観測情報を記憶するものであり、VTRで長時間連続して録画する場合に比べると、記憶する情報量は削減されているが、記憶する観測情報の情報量はまだ多い。 However, the production process monitoring device of the prior art is to observe and store observation information at all observation points, and the amount of information to be stored is reduced as compared with the case of continuous recording for a long time with a VTR. However, the amount of observation information to be stored is still large.
本発明の目的は、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる製造工程監視装置、方法、プログラムおよび記録媒体を提供することである。 The objective of this invention is providing the manufacturing process monitoring apparatus, method, program, and recording medium which can reduce the information content of the observed information which observed the manufacturing process more.
本発明は、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測手段と、
被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得手段と、
検査情報取得手段によって取得された検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測手段が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御手段とを含むことを特徴とする製造工程監視装置である。
The present invention comprises an observation means for observing at least one of the plurality of manufacturing steps for manufacturing a workpiece,
Inspection information acquisition means for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting a product;
Inspection information storage means for storing inspection information acquired by the inspection information acquisition means;
When the inspection result indicated by the inspection information stored by the inspection information storage unit satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation unit needs to be changed, based on the inspection result A manufacturing process monitoring apparatus comprising: a control unit that newly determines a manufacturing process to be an observation target and changes the manufacturing process to be observed by the observation unit to the determined manufacturing process.
また本発明は、前記検査情報は、不良の有無および不良が重大な欠陥であるか否かを示す情報を含み、
前記予め定める判定条件は、
検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、
最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、
または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件であることを特徴とする。
In the present invention, the inspection information includes information indicating the presence / absence of a defect and whether the defect is a serious defect,
The predetermined determination condition is:
The condition that the latest inspection information stored by the inspection information storage means indicates that there is a defect and that the defect is a serious defect;
The condition that the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but is a defect that has occurred in a predetermined number of consecutive consecutive times in the same manufacturing process,
Or the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but the same defect is discontinuous, different defects are consecutive, or different defects are discontinuous in the same inspection process It is a condition that it is a condition that a predetermined reference discontinuity has occurred.
また本発明は、前記検査情報は、不良の症状を表す情報を含み、
前記観測手段によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報を記憶する対応情報記憶手段をさらに含み、
前記制御手段は、対応情報記憶手段によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程を特定し、特定した製造工程を新たな観測対象の製造工程として決定することを特徴とする。
In the present invention, the inspection information includes information indicating a symptom of a defect,
For each manufacturing process observable by the observing means, further includes correspondence information storage means for storing correspondence information in which a symptom of a defect occurring in each manufacturing process is associated.
The control means identifies a manufacturing process corresponding to a failure symptom indicated by the inspection information based on the correspondence information stored by the correspondence information storage means, and determines the identified manufacturing process as a new observation target manufacturing process. It is characterized by that.
また本発明は、前記観測手段によって観測された観測結果を表す観測情報を記憶する観測情報記憶手段と、
観測情報記憶手段によって記憶される観測情報を出力する出力手段とをさらに含むことを特徴とする。
The present invention also includes observation information storage means for storing observation information representing observation results observed by the observation means,
Output means for outputting observation information stored by the observation information storage means.
また本発明は、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視する製造工程監視方法であって、
被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを含むことを特徴とする製造工程監視方法である。
Further, the present invention is a manufacturing process monitoring method for monitoring a manufacturing process using an observation device for observing at least one manufacturing process among a plurality of manufacturing processes for manufacturing a workpiece,
An inspection information acquisition step for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting the product;
An inspection information storage step for storing the inspection information acquired in the inspection information acquisition step;
When the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection information storing step satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation apparatus needs to be changed, based on the inspection result A manufacturing process monitoring method comprising: a control step of newly determining a manufacturing process to be observed and changing the manufacturing process to be observed by the observation apparatus to the determined manufacturing process.
また本発明は、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラムである。
また本発明は、前記プログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体である。
In addition, the present invention provides an inspection information acquisition step for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting a product,
An inspection information storage step for storing the inspection information acquired in the inspection information acquisition step;
Whether or not the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection information storage step is to be changed by the observation apparatus that observes at least one of the plurality of manufacturing processes for manufacturing the article to be manufactured. When a predetermined determination condition for determining the condition is satisfied, a manufacturing process to be newly observed is determined based on the inspection result, and the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is changed to the determined manufacturing process. It is a program for causing a computer to execute control steps to be changed.
The present invention is also a computer-readable recording medium on which the program is recorded.
本発明によれば、観測手段によって、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程が観測され、検査情報取得手段によって、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報が取得され、検査情報記憶手段によって、検査情報取得手段によって取得された検査情報が記憶される。 According to the present invention, at least one manufacturing process among a plurality of manufacturing processes for manufacturing a workpiece is observed by the observation means, and at least one inspection process for inspecting the workpiece by the inspection information acquisition means. Inspection information representing the inspection result is acquired, and the inspection information acquired by the inspection information acquisition unit is stored by the inspection information storage unit.
