JP2008250111A - Base multiplying agent, resin composition using the same and article - Google Patents

Base multiplying agent, resin composition using the same and article Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a base multiplying agent that is more inexpensive and has preferable heat resistance, and to provide a resin composition and a photosensitive resin composition containing the base multiplying agent. <P>SOLUTION: The base multiplying agent has at least one structure expressed by formula (1) and is decomposed by heating at 150°C or higher in the presence of an amino compound to produce an amino compound. In formula (1), each of R<SP>1</SP>to R<SP>5</SP>independently represents a hydrogen atom, halogen atom, hydroxyl group, amino group, mercapto group, nitro group, silyl group, silanol group or monovalent organic group and may be identical to or different from one another or may be bonded to one another to form a cyclic structure; and R<SP>6</SP>represents a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group or a substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、塩基増殖剤、及び、それを含む樹脂組成物に関するものである。さらに詳しくは、本発明は、耐熱性が高く、合成が容易で低コストで生産が可能な塩基増殖剤、また、その塩基増殖剤を含む樹脂組成物および感光性樹脂組成物、並びに、当該感光性樹脂組成物の硬化物により少なくとも一部分が形成されている高耐熱性、高安定性の物品に関する。   The present invention relates to a base proliferating agent and a resin composition containing the same. More specifically, the present invention relates to a base proliferating agent that has high heat resistance, is easy to synthesize and can be produced at low cost, a resin composition and a photosensitive resin composition containing the base proliferating agent, and the photosensitive resin. The present invention relates to an article having high heat resistance and high stability, at least a part of which is formed by a cured product of the conductive resin composition.

紫外線等の放射線の照射によって硬化するか又は溶解性が変化する感光性樹脂は、一般に、露光部の溶解性が良好なもの(ポジ型)と、未露光部の溶解性が良好なもの(ネガ型)の2種に分類される。ネガ型の場合、感光性樹脂自体が露光により硬化し不溶になることから、感光性樹脂が基材上に残存し機能膜として製品の一部となる場合が多い。
ネガ型の感光性樹脂は当初、例えば塗料、印刷インキ、オーバーコート層、接着剤、印刷原版等に用いられてきたが、近年、プリント配線板の配線保護用のソルダーレジストや、層間絶縁膜、カラーフィルターの画素、反射防止膜、ホログラム等を形成するためのレジスト等にまで用途が広がってきている。
Photosensitive resins that cure or change solubility upon irradiation with radiation such as ultraviolet rays are generally those having good solubility in the exposed area (positive type) and those having good solubility in the unexposed area (negative). Type). In the case of the negative type, since the photosensitive resin itself is cured and becomes insoluble by exposure, the photosensitive resin often remains on the substrate and becomes a part of the product as a functional film.
Negative-type photosensitive resins have been used initially in, for example, paints, printing inks, overcoat layers, adhesives, printing masters, etc., but in recent years, solder resists for wiring protection of printed wiring boards, interlayer insulating films, Applications have been extended to color filter pixels, antireflection films, resists for forming holograms, and the like.

一般に多く用いられるネガ型の感光性樹脂は、ラジカル重合を用いてエチレン性不飽和結合を有する化合物を硬化させるタイプ、酸や塩基を用いてエポキシ化合物やオキセタン化合物などを重合させたり、芳香族化合物などを架橋反応や縮合反応させ、不溶化させるタイプ、アゾ化合物を用いて高分子を架橋し不溶化させるタイプなどが提案されている。
アゾ化合物を用いるタイプやラジカル重合を用いるタイプは古くから実用化され、種々の用途に用いられている。
ラジカル重合を用いたネガ型感光性樹脂は、感度も高く、歴史もあることから多くの種類のエチレン性不飽和基含有化合物や光ラジカル発生剤が上市されており、目的の物性にあわせて組成を設計することが出来るといった利点がある。一方で、酸素による重合阻害や、エチレン性不飽和結合が必須であることより、耐熱性に限界があるなどの問題がある。
In general, the negative photosensitive resin is a type that cures a compound having an ethylenically unsaturated bond using radical polymerization, an epoxy compound or oxetane compound using an acid or base, or an aromatic compound. There are proposed a type in which, for example, a cross-linking reaction or a condensation reaction is performed to insolubilize, and a type in which a polymer is cross-linked and insolubilized using an azo compound.
A type using an azo compound and a type using radical polymerization have been put into practical use for a long time and used for various applications.
Negative photosensitive resins using radical polymerization are highly sensitive and have a long history, so many types of ethylenically unsaturated group-containing compounds and photoradical generators are on the market. There is an advantage that can be designed. On the other hand, there is a problem that heat resistance is limited due to the inhibition of polymerization by oxygen and the necessity of an ethylenically unsaturated bond.

酸や塩基を用いるネガ型の感光性樹脂組成物は、硬化物が耐熱性に優れるエポキシ化合物を用いることが出来る為、電子部品等の比較的耐熱が必要とされる用途に対しての適用が検討されている。
そこで、課題となるのが、絶縁膜などの機能膜として製品の一部として用いられる場合に、塗膜中に残存する光重合開始剤などの添加剤が、製品性能に悪影響を及ぼす場合である。光酸発生剤を用いて硬化させた感光性樹脂が、電子部品などの絶縁膜として用いられると、高温高湿の環境下で配線を腐食し不具合を起こす場合があることが知られている。
Negative photosensitive resin compositions that use acids and bases can be used for applications that require relatively high heat resistance, such as electronic parts, because cured products can use epoxy compounds that have excellent heat resistance. It is being considered.
Therefore, a problem arises when additives such as a photopolymerization initiator remaining in the coating film adversely affect product performance when used as a part of a product as a functional film such as an insulating film. . It is known that when a photosensitive resin cured with a photoacid generator is used as an insulating film for an electronic component or the like, the wiring may be corroded in a high-temperature and high-humidity environment.

その為、金属と直接接する用途に置いては、光酸発生剤ではなく、酸と同じくエポキシ樹脂などの硬化触媒として作用する塩基を発生させる光塩基発生剤を用いたネガ型感光性樹脂が注目されている。
光塩基発生剤は、光を吸収することで分解や転位反応等により、塩基を発生させる化合物のことである。硬化剤として塩基を用いることで、金属を腐食させることなく硬化膜を形成することが出来る。
上記のような事情で光塩基発生剤を用いた感光性樹脂組成物には大きな期待がかかっているものの、一般の高圧水銀灯からの光に対して感度が高い光塩基発生剤は、知られていない。
For this reason, negative photosensitive resins using photobase generators that generate bases that act not only as photoacid generators but also as curing catalysts such as epoxy resins are the focus of attention for applications in direct contact with metals. Has been.
The photobase generator is a compound that generates a base by decomposition or rearrangement reaction by absorbing light. By using a base as the curing agent, a cured film can be formed without corroding the metal.
Although there is great expectation for a photosensitive resin composition using a photobase generator in the above circumstances, a photobase generator having high sensitivity to light from a general high-pressure mercury lamp is known. Absent.

そのため、特許文献1には、塩基増殖反応を用いた感光性材料が提案されている。塩基増殖反応を利用した感光性材料とは、光塩基発生剤から発生した少量の塩基の作用によって分解や転位反応し塩基を発生させる化合物(塩基増殖剤)を用いることで、光塩基発生剤の感度不足を補うという考え方に基づく材料のことである。
この考え方を用いると感度の低い光塩基発生剤を用いても、少量の塩基が発生さえすれば、増殖反応によって塩基の数を増やせるので、十分実用的な感度を示す感光性樹脂とすることが出来る。しかしながら、特許文献1で開示されているような塩基増殖剤は、合成が煩雑でコストが高いという課題があった。
さらに、特許文献1で開示されているような塩基増殖剤は、分子内解裂反応でアミンを発生させる為、分解後に、分解生成物が安定構造をとるような構造の導入(電子吸引性基)が必要であり、その為、耐熱性の低下や合成ルートが複雑化するという課題があった。
Therefore, Patent Document 1 proposes a photosensitive material using a base growth reaction. A photosensitive material that utilizes a base growth reaction is a compound that generates a base by the action of a small amount of base generated from a photobase generator to generate a base by decomposition or rearrangement. It is a material based on the idea of making up for the lack of sensitivity.
Using this concept, even if a low-sensitivity photobase generator is used, the number of bases can be increased by a growth reaction as long as a small amount of base is generated. I can do it. However, the base proliferating agent as disclosed in Patent Document 1 has a problem that the synthesis is complicated and the cost is high.
Furthermore, since the base proliferating agent as disclosed in Patent Document 1 generates an amine by intramolecular cleavage reaction, introduction of a structure in which the decomposition product takes a stable structure after decomposition (electron withdrawing group) For this reason, there are problems that the heat resistance is lowered and the synthesis route is complicated.

特開2000−330270号公報JP 2000-330270 A

本発明は、上記実情を鑑みて成し遂げられたものであり、その主目的は、より安価で耐熱性の良好な塩基増殖剤、及び、その塩基増殖剤を含有した樹脂組成物、及び、感光性樹脂組成物を提供するものである。   The present invention has been accomplished in view of the above circumstances, and its main purpose is a cheaper and better heat-resistant base proliferating agent, a resin composition containing the base proliferating agent, and photosensitivity. A resin composition is provided.

上記の目的を解決するため、本発明により提供される塩基増殖剤は、下記式(1)で表される構造を少なくとも1つ有し、アミノ化合物と共存下で150℃以上の加熱により分解し、アミノ化合物を生成することを特徴とする塩基増殖剤である。   In order to solve the above object, the base proliferating agent provided by the present invention has at least one structure represented by the following formula (1), and decomposes by heating at 150 ° C. or higher in the presence of an amino compound. A base proliferating agent characterized by producing an amino compound.

Figure 2008250111
(式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、又は1価の有機基であり、それらは互いに同一であっても異なっていても良く、それらが互いに結合を介して環状構造を形成していても良い。Rは置換又は無置換の脂肪族炭化水素基、或いは置換又は無置換の芳香族炭化水素基である。)
Figure 2008250111
(In Formula (1), R 1 to R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an amino group, a mercapto group, a nitro group, a silyl group, a silanol group, or a monovalent organic group, They may be the same as or different from each other, and they may form a cyclic structure through a bond to each other, R 6 represents a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, or a substituted or unsubstituted Aromatic hydrocarbon group.)

本発明に係る塩基増殖剤は、ウレタン結合の酸素原子に直接芳香環が結合しており、耐熱性に優れる。その為、150℃以上の耐熱性が要求される、ポリアミック酸のような感光性ポリイミド前駆体や感光性ポリベンゾオキサゾール前駆体等のような耐熱性の要求される用途に適用が可能となる。   In the base proliferating agent according to the present invention, an aromatic ring is directly bonded to an oxygen atom of a urethane bond, and the heat resistance is excellent. Therefore, it can be applied to applications requiring heat resistance such as a photosensitive polyimide precursor such as polyamic acid or a photosensitive polybenzoxazole precursor, which requires heat resistance of 150 ° C. or higher.

本発明に係る塩基増殖剤は、フェノール誘導体とイソシアン酸エステルとの付加反応により1段階で合成が可能なので、合成時に脱離成分がなく、安価で、精製も容易である。さらには、原料となるフェノール誘導体、イソシアン酸エステル双方とも、市販されている化合物の種類が多く、構造の選択肢が多いので、用途に対応した特性を有する塩基増殖剤をより安価に合成することが可能である。   Since the base proliferating agent according to the present invention can be synthesized in one step by an addition reaction between a phenol derivative and an isocyanate ester, there is no elimination component at the time of synthesis, and it is inexpensive and easy to purify. Furthermore, since both the phenol derivatives and isocyanates used as raw materials have many types of commercially available compounds and many structural options, it is possible to synthesize a base proliferating agent having characteristics corresponding to the application at a lower cost. Is possible.

本発明の塩基増殖剤は、光又は熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物と組み合わせて添加されることが好ましいが、光又は熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物がない場合には、自身の熱分解によって生成したアミノ化合物の触媒作用によって加水分解され、アミノ化合物を生成する。   The base proliferating agent of the present invention is preferably added in combination with a compound that generates an amino compound by the action of light or heat, but when there is no compound that generates an amino compound by the action of light or heat, It is hydrolyzed by the catalytic action of an amino compound produced by the thermal decomposition of to produce an amino compound.

また、本発明の塩基増殖剤においては、前記式(1)における、R〜Rのうち少なくとも一つが、電子供与性基であることが好ましい。電子供与性基を芳香環に導入すると、ウレタン結合の電子密度が高まり、安定性が向上し、その結果、耐熱性が良好となる。電子供与性基としては、水酸基、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、アルコキシ基、アルキルチオ基、オキシアシル基、アミド基、アルキル基、アリール基が挙げられる。 In the base proliferating agent of the present invention, it is preferable that at least one of R 1 to R 5 in the formula (1) is an electron donating group. When an electron donating group is introduced into the aromatic ring, the electron density of the urethane bond is increased and the stability is improved. As a result, the heat resistance is improved. Examples of the electron donating group include a hydroxyl group, a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, an alkoxy group, an alkylthio group, an oxyacyl group, an amide group, an alkyl group, and an aryl group.

また、本発明の塩基増殖剤はアミノ化合物と共存下で150℃以上の加熱により加水分解し、アミノ化合物を生成する。その為、水、または、水を供給できる官能基(アミック酸、ジカルボン酸等)が反応系内に含まれることが好ましい。   The base proliferating agent of the present invention is hydrolyzed by heating at 150 ° C. or higher in the presence of an amino compound to produce an amino compound. Therefore, it is preferable that the reaction system contains water or a functional group (such as amic acid or dicarboxylic acid) that can supply water.

本発明の塩基増殖剤においては、5%重量減少温度が150℃以上であることが、耐熱性の点から好ましい。   In the base proliferating agent of the present invention, the 5% weight loss temperature is preferably 150 ° C. or more from the viewpoint of heat resistance.

本発明の塩基増殖剤は400nm以上の波長域に吸収を持たないことが好ましく、360nm以上の波長域に吸収を持たないことがさらに好ましい。400nm以上に吸収を有すると、感光性樹脂組成物に添加した際に、光源からの光を吸収してしまい、感度の低下を招く。一般に露光に用いられる高圧水銀灯の主な発光波長が436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)であり、そのうち、最も発光強度が大きいのが365nmであることより、360nm以上の波長域に吸収を持たないことがさらに好ましい。   The base proliferating agent of the present invention preferably has no absorption in a wavelength region of 400 nm or more, and more preferably has no absorption in a wavelength region of 360 nm or more. When absorption is at 400 nm or more, when added to the photosensitive resin composition, light from the light source is absorbed, resulting in a decrease in sensitivity. In general, the main emission wavelengths of high-pressure mercury lamps used for exposure are 436 nm (g-line), 405 nm (h-line), and 365 nm (i-line). More preferably, it has no absorption in the wavelength region.

次に、本発明に係る樹脂組成物は、上記本発明に係る塩基増殖剤と、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物とを含有することを特徴とする。
本発明に係る樹脂組成物は、上記本発明に係る塩基増殖剤と、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物とを含有するので、通常、樹脂組成物を加熱する事により、硬化する。本発明の樹脂組成物中に含まれる上記本発明に係る塩基増殖剤は、分解前は中性の化合物であるので、本発明の樹脂組成物の保存安定性は良好となる。
Next, the resin composition according to the present invention contains the base proliferating agent according to the present invention and a compound that promotes curing or condensation reaction by the action of a base.
Since the resin composition according to the present invention contains the base proliferating agent according to the present invention and a compound that accelerates curing or condensation reaction by the action of a base, the resin composition is usually cured by heating the resin composition. . Since the base proliferating agent according to the present invention contained in the resin composition of the present invention is a neutral compound before decomposition, the storage stability of the resin composition of the present invention is good.

本発明に係る樹脂組成物においては、上記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物は、分子量が1000以上であることが、乾燥後の表面のべたつきがなく、塗布後のサンプルの取り扱いが容易になる点から好ましい。   In the resin composition according to the present invention, the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base has a molecular weight of 1000 or more, there is no stickiness of the surface after drying, and handling of the sample after coating is possible. It is preferable because it becomes easy.

本発明に係る樹脂組成物においては、上記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物として、ポリアミック酸を組み合わせることが好ましい。ポリアミック酸はアルカリ可溶性を有するポリイミド前駆体であり、ポリアミック酸を用いると耐熱性及び機械特性に優れた樹脂組成物を得ることができる。   In the resin composition according to the present invention, it is preferable to combine a polyamic acid as a compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base. Polyamic acid is a polyimide precursor having alkali solubility, and when polyamic acid is used, a resin composition excellent in heat resistance and mechanical properties can be obtained.

本発明に係る樹脂組成物においては、更に、光、又は熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物を含有することが、好ましい。中でも、光によってアミノ化合物を発生する化合物と組み合わせることにより、高感度の感光性樹脂組成物とすることが可能である。   The resin composition according to the present invention preferably further contains a compound that generates an amino compound by the action of light or heat. Especially, it can be set as the highly sensitive photosensitive resin composition by combining with the compound which generate | occur | produces an amino compound by light.

