JP2008284703A - Method for producing polyimide film - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for stably producing an extremely thin and lengthy film of a polyimide film excellent in heat resistance and mechanical properties. <P>SOLUTION: In the production method for forming the polyimide film with a thickness of 7.5 μm or below, the grip of the film in both side end parts in the width direction of the film by a film end part fixing type tenter of an imidation process, both side end parts in the width direction of a polyimide precursor film are overlaid with a narrow film prepared separately, and the parts overlaid with the narrow film are stuck with pins to be fixed. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明はポリイミドフィルムの製造方法に関するものであり、特に厚さが7.5μm以下のポリイミドフィルムを製造する際の最終熱処理時に、ポリイミド前駆体フィルムを高温熱処理してポリイミドフィルムとなす際におけるテンター式(フィルム搬送)処理部におけるフィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム把持に特徴を有するポリイミドフィルムの製造方法に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a polyimide film, and in particular, a tenter type used in the final heat treatment for producing a polyimide film having a thickness of 7.5 μm or less to heat the polyimide precursor film at a high temperature to form a polyimide film. (Film conveyance) The present invention relates to a method for producing a polyimide film characterized by film gripping at both end portions in the width direction of the film in a processing section.

ポリイミドフィルムを製造するとき、溶媒の一部が残っているポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルムともいう)を高温でイミド化する。この場合該ポリイミド前駆体フィルムを搬送しながら加熱して乾燥及び熱処理を行うが、これらの溶媒を少なからず保有しているフィルムは一般的に乾燥されるに従って収縮する。このようなフィルムの搬送・乾燥・熱処理において、フィルムの幅方向の両側端部を多数のピンやクリップで保持することによりフィルムの幅方向を張設した状態で搬送しフィルムを製造する装置として、所謂テンターと呼ばれるフィルムのテンター式搬送装置が知られている(特許文献1参照)。
また、ポリイミドフィルムの製造にテンター式搬送装置を使用することも多数知られている(特許文献2参照)。
特公昭39─029211号公報。 特開平09−188763号公報
When producing a polyimide film, a polyimide precursor film (also referred to as a green film) in which a part of the solvent remains is imidized at a high temperature. In this case, drying and heat treatment are carried out by heating while conveying the polyimide precursor film, but a film having a small amount of these solvents generally shrinks as it is dried. In such film transport / drying / heat treatment, as an apparatus for manufacturing a film by transporting the film in the stretched width direction by holding both ends in the width direction of the film with a large number of pins and clips, A film tenter type conveying device called a so-called tenter is known (see Patent Document 1).
In addition, it is also known to use a tenter type conveying device for manufacturing a polyimide film (see Patent Document 2).
Japanese Examined Patent Publication No. 39-029211. JP 09-188863 A

フィルム搬送装置は、布を染色した後の乾燥工程で布に皺が発生しないように乾燥する用途への使用も古くから良く知られている。布の乾燥の他にも溶剤製膜法での未乾燥なプラスチックフィルムのフィルムを乾燥工程で搬送しながら乾燥する場合にも使用される。 フィルム搬送装置を使用することにより乾燥・熱処理時の熱でフィルムがその幅方向に収縮するのを抑制し、乾燥・熱処理後のフィルムに収縮による皺が発生しないようにすることができる。
フィルムの収縮はフィルムの幅方向に限らず全方向に生じるが、フィルムの搬送方向は搬送テンションが作用しており収縮に対しての抑制効果があるとされているが、フィルム厚さが極端に薄くなるとフィルムの搬送方向においても収縮などによる把持部における損傷が大きくなる。このように、未乾燥のフィルムを熱処理する際にフィルムのテンター式搬送装置を使用して搬送することにより、乾燥・熱処理されたフィルムに必要な強度及び平面性を確保せんとしている。
The film conveying apparatus has been well known for a long time to be used for drying so as not to cause wrinkles in the drying process after dyeing the cloth. In addition to drying the cloth, it is also used for drying an undried plastic film by a solvent casting method while transporting it in the drying step. By using the film conveying apparatus, it is possible to suppress shrinkage of the film in the width direction due to heat during drying and heat treatment, and to prevent wrinkles due to shrinkage from occurring in the film after drying and heat treatment.
Film shrinkage occurs not only in the width direction of the film but in all directions, but the film transport direction is said to have a restraining effect on the shrinkage because the transport tension is acting, but the film thickness is extremely When the thickness is reduced, damage to the gripping portion due to shrinkage or the like also increases in the film transport direction. Thus, when the undried film is heat-treated, it is transported using a film tenter-type transport device, thereby ensuring the strength and flatness necessary for the dried and heat-treated film.

フィルムテンター式搬送装置のうち、フィルムの両側端部に沿って多数のピンを喰い込ませることによりフィルムを幅方向に張設した状態で保持するフィルムのテンター式搬送装置は、平行に配置された一対の移動チェンに列設支持されたピンシート上に多数のピンが配設されて構成される。このフィルムのテンター式搬送装置は、前記クリップ等のフィルム搬送装置に比べ構造が簡単であることあるいは乾燥室内での搬送コンベアの経路を反転させる構造にできる等のことから、装置コスト、装置のコンパクト化の点で優れている一方、フィルムにピンを喰い込ませる際にフィルムの微小片が発塵するために、なるべくピン本数を少なくする必要がある。また、フィルムの収縮力が大きくなると、フィルム面にピンを喰い込ませた孔がフィルムの幅方向に長孔状に破断するなどの課題を抱えている。   Among the film tenter type conveying devices, the tenter type conveying device for the film that holds the film stretched in the width direction by biting a large number of pins along both side edges of the film was arranged in parallel A large number of pins are arranged on a pin sheet supported in a row by a pair of moving chains. This film tenter type transport device is simpler in structure than the film transport device such as the clip, or can be structured to reverse the transport conveyor path in the drying chamber. On the other hand, since the fine pieces of the film generate dust when the pins are bitten into the film, it is necessary to reduce the number of pins as much as possible. Moreover, when the shrinkage force of the film becomes large, there are problems such as the holes that have pinned the film surface break into long holes in the width direction of the film.

これらの改良のために、フィルムのピンによる把持部において引き裂き強度大きいフィルムを別途補強用として重ねて使用する方式も提案されている(特許文献3参照))が、当該技術は引き裂き強度が低い、50〜150μmの厚さの高分子樹脂フィルムをフィルム端部固定式テンターにて処理する際に、特に幅方向に延伸する際に、該フィルム端部のシート把持部に該フイルムより引き裂き強度が高く且つ該フイルムと付着可能な補強フィルムを重ねあわせて付着し、該補強フィルムに力を加えて処理する引き裂き強度が低い高分子樹脂フィルムを安定にテンター処理する方法である。極薄ポリイミドフィルムについてのものではなく、処理されるべきフィルムがポリイミドフィルムの場合は、かかる厚さであれば把持部であえて補強する必要がないほど強度を保有しているものであり、しかもポリイミドのイミド化は500℃にも達する高温処理である。
さらに、ウェブなどを搬送する際、ウェブの両側端部に置けるピンの配列を最内側のピン密度を大きくし、外側のピンの配列密度をより小さくしたテンター式搬送装置も提案されている(特許文献4参照)。これら改良提案においても、ピンの搬送方向における配列特にピンシート間のピン配列に配慮されたものはなく、フィルムの収縮によるピンを喰い込ませた孔におけるフィルムの幅方向に長孔状に破断が生じ易いフィルムの製造においては課題を有していた。
従来のフィルムのテンター式搬送装置は、ピンを喰い込ませた孔でのフィルムの幅方向に長孔状に破断する問題、皺の発生などの品質不良が発生し易く、生産ロスの原因となると共に生産効率の低下を招き、使用者にとって十分満足できるものではなかった。
特に極端に薄いポリイミドフィルムをテンター式搬送方法によって製造せんとするときは、上記の課題が顕著となり、従来の提案技術では克服することができなかった。
特開平11−254521号公報 特開平09−077315号公報
For these improvements, a method in which a film having a large tear strength is additionally used for reinforcement in the grip portion by the pin of the film has been proposed (see Patent Document 3), but the technique has a low tear strength. When processing a polymer resin film having a thickness of 50 to 150 μm with a film end fixed type tenter, particularly when stretched in the width direction, the sheet gripping portion at the film end has a higher tear strength than the film. In addition, the method is a method of stably tentering a polymer resin film having a low tear strength, in which the film and the reinforcing film that can be attached are overlapped and attached, and the reinforcing film is subjected to a force treatment. If the film to be processed is a polyimide film, not an ultra-thin polyimide film, it has such a strength that it does not need to be reinforced by the gripping part as long as it is such a thickness. The imidization is a high temperature treatment reaching 500 ° C.
Furthermore, a tenter type conveying device has also been proposed in which the innermost pin density is increased and the outer pin arrangement density is further reduced in the arrangement of pins that can be placed on both ends of the web when the web is conveyed (patent). Reference 4). Even in these proposals for improvement, there is nothing to consider the arrangement in the conveying direction of the pins, particularly the arrangement of the pins between the pin sheets. There was a problem in the production of films that are likely to occur.
Conventional tenter type transport devices for films tend to cause production loss due to problems such as breakage in the shape of a long hole in the width direction of the film at the hole where the pin is entrapped, and generation of wrinkles. At the same time, the production efficiency was lowered, and it was not satisfactory for users.
In particular, when an extremely thin polyimide film is manufactured by a tenter type conveying method, the above-mentioned problem becomes remarkable and cannot be overcome by the conventional proposed technique.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-254521 JP 09-073315 A

本発明は、電子部品の基材や絶縁材などとして好適である平面性及び均質性に優れ、しかも高温処理しても変質しない耐熱性に優れたポリイミドフィルムの中でも極薄のポリイミドフィルムを、テンター式搬送方法によってフィルムの両側端部で把持し製造せんとする際に、効率よく、フィルムの幅方向及び縦方向での、ピンによって突き刺された部分で長孔状に破断することによる品質不良が発生し易い課題を解消するためのポリイミドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention provides an extremely thin polyimide film that is excellent in flatness and homogeneity, which is suitable as a base material and insulating material for electronic parts, and excellent in heat resistance that does not change even when subjected to high temperature treatment. When the film is gripped at both ends of the film by the transporting method and is manufactured, there is an inefficient quality due to breaking into a long hole at the portion stabbed by the pin in the width direction and the longitudinal direction of the film. It aims at providing the manufacturing method of the polyimide film for eliminating the problem which is easy to generate | occur | produce.

