JP2008107321A - Flowmeter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体、液晶、医療、食品等の製造工程において使用される純水や薬液等の流体の流量を計測する流量計に関する。 The present invention relates to a flowmeter that measures the flow rate of a fluid such as pure water or a chemical solution used in the manufacturing process of semiconductors, liquid crystals, medicines, foods and the like.
図7は下記の非特許文献1に開示されている従来の流量計の内部構造を示した断面図である。図示した流量計50は面積式の流量計であって、ボディ51、アダプタ52、ニードルバルブ53、シリンダ54、ガイドポール55、フロート56、ストッパ57、キャップ58、パッキン59の各部品を備えて構成されている。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the internal structure of a conventional flow meter disclosed in Non-Patent Document 1 below. The illustrated
ボディ51の側面には上流配管に接続される導入口61と下流配管に接続される排出口62が開口しており、導入口61と排出口62にはそれぞれパッキン59を介して配管接続用のアダプタ52がねじ込み接続されている。また、導入口61の対向面にはバルブ孔63が開口しており、バルブ孔63に挿入されたニードルバルブ53はパッキン59を介してシリンダ54をねじ込むことにより装着されている。
An
ボディ51の内部には導入口61と排出口62を連通させる流体通路64が設けられており、この流体通路64は上流側から下流側に向かって次第に内径を拡大させたテーパ型に形成されている。流体通路64の中心にはガイドポール55が立設されており、このガイドポール55に沿ってフロート56が昇降自在に装着され、フロート56はボディ51の上下に固定されたストッパ57,57により抜け止めされている。なお、ボディ51の上下端面には流体通路64を加工した際の加工孔65,65が開口しているが、この加工孔65もまたパッキン59を介してキャップ58をねじ込むことにより密閉されている。
A
この流量計50によれば、導入口61から流体通路64に導入された流体はフロート56とボディ51の隙間を通過する際に絞られるので、フロート56を中心にした上流側と下流側との間で圧力の差が生じる。このため、流体通路64を通過する流体の差圧に応じてフロート56がガイドポール55に沿って上下に移動し、差圧が均衡したところで停止する。したがって、フロート56が停止した位置においてボディ51に表示された流量目盛(図示略)を読み取ることにより流量を計測できるようになっている。
According to this
ところで、このような従来の流量計については以下のような問題があった。 By the way, such a conventional flow meter has the following problems.
まず、部品の成形段階において、ボディ51に導入口61、排出口62、バルブ孔63及び加工孔65を形成するが、これらの孔には付属部品をねじ接続するための雌ねじ部を加工する必要があり、付属部品であるアダプタ52、シリンダ54、キャップ58にも接続用の雄ねじ部を形成する必要がある。すなわち、ボディ51やその他の付属部品について特殊なねじ切り加工を行う必要があるので、旋盤等の工作機械に専門の作業者を配置しなければならず、人件費が嵩んで部品の単価が高くなるとともに、自動生産を妨げる要因になっていた。
First, in the component molding stage, the
また、製品の組立段階においても、作業者がボディ51に付属部品を接続する作業を手締めで実施しているため、ねじ部の締付トルク値を適性に管理しなければならず、熟練した技量を必要としていた。
In addition, in the product assembly stage, since the operator manually performs the operation of connecting the accessory parts to the
このように従来の流量計50によると、ボディ51と付属部品をねじ込み接続によって組立てる構造を採用していたため、部品の単価が高く、しかも組立作業に熟練した技量が必要で工数も多くなってしまい、このことにより製品の製造コストが大幅に増大するという問題があった。
Thus, according to the
なお、下記の特許文献1には、図7に示した流量計と同様に、ねじ込み接続方式による構造の流量計が開示されている。 Incidentally, Patent Document 1 below, as in the flow meter shown in FIG. 7, flowmeter structure is disclosed by screwing connection method.
本発明は上記のような問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、従来のねじ込み接続方式による組立構造を廃止し、製品の製造コストを大幅に低減することができる流量計を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and the object of the present invention is to eliminate the assembly structure based on the conventional screw-in connection method and greatly reduce the manufacturing cost of the product. To provide a flow meter.
