JP2008261737A - Particle size measuring device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流体に混入された粒子の粒径を計測する粒径計測装置に関する。 The present invention relates to a particle size measuring device for measuring the particle size of particles mixed in a fluid.
従来、粒子が混入された流体を撮影し、その画像を解析することにより粒径を算出するようにした方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような装置は様々な技術分野で利用可能であって、簡単な構成で測定精度の高い装置が望まれる。 Such an apparatus can be used in various technical fields, and an apparatus having a simple configuration and high measurement accuracy is desired.
本発明は、簡単な構成でありながら、精度良く粒径を求めることができる粒径計測装置を提供することを目的とするものである。 An object of the present invention is to provide a particle size measuring device that can obtain a particle size with high accuracy while having a simple configuration.
請求項1に係る発明は、図1及び図2に例示するものであって、流体に混入された粒子の粒径を計測する粒径計測装置(1)において、
粒子が混入された流体を第1軸方向(x)に流下させる微小流路(2a)と、
該第1軸方向に略直交する第3軸方向(z)を撮影するように配置されて、前記微小流路(2a)を流下される粒子を撮影する撮影手段(6)と、
前記微小流路(2a)を流下される流体の流量を測定する流量測定手段(4)と、
前記撮影手段(6)が撮影した画像データ(GD)に基づき画像上での見掛けの粒径(de’)を算出する第1粒径算出手段(70)と、
前記画像データ(GD)に基づき粒子の流速(u)を算出する流速算出手段(71)と、
粒子についての、前記第1軸方向及び前記第3軸方向に略直交する第2軸方向(y)に関する位置を前記画像データ(GD)から測定する第2軸方向位置測定手段(72)と、
前記流量測定手段(4)、前記流速算出手段(71)及び前記第2軸方向位置測定手段(72)の算出結果と、前記微小流路(2a)を流れる流体についてのナビエ・ストークスの方程式とに基づき、粒子の第3軸方向位置を算出する第3軸方向位置算出手段(73)と、
該第3軸方向位置算出手段(73)の算出結果に基づき、前記撮影手段(6)の焦点面(図5の符号60a参照)を基準とした粒子の第3軸方向(z)についてのズレ量(Δz)を算出するズレ量算出手段(74)と、
該ズレ量算出手段(74)の算出結果に基づき粒子の像のボケ度を予測するボケ度予測手段(75)と、
該ボケ度予測手段(75)の予測結果に基づき前記見掛けの粒径(de’)を補正する第2粒径算出手段(76)と、を備えたことを特徴とする。
The invention according to claim 1 is illustrated in FIG. 1 and FIG. 2, and in the particle size measuring device (1) for measuring the particle size of particles mixed in the fluid,
A micro-channel (2a) for causing the fluid mixed with particles to flow down in the first axial direction (x);
An imaging means (6) arranged to image a third axis direction (z) substantially perpendicular to the first axis direction and imaging particles flowing down the microchannel (2a);
A flow rate measuring means (4) for measuring a flow rate of the fluid flowing down the microchannel (2a);
First particle diameter calculating means (70) for calculating an apparent particle diameter (d e ') on the image based on image data (GD) photographed by the photographing means (6);
A flow velocity calculating means (71) for calculating a flow velocity (u) of particles based on the image data (GD);
A second axial position measuring means (72) for measuring a position of the particle with respect to the second axial direction (y) substantially orthogonal to the first axial direction and the third axial direction from the image data (GD);
The calculation results of the flow rate measuring means (4), the flow velocity calculating means (71) and the second axial position measuring means (72), and the Navier-Stokes equations for the fluid flowing through the microchannel (2a), A third axial position calculating means (73) for calculating the third axial position of the particles,
Based on the calculation result of the third axial position calculation means (73), the deviation of the particle in the third axial direction (z) with reference to the focal plane (see reference numeral 60a in FIG. 5) of the imaging means (6). A deviation amount calculating means (74) for calculating the amount (Δz);
A blur degree predicting means (75) for predicting the blur degree of the image of the particle based on the calculation result of the deviation amount calculating means (74);
And second particle size calculation means (76) for correcting the apparent particle diameter (d e ') based on the prediction result of the blur degree prediction means (75).