すなわち本発明は、以下の構成によるものである。
1.芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とを反応させて得られるポリアミド酸を流延・乾燥しポリイミド前駆体フィルムを得て、該ポリイミド前駆体フィルムをピンシートが幅方向において外側に設置され、フィルムの幅方向両端部をピンシートに配置されたピンで突き刺し固定し、フィルム端部固定式テンターにて搬送し処理する方法でイミド化させる、厚さが7.5μm以下のポリイミドフィルムを得る製造方法であって、イミド化させる工程のフィルム端部固定式テンターでフィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム把持を、ポリイミド前駆体フィルムの幅方向の両側端部に別に用意された細幅のフィルムを重ねて細幅のフィルムを重ねた部分をピンで突き刺し固定することによって行うことを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。
2.芳香族テトラカルボン酸類がピロメリット酸類、ビフェニルテトラカルボン酸類から選ばれる少なくとも一種、芳香族ジアミン類がp−フェニレンジアミン類、ジアミノジフェニルエーテル類から選ばれる少なくとも一種である前記1のポリイミドフィルムの製造方法。
3.ピンシートが幅方向において外側に設置されたピン台座よりも高い部位を有するものである前記1又は2いずれかのポリイミドフィルムの製造方法。
4.ポリイミドフィルムの幅が500〜10000mm、長さが100〜100000mである前記1〜3いずれかのポリイミドフィルムの製造方法。
5.細幅のフィルムがポリイミドの前駆体フィルムであって、その幅が、20〜80mmである1.〜4.いずれかのポリイミドフィルムの製造方法。
That is, this invention is based on the following structures.
1. Polyamide acid obtained by reacting aromatic tetracarboxylic acids and aromatic diamines is cast and dried to obtain a polyimide precursor film, and the polyimide precursor film is placed outside in the width direction of the pin sheet, Manufacturing to obtain a polyimide film with a thickness of 7.5 μm or less, which is stabbed and fixed at both ends in the width direction of the film with pins arranged on a pin sheet, and imidized by a method of conveying and processing with a film end fixed type tenter A thin film prepared separately at both ends in the width direction of the polyimide precursor film, with a film end fixing type tenter in the process of imidizing and holding the film at both ends in the width direction of the film A polyimide film characterized in that it is performed by piercing and fixing a portion where a thin film is overlapped with a pin with a pin The method of production.
2. The method for producing a polyimide film according to 1 above, wherein the aromatic tetracarboxylic acid is at least one selected from pyromellitic acids and biphenyltetracarboxylic acids, and the aromatic diamine is at least one selected from p-phenylenediamines and diaminodiphenyl ethers.
3. The method for producing a polyimide film according to any one of the above 1 or 2, wherein the pin sheet has a portion higher than a pin pedestal installed outside in the width direction.
4). The method for producing a polyimide film according to any one of 1 to 3, wherein the polyimide film has a width of 500 to 10,000 mm and a length of 100 to 100,000 m.
5. 1. A thin film is a polyimide precursor film, and its width is 20 to 80 mm. ~ 4. A method for producing any polyimide film.

本発明のポリイミドフィルム製造方法は、厚さが7.5μm以下のポリイミドフィルム製造時におけるテンター式処理部(搬送装置)において、フィルムの両側端部において、処理製造されるフィルムとは別の細幅のフィルムとを重ね合わしてピンシートに設けられたピンに突き刺すことで、フィルムの縦方向、幅方向に長孔状などに破断し、収率の低下や品質不良が発生し易い課題を解消することができ、結果的に製造されたポリイミドフィルムにおける品質上の課題が解消可能となる。
またフィルムがピンの台座から浮き上がった状態で保持されるため、ピンシートのピン台座部での融着が無く、熱処理後のフィルム取り外しが容易となる。またピンシート自体の汚染も生じないため装置の維持管理の面からも有効であり、極薄ポリイミドフィルム製造の生産性にも寄与し工業的に極めて有効である。
The polyimide film manufacturing method of the present invention is a narrow width different from the film to be processed and manufactured at both end portions of the film in the tenter type processing unit (conveying device) when manufacturing a polyimide film having a thickness of 7.5 μm or less. The film is overlapped with the pin and pierced into the pin provided on the pin sheet, thereby breaking the film in the shape of a long hole in the longitudinal direction and width direction, thereby eliminating the problems that are likely to cause a decrease in yield and poor quality. As a result, the quality problem in the manufactured polyimide film can be solved.
Further, since the film is held in a state of being lifted from the pedestal of the pins, there is no fusion at the pin pedestal portion of the pin sheet, and the film can be easily removed after the heat treatment. Moreover, since the contamination of the pin sheet itself does not occur, it is effective from the viewpoint of maintenance and management of the apparatus, and contributes to the productivity of manufacturing an ultrathin polyimide film, which is extremely effective industrially.

本発明のポリイミドフィルムは、芳香族テトラカルボン酸類(無水物、酸、及びアミド結合性誘導体を総称して類という、以下同)と芳香族ジアミン類(アミン、及びアミド結合性誘導体を総称して類という、以下同)とを反応させて得られるポリアミド酸溶液を流延、乾燥、熱処理(イミド化)してフィルムとなす。これらの溶液に用いられる溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。   The polyimide film of the present invention is generally called aromatic tetracarboxylic acids (anhydride, acid, and amide-bonded derivatives are collectively referred to as classes hereinafter) and aromatic diamines (amines and amide-bonded derivatives are collectively named). A polyamic acid solution obtained by reacting the same with the following) is cast, dried and heat-treated (imidized) to form a film. Examples of the solvent used in these solutions include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and the like.

本発明のポリイミドフィルムの製造方法は、特にポリイミド前駆体であるポリアミド酸のN−メチル−2−ピロリドン溶液、N,N−ジメチルアセトアミド溶液を使用する流延製膜方法による場合に最も好ましく適用し得る。
以下ポリイミドフィルムについて詳述するがこれらに限定されるものではない。
本発明に好ましく適用し得る、ポリイミドフィルムを得るための芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸類との反応は、溶媒中で芳香族ジアミン類と芳香族テトラカルボン酸(無水物)類とを(開環)重付加反応に供してポリイミド前駆体であるポリアミド酸の溶液を得て、次いで、このポリアミド酸の溶液から前駆体フィルム(グリーンフィルム)を成形した後に乾燥、イミド化(熱処理や脱水縮合)することにより製造される。
The method for producing a polyimide film of the present invention is most preferably applied particularly when a casting film forming method using an N-methyl-2-pyrrolidone solution or N, N-dimethylacetamide solution of polyamic acid, which is a polyimide precursor, is used. obtain.
Hereinafter, the polyimide film will be described in detail, but is not limited thereto.
The reaction between an aromatic diamine for obtaining a polyimide film, which can be preferably applied to the present invention, and an aromatic tetracarboxylic acid is carried out by reacting an aromatic diamine and an aromatic tetracarboxylic acid (anhydride) in a solvent. (Polymerization) Polyaddition reaction is used to obtain a polyamic acid solution as a polyimide precursor, and then a precursor film (green film) is formed from the polyamic acid solution, followed by drying and imidization (heat treatment and dehydration). Produced by condensation).

本発明におけるポリイミドフィルムは、特に限定されるものではないが、下記の芳香族
ジアミン類と芳香族テトラカルボン酸(無水物)類との組み合わせが好ましい例として挙
げられる。
A.ジアミノジフェニルエーテル骨格を有する芳香族ジアミン類とピロメリット酸骨格を有する芳香族テトラカルボン酸類との組み合わせ。
B.フェニレンジアミン骨格を有する芳香族ジアミン類とビフェニルテトラカルボン酸骨格を有する芳香族テトラカルボン酸類との組み合わせ。
C.上記のABの一種以上の組み合わせ。
Although the polyimide film in this invention is not specifically limited, The combination of the following aromatic diamine and aromatic tetracarboxylic acid (anhydride) is mentioned as a preferable example.
A. A combination of an aromatic diamine having a diaminodiphenyl ether skeleton and an aromatic tetracarboxylic acid having a pyromellitic acid skeleton.
B. A combination of an aromatic diamine having a phenylenediamine skeleton and an aromatic tetracarboxylic acid having a biphenyltetracarboxylic acid skeleton.
C. One or more combinations of the above AB.

本発明におけるジアミノジフェニルエーテル骨格を有する芳香族ジアミン類としては、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)、3,3′−ジアミノジフェニルエーテル及び3,4′−ジアミノジフェニルエーテル及びそれらの誘導体が挙げられ、本発明におけるフェニレンジアミン骨格を有する芳香族ジアミン類としては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン及びそれらの誘導体が挙げられるが、これらのジアミンは全ジアミンの70モル%以上使用することが好ましい。
本発明におけるポリイミドフィルムには前記に限定されない下記の芳香族ジアミンを全ジアミンに対して30モル%未満で使用してもよい。
Examples of the aromatic diamine having a diaminodiphenyl ether skeleton in the present invention include 4,4′-diaminodiphenyl ether (DADE), 3,3′-diaminodiphenyl ether, and 3,4′-diaminodiphenyl ether and derivatives thereof. Examples of the aromatic diamine having a phenylenediamine skeleton in the invention include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine and derivatives thereof, and these diamines are used in an amount of 70 mol% or more of the total diamine. It is preferable.
In the polyimide film of the present invention, the following aromatic diamines not limited to the above may be used in an amount of less than 30 mol% based on the total diamines.

