JP2008144694A - Turbo molecular pump - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a turbo molecular pump reduced in the displacement of a stationary blade when a load such as when it is intruded into the atmosphere acts thereon. <P>SOLUTION: This turbo molecular pump comprises a stationary blade 11 in which ribs 111, 112, a blade 110, and a support part 113 are formed by bending plate members. A spacer 13 holding the stationary blade 11 on a rotating blade 21 at a predetermined position holds the outer peripheral rib 112 of the stationary blade 11 between the surface 130 and the surface 132 of stacked spacers 13. The outer peripheral part of the blade 110 is contained in the gap formed between the surface 131 and the surface 133. When an upward force acts on the stationary blade due to the intrusion thereof into the atmosphere, the upward displacement of the outer peripheral part is restricted by the surfaces 131, 133. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。   The present invention relates to a turbo molecular pump.

ターボ分子ポンプは、固定翼に対して回転翼を高速回転させて真空排気を行うものである。固定翼材料にはステンレスやアルミ等の薄板が用いられ、その薄板をプレス加工することにより固定翼の各ブレードの曲げ加工を行っている（例えば、特許文献１参照）。   The turbo molecular pump performs evacuation by rotating a rotating blade at a high speed with respect to a fixed blade. A thin plate made of stainless steel or aluminum is used as the fixed blade material, and each blade of the fixed blade is bent by pressing the thin plate (see, for example, Patent Document 1).

固定翼は円環形状のものを半割れにすることで形成され、一対の固定翼により固定翼一段が構成される。固定翼の外周部には円弧状のリブが形成され、各ブレードは細くなった支持部を介してリブに支持されている。固定翼に設けられたリブをスペーサで上下から挟むことにより、固定翼を各回転翼間に保持している。このように、固定翼は外周部分を支持する片持ち構造であるため、固定翼に過大な負荷が加わったときに大きな撓みが生じ易い。そのため、上述した従来のターボ分子ポンプでは、回転翼に形成された内周側のリブに曲げ加工を施したり、半割形状の固定翼に結合部を設けたりして全体的な撓みを抑制するようにしている。   The fixed wing is formed by making a ring-shaped member into half cracks, and a pair of fixed wings constitutes one stage of the fixed wing. An arc-shaped rib is formed on the outer peripheral portion of the fixed wing, and each blade is supported by the rib through a thinned support portion. By sandwiching ribs provided on the fixed blades from above and below with spacers, the fixed blades are held between the rotary blades. As described above, since the fixed wing has a cantilever structure that supports the outer peripheral portion, large deflection is likely to occur when an excessive load is applied to the fixed wing. Therefore, in the above-described conventional turbo molecular pump, bending is performed on the inner peripheral rib formed on the rotor blade, or a coupling portion is provided on the half-shaped stationary blade to suppress the overall bending. I am doing so.

特開２０００−９０８８号公報JP 2000-9088 A

しかしながら、大気圧突入などによって高速回転中に固定翼に過大な負荷がかかった場合、スペーサによって挟持されているリブとブレードとの間の支持部が大きく変形するという問題があった。さらに、支持部への応力集中により支持部が折れてしまうとい問題もあった。   However, when an excessive load is applied to the fixed blade during high-speed rotation due to the entry of atmospheric pressure or the like, there is a problem that the support portion between the rib sandwiched by the spacer and the blade is greatly deformed. Further, there is a problem that the support portion is broken due to stress concentration on the support portion.

