JP2008194601A - Method and apparatus for discharging liquid droplet and method for manufacturing liquid crystal panel - Google Patents

Method and apparatus for discharging liquid droplet and method for manufacturing liquid crystal panel Download PDF

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gap
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Takashi Goto
任 後藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for discharging a liquid droplet, in each of which a liquid material is restrained from being distributed unevenly to set an equal cell gap and to provide a method for manufacturing a liquid crystal panel. <P>SOLUTION: The liquid droplet Fb of a liquid crystal F is discharged to one mother glass substrate 100 of a pair of mother glass substrates 100, 200 which are stuck to each other while being moved relatively at a predetermined tilt angle θ to arrange the liquid crystal F. The liquid crystal F is arranged so that the density of the liquid crystal on the side of a small gap, which is formed according to the tilt angle θ when the mother glass substrates 100, 200 are stuck to each other, is made lower than that of the liquid crystal on the side of a large gap which is formed on the side opposite to that of the small gap. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法に関するものである
The present invention relates to a droplet discharge method, a droplet discharge device, and a liquid crystal panel manufacturing method.

従来、注入法で液晶パネルを製造する場合、まず2枚の基板を貼り合せた後、その内部
を真空雰囲気にして液晶を充填する。この方法は、例えば20インチパネルで液晶の注入
時間が20時間以上必要になるなど、1枚の液晶パネルを製造する時間が長くなるという
問題を有している。
Conventionally, when a liquid crystal panel is manufactured by an injection method, first, two substrates are bonded together, and then the interior is filled with a liquid crystal in a vacuum atmosphere. This method has a problem that it takes a long time to manufacture one liquid crystal panel, for example, a 20-inch panel requires a liquid crystal injection time of 20 hours or more.

そこで、近年は、液滴吐出装置により、2枚の基板を貼り合せる前に、一方の基板に必
要量の液晶を予め供給し、その後、他方の基板と貼り合わせる方法が提案されている(例
えば特許文献1など)。
特開2004−344704号公報
Therefore, in recent years, a method of supplying a necessary amount of liquid crystal to one substrate in advance before bonding the two substrates by a droplet discharge device and then bonding the other substrate (for example, has been proposed (for example, Patent Document 1).
JP 2004-344704 A

ところで、液滴吐出装置による方法では、図8に示されるように、一方の基板91に形
成したループ状のシール材92の内側に必要量の液晶93を均等に供給し、その後、例え
ば真空中で対向する他方の基板94と貼り合わせる。ここで、吐出された液晶93の液滴
93aの高さは、シール材92の高さ(例えば10〜100μm程度)よりも高くなる。
つまり、2枚の基板91,94を貼合する際、基板94は、シール材92に接触するより
も先に液晶93に接することになる。
By the way, in the method using a droplet discharge device, as shown in FIG. 8, a required amount of liquid crystal 93 is evenly supplied inside a loop-shaped sealing material 92 formed on one substrate 91, and then, for example, in a vacuum And the other substrate 94 facing each other. Here, the height of the discharged liquid droplet 93 a of the liquid crystal 93 is higher than the height of the sealing material 92 (for example, about 10 to 100 μm).
That is, when the two substrates 91 and 94 are bonded together, the substrate 94 comes into contact with the liquid crystal 93 before contacting the sealing material 92.

このとき、両基板91,94を貼合するためにこれらを位置決め・保持する上下定盤の
平坦度合いや互いの平行度合い等の影響で液晶93の一側(図8の左側)に基板94が先
に接すると、先に接した側に液晶93が流れてしまう。従って、このように液晶93が偏
在する状態で2枚の基板91,94を貼合すると、セルギャップの不均等な液晶パネルが
製造されてしまう。特に、上下定盤間を加圧しシール材92を一定量だけつぶして基板9
1,94を貼合する場合にこのセルギャップの不均等は顕著に現れる。このセルギャップ
の不均等は、液晶パネルの表示品質悪化の要因となるものである。
At this time, the substrate 94 is placed on one side of the liquid crystal 93 (the left side in FIG. 8) due to the influence of the flatness of the upper and lower surface plates for positioning and holding the substrates 91 and 94 and the degree of parallelism between them. When touching first, the liquid crystal 93 flows to the side touching first. Therefore, when the two substrates 91 and 94 are bonded together in the state where the liquid crystal 93 is unevenly distributed, a liquid crystal panel having an uneven cell gap is manufactured. In particular, the substrate 9 is pressed by pressurizing between the upper and lower surface plates and crushing the sealing material 92 by a certain amount.
In the case of bonding 1,94, this cell gap non-uniformity appears remarkably. This non-uniformity of the cell gap causes a deterioration in the display quality of the liquid crystal panel.

本発明の目的は、液状体の偏在を抑制してより均等なセルギャップを設定することがで
きる液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a droplet discharge method, a droplet discharge device, and a liquid crystal panel manufacturing method capable of setting a more uniform cell gap by suppressing uneven distribution of a liquid material.

本発明の液滴吐出方法は、上記課題を解決するため、所定の傾斜角度を有して相対移動
しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して
前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基
板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前
記液状体を配置する。
In order to solve the above problems, a droplet discharge method according to the present invention applies liquid droplets from discharge means to one of a pair of substrates that are bonded to each other with a predetermined inclination angle while relatively moving. Is a droplet discharge method for disposing the liquid material, and the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger. The liquid material is arranged so as to have a density.

本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
According to the droplet discharge method of the present invention, when bonding the pair of substrates, the gap is arranged on the one substrate on the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle. The other substrate of the pair of substrates comes into contact with the liquid body first, and the liquid body has a side where the gap becomes smaller from a side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes larger, that is, The liquid flows to the side where the density becomes low. For this reason, in the state which suppressed the uneven distribution of the said liquid body as a whole, a pair of said board | substrate can be bonded and a more uniform cell gap can be set.

本発明の液滴吐出方法の一態様では、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼
合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように分布密度
に傾斜を持たせて前記液状体を配置する。
In one aspect of the droplet discharge method of the present invention, the distribution is performed such that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger. The liquid material is disposed with a gradient in density.

本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該
隙間が小さくなる側へと前記液状体が流れる際、該液状体を、その傾斜する分布密度に応
じて高密度になる側から低密度になる側へと円滑に流すことができる。このため、前記液
状体の偏在を全体として更に抑制した状態で、前記一対の基板を貼合することができ、更
に均等なセルギャップを設定することができる。
According to the droplet discharge method of the present invention, when the liquid material flows from the side where the gap at the time of bonding of the pair of substrates is increased to the side where the gap is decreased, the liquid material is inclined and distributed. According to the density, it can flow smoothly from the high density side to the low density side. Therefore, the pair of substrates can be bonded in a state in which the uneven distribution of the liquid material is further suppressed as a whole, and a more uniform cell gap can be set.

本発明の液滴吐出方法の他の一態様では、前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区
画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
In another aspect of the droplet discharge method of the present invention, each of the pair of substrates is composed of a plurality of regions that are equally partitioned from each other.
For each of the regions, the liquid material is arranged so that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller in accordance with the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger.