例えば、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、
3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、
For example, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3 -Aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3 , 3,3-hexafluoropropane, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine,
3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′- Diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'- Diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4 -(4-Aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4 -Aminophenoxy) phenyl] propane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,

1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノシ)フェニル]ブタン、2,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、
1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、
1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2- [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2- [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphen Le] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane,
1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) ) Biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) ) Benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (3- Aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [(3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide,

2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−トリフルオロメチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−フルオロフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−メチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−シアノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、   2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1 -Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4 '-Bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [4- (4-amino-α) , Α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis 4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-trifluoromethylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3 -Bis [4- (4-amino-6-fluorophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-methylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl Benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-cyanophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene,

3,3’−ジアミノ−4,4’−ジフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ5,
5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジフェノキシベン
ゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ
−5−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン
3,4’−ジアミノ−5’−フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’
−ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジビフェノキシベン
ゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−ビフェノキ
シベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−
ジアミノ−5’−ビフェノキシベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノ−4−フェノ
キシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベ
ンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビ
ス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4
−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベ
ンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼ
ン、1,4−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、2,6−ビス
[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾニトリル及び上
記芳香族ジアミンにおける芳香環上の水素原子の一部もしくは全てがハロゲン原子、炭素
数1〜3のアルキル基又はアルコキシル基、シアノ基、又はアルキル基又はアルコキシル
基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1〜3のハロゲン化
アルキル基又はアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。
3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino5,
5′-diphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4,5′-diphenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4 '-Diamino-4-phenoxybenzophenone 3,4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'
-Dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3,4′-
Diamino-5′-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4 -Amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-4)
-Biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4 -Amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 2,6-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzonitrile and a part of hydrogen atoms on the aromatic ring in the aromatic diamine Or a halogen atom having 1 to 3 carbon atoms in which all or some of the hydrogen atoms of the halogen atom, alkyl group or alkoxyl group having 1 to 3 carbon atoms, cyano group, alkyl group or alkoxyl group are substituted with halogen atoms And aromatic diamines substituted with an alkyl group or an alkoxyl group.

本発明におけるポリイミドフィルムに置ける好ましく使用できる芳香族テトラカルボン
酸類として、ピロメリット酸骨格を有する芳香族テトラカルボン酸類すなわちピロメリッ
ト酸及びその無水物又はハロゲン化物、ビフェニルテトラカルボン酸骨格を有する芳
香族テトラカルボン酸類すなわちビフェニルテトラカルボン酸及びその無水物又はハ
ロゲン化物が挙げられこれらは全酸類の70モル%以上使用することが好ましい。
前記に限定されないで下記の芳香族テトラカルボン酸を全酸類の30モル%未満でなら使用してもよい。
As aromatic tetracarboxylic acids that can be preferably used in the polyimide film of the present invention, aromatic tetracarboxylic acids having a pyromellitic acid skeleton, that is, pyromellitic acid and anhydrides or halides thereof, and aromatic tetracarboxylic acids having a biphenyltetracarboxylic acid skeleton are used. Examples thereof include carboxylic acids, that is, biphenyltetracarboxylic acid and anhydrides or halides thereof, and these are preferably used in an amount of 70 mol% or more of the total acids.
Without being limited thereto, the following aromatic tetracarboxylic acid may be used if it is less than 30 mol% of the total acids.

Figure 2008284703
Figure 2008284703

Figure 2008284703
Figure 2008284703

Figure 2008284703
Figure 2008284703

Figure 2008284703
これらのテトラカルボン酸は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
Figure 2008284703
These tetracarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸無水物類とを重合してポリアミド酸を得るときに用いる溶媒は、原料となるモノマー及び生成するポリアミド酸のいずれをも溶解するものであれば特に限定されないが、極性有機溶媒が好ましく、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N−アセチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホリックアミド、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、スルホラン、ハロゲン化フェノール類等があげられるが、なかでもN−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミドが好ましく適用される。これらの溶媒は、単独あるいは混合して使用することができる。溶媒の使用量は、原料となるモノマーを溶解するのに十分な量であればよく、具体的な使用量としては、モノマーを溶解した溶液に占めるモノマーの質量が、通常5〜40質量%、好ましくは10〜20質量%となるような量が挙げられる。   The solvent used when polymerizing aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic anhydrides to obtain polyamic acid is particularly limited as long as it dissolves both the raw material monomer and the produced polyamic acid. Although not preferred, polar organic solvents are preferred, such as N-methyl-2-pyrrolidone, N-acetyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide Hexamethylphosphoric amide, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol dimethyl ether, sulfolane, halogenated phenols and the like, among which N-methyl-2-pyrrolidone and N, N-dimethylacetamide are preferably applied. These solvents can be used alone or in combination. The amount of the solvent used may be an amount sufficient to dissolve the monomer as a raw material. As a specific amount used, the mass of the monomer in the solution in which the monomer is dissolved is usually 5 to 40% by mass, The amount is preferably 10 to 20% by mass.

ポリアミド酸を得るための重合反応(以下、単に「重合反応」ともいう)の条件は従来公知の条件を適用すればよく、具体例として、有機溶媒中、0〜80℃の温度範囲で、10分〜30時間連続して撹拌及び/又は混合することが挙げられる。必要により重合反応を分割したり、温度を上下させてもかまわない。この場合に、両モノマーの添加順序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に芳香族テトラカルボン酸無水物類を添加するのが好ましい。重合反応によって得られるポリアミド酸溶液に占めるポリアミド酸の質量は、好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜30質量%であり、前記溶液の粘度はブルックフィールド粘度計による測定(25℃)で、送液の安定性の点から、好ましくは10〜2000Pa・sであり、より好ましくは100〜1000Pa・sである。
本発明におけるポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)は、特に限定するものではないが1.5以上が好ましく、2.0以上がさらに好ましく、なおさらに2.5以上が好ましい。
また、重合反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加して重合を制御することを行ってもよい。末端封止剤としては、無水マレイン酸等といった炭素−炭素二重結合を有する化合物が挙げられる。無水マレイン酸を使用する場合の使用量は、芳香族ジアミン類1モル当たり好ましくは0.001〜1.0モルである。
重合反応中に真空脱泡することは、良質なポリアミド酸の溶液を製造するのに有効である。
さらに、以下述べるポリアミド酸の溶液を支持体上に流延・塗布するに際して予め減圧などの処理によって該溶液中の気泡や溶存気体を除去しておくことも、本発明のポリイミドフィルムを得るために有効な処理である。
Conventionally known conditions may be applied for the polymerization reaction for obtaining the polyamic acid (hereinafter also simply referred to as “polymerization reaction”). As a specific example, in a temperature range of 0 to 80 ° C., 10 Stirring and / or mixing continuously for 30 minutes. If necessary, the polymerization reaction may be divided or the temperature may be increased or decreased. In this case, the order of adding both monomers is not particularly limited, but it is preferable to add aromatic tetracarboxylic acid anhydrides to the solution of aromatic diamines. The mass of the polyamic acid in the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 10 to 30% by mass, and the viscosity of the solution is measured with a Brookfield viscometer (25 ° C.). From the viewpoint of the stability of liquid feeding, it is preferably 10 to 2000 Pa · s, and more preferably 100 to 1000 Pa · s.
The reduced viscosity (ηsp / C) of the polyamic acid in the present invention is not particularly limited, but is preferably 1.5 or more, more preferably 2.0 or more, still more preferably 2.5 or more.
Moreover, you may perform superposition | polymerization by adding a small amount of terminal blockers to aromatic diamines before a polymerization reaction. Examples of the end capping agent include compounds having a carbon-carbon double bond such as maleic anhydride. The amount of maleic anhydride used is preferably 0.001 to 1.0 mol per mol of aromatic diamine.
Vacuum degassing during the polymerization reaction is effective in producing a good quality polyamic acid solution.
Furthermore, in order to obtain the polyimide film of the present invention, it is possible to remove bubbles and dissolved gas in the solution in advance by treatment such as decompression when casting and applying a polyamic acid solution described below onto the support. This is an effective process.

