JP2008283488A - Inspection system and data processor for inspection system - Google Patents

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Kosuke Suzuki
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To evaluate the reliability of detected data and to facilitate separation of the place of a cause when an error occurs in an inspection system in which detected data is processed by a data processing part and an inspection result is outputted. <P>SOLUTION: Operating state information of a data detecting part is combined with detection data to be transmitted to a data processing part, and the data processing part recognizes the operating state of the data detecting part when the data is detected. It beomes easy, therefore, to separate an initial error cause place, such as a detection time point, a detected data transmitting time point and data processing part. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、検査システム、及び、検査システム用画像処理装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection system and an image processing apparatus for an inspection system.

データのエラー検出方法として、ある地点のデータを基準データとして、より下流のある地点のデータと比較する方法がある。これには、決まった手順でエラーチェックコード、例えばパリティコードを生成し、データに付加し、チェック時には、データの部分から同じ手順でエラーチェックコードを生成し、始めに付加したコードと比較する方法がある。特許文献１では、さらにエラー発生箇所の切り分けを容易にするために、エラーチェック領域の始めに生成したコードを共通して使用し、それぞれチェック時に生成したコードを比較している。   As a data error detection method, there is a method in which data at a certain point is used as reference data and compared with data at a certain point downstream. For this purpose, an error check code, for example, a parity code is generated by a predetermined procedure and added to the data. At the time of checking, an error check code is generated from the data portion by the same procedure and compared with the code added at the beginning. There is. In Patent Document 1, in order to further easily isolate an error occurrence location, a code generated at the beginning of the error check area is used in common, and the codes generated at the time of each check are compared.

特開平５−１２２２９６号公報JP-A-5-122296

しかしながら、特許文献１には、基準データとなるエラーチェックコード生成元のデータのチェック方法に関しては記載がない。特許文献１のように、ある時点でのデータを基準データとして、基準データから生成したエラーチェックコードと、エラーチェック対象のデータから生成したエラーチェックコードを比較するエラーチェック方式では、基準データ自体の評価は行うことができない。   However, Patent Document 1 does not describe a method of checking data of an error check code generation source that is reference data. As in Patent Document 1, the error check method for comparing the error check code generated from the error check target data with the error check code generated from the reference data using the data at a certain time as the reference data is the reference data itself. Evaluation is not possible.

データ検出部、データ伝送路、データ処理部を備え、データ検出部で検出されたデータを、データ伝送路を介して、データ処理部へ送り、データ処理部で所望の検査処理を行う構成の検査システムにおいては、基準データは、データ検出部で検出直後のデータが望ましいが、このデータは前述の理由からデータ自体からは評価できず、正常に検出が行われたどうかはわからない。   Inspection with a configuration that includes a data detection unit, a data transmission path, and a data processing unit, sends data detected by the data detection unit to the data processing unit via the data transmission path, and performs a desired inspection process in the data processing unit In the system, the reference data is preferably data immediately after detection by the data detection unit, but this data cannot be evaluated from the data itself for the above-described reason, and it is not known whether the detection has been normally performed.

検出が正常に行われたかどうかがわからない場合、検出中に異常が起こったデータに対して通常のデータ処理を行うと、処理結果は所望のものではなくなるが、結果だけを見て、その所望しない出力結果の原因が、データ処理部にあるのか、データ検出部にあるのかの切り分けは難しい。   If you do not know whether the detection was successful or not, if you perform normal data processing on the data in which an abnormality occurred during detection, the processing result will not be what you want, but just looking at the result, you do not want it It is difficult to determine whether the cause of the output result is in the data processing unit or the data detection unit.

また、検出が正常に行われたかどうかがわからない場合、データ処理部において、検出中に異常が起こったデータに対する通常のデータ処理を行うが、これは所望の結果を得られる見込みのない無駄な処理である。   In addition, when it is not known whether or not the detection has been performed normally, the data processing unit performs normal data processing on the data in which an abnormality has occurred during the detection, but this is a wasteful process that is unlikely to obtain a desired result. It is.

本発明の目的は、検査装置において、基準データ自体を評価する情報を取得し、データ検出時のデータ検出部動作状態が原因のデータ処理部問題があった場合、原因が、データ検出部かデータ処理部かの切り分けを迅速にすること、またデータ処理部での無駄な処理を無くすことである。   The object of the present invention is to obtain information for evaluating the reference data itself in the inspection apparatus, and when there is a problem with the data processing unit due to the operation state of the data detection unit at the time of data detection, the cause is the data detection unit or the data It is to speed up the separation of the processing unit and to eliminate useless processing in the data processing unit.