上記の目的を達成するため、本発明の流量計は、流体を導入する導入口と、導入された流体を排出する排出口が開口され、導入口と排出口を連通させる流体通路が形成されたボディと、上記ボディの流体通路内を通過する流体の流量を計測する流量計測手段と、上記ボディの導入口と排出口にそれぞれ嵌め込まれた配管接続用のアダプタと、上記アダプタを上記ボディに圧着固定する固定手段と、を備え、上記固定手段は、上記ボディの外形を囲むケースを備え、上記ケースには上記アダプタを挿入する挿入孔が形成されており、上記ケースの挿入孔に上記アダプタを挿入し、上記ケースを上記ボディに嵌め込んで固定する構造であることを特徴とする。 In order to achieve the above object, in the flowmeter of the present invention, an introduction port for introducing a fluid and a discharge port for discharging the introduced fluid are opened, and a fluid passage that connects the introduction port and the discharge port is formed. A body, flow rate measuring means for measuring the flow rate of the fluid passing through the fluid passage of the body, adapters for connecting pipes respectively fitted to the inlet and the outlet of the body, and crimping the adapter to the body Fixing means for fixing, and the fixing means includes a case surrounding the outer shape of the body, and the case has an insertion hole for inserting the adapter, and the adapter is inserted into the insertion hole of the case. It is a structure which inserts and the said case is engage | inserted and fixed to the said body .
また、本発明において、上記固定手段は、上記ケースの一部に前方後円形状の鍵孔が形成され、上記ボディの対応箇所には直線部と円弧部からなる扁平楕円形のストッパが回動可能に設けられており、上記ストッパの直線部を上記鍵孔の前方部に沿って後円部内に進入させ、上記ストッパを回して円弧部を上記鍵孔の後円部に沿って回転させると上記ストッパが上記鍵孔内にロックされるロック機構を備えていると、嵌め込まれたケースがボディに確実に固定されるので好ましい。 Further, in the present invention, the fixing means has a front rear circular key hole formed in a part of the case, and a flat elliptical stopper composed of a straight portion and an arc portion rotates at a corresponding portion of the body. When the straight portion of the stopper is inserted into the rear circle portion along the front portion of the key hole and the stopper is turned, the arc portion is rotated along the rear circle portion of the key hole. It is preferable that the stopper includes a lock mechanism that is locked in the key hole because the fitted case is securely fixed to the body.
また、本発明の流量計は、上記ボディの導入口から流体通路内に導入される流体の流量を調節するバルブと、バルブに一体化されたシリンダをさらに備え、上記シリンダの後部に止め輪を嵌め込むことによって上記ボディにシリンダが圧着固定されていることを特徴とする。 The flowmeter of the present invention further includes a valve for adjusting the flow rate of the fluid introduced from the inlet of the body into the fluid passage, and a cylinder integrated with the valve, and a retaining ring is provided at the rear of the cylinder. The cylinder is crimped and fixed to the body by fitting.
さらに、本発明の流量計において、上記流量計測手段は、上記ボディが導入口から排出口に向かって流体通路の内径を拡大させたテーパ管であり、流体通路内に収容されたフロートが流体の差圧に応じて往復動作することによって流量を計測するように構成することができる。 Furthermore, in the flowmeter of the present invention, the flow rate measuring means is a tapered tube in which the body expands the inner diameter of the fluid passage from the introduction port toward the discharge port, and the float accommodated in the fluid passage is made of a fluid. The flow rate can be measured by reciprocating according to the differential pressure.
なお、上記のようにフロート式の流量計測手段を採用した場合には、上記フロートにマグネットが内蔵され、上記ボディの外部から上記フロートの位置を検出する磁気センサが取り付けられている構成を採用することも可能である。 When the float type flow rate measuring means is employed as described above, a configuration is adopted in which a magnet is incorporated in the float and a magnetic sensor for detecting the position of the float from the outside of the body is attached. It is also possible.
本発明の流量計によれば、ボディと付属部品の接続構造として従来のねじ込み方式を廃止し、ケースによる嵌め込み方式を採用した。このため、部品の成形段階においてボディや付属部品に特殊なねじ切り加工が不要になるので、部品を成形するのに際し自動生産が可能になるとともに、部品の単価を下げることができる。また、製品の組立段階においてもねじ部の締付トルク値管理のような技量が必要なく、構造が簡素化されて工数も削減される。したがって、製品の製造コストを大幅に低減することができるという効果が得られる。 According to the flowmeter of the present invention, the conventional screwing method is abolished as a connection structure between the body and the accessory, and a fitting method using a case is adopted. This eliminates the need for special threading on the body and accessory parts at the part molding stage, enabling automatic production when molding the parts and reducing the unit cost of the parts. In addition, in the product assembly stage, no skill is required for managing the tightening torque value of the screw portion, the structure is simplified and the number of man-hours is reduced. Therefore, the effect that the manufacturing cost of a product can be reduced significantly is acquired.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の流量計の外観を示した正面図、図2は同流量計の内部構造を示した断面図、図3と図4は同流量計の組立時の状態を示す説明図である。 FIG. 1 is a front view showing the appearance of the flow meter of the present invention , FIG. 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the flow meter, and FIGS. 3 and 4 are explanatory views showing the state of the flow meter when assembled. is there.