ポリアミド酸溶液を流延(塗布)する支持体は、ポリアミド酸溶液をフィルム状に成形するに足る程度の平滑性、剛性を有していればよく、表面が金属、プラスチック、ガラス、磁器などであるドラム又はベルト状回転体などが挙げられる。また、適度な剛性と高い平滑性を有するポリイミドフィルムを利用する方法も好ましい態様である。中でも、支持体の表面は好ましくは金属であり、より好ましくは錆びなくて耐腐食に優れるステンレスである。支持体の表面にはCr、Ni、Snなどの金属メッキを施してもよい。支持体表面は必要に応じて鏡面にしたり、あるいは梨地状に加工することができる。また支持体の差によって乾燥における風量や温度は適宜選択採用すればよく、支持体へのポリアミド酸溶液の塗布は、スリット付き口金からの流延、押出機による押出し、スキージコーティング、リバースコーティング、ダイコーティング、アプリケータコーティング、ワイヤーバーコーティング等を含むが、これらに限られず、従来公知の溶液の塗布手段を適宜用いることができる。
イミド化工程として、閉環(イミド化)触媒や脱水剤を含まないポリアミド酸溶液を用いて、熱処理に供することでイミド化反応を進行させる方法(所謂、熱閉環法)やポリアミド酸溶液に閉環触媒及び脱水剤を含有させておいて、上記閉環触媒及び脱水剤の作用によってイミド化反応を行わせる、化学閉環法を挙げることができる。
熱閉環法の熱処理温度は、150〜500℃が好ましく、熱処理温度がこの範囲より低いと充分に閉環されづらくなり、またこの範囲より高いと劣化が進行し、フィルムが脆くなりやすくなる。より好ましい態様としては、150〜250℃で3〜20分間処理した後に350〜500℃で3〜20分間熱処理するところの初期段階熱処理と後段階熱処理とを有する2段階熱処理工程が挙げられる。
閉環触媒をポリアミド酸溶液に加えるタイミングは特に限定はなく、ポリアミド酸を得るための重合反応を行う前に予め加えておいてもよい。閉環触媒の具体例としては、トリメチルアミン、トリエチルアミンなどといった脂肪族第3級アミンや、イソキノリン、ピリジン、ベータピコリンなどといった複素環式第3級アミンなどが挙げられ、中でも、複素環式第3級アミンから選ばれる少なくとも一種のアミンが好ましい。ポリアミド酸1モルに対する閉環触媒の使用量は特に限定はないが、好ましくは0.5〜8モルである。
脱水剤をポリアミド酸溶液に加えるタイミングも特に限定はなく、ポリアミド酸を得るための重合反応を行う前に予め加えておいてもよい。脱水剤の具体例としては、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸などといった脂肪族カルボン酸無水物や、無水安息香酸などといった芳香族カルボン酸無水物などが挙げられ、中でも、無水酢酸、無水安息香酸あるいはそれらの混合物が好ましい。また、ポリアミド酸1モルに対する脱水剤の使用量は特に限定はないが、好ましくは0.1〜4モルである。脱水剤を用いる場合には、アセチルアセトンなどといったゲル化遅延剤を併用してもよい。
The support on which the polyamic acid solution is cast (applied) only needs to have smoothness and rigidity sufficient to form the polyamic acid solution into a film, and the surface is made of metal, plastic, glass, porcelain, etc. A certain drum or a belt-like rotating body may be used. A method using a polyimide film having moderate rigidity and high smoothness is also a preferred embodiment. Among them, the surface of the support is preferably a metal, more preferably stainless steel that does not rust and has excellent corrosion resistance. The surface of the support may be plated with metal such as Cr, Ni, or Sn. The surface of the support can be mirror-finished or processed into a satin finish as required. The air volume and temperature in drying may be appropriately selected and adopted depending on the difference in the support, and the polyamic acid solution can be applied to the support by casting from a nozzle with a slit, extrusion by an extruder, squeegee coating, reverse coating, die Including, but not limited to, coating, applicator coating, wire bar coating and the like, conventionally known solution application means can be used as appropriate.
In the imidization step, a ring closure (imidation) catalyst or a polyamic acid solution that does not contain a dehydrating agent is used for heat treatment to advance the imidization reaction (so-called thermal ring closure method) or a ring closure catalyst in the polyamic acid solution. And a chemical ring closing method in which an imidization reaction is performed by the action of the ring closing catalyst and the dehydrating agent.
The heat treatment temperature of the thermal ring closure method is preferably 150 to 500 ° C. If the heat treatment temperature is lower than this range, it is difficult to sufficiently close the ring, and if it is higher than this range, the deterioration proceeds and the film tends to become brittle. A more preferable embodiment includes a two-stage heat treatment step having an initial stage heat treatment and a subsequent stage heat treatment in which a heat treatment is carried out at 350 to 500 ° C. for 3 to 20 minutes after treatment at 150 to 250 ° C. for 3 to 20 minutes.
The timing for adding the ring-closing catalyst to the polyamic acid solution is not particularly limited, and may be added in advance before the polymerization reaction for obtaining the polyamic acid. Specific examples of the ring-closing catalyst include aliphatic tertiary amines such as trimethylamine and triethylamine, and heterocyclic tertiary amines such as isoquinoline, pyridine, and betapicoline. Among them, heterocyclic tertiary amines are mentioned. At least one amine selected from is preferred. Although the usage-amount of a ring-closing catalyst with respect to 1 mol of polyamic acids does not have limitation in particular, Preferably it is 0.5-8 mol.
The timing of adding the dehydrating agent to the polyamic acid solution is not particularly limited, and may be added in advance before the polymerization reaction for obtaining the polyamic acid. Specific examples of the dehydrating agent include aliphatic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, butyric anhydride, and aromatic carboxylic acid anhydrides such as benzoic anhydride. Among them, acetic anhydride, benzoic anhydride, etc. Acids or mixtures thereof are preferred. Moreover, the usage-amount of the dehydrating agent with respect to 1 mol of polyamic acids is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 4 mol. When a dehydrating agent is used, a gelation retarder such as acetylacetone may be used in combination.

熱閉環反応であっても、化学閉環法であっても、支持体に形成されたポリイミドフィルムの前駆体(グリーンシート)を完全にイミド化する前に支持体から剥離してもよいし、イミド化後に剥離してもよい。     Whether it is a thermal cyclization reaction or a chemical cyclization method, the polyimide film precursor (green sheet) formed on the support may be peeled off from the support before it is completely imidized. You may peel after conversion.

本発明におけるポリイミドフィルムの厚さは7.5μm以下であり、より好ましくは5μm以下である。
従来7.5μm以下、特に5μm以下のポリアミドフィルムの長尺フィルムを工業的に安定的に製造することが困難であったが、本発明のポリイミドフィルムの製造方法はこの課題を解決せんとするものである。ポリイミドフィルムの厚さはポリアミド酸溶液を支持体に塗布する際の塗布量や、ポリアミド酸溶液の濃度によって容易に制御し得る。
本発明におけるポリイミドフィルムの幅は、例えば、500〜10000mm、長さは100〜100000mであり、電子機器の部品や機械部品などの連続生産にも利用することができる。。
The thickness of the polyimide film in this invention is 7.5 micrometers or less, More preferably, it is 5 micrometers or less.
Conventionally, it has been difficult to industrially stably produce a long film of a polyamide film of 7.5 μm or less, particularly 5 μm or less, but the method for producing a polyimide film of the present invention does not solve this problem. It is. The thickness of the polyimide film can be easily controlled by the amount applied when the polyamic acid solution is applied to the support and the concentration of the polyamic acid solution.
The width | variety of the polyimide film in this invention is 500-10000 mm, for example, and length is 100-100000 m, and can be utilized also for continuous production of the component of an electronic device, a machine part, etc. .

本発明におけるポリイミドフィルムには、滑剤をポリイミド中に添加含有せしめるなどしてフィルム表面に微細な凹凸を付与しフィルムの滑り性を改善することが好ましい。
滑剤としては、無機や有機の0.03〜1μm程度の平均粒子径を有する微粒子が使用でき、具体例として、酸化チタン、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、燐酸水素カルシウム、ピロ燐酸カルシウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、粘土鉱物などが挙げられる。
In the polyimide film of the present invention, it is preferable to improve the slipping property of the film by adding fine lubricant to the surface of the film by adding a lubricant to the polyimide.
As the lubricant, inorganic or organic fine particles having an average particle diameter of about 0.03 to 1 μm can be used. Specific examples include titanium oxide, alumina, silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, calcium pyrophosphate, Examples include magnesium oxide, calcium oxide, and clay minerals.

本発明においては、ポリイミド前駆体フィルムをフィルム端部固定式テンターにてイミド化処理をする際に、フィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム端部把持が、多数のピンシートと個々のピンシートに配された多数のピンで構成され、該ピンが押さえブラシロールによりフィルム両側端部を突き刺すことでなされ、幅方向及び又は搬送方向に張設した状態でフィルムを搬送するテンター式処理部を有するポリイミドフィルム製造方法において、ピンで突き刺すことによりフィルム両側端部を把持する部位で、処理されるポリイミド前駆体フィルムとは別に用意された細幅のフィルムとの重ね合わされた状態でピンに突き刺すことを必須とする。
また、ピンが設置されているピンシートが、好ましくは幅方向において外側に設置されたピン台座よりも高い部位を有するものである。
In the present invention, when the polyimide precursor film is imidized by a film end fixed tenter, the film end gripping at both ends in the width direction of the film is a large number of pin sheets and individual pin sheets. A tenter type processing section that transports the film in a state of being stretched in the width direction and / or the transport direction. In the polyimide film manufacturing method, at the part where the both sides of the film are gripped by piercing with a pin, the pin is pierced in a state of being overlapped with a thin film prepared separately from the polyimide precursor film to be processed. Required.
Moreover, the pin sheet | seat in which the pin is installed has a site | part higher than the pin base installed preferably in the outer side in the width direction.

