JP2008286950A - Optical waveguide connection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光導波路接続装置に関し、より詳細には、マルチモード光ファイバと光回線の接続及び光回線同士の接続に利用する光導波路接続装置に関する。 The present invention relates to an optical waveguide connecting device, and more particularly to an optical waveguide connecting device used for connecting a multimode optical fiber and an optical line and connecting optical lines.
マルチモード光ファイバやマルチモード光回線は、シングルモードファイバやシングルモード光回線に比べてコアサイズが大きいため、接続時の位置ずれ許容値が大きいという特徴がある。自動車内配線、AV機器・パソコン機器周り配線に用いられているプラスチック光ファイバ(POF)には、大口径であることから切断・結合等の取扱いが容易で、各種機器と接続するためのコネクタ等が多数存在する(非特許文献1参照)。 The multimode optical fiber and the multimode optical line are characterized by a large misalignment tolerance at the time of connection because the core size is larger than that of the single mode fiber and the single mode optical line. The plastic optical fiber (POF) used for wiring in automobiles, wiring around AV equipment and PC equipment has a large diameter, so it is easy to handle such as cutting and joining, connectors for connecting to various equipment, etc. There are many (see Non-Patent Document 1).
しかしながら、その一方で、光回線と光ファイバの接続技術はシングルモードを基準にして発展をしてきたため、精密位置合わせが可能な方法が採用され、大きなトレランスを考慮した方法は検討されておらず、低コスト化の障害となってきた。 However, on the other hand, since the connection technology between the optical line and the optical fiber has been developed based on the single mode, a method capable of precise alignment has been adopted, and a method considering a large tolerance has not been studied. It has become an obstacle to cost reduction.
例えば、導波路にピッグテールをつけ、FCコネクタやSCコネクタを用いてファイバと接続するのが一般的な手法であるが、これはシングルモードでの技術をそのまま用いたものであり、1μm以上の軸ずれ誤差を補償する技術が用いられている。しかしながら、マルチモード光ファイバとして一般的な50μmコア径のGIガラスファイバや、より大口径の、120μmコア径POFでは、コア径の1/10である、5μm及び12μmの軸ずれでは損失は殆ど増えない。すなわち、従来のシングルモードに対応した1μm以下の軸ずれ保証はオーバースペックである。 For example, it is a common technique to attach a pigtail to a waveguide and connect it to a fiber using an FC connector or SC connector. This is a technique using a single mode technique as it is, and an axis of 1 μm or more. A technique for compensating for the deviation error is used. However, in the case of a GI glass fiber having a 50 μm core diameter, which is a general multimode optical fiber, and a 120 μm core diameter POF having a larger diameter, the loss is almost increased at an axial misalignment of 5 μm and 12 μm which is 1/10 of the core diameter Absent. That is, the guarantee of an axis deviation of 1 μm or less corresponding to the conventional single mode is over-spec.
さらに、マルチモードによる光通信は、比較的短距離での通信、例えば装置内高速通信、或いはビル内・家庭内での光ネットワークとしての利用が中心であるため接続点が多い。そのため、マルチモードによる光通信には、安価な接続法が望ましい。このようなことから、マルチモード光ファイバ等のマルチモード平面光導波路高い位置ずれトレランスを考慮した、マルチモード光通信に特化した安価な接続方法の確立が強く望まれている。 Further, optical communication by multimode has many connection points because it is mainly used for communication in a relatively short distance, for example, high-speed communication within a device or an optical network in a building or home. Therefore, an inexpensive connection method is desirable for multimode optical communication. For this reason, establishment of an inexpensive connection method specialized for multimode optical communication in consideration of a high misalignment tolerance of a multimode planar optical waveguide such as a multimode optical fiber is strongly desired.
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、簡単な加工でマルチモード平面光導波路同士、又はマルチモード平面光導波路とマルチモード光ファイバとの接続を低コストで可能にする光導波路接続装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such problems, and its object is to reduce the connection between multimode planar optical waveguides or between a multimode planar optical waveguide and a multimode optical fiber by simple processing. An object of the present invention is to provide an optical waveguide connecting device which can be realized at a low cost.
このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、マルチモード光導波路を含む平面光回路である光導波路接続装置において、該マルチモード光導波路の光入力部及び光出力部は導波方向に凸を成し、該凸部の外接円の中心部に当該マルチモード光導波路のコアを有することを特徴とする。 In order to achieve such an object, according to the first aspect of the present invention, there is provided an optical waveguide connecting device that is a planar optical circuit including a multimode optical waveguide, wherein an optical input portion and an optical output portion of the multimode optical waveguide include: A convex is formed in the waveguide direction, and the core of the multimode optical waveguide is provided at the center of the circumscribed circle of the convex.
請求項2に記載の発明は、前記凸部に取り付けられた割スリーブをさらに備え、該割スリーブによって他のマルチモード光導波路を固定し、該固定されたマルチモード光導波路と光接続することを特徴とする。
The invention according to
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の光導波路接続装置において、凸部の外接円の直径が1.23mm以上1.27mm以下、又は2.48mm以上2.52mm以下であることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the optical waveguide connecting device according to the first or second aspect, the diameter of the circumscribed circle of the convex portion is 1.23 mm or more and 1.27 mm or less, or 2.48 mm or more and 2.52 mm or less. It is characterized by being.
請求項4に記載の発明は、請求項2又は3に記載の光導波路接続装置であって、前記スリーブによって固定されたマルチモード光導波路とのコア位置ずれは、コア位置ずれが20μm以下であることを特徴とする。
The invention according to claim 4 is the optical waveguide connecting device according to
本発明によれば、簡単な加工でのマルチモード平面光導波路同士、又はマルチモード平面光導波路とマルチモード光ファイバとの接続が可能となり、結果として、低コストで短距離光通信システムの構築が可能になる。 According to the present invention, it is possible to connect multimode planar optical waveguides or between multimode planar optical waveguides and a multimode optical fiber with simple processing, and as a result, it is possible to construct a short-distance optical communication system at low cost. It becomes possible.
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1に、本発明の一実施形態に係る光導波路接続装置の構造を示す。図1(a)に加工前の光導波路チップ、(b)に加工後の導波路チップ、(c)に光導波路接続装置をそれぞれ示す。下部基板1−3に形成した溝に導波路コア1−4を埋め込み、導波路コア1−4の一辺と接するように基板1−2を基板1−3に張り合わせる。導波路コア1−4の両端周辺の基板1−2、1−3を切り取って凸形状に整形し、接続部1−5を形成する。接続部1−5の凸形状の形成には、基板1−2、1−3の厚み全体を切り取ればよいので、加工装置としては複数同時切削が可能なワイヤソーを用いることができる。 FIG. 1 shows the structure of an optical waveguide connecting device according to an embodiment of the present invention. 1A shows an optical waveguide chip before processing, FIG. 1B shows a waveguide chip after processing, and FIG. 1C shows an optical waveguide connecting device. The waveguide core 1-4 is embedded in a groove formed in the lower substrate 1-3, and the substrate 1-2 is bonded to the substrate 1-3 so as to be in contact with one side of the waveguide core 1-4. The substrates 1-2 and 1-3 around both ends of the waveguide core 1-4 are cut out and shaped into a convex shape, thereby forming a connecting portion 1-5. In order to form the convex shape of the connecting portion 1-5, the entire thickness of the substrates 1-2 and 1-3 may be cut off. Therefore, a wire saw capable of simultaneous cutting can be used as the processing apparatus.
ワイヤソーは、マシニングセンタ、ウォータージェット、ダイシングソー等の外形基準に対する切削を行う精密加工装置と同様に、加工テーブルと被切削物(ワーク)との間にキズや埃がない状態ならば、機械的基準位置と切削位置の位置ずれを5μm以下にすることが容易であり、さらに、多数の接続部を同時に作製可能であることからコストを低く抑えることができる。 A wire saw is a mechanical reference if there are no scratches or dust between the work table and the workpiece (work), as is the case with precision processing equipment that performs cutting with respect to the external reference, such as a machining center, water jet, and dicing saw. It is easy to make the positional deviation between the position and the cutting position 5 μm or less, and furthermore, since a large number of connecting portions can be manufactured at the same time, the cost can be kept low.