請求項１の発明は、回転翼と、半割れ式リブに支持部を介して支持された複数のブレードを有する固定翼と、リブを挟持して固定翼を回転翼に対して所定位置に保持する一対の保持部材とを備えるターボ分子ポンプに適用され、ブレードの排気上流側に設けられて、ブレードの排気上流側への変位を制限する制限部を保持部材に形成したことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、ブレードの排気下流側に設けられて、ブレードの排気下流側への変位を制限する第２の制限部を保持部材に形成したものである。
請求項３の発明は、請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、リブを挟持した一対の保持部はそれらの間に隙間を形成し、その隙間にブレードの一部が収納されるようにしたものである。
請求項４の発明は、請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、排気上流側および排気下流側に設けられた制限部によりブレードを挟持して、ブレードに回転軸方向の予圧を与えるようにしたものである。 According to a first aspect of the present invention, a rotating blade, a stationary blade having a plurality of blades supported by a half-cracked rib via a support portion, and holding the stationary blade in a predetermined position with respect to the rotating blade by sandwiching the rib It is applied to a turbo molecular pump including a pair of holding members, and is provided with a limiting portion provided on the exhaust upstream side of the blade to limit the displacement of the blade to the exhaust upstream side.
According to a second aspect of the present invention, in the turbomolecular pump according to the first aspect, the holding member is provided with a second restriction portion that is provided on the exhaust downstream side of the blade and restricts the displacement of the blade toward the exhaust downstream side. Is.
According to a third aspect of the present invention, in the turbomolecular pump according to the second aspect, the pair of holding portions sandwiching the ribs forms a gap therebetween, and a part of the blade is accommodated in the gap. Is.
According to a fourth aspect of the present invention, in the turbo molecular pump according to the second or third aspect, the blade is sandwiched by the restriction portions provided on the exhaust upstream side and the exhaust downstream side so as to apply a preload in the rotation axis direction to the blade. It is a thing.

本発明によれば、保持部材に設けられた制限部によりブレードの排気上流側への変位が制限されるので、大気突入時等におけるブレードの変位を低減することができる。   According to the present invention, since the displacement of the blade to the exhaust upstream side is restricted by the restricting portion provided in the holding member, the displacement of the blade at the time of entry into the atmosphere can be reduced.

以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は本発明に係るターボ分子ポンプの一実施の形態を示す図であり、ポンプ本体１の断面図である。ターボ分子ポンプは、図１に示すポンプ本体１と、ポンプ本体１に電源を供給し回転駆動を制御するコントローラ（不図示）とから成る。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a view showing an embodiment of a turbo molecular pump according to the present invention, and is a cross-sectional view of a pump body 1. The turbo molecular pump includes a pump main body 1 shown in FIG. 1 and a controller (not shown) that supplies power to the pump main body 1 to control rotational driving.

ポンプ本体１のケーシング３０の内部には、複数段の回転翼２１および回転円筒部２２が形成された回転体２０が設けられている。一方、ポンプ本体１のベース１０側には、複数段の固定翼１１および固定円筒部１２が設けられている。そして、軸方向に交互に配置された複数段の回転翼２１と複数段の固定翼１１とによりタービン翼部が構成される。   Inside the casing 30 of the pump body 1, a rotating body 20 in which a plurality of stages of rotating blades 21 and a rotating cylindrical portion 22 are formed is provided. On the other hand, a plurality of fixed blades 11 and a fixed cylindrical portion 12 are provided on the base 10 side of the pump body 1. A plurality of stages of rotating blades 21 and a plurality of stages of fixed blades 11 arranged alternately in the axial direction constitute a turbine blade.

また、タービン翼部の下流側に配置された回転円筒部２２と固定円筒部１２とによりモレキュラードラッグポンプ部が構成されている。回転円筒部２２は固定円筒部１２の内周面に近接して設けられており、固定円筒部１２の内周面には螺旋溝が形成されている。モレキュラードラッグポンプ部では、固定円筒部１２の螺旋溝と高速回転する回転円筒部２２とにより、粘性流による排気能が行われる。   In addition, a molecular drag pump unit is configured by the rotating cylindrical unit 22 and the fixed cylindrical unit 12 arranged on the downstream side of the turbine blade unit. The rotating cylindrical portion 22 is provided close to the inner peripheral surface of the fixed cylindrical portion 12, and a spiral groove is formed on the inner peripheral surface of the fixed cylindrical portion 12. In the molecular drag pump section, the helical groove of the fixed cylinder section 12 and the rotating cylinder section 22 that rotates at high speed perform exhaust capability by viscous flow.

図１に示すタービン翼部とモレキュラードラッグポンプ部とを結合させたターボ分子ポンプは、ハイブリッド型ターボ分子ポンプと称される。吸気口３１から流入したガス分子Ｇはタービン翼部によって図示下方へと叩き飛ばされ、下流側に向かって圧縮排気される。その圧縮されたガス分子Ｇは、さらにモレキュラードラッグポンプ部によって圧縮され、排気ポート１４から排出される。   The turbo molecular pump in which the turbine blade part and the molecular drag pump part shown in FIG. 1 are combined is referred to as a hybrid turbo molecular pump. The gas molecules G flowing in from the intake port 31 are blown down in the figure by the turbine blade and compressed and exhausted toward the downstream side. The compressed gas molecules G are further compressed by the molecular drag pump unit and discharged from the exhaust port 14.

