JP2008501981A - Ｍｅｍｓ振動型慣性センサ用組込み試験 - Google Patents

Abstract

本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、試験信号が通常の機能動作中に供給され観測されるものがある。本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。例示の一実施形態では、試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、ＭＥＭＳ振動型慣性センサの通常の機能動作中に試験信号が与えられて観測され、それによってセンサ稼動中の組込み試験を提供するものがある。

Description

本発明は、一般にＭＥＭＳジャイロおよびＭＥＭＳ加速度計などＭＥＭＳ振動型慣性センサに関し、より詳細には組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサに関する。

ＭＥＭＳ振動型慣性センサは、多種多様な用途で使用される。これら多くの用途のために、高い信頼性が求められる。例えば、自動車の安定性制御システムでは、場合によっては自動車を制御不能に陥らせ得る、誤っているかまたは紛らわしいデータを減少させるために、信頼できる慣性センサが望ましい。あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサは、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援するのに望ましいであろう。

本発明は、慣性センサによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータの識別を支援することにより信頼性改善を支援する、あるレベルの組込み試験を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサを提供する。

例示の一実施形態では、試験信号がＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入され、この試験信号は、１つまたは複数のＭＥＭＳ振動型慣性センサ出力で試験信号成分を生成する。次いで、この試験信号成分が１つまたは複数の出力で観測される。この試験信号成分が、元の試験信号の少なくとも所定の特性と一致するなら、ＭＥＭＳ振動型慣性センサが適正に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。実施形態には、ＭＥＭＳ振動型慣性センサの通常の機能動作中に試験信号が供給されて観測され、それによってセンサ稼動中の組込み試験を提供するものがある。

以下の説明は、図面を参照しながら読まれるべきであり、異なる図面の類似の要素には同様に番号が付けられる。図面は必ずしも原寸に比例せず、選択された実施形態を図示するが、本発明の範囲を限定するようには意図されない。構造、寸法および材料の例が、様々な要素向けに示されることがあるが、当業者は、提供された多くの例が、利用され得る適切な代案を有することを理解するであろう。

例示の目的で、図１を参照して、ＭＥＭＳ型ジャイロスコープ１０が詳細に説明されるであろう。しかし、ＭＥＭＳジャイロおよびＭＥＭＳ加速度計など種々様々のＭＥＭＳ振動型慣性センサに、必要に応じて本発明を適用できることが理解されるべきである。

この説明では振動型レートジャイロスコープであるジャイロスコープ１０は、第１のプルーフマス１２および第２のプルーフマス１４を含み、各マスは、慣性運動が求められることになっているジャイロスコープの入力軸すなわち「レート」軸１８に直交する駆動面中の支持基板１６を下にしてその上で前後に振動するように適合される。第１のプルーフマス１２は、右方向／左方向１組の矢印２０によって一般に示されるように、シャトルマス２２と第１の駆動電極２４の間で支持基板１６の上を前後に振動するように構成され得るが、シャトルマス２２および駆動電極２４はどちらも支持基板１６の上で静止したままであり、第１のプルーフマス１２の動きを制限する。そしてまた第２のプルーフマス１４は、左方向／右方向１組の矢印３０によって一般に示されるように、同様に第２のシャトルマス２６と第２の駆動電極２８の間で支持基板１６の上を前後に振動するように構成され得るが、ほとんどの場合第１のプルーフマス１２に対して位相が１８０度ずれる。

