JP2008224136A - Control device for fan filter unit - Google Patents

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JP2008224136A JP2007063179A JP2007063179A JP2008224136A JP 2008224136 A JP2008224136 A JP 2008224136A JP 2007063179 A JP2007063179 A JP 2007063179A JP 2007063179 A JP2007063179 A JP 2007063179A JP 2008224136 A JP2008224136 A JP 2008224136A
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Yasuyuki Chihara
靖之 千原
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the same rotating speed without changing the specifications of a motor even when supply voltage and power supply frequency differ in a fan filter unit. <P>SOLUTION: This control device for the fan filter unit for controlling the phase of supply voltage by applying a thyristor has a means for setting or detecting the supply voltage, and a means for setting or detecting the power supply frequency, and controls the supply voltage to the fan filter unit to be the same even in the case of different supply voltage and power supply frequency, to obtain the same rotating speed of the motor. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットの風量を可変させる制御装置に関する。   The present invention relates to a control device that varies the air volume of a fan filter unit used in a manufacturing apparatus that requires a clean environment such as a semiconductor, a liquid crystal, and a plasma display panel.

従来、この種のファンフィルタユニットは、半導体などの製造装置に組み込まれて、またはクリーンルームの天井部などに設置されて運転され、一定の空間を清浄化している。このファンフィルタユニットは、半導体製造装置やクリーンルームの稼動情況や、設置場所に応じて風量を調節して使用される。通常、ファンは単相コンデンサ誘導電動機で駆動され、このような単相コンデンサ誘導電動機の回転数を可変する場合は、特許文献１（特開昭５９−８０２５２号公報（図３））に示すようなサイリスタを応用した位相制御器が使用されている。   Conventionally, this type of fan filter unit is installed in a manufacturing apparatus such as a semiconductor, or installed and operated on a ceiling portion of a clean room to clean a certain space. This fan filter unit is used by adjusting the air volume according to the operating conditions of the semiconductor manufacturing apparatus and the clean room and the installation location. Normally, the fan is driven by a single-phase capacitor induction motor, and when the rotational speed of such a single-phase capacitor induction motor is varied, as shown in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 59-80252 (FIG. 3)). A phase controller using a simple thyristor is used.

また、半導体装置は世界各国の半導体製造工場で使用されるため、各国の電源電圧および電源周波数に対応したファンフィルタユニットが必要とされている。
特開昭５９−８０２５２号公報（図３） Further, since semiconductor devices are used in semiconductor manufacturing plants around the world, a fan filter unit corresponding to the power supply voltage and power supply frequency of each country is required.
JP 59-80252 A (FIG. 3)

このような従来の単相コンデンサ誘導電動機を搭載したファンフィルタユニットでは、回転数を可変する場合、サイリスタを応用した位相制御器を使用することになるが、電源電圧や電源周波数が異なる場合には、位相制御器の設定が同一でも、電動機の回転数が異なるため、同一の風量を得るためには、電源電圧および電源周波数毎に、電動機の仕様を変更する必要があり、ファンフィルタユニットの標準化を図ることが困難であった。   In a fan filter unit equipped with such a conventional single-phase capacitor induction motor, a phase controller using a thyristor is used when the rotational speed is variable. Even if the phase controller settings are the same, the motor speed is different, so in order to obtain the same air volume, it is necessary to change the motor specifications for each power supply voltage and power supply frequency, and standardize the fan filter unit. It was difficult to plan.

本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの標準化に関する課題を解決するものであり、異なる電源電圧および電源周波数に対しても同一の性能を発揮するファンフィルタユニットを実現することを目的としている。   The present invention solves such a problem related to standardization of a conventional fan filter unit, and an object thereof is to realize a fan filter unit that exhibits the same performance with respect to different power supply voltages and power supply frequencies. .

