JP2008077879A - Transparent flexible film heater and its manufacturing method - Google Patents

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JP2008077879A JP2006253232A JP2006253232A JP2008077879A JP 2008077879 A JP2008077879 A JP 2008077879A JP 2006253232 A JP2006253232 A JP 2006253232A JP 2006253232 A JP2006253232 A JP 2006253232A JP 2008077879 A JP2008077879 A JP 2008077879A
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Tadashi Kuriki
匡志 栗城
Akira Kusuoka
亮 楠岡
Tsukasa Tokunaga
司 徳永
Ichiro Kagawa
一郎 香川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent flexible film heater having a high heat generation property, high transparency and excellent visibility at the same time, and having, in a pattern-like form, a current-carrying heat-generating metal thin wire in a transparent layer; and a manufacturing method of the transparent flexible film heater capable of easily forming a pattern, and of inexpensively manufacturing the transparent flexible film heaters in large numbers. <P>SOLUTION: This transparent flexible film heater is a heating element having a substantially transparent conductive metal pattern structure on a transparent flexible support body, and satisfies expression (1): 0.1≤E<SP>2</SP>/(L×R)≤2.0 when it is assumed that a distance between application electrodes of the heating element, resistance between electrodes of the heating element and a power voltage are L (cm), R(Ω) and E (v), respectively. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は視認性と発熱性に優れた透明フレキシブルフィルムヒーターおよびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to a transparent flexible film heater excellent in visibility and heat generation and a method for producing the same.

従来、透明フレキシブルフィルムヒーターとしてはPETなどのプラスチックベース上にITOや酸化スズ等の酸化金属系の導電性素材をスパッタなどの方法により付設したものが知られている(特許文献1〜3)が、これらは抵抗が大きいため大サイズ化した場合、総抵抗値が大きくなってしまうため高圧電源が必要となる。このためこれらの透明フレキシブルフィルムヒーターには実用的なサイズに制限があったり、昇圧トランスなどの高電圧回路が必要となるなどの制約があった。
特開昭64−38990号 特開平6−338381号 特開平6−283260号
Conventionally, as a transparent flexible film heater, one in which a metal oxide conductive material such as ITO or tin oxide is attached to a plastic base such as PET by a method such as sputtering is known (Patent Documents 1 to 3). Since these are large in resistance, when the size is increased, the total resistance value becomes large, so that a high voltage power source is required. For this reason, these transparent flexible film heaters have limitations such as a practical size limit and a high voltage circuit such as a step-up transformer.
JP-A 64-38990 JP-A-6-333881 JP-A-6-283260

本発明の目的は前述の現状に対して、電池などの低圧電源でも高発熱性(高温度上昇ΔT、高発熱効率、高耐久性)を発現する透明フレキシブル発熱フィルム、特に大サイズの透明フレキシブルフィルムヒーター及びその製造方法を提供することにある。   The object of the present invention is to provide a transparent flexible heat-generating film that exhibits high heat generation (high temperature rise ΔT, high heat generation efficiency, high durability) even with a low-voltage power source such as a battery, especially a large-sized transparent flexible film. It is to provide a heater and a manufacturing method thereof.

本発明者は鋭意研究を重ねた結果、実質的に透明な導電性金属パターン構造を有する発熱体であって、且つ下記の関係式を満たす透明フレキシブルフィルムヒーターが、必要なサイズや電源電圧に適した高発熱性を発現することを見出した。ここでいう、実質的に透明であるとは、500nmにおける光透過率が70%以上であり、本フィルムを通して見たときに観察の傷害とならないことを示す。
すなわち、本発明の目的は、下記の透明フレキシブルフィルムヒーター及びその製造方法により達成される。
As a result of extensive research, the present inventors have found that a heating element having a substantially transparent conductive metal pattern structure and a transparent flexible film heater satisfying the following relational expression is suitable for the required size and power supply voltage. It was found that high exothermicity was developed. The term “substantially transparent” as used herein means that the light transmittance at 500 nm is 70% or more, and does not cause observational damage when viewed through the film.
That is, the objective of this invention is achieved by the following transparent flexible film heater and its manufacturing method.

(1)透明フレキシブル支持体上に実質的に透明な導電性金属パターン構造を有する発熱体であって、且つ該発熱体の印加電極間の距離をL(cm)、発熱体の電極間の抵抗をR(Ω)、電源電圧をE(v)としたとき下記の式(1)を満足することを特徴とする透明フレキシブルフィルムヒーター。
0.1≦E/(L×R)≦2.0 式(1)
(2)前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が線幅50μm以下の金属細線からなる導電性金属部と、該細線部に囲まれてなる光透過性部とからなるパターン構造を有することを特徴とする上記(1)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(3)金属細線部の線幅が25μm以下であることを特徴とする、上記(2)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(4)金属細線部の線幅が0.4μm以上、50μm以下であることを特徴とする、上記(2)又は(3)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(5)金属細線部の線幅が0.4μm以上、50μm以下であって、かつ光透過性部/全フィルム面積の比率が70〜99.9%であることを特徴とする、上記(2)〜(4)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(6)前記パターン構造が四角形(正方形、菱形含む)メッシュ、六角形メッシュ、平行直線パターン、平行波線パターン、平行ジグザグパターンであることを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(7)前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成した後に圧密処理することにより形成されたものであることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(8)前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持されて形成されたものであることを特徴とする、上記(1)〜(7)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(9)前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた後に圧密処理されたものであることを特徴とする、上記(7)または(8)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(1) A heating element having a substantially transparent conductive metal pattern structure on a transparent flexible support, and the distance between the electrodes applied to the heating element is L (cm), and the resistance between the electrodes of the heating element Is a transparent flexible film heater characterized by satisfying the following formula (1) where R (Ω) is the power supply voltage and E (v) is the power supply voltage.
0.1 ≦ E 2 /(L×R)≦2.0 Formula (1)
(2) The heating element having the conductive metal pattern structure has a pattern structure including a conductive metal portion made of a fine metal wire having a line width of 50 μm or less and a light-transmitting portion surrounded by the fine wire portion. The transparent flexible film heater as described in (1) above,
(3) The transparent flexible film heater according to (2) above, wherein the line width of the fine metal wire portion is 25 μm or less.
(4) The transparent flexible film heater according to the above (2) or (3), wherein the line width of the thin metal wire portion is 0.4 μm or more and 50 μm or less.
(5) The above-mentioned (2), wherein the line width of the fine metal wire portion is 0.4 μm or more and 50 μm or less, and the ratio of the light transmitting portion / total film area is 70 to 99.9%. The transparent flexible film heater according to any one of (1) to (4).
(6) In any one of the above (1) to (5), the pattern structure is a quadrilateral (including square and rhombus) mesh, hexagonal mesh, parallel straight line pattern, parallel wave line pattern, or parallel zigzag pattern. The transparent flexible film heater as described.
(7) The heating element having the conductive metal pattern structure exposes and develops a silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on a support, and thereby a metallic silver portion and light transmittance The transparent flexible film heater according to any one of the above (1) to (6), wherein the transparent flexible film heater is formed by performing a consolidation treatment after forming the portion.
(8) The heating element having the conductive metal pattern structure exposes and develops a silver salt-containing layer containing a photosensitive silver halide provided on the support, thereby developing a metallic silver portion and a light transmitting property. The metal silver part is formed by carrying conductive metal particles by subjecting the metal part to physical development and / or plating treatment, (1) to (1) above (7) The transparent flexible film heater in any one of.
(9) The heating element having the conductive metal pattern structure exposes and develops a silver salt-containing layer containing a photosensitive silver halide provided on the support, thereby developing a metallic silver portion and a light transmitting property. And the metal part is subjected to physical development and / or plating treatment to carry conductive metal particles on the metal silver part and then compacted, (7) ) Or the transparent flexible film heater according to (8).

(10)前記ハロゲン化銀が臭化銀を主体とすることを特徴とする(7)〜(9)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(11)前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/4以上であることを特徴とする上記(7)〜(10)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(12)前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/2以上であることを特徴とする上記(7)〜(10)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(13)前記銀塩含有層に含まれるハロゲン化銀の平均球相当径が0.1〜100nmであることを特徴とする上記(7)〜(12)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(14)前記露光がレーザービームによる走査露光方式で行われることを特徴とする上記(7)〜(13)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(15)前記露光がフォトマスクを介して行われることを特徴とする上記(7)〜(14)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(16)前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液が画質向上剤を含有することを特徴とする上記(7)〜(15)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(17)前記画質向上剤が含窒素へテロ環化合物である上記(16)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(18)前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液がリス現像液であることを特徴とする上記(7)〜(17)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(19)前記現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量が、露光前の前記露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることを特徴とする上記(7)〜(18)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(20)前記メッキ処理が無電解メッキで行われることを特徴とする上記(8)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(21)前記メッキ処理が電解メッキで行われることを特徴とする上記(8)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(22)前記メッキ処理が無電解メッキ及びそれに続く電解メッキで行われることを特徴とする上記(8)、(20)又は(21)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(23)前記無電解メッキが無電解銅メッキであることを特徴とする上記(20)又は(22)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(24)前記銀塩含有層の現像処理後の階調が4.0を超えることを特徴とする上記(7)〜(23)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(25)前記導電性金属部の表面をさらに黒化処理することを特徴とする上記(1)〜(24)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(26)前記光透過性部が物理現像核を有しないことを特徴とする上記(1)〜(25)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(27)前記物理現像及び/又はメッキ処理及び/又は圧密処理後の透明フレキシブルフィルムヒーターの表面抵抗が100Ω/sq以下であり、かつ前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記(1)〜(26)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(28)前記物理現像及び/又はメッキ処理及び/又は圧密処理後の透明フレキシブルフィルムヒーターの表面抵抗が0.1〜50Ω/sqであり、かつ前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記(26)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(10) The transparent flexible film heater according to any one of (7) to (9), wherein the silver halide is mainly composed of silver bromide.
(11) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (10) above, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is 1/4 or more.
(12) The transparent flexible film heater according to any one of (7) to (10) above, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is ½ or more.
(13) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (12) above, wherein an average spherical equivalent diameter of silver halide contained in the silver salt-containing layer is 0.1 to 100 nm. .
(14) The transparent flexible film heater according to any one of (7) to (13), wherein the exposure is performed by a scanning exposure method using a laser beam.
(15) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (14) above, wherein the exposure is performed through a photomask.
(16) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (15) above, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer contains an image quality improver.
(17) The transparent flexible film heater according to (16), wherein the image quality improver is a nitrogen-containing heterocyclic compound.
(18) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (17) above, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer is a lith developer.
(19) The mass of the metallic silver contained in the exposed area after the development treatment is a content of 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed area before the exposure. The transparent flexible film heater according to any one of (7) to (18) above.
(20) The transparent flexible film heater as described in (8) above, wherein the plating treatment is performed by electroless plating.
(21) The transparent flexible film heater as described in (8) above, wherein the plating treatment is performed by electrolytic plating.
(22) The transparent flexible film heater according to any one of (8), (20), and (21), wherein the plating treatment is performed by electroless plating and subsequent electrolytic plating.
(23) The transparent flexible film heater as described in (20) or (22) above, wherein the electroless plating is electroless copper plating.
(24) The transparent flexible film heater as described in any one of (7) to (23) above, wherein the gradation after the development processing of the silver salt-containing layer exceeds 4.0.
(25) The transparent flexible film heater according to any one of (1) to (24), wherein the surface of the conductive metal portion is further blackened.
(26) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (25) above, wherein the light-transmitting part does not have a physical development nucleus.
(27) The surface resistance of the transparent flexible film heater after the physical development and / or plating treatment and / or consolidation treatment is 100Ω / sq or less, and the transmittance of the light transmissive part is 95% or more. The transparent flexible film heater according to any one of (1) to (26) above,
(28) The surface resistance of the transparent flexible film heater after the physical development and / or plating treatment and / or consolidation treatment is 0.1 to 50Ω / sq, and the transmittance of the light transmissive portion is 95% or more. The transparent flexible film heater as described in (26) above, wherein

(29)前記導電性金属部に含まれる金属成分の全質量に対する銀の質量が50質量%以上であることを特徴とする上記(1)〜(28)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(30)前記導電性金属部に含まれる金属成分の全質量に対する銀、銅及びパラジウムの合計の質量が80質量%以上であることを特徴とする上記(1)〜(29)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(31)前記導電性金属部の開口率が85%以上であることを特徴とする上記(1)〜(30)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(32)前記導電性金属部に担持された導電性金属粒子からなる層の厚さが0.1μm以上30μm未満であり、かつ表面抵抗値が100Ω/sq以下であることを特徴とする上記(1)〜(31)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(33)前記支持体が厚み8〜200μmのプラスチックフィルムからなることを特徴とする上記(1)〜(32)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(34)前記支持体を構成するプラスチックフィルムがポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、EVAなどのポリオレフィン類、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース(TAC)、アクリル樹脂、ポリイミド、またはアラミドであることを特徴とする上記(33) に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(35)前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記(1)〜(34)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(36)前記光透過性部の透過率が98%以上であることを特徴とする上記(1)〜(35)のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。
(37)支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成した後に圧密処理することにより導電性金属パターン構造を有する発熱体を形成することを特徴とする(1)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーターの製造方法。
(38)支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させて導電性金属パターン構造を有する発熱体を形成することを特徴とする(1)に記載の透明フレキシブルフィルムヒーターの製造方法。
(29) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (28) above, wherein the mass of silver is 50% by mass or more based on the total mass of the metal components contained in the conductive metal part. .
(30) The total mass of silver, copper, and palladium with respect to the total mass of the metal component contained in the conductive metal part is 80% by mass or more, and any one of (1) to (29) above The transparent flexible film heater as described.
(31) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (30) above, wherein the opening ratio of the conductive metal portion is 85% or more.
(32) The above characterized in that the layer composed of conductive metal particles carried on the conductive metal part has a thickness of 0.1 μm or more and less than 30 μm and a surface resistance value of 100Ω / sq or less. The transparent flexible film heater according to any one of 1) to (31).
(33) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (32) above, wherein the support is made of a plastic film having a thickness of 8 to 200 μm.
(34) The plastic film constituting the support is polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyamide, polyether, polysulfone, polyethersulfone, polycarbonate, (33) above, characterized in that it is a polyolefin such as polyarylate, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, EVA, polycarbonate, triacetylcellulose (TAC), acrylic resin, polyimide, or aramid. The transparent flexible film heater as described.
(35) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (34) above, wherein the light transmissive portion has a transmittance of 95% or more.
(36) The transparent flexible film heater as described in any one of (1) to (35) above, wherein a transmittance of the light transmissive portion is 98% or more.
(37) A silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver portion and a light-transmitting portion, and then subjected to a compaction treatment to conduct electricity. A heating element having a conductive metal pattern structure is formed. The method for producing a transparent flexible film heater according to (1).
(38) A silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on the support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light-transmitting part, and the metallic part is physically developed. And / or forming a heating element having a conductive metal pattern structure by carrying conductive metal particles on the metal silver portion by plating, and manufacturing the transparent flexible film heater according to (1) Method.

本発明の透明フレキシブルフィルムヒーター及びその製造方法は、次の効果・効用を有する。
1)露光パターンを替えることにより、自由なパターニングが可能である。
2)露光線幅、露光パターン、物理現像、めっきなどの後処理条件を変えたりハロゲン化銀乳剤塗布量を変えることにより容易に通電抵抗値を調整できる。
3)塗布物中のAg比率や、圧密条件を変えることにより、容易に固有抵抗値を変更することができる。
特に、本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターは、透明フレキシブルフィルムヒーターを透過する光を観察したときに金属細線パターンのような通電発熱体の存在が認識されない又は少なくとも気にならない、優れた視認性と発熱性を有している。
さらに、本発明の別の効果は、銀塩材料、とくにハロゲン化銀写真感光材料を露光し、現像処理し、必要あればメッキ処理や物理現像処理や圧密処理を付加して製造できるという低コストで大量製造可能の方法によって供給可能であることにある。
The transparent flexible film heater and the method for producing the same of the present invention have the following effects and utilities.
1) Free patterning is possible by changing the exposure pattern.
2) The energization resistance value can be easily adjusted by changing the post-processing conditions such as exposure line width, exposure pattern, physical development, and plating, or changing the silver halide emulsion coating amount.
3) The specific resistance value can be easily changed by changing the Ag ratio in the coating or the compaction conditions.
In particular, the transparent flexible film heater of the present invention has excellent visibility and heat generation, when the light passing through the transparent flexible film heater is observed, the presence of an electric heating element such as a thin metal wire pattern is not recognized or at least not bothered. It has sex.
Another advantage of the present invention is that it can be manufactured by exposing and developing a silver salt material, particularly a silver halide photographic light-sensitive material, and if necessary, can be produced by adding a plating process, a physical development process or a consolidation process. And can be supplied by a method capable of mass production.