図1及び図2に示したように、本実施形態の流量計30は面積式の流量計であって、ボディ31、アダプタ32、ニードルバルブ33、シリンダ34、ケース35、フロート36、底部キャップ37、上部キャップ38、パッキン39、CR形止め輪40の各部品を備えて構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2 , the
ボディ31は透明なアクリル樹脂からなり、その側面には上流配管から流体を導入する導入口41と、下流配管へと流体を排出する排出口42が開口しているが、この導入口41と排出口42には従来のような雌ねじ部は形成されていない。導入口41と排出口42には後述する接続構造によって配管接続用のアダプタ32が接続される。また、導入口41の対向面にはバルブ孔43が開口しているが、このバルブ孔43にも従来のような雌ねじ部は形成されていない。バルブ孔43にはニードルバルブ33が装着され、導入口41から導入する流体の流量を調節できるようになっている。
The
ボディ31の内部には導入口41と排出口42を連通させる流体通路44が形成されており、この流体流路44は外部から目視できるようになっていて、流体通路44を通過する流体の流量を計測する流量計測手段が設けられている。この流量計測手段として、本実施形態ではボディ31を導入口41から排出口42に向かって次第に流体通路44の内径を拡大させたテーパ管構造とし、流体通路44の内部にステンレス鋼からなる円錐形のフロート36が収容されている。フロート36は流体通路44の上流側にボディ31と一体成形された整流板31cと下流側に装着された上部キャップ38とにより抜け止めされており、図7に示した従来のものと比べてストッパ57の個数を減らし、ガイドポール55を省略することによって部品点数の削減を図っている。
A
次に、ボディ31と付属部品の接続構造を説明する。この流量計30においてはボディ31と付属部品の接続構造として、以下のようなケース35を用いた嵌め込み式の固定手段を採用している。
Next, the connection structure between the
導入口41と排出口42には配管接続用のアダプタ32が接続されるが、このアダプタ32は強度や弾性率に優れたPOM樹脂からなり、円筒状の本体部の底面に凹部が形成されている。一方、導入口41と排出口42はそれぞれアダプタ32の凹部に嵌合する凸部が形成され、この凸部の外周にパッキン39が装着されている。
A
バルブ孔43にはニードルバルブ33が装着されるが、このニードルバルブ33の外周にはシリンダ34が固着される。シリンダ34は耐久性に優れたステンレス鋼からなり、大径の本体部と小径の挿入部とにより構成されている。シリンダ34の本体部の外周には溝部が形成され、この溝部にパッキン39が装着されている。
A
ボディ31の上下端面には流体通路44を加工した際の加工孔45,45が開口しているが、この加工孔45はPOM樹脂製の底部キャップ37と上部キャップ38とにより塞がれている。なお、上記のアダプタ32、シリンダ34、底部キャップ37、上部キャップ38の各接続部品には、図7に示した従来のアダプタ52、シリンダ54、キャップ58のような雌ねじ部は形成されていない。
Processing holes 45 and 45 are formed in the upper and lower end surfaces of the
一方、ケース35は機械的強度に優れたABS樹脂等の合成樹脂を射出成形や押出成形によりボディ31の外形を取り囲むように形成したものであり、本実施形態ではボディ31の正面以外、つまり上面、底面、背面、左右両側面のすべての面を覆う箱型の形状を有している。また、ケース35の背面にはホールICセンサを取り付けるためのセンサ取付孔35aが設けられており、アダプタ対応箇所にはアダプタ32の本体部に合わせたアダプタ挿入孔35bが開口し、ケース35の上面及び底面のキャップ対応箇所には図示したような前方後円形状の鍵孔35cが形成されている。
On the other hand, the
そして、製品の組立時には、図3に示すようにまずボディ31の導入口41と排出口42の凸部にそれぞれアダプタ32,32の凹部を嵌め込んで固定し、バルブ孔43にニードルバルブ33を挿入した後シリンダ34を差し込んで固定する。ここで、シリンダ34の挿入部を裏面(矢印B方向)から見ると図のように上下に平行な切欠部34aが設けられており、これに対応するバルブ孔43に設けられた平行な取付部43aに切欠部34aを嵌合させることでシリンダ34が回り止めされる。また、シリンダ34の後から金属製のCR形止め輪40を挿入し、専用工具で押し込むことによりシリンダ34が止め輪によって抜け止めされ、ニードルバルブ33に摘み部33aを取り付けることによってバルブ孔43にニードルバルブ33が装着される。
When the product is assembled, as shown in FIG. 3 , the concave portions of the
次に、ボディ31の底面の加工孔45に底部キャップ37を差し込んで密閉するとともに、ボディ31の上面の加工孔45から流体通路44の内部にフロート36を挿入し、加工孔45に上部キャップ38を差し込んで密閉する。ここで、上部キャップ38は軸部に上下の円板を一体化した二重円板構造になっており、下側の円板を裏面(矢印D方向)から見ると図のように円周方向に等間隔で整流孔38a,38a,…が形成されている。また、ボディ31と一体成形された整流板31cにも円周方向に等間隔で整流孔31a,31a,…が形成されている。これにより、導入口41から排出口42へと流れる流体が乱流を起こさず均等に流れるようになっている。