本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の一方の該基板の前記複数の領域に前
記液状体の液滴をそれぞれ吐出する場合においても、前記領域ごとに、より均等なセルギ
ャップを設定することができる。
According to the droplet discharge method of the present invention, even when each liquid droplet is discharged to each of the plurality of regions of one of the pair of substrates, a more uniform cell gap is provided for each region. Can be set.

本発明の液滴吐出装置は、所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の
基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴
吐出装置であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
The droplet discharge device of the present invention discharges a liquid droplet from a discharge means to one of a pair of substrates bonded while moving relative to each other with a predetermined inclination angle, and the liquid material The liquid droplet ejection apparatus is arranged such that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower in density than the side where the gap becomes larger. Place the body.

本発明の液滴吐出装置によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
According to the droplet discharge device of the present invention, when the pair of substrates are bonded, the one substrate is arranged on the side where the gap at the time of bonding of the pair of substrates is reduced according to the predetermined inclination angle. The other substrate of the pair of substrates comes into contact with the liquid body first, and the liquid body has a side where the gap becomes smaller from a side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes larger, that is, The liquid flows to the side where the density becomes low. For this reason, in the state which suppressed the uneven distribution of the said liquid body as a whole, a pair of said board | substrate can be bonded and a more uniform cell gap can be set.

本発明の液晶パネルの製造方法は、液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第1基板に前
記液晶を配置し、その後、第2基板を前記第1基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移
動させながら該第1基板と貼合する液晶パネルの製造方法であって、前記所定の傾斜角度
に応じて前記第1及び第2基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側
よりも低密度になるように前記液晶を配置する。
In the method for manufacturing a liquid crystal panel according to the present invention, liquid crystal droplets are ejected by ejection means, the liquid crystal is disposed on a first substrate, and then the second substrate is inclined at a predetermined inclination angle with respect to the first substrate. A method of manufacturing a liquid crystal panel to be bonded to the first substrate while relatively moving, the side on which the gap between the first and second substrates is reduced according to the predetermined inclination angle, The liquid crystal is arranged so as to have a lower density than the side where the gap becomes larger.

本発明の液晶パネルの製造方法によれば、前記第1及び第2基板を貼合する際、前記所
定の傾斜角度に応じて前記第1及び第2基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記第1基
板に配置された液晶に、前記第2基板が先に接することになり、該液晶は、前記第1及び
第2基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶が低密
度になる側に流れる。このため、前記液晶の偏在を全体として抑制した状態で、前記第1
及び第2基板を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造
することができる。
According to the method for manufacturing a liquid crystal panel of the present invention, when the first and second substrates are bonded, the gap at the time of bonding the first and second substrates is reduced according to the predetermined inclination angle. The liquid crystal disposed on the first substrate comes into contact with the second substrate first, and the liquid crystal has a small gap from the side where the gap when the first and second substrates are bonded becomes large. To the side where the liquid crystal becomes low density. For this reason, in the state which suppressed uneven distribution of the said liquid crystal as a whole, said 1st
And the 2nd board | substrate can be bonded and the liquid crystal panel which has a more uniform cell gap can be manufactured.

以下、本発明を具体化した液滴吐出装置について説明する。
図1は、液滴吐出装置10を説明するための全体斜視図を示す。図1において、液滴吐
出装置10は、直方体形状に形成された基台11を有している。基台11の上面には、そ
の長手方向(Y矢印方向)に沿って延びる一対の案内溝12が形成されている。案内溝1
2の上方には、案内溝12に沿って主走査方向(Y矢印方向及び反Y矢印方向)に移動す
るステージ13が備えられている。ステージ13の上面には、載置部14が形成されて、
一対の基板の一方の基板(第1基板)としてのマザーガラス基板100が載置される。マ
ザーガラス基板100は、載置部14において位置決め固定されてY矢印方向及び反Y矢
印方向に搬送される。
Hereinafter, a droplet discharge device embodying the present invention will be described.
FIG. 1 is an overall perspective view for explaining the droplet discharge device 10. In FIG. 1, a droplet discharge device 10 has a base 11 formed in a rectangular parallelepiped shape. A pair of guide grooves 12 extending along the longitudinal direction (Y arrow direction) is formed on the upper surface of the base 11. Guide groove 1
2 is provided with a stage 13 that moves in the main scanning direction (Y arrow direction and anti-Y arrow direction) along the guide groove 12. On the upper surface of the stage 13, a mounting portion 14 is formed,
A mother glass substrate 100 as one substrate (first substrate) of the pair of substrates is placed. The mother glass substrate 100 is positioned and fixed at the mounting portion 14 and conveyed in the Y arrow direction and the counter-Y arrow direction.

マザーガラス基板100は、図2に示すように、大判のガラス基板であって、2点鎖線
で示すように、薄膜トランジスタ、走査線、データ線等が形成された液晶表示装置の素子
基板を形成するセル101が、マトリクス状に多数区画形成されている。マザーガラス基
板100に区画形成された各セル101には、例えば印刷装置又はディスペンサーにて描
画された四角枠状のシール材102が所定の位置に形成され、そのシール材102で囲ま
れた範囲(以下、配置領域Zという)に液滴吐出装置10によって液晶F(図5参照)が
配置される。各セル101には、必要な所定量の液晶Fが配置されるようになっている。
The mother glass substrate 100 is a large glass substrate as shown in FIG. 2, and forms an element substrate of a liquid crystal display device on which a thin film transistor, a scanning line, a data line, etc. are formed as shown by a two-dot chain line. A large number of cells 101 are formed in a matrix. In each cell 101 partitioned and formed on the mother glass substrate 100, for example, a rectangular frame-shaped sealing material 102 drawn by a printing device or a dispenser is formed at a predetermined position, and a range surrounded by the sealing material 102 ( Hereinafter, the liquid crystal F (see FIG. 5) is arranged by the droplet discharge device 10 in the arrangement region Z). Each cell 101 is provided with a predetermined amount of liquid crystal F required.

なお、各セル101に液晶Fが配置されたマザーガラス基板100は、その後の工程で
一対の基板の他方の基板(第2基板)としてのマザーガラス基板200(図5参照)と貼
り合わされる。マザーガラス基板200は、大判のガラス基板であって、共通電極が形成
された液晶表示装置の対向基板を形成するセル201が、マトリクス状に多数区画形成さ
れている。これらマザーガラス基板100,200は、真空チャンバ内で貼合装置(重ね
合わせ装置)の上下定盤にそれぞれセットされ、対応するセル101,201同士が相対
向するように貼り合わされる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板100,200
をセル101,201ごとにカットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール
材102を介して液晶Fを封入した液晶表示装置の液晶パネルが多数製造される。
Note that the mother glass substrate 100 in which the liquid crystal F is disposed in each cell 101 is bonded to a mother glass substrate 200 (see FIG. 5) as the other substrate (second substrate) of the pair of substrates in a subsequent process. The mother glass substrate 200 is a large glass substrate, and a large number of cells 201 forming a counter substrate of a liquid crystal display device on which a common electrode is formed are formed in a matrix. These mother glass substrates 100 and 200 are respectively set on the upper and lower surface plates of a bonding apparatus (superposition apparatus) in a vacuum chamber, and bonded so that the corresponding cells 101 and 201 face each other. And the bonded mother glass substrates 100, 200
Are cut for each of the cells 101 and 201, so that a large number of liquid crystal panels of a liquid crystal display device in which the liquid crystal F is sealed between the element substrate and the counter substrate via the sealing material 102 are manufactured.

