JP2008145347A - Faraday cup ammeter and particle measuring apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は試料ガス供給量を測定する装置に関し、例えば環境ガスに含まれる粒子数を測定する粒子測定装置に関するものである。 The present invention relates to an apparatus for measuring a sample gas supply amount, for example, a particle measuring apparatus for measuring the number of particles contained in an environmental gas.
エアロゾルとは、一般に分散媒体が気体で、分散質が液体又は固体のコロイドを意味し、例えば自動車排ガスなどの環境ガスを示す。
粒子数を測定する装置としては、測定対象エアロゾル中の粒子を帯電させ、帯電した帯電粒子の電場中での移動速度の違いを利用して分級した後に測定する電気移動度測定装置が用いられている。電気移動度と粒子径との間には一定の関係があるので、電気移動度を指定することで微粒子径を指定することができる。
Aerosol generally means a colloid in which the dispersion medium is a gas and the dispersoid is a liquid or a solid, and indicates an environmental gas such as an automobile exhaust gas.
As an apparatus for measuring the number of particles, an electromobility measuring apparatus is used that measures after charging particles in the aerosol to be measured and classifying the charged charged particles using the difference in moving speed in the electric field. Yes. Since there is a certain relationship between the electric mobility and the particle diameter, the particle diameter can be specified by specifying the electric mobility.
電気移動度測定装置には、特定の電気移動度及びそのごく近傍の電気移動度をもつ微粒子を選び出すことができる微分型電気移動度測定装置(DMA;Differential mobility analyzer)(特許文献1参照。)と、ある電気移動度よりも小さい電気移動度をもつ微粒子を選び出すことができる積分型電気移動度測定装置がある。
これらに用いる粒子濃度係数器として、図4に示すようなファラデーカップ電流計が用いられてきた。
As the electric mobility measuring device, a differential mobility analyzer (DMA) capable of selecting fine particles having a specific electric mobility and an electric mobility in the vicinity thereof (see Patent Document 1). Then, there is an integral type electric mobility measuring device that can select fine particles having an electric mobility smaller than a certain electric mobility.
As a particle concentration coefficient device used for these, a Faraday cup ammeter as shown in FIG. 4 has been used.
このファラデーカップ電流計では、粒子捕集部11はガス流中の帯電粒子を捕集できるようにフィルタ状に形成されている。粒子捕集部11の上部には粒子捕集部11を固定するための金網(導電性部材13)が置かれている。
粒子捕集部11とその上部の導電性部材13は、絶縁材17により電気的に絶縁され、絶縁材17の周囲には導電性ケージ19が備えられている。導電性ケージ19とアース21の間には、粒子捕集部11が回収した電荷を検出するための電流計23が備えられており、この電流値に粒子の価数を演算することで粒子数が求められる。
また装置全体は、カバー31によって囲まれており、導入口33からガス導入を行ない、排出口35からガス排出を行なうようになっている。
In this Faraday cup ammeter, the
The
The entire apparatus is surrounded by a
従来、図4に示すファラデーカップ電流計は研究用途に用いられることが多く、連続測定時間もせいぜい数時間であり、導入ガス流量の少なさと相まって、フィルタ中に残存している帯電粒子のチャージが計測に影響を与えることはなかった。
しかし、自動車排ガス測定用途などでは、大流量の試料ガスを処理する必要がある。その場合、フィルタに大流量のガスを流しながら低圧損を実現するため、フィルタを波型に屈曲させたものや、フィルタを円筒状に加工したものを使用する必要性があった。
そしてそれに伴い、フィルタ中にチャージする帯電粒子の電荷は飽和状態となり、測定が不能となる事態が生じた。
Conventionally, the Faraday cup ammeter shown in FIG. 4 is often used for research purposes, and the continuous measurement time is at most several hours. Combined with the low flow rate of the introduced gas, the charged particles remaining in the filter are charged. The measurement was not affected.
However, it is necessary to process a large flow rate of sample gas for automobile exhaust gas measurement applications and the like. In that case, in order to achieve a low pressure loss while flowing a large amount of gas through the filter, it was necessary to use a filter bent in a corrugated shape or a filter processed into a cylindrical shape.
