JP2008192295A

JP2008192295A - Magnetic recording medium, method of manufacturing the same, and magnetic recording and reproducing device

Info

Publication number: JP2008192295A
Application number: JP2008067998A
Authority: JP
Inventors: Kenji Shimizu; 謙治清水; Akira Sakawaki; 彰坂脇; Hiroshi Sakai; 浩志酒井; Kazuyuki Hikosaka; 和志彦坂; Takayuki Iwasaki; 剛之岩崎
Original assignee: Showa Denko KK; Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp; Resonac Holdings Corp
Priority date: 2008-03-17
Filing date: 2008-03-17
Publication date: 2008-08-21

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium which is capable of recording and reproducing high-density information by improving recording and reproducing characteristics, a method for manufacturing the same, and a magnetic recording and reproducing device. <P>SOLUTION: The magnetic recording medium includes, on a surface of a nonmagnetic substrate 1, at least a soft magnetic base film 2, an orientation control film 3 which controls the orientation characteristic of a film right thereabove, a perpendicular magnetic recording film 5 which has an axis of easy magnetization oriented mainly perpendicularly to the substrate, and a protective film 6. The orientation control film is made of a composition material selected from the group consisting of 33Cu-67Hf, 33Cu-67Ti, 33Cu-67Zr, 67Ge-33W, 67Ge-33Mo, 67Si-33Mn, 67Si-33W, 65Si-35Re, 33Zn-67Hf, 33Zn-67Ti, and 67Ni-33Ta. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、記録再生特性を向上させ、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置に関する。 The present invention relates to a magnetic recording medium capable of improving recording / reproducing characteristics and recording / reproducing high-density information, a manufacturing method thereof, and a magnetic recording / reproducing apparatus.

磁気記録再生装置の１種であるハードディスク装置（ＨＤＤ）は、現在その記録密度が年率６０％以上で増えており、今後もその傾向は続くと言われている。その為に高記録密度に適した磁気記録用ヘッドの開発、磁気記録媒体の開発が進められている。 A hard disk drive (HDD), which is a type of magnetic recording / reproducing device, is currently increasing in recording density at an annual rate of 60% or more, and it is said that this trend will continue in the future. For this purpose, development of a magnetic recording head suitable for high recording density and development of a magnetic recording medium have been promoted.

現在、市販されている磁気記録再生装置に搭載されている磁気記録媒体は、主に、磁性膜内の磁化容易軸が基板に対して水平に配向した面内磁気記録媒体である。ここで磁化容易軸とは、磁化の向き易い軸のことであり、Ｃｏ基合金の場合、Ｃｏのｈｃｐ構造のｃ軸のことである。 Currently, the magnetic recording media mounted on commercially available magnetic recording / reproducing apparatuses are mainly in-plane magnetic recording media in which the easy magnetization axis in the magnetic film is oriented horizontally with respect to the substrate. Here, the easy magnetization axis is an axis in which the magnetization is easily oriented, and in the case of a Co-based alloy, it is the c-axis of the hcp structure of Co.

このような面内磁気記録媒体では、高記録密度化すると記録ビットの１ビットあたりの磁性層の体積が小さくなりすぎ、熱揺らぎ効果により記録再生特性が悪化する可能性がある。また、高記録密度化した際に、記録ビット間の境界領域で発生する反磁界の影響により媒体ノイズが増加する傾向がある。 In such an in-plane magnetic recording medium, when the recording density is increased, the volume of the magnetic layer per recording bit becomes too small, and the recording / reproducing characteristics may be deteriorated due to the thermal fluctuation effect. Further, when the recording density is increased, the medium noise tends to increase due to the influence of the demagnetizing field generated in the boundary region between the recording bits.

これに対し、磁性膜内の磁化容易軸が主に垂直に配向した、いわゆる垂直磁気記録媒体は、高記録密度化した際にも、記録ビット間の境界領域における反磁界の影響が小さく、鮮明なビット境界が形成されるため、ノイズの増加が抑えられる。しかも、高記録密度化に伴う記録ビット体積の減少が少なくてすむため、熱揺らぎ効果にも強い。そこで、近年大きな注目を集めており、垂直磁気記録に適した媒体の構造が提案されている。 In contrast, a so-called perpendicular magnetic recording medium in which the easy axis of magnetization in the magnetic film is oriented perpendicularly is less affected by the demagnetizing field in the boundary region between recording bits even when the recording density is increased. Since a bit boundary is formed, an increase in noise can be suppressed. In addition, since the recording bit volume with the increase in recording density can be reduced, the thermal fluctuation effect is strong. Thus, in recent years, much attention has been paid and a medium structure suitable for perpendicular magnetic recording has been proposed.

近年では、磁気記録媒体の更なる高記録密度化が要望に対して、垂直磁気記録膜に対する書きこみ能力に優れている単磁極ヘッドを用いることが検討されている。そのようなヘッドに対応するために、記録層である垂直磁気記録膜と基板との間に、裏打ち層と称される軟磁性材料からなる層を設けることにより、単磁極ヘッドと磁気記録媒体との間の磁束の出入りの効率を向上させた磁気記録媒体が提案されている。 In recent years, in response to the demand for higher recording density of magnetic recording media, it has been studied to use a single-pole head that is excellent in writing capability for a perpendicular magnetic recording film. In order to cope with such a head, a single magnetic pole head and a magnetic recording medium are provided by providing a layer made of a soft magnetic material called a backing layer between a perpendicular magnetic recording film as a recording layer and a substrate. There has been proposed a magnetic recording medium in which the efficiency of entering and exiting the magnetic flux is improved.

しかしながら、上記のように単に裏打ち層を設けた磁気記録媒体を用いた場合では、記録再生時の記録再生特性において満足できるものではなく、記録再生特性に優れる磁気記録媒体が要望されていた。 However, when the magnetic recording medium simply provided with the backing layer as described above is used, the recording / reproducing characteristics at the time of recording / reproducing are not satisfactory, and a magnetic recording medium having excellent recording / reproducing characteristics has been demanded.

一般に垂直磁気記録媒体は、基板上に裏打ち層（軟磁性下地層）を設け、磁性層の磁化容易軸を基板面に対して垂直に配向させる配向制御膜、Ｃｏ合金からなる垂直磁気記録膜および保護膜の順で構成されている。この中で、磁気記録媒体の記録再生特性を改善するには、垂直磁気記録膜に対して、ノイズの低い磁性材料を使うのは勿論であるが、層構造についても以下に例示するような幾つかの改善手法が提案されている。 In general, a perpendicular magnetic recording medium is provided with a backing layer (soft magnetic underlayer) on a substrate, an orientation control film that orients the easy axis of magnetization of the magnetic layer perpendicularly to the substrate surface, a perpendicular magnetic recording film made of a Co alloy, and It is comprised in order of the protective film. Of these, in order to improve the recording / reproducing characteristics of the magnetic recording medium, it is a matter of course to use a magnetic material with low noise for the perpendicular magnetic recording film, but the layer structure is also variously exemplified as follows. Such an improvement method has been proposed.

特許文献１には、非磁性基板と六方晶系の磁性合金膜との間にＴｉ下地膜を設け、Ｔｉ下地膜に他の元素を含有させることにより、Ｔｉ合金下地膜と六方晶系の磁性合金膜との間の格子の整合性を高め、六方晶系の磁性合金膜のｃ軸配向性を向上させる方法が提案されている。
しかしながら、Ｔｉ合金下地を用いると、合金磁性膜中の交換結合が大きくなり、その結果、媒体ノイズが大きくなり、更なる高記録密度化は困難である。 In Patent Document 1, a Ti underlayer is provided between a nonmagnetic substrate and a hexagonal magnetic alloy film, and another element is contained in the Ti underlayer so that the Ti alloy underlayer and the hexagonal magnetism are included. A method has been proposed in which the lattice matching with the alloy film is enhanced and the c-axis orientation of the hexagonal magnetic alloy film is improved.
However, when a Ti alloy base is used, exchange coupling in the alloy magnetic film is increased, resulting in increased media noise, and it is difficult to further increase the recording density.

特許文献２には、ＣｏとＲｕからなる下地膜を非磁性基板とＣｏ合金垂直磁気記録膜との間に用いることにより、Ｃｏ合金垂直磁気記録膜のｃ軸配向性を向上させる方法が提案されている。
しかしながら、ＣｏとＲｕからなる下地膜は結晶粒径が大きくなり、その結果Ｃｏ合金磁性膜中の磁性粒子径が大きくなり、媒体ノイズが大きくなり、更なる高密度化は困難である。 Patent Document 2 proposes a method for improving the c-axis orientation of a Co alloy perpendicular magnetic recording film by using a base film made of Co and Ru between a nonmagnetic substrate and a Co alloy perpendicular magnetic recording film. ing.
However, the base film made of Co and Ru has a large crystal grain size. As a result, the magnetic particle diameter in the Co alloy magnetic film becomes large, the medium noise increases, and it is difficult to further increase the density.

