JP2008242031A - Liquid crystal device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a seal shape of a liquid crystal device which can solve uneven alignment due to a formation direction of an inorganic alignment layer. <P>SOLUTION: The liquid crystal element 7 is provided with a circular seal material 8 so as to surround a liquid crystal driving area 9 and an injection port 11 is formed by removing a prescribed portion of the seal material 8. A formation position of the injection port 11 is formed so that a formation direction d6 of a deposited alignment layer composed of a columnar structure is made vertical to a segment h connecting two end parts of the seal material 8 on the injection port 11. By setting the formation position of the injection port 11 about all liquid crystal devices in a mother board, liquid crystal can be injected under an optimum condition in all liquid crystal devices in the mother board, so that uneven alignment due to the formation direction of the deposited alignment layer composed of the columnar structure can be solved. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は液晶素子に関するもので、さらに詳しくは、液晶の注入特性を向上させるための液晶素子の構造および製造方法に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal device, and more particularly, to a structure and a manufacturing method of a liquid crystal device for improving liquid crystal injection characteristics.

現在知られている液晶の配向方法として、有機配向膜をラビングする方法と無機配向膜を斜方蒸着する方法の大きく分けて2つに分かれている。このうち有機配向膜は生産性に優れているが、耐熱性、耐光性が十分ではない。また、強誘電性液晶を用いた液晶素子など、高プレチルト角が必要な液晶素子などでは、無機配向膜を用いなければ高プレチルト角を得るのは困難である。   Currently known liquid crystal alignment methods are roughly divided into two methods: a method of rubbing an organic alignment film and a method of oblique deposition of an inorganic alignment film. Among these, the organic alignment film is excellent in productivity, but heat resistance and light resistance are not sufficient. In addition, in a liquid crystal element that requires a high pretilt angle, such as a liquid crystal element using ferroelectric liquid crystal, it is difficult to obtain a high pretilt angle unless an inorganic alignment film is used.

無機配向膜は、主に斜方蒸着法により形成される。蒸着源はSiO、SiO2、などが用いられ、これらの蒸着源を抵抗加熱等で加熱して蒸発させ基板に付着させる。基板に付着した無機化合物が柱状構造物を形成する。この柱状構造物の集合体が配向膜となっている。液晶分子の配向方向はこの柱状構造物により定められる。   The inorganic alignment film is mainly formed by oblique vapor deposition. As the vapor deposition source, SiO, SiO2, or the like is used. These vapor deposition sources are heated by resistance heating or the like and evaporated to adhere to the substrate. The inorganic compound attached to the substrate forms a columnar structure. This aggregate of columnar structures is an alignment film. The alignment direction of the liquid crystal molecules is determined by this columnar structure.

斜方蒸着法で作成された無機配向膜は、耐熱性や耐光性に優れ、高プレチルト角が容易に得られるという利点があるが、一方で斜方蒸着の特性上基板に形成される柱状構造物の形成方向に分布が生じ、液晶の配向ムラが生じやすいことが知られている。   The inorganic alignment film prepared by oblique deposition has the advantage of being excellent in heat resistance and light resistance and easily obtaining a high pretilt angle. On the other hand, the columnar structure formed on the substrate due to the characteristics of oblique deposition It is known that distribution occurs in the formation direction of the object and liquid crystal alignment unevenness is likely to occur.

液晶の配向ムラを軽減する方法として例えば特許文献1にあるような方法が提案されている。これによると、斜方蒸着で形成された無機配向膜に強誘電性液晶を良好に配向させるには液晶注入方向が重要であること述べられている。特に柱状構造物の形成方向と注入方向を一致させる方法が述べられている。図15は特許文献1で述べられている液晶素子の概略図である。201は液晶素子、202は接着シール、203は接着シールとの間に所定の間隔をおいてあけられた開口部、204は注入口、205は液晶だめである。図15では、液晶パネルの接着シール202を二重に作り、内側の接着シール202には所定の間隔をおいて開口部203を持たせ、液晶を注入するときに液晶を分散して注入させることで配向ムラを低減させるというものである。   As a method for reducing the alignment unevenness of the liquid crystal, for example, a method as disclosed in Patent Document 1 has been proposed. According to this, it is stated that the liquid crystal injection direction is important in order to satisfactorily align the ferroelectric liquid crystal in the inorganic alignment film formed by oblique deposition. In particular, a method for matching the forming direction of the columnar structure with the injection direction is described. FIG. 15 is a schematic view of a liquid crystal element described in Patent Document 1. Reference numeral 201 denotes a liquid crystal element, 202 denotes an adhesive seal, 203 denotes an opening provided at a predetermined interval from the adhesive seal, 204 denotes an injection port, and 205 denotes a liquid crystal reservoir. In FIG. 15, the adhesive seal 202 of the liquid crystal panel is doubled, the inner adhesive seal 202 has an opening 203 at a predetermined interval, and the liquid crystal is dispersed and injected when injecting the liquid crystal. This reduces the alignment unevenness.

実用新案公開平成5−59429号公報(第7頁、第1図)Utility Model Publication No. Hei 5-59429 (page 7, Fig. 1)

通常液晶素子を製造する場合は、マザー基板内に複数個の液晶素子となるセル基板を配置し、柱状構造物の蒸着配向膜をマザー基板上に蒸着し、個々のセル基板はすべて同時に蒸着配向膜が形成され、多数個取りできるようにする。   Normally, when manufacturing liquid crystal elements, a plurality of liquid crystal element cell substrates are arranged in a mother substrate, and a columnar structure deposition alignment film is deposited on the mother substrate. A film is formed so that a large number can be obtained.

一般的な斜方蒸着におけるマザー基板内の柱状構造物の形成方向について説明する。図11に蒸着されるマザー基板と蒸着源との位置関係を示す。図11で104は蒸着源、105はマザー基板を固定する治具であり、この治具の中心と蒸着源の中心は一致している。106はマザー基板、L1は蒸着源から治具105までの距離、L2は治具105の中心からマザー基板106を固定しているところまでの距離、L3はマザー基板106の大きさである。またマザー基板106の中央部分が蒸着源104を中心とした半径L2の円周上になるようにマザー基板106を固定している。   The formation direction of the columnar structure in the mother substrate in general oblique deposition will be described. FIG. 11 shows the positional relationship between the mother substrate to be deposited and the deposition source. In FIG. 11, reference numeral 104 denotes a vapor deposition source, and 105 denotes a jig for fixing the mother substrate. The center of the jig coincides with the center of the vapor deposition source. 106 is a mother substrate, L 1 is a distance from the vapor deposition source to the jig 105, L 2 is a distance from the center of the jig 105 to a place where the mother substrate 106 is fixed, and L 3 is a size of the mother substrate 106. Further, the mother substrate 106 is fixed so that the central portion of the mother substrate 106 is on the circumference of the radius L2 with the vapor deposition source 104 as the center.