以下に、本発明の透明フレキシブルフィルムヒーター及びその製造方法について詳細に説明する。
なお、本明細書において「〜」は、その前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味として使用される。
Below, the transparent flexible film heater of this invention and its manufacturing method are demonstrated in detail.
In the present specification, “to” is used as a meaning including numerical values described before and after the lower limit value and the upper limit value.

本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターの特徴は、上記したように透光性、通電発熱性及び視認性に優れることである。特に大サイズや低圧電源等の不利な条件下においても高発熱性を発現することに特徴がある。
本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターは、透明フレキシブル支持体上に実質的に透明な導電性金属パターン構造を有する発熱体であって、且つ該発熱体の印加電極間の距離をL(cm)、発熱体の電極間の抵抗をR(Ω)、電源電圧をE(v)としたとき下記の式(1)を満足することを特徴とする。
0.1≦E/(L×R)≦2.0 式(1)
式(1)で表されるE/(L×R)は0.1未満では低電圧で十分な発熱性が得られず,また2.0を超えると発熱効率が落ちるという傾向にある。E/(L×R)としては、0.2〜1.5が好ましい。
前記導電性金属パターン構造を有する発熱体は、線幅50μm以下の金属細線からなる導電性金属部と、該細線部に囲まれてなる光透過性部とからなることが好ましい。金属細線部の線幅は50μm以下、好ましくは25μm以下としているが、この線幅では正眼者が明視の距離において金属細線を認知できない。したがって、通電発熱体の存在が認識されず、観察の際の障害にならない。加えて金属細線部の線幅が0.4μm以上、好ましくは0.7μm以上であれば、細線の微細構造に由来する散乱光や回折光が低減されるので、視認性はさらに向上する。
さらに、透光性、通電発熱性及び視認性を相互に優れたものにするためには、上記細線幅に係る要件のほかに、透光性と通電発熱性の両立が必要であり、そのためには、金属細線部の線幅が0.4μm以上、50μm以下でありながら、光透過性部/全フィルム面積の比率が70〜99.9%であることが好ましい。より好ましい光透過性部/全フィルム面積比は85〜99.9%である。
本発明において、実用的な通電発熱性としては、連続通電時の平衡到達温度が28℃以上であり、使用する支持体のガラス転移温度+70℃以下(室温での通電加熱時)であることが好ましい。より好ましくは、平衡到達温度が30℃以上、使用する支持体のガラス転移温度+50℃以下(同上)である。
上記の好ましい温度範囲に調節するには、抵抗値が適切な範囲にあることが必要であるが、現像銀は一般にフィラメント構造をとって粗な構造なので、後述するように物理現像や無電解メッキあるいは電解メッキ処理を施して現像銀を芯にして金属部細線を太らせることが好ましい。別の方法としては、現像銀に圧密処理を加えて金属部の高密度化を図り、抵抗値を下げて通電発熱性を向上させることが好ましい。また、物理現像を施して現像銀にさらに圧密処理を施すことも好ましい。特に好ましいのは、圧密処理を施し、メッキ処理は施さない態様である。
圧密処理(平滑化処理)は、カレンダーロール装置によって行われるのが好ましい。カレンダーロールは通常1対または複数の対向したロールからなる。カレンダー処理に用いられるロールとして、エポキシ、ポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミドなどのプラスチックロール、または金属ロールが用いられる。特に両面乳剤塗布する場合は金属ロール同士で処理するのが好ましい。線圧力は1960N/cm(200kg/cm)以上であるのが好ましく,2940N/cm(300kg/cm)以上であるのが更に好ましい。
As described above, the transparent flexible film heater of the present invention is excellent in translucency, energization heat generation and visibility. In particular, it is characterized by high heat generation even under disadvantageous conditions such as large size and low voltage power supply.
The transparent flexible film heater of the present invention is a heating element having a substantially transparent conductive metal pattern structure on a transparent flexible support, and the distance between applied electrodes of the heating element is L (cm). When the resistance between the body electrodes is R (Ω) and the power supply voltage is E (v), the following equation (1) is satisfied.
0.1 ≦ E 2 /(L×R)≦2.0 Formula (1)
If E 2 / (L × R) represented by the formula (1) is less than 0.1, sufficient heat generation cannot be obtained at a low voltage, and if it exceeds 2.0, the heat generation efficiency tends to decrease. E 2 / (L × R) is preferably 0.2 to 1.5.
The heating element having the conductive metal pattern structure preferably includes a conductive metal portion made of a fine metal wire having a line width of 50 μm or less and a light transmissive portion surrounded by the fine wire portion. The line width of the fine metal wire portion is 50 μm or less, preferably 25 μm or less. With this line width, the right eye cannot recognize the fine metal wire at a clear vision distance. Therefore, the presence of the energization heating element is not recognized and does not become an obstacle during observation. In addition, if the line width of the metal thin wire portion is 0.4 μm or more, preferably 0.7 μm or more, the scattered light and diffracted light derived from the fine structure of the thin wire are reduced, so that the visibility is further improved.
Furthermore, in order to make translucency, energization exothermicity, and visibility mutually excellent, in addition to the requirements related to the fine line width, it is necessary to satisfy both of translucency and energization exotherm. Although the line width of the fine metal wire portion is 0.4 μm or more and 50 μm or less, the ratio of the light transmitting portion / total film area is preferably 70 to 99.9%. A more preferable light transmitting part / total film area ratio is 85 to 99.9%.
In the present invention, as practical energization exothermic property, the equilibrium temperature at the time of continuous energization is 28 ° C. or more, and the glass transition temperature of the support used + 70 ° C. or less (at the time of energization heating at room temperature). preferable. More preferably, the equilibrium reaching temperature is 30 ° C. or higher, and the glass transition temperature of the support to be used + 50 ° C. or lower (same as above).
In order to adjust to the above preferable temperature range, it is necessary that the resistance value be in an appropriate range. However, since developed silver is generally a rough structure with a filament structure, physical development and electroless plating are described later. Alternatively, it is preferable to thicken the metal portion with an electroplating treatment and using developed silver as a core. As another method, it is preferable to increase the density of the metal part by subjecting the developed silver to a consolidation process, to reduce the resistance value and to improve the heat generation property. It is also preferable to subject the developed silver to further compaction by performing physical development. Particularly preferred is an embodiment in which the consolidation treatment is performed and the plating treatment is not performed.
The consolidation process (smoothing process) is preferably performed by a calendar roll device. A calendar roll usually consists of a pair or a plurality of opposed rolls. As a roll used for the calendar process, a plastic roll such as epoxy, polyimide, polyamide, polyimide amide, or a metal roll is used. In particular, when coating with a double-sided emulsion, it is preferable to treat with metal rolls. The linear pressure is preferably 1960 N / cm (200 kg / cm) or more, and more preferably 2940 N / cm (300 kg / cm) or more.

透光性導電性金属パターン構造を有する発熱体は、ハロゲン化銀写真感光材料を用いる上記の方法のほかに、銅箔すなわち銅の金属薄膜を支持体上に設けてその表面をパターン構造状にエッチングして導電性金属部を形成させる方法によっても製造することもできる。
また、印刷によってパターン構造状に配した金属微粒子上に銅メッキを行うことにより形成された導電性金属部を形成させる方法を用いることもできる。
さらには、パターン構造をスクリーン印刷版またはグラビア印刷版によって形成させてもよい。印刷された金属パターンには銅メッキなどの金属メッキが施されて導電性発熱体が作製される。
In addition to the above-described method using a silver halide photographic light-sensitive material, the heating element having a translucent conductive metal pattern structure is provided with a copper foil, that is, a copper metal thin film on a support, and the surface thereof is patterned. It can also be manufactured by a method of forming a conductive metal part by etching.
Moreover, the method of forming the electroconductive metal part formed by performing copper plating on the metal fine particle distribute | arranged to pattern structure form by printing can also be used.
Furthermore, the pattern structure may be formed by a screen printing plate or a gravure printing plate. The printed metal pattern is subjected to metal plating such as copper plating to produce a conductive heating element.

以下に本発明の特に好ましい(抵抗値・固有抵抗値を容易に変更できる)態様であるハロゲン化銀写真感光材料を用いる透光性導電性発熱体の作製方法について述べる。   A method for producing a translucent conductive heating element using a silver halide photographic light-sensitive material, which is a particularly preferable embodiment (resistance value and specific resistance value can be easily changed) of the present invention, will be described below.

本発明の透光性導電性発熱体の好ましい態様では、支持体上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層を有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって露光に対応して、又は逆対応して、それぞれ金属銀部および光透過性部を形成することによって製造することができる。さらに抵抗調整のために、前記金属銀部に物理現像および/またはメッキ処理を施すことによって前記金属銀部に導電性金属を担持させる、および/または前記金属銀部を圧密処理しても良い。
本発明の透光性導電性発熱体の形成方法は、感光材料と現像処理の形態によって、次の3通りの形態が含まれる。
(1)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(2)物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
(3)物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。
上記(1)の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は熱現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するメッキ又は物理現像過程で活性が高い。
上記(2)の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に透光性導電性膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比表面は小さい球形である。
上記(3)の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に透光性導電性膜が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
いずれの態様もネガ型現像処理および反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる(拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる)。
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」(共立出版社、1955年刊行)、C.E.K.Mees編「The Theory of Photographic Processes, 4th ed.」(Mcmillan社、1977年刊行)に解説されている。本件は液処理に係る発明であるが、その他に現像方式として熱現像方式を適用する技術にも参考とできる。例えば、特開2004−184693号、同2004−334077号、同2005−010752号、特願2004−244080号、同2004−085655が適用できる。
In a preferred embodiment of the translucent conductive heating element of the present invention, a photosensitive material having an emulsion layer containing a photosensitive silver halide salt is exposed on a support and subjected to a development treatment to correspond to the exposure. Or, conversely, it can be manufactured by forming a metallic silver portion and a light transmitting portion, respectively. Further, in order to adjust the resistance, the metal silver portion may be subjected to physical development and / or plating treatment so that a conductive metal is supported on the metal silver portion, and / or the metal silver portion may be consolidated.
The method for forming a translucent conductive heating element of the present invention includes the following three forms depending on the photosensitive material and the form of development processing.
(1) An embodiment in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material not containing physical development nuclei is chemically developed or thermally developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(2) An embodiment in which a photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material containing physical development nuclei in a silver halide emulsion layer is dissolved and physically developed to form a metallic silver portion on the photosensitive material.
(3) A photosensitive silver halide black-and-white photosensitive material that does not contain physical development nuclei and an image-receiving sheet having a non-photosensitive layer that contains physical development nuclei are overlaid and diffused and transferred to develop a metallic silver portion on the non-photosensitive image-receiving sheet. Form formed on top.
The aspect (1) is an integrated black-and-white development type, and a light-transmitting conductive film is formed on a photosensitive material. The obtained developed silver is chemically developed silver or heat developed silver, and is highly active in the subsequent plating or physical development process in that it is a filament with a high specific surface.
In the aspect (2), the light-transmitting conductive film is formed on the photosensitive material by dissolving silver halide grains close to the physical development nucleus and depositing on the development nucleus in the exposed portion. This is also an integrated black-and-white development type. Although the developing action is precipitation on physical development nuclei, it is highly active, but developed silver has a spherical shape with a small specific surface.
In the aspect (3), the light-transmitting conductive film is formed on the image receiving sheet by dissolving and diffusing the silver halide grains in the unexposed area and depositing on the development nuclei on the image receiving sheet. This is a so-called separate type in which the image receiving sheet is peeled off from the photosensitive material.
In any embodiment, either negative development processing or reversal development processing can be selected (in the case of the diffusion transfer system, negative development processing is possible by using an auto-positive type photosensitive material as the photosensitive material). .
The chemical development, thermal development, dissolution physical development, and diffusion transfer development mentioned here have the same meanings as are commonly used in the industry, and are general textbooks of photographic chemistry such as Shinichi Kikuchi, “Photochemistry” (Kyoritsu Publishing) (Published in 1955), C.I. E. K. It is described in "The Theory of Photographic Processes, 4th ed." Edited by Mees (Mcmillan, 1977). Although this case is an invention related to liquid processing, it can also be referred to a technique of applying a thermal development method as a development method. For example, JP-A Nos. 2004-184893, 2004-334077, 2005-010752, Japanese Patent Application Nos. 2004-244080, and 2004-085655 can be applied.

〈感光材料〉
[支持体]
本発明に用いられる感光材料の支持体としては、フレキシブルなプラスチックフィルムを用いることができる。
上記プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、EVAなどのポリオレフィン類、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース(TAC)、アクリル樹脂、ポリイミド、またはアラミドなどを用いることができる。
本発明においては、透明性、耐熱性、取り扱いやすさおよび価格の点から、上記プラスチックフィルムはポリエチレンテレフタレートフィルムが適しているが、耐熱性・熱可塑性等の必要性により、適宜選択される。
本発明におけるプラスチックフィルムは、単層で用いることもできるが、2層以上を組み合わせた多層フィルムとして用いることも可能である。
<Photosensitive material>
[Support]
As a support for the photosensitive material used in the present invention, a flexible plastic film can be used.
Examples of the plastic film material include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyamide, polyether, polysulfone, polyethersulfone, polycarbonate, and polyarylate. Polyolefins such as polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, EVA, polycarbonate, triacetylcellulose (TAC), acrylic resin, polyimide, or aramid can be used.
In the present invention, a polyethylene terephthalate film is suitable as the plastic film from the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling, and cost, but it is appropriately selected depending on the necessity of heat resistance and thermoplasticity.
The plastic film in the present invention can be used as a single layer, but can also be used as a multilayer film in which two or more layers are combined.

[保護層]
用いられる感光材料は、後述する乳剤層上に保護層を設けていてもよい。本発明において「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する乳剤層に形成される。上記保護層はメッキ処理する上では設けない方が好ましく、設けるとしても薄い方が好ましい。その厚みは0.2μm以下が好ましい。上記保護層の塗布方法の形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法を適宜選択することができる。
[Protective layer]
The photosensitive material used may be provided with a protective layer on the emulsion layer described later. In the present invention, the “protective layer” means a layer made of a binder such as gelatin or a high molecular polymer, and is formed in an emulsion layer having photosensitivity in order to exhibit an effect of preventing scratches and improving mechanical properties. The protective layer is preferably not provided for the plating treatment, and even if it is provided, it is preferably thin. The thickness is preferably 0.2 μm or less. The formation method of the coating method of the said protective layer is not specifically limited, A well-known coating method can be selected suitably.

上記ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素およびフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、AgCl、AgBr、AgIを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにAgBrやAgClを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀50モル%以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。   The halogen element contained in the silver halide may be any of chlorine, bromine, iodine and fluorine, or a combination thereof. For example, silver halide mainly composed of AgCl, AgBr, and AgI is preferably used, and silver halide mainly composed of AgBr or AgCl is preferably used. Silver chlorobromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide are also preferably used. More preferred are silver chlorobromide, silver bromide, silver iodochlorobromide and silver iodobromide, and most preferred are silver chlorobromide and silver iodochlorobromide containing 50 mol% or more of silver chloride. Used.

ハロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、現像処理後に形成されるパターン状金属銀層の画像品質の観点からは、ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、球相当径で0.1〜1000nm(1μm)であることが好ましく、0.1〜100nmであることがより好ましく、1〜50nmであることがさらに好ましい。
尚、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径である。
Silver halide is in the form of solid grains. From the viewpoint of image quality of the patterned metallic silver layer formed after exposure and development, the average grain size of silver halide is 0.1 to 1000 nm in terms of sphere equivalent diameter ( 1 μm) is preferred, 0.1 to 100 nm is more preferred, and 1 to 50 nm is even more preferred.
Incidentally, the sphere equivalent diameter of silver halide grains is the diameter of grains having the same volume and a spherical shape.

本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤は、VIII族、VIIB族に属する金属を含有してもよい。特に、4以上の階調を得るためや低カブリを達成するために、ロジウム化合物、イリジウム化合物、ルテニウム化合物、鉄化合物、オスミウム化合物などを含有することが好ましい。
また、高感度化のためにはK4〔Fe(CN)6〕やK4〔Ru(CN)6〕、K3〔Cr(CN)6〕のごとき六シアノ化金属錯体のドープが有利に行われる。
The silver halide emulsion used in the present invention may contain a metal belonging to Group VIII or Group VIIB. In particular, it is preferable to contain a rhodium compound, an iridium compound, a ruthenium compound, an iron compound, an osmium compound or the like in order to obtain a gradation of 4 or more or to achieve low fog.
For high sensitivity, doping with a metal hexacyanide complex such as K 4 [Fe (CN) 6 ], K 4 [Ru (CN) 6 ] or K 3 [Cr (CN) 6 ] is advantageous. Done.