特許文献３には、炭素含有下地膜を基板とＣｏ合金垂直磁気記録膜との間に用いることが、提案されている。
しかしながら、炭素含有下地膜を用いると、炭素含有下地膜はアモルファス構造下地膜であるために、垂直磁気記録膜のｃ軸配向性が悪化するため、その結果、熱揺らぎ耐性が悪化し、更なる高記録密度化は困難である。 Patent Document 3 proposes using a carbon-containing underlayer between the substrate and the Co alloy perpendicular magnetic recording film.
However, when the carbon-containing underlayer is used, the carbon-containing underlayer is an amorphous underlayer, and therefore the c-axis orientation of the perpendicular magnetic recording film is deteriorated. As a result, the thermal fluctuation resistance is further deteriorated. It is difficult to increase the recording density.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、記録再生特性を向上させ、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
特許第２６６９５２９号公報特開平８−１８０３６０号公報特開昭６３−２１１１１７号公報 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium capable of improving recording / reproducing characteristics and recording / reproducing high-density information, a manufacturing method thereof, and a magnetic recording / reproducing apparatus. And
Japanese Patent No. 2669529 JP-A-8-180360 JP 63-2111117 A

上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
１）上記課題を解決するための第１の発明として、請求項１に示すように非磁性基板上に、少なくとも、軟磁性下地膜と、直上の膜の配向性を制御する配向制御膜と、磁化容易軸が基板に対して主に垂直に配向した垂直磁気記録膜と、保護膜とが設けられ、前記配向制御膜が３３Ｃｕ−６７Ｈｆ、３３Ｃｕ−６７Ｔｉ、３３Ｃｕ−６７Ｚｒ、６７Ｇｅ−３３Ｗ、６７Ｇｅ−３３Ｍｏ、６７Ｓｉ−３３Ｍｎ、６７Ｓｉ−３３Ｗ、６５Ｓｉ−３５Ｒｅ、３３Ｚｎ−６７Ｈｆ、３３Ｚｎ−６７Ｔｉ、６７Ｎｉ−３３Ｔａからなる群から選ばれる何れか１種の組成材料からなることを特徴とする磁気記録媒体を提案する。
請求項２に示すように前記磁気記録媒体において、配向制御膜が少なくともＡｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｈｆ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒの１種または２種以上を含むことが望ましい。 In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
1) As a first invention for solving the above-mentioned problem, as shown in claim 1, on a nonmagnetic substrate, at least a soft magnetic underlayer, an orientation control film for controlling the orientation of the film immediately above, A perpendicular magnetic recording film having an easy magnetization axis oriented mainly perpendicular to the substrate and a protective film are provided, and the orientation control film is 33Cu-67Hf, 33Cu-67Ti, 33Cu-67Zr, 67Ge-33W, 67Ge-. Proposed magnetic recording medium comprising any one composition material selected from the group consisting of 33Mo, 67Si-33Mn, 67Si-33W, 65Si-35Re, 33Zn-67Hf, 33Zn-67Ti, 67Ni-33Ta To do.
According to a second aspect of the present invention, in the magnetic recording medium, the orientation control film includes at least one of Al, Ag, Au, Cu, Ge, Hf, Ni, Si, Ti, Zn, and Zr. desirable.

２）第２の発明として、請求項２に示すように非磁性基板上に、少なくとも、軟磁性下地膜を形成する工程と、直上の膜の配向性を制御する配向制御膜を形成する工程と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜を形成する工程と、保護膜を形成する工程を順次行う磁気記録媒体の製造方法であって、配向制御膜はスパッタターゲットとしてＣ１１ｂ構造をとるＣｕＨｆ、ＣｕＴｉ、ＣｕＺｒ、ＧｅＷ、ＧｅＭｏ、ＳｉＭｏ、ＳｉＷ、ＳｉＲｅ、ＺｎＨｆ、ＺｎＴｉ、ＮｉＴａの何れかの合金を用いることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法をも提案するものである。 2) As a second invention, as shown in claim 2, at least a step of forming a soft magnetic underlayer on a nonmagnetic substrate, and a step of forming an orientation control film for controlling the orientation of the film immediately above A method of manufacturing a magnetic recording medium in which a step of forming a perpendicular magnetic recording film having an easy axis of magnetization oriented perpendicularly to a substrate and a step of forming a protective film are sequentially performed, wherein the orientation control film is used as a sputter target. The present invention also proposes a method of manufacturing a magnetic recording medium using any one of CuHf, CuTi, CuZr, GeW, GeMo, SiMo, SiW, SiRe, ZnHf, ZnTi, and NiTa alloy having a C11b structure. .

３）第３の発明として、請求項３に示すように磁気記録媒体と、該磁気記録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドとを備えた磁気記録再生装置であって、磁気ヘッドが単磁極ヘッドであり、磁気記録媒体が、前記構成を有する磁気記録媒体であることを特徴とする磁気記録再生装置をも提案する。 3) As a third invention, a magnetic recording / reproducing apparatus comprising a magnetic recording medium and a magnetic head for recording / reproducing information on / from the magnetic recording medium as defined in claim 3 , wherein the magnetic head is a single pole head A magnetic recording / reproducing apparatus is also proposed in which the magnetic recording medium is a magnetic recording medium having the above-described configuration.

本発明の磁気記録媒体にあっては、非磁性基板上に、少なくとも軟磁性下地膜と直上の膜の配向性を制御する配向制御膜と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜と、保護膜が設けられ、前記配向制御膜がＣ１１ｂ構造をとる組成材料からなるので、記録再生特性を向上させることができる。 In the magnetic recording medium of the present invention, an orientation control film for controlling the orientation of at least the soft magnetic underlayer and the film immediately above the nonmagnetic substrate, and the easy axis of magnetization are oriented mainly perpendicularly to the substrate. Since a perpendicular magnetic recording film and a protective film are provided and the orientation control film is made of a composition material having a C11b structure, recording / reproducing characteristics can be improved.

図１は、本発明の磁気記録媒体の第１の実施形態の一例を示すものである。ここに示されている磁気記録媒体は、非磁性基板１上に、軟磁性下地膜２と、配向制御膜３と、中間膜４と、垂直磁気記録膜５と、保護膜６と、潤滑膜７とが順次形成された構成となっている。以下、非磁性基板１側から順にその構成を説明する。 FIG. 1 shows an example of the first embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. The magnetic recording medium shown here includes a soft magnetic underlayer 2, an orientation control film 3, an intermediate film 4, a perpendicular magnetic recording film 5, a protective film 6, and a lubricating film on a nonmagnetic substrate 1. 7 are sequentially formed. Hereinafter, the configuration will be described in order from the nonmagnetic substrate 1 side.

〔非磁性基板１〕
非磁性基板１としては、アルミニウム、アルミニウム合金等の金属材料からなる金属基板を用いてもよいし、ガラス、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボンなどの非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。
ガラス基板としては、アモルファスガラス、結晶化ガラスがあり、アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノシリケートガラスを使用できる。また、結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスを用いることができる。セラミック基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体や、これらの繊維強化物などが使用可能である。 [Nonmagnetic substrate 1]
As the nonmagnetic substrate 1, a metal substrate made of a metal material such as aluminum or an aluminum alloy may be used, or a nonmetal substrate made of a nonmetal material such as glass, ceramic, silicon, silicon carbide, or carbon may be used. Good.
As the glass substrate, there are amorphous glass and crystallized glass, and general-purpose soda lime glass and aluminosilicate glass can be used as the amorphous glass. Further, as the crystallized glass, lithium-based crystallized glass can be used. As the ceramic substrate, a sintered body mainly composed of general-purpose aluminum oxide, aluminum nitride, silicon nitride, or the like, or a fiber reinforced material thereof can be used.

上記非磁性基板１は、平均表面粗さＲａが２ｎｍ（２０Å）以下、好ましくは１ｎｍ以下であることがヘッドを低浮上させた高記録密度記録に適している点から望ましい。 The nonmagnetic substrate 1 desirably has an average surface roughness Ra of 2 nm (20 mm) or less, preferably 1 nm or less from the viewpoint of suitable for high recording density recording with a low flying head.

また、表面の微小うねり（Ｗａ）が０．３ｎｍ以下（より好ましくは０．２５ｎｍ以下）であることがヘッドを低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。
さらに、端面のチャンファー部の面取り部、側面部の少なくとも一方のいずれの表面平均粗さＲａが１０ｎｍ以下（より好ましくは９．５ｎｍ以下）のものを用いることが磁気ヘッドの飛行安定性にとって好ましい。尚、この微少うねり（Ｗａ）は、例えば表面荒粗さ測定装置Ｐ−１２（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製）を用い、測定範囲８０μｍでの表面平均粗さとして測定することができる。 Further, it is preferable that the surface micro-waviness (Wa) is 0.3 nm or less (more preferably 0.25 nm or less) from the viewpoint of being suitable for high recording density recording with the head flying low.
Furthermore, it is preferable for the flight stability of the magnetic head to use one having a chamfered portion of the end face chamfered portion and a surface average roughness Ra of at least one of the side surface portions of 10 nm or less (more preferably 9.5 nm or less). . In addition, this microwaviness (Wa) can be measured as surface average roughness in a measuring range of 80 μm, for example, using a surface roughness measuring device P-12 (manufactured by KLA-Tencor).

〔軟磁性下地層２〕
軟磁性下地層２は、磁気ヘッドから発生する磁束の基板に対する垂直方向成分を大きくするためと、情報が記録される垂直磁気記録膜５の磁化の方向をより強固に基板１と垂直な方向に固定するために設けられているものである。この作用は特に記録再生用の磁気ヘッドとして垂直記録用の単磁極ヘッドを用いる場合に、より顕著なものとなるので好ましい。 [Soft magnetic underlayer 2]
The soft magnetic underlayer 2 increases the direction component of the magnetic flux generated from the magnetic head in the direction perpendicular to the substrate and makes the direction of magnetization of the perpendicular magnetic recording film 5 on which information is recorded stronger in the direction perpendicular to the substrate 1. It is provided for fixing. This action is preferable because it becomes more prominent particularly when a perpendicular magnetic recording single pole head is used as a recording / reproducing magnetic head.