Along with this, the charged particles charged in the filter are saturated, which makes measurement impossible.
そこで本発明は、粒子捕集部に帯電している帯電粒子の電荷を受けることのないファラデーカップ電流計を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a Faraday cup ammeter that does not receive the charge of charged particles charged in a particle collecting portion.
本発明のファラデーカップ電流計は、ガス流中の帯電粒子を捕集する粒子捕集部と、粒子捕集部と電気的に絶縁され、その全周を覆う導電性ケージと、粒子捕集部に帯電している電荷に誘因されて導電性ケージに周囲から移行してくる電荷を計測することで粒子捕集部に捕集された電荷量を計測する電流計と、を備えている。そして、上記粒子捕集部は帯電した電荷をアースに放出する電荷放出機構を有している。 The Faraday cup ammeter of the present invention includes a particle collection unit that collects charged particles in a gas flow, a conductive cage that is electrically insulated from the particle collection unit and covers the entire circumference thereof, and a particle collection unit. And an ammeter that measures the amount of charge collected in the particle collection unit by measuring the amount of charge that is induced by the charged electric charge and transferred from the surroundings to the conductive cage. The particle collection unit has a charge release mechanism that discharges the charged charges to the ground.
粒子捕集部の周囲は導電性部材により覆われ、電荷放出機構は導電性部材とアースとの接続を切り換えるスイッチにより構成することができる。 The periphery of the particle collecting portion is covered with a conductive member, and the charge discharging mechanism can be configured by a switch for switching the connection between the conductive member and the ground.
粒子捕集部と導電性部材は、例えばピンにより固定することができる。 The particle collecting portion and the conductive member can be fixed by, for example, a pin.
粒子捕集部はフィルタ状又は円筒状に形成することができる。 The particle collecting portion can be formed in a filter shape or a cylindrical shape.
電荷放出機構は電流計が計測した所定の積算電流値を以って粒子捕集部に帯電した電荷をアースに放出するものである。 The charge release mechanism discharges the electric charge charged in the particle collecting portion to the ground with a predetermined integrated current value measured by the ammeter.
本発明の粒子測定装置は、荷電対象粒子を帯電させる帯電機構と、帯電粒子を電気移動度により分級するために互いに対向して配置された一対の対向電極、分級領域の一端側から分級領域に非荷電ガスをシースガスとして供給するシースガス供給部、分級領域の上流側から試料ガスを供給する試料ガス供給部、及び分級領域の下流側から帯電粒子の一部をシースガスの流れ方向に一定流量で吸引する吸引部を備えた粒子分級機構と、吸引部の下流に設けられた本発明のファラデーカップ電流計とを備えている。 The particle measuring apparatus of the present invention includes a charging mechanism that charges charged particles, a pair of counter electrodes that are arranged to face each other in order to classify charged particles by electric mobility, from one end side of the classification region to the classification region. A sheath gas supply unit that supplies uncharged gas as a sheath gas, a sample gas supply unit that supplies sample gas from the upstream side of the classification region, and a part of the charged particles from the downstream side of the classification region are sucked at a constant flow rate in the sheath gas flow direction. A particle classification mechanism provided with a suction part that performs the above and a Faraday cup ammeter of the present invention provided downstream of the suction part.
供給するガスの電荷を変えるために、帯電機構には極性を反転させる単極帯電機構を備えるようにしてもよい。 In order to change the charge of the supplied gas, the charging mechanism may be provided with a unipolar charging mechanism that reverses the polarity.
分級する粒子の電荷を変えるために、対向電極には逆電位を印加させる電源を備えるようにしてもよい。 In order to change the charge of the particles to be classified, the counter electrode may be provided with a power source for applying a reverse potential.
本発明によれば、粒子捕集部に帯電している帯電粒子を放出することができるので、粒子同士の反発力による粒子捕集能の低下や電荷チャージによる測定電流誤差が解消され、精度の高い粒子測定を行なうことができる。 According to the present invention, since the charged particles charged in the particle collecting portion can be discharged, the decrease in the particle collecting ability due to the repulsive force between particles and the measurement current error due to the charge charge are eliminated, and the accuracy is improved. High particle measurement can be performed.