請求項2に係る発明は、図2及び図11に例示するものであって、流体に混入された粒子の粒径を計測する粒径計測装置(1)において、
粒子が混入された流体を第1軸方向(x)に流下させる微小流路(2a)と、
該第1軸方向に略直交する第3軸方向(z)を撮影するように配置されて、前記微小流路(2a)を流下される粒子を撮影する撮影手段(6)と、
前記微小流路(2a)を流下される流体の流量を測定する流量測定手段(4)と、
前記撮影手段(6)が撮影した画像データ(GD)に基づき画像上での見掛けの粒径(de’)を算出する第1粒径算出手段(70)と、
前記画像データ(GD)に基づき粒子の流速(u)を算出する流速算出手段(71)と、
粒子についての、前記第1軸方向及び前記第3軸方向に略直交する第2軸方向(y)に関する位置を前記画像データ(GD)から測定する第2軸方向位置測定手段(72)と、
前記流量測定手段(4)、前記流速算出手段(71)及び前記第2軸方向位置測定手段(72)の算出結果と、前記微小流路(2a)を流れる流体についてのナビエ・ストークスの方程式とに基づき、粒子の第3軸方向位置を算出する第3軸方向位置算出手段(73)と、
該第3軸方向位置算出手段(73)の算出結果に基づき、前記撮影手段(6)の焦点面(図5の符号60a参照)を基準とした粒子の第3軸方向(z)についてのズレ量(Δz)を算出するズレ量算出手段(74)と、
前記見掛けの粒径(de’)と前記ズレ量(Δz)と下式とから粒径(dp)を算出する第3粒径算出手段(77)と、を備えたことを特徴とする。
A micro-channel (2a) for causing the fluid mixed with particles to flow down in the first axial direction (x);
An imaging means (6) arranged to image a third axis direction (z) substantially perpendicular to the first axis direction and imaging particles flowing down the microchannel (2a);
A flow rate measuring means (4) for measuring a flow rate of the fluid flowing down the microchannel (2a);
First particle diameter calculating means (70) for calculating an apparent particle diameter (d e ') on the image based on image data (GD) photographed by the photographing means (6);
A flow velocity calculating means (71) for calculating a flow velocity (u) of particles based on the image data (GD);
A second axial position measuring means (72) for measuring a position of the particle with respect to the second axial direction (y) substantially orthogonal to the first axial direction and the third axial direction from the image data (GD);
The calculation results of the flow rate measuring means (4), the flow velocity calculating means (71) and the second axial position measuring means (72), and the Navier-Stokes equations for the fluid flowing through the microchannel (2a), A third axial position calculating means (73) for calculating the third axial position of the particles,
Based on the calculation result of the third axial position calculation means (73), the deviation of the particle in the third axial direction (z) with reference to the focal plane (see reference numeral 60a in FIG. 5) of the imaging means (6). A deviation amount calculating means (74) for calculating the amount (Δz);
And third particle size calculation means (77) for calculating the particle size (d p ) from the apparent particle size (d e ′), the deviation amount (Δz), and the following formula: .
請求項3に係る発明は、請求項2に係る発明において、前記式は下式である、ことを特徴とする。
請求項4に係る発明は、請求項1乃至3のいずれか1項に係る発明において、前記第1粒径算出手段(70)が、前記画像データ(GD)に基づき粒子の面積(S)を算出する面積算出部(701)と、該面積算出部(701)が算出した面積(S)と下式とに基づき前記見掛けの粒径(de’)を演算する粒径演算部(702)と、からなることを特徴とする。
請求項5に係る発明は、請求項1乃至4のいずれか1項に係る発明において、前記微小流路(2a)は、前記流体が層流状態で流下される形状であることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the microchannel (2a) has a shape in which the fluid flows down in a laminar flow state. .
請求項6に係る発明は、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発明において、前記流量測定手段(4)は、前記微小流路(2a)から流れ出た流体を収容する収容容器(40)と、該収容容器(40)に収容された流体の重量を測定する重量測定部(41)と、該重量測定部(41)による測定結果と時間データとに基づき流量を演算する流量演算部(42)と、からなることを特徴とする。 The invention according to claim 6 is the storage container according to any one of claims 1 to 5, wherein the flow rate measuring means (4) stores the fluid that has flowed out of the microchannel (2a). 40), a weight measurement unit (41) for measuring the weight of the fluid stored in the storage container (40), and a flow rate calculation for calculating a flow rate based on the measurement result and time data by the weight measurement unit (41) Part (42).
請求項7に係る発明は、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発明において、デコンボルーション処理を行なうことにより光の回折現象に伴う誤差を補正する第4粒径算出手段、を備えたことを特徴とする。 The invention according to claim 7 is the invention according to any one of claims 1 to 6, further comprising: a fourth particle size calculation unit that corrects an error associated with a light diffraction phenomenon by performing a deconvolution process. It is characterized by having.
請求項8に係る発明は、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の発明において、前記流体は、液体、気体、液体−気体の混相流体、液体−固体の混相流体、気体−固体の混相流体、又は液体−気体−固体の混相流体であることを特徴とする。 The invention according to claim 8 is the invention according to any one of claims 1 to 7, wherein the fluid is a liquid, a gas, a liquid-gas mixed phase fluid, a liquid-solid mixed phase fluid, or a gas-solid. It is a multiphase fluid or a liquid-gas-solid multiphase fluid.
なお、括弧内の番号などは、図面における対応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述は図面上の記載に限定拘束されるものではない。 The numbers in parentheses are for the sake of convenience indicating the corresponding elements in the drawings, and therefore the present description is not limited to the descriptions on the drawings.
請求項1乃至8に係る発明によれば、簡単な構成でありながら、精度良く粒径を計測することができる。 According to the first to eighth aspects of the invention, the particle diameter can be accurately measured with a simple configuration.