図12に、図11でのL1、L2、L3が、それぞれL1=800mm、L2=500mm、L3=
400mmである場合の柱状構造物の形成方向を示す。図12中の矢印は柱状構造物の形成方向である。マザー基板の成膜面中心位置では、柱状構造物の形成方向はマザー基板縦方向と平行方向になっているが、マザー基板の成膜面中心位置から離れると柱状構造物の形成方向は一定の角度をもって形成される。つまりマザー基板内でも位置によって柱状構造物の向きが異なり、液晶分子の配向方向は異なっている。
In FIG. 12, L1, L2, and L3 in FIG. 11 are respectively L1 = 800 mm, L2 = 500 mm, and L3 =
The formation direction of the columnar structure in the case of 400 mm is shown. The arrow in FIG. 12 is the direction in which the columnar structure is formed. At the center position of the deposition surface of the mother substrate, the columnar structure is formed in a direction parallel to the longitudinal direction of the mother substrate. It is formed with an angle. That is, the orientation of the columnar structure is different depending on the position in the mother substrate, and the orientation direction of the liquid crystal molecules is different.

図13は代表的な従来の液晶素子の平面図である。図13の液晶素子は、図12に図示したマザー基板のうち、1個の液晶素子となるセル基板aまたはセル基板bを切り出して作成したものとする。図13の100は液晶素子、101は液晶をはさむ上下のガラス基板を接着するシール材、102は液晶素子の液晶駆動領域、103は液晶の注入口である。   FIG. 13 is a plan view of a typical conventional liquid crystal element. The liquid crystal element shown in FIG. 13 is formed by cutting out the cell substrate a or the cell substrate b serving as one liquid crystal element from the mother substrate shown in FIG. In FIG. 13, 100 is a liquid crystal element, 101 is a sealing material for bonding the upper and lower glass substrates sandwiching the liquid crystal, 102 is a liquid crystal driving region of the liquid crystal element, and 103 is a liquid crystal injection port.

図14は、図13の液晶素子に液晶を注入する注入過程の様子を模式的に示した図である。通常液晶素子の液晶駆動領域102が四角形の場合、シール形状はそれに添うような形で四角形にするのが一般的である。液晶注入開始直後はS1のように注入口を中心に半円状に注入されていく。そのため液晶素子の中央部分はd1方向に注入されていくが中央部分から左右に離れていくに従い注入方向は所定角度傾きd2およびd3方向に注入されていく。このため注入口近傍は配向ムラが発生する恐れがある。その後時間経過とともに液晶が両端のシール部分に到達するとS2のように液晶はほぼ均一にd1方向に注入されていく。   FIG. 14 is a diagram schematically showing an injection process for injecting liquid crystal into the liquid crystal element of FIG. In general, when the liquid crystal drive region 102 of the liquid crystal element is a quadrangle, the seal shape is generally a quadrangle that follows the seal shape. Immediately after the start of liquid crystal injection, it is injected in a semicircular shape around the injection port as in S1. Therefore, the central portion of the liquid crystal element is injected in the d1 direction, but the injection direction is injected in the directions of the predetermined angular inclinations d2 and d3 as the distance from the central portion increases. For this reason, there is a risk of uneven alignment near the inlet. Thereafter, when the liquid crystal reaches the seal portions at both ends with the passage of time, the liquid crystal is almost uniformly injected in the d1 direction as in S2.

このため、液晶素子100の基板内に形成されている柱状構造物の形成方向がd1と同一方向ならば、注入口付近を除いて、注入条件に起因する配向ムラはほとんど発生しない。つまり図12のセル基板aを液晶素子として、図14のように注入口103から注入するのであれば、配向ムラはほぼ発生しない。しかし、前述したようにマザー基板内で柱状構造物の形成方向に分布があるので、例えば図12のセル基板bを液晶素子として、図13の注入口103から注入すると、セル基板bの柱状構造物の形成方向がd1と異なるため、配向ムラを引き起こしてしまう。特に、注入方向と柱状構造物の形成方向とが液晶分子の配向性に関係する強誘電性液晶などにおいては、注入方向と柱状構造物の形成方向とが一致しないと配向ムラが発生しやすく問題であった。   Therefore, if the columnar structure formed in the substrate of the liquid crystal element 100 is formed in the same direction as d1, the alignment unevenness due to the implantation conditions hardly occurs except near the injection port. That is, if the cell substrate a of FIG. 12 is used as a liquid crystal element and is injected from the injection port 103 as shown in FIG. 14, the alignment unevenness hardly occurs. However, as described above, since there is a distribution in the columnar structure formation direction in the mother substrate, for example, when the cell substrate b in FIG. 12 is used as a liquid crystal element and injected from the injection port 103 in FIG. 13, the columnar structure of the cell substrate b. Since the formation direction of the object is different from d1, alignment unevenness is caused. In particular, in ferroelectric liquid crystals where the injection direction and the columnar structure formation direction are related to the orientation of the liquid crystal molecules, alignment unevenness is likely to occur if the injection direction and the columnar structure formation direction do not match. Met.

前述の通り、柱状構造物の形成方向は蒸着装置の大きさおよび成膜するマザー基板サイズにより決定される。よって、マザー基板内のすべて液晶素子が配向ムラを起こさないように柱状構造物の形成方向の分布を抑えるためには、蒸着装置を大きくするか、基板サイズ小さくする必要があった。しかし大型の蒸着装置を用いたり、また基板サイズを小さくしたりするのは、生産性に問題があった。よって、簡易な方法で配向ムラを解消する方法が望まれていた。   As described above, the forming direction of the columnar structure is determined by the size of the vapor deposition apparatus and the size of the mother substrate on which the film is formed. Therefore, in order to suppress the distribution in the formation direction of the columnar structures so that all the liquid crystal elements in the mother substrate do not cause alignment unevenness, it is necessary to enlarge the deposition apparatus or reduce the substrate size. However, using a large deposition apparatus or reducing the substrate size has a problem in productivity. Therefore, a method for eliminating the alignment unevenness by a simple method has been desired.