導電性部材とアースとの接続をスイッチにより切り換えるようにすると、必要なときに粒子捕集部から電荷を放出することができるようになる。 When the connection between the conductive member and the ground is switched by a switch, it becomes possible to discharge electric charges from the particle collecting portion when necessary.
粒子捕集部と導電性部材をピンによって固定すれば、粒子捕集部に帯電している電荷を効率よく導電性部材を介して外部に放出できるようになる。 If the particle collecting part and the conductive member are fixed by a pin, the electric charge charged in the particle collecting part can be efficiently discharged to the outside through the conductive member.
所定の積算電流値を以って粒子捕集部に帯電した電荷をアースに放出するようにすれば、粒子捕集部に過剰の電荷が帯電することを未然に防ぐことができ、より精度の高い粒子測定を行なうことができる。 If the electric charge charged in the particle collecting part with a predetermined integrated current value is discharged to the ground, it is possible to prevent an excessive electric charge from being charged in the particle collecting part in advance, and more accurate. High particle measurement can be performed.
帯電機構と、粒子分級機構と、本発明のファラデーカップ電流計とを備えた粒子測定装置にすれば、帯電粒子を分級するとともに粒子数を測定することができる。 If a particle measuring device including a charging mechanism, a particle classification mechanism, and the Faraday cup ammeter of the present invention is used, it is possible to classify charged particles and measure the number of particles.
帯電機構に極性を反転させる単極帯電機構を備えるようにすれば、どちらか一方の極性に帯電している粒子捕集部を、もう一方の極性によって消滅することができるようになる。 If the charging mechanism is provided with a unipolar charging mechanism that reverses the polarity, the particle collecting part charged to one of the polarities can be extinguished by the other polarity.
対向電極に逆電位を印加させる電源を備えるようにすれば、粒子の荷電極性を変えることができ、粒子捕集部における電荷チャージを解消することができ、より精度の高い粒子測定を行なうことができるようになる。 If a power source for applying a reverse potential to the counter electrode is provided, the charge polarity of the particles can be changed, the charge charge in the particle collector can be eliminated, and more accurate particle measurement can be performed. become able to.
以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。
図1はファラデーカップ電流計の一実施例の垂直断面図を示している。
粒子捕集部11はガス流中の帯電粒子を捕集できるようにフィルタ状に形成されている。粒子捕集部11の周囲は導電性部材13により覆われ、複数の導電ピン15によって固定されており、粒子捕集部11内の電荷を外部に排出しやすくしている。
The present invention will be described in detail below based on examples.
FIG. 1 shows a vertical cross-sectional view of one embodiment of a Faraday cup ammeter.
The
粒子捕集部11としては一般の市販エアフィルタを用いることができ、サイズ、形状及び材質は粒子及びそれを含む流体の種類や流量によって選定する。0.3μmDOP捕捉効率99.9%程度を有することが望ましい。
例えば、ADVANTEC ガラス繊維濾紙プリーツ コンパクトカートリッジフィルターMCGや、Pall Corporation製グラスファイバーフィルター Type A/E等が挙げられる。
導電性部材13としては、金網などの金属材料をメッシュ状又はハニカム状に形成したものや、細い導線を巻いたもの、導電ピン15と一体となっているもの等を挙げることができる。導電性部材13にメッシュ状又はハニカム状のものを用いる場合、粒子捕集部11に帯電した電荷を捕集するのに充分な間隔(例えば、10μm〜2mm)であればよい。
導電ピン15としては、ねじや釘のようなものを挙げることができる。
A general commercially available air filter can be used as the
For example, ADVANTEC glass fiber filter pleats compact cartridge filter MCG, Pall Corporation glass fiber filter Type A / E, and the like can be mentioned.
