JP2008128778A

JP2008128778A - 弾性表面波センサ

Info

Publication number: JP2008128778A
Application number: JP2006312999A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kogai; 崇小貝; Hiromi Yatsuda; 博美谷津田
Original assignee: Japan Radio Co Ltd
Current assignee: Japan Radio Co Ltd
Priority date: 2006-11-20
Filing date: 2006-11-20
Publication date: 2008-06-05
Anticipated expiration: 2026-11-20
Also published as: JP4870530B2

Abstract

【課題】省スペース化、又は、検体の均一な撹拌、のうち少なくとも一つが改善された弾性表面波センサを実現する。
【解決手段】弾性表面波センサ１ａは、圧電性基板１０ａと、圧電性基板１０ａの表面上に弾性表面波１００ａの送信を行う送信用電極部２０ａと、圧電性基板１０ａの表面上を伝搬する弾性表面波１００ａの受信を行う受信用電極部３０ａと、送信用電極部２０ａ及び受信用電極部３０ａの間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域４０ａと、を備えている。送信用電極部２０ａ又は受信用電極部３０ａに弾性表面波１００ａを励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号が入力される。これによって励振されたバルク波２００ａにより検出領域４０ａが振動され、検出領域４０ａに導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体が撹拌される。
【選択図】図１

Description

本発明は、検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波（SAW：Surface Acoustic Wave）の伝搬特性が変化する弾性表面波センサに関する。

弾性表面波センサは、液体又は液体中に含まれる検体（検査対象となる物質）を検査（又は成分分析）するためのセンサである。弾性表面波センサは、圧電性基板の表面上に弾性表面波を送受信するための電極部を備えており、圧電性基板の表面を伝搬する弾性表面波の伝搬特性が、その圧電性基板（の弾性表面波の伝搬路）の表面の状態に応じて変化する、という特性を利用したセンサである。このような、弾性表面波センサは、環境、食品、医療等の様々な分野で用いられている。

例えば、生体センサの分野では、弾性表面波の伝搬路上に抗体層を形成したセンサが用いられている。このようなセンサは、抗体層に抗原溶液が導入されると、抗原抗体反応により抗原を捕集する。弾性表面波センサは、抗原溶液の導入前後で圧電性基板の表面を伝搬する弾性表面波の伝搬特性が変化する。このため、その溶液の導入前後の弾性表面波の伝搬特性の変化を検出することより、捕集された抗原の量や溶液中の抗原の密度を検出することができる。

また、このような生体センサの分野では、前述したような抗原抗体反応の促進のために、撹拌用の弾性表面波を利用して、検出領域内に導入された抗原溶液を撹拌するという構成が提案されている（特許文献１）。

特開２００６−２２６９４２号公報

特許文献１（の実施形態３）で提案された構成は、検査用の弾性表面波を発生させる電極部に加え、さらに、撹拌用の弾性表面波を発生させるための電極部を圧電性基板表面上に備えている。このため、特許文献１にて提案された構成は、その省スペース化といった点において改善の余地がある。

さらに、特許文献１にて提案された構成では、撹拌対象となる抗原溶液に対して（圧電性基板の）水平方向から振動を加えている。このため撹拌する際に抗原溶液が偏ってしまい、均一に撹拌するという点において改善の余地がある。そこで、本発明では、上述した課題のうち少なくとも一つを改善することを目的とする。

本発明は、検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、圧電性基板と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、を備え、前記送信用電極部又は受信用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする。

また、本発明では、前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部を備え、前記送信用電極部又は受信用電極部と、グランド用電極部と、の間の圧電効果により発生する厚み振動により、前記検出領域を振動させることが望ましい。

また、本発明では、前記検出領域に形成された撹拌用電極部を備え、前記撹拌用電極部と、前記送信用電極部又は受信用電極部と、が接続され、前記送信用電極部又は受信用電極部を介して供給される前記撹拌用信号によって前記撹拌用電極部と前記グランド用電極部との間で発生する厚み振動により前記検出領域を振動させることが望ましい。

また、本発明は、検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、圧電性基板と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、前記検出領域に形成された撹拌用電極部と、前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、を備え、前記撹拌用電極部及びグランド用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする。