上記目的を達成するために、本発明では以下の構成を採用する。基板上に蒸着によって柱状構造物の蒸着配向膜が形成された一対の基板間に、液晶が挟持され、一対の基板を接着するシール材と、液晶を注入するための注入口とを有した液晶素子において、シール材の形状が円形であり、注入口はシール材の円周上で、かつ円形のシール材の一部を取り除いて形成され、さらに、注入口を形成しているシール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、柱状構造物の形成方向を配置することを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention adopts the following configuration. Liquid crystal having a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates on which a columnar structure deposition alignment film is formed by vapor deposition on the substrate, and having a sealing material for bonding the pair of substrates, and an injection port for injecting the liquid crystal In the element, the shape of the sealing material is circular, the injection port is formed on the circumference of the sealing material, and a part of the circular sealing material is removed, and further, a circle in the sealing material forming the injection port A columnar structure forming direction is arranged in a direction perpendicular to a line segment connecting two end portions on the circumference.

また、一対の基板間には、液晶を駆動する電極が配置され、液晶が駆動される液晶駆動領域を有し、注入口が前記液晶駆動領域から離れて配置されていることを特徴とする。蒸着配向膜が斜方蒸着または水平蒸着で形成されることを特徴とする。   In addition, an electrode for driving the liquid crystal is disposed between the pair of substrates, the liquid crystal driving region for driving the liquid crystal is provided, and the injection port is disposed apart from the liquid crystal driving region. The deposition alignment film is formed by oblique deposition or horizontal deposition.

また、本発明の製造方法は、複数の液晶セル基板を備えたマザー基板を用意する工程と、マザー基板に蒸着配向膜を蒸着する蒸着工程と、各々の前記液晶セル基板に円形のシール材を設け、かつ同時に、シール材の円周上で、円形の前記シール材の一部を取り除いて注入口を形成し、さらに、注入口を形成しているシール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、蒸着配向膜における柱状構造物の形成方向が一致するように、注入口の位置を配置するシール材配置工程とを有することを特徴とする。   The manufacturing method of the present invention includes a step of preparing a mother substrate having a plurality of liquid crystal cell substrates, a vapor deposition step of depositing a vapor deposition alignment film on the mother substrate, and a circular sealing material on each of the liquid crystal cell substrates. At the same time, on the circumference of the sealing material, a part of the circular sealing material is removed to form an injection port, and two end portions on the circumference of the sealing material forming the injection port And a sealing material arranging step of arranging the position of the injection port so that the forming direction of the columnar structure in the deposited alignment film coincides with the direction perpendicular to the line segment connecting the two.

また、マザー基板を2枚用意し、2枚の前記マザー基板について蒸着工程を行い、2枚のマザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対してシール材配置工程を行い、一方のマザー基板と、他方のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程と、張り合わせた一対のマザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程と、液晶セルに液晶を注入する注入工程をさらに有することを特徴とする。   In addition, two mother substrates are prepared, a vapor deposition process is performed on the two mother substrates, a sealing material arranging step is performed on one of the two mother substrates, and one mother substrate and The method further includes a bonding step of bonding the other mother substrate, a cutting step of cutting individual liquid crystal cells from the pair of bonded mother substrates, and an injection step of injecting liquid crystals into the liquid crystal cells.

本発明の液晶素子は、液晶駆動領域を取り囲むように円形のシール形状をとることで、注入口の位置を任意に変えることがき、それにより注入方向を柱状構造物で形成された蒸着配向膜の方向にそって注入することができる。これにより蒸着配向膜と注入方向の不一致による配向ムラが解消できる。また、液晶駆動領域が注入口から離れているため注入直後に液晶が半円状に広がることによる注入口近傍の配向ムラも解消される。   In the liquid crystal element of the present invention, the position of the injection port can be arbitrarily changed by taking a circular seal shape so as to surround the liquid crystal drive region, and thereby the injection direction of the vapor deposition alignment film formed by the columnar structure. Can be injected along the direction. Thereby, the alignment unevenness due to the mismatch between the deposited alignment film and the injection direction can be eliminated. In addition, since the liquid crystal driving region is away from the injection port, uneven alignment in the vicinity of the injection port due to the liquid crystal spreading in a semicircular shape immediately after injection is also eliminated.

以下、本発明にかかる実施形態について図を用いて説明するがこの発明は以下の実施形態に限定されるものではない。実施例では、斜方蒸蒸着法より形成された無機配向膜を蒸着配向膜として用いた強誘電性液晶素子を例にとって説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In the embodiment, a ferroelectric liquid crystal element using an inorganic alignment film formed by oblique vapor deposition as an evaporation alignment film will be described as an example.

まずは本実施例における液晶素子の構造について図2を用いて説明する。図2は強誘電性液晶を内蔵した液晶素子を説明するために、液晶素子の断面を模式的に示す図である。図2において、1はガラス基板、2は透明電極膜、3は無機配向膜、4は強誘電性液晶、5はスペーサである。   First, the structure of the liquid crystal element in this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross section of a liquid crystal element in order to explain a liquid crystal element incorporating a ferroelectric liquid crystal. In FIG. 2, 1 is a glass substrate, 2 is a transparent electrode film, 3 is an inorganic alignment film, 4 is a ferroelectric liquid crystal, and 5 is a spacer.

ガラス基板1には透明電極膜2が形成されている。この透明電極膜2は、ガラス基板14にITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)の膜を形成し、所定の形状にフォトリソグラフィ技術を用いてパターンニングを行って形成したものである。透明電極膜2の上にSiO(Silicon Oxide:酸化ケイ素)等の無機化合物の配向膜3を真空蒸着法等で作成した。   A transparent electrode film 2 is formed on the glass substrate 1. The transparent electrode film 2 is formed by forming an ITO (Indium Tin Oxide) film on a glass substrate 14 and patterning the film into a predetermined shape using a photolithography technique. An alignment film 3 of an inorganic compound such as SiO (Silicon Oxide) was formed on the transparent electrode film 2 by a vacuum deposition method or the like.