ここで、別に用意された細幅のフィルムは、特に限定されるものではないが、処理されるポリイミド前駆体フィルムと同質のものが好ましく、製造されるポリイミドフィルムとは別に、同じポリアミド酸溶液を流延・乾燥して別のポリイミド前駆体フィルムを作製し、予め細幅にスリットし用意したものが好ましく、その細幅フィルムの幅は20〜200mmが好ましく、特に20〜60mmが好ましい。またこの処理されるポリイミド前駆体フィルムとは別に用意された細幅のフィルムの厚さは、特に限定されないが、好ましくはポリイミドフィルムとして製造されるためのポリイミド前駆体フィルムと同程度の厚さが好ましく、ポリイミド前駆体フィルムの厚さの0.5〜4倍、例えば5〜20μm、特に好ましくは5〜13μmである。厚さが薄く5μm未満の場合には重ね合わせの補強効果が低減しがちとなり、また厚すぎて20μmを超える場合には重ね合わせの補強効果にばらつきが発生する場合がある。   Here, the thin film prepared separately is not particularly limited, but preferably has the same quality as the polyimide precursor film to be processed, and the same polyamic acid solution is used separately from the polyimide film to be manufactured. Another polyimide precursor film is prepared by casting and drying, and is prepared by slitting in advance to a narrow width. The width of the narrow film is preferably 20 to 200 mm, particularly preferably 20 to 60 mm. The thickness of the thin film prepared separately from the polyimide precursor film to be treated is not particularly limited, but preferably the same thickness as the polyimide precursor film to be produced as a polyimide film. Preferably, it is 0.5 to 4 times the thickness of the polyimide precursor film, for example 5 to 20 μm, particularly preferably 5 to 13 μm. When the thickness is thin and less than 5 μm, the reinforcement effect of the overlay tends to be reduced, and when it is too thick and exceeds 20 μm, the overlay reinforcement effect may vary.

ピンシートの幅方向に対し外側に設置したピン台座より高い部位の形状は特に限定されず、ピンの植え込まれている面であるピン台座より位置的に高くそのことによってフィルムがピン台座に接触しない機能を有すればよく、例えばピンシートの幅方向の外側(ピンの植え込まれていない幅方向での外側位置)のみが高くその位置でのみフィルムに接触するようにした台であるものでもよく、またピン台座が幅方向に外側に向かって傾斜したピンシートであってもよく、例えば台の場合、台の形状や大きさは、好ましくは、(1)該台の高さがピン先端より3mm以上8mm以下の範囲で低く、より好ましくは、4mm以上6mm以下の範囲で低く設置されており、該台の高さがピン先端より3mm未満の低さであると、フィルム両端部を突き刺したピンの深さが浅く、その後の熱処理工程中でフィルムがピンから外れる頻度が高くなり好ましくなく、また、該台の高さがピン先端より8mmより低いと、熱処理後にフィルムをピンシートから外すときに大きな抵抗となり、最悪フィルム両端部を引き裂くことにつながり好ましくない。また、(2)該台の高さがピンの設置されている台座より0.5mm以上5mm以下の範囲で高く、より好ましくは、2mm以上3mm以下の範囲で高く設置されており、ピンシートへのフィルム把持時に、押さえブラシロールによるフィルムのピン挿入深さが安定的に決定され、ピンシートからフィルム把持部への直接的な伝熱抑制効果が発現し、その結果フィルム中央部と把持部との温度差が小さくなり、フィルム搬送中の破断強度差が小さくなり、結果的にテンター中、及びテンターでの熱処理後ピンシートからフィルムを剥離する際のフィルム破断等のトラブルを低減することが出来る。一方、該台の高さがピンの設置されている台座より1mm未満の高さであると、ピンシートからフィルム把持部への直接的な伝熱抑制効果が低減され、その結果フィルム中央部と把持部との温度差が大きくなり、フィルム搬送中の破断強度差が大きくなり、結果的にテンター中でのフィルム破断等のトラブルにつながり好ましくなく、また、該台の高さがピンの設置されている台座より5mmより高いと、熱処理工程におけるピンシート自体の汚染を促進するために好ましくない。また、(3)該台の周囲を面取りしていることが好ましく、面取り加工をしないと、該台周囲に接触したフィルムに裂けが生じ好ましくない。また、(4)ピンが設置されている台座に空洞を設けることは、ピンシートからフィルム把持部への直接的な伝熱抑制効果が発生し、その結果フィルム中央部と把持部との温度差が小さくなり、フィルム搬送中の破断強度差が小さくなり、結果的にテンター中でのフィルム破断等のトラブル防止につながり好ましい。   The shape of the part higher than the pin pedestal installed outside the width direction of the pin sheet is not particularly limited, and the position is higher than the pin pedestal that is the surface where the pin is implanted, so that the film contacts the pin pedestal. For example, even if it is a table that is high only on the outer side in the width direction of the pin sheet (outer position in the width direction where the pins are not implanted) and is in contact with the film only at that position. Alternatively, the pin base may be a pin sheet inclined outward in the width direction. For example, in the case of a base, the shape and size of the base are preferably (1) the height of the base is the tip of the pin. If the height of the base is lower than 3 mm from the tip of the pin, it is more difficult to project both ends of the film. When the depth of the pin inserted is shallow and the frequency of the film coming off from the pin in the subsequent heat treatment process becomes high, and the height of the base is lower than 8 mm from the tip of the pin, the film is removed from the pin sheet after the heat treatment. When it removes, it becomes a big resistance and it leads to tearing both ends of the worst film, which is not preferable. (2) The height of the base is higher than the pedestal on which the pin is installed in the range of 0.5 mm to 5 mm, more preferably higher in the range of 2 mm to 3 mm. When the film is gripped, the pin insertion depth of the film by the pressing brush roll is stably determined, and the direct heat transfer suppression effect from the pin sheet to the film gripping portion is expressed. As a result, the film center portion and the gripping portion The difference in temperature of the film becomes smaller, and the difference in breaking strength during film conveyance becomes smaller. As a result, troubles such as film breakage in the tenter and when the film is peeled off from the pin sheet after heat treatment in the tenter can be reduced. . On the other hand, if the height of the base is less than 1 mm from the pedestal on which the pins are installed, the direct heat transfer suppression effect from the pin sheet to the film gripping portion is reduced. The temperature difference with the gripping part becomes large, and the difference in breaking strength during film conveyance becomes large, resulting in troubles such as film breakage in the tenter, which is not preferable. If it is higher than 5 mm than the pedestal, it is not preferable because it promotes contamination of the pin sheet itself in the heat treatment step. Further, (3) it is preferable that the periphery of the table is chamfered, and if the chamfering is not performed, the film in contact with the periphery of the table is not preferable. Also, (4) providing a cavity in the pedestal on which the pins are installed has a direct heat transfer suppression effect from the pin sheet to the film gripping part, resulting in a temperature difference between the film center part and the gripping part. Is reduced, and the difference in breaking strength during film conveyance is reduced, resulting in prevention of troubles such as film breakage in the tenter.

ピンシートの幅方向に対し外側に台が設置されたポリイミドフィルムの製造装置において、該ピンがフィルム両側端部を突き刺す時点で、融点又は軟化点が150℃以上で弾性率4GPa以上の素材からなる毛材からなるブラシを備えた部材でフィルム端部をピンに突き刺す手段を使用することも好ましい実施態様である。
また、この押さえブラシロールにおける、幅方向に対して外側に設置されるピン台座よりも高い部位と接触する押さえブラシロールの部材が、幅方向に対して内側部分の部材よりも剛性が高いもの、具体的には押さえブラシロールの幅方向に対して外側に設置する部材が、金属素線のブラシ形状部材であるものや金属製の円筒状部材であるものがより好ましい態様である。
融点又は軟化点が150℃以上で引張弾性率4GPa以上の素材からなる毛材からなるブラシを備えた部材としては特に限定されないが、ブラシが円筒平面周上に設けられたブラシロールが好ましく使用できる。
融点又は軟化点が150℃以上で弾性率4GPa以上の素材からなる毛材からなるブラシは、この物性を有することでフィルムの突き刺しが均一に行われかつ長時間の使用によってもその機能の劣化が極めて少ないものであり、この物性を有さないものを使用した場合には前記の2点を同時に満足することができないものである。
融点又は軟化点が150℃以上で引張弾性率4GPa以上の素材からなる毛材からなるブラシとしてはこの物性を備えたものであれば特に限定されるものではなく、例えば高弾性率の高分子繊維、カーボンファイバー、ガラスファイバー、などが挙げられるが、より好ましくは高分子繊維などの高分子素材であり、芳香族ポリアミド、例えばコーネックス(帝人製)などが挙げられる。
In a polyimide film manufacturing apparatus in which a base is installed on the outer side with respect to the width direction of the pin sheet, the pin is made of a material having a melting point or a softening point of 150 ° C. or more and an elastic modulus of 4 GPa or more when the pins pierce both side ends. It is also a preferred embodiment to use means for piercing the film end into the pin with a member provided with a brush made of bristle material.
Further, in this presser brush roll, the member of the presser brush roll that comes into contact with a portion higher than the pin base installed outside in the width direction is higher in rigidity than the member in the inner part in the width direction, Specifically, it is more preferable that the member installed on the outer side in the width direction of the pressing brush roll is a metal wire brush-shaped member or a metal cylindrical member.
Although it does not specifically limit as a member provided with the brush which consists of a bristle material which has melting | fusing point or a softening point 150 degreeC or more and whose tensile elasticity modulus is 4 GPa or more, The brush roll provided with the brush on the cylindrical plane periphery can use preferably. .
A brush made of a bristle material having a melting point or softening point of 150 ° C. or more and an elastic modulus of 4 GPa or more has the properties so that the film can be pierced uniformly and its function is deteriorated even after long-term use. The amount is extremely small, and when the one having no physical properties is used, the above two points cannot be satisfied at the same time.
A brush made of a bristle material having a melting point or softening point of 150 ° C. or higher and a tensile elastic modulus of 4 GPa or higher is not particularly limited as long as it has this physical property. For example, a high modulus polymer fiber Carbon fiber, glass fiber, and the like, more preferably polymer materials such as polymer fibers, and aromatic polyamides such as Cornex (manufactured by Teijin).