以下、図1乃至図10に沿って、本発明を実施するための最良の形態について説明する。ここで、図1は、本発明に係る粒径計測装置の要部(データ処理装置)の構成の一例を示すブロック図であり、図2は、本発明に係る粒径計測装置の全体構成の一例を示す模式図であり、図3は、微小流路の形状等を説明するための模式図であり、図4は、見掛けの粒径de’の算出の条件を説明するための模式図である。また、図5は、粒子が流下される様子を第2軸方向側から見た模式図であり、図6は、3つの粒子を撮影した画像を模式的に示す図面であり、図7は、流速と第3軸方向位置との関係を示す図面である。さらに、図8(a) は、第2粒径算出手段等による補正を行なわなかった場合の解析結果を示す図であり、図8(b) は、該第2粒径算出手段等による補正を行なった場合の解析結果を示す図である。また、図9は、本発明の効果を説明するための図面であり、図10は、測定した粒径の値dYと実際の粒径dXとの関係を示す図である。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a block diagram showing an example of the configuration of the main part (data processing device) of the particle size measuring apparatus according to the present invention, and FIG. 2 shows the overall configuration of the particle size measuring apparatus according to the present invention. is a schematic diagram showing an example, FIG. 3 is a schematic view for explaining the shape of the fine channel, FIG. 4 is a schematic view for explaining conditions for calculating the apparent particle diameter d e ' It is. FIG. 5 is a schematic view of the flow of particles as seen from the second axial direction side, FIG. 6 is a drawing schematically showing an image of three particles, and FIG. It is drawing which shows the relationship between a flow velocity and a 3rd axial direction position. Further, FIG. 8 (a) is a diagram showing an analysis result when the correction by the second particle size calculation means or the like is not performed, and FIG. 8 (b) shows the correction by the second particle size calculation means or the like. It is a figure which shows the analysis result at the time of performing. Further, FIG. 9 is a view for explaining the effects of the present invention, FIG 10 is a diagram showing the relationship between the actual particle size d X value d Y of the measured particle size.
本発明に係る粒径計測装置は、流体に混入された粒子の粒径を計測する装置であって、その好適な一実施形態は図1及び図2に示される。 The particle diameter measuring apparatus according to the present invention is an apparatus for measuring the particle diameter of particles mixed in a fluid, and a preferred embodiment thereof is shown in FIGS. 1 and 2.
図2中の符号2は、微小流路2aを有するマイクロ化学チップを示す。この微小流路2aの上流側は容器(本明細書においては“試料容器”とする)3に連通されていて、該試料容器3には、粒子が混入された流体が入れられている。また、該微小流路2aの下流側には、該微小流路2aを流下される流体の流量を測定する流量測定手段4が配置されている。この流量測定手段4の下流側にはマイクロポンプ5が配置されている。このマイクロポンプ5を駆動することにより、前記試料容器3中の流体は、前記微小流路2aを流下され、その流量は前記流量測定手段4により測定されることとなる。なお、この装置では、マイクロポンプ5は流量測定手段4の下流側に配置されているが、もちろんこれに限られるものではなく、他の位置に配置されていても良い。 Reference numeral 2 in FIG. 2 indicates a microchemical chip having a microchannel 2a. The upstream side of the microchannel 2a communicates with a container (referred to as a “sample container” in this specification) 3, and a fluid mixed with particles is placed in the sample container 3. Further, a flow rate measuring means 4 for measuring the flow rate of the fluid flowing down the micro flow channel 2a is disposed on the downstream side of the micro flow channel 2a. A micropump 5 is arranged on the downstream side of the flow rate measuring means 4. By driving the micropump 5, the fluid in the sample container 3 flows down through the microchannel 2 a and the flow rate is measured by the flow rate measuring means 4. In this device, the micropump 5 is arranged on the downstream side of the flow rate measuring means 4, but it is of course not limited to this, and may be arranged at other positions.
ここで、本明細書における流体とは、
・ 液体、
・ 気体、
・ 液体−気体の混相流体、
・ 液体−固体の混相流体、
・ 気体−固体の混相流体、又は
・ 液体−気体−固体の混相流体
を言う。本発明は、例えば、血液中の血小板の粒径を計測するために用いることができる。その血液中には血漿や血小板や赤血球や白血球が存在するが、その場合には、血漿が前記液体に該当し、血小板が前記粒子に該当し、赤血球が前記固体に該当することとなり、血液自体は液体−気体−固体の混相流体に該当することとなる。
Here, the fluid in this specification is
Liquid,
Gas,
Liquid-gas mixed phase fluid,
Liquid-solid multiphase fluids,
A gas-solid mixed phase fluid or a liquid-gas-solid mixed phase fluid. The present invention can be used, for example, to measure the particle size of platelets in blood. The blood contains plasma, platelets, red blood cells, and white blood cells. In this case, plasma corresponds to the liquid, platelets correspond to the particles, red blood cells correspond to the solid, and the blood itself. Corresponds to a liquid-gas-solid mixed phase fluid.