配向膜3を形成した一対のガラス基板1を対向させて2つ合わせ、その間に強誘電性液晶4を挟んでいる。セルギャップと呼ばれる配向膜3間の距離を一定に保つために、この2枚のガラス基板の間に加圧等で変形しないスペーサ5を適当な数だけ配設する。   A pair of glass substrates 1 on which an alignment film 3 is formed are opposed to each other, and a ferroelectric liquid crystal 4 is sandwiched therebetween. In order to keep the distance between the alignment films 3 called a cell gap constant, an appropriate number of spacers 5 that are not deformed by pressure or the like are disposed between the two glass substrates.

次に、強誘電性液晶の電気光学効果について説明する。図3は強誘電性液晶の透過率と電圧の特性図である。強誘電性液晶は2つの安定状態を持ち、その2つの安定状態はある閾値を超えた電圧を印加することによって状態が切り替わり、印加電圧の極性によって第1の安定状態あるいは第2の安定状態を選択することができる。   Next, the electro-optic effect of the ferroelectric liquid crystal will be described. FIG. 3 is a characteristic diagram of transmittance and voltage of the ferroelectric liquid crystal. The ferroelectric liquid crystal has two stable states, and the two stable states are switched by applying a voltage exceeding a certain threshold value, and the first stable state or the second stable state is changed depending on the polarity of the applied voltage. You can choose.

強誘電性液晶のようなメモリ性を有する液晶では、電圧印加前、液晶分子は第1の安定状態または第2の安定状態のいずれか片方に位置しており、電圧が印加されないかぎりこの状態を保持することができる。電圧印加前、どちらかの安定状態にであった液晶分子は、図3に図示されるように印加電圧を徐々に上げて行くと、V1になったところで第1の
安定状態に切り替わり始め、V2に達したところですべての液晶分子が第1の安定状態になる。その後V2から徐々に電圧を下げていくと、V3になるまでは液晶分子は第1の安定状態のままであるが、印加電圧がV3よりも大きくなったところで液晶分子が第2の安定状態に切り替わり始める。更に印加電圧がV4に達するとすべとの液晶分子が第2の安定状態になる。よって、印加電圧が0となる電圧無印加時には、第1の安定状態か第2の安定状態のどちらかが維持される。そして、状態を逆にするためには閾値以上の逆極性の電圧を印加する必要がある。
In a liquid crystal having a memory property such as a ferroelectric liquid crystal, the liquid crystal molecules are positioned in one of the first stable state and the second stable state before voltage application, and this state is maintained unless a voltage is applied. Can be held. As shown in FIG. 3, the liquid crystal molecules that have been in one of the stable states before the voltage application are gradually switched to the first stable state when the applied voltage is gradually increased as shown in FIG. All the liquid crystal molecules reach the first stable state when the value is reached. Thereafter, when the voltage is gradually lowered from V2, the liquid crystal molecules remain in the first stable state until V3 is reached, but when the applied voltage becomes higher than V3, the liquid crystal molecules enter the second stable state. Start switching. Further, when the applied voltage reaches V4, all liquid crystal molecules are in the second stable state. Therefore, when no voltage is applied at which the applied voltage is 0, either the first stable state or the second stable state is maintained. In order to reverse the state, it is necessary to apply a voltage having a reverse polarity equal to or higher than a threshold value.

図4を用いて強誘電性液晶分子の電圧印加による挙動を説明する。強誘電性液晶は、閾値以上の異なる極性の電圧を印加すると柱状構造物形成方向からチルト角θだけ傾いた2つの安定状態のみをとることができる。ここで、6は液晶分子、図4中の矢印は自発分極の向きである。つまり、閾値以上の電圧を印加すると片方の安定状態からもう一方の安定状態になることで液晶分子の光軸は2θ変化する。このときの入射光量と透過光量の関係は以下の数式になる。   The behavior of the ferroelectric liquid crystal molecules due to voltage application will be described with reference to FIG. The ferroelectric liquid crystal can take only two stable states inclined by a tilt angle θ from the columnar structure forming direction when voltages having different polarities equal to or higher than a threshold value are applied. Here, 6 is a liquid crystal molecule, and the arrow in FIG. 4 is the direction of spontaneous polarization. That is, when a voltage equal to or higher than the threshold is applied, the optical axis of the liquid crystal molecules changes 2θ by changing from one stable state to the other stable state. The relationship between the amount of incident light and the amount of transmitted light at this time is expressed by the following formula.

式1 Iout=Iin*Sin(2θ)*Sin(πΔnd/λ) Formula 1 I out = I in * Sin 2 (2θ) * Sin 2 (πΔnd / λ)

上記数式においてIinは入射光量、Ioutは透過光量、Δnは液晶分子の複屈折率異方性、dはセルギャップ、λは入射波長である。 In the above formula, I in is the amount of incident light, I out is the amount of transmitted light, Δn is the birefringence anisotropy of liquid crystal molecules, d is the cell gap, and λ is the incident wavelength.

強誘電性液晶の場合、安定状態からもう一方の安定状態になることで液晶分子の光軸は2θ変化する。柱状構造物の形成方向はこの二つの安定状態になるときの液晶分子の位置のちょうど中間点となっている。   In the case of a ferroelectric liquid crystal, the optical axis of liquid crystal molecules changes 2θ by changing from a stable state to another stable state. The direction in which the columnar structure is formed is exactly the midpoint between the positions of the liquid crystal molecules when these two stable states are reached.

強誘電性液晶を挟持した液晶素子で用いられる配向膜は様々であるが、強誘電性液晶の大きな特徴であるメモリ性を発現させるためには液晶分子に大きなプレチルト角を持たせることが必要となる。そのために無機配向膜も用いた斜方蒸着方で作成するのが一般的である。   There are various alignment films used in liquid crystal elements sandwiching a ferroelectric liquid crystal, but it is necessary to give the liquid crystal molecules a large pretilt angle in order to develop the memory characteristic that is a major feature of the ferroelectric liquid crystal. Become. For this purpose, it is common to produce the film by oblique vapor deposition using an inorganic alignment film.