以下、説明の便宜上、マザーガラス基板100の縦方向をY矢印方向とし、マザーガラ
ス基板100の横方向をX矢印方向とする。
図1において、基台11には、主走査方向と直交する副走査方向(X矢印方向及び反X
矢印方向)に跨ぐ門型のガイド部材15が架設されている。ガイド部材15の上側には、
X矢印方向に延びるタンク16が配設され、そのタンク16には液晶Fが収納されている
Hereinafter, for convenience of explanation, the vertical direction of the mother glass substrate 100 is defined as the Y arrow direction, and the horizontal direction of the mother glass substrate 100 is defined as the X arrow direction.
In FIG. 1, a base 11 has a sub-scanning direction (X arrow direction and anti-X direction orthogonal to the main scanning direction).
A gate-shaped guide member 15 straddling the arrow direction is erected. On the upper side of the guide member 15,
A tank 16 extending in the direction of the arrow X is disposed, and the liquid crystal F is stored in the tank 16.

タンク16に収容された液晶Fは、該タンク16に接続された供給チューブT(図4参
照)を介して吐出手段としての液滴吐出ヘッド(以下単に、吐出ヘッドという。)20に
所定の圧力で供給されるようになっている。そして、吐出ヘッド20に供給された液晶F
は、該吐出ヘッド20から液滴Fb(図4参照)となって載置部14に載置されたマザー
ガラス基板100に向かって吐出されるようになっている。
The liquid crystal F accommodated in the tank 16 has a predetermined pressure applied to a droplet discharge head (hereinafter simply referred to as a discharge head) 20 as discharge means via a supply tube T (see FIG. 4) connected to the tank 16. It comes to be supplied with. Then, the liquid crystal F supplied to the ejection head 20
Is discharged from the discharge head 20 toward the mother glass substrate 100 placed on the placement portion 14 as droplets Fb (see FIG. 4).

ガイド部材15には、そのX矢印方向略全幅にわたって、X矢印方向に延びる上下一対
のガイドレール18が形成されている。上下一対のガイドレール18には、キャリッジ1
9が取り付けられている。キャリッジ19は、ガイドレール18に案内されてX矢印方向
及び反X矢印方向に移動する。キャリッジ19には、吐出ヘッド20が搭載されている。
The guide member 15 is formed with a pair of upper and lower guide rails 18 extending in the X arrow direction over substantially the entire width in the X arrow direction. The pair of upper and lower guide rails 18 includes a carriage 1.
9 is attached. The carriage 19 is guided by the guide rail 18 and moves in the X arrow direction and the counter X arrow direction. A discharge head 20 is mounted on the carriage 19.

図3は、吐出ヘッド20をマザーガラス基板100側(下側)から見た図である。吐出
ヘッド20のノズルプレート25は、一対のノズル列NLを備えている。一対のノズル列
NLでは、X矢印方向から見て、一方のノズル列NLの各ノズルNが、他方のノズル列N
Lの各ノズルNの間を補間する。すなわち、吐出ヘッド20は、X矢印方向に、1インチ
当りに180個×2=360個のノズルNを有する(最大解像度が360dpiである)
FIG. 3 is a view of the ejection head 20 as viewed from the mother glass substrate 100 side (lower side). The nozzle plate 25 of the ejection head 20 includes a pair of nozzle rows NL. In the pair of nozzle rows NL, as viewed from the direction of the arrow X, each nozzle N of one nozzle row NL
Interpolate between each nozzle N of L. That is, the ejection head 20 has 180 × 2 = 360 nozzles N per inch in the X arrow direction (the maximum resolution is 360 dpi).
.

図4は、吐出ヘッド20の内部構成を説明するための要部断面図である。
図4において、吐出ヘッド20の上側には、供給チューブTが連結されている。供給チ
ューブTは、タンク16の液晶Fを吐出ヘッド20に供給する。
FIG. 4 is a main part cross-sectional view for explaining the internal configuration of the ejection head 20.
In FIG. 4, a supply tube T is connected to the upper side of the discharge head 20. The supply tube T supplies the liquid crystal F in the tank 16 to the ejection head 20.

ノズルプレート25の各ノズルNの上側には、供給チューブTに連通するキャビティ2
6が形成されている。キャビティ26は、供給チューブTからの液晶Fを収容して、対応
するノズルNに液晶Fを供給する。キャビティ26の上側には、上下方向に振動してキャ
ビティ26内の容積を拡大及び縮小する振動板27が貼り付けられている。振動板27の
上側には、ノズルNに対応する圧電素子PZが配設されている。圧電素子PZは、上下方
向に収縮及び伸張して振動板27を上下方向に振動させる。上下方向に振動する振動板2
7は、液晶Fを所定サイズの液滴Fbにして対応するノズルNから吐出させる。吐出され
た液滴Fbは、対応するノズルNの反Z矢印方向に飛行して、直下を通過するマザーガラ
ス基板100の吐出面100aに対して着弾するようになっている。
On the upper side of each nozzle N of the nozzle plate 25, there is a cavity 2 communicating with the supply tube T.
6 is formed. The cavity 26 accommodates the liquid crystal F from the supply tube T and supplies the liquid crystal F to the corresponding nozzle N. A vibration plate 27 is attached to the upper side of the cavity 26 to vibrate in the vertical direction and expand and contract the volume in the cavity 26. A piezoelectric element PZ corresponding to the nozzle N is disposed on the upper side of the diaphragm 27. The piezoelectric element PZ contracts and expands in the vertical direction to vibrate the diaphragm 27 in the vertical direction. Diaphragm 2 that vibrates vertically
No. 7 causes the liquid crystal F to be ejected from the corresponding nozzle N as a droplet Fb of a predetermined size. The ejected droplet Fb flies in the direction opposite to the arrow Z of the corresponding nozzle N and lands on the ejection surface 100a of the mother glass substrate 100 that passes immediately below.

つまり、吐出ヘッド20の直下を主走査方向にマザーガラス基板100が移動するとき
、マザーガラス基板100の各セル101のシール材102で囲まれた配置領域Zに対し
て順番に、吐出ヘッド20から液滴Fbが吐出される。これにより、マザーガラス基板1
00の各セル101に液晶Fが所定量だけ配置される。
That is, when the mother glass substrate 100 moves directly below the ejection head 20 in the main scanning direction, from the ejection head 20 in order with respect to the arrangement region Z surrounded by the sealing material 102 of each cell 101 of the mother glass substrate 100. A droplet Fb is discharged. Thereby, the mother glass substrate 1
A predetermined amount of liquid crystal F is arranged in each cell 101 of 00.