図2に示す流量測定手段4は、前記微小流路2aから流れ出た流体を収容する収容容器40と、該収容容器40に収容された流体の重量を測定する重量測定部(電子天秤)41と、該電子天秤41による測定結果(試料の重量のデータ)と時間データとに基づき流量(例えば、μl/sの単位の流量)を演算する流量演算部42と、により構成されている。図2における収容容器40は密封容器になっていて、上述のポンプ5によって容器内の空気を吸引することにより、前記試料容器3→前記微小流路2a→前記収容容器40へ試料が流れることとなる。なお、本発明に用いる流量測定手段としては別の構成のものでも良く、また、微小流路2aの下流側以外の位置に配置されていても良い。さらに、前記流量演算部42は、後述するデータ処理装置7,17の中に組み込むようにしても良い。 The flow rate measuring means 4 shown in FIG. 2 includes a storage container 40 that stores the fluid that has flowed out of the microchannel 2a, and a weight measurement unit (electronic balance) 41 that measures the weight of the fluid stored in the storage container 40. The flow rate calculation unit 42 calculates a flow rate (for example, a flow rate in units of μl / s) based on the measurement result (data of the weight of the sample) and time data. The container 40 in FIG. 2 is a sealed container, and the sample flows from the sample container 3 → the microchannel 2a → the container 40 by sucking the air in the container by the pump 5 described above. Become. The flow rate measuring means used in the present invention may have a different configuration, and may be arranged at a position other than the downstream side of the microchannel 2a. Furthermore, the flow rate calculation unit 42 may be incorporated in data processing devices 7 and 17 described later.
なお、図3は、微小流路を模式的に示す斜視図(図2において微小流路2aを斜め上方から見下ろした状態の斜視図)であるが、本明細書においては、説明の便宜上、流体(粒子が混入されたもの)が流下される方向(符号x参照)を“第1軸方向”とし、該第1軸方向に略直交する方向(符号y参照)を“第2軸方向”とし、前記第1軸方向及び前記第2軸方向に略直交する方向(符号z参照)を“第3軸方向”とする。この微小流路2aは、前記流体が層流状態で流下される形状であれば良く、例えば、第2軸方向の幅Wを200μmとし、第3軸方向の深さ(2D)を50μmとし、第1軸方向の長さを30mmにすると良い。 FIG. 3 is a perspective view schematically showing the micro flow channel (a perspective view in a state where the micro flow channel 2a is looked down obliquely from above in FIG. 2). The direction in which the particles (mixed with particles) flow down (see symbol x) is referred to as “first axis direction”, and the direction substantially perpendicular to the first axis direction (see symbol y) is referred to as “second axis direction”. A direction (refer to reference numeral z) substantially orthogonal to the first axis direction and the second axis direction is referred to as a “third axis direction”. The micro flow path 2a may have any shape as long as the fluid flows down in a laminar flow state. For example, the width W in the second axial direction is 200 μm, the depth (2D) in the third axial direction is 50 μm, The length in the first axis direction is preferably 30 mm.
さらに、本発明に係る粒径計測装置1には、前記第3軸方向zを撮影する撮影手段6が配置されていて、前記微小流路2aを流下される粒子を該撮影手段6により撮影できるようになっている。この撮影手段6は、動画像を撮影するカメラ60と、微小流路2aを照明する光源61と、レンズ62,63とにより構成すると良い。ここで、カメラ60としては、CCDカメラや高速CCDカメラやEMCCDカメラやIICCDカメラやCMOSカメラ等の公知のカメラを用いると良い。また、光源61としては、ハロゲンランプやキセノンランプや白色LED等の公知の光源を用いると良い。 Furthermore, the particle size measuring apparatus 1 according to the present invention is provided with an imaging unit 6 for imaging the third axial direction z, and the imaging unit 6 can image the particles flowing down the minute channel 2a. It is like that. The photographing means 6 is preferably composed of a camera 60 for photographing a moving image, a light source 61 for illuminating the minute flow path 2a, and lenses 62 and 63. Here, as the camera 60, a known camera such as a CCD camera, a high-speed CCD camera, an EMCCD camera, an IICCD camera, or a CMOS camera may be used. The light source 61 may be a known light source such as a halogen lamp, a xenon lamp, or a white LED.
そして、この撮影手段6が撮影した画像データGDはデータ処理装置(パソコン)7に伝送され、この処理装置内で粒径等の算出が行なわれるようになっている。なお、撮影された画像はUSB2.0のインターフェースやビデオキャプチャーボードを介して伝送されるようにすると良い。 The image data GD photographed by the photographing means 6 is transmitted to a data processing device (personal computer) 7, and the particle size and the like are calculated in the processing device. The captured image may be transmitted via a USB 2.0 interface or a video capture board.
このデータ処理装置7には、図1に例示するように、
・ 前記撮影手段6が撮影した画像データGDに基づき画像上での見掛けの粒径de’を算出する第1粒径算出手段70と、
・ 前記画像データGDに基づき粒子の流速uを算出する流速算出手段71と、
・ 粒子についての第2軸方向yに関する位置を前記画像データGDから測定する第2軸方向位置測定手段72と、
を設けておくと良い。
In this data processing device 7, as illustrated in FIG.
- a first particle diameter calculation means 70 for calculating a particle size d e 'apparent in the image based on the image data GD which the imaging means 6 is taken,
A flow velocity calculating means 71 for calculating a flow velocity u of particles based on the image data GD;
A second axial position measuring means 72 for measuring the position of the particle in the second axial direction y from the image data GD;
It is good to have.
