JP2008052900A - Universal head medium evaluation device - Google Patents

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隆久 上野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that time and effort are needed for always obtaining satisfactory evaluation and enhancing reliability of measurement. <P>SOLUTION: In a universal head medium evaluation device (universal disk tester) (UDT) provided with a nonvolatile memory 18 for storing frequency characteristics for every UDT element which constitutes a signal transmission system of the UDT for every UDT element, a system control part 12 has a function for reading frequency characteristics from the nonvolatile memory 18 for every UDT element, calculating frequency characteristics of the whole system, setting a measurement limit according to given algorithm based on the frequency characteristics of the whole system, displaying the measurement limit on a screen and presenting the same to an operator and the like. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁気ディスク装置等において、情報の書込み/読込みを行うために使用される各種のヘッドと媒体(ディスク)の特性を、設計及び製造過程で評価する汎用型ヘッド媒体評価装置に関する。近年、汎用型ヘッド媒体評価装置(以下「UDT」とも記す)が使われているが、この装置に対し、次のようなことが要望されていた。   The present invention relates to a general-purpose head medium evaluation apparatus that evaluates characteristics of various heads and media (disks) used for writing / reading information in a magnetic disk apparatus or the like in a design and manufacturing process. In recent years, a general-purpose head medium evaluation apparatus (hereinafter also referred to as “UDT”) has been used, and the following has been required for this apparatus.

1.UDTにおいて、UDT機種間、又は同一機種の号機間でのシステム全体の周波数特性のバラツキに応じて、測定限界をオペレータが把握できるようにすることが望まれている。この場合、UDT要素は、通常、回路素子としてのバラツキを持っている。回路の限界を目指す現状では、回路のバラツキを調整し、UDT間で特性を合わせることは難しい。   1. In UDT, it is desired that an operator can grasp a measurement limit according to variation in frequency characteristics of the entire system between UDT models or between units of the same model. In this case, the UDT element usually has variations as circuit elements. At present, aiming to limit the circuit, it is difficult to adjust the variation between the circuits and match the characteristics between the UDTs.

また、測定目的により、頻繁にシステムの一部(例えば、ヘッドIC)を交換する場合があり、その都度、再調整を行うことは時間の浪費を招く。従って、システムを構成するUDT要素に応じた測定限界が、構成を変更した際にオペレータに明確に示されるUDTが望まれていた。   Further, a part of the system (for example, a head IC) may be frequently replaced depending on the measurement purpose, and performing the readjustment each time causes a waste of time. Therefore, there has been a demand for UDT in which the measurement limit according to the UDT elements constituting the system is clearly shown to the operator when the configuration is changed.

2.UDT間の周波数特性のバラツキに応じてUDT間で測定結果に違いが生じさせないことが望まれている。この場合、UDTのシステム構成や号機間で、UDT要素の周波数特性に差異があっても、システム全体が同じ周波数特性による測定結果となることが望まれていた。   2. It is desired not to cause a difference in measurement results between UDTs according to variations in frequency characteristics between UDTs. In this case, even if there is a difference in the frequency characteristics of the UDT elements between the UDT system configuration and the units, it is desired that the entire system has a measurement result with the same frequency characteristics.

3.UDTでは、測定媒体の寸法に応じて、媒体取り付けハブを交換する必要があるが、交換に際し、スピンドルスタンドのマスバランスが崩れてしまう可能性がある。マスバランスの測定と調整は手間が掛かるので、測定器なしで、マスバランスが許容レベル以内かを簡単に判断できるようにすることが望まれていた(判断結果が悪い場合に限り、マスバランス調整を行う)。   3. In UDT, it is necessary to replace the medium mounting hub according to the dimensions of the measurement medium. However, the mass balance of the spindle stand may be lost during the replacement. Measurement and adjustment of mass balance is time consuming, so it was desirable to be able to easily determine whether the mass balance is within an acceptable level without using a measuring instrument. I do).

4.:UDTは、精密モータで、ヘッド/アームを支える移動ステージ全体を微小ピッチで移動させる。精密モータには、超音波モータや、エアー浮上型モータ等の、移動後は駆動力を切ることで、駆動力による振動を除去するシステムを用いることが多い。これらのモータは、位置決め精度が劣化してもリトライにより目標位置に到達すれば測定精度は保たれる。   4). : UDT is a precision motor that moves the entire moving stage that supports the head / arm at a fine pitch. For precision motors, systems such as ultrasonic motors and air levitation motors are often used to eliminate vibrations due to driving force by turning off the driving force after movement. Even if the positioning accuracy deteriorates, these motors can maintain the measurement accuracy if they reach the target position by retry.