ロジウム化合物としては、水溶性ロジウム化合物を用いることができる。水溶性ロジウム化合物としては、例えば、ハロゲン化ロジウム(III)化合物、ヘキサクロロロジウム(III)錯塩、ペンタクロロアコロジウム錯塩、テトラクロロジアコロジウム錯塩、ヘキサブロモロジウム(III)錯塩、ヘキサアミンロジウム(III)錯塩、トリザラトロジウム(III)錯塩、K3Rh2Br9等が挙げられる。 A water-soluble rhodium compound can be used as the rhodium compound. Examples of the water-soluble rhodium compound include a rhodium halide (III) compound, a hexachlororhodium (III) complex salt, a pentachloroacorodium complex salt, a tetrachlorodiacolodium complex salt, a hexabromorhodium (III) complex salt, and a hexaamine rhodium (III). ) Complex salt, trizalatodium (III) complex salt, K 3 Rh 2 Br 9 and the like.

イリジウム化合物としては、K2IrCl6、K3IrCl6等のヘキサクロロイリジウム錯塩、ヘキサブロモイリジウム錯塩、ヘキサアンミンイリジウム錯塩、ペンタクロロニトロシルイリジウム錯塩等が挙げられる。
上記ルテニウム化合物としては、ヘキサクロロルテニウム、ペンタクロロニトロシルルテニウム、K4〔Ru(CN)6〕等が挙げられる。
上記鉄化合物としては、ヘキサシアノ鉄(II)酸カリウム、チオシアン酸第一鉄が挙げられる。
Examples of the iridium compound include hexachloroiridium complex salts such as K 2 IrCl 6 and K 3 IrCl 6 , hexabromoiridium complex salts, hexaammineiridium complex salts, and pentachloronitrosyliridium complex salts.
Examples of the ruthenium compound include hexachlororuthenium, pentachloronitrosylruthenium, K 4 [Ru (CN) 6 ] and the like.
Examples of the iron compound include potassium hexacyanoferrate (II) and ferrous thiocyanate.

ルテニウム、オスミニウムは特開昭63−2042号公報、特開平1−285941号公報、同2−20852号公報、同2−20855号公報等に記載された水溶性錯塩の形で添加されることが好ましい。   Ruthenium and osmium can be added in the form of water-soluble complex salts described in JP-A-63-2042, JP-A-1-2855941, JP-A-2-20852, JP-A-2-20855, and the like. preferable.

これらの化合物の添加量はハロゲン化銀1モル当り10-10〜10-2モル/モルAgであることが好ましく、10-9〜10-3モル/モルAgであることがさらに好ましい。 The amount of these compounds added is preferably 10 −10 to 10 −2 mol / mol Ag per mol of silver halide, more preferably 10 −9 to 10 −3 mol / mol Ag.

その他、本発明では、Pd(II)イオンおよび/またはPd金属を含有するハロゲン化銀も好ましく用いることができる。Pdはハロゲン化銀粒子内に均一に分布していてもよいが、ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有させることが好ましい。ここで、Pdが「ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有する」とは、ハロゲン化銀粒子の表面から深さ方向に50nm以内において、他層よりもパラジウムの含有率が高い層を有することを意味する。
このようなハロゲン化銀粒子は、ハロゲン化銀粒子を形成する途中でPdを添加することにより作製することができ、銀イオンとハロゲンイオンとをそれぞれ総添加量の50%以上添加した後に、Pdを添加することが好ましい。またPd(II)イオンを後熟時に添加するなどの方法でハロゲン化銀表層に存在させることも好ましい。
このPd含有ハロゲン化銀粒子は、物理現像や無電解メッキの速度を速め、所望の透明フレキシブルフィルムヒーターの生産効率を上げ、生産コストの低減に寄与する。Pdは、無電解メッキ触媒としてよく知られて用いられているが、本発明では、ハロゲン化銀粒子の表層にPdを偏在させることが可能なため、極めて高価なPdを節約することが可能である。
In addition, in the present invention, silver halide containing Pd (II) ions and / or Pd metal can also be preferably used. Pd may be uniformly distributed in the silver halide grains, but is preferably contained in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains. Here, Pd “contains in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains” means that the Pd content is higher than the other layers within 50 nm in the depth direction from the surface of the silver halide grains. means.
Such silver halide grains can be prepared by adding Pd during the formation of silver halide grains. After adding silver ions and halogen ions to 50% or more of the total addition amount, Pd Is preferably added. It is also preferred that Pd (II) ions be present in the surface layer of the silver halide by a method such as addition at the time of post-ripening.
The Pd-containing silver halide grains increase the speed of physical development and electroless plating, increase the production efficiency of a desired transparent flexible film heater, and contribute to the reduction of production costs. Pd is well known and used as an electroless plating catalyst. However, in the present invention, Pd can be unevenly distributed on the surface layer of silver halide grains, so that extremely expensive Pd can be saved. is there.

本発明において、ハロゲン化銀に含まれるPdイオンおよび/またはPd金属の含有率は、ハロゲン化銀の、銀のモル数に対して10-4〜0.5モル/モルAgであることが好ましく、0.01〜0.3モル/モルAgであることがさらに好ましい。
使用するPd化合物の例としては、PdCl4や、Na2PdCl4等が挙げられる。
In the present invention, the content of Pd ions and / or Pd metals contained in the silver halide is preferably 10 −4 to 0.5 mol / mol Ag with respect to the number of moles of silver in the silver halide. More preferably, it is 0.01 to 0.3 mol / mol Ag.
Examples of the Pd compound to be used include PdCl 4 and Na 2 PdCl 4 .

本発明では、さらに光センサーとしての感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施すこともできる。化学増感の方法としては、硫黄増感、セレン増感、テルル増感等カルコゲン増感、金増感などの貴金属増感、還元増感等を用いることができる。これらは、単独または組み合わせて用いられる。上記化学増感の方法を組み合わせて使用する場合には、例えば、硫黄増感法と金増感法、硫黄増感法とセレン増感法と金増感法、硫黄増感法とテルル増感法と金増感法などの組み合わせが好ましい。   In the present invention, in order to further improve the sensitivity as an optical sensor, chemical sensitization performed with a photographic emulsion can be performed. As the chemical sensitization method, sulfur sensitization, selenium sensitization, chalcogen sensitization such as tellurium sensitization, noble metal sensitization such as gold sensitization, reduction sensitization and the like can be used. These are used alone or in combination. When the above chemical sensitization methods are used in combination, for example, sulfur sensitization method and gold sensitization method, sulfur sensitization method and selenium sensitization method and gold sensitization method, sulfur sensitization method and tellurium sensitization. A combination of a method and a gold sensitization method is preferable.

上記硫黄増感は、通常、硫黄増感剤を添加して、40℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記硫黄増感剤としては公知の化合物を使用することができ、例えば、ゼラチン中に含まれる硫黄化合物のほか、種々の硫黄化合物、例えば、チオ硫酸塩、チオ尿素類、チアゾール類、ローダニン類等を用いることができる。好ましい硫黄化合物は、チオ硫酸塩、チオ尿素化合物である。硫黄増感剤の添加量は、化学熟成時のpH、温度、ハロゲン化銀粒子の大きさなどの種々の条件の下で変化し、ハロゲン化銀1モル当り10-7〜10-2モルが好ましく、より好ましくは10-5〜10-3モルである。 The sulfur sensitization is usually performed by adding a sulfur sensitizer and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C. or higher for a predetermined time. As the sulfur sensitizer, known compounds can be used. For example, in addition to sulfur compounds contained in gelatin, various sulfur compounds such as thiosulfates, thioureas, thiazoles, rhodanines, etc. Can be used. Preferred sulfur compounds are thiosulfate and thiourea compounds. The amount of sulfur sensitizer added varies under various conditions such as pH during chemical ripening, temperature, and the size of silver halide grains, and is 10 −7 to 10 −2 mol per mol of silver halide. Preferably, it is 10 <-5 > -10 <-3> mol.

上記セレン増感に用いられるセレン増感剤としては、公知のセレン化合物を用いることができる。すなわち、上記セレン増感は、通常、不安定型および/または非不安定型セレン化合物を添加して40℃以上の高温で乳剤を一定時間攪拌することにより行われる。上記不安定型セレン化合物としては特公昭44−15748号公報、同43−13489号公報、特開平4−109240号公報、同4−324855号公報等に記載の化合物を用いることができる。特に特開平4−324855号公報中の一般式(VIII)および(IX)で示される化合物を用いることが好ましい。   A known selenium compound can be used as the selenium sensitizer used for the selenium sensitization. That is, the selenium sensitization is usually carried out by adding unstable and / or non-labile selenium compounds and stirring the emulsion at a high temperature of 40 ° C. or higher for a predetermined time. As the unstable selenium compound, compounds described in JP-B-44-15748, JP-A-43-13489, JP-A-4-109240, JP-A-4-324855 and the like can be used. In particular, it is preferable to use compounds represented by general formulas (VIII) and (IX) in JP-A-4-324855.

上記テルル増感剤に用いられるテルル増感剤は、ハロゲン化銀粒子表面または内部に、増感核になると推定されるテルル化銀を生成せしめる化合物である。ハロゲン化銀乳剤中のテルル化銀生成速度については特開平5−313284号公報に記載の方法で試験することができる。具体的には、米国特許US第1,623,499号明細書、同第3,320,069号明細書、同第3,772,031号明細書、英国特許第235,211号明細書、同第1,121,496号明細書、同第1,295,462号明細書、同第1,396,696号明細書、カナダ特許第800,958号明細書、特開平4−204640号公報、同4−271341号公報、同4−333043号公報、同5−303157号公報、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・ケミカル・コミュニケーション(J.Chem.Soc.Chem.Commun.)635頁(1980)、同1102頁(1979)、同645頁(1979)、ジャーナル・オブ・ケミカル・ソサイアティー・パーキン・トランザクション(J.Chem.Soc.Perkin.Trans.)1巻,2191頁(1980)、S.パタイ(S.Patai)編、ザ・ケミストリー・オブ・オーガニック・セレニウム・アンド・テルリウム・カンパウンズ(The Chemistry of Organic Selenium and Tellunium Compounds)、1巻(1986)、同 2巻(1987)に記載の化合物を用いることができる。特に特開平5−313284号公報中の一般式(II)(III)及び(IV)で示される化合物が好ましい。   The tellurium sensitizer used for the tellurium sensitizer is a compound that generates silver telluride presumed to be a sensitization nucleus on the surface or inside of a silver halide grain. The silver telluride formation rate in the silver halide emulsion can be tested by the method described in JP-A-5-313284. Specifically, U.S. Pat. Nos. 1,623,499, 3,320,069, 3,772,031, British Patent 235,211, No. 1,121,496, No. 1,295,462, No. 1,396,696, Canadian Patent No. 800,958, JP-A-4-204640 No. 4-271341, No. 4-3333043, No. 5-303157, Journal of Chemical Society Chemical Communication (J. Chem. Soc. Chem. Commun.), P. 635 (1980). 1102 (1979), 645 (1979), Journal of Chemical Society Parkin Transaction (J. Ch.) m.Soc.Perkin.Trans.) 1, pp. 2191 (1980), S. Compounds described in The Chemistry of Organic Selenium and Tellunium Compounds, Volume 1 (1986), Volume 2 (1987), edited by S. Patai, The Chemistry of Organic Selenium and Tellurium Companies Can be used. In particular, compounds represented by general formulas (II), (III) and (IV) in JP-A-5-313284 are preferred.

本発明で用いることのできるセレン増感剤およびテルル増感剤の使用量は、使用するハロゲン化銀粒子、化学熟成条件等によって変わるが、一般にハロゲン化銀1モル当たり10-8〜10-2モル、好ましくは10-7〜10-3モル程度を用いる。本発明における化学増感の条件としては特に制限はないが、pHとしては5〜8、pAgとしては6〜11、好ましくは7〜10であり、温度としては40〜95℃、好ましくは45〜85℃である。 The amount of selenium sensitizer and tellurium sensitizer that can be used in the present invention varies depending on the silver halide grains used, chemical ripening conditions, and the like, but is generally 10 −8 to 10 −2 per mole of silver halide. A mole, preferably about 10 −7 to 10 −3 mole is used. The conditions for chemical sensitization in the present invention are not particularly limited, but the pH is 5 to 8, the pAg is 6 to 11, preferably 7 to 10, and the temperature is 40 to 95 ° C, preferably 45 to 45 ° C. 85 ° C.

また、上記貴金属増感剤としては、金、白金、パラジウム、イリジウム等が挙げられ、特に金増感が好ましい。金増感に用いられる金増感剤としては、具体的には、塩化金酸、カリウムクロロオーレート、カリウムオーリチオシアネート、硫化金、チオグルコース金(I)、チオマンノース金(I)などが挙げられ、ハロゲン化銀1モル当たり10-7〜10-2モル程度を用いることができる。本発明に用いるハロゲン化銀乳剤にはハロゲン化銀粒子の形成または物理熟成の過程においてカドミウム塩、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩などを共存させてもよい。 Examples of the noble metal sensitizer include gold, platinum, palladium, iridium and the like, and gold sensitization is particularly preferable. Specific examples of the gold sensitizer used for gold sensitization include chloroauric acid, potassium chloroaurate, potassium aurithiocyanate, gold sulfide, thioglucose gold (I), and thiomannose gold (I). About 10 −7 to 10 −2 mol per mol of silver halide. In the silver halide emulsion used in the present invention, a cadmium salt, a sulfite salt, a lead salt, a thallium salt or the like may coexist in the process of silver halide grain formation or physical ripening.

また、本発明においては、還元増感を用いることができる。還元増感剤としては第一スズ塩、アミン類、ホルムアミジンスルフィン酸、シラン化合物などを用いることができる。上記ハロゲン化銀乳剤は、欧州公開特許(EP)293917に示される方法により、チオスルホン酸化合物を添加してもよい。本発明に用いられる感光材料の作製に用いられるハロゲン化銀乳剤は、1種だけでもよいし、2種以上(例えば、平均粒子サイズの異なるもの、ハロゲン組成の異なるもの、晶癖の異なるもの、化学増感の条件の異なるもの、感度の異なるもの)の併用であってもよい。中でも高コントラストを得るためには、特開平6−324426号公報に記載されているように、支持体に近いほど高感度な乳剤を塗布することが好ましい。   In the present invention, reduction sensitization can be used. As the reduction sensitizer, stannous salts, amines, formamidinesulfinic acid, silane compounds and the like can be used. A thiosulfonic acid compound may be added to the silver halide emulsion by the method described in European Patent Publication (EP) 293917. The silver halide emulsion used in the preparation of the light-sensitive material used in the present invention may be only one type, or two or more types (for example, those having different average grain sizes, those having different halogen compositions, those having different crystal habits, Combinations of different chemical sensitization conditions and different sensitivities) may be used. In particular, in order to obtain high contrast, as described in JP-A-6-324426, it is preferable to apply an emulsion with higher sensitivity as it is closer to the support.

<バインダー>
乳剤層には、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ乳剤層と支持体との密着を補助する目的でバインダーを用いることができる。本発明において上記バインダーとしては、非水溶性ポリマーおよび水溶性ポリマーのいずれもバインダーとして用いることができるが、水溶性ポリマーを用いることが好ましい。
上記バインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロースおよびその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリサッカライド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
<Binder>
In the emulsion layer, a binder can be used for the purpose of uniformly dispersing silver salt grains and assisting the adhesion between the emulsion layer and the support. In the present invention, as the binder, both water-insoluble polymers and water-soluble polymers can be used as binders, but it is preferable to use water-soluble polymers.
Examples of the binder include polysaccharides such as gelatin, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polysaccharides, polyvinylamine, chitosan, polylysine, polyacrylic acid, polyacrylic acid, and the like. Examples include alginic acid, polyhyaluronic acid, and carboxycellulose. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group.

乳剤層中に含有されるバインダーの含有量は、銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/4以上になるように調節することが好ましく, 1/2以上になるように調節することが更に好ましい。   The content of the binder contained in the emulsion layer is preferably adjusted so that the Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is 1/4 or more, and is adjusted to be 1/2 or more. Is more preferable.

<溶媒>
上記乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等アルコール類、アセトンなどケトン類、ホルムアミドなどのアミド類、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類、酢酸エチルなどのエステル類、エーテル類等)、イオン性液体、およびこれらの混合溶媒を挙げることができる。
本発明の乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、前記乳剤層に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して30〜90質量%の範囲であり、50〜80質量%の範囲であることが好ましい。
<Solvent>
The solvent used for forming the emulsion layer is not particularly limited. For example, water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide, etc. , Esters such as ethyl acetate, ethers, etc.), ionic liquids, and mixed solvents thereof.
The content of the solvent used in the emulsion layer of the present invention is in the range of 30 to 90% by mass and in the range of 50 to 80% by mass with respect to the total mass of silver salt, binder and the like contained in the emulsion layer. Preferably there is.