このうちの第1粒径算出手段70は、前記画像データGDに基づき粒子の面積Sを算出する面積算出部701と、該面積算出部701が算出した面積Sと下式とに基づき見掛けの粒径de’を演算する粒径演算部702と、により構成すると良い。つまり、この第1粒径算出手段70では、図4に実線Aで例示するような扁平な形状の粒子であったとしても破線A’に示すような球形(画像上では円形)と仮定し、その粒径de’を算出している。なお、この第1粒径算出手段70は直径de’を算出しているが、半径を算出する構成のものを本発明の権利範囲から除外するものでは無い。
ところで、上式による算出結果de’は、粒子の第3軸方向の位置に依存する誤差を含み得る。以下、この点を図5及び図6に沿って説明する。 Incidentally, the calculation result d e ′ according to the above equation may include an error depending on the position of the particle in the third axis direction. Hereinafter, this point will be described with reference to FIGS.
図5において符号60がカメラを示し、符号60aが、そのカメラ60の焦点面を示すものとする。いま、真ん中の粒子A2が焦点面60aを流れ、図示上方の粒子A1が焦点面60aよりカメラ60から遠い側を流れ、図示下方の粒子A3は焦点面60aよりカメラ60に近い側を流れたとする。図6は、それら3つの粒子を撮影した画像を模式的に示す図面である。図5と図6は似たような図面ではあるが、あくまで視認する方向が異なり、図5は第2軸方向側(y軸の+側)から見た図であり、図6は、第3軸(z軸)の−側から見た図(撮影した画像の図)である。撮影された画像では、焦点面60aを流れた粒子A2は最小に写るものの(図6参照)、他の2つの粒子(つまり、焦点面60aより遠い側を流れた粒子A1と、焦点面60より近い側を流れた粒子A3)は真ん中の粒子A2に比べるとぼやけて大きく写ってしまう(図6参照)。このため、それら2つの粒子A1,A3の見掛けの粒径de’は実際のものよりも大きく算出されてしまうこととなる。この誤差を無くすには、焦点面60aからのズレ量(図5の符号Δz1及びΔz3参照)に応じて粒径de’を補正する必要がある。 In FIG. 5, reference numeral 60 indicates a camera, and reference numeral 60 a indicates a focal plane of the camera 60. Now, the particles A 2 middle flows the focal surface 60a, particles A 1 shown upward flow side far from the camera 60 than the focal surface 60a, particles A 3 shown below is the side close to the camera 60 from the focal plane 60a Suppose it flows. FIG. 6 is a drawing schematically showing an image obtained by photographing these three particles. 5 and 6 are similar drawings, but the viewing direction is different, and FIG. 5 is a view seen from the second axial direction side (+ side of the y-axis), and FIG. It is the figure (figure of the image | photographed image) seen from the negative | minus side of the axis | shaft (z axis). In the photographed image, although the particle A 2 flowing through the focal plane 60a appears to be minimal (see FIG. 6), the other two particles (that is, the particle A 1 flowing on the side farther from the focal plane 60a and the focal plane) The particle A 3 ) flowing on the side closer to 60 is blurred and appears larger than the middle particle A 2 (see FIG. 6). Therefore, the two particles A 1, A 3 of the apparent particle size d e 'becomes that would be calculated larger than the actual one. To eliminate this error, it is necessary to correct the particle size d e 'depending on the amount of deviation from the focal plane 60a (see reference numeral Delta] z 1 and Delta] z 3 of FIG. 5).
そこで、本実施の形態においては、
・ 前記流量測定手段4、前記流速算出手段71及び前記第2軸方向位置測定手段72の算出結果と、前記微小流路2aを流れる流体についてのナビエ・ストークス(Navier−Stokes)の方程式とに基づき、粒子の第3軸方向位置zを算出する第3軸方向位置算出手段73(図1参照。詳細は後述する)と、
・ 該第3軸方向位置算出手段73の算出結果に基づき、前記撮影手段6の焦点面60aを基準とした粒子の第3軸方向についてのズレ量Δzを算出するズレ量算出手段74と、
・ 該ズレ量算出手段74の算出結果に基づき粒子の像のボケ度(見掛けの粒径de’と実際の粒径との相対的な比率)を予測するボケ度予測手段75と、
・ 該ボケ度予測手段75の予測結果に基づき前記見掛けの粒径de’を補正する第2粒径算出手段76と、
を設けることによって、焦点面60Aからの粒子のズレ量Δzに伴う補正を行なうようにしている。なお、説明の便宜上、第2粒径算出手段76によって補正された粒径dpを“補正済み粒径”と称することとする。
Therefore, in this embodiment,
Based on the calculation results of the flow rate measuring unit 4, the flow velocity calculating unit 71, and the second axial position measuring unit 72, and the Navier-Stokes equation for the fluid flowing through the microchannel 2a. A third axial position calculating means 73 (see FIG. 1; details will be described later) for calculating the third axial position z of the particles;
A deviation amount calculation means 74 for calculating a deviation amount Δz of the particle in the third axis direction with reference to the focal plane 60a of the imaging means 6 based on the calculation result of the third axis direction position calculation means 73;
· A blur degree predicting means 75 for predicting the blur of the image of the particles based on the calculation result (relative proportions of the actual particle diameter and apparent grain size d e ') of the deviation amount calculation unit 74,
A second particle size calculation unit 76 that corrects the apparent particle size d e ′ based on the prediction result of the blur degree prediction unit 75;
By providing the correction, the correction according to the deviation amount Δz of the particles from the focal plane 60A is performed. For convenience of explanation, the particle diameter d p corrected by the second particle diameter calculating means 76 is referred to as “corrected particle diameter”.