また、本発明は、検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、圧電性基板と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、前記検出領域を２つの電極部で挟むよう形成された撹拌用電極部と、前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、を備え、前記撹拌用電極部及びグランド用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする。

また、本発明では、前記撹拌用信号は、複数の周波数の信号であることが望ましい。

また、本発明では、前記撹拌用信号は、その周波数が可変であることが望ましい。

本発明によれば、省スペース化、又は、検体の均一な撹拌、のうち少なくとも一つが改善された弾性表面波センサを実現することができる。

以下、本実施形態に係る弾性表面波センサについて、図面を用いて詳細に説明する。図１〜６は、本実施形態に係る弾性表面波センサの構成を示す図である。なお、本実施形態に係る弾性表面波センサは、Ｃ反応性タンパク（抗原）を捕集するバイオセンサに適用されているものとする。

「第１の実施形態」
図１は、第１の実施形態に係る弾性表面波センサ１ａの構成を示す図である。図１に示す弾性表面波センサ１ａは、圧電性基板１０ａと、送信用電極部２０ａと、受信用電極部３０ａと、検出領域４０ａと、を備えている。

圧電性基板１０ａは、後述する送信用電極部２０ａにより弾性表面波が励振される基板であり、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ランガサイト等の圧電性素材により形成されている。

送信用電極部２０ａは、圧電性基板１０ａの表面上に櫛歯状のパターンで形成された金属電極部である。この送信用電極部２０ａは、所定の周波数（例えば２５０ＭＨｚ）の検出用信号の入力により圧電性基板１０ａの表面上に弾性表面波１００ａを励振（送信）する。この弾性表面波１００ａは、横波型弾性表面波（SH-SAW：Shear Horizontal - Surface Acoustic Wave）である。

受信用電極部３０ａは、圧電性基板１０ａの表面上に櫛歯状のパターンで形成された金属電極部である。この受信用電極部３０ａは、圧電性基板１０ａの表面上を伝搬する弾性表面波１００ａに応じた電気的な信号（検出用信号）を出力する。

後述するように、この送信用電極部２０ａ（又は受信用電極部３０ａ）には、前述した弾性表面波１００ａを励振するための信号の周波数とは異なる周波数（例えば４００ＭＨｚ）の撹拌用信号が入力される。これにより検出用信号とは異なるモードの振動を発生させることができる。また、撹拌用信号は、弾性表面波を励振させるための信号とは周波数が異なるため、弾性表面波の伝搬特性の取得には影響を与えずに、圧電性基板１０ａ（の検出領域４０ａ）を振動させることができる。

検出領域４０ａは、反応場電極部４１ａと、抗体層４３ａと、を有している。この反応場電極部４１ａは、金等により形成されている。また、抗体層４３ａは、自己組織化膜（例えばシステアミン及びグルタルアルデヒド等）を介して、反応場電極部４１ａと結合している。この検出領域４０ａには、後述するように、検体である液体又は検体となる物質を含む液体（例えばＣ反応性タンパクを含む溶液）が導入される。

次に、図１に示す弾性表面波センサ１ａの動作について説明する。弾性表面波センサ１ａは、図示しない信号発生器により送信用電極部２０ａに所定の周波数（例えば２５０ＭＨｚ）の検出用信号が入力されると、圧電性基板１０ａの表面上に弾性表面波（SH-SAW）１００ａを励振する。

このように励振された弾性表面波１００ａは、圧電性基板１０ａ上を伝搬して検出領域４０ａを介して受信用電極部３０ａにて受信され出力される。送信用電極部２０ａに入力した検出用信号と、受信用電極部３０ａから出力された検出用信号と、を比較することにより、送信用電極部２０ａから受信用電極部３０ａまでの検出用信号の伝搬特性（例えば位相等）が取得される。

次に、検体である抗原を含む溶液（Ｃ反応性タンパクを含む溶液）が検出領域４０ａに導入される。検出領域４０ａに形成された抗体層４３ａは、抗原抗体反応により、導入された溶液から抗原を捕集する。また、このように捕集された抗原により、検出領域４０ａの表面の状態が変化する。