Next, the
また、上部キャップ38の裏面の中心位置にはガイドポール挿入孔38bが形成されており、これと対向する整流板31cの中心位置にも同様にガイドポール挿入孔31bが形成されている。したがって、ガイドポール挿入孔38bと31bにガイドポールの両端部を挿入することによってフロート36をガイドポールで支持することも可能である。
Further, a guide
そして、上記のようにボディ31に各付属部品を接続した後、図4に示すようにボディ31にケース35を装着する。その装着方法は、まず同図(a)のようにボディ31の背面側からケース35をスライド移動させ、ケースのアダプタ挿入孔35b,35bをアダプタ32,32にそれぞれ位置決めして嵌め込むようにする。また、嵌め込まれたケース35は以下のような回転式のロック機構によってボディ31に確実に固定される。
Then, after connecting each attachment to the
すなわち、上部キャップ38の上面には直線部と円弧部からなる扁平楕円形状を有するストッパ38cが回動可能に設けられており、底部キャップ37の底面にも同様なストッパ37cが設けられている。そして、上記のようにケース35をボディ31に嵌め込むことにより、同図(b)のようにストッパ38cの直線部が鍵孔35cの前方部に案内されてスライドし、後円部の内側に進入する。ここで、ストッパ38cに設けられた六角孔を六角レンチで回すと、ストッパ38cの円弧部が鍵孔35cの後円部に沿って軸心周りに回転する。そして、図のようにストッパ38cが90°回転したところで鍵孔35cの内部にロックされ、ケース35が上部キャップ38に固定される。なお、同図(c)に示すように、底部キャップのストッパ37cについても同様な操作をすることによりケース底面の鍵孔35cにロックされる。
That is, a
本実施形態の流量計30は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
The
図2に示したように、この流量計30によれば、フロート36が円錐形であり、流体通路44がテーパ型に形成されているので、フロート36が流体通路44内の導入口41側に位置しているときにはフロート36とボディ31の隙間は狭く、逆に排出口42側に位置しているときにはフロート36とボディ31の隙間が広くなる。そして、導入口41から導入された流体はその隙間を通過する際に絞られるので、フロート36を中心にした上流側と下流側との間で圧力の差が生じる。このため、流体通路44を通過する流体の差圧に応じてフロート36が流体通路44内を上下に移動し、差圧が均衡したところで停止する。したがって、図1に示したように、フロート36が停止した位置においてボディ31の正面に表示された流量目盛47を読み取ることにより流量を計測することができる。
As shown in FIG. 2 , according to the
以上説明したように、本実施形態の流量計30によれば、ボディ31と付属部品の接続構造としてケース35による嵌め込み方式を採用し、ボディ31、アダプタ32、シリンダ34、底部キャップ37、上部キャップ38の各接続部品においてねじ構造を一切廃止した。このため、部品の成形段階において部品を成形する際にねじ切り加工のような特殊な加工が不要であり、自動生産が可能になり、部品の単価を下げることができる。また、製品の組立段階においてもねじ部の締付トルク値を管理するといった技量が必要でなくなり、構造が簡素化されて工数も削減される。したがって、流量計30の製造コストを大幅に削減することができる。
As described above, according to the
また、本実施形態では、ストッパ37c,38cと鍵孔35cとによる回転式のロック機構を採用したことにより、ボディ31に対してケース35を強固に結合することができる。このため、安価なABS樹脂からなるケース35を使用することができるので、低コストで製造できるという利点がある。
Further, in the present embodiment, the
ところで、上述した実施形態の流量計30については、以下のように変形することも可能である。
By the way, the
流量計測手段を構成するフロート36について、その形状は特に限定されない。例えば図5(a)に示した流量計30Aはフロート36を円錐形にした例であり、図5(b)に示した流量計30Bはフロート36を球形にした例である。
The shape of the
また、バルブ孔43にニードルバルブ33を装着して導入流量を調節できるようにしてあるが、このようなバルブは必ずしも必要な構成ではない。例えば図5(c)に示した流量計30Cは円錐形のフロート36について、図5(d)に示した流量計30Dは球形のフロート36について、それぞれバルブを省略した例である。この場合、バルブ孔43にはキャップ46を挿入し、その後ろからCR形止め輪40を嵌め込むことによりキャップ46でバルブ孔43を塞ぐようにする。
Further, the
また、フロート36をガイドポールで案内するようにしてもよい。例えば図6(e)に示した流量計30Eはニードルバルブ33を装着した構成において、図6(f)に示した流量計30Fはニードルバルブ33を省略した構成において、それぞれ上部キャップ38のガイドポール挿入孔38bと整流板31cのガイドポール挿入孔31bにガイドポール48の両端部を挿入することによりフロート36をガイドポール48に沿って昇降自在に支持した例である。
Further, the