次に感光材料を用いた透明フレキシブルフィルムヒーター作製の各工程について説明する。
[露光]
支持体上に銀塩含有層を有する感光材料への露光が行われる。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線などの光、X線などの放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。
Next, each step of producing a transparent flexible film heater using a photosensitive material will be described.
[exposure]
Exposure to a photosensitive material having a silver salt-containing layer on the support is performed. The exposure can be performed using electromagnetic waves. Examples of the electromagnetic wave include light such as visible light and ultraviolet light, and radiation such as X-rays. Furthermore, a light source having a wavelength distribution may be used for exposure, or a light source having a specific wavelength may be used.

上記光源としては、必要に応じて可視スペクトル領域に発光を示す各種発光体が用いられる。例えば、赤色発光体、緑色発光体、青色発光体のいずれか1種又は2種以上が混合されて用いられる。スペクトル領域は、上記の赤色、緑色及び青色に限定されず、黄色、橙色、紫色或いは赤外領域に発光する蛍光体も用いられる。特に、これらの発光体を混合して白色に発光する陰極線管がしばしば用いられる。また、紫外線ランプも好ましく、水銀ランプのg線、水銀ランプのi線等も利用される。   As the light source, various light emitters that emit light in the visible spectrum region are used as necessary. For example, any one or two or more of a red light emitter, a green light emitter, and a blue light emitter are used. The spectral region is not limited to the above red, green, and blue, and phosphors that emit light in the yellow, orange, purple, or infrared region are also used. In particular, a cathode ray tube that emits white light by mixing these light emitters is often used. An ultraviolet lamp is also preferable, and g-line of a mercury lamp, i-line of a mercury lamp, etc. are also used.

パターン像を形成させる露光方式としては、均一光をマスクパターンを介して感光面に照射してマスクパターンを像様形成させる面露光方式と、レーザー光などのビームを走査してパターン状の照射部を感光性面上に形成させる走査露光方式とがある。
前者の場合は、上記の各光源を使用できるほか、好ましくは汎用のタングステンランプ、写真プリント作製用のハロゲンランプ、LED、蛍光ランプなどを適宜使用することができる。この場合の焼付け露光は、感光材料の搬送に伴って移動する露光面とマスク変調された照射光との速度を同期させる連続搬送露光方式と、搬送を一時的に停めてフラッシュ露光を行う間歇搬送・間歇照射露光方式のいずれによっておこなってもよい。
As an exposure method for forming a pattern image, a surface exposure method for irradiating a photosensitive surface with uniform light through a mask pattern to form a mask pattern imagewise, and a pattern irradiation unit by scanning a beam such as a laser beam There is a scanning exposure method in which is formed on the photosensitive surface.
In the former case, each of the above-described light sources can be used, and a general-purpose tungsten lamp, a halogen lamp for producing a photographic print, an LED, a fluorescent lamp, or the like can be appropriately used. In this case, the printing exposure includes a continuous conveyance exposure method that synchronizes the speed of the exposure surface that moves with the conveyance of the photosensitive material and the mask-modulated irradiation light, and intermittent conveyance that temporarily stops conveyance and performs flash exposure. -It may be performed by any of the intermittent irradiation exposure methods.

また後者の場合では、露光面を移動させながら、照射ビームを該移動方向と直角方向に移動させながら、パターン像の描画を行う。パターン像を描画するには、パターン描画用の主照射と交点部のみに間歇照射を行う副照射とを組合わせて行うのが適切である。主照射と副照射は、1回の露光面移動中に同時に行ってもよく、主照射の走査露光後、再度露光面移動させて副照射露光を行ってもよい。また、交線パターン描画用の主照射は、連続ビーム照射でも、断面が矩形のビームを図形状に間歇照射して描画するデジタルビーム照射でもよい。
露光は種々のレーザービームを用いて行うことができる。例えば、本発明における露光は、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源(SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく用いることができ、さらにKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2レーザー等も用いることができる。システムをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源(SHG)を用いて行うことがより好ましい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、露光は半導体レーザーを用いて行うことが最も好ましい。
露光のエネルギーとしては、ハロゲン化銀を用いる場合には、1mJ/cm2以下が好ましく、100μJ/cm2以下がより好ましく、50μJ/cm2以下がさらに好ましい。
In the latter case, the pattern image is drawn while moving the exposure beam in the direction perpendicular to the moving direction while moving the exposure surface. In order to draw a pattern image, it is appropriate to combine the main irradiation for pattern drawing and the sub-irradiation that performs intermittent irradiation only at the intersection. The main irradiation and the sub-irradiation may be performed simultaneously during one exposure surface movement, or after the main irradiation scanning exposure, the exposure surface may be moved again to perform the sub-irradiation exposure. Further, the main irradiation for drawing the intersection line pattern may be continuous beam irradiation or digital beam irradiation in which a beam having a rectangular cross section is intermittently irradiated into a figure shape for drawing.
The exposure can be performed using various laser beams. For example, the exposure in the present invention is a monochromatic light source such as a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic light source (SHG) that combines a solid-state laser using a semiconductor laser as an excitation light source and a nonlinear optical crystal. A scanning exposure method using high-density light can be preferably used, and a KrF excimer laser, ArF excimer laser, F2 laser, or the like can also be used. In order to make the system compact and inexpensive, exposure is more preferably performed using a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic generation light source (SHG) that combines a solid-state laser and a nonlinear optical crystal. In order to design an apparatus that is particularly compact, inexpensive, long-life, and highly stable, it is most preferable to perform exposure using a semiconductor laser.
The energy of the exposure, in the case of using the silver halide is preferably from 1 mJ / cm 2 or less, more preferably 100 .mu.J / cm 2 or less, more preferably 50μJ / cm 2 or less.

レーザー光源としては、具体的には、波長430〜460nmの青色半導体レーザー(2001年3月の第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表)、半導体レーザー(発振波長約1060nm)を導波路状の反転ドメイン構造を有するLiNbO3のSHG結晶により波長変換して取り出した約530nmの緑色レーザー、波長約685nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6738MG)、波長約650nmの赤色半導体レーザー(日立タイプNo.HL6501MG)などが好ましく用いられる。 Specifically, as a laser light source, a blue semiconductor laser with a wavelength of 430 to 460 nm (announced by Nichia Chemical at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001), a semiconductor laser (oscillation wavelength of about 1060 nm) is used. waveguide-like inverted domain structure about 530nm green laser taken out by wavelength conversion by the SHG crystal of LiNbO 3 having a red semiconductor laser having a wavelength of about 685 nm (Hitachi type No.HL6738MG), red semiconductor laser having a wavelength of about 650 nm ( Hitachi type No. HL6501MG) is preferably used.

銀塩含有層をパターン状に露光する方法は、レーザービームによる走査露光が好ましい。特に特開2000−39677号公報記載のキャプスタン方式のレーザー走査露光装置が好ましく、さらには該キャプスタン方式においてポリゴンミラーの回転によるビーム走査の代わりに特開2004−1224号公報記載のDMDを光ビーム走査系に用いることも好ましい。
特に,3m以上の長尺フレキシブルフィルムヒーターを作成する場合には,湾曲した露光ステージ上において、感光材料を搬送しながらレーザービームで露光するのが好ましい。
The method of exposing the silver salt-containing layer in a pattern is preferably scanning exposure using a laser beam. In particular, a capstan type laser scanning exposure apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-39677 is preferable. Further, in this capstan method, a DMD described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1224 is optically used instead of beam scanning by rotation of a polygon mirror. It is also preferable to use for a beam scanning system.
In particular, when a long flexible film heater having a length of 3 m or more is prepared, it is preferable to perform exposure with a laser beam while conveying a photosensitive material on a curved exposure stage.

メッシュ状のパターンは、後述するように実質的に平行の直線状細線が交叉してなす3角形、4角形(菱形、正方形など)6角形などの格子紋様や、平行な直線やジグザグ線、波線など電圧の印加される電極間に電流を流せる構造であれば特に限定されない。   As described later, the mesh pattern is a lattice pattern such as a triangle, a quadrangle (rhombus, square, etc.) hexagon formed by intersecting substantially parallel straight thin lines, a parallel straight line, a zigzag line, or a wavy line. For example, the structure is not particularly limited as long as a current can flow between electrodes to which a voltage is applied.

[現像処理]
本発明では、乳剤層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士写真フイルム社処方のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社処方のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72などの現像液、またはそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。
リス現像液としては、KODAK社処方のD85などを用いることができる。本発明では、上記の露光および現像処理を行うことにより露光部にパターン状金属銀部が形成されると共に、未露光部に後述する光透過性部が形成される。
[Development processing]
In the present invention, after the emulsion layer is exposed, further development processing is performed. The development processing can be performed by a normal development processing technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask, and the like. The developer is not particularly limited, but a PQ developer, MQ developer, MAA developer, and the like can also be used. Commercially available products include, for example, CN-16, CR-56, CP45X of Fuji Photo Film Co., Ltd. Developers such as FD-3, papitol, C-41, E-6, RA-4, D-19, D-72 formulated by KODAK, or a developer included in the kit can be used. A lith developer can also be used.
As the squirrel developer, D85 or the like prescribed by KODAK can be used. In the present invention, by performing the above exposure and development treatment, a patterned metal silver portion is formed in the exposed portion, and a light transmissive portion described later is formed in the unexposed portion.

現像処理で用いられる現像液は、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素ヘテロ環化合物を上げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。   The developer used in the development process can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improving agent include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as benzotriazole. In addition, it is also preferable to use polyethylene glycol, particularly when a lith developer is used.

現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。   The mass of the metallic silver contained in the exposed portion after the development treatment is preferably a content of 50% by mass or more, and 80% by mass or more with respect to the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. More preferably. If the mass of silver contained in the exposed portion is 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure, it is preferable because high conductivity can be obtained.

本発明における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、4.0を超えることが好ましい。現像処理後の階調が4.0を超えると、光透過性部の透明性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を4.0以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。   The gradation after development processing in the present invention is not particularly limited, but is preferably more than 4.0. When the gradation after the development processing exceeds 4.0, the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the transparency of the light transmissive portion high. Examples of means for setting the gradation to 4.0 or higher include the aforementioned doping of rhodium ions and iridium ions.

[物理現像およびメッキ処理]
本発明では、前記露光および現像処理により形成された金属銀部の導電性を上げる目的で、前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させるための物理現像および/またはメッキ処理を行うこともできる。本発明では物理現像またはメッキ処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属性銀部に担持させることが可能であるが、さらに物理現像とメッキ処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部に担持させることもできる。
本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオンなどの金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントB&Wフィルム、インスタントスライドフィルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。
また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。
[Physical development and plating]
In the present invention, for the purpose of increasing the conductivity of the metal silver portion formed by the exposure and development processing, physical development and / or plating treatment for supporting the conductive metal particles on the metal silver portion can also be performed. . In the present invention, the conductive metal particles can be supported on the metallic silver portion by only one of physical development and plating. However, the combination of physical development and plating is used to convert the conductive metal particles to metallic silver. It can also be carried on the part.
“Physical development” in the present invention means that metal particles such as silver ions are reduced with a reducing agent on metal or metal compound nuclei to deposit metal particles. This physical phenomenon is used in instant B & W film, instant slide film, printing plate manufacturing, and the like, and the technology can be used in the present invention.
Further, the physical development may be performed simultaneously with the development processing after exposure or separately after the development processing.

本発明において、メッキ処理は、無電解メッキ(化学還元メッキや置換メッキ)、電解メッキ、または無電解メッキと電解メッキの両方を用いることができる。本発明における無電解メッキは、公知の無電解メッキ技術を用いることができ、例えば、プリント配線板などで用いられている無電解メッキ技術を用いることができ、無電解メッキは無電解銅メッキであることが好ましい。
無電解銅メッキ液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤として、ホルマリンやグリオキシル酸、銅の配位子として、EDTA,トリエタノールアミン等、その他、浴の安定化やメッキ皮膜の平滑性向上の為の添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン等が挙げられる。
本発明において、現像銀上に金属層を付加して導電性金属部の導電性を向上させる目的では、無電解メッキや物理現像に較べて電着速度が速く生産効率に優れる点と電着される金属種の選択範囲が広がる点で電解メッキが特に好ましい。電解メッキの方法としては、現像銀への電着が行われる限り、金属加工やプリント配線等に汎用されている公知の電解メッキ方法を適宜選択して使用することができる。
好ましい電解メッキは、電解銅メッキであり、その場合の電解銅メッキ浴としては、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴が挙げられる。
In the present invention, the plating process can be performed using electroless plating (chemical reduction plating or displacement plating), electrolytic plating, or both electroless plating and electrolytic plating. For the electroless plating in the present invention, a known electroless plating technique can be used. For example, an electroless plating technique used for a printed wiring board can be used, and the electroless plating is an electroless copper plating. Preferably there is.
Chemical species contained in the electroless copper plating solution include copper sulfate, copper chloride, reducing agents, formalin, glyoxylic acid, copper ligands, EDTA, triethanolamine, etc., bath stabilization and plating Examples of the additive for improving the smoothness of the film include polyethylene glycol, yellow blood salt, and bipyridine.
In the present invention, for the purpose of improving the conductivity of the conductive metal part by adding a metal layer on the developed silver, it is electrodeposited that the electrodeposition speed is higher than that of electroless plating and physical development and the production efficiency is excellent. Electrolytic plating is particularly preferable because the selection range of the metal species to be expanded is widened. As a method for electrolytic plating, as long as electrodeposition to developed silver is performed, a known electrolytic plating method widely used for metal processing, printed wiring, and the like can be appropriately selected and used.
A preferable electrolytic plating is electrolytic copper plating, and examples of the electrolytic copper plating bath include a copper sulfate bath and a copper pyrophosphate bath.

本発明におけるメッキ処理時のメッキ速度は、緩やかな条件で行うことができ、さらに5μm/hr以上の高速メッキも可能である。メッキ処理において、メッキ液の安定性を高める観点からは、例えば、EDTAなどの配位子など種々の添加剤を用いることができる。   The plating speed at the time of plating in the present invention can be performed under moderate conditions, and high-speed plating of 5 μm / hr or more is also possible. In the plating treatment, various additives such as a ligand such as EDTA can be used from the viewpoint of improving the stability of the plating solution.

銅めっき液には、各種有機系添加剤を添加してもよい。好ましい有機系添加剤は、めっき反応を抑制する有機化合物(めっき抑制剤)、めっき反応を促進する有機化合物(めっき促進剤)及びめっき過程で電着形成する金族膜を平坦化する有機化合物(めっき平坦化剤)であり、これらから選ばれる2種以上を含有することが好ましく、全てを併用して添加することが特に好ましい。   Various organic additives may be added to the copper plating solution. Preferred organic additives include organic compounds that suppress plating reactions (plating inhibitors), organic compounds that promote plating reactions (plating accelerators), and organic compounds that flatten metal films that are electrodeposited during the plating process ( It is preferable to contain two or more selected from these, and it is particularly preferable to add all of them in combination.

めっき反応を抑制する有機化合物としては、水溶性基を有する鎖状ポリマーが好ましい。鎖状ポリマーは分岐していてもよい。また、ポリマーは、単一モノマーから構成されていてもよく、2種以上のモノマーの共重合体でもよい。水溶性基は、水酸基、硫酸基、亜硫酸基、カルボキシル基、ホスホン酸基が好ましく、とりわけ水酸基が好ましい。ポリマー成分としては、特に酸素原子を有するポリマー成分が銅めっき表面に吸着し易く、めっき反応を抑制する。めっき反応が進みすぎた孔外部に吸着し易く選択的に抑制するため、めっきが均一に緻密になるので好ましい。
ポリマー成分としては、ポリアルキレングリコール類が好ましく、その場合のアルキレン基の炭素数は2〜8が好ましく、2〜3がより好ましい。具体的には、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合型(プルロニック型)界面活性剤、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールグラフト共重合型(テトロニック型)界面活性剤、グリセリンエーテル、ジアルキルエーテルからなる群から選ばれる化合物を用いることができ、好ましくは分子量1000〜10000、より好ましくは2000〜6000のポリエチレングリコール、分子量100〜5000、より好ましくは200〜2000のポリプロピレングリコール、分子量1000〜10000、より好ましくは1500〜4000のポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合体が挙げられ、2000〜6000のポリエチレングリコールが最も好ましい。なお、水溶性基を有する鎖状ポリマーは、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。ポリマーの濃度としては、10〜5000mg/Lが好ましく、50〜2000mg/Lがより好ましい。
As the organic compound that suppresses the plating reaction, a chain polymer having a water-soluble group is preferable. The chain polymer may be branched. The polymer may be composed of a single monomer or a copolymer of two or more monomers. The water-soluble group is preferably a hydroxyl group, a sulfate group, a sulfite group, a carboxyl group, or a phosphonic acid group, and particularly preferably a hydroxyl group. Especially as a polymer component, the polymer component which has an oxygen atom is easy to adsorb | suck to a copper plating surface, and suppresses plating reaction. It is preferable because the plating is uniformly dense because it is easily adsorbed to the outside of the hole where the plating reaction has proceeded too much and is selectively suppressed.
As the polymer component, polyalkylene glycols are preferable. In this case, the alkylene group preferably has 2 to 8 carbon atoms, more preferably 2 to 3 carbon atoms. Specifically, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol / polypropylene glycol block copolymer (pluronic) surfactant, polyethylene glycol / polypropylene glycol graft copolymer (tetronic) surfactant, glycerin ether, dialkyl A compound selected from the group consisting of ethers can be used, preferably polyethylene glycol having a molecular weight of 1000 to 10,000, more preferably 2000 to 6000, polypropylene glycol having a molecular weight of 100 to 5000, more preferably 200 to 2000, molecular weight of 1000 to 10,000. More preferably, a polyethylene glycol / polypropylene glycol block copolymer of 1500 to 4000 is mentioned, and 2000 to 60 0 polyethylene glycol is most preferred. In addition, the chain polymer which has a water-soluble group can be used 1 type or in combination of 2 or more types. The concentration of the polymer is preferably 10 to 5000 mg / L, and more preferably 50 to 2000 mg / L.