しかし、評価における移動ステージの移動頻度が高いため、モータへの負荷が大きくなり、性能劣化を招きやすい。従って、経時変化に応じて制御方式を変化させる必要がある。また、精密位置決めによる測定のため、たまたま発生する位置誤差を効率良く処理するリトライ制御が望まれていた。   However, since the moving frequency of the moving stage in the evaluation is high, the load on the motor becomes large and the performance is likely to deteriorate. Therefore, it is necessary to change the control method according to the change with time. In addition, for measurement by precise positioning, there has been a demand for retry control that efficiently processes a position error that happens to occur.

5.:MRヘッドでは、本来磁化状態が特定の方向に揃っていなければならない層の磁化方向が反転する現象(以下、「ピン層反転」と記す)がある。測定時にピン層反転が生じていると、正確な測定が行なえず、ピン層反転を認識する機能が望まれていた。   5. : In the MR head, there is a phenomenon (hereinafter referred to as “pinned layer reversal”) in which the magnetization direction of the layer whose magnetization state must be aligned in a specific direction is reversed. If pin layer inversion occurred during measurement, accurate measurement could not be performed, and a function of recognizing pin layer inversion was desired.

(従来の技術)
以下、従来例を説明する。
(Conventional technology)
A conventional example will be described below.

§1:従来例の説明(その1)
図5は従来例の説明図である。従来、磁気ディスク装置には情報を記録するための磁気ディスク(以下「媒体」と記す)や、前記媒体に対して情報の書込み/読込み(ライト/リード)を行うための書込み/読込みヘッド(ライト/リードヘッド)等が設けられていた。このようなヘッドや媒体は、その性能等を磁気ディスク装置の設計、および製造過程で評価する必要があり、そのため、汎用型ヘッド媒体評価装置(以下「UDT」と記す)が使用されていた。
§1: Description of conventional example (1)
FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example. Conventionally, a magnetic disk device has a magnetic disk (hereinafter referred to as “medium”) for recording information, and a write / read head (write / read) for writing / reading information to / from the medium (write / read). / Readhead) and the like. Such heads and media need to be evaluated for performance and the like in the design and manufacturing process of the magnetic disk device. For this reason, a general-purpose head medium evaluation device (hereinafter referred to as “UDT”) has been used.

このUDT(UDT:Universal Disk Tester )による評価において、ヘッドと媒体を別々に評価したのでは、実際の磁気ディスク装置に搭載した場合と異なる評価結果となるため、ヘッドと媒体を一組にして(以下、ヘッドと媒体を一組としたものを「ヘッド媒体」と記す)評価していた。   In the evaluation by UDT (UDT: Universal Disk Tester), if the head and the medium are evaluated separately, the evaluation result is different from the case where the head is mounted on the actual magnetic disk device. Hereinafter, a combination of a head and a medium is referred to as a “head medium”).

前記UDTは、図5に示したように、スピンドル機構1と、該スピンドル機構1に取り付けられた媒体2と、ヘッド3と、前記ヘッド3を取り付けたスライダ4と、前記スライダ4を取り付け、移動可能に構成された移動ステージ5と、制御装置6を備えている。   As shown in FIG. 5, the UDT has a spindle mechanism 1, a medium 2 attached to the spindle mechanism 1, a head 3, a slider 4 to which the head 3 is attached, and a slider 4 attached and moved. A movable stage 5 and a control device 6 are provided.

スピンドル機構1は制御装置6の制御により駆動され、媒体2を回転駆動するものである。また、移動ステージ5は制御装置6の制御により移動可能に構成され、この移動ステージ5の移動によりヘッド3を移動させるものである。ヘッド3は、前記移動ステージ5の移動により媒体2上の指定されたトラックへ位置づけされ、媒体2に対して、情報の書込み/読込み(ライト/リード)を行うものである。   The spindle mechanism 1 is driven by the control of the control device 6 and rotationally drives the medium 2. The moving stage 5 is configured to be movable under the control of the control device 6, and the head 3 is moved by the movement of the moving stage 5. The head 3 is positioned on a designated track on the medium 2 by the movement of the moving stage 5, and writes / reads information (write / read) on the medium 2.