第１のプルーフマス１２は、第１の終端３２、第２の終端３４、第１の側面３６、および第２の側面３８を有する薄板または他の適切な構造体を含むことができる。第１のプルーフマス１２の各終端３２、３４から、複数の櫛形フィンガ４０、４２が外側に延びる。櫛形フィンガには、右方向／左方向１組の矢印２０によって示された方向に、第１のプルーフマス１２を静電気で駆動するのに使用され得るものがある。図１に示された例示のジャイロスコープ１０では、例えば、第１のプルーフマス１２の第１の終端３２から外側に延びる櫛形フィンガ４０の第１のセットは、第１の駆動電極２４上に形成された駆動櫛の駆動フィンガ４４の対応するセットと指のように組み合わせられ得る。そしてまた、第１のプルーフマス１２の第２の終端３４から外側に延びる櫛形フィンガ４２の第２のセットは、第１のシャトルマス２２上に形成された櫛形フィンガ４６の対応するセットと指のように組み合わせられ得る。実施形態には、櫛形フィンガ４６のセットが第１のプルーフマス１２の運動を検出するために使用され得るものがある。

第２のプルーフマス１４は、第１のプルーフマス１２と同様に構成されることができ、第１の終端４８、第２の終端５０、第１の側面５２および第２の側面５４を有する。第２のプルーフマス１６の第１の終端４８から外側に延びる櫛形フィンガ５６の第１のセットは、第２のシャトルマス２６上に形成された櫛形フィンガ５８の対応するセットと指のように組み合わせられ得る。実施形態には、櫛形フィンガ５８のセットが、第２のプルーフマス１４の運動を検出するために使用され得るものがある。そしてまた、第２のプルーフマス１４の第２の終端５０から外側に延びる櫛形フィンガ６０の第２のセットは、第２の駆動電極２８上に形成された駆動櫛形フィンガ６２の対応するセットと指のように組み合わせられ得る。

第１および第２のプルーフマス１２、１４は、１つまたは複数の懸架ばねを使用して、下にある支持構造１６の上で１つまたは複数の方向に拘束され得る。図１に示されるように、例えば、第１のプルーフマス１２は固定され得るか、そうでなければ、第１のプルーフマス１２の４つの隅に各終端６６で接続され得る４つの懸架ばね６４の第１のセットを使用して、支持基板１６に結合され得る。同様にして、第２のプルーフマス１４は、第２のプルーフマス１４の４つの隅に各終端７０で接続され得る４つのばね６８の第２のセットを使用して、下にある支持基板１６に固定され得る。

使用時には、懸架ばね６４、６８は、右方向／左方向１組の矢印２０、３０によって一般に示された方向への第１および第２のプルーフマス１２、１４の振動運動を絶縁するように構成されることができて、レート軸１８方向の望ましくない垂直方向の運動を低減し、かつ運動検出方向７２の直交運動を低減する。支持基板１６上のプルーフマス１２、１４を支持することに加えて、各動作サイクル中に駆動電圧信号が零点を通過するとき懸架ばね６４、６８が回復力を与えるように構成されることもできる。

駆動電圧Ｖ_Ｄが、第１および第２の駆動電極２４、２８に印加されることができて、指のように組み合わせられた櫛形フィンガの間に静電気力を誘起し、静電気によって櫛形フィンガを互いに対して動かす原因となる。駆動電圧Ｖ_Ｄは、時間的に変化する電圧信号を出力して櫛形フィンガに供給される電荷を交番させるように構成されることができ、このことが懸架ばね６４、６８と共に、支持基板１６の上で第１および第２のプルーフマス１２、１４を特定のやり方で前後に振動させる原因となる。一般に、駆動電圧Ｖ_Ｄは、第１および第２のプルーフマス１２、１４の共振振動数（例えば１０ｋＨｚ）に一致する周波数を有することになるが、必要に応じてその他の所望の駆動周波数が採用され得る。

一対の検出電極７４、７６が検出システムの一部として与えられることができ、レート軸１８のまわりのジャイロ運動の結果である第１および第２のプルーフマス１２、１４の運動検出方向７２の面外振れを検出し測定する。図１中の破線で示されるように、例示の検出電極７４、７６は、プルーフマス１２、１４の下に配置され各検出電極７４、７６の上側表面がそれぞれのプルーフマス１２、１４の下側に垂直方向に隣接しかつ平行であるように配向された、薄い、長方形（または他の形）に作られた電極プレートを含むことができる。検出電極７４、７６は、周囲の櫛形フィンガ４０、４２、５６、６０との電気的干渉を最小化して検出信号中への駆動電圧源Ｖ_Ｄの漏れを防ぐように、サイズおよび形を構成され得る。