本発明に係る樹脂組成物は、パターン形成材料として好適に用いられる。
例えば、本発明に係る樹脂組成物を所定のパターンに塗布するか或いは所定の形状に成形した後に、適当な温度に加熱することで、本発明の塩基増殖剤が加水分解されアミノ化合物が増殖される。後に又は同時に、樹脂組成物中に含まれる塩基の作用により硬化又は縮合反応が促進する化合物の反応に十分な熱を加えることにより、硬化させ、所定のパターンを形成する事が出来る。
本発明に係る樹脂組成物が、更に、熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物を含有する場合には、適宜加熱することによりアミノ化合物を発生する化合物からアミノ化合物が発生し、同時に本発明の塩基増殖剤が加水分解されアミノ化合物を増殖させる。組み合わせる塩基増殖剤よりも低温で分解しアミノ化合物を生成する化合物を選択することにより、塩基増殖剤を単独で用いた場合よりも低温の加熱によりアミノ化合物の増殖を行うことが可能となる。
The resin composition according to the present invention is suitably used as a pattern forming material.
For example, by applying the resin composition according to the present invention in a predetermined pattern or forming it into a predetermined shape and then heating to an appropriate temperature, the base proliferating agent of the present invention is hydrolyzed and the amino compound is propagated. The Later or at the same time, by applying sufficient heat to the reaction of the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base contained in the resin composition, it can be cured to form a predetermined pattern.
When the resin composition according to the present invention further contains a compound that generates an amino compound by the action of heat, the amino compound is generated from the compound that generates the amino compound by heating appropriately. The base proliferating agent is hydrolyzed to grow the amino compound. By selecting a compound that decomposes at a lower temperature than the base proliferating agent to be combined to produce an amino compound, the amino compound can be propagated by heating at a lower temperature than when the base proliferating agent is used alone.

一方、本発明に係る樹脂組成物を感光性樹脂組成物として用いる場合、所定のパターンに塗布するか或いは所定の形状に成形した後に、必要に応じて所望のパターンに光を照射すると、露光部においては光によってアミノ化合物を発生する化合物(光塩基発生剤)から塩基が発生する。その後適当な温度に加熱することで、塩基増殖剤が加水分解され塩基が増殖される。
後に又は同時に、硬化反応に十分な熱を加えることにより、照射部と未照射部とでそれぞれ硬化した部位と未硬化の部位を形成する事ができ、光照射した所望のパターンを形成することができる。
On the other hand, when the resin composition according to the present invention is used as a photosensitive resin composition, it is applied to a predetermined pattern or formed into a predetermined shape, and then irradiated to the desired pattern as necessary. In, a base is generated from a compound (photobase generator) that generates an amino compound by light. Thereafter, by heating to an appropriate temperature, the base proliferating agent is hydrolyzed and the base is propagated.
Later or simultaneously, by applying sufficient heat to the curing reaction, it is possible to form a cured part and an uncured part in the irradiated part and the unirradiated part, respectively, and to form a desired pattern irradiated with light. it can.

本発明によれば、従来、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを取りにくかったポリアミック酸についても、光塩基発生剤と本発明の塩基増殖剤との組み合わせにより感光性樹脂組成物とすることにより、溶解阻害剤、溶解抑制剤の適用なしで良好なパターン形状を得ることができる。
すなわち、ポリアミック酸はイミド化の温度を高くする必要があるが、従来の塩基増殖剤は耐熱性が低く、イミド化の温度で未露光部においても塩基増殖剤が分解して塩基を発生してしまう問題があり、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを良好に取ることができなかった。それに対し、本発明の塩基増殖剤は、耐熱性が高いのでポリアミック酸とも好適に組み合わせることができる。
また上述のように、本発明の塩基増殖剤は、その塩基増殖反応機構が加水分解によるものであるため、水、又は、水を供給できる官能基(アミック酸、ジカルボン酸等)と共に用いられると、特に塩基を増殖する反応の進行が早くなる。
According to the present invention, a polyamic acid, which has conventionally been difficult to obtain a solubility contrast between an exposed portion and an unexposed portion, can also be obtained by combining a photobase generator and a base proliferating agent of the present invention. Thus, a good pattern shape can be obtained without application of a dissolution inhibitor or dissolution inhibitor.
That is, the polyamic acid needs to have a high imidation temperature, but the conventional base proliferating agent has low heat resistance, and the base proliferating agent decomposes even in the unexposed area at the imidization temperature to generate a base. There was a problem that the solubility contrast could not be satisfactorily taken between the exposed part and the unexposed part. On the other hand, since the base proliferating agent of the present invention has high heat resistance, it can be suitably combined with polyamic acid.
Further, as described above, the base proliferating agent of the present invention has water base or a functional group capable of supplying water (such as amic acid and dicarboxylic acid) because the base proliferative reaction mechanism is based on hydrolysis. In particular, the progress of the reaction of proliferating the base is accelerated.

前記本発明に係る樹脂組成物を、パターン形成材料として、或いは、塗料又は印刷インキ、或いは、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料の形成材料として用いる場合には、材料コストが安く、用いる感光性樹脂組成物が高感度である為、より安価に製造できる効果がある。   The resin composition according to the present invention is used as a pattern forming material, paint or printing ink, color filter, electronic component, interlayer insulating film, wiring coating film, optical member, optical circuit, optical circuit component, reflection. When used as a material for forming a protective film, hologram, or building material, the material cost is low, and the photosensitive resin composition to be used has high sensitivity, so that it can be manufactured at a lower cost.

また、本発明に係る物品は、前記本発明に係る樹脂組成物の硬化物により少なくとも一部分が形成されている、印刷物、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料いずれかの物品である。   In addition, the article according to the present invention is at least partly formed of a cured product of the resin composition according to the present invention, a printed matter, a color filter, an electronic component, an interlayer insulating film, a wiring coating film, an optical member, light It is an article of a circuit, an optical circuit component, an antireflection film, a hologram, or a building material.

本発明の塩基増殖剤は、ウレタン結合の酸素原子に直接芳香環が結合しており、耐熱性に優れる。その為、150℃以上の耐熱性が要求される、ポリアミック酸のような感光性ポリイミド前駆体や感光性ポリベンゾオキサゾール前駆体等のような耐熱性の要求される用途に適用が可能となる。
本発明の塩基増殖剤は、既存の化合物を用いて簡便に合成することが出来る為、安価に入手が可能である。本発明に係る塩基増殖剤は、多くの種類の原料が入手可能なため、構造選択の幅が広い。
また、本発明の塩基増殖剤はアミノ化合物の触媒作用により加水分解されるため、水が含まれる系で用いると分解反応が促進される。
In the base proliferating agent of the present invention, an aromatic ring is directly bonded to an oxygen atom of a urethane bond, and the heat resistance is excellent. Therefore, it can be applied to applications requiring heat resistance such as a photosensitive polyimide precursor such as polyamic acid or a photosensitive polybenzoxazole precursor, which requires heat resistance of 150 ° C. or higher.
Since the base proliferating agent of the present invention can be easily synthesized using an existing compound, it can be obtained at low cost. The base proliferating agent according to the present invention has a wide range of structure selection because many types of raw materials are available.
Further, since the base proliferating agent of the present invention is hydrolyzed by the catalytic action of an amino compound, the decomposition reaction is accelerated when used in a system containing water.

また、本発明の塩基増殖剤を必須成分とする樹脂組成物は、アミノ基を潜在化させているので、硬化成分を含有していても保存安定性が良好である。さらに、加熱により生成したアミノ化合物によって、本発明の樹脂組成物は硬化することが出来る。   In addition, since the resin composition containing the base proliferating agent of the present invention as an essential component has a latent amino group, the storage stability is good even if it contains a curing component. Furthermore, the resin composition of this invention can be hardened | cured with the amino compound produced | generated by heating.

本発明によれば、従来、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを取りにくかったポリアミック酸に対しても、本発明の加水分解反応によりアミノ化合物を発生する塩基増殖剤との組み合わせにより、感度が高く、良好なパターン形状を得ることができる感光性樹脂組成物とすることができる。   According to the present invention, a combination with a base proliferating agent that generates an amino compound by a hydrolysis reaction of the present invention, even for polyamic acid, which has conventionally had difficulty in obtaining a solubility contrast between an exposed area and an unexposed area. Thus, a photosensitive resin composition having high sensitivity and capable of obtaining a good pattern shape can be obtained.

本発明に係る樹脂組成物は、パターン形成材料(レジスト)、コーティング材、印刷インキ、接着剤、充填剤、電子材料、成形材料、3次元造形等、光の照射によって硬化したり又は溶解性が変化する材料が用いられている公知の全ての分野・製品に利用できるが、特に、耐熱性が必要で高度の信頼性を要求される、塗料、印刷インキ、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料を形成するのに適している。   The resin composition according to the present invention is cured by irradiation of light, such as a pattern forming material (resist), a coating material, a printing ink, an adhesive, a filler, an electronic material, a molding material, three-dimensional modeling, or the like. It can be used in all known fields and products where changing materials are used, but in particular, paints, printing inks, color filters, electronic components, and interlayer insulation films that require heat resistance and require high reliability. Suitable for forming wiring coating films, optical members, optical circuits, optical circuit components, antireflection films, holograms or building materials.

本発明に係る印刷物、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料いずれかの物品は、高耐熱性の樹脂組成物の硬化物により少なくとも一部分が形成されているため、製品や膜としても高耐熱性、高安定性であり、そのため生産の歩留まりも高いというメリットがある。   The printed material, color filter, electronic component, interlayer insulating film, wiring coating film, optical member, optical circuit, optical circuit component, antireflection film, hologram, or building material according to the present invention is a highly heat-resistant resin. Since at least a part is formed by the cured product of the composition, the product or film has high heat resistance and high stability, and thus has a merit of high production yield.

以下において本発明を詳しく説明する。なお本発明において照射光は、可視及び非可視領域の波長の電磁波だけでなく、電子線のような粒子線、及び、電磁波と粒子線を総称する放射線又は電離放射線が含まれる。樹脂組成物の硬化には、主に、波長が2μm以下の電磁波、電子線、電離放射線等が使用される。   The present invention is described in detail below. In the present invention, the irradiation light includes not only electromagnetic waves having wavelengths in the visible and invisible regions, but also particle beams such as electron beams, and radiation or ionizing radiation that collectively refers to electromagnetic waves and particle beams. For curing the resin composition, an electromagnetic wave, an electron beam, ionizing radiation or the like having a wavelength of 2 μm or less is mainly used.

先ず、本発明に係る塩基増殖剤について説明する。
本発明により提供される塩基増殖剤は、下記式(1)で表される構造を少なくとも1つ有し、アミノ化合物と共存下で150℃以上の加熱により分解し、アミノ化合物を生成することを特徴とする塩基増殖剤である。
First, the base proliferating agent according to the present invention will be described.
The base proliferating agent provided by the present invention has at least one structure represented by the following formula (1) and decomposes by heating at 150 ° C. or more in the presence of an amino compound to produce an amino compound. It is a characteristic base proliferating agent.

Figure 2008250111
(式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、又は1価の有機基であり、それらは互いに同一であっても異なっていても良く、それらが互いに結合を介して環状構造を形成していても良い。Rは置換又は無置換の脂肪族炭化水素基、或いは置換又は無置換の芳香族炭化水素基である。)
Figure 2008250111
(In Formula (1), R 1 to R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an amino group, a mercapto group, a nitro group, a silyl group, a silanol group, or a monovalent organic group, They may be the same as or different from each other, and they may form a cyclic structure through a bond to each other, R 6 represents a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, or a substituted or unsubstituted Aromatic hydrocarbon group.)

本発明の塩基増殖剤は、加熱によって分解しアミノ化合物を発生する。また、アミノ化合物存在下ではその触媒作用により、より低い温度の加熱により、加水分解しアミノ化合物を発生させる。その為、水存在下では加水分解反応速度が大きくなる。   The base proliferating agent of the present invention is decomposed by heating to generate an amino compound. In the presence of an amino compound, it is hydrolyzed by heating at a lower temperature due to its catalytic action to generate an amino compound. Therefore, the hydrolysis reaction rate increases in the presence of water.

Figure 2008250111
Figure 2008250111

なお、上記加水分解が起こっていることは、NMRスペクトルを測定し、フェノール性水酸基の水素が観測されることにより確認できる。   In addition, it can confirm that the said hydrolysis has occurred by measuring a NMR spectrum and observing the hydrogen of a phenolic hydroxyl group.

さらに、本発明に係る塩基増殖剤が、下記式(1)で表される構造を2つ以上有する場合には、当該塩基増殖剤は、2つ以上のアミノ基を有する化合物を発生させることができ、当該2つ以上のアミノ基を有する化合物は、例えばエポキシ化合物やオキセタン化合物に対して、架橋性部位としても機能する。ここで、架橋とは、架橋結合を生成することをいい、架橋結合とは、鎖状に結合した原子からなる分子のうちの任意の2原子間に橋をかけるようにして形成された結合をいい、この場合の結合は、同一分子内でも他分子間でも良い(化学辞典 東京化学同人 p.1082)。   Furthermore, when the base proliferating agent according to the present invention has two or more structures represented by the following formula (1), the base proliferating agent may generate a compound having two or more amino groups. The compound having two or more amino groups can also function as a cross-linkable site with respect to, for example, an epoxy compound or an oxetane compound. Here, the term “crosslinking” refers to generation of a crosslinking bond, and the term “crosslinking” refers to a bond formed by bridging any two atoms among molecules composed of atoms bonded in a chain. In this case, the bond may be within the same molecule or between other molecules (Chemical Dictionary Tokyo Chemical Doujin p.1082).

式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、又は1価の有機基である。ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。アミノ基としては、1級アミノ基(−NH)の他、2級アミノ基、3級アミノ基であっても良い。2級アミノ基は、モノ置換アミノ基であり、例えばメチルアミノ基、エチルアミノ基、プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基、tert−ブチルアミノ基、アニリノ基、アニシジノ基、フェネチジノ基、トルイジノ基、キシリジノ基、ピリジルアミノ基、チアゾリルアミノ基、ベンジルアミノ基、ベンジリデンアミノ基などが挙げられる。また、3級アミノ基は、ジ置換アミノ基であり、環状であってもよく、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジブチルアミノ基、エチルメチルアミノ基、ブチルメチルアミノ基、ジアミルアミノ基、ジベンジルアミノ基、ジフェネチルアミノ基、ジフェニルアミノ基、ジトリルアミノ基、ジキシリルアミノ基、メチルフェニルアミノ基、ベンジルメチルアミノ基などのほか、ピロリジノ基、ピペリジノ基、ピペラジノ基、モルホリノ基、1−ピロリル基、1−ピラゾリル基、1−イミダゾリル基、1−トリアゾリル基などが挙げられる。 In Formula (1), R 1 to R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an amino group, a mercapto group, a nitro group, a silyl group, a silanol group, or a monovalent organic group. Examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine and iodine. The amino group may be a primary amino group (—NH 2 ), a secondary amino group, or a tertiary amino group. The secondary amino group is a mono-substituted amino group, for example, methylamino group, ethylamino group, propylamino group, isopropylamino group, tert-butylamino group, anilino group, anisidino group, phenetidino group, toluidino group, xylidino group. , Pyridylamino group, thiazolylamino group, benzylamino group, benzylideneamino group and the like. The tertiary amino group is a disubstituted amino group, which may be cyclic, and is a dimethylamino group, diethylamino group, dibutylamino group, ethylmethylamino group, butylmethylamino group, diamylamino group, dibenzylamino group. , Diphenethylamino group, diphenylamino group, ditolylamino group, dixylamino group, methylphenylamino group, benzylmethylamino group, pyrrolidino group, piperidino group, piperazino group, morpholino group, 1-pyrrolyl group, 1- A pyrazolyl group, 1-imidazolyl group, 1-triazolyl group and the like can be mentioned.

また、1価の有機基としては、置換又は無置換の飽和又は不飽和脂肪族炭化水素基、置換又は無置換の芳香族炭化水素基等の炭化水素骨格を有する基が挙げられる。脂肪族炭化水素基は、直鎖でも分岐でも環状でも良い。1価の有機基としては、炭素数1〜20程度が好ましい。これら1価の有機基は、酸素や窒素などヘテロ原子等の、炭化水素基以外の結合や置換基を含んでよい。
炭化水素骨格を有する基に含まれるヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合としては、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、カーボネート結合など、また置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、シアノ基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、不飽和アルキルエーテル基、アリールエーテル基、不飽和アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基等が挙げられるが特に限定されない。
Examples of the monovalent organic group include groups having a hydrocarbon skeleton such as a substituted or unsubstituted saturated or unsaturated aliphatic hydrocarbon group and a substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group. The aliphatic hydrocarbon group may be linear, branched or cyclic. The monovalent organic group preferably has about 1 to 20 carbon atoms. These monovalent organic groups may contain bonds and substituents other than hydrocarbon groups such as heteroatoms such as oxygen and nitrogen.
As a bond other than a hydrocarbon group such as a hetero atom contained in a group having a hydrocarbon skeleton, an ether bond, a thioether bond, a carbonyl bond, an ester bond, an amide bond, a urethane bond, a carbonate bond, etc. A halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a cyano group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, an unsaturated alkyl ether group, an aryl ether group, an unsaturated alkyl thioether group, an aryl thioether group, and the like are exemplified, but not particularly limited.

