JP2008176090A - Manufacturing method and system of liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示装置の製造方法、及び液晶表示装置の製造システムに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device and a system for manufacturing a liquid crystal display device.
液晶表示装置は、液晶分子の配向方向を規制させるため、液晶分子を封入する基板の内
側面に、配向規制力の与えられた配向性向分子からなる配向膜を有している。
液晶表示装置の製造工程においては、上記配向膜の生産性を向上させるため、配向性高
分子の分散した液状体を基板の上に塗布して配向膜を形成させる、いわゆる液相プロセス
を採用している。特許文献1は、この液相プロセスの一つとしてインクジェット法を提案
する。
In order to regulate the alignment direction of liquid crystal molecules, the liquid crystal display device has an alignment film made of orientation-oriented molecules to which an alignment regulating force is applied on the inner surface of a substrate enclosing the liquid crystal molecules.
In the manufacturing process of a liquid crystal display device, in order to improve the productivity of the alignment film, a so-called liquid phase process is adopted in which a liquid material in which an alignment polymer is dispersed is applied on a substrate to form the alignment film. ing.
インクジェット法は、液状体を微小な液滴として吐出させるため、他の液相プロセス(
例えば、フレキソ法やスピンコート法など)に比べて、より高い精度の下で配向膜を形成
させることができ、また、液状体の使用量を低減させることができる。さらに、インクジ
ェット法は、液状体をノズルから吐出させるため、液状体の粘度を10mPa・s以下に
させる。こうした低粘度の液状体は、基板の表面に沿うフロー性やレベリング性を向上さ
せ、配向膜の膜厚均一性を向上させる。
The ink jet method is a method for ejecting a liquid material as fine droplets.
For example, an alignment film can be formed with higher accuracy than a flexo method, a spin coating method, or the like, and the amount of liquid used can be reduced. Further, in the ink jet method, in order to eject the liquid material from the nozzle, the viscosity of the liquid material is set to 10 mPa · s or less. Such a low-viscosity liquid improves flowability and leveling along the surface of the substrate, and improves the film thickness uniformity of the alignment film.
液晶表示装置の製造工程においては、上記配向膜の表面に配向規制力を与えるため、基
板の上に形成された配向膜に対し各種の配向処理を施す。特許文献2は、レーヨンなどの
布を巻き付けたローラを用い、回転するローラによって配向膜の表面を擦るラビング処理
を行う。これによれば、配向性高分子のポリマー主鎖をローラの回転方向に揃えることが
でき、液晶分子の配向方向を所定の方向に規定させることができる。
しかしながら、上記液晶表示装置の製造システムにおいては、基板のサイズが大きくな
るに伴い、液状体を吐出する液滴吐出装置のサイズと、配向処理を行う配向処理装置のサ
イズとが大きくなり、その占有空間の拡大によってスペース効率を著しく低下させる問題
を招いていた。
However, in the above-described liquid crystal display device manufacturing system, as the substrate size increases, the size of the droplet discharge device that discharges the liquid and the size of the alignment processing device that performs the alignment process increase. The expansion of the space has caused a problem of significantly reducing the space efficiency.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、スペース効率
を向上させた液晶表示装置の製造方法、及び液晶表示装置の製造システムを提供すること
である。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device manufacturing method and a liquid crystal display device manufacturing system with improved space efficiency.
本発明の液晶表示装置の製造方法は、配向膜材料を含む液状体を液滴にして基板に吐出
する吐出ヘッドと、前記基板とを一方向に相対的に走査させ、前記基板の前記一方向に沿
って着弾した複数の前記液滴を乾燥して前記基板に配向膜を形成する工程と、液晶分子に
対する配向規制力を前記配向膜の表面に与える配向処理手段と、前記基板とを前記一方向
に相対的に走査させ、前記配向膜の前記一方向に沿って配向規制力を与える工程と、を備
えた。
In the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the discharge head for discharging a liquid containing an alignment film material into droplets and discharging the liquid onto the substrate and the substrate are relatively scanned in one direction, and the one direction of the substrate is A step of drying the plurality of droplets that have landed along the surface to form an alignment film on the substrate; an alignment treatment means for applying an alignment regulating force for liquid crystal molecules to the surface of the alignment film; and the substrate. Scanning in the direction relative to each other, and providing an alignment regulating force along the one direction of the alignment film.
本発明の液晶表示装置の製造方法は、吐出ヘッドに対する基板の相対的な走査方向と、
配向処理手段に対する基板の相対的な走査方向とを、同一方向にさせることができる。し
たがって、液晶表示装置の製造工程において、基板の搬送経路を一直線上に形成させるこ
とができ、各走査方向を交差させる場合に比べて、製造システムにおける搬送経路を、よ
り簡便な構成にさせることができる。この結果、製造システムの占有空間を縮小させるこ
とができ、製造システムのスペース効率を向上させることができる。
The manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention includes a relative scanning direction of the substrate with respect to the ejection head,
The relative scanning direction of the substrate with respect to the orientation processing means can be made the same direction. Therefore, in the manufacturing process of the liquid crystal display device, the substrate transport path can be formed in a straight line, and the transport path in the manufacturing system can be made simpler than when the scanning directions are crossed. it can. As a result, the space occupied by the manufacturing system can be reduced, and the space efficiency of the manufacturing system can be improved.
この液晶表示装置の製造方法は、前記配向処理手段が、前記一方向と略直交する方向に
回転軸を有したローラであり、回転する前記ローラと前記基板とを前記一方向に相対的に
走査させ、前記ローラの周面によって前記配向膜の表面を擦り、前記配向膜の前記一方向
に沿って前記配向規制力を与える構成であってもよい。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, the alignment processing unit is a roller having a rotation axis in a direction substantially orthogonal to the one direction, and the rotating roller and the substrate are relatively scanned in the one direction. The surface of the alignment film may be rubbed by the peripheral surface of the roller to give the alignment regulating force along the one direction of the alignment film.
この液晶表示装置の製造方法は、吐出ヘッドに対する基板の相対的な走査方向と、ロー
ラに対する基板の相対的な走査方向とを、同一方向にさせることができる。したがって、
液晶表示装置の製造工程において、基板の搬送経路を一直線上に形成させることができ、
製造システムのスペース効率を向上させることができる。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, the relative scanning direction of the substrate with respect to the ejection head and the relative scanning direction of the substrate with respect to the roller can be made the same direction. Therefore,
In the manufacturing process of the liquid crystal display device, the substrate transport path can be formed in a straight line,
The space efficiency of the manufacturing system can be improved.
この液晶表示装置の製造方法は、前記基板に向けて前記液滴を吐出させる前に、前記液
状体に対する親液性を前記基板の表面に与える表面処理手段と、前記基板とを前記一方向
に相対的に走査させ、前記基板の前記一方向に沿って前記親液性を与える工程を備える構
成であってもよい。
In this liquid crystal display manufacturing method, before the liquid droplets are ejected toward the substrate, surface treatment means for imparting lyophilicity to the liquid material to the surface of the substrate, and the substrate in the one direction. It may be configured to include a step of relatively scanning and imparting the lyophilic property along the one direction of the substrate.