図5は、吐出ヘッド20が、マザーガラス基板100(セル101)に、液滴Fbを吐
出して形成する液晶Fの配置パターンを示す図であり、便宜的に該マザーガラス基板10
0に貼合されつつあるマザーガラス基板200(セル201)を併せて図示している。こ
こで、マザーガラス基板100,200は、これらを位置決め・保持する上下定盤の平坦
度合いや互いの平行度合い等の影響で所定の傾斜角度θを有して上下方向(Z矢印方向又
は反Z矢印方向)に相対移動させながら貼合されるとする。この傾斜角度θは、使用する
貼合装置(重ね合わせ装置)が備える上下定盤に対して予め実験や試験で把握されたそれ
ら上下定盤の相対傾斜角度である。なお、このように上下定盤の相対傾斜角度を予め把握
するのは、初期調整等で上下定盤を完全な平行状態にすること、即ち傾斜角度θをゼロに
することが困難であるためである。
FIG. 5 is a diagram showing an arrangement pattern of the liquid crystal F formed by the ejection head 20 ejecting the droplets Fb onto the mother glass substrate 100 (cell 101). For convenience, the mother glass substrate 10
The mother glass substrate 200 (cell 201) being bonded to 0 is also illustrated. Here, the mother glass substrates 100 and 200 have a predetermined inclination angle θ due to the flatness of the upper and lower surface plates for positioning and holding them and the degree of parallelism with each other, and the vertical direction (Z arrow direction or anti-Z). It is assumed that bonding is performed while relatively moving in the direction of the arrow). This inclination angle θ is a relative inclination angle of the upper and lower platen obtained in advance by experiments and tests with respect to the upper and lower platen provided in the bonding apparatus (superposition apparatus) to be used. The reason why the relative inclination angle of the upper and lower surface plates is grasped in advance is that it is difficult to make the upper and lower surface plates completely parallel by initial adjustment or the like, that is, to make the inclination angle θ zero. is there.

図5では、マザーガラス基板100(セル101)の反Y矢印方向側に先鋭となる傾斜
角度θの例を示している。本実施形態では、マザーガラス基板100に配置される液晶F
の配置パターンは、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板100,200の貼合時の隙間
(Z矢印方向の距離)が小さくなる側(図5の左側)が、該隙間が大きくなる側(図5の
右側)よりも低密度になっている。具体的には、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板1
00,200の貼合時の隙間が小さくなる側(図5の左側)が、該隙間が大きくなる側(
図5の右側)よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Fを配置している
。このとき、マザーガラス基板100に吐出される液滴Fbの高さは、シール材102の
高さよりも高くなることはいうまでもない。
FIG. 5 shows an example of the inclination angle θ that is sharp on the side of the mother glass substrate 100 (cell 101) in the direction opposite to the Y arrow. In the present embodiment, the liquid crystal F disposed on the mother glass substrate 100.
In the arrangement pattern of FIG. 5, the side (left side in FIG. 5) on which the gap (distance in the Z arrow direction) when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded is reduced according to the inclination angle θ. The density is lower than that on the right side of FIG. Specifically, the mother glass substrate 1 according to the inclination angle θ.
The side where the gap at the time of bonding of 00 and 200 becomes smaller (the left side in FIG. 5) is the side where the gap becomes larger (
The liquid crystal F is arranged so that the distribution density is inclined so that the density is lower than that on the right side of FIG. At this time, it goes without saying that the height of the droplet Fb discharged onto the mother glass substrate 100 is higher than the height of the sealing material 102.

図6は、液晶Fの配置されたマザーガラス基板100にマザーガラス基板200を貼合
するときの状態を示す図である。図6に示すように、マザーガラス基板100,200を
貼合すると、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板100,200の貼合時の隙間が小さ
くなる側(図6の左側)の液晶Fに、マザーガラス基板200が先に接することになり、
該液晶Fは、マザーガラス基板100,200の貼合時の隙間が大きくなる側(図6の右
側)から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Fが低密度になる側に流れる。これにより
、マザーガラス基板100(セル101)に配置された液晶Fは、均等に広がってその偏
在が解消される。なお、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Fの流れを考慮した液晶Fの図5
に示した配置パターンは、予め実験や試験によって求めている。
FIG. 6 is a diagram illustrating a state when the mother glass substrate 200 is bonded to the mother glass substrate 100 on which the liquid crystal F is disposed. As shown in FIG. 6, when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded, the liquid crystal F on the side (left side in FIG. 6) on which the gap during bonding of the mother glass substrates 100 and 200 becomes smaller according to the inclination angle θ. The mother glass substrate 200 comes in contact first,
The liquid crystal F flows from the side where the gap when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded (the right side in FIG. 6) to the side where the gap is reduced, that is, the side where the liquid crystal F is low density. Thereby, the liquid crystal F arrange | positioned at the mother glass substrate 100 (cell 101) spreads equally, and the uneven distribution is eliminated. Note that the tilt angle θ, that is, the liquid crystal F in consideration of the flow of the liquid crystal F at the time of bonding is shown in FIG.
The arrangement pattern shown in the above is obtained in advance through experiments and tests.

図4において、吐出ヘッド20のY矢印側の側面には、ラバーヒータHが取着され、キ
ャビティ26に収容された液晶Fを予め定めた目標温度に加熱する。ここで、目標温度と
は、吐出ヘッド20が液滴Fbとして吐出することができる粘性になる液晶Fの温度であ
って、本実施形態では、70℃としている。吐出ヘッド20の反Y矢印側の側面には、温
度検出センサSEが取着され、吐出ヘッド20を介してキャビティ26に収容された液晶
Fの温度を検出するようになっている。
In FIG. 4, a rubber heater H is attached to the side surface of the ejection head 20 on the Y arrow side, and the liquid crystal F accommodated in the cavity 26 is heated to a predetermined target temperature. Here, the target temperature is the temperature of the liquid crystal F that becomes viscous so that the ejection head 20 can eject it as the droplets Fb, and is set to 70 ° C. in this embodiment. A temperature detection sensor SE is attached to the side surface of the ejection head 20 on the side opposite to the arrow Y, and detects the temperature of the liquid crystal F accommodated in the cavity 26 via the ejection head 20.

次に、上記のように構成した液滴吐出装置10の電気的構成を図7に従って説明する。
図7において、制御装置50は、CPU50A、ROM50B、RAM50C等を有し
ている。制御装置50は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステ
ージ13の搬送処理、キャリッジ19の搬送処理、吐出ヘッド20の液滴吐出処理を実行
する。また、制御装置50は、同様に、ラバーヒータHの駆動制御を実行する。
Next, the electrical configuration of the droplet discharge device 10 configured as described above will be described with reference to FIG.
In FIG. 7, the control device 50 includes a CPU 50A, a ROM 50B, a RAM 50C, and the like. The control device 50 executes the transport process of the stage 13, the transport process of the carriage 19, and the droplet discharge process of the discharge head 20 according to the stored various data and various control programs. Similarly, the control device 50 performs drive control of the rubber heater H.