本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、上記目的を達成するために、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧に応じて切換えて設定する電圧設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   In order to achieve the above object, a control device for a fan filter unit according to the present invention includes a variable means including a thyristor that varies the rotational speed of an electric motor by phase-controlling a supply voltage to the fan filter unit, and the rotation of the electric motor. Receiving the output signals from the rotation speed setting means for setting the number, the voltage setting means for switching according to the voltage of the power supply, and the rotation speed setting means and the voltage setting means, the variable means is configured. It is comprised with the control means which controls the gate current of a thyristor.

この構成により、異なる電源電圧でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源電圧に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even with different power supply voltages, and fan filter units corresponding to various power supply voltages can be obtained.

また他の手段は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数に応じて切換えて設定する周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   The other means includes variable means composed of a thyristor for changing the rotational speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the motor, and a frequency of the power source. Frequency setting means for switching in accordance with the frequency setting means, and control means for receiving the output signals from the rotation speed setting means and the frequency setting means and for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means. Is.

この構成により、異なる電源周波数でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源周波数に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even at different power supply frequencies, and fan filter units corresponding to various power supply frequencies can be obtained.

また他の手段は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項１記載の電圧設定手段と請求項２記載の周波数設定手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   The other means includes a variable means constituted by a thyristor for changing the rotation speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotation speed setting means for setting the rotation speed of the electric motor, and The voltage / frequency setting means having both functions of the voltage setting means described in claim 2 and the frequency setting means described in claim 2, and the output signals from the rotation speed setting means and the voltage / frequency setting means, And a control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means.

この構成により、異なる電源電圧および電源周波数でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源電圧および電源周波数に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even at different power supply voltages and power supply frequencies, and a fan filter unit corresponding to various power supply voltages and power supply frequencies can be obtained.

また他の手段は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧を検出する電圧検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   The other means includes variable means composed of a thyristor for changing the rotational speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the motor, and a voltage of the power supply And a control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means in response to output signals from the rotation speed setting means and the voltage detection means.

この構成により、異なる電源電圧でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源電圧に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even with different power supply voltages, and fan filter units corresponding to various power supply voltages can be obtained.

また他の手段は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数を検出する周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   The other means includes variable means composed of a thyristor for changing the rotational speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the motor, and a frequency of the power source. And a control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means in response to the output signals from the rotation speed setting means and the frequency detection means.

この構成により、異なる電源周波数でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源周波数に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even at different power supply frequencies, and fan filter units corresponding to various power supply frequencies can be obtained.

また他の手段は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項４記載の電圧検出手段と請求項５記載の周波数検出手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものである。   The other means includes a variable means constituted by a thyristor for changing the rotation speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotation speed setting means for setting the rotation speed of the electric motor, and In response to an output signal from the voltage / frequency detecting means having both functions of the voltage detecting means described in claim 5 and the frequency detecting means described in claim 5, the rotation speed setting means and the voltage / frequency detecting means, And a control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means.

この構成により、異なる電源電圧および電源周波数でも電動機の回転数を同一にすることができ、各種電源電圧および電源周波数に対応したファンフィルタユニットが得られる。   With this configuration, the number of rotations of the electric motor can be made the same even at different power supply voltages and power supply frequencies, and a fan filter unit corresponding to various power supply voltages and power supply frequencies can be obtained.

本発明によれば、電源電圧に応じて設定して回転数を可変する構成としたため、電源電圧が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源電圧に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源電圧に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   According to the present invention, since the number of revolutions is set according to the power supply voltage and can be varied, the number of revolutions of the motor can be kept the same even when the power supply voltage is different, and A fan filter unit corresponding to various power supply voltages can be obtained without changing specifications.

また、他の構成で、電源周波数に応じて設定して回転数を可変する構成としたため、電源周波数が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源周波数に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源周波数に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   In addition, since the rotation speed is varied by setting according to the power supply frequency in another configuration, the rotation speed of the motor can be kept the same even when the power supply frequency is different. A fan filter unit corresponding to various power supply frequencies can be obtained without changing the specifications.