接続部1−5の凸部には、図1(c)に示すように割スリーブ1−6を取り付ける。この割スリーブ1−6は、接続部1−5の凸部が内接することによって接続部1−5に固定されている。割スリーブ1−6は、1.25mm内径、2.5mm内径のものが広く流通しているので、接続部1−5の凸形状は外接円の直径が1.25mm又は2.5mmとなるように設計されることが望ましい。また、120μmコア径のGI型プラスチックファイバでは、コア位置ずれが20μm以下のとき位置ずれに由来する過剰損は0.5dB以下で多くの場合許容される大きさなので、20μmを公差とする。 As shown in FIG.1 (c), the split sleeve 1-6 is attached to the convex part of the connection part 1-5. The split sleeve 1-6 is fixed to the connecting portion 1-5 by inscribed in the convex portion of the connecting portion 1-5. Since the split sleeve 1-6 has a 1.25 mm inner diameter and a 2.5 mm inner diameter widely circulated, the convex shape of the connecting portion 1-5 has a circumscribed circle diameter of 1.25 mm or 2.5 mm. It is desirable to be designed. Further, in the case of a GI plastic fiber having a 120 μm core diameter, when the core misalignment is 20 μm or less, the excess loss due to the misalignment is 0.5 dB or less and is an allowable size in many cases, so 20 μm is a tolerance.
図2に、本発明の一実施形態に係る光導波路接続装置を用いた接続方法を示す。導波路チップ2−1の接続部の凸部に取り付けた割スリーブ2−4、2−5に先端にフェルール2−3を取り付けられたマルチモード光ファイバを接続する。また、導波路チップ2−6、2−7のように接続部の凸部を割スリーブ2−8、2−9に差し込むことで、導波路チップ同士を接続することもできる。 FIG. 2 shows a connection method using the optical waveguide connection device according to one embodiment of the present invention. A multi-mode optical fiber having a ferrule 2-3 attached to the tip thereof is connected to the split sleeves 2-4 and 2-5 attached to the convex portion of the connection portion of the waveguide chip 2-1. Further, the waveguide chips can be connected to each other by inserting the convex portions of the connection portions into the split sleeves 2-8 and 2-9 like the waveguide chips 2-6 and 2-7.
ここで、基板のコア中心の位置と接続部1−5の凸部の形状について説明する。図3(a)〜(e)は、接続部の凸部作製時の切削位置をそれぞれ図示したものである。コア中心が厚み中心にあるか否かによって、基板の加工容易さが変わってくる。 Here, the position of the core center of the substrate and the shape of the convex portion of the connecting portion 1-5 will be described. 3A to 3E illustrate the cutting positions at the time of producing the convex portions of the connection portions. The ease of processing of the substrate varies depending on whether the core center is at the center of thickness.
図3(a)は、コア中心が導波路チップ厚み中心と一致する場合である。切削位置はX、Yの2箇所のみであり、かつ導波路チップの厚み全体を切り取ることができる。従って、ワイヤソーやウォータージェット等の加工機を用いることができる。特に、複数同時加工ができるワイヤソーを使用することによってコストを低く抑えることが可能である。 FIG. 3A shows a case where the core center coincides with the waveguide chip thickness center. There are only two cutting positions, X and Y, and the entire thickness of the waveguide chip can be cut off. Therefore, a processing machine such as a wire saw or a water jet can be used. In particular, the cost can be kept low by using a wire saw capable of simultaneous machining.
一方、図3(b)〜(e)に示すように、張り合わせている上部基板と下部基板の厚みが同じで、かつ下部基板に導波路コアが形成されている場合、コア中心は導波路チップ厚み中心とは一致しない。このような場合には、コア中心を割スリーブの円柱軸上に合わせるために、位置X、Yの切削以外に、位置p、qで深さWの切削が必要になる。図3(b)では、4点で割スリーブに内接するように、上部基板のみを位置p、qで切削している。 On the other hand, as shown in FIGS. 3B to 3E, when the upper substrate and the lower substrate to be bonded have the same thickness and a waveguide core is formed on the lower substrate, the core center is the waveguide chip. It does not match the thickness center. In such a case, in order to align the center of the core with the cylindrical axis of the split sleeve, in addition to the cutting at the positions X and Y, the cutting at the depth W is required at the positions p and q. In FIG. 3B, only the upper substrate is cut at positions p and q so as to be inscribed in the split sleeve at four points.