この液晶表示装置の製造方法は、表面処理手段に対する基板の相対的な走査方向を、吐
出ヘッドに対する相対的な走査方向や配向処理手段に対する相対的な走査方向と同一方向
にさせることができる。したがって、製造システムのスペース効率を、さらに向上させる
ことができる。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, the relative scanning direction of the substrate with respect to the surface processing means can be made the same as the relative scanning direction with respect to the ejection head and the relative scanning direction with respect to the alignment processing means. Therefore, the space efficiency of the manufacturing system can be further improved.
本発明の液晶表示装置の製造システムは、配向膜材料を含む液状体を液滴にして基板に
吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドと前記基板とを一方向に相対的に走査する第一走
査手段と、を有した液滴吐出装置と、前記基板に着弾した液状体を乾燥して前記基板に配
向膜を形成する乾燥処理装置と、液晶分子に対する配向規制力を前記配向膜の表面に与え
る配向処理手段と、前記配向処理手段と前記基板とを前記一方向に相対的に走査する第二
走査手段と、を有した配向処理装置と、を備えた。
The manufacturing system of the liquid crystal display device of the present invention includes a discharge head that discharges a liquid containing an alignment film material as droplets onto a substrate, and a first scan that relatively scans the discharge head and the substrate in one direction. A droplet discharge device having a means; a drying processing device that dries a liquid material that has landed on the substrate to form an alignment film on the substrate; and an alignment regulating force for liquid crystal molecules is applied to the surface of the alignment film. And an alignment processing apparatus including: an alignment processing unit; and a second scanning unit that relatively scans the alignment processing unit and the substrate in the one direction.
本発明の液晶表示装置の製造システムは、吐出ヘッドに対する基板の相対的な走査方向
と、配向処理手段に対する基板の相対的な走査方向とを、同一方向にさせることができる
。したがって、液滴吐出装置と配向処理装置とを、それぞれ基板の走査方向に沿う同一直
線上に配置させることができ、各走査方向を交差させる場合に比べて、製造システムにお
ける基板の搬送経路を、より簡便な構成にさせることができる。この結果、製造システム
の占有空間を縮小させることができ、製造システムのスペース効率を向上させることがで
きる。
In the liquid crystal display manufacturing system of the present invention, the relative scanning direction of the substrate with respect to the ejection head and the relative scanning direction of the substrate with respect to the alignment processing means can be made the same direction. Therefore, the droplet discharge device and the alignment processing device can be arranged on the same straight line along the scanning direction of the substrate, respectively. A simpler configuration can be achieved. As a result, the space occupied by the manufacturing system can be reduced, and the space efficiency of the manufacturing system can be improved.
この液晶表示装置の製造システムは、前記配向処理手段が、前記一方向と略直交する方
向に回転軸を有したローラであり、前記第二走査手段が、回転する前記ローラと前記基板
とを前記一方向に相対的に走査する構成であってもよい。
In this liquid crystal display device manufacturing system, the orientation processing unit is a roller having a rotation axis in a direction substantially orthogonal to the one direction, and the second scanning unit includes the rotating roller and the substrate. It may be configured to scan relatively in one direction.
この液晶表示装置の製造システムは、吐出ヘッドに対する基板の相対的な走査方向と、
ローラに対する基板の相対的な走査方向とを、同一方向にさせることができる。したがっ
て、液晶表示装置の製造工程において、基板の搬送経路を一直線上に形成させることがで
き、製造システムのスペース効率を向上させることができる。
The liquid crystal display manufacturing system includes a relative scanning direction of the substrate with respect to the ejection head,
The scanning direction of the substrate relative to the roller can be the same direction. Therefore, in the manufacturing process of the liquid crystal display device, the substrate transport path can be formed in a straight line, and the space efficiency of the manufacturing system can be improved.
この液晶表示装置の製造システムは、前記液状体に対する親液性を前記基板の表面に与
える表面処理手段と、前記表面処理手段と前記基板とを前記一方向に相対的に走査する第
三走査手段と、を有する構成であってもよい。
The liquid crystal display manufacturing system includes surface treatment means for imparting lyophilicity to the liquid material to the surface of the substrate, and third scanning means for relatively scanning the surface treatment means and the substrate in the one direction. The structure which has these.
この液晶表示装置の製造方法は、表面処理手段に対する基板の相対的な走査方向を、吐
出ヘッドに対する相対的な走査方向、及び配向処理手段に対する相対的な走査方向と同一
方向にさせることができる。したがって、製造システムのスペース効率を、さらに向上さ
せることができる。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, the relative scanning direction of the substrate with respect to the surface processing means can be made the same as the relative scanning direction with respect to the ejection head and the relative scanning direction with respect to the alignment processing means. Therefore, the space efficiency of the manufacturing system can be further improved.
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図5に従って説明する。まず、液晶表示
装置10について説明する。図1は、液晶表示装置10を示す斜視図である。
図1において、液晶表示装置10は、バックライト11と液晶パネル12とを有する。
バックライト11は、LEDなどの光源13から出射された光を液晶パネル12の全面に
照射する。液晶パネル12は、相対向する透明基板(素子基板14と対向基板15)を有
し、これら素子基板14と対向基板15とが四角枠状のシール材16により貼り合わされ
て、その間隙に液晶Ldcを封入する。
Hereinafter, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to FIGS. First, the liquid
In FIG. 1, the liquid
The backlight 11 irradiates the entire surface of the liquid crystal panel 12 with light emitted from a
素子基板14の下面には、偏光板や位相差板などの光学基板17が貼り合わされている
。光学基板17は、所定の方向に透過軸を有し、バックライト11からの光を液晶Ldc
に向けて透過可能にする。
An
To be transparent toward
素子基板14の上面(以下単に、素子形成面14aという。)には、一方向に延びる複
数の走査線Lxが配列形成されている。各走査線Lxは、それぞれ素子基板14の一側に
配設される走査線駆動回路18に接続されて、走査線駆動回路18からの走査信号が所定
のタイミングで入力される。
On the upper surface of the element substrate 14 (hereinafter simply referred to as an
素子形成面14aには、走査線Lxと直交する方向に延びる複数のデータ線Lyが配列
形成されている。各データ線Lyは、それぞれ素子基板14の他側に配設されるデータ線
駆動回路19に接続されて、データ線駆動回路19からの表示データに基づくデータ信号
が所定のタイミングで入力される。
On the
素子基板14の素子形成面14aには、走査線Lxとデータ線Lyとによって区画形成
された複数の素子領域S1が形成されている。各素子領域S1には、それぞれTFTから
なる図示しないスイッチング素子や光透過性の画素電極P1などが備えられている。
On the
各画素電極P1の上側には、その全体にわたりラビング処理の施された配向膜OF1が
積層されている。配向膜OF1は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子(配向膜材料)
からなる薄膜であって、その表面に液晶分子の配向方向を規制する配向規制力を有する。
配向膜OF1は、配向性高分子を分散させた液状体(以下単に、配向膜用インクIkとい
う。)を液滴にして素子基板14の全面に吐出し、着弾した液滴を乾燥させることによっ
て形成されている。配向膜OF1は、対応する画素電極P1の近傍で液晶Ldcの配向状
態を規制する。
On the upper side of each pixel electrode P1, an alignment film OF1 that has been subjected to a rubbing process is laminated. The alignment film OF1 is an alignment polymer (alignment film material) such as alignment polyimide.