代表的な斜方蒸着工程の例を以下に説明する。図5は斜方蒸着に用いられる蒸着装置および蒸着装置内のマザー基板位置を模式的に表した図である。12は排気手段を備えた真空槽である。図5では簡略化のため排気手段は省略する。13は蒸着源である。ここに配置されたSiO、SiO2などの蒸着材料が抵抗加熱、イオンビームなどにより過熱され真空槽12内に飛散する。14は液晶セル基板が多数個配置されたマザー基板である。15はマザー基板を回転させるための回転手段である。この回転手段15の中心は蒸着源13の位置と一致しておりマザー基板14を真空槽12内で回転させることにより蒸着源13から飛散する無機材料をすべてのマザー基板14に均一に蒸着することができる。16はマザー基板14と回転手段15とを固定する治具であり、角度調整機能がついておりこれにより斜方蒸着の蒸着角度を調整できる。この例では回転転手段15と治具16を用いてマザー基板14を固定したが、この方法には限定されず他の方法でマザー基板14の回転、固定をおこなってもかまわない。   An example of a typical oblique deposition process will be described below. FIG. 5 is a diagram schematically showing a vapor deposition apparatus used for oblique vapor deposition and a mother substrate position in the vapor deposition apparatus. Reference numeral 12 denotes a vacuum chamber provided with exhaust means. In FIG. 5, the exhaust means is omitted for simplification. Reference numeral 13 denotes an evaporation source. Vapor deposition materials such as SiO and SiO2 disposed here are heated by resistance heating, ion beam, etc. and scattered in the vacuum chamber 12. Reference numeral 14 denotes a mother substrate on which a large number of liquid crystal cell substrates are arranged. Reference numeral 15 denotes a rotating means for rotating the mother substrate. The center of the rotating means 15 coincides with the position of the vapor deposition source 13, and the mother substrate 14 is rotated in the vacuum chamber 12 to uniformly deposit the inorganic material scattered from the vapor deposition source 13 on all the mother substrates 14. Can do. Reference numeral 16 denotes a jig for fixing the mother substrate 14 and the rotating means 15 and has an angle adjustment function, whereby the deposition angle of oblique deposition can be adjusted. In this example, the mother substrate 14 is fixed using the rotation rolling means 15 and the jig 16, but the present invention is not limited to this method, and the mother substrate 14 may be rotated and fixed by other methods.

斜方蒸着による無機配向膜は、前述した通り斜方蒸着による特性としてマザー基板面内における柱状構造物の形成方向に分布が発生する。以下、柱状構造物の形成方向に分布に関して、図6および図7a,図7bを用いて説明する。   As described above, the inorganic alignment film formed by oblique deposition has a distribution in the forming direction of the columnar structure in the mother substrate surface as a characteristic by oblique deposition. Hereinafter, the distribution in the forming direction of the columnar structure will be described with reference to FIGS. 6, 7 a, and 7 b.

図6の点Oはマザー基板最上部のうちマザー基板横方向の中点である。この点Oは回転転手段15の円周上に位置している。点AはOから水平に延ばした線と回転手段15の中心軸との交点である。Z1は蒸着源13と点Aまでの距離である。Z2は蒸着源13からマザー基板14上の点Oまでの距離である。Rは回転手段15の半径の距離である。すなわち
(Z1+R20.5=Z2である。点Pはマザー基板14上の任意点である。この場合、マザー基板14のZ2上の位置では斜方蒸着により形成される柱状構造物の形成方向はマザー基板14縦方向と平行方向である。
A point O in FIG. 6 is a middle point in the horizontal direction of the mother board in the uppermost part of the mother board. This point O is located on the circumference of the rotary rolling means 15. Point A is the intersection of a line extending horizontally from O and the central axis of the rotating means 15. Z1 is the distance from the vapor deposition source 13 to the point A. Z2 is the distance from the vapor deposition source 13 to the point O on the mother substrate 14. R is the radius distance of the rotating means 15. That is, (Z1 2 + R 2 ) 0.5 = Z2. Point P is an arbitrary point on the mother substrate 14. In this case, at the position on the mother substrate 14 on Z2, the forming direction of the columnar structure formed by oblique vapor deposition is parallel to the longitudinal direction of the mother substrate 14.

次にマザー基板14上のある任意の点Pでの柱状構造物の形成方向に関して図7a、図7bをもちいて考える。図7aはマザー基板14を横から見たもの、図7bはマザー基板14を正面から見たときの図である。図7a、図7b中の点Oはマザー基板14の中心位置であり、その位置を(0,0)とする。点Pの位置は点Oを(0,0)としたとき(Xp,Yp)とあらわすことにする。Z3は(Z2-Yp)である。ここで、図7aで示すようにマザー基板14とz1がなす角を角度θとし、点Pでの柱状構造物の形成方向の角度を角度θpとするとθpは以下の数式で表される。   Next, the columnar structure formation direction at an arbitrary point P on the mother substrate 14 will be considered with reference to FIGS. 7a and 7b. FIG. 7A is a view of the mother substrate 14 viewed from the side, and FIG. 7B is a view of the mother substrate 14 viewed from the front. The point O in FIGS. 7a and 7b is the center position of the mother board 14, and the position is (0, 0). The position of the point P is expressed as (Xp, Yp) when the point O is (0, 0). Z3 is (Z2-Yp). Here, as shown in FIG. 7a, if the angle formed by the mother substrate 14 and z1 is an angle θ and the angle in the formation direction of the columnar structure at the point P is an angle θp, θp is expressed by the following equation.

式2 θp=Atan(Xp/Z3)
式3 Z3={(R-Ypsinθ)+(Z1-Ypcosθ)}0.5
Equation 2 θp = Atan (Xp / Z3)
Formula 3 Z3 = {(R-Ypsinθ) 2 + (Z1−Ypcosθ) 2 } 0.5

上式のように柱状構造物の形成方向は蒸着源13からのマザー基板14までの高さ(Z1)、回転手段15の半径(R)、マザー基板14上の位置(Xp、Yp)、により決定される。そのため、角度θpのバラツキを抑えるためには、Z1、Rを大きくするすなわち蒸着装置自体を大きくするか、マザー基板14のサイズを小さくする必要があるといえる。   As shown in the above formula, the columnar structure is formed by the height (Z1) from the vapor deposition source 13 to the mother substrate 14, the radius (R) of the rotating means 15, and the position (Xp, Yp) on the mother substrate 14. It is determined. Therefore, in order to suppress the variation in the angle θp, it can be said that it is necessary to increase Z1 and R, that is, to increase the vapor deposition apparatus itself, or to reduce the size of the mother substrate 14.