そして、制御手段によって、検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程が決定され、観測手段が観測対象とする製造工程が、決定された製造工程へ変更される。したがって、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。 When the inspection result indicated by the inspection information stored by the inspection information storage unit satisfies the predetermined determination condition for determining whether the observation unit needs to change the manufacturing process to be observed by the control unit, A manufacturing process to be newly observed is determined based on the inspection result, and the manufacturing process to be observed by the observation means is changed to the determined manufacturing process. Therefore, it is possible to observe only the manufacturing process in which a defect that satisfies a predetermined determination condition occurs, and the amount of observation information obtained by observing the manufacturing process can be reduced.
また本発明によれば、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視するにあたって、検査情報取得ステップでは、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する。検査情報記憶ステップでは、検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する。そして、制御ステップでは、検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる。 According to the present invention, when monitoring a manufacturing process using an observation device that observes at least one manufacturing process among a plurality of manufacturing processes for manufacturing the manufactured object, the inspection information acquisition step includes: The inspection information representing the inspection result inspected in at least one inspection process for inspecting. In the inspection information storage step, the inspection information acquired in the inspection information acquisition step is stored. In the control step, when the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection information storage step satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is necessary, A manufacturing process to be newly observed is determined based on the inspection result, and the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is changed to the determined manufacturing process.
したがって、本発明に係る製造工程監視方法をコンピュータに適用すれば、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。 Therefore, if the manufacturing process monitoring method according to the present invention is applied to a computer, observation can be made focusing on a manufacturing process in which a defect that satisfies a predetermined determination condition has occurred, and the amount of observation information obtained by observing the manufacturing process can be further increased. Can be reduced.
また本発明によれば、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして提供することができる。 According to the present invention, an inspection information acquisition step for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting a workpiece, and inspection information acquired in the inspection information acquisition step are stored. An inspection apparatus that observes at least one manufacturing process among a plurality of manufacturing processes for manufacturing a workpiece is an observation target, the inspection result indicated by the inspection information storage step and the inspection information stored in the inspection information storage step. When a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process needs to be changed is satisfied, a manufacturing process to be newly observed is determined based on the inspection result, and the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is determined. The control step for changing to the determined manufacturing process can be provided as a program for causing a computer to execute the control step.
また本発明によれば、前記プログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として提供することができる。 The present invention can also be provided as a computer-readable recording medium on which the program is recorded.
図1は、本発明の実施の一形態である製造工程監視装置1の機能の構成を示すブロック図である。本発明に係る製造工程監視方法は、製造工程監視装置1で処理される。