このとき、弾性表面波センサ１ａでは、撹拌用信号発生器５０ａにより送信用電極部２０ａに、前述した弾性表面波１００ａを励振するための検出用信号の周波数とは異なる周波数（例えば４００ＭＨｚ）の撹拌用信号が入力される。撹拌用信号が入力された送信用電極部２０ａは、圧電性基板１０ａに前述した弾性表面波１００ａとは異なる圧電振動を励振する（バルク波２００ａを励振させる）。

このように励振されたバルク波２００ａは、圧電性基板１０ａ内を伝搬して検出領域４０ａを振動させる。このような振動により、検出領域４０ａに導入された抗原を含む溶液が撹拌され、抗体層４３ａにおける抗原抗体反応が促進される。なお、撹拌用信号の周波数は、圧電性基板１０ａに圧電振動（バルク波２００ａ）を励振させ、検出領域４０ａを振動させるものであれば何でもよい。また、撹拌用信号の周波数は、圧電性基板１０ａにレーリータイプの弾性表面波を励振させ、検出領域４０ａを励振させるものとしてもよい。

そして、所定の時間、撹拌したのち（抗原を捕集したのち）に、前述したのと同様に、図示しない信号発生器により送信用電極部２０ａに所定の周波数（例えば２５０ＭＨｚ）の検出用信号が入力され、送信用電極部２０ａから受信用電極部３０ａまでの検出用信号の伝搬特性（例えば位相等）が取得される。そして、溶液の導入前後の伝搬特性の変化を検出することにより、捕集された抗原の量や溶液中の抗原の密度が検出される。また、送信用電極部２０ａに検出用信号と撹拌用信号を同時に入力し、撹拌しながら伝搬特性変化を検出することもできる。

このように、本実施形態に係る弾性表面波センサ１ａは、送信用電極部２０ａに弾性表面波１００ａを励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して検出領域４０ａを振動させることにより、検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌する。これにより、撹拌用信号を励振するための電極部を新たに設けることなく弾性表面波センサの省スペース化を実現することができる。

また、前述した、撹拌用信号は、受信用電極部３０ａに入力してもよいし、送信用電極部２０ａ及び受信用電極部３０ａの両方に入力してもよい。これにより、検出領域４０ａに導入された溶液を均一に撹拌することができる。なお、前述した撹拌用信号は、検出用信号の周波数と異なる周波数の信号であれば何でもよいが、前述した圧電性基板の素材や形状又は送受信用電極部の形状に合わせて検出領域４０ａを効率良く振動させるものが望ましい。また、撹拌用信号は、複数の周波数の信号を入力してもよいし、その周波数を可変させて入力してもよい。これにより、より多くの振動モードを発生させて、例えば、検出領域に導入された検体を含む溶液に分子量の異なる生体材料が混在する場合などに効率よく撹拌することができる。

「第２の実施形態」
次に、図２を用いて、第２の実施形態に係る弾性表面波センサ１ｂについて説明する。なお、第１の実施形態と同じ又は同様の構成については同様の符号をつけるものとし、その説明を省略する。

図２に示す弾性表面波センサ１ｂは、新たに、圧電性基板１０ｂの裏面上にグランド用電極部６０ｂを備えている。このグランド用電極部６０ｂは、金（Ａｕ）等により形成されているのが望ましいが、導電性接着剤等により基板裏面をパッケージグランド等に導通させる等、圧電性基板１０ｂに付着して通電するものであれば何でもよい。

次に、図２に示す弾性表面波センサ１ｂの動作について説明する。弾性表面波センサ１ｂは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、抗原を含む溶液の導入前後の弾性表面波１００ｂの伝搬特性が取得される。また、弾性表面波センサ１ｂは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、検出領域４０ｂに導入された抗原を含む溶液を撹拌する。この弾性表面波センサ１ｂでは、送信用電極部２０ｂと、グランド用電極部６０ｂと、の間の圧電効果により発生する厚み振動波２００ｂにより検出領域４０ｂを振動させる。