制御装置50には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置51が接続さ
れている。入出力装置51は、液滴吐出装置10が実行する各種処理の処理状況を表示す
る。入出力装置51は、マザーガラス基板100上に液滴Fbでパターンを形成するため
のビットマップデータBDを生成し、そのビットマップデータBDを制御装置50に入力
する。
An input / output device 51 having various operation switches and a display is connected to the control device 50. The input / output device 51 displays the processing status of various processes executed by the droplet discharge device 10. The input / output device 51 generates bitmap data BD for forming a pattern with the droplets Fb on the mother glass substrate 100, and inputs the bitmap data BD to the control device 50.

ビットマップデータBDは、各ビットの値(0あるいは1)に応じて各圧電素子PZの
オンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータBDは、吐出ヘッド20
(各ノズルN)の通過する各セル101のシール材102で囲まれた配置領域Zの各位置
に、液滴Fbを吐出するか否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータ
BDは、セル101ごとに、シール材102で囲まれた配置領域Zに予め定めた配置パタ
ーンを形成させるための目標形成位置に液滴Fbを吐出させるためのデータである。
The bitmap data BD is data that specifies whether each piezoelectric element PZ is turned on or off according to the value (0 or 1) of each bit. The bitmap data BD is stored in the ejection head 20
This data defines whether or not the droplets Fb are ejected to each position of the arrangement region Z surrounded by the sealing material 102 of each cell 101 through which each nozzle N passes. That is, the bitmap data BD is data for ejecting the droplets Fb to the target formation position for forming a predetermined arrangement pattern in the arrangement region Z surrounded by the sealing material 102 for each cell 101.

詳述すると、本実施形態のビットマップデータBDは、図5に示すように、傾斜角度θ
に応じてマザーガラス基板100,200の貼合時の隙間が小さくなる側が該隙間が大き
くなる側よりも低密度になるように、分布密度に傾斜を持たせて液晶Fを配置するように
液滴Fbを吐出させるためのデータである。ビットマップデータBDが、予め実験や試験
によって求めた、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Fの流れを考慮した液晶Fの配置パター
ンから作成されることはいうまでもない。
More specifically, as shown in FIG. 5, the bitmap data BD of the present embodiment has an inclination angle θ.
In accordance with the liquid crystal F, the liquid crystal F is disposed so that the distribution density is inclined so that the side on which the gap when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded becomes smaller than the side on which the gap becomes larger. This is data for discharging the droplet Fb. Needless to say, the bitmap data BD is created from an arrangement pattern of the liquid crystal F in consideration of the inclination angle θ, that is, the flow of the liquid crystal F at the time of bonding, obtained in advance by experiments and tests.

制御装置50には、X軸モータ駆動回路52が接続されている。制御装置50は、駆動
制御信号をX軸モータ駆動回路52に出力する。X軸モータ駆動回路52は、制御装置5
0からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ19を移動させるためのX軸モータMXを
正転又は逆転させる。制御装置50には、Y軸モータ駆動回路53が接続されている。制
御装置50は、駆動制御信号をY軸モータ駆動回路53に出力する。Y軸モータ駆動回路
53は、制御装置50からの駆動制御信号に応答して、ステージ13を移動させるための
Y軸モータMYを正転又は逆転させる。
An X-axis motor drive circuit 52 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the X-axis motor drive circuit 52. The X-axis motor drive circuit 52 is connected to the control device 5
In response to the drive control signal from 0, the X-axis motor MX for moving the carriage 19 is rotated forward or reverse. A Y-axis motor drive circuit 53 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the Y-axis motor drive circuit 53. In response to the drive control signal from the control device 50, the Y-axis motor drive circuit 53 rotates the Y-axis motor MY for moving the stage 13 forward or backward.

制御装置50には、ヘッド駆動回路54が接続されている。制御装置50は、所定の吐
出周波数に同期させた吐出タイミング信号LTaをヘッド駆動回路54に出力する。制御
装置50は、各圧電素子PZを駆動するための駆動電圧COMaを吐出周波数に同期させ
てヘッド駆動回路54に出力する。
A head drive circuit 54 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a discharge timing signal LTa synchronized with a predetermined discharge frequency to the head drive circuit 54. The control device 50 outputs a drive voltage COMa for driving each piezoelectric element PZ to the head drive circuit 54 in synchronization with the ejection frequency.

制御装置50は、ビットマップデータBDを利用して所定の周波数に同期したパターン
形成用制御信号SIaを生成し、パターン形成用制御信号SIaをヘッド駆動回路54に
シリアル転送する。ヘッド駆動回路54は、制御装置50からのパターン形成用制御信号
SIaを各圧電素子PZに対応させて順次シリアル/パラレル変換する。ヘッド駆動回路
54は、制御装置50からの吐出タイミング信号LTaを受けるたびに、シリアル/パラ
レル変換したパターン形成用制御信号SIaをラッチし、パターン形成用制御信号SIa
によって選択される圧電素子PZにそれぞれ駆動電圧COMaを供給する。
The control device 50 generates a pattern formation control signal SIa synchronized with a predetermined frequency using the bitmap data BD, and serially transfers the pattern formation control signal SIa to the head drive circuit 54. The head drive circuit 54 sequentially serial / parallel converts the pattern formation control signal SIa from the control device 50 in correspondence with each piezoelectric element PZ. Each time the head drive circuit 54 receives the ejection timing signal LTa from the controller 50, the head drive circuit 54 latches the serial / parallel converted pattern formation control signal SIa, and the pattern formation control signal SIa.
A drive voltage COMa is supplied to each of the piezoelectric elements PZ selected by.

制御装置50には、ラバーヒータ駆動回路55が接続されている。制御装置50は、ラ
バーヒータ駆動回路55に駆動制御信号を出力する。ラバーヒータ駆動回路55は、制御
装置50からの駆動制御信号に応答して、ラバーヒータHを駆動制御する。そして、吐出
ヘッド20に取着したラバーヒータHは、吐出ヘッド20内の液晶Fを予め定めた目標温
度にまで加熱する。すなわち、ラバーヒータHによって、吐出ヘッド20に供給された液
晶Fは、予め定めた目標温度(本実施形態では70℃)に加熱されるようになっている。
A rubber heater drive circuit 55 is connected to the control device 50. The control device 50 outputs a drive control signal to the rubber heater drive circuit 55. The rubber heater drive circuit 55 drives and controls the rubber heater H in response to a drive control signal from the control device 50. The rubber heater H attached to the ejection head 20 heats the liquid crystal F in the ejection head 20 to a predetermined target temperature. That is, the liquid crystal F supplied to the ejection head 20 is heated to a predetermined target temperature (70 ° C. in the present embodiment) by the rubber heater H.