1価の有機基の好ましいものとしては、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数4〜13の環状アルキル基、炭素数4〜13の環状アルケニル基、炭素数7〜16のフェノキシアルキル基、炭素数7〜20のアリールアルキル基、炭素数2〜11のシアノアルキル基、炭素数1〜10のヒドロキシアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数2〜11のアミド基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、炭素数1〜10のアシル基、炭素数2〜11のオキシアシル基、炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基および/または電子吸引性基が置換した炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基および/または電子吸引性基が置換したベンジル基等が挙げられる。
また、上記のアルキル部分は直鎖でも分岐でも環状でも良い。
Preferred examples of the monovalent organic group include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 4 to 13 carbon atoms, a cyclic alkenyl group having 4 to 13 carbon atoms, a phenoxyalkyl group having 7 to 16 carbon atoms, C7-20 arylalkyl group, C2-11 cyanoalkyl group, C1-10 hydroxyalkyl group, C1-10 alkoxy group, C2-11 amide group, carbon number 1 to 10 alkylthio groups, C1 to C10 acyl groups, C2 to C11 oxyacyl groups, C6 to C20 aryl groups, electron donating groups and / or electron withdrawing groups Examples thereof include 6-20 aryl groups, electron-donating groups, and / or benzyl groups substituted with electron-withdrawing groups.
The alkyl moiety may be linear, branched or cyclic.

炭素数1〜10のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、iso−ペンチル基、neo−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が挙げられる。炭素数4〜13の環状アルキル基としては、例えば、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基が挙げられる。炭素数4〜13のシクロアルケニル基としては、例えば、シクロブテニル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、シクロヘプチニル基、シクロオクテニル基が挙げられる。炭素数7〜16のフェノキシアルキル基としては、例えば、フェノキシメチル基、フェノキシエチル基、フェノキシ‐n‐プロピル基、フェノキシ‐iso‐プロピル基、フェノキシ‐n‐ブチル基、フェノキシ‐sec-ブチル基、フェノキシ‐tert‐ブチル基、フェノキシペンチル基、フェノキシ‐iso‐ペンチル基、フェノキシ‐neo‐ペンチル基、フェノキシヘキシル基が挙げられる。炭素数7〜20のアリールアルキル基としては、例えば、フェニルメチル基、フェニルエチル基、フェニル‐n‐プロピル基、フェニル‐iso‐プロピル基、フェニル‐n‐ブチル基、フェニル‐sec‐ブチル基、フェニル‐tert‐ブチル基、フェニルペンチル基、フェニル‐iso‐ペンチル基、フェニル‐neo‐ペンチル基、フェニルヘキシル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、ナフチル‐n‐プロピル基、ナフチル‐iso‐プロピル基、ナフチル‐n‐ブチル基、ナフチル‐sec‐ブチル基、ナフチル‐tert‐ブチル基、ナフチルペンチル基、ナフチル‐iso‐ペンチル基、ナフチル‐neo‐ペンチル基、ナフチルヘキシル基が挙げられる。炭素数2〜11のシアノアルキル基としては、例えば、シアノメチル基、シアノエチル基、シアノ‐n‐プロピル基、シアノ‐iso‐プロピル基、シアノ‐n‐ブチル基、シアノ‐sec‐ブチル基、シアノ‐tert‐ブチル基、シアノペンチル基、シアノ‐iso‐ペンチル基、シアノ‐neo‐ペンチル基、シアノヘキシル基が挙げられる。炭素数1〜10のヒドロキシアルキル基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシ‐n‐プロピル基、ヒドロキシ‐iso‐プロピル基、ヒドロキシ‐n‐ブチル基、ヒドロキシ‐sec‐ブチル基、ヒドロキシ‐tert‐ブチル基、ヒドロキシペンチル基、ヒドロキシ‐iso‐ペンチル基、ヒドロキシ‐neo‐ペンチル基、ヒドロキシヘキシル基が挙げられる。   Examples of the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and iso-pentyl. Group, neo-pentyl group, hexyl group, heptyl group and octyl group. Examples of the cyclic alkyl group having 4 to 13 carbon atoms include a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. Examples of the C 4-13 cycloalkenyl group include a cyclobutenyl group, a cyclopentenyl group, a cyclohexenyl group, a cycloheptynyl group, and a cyclooctenyl group. Examples of the phenoxyalkyl group having 7 to 16 carbon atoms include phenoxymethyl group, phenoxyethyl group, phenoxy-n-propyl group, phenoxy-iso-propyl group, phenoxy-n-butyl group, phenoxy-sec-butyl group, Examples include phenoxy-tert-butyl group, phenoxypentyl group, phenoxy-iso-pentyl group, phenoxy-neo-pentyl group, and phenoxyhexyl group. Examples of the arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms include phenylmethyl group, phenylethyl group, phenyl-n-propyl group, phenyl-iso-propyl group, phenyl-n-butyl group, phenyl-sec-butyl group, Phenyl-tert-butyl group, phenylpentyl group, phenyl-iso-pentyl group, phenyl-neo-pentyl group, phenylhexyl group, naphthylmethyl group, naphthylethyl group, naphthyl-n-propyl group, naphthyl-iso-propyl group Naphthyl-n-butyl group, naphthyl-sec-butyl group, naphthyl-tert-butyl group, naphthylpentyl group, naphthyl-iso-pentyl group, naphthyl-neo-pentyl group, naphthylhexyl group. Examples of the cyanoalkyl group having 2 to 11 carbon atoms include cyanomethyl group, cyanoethyl group, cyano-n-propyl group, cyano-iso-propyl group, cyano-n-butyl group, cyano-sec-butyl group, cyano- Examples thereof include tert-butyl group, cyanopentyl group, cyano-iso-pentyl group, cyano-neo-pentyl group, and cyanohexyl group. Examples of the hydroxyalkyl group having 1 to 10 carbon atoms include a hydroxymethyl group, a hydroxyethyl group, a hydroxy-n-propyl group, a hydroxy-iso-propyl group, a hydroxy-n-butyl group, a hydroxy-sec-butyl group, Examples thereof include a hydroxy-tert-butyl group, a hydroxypentyl group, a hydroxy-iso-pentyl group, a hydroxy-neo-pentyl group, and a hydroxyhexyl group.

炭素数1〜10のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、iso−プロポキシ基、n−ブトキシ基、sec−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、iso−ペンチルオキシ基、neo−ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基等が挙げられる。炭素数2〜11のアミド基としては、アセトアミド基等が挙げられる。炭素数1〜10のアルキルチオ基としては、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピルチオ基、iso−プロピルチオ基、n−ブチルチオ基、sec−ブチルチオ基、tert−ブチルチオ基、ペンチルチオ基、iso−ペンチルチオ基、neo−ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、ヘプチルチオ基、オクチルチオ基が挙げられる。炭素数1〜10のアシル基としては、ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、イソブチリル基、バレリル基、シクロヘキシルカルボニル基等が挙げられる。 炭素数2〜11のオキシアシル基としては、アセトキシ基等が挙げられる。炭素数6〜20のアリール基の例としては、フェニル基、トリル基、ナフチル基などが挙げられる。また、アリール基に置換されていても良い電子供与性基としては、例えば、水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、メトキシ基等が挙げられ、電子吸引性基としては、例えば、ニトロ基、カルボニル基、ニトリル基等が挙げられる。   Examples of the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms include methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, iso-propoxy group, n-butoxy group, sec-butoxy group, pentyloxy group, iso-pentyloxy group, and neo-pentyl. Examples thereof include an oxy group, a hexyloxy group, a heptyloxy group, and an octyloxy group. Examples of the amide group having 2 to 11 carbon atoms include an acetamide group. Examples of the alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms include methylthio group, ethylthio group, n-propylthio group, iso-propylthio group, n-butylthio group, sec-butylthio group, tert-butylthio group, pentylthio group, and iso-pentylthio group. Group, neo-pentylthio group, hexylthio group, heptylthio group, octylthio group. Examples of the acyl group having 1 to 10 carbon atoms include formyl group, acetyl group, propionyl group, isobutyryl group, valeryl group, and cyclohexylcarbonyl group. Examples of the oxyacyl group having 2 to 11 carbon atoms include an acetoxy group. Examples of the aryl group having 6 to 20 carbon atoms include a phenyl group, a tolyl group, and a naphthyl group. Examples of the electron donating group that may be substituted with the aryl group include a hydroxyl group, a halogen atom, an alkyl group, and a methoxy group. Examples of the electron withdrawing group include a nitro group, a carbonyl group, A nitrile group etc. are mentioned.

また、式(1)において、R〜Rは、互いに同一であっても異なっていても良く、それらが互いに結合を介して環状構造を形成していても良い。置換基が互いに結合を介して形成する環状構造とは、シクロヘキシル基等の脂肪族性の環構造だけでなく、例えば、R、Rに芳香環が結合してナフタレン構造をとるものなども含まれる。また、環構造は芳香族性の縮合環であっても、脂肪族性の環構造であっても良く、さらに環構成原子として炭素原子以外の異種原子を含んでいても良い。 In the formula (1), R 1 to R 5 may be the same as or different from each other, and they may form a cyclic structure through a bond. The cyclic structure formed by the substituents through a bond includes not only an aliphatic ring structure such as a cyclohexyl group, but also, for example, an aromatic ring bonded to R 2 and R 3 to form a naphthalene structure included. Further, the ring structure may be an aromatic condensed ring or an aliphatic ring structure, and may further contain a hetero atom other than a carbon atom as a ring constituent atom.

また、式(1)において、R〜Rは、式(1)における−O(C=O)NH−Rであっても良い。また、R〜Rは、−O(C=O)NH−Rで置換された芳香族炭化水素を含む置換基であっても良い。 In Formula (1), R 1 to R 5 may be —O (C═O) NH—R 6 in Formula (1). R 1 to R 5 may be a substituent containing an aromatic hydrocarbon substituted with —O (C═O) NH—R 6 .

本発明の塩基増殖剤は、上述のようなメカニズムによるので、式(1)に示されるR〜Rは、基本的にどのような構造であっても本発明が目的とする機能は発現する。加水分解のメカニズムから、カルバメート結合中のカルボニル基の炭素の電子密度が高いほど、分解されにくくなるので、特に、高い分解温度を必要とされる用途に対しては、式(1)に示されるR〜Rは、電子供与性基である事が好ましい。この場合の電子供与性基とは、水素原子に比べ結合電子側に電子を与えやすい置換基の事をいい(化学辞典 第一版 東京化学同人 p.929)、具体的には、水酸基、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、アルコキシ基、アルキルチオ基、オキシアシル基、アミド基、アルキル基、アリール基などが例示される。ここでのアルキル基には、直鎖又は分岐鎖アルキル基、環状アルキル基、フェノキシアルキル基、アリールアルキル基が含まれる。またアリール基には、水酸基、ハロゲン原子、アルキル基、メトキシ基等の電子供与性基が置換していても良いアリール基が含まれる。 Since the base proliferating agent of the present invention is based on the mechanism as described above, R 1 to R 5 represented by the formula (1) can exhibit the function intended by the present invention regardless of the structure. To do. From the hydrolysis mechanism, the higher the electron density of carbon of the carbonyl group in the carbamate bond, the more difficult it is to be decomposed. Therefore, particularly for applications that require a high decomposition temperature, the formula (1) shows. R 1 to R 5 are preferably electron donating groups. The electron donating group in this case refers to a substituent that can easily give an electron to the bonding electron side compared to a hydrogen atom (Chemical Dictionary, 1st edition, Tokyo Chemical Dojin, p.929). Examples include a primary amino group, a secondary amino group, a tertiary amino group, an alkoxy group, an alkylthio group, an oxyacyl group, an amide group, an alkyl group, and an aryl group. The alkyl group here includes a linear or branched alkyl group, a cyclic alkyl group, a phenoxyalkyl group, and an arylalkyl group. The aryl group includes an aryl group which may be substituted with an electron donating group such as a hydroxyl group, a halogen atom, an alkyl group, or a methoxy group.

も、同様に電子供与性であると、カルバメート結合中のカルボニル基の炭素の電子密度を高くする作用があるため、耐熱性が向上する点から、置換又は無置換の脂肪族炭化水素基、或いは置換又は無置換の芳香族炭化水素基を用いる。また、分解後のアミンの塩基性は高ければ高いほど、樹脂組成物中での硬化触媒としての作用が大きくなるので、その観点から、Rとしては、置換又は無置換の脂肪族炭化水素基であることが好ましい。 Similarly, when R 6 is also electron-donating, it has an action of increasing the electron density of carbon of the carbonyl group in the carbamate bond, so that heat resistance is improved, and therefore a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group. Alternatively, a substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group is used. Also, the higher the basicity of the amine after decomposition, the greater the action as a curing catalyst in the resin composition. From this point of view, R 6 is a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group. It is preferable that

前記式(1)においてRである脂肪族炭化水素基は、直鎖、分岐鎖、又は環状、或いはそれらの組み合わせからなり、炭素数1〜20であることが好ましい。Rの脂肪族炭化水素基としては、炭素骨格の途中に、エステル結合、エーテル結合、チオエーテル結合、アミド結合、ウレタン結合、ウレア結合、チオカルバメート結合、カルボジイミド結合、又は、カーボネート結合を含んでいても良い。
の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基としては、具体的には例えば、アダマンチル、ドデシル、ヘキサデシル、オクチル、シクロヘキシル、イソボルニル、ノルボルニル、へプチル、ペンチル、ベンジル、メチルベンジル、メトキシベンジル、クロロエチル、クロロプロピル、クロロベンジル、フルオロベンジル基等が挙げられる。
In the formula (1), the aliphatic hydrocarbon group represented by R 6 is linear, branched, cyclic, or a combination thereof, and preferably has 1 to 20 carbon atoms. The aliphatic hydrocarbon group for R 6 includes an ester bond, an ether bond, a thioether bond, an amide bond, a urethane bond, a urea bond, a thiocarbamate bond, a carbodiimide bond, or a carbonate bond in the middle of the carbon skeleton. Also good.
Specific examples of the substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group for R 6 include, for example, adamantyl, dodecyl, hexadecyl, octyl, cyclohexyl, isobornyl, norbornyl, heptyl, pentyl, benzyl, methylbenzyl, methoxybenzyl, and chloroethyl. , Chloropropyl, chlorobenzyl, fluorobenzyl group and the like.

本発明の塩基増殖剤を、樹脂組成物中に混合して用いる場合には、樹脂組成物の硬化性や、硬化後の物性、また、親和性・溶解性を持たせたい対象の溶媒、プロセスで加えられる温度などにより、その構造、物性を適宜調整することが好ましい。   When the base proliferating agent of the present invention is mixed and used in a resin composition, the curability of the resin composition, the physical properties after curing, and the target solvent or process to be given affinity / solubility It is preferable to appropriately adjust the structure and physical properties depending on the temperature applied in step (b).

本発明の塩基増殖剤の好適な一例としては、前記式(1)において、Rが電子供与性基であり、R,R,R,Rが水素であり、Rが、環状の脂肪族炭化水素基である化合物があげられる。このような場合には、十分な透明性と良好な耐熱性、溶解性を示し、広範な樹脂組成物に対して適用可能な汎用性の高い塩基増殖剤を得ることができる。上記のような構造の塩基増殖剤を用いると、硬化性が向上し、硬化膜の感度、硬度、強度、密着性等が改善されると共に、パターンのエッジ形状が良好になり、基材の現像による露出面の残渣が低減したり、現像時間が短縮されるような感光性樹脂組成物を得ることが可能になる。 As a suitable example of the base proliferating agent of the present invention, in the formula (1), R 3 is an electron donating group, R 1 , R 2 , R 4 , R 5 are hydrogen, and R 6 is Examples thereof include compounds having a cyclic aliphatic hydrocarbon group. In such a case, a highly versatile base proliferating agent that exhibits sufficient transparency, good heat resistance, and solubility and can be applied to a wide range of resin compositions can be obtained. When the base proliferating agent having the above structure is used, the curability is improved, the sensitivity, hardness, strength, adhesion, etc. of the cured film are improved, the pattern edge shape is improved, and the substrate is developed. It is possible to obtain a photosensitive resin composition in which the residue on the exposed surface due to the reduction is reduced and the development time is shortened.

本発明における塩基増殖剤は、公知の種々の手法を用いて合成することができる。例えば、Rがメトキシ基であり、R,R,R,Rが水素であり、Rが、シクロヘキシル基である化合物の場合は、4−メトキシフェノールと、シクロヘキシルイソシアネートを、ジブチル錫ジラウレートを触媒として乾燥させたテトラヒドロフラン中で、窒素気流下60℃で撹拌することで定量的に得ることが出来る。
他の手法として、4−メトキシフェニルクロロホルメートと、シクロヘキシルアミンとの縮合反応により合成する方法、等が挙げられる。
原料のコスト、入手の容易さ、市販されている種類などの観点から、水酸基を有する化合物とイソシアネートとの反応により合成することが、より低コストで製造できるので好ましい。
The base proliferating agent in the present invention can be synthesized using various known methods. For example, in the case of a compound in which R 3 is a methoxy group, R 1 , R 2 , R 4 , and R 5 are hydrogen and R 6 is a cyclohexyl group, 4-methoxyphenol and cyclohexyl isocyanate are mixed with dibutyl It can be obtained quantitatively by stirring at 60 ° C. under a nitrogen stream in tetrahydrofuran dried using tin dilaurate as a catalyst.
Other methods include a method of synthesizing by a condensation reaction of 4-methoxyphenyl chloroformate and cyclohexylamine.
From the viewpoints of cost of raw materials, availability, and commercially available types, it is preferable to synthesize by a reaction between a hydroxyl group-containing compound and an isocyanate because it can be produced at a lower cost.