本発明の目的は、検出データの評価に、検出データそのものの他に、データ検出時のデータ検出部の動作状態の情報を取得し、それをデータ処理部へ送信し、データ処理部でデータ検出部の動作状態を認識しながら、データ処理を行うことで達成できる。   The object of the present invention is to evaluate the detection data, obtain the information of the operation state of the data detection unit at the time of data detection in addition to the detection data itself, transmit it to the data processing unit, and detect the data in the data processing unit This can be achieved by performing data processing while recognizing the operation state of the unit.

すなわち、データを検出する検出手段と、前記データを送信するデータ送信手段とを含むデータ検出部と、検出された前記データを伝送するデータ伝送路と、前記データ伝送路を介して送信されたデータを受信するデータ受信手段と、前記データ受信部からのデータを取得し所望の検査処理を行う処理手段とを含むデータ処理部とを備え、前記データ検出部はさらに、データ検出時の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視手段と、前記データ検出部の動作状態情報を送信するデータ検出部動作状態送信手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、前記データ処理部はさらに、前記データ伝送路とは別に設けられた動作状態伝送路を介して、前記データ検出部の動作状態を受信するデータ検出部動作状態受信手段と、前記データ処理部の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、前記処理手段において、前記データ検出部動作状態受信手段で受信されたデータ検出部の動作状態情報と、前記データ処理部の動作状態情報とを合わせて参照することにより、前記データ検出部で検出された時点における動作状態を確認しながら、前記データ受信部で受信された前記データの検査処理を行うことで達成できる。   That is, a data detection unit including detection means for detecting data and data transmission means for transmitting the data, a data transmission path for transmitting the detected data, and data transmitted via the data transmission path And a data processing unit including a processing unit that acquires data from the data receiving unit and performs a desired inspection process, and the data detection unit further includes an operation state at the time of data detection. At least one data detection unit operation state monitoring unit for monitoring and at least one data detection unit operation state transmission unit for transmitting operation state information of the data detection unit, and the data processing unit further includes the data transmission path. A data detection unit operation state receiving means for receiving the operation state of the data detection unit via an operation state transmission line provided separately from the data processing unit; At least one data processing unit operation state monitoring unit for monitoring the operation state, wherein the processing unit receives the operation state information of the data detection unit received by the data detection unit operation state reception unit, and the data Accomplished by performing inspection processing on the data received by the data receiving unit while confirming the operating state at the time point detected by the data detecting unit by referring to the operation state information of the processing unit together it can.

本発明によれば、検査装置において、基準データであるデータ検出部で検出されたデータが評価可能になり、その情報をデータ処理部で認識可能になるため、データ処理部での無駄な処理が無くなる。また、データ処理結果が所望の結果でなかった場合、その原因が、データ検出部かデータ処理部かの切り分けが迅速になる。また、検出時に異常の起こったデータに対して、通常のデータ処理を行うという所望の結果を得られる見込みのない無駄な処理を回避できる。   According to the present invention, in the inspection apparatus, the data detected by the data detection unit that is the reference data can be evaluated, and the information can be recognized by the data processing unit. Disappear. In addition, when the data processing result is not a desired result, the cause can be quickly identified as the data detection unit or the data processing unit. Further, it is possible to avoid useless processing that is unlikely to obtain a desired result of performing normal data processing on data in which an abnormality has occurred during detection.

以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において適時変更可能である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to a following example, It can change timely within the range of the technical idea of this invention.

はじめに図１を用いて、構成例を説明する。   First, a configuration example will be described with reference to FIG.