めっき反応を促進する化合物として、含硫基を有する有機化合物が好ましい。含硫黄基としては、スルフィド基、チオール基(メルカプト基)、スルホン酸基、スルフィン酸基、チオ硫酸基を挙げることができる。含硫基を有する有機化合物を含有させることにより、めっきされ難い凹部におけるめき反応を効率的に促進してめっきが均一かつ緻密になり、また耐擦傷性、耐熱性なども良化する。含硫基を有する有機化合物の具体例としては、スルホアルキルスルホン酸(アルキル基の炭素数は1〜10、好ましくは2〜4)およびその塩、ビススルホ有機化合物およびジチオカルバミン酸誘導体からなる群、チオ硫酸またはその塩から選ばれる化合物を用いることができ、好ましい具体例としてビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド(SPS)、メルカプトプロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)など挙げられる。その他、特開平7−316875号の0012欄に挙げられている化合物を用いることも好ましい。なお、硫黄系有機化合物は1種または2種以上を組み合わせて用いてもよい。硫黄系有機化合物の濃度としては、0.02〜2000mg/Lが好ましく、0.1〜300mg/Lがより好ましい。   As the compound that accelerates the plating reaction, an organic compound having a sulfur-containing group is preferable. Examples of the sulfur-containing group include sulfide groups, thiol groups (mercapto groups), sulfonic acid groups, sulfinic acid groups, and thiosulfuric acid groups. By containing an organic compound having a sulfur-containing group, the plating reaction in the recesses that are difficult to be plated is efficiently promoted to make the plating uniform and dense, and the scratch resistance, heat resistance, and the like are improved. Specific examples of the organic compound having a sulfur-containing group include a sulfoalkylsulfonic acid (alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably 2 to 4) and a salt thereof, a group consisting of a bissulfo organic compound and a dithiocarbamic acid derivative, thiol A compound selected from sulfuric acid or a salt thereof can be used, and preferred specific examples include bis (3-sulfopropyl) disulfide (SPS), sodium mercaptopropanesulfonate (MPS) and the like. In addition, it is also preferable to use the compounds listed in the 0012 column of JP-A-7-316875. In addition, you may use a sulfur type organic compound 1 type or in combination of 2 or more types. As a density | concentration of a sulfur type organic compound, 0.02-2000 mg / L is preferable and 0.1-300 mg / L is more preferable.

銅めっき液中での銅イオン濃度としては、硫酸銅5水塩の質量換算で、150〜300g/Lの範囲とすることが好ましく、より好ましい範囲は150〜250g/Lであり、さらにより好ましい範囲は180〜220g/Lである。
通常、電解めっきを行う場合、めっき液における銅イオン濃度は80g〜100g/Lとすることが多い。しかしながら、本発明のように表面抵抗が高いフィルムに電解めっきを行う場合、電子が広い面積に行き渡りにくいため、単位面積当りの電流密度が高くなり、通常用いられる範囲の銅イオン濃度では電子の供給に対して銅イオンの供給が追いつかず、フィルム表面で水素が発生して質の悪い銅めっき(いわゆる「焦げ」)が付着し、均一にムラなくめっき被膜を形成することが困難となる。そこで、本発明では、めっき液の銅イオン濃度を150g/L以上とすることが好ましく、この「焦げ」の発生を防止し、均一でムラのないめっき被膜形成することができる。
なお、銅イオン濃度を300g/L以下を好ましい範囲としたのは、300g/Lを超えて使用しても効果がほとんど増大せず不経済であり、また、溶解に時間が掛かる、析出し易い等の問題があるためである。
The copper ion concentration in the copper plating solution is preferably in the range of 150 to 300 g / L, more preferably in the range of 150 to 250 g / L, and even more preferably in terms of the mass of copper sulfate pentahydrate. The range is 180-220 g / L.
Usually, when electrolytic plating is performed, the copper ion concentration in the plating solution is often 80 to 100 g / L. However, when electrolytic plating is performed on a film having a high surface resistance as in the present invention, electrons are difficult to spread over a wide area, so that the current density per unit area is high, and the supply of electrons is performed at a copper ion concentration within a normal range. On the other hand, the supply of copper ions cannot catch up, hydrogen is generated on the film surface, and poor-quality copper plating (so-called “burn”) adheres, making it difficult to form a uniform plating film without unevenness. Therefore, in the present invention, the copper ion concentration of the plating solution is preferably set to 150 g / L or more, and the occurrence of this “burn” can be prevented and a uniform and uniform plating film can be formed.
It should be noted that the copper ion concentration of 300 g / L or less was set in a preferable range because the effect was hardly increased even when used in excess of 300 g / L, and it took a long time to dissolve. This is because of such problems.

めっき液に加える酸は、めっき液のpHが十分低く保たれる限り特に限定されず、例えば硫酸、硝酸、塩酸等が挙げられる。pHは酸の濃度によって変わるが、3以下が好ましく、さらに好ましくは1以下である。なお、酸性銅めっき液がpH3を超えると、銅が析出し易くなるため好ましくない。   The acid added to the plating solution is not particularly limited as long as the pH of the plating solution is kept sufficiently low, and examples thereof include sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid and the like. The pH varies depending on the acid concentration, but is preferably 3 or less, more preferably 1 or less. In addition, when an acidic copper plating solution exceeds pH 3, since it becomes easy to precipitate copper, it is unpreferable.

カソード面における電流密度は3〜50A/dm、好ましくは5〜20A/dmである。
めっき槽中のめっき液の撹拌は行う方が好ましく、空気撹拌でも、ポンプ撹拌でも、アノード揺動でも、フィルム揺動でも、またそれらを組み合わせてもよいが、例えば空気撹拌ならそのエアー流量は0.05〜2.00m/m・分(単位めっき層液面積に1分間に流す空気量の標準状態での体積)が好ましい。
銅めっき液の浴温は、15〜40℃が好ましく、20〜35℃が特に好ましい。
The current density at the cathode surface is 3 to 50 A / dm 2 , preferably 5 to 20 A / dm 2 .
It is preferable to stir the plating solution in the plating tank. Air agitation, pump agitation, anode agitation, film agitation, or a combination thereof may be used. For example, if air agitation, the air flow rate is 0. 0.05 to 2.00 m 3 / m 3 · min (volume in the standard state of the amount of air that flows in the unit plating layer liquid area per minute) is preferable.
The bath temperature of the copper plating solution is preferably 15 to 40 ° C, particularly preferably 20 to 35 ° C.

物理現像及び/又はメッキ処理及び/又は圧密処理後の透明フレキシブルフィルムヒーターの表面抵抗は、100Ω/sq以下であることが好ましく、0.1〜50Ω/sqであることがより好ましい。   The surface resistance of the transparent flexible film heater after physical development and / or plating and / or consolidation is preferably 100 Ω / sq or less, more preferably 0.1 to 50 Ω / sq.

[酸化処理]
本発明では、現像処理後の金属銀部、並びに、物理現像および/またはメッキ処理によって形成された金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ100%にすることができる。
酸化処理としては、例えば、Fe(III)イオン処理など、種々の酸化剤を用いた公知の方法が挙げられる。上述の通り、酸化処理は、乳剤層の露光および現像処理後、或いは物理現像またはメッキ処理後に行うことができ、さらに現像処理後と物理現像またはメッキ処理後のそれぞれで行ってもよい。
[Oxidation treatment]
In the present invention, it is preferable to subject the metal silver portion after the development treatment and the metal portion formed by physical development and / or plating treatment to oxidation treatment. By performing the oxidation treatment, for example, when a metal is slightly deposited on the light transmissive portion, the metal can be removed and the light transmissive portion can be made almost 100% transparent.
Examples of the oxidation treatment include known methods using various oxidizing agents such as Fe (III) ion treatment. As described above, the oxidation treatment can be performed after exposure and development processing of the emulsion layer, or after physical development or plating treatment, and may be performed after development processing and after physical development or plating treatment.

本発明では、さらに露光および現像処理後の金属銀部を、Pdを含有する溶液で処理することもできる。Pdは、2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により無電解メッキまたは物理現像速度を促進させることができる。   In the present invention, the metal silver portion after the exposure and development treatment can be further treated with a solution containing Pd. Pd may be a divalent palladium ion or metallic palladium. This treatment can accelerate electroless plating or physical development speed.

[導電性金属部]
本発明の導電性金属部は、パターン構造を有する。パターン構造としては、波型、直線型、メッシュ型など、本発明の効果が得られるものであれば特に限定されない。メッシュ状金属パターンの交線が描く形状は、正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、(正)六角形、(正)八角形などの(正)n角形、円、楕円、星形などを組み合わせた幾何学図形であることが好ましく、より好ましくは四角形(正方形、菱形含む)メッシュ、平行直線パターン、平行波線パターン、平行ジグザグパターン、または平行矩形パターンである。これらの幾何学図形からなるメッシュ状であることがさらに好ましい。可視光透過性の観点からは同一のライン幅なら(正)n角形のn数が大きいほど開口率が上がり可視光透過性が大きくなるので有利である。
[Conductive metal part]
The conductive metal part of the present invention has a pattern structure. The pattern structure is not particularly limited as long as the effects of the present invention can be obtained, such as a wave shape, a linear shape, and a mesh shape. The shapes drawn by the intersecting lines of mesh metal patterns are triangles such as regular triangles, isosceles triangles and right triangles, squares such as squares, rectangles, rhombuses, parallelograms, trapezoids, (positive) hexagons, (positive) eights It is preferably a geometric figure combining (positive) n-gons such as squares, circles, ellipses, stars, etc., more preferably square (including square and rhombus) mesh, parallel straight line pattern, parallel wavy line pattern, parallel zigzag Pattern or parallel rectangular pattern. It is more preferable that the mesh shape is composed of these geometric figures. From the viewpoint of visible light transmission, if the number of (positive) n-gons is larger, the aperture ratio increases and the visible light transmission becomes more advantageous if the line width is the same.

本発明の効果を得るためには上記導電性金属部の線幅は50μm以下であることが好ましく、25μm以下、5μm以上25μm以下であることも好ましい。線間隔は50μm以上20mm以下であることが好ましく、更に好ましくは200μm以上5mm以下、最も好ましくは250μm以上350μm以下である。   In order to obtain the effect of the present invention, the line width of the conductive metal portion is preferably 50 μm or less, and more preferably 25 μm or less, 5 μm or more and 25 μm or less. The line spacing is preferably 50 μm or more and 20 mm or less, more preferably 200 μm or more and 5 mm or less, and most preferably 250 μm or more and 350 μm or less.

本発明における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は85%以上であることが好ましく、90%以上であることがさらに好ましく、95%以上であることが最も好ましい。開口率とは、複合メッシュをなす金属部を除いた透光性部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅15μm、ピッチ300μmの正方形の格子状メッシュの開口率は、90%である。
本発明における導電性金属部に含まれる金属成分の全質量に対する銀の質量は50質量%以上であることが好ましく、銀、銅及びパラジウムの合計の質量は80質量%以上であることが好ましい。
本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターは、導電性金属部に担持された導電性金属粒子からなる層の厚さが、0.1μm以上30μm未満であり、かつ表面抵抗値が100Ω/sq以下であることが好ましい。
The conductive metal portion in the present invention has an aperture ratio of preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and most preferably 95% or more from the viewpoint of visible light transmittance. The aperture ratio is a ratio of the entire translucent portion excluding the metal portion forming the composite mesh. For example, the aperture ratio of a square lattice mesh having a line width of 15 μm and a pitch of 300 μm is 90%.
The mass of silver with respect to the total mass of the metal component contained in the conductive metal part in the present invention is preferably 50% by mass or more, and the total mass of silver, copper and palladium is preferably 80% by mass or more.
In the transparent flexible film heater of the present invention, the thickness of the layer made of conductive metal particles carried on the conductive metal portion is 0.1 μm or more and less than 30 μm, and the surface resistance value is 100Ω / sq or less. Is preferred.

[光透過性部]
本発明における「光透過性部」とは、透明フレキシブルフィルムヒーターのうち導電性金属部以外の透明性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、前述のとおり、支持体の光吸収及び反射の寄与を除いた380〜780nmの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が90%以上、好ましくは95%以上、さらに好ましくは97%以上であり、さらにより好ましくは98%以上であり、最も好ましくは99%以上である。
[Light transmissive part]
The “light transmissive part” in the present invention means a part having transparency other than the conductive metal part in the transparent flexible film heater. As described above, the transmittance of the light-transmitting portion is 90% or more, preferably 95, as shown by the minimum transmittance in the wavelength range of 380 to 780 nm excluding the contribution of light absorption and reflection of the support. % Or more, more preferably 97% or more, even more preferably 98% or more, and most preferably 99% or more.

本発明におけるパターンは3m以上連続していることが透明フレキシブルフィルムヒーターの生産性を高く維持するのに好都合である。パターンの連続数が多いほどその効果は大きく、透明フレキシブルフィルムヒーターを生産する場合のロスが低減できる、優れた態様であるといえる。パターンの長尺ロールへの焼き付け露光の方法は、前記したようにパターンマスクを介して一様照射露光を行う方法と搬送移動される長尺ロールへレーザービームを照射する走査露光のいずれで行うこともできる。   It is convenient for the pattern in this invention to maintain the productivity of a transparent flexible film heater that it is continuous for 3 m or more. The greater the number of continuous patterns, the greater the effect, and it can be said that this is an excellent mode in which the loss in producing a transparent flexible film heater can be reduced. As described above, the exposure method for printing the pattern on the long roll is performed by either the method for performing uniform irradiation exposure through the pattern mask or the scanning exposure for irradiating the long roll to be transported and moved with the laser beam. You can also.

本発明においてメッシュが実質的に平行である直線状細線の交叉するパターンとは、いわゆる格子模様を意味し、格子を構成する隣り合う直線が平行または平行±2°以内の場合をいう。   In the present invention, the intersecting pattern of straight fine lines in which the mesh is substantially parallel means a so-called lattice pattern, and refers to a case where adjacent straight lines constituting the lattice are parallel or parallel within ± 2 °.

レーザービームの走査方法としては、搬送方向に対して実質的に垂直な方向に配列したライン状の光源または回転ポリゴンミラーによって露光する方法が好ましい。この場合、光ビームは2値以上の強度変調を行う必要があり、直線はドットの連続としてパターニングされる。ドットの連続であるため一ドットの細線の縁は階段状になるが、細線の太さはくびれた部分の一番狭い長さを意味する。   As a laser beam scanning method, a method of exposing with a linear light source or a rotating polygon mirror arranged in a direction substantially perpendicular to the conveying direction is preferable. In this case, the light beam needs to be intensity-modulated by two or more values, and the straight line is patterned as a series of dots. Since the dots are continuous, the edge of the fine line of one dot is stepped, but the thickness of the fine line means the narrowest length of the constricted part.

本発明において格子模様パターンは搬送方向に対して30°から60°傾かせることが好ましい。より好ましくは40°から50°であり、最も好ましくは43°から47°である。これはパターンが枠に対して45°程度の傾きとなるマスクの作成が一般的に難しく、ムラが出やすい或いは価格が高いなどの問題を生じやすいのに対して、本方式はむしろ45°付近にてムラが出にくいため、本発明の効果がマスク密着露光方式のフォトリソグラフィーやスクリーン印刷によるパターニング対してより顕著な効果がある。
本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターは、光透過性部に実質的に物理現像核を有さないことが好ましい。ここで、実質的にとは光透過性に影響しない程度という意味である。
In the present invention, the lattice pattern is preferably inclined by 30 ° to 60 ° with respect to the transport direction. More preferably, it is 40 ° to 50 °, and most preferably 43 ° to 47 °. This is because it is generally difficult to create a mask whose pattern has an inclination of about 45 ° with respect to the frame, and it tends to cause problems such as unevenness and high price. Therefore, the effect of the present invention is more remarkable for patterning by mask contact exposure type photolithography or screen printing.
The transparent flexible film heater of the present invention preferably has substantially no physical development nucleus in the light transmissive portion. Here, “substantially” means that the light transmittance is not affected.