回転体２０は、上下一対のラジアル磁気軸受５１，５２およびスラスト磁気軸受５３によって非接触式に支持され、モータ６により回転駆動される。これらの磁気軸受には、ラジアル変位センサ７１，７２およびスラスト変位センサ７３が設けられている。２７，２８は非常用のメカニカルベアリングであり、２５はコントローラとの接続ケーブルが接続されるレセプタクルである。   The rotating body 20 is supported in a non-contact manner by a pair of upper and lower radial magnetic bearings 51 and 52 and a thrust magnetic bearing 53 and is driven to rotate by the motor 6. These magnetic bearings are provided with radial displacement sensors 71 and 72 and a thrust displacement sensor 73. 27 and 28 are emergency mechanical bearings, and 25 is a receptacle to which a connection cable to the controller is connected.

図１に示すように固定翼１１は複数段設けられており、外周部分をスペーサ１３に挟持されるようにして所定位置に保持されている。固定翼１１に形成されるブレードの長さは、吸気口３１側から下流になるほど短くなっている。一般的に、固定翼１１は切削加工で形成する場合と、板材を曲げ加工して形成する場合とがあるが、加工コストを低減するために板金化による加工工程の簡略化が進んでいる。本発明は、板金加工により製作される固定翼に関する上記問題点を解決するために成されたものである。   As shown in FIG. 1, the fixed wings 11 are provided in a plurality of stages, and are held at predetermined positions so that the outer peripheral portion is sandwiched between the spacers 13. The length of the blade formed on the fixed wing 11 becomes shorter as it goes downstream from the intake port 31 side. In general, the fixed wing 11 may be formed by cutting or may be formed by bending a plate material. However, in order to reduce the processing cost, the processing process by sheet metal is being simplified. The present invention has been made to solve the above-described problems related to fixed wings manufactured by sheet metal processing.

図２は、一対の固定翼１１を示す斜視図である。各固定翼１１には内周側リブ１１１と外周リブ側１１２とが設けられており、それらの間には複数のブレード１１０が形成されている。図２には図示していないが、各ブレード１１０は幅の狭い支持部を介して外周側リブ１１２および内周側リブ１１１に支持されている。各ブレード１１０には、支持部を曲げ加工することにより所定の翼角度が付されている。   FIG. 2 is a perspective view showing a pair of fixed wings 11. Each fixed blade 11 is provided with an inner peripheral rib 111 and an outer peripheral rib 112, and a plurality of blades 110 are formed between them. Although not shown in FIG. 2, each blade 110 is supported by the outer peripheral side rib 112 and the inner peripheral side rib 111 through a narrow support portion. Each blade 110 is given a predetermined blade angle by bending a support portion.

図３は、曲げ加工を行う前の固定翼１１を示す平面図である。円環状の金属板材に、スリット１１４をエッチングや打ち抜き加工等により形成する。その結果、ブレード１１０、内周側リブ１１１、外周側リブ１１２、支持部１１３の形状が形成される。その後、支持部１１３を捻るように曲げ加工することにより、各ブレード１１０に所定の翼角度が付加される。最後に、破線で示す分割線に沿って２分割すると、図２に示したような一対の固定翼１１が形成される。   FIG. 3 is a plan view showing the fixed wing 11 before bending. A slit 114 is formed in an annular metal plate by etching or punching. As a result, the shapes of the blade 110, the inner peripheral rib 111, the outer peripheral rib 112, and the support portion 113 are formed. Then, a predetermined blade angle is added to each blade 110 by bending the support portion 113 so as to twist. Finally, when divided into two along a dividing line indicated by a broken line, a pair of fixed wings 11 as shown in FIG. 2 are formed.

