JP2008242031A - Liquid crystal device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Inventor
Takayoshi Furuya
隆善 古屋
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シチズンホールディングス株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a seal shape of a liquid crystal device which can solve uneven alignment due to a formation direction of an inorganic alignment layer.
SOLUTION: The liquid crystal element 7 is provided with a circular seal material 8 so as to surround a liquid crystal driving area 9 and an injection port 11 is formed by removing a prescribed portion of the seal material 8. A formation position of the injection port 11 is formed so that a formation direction d6 of a deposited alignment layer composed of a columnar structure is made vertical to a segment h connecting two end parts of the seal material 8 on the injection port 11. By setting the formation position of the injection port 11 about all liquid crystal devices in a mother board, liquid crystal can be injected under an optimum condition in all liquid crystal devices in the mother board, so that uneven alignment due to the formation direction of the deposited alignment layer composed of the columnar structure can be solved.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は液晶素子に関するもので、さらに詳しくは、液晶の注入特性を向上させるための液晶素子の構造および製造方法に関するものである。 The present invention relates to a liquid crystal device, and more particularly, to a structure and a manufacturing method of the liquid crystal element for improving the injection characteristics of the liquid crystal.

現在知られている液晶の配向方法として、有機配向膜をラビングする方法と無機配向膜を斜方蒸着する方法の大きく分けて2つに分かれている。 As an alignment method of liquid crystal that are currently known, it is divided how and inorganic alignment film rubbed organic alignment film into two roughly how to oblique evaporation. このうち有機配向膜は生産性に優れているが、耐熱性、耐光性が十分ではない。 Among Although organic alignment film is excellent in productivity, heat resistance, is not sufficient light resistance. また、強誘電性液晶を用いた液晶素子など、高プレチルト角が必要な液晶素子などでは、無機配向膜を用いなければ高プレチルト角を得るのは困難である。 Further, such a liquid crystal device using a ferroelectric liquid crystal, in such a high pretilt angle liquid crystal elements required, it is difficult if not using an inorganic alignment film achieve high pretilt angles.

無機配向膜は、主に斜方蒸着法により形成される。 Inorganic alignment film is mainly formed by oblique evaporation method. 蒸着源はSiO、SiO2、などが用いられ、これらの蒸着源を抵抗加熱等で加熱して蒸発させ基板に付着させる。 Evaporation source is SiO, SiO2, and the like are used, is attached to the substrate is evaporated by heating these evaporation sources by resistance heating or the like. 基板に付着した無機化合物が柱状構造物を形成する。 Inorganic compounds adhered to the substrate to form a columnar structure. この柱状構造物の集合体が配向膜となっている。 This collection of columnar structure has become an alignment film. 液晶分子の配向方向はこの柱状構造物により定められる。 Alignment direction of liquid crystal molecules is determined by the columnar structure.

斜方蒸着法で作成された無機配向膜は、耐熱性や耐光性に優れ、高プレチルト角が容易に得られるという利点があるが、一方で斜方蒸着の特性上基板に形成される柱状構造物の形成方向に分布が生じ、液晶の配向ムラが生じやすいことが知られている。 Inorganic alignment film created by oblique deposition method excellent in heat resistance and light resistance, columnar structure has the advantage of high pretilt angle can be easily obtained, which on the one hand formed characteristics on a substrate obliquely evaporated distributed in the forming direction of the object occurs, uneven alignment of the liquid crystal is known to be susceptible to occur.

液晶の配向ムラを軽減する方法として例えば特許文献1にあるような方法が提案されている。 Methods as for example in Patent Document 1 as a method of reducing the uneven alignment of the liquid crystal has been proposed. これによると、斜方蒸着で形成された無機配向膜に強誘電性液晶を良好に配向させるには液晶注入方向が重要であること述べられている。 According to this, it stated that in order to better orient the ferroelectric liquid crystal in the inorganic alignment films formed by oblique deposition is liquid injection direction is important. 特に柱状構造物の形成方向と注入方向を一致させる方法が述べられている。 In particular, the method of matching the the injection direction forming direction of the columnar structure is described. 図15は特許文献1で述べられている液晶素子の概略図である。 Figure 15 is a schematic view of a liquid crystal device set forth in Patent Document 1. 201は液晶素子、202は接着シール、203は接着シールとの間に所定の間隔をおいてあけられた開口部、204は注入口、205は液晶だめである。 201 liquid crystal element 202 is adhesive seal, 203 openings drilled with a predetermined gap between the adhesive seal, 204 inlet, 205 is a liquid crystal reservoir. 図15では、液晶パネルの接着シール202を二重に作り、内側の接着シール202には所定の間隔をおいて開口部203を持たせ、液晶を注入するときに液晶を分散して注入させることで配向ムラを低減させるというものである。 In Figure 15, making the adhesive seal 202 of the liquid crystal panel in duplicate to have an opening 203 at a predetermined interval on the inner side of the adhesive seal 202, thereby injecting dispersed liquid crystal when the liquid crystal is injected in are those of reducing the uneven alignment.

実用新案公開平成5−59429号公報(第7頁、第1図) Utility Model Publication Heisei 5-59429 discloses (page 7, FIG. 1)

通常液晶素子を製造する場合は、マザー基板内に複数個の液晶素子となるセル基板を配置し、柱状構造物の蒸着配向膜をマザー基板上に蒸着し、個々のセル基板はすべて同時に蒸着配向膜が形成され、多数個取りできるようにする。 When producing a normally liquid crystal element arranged cell substrate comprising a plurality of liquid crystal elements in the mother substrate, depositing a vapor deposition-alignment layer of the columnar structure on the mother board, evaporated alignment every individual cell substrates are simultaneously film is formed, to be able to multi-cavity.

一般的な斜方蒸着におけるマザー基板内の柱状構造物の形成方向について説明する。 The formation direction of the columnar structure in the mother substrate is described in the general oblique deposition. 図11に蒸着されるマザー基板と蒸着源との位置関係を示す。 A mother substrate to be deposited in FIG. 11 shows the positional relationship between the deposition source. 図11で104は蒸着源、105はマザー基板を固定する治具であり、この治具の中心と蒸着源の中心は一致している。 11 at 104 the evaporation source, 105 is a jig for fixing the mother substrate, the center of the evaporation source center of the jig is consistent. 106はマザー基板、L1は蒸着源から治具105までの距離、L2は治具105の中心からマザー基板106を固定しているところまでの距離、L3はマザー基板106の大きさである。 106 mother board, L1 is the distance from the evaporation source to the jig 105, L2 is the distance from the center of the jig 105 until it secures the mother substrate 106, the L3 is the size of the mother substrate 106. またマザー基板106の中央部分が蒸着源104を中心とした半径L2の円周上になるようにマザー基板106を固定している。 Further fixing the mother substrate 106 such that the circumference of radius L2 of the central portion of the mother substrate 106 around the evaporation source 104.