ここで、前記第3軸方向位置算出手段73並びにナビエ・ストークスの方程式等について説明する。 Here, the third axial position calculating means 73, the Navier-Stokes equation, and the like will be described.
微小流路2aが矩形断面の場合のナビエ・ストークスの方程式の流速に対する解析解は下式のようになる。
ここで、D,Wの値は、各々、流路の高さの半分の値、流路幅であるから既知であり、流速uは上述した流速算出手段71により算出され、流量Qは前記流量測定手段4により算出され、該当粒子の第2軸方向位置は前記第2軸方向位置測定手段72により測定され、いずれも既知の値である。したがって、上述の方程式より該当粒子の第3軸方向位置zが求まることとなる。 Here, the values of D and W are known because they are each half the height of the flow path and the flow path width, the flow velocity u is calculated by the flow velocity calculation means 71 described above, and the flow rate Q is the flow rate. Calculated by the measuring means 4, the second axial position of the relevant particle is measured by the second axial position measuring means 72, and both are known values. Accordingly, the third axial position z of the corresponding particle is obtained from the above equation.
以上より、流速uと第3軸方向位置zとの関係が求まるが、ここで、
)との関係は図7に示すようになり、流速算出手段71の演算結果uに基づき第3軸方向位置zが算出されることとなる。
From the above, the relationship between the flow velocity u and the third axial position z is obtained. Here,
7), the third axial position z is calculated based on the calculation result u of the flow velocity calculation means 71.
ところで、図1に示したデータ処理装置7の代わりに図11に示すデータ処理装置17を用いても良い。該データ処理装置17は、ボケ度予測手段75と第2粒径算出手段76の代わりに第3粒径算出手段77を用いた点のみが異なる。この第3粒径算出手段77は、前記見掛けの粒径de’と前記ズレ量Δzと下式とから粒径dpを算出するものである。
さらには、下式でdpを算出するようにしても良い。
或いは、下式を用いてdpを算出しても良い。
上述の式Aにおいて、右辺第二項は、像のボケに対する回折の影響についてのもので、右辺第三項は、前記ズレ量が粒径に及ぼす影響についてのものであり、上式を解くことにより、回折の影響やズレ量の影響を解消した値(粒径dp)を算出することができる。 In the above formula A, the second term on the right side is about the influence of diffraction on the blur of the image, and the third term on the right side is about the effect of the deviation amount on the particle size. Thus, a value (particle diameter d p ) that eliminates the influence of diffraction and the amount of deviation can be calculated.
なお、上記エアリディスク直径dsは、下式で求めることができる。
本発明によれば、1台のカメラで一方向から粒子を撮影した画像データに基づき、その奥行き方向(第3軸方向)の粒子位置を求め、粒径の補正を行なうことができる。そして、本発明によれば、簡単な構成でありながら、精度良く粒径を計測することができる。 According to the present invention, the particle position in the depth direction (third axis direction) can be obtained based on image data obtained by capturing particles from one direction with one camera, and the particle size can be corrected. And according to this invention, although it is a simple structure, a particle size can be measured accurately.
本発明者らは、本装置の測定精度を実験により確かめてみた。 The inventors of the present invention have confirmed the measurement accuracy of this apparatus by experiments.
《実験1》
市販の粒子(直径が2μmの粒子)が混入された試料を前記粒径計測装置1により計測してみた。粒径の分布は本来はガウス分布に一致するはずであるが、前記第2粒径算出手段76等による補正を行なわなかった場合の解析結果は図8(a) の棒グラフのようになり、ガウス分布(破線)には一致しなかった。これに対し、前記第2粒径算出手段76等による補正を行なった場合の解析結果は図8(b)
の棒グラフのようになり、ガウス分布(破線)に一致することとなり、測定精度の高さを確認した。
<Experiment 1>
A sample mixed with commercially available particles (particles having a diameter of 2 μm) was measured by the particle size measuring apparatus 1. The particle size distribution should be consistent with the Gaussian distribution, but the analysis result when the correction by the second particle size calculating means 76 or the like is not performed is as shown in the bar graph of FIG. It did not agree with the distribution (dashed line). On the other hand, the analysis result when the correction by the second particle size calculation means 76 is performed is shown in FIG.
It became like the bar graph of, and it agreed with the Gaussian distribution (broken line), and the high measurement accuracy was confirmed.