制御装置50には、温度検出センサSEが接続されている。制御装置50は、温度検出
センサSEからの検出信号を入力して、その時々の吐出ヘッド20内の液晶Fの温度を求
めるようになっている。制御装置50は、求めた液晶Fの温度と前記予め設定した目標温
度と比較し、液晶Fの温度が目標温度になるように、ラバーヒータ駆動回路55を介して
ラバーヒータHを駆動制御するようになっている。
A temperature detection sensor SE is connected to the control device 50. The control device 50 receives a detection signal from the temperature detection sensor SE and obtains the temperature of the liquid crystal F in the ejection head 20 at that time. The control device 50 compares the calculated temperature of the liquid crystal F with the preset target temperature, and drives and controls the rubber heater H via the rubber heater drive circuit 55 so that the temperature of the liquid crystal F becomes the target temperature. It has become.

次に、上記液滴吐出装置10を利用してマザーガラス基板100の各セル101に所定
量の液晶Fを配置する方法について説明する。
いま、図1に示すように、吐出ヘッド20は、ステージ13から離間した反X矢印方向
の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置50は、温度検出センサS
Eからの検出信号を入力し、吐出ヘッド20内の液晶Fが目標温度になるように、ラバー
ヒータ駆動回路55を介してラバーヒータHを駆動して、加熱制御している。
Next, a method for arranging a predetermined amount of the liquid crystal F in each cell 101 of the mother glass substrate 100 using the droplet discharge device 10 will be described.
As shown in FIG. 1, the ejection head 20 is waiting at a standby position in the direction of the anti-X arrow that is separated from the stage 13. In this standby state, the control device 50 performs the temperature detection sensor S.
The detection signal from E is input, and the rubber heater H is driven via the rubber heater drive circuit 55 to control the heating so that the liquid crystal F in the ejection head 20 reaches the target temperature.

また、液晶Fの配置パターンを形成するためのビットマップデータBDが入出力装置5
1から制御装置50に入力されている。従って、制御装置50は、入出力装置51からの
ビットマップデータBDを格納している。
Also, the bitmap data BD for forming the arrangement pattern of the liquid crystal F is provided as the input / output device 5.
1 to the control device 50. Therefore, the control device 50 stores the bitmap data BD from the input / output device 51.

そして、マザーガラス基板100をステージ13に載置する。このとき、マザーガラス
基板100は、ステージ13の載置部14上の反Y矢印方向側に配置され、入出力装置5
1から、制御装置50へ作業開始の指令信号が出力される。
Then, the mother glass substrate 100 is placed on the stage 13. At this time, the mother glass substrate 100 is arranged on the side of the stage 13 opposite to the Y arrow direction on the placement unit 14, and the input / output device 5.
1, an operation start command signal is output to the control device 50.

制御装置50は、X軸モータ駆動回路52を介してX軸モータMXを駆動して吐出ヘッ
ド20を待機位置からX矢印方向に移動させる。そして、吐出ヘッド20が、マザーガラ
ス基板100の最も反X矢印方向側にある各セル101(配置領域Z)がその直下をY矢
印方向に通過する位置まで移動すると、制御装置50は、X軸モータ駆動回路52を介し
てX軸モータMXを停止させるとともに、Y軸モータ駆動回路53を介してY軸モータM
Yを駆動して、マザーガラス基板100をY矢印方向移動させる。
The control device 50 drives the X-axis motor MX via the X-axis motor drive circuit 52 to move the ejection head 20 from the standby position in the X arrow direction. When the discharge head 20 moves to a position where each cell 101 (arrangement region Z) on the most anti-X arrow direction side of the mother glass substrate 100 passes in the Y arrow direction, the control device 50 moves to the X axis. The X-axis motor MX is stopped via the motor drive circuit 52, and the Y-axis motor M is stopped via the Y-axis motor drive circuit 53.
Y is driven to move the mother glass substrate 100 in the Y arrow direction.

マザーガラス基板100をY矢印方向に移動させると、制御装置50は、ビットマップ
データBDに基づいてパターン形成用制御信号SIaを生成して、パターン形成用制御信
号SIaと駆動電圧COMaをヘッド駆動回路54に出力する。すなわち、制御装置50
は、ヘッド駆動回路54を介して各圧電素子PZを駆動制御して、各セル101の配置領
域Zが吐出ヘッド20の直下を通過するとき、当該セル101に対応する液晶の配置パタ
ーンを形成するために選択されたノズルNから液滴Fbを吐出させる。
When the mother glass substrate 100 is moved in the direction of the arrow Y, the control device 50 generates a pattern formation control signal SIa based on the bitmap data BD, and sends the pattern formation control signal SIa and the drive voltage COMa to the head drive circuit. To 54. That is, the control device 50
Controls the driving of each piezoelectric element PZ via the head driving circuit 54, and forms the liquid crystal arrangement pattern corresponding to the cell 101 when the arrangement area Z of each cell 101 passes directly under the ejection head 20. Therefore, the droplet Fb is discharged from the nozzle N selected for this purpose.

これにより、Y矢印方向の各セル101の配置領域Zには、傾斜角度θに応じてマザー
ガラス基板100,200の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側より
も低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Fが配置される。
Thereby, in the arrangement | positioning area | region Z of each cell 101 of a Y arrow direction, the side where the clearance gap at the time of bonding of the mother glass substrates 100 and 200 becomes small according to inclination-angle (theta) is lower density than the side where this clearance gap becomes large. The liquid crystal F is arranged with an inclination in the distribution density so that

マザーガラス基板100の最も反X矢印方向側にある各セル101(配置領域Z)への
液晶F(液滴Fb)の供給が終了すると、制御装置50は、Y軸モータ駆動回路53を介
してY軸モータMYを停止させるとともに、X軸モータ駆動回路52を介してX軸モータ
MXを駆動して吐出ヘッド20を、マザーガラス基板100の次の反X矢印方向側にある
各セル101(配置領域Z)が、その直下を反Y矢印方向に通過する位置まで、移動(フ
ィード)させる。
When the supply of the liquid crystal F (droplet Fb) to each cell 101 (arrangement region Z) on the most anti-X arrow direction side of the mother glass substrate 100 is completed, the control device 50 passes through the Y-axis motor drive circuit 53. The Y-axis motor MY is stopped, and the X-axis motor MX is driven via the X-axis motor drive circuit 52 so that the ejection head 20 is placed in each cell 101 (arrangement on the side opposite to the X arrow direction of the mother glass substrate 100). The region Z) is moved (feeded) to a position where it passes immediately below it in the direction of the anti-Y arrow.