本発明の塩基増殖剤を合成する手法をこれより具体的に例示するが、本発明は下記方法により限定されるものではない。
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、p−メトキシフェノール 1.24g[10mmol]、および乾燥させたテトラヒドロフラン(THF) 15mlを投入し、撹拌した。そこへシクロヘキシルイソシアネート 1.30ml[1.25g 10mmol]と ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下60℃に加熱しつつ、17時間撹拌をした。
この時、用いる反応溶媒は、テトラヒドロフラン(以下THF)に限定されず、最終生成物が溶解する溶媒であればよく、各種の有機極性溶媒が好適に用いられる。反応の収率を高める為には、反応に用いる器具、試薬はなるべく水分が反応系に混入しないような注意を払って行うと良い。
The method for synthesizing the base proliferating agent of the present invention will be illustrated more specifically, but the present invention is not limited by the following method.
A 100 ml three-necked flask was heated in a nitrogen stream and sufficiently dried. Then, with careful attention to moisture in the air, 1.24 g [10 mmol] of p-methoxyphenol and dried tetrahydrofuran (THF) 15 ml was added and stirred. Thereto, 1.30 ml [1.25 g 10 mmol] of cyclohexyl isocyanate and 2 drops of dibutyltin dilaurate were added, and the mixture was stirred for 17 hours while heating to 60 ° C. in a dried nitrogen stream.
At this time, the reaction solvent to be used is not limited to tetrahydrofuran (hereinafter referred to as THF), and may be any solvent in which the final product is dissolved, and various organic polar solvents are suitably used. In order to increase the yield of the reaction, it is preferable to carry out the equipment and reagents used for the reaction with care so that moisture is not mixed into the reaction system as much as possible.

先に述べた様に、ここで用いるイソシアン酸エステルはシクロヘキシルイソシアネート(イソシアン酸シクロヘキシル)だけでなく、目的に応じて適宜選択して用いる事が出来る。具体的には、イソシアン酸1−アダマンチル、イソシアン酸オクチル、イソシアン酸2−クロロエチル、イソシアン酸3−クロロプロピル、イソシアン酸2−クロロベンジル、イソシアン酸n−ドデシル、イソシアン酸トリクロロメチル、イソシアン酸4−フルオロベンジル、イソシアン酸ヘキサデシル、イソシアン酸n−ヘキシル、イソシアン酸ヘキシル、イソシアン酸へプチル、イソシアン酸ベンジル、イソシアン酸ペンチル、イソシアン酸2−メチルベンジル、イソシアン酸3−メチルベンジル、イソシアン酸4−メチルベンジル、イソシアン酸4−メトキシベンジル、イソシアン酸フェニルなどが挙げられる。   As described above, the isocyanate used here is not only cyclohexyl isocyanate (cyclohexyl isocyanate), but can be appropriately selected according to the purpose. Specifically, 1-adamantyl isocyanate, octyl isocyanate, 2-chloroethyl isocyanate, 3-chloropropyl isocyanate, 2-chlorobenzyl isocyanate, n-dodecyl isocyanate, trichloromethyl isocyanate, 4-isocyanate 4- Fluorobenzyl, hexadecyl isocyanate, n-hexyl isocyanate, hexyl isocyanate, heptyl isocyanate, benzyl isocyanate, pentyl isocyanate, 2-methylbenzyl isocyanate, 3-methylbenzyl isocyanate, 4-methylbenzyl isocyanate , 4-methoxybenzyl isocyanate, phenyl isocyanate and the like.

また、ここで用いる水酸基含有化合物も4−メトキシフェノールに限定されず、目的に応じて種々のフェノール性水酸基含有化合物を用いることができる。例えば、フェノール、ハイドロキノン、フロログリシノール、4−メトキシフェノール、2−メトキシフェノール、3−メトキシフェノール、2,6−ジメトキシフェノール、3,5−ジメトキシフェノール、4―エトキシフェノール、m−クレゾール、o−クレゾール、p−クレゾール、2,6−ジメチルフェノール、3,5−ジメチルフェノール、2,4,6−トリメチルフェノール、2,6−ジメトキシクレゾール、4−アセトキシフェノール、などが例示されるが、本発明の規定の範囲に含まれるものであれば、これらに限定されるものではない。   Further, the hydroxyl group-containing compound used here is not limited to 4-methoxyphenol, and various phenolic hydroxyl group-containing compounds can be used according to the purpose. For example, phenol, hydroquinone, phloroglicinol, 4-methoxyphenol, 2-methoxyphenol, 3-methoxyphenol, 2,6-dimethoxyphenol, 3,5-dimethoxyphenol, 4-ethoxyphenol, m-cresol, o- Examples include cresol, p-cresol, 2,6-dimethylphenol, 3,5-dimethylphenol, 2,4,6-trimethylphenol, 2,6-dimethoxycresol, 4-acetoxyphenol, and the like. As long as it is included in the prescribed range, it is not limited to these.

このように、数時間攪拌された反応液の溶媒を留去、または、水等に投入することで除去し、目的物を取り出す。これを、再結晶等の処理を行なうことで、本発明の塩基増殖剤を得ることができる。精製の方法は、再結晶に限定されず、昇華精製やカラムクロマトグライフィー等、公知のあらゆる方法を用いることが可能であるが、コストの観点から再結晶が好ましい。   In this manner, the solvent of the reaction liquid stirred for several hours is removed by distilling or throwing it into water or the like, and the target product is taken out. By performing a treatment such as recrystallization, the base proliferating agent of the present invention can be obtained. The purification method is not limited to recrystallization, and any known method such as sublimation purification or column chromatography can be used, but recrystallization is preferable from the viewpoint of cost.

本発明に係る塩基増殖剤は、ウレタン結合に芳香環が直接結合している為、共役構造がのび、ウレタン結合が安定であるため、耐熱性に優れる。加えて本発明の塩基増殖剤が、上記式(1)で表される構造の−O(C=O)NH−Rを2つ以上有する場合には、1分子から複数の塩基を発生させることが出来る為、発生する塩基1つ辺りの分子量が小さくなり、樹脂組成物に添加する際の添加量を削減することができる。 The base proliferating agent according to the present invention is excellent in heat resistance because the aromatic ring is directly bonded to the urethane bond, the conjugated structure is extended, and the urethane bond is stable. In addition, when the base proliferating agent of the present invention has two or more —O (C═O) NH—R 6 having the structure represented by the above formula (1), a plurality of bases are generated from one molecule. Therefore, the molecular weight per generated base is reduced, and the amount of addition when added to the resin composition can be reduced.

本発明の塩基増殖剤の分子量は、100〜3000であることが、取り扱いの容易さ、硬化性、溶解性・相溶性の観点から好ましい。100より小さい場合,芳香環とウレタン結合を分子内に含有することが出来ず、耐熱性を高めるという本発明の目的が達せられない。3000より大きい場合は、溶解性が低下したり、塩基の発生する部位が局在化しやすく、パターン形成材料に用いる場合に微細なパターンをマスクパターンどおりに再現しにくくなる。当該分子量は、本発明の塩基増殖剤が繰り返し単位を有する場合においては、重量平均分子量であって、ゲル浸透クロマトグラフィ−(GPC)によるポリスチレン換算の値をいう。   The molecular weight of the base proliferating agent of the present invention is preferably 100 to 3000 from the viewpoints of ease of handling, curability, solubility and compatibility. If it is less than 100, the aromatic ring and urethane bond cannot be contained in the molecule, and the object of the present invention to improve heat resistance cannot be achieved. When it is larger than 3000, the solubility is lowered or the site where the base is generated is likely to be localized, and when used as a pattern forming material, it becomes difficult to reproduce a fine pattern as the mask pattern. The molecular weight is a weight average molecular weight when the base proliferating agent of the present invention has a repeating unit, and refers to a value in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC).

本発明の塩基増殖剤を、感光性樹脂組成物の一成分として用いる場合には、感光性樹脂組成物の感度を高める為、一般的に感光性樹脂の露光に用いられる高圧水銀ランプの発光波長で、比較的強度の高い365nm(i線)405nm(h線)、436nm(g線)の3種の波長に吸収を出来るだけ持たないことが好ましい。具体的には、本発明の塩基増殖剤は400nm以上の波長域に吸収を持たないことが好ましく、360nm以上の波長域に吸収を持たないことがさらに好ましい。400nm以上に吸収を有すると、感光性樹脂組成物に添加した際に、光源からの光を吸収してしまい、感度の低下を招く。一般に露光に用いられる高圧水銀灯の主な発光波長が436nm(g線)、405nm(h線)、365nm(i線)であり、そのうち、最も発光強度が大きいのが365nmであることより、360nm以上の領域に吸収を持たないことがさらに好ましい。   When the base proliferating agent of the present invention is used as a component of a photosensitive resin composition, in order to increase the sensitivity of the photosensitive resin composition, the emission wavelength of a high-pressure mercury lamp generally used for exposure of the photosensitive resin Thus, it is preferable that the three wavelengths of 365 nm (i-line), 405 nm (h-line), and 436 nm (g-line) having relatively high intensity have as little absorption as possible. Specifically, the base proliferating agent of the present invention preferably has no absorption in a wavelength region of 400 nm or more, and more preferably has no absorption in a wavelength region of 360 nm or more. When absorption is at 400 nm or more, when added to the photosensitive resin composition, light from the light source is absorbed, resulting in a decrease in sensitivity. In general, the main emission wavelengths of a high-pressure mercury lamp used for exposure are 436 nm (g-line), 405 nm (h-line), and 365 nm (i-line), and among these, the largest emission intensity is 365 nm. More preferably, the region does not have absorption.

耐熱性の点から、本発明に係る塩基増殖剤の5%重量減少温度は、150℃以上であることが好ましく、190℃以上であることが更に好ましく、200℃以上であることがより更に好ましい。
ここで、5%重量減少温度とは、後述の本発明の実施例と同様の手法で、熱重量分析装置を用いて重量減少を測定した時に、サンプルの重量が初期重量から5%減少した時点(換言すればサンプル重量が初期の95%となった時点)の温度である。
From the viewpoint of heat resistance, the 5% weight loss temperature of the base proliferating agent according to the present invention is preferably 150 ° C. or higher, more preferably 190 ° C. or higher, and even more preferably 200 ° C. or higher. .
Here, the 5% weight reduction temperature is the time when the weight of the sample is reduced by 5% from the initial weight when the weight reduction is measured using a thermogravimetric analyzer in the same manner as in the examples of the present invention described later. (In other words, the temperature is 95% of the initial sample weight).

上記塩基増殖剤は、塗布適性、硬化後の透明性、露光時の感度等を向上させる点から、樹脂組成物に配合する時の溶解性が高いことが好ましい。
塗布時の塗工適性の点からは、塩基増殖剤は特に溶剤に対する溶解性が高いことが好ましい。具体的には、樹脂組成物に使用する溶剤、特に後述する汎用溶剤のいずれかに対する塩基増殖剤の溶解性が0.1重量%以上であることが好ましい。
The base proliferating agent preferably has high solubility when blended in the resin composition from the viewpoint of improving coating suitability, transparency after curing, sensitivity during exposure, and the like.
From the viewpoint of coating suitability at the time of coating, the base proliferating agent is particularly preferably highly soluble in a solvent. Specifically, it is preferable that the solubility of the base proliferating agent in the solvent used in the resin composition, particularly any of the general-purpose solvents described later, is 0.1% by weight or more.

次に、本発明に係る樹脂組成物について説明する。
本発明に係る樹脂組成物は、前記本発明に係る塩基増殖剤、及び塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物を必須成分として含有するものであり、更に必要に応じて、光、又は熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物(光又は熱塩基発生剤)、高分子量のバインダー成分など、他の成分を含有しても良い。
Next, the resin composition according to the present invention will be described.
The resin composition according to the present invention contains the base proliferating agent according to the present invention and a compound that accelerates curing or condensation reaction by the action of a base as essential components, and further, if necessary, light, or You may contain other components, such as a compound (light or a heat base generator) which produces | generates an amino compound by the effect | action of a heat | fever, and a high molecular weight binder component.

本発明に係る樹脂組成物は、所定のパターンに塗布するか或いは所定の形状に成形した後に熱などの刺激を与えることにより、前記本発明に係る塩基増殖剤の分解反応が進行し、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物の硬化及び/又は溶解性の変化を引き起こす。本発明に係る樹脂組成物は、前記本発明に係る塩基増殖剤を必須成分として含有しているので、硬化反応前の耐熱性に優れ、しかも低コストであるというメリットがある。   The resin composition according to the present invention is applied to a predetermined pattern or formed into a predetermined shape, and then a stimulus such as heat is applied to cause the decomposition reaction of the base proliferating agent according to the present invention to proceed. The action causes a change in the curing and / or solubility of the compound that accelerates the curing or condensation reaction. Since the resin composition according to the present invention contains the base proliferating agent according to the present invention as an essential component, there is an advantage that it is excellent in heat resistance before the curing reaction and is low in cost.

特に、前記本発明に係る塩基増殖剤が、光塩基発生剤と一緒に樹脂組成物中に含有される場合には、本発明に係る樹脂組成物は感光性樹脂組成物として用いることができる。本発明に係る感光性樹脂組成物は、塗布するか或いは所定の形状に成形した後に光照射を行うと、光照射部で光塩基発生剤により塩基が発生する。その後、適度な温度で加熱をすることにより、塩基増殖剤が光塩基発生剤より発生した塩基の触媒作用で、分解され、塩基を生成させる。その後、さらに加熱を行うことにより、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物の種類によって重合反応や、脱水閉環反応等、さまざまな反応が進行し、硬化及び/又は溶解性の変化を引き起こす。従って、適宜マスク等を用いてパターン状に光照射した場合には、光照射した部分のみが塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進されて適度な加熱により硬化されるため、適当に選ばれた溶媒や水溶液で未露光部を溶出することにより、所望のパターンを形成することができる。更に、用いられる本発明に係る塩基増殖剤がポリアミック酸のような加熱により脱水縮合反応を起こす化合物と共に用いられる場合には、本発明に係る感光性樹脂組成物は、パターン状に光照射した後に、加熱を行った後、未露光部のみをアルカリ溶液により現像することにより、所望のパターンを形成することができる。   In particular, when the base proliferating agent according to the present invention is contained in a resin composition together with a photobase generator, the resin composition according to the present invention can be used as a photosensitive resin composition. When the photosensitive resin composition according to the present invention is irradiated with light after being applied or formed into a predetermined shape, a base is generated by the photobase generator in the light irradiation portion. Thereafter, by heating at an appropriate temperature, the base proliferating agent is decomposed by the catalytic action of the base generated from the photobase generator to generate a base. Thereafter, by further heating, various reactions such as a polymerization reaction and a dehydration ring closure reaction proceed depending on the type of the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base, thereby causing a change in curing and / or solubility. . Therefore, when light is irradiated in a pattern using an appropriate mask or the like, only the light-irradiated portion is cured by appropriate heating because the curing or condensation reaction is promoted by the action of the base, and thus it is appropriately selected. A desired pattern can be formed by eluting unexposed portions with a solvent or an aqueous solution. Furthermore, when the base proliferating agent according to the present invention used is used together with a compound that causes a dehydration condensation reaction by heating such as polyamic acid, the photosensitive resin composition according to the present invention is subjected to light irradiation in a pattern shape. After heating, a desired pattern can be formed by developing only the unexposed area with an alkaline solution.

本発明に係る樹脂組成物が充分な効果を発揮するためには、前記本発明に係る塩基増殖剤は、樹脂組成物の固形分全体の0.1重量%以上であることが、樹脂組成物の硬化速度が遅くなることを防ぐ点から好ましい。前記本発明に係る塩基増殖剤は、樹脂組成物の固形分全体の1重量%以上であることが、高感度化の点から、更に好ましい。なお、樹脂組成物の固形分とは溶剤以外の全成分であり、液状のモノマー成分も固形分に含まれる。   In order for the resin composition according to the present invention to exhibit a sufficient effect, the base proliferating agent according to the present invention is 0.1% by weight or more of the total solid content of the resin composition. It is preferable from the point which prevents that the cure rate becomes slow. The base proliferating agent according to the present invention is more preferably 1% by weight or more based on the total solid content of the resin composition from the viewpoint of high sensitivity. In addition, solid content of a resin composition is all components other than a solvent, and a liquid monomer component is also contained in solid content.