図12に、図11でのL1、L2、L3が、それぞれL1=800mm、L2=500mm、L3= Figure 12, L1, L2, L3 in FIG. 11, respectively L1 = 800mm, L2 = 500mm, L3 =
400mmである場合の柱状構造物の形成方向を示す。 It shows the formation direction of the columnar structure when it is 400 mm. 図12中の矢印は柱状構造物の形成方向である。 Arrow in FIG. 12 is a forming direction of the columnar structure. マザー基板の成膜面中心位置では、柱状構造物の形成方向はマザー基板縦方向と平行方向になっているが、マザー基板の成膜面中心位置から離れると柱状構造物の形成方向は一定の角度をもって形成される。 The deposition surface center position of the mother substrate, but the formation direction of the columnar structure has a motherboard vertical and parallel, forming direction of the columnar structure away from the deposition surface center position of the mother substrate of the constant It is formed at an angle. つまりマザー基板内でも位置によって柱状構造物の向きが異なり、液晶分子の配向方向は異なっている。 That different orientation of the columnar structure depending on the position even in the mother substrate, the alignment direction of the liquid crystal molecules are different.

図13は代表的な従来の液晶素子の平面図である。 Figure 13 is a plan view of a typical prior art liquid crystal device. 図13の液晶素子は、図12に図示したマザー基板のうち、1個の液晶素子となるセル基板aまたはセル基板bを切り出して作成したものとする。 The liquid crystal element of FIG. 13, of the mother substrate shown in FIG. 12, and was created by cutting out a cell substrate a or the cell substrate b which is a single liquid crystal element. 図13の100は液晶素子、101は液晶をはさむ上下のガラス基板を接着するシール材、102は液晶素子の液晶駆動領域、103は液晶の注入口である。 100 liquid crystal element of FIG. 13, 101 sealing material for bonding the upper and lower glass substrates sandwiching the liquid crystal, 102 is a liquid crystal drive area of ​​the liquid crystal element, 103 is a liquid crystal injection port.

図14は、図13の液晶素子に液晶を注入する注入過程の様子を模式的に示した図である。 Figure 14 is a diagram schematically showing a state of the injection process of injecting liquid crystal to the liquid crystal element of FIG. 13. 通常液晶素子の液晶駆動領域102が四角形の場合、シール形状はそれに添うような形で四角形にするのが一般的である。 When the liquid crystal driving area 102 of the normal liquid crystal element is a square, the seal shape is common to the rectangle in such a way accompany it. 液晶注入開始直後はS1のように注入口を中心に半円状に注入されていく。 Immediately after the liquid crystal injection start will be injected in a semicircle around the inlet as S1. そのため液晶素子の中央部分はd1方向に注入されていくが中央部分から左右に離れていくに従い注入方向は所定角度傾きd2およびd3方向に注入されていく。 Therefore the central portion of the liquid crystal element is injected direction according but will be injected in the d1 direction away from the central portion to the left and right will be injected into the predetermined inclination angle d2 and d3 direction. このため注入口近傍は配向ムラが発生する恐れがある。 Accordingly inlet vicinity there is a possibility that the orientation unevenness. その後時間経過とともに液晶が両端のシール部分に到達するとS2のように液晶はほぼ均一にd1方向に注入されていく。 LCD as then the liquid crystal with time reaches the seal portion at both ends S2 are going to be substantially uniformly injected into d1 direction.

このため、液晶素子100の基板内に形成されている柱状構造物の形成方向がd1と同一方向ならば、注入口付近を除いて、注入条件に起因する配向ムラはほとんど発生しない。 Therefore, if the formation direction d1 and the same direction of the columnar structures are formed in the substrate of the liquid crystal element 100, with the exception of the vicinity of the inlet, the orientation unevenness due to injection condition hardly occurs. つまり図12のセル基板aを液晶素子として、図14のように注入口103から注入するのであれば、配向ムラはほぼ発生しない。 That is, the cell substrate a in FIG. 12 as the liquid crystal element, if injected from the injection port 103 as shown in FIG. 14, the orientation unevenness is not substantially occur. しかし、前述したようにマザー基板内で柱状構造物の形成方向に分布があるので、例えば図12のセル基板bを液晶素子として、図13の注入口103から注入すると、セル基板bの柱状構造物の形成方向がd1と異なるため、配向ムラを引き起こしてしまう。 However, since there is a distribution in the formation direction of the columnar structure in the mother substrate as described above, the cell substrate b in FIG. 12 as a liquid crystal device for example, is injected from the injection port 103 in FIG. 13, columnar cell substrate b structure since the formation direction of the object is different from d1, thereby causing orientation nonuniformity. 特に、注入方向と柱状構造物の形成方向とが液晶分子の配向性に関係する強誘電性液晶などにおいては、注入方向と柱状構造物の形成方向とが一致しないと配向ムラが発生しやすく問題であった。 In particular, in such ferroelectric liquid crystal and forming direction of the injection direction and the columnar structures is related to the orientation of the liquid crystal molecules, the formation direction of the injection direction and the columnar structure is not an irregular alignment tends to occur coincident problem Met.

前述の通り、柱状構造物の形成方向は蒸着装置の大きさおよび成膜するマザー基板サイズにより決定される。 As described above, the forming direction of the columnar structure is determined by the mother substrate size size and deposition of the vapor deposition apparatus. よって、マザー基板内のすべて液晶素子が配向ムラを起こさないように柱状構造物の形成方向の分布を抑えるためには、蒸着装置を大きくするか、基板サイズ小さくする必要があった。 Therefore, in order to suppress distribution formation direction of all the columnar structure so that the liquid crystal element does not cause irregular alignment in the mother substrate, increase the deposition apparatus, it is necessary to reduce the substrate size. しかし大型の蒸着装置を用いたり、また基板サイズを小さくしたりするのは、生産性に問題があった。 However or using a large-sized deposition apparatus, also to or smaller substrate size has a problem in productivity. よって、簡易な方法で配向ムラを解消する方法が望まれていた。 Therefore, a method to eliminate the irregular alignment in a simple manner has been desired.