なお、厚み振動波２００ｂを発生させるために送信用電極部２０ｂに入力される撹拌用信号の周波数ｆは、
ｆ＝ｖ／２ｈ
により設定することができる。ここで、ｖ：厚み振動する縦波の音速、ｈ：圧電性基板１０ｂの厚み、である。

このように、本実施形態に係る弾性表面波センサは、圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部を備え、振動は、送信用電極部又は受信用電極部と、グランド用電極部と、の間の圧電効果により発生する厚み振動である。これにより、本実施形態に係る弾性表面波センサは、省スペース化及び均一な撹拌を実現することができる。

「第３の実施形態」
次に、図３を用いて、第３の実施形態に係る弾性表面波センサ１ｃについて説明する。なお、第１及び第２の実施形態と同じ又は同様の構成については同様の符号をつけるものとし、その説明を省略する。

図３に示す弾性表面波センサ１ｃは、検出領域４０ｃに撹拌用電極部４１ｃが形成されている（なお、この撹拌用電極部４１ｃは、反応場電極部も兼ねている）。また、この撹拌用電極部４１ｃは、送信用電極部２０ｃと接続されている。

次に、図３に示す弾性表面波センサ１ｃの動作について説明する。弾性表面波センサ１ｃは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、抗原を含む溶液の導入前後の弾性表面波１００ｃの伝搬特性が取得される。また、弾性表面波センサ１ｃは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、検出領域４０ｃに導入された抗原を含む溶液を撹拌する。

この弾性表面波センサ１ｃは、送信用電極部２０ｃを介して供給される撹拌用信号により、撹拌用電極部４１ｃとグランド用電極部６０ｃとの間で厚み振動する。これにより検出領域４０ｃに導入された抗原を含む溶液が撹拌される。

このように、本実施形態に係る弾性表面波センサは、検出領域に形成された撹拌用電極部を備え、撹拌用電極部と、前記送信用電極部又は受信用電極部と、が接続され、撹拌用電極部は、送信用電極部を介して供給された撹拌用信号によりグランド用電極部との間で厚み振動する。これにより、本実施形態に係る弾性表面波センサは、省スペース化及び均一な撹拌を実現することができる。

「第４の実施形態」
次に、図４を用いて、第４の実施形態に係る弾性表面波センサ１ｄについて説明する。なお、第１〜第３の実施形態と同じ又は同様の構成については同様の符号をつけるものとし、その説明を省略する。

図４に示す弾性表面波センサ１ｄは、検出領域４０ｄに撹拌用電極部４１ｄが形成されている（なお、この撹拌用電極部４１ｄは、反応場電極部も兼ねている）。また、弾性表面波センサ１ｄは、圧電性基板１０ｄの裏面上に形成されたグランド用電極部６０ｄを備えている。この弾性表面波センサ１ｄが第１〜第３の実施形態に係る弾性表面波センサ１ａ〜１ｃと異なる点は、撹拌用電極部４１ｄに、直接、撹拌用信号を入力する点である。

次に、図４に示す弾性表面波センサ１ｄの動作について説明する。弾性表面波センサ１ｄは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、抗原を含む溶液の導入前後の弾性表面波１００ｄの伝搬特性が取得される。また、弾性表面波センサ１ｄは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、検出領域４０ｄに導入された抗原を含む溶液を撹拌する。

この弾性表面波センサ１ｄは、撹拌用電極部４１ｄに供給される撹拌用信号により、撹拌用電極部４１ｄとグランド用電極部６０ｄとの間で厚み振動する。これにより検出領域４０ｄに導入された抗原を含む溶液が撹拌される。なお、本実施形態に係る撹拌用電極部４１ｄは、図５に示すように、櫛歯状のものであってもよい。

このように、本実施形態に係る弾性表面波センサは、検出領域に形成された撹拌用電極部と、圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、を備え、撹拌用電極部及びグランド用電極部に弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して検出領域を振動させる。これにより、本実施形態に係る弾性表面波センサは、省スペース化及び均一な撹拌を実現することができる。

「第５の実施形態」
次に、図６を用いて、第５の実施形態に係る弾性表面波センサ１ｆについて説明する。なお、第１〜第４の実施形態と同じ又は同様の構成については同様の符号をつけるものとし、その説明を省略する。