本発明におけるピンテンターの把持部は、例えば図1に一例を示すように個々のピンシートに配された多数のピンで構成され、この個々のピンシートが多数配されてフィルムを搬送するものであり、また図3で示すように処理されるポリイミド前駆体フィルムがピンシートのピンに突き刺される前にその両側端部で、別に用意された細幅のフィルムと重ね合わされて、押さえブラシロールなどでピンに突き刺すことができる。
本発明においては、好ましい態様として、フィルム熱処理が終了して、ピン又はピンシートがターンしてフィルム把持を開始する位置に戻る直前の部位において冷却手段を設けて、ピンがフィルム把持開始時点においては充分に冷却され、ピンによるフィルム両端の突き刺しにおいて、フィルム把持の均一性が保たれ、ピンを喰い込ませた孔でのフィルムの幅方向又は搬送方向にも孔が拡大することや破断が生じることが抑制される。冷却手段としては、空冷、水冷いずれでもよく、また空気、水以外の冷媒を用いても良い。冷却効率の点からは液体の冷媒を用いることが好ましく、さらに、テンター自身が一般の有機溶剤の発火点以上に加熱されることを考えると、水冷仕様による冷却手段にすることが最も好ましい。
この冷却手段を設けることで、ピン及びピンシートがフィルム両端を把持して搬送を開始する時点で、一端熱処理温度例えば450℃などの高温に加熱され冷却手段がないときにピンなどが高温に維持されており、この高温のピンによるフィルム両端の突き刺しにおいて、フィルム把持の均一性が保たれ難く、ピンを喰い込ませた孔でのフィルムの幅方向又は搬送方向にも孔が拡大することや破断が生じることが容易くなり、フィルム全体での歪の増加、フィルム厚さ斑の拡大が生じるなどの問題をある程度解消することができる。
さらに本発明において、好ましい態様としては、ピンテンターのピン配置において、フィルム搬送時のフィルム幅方向における最内側に配列された個々のピンが互いに、フィルム搬送方向で個々のピンシート内においても、他のピンシート間においても、全て等間隔で配されていることが好ましい。
The pin tenter gripping portion in the present invention is composed of a large number of pins arranged on individual pin sheets, for example as shown in FIG. 1, for example, and a large number of these individual pin sheets are arranged to convey the film. Also, as shown in FIG. 3, before the polyimide precursor film to be processed is stabbed into the pin of the pin sheet, it is overlapped with a thin film prepared separately at both ends, and pinned with a pressing brush roll or the like. Can be stabbed into.
In the present invention, as a preferred embodiment, a cooling means is provided at a position immediately before the film heat treatment is finished and the pin or pin sheet turns and returns to the position where film gripping is started. When the film is sufficiently cooled and the both ends of the film are pierced by the pins, the film holding uniformity is maintained, and the holes expand and break in the width direction or the conveying direction of the film at the holes where the pins are entrapped. Is suppressed. As the cooling means, either air cooling or water cooling may be used, and a refrigerant other than air or water may be used. From the viewpoint of cooling efficiency, it is preferable to use a liquid refrigerant. Further, considering that the tenter itself is heated above the ignition point of a general organic solvent, it is most preferable to use a cooling means based on water cooling specifications.
By providing this cooling means, when the pins and the pin sheet start gripping both ends of the film and start conveyance, the pins etc. are kept at a high temperature when they are heated to a high temperature such as one end heat treatment temperature such as 450 ° C. and there is no cooling means. In the piercing of both ends of the film with this high-temperature pin, it is difficult to maintain the uniformity of film gripping, and the hole expands or breaks in the film width direction or the conveyance direction at the hole where the pin is bitten. Can easily occur, and problems such as an increase in distortion in the entire film and an increase in film thickness unevenness can be solved to some extent.
Furthermore, in the present invention, as a preferred embodiment, in the pin arrangement of the pin tenter, the individual pins arranged on the innermost side in the film width direction during film conveyance are mutually different from each other in the individual pin sheet in the film conveyance direction. It is preferable that the pin sheets are all arranged at equal intervals.

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。なお、以下の実施例における物性の評価方法は以下の通りである。
1.ポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)
ポリマー濃度が0.2g/dlとなるようにN−メチル−2−ピロリドン(又は、N,N−ジメチルアセトアミド)に溶解した溶液をウベローデ型の粘度管により30℃で測定した。(ポリアミド酸溶液の調製に使用した溶媒がN,N−ジメチルアセトアミドの場合は、N,N−ジメチルアセトアミドを使用してポリマーを溶解し、測定した。)
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited by a following example. In addition, the evaluation method of the physical property in the following examples is as follows.
1. Reduced viscosity of polyamic acid (ηsp / C)
A solution dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone (or N, N-dimethylacetamide) so that the polymer concentration was 0.2 g / dl was measured at 30 ° C. with an Ubbelohde type viscosity tube. (When the solvent used for preparing the polyamic acid solution was N, N-dimethylacetamide, the polymer was dissolved using N, N-dimethylacetamide and measured.)

2.ポリイミドフィルムの厚さ
マイクロメーター(ファインリューフ社製、ミリトロン1254D)を用いて測定した。
2. The thickness of the polyimide film The thickness was measured using a micrometer (Millitron 1254D manufactured by Fine Reef).

3.ポリイミドフィルムの引張弾性率、引張破断強度及び引張破断伸度
測定対象のポリイミドフィルムを、流れ方向(MD方向)及び幅方向(TD方向)にそれぞれ100mm×10mmの短冊状に切り出したものを試験片とした。引張試験機(島津製作所製、オートグラフ(商品名)、機種名AG−5000A)を用い、引張速度50mm/分、チャック間距離40mmの条件で、MD方向、TD方向それぞれについて、引張弾性率、引張破断強度及び引張破断伸度を測定した。
3. Test specimens obtained by cutting a polyimide film to be measured into strips of 100 mm × 10 mm in the flow direction (MD direction) and the width direction (TD direction), respectively. It was. Using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (trade name), model name AG-5000A) under the conditions of a tensile speed of 50 mm / min and a distance between chucks of 40 mm, the tensile modulus of elasticity in each of the MD direction and TD direction, Tensile rupture strength and tensile rupture elongation were measured.

4.フィルムの線膨張係数(CTE)
下記条件で伸縮率を測定し、30〜300℃までを15℃間隔で分割し、各分割範囲の伸縮率/温度の平均値より求めた。MD方向、TD方向の意味は上記と同様である。
装置名 ; MACサイエンス社製TMA4000S
試料長さ ; 20mm
試料幅 ; 2mm
昇温開始温度 ; 25℃
昇温終了温度 ; 400℃
昇温速度 ; 5℃/min
雰囲気 ; アルゴン
4). Film linear expansion coefficient (CTE)
The expansion / contraction rate was measured under the following conditions, and the range from 30 to 300 ° C. was divided at 15 ° C. intervals and obtained from the average value of the expansion / contraction rate / temperature of each divided range. The meanings of the MD direction and the TD direction are the same as described above.
Device name: TMA4000S manufactured by MAC Science
Sample length; 20mm
Sample width: 2 mm
Temperature rise start temperature: 25 ° C
Temperature rising end temperature: 400 ° C
Temperature increase rate: 5 ° C / min
Atmosphere: Argon

〔参考例1〕
(無機粒子の予備分散)
アモルファスシリカの球状粒子シーホスターKE−P10(日本触媒株式会社製)を7.6質量部、N−メチル−2−ピロリドン390質量部を容器の接液部、及び輸液用配管はオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lである容器に入れホモジナイザーT−25ベイシック(IKA Labor technik社製)にて、回転数1000回転/分で1分間攪拌し予備分散液を得た。
(ポリアミド酸溶液の調製)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた容器の接液部、及び輸液用配管はオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lである反応容器内を窒素置換した後、200質量部の4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを入れた。次いで、3800質量部のN−メチル−2−ピロリドンを加えて完全に溶解させてから、先に得た予備分散液を390質量部と217質量部のピロメリット酸二無水物を加えて、25℃にて5時間攪拌すると、褐色の粘調なポリアミド酸溶液Aが得られた。この還元粘度(ηsp/C)は3.7dl/gであった。
[Reference Example 1]
(Preliminary dispersion of inorganic particles)
7.6 parts by weight of amorphous silica spherical particles Seahoster KE-P10 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 390 parts by weight of N-methyl-2-pyrrolidone, the liquid contact part of the container, and the infusion pipe are austenitic stainless steel SUS316L And stirred for 1 minute at a rotation speed of 1000 rpm with a homogenizer T-25 basic (manufactured by IKA Labortechnik) to obtain a preliminary dispersion.
(Preparation of polyamic acid solution)
Nitrogen introduction pipe, thermometer, liquid contact part of vessel equipped with stirring rod, and infusion pipe were replaced with nitrogen in the reaction vessel made of austenitic stainless steel SUS316L, and then 200 parts by mass of 4,4′-diaminodiphenyl ether Put. Next, after 3800 parts by mass of N-methyl-2-pyrrolidone was added and completely dissolved, 390 parts by mass and 217 parts by mass of pyromellitic dianhydride were added to the preliminary dispersion obtained above. When stirred for 5 hours at 0 ° C., a brown viscous polyamic acid solution A was obtained. The reduced viscosity (ηsp / C) was 3.7 dl / g.