次に本実施例のシール材配置工程について、詳しく説明する。図8はマザー基板14面内に複数の液晶セル基板を配置したときの模式図である。図8の7a〜7eは液晶セル基板であり、それぞれ注入口11の形成位置が異なっている。d6〜d10はそれぞれ液晶セル基板7a〜7e上での柱状構造物の形成方向であり、これは前述の式2中のθpから算出することができる。このように、柱状構造物の形成方向と注入方向を同一方向にするには、マザー基板14内の液晶素子7の位置からθpを割り出し、その角度だけ注入口11の配置位置を傾斜さえればよい。   Next, the sealing material arrangement process of the present embodiment will be described in detail. FIG. 8 is a schematic view when a plurality of liquid crystal cell substrates are arranged in the surface of the mother substrate 14. 8a to 7e in FIG. 8 are liquid crystal cell substrates, and the positions where the injection ports 11 are formed are different. d6 to d10 are the formation directions of the columnar structures on the liquid crystal cell substrates 7a to 7e, respectively, and this can be calculated from θp in the above-described equation 2. Thus, in order to make the formation direction of the columnar structure and the injection direction the same direction, θp is determined from the position of the liquid crystal element 7 in the mother substrate 14 and the arrangement position of the injection port 11 is inclined by that angle. Good.

個々の液晶セル基板7a〜7eは液晶を駆動するための駆動電極が配置されており、液晶セル基板の中央領域は、液晶が駆動される液晶駆動領域を有するが、より好ましくは、液晶セル基板7a〜7eにおいて、液晶駆動領域の中心部分における柱状構造物の形成方向と注入方向を合わせれば、液晶素子面内での配向ムラが最も良く解消される。   Each of the liquid crystal cell substrates 7a to 7e is provided with drive electrodes for driving the liquid crystal, and the central region of the liquid crystal cell substrate has a liquid crystal drive region in which the liquid crystal is driven. In 7a to 7e, the alignment unevenness in the liquid crystal element plane is best eliminated by matching the forming direction of the columnar structure in the central portion of the liquid crystal driving region with the injection direction.

次に注入口の配置位置について、図1および図8を用いて以下説明する。前述したように、マザー基板14の中心位置における柱状構造物の形成方向d6は、マザー基板14の縦辺方向と平行である。そのため、図1に図示するように、この中央位置に作成される液晶セル基板7(図8では液晶セル基板7a)の注入口11は、注入口11を形成しているシール材8の二つの端部を結んだ線分hと、形成方向d6とが、垂直になるように、シール材8の一部を取り除いて注入口11を設ける。これと同様に、図8に図示したように、液晶セル基板7bは形成方向d7に、液晶セル基板7cは形成方向d8と、液晶セル基板7dは形成方向d9と、液晶セル基板7eは形成方向d10とが、それぞれ垂直になるよう注入口11を形成する。このように注入口を配置することによって、各液晶セル基板7a〜7eの柱状構造物の形成方向と注入方向が同一方向になり配向ムラが解消される。   Next, the arrangement position of the injection port will be described below with reference to FIGS. 1 and 8. As described above, the columnar structure formation direction d6 at the center position of the mother substrate 14 is parallel to the longitudinal direction of the mother substrate 14. Therefore, as shown in FIG. 1, the injection port 11 of the liquid crystal cell substrate 7 (in FIG. 8, the liquid crystal cell substrate 7 a) created at the center position has two sealing materials 8 forming the injection port 11. The injection port 11 is provided by removing a part of the sealing material 8 so that the line segment h connecting the end portions is perpendicular to the forming direction d6. Similarly, as shown in FIG. 8, the liquid crystal cell substrate 7b is formed in the forming direction d7, the liquid crystal cell substrate 7c is formed in the forming direction d8, the liquid crystal cell substrate 7d is formed in the forming direction d9, and the liquid crystal cell substrate 7e is formed in the forming direction. The injection port 11 is formed so that d10 is perpendicular to each other. By arranging the injection port in this way, the formation direction of the columnar structures of the liquid crystal cell substrates 7a to 7e and the injection direction become the same direction, and uneven alignment is eliminated.

ここで、マザー基板14において、下側面から上側面に行くにしたがっても、柱状構造物の形成方向は変化している。図8では縦の列における液晶セル基板の注入口11の配置位置は同じくしたが、個々の液晶セル基板に対して注入口11の配置位置を設定すればmマザー基板14内のすべての液晶セル基板について、その柱状構造物の形成方向と注入方向とを同一方向にすることができる。   Here, in the mother substrate 14, the direction in which the columnar structures are formed changes as it goes from the lower surface to the upper surface. In FIG. 8, the arrangement positions of the inlets 11 of the liquid crystal cell substrates in the vertical columns are the same. However, if the arrangement positions of the injection holes 11 are set for individual liquid crystal cell substrates, all the liquid crystal cells in the m mother substrate 14 are set. For the substrate, the columnar structure can be formed in the same direction as the injection direction.

次に、液晶セル基板を張り合わせる張り合わせ工程と、液晶セルの切断工程と、注入工程について説明する。マザー基板を2枚用意し、2枚のマザー基板について、前述したように蒸着工程を行い、2枚の前記マザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対して、前述したシール材配置工程を行う。そして、一方のマザー基板と、のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程を行った後、張り合わせた一対のマザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程を行う。得られた1個の液晶セルに液晶を注入する注入工程を行い、液晶素子を得ることができる。   Next, a bonding process of bonding the liquid crystal cell substrate, a cutting process of the liquid crystal cell, and an injection process will be described. Two mother substrates are prepared, the two mother substrates are subjected to the vapor deposition process as described above, and the sealing material arranging process is performed on one of the two mother substrates. . Then, after performing a bonding step of bonding one mother substrate to the mother substrate, a cutting step of cutting individual liquid crystal cells from the pair of bonded mother substrates is performed. A liquid crystal element can be obtained by performing an injection process of injecting liquid crystal into the obtained one liquid crystal cell.