また、他の構成で、電源電圧と電源周波数に応じて設定して回転数を可変する構成としたため、電源電圧および電源周波数が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源電圧および電源周波数に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源電圧および電源周波数に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   In addition, in other configurations, the rotational speed is set to be variable according to the power supply voltage and power frequency, so that the motor speed can be kept the same even when the power supply voltage and power supply frequency are different. A fan filter unit corresponding to various power supply voltages and power supply frequencies can be obtained without changing the specification of the electric motor corresponding to the voltage and the power supply frequency.

また、他の構成で、電源電圧を検出して回転数を可変する構成としたため、電源電圧が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源電圧に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源電圧に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   In addition, since the power supply voltage is detected and the rotation speed is varied in another configuration, the motor rotation speed can be kept the same even when the power supply voltage is different, and the motor specifications are adapted to different power supply voltages. A fan filter unit corresponding to various power supply voltages can be obtained without changing the above.

また、他の構成で、電源周波数を検出して回転数を可変する構成としたため、電源周波数が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源周波数に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源周波数に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   In addition, since the power supply frequency is detected and the rotation speed is varied in another configuration, the motor rotation speed can be kept the same even when the power supply frequency is different, and the motor specifications can be adapted to different power supply frequencies. A fan filter unit corresponding to various power supply frequencies can be obtained without changing the above.

また、他の構成で、電源電圧と電源周波数を検出して回転数を可変する構成としたため、電源電圧および電源周波数が異なる場合でも電動機の回転数を同一に保つことができ、異なる電源電圧および電源周波数に対応させて電動機の仕様を変更することなく、各種電源電圧および電源周波数に対応したファンフィルタユニットを得ることができる。   In addition, since the rotation speed is varied by detecting the power supply voltage and the power supply frequency in another configuration, even when the power supply voltage and the power supply frequency are different, the rotation speed of the motor can be kept the same. A fan filter unit corresponding to various power supply voltages and power supply frequencies can be obtained without changing the specification of the electric motor corresponding to the power supply frequency.

本発明の請求項１記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧に応じて切換えて設定する電圧設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源電圧が異なる場合でも、電源電圧に応じて電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   The invention according to claim 1 of the present invention is a variable means comprising a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a voltage setting means for switching and setting according to the voltage of the power supply, and a control for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means in response to the output signals from the rotation speed setting means and the voltage setting means Even when the power supply voltage is different, the phase of the supply voltage to the electric motor is controlled in accordance with the power supply voltage, thereby maintaining the same motor speed.

本発明の請求項２記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数に応じて切換えて設定する周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源周波数が異なる場合でも、電源周波数に応じて電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   According to a second aspect of the present invention, there is provided variable means comprising a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a frequency setting means for switching according to the frequency of the power supply, and a control for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means in response to the output signals from the rotation speed setting means and the frequency setting means Even if the power supply frequency is different, it has the effect of keeping the rotation speed of the motor the same by phase-controlling the supply voltage to the motor according to the power supply frequency.

本発明の請求項３記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項１記載の電圧設定手段と請求項２記載の周波数設定手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源電圧および電源周波数が異なる場合でも、電源電圧および電源周波数に応じて電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a variable means comprising a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a voltage / frequency setting means having both functions of the voltage setting means according to claim 1 and the frequency setting means according to claim 2, and an output signal from the rotation speed setting means and the voltage / frequency setting means In response, the control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means, and even if the power supply voltage and the power supply frequency are different, the supply voltage to the electric motor according to the power supply voltage and the power supply frequency By controlling the phase of the motor, the rotation speed of the electric motor is kept the same.

本発明の請求項４記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧を検出する電圧検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源電圧が異なる場合でも、電源電圧を検出して電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided variable means comprising a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a voltage detection means for detecting the voltage of the power supply, and a control means for receiving the output signals from the rotation speed setting means and the voltage detection means and for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means. Therefore, even when the power supply voltages are different, the power supply voltage is detected and the supply voltage to the motor is phase-controlled, so that the rotation speed of the motor is kept the same.