FIG. 1 is a block diagram showing a functional configuration of a manufacturing
製造工程監視装置1は、コンピュータ10、複数の観測装置20および少なくとも1つの検査情報取得装置30を含む。コンピュータ10、観測装置20および検査情報取得装置30は、それぞれ通信回線たとえばLAN(Local Area Network)40に接続され、LAN40を介して情報を送受信する。
The manufacturing
図1は、観測装置20および検査情報取得装置30を生産ラインと対応付けて示している。生産ラインは、被製造物を製造する複数の製造工程、および被製造物を検査して不良を検出する少なくとも1つの検査工程を含み、開始工程から始まり、終了工程で終了する。観測工程は、製造工程のうち各観測装置20のそれぞれの観測範囲に含まれる製造工程である。図1には、観測工程として、観測装置Aの観測範囲に含まれるA工程1、A工程2およびA工程3、観測装置Bの観測範囲に含まれるB工程1、B工程2およびB工程4、ならびに観測装置Zの観測範囲に含まれるZ工程1、Z工程2およびZ工程6などが示されている。検査工程としては、検査工程a、検査工程bおよび検査工程nなどが示されている。
FIG. 1 shows the
コンピュータ10は、キーボードおよびマウスなどの入力装置、ディスプレイなどの表示装置を含む出力手段である出力装置、LAN40を介して情報を送受信する通信装置、時間を計時する計時装置、半導体メモリあるいはハードディスク装置によって構成され、プログラムおよびデータを記憶する記憶装置、記憶装置に記憶されるプログラムを実行して、入力装置、出力装置、通信装置および計時装置を制御するCPU(Central
Processing Unit)を含む。プログラムは、OS(Operating System)、アプリケーションプログラムおよび製造工程監視装置1を制御するためのプログラムを含む。コンピュータ10は、一般的に知られているコンピュータでよく、詳細な説明は省略する。
The
Processing Unit). The program includes an OS (Operating System), an application program, and a program for controlling the manufacturing
観測手段である観測装置20は、VTR(Video Tape Recorder)あるいはデジタルカメラなどの撮像装置によって構成される。各観測装置20は、その観測装置20の観測範囲に含まれる観測工程のうち、変更指示部15によって指示される1つの観測工程を観測する。観測装置20は、変更指示部15によって指示された観測工程で行われる製造作業およびその製造作業によって製造される被製造物を観測し、観測した観測結果を表す観測情報をLAN40を介してコンピュータ10に送信する。
The
検査情報取得手段である検査情報取得装置30は、たとえばパーソナルコンピュータなどによって構成され、検査工程で行われた検査結果を表す検査情報を取得し、取得した検査情報をLAN40を介してコンピュータ10に送信する。検査情報取得装置30は、ユーザが検査情報取得装置30のキーボードから入力した検査情報を取得、あるいは検査工程で用いられる検査装置から、その検査装置による検査結果の検査情報を通信回線を介して取得する。
The inspection
コンピュータ10は、観測情報記憶部11、検査情報記憶部12、変更判定基準情報記憶部13、変更先情報記憶部14および変更指示部15を含む。観測情報記憶部11、検査情報記憶部12、変更判定基準情報記憶部13、変更先情報記憶部14および変更指示部15は、コンピュータ10に含まれるCPUが、コンピュータ10に含まれる記憶装置に記憶されるプログラムを実行することによって実現される機能である。
The
観測情報記憶手段である観測情報記憶部11は、LAN40を介して観測装置20から送信される観測情報を、コンピュータ10に含まれる通信装置によって受信し、受信した観測情報をコンピュータ10に含まれる記憶装置に記憶する。観測情報記憶部11によって記憶される観測情報は、コンピュータ10に含まれる出力装置によって出力され、ユーザは、出力された観測情報を、不良の原因を究明するための情報として利用することができる。
The observation
このように、観測情報記憶部11によって、観測装置20によって観測された観測結果を表す観測情報が記憶され、出力装置によって、観測情報記憶部11によって記憶される観測情報が出力されるので、観測情報を出力することができ、ユーザはその出力を参照することができる。
In this way, the observation
検査情報取得手段および検査情報記憶手段である検査情報記憶部12は、LAN40を介して検査情報取得装置30から送信される検査情報を、コンピュータ10に含まれる通信装置によって受信し、受信した検査情報をコンピュータ10に含まれる記憶装置に記憶する。検査情報は、不良の有無、不良の症状、不良が重大な欠陥であるか否か、およびその不良が検出された検査工程などの情報を含む。
The inspection
変更判定基準情報記憶部13は、コンピュータ10に含まれる記憶装置に含まれ、後述する重欠陥不良テーブル50、連続変更基準回数テーブル51および不連続変更基準回数テーブル52を記憶する。対応情報記憶手段である変更先情報記憶部14は、コンピュータ10に含まれる記憶装置に含まれ、後述する変更先情報テーブル53を記憶する。
The change determination criterion
制御手段である変更指示部15は、検査情報記憶部12によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測対象にすべき観測工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件、具体的には、重欠陥不良テーブル50、連続変更基準回数テーブル51および不連続変更基準回数テーブル52に示される判定条件を満たしているとき、変更先情報テーブル53に基づいて新たな観測対象の観測工程を決定し、観測対象の観測工程を決定された観測工程に変更するようにLAN40を介して観測装置20に指示する。
The change instruction unit 15 serving as a control means is a predetermined determination condition for determining whether or not the observation result to be observed should be changed based on the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection
図2は、変更判定基準情報記憶部13に記憶される重欠陥不良テーブル50の一例を示す図である。重欠陥不良テーブル50は、重大な欠陥である重欠陥不良が登録されているテーブルである。重欠陥不良は、その不良が1回でも発生すると、その不良が発生した観測工程を、観測対象の観測工程として変更する必要がある不良である。図2に示した重欠陥不良テーブル50には、不良AB、不良BC、不良EAおよび不良ZDなどが登録されている。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the serious defect defect table 50 stored in the change determination criterion
図3は、変更判定基準情報記憶部13に記憶される連続変更基準回数テーブル51の一例を示す図である。連続変更基準回数テーブル51は、観測装置ごとの連続変更基準回数を示すテーブルである。連続変更基準回数は、同じ不良が連続して発生した場合に、観測対象にすべき観測工程を変更する必要があるか否かを判定するための基準となる回数を示す。図3に示した連続変更基準回数テーブル51には、連続変更基準回数が、観測装置Aについては「2」、観測装置Bについては「3」、観測装置Cについては「2」、および観測装置Zについては「4」などと示されている。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the continuous change reference count table 51 stored in the change determination reference
図4は、変更判定基準情報記憶部13に記憶される不連続変更基準回数テーブル52の一例を示す図である。不連続変更基準回数テーブル52は、検査工程ごとの不連続変更基準回数を示すテーブルである。不連続変更基準回数は、同じ検査工程で、同じ不良が不連続に発生した場合および異なる不良が連続あるいは不連続に発生した場合に、観測対象にすべき観測工程を変更する必要があるか否かを判定するための基準となる回数を示す。図4に示した不連続変更基準回数テーブル52には、不連続変更基準回数が、検査工程aについては「2」、検査工程bについては「1」、検査工程cについては「3」、および検査工程nについては「2」などと示されている。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the discontinuous change reference count table 52 stored in the change determination reference