上記目的を達成するために、本発明では以下の構成を採用する。 To achieve the above object, the present invention adopts the following configurations. 基板上に蒸着によって柱状構造物の蒸着配向膜が形成された一対の基板間に、液晶が挟持され、一対の基板を接着するシール材と、液晶を注入するための注入口とを有した液晶素子において、シール材の形状が円形であり、注入口はシール材の円周上で、かつ円形のシール材の一部を取り除いて形成され、さらに、注入口を形成しているシール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、柱状構造物の形成方向を配置することを特徴とする。 Between a pair of substrates evaporated alignment film of columnar structure was formed by vapor deposition on a substrate, the liquid crystal is sandwiched, the liquid crystal having a seal member for bonding the pair of substrates, and an injection port for injecting the liquid crystal in the device, a shape of the sealing member is circular, inlet on the circumference of the sealing material, and is formed by removing a part of the circular sealing material, further, the circle in the sealing material forming the inlet in a direction perpendicular to the two line segments connecting the end of the circumference, characterized by arranging the formation direction of the columnar structure.

また、一対の基板間には、液晶を駆動する電極が配置され、液晶が駆動される液晶駆動領域を有し、注入口が前記液晶駆動領域から離れて配置されていることを特徴とする。 Moreover, between a pair of substrates, electrodes for driving the liquid crystal is disposed, a liquid crystal drive area where the liquid crystal is driven, the inlet is characterized by being located away from the liquid crystal drive area. 蒸着配向膜が斜方蒸着または水平蒸着で形成されることを特徴とする。 Evaporated alignment film is characterized in that it is formed by oblique evaporation or horizontal deposition.

また、本発明の製造方法は、複数の液晶セル基板を備えたマザー基板を用意する工程と、マザー基板に蒸着配向膜を蒸着する蒸着工程と、各々の前記液晶セル基板に円形のシール材を設け、かつ同時に、シール材の円周上で、円形の前記シール材の一部を取り除いて注入口を形成し、さらに、注入口を形成しているシール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、蒸着配向膜における柱状構造物の形成方向が一致するように、注入口の位置を配置するシール材配置工程とを有することを特徴とする。 The manufacturing method of the present invention includes the steps of preparing a mother substrate having a plurality of liquid crystal cell substrate, a deposition step of depositing the evaporated alignment film on a mother substrate, the circular sealing material in each of the liquid crystal cell substrate provided, and at the same time, on the circumference of the sealing material, the injection port is formed by removing a part of the circular of the sealing material, further, the two ends on the circumference of the sealing material forming the inlet in a direction perpendicular to the line segment connecting, such that the formation direction of the columnar structures are identical in evaporated alignment film, and having a seal member arranging step of arranging the position of the inlet.

また、マザー基板を2枚用意し、2枚の前記マザー基板について蒸着工程を行い、2枚のマザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対してシール材配置工程を行い、一方のマザー基板と、他方のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程と、張り合わせた一対のマザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程と、液晶セルに液晶を注入する注入工程をさらに有することを特徴とする。 Also, prepare two mother substrates, the two said mother board perform deposition process, out of two mother substrates performs sealing material arranging process on one of the mother board, and one of the mother board and a step bonding laminating the other of the mother substrate, a pair of mother substrates bonded, and a cutting step of cutting the individual liquid crystal cells, characterized in that it further comprises an injection step of injecting liquid crystal into the liquid crystal cell.

本発明の液晶素子は、液晶駆動領域を取り囲むように円形のシール形状をとることで、注入口の位置を任意に変えることがき、それにより注入方向を柱状構造物で形成された蒸着配向膜の方向にそって注入することができる。 The liquid crystal element of the present invention, by taking a circular seal shapes so as to surround the liquid crystal drive area, arbitrarily changing the position of the inlet Kotogaki, the evaporated alignment film thereby formed an injection direction in the columnar structure it can be injected along the direction. これにより蒸着配向膜と注入方向の不一致による配向ムラが解消できる。 This uneven alignment by mismatch evaporated alignment film and the injecting direction by can be solved. また、液晶駆動領域が注入口から離れているため注入直後に液晶が半円状に広がることによる注入口近傍の配向ムラも解消される。 The liquid crystal immediately after injection for the liquid crystal driving area is away from the inlet orientation unevenness inlet near also eliminated due to spread semicircular.

以下、本発明にかかる実施形態について図を用いて説明するがこの発明は以下の実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIG. The invention is not limited to the following embodiments. 実施例では、斜方蒸蒸着法より形成された無機配向膜を蒸着配向膜として用いた強誘電性液晶素子を例にとって説明する。 In the embodiment, illustrating a ferroelectric liquid crystal device using an inorganic alignment film formed from oblique 蒸蒸 desorption method as evaporated alignment film as an example.

まずは本実施例における液晶素子の構造について図2を用いて説明する。 First the structure of the liquid crystal device in this embodiment will be described with reference to FIG. 図2は強誘電性液晶を内蔵した液晶素子を説明するために、液晶素子の断面を模式的に示す図である。 Figure 2 is to illustrate the liquid crystal device with a built-in ferroelectric liquid crystal is a diagram showing a cross section of a liquid crystal device schematically. 図2において、1はガラス基板、2は透明電極膜、3は無機配向膜、4は強誘電性液晶、5はスペーサである。 2, reference numeral 1 denotes the glass substrate, 2 a transparent electrode film, 3 is an inorganic alignment film, the ferroelectric liquid crystal 4, 5 are spacer.

ガラス基板1には透明電極膜2が形成されている。 The transparent electrode film 2 is formed on the glass substrate 1. この透明電極膜2は、ガラス基板14にITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)の膜を形成し、所定の形状にフォトリソグラフィ技術を用いてパターンニングを行って形成したものである。 The transparent electrode film 2, the glass substrate 14 on ITO: forming a film of (Indium Tin Oxide), are those formed by performing patterning by photolithography into a predetermined shape. 透明電極膜2の上にSiO(Silicon Oxide:酸化ケイ素)等の無機化合物の配向膜3を真空蒸着法等で作成した。 SiO on the transparent electrode film 2: an alignment layer 3 of the inorganic compound (Silicon Oxide silicon oxide) and the like created by a vacuum deposition method or the like.