本発明の請求項５記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数を検出する周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源周波数が異なる場合でも、電源周波数を検出して電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   The invention according to claim 5 of the present invention is a variable means composed of a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a frequency detection means for detecting the frequency of the power supply, and a control means for receiving the output signals from the rotation speed setting means and the frequency detection means and for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means. Thus, even when the power supply frequencies are different, the power supply frequency is detected and the voltage supplied to the motor is phase-controlled, so that the rotation speed of the motor is kept the same.

本発明の請求項６記載の発明は、ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項４記載の電圧検出手段と請求項５記載の周波数検出手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成したものであり、電源電圧および電源周波数が異なる場合でも、電源電圧および電源周波数を検出して電動機への供給電圧を位相制御することで、電動機の回転数を同一に保つという作用を有する。   The invention according to claim 6 of the present invention is a variable means comprising a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and a rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor. And a voltage / frequency detecting means having both functions of the voltage detecting means according to claim 4 and the frequency detecting means according to claim 5, and an output signal from the rotation speed setting means and the voltage / frequency detecting means. In response, the control means for controlling the gate current of the thyristor constituting the variable means, and even when the power supply voltage and the power supply frequency are different, the power supply voltage and the power supply frequency are detected and supplied to the motor. By controlling the phase of the voltage, it has the effect of keeping the rotational speed of the motor the same.

（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源電圧に応じて切換えて設定する電圧設定手段６と、回転数設定手段５と電圧設定手段６とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, the fan filter unit control device 2 includes a variable means 3, a rotational speed setting means 5 for setting the rotational speed of the fan filter unit, and a voltage setting means 6 for switching and setting according to the power supply voltage. And a control means 4 for receiving the signals from the rotation speed setting means 5 and the voltage setting means 6 and controlling the variable means 3. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、可変手段３は、図７示すようにサイリスタ１２を応用した位相制御器で構成されており、制御手段４は、電源電圧位相に同期してサイリスタ１２のゲート電流を流してファンフィルタユニット１の単相コンデンサ誘導電動機１３を駆動する。この時ゲート電流を流す位相を可変することにより、ファンフィルタユニット１に供給する電圧が変化して電動機の回転数が変化する。電源電圧位相に対してゲート電流位相が遅れる程、電動機への供給電圧は低くなり、電動機の回転数が小さくなる。制御手段４は、回転数設定手段５の設定によりゲート電流の位相を決定するが、この時、電圧設定手段６の設定によりゲート電流の位相を調整する。即ち、電源電圧が高い場合は、ゲート電流の位相を遅らせてファンフィルタユニットへの供給電圧を低くし、異なる電源電圧でも電動機への供給電圧を同一として、電動機の回転数が同一となるようにする。電圧設定手段６はスイッチなどで構成され、例えば、２００Ｖ／２２０Ｖ／２３０Ｖを切換えて設定し、制御手段４でゲート電流の位相を調整して、どの電源電圧でも回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, the variable means 3 is constituted by a phase controller to which the thyristor 12 is applied as shown in FIG. 7, and the control means 4 causes the gate current of the thyristor 12 to flow in synchronism with the power supply voltage phase and thereby the fan filter. The single-phase capacitor induction motor 13 of the unit 1 is driven. At this time, by changing the phase through which the gate current flows, the voltage supplied to the fan filter unit 1 changes and the rotational speed of the motor changes. The longer the gate current phase is delayed with respect to the power supply voltage phase, the lower the supply voltage to the motor and the lower the rotation speed of the motor. The control means 4 determines the phase of the gate current according to the setting of the rotation speed setting means 5. At this time, the control means 4 adjusts the phase of the gate current according to the setting of the voltage setting means 6. That is, when the power supply voltage is high, the supply voltage to the fan filter unit is lowered by delaying the phase of the gate current so that the supply voltage to the motor is the same even at different power supply voltages and the rotation speed of the motor is the same. To do. The voltage setting means 6 is composed of a switch or the like. For example, 200 V / 220 V / 230 V is switched and set, the control means 4 adjusts the phase of the gate current, and any power supply voltage is set by the rotation speed setting means 5. Number.