Examples of the
Examples of the
粒子捕集部11とその周囲の導電性部材13は、絶縁材17により電気的に絶縁され、絶縁材17の周囲には導電性ケージ19が備えられている。絶縁材17の材料としては、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)やPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)材を用いることができる。
導電性ケージ19とアース21の間には、粒子捕集部11が回収した電荷を検出するための電流計23が備えられている。電流計23の電流値に粒子の価数を演算することで粒子数を求めることができる。
The
An
導電性部材13には電荷を排出するリード線25の一端を接続し、リード線25の他端はアース21に接続する。また、リード線25の途中には接続のオン/オフを切り換えるスイッチ(電荷放出機構)27を設ける。
リード線25上に設けられているスイッチ27のオン/オフは、人為的に行なうようにしてもよいし、電流計23が所定の積算電流値を示した時に自動的にスイッチを切り換えるようにしてもよい。
One end of a
The
なお、上述のファラデーカップ電流計の構成において、導電ピン15の周囲に隙間が生じるとそこから粒子が捕集されることなく排出されてしまうので、導電ピン15の周囲は気密が確保されるようにする必要がある。例えば、柔軟性を有するテフロン(登録商標)フィルタに対し、金属ピンを圧挿すればよい。また、粒子数を計測している最中においては電荷を蓄積する必要があるため、通常はスイッチ27を開けた状態としておく。この際、リード線25とケージ19が接触しないようにする。
In the configuration of the Faraday cup ammeter described above, if a gap is generated around the
また、ファラデーカップ電流計全体はカバー31に囲まれており、導入口33からガスが導入され、排出口35からガスが排出されるようになっている。
The entire Faraday cup ammeter is surrounded by a
次に同実施例の動作について説明する。
ガス導入部33から、例えばプラスにチャージされている微粒子を含むガスを導入し、粒子捕集部11で荷電微粒子を捕集する。
粒子捕集部11に捕集された微粒子の電荷は、粒子捕集部11に帯電している電荷に誘因されて導電性ケージ19に周囲から移行してくる電荷を電流計23によって測定することで求められる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
For example, a gas containing positively charged fine particles is introduced from the
The electric charge of the fine particles collected in the
電流計23では荷電による積算電流値が計測される。その積算電流値が予め定めた閾値を超えた時、スイッチ27を閉じることで、積算電流をアース21に解放する。この解放動作は人為的に行なってもよいし、自動的に行なうようにしてもよい。これにより、粒子捕集部11に蓄積した電荷は、導電ピン15、導電性部材13及びリード線25を介してアース21に放出され、粒子捕集部11の帯電は解消される。
The
上記の動作ではスイッチ27を閉じることにより電荷を放出し、粒子捕集部11の帯電を解消したが、ガス導入部33から導入する微粒子の荷電を制御してもよい。具体的には、プラスにチャージされた微粒子を含むガスを導入した後、マイナスにチャージされた微粒子を含むガスを導入するようにすればよい。これにより、粒子捕集部11の荷電はプラスとマイナスのチャージで相殺され、帯電は解消される。
In the above operation, the charge is released by closing the
次に他の実施例を説明する。
図2は粒子測定装置の垂直断面図である。
円筒状の筐体41の内部には、円柱状の中心電極43が筐体41の中央線42と一致するように設けられている。筐体41の内面は外側電極44となっており、中心電極43と外側電極44が対向電極を構成している。中心電極43と外側電極44により帯電粒子を電気移動度により分級する電界を発生しており、両電極43,44間に形成される回転体状の空間が分級領域45である。中央線42は、円筒状の筐体41内においては円筒状に形成されている。
Next, another embodiment will be described.
FIG. 2 is a vertical sectional view of the particle measuring apparatus.