各検出電極７４、７６に印加された検出バイアス電圧Ｖ_Ｓは、それぞれ検出電極７４とプルーフマス１２間の静電容量ならびに検出電極７６とプルーフマス１４間の静電容量に比例した電荷を第１および第２のプルーフマス１２、１４に誘起するために利用され得る。検出電極７４、７６および第１および第２のプルーフマス１２、１４は、好ましくは導電材料（例えばシリコンでドープされた導体、金属または他の適切な材料）を含み、検出電極７４、７６上で生成された電荷が検出バイアス電圧Ｖ_Ｓに関してプルーフマス１２、１４に送られるのを可能にする。

動作中に、レート軸１８のまわりのジャイロスコープ１０の回転運動に起因するコリオリの力は、検出電極７４、７６に対して第１および第２のプルーフマス１２、１４を面外に移動させる原因となる。これが起きると、検出電極７４とプルーフマス１２ならびに検出電極７６とプルーフマス１４の各間隔の変化が、検出電極７４とプルーフマス１２ならびに検出電極７６とプルーフマス１４それぞれの間の静電容量の変化を引き起こすが、これは、次式を使用して、プルーフマス１２、１４上の電荷として測定することができる。

ｑ＝ε_０ＡＶ_Ｓ／Ｄ
ただし、Ａは検出電極とプルーフマスの重なり面積、Ｖ_Ｓは検出電極に印加された検出バイアス電圧、ε_０は検出電極とプルーフマス間の材料（例えば真空、空気など）の誘電率、Ｄは検出電極７４、７６とそれぞれのプルーフマス１２、１４間の距離または間隔である。結果として生ずる電荷がプルーフマス１２、１４上に受け取られ、様々な懸架ばね６４、６８を通過するかまたは横切って複数のリード７８に供給され得る。そしてまた、リード７８は、第１および第２のプルーフマス１２、１４から受け取った電荷信号または電流を、コリオリの力を示す対応するレート信号８２へと変換するチャージアンプ８０に電気的に接続され得る。

チャージアンプ８０への入力のバランスをゼロまたはおよそゼロにするのを支援するために、第１のプルーフマス１２に印加される検出バイアス電圧Ｖ_Ｓは、第２のプルーフマス１４に印加される検出バイアス電圧Ｖ_Ｓと反対の極性を有することができる。例えば、ある設計では、＋５Ｖおよび−５Ｖの検出バイアス電圧Ｖ_Ｓが、それぞれ検出電極７４、７６に印加されることができ、チャージアンプ８０の出力ノード８４に不平衡電流が流れ込むのを防ぐ。プルーフマス１２、１４上の電圧を実質的な接地に維持するのを支援するために、必要に応じて比較的大きな値の抵抗８６が入力８８からチャージアンプ８０の出力ノード８６まで接続され得る。

モータバイアス電圧Ｖ_ＤＣが、第１および第２のシャトルマス２２、２６の両端に供給されることができ、駆動電圧源Ｖ_Ｄによって誘起されたプルーフマス１２、１４の変位を検出かつ／または測定する。第１および第２のシャトルマス２２、２６上の櫛形フィンガ４６、５８に対する第１および第２のプルーフマス１２、１４上の櫛形フィンガ４２、５６の運動に起因するモータピックオフ電圧Ｖ_ＰＩＣＫは、第１および第２のプルーフマス１２、１４の運動を検知／検出するために使用され得る。