（実施の形態２）
図２に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源周波数に応じて切換えて設定する周波数設定手段７と、回転数設定手段５と周波数設定手段７とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 2)
As shown in FIG. 2, the fan filter unit control device 2 includes a variable means 3, a rotation speed setting means 5 for setting the rotation speed of the fan filter unit, and a frequency setting means 7 for switching and setting according to the power supply frequency. And a control means 4 for receiving the signals from the rotation speed setting means 5 and the frequency setting means 7 and controlling the variable means 3. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、可変手段３は、図７示すようにサイリスタ１２を応用した位相制御器で構成されており、制御手段４は、電源電圧位相に同期してサイリスタ１２のゲート電流を流してファンフィルタユニット１の単相コンデンサ誘導電動機１３を駆動する。この時ゲート電流を流す位相を可変することにより、ファンフィルタユニットに供給する電圧が変化して電動機の回転数が変化する。電源電圧位相に対してゲート電流位相が遅れる程、電動機への供給電圧は小さくなり、回転数が低くなる。制御手段４は、回転数設定手段５の設定によりゲート電流の位相を決定するが、この時、周波数設定手段７の設定によりゲート電流の位相を調整する。即ち、電源周波数が大きい場合は、ゲート電流の位相を遅らせてファンフィルタユニットへの供給電圧を低くし、異なる電源周波数でも電動機への供給電圧を同一として、電動機の回転数が同一となるようにする。周波数設定手段７はスイッチなどで構成され、例えば、５０Ｈｚ／６０Ｈｚを切換えて設定し、制御手段４でゲート電流の位相を調整して、どの電源周波数でも回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, the variable means 3 is constituted by a phase controller to which the thyristor 12 is applied as shown in FIG. 7, and the control means 4 causes the gate current of the thyristor 12 to flow in synchronism with the power supply voltage phase and thereby the fan filter. The single-phase capacitor induction motor 13 of the unit 1 is driven. At this time, by changing the phase through which the gate current flows, the voltage supplied to the fan filter unit changes and the rotational speed of the motor changes. As the gate current phase is delayed with respect to the power supply voltage phase, the supply voltage to the electric motor becomes smaller and the rotation speed becomes lower. The control means 4 determines the phase of the gate current by setting the rotation speed setting means 5. At this time, the control means 4 adjusts the phase of the gate current by setting the frequency setting means 7. That is, when the power supply frequency is large, the supply voltage to the fan filter unit is lowered by delaying the phase of the gate current so that the supply voltage to the motor is the same even at different power supply frequencies and the rotation speed of the motor is the same. To do. The frequency setting means 7 is composed of a switch or the like. For example, the frequency setting means 7 is set by switching 50 Hz / 60 Hz, the phase of the gate current is adjusted by the control means 4, and the rotation speed set by the rotation speed setting means 5 at any power supply frequency. Become.

（実施の形態３）
図３に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源電圧および電源周波数に応じて切換えて設定する電圧／周波数設定手段８と、回転数設定手段５と電圧／周波数設定手段８とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 3, the fan filter unit control device 2 includes a variable means 3, a rotation speed setting means 5 for setting the rotation speed of the fan filter unit, and a voltage set by switching according to the power supply voltage and the power supply frequency. / Frequency setting means 8, and a control means 4 for controlling the variable means 3 in response to signals from the rotation speed setting means 5 and the voltage / frequency setting means 8. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、実施の形態２と実施の形態３との両方の作用を併せ持ったファンフィルタユニットの制御装置２が実現できる。即ち、電源電圧と電源周波数を設定することにより、異なる電源電圧および電源周波数でも、電動機への供給電圧が同一となり、回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, the fan filter unit control device 2 having both the functions of the second embodiment and the third embodiment can be realized. That is, by setting the power supply voltage and the power supply frequency, the supply voltage to the electric motor becomes the same even at different power supply voltages and power supply frequencies, and the rotation speed set by the rotation speed setting means 5 is obtained.