And has an alignment regulating force for regulating the alignment direction of liquid crystal molecules on the surface thereof.
The alignment film OF1 is formed by discharging a liquid in which an alignment polymer is dispersed (hereinafter simply referred to as alignment film ink Ik) as droplets onto the entire surface of the
ここで、走査線Lxの延びる方向をX方向とし、データ線Lyの延びる方向をY方向と
いう。
図2は、対向基板15を示す斜視図であって、素子基板14側を上にした状態を示す。
Here, the direction in which the scanning line Lx extends is referred to as the X direction, and the direction in which the data line Ly extends is referred to as the Y direction.
FIG. 2 is a perspective view showing the
図2において、対向基板15の下面(図1における上面)には、偏光板24が配設され
ている。偏光板24は、所定の方向に透過軸を有して液晶Ldcからの光を透過可能にす
る。対向基板15の上面(図1における下面:以下単に、フィルタ形成面15aという。
)には、隔壁25が形成されている。隔壁25は、液晶Ldcから出射される光を遮光す
る遮光材料によって形成された薄膜であり、走査線Lx及びデータ線Lyと対向する格子
状に形成されている。
In FIG. 2, a
) Is formed with a
隔壁25は、素子基板14の素子領域S1と対向するフィルタ形成面15aの領域に、
それぞれ隔壁25によって囲まれたフィルタ領域S2を区画形成する。複数のフィルタ領
域S2の各々には、それぞれカラーフィルタ層CFが形成されている。カラーフィルタ層
CFは、液晶Ldcから出射される光の中から特定波長の光を透過し、バックライト11
からの光を有色の光(例えば、赤色の光、緑色の光、青色の光)に変換する。
The
A filter region S2 surrounded by the
Is converted into colored light (for example, red light, green light, blue light).
隔壁25及びカラーフィルタ層CFの上側には、共通するオーバーコート層26と、対
向電極P2とが積層されている。オーバーコート層26は、液晶Ldcから出射される光
を透過する光透過性の樹脂によって形成された薄膜であり、対向基板15の表面全体を平
坦にする。対向電極P2は、透明電極材料(例えば、インジウム錫酸化物:ITO)から
なる光透過性の導電膜であり、走査線駆動回路18に接続されて所定の共通電位を受ける
。
A
対向電極P2の上側には、その全体にわたりラビング処理の施された配向膜OF2が積
層されている。配向膜OF2は、配向膜OF1と同じく、配向性ポリイミドなどの配向性
高分子からなる薄膜であって、その表面に液晶分子の配向方向を規制する配向規制力を有
する。配向膜OF2は、配向膜用インクIkを液滴にして素子基板14の全面に吐出し、
着弾した液滴を乾燥させることによって形成されている。配向膜OF2は、対応する対向
電極P2の近傍で液晶Ldcの配向状態を規制する。
On the upper side of the counter electrode P2, an alignment film OF2 that has been subjected to a rubbing process is laminated. Like the alignment film OF1, the alignment film OF2 is a thin film made of an alignment polymer such as alignment polyimide, and has an alignment regulating force that restricts the alignment direction of liquid crystal molecules on the surface thereof. The alignment film OF2 is a droplet of the alignment film ink Ik that is discharged onto the entire surface of the
It is formed by drying the landed droplets. The alignment film OF2 regulates the alignment state of the liquid crystal Ldc in the vicinity of the corresponding counter electrode P2.
走査線駆動回路18は、各走査線Lxを線順次走査に基づいて1本ずつ所定のタイミン
グで選択し、各素子領域S1の制御素子をそれぞれ選択期間中だけオン状態にする。オン
状態のスイッチング素子は、表示データに基づくデータ信号をデータ線Lyから受けて、
対応する画素電極P1にデータ信号を出力する。各画素電極P1は、それぞれ画素電極P
1と対向電極P2との間の電位差に基づいて、対応する液晶Ldcの配向状態を変調し、
光学基板17からの光の偏光状態を素子領域S1ごとに変調させる。変調された光は、対
応するカラーフィルタ層CFを介して有色の光に変換され、表示ムラの無いフルカラーの
画像を表示する。
The scanning
A data signal is output to the corresponding pixel electrode P1. Each pixel electrode P1 is connected to each pixel electrode P1.
Based on the potential difference between 1 and the counter electrode P2, the alignment state of the corresponding liquid crystal Ldc is modulated,
The polarization state of light from the
次に、液晶表示装置10の製造システムについて図3に従って説明する。図3は液晶表
示装置10の製造システムを模式的に示す構成図である。
液晶表示装置10の製造システム30は、対向基板15の搬入・搬出を行うストッカ3
1と、対向基板15に対して各種の処理工程を行う対向基板製造ライン32とを有する。
Next, a manufacturing system of the liquid
The
1 and a counter
ストッカ31は、任意の処理工程までの処理が行われた複数種類の対向基板15をカセ
ット単位で保管する。ストッカ31は、保管する対向基板15をカセット単位で対向基板
製造ライン32に搬入し、対向基板製造ライン32から搬出される対向基板15を空のカ
セットに収納して保管する。
The
なお、ストッカ31は、素子基板14を製造するための図示しない素子基板製造ライン
に素子基板14を搬入し、素子基板製造ラインから搬出される素子基板14を空のカセッ
トに収納して保管する。また、ストッカ31は、素子基板14と対向基板15との間に液
晶Ldcを封入し液晶パネルを製造するための図示しないパネル製造ラインに、素子基板
14と対向基板15とを搬入し、パネル製造ラインから搬出される液晶パネル12を保管
する。
The
対向基板製造ライン32は、隔壁25の形成工程を行う隔壁形成ライン33、カラーフ
ィルタ層CFの形成工程を行うフィルタ形成ライン34、オーバーコート層26の形成工
程を行うオーバーコート層形成ライン35を有する。また、対向基板製造ライン32は、
対向電極P2の形成工程を行う対向電極形成ライン36、配向膜OF2の形成工程を行う
配向膜形成ライン37を有する。
The counter
The counter
隔壁形成ライン33は、未処理状態の対向基板15をストッカ31から搬入して各種装
置に搬送するための搬送ライン33Lを有する。隔壁形成ライン33は、その搬送ライン
33Lの途中に、例えば対向基板15の表面を洗浄する洗浄装置33A、洗浄したフィル
タ形成面15aに対し遮光材料を含むアクリル系感光性樹脂を塗布する塗布装置33Bを
有する。また、隔壁形成ライン33は、搬送ライン33Lの途中に、フィルタ形成面15
aに形成した塗布膜を露光・現像する露光装置33C及び現像装置33D、現像した塗布
膜を乾燥するベーキング装置33Eを有する。
The
It has an exposure device 33C and a development device 33D for exposing and developing the coating film formed on a, and a
隔壁形成ライン33は、ストッカ31から搬入される対向基板15に対し、洗浄装置3
3Aを用いた洗浄工程、塗布装置33Bを用いた塗布工程を実行する。また、隔壁形成ラ
イン33は、露光装置33Cを用いた露光工程、現像装置33Dを用いた現像工程、ベー
キング装置33Eを用いた乾燥工程を実行し、対向基板15のフィルタ形成面15aに隔
壁25を形成してストッカ31に搬出する。
The partition
A cleaning process using 3A and a coating process using the coating apparatus 33B are executed. Further, the
フィルタ形成ライン34は、隔壁25の形成された対向基板15をストッカ31から搬
入して各種装置に搬送するための搬送ライン34Lを有する。フィルタ形成ライン34は
、その搬送ライン34Lの途中に、例えば対向基板15の表面を洗浄する洗浄装置34A
、洗浄したフィルタ形成面15aに対し各色用の無機顔料や有機顔料などを分散させた感
光性樹脂を塗布する塗布装置34Bを有する。また、フィルタ形成ライン34は、搬送ラ
イン34Lの途中に、フィルタ形成面15aに形成した塗布膜を露光・現像する露光装置
34C及び現像装置34D、現像したカラーフィルタ層CFを乾燥するベーキング装置3
4Eを有する。
The
The
4E.