図２は、あるレベルの組込み試験を有する例示的ＭＥＭＳ型ジャイロスコープの概略図である。図１のジャイロスコープが、ジャイロブロック１０としてブロック形式で示される。例示の実施形態では、駆動発振器１００は、図１に関して前述のモータピックオフ電圧Ｖ_ＰＩＣＫを受け取る。図２ではモータピックオフ電圧が１つしか示されていないが、ある実施形態では、駆動発振器１００が図１のプルーフマスの各々からモータピックオフ電圧Ｖ_ＰＩＣＫを受け取るように構成され得るものが企図される。しかし、話を簡単にするために、図２に示される実施形態は、これらプルーフマスのうち１つだけの動作を示し説明する。

駆動発振器１００は、モータピックオフ電圧Ｖ_ＰＩＣＫを使用して、次のモータ駆動サイクルを与える。前述のように、モータ駆動信号は、時間的に変化する電圧信号を出力して櫛形フィンガに供給される電荷を交番させるように構成されることができ、このことが懸架ばね６４、６８と共に、支持基板１６の上で第１および第２のプルーフマス１２、１４を特定のやり方で前後に振動させる原因となる（図１参照）。一般に、駆動電圧Ｖ_Ｄは、第１および第２のプルーフマス１２、１４の共振振動数（例えば１０ｋＨｚ）に一致する周波数を有することになるが、他の所望の駆動振動数が必要に応じて使用され得る。

電圧振幅の制御を支援するために、駆動発振器１００の出力が振幅制御器１０２に供給され得る。振幅制御器１０２は基準器１０４から基準振幅を受け取る。組込み試験を有していないジャイロでは、振幅制御器１０２の出力は、プルーフマスのうちの１つに駆動電圧Ｖ_Ｄとして直接供給され得る。しかし、本発明の例示の一実施形態によれば、振幅制御器１０２の出力は、振幅制御器１０２の出力と試験信号１０６とを変調する変調器１０５に供給され得る。試験信号１０６は、連続的に動作する組込み試験（ＣＢＩＴ）交流信号でよく、モータ駆動共振周波数よりかなり低いかまたはかなり高い周波数を有してよい。例示の一実施形態では、試験信号１０６は、５０Ｈｚの周波数を有し、モータ駆動信号は約１０ｋＨｚの周波数を有するが、他の周波数が使用されてもよい。ある例では、試験信号１０６の振幅は、予期されたコリオリのレート電圧（例えばＶ_ＲＡＴＥ８２）と実質的に一致するようにされ得るが、これが全ての実施形態で必要とされるわけではない。

試験信号１０６が変調器１０５によって変調された後、その結果が駆動電圧Ｖ_Ｄとしてジャイロ１０に供給される。したがって、駆動電圧Ｖ_Ｄは、試験信号１０６に対応する成分および振幅制御器１０２の出力に対応する成分を有する。試験信号１０６に対応する駆動電圧Ｖ_Ｄの成分は、プルーフマスの静電気駆動にまったく影響を及ぼさないかまたはほとんど影響を及ぼさないように、プルーフマスのあらゆる共振モードから十分離れた周波数を有するのが好ましい。しかし、例示の実施形態では、この成分はプルーフマスに容量結合され（検出プレートに結合される例もある）、そして最終的には、第１および第２のプルーフマス１２、１４から受け取られた電荷信号または電流を対応するコリオリの力を示すレート信号８２へと変換するチャージアンプ８０に結合される。したがって、例示の実施形態では、チャージアンプ８０の出力８２は、与えられたコリオリの力に対応する成分、および容量結合された試験信号１０６に対応する成分を含み得る。

例示の実施形態では、チャージアンプ８０の出力８２は、レート増幅器１１０に供給されることができ、レート増幅器１１０がこの信号を増幅する。レート増幅器１１０の出力は、フィルタリングと増幅の両機能を果たすフィルタ増幅器１１２に供給され得る。次いで、フィルタ増幅器１１２の出力は、１１４で示される振幅制御器１０４の出力を使用して復調され得る。例示の実施形態では、破線１１６によって示されるように、試験信号１０６は、最初は振幅制御器１０４の出力を基準に使用して変調され、フィルタ増幅器１１２の出力は、同じ信号を使用して復調される。このことは、変調された試験信号１０６を、コリオリの力を示すレート信号８２と比較的同相に保つのを支援し得る。