上記軟磁性下地膜２は、軟磁性材料からなるものであり、この材料としては、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏを含む材料を用いることができる。
具体的な材料としては、ＦｅＣｏ系合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＶなど）、ＦｅＮｉ系合金（ＦｅＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＮｉＣｒ、ＦｅＮｉＳｉなど）、ＦｅＡｌ系合金（ＦｅＡｌ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌＳｉＣｒ、ＦｅＡｌＳｉＴｉＲｕ、ＦｅＡｌＯなど）、ＦｅＣｒ系合金（ＦｅＣｒ、ＦｅＣｒＴｉ、ＦｅＣｒＣｕなど）、ＦｅＴａ系合金（ＦｅＴａ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＴａＮなど）、ＦｅＭｇ系合金（ＦｅＭｇＯなど）、ＦｅＺｒ系合金（ＦｅＺｒＮなど）、ＦｅＣ系合金、ＦｅＮ系合金、ＦｅＳｉ系合金、ＦｅＰ系合金、ＦｅＮｂ系合金、ＦｅＨｆ系合金、ＦｅＢ系合金などを挙げることができる。
またＦｅを６０ａｔ％以上含有するＦｅＡｌＯ、ＦｅＭｇＯ、ＦｅＴａＮ、ＦｅＺｒＮ等の微結晶構造あるいは微細な結晶粒子がマトリクス中に分散されたグラニュラー構造を有する材料を用いてもよい。
軟磁性下地膜２の材料としては、上記のほか、Ｃｏを８０ａｔ％以上含有し、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ等のうち少なくとも１種を含有するＣｏ合金を用いることができ、ＣｏＺｒ、ＣｏＺｒＮｂ、ＣｏＺｒＴａ、ＣｏＺｒＣｒ、ＣｏＺｒＭｏ系合金などを好適なものとして挙げることができる。 The soft magnetic underlayer 2 is made of a soft magnetic material, and a material containing Fe, Ni, Co can be used as this material.
Specific materials include FeCo alloys (FeCo, FeCoV, etc.), FeNi alloys (FeNi, FeNiMo, FeNiCr, FeNiSi, etc.), FeAl alloys (FeAl, FeAlSi, FeAlSiCr, FeAlSiTiRu, FeAlO, etc.), FeCr alloys, etc. (FeCr, FeCrTi, FeCrCu, etc.), FeTa alloys (FeTa, FeTaC, FeTaN, etc.), FeMg alloys (FeMgO, etc.), FeZr alloys (FeZrN, etc.), FeC alloys, FeN alloys, FeSi alloys, FeP Examples thereof include Fe-based alloys, FeNb-based alloys, FeHf-based alloys, and FeB-based alloys.
Alternatively, a material having a granular structure in which fine crystal grains such as FeAlO, FeMgO, FeTaN, and FeZrN containing Fe of 60 at% or more are dispersed in a matrix may be used.
As the material for the soft magnetic underlayer 2, in addition to the above, a Co alloy containing 80 at% or more of Co and containing at least one of Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, and the like can be used. CoZrNb, CoZrTa, CoZrCr, CoZrMo-based alloys and the like can be mentioned as suitable ones.

また、軟磁性下地膜２の保磁力Ｈｃは、１００（Ｏｅ）以下（より好ましくは２０（Ｏｅ）以下）とするのが好ましい。
この保磁力Ｈｃが上記範囲を超えると、軟磁気特性が不十分となり、再生波形がいわゆる矩形波から歪みをもった波形になるため好ましくない。 The coercive force Hc of the soft magnetic underlayer 2 is preferably 100 (Oe) or less (more preferably 20 (Oe) or less).
When the coercive force Hc exceeds the above range, the soft magnetic characteristics are insufficient, and the reproduced waveform is changed from a so-called rectangular wave to a distorted waveform, which is not preferable.

さらに、軟磁性下地膜２の飽和磁束密度Ｂｓ（Ｔ）と軟磁性下地膜２の膜厚ｔ（ｎｍ）との積Ｂｓ・ｔ（Ｔ・ｎｍ）は、４０（Ｔ・ｎｍ）以上（より好ましくは６０（Ｔ・ｎｍ）以上）であること好ましい。
このＢｓ・ｔが上記範囲未満であると、再生波形が歪みをもつようになったり、ＯＷ特性が悪化するため好ましくない。尚、層の膜厚は、例えばＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）で観察することにより求めることができる。 Furthermore, the product Bs · t (T · nm) of the saturation magnetic flux density Bs (T) of the soft magnetic underlayer 2 and the film thickness t (nm) of the soft magnetic underlayer 2 is 40 (T · nm) or more (more It is preferably 60 (T · nm) or more.
If this Bs · t is less than the above range, the reproduced waveform will be distorted or the OW characteristics will be deteriorated. In addition, the film thickness of a layer can be calculated | required by observing with TEM (transmission electron microscope), for example.

また、軟磁性下地膜２の表面（配向制御膜３側の面）は、軟磁性下地膜２を構成する材料が部分的あるいは完全に酸化されて構成されていることが好ましい。即ち、軟磁性下地膜２の表面（配向制御膜３側の面）およびその近傍に、軟磁性下地膜２を構成する材料が部分的に酸化されるか、もしくは前記材料の酸化物を形成して配されていることが好ましい。
これにより、軟磁性下地膜２の表面の磁気的な揺らぎを抑えることができるので、この磁気的な揺らぎに起因するノイズが低減して、磁気記録媒体の記録再生特性を改善することができる。また、軟磁性下地膜２上に形成される配向制御膜３の結晶粒を微細化して、記録再生特性を改善することができる。 Further, the surface of the soft magnetic underlayer 2 (surface on the orientation control layer 3 side) is preferably configured by partially or completely oxidizing the material constituting the soft magnetic underlayer 2. That is, the material constituting the soft magnetic underlayer 2 is partially oxidized on the surface of the soft magnetic underlayer 2 (the surface on the orientation control film 3 side) and its vicinity, or an oxide of the material is formed. Are preferably arranged.
Thereby, since the magnetic fluctuation of the surface of the soft magnetic underlayer 2 can be suppressed, the noise caused by this magnetic fluctuation can be reduced and the recording / reproducing characteristics of the magnetic recording medium can be improved. Further, the recording / reproducing characteristics can be improved by refining the crystal grains of the orientation control film 3 formed on the soft magnetic underlayer 2.

上述のように軟磁性下地膜２の表面（配向制御膜３側の面）およびその近傍を、部分的あるいは完全に酸化させるには、例えば軟磁性下地膜２を形成した後、酸素を含む雰囲気に曝す方法、軟磁性下地膜２の表面に近い部分を成膜する際のプロセス中に酸素を導入する方法などによって容易に実施できる。具体的には、軟磁性下地膜２の表面を酸素に曝す方法では、酸素単体、あるいは酸素をアルゴンや窒素などのガスで希釈したガス雰囲気中に０．３〜２０秒程度保持しておけばよい。また、大気中に曝すようにしても良い。特に酸素をアルゴンや窒素などのガスで希釈したガスを用いる場合には、軟磁性下地膜２表面の酸化の度合いの調節が容易になるので、安定した製造を行うことができる。また、軟磁性下地膜２の成膜用のガスに酸素を導入する方法では、例えば成膜法としてスパッタ法を用いるならば、成膜時間の１部のみに酸素を導入したプロセスガスを用いてスパッタを行えば良い。このプロセスガスとしては、例えばアルゴンに酸素を体積率で０．０５％〜５０％（好ましくは０．１〜２０％）程度混合したガスが好適に用いられる。 As described above, in order to oxidize the surface (surface on the orientation control film 3 side) and the vicinity of the soft magnetic underlayer 2 partially or completely, for example, after the soft magnetic underlayer 2 is formed, an atmosphere containing oxygen is formed. And a method of introducing oxygen during the process of forming a portion close to the surface of the soft magnetic underlayer 2. Specifically, in the method in which the surface of the soft magnetic underlayer 2 is exposed to oxygen, it can be maintained for about 0.3 to 20 seconds in a gas atmosphere in which oxygen alone or oxygen is diluted with a gas such as argon or nitrogen. Good. Moreover, you may make it expose to air | atmosphere. In particular, when a gas obtained by diluting oxygen with a gas such as argon or nitrogen is used, the degree of oxidation on the surface of the soft magnetic underlayer 2 can be easily adjusted, so that stable production can be performed. Further, in the method of introducing oxygen into the gas for forming the soft magnetic underlayer 2, for example, if a sputtering method is used as the film forming method, a process gas in which oxygen is introduced only for a part of the film forming time is used. Sputtering may be performed. As this process gas, for example, a gas in which oxygen is mixed in an amount of 0.05% to 50% (preferably 0.1 to 20%) by volume with argon is suitably used.

〔配向制御膜３〕
配向制御膜３は、直上に設けられた中間膜４および／または垂直磁気記録膜５の配向性や粒径を制御するものである。
本発明の磁気記録媒体において、この配向制御膜３はＣ１１ｂ構造をとる組成材料からなる。 [Orientation control film 3]
The orientation control film 3 controls the orientation and grain size of the intermediate film 4 and / or the perpendicular magnetic recording film 5 provided immediately above.
In the magnetic recording medium of the present invention, the orientation control film 3 is made of a composition material having a C11b structure.