フィルタ形成ライン34は、ストッカ31から搬入されて隔壁25を有した対向基板1
5に対し、洗浄装置34Aを用いた洗浄工程、塗布装置34Bを用いた塗布工程を実行す
る。また、フィルタ形成ライン34は、露光装置34Cを用いた露光工程、現像装置34
Dを用いた現像工程、ベーキング装置34Eを用いた乾燥工程を実行し、対向基板15の
フィルタ形成面15aにカラーフィルタ層CFを形成してストッカ31に搬出する。
The
5, a cleaning process using the
The developing process using D and the drying process using the
オーバーコート層形成ライン35は、カラーフィルタ層CFの形成された対向基板15
をストッカ31から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン35Lを有する。オー
バーコート層形成ライン35は、その搬送ライン35Lの途中に、例えば対向基板15の
表面を洗浄する洗浄装置35A、洗浄したカラーフィルタ層CFに対し無色透明の樹脂材
料を分散させた感光性樹脂を塗布する塗布装置35Bを有する。また、オーバーコート層
形成ライン35は、搬送ライン35Lの途中に、カラーフィルタ層CFの上に形成した塗
布膜を露光・現像する露光装置35C及び現像装置35D、現像したオーバーコート層2
6を乾燥するベーキング装置35Eを有する。
The overcoat
Is transported from the
6 has a
オーバーコート層形成ライン35は、ストッカ31から搬入されてカラーフィルタ層C
Fを有した対向基板15に対し、洗浄装置35Aを用いた洗浄工程、塗布装置35Bを用
いた塗布工程を実行する。また、オーバーコート層形成ライン35は、露光装置35Cを
用いた露光工程、現像装置35Dを用いた現像工程、ベーキング装置35Eを用いた乾燥
工程を実行し、カラーフィルタ層CFの上にオーバーコート層26を形成してストッカ3
1に搬出する。
The overcoat
A cleaning process using the
Carry out to 1.
対向電極形成ライン36は、オーバーコート層26の形成された対向基板15をストッ
カ31から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン36Lを有する。対向電極形成
ライン36は、その搬送ライン36Lの途中に、例えばオーバーコート層26の表面を洗
浄する洗浄装置36A、洗浄したオーバーコート層26に対し対向電極P2を成膜する成
膜装置36Bを有する。
The counter
対向電極形成ライン36は、ストッカ31から搬入されてオーバーコート層26を有し
た対向基板15に対し、洗浄装置36Aを用いた洗浄工程と、成膜装置36Bを用いた成
膜工程とを実行し、オーバーコート層26の上に対向電極P2を積層してストッカ31に
搬出する。なお、対向電極P2をパターニングする場合には、成膜装置36Bの後段に、
レジストマスクを形成するための塗布装置、露光装置、現像装置、ベーキング装置、レジ
ストマスクをマスクにして対向電極P2をエッチングするエッチング装置、レジストマス
クを除去するための洗浄装置などを配置する構成にしてもよい。
The counter
A coating apparatus for forming a resist mask, an exposure apparatus, a developing apparatus, a baking apparatus, an etching apparatus for etching the counter electrode P2 using the resist mask as a mask, and a cleaning apparatus for removing the resist mask are arranged. Also good.
配向膜形成ライン37は、対向電極P2の形成された対向基板15をストッカ31から
搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン37Lを有する。配向膜形成ライン37は
、その搬送ライン37Lの途中に、表面処理装置37A、液滴吐出装置37B、乾燥処理
装置37C、配向処理装置37Dを有する。
The alignment
図4は、配向膜形成ライン37における各種装置の位置を模式的に説明する図である。
図4において、表面処理装置37Aには、一方向に延びる直方体形状の第1基台Laと
、第1基台Laの上側に搭載されて一方向に延びる直方体形状の表面処理ステージSaと
が備えられている。また、表面処理装置37Aには、表面処理ステージSaの上方に、表
面処理手段としての照射部41が備えられている。なお、本実施形態においては、この表
面処理ステージSaが第三走査手段を構成する。
FIG. 4 is a diagram schematically illustrating the positions of various devices in the alignment
In FIG. 4, the
表面処理ステージSaは、対向電極P2を有した対向基板15を載置するステージであ
って、ストッカ31から搬入される対向基板15が、図示しないインライン移載装置によ
って移載される。表面処理ステージSaは、ストッカ31から移載される対向基板15を
、そのフィルタ形成面15a(対向電極P2)を上側にした状態で位置決め固定する。表
面処理ステージSaは、第1基台Laに内設された図示しないX軸モータの出力軸に駆動
連結されて、X軸モータが正転又は逆転するとき、第1基台Laの長手方向に移動して、
位置決め固定した対向基板15を同長手方向に沿って走査(主走査)する。
The surface treatment stage Sa is a stage on which the
The
ここで、第1基台Laは、その長手方向、すなわち対向基板15の主走査方向が前記X
方向になるように配置されている。
照射部41は、酸素系の大気圧プラズマを生成して、活性化した酸素を供給するもので
あり、対向基板15が照射部41の直下を通過するとき、対向電極P2の表面に向けて活
性化した酸素を供給する。活性化した酸素は、対向電極P2の表面に付着した有機物を分
解除去し、対向電極P2の表面を洗浄する。また、活性化した酸素は、配向膜用インクI
kに対する親液基(例えば、水酸基などの極性基)を対向電極P2の表面に付与し、配向
膜用インクIkに対する親液性を対向電極P2の表面に与える。なお、本実施形態におけ
る親液性とは、対向電極P2に着弾した配向膜用インクIkの液滴が対向電極P2の面方
向に沿って十分に濡れ広がり、対向電極P2の全面にわたり均一な厚さの液状膜を形成さ
せる性質である。例えば、親液性とは、対向電極P2に対する配向膜用インクIkの接触
角を20°以下にする性質である。
Here, the longitudinal direction of the first base La, that is, the main scanning direction of the
It is arranged to be in the direction.