例示の実施形態では、復調信号が別のフィルタ増幅器１２０に供給され、その結果は、１２２で示される試験信号の成分が重畳した直流のレートバイアス信号である。この信号は、直流のレートバイアス信号から試験信号の成分を分離するさらに別のフィルタ１３０に渡される。試験信号１３４の成分が、元の試験信号１０６の少なくとも選択された特性と一致するなら、ジャイロ１０が適切に動作しており、誤っているかまたは紛らわしいデータを生成していないことがより有望である。

実施形態には、フィルタ１３０が単に高域通過フィルタおよび低域通過フィルタでよいものがある。例えば、高域通過フィルタは試験信号１３４の成分を通すことができ、それと同時に低域通過フィルタが直流のレートバイアス信号１３２を通すことができる。しかし、別の実施形態では、フィルタ１３０は、適応フィルタなどのより精巧なフィルタでもよい。そのような適応フィルタの１つが、本発明の譲受人に譲渡された米国特許第５，３３１，４０２号で説明されている。実施形態には、適応フィルタが元の試験信号１０６を受け取ることができ、直流のレート信号１３２から試験信号１３４の成分を分離するのを支援するものがある。適応フィルタが、直流のレート信号１３２の予期された変化速度に対して比較的ゆっくり「適合する」ように構成され得る例もある。例えば、適応フィルタは、６０秒の時定数または他の適切な任意の時定数も必要に応じて有することができる。

直流のレート信号１３２および試験信号１３４の分離された成分は、後続の処理および／または解析用にデジタル信号に変換され得る。実施形態には、直流のレート信号１３２は１００Ｈｚで、また、試験信号１３４の分離された成分は２００Ｈｚでサンプリングされ得るものがあるが、必要に応じて他のサンプリングレートも使用され得る。

図に示すように、試験信号１０６は連続的に供給されることができ、したがって、ジャイロの動作が連続的に観測および／または試験され得る。このことは、ジャイロによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータを識別するのを支援することにより、ジャイロの信頼性を改善するのを支援することができる。

モータ駆動信号の中へ試験信号１０６を注入するのでなく、むしろ、試験信号１０６が、必要に応じて検出プレート上に注入され得るように企図される。そのように提供されるとき、試験信号１０６はプルーフマスに容量結合され、また、前述のように、チャージアンプ８０の出力８２上に重畳される。この構成は、あるレベルの組込み試験をも提供し、ジャイロによって供給された、誤っているかまたは紛らわしいデータを識別するのを支援することにより、ジャイロの信頼性を改善するのを支援することができる。

本発明によるＭＥＭＳ型ジャイロスコープの概略図である。 あるレベルの組込み試験を有する例示的ＭＥＭＳ型ジャイロスコープの概略図である。

Claims (20)

