JP2008298450A - 界面形状センサおよび界面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】界面形状センサ(プローブ1)は、屈折率n1を有する第1の媒質および屈折率n2(n2>n1)を有する第2の媒質にその一の面(測定面104)が接した屈折率np(np>n1)を有するプリズム101と、測定面104を第1および第2の媒質と接している側の反対側から臨むように配置されたカメラ103と、を備える。カメラ103は、第1の媒質と接している測定面104の第1領域に入射した光が全反射してカメラ103へ入射するとともに、第2の媒質と接している測定面104の領域であって第1領域に隣接する第2領域に入射した光が部分反射してカメラ103へ入射するように配置されて、第1領域と第2領域の明暗の差による明暗画像を取得する。
【選択図】図2
Description
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光を透過する広範な種類の媒質に対して適用することが可能であり、その形状や配置の点でも使いやすさを備えた界面形状センサおよび界面形状測定装置を提供することにある。
即ち、上記一の面(以下、測定面という)上の各点Pで反射されてカメラへ入射される各光線は、当該点Pにおける入射角θcが臨界角より大きければ点Pで全反射され、臨界角以下であれば全反射ではなく部分反射となる。臨界角は、界面測定用媒質の屈折率npと、第1または第2の媒質の屈折率n1,n2によって決まり、測定面のうち第1の媒質と接している部分と第2の媒質と接している部分とでその値(それぞれθc1,θc2とする。ここで、θc1<θc2が成り立っている)は異なる。測定面のうちの第1の媒質と接している部分において、入射角θcがθc>θc1を満たす点Pの集合が上記第1領域であり、測定面のうちの第2の媒質と接している部分において、入射角θcがθc≦θc2を満たす点Pの集合が上記第2領域である。カメラは、このような第1領域と第2領域が同時に存在するように、その向きを配置する。こうして、条件θc1<θc≦θc2を満足する測定面上の範囲においては、第1の媒質と接している第1領域で全反射が、第2の媒質と接している第2領域で部分反射がそれぞれ起こり、カメラが撮影する画像に明暗が生じることになる。この明暗画像を取得することによって、第1の媒質と第2の媒質の界面を計測することができる。
このように、本発明によれば、第1および第2の媒質の屈折率に応じた全反射の有無を観測することでこれら媒質の界面を計測するので、第1および第2の媒質が光を透過しさえすれば界面の計測が可能であり、広範な範囲の種類の媒質を対象として、界面を計測することができる。また、界面測定用媒質とカメラは第1および第2の媒質に対して同一の側に設けられるので、装置(センサ)の構成がコンパクトとなり、実際の使用上における優れた使いやすさをも備える。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の一実施形態による界面形状センサであるプローブ1を用いて、2つの媒質間の界面形状を計測する態様を説明した図である。プローブ1は、同図に示すように測定対象4に埋没(若しくは接触)させて使用する。
図3(b)は、この画像の各領域とプリズム101の各面との対応を説明した図である。カメラ103から見て右側に測定面104が存在するような配置(図2参照)となっているため、図3(b)において、画像の右側には測定面104の像510が写り、その左側には照明面106の像520が写り、これらに挟まれる形でその上側には上面107の像530、下側には下面108の像540が写る。ここで、カメラ103の測定面104に対する向きは、後述するように全反射条件等を考慮して決定されるが、カメラ103の取り付け位置や焦点距離、プリズム101の形状などによっては、照明面106の像520、上面107の像530、下面108の像540、のいずれか1ないし複数は、画像に写らない場合もある。
図4(a)はプリズム101の測定面104と第1の媒質401との間で全反射が起きる条件を説明するための図であり、図4(b)はプリズム101の測定面104と第2の媒質402との間で部分反射が起きる条件を説明するための図である。上記のとおり、第1の媒質401、第2の媒質402、プリズム101の屈折率をそれぞれn1,n2,npとしており、測定面104上で全反射が起きるためには、式(1)が満たされる必要がある。
np>min(n1,n2) (1)
上述のように本実施形態では、プリズム101の素材は、式(1)が満たされるように屈折率np=1.5のアクリル樹脂を選択した。
θc>Arcsin(n1/np)≡θc1 (2)
ここで、θc1は全反射の臨界角である。この式(2)を満たす測定面104上の点Pからは、面光源102からの光が全反射されてカメラ103へ入射されることになる。このような点Pの集合が、図3(c)における領域511(および領域516のうち第1の媒質401に対応する部分)となる。一方、式(2)を満たさない測定面104上の点Pからは、面光源102からの光が部分反射されてカメラ103へ入射される。このような点Pの集合が、図3(c)における領域513のうちの第1の媒質401に対応する部分である。式(2)を満たす全反射の臨界角θc1に対応する点をPc1とすると、図4(a)において、臨界点Pc1より右側が領域511に対応し、臨界点Pc1より左側が領域513に対応することになる。
θc≦Arcsin(n2/np)≡θc2 (3)
ここで、θc2は全反射の臨界角である。この式(3)を満たす測定面104上の点Pからは、面光源102からの光が部分反射されてカメラ103へ入射されることになる。部分反射であるため、この反射光の強度は、上述の式(2)を満たし全反射する反射光の強度よりも小さい。このような点Pの集合が、図3(c)における領域512(および領域513のうち第2の媒質402に対応する部分)となる。一方、式(3)を満たさない測定面104上の点Pからは、面光源102からの光が全反射されてカメラ103へ入射される。このような点Pの集合が、図3(c)における領域516のうちの第2の媒質402に対応する部分である。式(3)を満たす全反射の臨界角θc2に対応する点をPc2とすると、図4(b)において、臨界点Pc2より左側が領域512に対応し、臨界点Pc2より右側が領域516に対応することになる。