一方、本発明の樹脂組成物に用いられる、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物は、塩基の触媒作用によって硬化又は縮合反応を促進する置換基を有する化合物である。塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物は、本発明の塩基増殖剤と共に用いられることで、反応時間の短縮や反応温度の低減といった目的を達成できるものである。
前記本発明に係る塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物としては、例えば、エポキシ基、オキセタニル基を1つ又は2つ以上有する化合物を用いることができる。
On the other hand, the compound used in the resin composition of the present invention that accelerates the curing or condensation reaction by the action of a base is a compound having a substituent that promotes the curing or condensation reaction by the catalytic action of a base. A compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of a base can be used together with the base proliferating agent of the present invention to achieve the purpose of shortening the reaction time or reducing the reaction temperature.
As a compound which accelerates | stimulates hardening or a condensation reaction by the effect | action of the base which concerns on the said invention, the compound which has 1 or 2 or more of epoxy groups and oxetanyl groups can be used, for example.

上記のエポキシ基を有する化合物のうち、単官能エポキシ化合物の例としては、例えば、フェニルグリシジルエーテル、p−tert−ブチルフェニルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、1,2−ブチレンオキサイド、1,3−ブタジエンモノオキサイド、1,2−エポキシドデカン、エピクロロヒドリン、1,2−エポキシデカン、スチレンオキサイド、シクロヘキセンオキサイド、3−メタクリロイルオキシメチルシクロヘキセンオキサイド、3−アクリロイルオキシメチルシクロヘキセンオキサイド、3−ビニルシクロヘキセンオキサイド等が挙げられる。   Among the compounds having an epoxy group, examples of monofunctional epoxy compounds include, for example, phenyl glycidyl ether, p-tert-butylphenyl glycidyl ether, butyl glycidyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, 1, 2-butylene oxide, 1,3-butadiene monooxide, 1,2-epoxydodecane, epichlorohydrin, 1,2-epoxydecane, styrene oxide, cyclohexene oxide, 3-methacryloyloxymethylcyclohexene oxide, 3-acryloyloxy Examples include methylcyclohexene oxide and 3-vinylcyclohexene oxide.

また、エポキシ基を2つ以上有する多官能エポキシ化合物の例としては、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールSジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールAジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールFジグリシジルエーテル、臭素化ビスフェノールSジグリシジルエーテル、エポキシノボラック樹脂、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールFジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールSジグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3',4'−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル−5,5−スピロ−3,4−エポキシ)シクロヘキサン−メタ−ジオキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビニルシクロヘキセンオキサイド、4−ビニルエポキシシクロヘキサン、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル−3',4'−エポキシ−6'−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールのジ(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)エーテル、エチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジ−2−エチルヘキシル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル類、1,1,3−テトラデカジエンジオキサイド、リモネンジオキサイド、1,2,7,8−ジエポキシオクタン、1,2,5,6−ジエポキシシクロオクタン等があげられる。
多官能化合物を用いることにより、より架橋密度の高い、硬く耐熱性の高い化合物を得ることが出来る。
Examples of polyfunctional epoxy compounds having two or more epoxy groups include, for example, bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol S diglycidyl ether, brominated bisphenol A diglycidyl ether, and brominated bisphenol F. Diglycidyl ether, brominated bisphenol S diglycidyl ether, epoxy novolac resin, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol F diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol S diglycidyl ether, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′ , 4′-epoxycyclohexanecarboxylate, 2- (3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy) cyclohexane-meta-dioxane, bi (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, vinylcyclohexylene oxide, 4-vinylepoxycyclohexane, bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl) adipate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexyl-3 ′ , 4′-epoxy-6′-methylcyclohexanecarboxylate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane), dicyclopentadiene diepoxide, ethylene glycol di (3,4-epoxycyclohexylmethyl) ether, ethylene bis (3,4 4-epoxycyclohexanecarboxylate), dioctyl epoxyhexahydrophthalate, di-2-ethylhexyl epoxyhexahydrophthalate, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanedi All diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ethers, 1,1,3-tetradecadiene dioxide, limonene dioxide, 1,2, Examples include 7,8-diepoxyoctane and 1,2,5,6-diepoxycyclooctane.
By using a polyfunctional compound, it is possible to obtain a hard, high heat-resistant compound having a higher crosslinking density.

上記のオキセタニル基を有する化合物のうち、単官能オキセタンの例としては、例えば、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン、3−(メタ)アリルオキシメチル−3−エチルオキセタン、(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチルベンゼン、4−フルオロ−〔1−(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル〕ベンゼン、4−メトキシ−〔1−(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル〕ベンゼン、〔1−(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)エチル〕フェニルエーテル、イソブトキシメチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、イソボルニルオキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、イソボルニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、2−エチルヘキシル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、エチルジエチレングリコール(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンタジエン(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルオキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、テトラヒドロフルフリル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、テトラブロモフェニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、2−テトラブロモフェノキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリブロモフェニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、2−トリブロモフェノキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、2−ヒドロキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、2−ヒドロキシプロピル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ブトキシエチル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ペンタクロロフェニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ペンタブロモフェニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ボルニル(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル等が挙げられる。   Among the compounds having an oxetanyl group, examples of monofunctional oxetane include, for example, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 3- (meth) allyloxymethyl-3-ethyloxetane, (3-ethyl-3 -Oxetanylmethoxy) methylbenzene, 4-fluoro- [1- (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 4-methoxy- [1- (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, [ 1- (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) ethyl] phenyl ether, isobutoxymethyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, isobornyloxyethyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, isobornyl (3-Ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 2-ethyl Ruhexyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ethyldiethylene glycol (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentadiene (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyloxyethyl (3- Ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetrahydrofurfuryl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetrabromophenyl (3-ethyl-3-oxetanyl) Methyl) ether, 2-tetrabromophenoxyethyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tribromophenyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 2-tribromophenoxyethyl (3- Til-3-oxetanylmethyl) ether, 2-hydroxyethyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 2-hydroxypropyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, butoxyethyl (3-ethyl-3- Oxetanylmethyl) ether, pentachlorophenyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentabromophenyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, bornyl (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, and the like. .

オキセタニル基を2つ以上有する多官能オキセタンの例としては、例えば、3,7−ビス(3−オキセタニル)−5−オキサ−ノナン、3,3'−(1,3−(2−メチレニル)プロパンジイルビス(オキシメチレン))ビス−(3−エチルオキセタン)、1,4−ビス〔(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル〕ベンゼン、1,2−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エタン、1,3−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]プロパン、エチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジシクロペンテニルビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、テトラエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリシクロデカンジイルジメチレン(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、トリメチロールプロパントリス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、1,4−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ブタン、1,6−ビス(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)ヘキサン、ペンタエリスリトールトリス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ポリエチレングリコールビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジペンタエリスリトールテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、ジトリメチロールプロパンテトラキス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、PO変性ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、PO変性水添ビスフェノールAビス(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル、EO変性ビスフェノールF(3−エチル−3−オキセタニルメチル)エーテル等の多官能オキセタンが挙げられる。   Examples of polyfunctional oxetanes having two or more oxetanyl groups include 3,7-bis (3-oxetanyl) -5-oxa-nonane, 3,3 ′-(1,3- (2-methylenyl) pro Pandiylbis (oxymethylene)) bis- (3-ethyloxetane), 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,2-bis [(3-ethyl-3-oxetanyl) Methoxy) methyl] ethane, 1,3-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] propane, ethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dicyclopentenyl bis (3-ethyl- 3-oxetanylmethyl) ether, triethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tetraethyl Lenglycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, tricyclodecanediyldimethylene (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, trimethylolpropane tris (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, 1 , 4-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) butane, 1,6-bis (3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) hexane, pentaerythritol tris (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, pentaerythritol Tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, polyethylene glycol bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol hexakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol Olpentakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, dipentaerythritol tetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified dipentaerythritol hexakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, caprolactone-modified Dipentaerythritol pentakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, ditrimethylolpropanetetrakis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO-modified bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified hydrogenated bisphenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, PO-modified hydrogenated Scan phenol A bis (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) ether, EO-modified bisphenol F (3-ethyl-3-oxetanylmethyl) include polyfunctional oxetanes such as ether.

また、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物の他の例としては、ポリイミド 前駆体であるポリアミック酸、ポリベンゾオキサゾール前駆体であるポリヒドロキシアミドなどが挙げられる。
本発明に係る樹脂組成物においては、上記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物として、ポリアミック酸を組み合わせることが好ましい。ポリアミック酸はアルカリ可溶性を有するポリイミド前駆体であり、ポリアミック酸を用いると耐熱性及び機械特性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。
ポリアミック酸はイミド化の温度を高くする必要があり、従来の塩基増殖剤はポリアミック酸と共に使用するためには耐熱性の点で問題があったが、本発明の塩基増殖剤は耐熱性が高いので好適に組み合わせることができる。
また上述のように、本発明の塩基増殖剤は、その塩基増殖反応機構が加水分解によるものであるため、水、又は、水を供給できる官能基(アミック酸、ジカルボン酸等)と共に用いられると、特に塩基を増殖する反応の進行が早くなる。
従って、本発明によれば、従来、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを取りにくかったポリアミック酸についても、本発明の加水分解反応による塩基増殖剤との組み合わせにより、溶解阻害剤、溶解抑制剤の適用なしで良好なパターン形状を得ることができる。
Other examples of the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of a base include polyamic acid that is a polyimide precursor, polyhydroxyamide that is a polybenzoxazole precursor, and the like.
In the resin composition according to the present invention, it is preferable to combine a polyamic acid as a compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base. A polyamic acid is a polyimide precursor having alkali solubility, and when a polyamic acid is used, a photosensitive resin composition excellent in heat resistance and mechanical properties can be obtained.
The polyamic acid needs to have a high imidation temperature, and the conventional base proliferating agent has a problem in terms of heat resistance for use with the polyamic acid, but the base proliferating agent of the present invention has high heat resistance. Therefore, it can combine suitably.
Further, as described above, the base proliferating agent of the present invention has water base or a functional group capable of supplying water (such as amic acid and dicarboxylic acid) because the base proliferative reaction mechanism is based on hydrolysis. In particular, the progress of the reaction of proliferating the base is accelerated.
Therefore, according to the present invention, a polyamic acid, which has conventionally been difficult to obtain a solubility contrast between the exposed portion and the unexposed portion, is also dissolved by the combination with the base proliferating agent by the hydrolysis reaction of the present invention. A good pattern shape can be obtained without application of a dissolution inhibitor.

ポリイミド前駆体又はポリベンゾオキサゾール前駆体のように、塩基の触媒作用によって熱硬化温度が低下する高分子前駆体を用いる場合には、先ず、そのような高分子前駆体と光塩基発生剤と前記本発明に係る塩基増殖剤を組み合わせた感光性樹脂組成物の塗膜又は成形体上のパターンを残したい部分に電磁波を照射する。すると、照射部には、塩基性物質が発生及び増殖し、その部分の熱硬化温度が選択的に低下する。次に、照射部は熱硬化するが、非照射部は熱硬化しない処理温度で加熱し、照射部のみ硬化させる。次に、所定の現像液(有機溶媒や塩基性水溶液等)で非照射部を溶解して熱硬化物からなるパターンを形成する。このパターンを、更に必要に応じ加熱して熱硬化を完結させる。以上の工程によって、所望の2次元樹脂パターン(一般的な平面パターン)又は3次元樹脂パターン(立体的に成形された形状)が得られる。
このようにパターンを形成する感光性樹脂組成物に用いられる塩基増殖剤としては、上記高分子前駆体の照射部のみ硬化する加熱温度において、自身が分解して塩基を発生させないという耐熱性が必要である。本発明に係る塩基増殖剤は、耐熱性が高く、熱分解温度が高いので、例えば160℃など上記高分子前駆体の照射部のみ硬化する加熱温度においても、未露光部の塩基増殖剤は安定であり塩基を発生させることなく、好適にパターンを形成することが可能である。感光性樹脂組成物に用いられる本発明に係る塩基増殖剤は、組み合わせて用いられる高分子前駆体の熱硬化温度との兼ね合いで、その5%重量減少温度を参考にして、適宜選択して用いる。
When using a polymer precursor whose thermosetting temperature is lowered by the catalytic action of a base, such as a polyimide precursor or a polybenzoxazole precursor, first, such a polymer precursor, a photobase generator, An electromagnetic wave is irradiated to the part which wants to leave the pattern on the coating film or molded object of the photosensitive resin composition which combined the base proliferation agent based on this invention. Then, a basic substance is generated and propagated in the irradiated portion, and the thermosetting temperature of that portion is selectively lowered. Next, while the irradiated portion is thermally cured, the non-irradiated portion is heated at a processing temperature that is not thermally cured, and only the irradiated portion is cured. Next, a non-irradiated portion is dissolved with a predetermined developer (such as an organic solvent or a basic aqueous solution) to form a pattern made of a thermoset. This pattern is further heated as necessary to complete thermosetting. Through the above steps, a desired two-dimensional resin pattern (general plane pattern) or three-dimensional resin pattern (three-dimensionally shaped shape) is obtained.
The base proliferating agent used in the photosensitive resin composition that forms a pattern in this way must have heat resistance so that it does not decompose and generate a base at the heating temperature at which only the irradiated portion of the polymer precursor is cured. It is. Since the base proliferating agent according to the present invention has high heat resistance and high thermal decomposition temperature, the base proliferating agent in the unexposed part is stable even at a heating temperature at which only the irradiated part of the polymer precursor is cured, such as 160 ° C. Therefore, it is possible to form a pattern suitably without generating a base. The base proliferating agent according to the present invention used in the photosensitive resin composition is selected as appropriate in consideration of the 5% weight reduction temperature in consideration of the thermosetting temperature of the polymer precursor used in combination. .

ポリアミック酸を製造する方法としては、従来公知の手法を適用することができる。例えば、(1)酸二無水物とジアミンから前駆体であるポリアミック酸を合成する手法。(2)酸二無水物に1価のアルコールやアミノ化合物、エポキシ化合物等を反応させ合成した、エステル酸やアミド酸モノマーのカルボン酸に、ジアミノ化合物やその誘導体を反応させてポリイミド前駆体を合成する手法などが挙げられるがこれに限定されない。   As a method for producing a polyamic acid, conventionally known methods can be applied. For example, (1) A technique of synthesizing a polyamic acid as a precursor from an acid dianhydride and a diamine. (2) A polyimide precursor is synthesized by reacting a carboxylic acid such as an ester acid or an amic acid monomer with a monohydric alcohol, an amino compound, or an epoxy compound synthesized with an acid dianhydride. However, the method is not limited to this.

上記ポリアミック酸に適用可能な酸二無水物としては、例えば、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、1,3−ビス〔(3,4−ジカルボキシ)ベンゾイル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔(3,4−ジカルボキシ)ベンゾイル〕ベンゼン二無水物、2,2−ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}プロパン二無水物、   Examples of the acid dianhydride applicable to the polyamic acid include ethylene tetracarboxylic dianhydride, butane tetracarboxylic dianhydride, cyclobutane tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane tetracarboxylic dianhydride, pyro Merit acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4 '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 6,6'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2- Bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) Nyl) ether dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ) Methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoro Propane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 1,3-bis [(3,4- Dicarboxy) benzoyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [(3,4-dicarboxy) benzoyl] benzene dianhydride, 2,2-bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) Phenoxy] phenyl} propane Thing,

2,2−ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}プロパン二無水物、ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、4,4’−ビス〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕ビフェニル二無水物、4,4’−ビス〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕ビフェニル二無水物、ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}ケトン二無水物、ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルホン二無水物、ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルホン二無水物、ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルフィド二無水物、ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}スルフィド二無水物、2,2−ビス{4−〔4−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルプロパン二無水物、2,2−ビス{4−〔3−(1,2−ジカルボキシ)フェノキシ〕フェニル}−1,1,1,3,3,3−プロパン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ぺリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらは単独あるいは2種以上混合して用いられる。そして、特に好ましく用いられるテトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物が挙げられる。 2,2-bis {4- [3- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} propane dianhydride, bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} ketone dianhydride Bis {4- [3- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} ketone dianhydride, 4,4′-bis [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] biphenyl dianhydride, 4,4′-bis [3- (1,2-dicarboxy) phenoxy] biphenyl dianhydride, bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} ketone dianhydride, bis { 4- [3- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} ketone dianhydride, bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} sulfone dianhydride, bis {4- [3- (1,2-dicarbo Cis) phenoxy] phenyl} sulfone dianhydride, bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} sulfide dianhydride, bis {4- [3- (1,2-dicarboxy) Phenoxy] phenyl} sulfide dianhydride, 2,2-bis {4- [4- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} -1,1,1,3,3,3-hexafulpropane dianhydride 2,2-bis {4- [3- (1,2-dicarboxy) phenoxy] phenyl} -1,1,1,3,3,3-propane dianhydride, 2,3,6,7 -Naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzene Tetracarboxylic dianhydride, 3,4,9, 0 Bae Li Ren dianhydride, 2,3,6,7-anthracene tetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrene tetracarboxylic acid dianhydride, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. And as a particularly preferred tetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetra Carboxylic dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 2,2-bis (3,4-di Carboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride.