この円形のシール形状での注入工程について図を用いて説明する。図9は液晶素子の平面図であり、液晶素子における注入過程を示したものである。7は液晶セル基板、8は液晶を挟持するため上下のガラス基板を接着するシール材、9は液晶素子の液晶駆動領域、10は液晶充填領域(液晶駆動領域9も含む)、11は液晶の注入口である。   The injection process with this circular seal shape will be described with reference to the drawings. FIG. 9 is a plan view of the liquid crystal element and shows an injection process in the liquid crystal element. 7 is a liquid crystal cell substrate, 8 is a sealing material for adhering the upper and lower glass substrates to sandwich the liquid crystal, 9 is a liquid crystal driving region of the liquid crystal element, 10 is a liquid crystal filling region (including the liquid crystal driving region 9), and 11 is a liquid crystal It is an inlet.

まず、液晶素子を高温焼成して液晶素子内部に形成されている無機配向膜に吸着された水分等を取り除く。次に液晶素子を常温に戻した後、液晶素子を真空チャンバー内部に配置し液晶素子内の液晶充填領域10を減圧する。十分減圧をおこなった後に液晶を注入口11に塗布し、注入口11を塞ぐ。この状態で液晶を加熱し粘性を下げる。これは強誘電性液晶が常温では粘性が高く液晶充填領域10に侵入していかないためである。そして、真空チャンバー内を大気圧に戻すと液晶素子に内外の圧力差によって液晶は注入されていく。液晶充填領域10が液晶で満たされたら、例えば光硬化樹脂などの封止剤で注入口11を封鎖する。   First, the liquid crystal element is baked at a high temperature to remove moisture adsorbed on the inorganic alignment film formed inside the liquid crystal element. Next, after returning a liquid crystal element to normal temperature, a liquid crystal element is arrange | positioned inside a vacuum chamber and the liquid crystal filling area | region 10 in a liquid crystal element is pressure-reduced. After sufficiently reducing the pressure, liquid crystal is applied to the inlet 11 to close the inlet 11. In this state, the liquid crystal is heated to lower the viscosity. This is because the ferroelectric liquid crystal has high viscosity at room temperature and does not enter the liquid crystal filling region 10. When the inside of the vacuum chamber is returned to the atmospheric pressure, the liquid crystal is injected into the liquid crystal element due to the pressure difference between the inside and outside. When the liquid crystal filling region 10 is filled with liquid crystal, the injection port 11 is sealed with a sealing agent such as a photo-curing resin.

従来の四角形シール形状での場合と同様に、液晶注入開始直後は注入口11を中心にS3のように半円状に注入されていく。その後は四角形のシール形状とは異なり、両側のシール8に到達するのが四角形よりも早いため、注入後すぐS4のように液晶は注入口の両端を結んだ線と垂直方向d4に注入されていく。また液晶駆動領域9が注入口11から離れているため注入直後に液晶が半円状に広がることによる注入口11近傍の配向ムラも解消される。   As in the case of the conventional quadrangular seal shape, immediately after the start of liquid crystal injection, the liquid is injected in a semicircular shape like S3 around the injection port 11. After that, unlike the square seal shape, the liquid crystal is injected in the direction d4 perpendicular to the line connecting both ends of the injection port as in S4 immediately after injection because it reaches the seals 8 on both sides earlier than the square. Go. In addition, since the liquid crystal drive region 9 is separated from the injection port 11, the alignment unevenness in the vicinity of the injection port 11 due to the liquid crystal spreading in a semicircular shape immediately after the injection is eliminated.

図10は図9と同様に、円形のシール材が形成された液晶素子の平面図である。しかし、注入口11の位置が図9とは異なり、傾斜して形成されている。図10も円形のシール形状の液晶素子に、液晶を注入する過程を示した図である。図10のように注入口11をずらしてもシール形状が円形のため注入口11の位置と液晶充填領域10の相対位置は変わらない。これにより注入過程S5、S6は、図9の注入過程S3、S4と変わらず、液晶は柱状構造物の形成方向d5方向に注入されていく。   FIG. 10 is a plan view of a liquid crystal element in which a circular sealing material is formed, as in FIG. However, the position of the injection port 11 is different from that shown in FIG. FIG. 10 is also a diagram showing a process of injecting liquid crystal into a circular seal-shaped liquid crystal element. Even if the injection port 11 is shifted as shown in FIG. 10, since the seal shape is circular, the position of the injection port 11 and the relative position of the liquid crystal filling region 10 do not change. Thereby, the injection processes S5 and S6 are the same as the injection processes S3 and S4 in FIG. 9, and the liquid crystal is injected in the columnar structure formation direction d5.

つまり注入口11の位置は、シール材8の円周上のどの位置に配置しても、その注入特性は同一である。また、シール材8の形状が円形なので、注入口11の位置を変えても液晶素子の外形サイズ、シール形状は注入口11部分以外変わらない。   That is, the injection port 11 has the same injection characteristic regardless of the position on the circumference of the sealing material 8. Further, since the shape of the sealing material 8 is circular, even if the position of the injection port 11 is changed, the outer size and the seal shape of the liquid crystal element are not changed except for the portion of the injection port 11.

上記のようなシール材の形状を用い、液晶素子のごとに注入口の配置を変えることで、柱状構造物の形成方向と注入方向をマザー基板内のすべての液晶セル基板について一致させることができる。マザー基板内の各液晶セル基板の注入口をどの程度傾けるべきかは蒸着の特性により決定する。   By using the shape of the sealing material as described above and changing the arrangement of the injection port for each liquid crystal element, the formation direction of the columnar structure and the injection direction can be made to coincide for all the liquid crystal cell substrates in the mother substrate. . The degree to which the inlet of each liquid crystal cell substrate in the mother substrate should be tilted is determined by the characteristics of vapor deposition.

本実施例では基板を適当な角度傾ける斜方蒸着を例にとって説明したがこの特性は斜方蒸着および回転機構を有する治具を用いた場合には限定されず、水平に蒸着した場合においても適応される。   In this embodiment, the oblique vapor deposition in which the substrate is tilted at an appropriate angle has been described as an example, but this characteristic is not limited to the case of using a jig having an oblique vapor deposition and a rotation mechanism, and can be applied even in the case of horizontal vapor deposition. Is done.