The irradiation unit 41 generates oxygen-based atmospheric pressure plasma and supplies activated oxygen. When the
A lyophilic group for k (for example, a polar group such as a hydroxyl group) is imparted to the surface of the counter electrode P2, and lyophilicity for the alignment film ink Ik is imparted to the surface of the counter electrode P2. The lyophilicity in the present embodiment means that the droplet of the alignment film ink Ik that has landed on the counter electrode P2 is sufficiently wet and spread along the surface direction of the counter electrode P2, and has a uniform thickness over the entire surface of the counter electrode P2. This is the property of forming a liquid film. For example, the lyophilic property is a property in which the contact angle of the alignment film ink Ik with respect to the counter electrode P2 is set to 20 ° or less.
照射部41は、対向基板15のY方向全幅を覆うサイズに形成され、対向基板15が照
射部41の直下を通過するとき、対向基板15のY方向全幅にわたって活性化した酸素を
供給する。照射部41は、表面処理ステージSaが対向基板15を主走査するとき、対向
基板15のX方向端部から順に対向基板15の全体にわたって活性化した酸素を供給する
。
The irradiation unit 41 is formed to have a size that covers the entire width of the
すなわち、表面処理装置37Aは、対向基板15をX方向に主走査させ、対向基板15
のX方向端部から順に対向基板15の全体にわたって親液性を与える。
図4において、表面処理装置37AのX方向には、液滴吐出装置37Bが配設されてい
る。液滴吐出装置37Bには、一方向に延びる直方体形状の第2基台Lbと、第2基台L
bの上側に搭載されて一方向に延びる直方体形状の液滴吐出ステージSbとが備えられて
いる。また、液滴吐出装置37Bには、液滴吐出ステージSbの上方に、キャリッジ42
が備えられている。なお、本実施形態においては、この液滴吐出ステージSbが第一走査
手段を構成する。
That is, the
The lyophilic property is imparted over the
In FIG. 4, a droplet discharge device 37B is disposed in the X direction of the
and a rectangular parallelepiped droplet discharge stage Sb mounted on the upper side of b and extending in one direction. The droplet discharge device 37B includes a
Is provided. In the present embodiment, the droplet discharge stage Sb constitutes a first scanning unit.
液滴吐出ステージSbは、上記表面処理の施された対向基板15を載置するステージで
あって、上記表面処理ステージSaに載置された対向基板15が、図示しないインライン
移載装置によって移載される。液滴吐出ステージSbは、表面処理ステージSaから移載
される対向基板15を、その表面処理の施された対向電極P2を上側にした状態で位置決
め固定する。液滴吐出ステージSbは、第2基台Lbに内設された図示しないX軸モータ
の出力軸に駆動連結されて、X軸モータが正転又は逆転するとき、第2基台Lbの長手方
向に移動して、位置決め固定した対向基板15を同長手方向に沿って走査(主走査)する
。
The droplet discharge stage Sb is a stage on which the
ここで、第2基台Lbは、表面処理装置37Aと同じく、その長手方向、すなわち対向
基板15の主走査方向が前記X方向になるように配置されている。これによって、表面処
理装置37Aにおける対向基板15の主走査方向と、液滴吐出装置37Bにおける対向基
板15の主走査方向とが、X方向に沿う同一直線上に規定される。
Here, like the
キャリッジ42の上側と下側には、それぞれインクタンク43と複数の吐出ヘッドHが
搭載されている。インクタンク43は、上記配向膜用インクIkを収容するタンクであっ
て、所定の圧力に調整した配向膜用インクIkを複数の吐出ヘッドHの各々に供給する。
複数の吐出ヘッドHは、それぞれキャリッジ42のY方向略全幅にわたって配列され、対
向基板15が照射部41の直下を通過するとき、対向基板15のY方向全幅にわたる領域
と対向する。
An
Each of the plurality of ejection heads H is arranged over substantially the entire width in the Y direction of the
図5は、液滴吐出ステージSbから見た吐出ヘッドHを示す斜視図である。
図5において、吐出ヘッドHの上側(図4における下側)には、ノズルプレート44が
備えられている。ノズルプレート44の上面には、対向基板15と平行のノズル形成面4
4aが形成され、そのノズル形成面44aには、ノズル形成面44aの法線方向に貫通す
る複数のノズルNがY方向に沿って等間隔に配列されている。複数の吐出ヘッドHは、X
方向から見て、キャリッジ42のY方向略全幅にわたり複数のノズルNを等間隔に配置さ
せ、対向基板15が照射部41の直下を通過するとき、対向基板15のY方向全幅にわた
る領域とノズルNとを対向させる。
FIG. 5 is a perspective view showing the ejection head H as viewed from the droplet ejection stage Sb.