配向膜3を形成した一対のガラス基板1を対向させて2つ合わせ、その間に強誘電性液晶4を挟んでいる。 A pair of glass substrate 1 formed with the alignment layer 3 are opposed mating two, the sandwich a ferroelectric liquid crystal 4 therebetween. セルギャップと呼ばれる配向膜3間の距離を一定に保つために、この2枚のガラス基板の間に加圧等で変形しないスペーサ5を適当な数だけ配設する。 In order to keep the distance between the alignment layer 3 called a cell gap constant, to dispose the spacer 5 is not deformed by pressurization by an appropriate number during the two glass substrates.

次に、強誘電性液晶の電気光学効果について説明する。 It will now be described electro-optic effect of the ferroelectric liquid crystal. 図3は強誘電性液晶の透過率と電圧の特性図である。 Figure 3 is a characteristic diagram of the transmittance and the voltage of the ferroelectric liquid crystal. 強誘電性液晶は2つの安定状態を持ち、その2つの安定状態はある閾値を超えた電圧を印加することによって状態が切り替わり、印加電圧の極性によって第1の安定状態あるいは第2の安定状態を選択することができる。 Ferroelectric liquid crystal has two stable states, the two stable states state switches by applying a voltage exceeding a certain threshold, the first stable state or the second stable state by the polarity of the applied voltage it can be selected.

強誘電性液晶のようなメモリ性を有する液晶では、電圧印加前、液晶分子は第1の安定状態または第2の安定状態のいずれか片方に位置しており、電圧が印加されないかぎりこの状態を保持することができる。 In the liquid crystal having a memory property such as a ferroelectric liquid crystal, before the voltage is applied, the liquid crystal molecules is located in either one of the first stable state or the second stable state, this state as long as no voltage is applied it can be held. 電圧印加前、どちらかの安定状態にであった液晶分子は、図3に図示されるように印加電圧を徐々に上げて行くと、V1になったところで第1の安定状態に切り替わり始め、V2に達したところですべての液晶分子が第1の安定状態になる。 Before a voltage is applied, the liquid crystal molecules were either stable state, when the applied voltage is gradually increased as illustrated in FIG. 3, the start switches to a first stable state upon reaching the V1, V2 all of the liquid crystal molecules was reached is the first stable state. その後V2から徐々に電圧を下げていくと、V3になるまでは液晶分子は第1の安定状態のままであるが、印加電圧がV3よりも大きくなったところで液晶分子が第2の安定状態に切り替わり始める。 When the subsequent V2 gradually decrease the voltage, although until V3 liquid crystal molecules remain in the first stable state, the liquid crystal molecules at the applied voltage is greater than V3 is in the second stable state start switches. 更に印加電圧がV4に達するとすべとの液晶分子が第2の安定状態になる。 Furthermore the applied voltage the liquid crystal molecules of all reaches the V4 becomes the second stable state. よって、印加電圧が0となる電圧無印加時には、第1の安定状態か第2の安定状態のどちらかが維持される。 Therefore, when no voltage is applied to the applied voltage is 0, either a or a first stable state the second stable state is maintained. そして、状態を逆にするためには閾値以上の逆極性の電圧を印加する必要がある。 Then, it is necessary to apply a reverse polarity voltage equal to or larger than the threshold value to a state reversed.

図4を用いて強誘電性液晶分子の電圧印加による挙動を説明する。 Illustrating the behavior of voltage application of the ferroelectric liquid crystal molecules with reference to FIG. 強誘電性液晶は、閾値以上の異なる極性の電圧を印加すると柱状構造物形成方向からチルト角θだけ傾いた2つの安定状態のみをとることができる。 Ferroelectric liquid crystal can take the application of a more different polarities of the voltage threshold columnar structure forming direction only two stable states inclined by a tilt angle theta. ここで、6は液晶分子、図4中の矢印は自発分極の向きである。 Here, 6 is the liquid crystal molecules, the arrows in FIG. 4 is a direction of spontaneous polarization. つまり、閾値以上の電圧を印加すると片方の安定状態からもう一方の安定状態になることで液晶分子の光軸は2θ変化する。 That is, when applying a threshold voltage higher than the optical axis of the liquid crystal molecules by becoming the other stable state from one stable state to 2θ changes. このときの入射光量と透過光量の関係は以下の数式になる。 Relationship of the incident light quantity and transmitted light quantity in this case is the following formula.

式1 I out =I in *Sin (2θ)*Sin (πΔnd/λ) Formula 1 I out = I in * Sin 2 (2θ) * Sin 2 (πΔnd / λ)

上記数式においてI inは入射光量、I outは透過光量、Δnは液晶分子の複屈折率異方性、dはセルギャップ、λは入射波長である。 The I in the above equation the amount of incident light, I out is the amount of transmitted light, [Delta] n is the birefringence anisotropy of the liquid crystal molecules, d is the cell gap, lambda is the incident wavelength.

強誘電性液晶の場合、安定状態からもう一方の安定状態になることで液晶分子の光軸は2θ変化する。 For the ferroelectric liquid crystal, the optical axis of the liquid crystal molecules by becoming the other stable state from the stable state to 2θ changes. 柱状構造物の形成方向はこの二つの安定状態になるときの液晶分子の位置のちょうど中間点となっている。 Forming direction of the columnar structure has a just middle point position of the liquid crystal molecules when it comes to the two stable states.

強誘電性液晶を挟持した液晶素子で用いられる配向膜は様々であるが、強誘電性液晶の大きな特徴であるメモリ性を発現させるためには液晶分子に大きなプレチルト角を持たせることが必要となる。 Alignment layer used ferroelectric liquid crystal to a liquid crystal element is sandwiched may vary, but in order to express the memory of a significant feature of the ferroelectric liquid crystal and necessary to have a large pretilt angle to the liquid crystal molecules Become. そのために無機配向膜も用いた斜方蒸着方で作成するのが一般的である。 It is common to create at oblique evaporation direction using Inorganic alignment film for this purpose.