〔参考例2〕
(無機粒子の予備分散)
アモルファスシリカの球状粒子シーホスターKE−P10(日本触媒株式会社製)を3.7質量部、N−メチル−2−ピロリドン420質量部を容器の接液部、及び輸液用配管はオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lである容器に入れホモジナイザーT−25ベイシック(IKA Labor technik社製)にて、回転数1000回転/分で1分間攪拌し予備分散液を得た。
(ポリアミド酸溶液の調製)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた容器の接液部、及び輸液用配管はオーステナイト系ステンレス鋼SUS316Lである反応容器内を窒素置換した後、108質量部のp−フェニレンジアミンを入れた。次いで、3600質量部のN−メチル−2−ピロリドンを加えて完全に溶解させてから、先に得た予備分散液を420質量部と292.5質量部の3,3’、4,4’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物を加えて、25℃にて12時間攪拌すると、褐色の粘調なポリアミド酸溶液Bが得られた。この還元粘度(ηsp/C)は4.5dl/gであった。
[Reference Example 2]
(Preliminary dispersion of inorganic particles)
Amorphous silica spherical particle Seahoster KE-P10 (manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.), 3.7 parts by mass, N-methyl-2-pyrrolidone, 420 parts by mass, the container wetted part, and the infusion pipe are austenitic stainless steel SUS316L And stirred for 1 minute at a rotation speed of 1000 rpm with a homogenizer T-25 basic (manufactured by IKA Labortechnik) to obtain a preliminary dispersion.
(Preparation of polyamic acid solution)
The wetted part of the vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod, and the infusion pipe were purged with nitrogen in the reaction vessel made of austenitic stainless steel SUS316L, and then 108 parts by mass of p-phenylenediamine was added. . Next, after 3600 parts by mass of N-methyl-2-pyrrolidone was added and completely dissolved, 420 parts by mass and 292.5 parts by mass of 3,3 ′, 4,4 ′ -Diphenyltetracarboxylic dianhydride was added and stirred at 25 ° C for 12 hours to obtain a brown viscous polyamic acid solution B. The reduced viscosity (ηsp / C) was 4.5 dl / g.

(細幅フィルムの作製)
参考例1〜2で得たポリアミド酸溶液を、ポリエチレンテレフタレート製フィルムA−4100(東洋紡績株式会社製)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(塗工幅1240mm)、90℃にて60分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルムを支持体から剥離して両端をカットし、厚さ8μm、幅1200mmのそれぞれのグリーンフィルムA、グリーンフィルムBを得た。
このグリーンフィルムA、グリーンフィルムBをそれぞれスリットし、幅30mmの細幅長尺スリットフィルムAと細幅長尺スリットフィルムBを用意した。
(Production of narrow film)
The polyamic acid solution obtained in Reference Examples 1 and 2 was coated on the non-lubricant surface of polyethylene terephthalate film A-4100 (manufactured by Toyobo Co., Ltd.) using a comma coater (coating width 1240 mm), and 90 ° C. For 60 minutes. The polyamic acid film which became self-supporting after drying was peeled off from the support and cut at both ends to obtain green film A and green film B having a thickness of 8 μm and a width of 1200 mm, respectively.
Each of the green film A and the green film B was slit to prepare a narrow long slit film A and a narrow long slit film B having a width of 30 mm.

(ポリイミドフィルムの製造)
<実施例1>
上記とは別に、参考例1で得たポリアミド酸溶液Aを、ポリエチレンテレフタレート製フィルムA−4100(東洋紡績株式会社製)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(塗工幅1240mm)、90℃にて60分間乾燥した。乾燥後に自己支持性となったポリアミド酸フィルムを支持体から剥離して両端をカットし、厚さ8μm、幅1200mmのグリーンフィルムを得た。得られたグリーンフィルムに前記幅35mmの細幅長尺スリットフィルムAを両側端部に重ね合わせながら、図1、図3に示す装置で、以下括弧内に示す様にピンシートやブラシロール、押さえロール、支え治具の条件でピンテンターにて両端を把持し熱処理を行った。ピンは、ピンシートが並んだ際にピン間隔が一定となるように配置されており、ピン台座からのピン高さは8mm、ピンシート間隔は1140mmであり、ピンシートの長手方向の長さは95mm、幅方向の長さは35mmで、ピンシートの幅方向外側に設定した該台の長手方向の長さは95mm、幅方向の長さは15mmであり、該台の周囲は面取り加工を施した。また、ブラシロールは幅方向に2種類の素材を用いた2層構造を用い、内側にはコーネックス製で素線径φ0.3mmを配置し、外側には素線径φ0.5mmの金属素線を配置した。
(ピンシートの形状は平板形状、押さえロールとフィルム把持開始部との距離は150mm、支え治具はテフロン(登録商標)製バーを使用、支え治具とフィルム把持開始部との距離は170mm)
テンターの熱処理設定は以下の通りである。第1段が180℃で5分、昇温速度4℃/秒で昇温して第2段として460℃で5分の条件で2段階の加熱を施して、イミド化反応を進行させた。その後、5分間で室温にまで冷却し、フィルムの両側端部の細幅フィルムが重なっている部分をスリッターにて切り落とし、ロール状に巻き上げ、褐色を呈するポリイミドフィルムAを得た。熱処理中の搬送状態、得られたポリイミドフィルムの特性などの測定結果を表1に記載する。
(Manufacture of polyimide film)
<Example 1>
Separately from the above, the polyamic acid solution A obtained in Reference Example 1 was coated on the non-lubricant surface of polyethylene terephthalate film A-4100 (manufactured by Toyobo Co., Ltd.) using a comma coater (coating width 1240 mm). ), And dried at 90 ° C. for 60 minutes. The polyamic acid film that became self-supporting after drying was peeled from the support and cut at both ends to obtain a green film having a thickness of 8 μm and a width of 1200 mm. The thin green slit film A having a width of 35 mm is superposed on both end portions of the obtained green film, and the apparatus shown in FIGS. 1 and 3 is used for pin sheets, brush rolls, pressers as shown in parentheses below. Both ends were held with a pin tenter under the conditions of a roll and a supporting jig, and heat treatment was performed. The pins are arranged so that the pin interval is constant when the pin sheets are arranged, the pin height from the pin base is 8 mm, the pin sheet interval is 1140 mm, and the length of the pin sheet in the longitudinal direction is The length in the width direction is 95 mm, the length in the longitudinal direction of the table set outside the pin sheet in the width direction is 95 mm, the length in the width direction is 15 mm, and the periphery of the table is chamfered. did. In addition, the brush roll has a two-layer structure using two kinds of materials in the width direction, made of Conex with a strand diameter of 0.3 mm, and on the outside a metal element with a strand diameter of 0.5 mm. A line was placed.
(The pin sheet has a flat plate shape, the distance between the press roll and the film grip start portion is 150 mm, the support jig uses a Teflon (registered trademark) bar, and the distance between the support jig and the film grip start portion is 170 mm).
The heat treatment settings for the tenter are as follows. The first stage was heated at 180 ° C. for 5 minutes and the heating rate was 4 ° C./second, and the second stage was heated at 460 ° C. for 5 minutes for 2 minutes to proceed the imidization reaction. Then, it cooled to room temperature in 5 minutes, the part with which the narrow film of the both ends of a film overlapped was cut off with the slitter, it rolled up in roll shape, and the polyimide film A which exhibits brown was obtained. Table 1 shows the measurement results such as the conveyance state during the heat treatment and the characteristics of the obtained polyimide film.

なお、フィルムの平面性、有効幅は、以下のように定義した。
まず得られたフィルムを清浄な表面を有する定盤に広げ、フィルム端部にてウネリにより定盤との間に空間が空いてしまう部分を平面性不良な部分として捉えた。フィルムの端部が定盤表面から持ち上がらずに、フィルム全体が定盤に密着するようになるまで、フィルム両端をカットし、その時のフィルム幅を有効幅と定義した。
また、ピン裂けは、フィルムの先頭から10m程度の部分にて、ピン部での幅方向、縦方向でのフィルム裂けを目視判定し、縦方向の隣どうしのピン穴(全部で500ヶ)が繋がるものが10ヶ以上あるものを×、10〜3ヶ程度のものを△、2ヶ以下のものを○とした。
ピンシートからの剥離性は、熱処理が終了してフィルムが引き離しロールによりピンシートより剥離するときの状態を目視評価し,スムースな引き離しは良好とし,ピンにフィルムが引っ掛りが生じる場合をやや不良とし、引っ掛りによりフィルムに流れ方向の裂けが生じる場合は不良とした。
The flatness and effective width of the film were defined as follows.
First, the obtained film was spread on a surface plate having a clean surface, and a portion where a space was left between the surface plate due to undulation at the end of the film was regarded as a portion having poor flatness. The ends of the film were not lifted from the surface of the platen, and both ends of the film were cut until the entire film was in close contact with the platen, and the film width at that time was defined as the effective width.
Also, for pin tearing, the film tearing in the width direction and the vertical direction at the pin part is visually judged at a portion about 10 m from the top of the film, and pin holes (500 in total) adjacent to each other in the vertical direction. Those having 10 or more connected pieces were rated as x, those having about 10 to 3 pieces were evaluated as Δ, and those having two or less connected as ◯.
The peelability from the pin sheet was evaluated by visual evaluation of the state when the heat treatment was completed and the film was peeled off and peeled off from the pin sheet, and the smooth peeling was good, but the film was caught slightly on the pin. In the case where the film tears in the flow direction due to catching, it was regarded as defective.

<実施例2>
参考例2で得たポリアミド酸溶液Bを使用し、細幅長尺スリットフィルムBを両側端部に重ね合わすこと以外は実施例1と同様にしてポリイミドフィルムBを得た。
同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Example 2>
A polyimide film B was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution B obtained in Reference Example 2 was used and the narrow slit film B was overlapped on both side ends.
The evaluation was made in the same manner. The results are shown in Table 1.

<比較例1>
細幅長尺スリットフィルムAを両側端部に重ね合わすことをせずに厚さ8μm、幅1200mmのグリーンフィルムをそのまま使用して処理すること以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを製造したが、連続して評価できるほどの長尺ポリイミドフィルムを得ることができなかった。
<Comparative Example 1>
A polyimide film is produced in the same manner as in Example 1 except that the narrow-width long slit film A is processed using a green film having a thickness of 8 μm and a width of 1200 mm as it is without being overlapped on both ends. However, a long polyimide film that could be continuously evaluated could not be obtained.