上記配向制御膜３は少なくともＡｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｈｆ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒの１種または２種以上を含むことが好ましい。特にＣｕＨｆ、ＣｕＴｉ、ＣｕＺｒ、ＧｅＷ、ＧｅＭｏ、ＳｉＭｏ、ＳｉＷ、ＳｉＲｅ、ＺｎＨｆ、ＺｎＴｉ、ＮｉＴａの何れかであることが好ましい。以上に示した材料を用いることにより記録再生特性を向上することができる。 The alignment control film 3 preferably contains at least one or more of Al, Ag, Au, Cu, Ge, Hf, Ni, Si, Ti, Zn, and Zr. In particular, CuHf, CuTi, CuZr, GeW, GeMo, SiMo, SiW, SiRe, ZnHf, ZnTi, or NiTa is preferable. By using the materials shown above, the recording / reproducing characteristics can be improved.

また、配向制御膜３は、その材料の融点が８００（Ｋ）以上であることが好ましい。即ち融点が８００（Ｋ）未満である材料にて配向制御膜３を形成すると、表面粗さＲａが大きくなり、記録再生ヘッドの浮上高さを十分に低くすることができないため、高記録密度化することが難しいためである。 In addition, the orientation control film 3 preferably has a melting point of 800 (K) or more. That is, when the orientation control film 3 is formed of a material having a melting point of less than 800 (K), the surface roughness Ra is increased, and the flying height of the recording / reproducing head cannot be sufficiently reduced. Because it is difficult to do.

さらに、配向制御膜３は、その厚さを０．５ｎｍ以上２０ｎｍ（より好ましくは１〜１２ｎｍ）とするのが好ましい。即ち配向制御膜３の厚さが上記範囲であるとき、垂直磁気記録膜５の垂直配向性が特に高くなり、かつ記録時における磁気ヘッドと軟磁性下地膜２との距離を小さくすることができるので、再生信号の分解能を低下させることなく記録再生特性を高めることができるからである。
この厚さが上記範囲未満であると、垂直磁気記録膜５における垂直配向性が低下し、記録再生特性および熱揺らぎ耐性が劣化する。また、この厚さが上記範囲を超えると、垂直磁気記録膜５の垂直配向性が低下し、記録再生特性および熱揺らぎ耐性が劣化する。また記録時における磁気ヘッドと軟磁性下地膜２との距離が大きくなるため、再生信号の分解能や再生出力が低下するため好ましくない。 Furthermore, the orientation control film 3 preferably has a thickness of 0.5 nm to 20 nm (more preferably 1 to 12 nm). That is, when the thickness of the orientation control film 3 is within the above range, the perpendicular orientation of the perpendicular magnetic recording film 5 is particularly high, and the distance between the magnetic head and the soft magnetic underlayer 2 during recording can be reduced. This is because the recording / reproduction characteristics can be improved without reducing the resolution of the reproduction signal.
When the thickness is less than the above range, the perpendicular orientation in the perpendicular magnetic recording film 5 is lowered, and the recording / reproducing characteristics and the thermal fluctuation resistance are deteriorated. On the other hand, when the thickness exceeds the above range, the perpendicular orientation of the perpendicular magnetic recording film 5 is lowered, and the recording / reproducing characteristics and the resistance to thermal fluctuation are deteriorated. Further, since the distance between the magnetic head and the soft magnetic underlayer 2 during recording becomes large, the resolution of the reproduction signal and the reproduction output are lowered, which is not preferable.

この配向制御膜３は、スパッタ法にて成膜することにより、アモルファス構造または微細結晶構造としても良い。結晶構造については、例えば、Ｘ線回折法や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）にて確認することができる。 The orientation control film 3 may be formed by sputtering to have an amorphous structure or a fine crystal structure. The crystal structure can be confirmed by, for example, an X-ray diffraction method or a transmission electron microscope (TEM).

また、配向制御膜３の表面形状は、垂直磁気記録膜５、保護膜６の表面形状に影響を与えるため、磁気記録媒体の表面凹凸を小さくして、記録再生時における磁気ヘッド浮上高さを低くするには、配向制御膜３の表面平均粗さＲａを２ｎｍ以下とするのが好ましい。
この表面平均粗さＲａを２ｎｍ以下とすることによって、磁気記録媒体の表面凹凸を小さくし、記録再生時における磁気ヘッド浮上高さを十分に低くし、記録密度を高めることができる。 Further, since the surface shape of the orientation control film 3 affects the surface shapes of the perpendicular magnetic recording film 5 and the protective film 6, the surface unevenness of the magnetic recording medium is reduced to increase the flying height of the magnetic head during recording and reproduction. In order to make it low, it is preferable that the surface average roughness Ra of the orientation control film 3 is 2 nm or less.
By setting the average surface roughness Ra to 2 nm or less, the surface roughness of the magnetic recording medium can be reduced, the flying height of the magnetic head during recording and reproduction can be sufficiently lowered, and the recording density can be increased.

さらに、配向制御膜３は、成膜用のガスとして、その上に設けられる垂直磁気記録膜を微細化する目的で、酸素や窒素を含んだプロセスガスを用いて成膜したものが好ましい。例えば成膜法としてスパッタ法を用いて形成されたものである場合は、プロセスガスとして、アルゴンに酸素を体積率で０．０５〜５０％（より好ましくは０．１〜２０％）程度混合したガス、アルゴンに窒素を体積率で０．０１〜２０％（より好ましくは０．０２〜１０％）程度混合したガスを用いて形成したものが好ましい。 Further, the orientation control film 3 is preferably formed using a process gas containing oxygen or nitrogen as a film forming gas for the purpose of miniaturizing the perpendicular magnetic recording film provided thereon. For example, when the film is formed by sputtering, oxygen is mixed with argon as a process gas in a volume ratio of 0.05 to 50% (more preferably 0.1 to 20%). The gas and argon are preferably formed using a gas in which nitrogen is mixed by about 0.01 to 20% (more preferably 0.02 to 10%) by volume.

〔中間膜４〕
図示実施例のように配向制御膜３と垂直磁気記録膜５との間には、中間膜４を設けるようにしても良い。
この中間膜４としては、ｈｃｐ構造を有する材料を用いることが好ましく、特にＣｏＣｒ合金やＣｏＣｒＹ１合金やＣｏＹ１合金（Ｙ１：Ｐｔ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｒｕ、Ｎｂ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｏ、ＮおよびＢのうち１種または２種以上）を用いるのが好適である。
また、中間膜４のＣｏの含有量は、３０〜７０ａｔ％であることが好ましい。
さらに、中間膜４の厚さは、垂直磁気記録膜５における磁性粒子の粗大化による記録再生特性の悪化や、磁気ヘッドと軟磁性下地膜２との距離が大きくなることによる記録分解能の低下を起こさないようにするために、３０ｎｍ以下（より好ましくは２０ｎｍ以下）とするのが好ましい。
このような中間膜４を設けることによって、垂直磁気記録膜５の垂直配向性を高めることができるので、垂直磁気記録膜５の保磁力を高め、記録再生特性および熱揺らぎ耐性をさらに向上させることができる。 [Intermediate film 4]
As shown in the illustrated embodiment, an intermediate film 4 may be provided between the orientation control film 3 and the perpendicular magnetic recording film 5.
The intermediate film 4 is preferably made of a material having an hcp structure, and in particular, a CoCr alloy, a CoCrY1 alloy, a CoY1 alloy (Y1: Pt, Ta, Zr, Ru, Nb, Cu, Re, Ni, Mn, Ge, It is preferable to use one or more of Si, O, N and B).
Further, the Co content of the intermediate film 4 is preferably 30 to 70 at%.
Further, the thickness of the intermediate film 4 deteriorates the recording / reproduction characteristics due to the coarsening of the magnetic particles in the perpendicular magnetic recording film 5 and decreases the recording resolution due to an increase in the distance between the magnetic head and the soft magnetic underlayer 2. In order not to cause it, it is preferable to set it to 30 nm or less (more preferably 20 nm or less).
By providing such an intermediate film 4, the perpendicular orientation of the perpendicular magnetic recording film 5 can be improved, so that the coercive force of the perpendicular magnetic recording film 5 is increased, and the recording / reproducing characteristics and the resistance to thermal fluctuation are further improved. Can do.