代表的な斜方蒸着工程の例を以下に説明する。 Examples of typical oblique deposition process is described below. 図5は斜方蒸着に用いられる蒸着装置および蒸着装置内のマザー基板位置を模式的に表した図である。 Figure 5 is a diagram schematically illustrating a mother substrate position in the deposition apparatus and a deposition apparatus used for the oblique evaporation. 12は排気手段を備えた真空槽である。 12 is a vacuum chamber having an exhaust means. 図5では簡略化のため排気手段は省略する。 Exhaust means for simplification in FIG. 5 will be omitted. 13は蒸着源である。 13 is a vapor deposition source. ここに配置されたSiO、SiO2などの蒸着材料が抵抗加熱、イオンビームなどにより過熱され真空槽12内に飛散する。 Evaporation material resistance heating such as SiO, SiO2, which is located here, is superheated by ion beam scattered into the vacuum chamber 12. 14は液晶セル基板が多数個配置されたマザー基板である。 14 is a mother substrate in which liquid crystal cell substrate is a large number arranged. 15はマザー基板を回転させるための回転手段である。 15 is a rotating means for rotating the mother board. この回転手段15の中心は蒸着源13の位置と一致しておりマザー基板14を真空槽12内で回転させることにより蒸着源13から飛散する無機材料をすべてのマザー基板14に均一に蒸着することができる。 That the center of the rotation means 15 for uniformly deposited on all of the mother substrate 14 of an inorganic material scattered from the evaporation source 13 by rotating the position and the mother substrate 14 coincides with the vacuum tank 12 of the deposition source 13 can. 16はマザー基板14と回転手段15とを固定する治具であり、角度調整機能がついておりこれにより斜方蒸着の蒸着角度を調整できる。 16 is a jig for fixing the rotating unit 15 and the mother substrate 14, which is angled adjustment function enables adjusting the deposition angle of the oblique deposition. この例では回転転手段15と治具16を用いてマザー基板14を固定したが、この方法には限定されず他の方法でマザー基板14の回転、固定をおこなってもかまわない。 While fixing the mother substrate 14 by using a rotary rolling means 15 and the jig 16 in this example, the rotation of the mother substrate 14 in other ways not limited to this method, may be performed fixed.

斜方蒸着による無機配向膜は、前述した通り斜方蒸着による特性としてマザー基板面内における柱状構造物の形成方向に分布が発生する。 Inorganic alignment film by oblique evaporation is distributed to the formation direction of the columnar structure in the mother substrate surface is generated as the characteristic according as oblique deposition described above. 以下、柱状構造物の形成方向に分布に関して、図6および図7a,図7bを用いて説明する。 Hereinafter, with respect to distribution in the formation direction of the columnar structure will be described with reference to FIG. 6 and FIG. 7a, Figure 7b.

図6の点Oはマザー基板最上部のうちマザー基板横方向の中点である。 Point O in FIG. 6 is a middle point of the mother substrate transverse direction out of the mother substrate top. この点Oは回転転手段15の円周上に位置している。 This point O is located on the circumference of the rotary rolling means 15. 点AはOから水平に延ばした線と回転手段15の中心軸との交点である。 Point A is an intersection of the central axis of the rotation means 15 and a line extended horizontally from O. Z1は蒸着源13と点Aまでの距離である。 Z1 is the distance to the deposition source 13 and the point A. Z2は蒸着源13からマザー基板14上の点Oまでの距離である。 Z2 is the distance from the evaporation source 13 to the point O on the mother board 14. Rは回転手段15の半径の距離である。 R is the radial distance of the rotating means 15. すなわち(Z1 +R 20.5 =Z2である。 That is (Z1 2 + R 2) 0.5 = Z2. 点Pはマザー基板14上の任意点である。 The point P is an arbitrary point on the mother board 14. この場合、マザー基板14のZ2上の位置では斜方蒸着により形成される柱状構造物の形成方向はマザー基板14縦方向と平行方向である。 In this case, the forming direction of the columnar structure in position on the Z2 mother substrate 14 formed by oblique evaporation is the mother board 14 vertical and parallel direction.

次にマザー基板14上のある任意の点Pでの柱状構造物の形成方向に関して図7a、図7bをもちいて考える。 Next Figure 7a with respect to the formation direction of the columnar structure at any point P with the upper mother substrate 14, considered with reference to Figure 7b. 図7aはマザー基板14を横から見たもの、図7bはマザー基板14を正面から見たときの図である。 Figure 7a is that viewed the mother substrate 14 from the side, FIG. 7b is a diagram when viewed mother substrate 14 from the front. 図7a、図7b中の点Oはマザー基板14の中心位置であり、その位置を(0,0)とする。 Figure 7a, O points in Figure 7b is the center position of the mother substrate 14 to the position (0,0). 点Pの位置は点Oを(0,0)としたとき(Xp,Yp)とあらわすことにする。 When the position of the point P in which the point O (0, 0) will be represented as (Xp, Yp). Z3は(Z2-Yp)である。 Z3 is (Z2-Yp). ここで、図7aで示すようにマザー基板14とz1がなす角を角度θとし、点Pでの柱状構造物の形成方向の角度を角度θpとするとθpは以下の数式で表される。 Here, the mother substrate 14 and z1 is the angle between the angle θ as shown in Figure 7a, theta] p is expressed by the following equation when the angle of the formation direction of the columnar structure at the point P and the angle theta] p.

式2 θp=Atan(Xp/Z3) Equation 2 θp = Atan (Xp / Z3)
式3 Z3={(R-Ypsinθ) +(Z1-Ypcosθ) } 0.5 Equation 3 Z3 = {(R-Ypsinθ ) 2 + (Z1-Ypcosθ) 2} 0.5

上式のように柱状構造物の形成方向は蒸着源13からのマザー基板14までの高さ(Z1)、回転手段15の半径(R)、マザー基板14上の位置(Xp、Yp)、により決定される。 The height of the forming direction of the columnar structure as in the above equation to the mother board 14 from the evaporation source 13 (Z1), the radius of the rotation means 15 (R), a position on the mother board 14 (Xp, Yp), the It is determined. そのため、角度θpのバラツキを抑えるためには、Z1、Rを大きくするすなわち蒸着装置自体を大きくするか、マザー基板14のサイズを小さくする必要があるといえる。 Therefore, in order to suppress the variation of the angle θp is, Z1, and R is increased i.e. either by increasing the deposition apparatus itself, it can be said that it is necessary to reduce the size of the mother substrate 14.