A
筐体41の上部には非荷電ガスをシースガスとして一定流量Qcで導入するためのシースガス供給部47が設けられ、分級領域45の上流側にはシースガスを層流化するための絶縁性の第1整流機構49が設けられている。第1整流機構49は垂直方向に互いに平行に並べられた複数の板から構成されている。第1整流機構49を経たシースガスは層流となって分級領域45に供給される。
A sheath
分級領域45の上流側には吐出方向がシースガス流と平行になるように試料ガス供給部51の吐出口51aが設けられており、その先端は導入される試料ガスの流速とシースガスの流速との流速差が0になるように両ガスの流速が設定されている。試料ガスはシースガス流と平行に一定流量Qaで帯電機構40から供給される。この帯電機構40には、極性を反転させる単極帯電機構(図示は略)が設けられており、荷電微粒子のチャージの制御をすることができる。
The
分級領域45の下流側には吸引方向がシースガス流と平行になるように吸引部57の吸込み口57aが設けられており、吸引される帯電粒子の流速とシースガスの流速との流速差が0になるように吸引速度が設定されている。帯電粒子はシースガス流と平行に一定流量Qsで吸引される。
吸引部57の下流にはシースガスとともに送られてきた帯電粒子数を電気量として検出する検出器58が配置されている。この検出器58は図1に示したファラデーカップ電流計である。
筐体41の下部、すなわちシースガス流の下流側には、分級領域45の下端の外側にシースガス排出部53が設けられ、ガスが一定流量Qeで排出される。
A
A
A sheath
中心電極43は上端が絶縁部材50とガスの流れを層流化する第1整流機構49により筐体41に支持され、中心電極43の下端は絶縁部材59とシースガスの流れを層流化する第1整流機構49と同様の構造をもつ第2整流機構56により筐体41に支持されていることによって、中心電極43と外部電極となる筐体41との間が電気的に絶縁されている。
The
例えば、中心電極43の直径は50mm、外側電極44の内側の直径は66mmであり、中心電極43の円柱状部分では中心電極43と外側電極44の間隔は8mm程度で一定になっている。両電極43,44間には1〜1500Vの分級電圧が印加される。
For example, the diameter of the
吸引部57及びシースガス排出部53の下流には吸引機構としてポンプ63,61がそれぞれ設けられている。
吸引部57とポンプ63の間の検出器58は、分級された粒子の電荷を検出し、粒子数を算出することができる。
A
また、対向電極43,44間には、逆電位を印加させる電源67が設けられており、対向電極43,44間の電位を制御することができるようになっている。
A
次に同実施例の動作を説明する。両電極43,44間に電圧をかけると、分級領域45には帯電粒子を電気移動度により分級する水平方向の電界が発生する。
帯電機構40から、例えばプラスにチャージした微粒子を含むガスを導入する。試料ガス供給部51の吐出口51aから分級領域45に導入された試料ガスのうち、分級された帯電粒子は吸引部57の吸込み口57aから吸入され、検出器58に送られる。
検出器58では粒子捕集部11によりガス中の荷電微粒子は捕集され、電流計23によって電荷と粒子数が測定される。
Next, the operation of this embodiment will be described. When a voltage is applied between the
For example, a gas containing fine particles charged positively is introduced from the
In the
電流計23では荷電による積算電流値が計測される。この積算電流値が予め定めた閾値を超えた時、今度は帯電機構40からマイナスにチャージした微粒子を含むガスを導入する。これにより、粒子捕集部11の電荷は相殺され、帯電は解消される。
また、電源67により逆電位を印加するようにした場合も、粒子捕集部11の電荷は相殺され、帯電は解消される。
The
In addition, even when a reverse potential is applied by the
次にファラデーカップ電流計の他の実施例を説明する。
図3は波型円筒加工フィルタ型ファラデーカップ電流計のフィルタ部の斜視図である。
粒子捕集部11はサポートメディア41,42により3重構造となって、ジャバラ状に重ねられている。
この3重構造の粒子捕集部11は、コア47とプロテクター43によって挟まれて円筒型に固定されている。また、装置の上部にはO−リング45が設けられ、他の装置と接続可能になっている。
Next, another embodiment of the Faraday cup ammeter will be described.
FIG. 3 is a perspective view of a filter portion of a corrugated cylindrical processed filter type Faraday cup ammeter.