〔垂直磁気記録膜５〕
垂直磁気記録膜５は、その磁化容易軸が基板に対して主に垂直方向に向いたものであり、少なくともＣｏ、Ｐｔを含んだ材料からなることが好ましい。
なかでも特に、少なくともＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔを含んだ材料からなり、Ｃｒの含有量が１４ａｔ％以上２４ａｔ％以下（より好ましくは１６ａｔ％以上２２ａｔ％以下）、Ｐｔの含有量が１４ａｔ％以上２４ａｔ％以下（より好ましくは１５ａｔ％以上２０ａｔ％以下）であることが好ましい。尚、主に垂直方向に向いたものとは垂直方向の保磁力Ｈｃ（Ｐ）と面内方向の保磁力Ｈｃ（Ｌ）がＨｃ（Ｐ）＞Ｈｃ（Ｌ）である垂直磁気記録膜のことである。さらに、Ｂを０．１以上５ａｔ％以下含んだ材料からなることが好ましい。これにより、磁性粒子間の交換結合を低減することができ、記録再生特性を改善することが可能となる。
このような材料の組成において、Ｃｒの含有量が１４ａｔ％未満であると、磁性粒子間の交換結合が大きくなり、その結果磁気クラスター径が大きくなり、ノイズが増大するため好ましくない。また、Ｃｒの含有量が２４ａｔ％を超えると、保磁力および残留磁化（Ｍｒ）と飽和磁化（Ｍｓ）の比Ｍｒ／Ｍｓが低下するため好ましくない。Ｐｔの含有量が１４ａｔ％未満であると、記録再生特性の改善効果が不十分であるとともに、残留磁化（Ｍｒ）と飽和磁化（Ｍｓ）の比Ｍｒ／Ｍｓが低下し、熱揺らぎ耐性が悪化するため好ましくない。また、Ｐｔの含有量が２４ａｔ％を超えると、ノイズが増大するため好ましくない。 [Perpendicular magnetic recording film 5]
The perpendicular magnetic recording film 5 has an easy axis of magnetization mainly oriented in a direction perpendicular to the substrate, and is preferably made of a material containing at least Co and Pt.
In particular, it is made of a material containing at least Co, Cr, and Pt, the Cr content is 14 at% or more and 24 at% or less (more preferably 16 at% or more and 22 at% or less), and the Pt content is 14 at% or more and 24 at%. Or less (more preferably 15 at% or more and 20 at% or less). Note that the vertical direction mainly refers to a perpendicular magnetic recording film in which the coercive force Hc (P) in the vertical direction and the coercive force Hc (L) in the in-plane direction satisfy Hc (P)> Hc (L). It is. Further, it is preferably made of a material containing 0.1 to 5 at% of B. Thereby, the exchange coupling between the magnetic particles can be reduced, and the recording / reproducing characteristics can be improved.
In such a material composition, if the Cr content is less than 14 at%, exchange coupling between the magnetic particles increases, resulting in an increase in magnetic cluster diameter and noise, which is not preferable. On the other hand, if the Cr content exceeds 24 at%, the coercive force and the ratio Mr / Ms of the remanent magnetization (Mr) to the saturation magnetization (Ms) decrease, which is not preferable. If the Pt content is less than 14 at%, the effect of improving the recording / reproducing characteristics is insufficient, and the ratio Mr / Ms between the residual magnetization (Mr) and the saturation magnetization (Ms) is lowered, and the thermal fluctuation resistance is deteriorated. Therefore, it is not preferable. Further, if the Pt content exceeds 24 at%, noise increases, which is not preferable.

上記垂直磁気記録膜５がＣｏＣｒＰｔ系合金からなる場合においては、Ｂ以外にも任意の元素を添加することも可能である。特に限定されるものではないが、Ｔａ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｒｕ、Ｎｄ、Ｚｒ、Ｗ、Ｎｄなどを挙げることができる。 In the case where the perpendicular magnetic recording film 5 is made of a CoCrPt-based alloy, any element other than B can be added. Although not particularly limited, Ta, Mo, Nb, Hf, Ir, Cu, Ru, Nd, Zr, W, Nd, and the like can be given.

また、垂直磁気記録膜５は、このほかにも、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｒｅ、Ｖ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｏ、Ｎなどから選ばれる少なくとも１種類以上の元素を添加した合金を用いることもできる。 In addition, the perpendicular magnetic recording film 5 is made of an alloy to which at least one element selected from Zr, Nb, Re, V, Ni, Mn, Ge, Si, O, N and the like is added. You can also.

この垂直磁気記録膜５は、ＣｏＣｒＰｔ系材料からなる１層構造とすることもできるし、組成の異なる材料からなる２層以上の構造とすることもできる。
２層以上の構造とする場合、Ｃｏ系合金（ＣｏＣｒ、ＣｏＢ、Ｃｏ−ＳｉＯ２等）とＰｄ系合金（ＰｄＢ、Ｐｄ−ＳｉＯ２等）の積層材料やＣｏＴｂやＣｏＮｄ等のアモルファス材料とＣｏＣｒＰｔ系材料の複層構造とすることもできる。あるいは、ＣｏＣｒＰｔ系材料を第１垂直磁気記録膜として設け、組成の異なるＣｏＣｒＰｔ系材料を第２垂直磁気記録膜とすることもできる。また、ＣｏＣｒＰｔ系材料を第１垂直磁気記録膜として設け、ＣｏＮｄを第２垂直磁気記録膜として設けることもできる。 The perpendicular magnetic recording film 5 can have a single-layer structure made of a CoCrPt-based material, or can have a structure of two or more layers made of materials having different compositions.
In the case of a structure having two or more layers, a laminated material of a Co-based alloy (CoCr, CoB, Co—SiO 2, etc.) and a Pd-based alloy (PdB, Pd—SiO 2, etc.), an amorphous material such as CoTb or CoNd, and a CoCrPt-based material A multi-layer structure can also be used. Alternatively, a CoCrPt-based material may be provided as the first perpendicular magnetic recording film, and a CoCrPt-based material having a different composition may be used as the second perpendicular magnetic recording film. Also, a CoCrPt-based material can be provided as the first perpendicular magnetic recording film, and CoNd can be provided as the second perpendicular magnetic recording film.

さらに、垂直磁気記録膜５の厚さは、７〜６０ｎｍ（より好ましくは１０〜４０ｎｍ。）とするのが好ましい。この垂直磁気記録膜５の厚さが７ｎｍ以上であると、十分な磁束が得られ、再生時における出力が低くならず、出力波形がノイズ成分にうずもれてしまうことがないので、より高記録密度に適した磁気記録再生装置として動作するので好ましい。また、垂直磁気記録膜５の厚さが６０ｎｍ以下であると、垂直磁気記録膜５内の磁性粒子の粗大化を抑えることができ、ノイズの増大といった記録再生特性の劣化が生じるおそれがないため好ましい。 Further, the thickness of the perpendicular magnetic recording film 5 is preferably 7 to 60 nm (more preferably 10 to 40 nm). When the thickness of the perpendicular magnetic recording film 5 is 7 nm or more, a sufficient magnetic flux is obtained, the output during reproduction is not lowered, and the output waveform is not swayed by noise components. This is preferable because it operates as a magnetic recording / reproducing apparatus suitable for the recording density. Further, when the thickness of the perpendicular magnetic recording film 5 is 60 nm or less, the coarsening of the magnetic particles in the perpendicular magnetic recording film 5 can be suppressed, and there is no possibility that the recording / reproducing characteristics are deteriorated such as an increase in noise. preferable.

また、垂直磁気記録膜５の保磁力は、３０００（Ｏｅ）以上とすることが好ましい。
この保磁力が３０００（Ｏｅ）未満であると、高記録密度における必要な分解能が得られず、また熱揺らぎ耐性が劣るため好ましくない。 The coercive force of the perpendicular magnetic recording film 5 is preferably 3000 (Oe) or more.
If the coercive force is less than 3000 (Oe), the necessary resolution at a high recording density cannot be obtained, and the thermal fluctuation resistance is inferior.

加えて、垂直磁気記録膜５の残留磁化（Ｍｒ）と飽和磁化（Ｍｓ）の比Ｍｒ／Ｍｓが０．９以上であることが好ましい。
この比Ｍｒ／Ｍｓが０．９未満の磁気記録媒体は、熱揺らぎ耐性に劣るため好ましくない。 In addition, the ratio Mr / Ms of the residual magnetization (Mr) and the saturation magnetization (Ms) of the perpendicular magnetic recording film 5 is preferably 0.9 or more.
A magnetic recording medium having a ratio Mr / Ms of less than 0.9 is not preferable because it is inferior in thermal fluctuation resistance.

また、垂直磁気記録膜５の逆磁区核形成磁界（−Ｈｎ）は、０以上２５００（Ｏｅ）以下であることが好ましい。
この逆磁区核形成磁界（−Ｈｎ）が、０未満の磁気記録媒体は、熱揺らぎ耐性に劣るため好ましくない。また、逆磁区核形成磁界（−Ｈｎ）の上限は、２５００（Ｏｅ）とされている。それ以上の逆磁区核形成磁界(−Ｈｎ)を得ようとすると、磁性粒子の磁気的な分離が不充分となり、活性化磁気モーメント（ｖＩｓｂ）が増大し、結果として記録再生時におけるノイズが増加するといったことがことおきやすくなるため好ましくない。 Further, the reverse magnetic domain nucleation magnetic field (-Hn) of the perpendicular magnetic recording film 5 is preferably 0 or more and 2500 (Oe) or less.
A magnetic recording medium having a reverse domain nucleation magnetic field (-Hn) of less than 0 is not preferable because it is inferior in thermal fluctuation resistance. The upper limit of the reverse domain nucleation magnetic field (-Hn) is 2500 (Oe). If an attempt is made to obtain a reverse magnetic domain nucleation magnetic field (-Hn) beyond that, the magnetic separation of the magnetic particles becomes insufficient, and the activation magnetic moment (vIsb) increases, resulting in an increase in noise during recording and reproduction. It is not preferable because it is easy to do things.

さらに、垂直磁気記録膜５は、結晶粒子の平均粒径が５〜１５ｎｍであることが好ましい。この平均粒径は、例えば垂直磁気記録膜５の結晶粒子をＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）で観察し、観察像を画像処理することにより求めることができる。 Further, the perpendicular magnetic recording film 5 preferably has an average grain size of 5 to 15 nm. This average particle diameter can be obtained, for example, by observing crystal grains of the perpendicular magnetic recording film 5 with a TEM (transmission electron microscope) and image-processing the observed image.