図5は、変更先情報記憶部14に記憶される変更先情報テーブル53の一例を示す図である。変更先情報テーブル53は、観測装置ごとに、観測工程つまり観測範囲に含まれる製造工程と、各観測工程で発生する不良の症状とを対応付けたテーブルである。したがって、変更先情報テーブル53を参照すれば、不良の症状に基づいて、観測装置20ごとに、その不良症状の不良がどの観測工程で発生するかを判断することができる。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the change destination information table 53 stored in the change destination
図5に示した変更先情報テーブル53には、観測装置Aについては、A工程1の観測工程で不良症状が「不良AA」が発生し、A工程2の観測工程で不良症状が「不良AB」が発生し、A工程3の観測工程で不良症状が「不良AC」が発生することが示されている。観測装置Bについては、B工程1の観測工程で不良症状が「不良BF」が発生し、B工程2の観測工程で不良症状が「不良BG」および「不良BH」が発生することが示されている。さらに、観測装置Zについては、Z工程1の観測工程で不良症状が「不良ZL」が発生し、Z工程3の観測工程で不良症状が「不良ZM」が発生し、Z工程6の観測工程で不良症状が「不良ZN」が発生することが示されている。
In the change destination information table 53 shown in FIG. 5, for the observation apparatus A, the failure symptom “failure AA” occurs in the observation process of the
図6は、検査情報記憶部12に記憶される検査情報テーブル54の一例を示す図である。検査情報テーブル54は、検査工程ごとに、各検査工程で行われた検査の検査結果および検査結果が不良である場合はその不良症状を時系列に示すテーブルである。Index(索引)は、検査工程ごとの検査結果の追番である。追番の番号が大きいほうが最新の検査結果である。検査結果の「○」は、不良がないことを示し、検査結果の「×」は、不良であることを示す。
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the inspection information table 54 stored in the inspection
図6に示した検査情報テーブル54には、検査工程aについて、Index「a1」の検査結果が「○」、Index「a2」の検査結果が「×」で不良症状が「不良AA」、Index「a3」の検査結果が「×」で不良症状が「不良AA」、Index「a4」の検査結果が「○」、およびIndex「a5」の検査結果が「○」と示されている。検査工程bについて、Index「b1」の検査結果が「×」で不良症状が「不良BA」、Index「b2」の検査結果が「○」、Index「b3」の検査結果が「×」で不良症状が「不良BB」、Index「b4」の検査結果が「○」、およびIndex「b5」の検査結果が「○」と示されている。 In the inspection information table 54 shown in FIG. 6, for the inspection process a, the inspection result of the index “a1” is “◯”, the inspection result of the index “a2” is “x”, and the defective symptom is “bad AA”. The inspection result of “a3” is “x”, the failure symptom is “bad AA”, the inspection result of index “a4” is “◯”, and the inspection result of index “a5” is “◯”. For the inspection process b, the inspection result of the index “b1” is “x”, the failure symptom is “bad BA”, the inspection result of the index “b2” is “◯”, and the inspection result of the index “b3” is “x” The symptom is “Bad BB”, the inspection result of Index “b4” is “O”, and the inspection result of Index “b5” is “O”.
さらに、検査工程cについて、Index「c1」の検査結果が「○」、Index「c2」の検査結果が「○」、Index「c3」の検査結果が「×」で不良症状が「不良CC」、Index「c4」の検査結果が「×」で不良症状が「不良CD」、Index「c5」の検査結果が「×」で不良症状が「不良CA」と示されている。検査工程nについて、Index「n1」の検査結果が「○」、Index「n2」の検査結果が「○」、Index「n3」の検査結果が「×」で不良症状が「不良ZL」、Index「n4」の検査結果が「○」、およびIndex「n5」の検査結果が「○」と示されている。 Furthermore, for the inspection process c, the inspection result of the index “c1” is “◯”, the inspection result of the index “c2” is “◯”, the inspection result of the index “c3” is “x”, and the defective symptom is “bad CC”. The inspection result of Index “c4” is “x”, the failure symptom is “bad CD”, the inspection result of Index “c5” is “x”, and the failure symptom is “bad CA”. For the inspection process n, the inspection result of the index “n1” is “◯”, the inspection result of the index “n2” is “◯”, the inspection result of the index “n3” is “x”, and the defective symptom is “bad ZL”. The inspection result of “n4” is indicated by “◯”, and the inspection result of Index “n5” is indicated by “◯”.
検査工程aでは、同じ不良AAが連続して2回発生している。検査工程bでは、不連続の異なる不良BAおよび不良BBが不連続に発生している。検査工程cでは、連続する異なる不良CC、不良CDおよび不良CAが連続して発生している。検査工程nでは、不良ZLが1回発生している。不良AA、不良BA、不良BB、不良CC、不良CD、不良CAおよび不良ZLは、重欠陥不良テーブル50を参照すると、いずれも重欠陥ではない。 In the inspection process a, the same defect AA occurs twice in succession. In the inspection step b, discontinuous defects BA and BB occur discontinuously. In the inspection process c, consecutive different defects CC, defects CD, and defects CA are continuously generated. In the inspection process n, the defect ZL occurs once. When the defect AA, defect BA, defect BB, defect CC, defect CD, defect CA and defect ZL are referred to the heavy defect defect table 50, none of them is a serious defect.