次に本実施例のシール材配置工程について、詳しく説明する。 Next sealing material arranging process of this embodiment will be described in detail. 図8はマザー基板14面内に複数の液晶セル基板を配置したときの模式図である。 Figure 8 is a schematic view when arranging a plurality of liquid crystal cell substrate on the mother substrate 14 plane. 図8の7a〜7eは液晶セル基板であり、それぞれ注入口11の形成位置が異なっている。 7a~7e 8 is a liquid crystal cell substrate, has a different formation position of each injection port 11. d6〜d10はそれぞれ液晶セル基板7a〜7e上での柱状構造物の形成方向であり、これは前述の式2中のθpから算出することができる。 d6~d10 is the formation direction of the columnar structure on the liquid crystal cell substrate 7a~7e respectively, which can be calculated from θp in Formula 2 above. このように、柱状構造物の形成方向と注入方向を同一方向にするには、マザー基板14内の液晶素子7の位置からθpを割り出し、その角度だけ注入口11の配置位置を傾斜さえればよい。 Thus, in the the injection direction forming direction of the columnar structure in the same direction, the indexing of θp from the position of the liquid crystal element 7 in the mother substrate 14, if Saere inclined position of the inlet 11 by the angle good.

個々の液晶セル基板7a〜7eは液晶を駆動するための駆動電極が配置されており、液晶セル基板の中央領域は、液晶が駆動される液晶駆動領域を有するが、より好ましくは、液晶セル基板7a〜7eにおいて、液晶駆動領域の中心部分における柱状構造物の形成方向と注入方向を合わせれば、液晶素子面内での配向ムラが最も良く解消される。 Each liquid crystal cell substrate 7a~7e are arranged driving electrodes for driving the liquid crystal, the central region of the liquid crystal cell substrate, has a liquid crystal driving region where the liquid crystal is driven, and more preferably, a liquid crystal cell substrate in 7 a to 7 e,, combined injection direction and forming direction of the columnar structure in the central portion of the liquid crystal drive area, uneven alignment of the liquid crystal element plane is best solved.

次に注入口の配置位置について、図1および図8を用いて以下説明する。 Then the arrangement position of the inlet, will be described below with reference to FIGS. 1 and 8. 前述したように、マザー基板14の中心位置における柱状構造物の形成方向d6は、マザー基板14の縦辺方向と平行である。 As described above, the forming direction d6 columnar structure at the center position of the mother substrate 14 is parallel to the vertical side direction of the mother substrate 14. そのため、図1に図示するように、この中央位置に作成される液晶セル基板7(図8では液晶セル基板7a)の注入口11は、注入口11を形成しているシール材8の二つの端部を結んだ線分hと、形成方向d6とが、垂直になるように、シール材8の一部を取り除いて注入口11を設ける。 Therefore, as shown in FIG. 1, the inlet 11 of the liquid crystal cell substrate 7 (in FIG. 8 the liquid crystal cell substrate 7a) that is created in a central position, the inlet 11 formed by the two seal members 8 are a line segment h connecting the ends, the forming direction d6 is, so that it is perpendicular, provided inlet 11 by removing a portion of the sealing member 8. これと同様に、図8に図示したように、液晶セル基板7bは形成方向d7に、液晶セル基板7cは形成方向d8と、液晶セル基板7dは形成方向d9と、液晶セル基板7eは形成方向d10とが、それぞれ垂直になるよう注入口11を形成する。 Similarly, as shown in FIG. 8, a liquid crystal cell substrate 7b is formed direction d7, the liquid crystal cell substrate 7c and forming direction d8, the liquid crystal cell substrate 7d the forming direction d9, the liquid crystal cell substrate 7e forming direction and d10 form a so injection port 11 respectively to the vertical. このように注入口を配置することによって、各液晶セル基板7a〜7eの柱状構造物の形成方向と注入方向が同一方向になり配向ムラが解消される。 By disposing such injection port forming direction and the injection direction of the columnar structure of the liquid crystal cell substrate 7a~7e orientation unevenness is eliminated become the same direction.

ここで、マザー基板14において、下側面から上側面に行くにしたがっても、柱状構造物の形成方向は変化している。 Here, the mother substrate 14, also toward the upper side from the lower side, forming direction of the columnar structure has changed. 図8では縦の列における液晶セル基板の注入口11の配置位置は同じくしたが、個々の液晶セル基板に対して注入口11の配置位置を設定すればmマザー基板14内のすべての液晶セル基板について、その柱状構造物の形成方向と注入方向とを同一方向にすることができる。 Location of the inlet 11 of the liquid crystal cell substrate in a column of the vertical in FIG. 8 has been also, all the liquid crystal cells in m mother substrate 14 by setting the position of the inlet 11 for each of the liquid crystal cell substrate for substrate, the formation direction of the columnar structure and the injection direction can be in the same direction.

次に、液晶セル基板を張り合わせる張り合わせ工程と、液晶セルの切断工程と、注入工程について説明する。 Next, a step bonding laminating a liquid crystal cell substrate, and a cutting process of a liquid crystal cell, the injection process will be described. マザー基板を2枚用意し、2枚のマザー基板について、前述したように蒸着工程を行い、2枚の前記マザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対して、前述したシール材配置工程を行う。 The mother substrate was prepared two, the two mother substrates performs deposition process as described above, out of two of said mother substrate, for one of the mother substrates, for sealing material arranging process described above . そして、一方のマザー基板と、のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程を行った後、張り合わせた一対のマザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程を行う。 Then, after the one of the mother board, the mother board and laminating laminating step, the pair of mother substrates bonded, a cutting step of cutting out individual liquid crystal cell. 得られた1個の液晶セルに液晶を注入する注入工程を行い、液晶素子を得ることができる。 In one liquid crystal cell obtained is implanted step of injecting the liquid crystal, it is possible to obtain a liquid crystal element.

この円形のシール形状での注入工程について図を用いて説明する。 The injection process in the circular seal shapes will be described with reference to FIG. 図9は液晶素子の平面図であり、液晶素子における注入過程を示したものである。 Figure 9 is a plan view of the liquid crystal element shows the injection process of the liquid crystal element. 7は液晶セル基板、8は液晶を挟持するため上下のガラス基板を接着するシール材、9は液晶素子の液晶駆動領域、10は液晶充填領域(液晶駆動領域9も含む)、11は液晶の注入口である。 7 The liquid crystal cell substrate, 8 is a seal member for bonding the upper and lower glass substrates for sandwiching liquid crystals, 9 liquid crystal drive area of ​​the liquid crystal element, 10 (including the liquid crystal driving area 9) liquid crystal filling region, 11 of the liquid crystal it is an injection port.