また、垂直磁気記録膜５のΔＨｃ／Ｈｃは０．３以下であることが好ましい。
このΔＨｃ／Ｈｃが０．３以下であると、磁性粒子の粒径のばらつきが小さくなるので、垂直磁気記録膜の垂直方向への保磁力がより均一となるので、記録再生特性および熱揺らぎ耐性が悪化することを抑えることができるので好ましい。 Further, ΔHc / Hc of the perpendicular magnetic recording film 5 is preferably 0.3 or less.
If this ΔHc / Hc is 0.3 or less, the variation in the particle size of the magnetic particles becomes small, and the coercive force in the perpendicular direction of the perpendicular magnetic recording film becomes more uniform. Is preferable because it is possible to suppress the deterioration.

〔保護膜６〕
保護膜６は、垂直磁気記録膜５の腐食を防ぐとともに、磁気ヘッドが媒体に接触したときに媒体表面の損傷を防ぐためのもので、従来公知の材料を使用でき、例えばＣ、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２を含むものが使用可能である。
この保護層６は、厚さを１〜１０ｎｍとすると、ヘッドと垂直磁気記録膜５の距離を小さくできるので高記録密度の点から望ましい。 [Protective film 6]
The protective film 6 is for preventing corrosion of the perpendicular magnetic recording film 5 and preventing damage to the surface of the medium when the magnetic head comes into contact with the medium. Conventionally known materials can be used, for example, C, SiO2, ZrO2 Those containing can be used.
The protective layer 6 having a thickness of 1 to 10 nm is desirable from the viewpoint of high recording density because the distance between the head and the perpendicular magnetic recording film 5 can be reduced.

〔潤滑膜７〕
潤滑膜７には従来公知の材料、例えばパーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などを用いるのが好ましい。 [Lubricant film 7]
It is preferable to use a conventionally known material such as perfluoropolyether, fluorinated alcohol, fluorinated carboxylic acid or the like for the lubricating film 7.

このような構成を有する各層からなる本発明の第１の発明である磁気記録媒体にあっては、配向制御膜３がＣ１１ｂ構造合金からなり、より高記録密度で使用した時に記録再生特性が向上（例えば、ノイズの低減）しているので、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体となる。 In the magnetic recording medium according to the first aspect of the present invention, which is composed of each layer having such a configuration, the orientation control film 3 is made of a C11b structure alloy, and the recording / reproducing characteristics are improved when used at a higher recording density. (For example, noise reduction), a magnetic recording medium capable of recording and reproducing high-density information is obtained.

図２は、本発明の磁気記録媒体の第２の実施形態の一例を示すものであって、非磁性基板１と軟磁性下地膜２との間に、磁気異方性が主に面内方向を向いた永久磁石膜８を設けたものである。 FIG. 2 shows an example of a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, in which the magnetic anisotropy is mainly in the in-plane direction between the nonmagnetic substrate 1 and the soft magnetic underlayer 2. Is provided with a permanent magnet film 8 facing the surface.

永久磁石膜８としては、ＣｏＳｍ合金や、ＣｏＣｒＰｔＹ２合金（Ｙ２：Ｐｔ、Ｔａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｃｕ、Ｒｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｏ、ＮおよびＢのうち１種または２種以上）を用いるのが好適である。
また、永久磁石膜８は、保磁力Ｈｃが５００（Ｏｅ）以上（より好ましくは１０００（Ｏｅ）以上）であることが好ましい。
さらに、永久磁石膜８の厚さは、１５０ｎｍ以下（より好ましくは７０ｎｍ以下）であることが好ましい。
この厚さが１５０ｎｍを超えると、配向制御膜３の表面平均粗さＲａが大きくなるため好ましくない。
また、永久磁石膜８は、軟磁性下地膜２と交換結合しており、磁化方向が基板半径方向に向けられた構成とするのが好ましい。 As the permanent magnet film 8, a CoSm alloy or a CoCrPtY2 alloy (Y2: one or more of Pt, Ta, Zr, Nb, Cu, Re, Ni, Mn, Ge, Si, O, N and B) Is preferably used.
The permanent magnet film 8 preferably has a coercive force Hc of 500 (Oe) or more (more preferably 1000 (Oe) or more).
Furthermore, the thickness of the permanent magnet film 8 is preferably 150 nm or less (more preferably 70 nm or less).
If the thickness exceeds 150 nm, the surface average roughness Ra of the orientation control film 3 increases, which is not preferable.
The permanent magnet film 8 is preferably exchange-coupled to the soft magnetic underlayer 2 and has a configuration in which the magnetization direction is directed in the substrate radial direction.

このような永久磁石膜８を設けることにより、より効果的に軟磁性下地膜２での巨大な磁区の形成を抑えることができるので、磁壁によるスパイクノイズの発生を防止して、記録再生時のエラーレートを十分に低くすることができる。 By providing such a permanent magnet film 8, it is possible to more effectively suppress the formation of a huge magnetic domain in the soft magnetic undercoat film 2, so that the occurrence of spike noise due to the domain wall can be prevented and recording / reproduction can be performed. The error rate can be made sufficiently low.

また、永久磁石膜８の配向を制御するために、非磁性基板１と永久磁石膜８との間にＣｒ合金材料やＮｉＡｌなどのＢ２構造材料を用いてもよい。 In order to control the orientation of the permanent magnet film 8, a B2 structure material such as a Cr alloy material or NiAl may be used between the nonmagnetic substrate 1 and the permanent magnet film 8.

〔製造方法〕
次に、第１（および第２）の実施形態の磁気記録媒体の製造方法の一例を説明する。
まず、非磁性基板１上にスパッタ法などにより、軟磁性下地膜２を形成し、その後、必要に応じてこの軟磁性下地膜２の表面およびその近傍を、部分的あるいは完全に酸化させる。次いで配向制御膜３、中間膜４、垂直磁気記録膜５をスパッタ法などにより形成する。続いて保護膜６をＣＶＤ法、イオンビーム法、スパッタ法などにより形成する。その後、ディッピング法、スピンコート法などにより潤滑膜７を形成する。
なお、第２の実施形態の磁気記録媒体の製造に際しては、非磁性基板１と軟磁性下地膜２との間に永久磁石膜８を形成する工程を含ませるようにすれば良い。
以下、工程ごとに説明する。〔Production method〕
Next, an example of a method for manufacturing the magnetic recording medium of the first (and second) embodiment will be described.
First, the soft magnetic underlayer 2 is formed on the nonmagnetic substrate 1 by sputtering or the like, and then the surface of the soft magnetic underlayer 2 and its vicinity are partially or completely oxidized as necessary. Next, the orientation control film 3, the intermediate film 4, and the perpendicular magnetic recording film 5 are formed by sputtering or the like. Subsequently, the protective film 6 is formed by a CVD method, an ion beam method, a sputtering method, or the like. Thereafter, the lubricating film 7 is formed by dipping, spin coating, or the like.
In manufacturing the magnetic recording medium of the second embodiment, a step of forming the permanent magnet film 8 between the nonmagnetic substrate 1 and the soft magnetic underlayer 2 may be included.
Hereinafter, it demonstrates for every process.

〔軟磁性下地膜の形成工程〕
必要に応じて非磁性基板１を洗浄し、この非磁性基板１を成膜装置のチャンバ内に設置する。また、必要に応じて非磁性基板１は、例えばヒータより１００〜４００℃に加熱される。そして、この非磁性基板１上に、軟磁性下地層２と、配向制御膜３と、中間層４と、垂直磁気記録膜５を各層の材料と同じ組成の材料を原料とするスパッタターゲットを用いてＤＣ或いはＲＦマグネトロンスパッタ法により形成する。膜を形成するためのスパッタの条件は例えば次のように設定する。形成に用いるチャンバ内は、真空度が１０-５〜１０-7Ｐａとなるまで排気する。チャンバ内に非磁性基板１を収容して、スパッタガスとして、たとえばＡｒガスを導入して放電させてスパッタ成膜をおこなう。このとき、供給するパワーは０．０５〜５ｋＷとし、放電時間と供給するパワーを調節することによって、所望の膜厚を得ることができ、具体的には、５０〜４００ｎｍの膜厚で形成するのが好ましい。 [Soft magnetic underlayer forming process]
The nonmagnetic substrate 1 is cleaned as necessary, and the nonmagnetic substrate 1 is placed in the chamber of the film forming apparatus. Moreover, the nonmagnetic board | substrate 1 is heated by 100-400 degreeC with a heater as needed, for example. Then, on this nonmagnetic substrate 1, a sputter target using a soft magnetic underlayer 2, an orientation control film 3, an intermediate layer 4, and a perpendicular magnetic recording film 5 made of materials having the same composition as the material of each layer is used. And formed by DC or RF magnetron sputtering. The sputtering conditions for forming the film are set as follows, for example. The chamber used for formation is evacuated until the degree of vacuum reaches 10-5 to 10-7 Pa. The nonmagnetic substrate 1 is accommodated in a chamber, and sputtering film formation is performed by introducing, for example, Ar gas as a sputtering gas and discharging it. At this time, the supplied power is 0.05 to 5 kW, and a desired film thickness can be obtained by adjusting the discharge time and the supplied power. Specifically, the film is formed with a film thickness of 50 to 400 nm. Is preferred.