図7は、コンピュータ10の変更指示処理の概略のフローチャートである。コンピュータ10に含まれる入力装置によって、変更指示処理の開始が指示されると、ステップA1に移り、変更指示処理の中断または終了が指示されるまで、変更指示処理を繰り返す。
FIG. 7 is a schematic flowchart of the change instruction process of the
検査情報取得ステップおよび検査情報記憶ステップであるステップA1では、検査情報記憶部12は、検査情報が受信されたか否かを判定する。検査情報記憶部12は、検査情報取得装置30から送信される検査情報を、コンピュータ10に含まれる通信装置によって受信すると、受信した検査情報をコンピュータ10に含まれる記憶装置に記憶して、ステップA2に進み、検査情報が受信されないと、ステップA1に戻る。
In step A1, which is an inspection information acquisition step and an inspection information storage step, the inspection
ステップA2では、変更指示部15は、観測工程の変更が必要であるか否かを判定する。検査情報記憶部12によって記憶される検査情報が示す検査結果が予め定める判定条件、具体的には、重欠陥不良テーブル50、連続変更基準回数テーブル51および不連続変更基準回数テーブル52に示される判定条件を満たすと、観測工程の変更が必要であると判定して、ステップA3に進み、検査情報記憶部12によって記憶される検査情報が示す検査結果が予め定める判定条件を満たさないと、観測工程の変更が必要でないと判定して、ステップA1に戻る。
In step A2, the change instruction unit 15 determines whether or not the observation process needs to be changed. Determination conditions determined in advance by inspection results indicated by the inspection information stored by the inspection
ステップA3では、変更指示部15は、検査情報が示す不良症状と変更先情報テーブル53とに基づいて、変更先の観測工程を決定する。ステップA4では、変更指示部15は、変更先の観測工程を観測範囲に含む観測装置20へ変更先を指示して、ステップA1に戻る。制御ステップは、たとえばステップA2〜ステップA4である。
In step A <b> 3, the change instruction unit 15 determines a change destination observation process based on the defective symptom indicated by the inspection information and the change destination information table 53. In step A4, the change instructing unit 15 instructs the
図8は、コンピュータ10の変更指示処理の詳細なフローチャートである。図8に示すフローチャートは、図7に示した変更指示処理の概略のフローチャートの詳細を示す。コンピュータ10に含まれる入力装置によって、変更指示処理の開始が指示されると、ステップB1に移り、変更指示処理の中断または終了が指示されるまで、変更指示処理を繰り返す。
FIG. 8 is a detailed flowchart of the change instruction process of the
検査情報取得ステップおよび検査情報記憶ステップであるステップB1では、検査情報記憶部12は、検査情報が受信されたか否かを判定する。検査情報記憶部12は、検査情報取得装置30から送信される検査情報を、コンピュータ10に含まれる通信装置によって受信すると、受信した検査情報をコンピュータ10に含まれる記憶装置に記憶して、ステップB2に進み、検査情報が受信されないと、ステップB1に戻る。
In step B1, which is an inspection information acquisition step and an inspection information storage step, the inspection
ステップB2では、変更指示部15は、検査情報記憶部12によって記憶される検査情報を読み出し、読み出した検査情報のうちで最新の検査情報を参照し、最新の検査情報が示す検査結果が不良のあることを示しているか否かを判定する。検査結果が不良のあることを示していると、ステップB3に進み、検査結果が不良のあることを示していないと、ステップB8に進む。
In step B2, the change instruction unit 15 reads the inspection information stored by the inspection
ステップB3では、変更指示部15は、検査結果が重欠陥の不良であることを示しているか否かを、変更先情報記憶部14に記憶される重欠陥不良テーブル50に基づいて判定する。重欠陥の不良であると、ステップB4に進み、重欠陥の不良でないと、ステップB6に進む。ステップB4では、変更指示部15は、変更先情報記憶部14に記憶される変更先情報テーブル53に基づいて、重欠陥または連続する不良が発生している観測工程を特定し、特定した観測工程を変更先の観測工程として決定する。ステップB5では、変更指示部15は、変更先の観測工程を観測範囲に含む各観測装置20へそれぞれの変更先を指示して、ステップB1に戻る。
In step B <b> 3, the change instruction unit 15 determines whether or not the inspection result indicates that a defect is a serious defect based on the defect defect table 50 stored in the change destination
ステップB6では、変更指示部15は、同じ不良が連続して発生しているか否かを判定する。ステップB2で検査情報記憶部12から読み出した検査情報を参照し、最新の検査情報の検査結果が示す不良が1つ前の検査情報の検査結果が示す不良と同じであると、同じ不良が連続して発生していると判定し、ステップB7に進む。最新の検査情報の検査結果が示す不良が1つ前の検査情報の検査結果が示す不良と同じでないと、同じ不良が連続して発生していないと判定し、ステップB8に進む。
In step B6, the change instruction unit 15 determines whether or not the same defect has continuously occurred. With reference to the inspection information read from the inspection
ステップB7では、変更指示部15は、連続する回数が連続変更基準回数に達したか否かを判定する。すなわち、変更先情報記憶部14に記憶される変更先情報テーブル53に基づいて、最新の検査情報の検査結果が示す不良が発生している観測工程を観測範囲に含む観測装置を特定し、特定した観測装置の観測範囲に含まれる観測工程で、同じ不良が連続している回数を、ステップB2で検査情報記憶部12から読み出した検査情報を参照して計数する。計数した回数が連続変更基準回数に達しているか否かを、変更判定基準情報記憶部13に記憶される連続変更基準回数テーブル51に基づいて判定する。計数した回数が連続変更基準回数に達していると、ステップB4に進み、計数した回数が連続変更基準回数に達していないと、ステップB1に戻る。