併用する酸二無水物としてフッ素が導入された酸二無水物や、脂環骨格を有する酸二無
水物を用いると、ポリイミド前駆体の透明性が向上する。また、ピロメリット酸無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物などの剛直な酸二無水物を用いると、最終的に得られるポリイミドの線熱膨張係数が小さくなる。
When an acid dianhydride into which fluorine is introduced or an acid dianhydride having an alicyclic skeleton is used as the acid dianhydride to be used in combination, the transparency of the polyimide precursor is improved. Also, rigid acid dianhydrides such as pyromellitic acid anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, etc. When used, the linear thermal expansion coefficient of the finally obtained polyimide becomes small.

一方、アミン成分も、1種類のジアミン単独で、または2種類以上のジアミンを併用して用いることができる。用いられるジアミン成分は限定されるわけではないが、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ジ(3−アミノフェニル)プロパン、2,2−ジ(4−アミノフェニル)プロパン、2−(3−アミノフェニル)−2−(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ジ(3−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ジ(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2−(3−アミノフェニル)−2−(4−アミノフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,1−ジ(3−アミノフェニル)−1−フェニルエタン、1,1−ジ(4−アミノフェニル)−1−フェニルエタン、1−(3−アミノフェニル)−1−(4−アミノフェニル)−1−フェニルエタン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−α,α−ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−α,α−ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−α,α−ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−α,α−ジトリフルオロメチルベンジル)ベンゼン、2,6−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゾニトリル、2,6−ビス(3−アミノフェノキシ)ピリジン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、   On the other hand, the amine component can also be used alone or in combination of two or more diamines. The diamine component used is not limited, but p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diamino. Diphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4 '-Diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4' -Diaminodiph Nylmethane, 2,2-di (3-aminophenyl) propane, 2,2-di (4-aminophenyl) propane, 2- (3-aminophenyl) -2- (4-aminophenyl) propane, 2,2 -Di (3-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-di (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexa Fluoropropane, 2- (3-aminophenyl) -2- (4-aminophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,1-di (3-aminophenyl) -1 -Phenylethane, 1,1-di (4-aminophenyl) -1-phenylethane, 1- (3-aminophenyl) -1- (4-aminophenyl) -1-phenylethane, 1,3-bis ( 3-Aminophenoxy) benzene, 1,3 Bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminobenzoyl) benzene, 1, 3-bis (4-aminobenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-aminobenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-aminobenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-α, α -Dimethylbenzyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,4-bis ( 4-amino-α, α-dimethylbenzyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-α, α-ditrifluoromethylbenzyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-α, α-dito Trifluoromethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-α, α-ditrifluoromethylbenzyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-α, α-ditrifluoromethylbenzyl) benzene, 2 , 6-bis (3-aminophenoxy) benzonitrile, 2,6-bis (3-aminophenoxy) pyridine, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-amino) Phenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide,

ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、4,4’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、4,4’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ]ジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、6,6’−ビス(3−アミノフェノキシ)−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインダン、6,6’−ビス(4−アミノフェノキシ)−3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインダン、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,3−ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−アミノブチル)ポリジメチルシロキサン、ビス(アミノメチル)エーテル、ビス(2−アミノエチル)エーテル、ビス(3−アミノプロピル)エーテル、ビス(2−アミノメトキシ)エチル]エーテル、ビス[2−(2−アミノエトキシ)エチル]エーテル、ビス[2−(3−アミノプロトキシ)エチル]エーテル、 Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-amino) Phenoxy) phenyl] ether, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3- (3-Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3 3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] ben 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-amino Phenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) -Α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 4,4'-bis [4- (4-aminophenoxy) benzoyl ] Diphenyl ether, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzen) ) Phenoxy] diphenylsulfone, 4,4′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy] diphenylsulfone, 3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4 , 4′-Dibiphenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3,3′-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 6,6′-bis (3-aminophenoxy) -3,3 3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindane, 6,6′-bis (4-aminophenoxy) -3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindane, , 3-bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, 1,3-bis (4-aminobutyl) tetramethyldisiloxane, α, ω-bis ( -Aminopropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (3-aminobutyl) polydimethylsiloxane, bis (aminomethyl) ether, bis (2-aminoethyl) ether, bis (3-aminopropyl) ether, bis ( 2-aminomethoxy) ethyl] ether, bis [2- (2-aminoethoxy) ethyl] ether, bis [2- (3-aminoprotoxy) ethyl] ether,

1,2−ビス(アミノメトキシ)エタン、1,2−ビス(2−アミノエトキシ)エタン、1,2−ビス[2−(アミノメトキシ)エトキシ]エタン、1,2−ビス[2−(2−アミノエトキシ)エトキシ]エタン、エチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル、ジエチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル、トリエチレングリコールビス(3−アミノプロピル)エーテル、エチレンジアミン、1,3−ジアミノプロパン、1,4−ジアミノブタン、1,5−ジアミノペンタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,7−ジアミノヘプタン、1,8−ジアミノオクタン、1,9−ジアミノノナン、1,10−ジアミノデカン、1,11−ジアミノウンデカン、1,12−ジアミノドデカン、1,2−ジアミノシクロヘキサン、1,3−ジアミノシクロヘキサン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,2−ジ(2−アミノエチル)シクロヘキサン、1,3−ジ(2−アミノエチル)シクロヘキサン、1,4−ジ(2−アミノエチル)シクロヘキサン、ビス(4−アミノシクロへキシル)メタン、2,6−ビス(アミノメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,5−ビス(アミノメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、また、上記ジアミンの芳香環上水素原子の一部若しくは全てをフルオロ基、メチル基、メトキシ基、トリフルオロメチル基、又はトリフルオロメトキシ基から選ばれた置換基で置換したジアミンも使用することができる。
さらに目的に応じ、架橋点となるエチニル基、ベンゾシクロブテン−4’−イル基、ビニル基、アリル基、シアノ基、イソシアネート基、及びイソプロペニル基のいずれか1種又は2種以上を、上記ジアミンの芳香環上水素原子の一部若しくは全てに置換基として導入しても使用することができる。
1,2-bis (aminomethoxy) ethane, 1,2-bis (2-aminoethoxy) ethane, 1,2-bis [2- (aminomethoxy) ethoxy] ethane, 1,2-bis [2- (2 -Aminoethoxy) ethoxy] ethane, ethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, diethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, triethylene glycol bis (3-aminopropyl) ether, ethylenediamine, 1,3-diaminopropane, 1,4-diaminobutane, 1,5-diaminopentane, 1,6-diaminohexane, 1,7-diaminoheptane, 1,8-diaminooctane, 1,9-diaminononane, 1,10-diaminodecane, 1, 11-diaminoundecane, 1,12-diaminododecane, 1,2-diaminocyclohex 1,3-diaminocyclohexane, 1,4-diaminocyclohexane, 1,2-di (2-aminoethyl) cyclohexane, 1,3-di (2-aminoethyl) cyclohexane, 1,4-di (2- Aminoethyl) cyclohexane, bis (4-aminocyclohexyl) methane, 2,6-bis (aminomethyl) bicyclo [2.2.1] heptane, 2,5-bis (aminomethyl) bicyclo [2.2. 1] A diamine obtained by substituting some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring of the above diamine with a substituent selected from a fluoro group, a methyl group, a methoxy group, a trifluoromethyl group, or a trifluoromethoxy group. Can be used.
Furthermore, depending on the purpose, any one or two or more of the ethynyl group, benzocyclobuten-4′-yl group, vinyl group, allyl group, cyano group, isocyanate group, and isopropenyl group serving as a crosslinking point, Even if it introduce | transduces into some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring of diamine as a substituent, it can be used.

ジアミンは、目的の物性によって選択することができ、p−フェニレンジアミンなどの剛直なジアミンを用いれば、最終的に得られるポリイミドは低膨張率となる。剛直なジアミンとしては、同一の芳香環に2つアミノ基が結合しているジアミンとして、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、1,4−ジアミノナフタレン、1,5−ジアミノナフタレン、2、6−ジアミノナフタレン、2,7−ジアミノナフタレン、1,4−ジアミノアントラセンなどが挙げられる。   The diamine can be selected depending on the desired physical properties. If a rigid diamine such as p-phenylenediamine is used, the finally obtained polyimide has a low expansion coefficient. Rigid diamines include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 1,4-diaminonaphthalene, 1,5-diaminonaphthalene, 2, 6 as diamines in which two amino groups are bonded to the same aromatic ring. -Diaminonaphthalene, 2,7-diaminonaphthalene, 1,4-diaminoanthracene and the like can be mentioned.

また、前記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物の分子量は1000以上であることが、塗布後の作業性の点から好ましい。より好ましくは、当該化合物の分子量は2000以上である。当該分子量は、本発明に用いられる塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物が繰り返し単位を有する場合においては、重量平均分子量であって、ゲル浸透クロマトグラフィ−(GPC)によるポリスチレン換算の値をいう。   Moreover, it is preferable from the point of workability | operativity after application | coating that the molecular weight of the compound which accelerates | stimulates hardening or a condensation reaction by the effect | action of the said base is 1000 or more. More preferably, the compound has a molecular weight of 2000 or more. The molecular weight is a weight average molecular weight in the case where the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base used in the present invention has a repeating unit, and is a polystyrene equivalent value by gel permeation chromatography (GPC). Say.

前記塩基増殖剤や前記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物は単独で使用することも、組み合わせて使用することもできる。これら前記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物の好ましい配合割合は、樹脂組成物の固形分全体に対して1重量%以上99重量%以下で、より好ましくは、5重量%以上95重量%以下である。   The base proliferating agent and the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base can be used alone or in combination. A preferable blending ratio of the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base is 1% by weight or more and 99% by weight or less, more preferably 5% by weight or more and 95% by weight with respect to the entire solid content of the resin composition. % Or less.

本発明の樹脂組成物を光の照射の有無により部分的に硬化させる際には、(感光性樹脂組成物として使用する際には)露光の有無による塩基の存在の分布を形成するためには、光塩基発生剤を添加することが好ましい。
光塩基発生剤としては、公知の光塩基発生剤を用いることが出来る。光塩基発生剤としては、例えば、以下のオキシムエステル系化合物、オキシムエステル系高分子が挙げられる。
When partially curing the resin composition of the present invention with or without light irradiation (when used as a photosensitive resin composition), in order to form a distribution of the presence of bases with or without exposure It is preferable to add a photobase generator.
A known photobase generator can be used as the photobase generator. Examples of the photobase generator include the following oxime ester compounds and oxime ester polymers.

Figure 2008250111
Figure 2008250111

また、光塩基発生剤としては、例えば、以下の4級アンモニウム塩系化合物が挙げられる。   Moreover, as a photobase generator, the following quaternary ammonium salt type compounds are mentioned, for example.

Figure 2008250111
Figure 2008250111

また、光塩基発生剤としては、例えば、以下のアシル化合物が挙げられる。   Moreover, as a photobase generator, the following acyl compounds are mentioned, for example.

Figure 2008250111
Figure 2008250111

また、光塩基発生剤としては、例えば、以下のカルバメート化合物等が挙げられる。   Moreover, as a photobase generator, the following carbamate compounds etc. are mentioned, for example.

Figure 2008250111
Figure 2008250111

Figure 2008250111
Figure 2008250111

これらの光塩基発生剤は単独で使用することも、組み合わせて使用することもできる。これら光塩基発生剤の好ましい配合割合は、樹脂組成物の固形分全体に対して0.1重量%以上35重量%以下で、より好ましくは、1重量%以上10重量%以下である。   These photobase generators can be used alone or in combination. A preferable blending ratio of these photobase generators is 0.1% by weight or more and 35% by weight or less, more preferably 1% by weight or more and 10% by weight or less based on the entire solid content of the resin composition.

なお、光塩基発生剤を含有する本発明の感光性樹脂組成物は、露光後に、100℃〜250℃、好ましくは150℃〜220℃の間の温度で加熱を行うことが望ましい。この加熱の工程で、光塩基発生剤によって生成された塩基が塩基増殖剤を分解する反応と、塩基を触媒とする硬化反応や縮合反応がほぼ同時進行で起こり、樹脂組成物が不溶化したり、溶解性が変化したりする。 The photosensitive resin composition of the present invention containing a photobase generator is desirably heated at a temperature between 100 ° C. and 250 ° C., preferably between 150 ° C. and 220 ° C. after exposure. In this heating step, a reaction in which the base generated by the photobase generator decomposes the base proliferating agent and a curing reaction or condensation reaction using the base as a catalyst occur almost simultaneously, and the resin composition becomes insoluble, Solubility changes.

また、前記本発明に係る塩基増殖剤以外の化合物は、照射光に対する樹脂組成物の感度を阻害しないために、照射波長と光塩基発生剤の吸収波長が重なる波長領域に吸収を持たないことが好ましい。   In addition, the compound other than the base proliferating agent according to the present invention does not inhibit the sensitivity of the resin composition with respect to the irradiation light, and therefore does not have absorption in the wavelength region where the irradiation wavelength and the absorption wavelength of the photobase generator overlap. preferable.

本発明の感光性樹脂組成物には、当該組成物の未硬化状態での成膜性及び硬化後の塗膜物性を調節するために、バインダー樹脂として、高分子化合物を配合しても良い。
上記バインダー樹脂としては、樹脂組成物の用途に合わせて公知のあらゆる高分子化合物を用いることができる。また、高分子化合物としては、非反応性高分子、及び、反応性高分子のいずれを用いても良い。バインダー成分として用いられる高分子化合物は、重量平均分子量が3000以上であることが好ましく、また、分子量が大きすぎると、溶解性や加工特性の悪化を招くことから、重量平均分子量が通常、10,000,000以下であることが好ましい。ここで本発明における重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィ−(GPC)によるポリスチレン換算の値をいう。
In the photosensitive resin composition of the present invention, a polymer compound may be blended as a binder resin in order to adjust the film-forming property in an uncured state of the composition and the physical properties of the coated film after curing.
As the binder resin, any known polymer compound can be used according to the use of the resin composition. Further, as the polymer compound, any of a non-reactive polymer and a reactive polymer may be used. The polymer compound used as the binder component preferably has a weight average molecular weight of 3000 or more, and if the molecular weight is too large, the solubility and processing characteristics are deteriorated. It is preferable that it is below 000,000. Here, the weight average molecular weight in the present invention refers to a value in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC).

前記非反応性高分子、及び、反応性高分子、としては、例えば、トリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート及びイソホロンジイソシアネート等の有機ポリイソシアネート;酢酸ビニル、塩化ビニル、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル等のアクリル又はビニル化合物の重合体及び共重合体;ポリスチレン等のスチレン系樹脂;ホルマール樹脂やブチラール樹脂等のアセタール樹脂;シリコーン樹脂;フェノキシ樹脂;ビスフェノールA型エポキシ樹脂等に代表されるエポキシ樹脂;ポリウレタン等のウレタン樹脂;フェノール樹脂;ケトン樹脂;キシレン樹脂;ポリアミド樹脂;ポリイミド樹脂;ポリエーテル樹脂;ポリフェニレンエーテル樹脂;ポリベンゾオキサゾール樹脂;環状ポリオレフィン樹脂;ポリカーボネート樹脂;ポリエステル樹脂;ポリアリレート樹脂;ポリスチレン樹脂;ノボラック樹脂;ポリカルボジイミド、ポリベンゾイミダゾール、ポリノルボルネン等の脂環式高分子;シロキサン系高分子等の公知のあらゆる高分子化合物が挙げられる。
以上のような、高分子化合物はそれぞれ、単独で用いても、2種以上を組合わせて用いても良い。
Examples of the non-reactive polymer and the reactive polymer include organic polymers such as tolylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 4,4′-dicyclohexylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate. Isocyanates; Polymers and copolymers of acrylic or vinyl compounds such as vinyl acetate, vinyl chloride, acrylic esters and methacrylic esters; Styrenic resins such as polystyrene; Acetal resins such as formal resins and butyral resins; Silicone resins; Phenoxy Resin; Epoxy resin represented by bisphenol A type epoxy resin, etc .; Urethane resin such as polyurethane; Phenol resin; Ketone resin; Xylene resin; Polyamide resin; Polyimide resin; Polyphenylene ether resin; Polybenzoxazole resin; Cyclic polyolefin resin; Polycarbonate resin; Polyester resin; Polyarylate resin; Polystyrene resin; Novolak resin; Cycloaliphatic polymer such as polycarbodiimide, polybenzimidazole, polynorbornene; Any known polymer compound such as a polymer may be used.
Each of the polymer compounds as described above may be used alone or in combination of two or more.

また、本発明に係る樹脂組成物は、非反応性の高分子化合物を含む場合、用途に応じて、非反応性の高分子化合物が樹脂組成物全体の固形分の1重量%以上97重量%以下となるように含むことが好ましい。非反応性の高分子化合物が97重量%よりも多い場合は、塩基の触媒作用による硬化反応、縮合反応の反応性が低下しやすい。   Further, when the resin composition according to the present invention contains a non-reactive polymer compound, the non-reactive polymer compound is 1% by weight or more and 97% by weight of the solid content of the entire resin composition depending on the application. It is preferable to contain so that it may become the following. When the amount of the non-reactive polymer compound is more than 97% by weight, the reactivity of the curing reaction and condensation reaction due to the catalytic action of the base tends to decrease.