吐出ヘッド20がフィードされると、制御装置50は、Y軸モータ駆動回路53を介し
てY軸モータMYを駆動して、ステージ13を反Y矢印方向に移動(スキャン)させる。
ステージ13の反Y矢印方向に移動を開始させると、制御装置50は、ビットマップデー
タBDに基づいてパターン形成用制御信号SIaを生成して、パターン形成用制御信号S
Iaと駆動電圧COMaをヘッド駆動回路54に出力する。すなわち、制御装置50は、
ヘッド駆動回路54を介して各圧電素子PZを駆動制御して、各セル101の配置領域Z
が吐出ヘッド20の直下を通過するとき、当該セル101に対応する液晶の配置パターン
を形成するために選択されたノズルNから液滴Fbを吐出させる。
When the ejection head 20 is fed, the controller 50 drives the Y-axis motor MY via the Y-axis motor drive circuit 53 to move (scan) the stage 13 in the anti-Y arrow direction.
When the movement of the stage 13 in the direction opposite to the Y arrow is started, the control device 50 generates the pattern formation control signal SIa based on the bitmap data BD, and the pattern formation control signal S.
Ia and drive voltage COMa are output to the head drive circuit 54. That is, the control device 50
Each piezoelectric element PZ is driven and controlled via the head drive circuit 54, and the arrangement region Z of each cell 101 is controlled.
, The liquid droplet Fb is ejected from the nozzle N selected to form the liquid crystal arrangement pattern corresponding to the cell 101.

以後、同様な動作を繰り返して、マザーガラス基板100の全てのセル101に所定量
の液晶Fを上述した配置パターンに配置して、一つのマザーガラス基板100に対する各
セル101への液晶Fの供給が完了する。
Thereafter, the same operation is repeated to arrange a predetermined amount of the liquid crystal F in all the cells 101 of the mother glass substrate 100 in the arrangement pattern described above, and supply of the liquid crystal F to each cell 101 with respect to one mother glass substrate 100 Is completed.

そして、各セル101に液晶Fが配置されたマザーガラス基板100は、マザーガラス
基板200との貼り合わせが行われる。このとき、各セル101に配置された液晶Fは、
前記傾斜角度θに応じてマザーガラス基板100,200の貼合時の隙間が大きくなる側
から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Fが低密度になる側に流れて均等に広がる。
Then, the mother glass substrate 100 in which the liquid crystal F is disposed in each cell 101 is bonded to the mother glass substrate 200. At this time, the liquid crystal F arranged in each cell 101 is
In accordance with the inclination angle θ, the gap flows when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded from the side where the gap becomes larger, that is, the side where the liquid crystal F becomes lower in density, and spreads evenly.

そして、貼り合わされたマザーガラス基板100,200をセル101,201ごとに
カットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール材102を介して液晶Fを封
入した液晶パネルが多数製造される。
Then, by cutting the bonded mother glass substrates 100 and 200 for each cell 101 and 201, a large number of liquid crystal panels in which the liquid crystal F is sealed between the element substrate and the counter substrate via the sealant 102 are manufactured.

以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
(1)本実施形態では、前記マザーガラス基板100,200を貼合する際、前記所定
の傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基板100,200の貼合時の隙間が小さくなる
側の前記マザーガラス基板100に配置された液晶Fに、前記マザーガラス基板200が
先に接することになり、該液晶Fは、前記マザーガラス基板100,200の貼合時の隙
間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Fが低密度になる側に流れる
。このため、前記液晶Fの偏在を全体として抑制した状態で、前記マザーガラス基板10
0,200を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造す
ることができる。そして、液晶パネル(液晶表示装置)の表示品質をより安定化して歩留
まりの向上を図ることができる。
As described above in detail, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In this embodiment, when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded, the mother on the side where the gap when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle θ. The mother glass substrate 200 comes into contact with the liquid crystal F disposed on the glass substrate 100 first, and the liquid crystal F has the gap from the side where the gap when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded increases. It flows to the side where it becomes smaller, that is, the side where the liquid crystal F becomes low density. For this reason, in the state which suppressed uneven distribution of the said liquid crystal F as a whole, the said mother glass substrate 10
0,200 can be bonded, and a liquid crystal panel having a more uniform cell gap can be manufactured. In addition, the display quality of the liquid crystal panel (liquid crystal display device) can be further stabilized and the yield can be improved.

(2)本実施形態では、前記液晶Fを、前記所定の傾斜角度θに応じて前記マザーガラ
ス基板100,200の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低
密度になるように分布密度に傾斜を持たせて配置した。従って、前記マザーガラス基板1
00,200の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側へと前記液晶Fが
流れる際、該液晶Fを、その傾斜する分布密度に応じて高密度になる側から低密度になる
側へと円滑に流すことができる。このため、前記液晶Fの偏在を全体として更に抑制した
状態で、前記マザーガラス基板100,200を貼合することができ、更に均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを製造することができる。
(2) In this embodiment, the liquid crystal F has a lower density on the side where the gap when the mother glass substrates 100 and 200 are bonded becomes smaller than the side where the gap becomes larger, according to the predetermined inclination angle θ. So that the distribution density is inclined. Therefore, the mother glass substrate 1
When the liquid crystal F flows from the side where the gap between 00 and 200 is increased from the side where the gap is increased to the side where the gap is reduced, the liquid crystal F is reduced from the side where the density increases according to the inclined distribution density. It can flow smoothly to the side. Therefore, the mother glass substrates 100 and 200 can be bonded in a state in which the uneven distribution of the liquid crystal F is further suppressed as a whole, and a liquid crystal panel having a uniform cell gap can be manufactured.

(3)本実施形態では、マザーガラス基板100の複数のセル101(配置領域Z)に
前記液晶Fの液滴Fbをそれぞれ吐出する場合においても、前記セル101ごとに、より
均等なセルギャップを設定することができる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板
100,200をセル101,201ごとにカットすることによって、より均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを多数製造することができる。
(3) In the present embodiment, even when the liquid crystal F droplets Fb are respectively discharged to the plurality of cells 101 (arrangement region Z) of the mother glass substrate 100, a more uniform cell gap is provided for each cell 101. Can be set. Then, by cutting the bonded mother glass substrates 100 and 200 for each of the cells 101 and 201, a large number of liquid crystal panels having a more uniform cell gap can be manufactured.

(変形例)
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように種々の変形
が可能である。
(Modification)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made as follows, for example.

・傾斜角度θは、使用する貼合装置(重ね合わせ装置)が備える上下定盤に対して予め
実験や試験で把握されるものであって、マザーガラス基板100(セル101)の任意の
方向側に先鋭となる傾斜角度でよい。
The inclination angle θ is grasped in advance by experiments and tests with respect to the upper and lower surface plates provided in the bonding apparatus (overlapping apparatus) to be used, and the arbitrary direction side of the mother glass substrate 100 (cell 101) The inclination angle may be sharp.

・前記実施形態において、各セル101内を、傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基
板100,200の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側に向かって複
数の範囲に分割し、各隣り合う範囲の液晶Fの分布密度がステップ状に変わるように該液
晶Fを配置してもよい。
In the embodiment, the inside of each cell 101 is divided into a plurality of ranges in accordance with the inclination angle θ from the side where the gap between the mother glass substrates 100 and 200 is increased toward the side where the gap is reduced. Then, the liquid crystal F may be arranged so that the distribution density of the liquid crystal F in each adjacent range changes in a step shape.