まず、液晶素子を高温焼成して液晶素子内部に形成されている無機配向膜に吸着された水分等を取り除く。 First, a liquid crystal element and a high temperature sintering remove moisture adsorbed by the inorganic alignment film formed inside the liquid crystal element or the like. 次に液晶素子を常温に戻した後、液晶素子を真空チャンバー内部に配置し液晶素子内の液晶充填領域10を減圧する。 Then, after returning the liquid crystal element to ambient temperature, place the liquid crystal device in the vacuum chamber to reduce the pressure liquid crystal filling region 10 in the liquid crystal element. 十分減圧をおこなった後に液晶を注入口11に塗布し、注入口11を塞ぐ。 Coating a liquid crystal injection port 11 after subjected to sufficient vacuum to close the inlet 11. この状態で液晶を加熱し粘性を下げる。 Lowering the heated liquid viscous at this state. これは強誘電性液晶が常温では粘性が高く液晶充填領域10に侵入していかないためである。 This is because the ferroelectric liquid crystal is not Ika invade the liquid crystal filling region 10 high viscosity at room temperature. そして、真空チャンバー内を大気圧に戻すと液晶素子に内外の圧力差によって液晶は注入されていく。 Then, the liquid crystal will be injected by the pressure difference between the inside and outside to the liquid crystal element Returning vacuum chamber to atmospheric pressure. 液晶充填領域10が液晶で満たされたら、例えば光硬化樹脂などの封止剤で注入口11を封鎖する。 When the liquid crystal filling region 10 is filled with liquid crystal, for example, to seal the inlet 11 with a sealing agent such as a photocurable resin.

従来の四角形シール形状での場合と同様に、液晶注入開始直後は注入口11を中心にS3のように半円状に注入されていく。 As in the case of the conventional square seal shape, immediately after injection of liquid crystal initiation it will be injected in a semicircular shape as S3 is centered inlet 11. その後は四角形のシール形状とは異なり、両側のシール8に到達するのが四角形よりも早いため、注入後すぐS4のように液晶は注入口の両端を結んだ線と垂直方向d4に注入されていく。 Then Unlike square seal shape, for reaching the opposite sides of the seal 8 is earlier than a square, crystal as injection immediately S4 are being injected into the line and vertical d4 connecting the two ends of the inlet go. また液晶駆動領域9が注入口11から離れているため注入直後に液晶が半円状に広がることによる注入口11近傍の配向ムラも解消される。 The liquid crystal drive region 9 crystal orientation unevenness inlet 11 near also eliminated due to spread semicircular immediately after implantation because it is remote from inlet 11.

図10は図9と同様に、円形のシール材が形成された液晶素子の平面図である。 Figure 10 is similar to FIG. 9 is a plan view of the liquid crystal element a circular sealing material is formed. しかし、注入口11の位置が図9とは異なり、傾斜して形成されている。 However, the position of the inlet 11 is different from FIG. 9, is formed to be inclined. 図10も円形のシール形状の液晶素子に、液晶を注入する過程を示した図である。 10 to a liquid crystal element of the circular seal shapes are diagrams illustrating a process of injecting liquid crystal. 図10のように注入口11をずらしてもシール形状が円形のため注入口11の位置と液晶充填領域10の相対位置は変わらない。 The relative positions of the liquid crystal filling region 10 of the inlet 11 for sealing shape by shifting the inlet 11 is circular as shown in FIG. 10 does not change. これにより注入過程S5、S6は、図9の注入過程S3、S4と変わらず、液晶は柱状構造物の形成方向d5方向に注入されていく。 Thus implantation process S5, S6 are unchanged from the injection process S3, S4 of FIG. 9, the liquid crystal is gradually injected into the forming direction d5 direction of the columnar structure.

つまり注入口11の位置は、シール材8の円周上のどの位置に配置しても、その注入特性は同一である。 That position of the inlet 11 may be located at any position on the circumference of the sealing member 8, the injection characteristics are identical. また、シール材8の形状が円形なので、注入口11の位置を変えても液晶素子の外形サイズ、シール形状は注入口11部分以外変わらない。 The shape of the sealing member 8 so circular, outer size of the liquid crystal element is also changing the position of the inlet 11, the seal shape is not changed except the inlet 11 portion.

上記のようなシール材の形状を用い、液晶素子のごとに注入口の配置を変えることで、柱状構造物の形成方向と注入方向をマザー基板内のすべての液晶セル基板について一致させることができる。 Using the shape of the sealing material as described above, by changing the arrangement of the inlet to each of the liquid crystal element, it can be matched with the injection direction forming direction of the columnar structure for all of the liquid crystal cell substrate in a mother board . マザー基板内の各液晶セル基板の注入口をどの程度傾けるべきかは蒸着の特性により決定する。 Should tilting extent the inlet of each liquid crystal cell substrate in a mother substrate is determined by the properties of the deposition.

本実施例では基板を適当な角度傾ける斜方蒸着を例にとって説明したがこの特性は斜方蒸着および回転機構を有する治具を用いた場合には限定されず、水平に蒸着した場合においても適応される。 This characteristic has been described as an example oblique evaporation tilting appropriate angle to the substrate in the present embodiment is not limited to the case of using a jig having an oblique vapor deposition, and the rotation mechanism, adapted even when the deposited horizontally It is.

本実施例であげた斜方蒸着による柱状構造物の形成方向は、マザー基板と回転手段と治具との固定位置、マザー基板と蒸着源との位置関係により変化するが、注入口の位置をその蒸着特性に合わせて設定すればよく、その他条件においても適用可能である。 Forming direction of the columnar structure by oblique deposition mentioned in this embodiment, the fixed position of the mother substrate and the rotating means and the jig, which varies depending on the positional relationship between the mother substrate and the evaporation source, the position of the inlet may be of the settings as the deposition properties, it is also applicable in other conditions. マザー基板から切り出されて作成されたすべての液晶素子が適切な注入方向から注入されるので配向ムラがすくなくなくなり液晶素子の品質が向上する。 All the liquid crystal elements that are created cut from a mother substrate is irregular alignment because it is injected from a suitable injection direction is eliminated to improve the quality of the liquid crystal device less.