In FIG. 5, a
4a is formed, and a plurality of nozzles N penetrating in the normal direction of the
When viewed from the direction, a plurality of nozzles N are arranged at substantially equal intervals across the entire width of the
複数の吐出ヘッドHは、それぞれ対向基板15がノズルNの直下を通過するとき、配向
膜用インクIkを各ノズルNから液滴として吐出させる。吐出された液滴は、対向基板1
5に向かって飛行し、表面処理の施された対向電極P2の表面のY方向全幅にわたって着
弾する。着弾する各液滴は、それぞれフィルタ形成面15aの面方向に濡れ広がって合一
し、対向電極P2のY方向全幅にわたる液状膜LFを対向基板15のX方向端部から順に
形成する。
The plurality of ejection heads H eject the alignment film ink Ik as droplets from each nozzle N when the
It flies toward 5 and lands over the entire width in the Y direction of the surface of the counter electrode P2 subjected to the surface treatment. The droplets that land are wet and spread in the surface direction of the
すなわち、液滴吐出装置37Bは、対向基板15をX方向に主走査させ、対向基板15
のX方向端部から順に対向基板15の全体にわたって液状膜LFを形成する。
図4において、液滴吐出装置37BのX方向には、乾燥処理装置37Cが配設されてい
る。乾燥処理装置37Cには、チャンバ45と、チャンバ45の内部空間に設けられて一
方向に延びる直方体形状の第3基台Lcと、第3基台Lcの上側に搭載されて一方向に延
びる直方体形状の乾燥処理ステージScとが備えられている。
That is, the droplet discharge device 37B causes the
The liquid film LF is formed over the
In FIG. 4, a drying
乾燥処理ステージScは、液状膜LFを有した対向基板15を載置するステージであっ
て、液滴吐出ステージSbに載置された対向基板15が、図示しないインライン移載装置
によって移載される。乾燥処理ステージScは、液滴吐出ステージSbから移載される対
向基板15を、その液状膜LFを上側にした状態で位置決め固定する。チャンバ45は、
乾燥処理ステージScが対向基板15を位置決め固定するとき、内部空間を所定の圧力に
減圧し、液状膜LFを乾燥させて配向膜OF2を形成させる。チャンバ45は、液状膜L
Fを乾燥させた後、内部空間を所定の圧力に昇圧し、対向基板15を移載可能にする。
The drying processing stage Sc is a stage on which the
When the drying processing stage Sc positions and fixes the
After drying F, the internal space is increased to a predetermined pressure so that the
すなわち、乾燥処理装置37Cは、液状膜LFを有した対向基板15を収容して液状膜
LFを乾燥し、対向電極P2の上側に配向膜OF2を形成する。
図4において、乾燥処理装置37CのX方向には、配向処理装置37Dが配設されてい
る。配向処理装置37Dには、一方向に延びる直方体形状の第4基台Ldと、第4基台L
dの上側に搭載されて一方向に延びる直方体形状の配向処理ステージSdと、配向処理ス
テージSdの上方に配設された配向処理手段としてのローラ46とが備えられている。本
実施形態においては、この表面処理ステージSaが第二走査手段を構成する。
That is, the drying
In FIG. 4, an
A rectangular parallelepiped alignment processing stage Sd mounted on the upper side of d and extending in one direction, and a
配向処理ステージSdは、配向膜OF2を有した対向基板15を載置するステージであ
って、乾燥処理ステージScに載置された対向基板15が、図示しないインライン移載装
置によって移載される。配向処理ステージSdは、乾燥処理ステージScから移載される
対向基板15を、その配向膜OF2を上側にした状態で位置決め固定する。配向処理ステ
ージSdは、第4基台Ldに内設された図示しないX軸モータの出力軸に駆動連結されて
、X軸モータが正転又は逆転するとき、第4基台Ldの長手方向に移動して、位置決め固
定した対向基板15を同長手方向に沿って走査(主走査)する。
The alignment processing stage Sd is a stage on which the
ここで、第4基台Ldは、上記表面処理装置37A及び液滴吐出装置37Bと同じく、
その長手方向、すなわち対向基板15の主走査方向が前記X方向になるように配置されて
いる。これによって、配向処理装置37Dにおける対向基板15の主走査方向と、表面処
理装置37A及び液滴吐出装置37Bにおける対向基板15の主走査方向とが、X方向に
沿う同一直線上に規定される。
Here, the fourth base Ld is the same as the
The longitudinal direction, that is, the main scanning direction of the
ローラ46は、対向基板15の主走査方向と直交する方向、すなわちY方向に延びる回
転軸Aを有したローラであって、その外周面にラビング布46aが貼り付けられている。
ローラ46は、対向基板15がX方向に主走査されるとき、ラビング布46aの外周面を
配向膜OF2に摺接させる高さに配設されている。
The
The
ローラ46は、対向基板15がX方向に主走査されるとき、回転軸Aの回転力を受けて
、摺接する対向基板15の移動方向に準じた方向(Y方向から見て左回り)に回転する。
回転するローラ46は、対向基板15がX方向に主走査されるとき、ラビング布46aの
外周面によって配向膜OF2の表面を擦り、配向性高分子のポリマー主鎖をローラ46の
回転方向に揃える、すなわち配向性高分子の主鎖方向をX方向に揃える。
When the
When the
ローラ46は、対向基板15のY方向全幅を覆うサイズに形成され、配向膜OF2の表
面がラビング布46aによって擦られるとき、対向基板15のY方向全幅にわたって配向
性高分子の主鎖方向をX方向に揃える。ローラ46は、配向処理ステージSdが対向基板
15を主走査するとき、配向膜OF2のX方向端部から順に配向膜OF2の全体にわたっ
て配向性高分子の主鎖方向をX方向に揃える。
The
すなわち、配向処理装置37Dは、対向基板15をX方向に主走査させ、配向膜OF2
のX方向端部から順に配向膜OF2の全体にわたって配向膜OF2のラビング方向をX方
向に規定する。そして、配向処理装置37Dは、対向基板15が有する配向膜OF2の全
体に配向処理を施し、対向基板15をストッカ31に搬出する。
That is, the
The rubbing direction of the alignment film OF2 is defined in the X direction over the entire alignment film OF2 in order from the end in the X direction. Then, the
これによって、表面処理装置37A、液滴吐出装置37B及び配向処理装置37Dにお
ける対向基板15の走査方向を、同一方向にさせることができる。そして、表面処理装置
37A、液滴吐出装置37B及び配向処理装置37Dを、それぞれ対向基板15の搬送方
向に沿う同一直線上に配置させることができる。
Accordingly, the scanning direction of the
次に、液晶表示装置の製造システム30を利用した液晶表示装置10の製造方法につい
て説明する。
まず、図3に示すように、ストッカ31は、未処理の対向基板15を隔壁形成ライン3
3に搬送する。隔壁形成ライン33は、対向基板15に対して洗浄工程、塗布工程、露光
工程、現像装置、乾燥工程を順に実行し、対向基板15のフィルタ形成面15aに隔壁2
5を形成してストッカ31に搬出する。
Next, a method for manufacturing the liquid
First, as shown in FIG. 3, the
3 to transport. The partition
5 is formed and carried out to the
次いで、ストッカ31は、隔壁25を有した対向基板15を、隔壁形成ライン33から
フィルタ形成ライン34に搬送する。フィルタ形成ライン34は、隔壁25を有した対向
基板15に対して洗浄工程、塗布工程、露光工程、現像装置、乾燥工程を順に実行し、対
向基板15のフィルタ形成面15aにカラーフィルタ層CFを形成する。
Next, the
ストッカ31は、カラーフィルタ層CFを有した対向基板15を、フィルタ形成ライン
34からオーバーコート層形成ライン35に搬送する。オーバーコート層形成ライン35
は、カラーフィルタ層CFを有した対向基板15に対して洗浄工程、塗布工程、露光工程
、現像工程、乾燥工程を実行し、カラーフィルタ層CFの上にオーバーコート層26を積
層してストッカ31に搬出する。
The
Performs a cleaning step, a coating step, an exposure step, a development step, and a drying step on the
ストッカ31は、オーバーコート層26を有した対向基板15を、オーバーコート層形
成ライン35から対向電極形成ライン36に搬送する。対向電極形成ライン36は、オー
バーコート層26を有した対向基板15に対して洗浄工程と成膜工程を実行し、オーバー
コート層26に対向電極P2を積層してストッカ31に搬出する。
The
ストッカ31は、対向電極P2を有した対向基板15を、対向電極形成ライン36から
配向膜形成ライン37に搬送する。配向膜形成ライン37は、対向電極P2を有した対向
基板15を表面処理装置37Aに搬送する。
The
表面処理装置37Aは、対向基板15を表面処理ステージSaに位置決め固定してX方
向に主走査させ、対向電極P2のX方向端部から順に対向電極P2の全体にわたって親液
性を与える(表面処理を実行する)。配向膜形成ライン37は、対向基板15の表面処理
が終了すると、表面処理ステージSaの対向基板15を液滴吐出装置37Bに搬送する。
The
液滴吐出装置37Bは、対向基板15を液滴吐出ステージSbに位置決め固定してX方
向に主走査させ、対向電極P2のX方向端部から順に対向基板15の全体にわたって液状
膜LFを形成する(液滴吐出処理を実行する)。配向膜形成ライン37は、対向基板15
の液滴吐出処理が終了すると、液滴吐出ステージSbの対向基板15を乾燥処理装置37
Cに搬送する。
The droplet discharge device 37B positions and fixes the
When the liquid droplet ejection process is completed, the
Transport to C.