[透明フレキシブルフィルムヒーター]
本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターにおける支持体の厚さは、1〜500μmであることが好ましく、8〜200μmであることがさらに好ましい。1〜500μmの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱いも容易である。
電圧を印加するための電極としては、少なくとも一対以上の電極を付設するのもとし、これらの電極は導電性を有するものであれば特に限定はなく、例えば、導電性樹脂、導電性樹脂+金属泊、金属メッキや導電性銀ペースト、金属ナノ粒子等が挙げられる。効果的な発熱のためには接触抵抗を少なくする必要があり、より低抵抗のものが好ましい。これらの電極はいずれも公知のものを採用し、公知の方法で形成することができる。
また、本発明の透明フレキシブルフィルムヒーターは単体あるいは対象物に貼り付けて使用するか、またはガラス等の基材に挟んで使用することができる。
[Transparent flexible film heater]
The thickness of the support in the transparent flexible film heater of the present invention is preferably 1 to 500 μm, and more preferably 8 to 200 μm. If it is the range of 1-500 micrometers, the transmittance | permeability of a desired visible light will be obtained and handling will also be easy.
The electrodes for applying the voltage are not particularly limited as long as at least a pair of electrodes are provided, and these electrodes have conductivity. For example, conductive resin, conductive resin + metal A night, metal plating, a conductive silver paste, metal nanoparticles, etc. are mentioned. For effective heat generation, it is necessary to reduce the contact resistance, and a lower resistance is preferable. Any of these electrodes can be formed by a known method using a known one.
The transparent flexible film heater of the present invention can be used alone or attached to an object, or can be used by being sandwiched between substrates such as glass.

物理現像及び/又はメッキ処理前の支持体上に設けられる金属銀部の厚さは、支持体上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。金属銀部の厚さは、30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましく、0.01〜9μmであることがさらに好ましく、0.05〜5μmであることが最も好ましい。金属銀部は1層でもよく、2層以上の重層構成であってもよい。金属銀部がパターン状であり、かつ2層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。   The thickness of the metallic silver portion provided on the support before physical development and / or plating can be appropriately determined according to the coating thickness of the silver salt-containing layer coating applied on the support. The thickness of the metallic silver part is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, further preferably 0.01 to 9 μm, and most preferably 0.05 to 5 μm. The metallic silver part may be a single layer or a multilayer structure of two or more layers. When the metallic silver portion has a pattern shape and has a multilayer structure of two or more layers, different color sensitivities can be imparted so that it can be exposed to different wavelengths. Thereby, when the exposure wavelength is changed and exposed, a different pattern can be formed in each layer.

導電性金属部の厚さは、9μm未満であることが好ましく、0.1μm以上5μm未満であることがより好ましく、0.1μm以上3μm未満であることがさらに好ましい。
本発明では、上述した銀塩含有層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像及び/又はメッキ処理により導電性金属部の厚みを自在にコントロールできるため、5μm未満、好ましくは3μm未満の厚みを有する透明フレキシブルフィルムヒーターであっても容易に形成することができる。
The thickness of the conductive metal portion is preferably less than 9 μm, more preferably from 0.1 μm to less than 5 μm, and even more preferably from 0.1 μm to less than 3 μm.
In the present invention, a metallic silver portion having a desired thickness is formed by controlling the coating thickness of the above-described silver salt-containing layer, and the thickness of the conductive metallic portion can be freely controlled by physical development and / or plating treatment. Therefore, even a transparent flexible film heater having a thickness of less than 5 μm, preferably less than 3 μm, can be easily formed.

なお、従来のエッチングを用いた方法では、金属薄膜の大部分をエッチングで除去、廃棄する必要があったが、銀塩感光材料を用いた方法では必要な量だけの導電性金属を含むパターンを支持体上に設けることができるため、必要最低限の金属量だけを用いればよく、製造コストの削減及び金属廃棄物の量の削減という両面から利点がある。   In the conventional method using etching, it was necessary to remove and discard most of the metal thin film by etching, but in the method using the silver salt photosensitive material, a pattern containing a necessary amount of conductive metal was formed. Since it can be provided on the support, it is only necessary to use the minimum amount of metal, which is advantageous from the viewpoints of reducing the manufacturing cost and the amount of metal waste.

<剥離可能な保護フィルム>
本発明に係る透明フレキシブルフィルムヒーターには、剥離可能な保護フィルムを設けることができる。
保護フィルムは、必ずしも、透明フレキシブルフィルムヒーターの両面に有していなくてもよい。
<Peelable protective film>
The transparent flexible film heater according to the present invention can be provided with a peelable protective film.
The protective film does not necessarily have to be provided on both sides of the transparent flexible film heater.

<黒化処理>
特開2003−188576に示す構成図を例にして述べると、金属箔は、透明基材フィルム側に、黒化処理による黒化層(を有したものであってよく、防錆効果に加え、反射防止性を付与することができる。黒化層は、例えば、Co−Cu合金メッキによって形成され得るものであり、金属箔11の表面の反射を防止することができる。さらにその上に防錆処理としてクロメート処理をしてもよい。クロメート処理は、クロム酸もしくは重クロム酸塩を主成分とする溶液中に浸漬し、乾燥させて防錆被膜を形成するもので、必要に応じ、金属箔の片面もしくは両面に行なうことができるが、市販のクロメート処理された銅箔等を利用してもよい。なお、予め黒化処理された金属箔を用いないときは、後の適宜な工程において、黒化処理してもよい。なお、黒化層の形成は、後述する、レジスト層となり得る感光性樹脂層を、黒色に着色した組成物を用いて形成し、エッチングが終了した後に、レジスト層を除去せずに残留させることによっても形成できるし、黒色系の被膜を与えるメッキ法によってもよい。
<Blackening treatment>
To describe the configuration shown in JP-A-2003-188576 as an example, the metal foil may have a blackening layer (by a blackening treatment) on the transparent base film side, in addition to the rust prevention effect, The blackening layer can be formed by, for example, Co—Cu alloy plating, and can prevent reflection of the surface of the metal foil 11. Further, rust prevention is provided thereon. Chromate treatment may be performed by immersing in a solution containing chromic acid or dichromate as a main component and drying to form a rust-preventive coating. However, it is also possible to use a commercially available chromate-treated copper foil, etc. When not using a previously blackened metal foil, Blackening The blackened layer is formed by forming a photosensitive resin layer that can be a resist layer, which will be described later, using a composition colored in black, and after etching is completed, the resist layer is not removed. It can be formed by plating, or by a plating method that gives a black film.

また、黒化層を含む構成の例としては、特開平11−266095号公報に示した構成であってもよい。上記の電磁波遮蔽板において、例えば、横方向のラインxと縦方向のラインyとが交叉して構成するメッシュ状の導電性パタ−ンPを形成する第1の黒化層3a、第2の黒化層3b等を構成する黒化層としては、次に述べる考え方に基づいて適宜に選択して利用することにより形成することができる。本発明においては、主目的であるメッシュ状の導電性パタ−ンPを形成する方法として二つの方法があり、その一つの方法は、金属メッキ法であり、他の方法は、エッチング法である。本発明においては、上記のいずれかの方法を採用することにより、第1の黒化層3a、第2の黒化層3b等の形成法、使用する材料等が異なる。すなわち、本発明において、第1の黒化層3a、第2の黒化層3b等の上に、導電性パタ−ンPを金属メッキ法等で形成するためには、金属メッキが可能な導電性黒化層が必要であり、また、エッチング法または電着法等により最終工程において黒化する場合には、非導電性材料等を使用して非導電性黒化層を形成することができる。上記の導電性黒化層は、一般に、導電性金属化合物、例えば、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)、銅(Cu)等の化合物を使用して形成することができ、また、非導電性黒化層は、ペ−スト状黒色高分子材料、例えば、黒色インキ等、あるいは、黒化化成材料、例えば、金属メッキ表面を化成処理してなる黒色化合物を形成したもの、更には、電着性イオン性高分子材料、例えば、電着塗装材料等を使用して形成することができる。本発明においては、上記のような黒化層形成方法を利用し、電磁波遮蔽板の製造法における製造工程等に応じた適宜の方法を選択し、それを採用して黒化層を形成することができる。   Further, as an example of the configuration including the blackening layer, the configuration described in JP-A-11-266095 may be used. In the electromagnetic wave shielding plate, for example, the first blackening layer 3a and the second blackening layer 3a that form a mesh-like conductive pattern P formed by crossing a horizontal line x and a vertical line y. The blackened layer constituting the blackened layer 3b and the like can be formed by appropriately selecting and using it based on the following concept. In the present invention, there are two methods for forming the mesh-like conductive pattern P which is the main purpose, one of which is a metal plating method and the other is an etching method. . In the present invention, the method of forming the first blackened layer 3a, the second blackened layer 3b, the materials used, and the like are different by adopting any of the above methods. That is, in the present invention, in order to form the conductive pattern P on the first blackened layer 3a, the second blackened layer 3b, etc. by a metal plating method or the like, a conductive material capable of metal plating is used. When a blackening layer is necessary, and when blackening is performed in the final process by an etching method or an electrodeposition method, a nonconductive blackening layer can be formed using a nonconductive material or the like. . The conductive blackening layer can generally be formed using a conductive metal compound, for example, a compound such as nickel (Ni), zinc (Zn), copper (Cu), etc. The blackening layer is a paste-like black polymer material, such as black ink, or a black chemical conversion material, for example, a black compound formed by chemical conversion of the metal plating surface. It can be formed using a cationic ionic polymer material such as an electrodeposition coating material. In the present invention, using the blackening layer forming method as described above, an appropriate method according to the manufacturing process in the manufacturing method of the electromagnetic wave shielding plate is selected and adopted to form the blackening layer. Can do.

次に、黒化層を設ける方法としては、特開平11−266095号公報の図5に示すように、上記で作製した金属板等の導電性基板11の上に電着を阻害する絶縁性膜で構成するメッシュ状のレジストパタ−ン12を有する電着基板14を、まず、例えば、黒化銅、黒化ニッケル等の電解液中に浸漬し、電気化学的な公知のメッキ法でメッキして、黒化銅層、あるいは、黒化ニッケル層等からなるメッシュ状の第2の黒化層3bを形成する。なお、本発明において、上記の黒色メッキ浴は、硫酸ニッケル塩を主成分とする黒色メッキ浴を使用することができ、更に、市販の黒色メッキ浴も同様に使用することができ、具体的には、例えば、株式会社シミズ製の黒色メッキ浴(商品名、ノ−ブロイSNC、Sn−Ni合金系)、日本化学産業株式会社製の黒色メッキ浴(商品名、ニッカブラック、Sn−Ni合金系)、株式会社金属化学工業製の黒色メッキ浴(商品名、エボニ−クロム85シリ−ズ、Cr系)等を使用することができる。   Next, as a method of providing a blackening layer, as shown in FIG. 5 of JP-A-11-266095, an insulating film that inhibits electrodeposition on the conductive substrate 11 such as a metal plate produced as described above. First, an electrodeposition substrate 14 having a mesh-like resist pattern 12 composed of the following is first immersed in an electrolytic solution such as blackened copper or blackened nickel, and then plated by a known electrochemical plating method: Then, a mesh-like second blackened layer 3b made of a blackened copper layer or a blackened nickel layer is formed. In the present invention, the black plating bath can be a black plating bath mainly composed of nickel sulfate, and a commercially available black plating bath can also be used. For example, Shimizu Corporation black plating bath (trade name, Novroi SNC, Sn-Ni alloy system), Nippon Chemical Industry Co., Ltd. black plating bath (trade name, Nikka Black, Sn-Ni alloy system) ), A black plating bath (trade name, Ebony-chrome 85 series, Cr series) manufactured by Metal Chemical Industry Co., Ltd. can be used.

また、上記の黒色メッキ浴としては、Zn系、Cu系、その他等の種々の黒色メッキ浴を使用することができる。次に、本発明においては、同じく、上記公報図5に示すように、上記で第2の黒化層3bを設けた電着基板14を、電磁波遮蔽用の金属の電解液中に浸漬して、該電着基板14の第2の黒化層3bに相当する箇所に、所望の厚さにメッシュ状の導電性パタ−ン4を積層、電着する。上記において、メッシュ状の導電性パタ−ン4を構成する材料としては、前述の良導電性物質としての金属が最も有利な材料として使用することがでる。而して、上記の金属電着層を形成する場合には、汎用金属の電解液を使用することができるので、多種類の、安価な金属電解液が存在し、目的に適った選択を自由に行うことができるという利点がある。一般に、安価な良導電性金属としては、Cuが多用されており、本発明においても、Cuを使用することが、その目的にも合致して有用なものであり、勿論、その他の金属も同様に用いることができるものである。   Moreover, as said black plating bath, various black plating baths, such as Zn type, Cu type, and others, can be used. Next, in the present invention, similarly, as shown in FIG. 5 of the above publication, the electrodeposition substrate 14 provided with the second blackening layer 3b is immersed in an electrolytic solution of a metal for shielding electromagnetic waves. Then, a conductive mesh pattern 4 having a desired thickness is laminated and electrodeposited at a position corresponding to the second blackening layer 3b of the electrodeposition substrate. In the above, as the material constituting the mesh-like conductive pattern 4, the metal as the above-mentioned good conductive substance can be used as the most advantageous material. Therefore, when forming the above-mentioned metal electrodeposition layer, a general-purpose metal electrolyte can be used, so there are many kinds of inexpensive metal electrolytes, and the choice suitable for the purpose is free. There is an advantage that can be done. In general, Cu is frequently used as an inexpensive good conductive metal, and in the present invention, it is useful to use Cu in accordance with the purpose. Of course, other metals are also the same. It can be used for.

次にまた、本発明において、メッシュ状の導電性パタ−ン4は、単一金属層のみで構成する必要はなく、例えば、図示しないが、上記の例のCuからなるメッシュ状の導電性パタ−ンPは、比較的に柔らかく傷がつき易いので、その保護層として、NiやCr等の汎用の硬質金属を用いて2層からなる金属電着層とすることもできる。次に、本発明においては、同じく、図5に示すように、上記でメッシュ状の導電性パタ−ン4を形成した後、例えば、該メッシュ状の導電性パタ−ン4の表面を化成処理して、具体的には、例えば、導電性パタ−ンPが銅(Cu)からなるものであれば、硫化水素(H2 S)液処理して、銅の表面を硫化銅(CuS)として黒化して、該メッシュ状の導電性パタ−ン4を構成する金属電着層の表面を黒化処理して第1の黒化層3aを形成し、上記の第2の黒化層3b、導電性パタ−ン層4、および、第1の黒化層3aの順で順次に重層して構成したメッシュ状の導電性パタ−ンPを形成するものである。なお、本発明において、上記の銅表面の黒化処理剤としては、硫化物系や硫化物系化合物を用いて容易に製造でき、更にまた、市販品も多種類の処理剤があり、例えば、商品名・コパ−ブラックCuO、同CuS、セレン系のコパ−ブラックNo.65等(アイソレ−ト化学研究所製)、商品名・エボノ−ルCスペシャル(メルテックス株式会社製)等を使用することができる。 Next, in the present invention, the mesh-like conductive pattern 4 need not be composed of only a single metal layer. For example, although not shown, the mesh-like conductive pattern 4 made of Cu in the above example is used. Since P is relatively soft and easily scratched, it can be a two-layer metal electrodeposition layer using a general-purpose hard metal such as Ni or Cr as its protective layer. Next, in the present invention, as shown in FIG. 5, after the mesh-like conductive pattern 4 is formed as described above, for example, the surface of the mesh-like conductive pattern 4 is subjected to chemical conversion treatment. Specifically, for example, if the conductive pattern P is made of copper (Cu), a hydrogen sulfide (H 2 S) solution treatment is performed to change the copper surface to copper sulfide (CuS). Blackening is performed to blacken the surface of the metal electrodeposition layer constituting the mesh-like conductive pattern 4 to form the first blackening layer 3a, and the second blackening layer 3b, A mesh-like conductive pattern P is formed by sequentially layering the conductive pattern layer 4 and the first blackening layer 3a in this order. In the present invention, the copper surface blackening treatment agent can be easily produced using a sulfide-based or sulfide-based compound, and there are many types of commercially available products, for example, Product name: Copa Black CuO, CuS, Selenium Copa Black No. 65 (made by Isolate Chemical Laboratories, Inc.), trade name, Ebonol C Special (made by Meltex Co., Ltd.), etc. can be used.