本発明に係る樹脂組成物に加工特性や各種機能性を付与するために、その他に様々な有機又は無機の低分子又は高分子化合物を配合してもよい。例えば、エチレン性二重結合などの重合性不飽和結合を有する化合物、その他の硬化反応性化合物、染料、界面活性剤、レベリング剤、可塑剤、微粒子、増感剤等を用いることができる。微粒子には、ポリスチレン、ポリテトラフルオロエチレン等の有機微粒子、コロイダルシリカ、カーボン、層状珪酸塩等の無機微粒子等が含まれ、その機能又は形態としては顔料、フィラー、繊維等がある。
これら任意成分の配合割合は、樹脂組成物の固形分全体に対し、0.1重量%〜95重量%の範囲が好ましい。0.1重量%未満だと、添加物を添加した効果が発揮されにくく、95重量%を越えると、本発明に係る樹脂組成物の特性が最終生成物に反映されにくい。
In order to impart processing characteristics and various functionalities to the resin composition according to the present invention, various organic or inorganic low-molecular or high-molecular compounds may be blended. For example, compounds having a polymerizable unsaturated bond such as an ethylenic double bond, other curing reactive compounds, dyes, surfactants, leveling agents, plasticizers, fine particles, sensitizers, and the like can be used. The fine particles include organic fine particles such as polystyrene and polytetrafluoroethylene, inorganic fine particles such as colloidal silica, carbon, and layered silicate, and the functions or forms include pigments, fillers, fibers, and the like.
The blending ratio of these optional components is preferably in the range of 0.1 wt% to 95 wt% with respect to the entire solid content of the resin composition. When the amount is less than 0.1% by weight, the effect of adding the additive is hardly exhibited, and when the amount exceeds 95% by weight, the characteristics of the resin composition according to the present invention are hardly reflected in the final product.

照射光を吸収してしまうような成分を樹脂組成物中に多量に配合する場合には、光塩基発生剤に光が十分到達しなくなり、感度が低下する。そのため、樹脂組成物の感度を重視する点から、照射光源の発光波長と樹脂組成物に混合されている光塩基発生剤の吸収波長が重なる波長領域における、前記本発明に係る樹脂組成物の透過率が20%以上であるように調節して、樹脂組成物に用いられる成分を適宜選択することが好ましい。   When a large amount of a component that absorbs irradiation light is blended in the resin composition, light does not reach the photobase generator sufficiently, and sensitivity is lowered. Therefore, from the point of emphasizing the sensitivity of the resin composition, the transmission of the resin composition according to the present invention in the wavelength region where the emission wavelength of the irradiation light source and the absorption wavelength of the photobase generator mixed in the resin composition overlap. It is preferable to appropriately select components used in the resin composition by adjusting the rate to be 20% or more.

また、本発明に係る樹脂組成物は、溶剤を用いて適切な濃度に希釈しても良い。溶剤としては各種の汎用溶剤、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールモノエーテル類(いわゆるセロソルブ類);メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、前記グリコールモノエーテル類の酢酸エステル(例えば、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート)、メトキシプロピルアセテート、エトキシプロピルアセテート、修酸ジメチル、乳酸メチル、乳酸エチル等のエステル類;エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン等のアルコール類;塩化メチレン、1,1−ジクロロエタン、1,2−ジクロロエチレン、1−クロロプロパン、1−クロロブタン、1−クロロペンタン、クロロベンゼン、ブロムベンゼン、o−ジクロロベンゼン、m−ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類;N−メチルピロリドンなどのピロリドン類;γ−ブチロラクトン等のラクトン類;ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類、その他の有機極性溶媒類等が挙げられ、更には、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、及び、その他の有機非極性溶媒類等も挙げられる。また、反応性希釈剤として、常温で液体のエチレン性不飽和化合物等、反応性官能基を構造中に有するような化合物を溶剤として用いても良い。これらの溶媒は単独もしくは組み合わせて用いられる。また、これら溶剤は、通常例えば孔径0.05μm〜0.2μm程度のフィルター等、既知の種々の方法で不純物を濾過して用いても良い。   Moreover, you may dilute the resin composition which concerns on this invention to a suitable density | concentration using a solvent. As the solvent, various general-purpose solvents such as diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, and the like; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, Glycol monoethers such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether (so-called cellosolves); ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone; acetic acid Ethyl, butyl acetate, n acetate Propyl, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, acetate esters of the above glycol monoethers (for example, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate), methoxypropyl acetate, ethoxypropyl acetate, dimethyl oxalate, lactic acid Esters such as methyl and ethyl lactate; alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, and glycerin; methylene chloride, 1,1-dichloroethane, 1,2-dichloroethylene, 1-chloropropane, Halogenated hydrocarbons such as 1-chlorobutane, 1-chloropentane, chlorobenzene, bromobenzene, o-dichlorobenzene, m-dichlorobenzene; N, N-dimethylform Amides such as amide, N, N-dimethylacetamide; pyrrolidones such as N-methylpyrrolidone; lactones such as γ-butyrolactone; sulfoxides such as dimethyl sulfoxide, and other organic polar solvents, and the like. , Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene, and other organic nonpolar solvents. As the reactive diluent, a compound having a reactive functional group in the structure, such as an ethylenically unsaturated compound that is liquid at room temperature, may be used as a solvent. These solvents are used alone or in combination. These solvents may be used after filtering impurities by various known methods such as a filter having a pore diameter of about 0.05 μm to 0.2 μm.

また、溶剤を用いて透明に溶解した樹脂組成物であっても、その中に含有される固形分同士の相溶性が低い場合には、塗工時に溶剤が揮発すると乾燥中の塗膜内で析出物が生じ、充分な透明性が得られない。そのため、光学部材のように透明性が高い塗膜又は成形体が要求される場合には、樹脂組成物中の他の固形成分との相溶性が高い塩基増殖剤を適宜選択して用いることが好ましい。高い透明性が求められる場合には、樹脂組成物を硬化させて形成した塗膜の膜厚が10μmの時に、全光線透過率(JIS K7105)が90%以上であることが好ましく、95%以上であることが更に好ましい。   Moreover, even if the resin composition is transparently dissolved using a solvent, if the compatibility of the solids contained in the resin composition is low, if the solvent evaporates during coating, A precipitate is formed, and sufficient transparency cannot be obtained. Therefore, when a highly transparent coating film or molded body such as an optical member is required, a base proliferating agent having high compatibility with other solid components in the resin composition may be appropriately selected and used. preferable. When high transparency is required, the total light transmittance (JIS K7105) is preferably 90% or more and 95% or more when the thickness of the coating film formed by curing the resin composition is 10 μm. More preferably.

本発明に係る樹脂組成物は、必須成分である前記本発明に係る光塩基増殖剤、及び塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物と、必要に応じて光塩基発生剤や高分子量のバインダー成分等、その他任意成分を場合や用途に応じて混合することにより調製できる。   The resin composition according to the present invention includes the photobase proliferating agent according to the present invention, which is an essential component, a compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of a base, and a photobase generator and a high molecular weight as necessary. It can be prepared by mixing other optional components such as a binder component depending on the case and application.

このようにして得られる本発明に係る樹脂組成物は、パターン形成材料(レジスト)、コーティング材、印刷インキ、接着剤、充填剤、電子材料、成形材料、3次元造形等、光照射や加熱によって硬化したり又は溶解性が変化する材料が用いられている公知の全ての分野・製品に利用できる。特に、耐熱性が必要で高度の信頼性を要求される、塗料、印刷インキ、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料を形成するのに適している。   The resin composition according to the present invention obtained in this way is a pattern forming material (resist), a coating material, a printing ink, an adhesive, a filler, an electronic material, a molding material, three-dimensional modeling, etc. by light irradiation or heating. It can be used in all known fields and products in which a material that is cured or changes in solubility is used. In particular, paints, printing inks, color filters, electronic components, interlayer insulation films, wiring coating films, optical members, optical circuits, optical circuit components, antireflection films, which require heat resistance and require high reliability, Suitable for forming holograms or building materials.

例えば、カラーフィルターの場合には、画素部、当該画素部の境界に設けられる遮光部(ブラックマトリックス)、保護膜、セルギャップを維持するためのスペーサーを上記感光性樹脂組成物の硬化物により形成することができる。
電子部品の場合には、例えば、半導体装置のアンダーフィル剤、封止剤、等が例示できる。
層間絶縁膜としては、耐熱性、絶縁信頼性が要求されるビルドアップ基板用の層間絶縁膜や燃料電池における層間絶縁膜、自動車部品や家電製品の絶縁コーティング等を上記樹脂組成物の硬化物により形成することができる。
For example, in the case of a color filter, a pixel portion, a light shielding portion (black matrix) provided at the boundary of the pixel portion, a protective film, and a spacer for maintaining a cell gap are formed from a cured product of the photosensitive resin composition. can do.
In the case of an electronic component, for example, an underfill agent and a sealant for a semiconductor device can be exemplified.
Interlayer insulation films for buildup substrates that require heat resistance and insulation reliability, interlayer insulation films for fuel cells, insulation coatings for automobile parts and home appliances, etc. are made of cured products of the above resin compositions. Can be formed.

また、配線保護膜としては、プリント配線板の表面の配線保護層であるソルダーレジストや、電線の表面被覆、等が例示できる。
光学部材の場合には、各種光学レンズのオーバーコートや、反射防止膜、光導波路、分波装置等の光回路部品、レリーフ型、及び体積型のホログラム、等が例示できる。
建築材料の場合には、壁紙、壁材、床材その他の揮発成分の少ない表皮材料、接着・粘着材料、インキ等が例示できる。
Examples of the wiring protective film include a solder resist that is a wiring protective layer on the surface of the printed wiring board, and a surface coating of the electric wire.
In the case of an optical member, examples thereof include overcoats of various optical lenses, optical circuit components such as antireflection films, optical waveguides, and branching devices, relief-type and volume-type holograms, and the like.
In the case of building materials, wallpaper materials, wall materials, floor materials, and other skin materials with low volatile components, adhesive / adhesive materials, inks, and the like can be exemplified.

本発明に係る印刷物、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料は、高耐熱性、高安定性の感光性樹脂組成物の硬化物により少なくとも一部分が形成されているため、低コスト、高感度というメリットがある。   The printed matter, color filter, electronic component, interlayer insulating film, wiring coating film, optical member, optical circuit, optical circuit component, antireflection film, hologram, or building material according to the present invention has high heat resistance and high stability. Since at least a part of the cured resin composition is formed, there are advantages of low cost and high sensitivity.

(実施例1)
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、p−メトキシフェノール 1.24g [10mmol]、および乾燥させたテトラヒドロフラン(THF) 15mlを投入し撹拌した。そこへシクロヘキシルイソシアネート 1.30ml [1.25g 10mmol]と ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下60℃に加熱しつつ、17時間撹拌をした。
反応終了後、蒸留水2Lで再沈殿し、得られた白色沈殿を、酢酸エチル−ヘキサンによって再結晶し、下記構造式を有する目的物(塩基増殖剤1)2.35gを得た。
H NMR(400MHz,DMSO−d6)δ(ppm):7.57(1H,d,NH),6.99(2H,d,Ar),6.89(2H,d,Ar),4.47(1H,m,−CH(cyclohexyl)),3.73(3H,s,−OCH3),1.82(2H,d,−CH2(cyclohexyl)),1.69(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.54(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.23(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.06(4H,m,−CH2(cyclohexyl))
Example 1
A 100 ml three-necked flask was heated in a nitrogen stream and sufficiently dried. Then, with careful attention to moisture in the air, 1.24 g [10 mmol] of p-methoxyphenol and dried tetrahydrofuran (THF) 15 ml was added and stirred. Thereto, 1.30 ml [1.25 g 10 mmol] of cyclohexyl isocyanate and 2 drops of dibutyltin dilaurate were added, and the mixture was stirred for 17 hours while heating to 60 ° C. in a dried nitrogen stream.
After completion of the reaction, the precipitate was reprecipitated with 2 L of distilled water, and the resulting white precipitate was recrystallized with ethyl acetate-hexane to obtain 2.35 g of the desired product (base proliferating agent 1) having the following structural formula.
1 H NMR (400 MHz, DMSO-d6) δ (ppm): 7.57 (1H, d, NH), 6.99 (2H, d, Ar), 6.89 (2H, d, Ar), 4. 47 (1H, m, -CH ( cyclohexyl)), 3.73 (3H, s, -OCH 3), 1.82 (2H, d, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.69 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.54 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.23 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.06 (4H, m, -CH 2 (cyclohexyl))

Figure 2008250111
Figure 2008250111

(実施例2)
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、ハイドロキノン 1.10g [10mmol]、および乾燥させたテトラヒドロフラン(THF) 15ml を投入し撹拌した。そこへシクロヘキシルイソシアネート 2.59ml [2.534g 20mmol]と、ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下60℃で17時間撹拌をした。
反応終了後、蒸留水2Lで再沈殿し、得られた白色沈殿を、酢酸エチル−ヘキサンによって再結晶し、下記構造式を有する目的物(白色粉末、 塩基増殖剤2)3.41gを得た。
H NMR(400MHz,DMSO−d6)δ(ppm): 7.6(2H,br,NH)7.05(4H,d,Ar),3.30(2H,m,−CH(cyclohexyl)),1.82(4H,d,−CH2(cyclohexyl)),1.68(4H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.54(4H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.23(4H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.11(8H,m,−CH2(cyclohexyl))
(Example 2)
A 100 ml three-necked flask was heated in a nitrogen stream and sufficiently dried, then 1.10 g [10 mmol] of hydroquinone and 15 ml of dried tetrahydrofuran (THF) were added while paying sufficient attention to moisture in the air. And stirred. Thereto, 2.59 ml of cyclohexyl isocyanate [2.534 g 20 mmol] and 2 drops of dibutyltin dilaurate were added, and the mixture was stirred at 60 ° C. for 17 hours in a dried nitrogen stream.
After completion of the reaction, reprecipitation was performed with 2 L of distilled water, and the resulting white precipitate was recrystallized with ethyl acetate-hexane to obtain 3.41 g of the desired product (white powder, base proliferating agent 2) having the following structural formula. .
1 H NMR (400 MHz, DMSO-d6) δ (ppm): 7.6 (2H, br, NH) 7.05 (4H, d, Ar), 3.30 (2H, m, —CH (cyclohexyl)) , 1.82 (4H, d, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.68 (4H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.54 (4H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1 .23 (4H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.11 (8H, m, -CH 2 (cyclohexyl))

Figure 2008250111
Figure 2008250111

(実施例3)
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、p−メトキシフェノール 1.24g [10mmol]、および乾燥させたテトラヒドロフラン(THF) 15mlを投入し撹拌した。そこへアダマンチルイソシアネート 1.77g [10mmol]と、ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下70℃に加熱し48時間撹拌をした。
反応終了後、溶媒を留去し、クロロホルムによるカラムクロマトグラフィーによって精製し、下記構造式を有する目的物(塩基増殖剤3)2.71gを得た。
H NMR(400MHz,CDCL)δ(ppm): 7.02(2H,d,Ar), 6.86(2H,d,Ar),4.85(1H,d,NH),3.79(3H,s,−OCH3),2.10(3H,d,−CH(adamantyl)),2.00(6H,m,−CH2(adamantyl)), 1.68(6H,m,−CH2(adamantyl))
(Example 3)
A 100 ml three-necked flask was heated in a nitrogen stream and sufficiently dried. Then, with careful attention to moisture in the air, 1.24 g [10 mmol] of p-methoxyphenol and dried tetrahydrofuran (THF) 15 ml was added and stirred. Thereto were added 1.77 g [10 mmol] of adamantyl isocyanate and 2 drops of dibutyltin dilaurate, and the mixture was heated to 70 ° C. in a dried nitrogen stream and stirred for 48 hours.
After completion of the reaction, the solvent was distilled off and the residue was purified by column chromatography with chloroform to obtain 2.71 g of the desired product (base proliferating agent 3) having the following structural formula.
1 H NMR (400 MHz, CDCL 3 ) δ (ppm): 7.02 (2H, d, Ar), 6.86 (2H, d, Ar), 4.85 (1H, d, NH), 3.79 (3H, s, -OCH 3) , 2.10 (3H, d, -CH (adamantyl)), 2.00 (6H, m, -CH 2 (adamantyl)), 1.68 (6H, m, - CH 2 (adamantyl))