但し、割スリーブを凸部に固定させるためには凸部の3点を割スリーブに内接させればよく、位置p、qのいずれか一方は精密な位置決めをしなくてもよい。そのため、図3(c)〜(e)は、pのみを割スリーブに内接するように位置決めし、qは図3(b)の場合よりもpに近く、割スリーブに接しない領域にとっている。すなわち、qの位置決めには、pの位置決めを行うような精度がなくてもよい。 However, in order to fix the split sleeve to the convex portion, it is only necessary to inscribe the three points of the convex portion to the split sleeve, and either one of the positions p and q may not be precisely positioned. Therefore, in FIGS. 3C to 3E, only p is positioned so as to be inscribed in the split sleeve, and q is closer to p than in the case of FIG. In other words, the positioning of q does not have to be accurate to perform the positioning of p.
深さWの位置p、qの切削は、図3(b)、(c)では上部基板の厚み全体、図3(d)では上部基板の厚みの一部、図3(e)では上部基板の厚み全体と下部基板の厚みの一部に対して成されている。これら図3(b)〜(e)は、(a)よりも2箇所多く切削しなければならない上、上部基板と下部基板の全体の厚みを切り取ることが許されないため、ダイシングソーやマシニングセンタ等の加工機が必要になる。これらの加工機は、複数同時加工に適さないことから、低コスト化には不利である。 Cutting of the positions p and q at the depth W is performed in FIGS. 3B and 3C with the entire thickness of the upper substrate, in FIG. 3D with a part of the thickness of the upper substrate, and in FIG. 3E with the upper substrate. For the entire thickness and part of the thickness of the lower substrate. 3 (b) to 3 (e) must be cut at two places more than (a), and the entire thickness of the upper substrate and the lower substrate is not allowed to be cut off, so that a dicing saw, a machining center, etc. A processing machine is required. Since these processing machines are not suitable for a plurality of simultaneous processing, they are disadvantageous for cost reduction.
以上から、コア中心は、切削回数が少なくコストを抑えられることから、導波路チップ厚み中心と一致させることが望ましい。 From the above, it is desirable that the core center coincide with the waveguide chip thickness center because the number of cuttings is small and the cost can be suppressed.
(実施形態1)
図4に、本発明の一実施形態に係る光導波路接続装置の作製工程を示す。(a)1mm厚のPMMA基板4−1の表面を、マシニングセンタを用いたエンドミル4−2による加工にて90μm幅×90μm深さで溝4−3を切削する。溝4−3は、平行に複数本切削し、溝ピッチは4mmとする。(b)できた溝4−3にPMMAよりも屈折率の大きな紫外線硬化エポキシ樹脂4−4を流し込む。次いで、(c)テフロン(登録商標)テープ4−5を被せ、余分な紫外線硬化エポキシ樹脂を押し出す。(d)紫外線照射器4−6によって紫外線を照射し、溝4−3に溜まった紫外線硬化エポキシ樹脂を硬化させる。(e)紫外線硬化エポキシ樹脂が硬化した後、テフロン(登録商標)テープ4−5を剥離する。次いで、(f)PMMA基板と同程度の屈折率をもつ紫外線硬化エポキシ樹脂4−7を10μmの厚みでスピンコートする。(g)厚み0.99mmのPMMA基板4−8を空気が混入しないように紫外線硬化エポキシ樹脂4−7の上に貼り付け、紫外線照射器4−6で紫外線を照射し、紫外線硬化エポキシ樹脂4−7を硬化する。(h)太さが0.05mmのワイヤソー4−10を用いたワイヤソーを、直径2.5mmの円4−9に凸部が内接するように切削する。ワイヤソーの間隔は4mmであり、コア中心から両サイドにそれぞれ776μm残すようにコの字状に切り出す。すなわち、ワイヤソーの中心がコア中心の左、802μm(切りしろ:776μm+ワイヤソー太さの半分:25μm+砥粒サイズ:1μm)にて切削を開始し、導波路方向に5mm切り進み、そこで左方向に2.346mm切り進んで、導波方向に先ほどとは逆に5mm切る。こうして、(i)斜線部4−11が切り取られ、凸部4−12が接続部として残る。この凸部4−12に内径2.5mmの割スリーブを取り付けることにより本発明の光導波路接続装置となり、図2で示した方法で平面光導波路やマルチモード光ファイバと接続することができる。
(Embodiment 1)