《実験2》
4種類の試料、すなわち、
・ 径が2μmのポリスチレン・ラテックス粒子を流体に混入したもの
・ 径が5μmのポリスチレン・ラテックス粒子を流体に混入したもの
・ 径が10μmのポリスチレン・ラテックス粒子を流体に混入したもの
・ 径が20μmのポリスチレン・ラテックス粒子を流体に混入したもの
を用意し、上述の粒径計測装置1により各試料の粒径を計測した。その結果は、図9に示すようになり、本装置の計測精度が高いことが分った。
<Experiment 2>
Four types of samples:
・ Polystyrene with 2 μm diameter ・ Latex particles mixed with fluid ・ Polystyrene with 5 μm diameter ・ Latex particles mixed with fluid ・ Polystyrene with 10 μm diameter ・ Latex particles mixed with fluid ・ 20 μm diameter A material in which polystyrene latex particles were mixed in a fluid was prepared, and the particle size of each sample was measured by the particle size measuring device 1 described above. The result was as shown in FIG. 9, and it was found that the measurement accuracy of this apparatus was high.
図10は、測定した粒径の値dYと実際の粒径(メーカー公称値)dXとの関係を示す図である。当然ながら、dYとdXとの関係がdY=dX(原点を通り、傾きが45度の右上がりの直線)のような関係になることが理想である。図9の結果をプロットすると、dY=0.985dX+0.550(このdYは上述のdpに相当)となり、ほぼdY=dXに近い関係となり、本装置の計測精度が高いことが分った。なお、ズレ量Δzを加味した補正を行なわない場合は、dY=0.827dX+4.240(このdYは上述のde’に相当)となってdY=dXの直線から大きくずれてしまい、このことからも、本発明による粒径補正の有効性が確認された。 Figure 10 is a diagram showing the measured actual particle size value d Y particle size (nominal value by the maker) relationship between d X. Of course, the relationship between the d Y and d X is (as the origin, the slope is a straight line right up 45 degrees) d Y = d X be a relationship such as it is ideal. When the result of FIG. 9 is plotted, d Y = 0.985 d X +0.550 (this d Y corresponds to d p described above), and the relationship is almost close to d Y = d X , and the measurement accuracy of this apparatus is high. I found out. In the case where the correction with the deviation amount Δz is not performed, d Y = 0.827 d X +4.240 (this d Y corresponds to the above d e ′), which is larger than the straight line of d Y = d X. This also confirmed the effectiveness of the particle size correction according to the present invention.
ところで、見掛けの粒径de’は、光の回折現象が原因で実際より大きくなってしまう。いま、画像上の粒径をとdeし、実際の粒径をdpとし、回折によるエアリディスク直径をdsとし、撮影光学系の倍率をMとし、照明光の波長をλとし、開口数をNAとすると、下式が成立する。例えば、M=5,λ=可視光(400〜700nm),NA=0.18の場合、実際の粒径dpが2μmであったとしても見掛けの粒径はde≒19〜30μmとなってしまう。つまり、見掛けの粒径は実際の粒径とPSFのコンボルーションとなり、上述の第1粒径算出手段70が画像データGDから算出する粒径は実際の粒径dpよりもかなり大きな値となってしまう。
そこで、上述したデータ処理装置7に第4粒径算出手段(不図示)を設けておいて、デコンボルーション処理を行なうことにより光の回折現象に伴う誤差を補正すると良い。 Therefore, it is preferable to provide a fourth particle size calculation means (not shown) in the data processing device 7 described above and correct the error associated with the light diffraction phenomenon by performing a deconvolution process.
1 粒径計測装置
2a 微小流路
4 流量測定手段
6 撮影手段
60a 焦点面
70 第1粒径算出手段
71 流速算出手段
72 第2軸方向位置測定手段
73 第3軸方向位置算出手段
74 ズレ量算出手段
75 ボケ度予測手段
76 第2粒径算出手段
77 第3粒径算出手段
701 面積算出部
702 粒径演算部
de’ 見掛けの粒径
dp 補正済み粒径
GD 画像データ
u 流速
x 第1軸方向
y 第2軸方向
z 第3軸方向
Δz ズレ量
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Particle size measuring device 2a Micro flow path 4 Flow rate measuring means 6 Imaging means 60a Focal plane 70 First particle diameter calculating means 71 Flow velocity calculating means 72 Second axial direction position measuring means 73 Third axial direction position calculating means 74 Deviation amount calculation It means 75 blur degree prediction means 76 second particle diameter calculating unit 77 third grain diameter calculation means 701 of the area calculation unit 702 particle size computing unit d e 'apparent particle diameter d p corrected particle diameter GD image data u velocity x first Axial direction y Second axial direction z Third axial direction Δz Deviation
Claims (8)
粒子が混入された流体を第1軸方向に流下させる微小流路と、
該第1軸方向に略直交する第3軸方向を撮影するように配置されて、前記微小流路を流下される粒子を撮影する撮影手段と、
前記微小流路を流下される流体の流量を測定する流量測定手段と、
前記撮影手段が撮影した画像データに基づき画像上での見掛けの粒径を算出する第1粒径算出手段と、
前記画像データに基づき粒子の流速を算出する流速算出手段と、
粒子についての、前記第1軸方向及び前記第3軸方向に略直交する第2軸方向に関する位置を前記画像データから測定する第2軸方向位置測定手段と、
前記流量測定手段、前記流速算出手段及び前記第2軸方向位置測定手段の算出結果と、前記微小流路を流れる流体についてのナビエ・ストークスの方程式とに基づき、粒子の第3軸方向位置を算出する第3軸方向位置算出手段と、
該第3軸方向位置算出手段の算出結果に基づき、前記撮影手段の焦点面を基準とした粒子の第3軸方向についてのズレ量を算出するズレ量算出手段と、
該ズレ量算出手段の算出結果に基づき粒子の像のボケ度を予測するボケ度予測手段と、
該ボケ度予測手段の予測結果に基づき前記見掛けの粒径を補正する第2粒径算出手段と、
を備えたことを特徴とする粒径計測装置。 In the particle size measuring device that measures the particle size of particles mixed in the fluid,
A microchannel that causes the fluid mixed with particles to flow down in the first axial direction;
An imaging means arranged to image a third axis direction substantially perpendicular to the first axis direction and imaging particles flowing down the microchannel;
A flow rate measuring means for measuring a flow rate of the fluid flowing down the microchannel;
First particle size calculating means for calculating an apparent particle size on the image based on image data taken by the photographing means;
A flow velocity calculating means for calculating a flow velocity of particles based on the image data;