軟磁性下地層２を形成する際には、既に例示した各種軟磁性材料からなるスパッタターゲット（溶解による合金ターゲットまたは焼結合金ターゲット）を用いるのが軟磁性下地層を容易に形成できるので好ましい。 When forming the soft magnetic underlayer 2, it is preferable to use a sputtering target (alloy target or sintered alloy target) made of various soft magnetic materials already exemplified since the soft magnetic underlayer can be easily formed.

軟磁性下地層２を形成した後には、既に説明したようにその表面（配向制御膜３側の面）を部分的あるいは完全に酸化させる工程、例えば軟磁性下地層２を形成した後、酸素を含む雰囲気に曝す方法や、軟磁性下地層２の表面に近い部分を成膜する際のプロセス中に酸素を導入する方法を実施することが好ましい。 After the soft magnetic underlayer 2 is formed, as already described, the surface (the surface on the orientation control film 3 side) is partially or completely oxidized, for example, after the soft magnetic underlayer 2 is formed, oxygen is added. It is preferable to carry out a method of exposing to an atmosphere containing oxygen or a method of introducing oxygen during a process in forming a portion close to the surface of the soft magnetic underlayer 2.

〔配向制御膜の形成工程〕
軟磁性下地層２を形成後、配向制御膜３を、放電時間と供給するパワーを調節することによって配向制御膜３を１〜２０ｎｍ（より好ましくは１〜１０ｎｍ）の膜厚で形成する。 [Formation process of orientation control film]
After the soft magnetic underlayer 2 is formed, the orientation control film 3 is formed with a thickness of 1 to 20 nm (more preferably 1 to 10 nm) by adjusting the discharge time and the power to be supplied.

配向制御膜３を形成する際には、既に例示した各種配向制御膜の材料からなるスパッタターゲットを用いるのが配向制御膜を容易に形成できるので好ましい。配向制御膜３の形成に用いるスパッタ用ターゲットの材料は、Ｃ１１ｂ構造をとる合金である。 When forming the orientation control film 3, it is preferable to use a sputtering target made of the materials of various orientation control films already exemplified since the orientation control film can be easily formed. The material for the sputtering target used for forming the orientation control film 3 is an alloy having a C11b structure.

また、配向制御膜３の成膜用のガスには、既に説明したようにその上に設けられる垂直磁気記録膜を微細化する目的で、酸素や窒素を導入しても良い。 Further, as already described, oxygen or nitrogen may be introduced into the gas for forming the orientation control film 3 for the purpose of miniaturizing the perpendicular magnetic recording film provided thereon.

〔垂直磁気記録膜の形成工程〕
配向制御膜３を形成した後、垂直磁気記録膜５を成膜する。
垂直磁気記録膜を形成する際には、既に例示した各種垂直磁気記録膜の材料からなるスパッタターゲットを用いるのが垂直磁気記録膜を容易に形成できるので好ましい。 [Formation process of perpendicular magnetic recording film]
After forming the orientation control film 3, a perpendicular magnetic recording film 5 is formed.
When forming the perpendicular magnetic recording film, it is preferable to use a sputtering target made of the materials of the various exemplified perpendicular magnetic recording films because the perpendicular magnetic recording film can be easily formed.

〔中間層の形成工程〕
また、既に説明したように下地層の配向制御膜３と垂直磁気記録層５との間に中間層４を設け、垂直磁気記録膜５の垂直配向性を高め、垂直磁気記録膜５の保磁力を高め、記録再生特性および熱揺らぎ耐性の更なる向上を図るようにしても良い。 [Formation process of intermediate layer]
Further, as already described, the intermediate layer 4 is provided between the orientation control film 3 of the underlayer and the perpendicular magnetic recording layer 5 to improve the perpendicular orientation of the perpendicular magnetic recording film 5, and the coercive force of the perpendicular magnetic recording film 5. The recording / reproduction characteristics and the thermal fluctuation resistance may be further improved.

〔保護膜の形成工程〕
垂直磁気記録膜５を形成した後、公知の方法、例えばスパッタ法、プラズマＣＶＤ法またはそれらの組み合わせを用いて保護膜６、たとえばカーボンを主成分とする保護膜を形成する。 [Protective film formation process]
After forming the perpendicular magnetic recording film 5, a protective film 6, for example, a protective film mainly composed of carbon, is formed by using a known method such as sputtering, plasma CVD, or a combination thereof.

〔潤滑膜の形成工程〕
さらに、保護膜６上には必要に応じて例えばパーフルオロポリエーテルなどのフッ素系潤滑剤をディップ法、スピンコート法などを用いて塗布し潤滑層７を形成する。 [Lubrication process]
Further, a lubricating layer 7 is formed on the protective film 6 by applying a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether, if necessary, using a dipping method, a spin coating method, or the like.

これらの各工程からなる本発明の第２の発明である磁気記録媒体の製造方法にあっては、スパッタ法などを用いて実施でき、製造した磁気記録媒体は、配向制御膜がＣ１１ｂ構造材料からなる磁気記録媒体であるので、より高記録密度で使用した時に記録再生特性が向上（例えば、ノイズの低減）、熱減磁耐性が向上しているので、高密度の情報の記録再生が可能な磁気記録媒体となる。 The magnetic recording medium manufacturing method according to the second invention of the present invention comprising these steps can be carried out by using a sputtering method or the like. The manufactured magnetic recording medium has an orientation control film made of a C11b structure material. Recording / reproducing characteristics when used at a higher recording density (for example, noise reduction) and improved resistance to thermal demagnetization, recording / reproducing high-density information is possible. It becomes a magnetic recording medium.

図３は、本発明の第１の発明であって且つ第２の発明にて製造される磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の例を示すものであり、本発明の第３の発明の一例である。ここに示す磁気記録再生装置は、磁気記録媒体９と、磁気記録媒体９を回転駆動させる媒体駆動部１０と、磁気記録媒体９に情報を記録再生する磁気ヘッド１１と、ヘッド駆動部１２と、記録再生信号処理系１３とを備えている。記録再生信号処理系１３は、入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド１１に送ったり、磁気ヘッド１１からの再生信号を処理してデータを出力することができるようになっている。
磁気ヘッド１１としては、垂直記録用の単磁極ヘッドを例示することができ、この単磁極ヘッドとしては、図３（ｂ）に示すように、種磁極１１ａと、補助磁極１１ｂと、これら連結部１１ｃに設けられたコイル１１ｄとを有する構成のものを好適に用いることができる。 FIG. 3 shows an example of a magnetic recording / reproducing apparatus using the magnetic recording medium manufactured according to the first aspect of the present invention and according to the second aspect of the present invention. It is an example. The magnetic recording / reproducing apparatus shown here includes a magnetic recording medium 9, a medium driving unit 10 that rotationally drives the magnetic recording medium 9, a magnetic head 11 that records and reproduces information on the magnetic recording medium 9, a head driving unit 12, And a recording / reproducing signal processing system 13. The recording / reproduction signal processing system 13 can process input data and send a recording signal to the magnetic head 11, or process a reproduction signal from the magnetic head 11 and output data.
As the magnetic head 11, a single magnetic pole head for perpendicular recording can be exemplified. As shown in FIG. 3B, the single magnetic pole head includes a seed magnetic pole 11a, an auxiliary magnetic pole 11b, and a connecting portion thereof. The thing of the structure which has the coil 11d provided in 11c can be used suitably.

この磁気記録再生装置は、前記構成の磁気記録媒体９を用いているので、記録再生特性を高めることができ、高記録密度化を図ることができる。 Since this magnetic recording / reproducing apparatus uses the magnetic recording medium 9 having the above-described configuration, it is possible to improve the recording / reproducing characteristics and increase the recording density.

以下、実施例を示して本発明の作用効果を明確にする。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, an example is shown and the operation effect of the present invention is clarified. However, the present invention is not limited to the following examples.