さらに、フロート36をガイドポール48で支持する構成の場合、フロート36の位置を磁気センサ等によって検出することもできる。例えば図6(g)に示した流量計30Gはニードルバルブ33を装着した構成において、図6(h)に示した流量計30Hはニードルバルブ33を省略した構成において、それぞれフロート36にマグネットを内蔵し、ケース35のセンサ取付孔35aからホールICセンサ49を挿入してケース35に取り付け固定することにより、ボディ31の外部から非接触でフロート36の位置を検出するようにした例である。
Further, when the
なお、本実施形態ではフロート36による面積式の流量計測手段を採用したが、これに替えて、例えば羽根車式やスクリュー式等のその他の方式の流量計測手段を採用することも可能である。
In the present embodiment, the area type flow rate measuring means using the
30 流量計
31 ボディ
31a 整流孔
31b ガイドポール挿入孔
31c 整流板
32 アダプタ
33 ニードルバルブ
33a 摘み部
34 シリンダ
34a 切欠部
35 ケース
35a センサ取付孔
35b アダプタ挿入孔
35c 鍵孔
36 フロート
37 底部キャップ
37c ストッパ
38 上部キャップ
38a 整流孔
38b ガイドポール挿入孔
38c ストッパ
39 パッキン
40 CR形止め輪
41 導入口
42 排出口
43 バルブ孔
43a 取付部
44 流体通路
45 加工孔
46 キャップ
47 流体目盛
48 ガイドポール
49 ホールICセンサ
30
Claims (5)
上記ボディの流体通路内を通過する流体の流量を計測する流量計測手段と、
上記ボディの導入口と排出口にそれぞれ嵌め込まれた配管接続用のアダプタと、
上記アダプタを上記ボディに圧着固定する固定手段と、を備え、
上記固定手段は、
上記ボディの外形を囲むケースを備え、
上記ケースには上記アダプタを挿入する挿入孔が形成されており、
上記ケースの挿入孔に上記アダプタを挿入し、上記ケースを上記ボディに嵌め込んで固定する構造である
ことを特徴とする流量計。 A body in which an introduction port for introducing a fluid, a discharge port for discharging the introduced fluid is opened, and a fluid passage that connects the introduction port and the discharge port is formed;
Flow rate measuring means for measuring the flow rate of fluid passing through the fluid passage of the body;
An adapter for pipe connection fitted into the inlet and outlet of the body,
Fixing means for crimping and fixing the adapter to the body ,
The fixing means is
A case surrounding the outer shape of the body,
The case has an insertion hole for inserting the adapter,
A flowmeter characterized by having a structure in which the adapter is inserted into an insertion hole of the case and the case is fitted and fixed to the body .
上記ケースの一部に前方後円形状の鍵孔が形成され、上記ボディの対応箇所には直線部と円弧部からなる扁平楕円形のストッパが回動可能に設けられており、
上記ストッパの直線部を上記鍵孔の前方部に沿って後円部内に進入させ、上記ストッパを回して円弧部を上記鍵孔の後円部に沿って回転させると上記ストッパが上記鍵孔内にロックされるロック機構を備えた
ことを特徴とする請求項1に記載の流量計。 The fixing means is
A front rear circular key hole is formed in a part of the case, and a flat oval stopper composed of a straight portion and an arc portion is rotatably provided at a corresponding portion of the body,
When the linear portion of the stopper enters the rear circle portion along the front portion of the key hole, and the arc portion is rotated along the rear circle portion of the key hole by turning the stopper, the stopper is moved into the key hole. The flowmeter according to claim 1 , further comprising: a lock mechanism that is locked to the flowmeter.
Priority Applications (1)
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