The
The triple-structured
円筒型電流計の周囲は導電性部材13bにより覆われており、円筒の内部には導電性部材13aを挿入できるようになっている。導電性部材13aと導電性部材13bは粒子捕集部11を貫通する導電性ピン15によって接続され、固定されている。
また、導電性部材13bとアース21はリード線25とスイッチ27を介して接続している。スイッチ27と閉じると、導電性部材11に帯電した積算電流を放出することができる。これにより、粒子同士の反発力による粒子捕集能の低下や電荷チャージによる測定電流誤差を解消することができ、精度の高い粒子測定を行なうことができる。
The circumference of the cylindrical ammeter is covered with a
Further, the
本発明は自動車排ガス等のエアロゾルに含まれる微粒子数をリアルタイムに測定する装置などとして利用することができる。 The present invention can be used as an apparatus for measuring the number of fine particles contained in an aerosol such as automobile exhaust gas in real time.
11 粒子捕集部
13 導電性部材
15 導電ピン
17 絶縁材
19 導電性ケージ
21 アース
23 電流計
25 リード線
27 スイッチ
31 ケース
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記粒子捕集部と電気的に絶縁され、その全周を覆う導電性ケージと、
前記粒子捕集部に帯電している電荷に誘因されて前記導電性ケージに周囲から移行してくる電荷を計測することで前記粒子捕集部に捕集された電荷量を計測する電流計と、
を備え、
前記粒子捕集部は帯電した電荷をアースに放出する電荷放出機構を有していることを特徴とするファラデーカップ電流計。 A particle collector for collecting charged particles in the gas stream;
A conductive cage that is electrically insulated from the particle collector and covers the entire circumference thereof;
An ammeter that measures the amount of electric charge collected in the particle collecting unit by measuring the electric charge that is induced by the electric charge charged in the particle collecting unit and moves from the periphery to the conductive cage; ,
With
The Faraday cup ammeter characterized in that the particle collecting part has a charge release mechanism for discharging a charged charge to the ground.
帯電粒子を電気移動度により分級するために互いに対向して配置された一対の対向電極、前記分級領域の一端側から前記分級領域に非荷電ガスをシースガスとして供給するシースガス供給部、前記分級領域の上流側から試料ガスを供給する試料ガス供給部、及び前記分級領域の下流側から帯電粒子の一部をシースガスの流れ方向に一定流量で吸引する吸引部を備えた粒子分級機構と、
前記吸引部の下流に設けられた請求項1から5のいずれかに記載のファラデーカップ電流計と、
を備えた粒子測定装置。 A charging mechanism for charging particles to be charged;
A pair of counter electrodes arranged opposite to each other to classify charged particles by electric mobility, a sheath gas supply unit that supplies uncharged gas as a sheath gas from one end side of the classification region to the classification region, A particle classification mechanism including a sample gas supply unit that supplies a sample gas from the upstream side, and a suction unit that sucks a part of the charged particles from the downstream side of the classification region at a constant flow rate in the flow direction of the sheath gas;
The Faraday cup ammeter according to any one of claims 1 to 5, provided downstream of the suction unit;
A particle measuring apparatus.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011038979A (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Fujitsu Ltd | Ion sensor, ion analysis device and ion analysis method |
CN111128658A (en) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 北京中科信电子装备有限公司 | Ion beam level and vertical angle measuring device |
WO2021114785A1 (en) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | Differential high-concentration particulate matter measurement system and method based on dynamic faraday cup |
JP7203294B1 (en) * | 2022-03-28 | 2023-01-12 | 三菱電機株式会社 | Electrostatic sorting device |
-
2006
- 2006-12-12 JP JP2006334780A patent/JP2008145347A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011038979A (en) * | 2009-08-18 | 2011-02-24 | Fujitsu Ltd | Ion sensor, ion analysis device and ion analysis method |
CN111128658A (en) * | 2018-10-31 | 2020-05-08 | 北京中科信电子装备有限公司 | Ion beam level and vertical angle measuring device |
WO2021114785A1 (en) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | Differential high-concentration particulate matter measurement system and method based on dynamic faraday cup |
JP7203294B1 (en) * | 2022-03-28 | 2023-01-12 | 三菱電機株式会社 | Electrostatic sorting device |
WO2023187854A1 (en) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 三菱電機株式会社 | Electrostatic sorting device |
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