本実施例であげた斜方蒸着による柱状構造物の形成方向は、マザー基板と回転手段と治
具との固定位置、マザー基板と蒸着源との位置関係により変化するが、注入口の位置をその蒸着特性に合わせて設定すればよく、その他条件においても適用可能である。マザー基板から切り出されて作成されたすべての液晶素子が適切な注入方向から注入されるので配向ムラがすくなくなくなり液晶素子の品質が向上する。
The formation direction of the columnar structure by oblique vapor deposition described in this embodiment varies depending on the fixing position of the mother substrate, the rotating means, and the jig, and the positional relationship between the mother substrate and the vapor deposition source. What is necessary is just to set according to the vapor deposition characteristic, and it is applicable also in other conditions. Since all the liquid crystal elements cut out from the mother substrate are injected from an appropriate injection direction, the alignment unevenness is not reduced and the quality of the liquid crystal elements is improved.

本発明の液晶素子の構造を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the structure of the liquid crystal element of this invention. 本発明の液晶素子の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the liquid crystal element of this invention typically. 実施例に用いられている強誘電性液晶の特性を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of the ferroelectric liquid crystal used for the Example. 実施例に用いられている強誘電性液晶の特性を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of the ferroelectric liquid crystal used for the Example. 本発明の液晶素子の蒸着工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the vapor deposition process of the liquid crystal element of this invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the formation direction of the columnar structure of this invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the formation direction of the columnar structure of this invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the formation direction of the columnar structure of this invention. 本発明のマザー基板と液晶セル基板とを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the mother board | substrate and liquid crystal cell substrate of this invention. 本発明の液晶素子の注入工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the injection | pouring process of the liquid crystal element of this invention. 本発明の液晶素子の注入工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the injection | pouring process of the liquid crystal element of this invention. 蒸着の特性を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of vapor deposition. 蒸着の特性を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the characteristic of vapor deposition. 従来の液晶素子の平面図である。It is a top view of the conventional liquid crystal element. 従来の液晶素子の注入工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the injection | pouring process of the conventional liquid crystal element. 従来技術を説明する図である。It is a figure explaining a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

1ガラス基板
2透明電極
3無機配向膜
4強誘電性液晶
5スペーサ
6液晶分子
7液晶セル基板
8シール材
9液晶駆動領域
10液晶充填領域
11注入口
12真空槽
13蒸着源
14マザー基板
15回転手段
16治具
100液晶素子
101シール
102液晶駆動領域
103注入口
104蒸着源
105治具
106治具
201液晶素子
202接着シール
203開口部
204注入口
205液晶だめ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Transparent electrode 3 Inorganic alignment film 4 Ferroelectric liquid crystal 5 Spacer 6 Liquid crystal molecule 7 Liquid crystal cell substrate 8 Seal material 9 Liquid crystal drive area 10 Liquid crystal filling area 11 Inlet 12 Vacuum tank 13 Deposition source 14 Mother substrate 15 Rotating means 16 jig 100 liquid crystal element 101 seal 102 liquid crystal drive region 103 inlet 104 deposition source 105 jig 106 jig 201 liquid crystal element 202 adhesive seal 203 opening 204 inlet 205 liquid crystal reservoir

Claims (5)

基板上に蒸着によって柱状構造物の蒸着配向膜が形成された一対の基板間に、液晶が挟持され、前記一対の基板を接着するシール材と、前記液晶を注入するための注入口とを有した液晶素子において、
前記シール材の形状が円形であり、前記注入口は前記シール材の円周上で、かつ円形の前記シール材の一部を取り除いて形成され、さらに、前記注入口を形成している前記シール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、前記柱状構造物の形成方向を配置することを特徴とする液晶素子。
A liquid crystal is sandwiched between a pair of substrates on which a columnar structure deposition alignment film is formed by vapor deposition on the substrate, and has a sealing material for bonding the pair of substrates, and an injection port for injecting the liquid crystal. In the liquid crystal element
The shape of the sealing material is circular, and the injection port is formed on the circumference of the sealing material and by removing a part of the circular sealing material, and further, the seal forming the injection port A liquid crystal element, wherein a direction in which the columnar structure is formed is arranged in a direction perpendicular to a line segment connecting two end portions on a circumference of a material.
前記一対の基板間には、前記液晶を駆動する電極が配置され、前記液晶が駆動される液晶駆動領域を有し、前記注入口が前記液晶駆動領域から離れて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶素子。   An electrode for driving the liquid crystal is disposed between the pair of substrates, has a liquid crystal driving region for driving the liquid crystal, and the injection port is disposed apart from the liquid crystal driving region. The liquid crystal device according to claim 1. 前記蒸着配向膜が斜方蒸着または水平蒸着で形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶素子。 The liquid crystal device according to claim 1, wherein the vapor deposition alignment film is formed by oblique vapor deposition or horizontal vapor deposition. 複数の液晶セル基板を備えたマザー基板を用意する工程と、
前記マザー基板に蒸着配向膜を蒸着する蒸着工程と、
各々の前記液晶セル基板に円形のシール材を設け、かつ同時に、前記シール材の円周上で、円形の前記シール材の一部を取り除いて注入口を形成し、さらに、前記注入口を形成している前記シール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、前記蒸着配向膜における柱状構造物の形成方向が一致するように、前記注入口の位置を配置するシール材配置工程とを有する液晶素子の製造方法。
Preparing a mother substrate having a plurality of liquid crystal cell substrates;
A deposition step of depositing a deposition alignment film on the mother substrate;
A circular sealing material is provided on each of the liquid crystal cell substrates, and at the same time, an injection port is formed by removing a part of the circular sealing material on the circumference of the sealing material, and further forming the injection port Of the injection port so that the direction of formation of the columnar structures in the vapor deposition alignment film coincides with the direction perpendicular to the line connecting the two ends on the circumference of the sealing material. The manufacturing method of the liquid crystal element which has a sealing material arrangement | positioning process which arrange | positions a position.
前記マザー基板を2枚用意し、2枚の前記マザー基板について蒸着工程を行い、2枚の前記マザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対してシール材配置工程を行い、前記一方のマザー基板と、他方のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程と、前記張り合わせた一対の前記マザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程と、前記液晶セルに液晶を注入する注入工程をさらに有する請求項4に記載の液晶素子の製造方法。   Two mother substrates are prepared, a vapor deposition process is performed on the two mother substrates, a sealing material arranging step is performed on one of the two mother substrates, and the one mother substrate 5. A bonding step of bonding the other mother substrate together, a cutting step of cutting individual liquid crystal cells from the pair of bonded mother substrates, and an injection step of injecting liquid crystal into the liquid crystal cells. The manufacturing method of the liquid crystal element as described in 1 ..
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