図１は、本発明を適用した検査システムの基本構成の一例を示した図である。データ検出部０００とデータ処理部１００は、データ伝送路０１０、動作状態伝送路０１１で接続されている。
データ検出部０００は、データ検出部０００を制御するデータ検出部制御機能００１、データ検出部０００の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視機能００２、データを検出するデータ検出機能００３、データ検出部動作状態監視機能００２で得たデータ検出部０００の動作状態情報を送信するデータ検出部状態情報送信機能００４、データ検出機能００３で検出したデータを送信する検出データ送信機能００５からなる。
なお、データ検出部から検出されるデータとしては、例えば、画像データなどがある。 FIG. 1 is a diagram showing an example of a basic configuration of an inspection system to which the present invention is applied. The data detection unit 000 and the data processing unit 100 are connected by a data transmission path 010 and an operation state transmission path 011.
The data detection unit 000 includes a data detection unit control function 001 that controls the data detection unit 000, a data detection unit operation state monitoring function 002 that monitors the operation state of the data detection unit 000, a data detection function 003 that detects data, and data detection The data detection unit status information transmission function 004 for transmitting the operation status information of the data detection unit 000 obtained by the unit operation status monitoring function 002, and the detection data transmission function 005 for transmitting the data detected by the data detection function 003.
The data detected from the data detection unit includes, for example, image data.

データ処理部１００は、データ処理部１００を制御するデータ処理部制御機能１０１、データ処理部１００の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視機能１０２、データに対して所望の処理を行うデータ処理機能１０３、データ検出部０００から送られるデータ検出部動作状態情報を受信するデータ検出部状態情報受信機能１０４、データ検出部０００から送られる検出データを受信する検出データ受信機能１０５、データ処理機能１０３の結果を出力するデータ処理結果出力機能１０６からなる。   The data processing unit 100 includes a data processing unit control function 101 that controls the data processing unit 100, a data processing unit operation state monitoring function 102 that monitors the operation state of the data processing unit 100, and data processing that performs desired processing on data. Function 103, data detection unit status information reception function 104 for receiving data detection unit operation status information sent from the data detection unit 000, detection data reception function 105 for receiving detection data sent from the data detection unit 000, data processing function 103 The data processing result output function 106 for outputting the result is provided.

検出データ伝送路０１０は、検出データ送信機能００５と検出データ受信機能１０５を接続する。状態情報伝送路０１１は、動作情報送信機能００４と状態情報受信機能１０４を接続する。また、データ検出部状態情報受信機能１０４、検出データ受信機能１０５は伝送路からデータが送られてこない場合、データ受信エラーを検出する。   The detection data transmission path 010 connects the detection data transmission function 005 and the detection data reception function 105. The status information transmission path 011 connects the operation information transmission function 004 and the status information reception function 104. Further, the data detection unit status information reception function 104 and the detection data reception function 105 detect a data reception error when data is not transmitted from the transmission path.

次に動作について説明する。
データ検出機能００３で得られた検出データは、検出データ送信機能００５、検出データ伝送路０１０を介して、検出データ受信機能１０５に送られる。データ検出部動作状態監視機能００２により取得された動作状態情報は、データ検出部制御機能００１で認識されると共に、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１を介して、データ検出部状態情報受信機能１０４へ送信される。
ここで、上記の動作状態情報としては、データ検出部の内部において、データの取得対象となる試料を載せるステージの動き、あるいは、データ通信回路、あるいは送信回路の動作が正常動作しているか確認するのに必要な情報を示す。状態情報受信機能１０４で受信したデータ検出部０００の動作状態情報は、動作状態監視機能１０２で取得されたデータ処理部１００の動作状態情報と合わせてデータ処理部制御機能１０１で認識されると共に、データ処理機能１０３でも認識される。 Next, the operation will be described.
The detection data obtained by the data detection function 003 is sent to the detection data reception function 105 via the detection data transmission function 005 and the detection data transmission path 010. The operation state information acquired by the data detection unit operation state monitoring function 002 is recognized by the data detection unit control function 001, and via the data detection unit state information transmission function 004 and the data detection unit state information transmission path 011. It is transmitted to the data detection unit state information reception function 104.
Here, as the above-described operation state information, it is confirmed whether the movement of the stage on which the sample from which data is to be acquired is placed or the operation of the data communication circuit or the transmission circuit is operating normally in the data detection unit. The information necessary for The operation state information of the data detection unit 000 received by the state information reception function 104 is recognized by the data processing unit control function 101 together with the operation state information of the data processing unit 100 acquired by the operation state monitoring function 102, and It is also recognized by the data processing function 103.