In step B7, the change instruction unit 15 determines whether or not the number of consecutive times has reached the number of times of continuous change. That is, based on the change destination information table 53 stored in the change destination
ステップB8では、変更指示部15は、不連続変更基準回数に達したかを判定する。すなわち、参照した検査情報のうちの最新の検査情報が示す検査工程で発生した不良の回数を、ステップB2で検査情報記憶部12から読み出した検査情報を参照して計数し、計数した不良の回数が不連続変更基準回数以上であるか否かを、変更判定基準情報記憶部13に記憶される不連続変更基準回数テーブル52に基づいて判定する。計数した不良の回数が不連続変更基準回数以上であると、不連続変更基準回数に達していると判定して、ステップB9に進む。計数した不良の回数が不連続変更基準回数未満であると、不連続変更基準回数に達していないと判定して、ステップB1に戻る。
In step B8, the change instruction unit 15 determines whether or not the discontinuous change reference number has been reached. That is, the number of defects generated in the inspection process indicated by the latest inspection information in the referred inspection information is counted with reference to the inspection information read from the inspection
ステップB9では、変更指示部15は、ステップB2で検査情報記憶部12から読み出した検査情報を参照して、検査情報記憶部12に記憶される検査情報テーブル54に含まれる不良症状のうち、最新の検査情報が示す検査工程の不良症状ごとに不良の回数を計数する。そして、変更先情報記憶部14に記憶される変更先情報テーブル53に基づいて、不良の回数が計数された各不良症状の不良が発生する観測工程を観測範囲に含む観測装置20を特定する。さらに、特定した観測装置20ごとに、計数した回数が最も多い不良を特定し、特定した不良が発生した観測工程を、それぞれの観測装置20の変更先の観測工程として決定して、ステップB5に進む。制御ステップは、たとえばステップB2〜ステップB9である。
In step B9, the change instructing unit 15 refers to the inspection information read from the inspection
このように、観測装置20によって、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程が観測され、検査情報取得装置30によって、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報が取得され、観測情報記憶部11によって、検査情報取得装置30によって取得された検査情報が記憶される。
As described above, at least one manufacturing process among the plurality of manufacturing processes for manufacturing the product to be manufactured is observed by the
そして、変更指示部15によって、観測情報記憶部11によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測装置20が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程が決定され、観測装置20が観測対象とする製造工程が、決定された製造工程へ変更される。したがって、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。
Then, the inspection result indicated by the inspection information stored in the observation
さらに、前記検査情報は、不良の有無および不良が重大な欠陥であるか否かを示す情報を含み、前記予め定める判定条件は、検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件である。したがって、重大な欠陥が発生した製造工程もしくは不良の発生する可能性の高い製造工程に絞って観測することができる。 Further, the inspection information includes information indicating the presence / absence of a defect and whether or not the defect is a serious defect, and the predetermined determination condition is that the latest inspection information stored by the inspection information storage unit is defective. The condition that indicates that there is a defect and that the defect is a serious defect, the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but it is continuous in the same manufacturing process The condition that the defect has occurred a predetermined standard number of times or the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but the same defect is not detected in the same inspection process. It is a condition that different defects are consecutively generated, or different defects are generated in a discontinuous predetermined reference number of discontinuities. Therefore, it is possible to observe only a manufacturing process in which a serious defect has occurred or a manufacturing process in which a defect is likely to occur.