（実施例１）
洗浄済みのガラス基板（オハラ社製、外直径２．５インチ）をＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社製Ｃ−３０１０）の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度１×１０−５Ｐａとなるまで成膜チャンバ内を排気した後、このガラス基板上に８９Ｃｏ−４Ｚｒ−７Ｎｂ（Ｃｏ含有量８９ａｔ％、Ｚｒ含有量４ａｔ％、Ｎｂ含有量７ａｔ％）のターゲットを用いて１６０ｎｍの軟磁性下地膜２をスパッタ法により成膜した。この膜の飽和磁束密度Ｂｓ（Ｔ）と膜厚ｔ（ｎｍ）の積Ｂｓ・ｔ（Ｔ・ｎｍ）が２００（Ｔ・ｎｍ）であることを振動式磁気特性測定装置（ＶＳＭ）で確認した。
次いで、基板を２４０℃に加熱して、上記軟磁性下地膜上に３３Ｃｕ−６７Ｈｆターゲットを用いて８ｎｍの配向制御膜を形成した。この膜の飽和磁化Ｍｓは１００（ｅｍｕ／ｃｃ）であることを確認した。６５Ｃｏ−３０Ｃｒ−５Ｂ（Ｃｏ含有量６５ａｔ％、Ｃｒ含有量３０ａｔ％、Ｂ含有量５ａｔ％）ターゲットを用いて１０ｎｍの中間膜、６４Ｃｏ−１７Ｃｒ−１７Ｐｔ−２Ｂ（Ｃｏ含有量６４ａｔ％、Ｃｒ含有量１７ａｔ％、Ｐｔ含有量１７ａｔ％、Ｂ含有量２ａｔ）ターゲットを用いて２０ｎｍの垂直磁気記録膜を順次形成した。なお、上記スパッタリング工程においては、成膜用のプロセスガスとしてアルゴンを用い、圧力０．６Ｐａにて成膜した。
次いで、ＣＶＤ法により５ｎｍの保護膜６を形成した。
次いで、ディッピング法によりパーフルオロポリエーテルからなる潤滑膜を形成し、磁気記録媒体を得た。この内容を表１に示す。 (Example 1)
A cleaned glass substrate (made by OHARA, outer diameter 2.5 inches) is housed in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3010 made by Anelva), and the ultimate vacuum is 1 × 10 −5 Pa. After the inside of the film forming chamber was exhausted, a 160 nm soft magnetic underlayer was formed on this glass substrate using a target of 89Co-4Zr-7Nb (Co content 89 at%, Zr content 4 at%, Nb content 7 at%). 2 was formed by sputtering. The product of saturation magnetic flux density Bs (T) and film thickness t (nm) Bs · t (T · nm) of this film was confirmed to be 200 (T · nm) using a vibration type magnetic property measuring device (VSM). .
Next, the substrate was heated to 240 ° C., and an 8 nm alignment control film was formed on the soft magnetic underlayer using a 33Cu-67Hf target. It was confirmed that the saturation magnetization Ms of this film was 100 (emu / cc). 65Co-30Cr-5B (Co content 65 at%, Cr content 30 at%, B content 5 at%) using a 10 nm intermediate film, 64Co-17Cr-17Pt-2B (Co content 64 at%, Cr content A perpendicular magnetic recording film having a thickness of 20 nm was sequentially formed using a 17 at% target, a Pt content of 17 at%, and a B content of 2 at. Note that in the sputtering step, argon was used as a process gas for film formation, and the film was formed at a pressure of 0.6 Pa.
Next, a protective film 6 having a thickness of 5 nm was formed by a CVD method.
Next, a lubricating film made of perfluoropolyether was formed by a dipping method to obtain a magnetic recording medium. The contents are shown in Table 1.

（比較例１〜３）
配向制御膜３を、６０Ｒｕ−４０Ｃｏ、Ｔｉ、Ｃターゲットを用いた以外は、実施例１に準じて磁気記録媒体を作製した。この内容を表１に示す。 (Comparative Examples 1-3)
A magnetic recording medium was manufactured according to Example 1 except that the orientation control film 3 was made of a 60Ru-40Co, Ti, and C target. The contents are shown in Table 1.

これら実施例１および比較例１〜３の磁気記録媒体について、記録再生特性を評価した。記録再生特性の評価は、米国ＧＵＺＩＫ社製リードライトアナライザＲＷＡ１６３２、およびスピンスタンドＳ１７０１ＭＰを用いて測定した。
記録再生特性の評価には、書き込みをシングルポール磁極、再生部にＧＭＲ素子を用いたヘッドを用いて、記録周波数条件を線記録密度６００ｋＦＣＩとして測定した。この試験結果を表１に示す。 The recording / reproducing characteristics of the magnetic recording media of Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 were evaluated. The recording / reproduction characteristics were evaluated using a read / write analyzer RWA1632 manufactured by GUZIK, USA, and a spin stand S1701MP.
For evaluation of the recording / reproducing characteristics, the recording frequency condition was measured at a linear recording density of 600 kFCI using a single pole magnetic pole for writing and a head using a GMR element for the reproducing portion. The test results are shown in Table 1.

表１より明らかなように、配向制御膜が３３Ｃｕ−６７Ｈｆからなる合金である実施例１の磁気記録媒体は、比較例１〜３に比べて優れた記録再生特性を示した。 As is clear from Table 1, the magnetic recording medium of Example 1 in which the orientation control film is an alloy composed of 33Cu-67Hf showed superior recording / reproducing characteristics as compared with Comparative Examples 1 to 3.

（実施例２〜１１、）
配向制御膜の組成を表２に示すとおりとした以外は、実施例１に準じて実施例２〜１１の磁気記録媒体を作製した。尚、比較のため、中間膜および垂直磁気記録膜の組成および厚さは同じとした。 (Examples 2-11)
Magnetic recording media of Examples 2 to 11 were produced according to Example 1 except that the composition of the orientation control film was as shown in Table 2. For comparison, the composition and thickness of the intermediate film and the perpendicular magnetic recording film are the same.

これら実施例２〜１１の磁気記録媒体について、記録再生特性を評価した。評価方法は前述と同様である。試験結果を表２に示す。 The recording / reproducing characteristics of the magnetic recording media of Examples 2 to 11 were evaluated. The evaluation method is the same as described above. The test results are shown in Table 2.

表２より明らかなように、配向制御膜の組成がＣ１１ｂ構造をとる組成材料である実施例２〜１１の磁気記録媒体は優れた記録再生特性を示した。 As is clear from Table 2, the magnetic recording media of Examples 2 to 11 in which the composition of the orientation control film is a composition material having a C11b structure showed excellent recording / reproducing characteristics.

（実施例１２〜１６）
配向制御膜の膜厚を表３に示すとおりとした以外は、実施例１に準じて磁気記録媒体を作製した。尚、比較のため、配向制御膜の組成は同じとした。また、軟磁性下地膜、中間膜および垂直磁気記録膜の組成並びに厚さは同じとした。 (Examples 12 to 16)
A magnetic recording medium was manufactured according to Example 1 except that the thickness of the orientation control film was as shown in Table 3. For comparison, the composition of the alignment control film is the same. The composition and thickness of the soft magnetic underlayer, intermediate film and perpendicular magnetic recording film were the same.

これら実施例１２〜１６の磁気記録媒体について、記録再生特性を評価した。評価方法は前述と同様である。試験結果を表３に示す。 The recording / reproducing characteristics of the magnetic recording media of Examples 12 to 16 were evaluated. The evaluation method is the same as described above. The test results are shown in Table 3.

表３より明らかなように、配向制御膜の膜厚が０．５ｎｍ以上２０ｎｍ以下（特に１ｎｍ以上１２ｎｍ以下）の実施例１２〜１５の磁気記録媒体は、特に優れた記録再生特性を示した。 As is clear from Table 3, the magnetic recording media of Examples 12 to 15 in which the film thickness of the alignment control film was 0.5 nm or more and 20 nm or less (particularly 1 nm or more and 12 nm or less) exhibited particularly excellent recording / reproducing characteristics.

本発明の磁気記録媒体の第１の実施形態の一例を示す１部断面図である。1 is a partial cross-sectional view showing an example of a first embodiment of a magnetic recording medium of the present invention. 本発明の磁気記録媒体の第２の実施形態の一例を示す１部断面図である。It is a partial sectional view showing an example of a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. 本発明の磁気記録再生装置の１例を示す概略図であり、（ａ）は全体構成を示し、（ｂ）は磁気ヘッドを示す。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the schematic which shows an example of the magnetic recording / reproducing apparatus of this invention, (a) shows the whole structure, (b) shows a magnetic head.

Explanation of symbols

１非磁性基板
２軟磁性下地膜
３配向制御膜
４中間膜
５垂直磁気記録膜
６保護膜
７潤滑膜
８永久磁石膜
９磁気記録媒体
１０媒体駆動部
１１磁気ヘッド
１１ａ主磁極
１１ｂ補助磁極
１１ｃ連結部
１１ｄコイル
１２ヘッド駆動部
１３記録再生信号処理系 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nonmagnetic substrate 2 Soft magnetic base film 3 Orientation control film 4 Intermediate film 5 Perpendicular magnetic recording film 6 Protective film 7 Lubricating film 8 Permanent magnet film 9 Magnetic recording medium 10 Medium drive part 11 Magnetic head 11a Main magnetic pole 11b Auxiliary magnetic pole 11c Connection Unit 11d coil 12 head drive unit 13 recording / reproducing signal processing system

Claims

On a nonmagnetic substrate, at least a soft magnetic underlayer, an orientation control film for controlling the orientation of the film immediately above, a perpendicular magnetic recording film having an easy axis oriented perpendicularly to the substrate, and a protective film The alignment control film is 33Cu-67Hf, 33Cu-67Ti, 33Cu-67Zr, 67Ge-33W, 67Ge-33Mo, 67Si-33Mn, 67Si-33W, 65Si-35Re, 33Zn-67Hf, 33Zn-67Ti, A magnetic recording medium comprising any one composition material selected from the group consisting of 67Ni-33Ta.

A step of forming at least a soft magnetic underlayer on a nonmagnetic substrate, a step of forming an orientation control film for controlling the orientation of the film immediately above, and a perpendicular in which the easy axis is oriented perpendicularly to the substrate A method of manufacturing a magnetic recording medium in which a step of forming a magnetic recording film and a step of forming a protective film are sequentially performed, and the orientation control film is a CuHf, CuTi, CuZr, GeW, GeMo, SiMo having a C11b structure as a sputtering target. , SiW, SiRe, ZnHf, ZnTi, or NiTa alloy is used.

A magnetic recording / reproducing apparatus comprising a magnetic recording medium and a magnetic head for recording / reproducing information on / from the magnetic recording medium, wherein the magnetic head is a single pole head, and the magnetic recording medium is a magnetic recording medium according to claim 1. A magnetic recording / reproducing apparatus, which is a recording medium.