[実施例1]
メッキ処理なし、カレンダー処理付き
[乳剤の調整]
・1液:
水 750ml
ゼラチン(フタル化処理ゼラチン) 20g
塩化ナトリウム 3g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
・2液
水 300ml
硝酸銀 150g
・3液
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl 20%水溶液) 7ml
[Example 1]
No plating treatment, with calendar treatment [Emulsion adjustment]
・ 1 liquid:
750 ml of water
Gelatin (phthalated gelatin) 20g
Sodium chloride 3g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
・ Two liquids 300ml
150 g silver nitrate
・ 3 liquid water 300ml
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium (0.005% KCl 20% aqueous solution) 5ml
Ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7ml

3液に用いるヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液)およびヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl20%水溶液)は、粉末をそれぞれKCl 20%水溶液、NaCl20%水溶液に溶解し、40℃で120分間加熱して調製した。   Potassium hexachloroiridium (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) and ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) used in the three liquids were dissolved in KCl 20% aqueous solution and NaCl 20% aqueous solution, respectively. And heated for 120 minutes.

38℃、pH4.5に保たれた1液に、2液と3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、2液と3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.21μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。
・4液
水 100ml
硝酸銀 50g
・5液
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
To 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, 90% of the 2 and 3 liquids were simultaneously added over 20 minutes while stirring to form 0.16 μm core particles. Subsequently, the following 4th and 5th liquids were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the 2nd and 3rd liquids were added over 2 minutes to grow to 0.21 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.
・ 4 liquid water 100ml
Silver nitrate 50g
・ 5 liquid 100ml
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法にしたがってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた。(pH3.6±0.2の範囲であった)次に上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度上澄み液を3リットル除去した(第二水洗) 。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返し(第三水洗)て水洗・脱塩行程を終了した。水洗・脱塩後の乳剤をpH6.4、pAg7.5に調整し、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、チオ硫酸ナトリウム15mgと塩化金酸10mgを加え55℃にて最適感度を得るように化学増感を施し、安定剤として1,3,3a,7-テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に塩化銀を70モル%、沃化銀を0.08モル%含む平均粒子径0.22μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。(最終的に乳剤として、pH=6.4、pAg=7.5、電導度=40μS/m、密度=1.2×103kg/m3、粘度=60mPa・sとなった。) Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C. and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide precipitated. (It was in the range of pH 3.6 ± 0.2) Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water washing). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process. The emulsion after water washing and desalting is adjusted to pH 6.4 and pAg 7.5, and 10 mg of sodium benzenethiosulfonate, 3 mg of benzenethiosulfinate, 15 mg of sodium thiosulfate and 10 mg of chloroauric acid are added. Was added, and 100 mg of 1,3,3a, 7-tetraazaindene as a stabilizer and 100 mg of proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd.) as a preservative were added. Finally, a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion containing 70 mol% of silver chloride and 0.08 mol% of silver iodide and having an average grain diameter of 0.22 μm and a coefficient of variation of 9% was obtained. (Finally, the emulsion had pH = 6.4, pAg = 7.5, conductivity = 40 μS / m, density = 1.2 × 10 3 kg / m 3 , and viscosity = 60 mPa · s.)

[塗布試料1の作製]
上記乳剤にゼラチンに対し4wt%の化合物(Cpd-7)を添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整した。このようにして調整した乳剤層塗布液をポリエチレンテレフタレート(PET)上にAg10.5g/m2、ゼラチン0.94g/mになるように塗布し、その後乾燥させた。PETにはあらかじめ親水化処理したものを用いた。
[Preparation of coated sample 1]
A 4 wt% compound (Cpd-7) based on gelatin was added to the emulsion, and the coating solution pH was adjusted to 5.6 using citric acid. The thus adjusted emulsion layer coating solution Ag10.5g / m 2 on a polyethylene terephthalate (PET), was applied so as to gelatin 0.94 g / m 2 and was then dried. PET that had been previously hydrophilized was used.

Figure 2008077879
Figure 2008077879

得られた塗布試料は、乳剤層のAg/バインダー体積比率が1/0.7であり、本発明の導電性膜形成用感光材料に好ましく用いられるAg/バインダー比率1/4以上に該当している。   The obtained coated sample has an Ag / binder volume ratio of the emulsion layer of 1 / 0.7 and corresponds to an Ag / binder ratio of 1/4 or more preferably used in the photosensitive material for forming a conductive film of the present invention. Yes.

[露光・現像処理]
乾燥させた塗布膜にライン/スペース=15μm/285μm(ピッチ300μm)の現像銀像を与えうる格子状のパターンを、大日本スクリーン(株)製のイメージセッターFT-R5055を使用して露光した。このとき露光量は各試料に合わせて最適となるよう調節した。露光後の試料に対し、下記の現像液で現像し、さらに定着液(商品名:CN16X用N3X−R:富士写真フイルム社製)を用いて現像処理を行った後、純粋でリンスし試料を得た。
[Exposure and development processing]
A grid-like pattern capable of giving a developed silver image of line / space = 15 μm / 285 μm (pitch 300 μm) was exposed to the dried coating film using an image setter FT-R5055 manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd. At this time, the exposure amount was adjusted to be optimal for each sample. The exposed sample is developed with the following developer, and further developed using a fixer (trade name: N3X-R for CN16X: manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), and then rinsed with a pure sample. Obtained.

[現像液の組成]
現像液1リットル中に、以下の化合物が含まれる。
ハイドロキノン 0.037mol/L
N−メチルアミノフェノール 0.016mol/L
メタホウ酸ナトリウム 0.140mol/L
水酸化ナトリウム 0.360mol/L
臭化ナトリウム 0.031mol/L
メタ重亜硫酸カリウム 0.187mol/L
[Developer composition]
The following compounds are contained in 1 liter of developer.
Hydroquinone 0.037mol / L
N-methylaminophenol 0.016 mol / L
Sodium metaborate 0.140 mol / L
Sodium hydroxide 0.360 mol / L
Sodium bromide 0.031 mol / L
Potassium metabisulfite 0.187 mol / L

[カレンダー処理]
上記のように現像処理した試料をカレンダー処理した。カレンダーロールは金属ロールからなり、線圧4900N/cm(500kg/cm)をかけてローラー間に試料を通すことにより平滑化処理を行った。
このようにして作製した透明フレキシブルフィルムヒーターは、表面抵抗0.9Ω/□であった。
[Calendar processing]
The sample developed as described above was calendered. The calender roll was made of a metal roll, and was smoothed by applying a linear pressure of 4900 N / cm (500 kg / cm) and passing the sample between the rollers.
The transparent flexible film heater thus produced had a surface resistance of 0.9Ω / □.

[比較例1]
実施例1と同様の試料を全面露光しメッシュパターンのないものを作成した。これを比較例1とする。
得られた試料は、表面抵抗0.09Ω/□であった。
[Comparative Example 1]
A sample similar to that in Example 1 was exposed on the entire surface to prepare a sample without a mesh pattern. This is referred to as Comparative Example 1.
The obtained sample had a surface resistance of 0.09Ω / □.

[実施例2]
メッキ処理付き試料の作製
[塗布試料2]
比較例1で作成した比較試料1に更に下記メッキを施すことにより塗布試料2を作成した。
[メッキ処理]
酸洗浄 35℃ 30秒
電解めっき1 35℃ 30秒 電圧 70V
電解めっき2 35℃ 30秒 電圧 20V
電解めっき3 35℃ 30秒 電圧 10V
電解めっき4 35℃ 30秒 電圧 5V
リンス1* 35℃ 10秒
リンス2* 35℃ 10秒
防錆液 35℃ 30秒
リンス3* 25℃ 60秒
リンス4* 25℃ 60秒
乾 燥 50℃ 60秒
* 水洗過程は、リンス2から1、リンス4から3への2タンク向流方式とした。
電解めっき1〜4のめっき液処方は共に同じであり、下記に示す。
〔電解めっき液 1L処方〕
・電解銅めっき液組成(補充液も同組成)
硫酸銅五水塩 75g
硫酸 190g
塩酸(35%) 0.06mL
カパーグリームPCM 5mL
(ローム・アンド・ハース電子材料(株)製)
純水を加えて 1 L
防錆液として、ベンゾトリアゾールの0.01モル/Lの水溶液を用いた。
[Example 2]
Preparation of sample with plating [Coating sample 2]
A coated sample 2 was prepared by further plating the comparative sample 1 prepared in Comparative Example 1 with the following plating.
[Plating treatment]
Acid cleaning 35 ° C 30 seconds Electrolytic plating 1 35 ° C 30 seconds Voltage 70V
Electrolytic plating 2 35 ℃ 30 seconds Voltage 20V
Electrolytic plating 3 35 ℃ 30 seconds Voltage 10V
Electrolytic plating 4 35 ℃ 30 seconds Voltage 5V
Rinse 1 * 35 ° C. 10 seconds Rinse 2 * 35 ° C. 10 seconds Rust prevention solution 35 ° C. 30 seconds Rinse 3 * 25 ° C. 60 seconds Rinse 4 * 25 ° C. 60 seconds Drying 50 ° C. 60 seconds * Rinse process is 1 to 2 A two-tank countercurrent system from rinse 4 to 3 was adopted.
The plating solution prescriptions for electrolytic plating 1 to 4 are the same and are shown below.
[Electrolytic plating solution 1L prescription]
・ Electrolytic copper plating solution composition (same replenisher composition)
Copper sulfate pentahydrate 75g
190g of sulfuric acid
Hydrochloric acid (35%) 0.06mL
Capper Gream PCM 5mL
(Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.)
Add pure water and add 1 L
A 0.01 mol / L aqueous solution of benzotriazole was used as a rust preventive liquid.

〔リンス液 1L処方(リンス1〜6は共通)〕
脱イオン水(導電率5μS/cm以下) 1000 mL
pH 6.5に調製
得られた透明フレキシブルフィルムヒーターは、表面抵抗0.2Ω/□であった。
[Rinse solution 1L prescription (Rinse 1-6 are common)]
Deionized water (conductivity 5μS / cm or less) 1000 mL
The pH value was adjusted to 6.5. The obtained transparent flexible film heater had a surface resistance of 0.2Ω / □.

[比較例2]
メッキ処理なし、カレンダー処理なし
[乳剤の調製]
・1液:
水 750ml
ゼラチン 20g
塩化ナトリウム 3g
1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−チオン 20mg
ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム 10mg
クエン酸 0.7g
・2液
水 300ml
硝酸銀 150g
・3液
水 300ml
塩化ナトリウム 38g
臭化カリウム 32g
ヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液) 5ml
ヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl 20%水溶液) 7ml
[Comparative Example 2]
No plating or calendering [Emulsion preparation]
・ 1 liquid:
750ml water
20g gelatin
Sodium chloride 3g
1,3-Dimethylimidazolidine-2-thione 20mg
Sodium benzenethiosulfonate 10mg
Citric acid 0.7g
・ Two liquids 300ml
150 g silver nitrate
・ 3 liquid water 300ml
Sodium chloride 38g
Potassium bromide 32g
Hexachloroiridium (III) potassium (0.005% KCl 20% aqueous solution) 5ml
Ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) 7ml

3液に用いるヘキサクロロイリジウム(III)酸カリウム(0.005% KCl 20%水溶液)およびヘキサクロロロジウム酸アンモニウム(0.001% NaCl20%水溶液)は、粉末をそれぞれKCl 20%水溶液、NaCl20%水溶液に溶解し、40℃で120分間加熱して調製した。   Potassium hexachloroiridium (III) (0.005% KCl 20% aqueous solution) and ammonium hexachlororhodate (0.001% NaCl 20% aqueous solution) used in the three liquids were dissolved in KCl 20% aqueous solution and NaCl 20% aqueous solution, respectively. And heated for 120 minutes.

38℃、pH4.5に保たれた1液に、2液と3液の各々90%に相当する量を攪拌しながら同時に20分間にわたって加え、0.16μmの核粒子を形成した。続いて下記4液、5液を8分間にわたって加え、さらに、2液と3液の残りの10%の量を2分間にわたって加え、0.21μmまで成長させた。さらに、ヨウ化カリウム0.15gを加え5分間熟成し粒子形成を終了した。
・4液
水 100ml
硝酸銀 50g
・5液
水 100ml
塩化ナトリウム 13g
臭化カリウム 11g
黄血塩 5mg
To 1 liquid maintained at 38 ° C. and pH 4.5, 90% of the 2 and 3 liquids were simultaneously added over 20 minutes while stirring to form 0.16 μm core particles. Subsequently, the following 4th and 5th liquids were added over 8 minutes, and the remaining 10% of the 2nd and 3rd liquids were added over 2 minutes to grow to 0.21 μm. Further, 0.15 g of potassium iodide was added and ripened for 5 minutes to complete grain formation.
・ 4 liquid water 100ml
Silver nitrate 50g
・ 5 liquid 100ml
Sodium chloride 13g
Potassium bromide 11g
Yellow blood salt 5mg

その後、常法にしたがってフロキュレーション法によって水洗した。具体的には、温度を35℃に下げ、下記に示すアニオン性沈降剤−1を3g加え、硫酸を用いてハロゲン化銀が沈降するまでpHを下げた。(pH3.2±0.2の範囲であった)次に上澄み液を約3リットル除去した(第一水洗)。さらに3リットルの蒸留水を加えてから、ハロゲン化銀が沈降するまで硫酸を加えた。再度上澄み液を3リットル除去した(第二水洗)。第二水洗と同じ操作をさらに1回繰り返し(第三水洗)て水洗・脱塩行程を終了した。水洗・脱塩後の乳剤にゼラチン30gを加え、pH5.6、pAg7.5に調整し、ベンゼンチオスルホン酸ナトリウム10mg、ベンゼンチオスルフィン酸ナトリウム3mg、チオ硫酸ナトリウム15mgと塩化金酸10mgを加え55℃にて最適感度を得るように化学増感を施し、安定剤として1,3,3a,7-テトラアザインデン100mg、防腐剤としてプロキセル(商品名、ICI Co.,Ltd.製)100mgを加えた。最終的に塩化銀を70モル%、沃化銀を0.08モル%含む平均粒子径0.22μm、変動係数9%のヨウ塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。(最終的に乳剤として、pH=5.7、pAg=7.5、電導度=40μS/m、密度=1.2×103kg/m3、粘度=60mPa・sとなった。) Then, it washed with water by the flocculation method according to a conventional method. Specifically, the temperature was lowered to 35 ° C., 3 g of anionic precipitation agent-1 shown below was added, and the pH was lowered using sulfuric acid until the silver halide was precipitated. Next, about 3 liters of the supernatant was removed (first water wash). Further, 3 liters of distilled water was added, and sulfuric acid was added until the silver halide settled. Again, 3 liters of the supernatant was removed (second water wash). The same operation as the second water washing was further repeated once (third water washing) to complete the water washing / desalting process. 30 g of gelatin was added to the emulsion after washing and desalting, adjusted to pH 5.6 and pAg 7.5, 10 mg of sodium benzenethiosulfonate, 3 mg of benzenethiosulfinate, 15 mg of sodium thiosulfate and 10 mg of chloroauric acid were added. Chemical sensitization to obtain optimum sensitivity at 0 ° C., 100 mg of 1,3,3a, 7-tetraazaindene as stabilizer and 100 mg of proxel (trade name, manufactured by ICI Co., Ltd.) as preservative It was. Finally, a silver iodochlorobromide cubic grain emulsion containing 70 mol% of silver chloride and 0.08 mol% of silver iodide and having an average grain diameter of 0.22 μm and a coefficient of variation of 9% was obtained. (Finally, the emulsion had pH = 5.7, pAg = 7.5, conductivity = 40 μS / m, density = 1.2 × 10 3 kg / m 3 , and viscosity = 60 mPa · s.)

Figure 2008077879
Figure 2008077879

[比較塗布試料2の作製]
上記乳剤にゼラチンに対し4wt%の化合物(Cpd−7)を添加し、クエン酸を用いて塗布液pHを5.6に調整した。このようにして調製した乳剤層塗布液をポリエチレンテレフタレート(PET)上にAg3.4g/m、ゼラチン1.9g/mになるように塗布し、その後乾燥させた。PETにはあらかじめ親水化処理したものを用いた。
[露光・現像処理]
乾燥させた塗布膜にライン/スペース=15μm/285μm(ピッチ300μm)の現像銀像を与えうる格子状のパターンを、大日本スクリーン(株)製のイメージセッターFT-R5055を使用して露光した。このとき露光量は各試料に合わせて最適となるよう調節した。
露光後の試料に対し、下記処方の現像液(A)および定着液(B)を使用し、FG−680AG自動現像機(富士写真フイルム株式会社製)を用い、35℃30秒の現像条件で処理した。
[Preparation of Comparative Application Sample 2]
A 4 wt% compound (Cpd-7) based on gelatin was added to the emulsion, and the coating solution pH was adjusted to 5.6 using citric acid. Thus the emulsion layer coating liquid prepared Ag3.4g / m 2 on a polyethylene terephthalate (PET), was applied so as to gelatin 1.9 g / m 2 and was then dried. PET that had been previously hydrophilized was used.
[Exposure and development processing]
A grid-like pattern capable of giving a developed silver image of line / space = 15 μm / 285 μm (pitch 300 μm) was exposed to the dried coating film using an image setter FT-R5055 manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd. At this time, the exposure amount was adjusted to be optimal for each sample.
Using the developer (A) and fixer (B) of the following formulation for the exposed sample, using an FG-680AG automatic developing machine (manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) under the developing conditions of 35 ° C. and 30 seconds. Processed.