（実施の形態４）
図４に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源電圧を検出する電圧検出手段９と、回転数設定手段５と電圧検出手段９とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 4, the fan filter unit control device 2 includes a variable means 3, a rotation speed setting means 5 for setting the rotation speed of the fan filter unit, a voltage detection means 9 for detecting a power supply voltage, and a rotation speed. The control unit 4 is configured to receive the signals from the setting unit 5 and the voltage detection unit 9 and to control the variable unit 3. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、実施の形態１では、手動で設定していた電源電圧の設定を、電圧検出手段９で検出した電源電圧で自動設定することができる。この作用により、異なる電源電圧でも、電動機への供給電圧が同一となり、回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, in the first embodiment, the power supply voltage that has been manually set can be automatically set by the power supply voltage detected by the voltage detection means 9. As a result, even with different power supply voltages, the supply voltage to the electric motor becomes the same, and the rotation speed set by the rotation speed setting means 5 is obtained.

（実施の形態５）
図５に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源周波数を検出する周波数検出手段１０と、回転数設定手段５と周波数検出手段１０とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 5)
As shown in FIG. 5, the control device 2 for the fan filter unit includes a variable means 3, a rotation speed setting means 5 for setting the rotation speed of the fan filter unit, a frequency detection means 10 for detecting a power supply frequency, and a rotation speed. The control unit 4 is configured to receive the signals from the setting unit 5 and the frequency detection unit 10 and control the variable unit 3. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、実施の形態１では、手動で設定していた電源周波数の設定を、周波数検出手段１０で検出した電源周波数で自動設定することができる。この作用により異なる電源周波数でも、電動機への供給電圧が同一となり、回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, in the first embodiment, the setting of the power supply frequency that has been manually set can be automatically set by the power supply frequency detected by the frequency detection means 10. Due to this action, the supply voltage to the electric motor becomes the same even at different power supply frequencies, and the rotational speed set by the rotational speed setting means 5 is obtained.

（実施の形態６）
図６に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置２は、可変手段３と、ファンフィルタユニットの回転数を設定する回転数設定手段５と、電源電圧および電源周波数を検出する電圧／周波数検出手段１１と、回転数設定手段５と電圧／周波数検出手段１１とからの信号を受けて可変手段３を制御する制御手段４とを有する構成となっている。ファンフィルタユニットの制御装置２は、前記回転数設定手段５の設定に基づきファンフィルタユニット１への供給電圧を可変する。ファンフィルタユニット１にはファンの駆動に単相コンデンサ誘導電動機１３が使用されている。 (Embodiment 6)
As shown in FIG. 6, the fan filter unit control device 2 includes a variable means 3, a rotation speed setting means 5 for setting the rotation speed of the fan filter unit, and a voltage / frequency detection means for detecting the power supply voltage and the power supply frequency. 11 and a control means 4 for controlling the variable means 3 in response to signals from the rotation speed setting means 5 and the voltage / frequency detection means 11. The fan filter unit control device 2 varies the supply voltage to the fan filter unit 1 based on the setting of the rotational speed setting means 5. The fan filter unit 1 uses a single-phase capacitor induction motor 13 for driving the fan.

上記構成において、実施の形態４と実施の形態５との両方の作用を併せ持ったファンフィルタユニットの制御装置２が実現できる。即ち、電源電圧と電源周波数を検出することにより、異なる電源電圧および電源周波数でも、電動機への供給電圧が同一となり、回転数設定手段５で設定した回転数となる。   In the above configuration, the fan filter unit control device 2 having both the functions of the fourth embodiment and the fifth embodiment can be realized. That is, by detecting the power supply voltage and the power supply frequency, the supply voltage to the motor is the same even at different power supply voltages and power supply frequencies, and the rotation speed set by the rotation speed setting means 5 is obtained.

ヒータを制御する用途にも適用できる。   It can also be applied to uses for controlling a heater.