データ処理部制御機能１０１では、データ検出部状態情報受信機能１０４からの、データ検出部０００の動作状態情報とデータ処理部動作状態監視機能１０２からのデータ処理部０００の動作状態情報を合わせて参照することによって、検出データ取得時のデータ検出部０００の動作状態情報を参照しながら、データ処理部１００の制御を行うことができる。   The data processing unit control function 101 refers to the operation state information of the data detection unit 000 from the data detection unit state information reception function 104 and the operation state information of the data processing unit 000 from the data processing unit operation state monitoring function 102 together. By doing so, it is possible to control the data processing unit 100 while referring to the operation state information of the data detection unit 000 at the time of detection data acquisition.

また、データ処理機能１０３では、データ検出部状態情報受信部１０４からのデータ検出部０００の動作状態情報を参照することによって、データ受信部１０５からのデータが、データ検出時にデータ検出部０００が正常に動作していたものであるかどうかを認識しながら、データ処理を行うことができる。データ処理結果出力機能１０６によって結果を出力する際に、データ検出部動作状態情報を合わせて出力することで、出力されたデータ処理結果が所望のものでなかった場合、または、データ処理部動作状態監視機能１０２においてデータ処理部の動作異常が検出された場合に、その原因が、データ処理部１００に起因するものか、データ検出部０００に起因するものかの切り分けが早期に行える。   Further, the data processing function 103 refers to the operation state information of the data detection unit 000 from the data detection unit state information reception unit 104, so that the data detection unit 000 is normal when the data from the data reception unit 105 is detected. It is possible to perform data processing while recognizing whether or not the device was operating. When outputting the result by the data processing result output function 106, when the output data processing result is not desired by outputting the data detection unit operation state information together, or the data processing unit operation state When an abnormal operation of the data processing unit is detected in the monitoring function 102, it is possible to quickly determine whether the cause is caused by the data processing unit 100 or the data detection unit 000.

上記実施例１では、データ検出部動作状態監視機能００１で得られたデータ検出部０００の動作状態情報は、データ検出部動作状態伝送路０１１によって、データ検出部動作状態情報受信機能１０４へ送られ、データ検出機能００３で得られた検出データは、検出データ伝送路０１０によって検出データ受信機能１０５送られるが、データ検出部０００からデータ処理部１００への伝送路として、データ伝送路０１０しかない検査システムに本発明を導入する場合、新たに、データ検出部状態情報伝送路０１１を追加する必要がある。本実施例２では、状態情報伝送路０１１を追加することなく、図２のように、既存の検出データ伝送路０１０を検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路０２０として用いる場合の例を示す。   In the first embodiment, the operation state information of the data detection unit 000 obtained by the data detection unit operation state monitoring function 001 is sent to the data detection unit operation state information reception function 104 through the data detection unit operation state transmission path 011. The detection data obtained by the data detection function 003 is sent by the detection data transmission path 010 through the detection data transmission path 010, but the data transmission path 010 is the only transmission path from the data detection unit 000 to the data processing unit 100. When the present invention is introduced into the system, it is necessary to newly add a data detection unit state information transmission path 011. The second embodiment shows an example in which the existing detection data transmission path 010 is used as detection data and the data detection unit state information common transmission path 020 as shown in FIG. 2 without adding the state information transmission path 011. .

データがフレーム化されて伝送されるプロトコルを採用している場合、フレーム一部に動作状態情報領域を設け、動作情報を添付する。フレームの空き領域がある場合、その領域を動作状態情報領域とすれば、動作状態情報をフレームへ添付する、というフレーム化シーケンスの機能追加のみで本発明を実現できる。   When a protocol in which data is framed and transmitted is used, an operation state information area is provided in a part of the frame, and operation information is attached. If there is an empty area in the frame, the present invention can be realized only by adding a function of a framing sequence in which the operation state information is attached to the frame if the area is an operation state information area.

上記実施例１では、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１、データ検出部状態情報受信機能１０４の状態情報伝送系が1組、データ送信機能００５、データ伝送路０１０、データ受信機能１０５からなる検出データ伝送系が１組の構成である。この構成の場合それぞれの伝送系の３つの機能のうち１つに異常が起こると、伝送は正しく行われない。   In the first embodiment, the data detection unit status information transmission function 004, the data detection unit status information transmission path 011 and the data detection unit status information reception function 104 have one set of status information transmission system, the data transmission function 005, and the data transmission path 010. The detection data transmission system composed of the data reception function 105 is a set. In the case of this configuration, if an abnormality occurs in one of the three functions of each transmission system, transmission is not performed correctly.