さらに、前記検査情報は、不良の症状を表す情報を含み、変更先情報記憶部14によって、観測装置20によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報が記憶される。そして、変更指示部15によって、変更先情報記憶部14によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程が特定され、特定された製造工程が新たな観測対象の製造工程として決定されるので、不良の症状に対応する製造工程を観測対象の製造工程とすることができる。
Further, the inspection information includes information indicating a symptom of a defect, and the change destination
さらに、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置を用いて、製造工程を監視するにあたって、図7に示した変更指示処理のステップA1または図8に示した変更指示処理のステップB1では、被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得し、取得した検査情報を記憶する。そして、図7に示した変更指示処理のステップA2〜ステップA4または図8に示した変更指示処理のステップB2〜ステップB9では、図7に示した変更指示処理のステップA1または図8に示した変更指示処理のステップB1で記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる。 Further, when the manufacturing process is monitored using an observation apparatus that observes at least one of the plurality of manufacturing processes for manufacturing the article to be manufactured, step A1 of the change instruction process shown in FIG. 7 or FIG. In step B1 of the change instruction process shown in FIG. 4, inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection process for inspecting the product is acquired, and the acquired inspection information is stored. Then, in step A2 to step A4 of the change instruction process shown in FIG. 7 or step B2 to step B9 of the change instruction process shown in FIG. 8, it is shown in step A1 of the change instruction process shown in FIG. When the inspection result indicated by the inspection information stored in step B1 of the change instruction process satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation apparatus needs to be changed, Based on this, a manufacturing process to be newly observed is determined, and the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is changed to the determined manufacturing process.
したがって、本発明に係る製造工程監視方法をコンピュータに適用すれば、予め定める判定条件を満たす不良が発生した製造工程に絞って観測することができ、製造工程を観測した観測情報の情報量をより少なくすることができる。 Therefore, if the manufacturing process monitoring method according to the present invention is applied to a computer, observation can be made focusing on a manufacturing process in which a defect that satisfies a predetermined determination condition has occurred, and the amount of observation information obtained by observing the manufacturing process can be further increased. Can be reduced.
製造工程監視装置1を制御するためのプログラムは、コンピュータ10に含まれるCPUに、製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムでもある。したがって、本発明は、コンピュータに製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムとして提供することができる。
The program for controlling the manufacturing
上述した実施の形態では、プログラムは、コンピュータ10の記憶装置たとえば半導体メモリあるいはハードディスク装置などの記憶装置に記憶されているが、これらの記憶装置に限定されるものではなく、コンピュータで読取り可能な記録媒体に記録されていてもよい。記録媒体は、たとえば図示しない外部記憶装置としてプログラム読取装置を設け、そこに記録媒体を挿入することによって読取り可能な記録媒体であってもよいし、あるいは他の装置の記憶装置であってもよい。
In the above-described embodiment, the program is stored in a storage device such as a semiconductor memory or a hard disk device of the
いずれの記録媒体であっても、記憶されているプログラムがコンピュータからアクセスされて実行される構成であればよい。あるいはいずれの記録媒体であっても、プログラムが読み出され、読み出されたプログラムが、記憶装置のプログラム記憶エリアに記憶されて、そのプログラムが実行される構成であってもよい。さらに通信ネットワークを介して他の装置からダウンロードされてプログラム記憶エリアに記憶させてもよい。ダウンロード用のプログラムは、予めコンピュータ10の記憶装置に記憶しておくか、あるいは別な記録媒体からプログラム記憶エリアにインストールしておく。
Any recording medium may be used as long as the stored program is accessed from a computer and executed. Alternatively, any recording medium may be configured such that the program is read, the read program is stored in the program storage area of the storage device, and the program is executed. Further, it may be downloaded from another device via a communication network and stored in the program storage area. The download program is stored in advance in a storage device of the
本体と分離可能に構成される記録媒体は、たとえば磁気テープ/カセットテープなどのテープ系の記録媒体、フレキシブルディスク/ハードディスクなどの磁気ディスクもしくはCD−ROM(Compact Disk Read Only Memory)/MO(Magneto Optical disk)/MD(Mini Disc)/DVD(Digital Versatile Disk)などの光ディスクのディスク系の記録媒体、IC(Integrated Circuit)カード(メモリカードを含む)/光カードなどのカード系の記録媒体、またはマスクROM/EPROM(Erasable Programmable Read
Only Memory)/EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)/フラッシュROMなどの半導体メモリを含む固定的にプログラムを担持する記録媒体であってもよい。したがって、本発明は、コンピュータに製造工程監視方法の各ステップを実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体として提供することができる。
The recording medium configured to be separable from the main body is, for example, a tape-based recording medium such as a magnetic tape / cassette tape, a magnetic disk such as a flexible disk / hard disk, or a CD-ROM (Compact Disk Read Only Memory) / MO (Magneto Optical). disk) / MD (Mini Disc) / DVD (Digital Versatile Disk) and other optical disk recording media, IC (Integrated Circuit) cards (including memory cards) / optical cards and other card recording media, or masks ROM / EPROM (Erasable Programmable Read
It may be a recording medium that carries a fixed program including a semiconductor memory such as an only memory (EEPROM) / an EEPROM (electrically erasable programmable read only memory) / flash ROM. Therefore, the present invention can be provided as a computer-readable recording medium in which a program for causing a computer to execute each step of the manufacturing process monitoring method is recorded.