図４は、スペーサ１３による固定翼１１の支持形態を示す図である。図５はスペーサ１３の形状を示す図である。図５に示すように、スペーサ１３の上面側には凸面１３０と、その内側の凹面１３１とが形成されている。一方、スペーサ１３の底面側には、階段状に形成された２つの面１３２，１３３が設けられている。凸面１３０および面１３２は、スペーサ１３を上下に重ねたときに上側スペーサ１３の面１３２と下側スペーサ１３の凸面１３０とが互いに対向するように形成されており、それらの面によって固定翼１１の外周側リブ１１２が挟持される。すなわち、図５のＳ１で示す部分に、外周側リブ１１２が挟持される。   FIG. 4 is a view showing a support form of the fixed wing 11 by the spacer 13. FIG. 5 is a view showing the shape of the spacer 13. As shown in FIG. 5, a convex surface 130 and a concave surface 131 inside the convex surface 130 are formed on the upper surface side of the spacer 13. On the other hand, two surfaces 132 and 133 formed in a stepped shape are provided on the bottom surface side of the spacer 13. The convex surface 130 and the surface 132 are formed so that the surface 132 of the upper spacer 13 and the convex surface 130 of the lower spacer 13 face each other when the spacers 13 are stacked one above the other. The outer peripheral side rib 112 is clamped. That is, the outer periphery side rib 112 is clamped by the part shown by S1 of FIG.

固定翼１１の外周側リブ１１２を上下のスペーサ１３で挟持すると、上側スペーサ１３の面１３３と下側スペーサ１３の面１３１との間に隙間Ｓ２が形成される。この隙間Ｓ２には、図４に示すようにブレード１１０の支持部１１３と、ブレード１１０の一部が収納される。隙間Ｓ２の軸方向の高さ寸法は、ブレード１１０の軸方向寸法（すなわち、翼高さ）とほぼ同一に設定されている。そのため、支持部１１３に接続されているブレード１１０の外周部の軸方向への変位が、面１３１，１３３によって規制されることになる。   When the outer peripheral rib 112 of the fixed wing 11 is sandwiched between the upper and lower spacers 13, a gap S <b> 2 is formed between the surface 133 of the upper spacer 13 and the surface 131 of the lower spacer 13. In the gap S2, as shown in FIG. 4, the support portion 113 of the blade 110 and a part of the blade 110 are accommodated. The height dimension of the gap S2 in the axial direction is set to be substantially the same as the axial dimension of the blade 110 (that is, the blade height). Therefore, the displacement of the outer peripheral portion of the blade 110 connected to the support portion 113 in the axial direction is restricted by the surfaces 131 and 133.

図６は、大気突入等によって固定翼１１に軸方向の力が作用したときの変位の様子を示す模式図である。図６の（ａ）は本実施の形態の場合を、（ｂ）は従来のターボ分子ポンプの場合を示す。本実施の形態では、ブレード１１０の外周部が上下のスペーサ１３によって形成された隙間Ｓ２（図５参照）に収納され、ブレード外周部の変位がスペーサ１３の面１３１，１３３によって制限されているので、固定翼１１の上方への変位は、ほぼ各ブレード１１０の変形によって生じることになる。計算機シミュレーションによれば内周側リブ１１１の部分の変位が最大となり、その値Dmaxは０．４６８ｍｍであった。   FIG. 6 is a schematic diagram showing a state of displacement when an axial force is applied to the fixed wing 11 due to air rush or the like. 6A shows the case of the present embodiment, and FIG. 6B shows the case of a conventional turbo molecular pump. In the present embodiment, the outer periphery of the blade 110 is housed in a gap S2 (see FIG. 5) formed by the upper and lower spacers 13, and the displacement of the blade outer periphery is limited by the surfaces 131 and 133 of the spacer 13. The upward displacement of the fixed wing 11 is caused by the deformation of each blade 110. According to the computer simulation, the displacement of the inner rib 111 is the maximum, and the value Dmax is 0.468 mm.

一方、図６（ｂ）に示す従来のターボ分子ポンプでは、外周側リブ１１２のみがスペーサ４３によって挟持される片持ち構造であるため、固定翼１１に軸方向の力が作用すると、比較的強度の弱い支持部１１３が大きく変形することになる。そのため、図６（ａ）の場合と同一条件でシミュレーションを行うと、内周側リブ１１１における最大変位Dmaxは１．０９０ｍｍとなる。よって、図６（ａ）に示すような構成とすることにより、最大変位を５０％程度まで低減できることがわかる。   On the other hand, the conventional turbo molecular pump shown in FIG. 6B has a cantilever structure in which only the outer peripheral side rib 112 is sandwiched between the spacers 43, so that when an axial force acts on the fixed blade 11, it is relatively strong. The weak support portion 113 is greatly deformed. Therefore, when a simulation is performed under the same conditions as in FIG. 6A, the maximum displacement Dmax in the inner peripheral rib 111 is 1.090 mm. Therefore, it can be seen that the maximum displacement can be reduced to about 50% by adopting the configuration shown in FIG.