θt=Arcsin((np/n2)/sinθc) (4)
図4(b)即ち測定面104の第2の媒質402と接している部分では、このように、面光源102を発し測定面104で部分反射される光と、遮光板109の側から測定面104を透過する光とが存在し、カメラ103からは面光源102と遮光板109の像が同時に観測されることになる。この場合、遮光板109によって遮光板109側からの光が十分に遮断されていれば、カメラ103で観測される像即ち領域512はその分だけ暗くなるので、領域511との明暗差が大きくなる。
Arcsin(n1/np)<θc≦Arcsin(n2/np) (5)
上記の関数hは2つのルックアップテーブルHxおよびHyで表現することもでき、画像変換手段3は、次の式(7)に従い、座標(X,Y)に対応する上記ルックアップテーブルの要素を参照することで座標(x,y)を求めるようにしてもよい。
x=Hx(X,Y) (7A)
y=Hy(X,Y) (7B)
上記の関数gは2つのルックアップテーブルGxおよびGyで表現することもでき、画像変換手段3は、次の式(9)に従い、座標(x,y)に対応する上記ルックアップテーブルの要素を参照することで座標(X,Y)を求めるようにしてもよい。
X=Gx(x,y) (9A)
Y=Gy(x,y) (9B)
M(X,Y)=B(Hx(X,Y),Hy(X,Y)) (10)
界面判定手段9は、上記の式(7)の計算を行い、M(X,Y)=0となる領域とM(X,Y)=1となる領域とを求め、この2つの領域の接する境界線を、界面403を示す判定結果として出力する。なお、図7(b)のように有効領域518についてのみ2値化を行った場合には、有効領域518以外の領域に対して、2値画像値は例えばB=−1と定義しておけばよい。
次に、本発明の第2の実施形態による界面形状センサを説明する。図9に、第2の実施形態としてのプローブ1Aの構成図を示す。図9において、プローブ1Aは、第1の媒質401と第2の媒質402の被測定界面(界面403)に接する媒質であるプリズム(界面測定用媒質)101Aと、カメラ103と、面光源102と、観測容器110と、から構成されている。
次に、本発明の第3の実施形態による界面形状センサを説明する。図10に、第3の実施形態としてのプローブ1Bの構成図を示す。図10において、プローブ1Bは、第1の媒質401と第2の媒質402の被測定界面(界面403)に接する媒質であるプリズム(界面測定用媒質)101と、カメラ103と、面光源102と、遮光板109と、偏光板111と、から構成されている。本実施形態のプローブ1Bは、偏光板111を備える点を除いて、第1の実施形態のプローブ1とその構成・機能は同じである。
nc<npの場合: θc≦Arcsin(nc/np)
nc≧npの場合: θc≦90度
が満たされる限り、外殻の屈折率ncによらずに上述の式(5)は満足される。例えば、外殻をアクリル樹脂(屈折率nc=1.5)とし、この内部に水(np=1.3334)を封入したプリズム101を用いて、空気(第1の媒質;n1=1.0003)と水(第2の媒質;n2=1.3334)の界面を測定する場合、48.6度<θc≦90度なる測定面104上の領域が、上述した有効領域518となる。
101,101A プリズム
102 面光源
103 カメラ
104 測定面
105 観測面
106 照明面
109 遮光板
110 観測容器
111 偏光板
2 2値化手段
3 画像変換手段
4 測定対象
401 第1の媒質
402 第2の媒質
403 界面
9 界面判定手段
Claims (7)
- 第1および第2の媒質間の界面形状を計測する界面形状センサであって、
屈折率n1を有する前記第1の媒質および屈折率n2(n2>n1)を有する前記第2の媒質にその一の面が接した屈折率np(np>n1)を有する界面測定用媒質と、
前記一の面を前記第1および第2の媒質と接している側の反対側から臨むように配置されたカメラと、を備え、
前記カメラは、前記第1の媒質と接している前記一の面の第1領域に入射した光が全反射して前記カメラへ入射するとともに、前記第2の媒質と接している前記一の面の領域であって前記第1領域に隣接する第2領域に入射した光が部分反射して前記カメラへ入射するように配置され、前記第1領域と前記第2領域の明暗の差による明暗画像を取得する
ことを特徴とする界面形状センサ。 - 前記一の面を照明する光源を更に備え、
前記光源からの光が、前記第1領域で全反射して前記カメラへ入射する
ことを特徴とする請求項1に記載の界面形状センサ。 - 前記光源は、その発する光強度、スペクトル、またはその両者が時間変調されている
ことを特徴とする請求項2に記載の界面形状センサ。 - 前記第1および第2の媒質内に、前記一の面の前記第2領域を透過して前記カメラに入射する光の光量を減少させる遮光部を更に備える
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1の項に記載の界面形状センサ。 - 前記カメラに入射する所定の偏光成分を減少させる偏光板を更に備える
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1の項に記載の界面形状センサ。 - 前記一の面を前記第1および第2の媒質と接している側の反対側から観測するための観測用空間を更に備える
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1の項に記載の界面形状センサ。 - 請求項1から請求項6のいずれか1の項に記載の界面形状センサと、
前記界面形状センサの前記カメラから出力される前記明暗画像を2値化して2値画像を生成する2値化手段と、
前記2値化手段により生成された2値画像を前記一の面上の座標系に基づく画像に変換する画像変換手段と、
前記画像変換手段により変換された2値画像から、前記一の面における前記第1および第2の媒質間の界面形状を得る界面判定手段と、
を備えることを特徴とする界面形状測定装置。
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JP2003315138A (ja) * | 2002-04-17 | 2003-11-06 | Yamatake Corp | 液位検出装置 |
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