乾燥処理装置37Cは、対向基板15を乾燥処理ステージScに位置決め固定し、内部
空間を所定の圧力に減圧させて液状膜LFを乾燥する(乾燥処理を実行する)。配向膜形
成ライン37は、対向基板15の乾燥処理が終了すると、乾燥処理ステージScの対向基
板15を配向処理装置37Dに搬送する。
The drying
配向処理装置37Dは、対向基板15を配向処理ステージSdに位置決め固定してX方
向に主走査させ、配向膜OF2のX方向端部から順に配向膜OF2の全体にわたって配向
処理を実行する。配向膜形成ライン37は、対向基板15の配向処理が終了すると、配向
処理ステージSdの対向基板15をストッカ31に搬出する。
The
以後、ストッカ31は、配向膜OF2を有する対向基板15と、素子基板製造ラインか
ら搬出される素子基板14とをパネル製造ラインに搬入し、素子基板14と対向基板15
との間に液晶Ldcを封入させて液晶パネル12を製造する。
Thereafter, the
A liquid crystal panel 12 is manufactured by enclosing a liquid crystal Ldc therebetween.
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、吐出ヘッドHに対し対向基板15をX方向に主走査させ
、対向電極P2のX方向端部から順に対向電極P2の全体にわたって配向膜用インクIk
を吐出し、配向膜OF2を形成した。そして、ローラ46に対し対向基板15をX方向に
主走査させ、配向膜OF2のX方向端部から順に対向電極P2の全体にわたって、X方向
をラビング方向にした配向処理を施した。
Next, effects of the present embodiment configured as described above will be described below.
(1) According to the above-described embodiment, the
Was discharged to form an alignment film OF2. Then, the
したがって、液滴吐出処理における対向基板15の走査方向と、配向処理における対向
基板15の走査方向とを、同一方向にさせることができる。よって、対向基板15の搬送
経路を一直線上に形成させることができ、各走査方向を交差させる場合に比べて、製造シ
ステム30における搬送経路を、より簡便な構成にさせることができる。この結果、製造
システム30の占有空間を縮小させることができ、製造システム30のスペース効率を向
上させることができる。
Therefore, the scanning direction of the
(2)上記実施形態によれば、液滴吐出処理を実行させる前に、照射部41に対し対向
基板15をX方向に主走査させ、対向電極P2のX方向端部から順に対向電極P2の全体
にわたって親液性を付与した。したがって、表面処理における対向基板15の走査方向を
、液滴吐出処理や配向処理における対向基板15の走査方向と同一方向にさせることがで
きる。この結果、製造システム30のスペース効率を、さらに向上させることができる。
(2) According to the above embodiment, before the droplet discharge process is executed, the
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第一走査手段を液滴吐出ステージSbに具体化し、吐出ヘッドH
に対し対向基板15を主走査させる構成にした。これに限らず、第一走査手段をキャリッ
ジ42に具体化し、静置された対向基板15に対し吐出ヘッドHを反X方向に走査させる
構成にしてもよい。すなわち、第一走査手段を、液滴吐出ステージSbとキャリッジ42
の少なくともいずれか一方に具体化し、吐出ヘッドHと対向基板15とを相対的にX方向
に走査する構成であればよい。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
In the above embodiment, the first scanning unit is embodied in the droplet discharge stage Sb, and the discharge head H
In contrast, the
Any configuration may be used as long as the discharge head H and the
・上記実施形態では、第二走査手段を配向処理ステージSdに具体化し、ローラ46に
対し対向基板15を主走査させる構成にした。これに限らず、第二走査手段をローラ46
に具体化し、静置された対向基板15に対し回転するローラ46を反X方向に走査させる
構成にしてもよい。すなわち、第二走査手段を、配向処理ステージSdとローラ46の少
なくともいずれか一方に具体化し、ローラ46と対向基板15とを相対的にX方向に走査
する構成であればよい。
In the above embodiment, the second scanning unit is embodied in the alignment processing stage Sd, and the
For example, a configuration may be adopted in which the
・上記実施形態では、第三走査手段を表面処理ステージSaに具体化し、照射部41に
対し対向基板15を主走査させる構成にした。これに限らず、第三走査手段を照射部41
に具体化し、静置された対向基板15に対し照射部41を反X方向に走査させる構成にし
てもよい。すなわち、第三走査手段を、表面処理ステージSaと照射部41の少なくとも
いずれか一方に具体化し、照射部41と対向基板15とを相対的にX方向に走査する構成
であればよい。
In the embodiment described above, the third scanning unit is embodied in the surface treatment stage Sa, and the
In other words, the irradiation unit 41 may be scanned in the anti-X direction with respect to the
・上記実施形態では、配向膜を配向膜OF2に対して具体化した。これに限らず、例え
ば、配向膜を配向膜OF1、あるいは配向膜OF1及び配向膜OF2の双方に対して具体
化してもよい。
In the above embodiment, the alignment film is embodied with respect to the alignment film OF2. For example, the alignment film may be embodied with respect to the alignment film OF1, or both the alignment film OF1 and the alignment film OF2.