このように、本実施の形態では、外周側リブ１１２をスペーサ１３により挟持するだけでなく、スペーサ１３の面１３１，１３３によりブレード１１０の軸方向の変位を制限するようにしたので、固定翼１１の最大変位Dmaxを低減することができる。さらに、支持部１１３への応力集中が緩和され、支持部１１３の破損を防止することができる。   Thus, in the present embodiment, not only the outer peripheral rib 112 is sandwiched by the spacer 13 but also the displacement of the blade 110 in the axial direction is limited by the surfaces 131 and 133 of the spacer 13. The maximum displacement Dmax of can be reduced. Furthermore, stress concentration on the support portion 113 is alleviated, and damage to the support portion 113 can be prevented.

なお、隙間Ｓ２の軸方向寸法に関しては、ブレード１１０の軸方向寸法よりも若干小さく設定した方が軸方向変位の抑制効果が向上する。固定翼１１では、支持部１１３を曲げ加工してブレード１１０を所定角度に設定しているので、隙間Ｓ２内に拘束されている部分のブレード角度が負荷によって小さくなるように変形しやすい。それが原因で、内周側リブ１１１の部分の変位がより大きくなってしまうことになる。しかし、隙間Ｓ２の軸方向寸法をブレード１１０の軸方向寸法よりも若干小さく設定してブレード１１０に予圧を与えておくことで、過大な負荷が加わったときの軸方向変位を小さく抑えることができる。   Note that the axial displacement dimension of the gap S2 is set slightly smaller than the axial dimension of the blade 110 to improve the axial displacement suppression effect. In the fixed blade 11, the support portion 113 is bent and the blade 110 is set at a predetermined angle, so that the blade angle of the portion constrained in the gap S2 is easily deformed so as to be reduced by the load. For this reason, the displacement of the portion of the inner peripheral rib 111 becomes larger. However, by setting the axial dimension of the gap S2 slightly smaller than the axial dimension of the blade 110 and applying a preload to the blade 110, axial displacement when an excessive load is applied can be suppressed. .

［変形例］
図７は本実施の形態の変形例を示す図である。ターボ分子ポンプにおいては、大気突入の際の大気は回転翼２１によって方向性が与えられるため、ターボ分子ポンプの吸気口側および排気口側のいずれから大気が突入した場合でも、固定翼１１は吸気口側に変位する力を受ける。そのため、上述した実施の形態のように、ブレード１１０の変位を制限する面をブレード１１０の上下両方に設けなくても良く、図７に示すスペーサ１３のように上方への変位を制限する面を設けるだけでもかまわない。ただし、上下両方に設けた方が、変位を抑制する効果が高い。また、図８に示す変形例のように、スペーサ１３の内側に凸部１３ａを複数形成し、その凸部１３ａの下面を上述した面１３３としても良い。 [Modification]
FIG. 7 is a diagram showing a modification of the present embodiment. In the turbo molecular pump, the atmosphere at the time of air rushing is given directionality by the rotor blades 21, so that the stationary wing 11 takes in the intake air regardless of whether air enters from the inlet side or the exhaust side of the turbo molecular pump. It receives a force that displaces to the mouth side. Therefore, it is not necessary to provide a surface for limiting the displacement of the blade 110 on both the upper and lower sides of the blade 110 as in the above-described embodiment, and a surface for limiting the upward displacement like the spacer 13 shown in FIG. It does not matter even if it is provided. However, the effect which suppresses a displacement is higher when it is provided on both upper and lower sides. Further, as in the modification shown in FIG. 8, a plurality of convex portions 13a may be formed inside the spacer 13, and the lower surface of the convex portion 13a may be the above-described surface 133.

なお、上述した実施の形態では、ハイブリッド型ターボ分子ポンプを例に説明したが、全翼タイプのターボ分子ポンプにも同様に適用することができる。   In the above-described embodiment, the hybrid turbo molecular pump has been described as an example, but the present invention can be similarly applied to an all-blade type turbo molecular pump.

以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、スペーサ１３は保持部材を、面１３１，１３３および凸部１３ａは制限部を、面１３１は第２の制限部をそれぞれ構成する。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。   In the correspondence between the embodiment described above and the elements of the claims, the spacer 13 constitutes a holding member, the surfaces 131 and 133 and the convex portion 13a constitute a restricting portion, and the surface 131 constitutes a second restricting portion. . The above description is merely an example, and when interpreting the invention, there is no limitation or restriction on the correspondence between the items described in the above embodiment and the items described in the claims.