データ処理部１００内にある、データ検出部状態情報受信機能１０４か検出データ受信機能１０５で動作エラーが発生した場合は、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。また、データ検出部状態情報伝送路０１１か検出データ伝送路０１０で動作エラーが起こった場合、エラーの種類により、データ処理部１００内にある、データ検出部状態情報受信機能１０４か検出データ受信機能１０５で認識され、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。また、検出データ送信機能００５で動作エラーが起こった場合、データ検出部動作状態監視機能００２によって認識され、データ検出部状態情報送信機能００４、データ検出部状態情報伝送路０１１、データ検出部状態情報受信機能１０４を介して、データ処理部動作監視機能１０２において、そのエラーを認識できる。しかし、データ検出部状態情報送信部００４にエラーが起こった場合は、そのエラーが起こったという情報が正しくデータ処理部側へ送られなくなるため、本発明が機能しなくなる。   When an operation error occurs in the data detection unit status information reception function 104 or the detection data reception function 105 in the data processing unit 100, the data processing unit operation monitoring function 102 can recognize the error. In addition, when an operation error occurs in the data detection unit state information transmission path 011 or the detection data transmission line 010, the data detection unit state information reception function 104 or the detection data reception function in the data processing unit 100 depends on the type of error. The data processing unit operation monitoring function 102 can recognize the error. Further, when an operation error occurs in the detection data transmission function 005, it is recognized by the data detection unit operation state monitoring function 002, and the data detection unit state information transmission function 004, the data detection unit state information transmission path 011 and the data detection unit state information. The error can be recognized in the data processing unit operation monitoring function 102 via the reception function 104. However, if an error occurs in the data detection unit status information transmission unit 004, the information that the error has occurred is not correctly sent to the data processing unit side, and the present invention does not function.

本実施例３では、図３のように、伝送系を並列に用いた構成によって、前述のような本発明が機能しなくなる場合の回避例を示す。構成は、図1に加えて、データ検出部状態情報送信機能２ ２０４とデータ検出部状態情報受信機能２ ３０４、その間を接続するデータ検出部動作状態情報伝送路２ ０３１、検出データ送信機能２ ２０５と検出データ受信機能２ ３０５、その間を接続する検出データ伝送路２ ０３０の伝送系1組の追加、同様に、データ検出部状態情報送信機能３ ４０４とデータ検出部状態情報受信機能３ ５０４、その間を接続するデータ検出部動作状態情報伝送路３ ０４１、検出データ送信機能３ ４０５と検出データ受信機能３ ５０５、その間を接続する検出データ伝送路３ ０４０の伝送系1組を追加したものである。本実施例３では2組の追加であるが、追加する伝送系の数は任意に変更可能である。   In the third embodiment, as shown in FIG. 3, an example of avoiding the case where the present invention as described above does not function due to the configuration using the transmission system in parallel is shown. In addition to FIG. 1, the configuration includes a data detection unit state information transmission function 2 204 and a data detection unit state information reception function 2 304, a data detection unit operation state information transmission path 2 031 connecting between them, and a detection data transmission function 2 205. And detection data reception function 2 305, addition of one set of transmission system of detection data transmission path 2 030 connecting between them, similarly, data detection unit state information transmission function 3 404 and data detection unit state information reception function 3 504, between them The data detection unit operating state information transmission path 3 041, the detection data transmission function 3 405, the detection data reception function 3 505, and the detection data transmission path 3 040 that connects between them are added. In the third embodiment, two sets are added, but the number of transmission systems to be added can be arbitrarily changed.