A second axial position measuring means for measuring a position of the particle in the second axial direction substantially orthogonal to the first axial direction and the third axial direction from the image data;
Based on the calculation results of the flow rate measuring means, the flow velocity calculating means, and the second axial position measuring means, and the Navier-Stokes equation for the fluid flowing through the microchannel, the third axial position of the particle is calculated. A third axial direction position calculating means,
A deviation amount calculating means for calculating a deviation amount of the particles in the third axis direction with reference to the focal plane of the imaging means based on the calculation result of the third axis direction position calculating means;
A degree-of-blurring prediction means for predicting the degree of blurring of the particle image based on the calculation result of the deviation amount calculation means;
Second particle size calculation means for correcting the apparent particle size based on the prediction result of the blur degree prediction means;
A particle size measuring apparatus comprising:
粒子が混入された流体を第1軸方向に流下させる微小流路と、
該第1軸方向に略直交する第3軸方向を撮影するように配置されて、前記微小流路を流下される粒子を撮影する撮影手段と、
前記微小流路を流下される流体の流量を測定する流量測定手段と、
前記撮影手段が撮影した画像データに基づき画像上での見掛けの粒径を算出する第1粒径算出手段と、
前記画像データに基づき粒子の流速を算出する流速算出手段と、
粒子についての、前記第1軸方向及び前記第3軸方向に略直交する第2軸方向に関する位置を前記画像データから測定する第2軸方向位置測定手段と、
前記流量測定手段、前記流速算出手段及び前記第2軸方向位置測定手段の算出結果と、前記微小流路を流れる流体についてのナビエ・ストークスの方程式とに基づき、粒子の第3軸方向位置を算出する第3軸方向位置算出手段と、
該第3軸方向位置算出手段の算出結果に基づき、前記撮影手段の焦点面を基準とした粒子の第3軸方向についてのズレ量を算出するズレ量算出手段と、
前記見掛けの粒径と前記ズレ量と下式とから粒径dpを算出する第3粒径算出手段と、
を備えたことを特徴とする粒径計測装置。
A microchannel that causes the fluid mixed with particles to flow down in the first axial direction;
An imaging means arranged to image a third axis direction substantially perpendicular to the first axis direction and imaging particles flowing down the microchannel;
A flow rate measuring means for measuring a flow rate of the fluid flowing down the microchannel;
First particle size calculating means for calculating an apparent particle size on the image based on image data taken by the photographing means;
A flow velocity calculating means for calculating a flow velocity of particles based on the image data;
A second axial position measuring means for measuring a position of the particle in the second axial direction substantially orthogonal to the first axial direction and the third axial direction from the image data;
Based on the calculation results of the flow rate measuring means, the flow velocity calculating means, and the second axial position measuring means, and the Navier-Stokes equation for the fluid flowing through the microchannel, the third axial position of the particle is calculated. A third axial direction position calculating means,
A deviation amount calculating means for calculating a deviation amount of the particles in the third axis direction with reference to the focal plane of the imaging means based on the calculation result of the third axis direction position calculating means;
A third particle diameter calculating means for calculating a particle diameter d p from the apparent particle diameter, the deviation amount, and the following equation:
A particle size measuring apparatus comprising:
ことを特徴とする請求項2に記載の粒径計測装置。
The particle size measuring apparatus according to claim 2, wherein
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の粒径計測装置。 The microchannel has a shape in which the fluid flows down in a laminar flow state.
The particle size measuring device according to any one of claims 1 to 4, wherein
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の粒径計測装置。 The flow rate measuring means includes a storage container that stores the fluid that has flowed out of the microchannel, a weight measurement unit that measures the weight of the fluid stored in the storage container, a measurement result and time data by the weight measurement unit, A flow rate calculation unit for calculating a flow rate based on
The particle size measuring device according to any one of claims 1 to 5, wherein
を備えたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の粒径計測装置。 A fourth particle size calculating means for correcting an error associated with a light diffraction phenomenon by performing a deconvolution process;
The particle size measuring apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising:
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の粒径計測装置。
The fluid is a liquid, a gas, a liquid-gas mixed phase fluid, a liquid-solid mixed phase fluid, a gas-solid mixed phase fluid, or a liquid-gas-solid mixed phase fluid.
The particle size measuring device according to any one of claims 1 to 7, wherein
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