JP2008519464A - 重み付けされた主成分分析に基づく異常検出システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
装置インターフェイスは、製造ネットワークに接続されたマシンインターフェイスに接続される。それによって、製造装置と製造フレームワークとの間の通信を促進している。
このマシンインターフェイスは、一般的にアドバンスト・プロセス・コントロール(APC:Advanced Process Control)システムの一部とすることができる。APCシステムは、製造プロセスを実行するのに必要なデータを自動的に取り込むソフトウェアプログラムである制御スクリプトを起動する。
本発明は1つ以上の上述した問題点による影響を解決する、あるいは少なくとも減少させることを目的としている。
行列
このモデル化した行列と残りの行列とを以下のように記すことができる。
つまり、
負荷行列Pおよび
半導体ウェハ105を処理する間のいずれのアブノーマル性(および/または異常)に関連する解析を行うために、異常検出ユニット380および/あるいはPCAコントローラ360がこの情報を使用してもよい。換言すれば、異常状態が識別されたあと、PCA重み付け計算モジュール630は、その異常が実際の異常であるかどうか、および/または、そのアブノーマル性あるいは異常に関連付けられた任意のパラメータが、その異常あるいはアブノーマル性の重大な要因となったかどうかについて、異常データ解析モジュール610および/または異常データ入力インターフェイス620から情報を受信する。このデータに基づいて、PCA重み付け計算モジュール630は、パラメータの重み付けを減らしたり増やしたりすることができ、あるいは他の形態では、パラメータの重み付けをそのままにしておくことができる。
Claims (10)
- ワークピース(105)を処理するステップと、
前記ワークピース(105)の前記処理に関連する異常検出解析を実行するステップと、
検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの関係を判断するステップと、
前記検出した異常に対する前記パラメータの関係に基づき、前記パラメータに関連付けられた重み付けを調整するステップとを含む方法。 - 検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの関係を判断するステップはさらに、
検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの因果関係を判断するステップを含む、請求項1に記載の方法。 - 検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの関係を判断するステップはさらに、
検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの重要度を判断するステップを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記検出した異常が重大な異常であるかどうかを判断するステップと、
前記検出した異常が重大な異常であるという判断に基づいて、前記パラメータに関連付けられる前記重み付けを調整するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ワークピース(105)の処理に関連する計測データを取得するステップと、
前記ワークピース(105)の処理に関連するツールステートデータを取得するステップと、
異常を特徴付けるために、前記計測データおよび前記ツールステートデータを前記異常に相関させるステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの前記関係を判断するステップはさらに、
前記パラメータが前記異常に関連付けられた重大な異常であるかどうかを判断するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 動的重み付け技術を使用して異常検出を行うシステムであって、該システムは、
ワークピース(105)で処理を実行するためのプロセス装置(310)と、
計測データを供給するために、前記ワークピース(105)で実行した前記処理に関連する計測データを取得するための計測装置(350)と、
ツールステートデータを獲得するためのツールステートデータセンサユニット(320)と、
前記プロセス装置(310)、計測装置(350)、および前記ツールステートデータセンサユニット(320)に動作可能に結合されたコントローラとを含み、
前記コントローラは前記異常検出解析に関連するパラメータと検出された異常との関係を判断するために、前記ワークピース(105)の前記処理に関連する異常検出解析を実行し、前記コントローラはまた、前記検出された異常に対する前記パラメータの前記関係に基づいて、前記パラメータに関連付けられた重み付けを調整する、システム。 - 前記コントローラはさらに、動的PCA重み付けモジュール(370)を含み、前記動的PCA重み付けモジュール(370)は、
前記パラメータが前記検出した異常の重大な要因であったかどうかを判断する異常データ解析モジュール(610)と、
前記パラメータが前記検出した異常の重大な要因であったかどうかを示す外部データを受信する異常データ入力インターフェース(620)と、
少なくとも1つの前記判断、および、前記パラメータが前記検出した異常の重大な要因であったかどうかの前記表示に基づいて、前記パラメータの前記重み付けを動的に修正する動的PCA重み付け計算モジュール(630)とを含む、請求項7に記載のシステム。 - コンピュータによって実行されるときに、
ワークピース(105)を処理するステップと、
前記ワークピース(105)の前記処理に関連する異常検出解析を実行するステップと、
検出した異常に対する前記異常検出解析に関連するパラメータの関係を判断するステップと、
前記検出した異常に対する前記パラメータの前記関係に基づいて、前記パラメータに関連付けられた重み付けを調整するステップとを含む方法を実行する、命令で符号化されたコンピュータ読み取り可能なプログラム記憶媒体。 - コンピュータによって実行されるときに、
前記ワークピース(105)の処理に関連する計測データを獲得するステップと、
前記ワークピース(105)の処理に関連するツールステートデータを獲得するステップと、
異常を特徴付けるために、前記計測データおよび前記ツールステートデータを前記異常データと相関させるステップとをさらに含む、請求項9の方法を実行する、命令で符号化されたコンピュータ読み取り可能なプログラム記憶媒体。
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