Figure 2008250111
(実施例4)
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、p−ニトロフェノール 1.39g [10mmol]、および乾燥させたテトラヒドロフラン(THF) 15mlを投入し撹拌した。そこへシクロヘキシルイソシアネート 1.30ml [1.25g 10mmol]と ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下70℃に加熱しつつ、48時間撹拌をした。
反応終了後、溶媒を留去し、クロロホルムによるカラムクロマトグラフィーによって生成し、下記構造式を有する目的物(塩基増殖剤4)2.42gを得た。
H NMR(400MHz,CDCL) δ(ppm): 8.24(2H,d,Ar), 7.31(2H,d,Ar),5.01(1H,d,NH),3.57(1H,m,−CH(cyclohexyl)), 2.02(2H,d,−CH2(cyclohexyl)),1.77(2H,m,−CH2(cyclohexyl)), 1.64(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.38(2H,m,−CH2(cyclohexyl)), 1.23(4H,m,−CH2(cyclohexyl))
Figure 2008250111
Example 4
A 100 ml three-necked flask was heated in a nitrogen stream and sufficiently dried. Then, with careful attention to moisture in the air, 1.39 g [10 mmol] of p-nitrophenol and dried tetrahydrofuran (THF) 15 ml was added and stirred. Thereto, cyclohexyl isocyanate 1.30 ml [1.25 g 10 mmol] and 2 drops of dibutyltin dilaurate were added and stirred for 48 hours while heating to 70 ° C. in a dried nitrogen stream.
After completion of the reaction, the solvent was distilled off and the residue was produced by column chromatography with chloroform to obtain 2.42 g of the desired product (base proliferating agent 4) having the following structural formula.
1 H NMR (400 MHz, CDCL 3 ) δ (ppm): 8.24 (2H, d, Ar), 7.31 (2H, d, Ar), 5.01 (1H, d, NH), 3.57 (1H, m, -CH (cyclohexyl )), 2.02 (2H, d, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.77 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.64 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)) , 1.38 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.23 (4H, m, -CH 2 (cyclohexyl))

Figure 2008250111
Figure 2008250111

(比較例1)
100mlの3つ口フラスコを窒素気流下加熱し、十分乾燥させた後、空気中の水分に対して十分注意しながら、および乾燥させた2−プロパノール(IPA) 20mlを投入し撹拌した。そこへシクロヘキシルイソシアネート 3.00g[24mmol]と ジブチル錫ジラウレート 2滴を添加し、乾燥させた窒素気流下60℃に加熱しつつ、17時間撹拌をした。
反応終了後、蒸留水2Lで再沈殿し、得られた白色沈殿を、酢酸エチル−ヘキサンによって再結晶し、下記構造式を有する目的物(比較塩基増殖剤1)4.02gを得た。
H NMR(400MHz,CDCL) δ(ppm):4.89(1H,m,−CH(cyclohexyl)),4.47(1H,br,NH),3.46(1H,m,CH(i-Pr)),1.93(2H,d,−CH2(cyclohexyl)),1.69(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.59(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.34(2H,m,−CH2(cyclohexyl)),1.22(6H,d,−CH3(i-Pr)),1.27(4H,m,−CH2(cyclohexyl))
(Comparative Example 1)
A 100 ml three-necked flask was heated under a nitrogen stream and sufficiently dried, and then 20 ml of dried 2-propanol (IPA) was added and stirred while paying sufficient attention to moisture in the air. Thereto, 3.00 g [24 mmol] of cyclohexyl isocyanate and 2 drops of dibutyltin dilaurate were added, followed by stirring for 17 hours while heating to 60 ° C. in a dried nitrogen stream.
After completion of the reaction, reprecipitation was performed with 2 L of distilled water, and the resulting white precipitate was recrystallized with ethyl acetate-hexane to obtain 4.02 g of the desired product (Comparative Base Proliferating Agent 1) having the following structural formula.
1 H NMR (400 MHz, CDCL 3 ) δ (ppm): 4.89 (1H, m, —CH (cyclohexyl)), 4.47 (1H, br, NH), 3.46 (1H, m, CH ( i-Pr)), 1.93 ( 2H, d, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.69 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.59 (2H, m, -CH 2 ( cyclohexyl)), 1.34 (2H, m, -CH 2 (cyclohexyl)), 1.22 (6H, d, -CH 3 (i-Pr)), 1.27 (4H, m, -CH 2 ( cyclohexyl))

Figure 2008250111
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(試 験)
(1)熱分解温度測定
差動型示差熱天秤(製品名:TG8120、(株)リガク製)を用いて、窒素雰囲気下、10℃/minの昇温速度で、塩基増殖剤1〜4と比較塩基増殖剤1の5%重量減少温度を測定した。以下の表1に結果を示す。
(Test)
(1) Pyrolysis temperature measurement Using a differential type differential thermal balance (product name: TG8120, manufactured by Rigaku Corporation), the base proliferating agents 1 to 4 can be obtained at a temperature increase rate of 10 ° C./min in a nitrogen atmosphere. The 5% weight loss temperature of Comparative Base Growth Agent 1 was measured. The results are shown in Table 1 below.

Figure 2008250111
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以上の結果より、本発明に係る塩基増殖剤は、ウレタン結合の酸素原子に直接芳香環が結合しており、耐熱性に優れることが明らかになった。中でも、電子供与性基であるメトキシ基が、4位に置換されたフェノールを用いた塩基増殖剤は熱分解温度がより高く、耐熱性に優れる事がわかった。   From the above results, it has been clarified that the base proliferating agent according to the present invention is excellent in heat resistance because the aromatic ring is directly bonded to the oxygen atom of the urethane bond. In particular, it was found that a base proliferating agent using phenol in which a methoxy group as an electron donating group was substituted at the 4-position had a higher thermal decomposition temperature and excellent heat resistance.

(2)熱分解挙動
以下のサンプルを用意し、核磁気共鳴装置(NMR)(日本電子(株)製 JNM−LA−400WB)を用い、塩基増殖剤の分解挙動を測定した。
サンプルA:5mgの塩基増殖剤3を500μlのDMSO−d6に溶解させたもの。
サンプルB:5mgの塩基増殖剤3を500μlのDMSO−d6に溶解させたものを150℃で10分間オイルバスで加熱したもの。
サンプルC:5mgの塩基増殖剤3と1mgのジメチルピペリジンを500μlのDMSO−d6に溶解させたものを150℃で10分間オイルバスで加熱したもの。
サンプルD:5mgの塩基増殖剤3を500μlのDMSO−d6に溶解させたものを200℃で10分間オイルバスで加熱したもの。
(2) Thermal decomposition behavior The following samples were prepared, and the decomposition behavior of the base proliferating agent was measured using a nuclear magnetic resonance apparatus (NMR) (JNM-LA-400WB manufactured by JEOL Ltd.).
Sample A: 5 mg of base proliferating agent 3 dissolved in 500 μl of DMSO-d6.
Sample B: 5 mg of base proliferating agent 3 dissolved in 500 μl of DMSO-d6 and heated in an oil bath at 150 ° C. for 10 minutes.
Sample C: 5 mg of base proliferating agent 3 and 1 mg of dimethylpiperidine dissolved in 500 μl of DMSO-d6 and heated in an oil bath at 150 ° C. for 10 minutes.
Sample D: 5 mg of base proliferating agent 3 dissolved in 500 μl of DMSO-d6 and heated in an oil bath at 200 ° C. for 10 minutes.

その結果、サンプルAとサンプルBは、全く同じスペクトルが得られたが、サンプルCについては、塩基増殖剤由来のピークが消失し、新たにジメチルピペリジンのピークの他に、4−メトキシフェノールと1−アダマンチルアミンのピークが現れた。サンプルD については、塩基増殖剤由来のピーク強度が減少し、新たに、4−メトキシフェノールと1−アダマンチルアミンのピークが現れた。
この結果より、塩基増殖剤3は、ジメチルピペリジン存在下で、150℃の加熱によって分解し、4−メトキシフェノールと1−アダマンチルアミンになるということが確認された。さらに、200℃の加熱により、自身で分解してアミンを発生させることが確認された。
As a result, Sample A and Sample B gave exactly the same spectrum, but for Sample C, the peak derived from the base proliferating agent disappeared, and in addition to the dimethylpiperidine peak, 4-methoxyphenol and 1 -The peak of adamantylamine appeared. For sample D 1, the peak intensity derived from the base proliferating agent decreased, and new peaks for 4-methoxyphenol and 1-adamantylamine appeared.
From this result, it was confirmed that the base proliferating agent 3 was decomposed by heating at 150 ° C. in the presence of dimethylpiperidine to become 4-methoxyphenol and 1-adamantylamine. Furthermore, it was confirmed that by heating at 200 ° C., it decomposes itself to generate an amine.

(3)硬化性評価
ポリグリシジルメタクリレート−メチルメタクリレート共重合体(重量平均分子量 15000 共重合比 1:3) 0.85g、下記構造を有する光塩基発生剤 0.05g、実施例3の塩基増殖剤3 0.10gを、テトラヒドロフラン5mlに溶解させ感光性樹脂組成物を調整した。(感光性樹脂組成物1)
(3) Curability evaluation Polyglycidyl methacrylate-methyl methacrylate copolymer (weight average molecular weight 15000 copolymerization ratio 1: 3) 0.85 g, photobase generator 0.05 g having the following structure, base proliferating agent of Example 3 3 0.10 g was dissolved in 5 ml of tetrahydrofuran to prepare a photosensitive resin composition. (Photosensitive resin composition 1)

Figure 2008250111
Figure 2008250111

感光性樹脂組成物1をガラス上にスピンコートし、80℃ 3分 ホットプレート上で乾燥させた後、手動露光装置(大日本スクリーン株式会社製、MA−1200)により、h線換算で5J紫外線照射を行い、その後、160℃のホットプレート上で5分加熱し、ガラス上に感光性樹脂組成物1の硬化膜を作成した。
その硬化膜を、テトラヒドロフランに室温で1時間浸漬させたところ、溶出せず不溶化していることが確認された。
The photosensitive resin composition 1 was spin-coated on glass, dried at 80 ° C. for 3 minutes on a hot plate, and then subjected to 5J ultraviolet rays in terms of h-line using a manual exposure device (MA-1200 manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd.). Irradiation was performed, and thereafter, heating was performed on a hot plate at 160 ° C. for 5 minutes to form a cured film of the photosensitive resin composition 1 on glass.
When the cured film was immersed in tetrahydrofuran for 1 hour at room temperature, it was confirmed that it was insoluble without elution.

Claims (15)

下記式(1)で表される構造を少なくとも1つ有し、アミノ化合物と共存下で150℃以上の加熱により分解し、アミノ化合物を生成することを特徴とする塩基増殖剤。
Figure 2008250111
(式(1)において、R〜Rは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、又は1価の有機基であり、それらは互いに同一であっても異なっていても良く、それらが互いに結合を介して環状構造を形成していても良い。Rは置換又は無置換の脂肪族炭化水素基、或いは置換又は無置換の芳香族炭化水素基である。)
A base proliferating agent having at least one structure represented by the following formula (1) and decomposing by heating at 150 ° C. or more in the presence of an amino compound to produce an amino compound.
Figure 2008250111
(In Formula (1), R 1 to R 5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an amino group, a mercapto group, a nitro group, a silyl group, a silanol group, or a monovalent organic group, They may be the same as or different from each other, and they may form a cyclic structure through a bond to each other, R 6 represents a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, or a substituted or unsubstituted Aromatic hydrocarbon group.)
前記式(1)における、R〜Rのうち少なくとも一つが、電子供与性基であることを特徴とする請求項1に記載の塩基増殖剤。 2. The base proliferating agent according to claim 1, wherein at least one of R 1 to R 5 in the formula (1) is an electron donating group. 前記電子供与性基が、水酸基、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、アルコキシ基、アルキルチオ基、オキシアシル基、アミド基、アルキル基、アリール基であることを特徴とする請求項2に記載の塩基増殖剤。   The electron donating group is a hydroxyl group, primary amino group, secondary amino group, tertiary amino group, alkoxy group, alkylthio group, oxyacyl group, amide group, alkyl group, or aryl group. 2. The base proliferating agent according to 2. 5%重量減少温度が150℃以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の塩基増殖剤。   The base proliferating agent according to any one of claims 1 to 3, wherein a 5% weight loss temperature is 150 ° C or higher. 400nm以上の波長域に吸収を持たないことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の塩基増殖剤。   The base proliferating agent according to any one of claims 1 to 4, which has no absorption in a wavelength region of 400 nm or more. イソシアン酸エステルとフェノール誘導体の反応から得られることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の塩基増殖剤。   6. The base proliferating agent according to claim 1, wherein the base proliferating agent is obtained from a reaction between an isocyanate and a phenol derivative. アミノ化合物と共存下で150℃以上の加熱により加水分解し、アミノ化合物を生成することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の塩基増殖剤。   The base proliferating agent according to any one of claims 1 to 6, wherein the base compound is hydrolyzed by heating at 150 ° C or higher in the presence of an amino compound to produce an amino compound. 前記請求項1乃至7に記載の塩基増殖剤と、塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物を含有することを特徴とする樹脂組成物。   8. A resin composition comprising the base proliferating agent according to claim 1 and a compound that accelerates curing or condensation reaction by the action of a base. 前記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物は、分子量が1000以上であることを特徴とする樹脂組成物。   The compound which accelerates | stimulates hardening or a condensation reaction by the effect | action of the said base has a molecular weight of 1000 or more, The resin composition characterized by the above-mentioned. 前記塩基の作用により硬化又は縮合反応を促進する化合物が、ポリアミック酸であることを特徴とする請求項8又は9に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 8 or 9, wherein the compound that accelerates the curing or condensation reaction by the action of the base is a polyamic acid. 光、又は熱の作用によりアミノ化合物を生成する化合物を、更に含有することを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 8 to 10, further comprising a compound that generates an amino compound by the action of light or heat. 光の作用によりアミノ化合物を生成する化合物を含有し、感光性樹脂組成物である、請求項11に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 11, which contains a compound that generates an amino compound by the action of light and is a photosensitive resin composition. パターン形成材料として用いられることを特徴とする、請求項8乃至12のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 8, wherein the resin composition is used as a pattern forming material. 塗料又は印刷インキ、或いは、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料の形成材料として請求項8乃至13のいずれかに記載の樹脂組成物。   14. A coating material or printing ink, or a color filter, an electronic component, an interlayer insulating film, a wiring coating film, an optical member, an optical circuit, an optical circuit component, an antireflection film, a hologram, or a building material. The resin composition in any one. 前記請求項8乃至14のいずれかに記載の樹脂組成物、またはその硬化物により少なくとも一部分が形成されている、印刷物、カラーフィルター、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光学部材、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム又は建築材料いずれかの物品。   A printed material, a color filter, an electronic component, an interlayer insulating film, a wiring coating film, an optical member, light, at least partly formed of the resin composition according to any one of claims 8 to 14 or a cured product thereof. Articles that are either circuits, optical circuit components, antireflection films, holograms, or building materials.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011042775A (en) * 2009-07-22 2011-03-03 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive adhesive composition, photosensitive element, method for manufacturing resist pattern, and method for manufacturing adhered body
JP2020002324A (en) * 2018-07-02 2020-01-09 日本化薬株式会社 Adhesive for electronic component
WO2022059622A1 (en) * 2020-09-16 2022-03-24 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured object, layered product, method for producing cured object, and semiconductor device
US11414382B2 (en) 2018-03-02 2022-08-16 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Compound, photopolymerization initiator containing said compound, and photosensitive resin composition containing said photopolymerization initiator
US11608316B2 (en) 2018-03-01 2023-03-21 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Compound, photopolymerization initiator containing said compound, and photosensitive resin composition containing said photopolymerization initiator

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9709710B2 (en) 2015-03-06 2017-07-18 Samsung Sdi Co., Ltd. Device including light blocking layer and method of patterning the light blocking layer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5683461A (en) * 1979-11-08 1981-07-08 Chinoin Gyogyszer Es Vegyeszet Ooacylation of phenol derivative and acylating composition therefor
JPH07261393A (en) * 1994-03-25 1995-10-13 Toshiba Corp Negative resist composition
JP2002251004A (en) * 2001-02-22 2002-09-06 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive material
JP2006189591A (en) * 2005-01-05 2006-07-20 Tokyo Institute Of Technology Photosensitive resin composition, method for producing relief pattern and semiconductor device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5683461A (en) * 1979-11-08 1981-07-08 Chinoin Gyogyszer Es Vegyeszet Ooacylation of phenol derivative and acylating composition therefor
JPH07261393A (en) * 1994-03-25 1995-10-13 Toshiba Corp Negative resist composition
JP2002251004A (en) * 2001-02-22 2002-09-06 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive material
JP2006189591A (en) * 2005-01-05 2006-07-20 Tokyo Institute Of Technology Photosensitive resin composition, method for producing relief pattern and semiconductor device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011042775A (en) * 2009-07-22 2011-03-03 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive adhesive composition, photosensitive element, method for manufacturing resist pattern, and method for manufacturing adhered body
US11608316B2 (en) 2018-03-01 2023-03-21 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Compound, photopolymerization initiator containing said compound, and photosensitive resin composition containing said photopolymerization initiator
US11414382B2 (en) 2018-03-02 2022-08-16 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Compound, photopolymerization initiator containing said compound, and photosensitive resin composition containing said photopolymerization initiator
JP2020002324A (en) * 2018-07-02 2020-01-09 日本化薬株式会社 Adhesive for electronic component
JP7015220B2 (en) 2018-07-02 2022-02-15 日本化薬株式会社 Adhesive for electronic components
WO2022059622A1 (en) * 2020-09-16 2022-03-24 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured object, layered product, method for producing cured object, and semiconductor device
JPWO2022059622A1 (en) * 2020-09-16 2022-03-24
JP7483908B2 (en) 2020-09-16 2024-05-15 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured product, laminate, method for producing the cured product, and semiconductor device

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