・現像液(A)処方 濃縮液1Lあたりの組成を示す。
水酸化カリウム 60.0g
ジエチレントリアミン・五酢酸 3.0g
炭酸カリウム 90.0g
メタ重亜硫酸ナトリウム 105.0g
臭化カリウム 10.5g
ハイドロキノン 60.0g
5-メチルベンゾトリアゾール 0.53g
4-ヒドロキシメチル-4-メチル-1-フェニル -3-ピラゾリドン 2.3g
3-(5-メルカプトテトラゾール-1-イル)ベンゼンスルホン酸ナトリウム
0.15g
2-メルカプトベンゾイミダゾール -5-スルホン酸ナトリウム 0.45g
エリソルビン酸ナトリウム 9.0g
ジエチレングリコール 7.5g
pH 10.79
使用にあたっては、母液は上記濃縮液2部に対して水1部の割合で希釈し、母液のpHは10.65であり、補充液は上記濃縮液4部に対して水3部の割合で希釈し補充液のpHは10.62であった。
-Developer (A) formulation The composition per liter of the concentrated solution is shown.
Potassium hydroxide 60.0g
Diethylenetriamine / pentaacetic acid 3.0g
Potassium carbonate 90.0g
Sodium metabisulfite 105.0g
Potassium bromide 10.5g
Hydroquinone 60.0g
5-methylbenzotriazole 0.53g
4-hydroxymethyl-4-methyl-1-phenyl-3-pyrazolidone 2.3 g
3- (5-Mercaptotetrazol-1-yl) benzenesulfonic acid sodium salt
0.15g
2-Mercaptobenzimidazole-5-sulfonic acid sodium salt 0.45 g
Sodium erythorbate 9.0g
Diethylene glycol 7.5g
pH 10.79
In use, the mother liquor is diluted at a ratio of 1 part water to 2 parts of the concentrate, the pH of the mother liquor is 10.65, and the replenisher is at a ratio of 3 parts water to the 4 parts of the concentrate. The pH of the diluted replenisher was 10.62.

・定着液(B)処方 濃縮液1Lあたりの処方を示す。
チオ硫酸アンモニウム 360g
エチレンジアミン・四酢酸・2Na・2水塩 0.09g
チオ硫酸ナトリウム・5水塩 33.0g
メタ亜硫酸ナトリウム 57.0g
水酸化ナトリウム 37.2g
酢酸(100%) 90.0g
酒石酸 8.7g
グルコン酸ナトリウム 5.1g
硫酸アルミニウム 25.2g
pH 4.85
使用にあたっては、上記濃縮液1部に対して水2部の割合で希釈する。使用液のpHは4.8である。補充液は上記使用液と同じ希釈したものを用い、感材1m2当たり、258mlで行った。
このようにして作製した透明フレキシブルフィルムヒーターは、表面抵抗32Ω/□であった。
[評価]
上記のようにして得られた、試料を3.5cm×10cmに裁断し、図1(透明フレキシブルフィルムヒーターの両端に通電用電極端子を設けた本発明の適用概念図)に示すように短辺側両側に電極としてハンダを線状に付設する。この電極間に一定の電圧を印加し赤外線温度計にて表面温度を測定し電圧印加前との温度差(ΔT)を測定した。
得られた結果を下記の表に示す。
-Fixing liquid (B) prescription The prescription per 1 L of the concentrated liquid is shown.
360g ammonium thiosulfate
Ethylenediamine ・ tetraacetic acid ・ 2Na ・ 2 hydrate 0.09g
Sodium thiosulfate, pentahydrate 33.0g
Sodium metasulfite 57.0g
Sodium hydroxide 37.2g
Acetic acid (100%) 90.0g
Tartaric acid 8.7g
Sodium gluconate 5.1g
Aluminum sulfate 25.2g
pH 4.85
In use, it is diluted at a ratio of 2 parts of water to 1 part of the concentrated liquid. The pH of the working solution is 4.8. The replenisher used was the same diluted solution as used above, and was used at 258 ml per 1 m 2 of the sensitive material.
The transparent flexible film heater thus produced had a surface resistance of 32Ω / □.
[Evaluation]
The sample obtained as described above was cut into 3.5 cm × 10 cm, and the short side as shown in FIG. 1 (application conceptual diagram of the present invention in which the electrode terminals for energization were provided at both ends of the transparent flexible film heater). Solder is attached linearly as electrodes on both sides. A constant voltage was applied between the electrodes, the surface temperature was measured with an infrared thermometer, and the temperature difference (ΔT) from before the voltage application was measured.
The results obtained are shown in the table below.

Figure 2008077879
Figure 2008077879

E:電源電圧(V)
A=E/(L×R)
L:電極間距離(cm)
R:抵抗値(Ω)
E: Power supply voltage (V)
A = E 2 / (L × R)
L: Distance between electrodes (cm)
R: Resistance value (Ω)

表の結果から明らかなように、上記計算値Aが本発明の範囲内である実施例1および2は発熱効率が高く、しかも実用的に高い温度上昇を示した。しかし、Aが本発明の範囲より小さい比較例2では発熱効率が高いものの、温度上昇が非常に小さく実用に適さないことが分かる。一方、Aが本発明の範囲より大きい比較例1では発熱効率が低く、実用に適さないことがわかる。   As is apparent from the results of the table, Examples 1 and 2 in which the calculated value A is within the range of the present invention have high heat generation efficiency and practically high temperature rise. However, in Comparative Example 2 where A is smaller than the range of the present invention, although the heat generation efficiency is high, it is understood that the temperature rise is very small and not suitable for practical use. On the other hand, it can be seen that Comparative Example 1 in which A is larger than the range of the present invention has low heat generation efficiency and is not suitable for practical use.

発熱量測定の実験試料構成の概念図である。It is a conceptual diagram of the experimental sample structure of calorific value measurement.

符号の説明Explanation of symbols

1 電極(ハンダ) 1 Electrode (solder)

Claims (38)

透明フレキシブル支持体上に実質的に透明な導電性金属パターン構造を有する発熱体であって、且つ該発熱体の印加電極間の距離をL(cm)、発熱体の電極間の抵抗をR(Ω)、電源電圧をE(v)としたとき下記の式(1)を満足することを特徴とする透明フレキシブルフィルムヒーター。
0.1≦E/(L×R)≦2.0 式(1)
A heating element having a conductive metal pattern structure that is substantially transparent on a transparent flexible support, and the distance between applied electrodes of the heating element is L (cm), and the resistance between the electrodes of the heating element is R ( Ω) and a transparent flexible film heater characterized by satisfying the following formula (1) when the power supply voltage is E (v).
0.1 ≦ E 2 /(L×R)≦2.0 Formula (1)
前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が線幅50μm以下の金属細線からなる導電性金属部と、該細線部に囲まれてなる光透過性部とからなるパターン構造を有することを特徴とする上記請求項1に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The heating element having the conductive metal pattern structure has a pattern structure including a conductive metal portion made of a fine metal wire having a line width of 50 μm or less and a light transmissive portion surrounded by the fine wire portion. The transparent flexible film heater according to claim 1. 金属細線部の線幅が25μm以下であることを特徴とする、上記請求項2に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 2, wherein a line width of the thin metal wire portion is 25 μm or less. 金属細線部の線幅が0.4μm以上、50μm以下であることを特徴とする、上記請求項2又は3に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   4. The transparent flexible film heater according to claim 2, wherein a line width of the thin metal wire portion is 0.4 μm or more and 50 μm or less. 金属細線部の線幅が0.4μm以上、50μm以下であって、かつ光透過性部/全フィルム面積の比率が70〜99.9%であることを特徴とする、上記請求項2〜4のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The line width of the fine metal wire portion is 0.4 μm or more and 50 μm or less, and the ratio of the light transmitting portion / total film area is 70 to 99.9%. The transparent flexible film heater in any one of. 前記パターン構造が四角形(正方形、菱形含む)メッシュ、六角形メッシュ、平行直線パターン、平行波線パターン、平行ジグザグパターンであることを特徴とする上記請求項1〜5のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   6. The transparent flexible film according to claim 1, wherein the pattern structure is a quadrilateral (including square or rhombus) mesh, a hexagonal mesh, a parallel straight line pattern, a parallel wavy pattern, or a parallel zigzag pattern. heater. 前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成した後に圧密処理することにより形成されたものであることを特徴とする上記請求項1〜6のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The heating element having the conductive metal pattern structure exposes a silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on a support, and develops the metal silver portion and the light transmissive portion. The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 6, wherein the transparent flexible film heater is formed by a consolidation treatment after the formation. 前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持されて形成されたものであることを特徴とする、上記請求項1〜7のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The heating element having the conductive metal pattern structure exposes a silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on a support, and develops the metal silver portion and the light transmissive portion. 8. The method according to claim 1, wherein the metal silver portion is formed by carrying conductive metal particles by physical development and / or plating treatment of the metal portion. The transparent flexible film heater of crab. 前記導電性金属パターン構造を有する発熱体が、支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた後に圧密処理されたものであることを特徴とする、上記請求項7または8に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The heating element having the conductive metal pattern structure exposes a silver salt-containing layer containing photosensitive silver halide provided on a support, and develops the metal silver portion and the light transmissive portion. 9. The method according to claim 7 or 8, wherein the metal part is formed and subjected to physical development and / or plating so that conductive metal particles are supported on the metal silver part and then compacted. The transparent flexible film heater described in 1. 前記ハロゲン化銀が臭化銀を主体とすることを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 9, wherein the silver halide is mainly composed of silver bromide. 前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/4以上であることを特徴とする上記請求項7〜10のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 10, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is ¼ or more. 前記銀塩含有層中のAg/バインダー体積比が1/2以上であることを特徴とする上記請求項7〜10のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 10, wherein an Ag / binder volume ratio in the silver salt-containing layer is ½ or more. 前記銀塩含有層に含まれるハロゲン化銀の平均球相当径が0.1〜100nmであることを特徴とする上記請求項7〜12のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 12, wherein an average spherical equivalent diameter of silver halide contained in the silver salt-containing layer is 0.1 to 100 nm. 前記露光がレーザービームによる走査露光方式で行われることを特徴とする上記請求項7〜13のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 7, wherein the exposure is performed by a scanning exposure method using a laser beam. 前記露光がフォトマスクを介して行われることを特徴とする上記請求項7〜14のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 7, wherein the exposure is performed through a photomask. 前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液が画質向上剤を含有することを特徴とする上記請求項7〜15のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 15, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer contains an image quality improver. 前記画質向上剤が含窒素へテロ環化合物である上記請求項16に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 16, wherein the image quality improver is a nitrogen-containing heterocyclic compound. 前記銀塩含有層の現像処理で用いられる現像液がリス現像液であることを特徴とする上記請求項7〜17のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 17, wherein the developer used in the development treatment of the silver salt-containing layer is a lith developer. 前記現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量が、露光前の前記露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることを特徴とする上記請求項7〜18のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The mass of the metallic silver contained in the exposed portion after the development treatment is a content of 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. The transparent flexible film heater in any one of 7-18. 前記メッキ処理が無電解メッキで行われることを特徴とする上記請求項8に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 8, wherein the plating process is performed by electroless plating. 前記メッキ処理が電解メッキで行われることを特徴とする上記請求項8に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 8, wherein the plating process is performed by electrolytic plating. 前記メッキ処理が無電解メッキ及びそれに続く電解メッキで行われることを特徴とする上記請求項8、20又は21のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 8, 20 and 21, wherein the plating is performed by electroless plating and subsequent electrolytic plating. 前記無電解メッキが無電解銅メッキであることを特徴とする上記請求項20又は22に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 20 or 22, wherein the electroless plating is electroless copper plating. 前記銀塩含有層の現像処理後の階調が4.0を超えることを特徴とする上記請求項7〜23のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   24. The transparent flexible film heater according to any one of claims 7 to 23, wherein a gradation after development processing of the silver salt-containing layer exceeds 4.0. 前記導電性金属部の表面をさらに黒化処理することを特徴とする上記請求項1〜24のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 24, wherein the surface of the conductive metal portion is further blackened. 前記光透過性部が物理現像核を有しないことを特徴とする上記請求項1〜25のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 25, wherein the light-transmitting portion does not have a physical development nucleus. 前記物理現像及び/又はメッキ処理及び/又は圧密処理後の透明フレキシブルフィルムヒーターの表面抵抗が100Ω/sq以下であり、かつ前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記請求項1〜26のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The surface resistance of the transparent flexible film heater after the physical development and / or plating treatment and / or consolidation treatment is 100Ω / sq or less, and the transmittance of the light transmissive part is 95% or more. The transparent flexible film heater in any one of the said Claims 1-26. 前記物理現像及び/又はメッキ処理及び/又は圧密処理後の透明フレキシブルフィルムヒーターの表面抵抗が0.1〜50Ω/sqであり、かつ前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記請求項26に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The surface resistance of the transparent flexible film heater after the physical development and / or plating treatment and / or consolidation treatment is 0.1 to 50Ω / sq, and the transmittance of the light transmissive portion is 95% or more. 27. The transparent flexible film heater according to claim 26, characterized by the above. 前記導電性金属部に含まれる金属成分の全質量に対する銀の質量が50質量%以上であることを特徴とする上記請求項1〜28のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   29. The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 28, wherein the mass of silver is 50% by mass or more with respect to the total mass of the metal component contained in the conductive metal part. 前記導電性金属部に含まれる金属成分の全質量に対する銀、銅及びパラジウムの合計の質量が80質量%以上であることを特徴とする上記請求項1〜29のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   30. The transparent flexible film according to any one of claims 1 to 29, wherein the total mass of silver, copper and palladium with respect to the total mass of the metal component contained in the conductive metal part is 80% by mass or more. heater. 前記導電性金属部の開口率が85%以上であることを特徴とする上記請求項1〜30のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 30, wherein an opening ratio of the conductive metal portion is 85% or more. 前記導電性金属部に担持された導電性金属粒子からなる層の厚さが0.1μm以上30μm未満であり、かつ表面抵抗値が100Ω/sq以下であることを特徴とする上記請求項1〜31のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The thickness of the layer made of conductive metal particles carried on the conductive metal part is 0.1 μm or more and less than 30 μm, and the surface resistance value is 100Ω / sq or less. 31. The transparent flexible film heater according to any one of 31. 前記支持体が厚み8〜200μmのプラスチックフィルムからなることを特徴とする上記請求項1〜32のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to claim 1, wherein the support is made of a plastic film having a thickness of 8 to 200 μm. 前記支持体を構成するプラスチックフィルムがポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルブチラール、ポリアミド、ポリエーテル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、EVAなどのポリオレフィン類、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース(TAC)、アクリル樹脂、ポリイミド、またはアラミドであることを特徴とする上記請求項33に記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The plastic film constituting the support is polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyamide, polyether, polysulfone, polyethersulfone, polycarbonate, polyarylate, 34. The transparent according to claim 33, which is a polyolefin such as polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, EVA, polycarbonate, triacetylcellulose (TAC), acrylic resin, polyimide, or aramid. Flexible film heater. 前記光透過性部の透過率が95%以上であることを特徴とする上記請求項1〜34のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 34, wherein the light transmissive portion has a transmittance of 95% or more. 前記光透過性部の透過率が98%以上であることを特徴とする上記請求項1〜34のいずれかに記載の透明フレキシブルフィルムヒーター。   The transparent flexible film heater according to any one of claims 1 to 34, wherein the light transmissive portion has a transmittance of 98% or more. 支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成した後に圧密処理することにより導電性金属パターン構造を有する発熱体を形成することを特徴とする請求項1に記載の透明フレキシブルフィルムヒーターの製造方法。   A conductive metal pattern is formed by exposing a silver salt-containing layer containing a photosensitive silver halide provided on a support to a metal silver portion and a light-transmitting portion by exposing and developing the layer and then subjecting it to a consolidation treatment. The method for producing a transparent flexible film heater according to claim 1, wherein a heating element having a structure is formed. 支持体上に設けられた感光性ハロゲン化銀を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、前記金属部を物理現像および/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させて導電性金属パターン構造を有する発熱体を形成することを特徴とする請求項1に記載の透明フレキシブルフィルムヒーターの製造方法。   A silver salt-containing layer containing a photosensitive silver halide provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light-transmitting part, and the metallic part is physically developed and / or The method for producing a transparent flexible film heater according to claim 1, wherein a conductive element is supported on the metal silver portion by plating to form a heating element having a conductive metal pattern structure.
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