・前記実施形態において、一対の基板は、1枚の液晶パネルのみを構成する素子基板及
び対向基板の組み合わせであってもよい。
・前記実施形態において、マザーガラス基板100,200を貼り合わせる貼合装置(
重ね合わせ装置)は、例えばシール材102を一定量だけつぶす加圧式であってもよい。
In the embodiment, the pair of substrates may be a combination of an element substrate and a counter substrate that constitute only one liquid crystal panel.
-In the said embodiment, the bonding apparatus which bonds the mother glass substrate 100,200 (
The superimposing apparatus) may be a pressure type that crushes the sealing material 102 by a certain amount, for example.

・前記実施形態では、吐出ヘッド20を停止させた状態で、ステージ13(マザーガラ
ス基板100)を移動させて、吐出ヘッド20から液滴Fbを吐出させるようにした。こ
れを、ステージ13(マザーガラス基板100)を停止させた状態で、吐出ヘッド20を
移動させて、その吐出ヘッド20から液滴Fbを吐出させるようにしてもよい。
In the embodiment, the stage 13 (mother glass substrate 100) is moved in a state where the ejection head 20 is stopped, and the droplet Fb is ejected from the ejection head 20. Alternatively, the ejection head 20 may be moved in a state where the stage 13 (mother glass substrate 100) is stopped, and the droplet Fb may be ejected from the ejection head 20.

・前記実施形態では、素子基板用のマザーガラス基板100の各セル101にシール材
102を形成し、そのシール材102で囲まれた範囲(配置領域Z)に液晶Fを配置した
が、対向基板用のマザーガラス基板200の各セル201にシール材を形成し、そのシー
ル材で囲まれた範囲(配置領域)に液晶Fを配置してもよい。
In the embodiment, the sealing material 102 is formed in each cell 101 of the mother glass substrate 100 for the element substrate, and the liquid crystal F is arranged in the range (arrangement region Z) surrounded by the sealing material 102. A sealing material may be formed in each cell 201 of the mother glass substrate 200 for use, and the liquid crystal F may be arranged in a range (arrangement region) surrounded by the sealing material.

・前記実施形態では、液晶Fの液滴Fbを吐出ヘッド20によって吐出させて該液晶F
を配置するものに具体化したが、これに限定されるものではなく、例えばレジストの形成
、層間膜の形成、又は、配線層の形成するための適宜の液状体の液滴を吐出ヘッド20に
よって吐出させて該液状体を配置するものであってもよい。このレジストの形成、層間膜
の形成、配線層の形成する場合、液晶表示装置以外の、例えば有機EL表示装置等その他
の基板に応用してもよいことはいうまでもない。
In the above-described embodiment, the liquid crystal F is ejected by the ejection head 20 to cause the liquid crystal F to drop.
However, the present invention is not limited to this. For example, an appropriate liquid droplet for forming a resist, an interlayer film, or a wiring layer is applied by the discharge head 20. The liquid material may be disposed by being discharged. Needless to say, this resist formation, interlayer film formation, and wiring layer formation may be applied to other substrates such as organic EL display devices other than liquid crystal display devices.

・前記実施形態では、吐出手段を、圧電素子駆動方式の吐出ヘッド20に具体化した。
これに限らず、吐出手段を、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよ
い。
In the above-described embodiment, the ejection unit is embodied as the piezoelectric element drive type ejection head 20.
However, the present invention is not limited to this, and the discharge means may be embodied as a resistance heating type or electrostatic drive type discharge head.

液滴吐出装置の全体斜視図。The whole perspective view of a droplet discharge device. マザーガラス基板を説明するための平面図。The top view for demonstrating a mother glass substrate. 液滴吐出ヘッドをマザーガラス基板側から見た下面図。The bottom view which looked at the droplet discharge head from the mother glass substrate side. 液滴吐出ヘッドの要部側断面図。The principal part sectional side view of a droplet discharge head. 各セルに配置される液晶の配置パターンを示す側面図。The side view which shows the arrangement pattern of the liquid crystal arrange | positioned at each cell. 各セルに配置される液晶の移動を示す側面図。The side view which shows the movement of the liquid crystal arrange | positioned at each cell. 液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。The electric block circuit diagram for demonstrating the electrical structure of a droplet discharge apparatus. 各セルに配置される液晶の配置パターン及び貼合時の移動を示す側面図。The side view which shows the movement at the time of bonding and the arrangement pattern of the liquid crystal arrange | positioned at each cell.

符号の説明Explanation of symbols

F…液晶、Fb…液滴、PZ…圧電素子、10…液滴吐出装置、13…ステージ、20
…吐出ヘッド、50…制御装置、100,200…マザーガラス基板、101,201…
セル、102…シール材。
F ... Liquid crystal, Fb ... Droplet, PZ ... Piezoelectric element, 10 ... Droplet ejection device, 13 ... Stage, 20
... Discharge head, 50 ... Control device, 100,200 ... Mother glass substrate, 101,201 ...
Cell, 102 ... sealing material.

Claims (5)

所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出方法。
This is a droplet discharge method in which a liquid droplet is discharged from a discharge means onto one of a pair of substrates that are bonded while moving relative to each other with a predetermined inclination angle. And
The droplet is characterized in that the liquid material is arranged so that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger. Discharge method.
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が
大きくなる側よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて前記液状体を配置する
ことを特徴とする請求項1記載の液滴吐出方法。
The liquid material is disposed with an inclination in the distribution density so that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger. The droplet discharge method according to claim 1, wherein:
前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを
特徴とする請求項1又は2記載の液滴吐出方法。
The pair of substrates is composed of a plurality of regions that are equally divided from each other.
For each of the regions, the liquid material is arranged so that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower in density than the side where the gap becomes larger. The droplet discharging method according to claim 1 or 2, characterized in that:
所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出装置。
A droplet discharge device that discharges liquid droplets from a discharge means to one of a pair of substrates that are bonded while moving relative to each other with a predetermined inclination angle, and disposes the liquid material. And
The droplet is characterized in that the liquid material is arranged so that the side where the gap when the pair of substrates is bonded becomes smaller according to the predetermined inclination angle is lower than the side where the gap becomes larger. Discharge device.
液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第1基板に前記液晶を配置し、その後、第2基板を
前記第1基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移動させながら該第1基板と貼合する液
晶パネルの製造方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記第1及び第2基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、
該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液晶を配置することを特徴とする液
晶パネルの製造方法。
Liquid crystal droplets are ejected by ejection means, the liquid crystal is disposed on the first substrate, and then the second substrate is moved relative to the first substrate with a predetermined inclination angle while the first substrate is moved relative to the first substrate. A method for manufacturing a liquid crystal panel to be bonded to a substrate,
The side where the gap at the time of bonding of the first and second substrates becomes smaller according to the predetermined inclination angle,
A method of manufacturing a liquid crystal panel, wherein the liquid crystal is disposed so as to have a lower density than a side where the gap is increased.
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