1. 複数の入力および複数の出力を有するＭＥＭＳ振動型慣性センサであって、
   １つまたは複数の前記出力で試験信号成分を生成する試験信号を、前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の前記入力に注入するための注入器と、
   前記１つまたは複数の出力から前記試験信号成分を分離するために１つまたは複数の前記出力に結合された分離器とを備えるＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
2. モータ駆動軸に沿って前後に運動するプルーフマスと、
   前記モータ駆動軸に沿って前記プルーフマスを静電気で駆動するための、モータ駆動信号によって駆動されるモータ駆動電極と、
   前記プルーフマスに隣接して配置され、検出電位にバイアスされた検出プレートとをさらに備え、
   前記試験信号が前記モータ駆動電極に注入される請求項１に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
3. 前記試験信号と前記モータ駆動信号とを変調するための変調器をさらに備える請求項２に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
4. 前記出力のうち少なくとも１つがレート出力を含み、動作中に、前記レート出力が、前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサのレート軸まわり回転レートに関係する成分および前記注入された試験信号に関係する成分を含む信号を含む請求項３に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
5. 前記モータ駆動信号で、前記レート出力での前記信号を復調するための復調器をさらに備える請求項４に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
6. 前記分離器が、前記レート出力での前記信号から前記試験信号成分を分離するための１つまたは複数のフィルタを含む請求項５に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
7. モータ駆動軸に沿って前後に運動するプルーフマスと、
   前記モータ駆動軸に沿って前記プルーフマスを静電気で駆動するための、モータ駆動信号によって駆動されるモータ駆動電極と、
   前記プルーフマスに隣接して配置され、検出電位にバイアスされた検出プレートとをさらに備え、
   前記試験信号が前記検出プレートに注入される請求項１に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
8. モータ駆動信号によって駆動されるモータ駆動部と、
   前記モータ駆動部によって静電気で駆動されるプルーフマスと、
   前記モータ駆動信号に試験信号を注入するための注入器と、
   前記プルーフマスのコリオリ運動に関係する成分および前記試験信号に関係する成分を有するレート信号を供給する、前記プルーフマスのコリオリ運動を検出するためのレートセンサと、
   前記レート信号を、前記試験信号に関係する前記成分と前記プルーフマスのコリオリ運動に関係する前記成分とに分離するための分離器とを備えるＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
9. 前記注入器が、前記モータ駆動信号で前記試験信号を変調するための変調器を備える請求項８に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
10. 前記レート信号を復調して復調されたレート信号に帰着させるための復調器をさらに備え、前記分離器が、前記復調されたレート信号を、前記試験信号に関係する成分と前記プルーフマスのコリオリ運動に関係する成分とに分離する請求項９に記載のＭＥＭＳ振動型慣性センサ。
11. １つまたは複数の出力で試験信号成分を生成する試験信号を、ＭＥＭＳ振動型慣性センサの１つまたは複数の入力に注入するステップと、
    前記試験信号成分を前記１つまたは複数の出力で観測するステップとを含むＭＥＭＳ振動型慣性センサの観測方法。
12. 前記試験信号成分が、前記注入された試験信号の少なくとも所定の特性と一致するかどうかで前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサが機能していることを判断するステップをさらに含む請求項１１に記載の方法。
13. 前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサのモータ駆動入力にモータ駆動信号を供給するステップと、
    前記モータ駆動信号に前記試験信号を注入するステップと、
    前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサによって供給され、前記試験信号に対応する成分を含むレート信号を検出するステップとをさらに含む請求項１１に記載の方法。
14. 前記試験信号に対応する前記レート信号の成分が、前記試験信号の１つまたは複数の特性と一致するかどうか判断するステップをさらに含む請求項１３に記載の方法。
15. 前記レート信号から前記試験信号に対応する前記成分を分離するステップをさらに含む請求項１３に記載の方法。
16. 前記分離ステップが、適応フィルタを使用して前記レート信号から前記試験信号に対応する前記成分を分離する請求項１５に記載の方法。
17. 前記試験信号が前記モータ駆動信号によって変調される請求項１３に記載の方法。
18. 前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサが、モータ駆動軸に沿って前後に運動するプルーフマスおよび前記プルーフマスを前記モータ駆動軸に沿って静電気で駆動するモータ駆動電極を含み、前記モータ駆動電極がモータ駆動信号で駆動され、検出プレートが前記プルーフマスに隣接して配置され、前記検出プレートが検出電位にバイアスされ、前記試験信号が前記検出プレートに注入される請求項１１に記載の方法。
19. 前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサによって供給され、前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサの運動に関係する成分および前記試験信号に関係する成分を含むレート信号を検出するステップをさらに含む請求項１８に記載の方法。
20. 前記ＭＥＭＳ振動型慣性センサの運動に関係する前記成分と前記試験信号に関係する前記成分とを分離するステップをさらに含む請求項１９に記載の方法。

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