図６に示す弾性表面波センサ１ｆは、グランド用電極部６０ｆと、撹拌用電極部７０ｆと、を備えている。この撹拌用電極部７０ｆは、検出領域４０ｆを、２つの電極部で挟むよう形成されている。このように撹拌用電極部７０ｆを、２つの電極部で挟むよう形成することにより、後述するように、検出領域４０ｆに導入された抗原を含む溶液を均一に撹拌することができる。また、グランド用電極部６０ｆは、圧電性基板１０ｆの裏面上に形成されている。

次に、図６に示す弾性表面波センサ１ｆの動作について説明する。弾性表面波センサ１ｆは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、抗原を含む溶液の導入前後の弾性表面波１００ｆの伝搬特性が取得される。また、弾性表面波センサ１ｆは、前述した弾性表面波センサ１ａと同様に、検出領域４０ｆに導入された抗原を含む溶液を撹拌する。

この弾性表面波センサ１ｆは、撹拌用電極部７０ｆに供給される撹拌用信号により、撹拌用電極部７０ｆとグランド用電極部６０ｆとの間で厚み振動する。これにより検出領域４０ｆに導入された抗原を含む溶液が撹拌される。また、撹拌用電極部７０ｆが検出領域４０ｆを挟むよう形成されているため、検体を均一に撹拌することができる。

このように、本実施形態に係る弾性表面波センサは、検出領域を２つの電極部で挟むよう形成された撹拌用電極部と、圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、を備え、撹拌用電極部及びグランド用電極部に弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して検出領域を振動させる。これにより、検体を均一に撹拌することができる。

第１の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。第２の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。第３の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。第４の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。第４の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。第５の実施形態に係る弾性表面波センサの構成を表す図である。

符号の説明

１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ弾性表面波センサ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ圧電性基板、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ送信用電極部、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆ受信用電極部、４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆ検出領域。

Claims

検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、
圧電性基板と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、
前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、
を備え、
前記送信用電極部又は受信用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする弾性表面波センサ。
請求項１に記載の弾性表面波センサであって、
前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部を備え、
前記送信用電極部又は受信用電極部と、グランド用電極部と、の間の圧電効果により発生する厚み振動により、前記検出領域を振動させることを特徴とする弾性表面波センサ。
請求項２に記載の弾性表面波センサであって、
前記検出領域に形成された撹拌用電極部を備え、
前記撹拌用電極部と、前記送信用電極部又は受信用電極部と、が接続され、
前記送信用電極部又は受信用電極部を介して供給される前記撹拌用信号によって前記撹拌用電極部と前記グランド用電極部との間で発生する厚み振動により前記検出領域を振動させることを特徴とする弾性表面波センサ。
検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、
圧電性基板と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、
前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、
前記検出領域に形成された撹拌用電極部と、
前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、
を備え、
前記撹拌用電極部及びグランド用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする弾性表面波センサ。
検体である液体又は液体中に含まれる検体に応じて弾性表面波の伝搬特性が変化する弾性表面波センサであって、
圧電性基板と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の送信を行う送信用電極部と、
前記圧電性基板の表面上に所定のパターンで形成され、前記弾性表面波の受信を行う受信用電極部と、
前記送信用電極部及び受信用電極部の間に形成され、検体である液体又は検体となる物質を含む液体が導入される検出領域と、
前記検出領域を２つの電極部で挟むよう形成された撹拌用電極部と、
前記圧電性基板の裏面上に形成されたグランド用電極部と、
を備え、
前記撹拌用電極部及びグランド用電極部に前記弾性表面波を励振するための信号の周波数とは異なる周波数の撹拌用信号を入力して前記検出領域を振動させることにより、前記検出領域に導入された検体である液体又は液体中に含まれる検体を撹拌することを特徴とする弾性表面波センサ。
請求項１から５のいずれか１項に記載の弾性表面波センサであって、
前記撹拌用信号は複数の周波数の信号であることを特徴とする弾性表面波センサ。
請求項１から６のいずれか１項に記載の弾性表面波センサであって、
前記撹拌用信号はその周波数が可変であることを特徴とする弾性表面波センサ。