本発明に係るターボ分子ポンプの一実施の形態を示す図であり、ポンプ本体１の断面図である。1 is a view showing an embodiment of a turbo molecular pump according to the present invention, and is a cross-sectional view of a pump body 1. 一対の固定翼１１を示す斜視図である。2 is a perspective view showing a pair of fixed wings 11. FIG. 曲げ加工を行う前の固定翼１１を示す平面図である。It is a top view which shows the fixed wing | blade 11 before performing a bending process. スペーサ１３による固定翼１１の支持形態を示す図である。It is a figure which shows the support form of the fixed wing | blade 11 by the spacer 13. FIG. スペーサ１３の形状を示す図である。It is a figure which shows the shape of the spacer. 固定翼１１に軸方向の力が作用したときの変位の様子を示す模式図であり、（ａ）は本実施の形態の場合を、（ｂ）は従来のターボ分子ポンプの場合を示す。It is a schematic diagram which shows the mode of a displacement when the force of an axial direction acts on the fixed wing | blade 11, (a) shows the case of this Embodiment, (b) shows the case of the conventional turbo-molecular pump. 変形例を示す図であり、上方への変位を制限する面のみをスペーサ１３に形成した場合を示す。It is a figure which shows a modification, and shows the case where only the surface which restrict | limits an upward displacement is formed in the spacer 13. FIG. ブレード１１０の変位を制限する凸部１３ａが形成されたスペーサ１３を示す図である。It is a figure which shows the spacer 13 in which the convex part 13a which restrict | limits the displacement of the braid | blade 110 was formed.

符号の説明Explanation of symbols

１：ポンプ本体、１３：スペーサ、１３ａ：凸部、２０：回転体、２１：回転翼、２２：回転円筒部、１０：ベース、１１：固定翼、１２固定円筒部、１１０：ブレード、１１１：内周側リブ、１１２：外周側リブ、１１３：支持部、Ｓ１，Ｓ２：隙間、１３０〜１３３：面   1: pump body, 13: spacer, 13a: convex portion, 20: rotating body, 21: rotating blade, 22: rotating cylindrical portion, 10: base, 11: fixed blade, 12 fixed cylindrical portion, 110: blade, 111: Inner peripheral rib, 112: outer peripheral rib, 113: support, S1, S2: gap, 130-133: surface

Claims (4)

回転翼と、半割れ式リブに支持部を介して支持された複数のブレードを有する固定翼と、前記リブを挟持して前記固定翼を前記回転翼に対して所定位置に保持する一対の保持部材とを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ブレードの排気上流側に設けられて、前記ブレードの排気上流側への変位を制限する制限部を前記保持部材に形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 A rotating blade, a fixed blade having a plurality of blades supported by a half-cracked rib via a support portion, and a pair of holding members that sandwich the rib and hold the fixed blade in a predetermined position with respect to the rotating blade In a turbomolecular pump comprising a member,
A turbo-molecular pump, characterized in that a limiting portion that is provided on the exhaust upstream side of the blade and restricts the displacement of the blade to the exhaust upstream side is formed in the holding member. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ブレードの排気下流側に設けられて、前記ブレードの変位を制限する第２の制限部を前記保持部材に形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 The turbo-molecular pump according to claim 1,
A turbo-molecular pump, characterized in that a second restricting portion that is provided on the exhaust downstream side of the blade and restricts the displacement of the blade is formed in the holding member. 請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記リブを挟持した前記一対の保持部はそれらの間に隙間を形成し、その隙間に前記ブレードの外周部が収納されることを特徴とするターボ分子ポンプ。 The turbo-molecular pump according to claim 2,
The turbo-molecular pump, wherein the pair of holding portions sandwiching the ribs forms a gap between them, and the outer peripheral portion of the blade is accommodated in the gap. 請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、
排気上流側および排気下流側に設けられた制限部により前記ブレードを挟持して、前記ブレードに回転軸方向の予圧を与えることを特徴とするターボ分子ポンプ。 The turbo molecular pump according to claim 2 or 3,
A turbo molecular pump characterized in that the blade is sandwiched by restricting portions provided on an exhaust upstream side and an exhaust downstream side to apply a preload in the rotation axis direction to the blade.
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