・上記実施形態では、配向処理手段を、ローラ46に具体化した。これに限らず、例え
ば、配向処理手段を、偏光した光を照射する光照射手段に具体化してもよい。すなわち、
光配向機能を有した配向性高分子によって配向膜を形成し、光照射手段から出射される偏
光した光を、一方向に主走査される配向膜OF2に対し、配向膜OF2の一方向端部から
順に全体にわたって照射する構成にしてもよい。すなわち、配向処理手段は、X方向に主
走査される対向基板15に対し配向規制力を与えるものであればよい。
In the above embodiment, the orientation processing means is embodied in the
An alignment film is formed of an alignment polymer having a photo-alignment function, and polarized light emitted from the light irradiation means is aligned with one end of the alignment film OF2 with respect to the alignment film OF2 main-scanned in one direction. You may make it the structure which irradiates over the whole in order from. In other words, the alignment processing means only needs to apply an alignment regulating force to the
・上記実施形態では、ローラ46の回転軸AをY方向に沿って配置させる構成にした。
これに限らず、例えば、ローラ46の回転軸AをY方向に対して傾斜させる構成にしても
よい。すなわち、配向膜OF2のラビング方向を、X方向に限らず、X方向と交差する方
向に規定してもよく、X方向に主走査される対向基板15に対して与えられる配向規制力
の方向であればよい。
In the above embodiment, the rotation axis A of the
For example, the rotation axis A of the
・上記実施形態では、表面処理手段を、活性化した酸素を供給する照射部41に具体化
した。これに限らず、例えば、表面処理手段を、対向電極P2の表面に紫外線を照射する
照射部に具体化してもよい。すなわち、表面処理手段は、対向電極P2の表面を洗浄し、
液状体に対して親液性を与えるものであればよい。
In the above embodiment, the surface treatment means is embodied in the irradiation unit 41 that supplies activated oxygen. For example, the surface treatment means may be embodied as an irradiation unit that irradiates the surface of the counter electrode P2 with ultraviolet rays. That is, the surface treatment means cleans the surface of the counter electrode P2,
What is necessary is just to give lyophilicity with respect to a liquid.
・上記実施形態では、吐出ヘッドHが1列だけノズル列を有する構成にした。これに限
らず、例えば吐出ヘッドHが2列以上のノズル列を有する構成にしてもよい。
In the above embodiment, the ejection head H has a single nozzle row. For example, the ejection head H may have two or more nozzle rows.
A…回転軸、H…吐出ヘッド、Ik…液状体としての配向膜用インク、OF1,OF2…
配向膜、Sa…第三走査手段を構成する表面処理ステージ、Sb…第一走査手段を構成す
る液滴吐出ステージ、Sc…第二走査手段を構成する配向処理ステージ、10…液晶表示
装置、15…対向基板、30…液晶表示装置の製造システム、37A…表面処理装置、3
7B…液滴吐出装置、37C…乾燥処理装置、37D…配向処理装置、41…表面処理手
段を構成する照射部、46…配向処理手段としてのローラ、
A ... Rotating shaft, H ... Discharge head, Ik ... Ink for alignment film as liquid, OF1, OF2 ...
Alignment film, Sa ... surface treatment stage constituting third scanning means, Sb ... droplet discharge stage constituting first scanning means, Sc ... alignment treatment stage constituting second scanning means, 10 ... liquid crystal display device, 15 ... counter substrate, 30 ... manufacturing system of liquid crystal display device, 37A ... surface treatment device, 3
7B ... Droplet discharge device, 37C ... Drying processing device, 37D ... Orientation processing device, 41 ... Irradiating part constituting surface processing means, 46 ... Roller as orientation processing means
Claims (6)
向に相対的に走査させ、前記基板の前記一方向に沿って着弾した複数の前記液滴を乾燥し
て前記基板に配向膜を形成する工程と、
液晶分子に対する配向規制力を前記配向膜の表面に与える配向処理手段と、前記基板と
を前記一方向に相対的に走査させ、前記配向膜の前記一方向に沿って配向規制力を与える
工程と、を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A plurality of liquid droplets that have landed along the one direction of the substrate are scanned relatively in one direction with a discharge head that discharges the liquid material containing the alignment film material as droplets onto the substrate, and the substrate. Drying to form an alignment film on the substrate;
An alignment treatment means for imparting an alignment regulating force to liquid crystal molecules on the surface of the alignment film; and a step of relatively scanning the substrate in the one direction and applying an alignment regulating force along the one direction of the alignment film; Having,
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記配向処理手段は、前記一方向と略直交する方向に回転軸を有したローラであり、
回転する前記ローラと前記基板とを前記一方向に相対的に走査させ、前記ローラの周面
によって前記配向膜の表面を擦り、前記配向膜の前記一方向に沿って前記配向規制力を与
えること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the liquid crystal display device according to claim 1,
The orientation processing means is a roller having a rotation axis in a direction substantially orthogonal to the one direction,
The rotating roller and the substrate are relatively scanned in the one direction, the surface of the alignment film is rubbed by the peripheral surface of the roller, and the alignment regulating force is applied along the one direction of the alignment film. ,
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記基板に向けて前記液滴を吐出させる前に、前記液状体に対する親液性を前記基板の
表面に与える表面処理手段と、前記基板とを前記一方向に相対的に走査させ、前記基板の
前記一方向に沿って前記親液性を与える工程を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the liquid crystal display device according to claim 1 or 2,
Before discharging the liquid droplets toward the substrate, surface treatment means for imparting lyophilicity to the liquid material on the surface of the substrate and the substrate are relatively scanned in the one direction, and the substrate Providing the lyophilic property along the one direction;
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記基板とを一方向に相対的に走査する第一走査手段と、を有した液滴吐出装置と、
前記基板に着弾した液状体を乾燥して前記基板に配向膜を形成する乾燥処理装置と、
液晶分子に対する配向規制力を前記配向膜の表面に与える配向処理手段と、前記配向処
理手段と前記基板とを前記一方向に相対的に走査する第二走査手段と、を有した配向処理
装置と、を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造システム。 A droplet discharge device comprising: a discharge head that discharges a liquid containing an alignment film material as droplets onto a substrate; and first scanning means that relatively scans the discharge head and the substrate in one direction. ,
A drying apparatus for drying the liquid material that has landed on the substrate to form an alignment film on the substrate;
An alignment processing apparatus comprising: an alignment processing unit that applies an alignment regulating force on liquid crystal molecules to the surface of the alignment film; and a second scanning unit that relatively scans the alignment processing unit and the substrate in the one direction. Having,
A system for manufacturing a liquid crystal display device.
前記配向処理手段は、
前記一方向と略直交する方向に回転軸を有したローラであり、
前記第二走査手段は、
回転する前記ローラと前記基板とを前記一方向に相対的に走査すること、
を特徴とする液晶表示装置の製造システム。 It is a manufacturing system of the liquid crystal display device according to claim 4,
The orientation processing means includes
A roller having a rotation axis in a direction substantially orthogonal to the one direction;
The second scanning means includes
Relatively scanning the rotating roller and the substrate in the one direction;
A system for manufacturing a liquid crystal display device.
前記液状体に対する親液性を前記基板の表面に与える表面処理手段と、前記表面処理手
段と前記基板とを前記一方向に相対的に走査する第三走査手段と、を有した表面処理装置
を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A manufacturing system of a liquid crystal display device according to claim 4 or 5,
A surface treatment apparatus comprising: surface treatment means for imparting lyophilicity to the liquid material to the surface of the substrate; and third scanning means for relatively scanning the surface treatment means and the substrate in the one direction. Prepared,
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007009889A JP2008176090A (en) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | Manufacturing method and system of liquid crystal display device |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20100273096A1 (en) * | 2009-04-23 | 2010-10-28 | Inphase Technologies, Inc. | Photopolymer media with enhanced dynamic range |
-
2007
- 2007-01-19 JP JP2007009889A patent/JP2008176090A/en not_active Withdrawn
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