1 製造工程監視装置
10 コンピュータ
11 観測情報記憶部
12 検査情報記憶部
13 変更判定基準情報記憶部
14 変更先情報記憶部
15 変更指示部
20 観測装置
30 検査情報取得装置
40 LAN
DESCRIPTION OF
Claims (7)
被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得手段と、
検査情報取得手段によって取得された検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
検査情報記憶手段によって記憶される検査情報が示す検査結果が、観測手段が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測手段が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御手段とを含むことを特徴とする製造工程監視装置。 Observation means for observing at least one of the plurality of manufacturing steps for manufacturing the article to be manufactured;
Inspection information acquisition means for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting a product;
Inspection information storage means for storing inspection information acquired by the inspection information acquisition means;
When the inspection result indicated by the inspection information stored by the inspection information storage unit satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation unit needs to be changed, based on the inspection result A manufacturing process monitoring apparatus comprising: a control means for determining a manufacturing process to be newly observed and changing the manufacturing process to be observed by the observation means to the determined manufacturing process.
前記予め定める判定条件は、
検査情報記憶手段によって記憶される最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥であることを示しているという条件、
最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ製造工程で連続して予め定める基準連続回数発生している不良であるという条件、
または最新の検査情報が、不良があることを示し、かつその不良が重大な欠陥ではないが同じ検査工程で、同じ不良が不連続に、異なる不良が連続して、もしくは異なる不良が不連続に予め定める基準不連続回数発生している不良であるという条件であることを特徴とする請求項1に記載の製造工程監視装置。 The inspection information includes information indicating whether there is a defect and whether the defect is a serious defect,
The predetermined determination condition is:
The condition that the latest inspection information stored by the inspection information storage means indicates that there is a defect and that the defect is a serious defect;
The condition that the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but is a defect that has occurred in a predetermined number of consecutive consecutive times in the same manufacturing process,
Or the latest inspection information indicates that there is a defect, and the defect is not a serious defect, but the same defect is discontinuous, different defects are consecutive, or different defects are discontinuous in the same inspection process The manufacturing process monitoring apparatus according to claim 1, wherein the condition is a condition that a predetermined reference discontinuity occurs.
前記観測手段によって観測可能な製造工程ごとに、各製造工程で発生する不良の症状を対応付けた対応情報を記憶する対応情報記憶手段をさらに含み、
前記制御手段は、対応情報記憶手段によって記憶される対応情報に基づいて、検査情報が示す不良の症状に対応する製造工程を特定し、特定した製造工程を新たな観測対象の製造工程として決定することを特徴とする請求項1または2に記載の製造工程監視装置。 The inspection information includes information indicating a symptom of a defect,
For each manufacturing process observable by the observing means, further includes correspondence information storage means for storing correspondence information in which a symptom of a defect occurring in each manufacturing process is associated.
The control means identifies a manufacturing process corresponding to a failure symptom indicated by the inspection information based on the correspondence information stored by the correspondence information storage means, and determines the identified manufacturing process as a new observation target manufacturing process. The manufacturing process monitoring apparatus according to claim 1 or 2, wherein
観測情報記憶手段によって記憶される観測情報を出力する出力手段とをさらに含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の製造工程監視装置。 Observation information storage means for storing observation information representing observation results observed by the observation means;
4. The manufacturing process monitoring apparatus according to claim 1, further comprising output means for outputting observation information stored by the observation information storage means.
被製造物を検査する少なくとも1つの検査工程で検査された検査結果を表す検査情報を取得する検査情報取得ステップと、
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを含むことを特徴とする製造工程監視方法。 A manufacturing process monitoring method for monitoring a manufacturing process using an observation device for observing at least one manufacturing process among a plurality of manufacturing processes for manufacturing a workpiece,
An inspection information acquisition step for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting the product;
An inspection information storage step for storing the inspection information acquired in the inspection information acquisition step;
When the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection information storing step satisfies a predetermined determination condition for determining whether or not the manufacturing process to be observed by the observation apparatus needs to be changed, based on the inspection result The manufacturing process monitoring method characterized by including the control step which determines the manufacturing process which should be newly made into an observation object, and changes the manufacturing process made into an observation object by the observation apparatus to the determined manufacturing process.
検査情報取得ステップで取得された検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
検査情報記憶ステップで記憶された検査情報が示す検査結果が、被製造物を製造する複数の製造工程のうちの少なくとも1つの製造工程を観測する観測装置が観測対象とする製造工程の変更要否を判定するための予め定める判定条件を満たしているとき、その検査結果に基づいて新たに観測対象にすべき製造工程を決定し、観測装置が観測対象とする製造工程を、決定した製造工程へ変更させる制御ステップとを、コンピュータに実行させるためのプログラム。 An inspection information acquisition step for acquiring inspection information representing an inspection result inspected in at least one inspection step for inspecting the product;
An inspection information storage step for storing the inspection information acquired in the inspection information acquisition step;
Whether or not the inspection result indicated by the inspection information stored in the inspection information storage step is to be changed by the observation apparatus that observes at least one of the plurality of manufacturing processes for manufacturing the article to be manufactured. When a predetermined determination condition for determining the condition is satisfied, a manufacturing process to be newly observed is determined based on the inspection result, and the manufacturing process to be observed by the observation apparatus is changed to the determined manufacturing process. A program for causing a computer to execute control steps to be changed.
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