次に動作について説明する。
データ検出部動作状態監視機能１０２で監視するデータ検出部動作状態情報には、データ検出部状態情報送信機能００４、２０４、４０４、動作状態も含まれる。例えば、図3のような構成時、データ検出部状態情報伝送路０１１を解してデータ検出部状態情報受信機能１０４へ送られるデータ検出部動作状態情報は、データ検出部状態情報送信機能００４で動作エラーが発生したとき、データ検出部状態情報受信部１０４まで正常に伝送されない。この場合、データ検出部状態情報受信機能１０４では、データが来なければデータ受信エラーを検出し、正常であっても異常であってもデータが来れば、通常と同様に動作する。よって、データ検出部状態情報受信機能１０４で、何らかのデータを受信している場合、それが、正常であるか異常であるかの判断は不可能である。また、データ検出部状態情報受信機能１０４でデータ受信エラーを検出したとき、その原因が、データ検出部状態情報送信機能００４にあるのか、データ検出部状態情報伝送路０１１にあるのか、データ検出部状態情報受信機能１０４にあるのかの切り分けが難しい。 Next, the operation will be described.
The data detection unit operation status information monitored by the data detection unit operation status monitoring function 102 includes data detection unit status information transmission functions 004, 204, 404, and operation status. For example, in the configuration as shown in FIG. 3, the data detection unit status information transmission function 004 transmits the data detection unit status information transmission path 011 to the data detection unit status information reception function 104. When an operation error occurs, the data detection unit status information receiving unit 104 is not normally transmitted. In this case, the data detection unit state information reception function 104 detects a data reception error if no data is received, and operates as usual if data is received regardless of whether the data is normal or abnormal. Therefore, when any data is received by the data detection unit state information receiving function 104, it is impossible to determine whether it is normal or abnormal. Further, when a data reception error is detected by the data detection unit state information reception function 104, whether the cause is in the data detection unit state information transmission function 004, the data detection unit state information transmission path 011, the data detection unit It is difficult to determine whether the status information receiving function 104 is present.

これを回避するために、自身の動作状態情報は、自身の送信機能を介さず、隣接の送信機能を介してデータ処理部１００へ伝送するようにする。つまり、データ検出部状態情報送信部００４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部２ ２０４、データ検出部状態情報送信部２ ２０４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部３ ４０４、データ検出部状態情報送信部３ ４０４の状態情報は、データ検出部状態情報送信部００４から送信するようにする。これによって、例えば、データ検出部状態情報送信機能００４の状態情報は、データ検出部状態情報送信機能００４自身を使って送信しないため、データ検出部状態情報送信機能００４に動作エラーが起こった場合でも、正しく動作情報がデータ処理部へ伝送される。   In order to avoid this, the own operation state information is transmitted to the data processing unit 100 through the adjacent transmission function, not through the own transmission function. That is, the state information of the data detection unit state information transmission unit 004 is the data detection unit state information transmission unit 2 204, and the state information of the data detection unit state information transmission unit 2 204 is the data detection unit state information transmission unit 3 404, data The state information of the detection unit state information transmission unit 3 404 is transmitted from the data detection unit state information transmission unit 004. Thereby, for example, the status information of the data detection unit status information transmission function 004 is not transmitted using the data detection unit status information transmission function 004 itself, so even when an operation error occurs in the data detection unit status information transmission function 004. The operation information is correctly transmitted to the data processing unit.

これによって、例えば、データ処理部１００の情報しか取得できない状態で、データ検出部状態情報受信機能１０４でデータが来ないというデータ受信エラーを検出した場合、データ検出部状態情報送信機能００４とデータ検出部状態情報受信機能１０４の正常動作が確認できれば、データ検出部状態情報伝送路０１１のエラーであるとわかる。   Thus, for example, when the data detection unit status information reception function 104 detects a data reception error indicating that no data is received in a state where only the information of the data processing unit 100 can be acquired, the data detection unit status information transmission function 004 and the data detection If the normal operation of the unit status information reception function 104 can be confirmed, it is known that the error is in the data detection unit status information transmission path 011.

上記実施例３は、実施例１に対して、伝送系を並列にした場合の例であるが、本実施例４では、図４に示すように、実施例２に対して伝送系を並列にした場合の例を示す。
構成は、図３におけるデータ検出部状態情報伝送路０１１と検出データ伝送路０１０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０２０とし、データ検出部状態情報伝送路２ ０３１と検出データ伝送路２ ０３０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路２ ０５０とし、データ検出部状態情報伝送路３ ０４１と検出データ伝送路３ ０４０を検出データデータ検出部状態情報共通伝送路３ ０６０としたものである。 The third embodiment is an example in which the transmission system is parallel to the first embodiment. In the fourth embodiment, the transmission system is parallel to the second embodiment as shown in FIG. An example is shown below.
The configuration is such that the data detection unit status information transmission path 011 and the detection data transmission path 010 in FIG. 3 are the detection data data detection unit status information common transmission path 020, and the data detection unit status information transmission path 2 031 and the detection data transmission path 2 030. Is the detection data data detection unit state information common transmission line 2 050, and the data detection unit state information transmission line 3 041 and the detection data transmission line 3 040 are the detection data data detection unit state information common transmission line 3 060.