本発明の実施の形態１のブロック図Block diagram of Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態２のブロック図Block diagram of Embodiment 2 of the present invention 本発明の実施の形態３のブロック図Block diagram of Embodiment 3 of the present invention 本発明の実施の形態４のブロック図Block diagram of Embodiment 4 of the present invention 本発明の実施の形態５のブロック図Block diagram of Embodiment 5 of the present invention 本発明の実施の形態６のブロック図Block diagram of Embodiment 6 of the present invention 本発明の可変手段３の構成を示す図The figure which shows the structure of the variable means 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ ファンフィルタユニット
２ ファンフィルタユニットの制御装置
３ 可変手段
４ 制御手段
５ 回転数設定手段
６ 電圧設定手段
７ 周波数設定手段
８ 電圧／周波数設定手段
９ 電圧検出手段
１０ 周波数検出手段
１１ 電圧／周波数検出手段
１２ サイリスタ
１３ 単相コンデンサ誘導電動機 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fan filter unit 2 Fan filter unit controller 3 Variable means 4 Control means 5 Rotation speed setting means 6 Voltage setting means 7 Frequency setting means 8 Voltage / frequency setting means 9 Voltage detection means 10 Frequency detection means 11 Voltage / frequency detection means 12 Thyristor 13 Single-phase capacitor induction motor

Claims (6)

ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧に応じて切換えて設定する電圧設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 Variable means composed of thyristors that vary the motor speed by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, speed setting means for setting the motor speed, and switching according to the voltage of the power supply Of a fan filter unit comprising: a voltage setting means for controlling the gate current of a thyristor constituting the variable means in response to an output signal from the rotation speed setting means and the voltage setting means. Control device. ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数に応じて切換えて設定する周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 Switchable according to the frequency of the power supply, variable means composed of thyristors that vary the rotation speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, and rotation speed setting means that sets the rotation speed of the motor Of a fan filter unit comprising: a frequency setting means that controls the gate current of a thyristor that constitutes the variable means in response to an output signal from the rotation speed setting means and the frequency setting means. Control device. ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項１記載の電圧設定手段と請求項２記載の周波数設定手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数設定手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数設定手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 The voltage setting means according to claim 1, variable means comprising a thyristor for changing the rotation speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, rotation speed setting means for setting the rotation speed of the electric motor, A voltage / frequency setting means having both functions of the frequency setting means according to claim 2, and a thyristor constituting the variable means upon receiving output signals from the rotation speed setting means and the voltage / frequency setting means. And a control means for controlling the gate current of the fan filter unit. ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の電圧を検出する電圧検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 A variable means composed of a thyristor for changing the rotation speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, a rotation speed setting means for setting the rotation speed of the motor, and a voltage detection means for detecting the voltage of the power supply And a control means for controlling the fan filter unit, which receives output signals from the rotation speed setting means and the voltage detection means and controls the gate current of the thyristor constituting the variable means. ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、電源の周波数を検出する周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 Variable means composed of a thyristor for changing the rotation speed of the motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, rotation speed setting means for setting the rotation speed of the motor, and frequency detection means for detecting the frequency of the power supply And a control means for controlling the fan filter unit, which receives output signals from the rotation speed setting means and the frequency detection means and controls the gate current of the thyristor constituting the variable means. ファンフィルタユニットへの供給電圧を位相制御して電動機の回転数を可変するサイリスタで構成される可変手段と、電動機の回転数を設定する回転数設定手段と、請求項４記載の電圧検出手段と請求項５記載の周波数検出手段との両方の機能を併せ持つ電圧／周波数検出手段と、前記回転数設定手段と前記電圧／周波数検出手段とからの出力信号を受けて、前記可変手段を構成するサイリスタのゲート電流を制御する制御手段とで構成される、ファンフィルタユニットの制御装置。 The voltage detecting means according to claim 4, wherein the variable means comprises a thyristor for changing the rotational speed of the electric motor by phase-controlling the supply voltage to the fan filter unit, the rotational speed setting means for setting the rotational speed of the electric motor, 6. A voltage / frequency detecting means having both functions of the frequency detecting means according to claim 5, and a thyristor constituting the variable means by receiving output signals from the rotation speed setting means and the voltage / frequency detecting means. And a control means for controlling the gate current of the fan filter unit.
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