<比較例2>
細幅長尺スリットフィルムBを両側端部に重ね合わすことをせずに厚さ8μm、幅1200mmのグリーンフィルムをそのまま使用して処理すること以外は、実施例2と同様にしてポリイミドフィルムを製造したが、連続して評価できるほどの長尺ポリイミドフィルムを得ることができなかった。
<Comparative example 2>
A polyimide film is produced in the same manner as in Example 2, except that the narrow and long slit film B is processed by using a green film having a thickness of 8 μm and a width of 1200 mm as it is without being overlapped on both ends. However, a long polyimide film that could be continuously evaluated could not be obtained.

<実施例3>
ポリアミド酸溶液Aを、ポリエチレンテレフタレート製フィルムA−4100(東洋紡績株式会社製)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(塗工幅1240mm)、90℃にて60分間乾燥し、厚さ11.0μm、幅1200mmのグリーンフィルムを得、得られたグリーンフィルムに前記幅35mmの細幅長尺スリットフィルムAを両側端部に重ね合わせながら、図1、図3に示す装置で、以下括弧内に示す様にピンシートやブラシロール、押さえロール、支え治具の条件でピンテンターにて両端を把持し熱処理を行い、実施例と同様にしてポリイミドフィルムを得た。同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Example 3>
The polyamic acid solution A was coated on the non-lubricant surface of polyethylene terephthalate film A-4100 (manufactured by Toyobo Co., Ltd.) using a comma coater (coating width 1240 mm), and dried at 90 ° C. for 60 minutes. While obtaining a green film having a thickness of 11.0 μm and a width of 1200 mm, the thin green slit film A having a width of 35 mm was superposed on both side ends on the obtained green film, with the apparatus shown in FIGS. Hereinafter, as shown in parentheses, both ends were gripped with a pin tenter under the conditions of a pin sheet, a brush roll, a pressing roll, and a support jig, and heat treatment was performed, and a polyimide film was obtained in the same manner as in the examples. The evaluation was made in the same manner. The results are shown in Table 1.

<実施例4>
ポリアミド酸溶液Bを使用し、細幅長尺スリットフィルムBを両側端部に重ね合わすこと以外は実施例3と同様にしてポリイミドフィルムを得た。
同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Example 4>
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 3 except that the polyamic acid solution B was used and the narrow slit film B was superposed on both side ends.
The evaluation was made in the same manner. The results are shown in Table 1.

<実施例5>
ポリアミド酸溶液Aを使用し、コンマコーターの塗工厚を変えた以外は実施例1と同様に操作しポリイミドフィルムを得た。
同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Example 5>
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution A was used and the coating thickness of the comma coater was changed.
The evaluation was made in the same manner. The results are shown in Table 1.

<実施例6>
ポリアミド酸溶液Bを使用し、コンマコーターの塗工厚を変えた以外は実施例1と同様に操作しポリイミドフィルムを得た。
同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Example 6>
A polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamide acid solution B was used and the coating thickness of the comma coater was changed.
The evaluation was made in the same manner. The results are shown in Table 1.

<比較例3>
細幅長尺スリットフィルムAを両側端部に重ね合わすことをせずに厚さ11.0μm、幅1200mmのグリーンフィルムをそのまま使用して処理すること以外は、実施例3と同様にしてポリイミドフィルムを製造したが、連続して評価できるほどの長尺ポリイミドフィルムを得ることができなかった。
<Comparative Example 3>
A polyimide film in the same manner as in Example 3 except that the thin long slit film A is processed by using a green film having a thickness of 11.0 μm and a width of 1200 mm as it is without being overlapped on both ends. However, a long polyimide film that could be continuously evaluated could not be obtained.

<比較例4>
細幅長尺スリットフィルムBを両側端部に重ね合わすことをせずに厚さ11.0μm、幅1200mmのグリーンフィルムをそのまま使用して処理すること以外は、実施例4と同様にしてポリイミドフィルムを製造した。実施例と同様にしてその評価をした。結果を表1に示す。
<Comparative Example 4>
A polyimide film in the same manner as in Example 4 except that a thin film having a thickness of 11.0 μm and a width of 1200 mm is used as it is without superimposing the narrow slit film B on both ends. Manufactured. The evaluation was performed in the same manner as in the Examples. The results are shown in Table 1.

Figure 2008284703
Figure 2008284703

以上述べてきたように、本発明のイミド化させる工程のフィルム端部固定式テンターでフィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム把持が、イミド化されるポリアミド酸フィルムと別の細幅のフィルムとを重ねてピンで突き刺し固定することで、ピン孔がフィルムの縦方向、幅方向に長孔状に破断する問題、カールの発生、皺や歪みなどの発生による品質不良が発生し易い課題を解消することができ、厚さが7.5μm以下の長尺極薄ポリイミドフィルムの安定的生産が可能となる。厚さが7.5μm以下の長尺極薄ポリイミドフィルムは、電子機器の部品や機械部品などとして利用することができる。   As described above, the film gripping at both side edges in the width direction of the film in the film end fixing type tenter in the imidizing step of the present invention is a polyamic acid film to be imidized and another narrow film. By pinning and fixing with a pin, the problem that the pin hole breaks into a long hole in the longitudinal direction and width direction of the film, the problem of the occurrence of curl, the occurrence of defects due to wrinkles and distortion, etc. is solved Therefore, it is possible to stably produce a long ultrathin polyimide film having a thickness of 7.5 μm or less. A long ultrathin polyimide film having a thickness of 7.5 μm or less can be used as a part of an electronic device or a machine part.

本発明における好ましい態様の一である、テンター式フィルム処理機におけるフィルムと接するピンの幅方向外側に台を設けたピンシートの概略を示す。(a)は正面図であり、(b)は側面図である。The outline of the pin sheet | seat which provided the stand in the width direction outer side of the pin which touches the film in the tenter type film processing machine which is one of the preferable aspects in this invention is shown. (A) is a front view, (b) is a side view. 従来のテンター式フィルム処理機におけるフィルムと接するピンシートの概略を示す。(a)は正面図であり、(b)は側面図である。The outline of the pin sheet which contacts the film in the conventional tenter type film processing machine is shown. (A) is a front view, (b) is a side view. 本発明における好ましい態様の一である、テンター式フィルム処理機におけるフィルムのピン差し部の概略を示す。The outline of the pin insertion part of the film in the tenter type film processing machine which is one of the preferable embodiments in the present invention is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1:ブラシロール
2:ピン
3:ピン台座
4:台
5;支え治具
6:押さえロール
7:ポリイミド前駆体フィルム
1: Brush roll 2: Pin 3: Pin base 4: Base 5; Support jig 6: Pressing roll 7: Polyimide precursor film

Claims (5)

芳香族テトラカルボン酸類と芳香族ジアミン類とを反応させて得られるポリアミド酸を流延・乾燥しポリイミド前駆体フィルムを得て、該ポリイミド前駆体フィルムをピンシートが幅方向において外側に設置され、フィルムの幅方向両端部をピンシートに配置されたピンで突き刺し固定し、フィルム端部固定式テンターにて搬送し処理する方法でイミド化させる、厚さが7.5μm以下のポリイミドフィルムを得る製造方法であって、イミド化させる工程のフィルム端部固定式テンターでフィルムの幅方向の両側端部におけるフィルム把持を、ポリイミド前駆体フィルムの幅方向の両側端部に別に用意された細幅のフィルムを重ねて細幅のフィルムを重ねた部分をピンで突き刺し固定することによって行うことを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。   Polyamide acid obtained by reacting aromatic tetracarboxylic acids and aromatic diamines is cast and dried to obtain a polyimide precursor film, and the polyimide precursor film is placed outside in the width direction of the pin sheet, Manufacturing to obtain a polyimide film with a thickness of 7.5 μm or less, which is stabbed and fixed at both ends in the width direction of the film with pins arranged on a pin sheet, and imidized by a method of conveying and processing with a film end fixed type tenter A thin film prepared separately at both ends in the width direction of the polyimide precursor film, with a film end fixing type tenter in the process of imidizing and holding the film at both ends in the width direction of the film A polyimide film characterized in that it is performed by piercing and fixing a portion where a thin film is overlapped with a pin with a pin The method of production. 芳香族テトラカルボン酸類がピロメリット酸類、ビフェニルテトラカルボン酸類から選ばれる少なくとも一種、芳香族ジアミン類がp−フェニレンジアミン類、ジアミノジフェニルエーテル類から選ばれる少なくとも一種である請求項1記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The production of a polyimide film according to claim 1, wherein the aromatic tetracarboxylic acid is at least one selected from pyromellitic acids and biphenyltetracarboxylic acids, and the aromatic diamine is at least one selected from p-phenylenediamines and diaminodiphenyl ethers. Method. ピンが設置されているピンシートが幅方向において外側に設置されたピン台座よりも高い部位を有するものである請求項1又は2いずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。   3. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the pin sheet on which the pins are installed has a portion higher than the pin base installed on the outside in the width direction. ポリイミドフィルムの幅が500〜10000mm、長さが100〜100000mである請求項1〜3いずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The width | variety of a polyimide film is 500-10000 mm, and length is 100-100000 m, The manufacturing method of the polyimide film in any one of Claims 1-3. 細幅のフィルムがポリイミドの前駆体フィルムであって、その幅が、20〜80mmである請求項1〜4いずれかに記載のポリイミドフィルムの製造方法。   The method for producing a polyimide film according to any one of claims 1 to 4, wherein the narrow film is a polyimide precursor film, and the width thereof is 20 to 80 mm.
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