本実施例４では、データ検出部状態情報と検出データを一緒に送信するため、データ検出部状態情報送信機能の動作状態に加え、検出データ送信機能の動作状態情報も、自身の送信機能を介さずにデータ処理部１００へ伝送する必要がある。
実地例３と同様に、データ検出部状態情報送信機能００４と検出データ送信部００５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能２ ２０４と検出データ送信部２ ２０５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０５０を介して、データ処理部１００へ送られ、データ検出部状態情報送信機能２ ２０４と検出データ送信部２ ２０５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能３ ４０４と検出データ送信部３ ４０５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０６０を介して、データ処理部１００へ送られ、データ検出部状態情報送信機能３ ４０４と検出データ送信部３ ４０５の動作情報は、データ検出部状態情報送信機能００４と検出データ送信部００５と検出データデータ検出部状態情報共通伝送路０２０を介して、データ処理部１００へ送られる。 In the fourth embodiment, since the data detection unit state information and the detection data are transmitted together, in addition to the operation state of the data detection unit state information transmission function, the operation state information of the detection data transmission function also passes through its own transmission function. Without being transmitted to the data processing unit 100.
Similar to the practical example 3, the operation information of the data detection unit state information transmission function 004 and the detection data transmission unit 005 includes the data detection unit state information transmission function 2 204, the detection data transmission unit 2 205, and the detection data data detection unit state information. Operation information of the data detection unit state information transmission function 2 204 and the detection data transmission unit 2 205 is sent to the data processing unit 100 via the common transmission path 050, and the data detection unit state information transmission function 3 404 and the detection data transmission Unit 3 405 and detection data data detection unit status information is sent to data processing unit 100 via status information common transmission line 060, and operation information of data detection unit status information transmission function 3 404 and detection data transmission unit 3 405 is data detection. Data status information transmission function 004, detection data transmission unit 005, detection data data detection unit status information common transmission path 020, data It is sent to the processing section 100.

本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例１）。It is explanatory drawing which showed one of the Examples of this invention (Example 1). 本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例２）。It is explanatory drawing which showed one of the Examples of this invention (Example 2). 本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例３）。It is explanatory drawing which showed one of the Examples of this invention (Example 3). 本発明の実施例の一つを示した説明図である（実施例４）。It is explanatory drawing which showed one of the Examples of this invention (Example 4).

符号の説明Explanation of symbols

０００…データ検出部、
００１…データ検出部制御機能、
００２…データ検出部動作状態監視機能、
００３…データ検出機能、
００４…データ検出部状態情報送信機能、
００５…検出データ送信機能、
０１０…検出データ伝送路、
０１１…データ検出部状態情報伝送路、
０２０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路、
０３０…検出データ伝送路２、
０３１…データ検出部状態情報伝送路２、
０４０…検出データ伝送路３、
０４１…データ検出部状態情報伝送路３、
０５０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路２、
０６０…検出データ、データ検出部状態情報共通伝送路３、
１００…データ処理部、
１０１…データ処理部制御機能、
１０２…データ検出部動作状態監視機能、
１０３…データ処理機能、
１０４…データ検出部状態情報受信機能、
１０５…検出データ受信機能、
１０６…データ処理結果出力機能、
２０４…データ検出部状態情報送信機能２、
２０５…検出データ送信機能２、
３０４…データ検出部状態情報受信機能２、
３０５…データ受信機能２、
４０４…データ検出部状態情報送信機能３、
４０５…データ送信機能３、
５０４…データ検出部状態情報受信機能３、
５０５…データ受信機能。 000 ... Data detection unit,
001 ... Data detection unit control function,
002 ... Data detector operation state monitoring function,
003 ... Data detection function,
004 ... Data detector state information transmission function,
005 ... Detection data transmission function,
010: Detection data transmission path,
011 ... Data detector state information transmission path,
020 ... detection data, data detector state information common transmission line,
030: Detection data transmission path 2,
031: Data detector state information transmission path 2,
040: Detection data transmission path 3,
041: Data detector state information transmission path 3,
050 ... Detection data, data detector state information common transmission path 2,
060 ... detection data, data detector state information common transmission path 3,
100: Data processing unit,
101 ... Data processing unit control function,
102 ... Data detector operation state monitoring function,
103 ... data processing function,
104 ... Data detector state information reception function,
105 ... Detection data reception function,
106 ... Data processing result output function,
204 ... Data detector state information transmission function 2,
205 ... Detection data transmission function 2,
304 ... Data detector state information reception function 2,
305 ... Data reception function 2,
404 ... Data detector state information transmission function 3,
405 ... Data transmission function 3,
504 ... Data detector state information reception function 3,
505: Data reception function.