FIG. 4 shows a manufacturing process of an optical waveguide connecting device according to an embodiment of the present invention. (A) The surface of the PMMA substrate 4-1 having a thickness of 1 mm is cut into a groove 4-3 with a width of 90 μm and a depth of 90 μm by processing with an end mill 4-2 using a machining center. A plurality of grooves 4-3 are cut in parallel, and the groove pitch is 4 mm. (B) An ultraviolet curable epoxy resin 4-4 having a refractive index larger than that of PMMA is poured into the formed groove 4-3. Next, (c) a Teflon (registered trademark) tape 4-5 is put on and an extra UV-curable epoxy resin is extruded. (D) Ultraviolet rays are irradiated by the ultraviolet irradiator 4-6 to cure the ultraviolet curable epoxy resin accumulated in the grooves 4-3. (E) After the ultraviolet curing epoxy resin is cured, the Teflon (registered trademark) tape 4-5 is peeled off. Next, (f) an ultraviolet curable epoxy resin 4-7 having a refractive index comparable to that of the PMMA substrate is spin-coated with a thickness of 10 μm. (G) A PMMA substrate 4-8 having a thickness of 0.99 mm is affixed on an ultraviolet curable epoxy resin 4-7 so that air is not mixed in, and is irradiated with ultraviolet rays by an ultraviolet irradiator 4-6. -7 is cured. (H) A wire saw using a wire saw 4-10 having a thickness of 0.05 mm is cut so that the convex portion is inscribed in a circle 4-9 having a diameter of 2.5 mm. The distance between the wire saws is 4 mm, and it is cut out in a U shape so as to leave 776 μm on both sides from the center of the core. That is, the center of the wire saw starts at 802 μm (cutting distance: 776 μm + half of the wire saw thickness: 25 μm + abrasive grain size: 1 μm) at the left of the core center, and cuts by 5 mm in the waveguide direction. .. Cut 346 mm, cut 5 mm in the waveguide direction, contrary to the previous one. Thus, (i) the shaded portion 4-11 is cut off, and the convex portion 4-12 remains as a connection portion. By attaching a split sleeve having an inner diameter of 2.5 mm to this convex portion 4-12, an optical waveguide connecting device of the present invention can be obtained, and it can be connected to a planar optical waveguide or a multimode optical fiber by the method shown in FIG.
1−1 加工前の導波路チップ
1−2 上部基板
1−3 下部基板
1−4 導波路コア
1−5 接続部
1−6、2−4、2−5、2−8、2−9 割スリーブ
1−7 接続部の断面形状
2−1、2−6、2−7 導波路チップ
2−2 マルチモード光ファイバ
2−3 フェルール
4−1、4−8 PMMA基板
4−2 エンドミル
4−3 溝
4−4、4−7 紫外線硬化エポキシ樹脂
4−5 テフロン(登録商標)テープ
4−6 紫外線照射器
4−9 外接円
4−10 ワイヤソー
4−11 切削部
4−12 凸部
1-1 Waveguide Chip Before Processing 1-2 Upper Substrate 1-3 Lower Substrate 1-4 Waveguide Core 1-5 Connection 1-6, 2-4, 2-5, 2-8, 2-9% Sleeve 1-7 Cross-sectional shape of connecting portion 2-1, 2-6, 2-7 Waveguide chip 2-2 Multimode optical fiber 2-3 Ferrule 4-1, 4-8 PMMA substrate 4-2 End mill 4-3 Groove 4-4, 4-7 UV curable epoxy resin 4-5 Teflon (registered trademark) tape 4-6 UV irradiator 4-9 circumscribed circle 4-10 wire saw 4-11 cutting part 4-12 convex part
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Cited By (2)
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CN109307506A (en) * | 2017-07-26 | 2019-02-05 | 中国科学院声学研究所 | A kind of micro-light electromechanical gyro based on multi-mode optical fiber structure |
JP2021026103A (en) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | 住友電気工業株式会社 | Optical connector |
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2007
- 2007-05-16 JP JP2007130944A patent/JP2008286950A/en active Pending
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