JP2008209145A - 半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図において、1はテストヘッド、2はテストヘッド1に設けられたバックボード、3はテストヘッド1に設けられバックボード2に接続されるピンカードである。
4はテストヘッドの筐体1の上面に設けられたインターフェース装置である。
ピンカード3は、図5に示す如く、インターフェース装置4をテストヘッド1の上面から取り外して、テストヘッド1の上面から挿入される。
ピンカード3は、インターフェース装置4と同方向からテストヘッド1に挿入する必要がある。
また、インターフェース装置4は、床面積がテストヘッド1と同程度であるために、取り外す手間と置き場所を必要とする。
即ち、ピンカードの脱着作業が容易な半導体試験装置を提供することにある。
内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたことを特徴とする。
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内に鉛直方向に配置されたことを特徴とする。
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたことを特徴とする。
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段を具備したことを特徴とする。
前記電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたことを特徴とする。
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置を前記テストヘッドの上方に保持する保持装置を具備したことを特徴とする。
前記保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたことを特徴とする。
ピンカードは、テストヘッドの側方から水平方向に挿入配置されたので、重量物であるインターフェース装置をテストヘッド上部空間から移動する必要がないため、安全かつ別に置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
ピンカードが取り付けられるバックボードは、テストヘッド内に鉛直方向に配置されたので、ピンカードはテストヘッドに水平方向に挿入し、引続き水平方向に挿入して、バックボードに挿入すれば良く、バックボード挿入の手応えが確認できて、ピンカードとバックボードの接続が容易に確認できる半導体試験装置が得られる。
ピンカードが取り付けられるバックボードは、テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたので、ピンカードがテストヘッド両側から挿入できてピンカードの挿入が容易な半導体試験装置が得られる。
ピンカードとインターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段が設けられたので、ピンカードのテストヘッドからの取付け取外し時に電気的に安全が確保できる半導体試験装置が得られる。
電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたので、電気コネクタ接続は安価に構成でき、安価な半導体試験装置が得られる。
ピンカードとインターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置をテストヘッドの上方に保持する保持装置が設けられたので、電気的安全が確保されると共に、インターフェース装置を取り外す手間と置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたので、簡潔な構成が得られ、安価な半導体試験装置が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1の側面図、図3は図1の動作説明図である。
図において、図4と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図4との相違部分のみ説明する。
ピンカード11が取り付けられるバックボード13は、テストヘッド12内に鉛直方向に配置されている。
この場合は、ピンカード11が取り付けられるバックボード13は、テストヘッド12内の中央部に鉛直方向に配置されている。
電気的接続切離し手段14は、ピンカード11とインターフェース装置4との電気的接続を切り離す。
この場合は、電気的接続切離し手段14は、電気コネクタが使用されている。
保持装置15は、ピンカード11とインターフェース装置4との電気的接続が切り離された後に、インターフェース装置4をテストヘッド12の上方に保持する。
具体的には、この場合は、保持装置15は、空気圧のピストン・シリンダー装置が使用されている。
電気的接続切離し手段14は、ピンカードコネクタ141とインターフェースコネクタ142とを切り離すだけとする。
図3に示す如く、保持装置15により、インターフェース装置4はテストヘッド12の上方にテストヘッド12よりわずか離して配置したままで、ピンカード11の交換を行う。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 バックボード
3 ピンカード
4 インターフェース装置
5 ピンカード・インターフェース接続装置
51 ピンカードコネクタ
52 インターフェースコネクタ
11 ピンカード
12 テストヘッド
13 バックボード
14 電気的接続切離し手段
141 ピンカードコネクタ
142 インターフェースコネクタ
15 保持装置
Claims (7)
- 内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、
前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたこと
を特徴とする半導体試験装置。 - 前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内に鉛直方向に配置されたこと
を特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。 - 前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたこと
を特徴とする請求項2記載の半導体試験装置。 - 前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の半導体試験装置。 - 前記電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載の半導体試験装置。 - 前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置を前記テストヘッドの上方に保持する保持装置
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載の半導体試験装置。 - 前記保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたこと
を特徴とする請求項6記載の半導体試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007044181A JP2008209145A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 半導体試験装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2007044181A Ceased JP2008209145A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 半導体試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5368580B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2013-12-18 | 株式会社アドバンテスト | 基板装着装置、テストヘッド、及び電子部品試験装置 |
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-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007044181A patent/JP2008209145A/ja not_active Ceased
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