Claims (5)

データを検出する検出手段と、前記データを送信するデータ送信手段とを含むデータ検出部と、
検出された前記データを伝送するデータ伝送路と、
前記データ伝送路を介して送信されたデータを受信するデータ受信手段と、前記データ受信部からのデータを取得し所望の検査処理を行う処理手段とを含むデータ処理部とを備え、
前記データ検出部はさらに、データ検出時の動作状態を監視するデータ検出部動作状態監視手段と、前記データ検出部の動作状態情報を送信するデータ検出部動作状態送信手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、
前記データ処理部はさらに、前記データ伝送路とは別に設けられた動作状態伝送路を介して、前記データ検出部の動作状態を受信するデータ検出部動作状態受信手段と、前記データ処理部の動作状態を監視するデータ処理部動作状態監視手段とを、それぞれ少なくとも一つ有し、
前記処理手段において、前記データ検出部動作状態受信手段で受信されたデータ検出部の動作状態情報と、前記データ処理部の動作状態情報とを合わせて参照することにより、前記データ検出部で検出された時点における動作状態を確認しながら、前記データ受信部で受信された前記データの検査処理が行われることを特徴とする検査システム。 A data detection unit including detection means for detecting data and data transmission means for transmitting the data;
A data transmission path for transmitting the detected data;
A data receiving unit that receives data transmitted through the data transmission path, and a data processing unit that includes a processing unit that acquires data from the data receiving unit and performs a desired inspection process;
The data detection unit further includes at least one data detection unit operation state monitoring unit that monitors an operation state at the time of data detection and at least one data detection unit operation state transmission unit that transmits operation state information of the data detection unit. Have
The data processing unit further includes a data detection unit operation state receiving means for receiving an operation state of the data detection unit via an operation state transmission line provided separately from the data transmission line, and an operation of the data processing unit. Each having at least one data processing unit operation state monitoring means for monitoring the state,
In the processing means, the data detection section is detected by referring to the operation status information of the data detection section received by the data detection section operation status reception means together with the operation status information of the data processing section. An inspection system in which the data received by the data receiving unit is inspected while confirming the operation state at the time. 請求項１において、
前記動作状態伝送路を設けることなく、前記データ検出部における動作状態情報を、前記データ伝送路を介して前記データ処理部のデータ検出部動作状態受信手段へ送信することを特徴とする検査システム。 In claim 1,
An inspection system which transmits operation state information in the data detection unit to a data detection unit operation state reception unit of the data processing unit via the data transmission line without providing the operation state transmission line. 請求項１または２において、
前記データ検出部は、画像データを検出する画像データ検出部であり、検出される前記データとして、画像データを用いることを特徴とする検査システム。 In claim 1 or 2,
The said data detection part is an image data detection part which detects image data, Image data is used as said detected data, The inspection system characterized by the above-mentioned. 請求項１または２において、
前記データ検出部の動作状態情報として、
データ検出時における前記データ検出部の温度環境、供給電源環境、電磁環境などの動作環境情報を用いることを特徴とする検査システム。 In claim 1 or 2,
As the operation state information of the data detection unit,
An inspection system using operating environment information such as a temperature environment, a power supply environment, and an electromagnetic environment of the data detection unit at the time of data detection. データ入力部と、入力された前記データを処理するデータ処理部とを備え、前記データに対して、前記データ処理部で所望の検査処理を行う検査システム用データ処理装置において、
前記入力データがデータ生成装置により生成された時点での該データ生成装置の動作状態情報を受信する入力部を有し、
データ処理部において、前記入力部で受信された前記動作状態情報を認識しながら、前記入力データの検査処理を行うことを特徴とする検査システム用データ処理装置。 In a data processing apparatus for an inspection system comprising a data input unit and a data processing unit for processing the input data, and performing a desired inspection process on the data by the data processing unit,
An input unit that receives operation state information of the data generation device at the time when the input data is generated by the data generation device;
A data processing unit for an inspection system, wherein a data processing unit performs an inspection process on the input data while recognizing the operation state information received by the input unit.
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