本発明の液晶素子の構造を模式的に示す平面図である。 The structure of the liquid crystal element of the present invention is a plan view schematically showing. 本発明の液晶素子の構造を模式的に示す断面図である。 The structure of the liquid crystal element of the present invention is a cross-sectional view schematically showing. 実施例に用いられている強誘電性液晶の特性を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the characteristics of the ferroelectric liquid crystal used in the embodiment. 実施例に用いられている強誘電性液晶の特性を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the characteristics of the ferroelectric liquid crystal used in the embodiment. 本発明の液晶素子の蒸着工程を説明するための図である。 It is a view illustrating a step of depositing a liquid crystal element of the present invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the formation direction of the columnar structure of the present invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the formation direction of the columnar structure of the present invention. 本発明の柱状構造物の形成方向を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the formation direction of the columnar structure of the present invention. 本発明のマザー基板と液晶セル基板とを説明するための図である。 It is a diagram for explaining the mother substrate and the liquid crystal cell substrate of the present invention. 本発明の液晶素子の注入工程を説明するための図である。 Is a view illustrating an injection process of a liquid crystal element of the present invention. 本発明の液晶素子の注入工程を説明するための図である。 Is a view illustrating an injection process of a liquid crystal element of the present invention. 蒸着の特性を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the characteristics of the deposition. 蒸着の特性を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the characteristics of the deposition. 従来の液晶素子の平面図である。 It is a plan view of a conventional liquid crystal device. 従来の液晶素子の注入工程を説明するための図である。 Is a view illustrating an injection process of a conventional liquid crystal device. 従来技術を説明する図である。 It is a diagram for explaining a conventional technology.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1ガラス基板 2透明電極 3無機配向膜 4強誘電性液晶 5スペーサ 6液晶分子 7液晶セル基板 8シール材 9液晶駆動領域 10液晶充填領域 11注入口 12真空槽 13蒸着源 14マザー基板 15回転手段 16治具 100液晶素子 101シール 102液晶駆動領域 103注入口 104蒸着源 105治具 106治具 201液晶素子 202接着シール 203開口部 204注入口 205液晶だめ 1 glass substrate 2 transparent electrode 3 inorganic alignment film 4 Ferroelectric liquid crystal 5 spacers 6 crystal molecules 7 crystal cell substrate 8 sealing member 9 crystal driving region 10 liquid crystal filling region 11 inlet 12 vacuum tank 13 evaporation source 14 mother substrate 15 rotating means 16 jig 100 liquid crystal element 101 seals 102 liquid crystal driving area 103 inlet 104 vapor deposition source 105 jig 106 jig 201 liquid crystal element 202 adhesive seal 203 opening 204 inlet 205 liquid crystal reservoir

Claims (5)

  1. 基板上に蒸着によって柱状構造物の蒸着配向膜が形成された一対の基板間に、液晶が挟持され、前記一対の基板を接着するシール材と、前記液晶を注入するための注入口とを有した液晶素子において、 Between a pair of substrates evaporated alignment film of columnar structure was formed by vapor deposition on a substrate, the liquid crystal is sandwiched, Yes and the sealant for bonding the pair of substrates, and an injection port for injecting the liquid crystal in the liquid crystal element in which,
    前記シール材の形状が円形であり、前記注入口は前記シール材の円周上で、かつ円形の前記シール材の一部を取り除いて形成され、さらに、前記注入口を形成している前記シール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、前記柱状構造物の形成方向を配置することを特徴とする液晶素子。 The shape of the sealing member is circular, the inlet on the circumference of the sealing material, and is formed by removing a part of the circular of the sealing material, further, the seal forming the inlet the liquid crystal element characterized in that the two ends on the circumference in a direction perpendicular to the line connecting the timber, placing the forming direction of the columnar structure.
  2. 前記一対の基板間には、前記液晶を駆動する電極が配置され、前記液晶が駆動される液晶駆動領域を有し、前記注入口が前記液晶駆動領域から離れて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶素子。 Between the pair of substrates, and wherein is disposed an electrode for driving the liquid crystal, has a liquid crystal driving region where the liquid crystal is driven, the inlet is located away from the liquid crystal drive area a liquid crystal device according to claim 1.
  3. 前記蒸着配向膜が斜方蒸着または水平蒸着で形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶素子。 A liquid crystal device according to claim 1, wherein the evaporated alignment film is formed by oblique evaporation or horizontal deposition.
  4. 複数の液晶セル基板を備えたマザー基板を用意する工程と、 Preparing a mother substrate having a plurality of liquid crystal cell substrate,
    前記マザー基板に蒸着配向膜を蒸着する蒸着工程と、 A deposition step of depositing the evaporated alignment film on the mother board,
    各々の前記液晶セル基板に円形のシール材を設け、かつ同時に、前記シール材の円周上で、円形の前記シール材の一部を取り除いて注入口を形成し、さらに、前記注入口を形成している前記シール材における円周上の2つの端部を結んだ線分に対して垂直となる方向に、前記蒸着配向膜における柱状構造物の形成方向が一致するように、前記注入口の位置を配置するシール材配置工程とを有する液晶素子の製造方法。 It provided a circular seal member to the liquid crystal cell substrate of each and at the same time, on the circumference of the sealing material, the injection port is formed by removing a part of the circular of the sealing material, further, forming the inlet in a direction perpendicular to the line connecting the two ends on the circumference of the sealing material that, as the forming direction of the columnar structure in the evaporated alignment film are matched, the inlet method of manufacturing a liquid crystal device having a sealing material arranging step of arranging the position.
  5. 前記マザー基板を2枚用意し、2枚の前記マザー基板について蒸着工程を行い、2枚の前記マザー基板のうち、一方の前記マザー基板に対してシール材配置工程を行い、前記一方のマザー基板と、他方のマザー基板とを張り合わせる張り合わせ工程と、前記張り合わせた一対の前記マザー基板から、個々の液晶セルを切り出す切断工程と、前記液晶セルに液晶を注入する注入工程をさらに有する請求項4に記載の液晶素子の製造方法。 The mother substrate was prepared two, for two of said mother board perform deposition process, out of two of said mother substrate, perform a sealing material arranging process on one of the mother board, the one mother board When a step bonding laminating the other of the mother substrate from the pair of the mother substrate by bonding, according to claim 4, further comprising a cutting step of cutting out individual liquid crystal cells, the injection step of injecting liquid crystal into the liquid crystal cell method of manufacturing a liquid crystal device according to.
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