制御装置6は移動ステージ5の移動制御を行い、ヘッド3を介して媒体2に対し、情報の書込み/読込みの制御を行うと共に、前記書込み/読込みにより得られたデータを基にヘッド媒体の評価を行うものである。この場合、UDTは、汎用性と評価設備の性格上、各種の評価対象に対し、装置実装状態以上の評価能力を要求され、それを満足するように設計、製造されている。   The control device 6 controls the movement of the moving stage 5, controls the writing / reading of information with respect to the medium 2 via the head 3, and evaluates the head medium based on the data obtained by the writing / reading. Is to do. In this case, the UDT is designed and manufactured so that various evaluation objects are required to have an evaluation capability equal to or higher than that of the device mounted state due to the versatility and the evaluation equipment.

ヘッド媒体の評価を行う場合、ヘッド3と媒体2を交換しながら(取り外し自在である)、UDTにより順次試験を行い、ヘッド媒体の特性の評価を行う。この場合、制御装置6の制御により移動ステージ5を移動させてヘッド3の位置決め制御を行うが、制御装置6の位置決め制御はオープン制御であり、クローズ制御は行わない。   When the head medium is evaluated, the head 3 and the medium 2 are exchanged (removable), and tests are sequentially performed by UDT to evaluate the characteristics of the head medium. In this case, the moving stage 5 is moved by the control of the control device 6 to perform the positioning control of the head 3, but the positioning control of the control device 6 is the open control and the close control is not performed.

そして、制御装置6の制御により媒体2に対し、ヘッド3を介して情報の書込み/読込みを行い、評価時のデータを取得する。そして、制御装置6において、前記得られたデータを基にヘッド媒体の評価を行う。   Then, information is written / read to / from the medium 2 through the head 3 under the control of the control device 6 to obtain data at the time of evaluation. Then, the control device 6 evaluates the head medium based on the obtained data.

§2:従来例の説明(その2)
以下、前記UDTにおける評価の具体例を説明する。
§2: Description of conventional example (2)
Hereinafter, specific examples of evaluation in the UDT will be described.

(a) :予め、UDT号機間のシステム全体の周波数特性を評価して、測定条件を決めている。この場合、システム全体の周波数特性を再評価する手間を無くすため、初回のシステム全体の評価結果を基に、回路のバラツキを見越してマージンを持たせた測定条件を決めており、ヘッドIC等のUDT要素を交換する際に再度周波数特性を評価することは行わない。   (a): The measurement conditions are determined in advance by evaluating the frequency characteristics of the entire system between UDT units. In this case, in order to eliminate the effort to re-evaluate the frequency characteristics of the entire system, measurement conditions with margins are determined in anticipation of circuit variations based on the initial evaluation results of the entire system. When the UDT element is replaced, the frequency characteristic is not evaluated again.

この場合、周波数特性に関する再評価は行なわないが、システムゲインの調整は行い、測定精度を維持している。但し、UDTの測定能力の上限まで使用して測定を行う必要があれば、手間がかかっても交換するUDT要素に応じてシステム全体の周波数特性を評価して、測定条件を決めている。   In this case, the frequency characteristics are not re-evaluated, but the system gain is adjusted to maintain the measurement accuracy. However, if it is necessary to perform the measurement using the upper limit of the UDT measurement capability, the measurement conditions are determined by evaluating the frequency characteristics of the entire system in accordance with the UDT element to be exchanged even if it takes time.

(b) :UDTの周波数特性に応じて測定結果を補正することは行っていない。UDTの周波数特性に従って測定し、その制限範囲以内での測定を行うのみである。   (b): The measurement result is not corrected according to the frequency characteristics of the UDT. The measurement is performed according to the frequency characteristics of the UDT, and only the measurement within the limited range is performed.

(c) :スピンドル機構1の振動評価は、マスバランス測定器を使用している。位置決め精度が悪化するなど、スピンドルの振動が原因と考えられる状態を発現した際、マスバランス測定器を設置し、評価と再調整を行っている。   (c): The vibration evaluation of the spindle mechanism 1 uses a mass balance measuring instrument. When a condition that is thought to be caused by spindle vibration, such as deterioration of positioning accuracy, is developed, a mass balance measuring instrument is installed for evaluation and readjustment.

(d) :移動ステージ5のリトライ条件は、一律の設定を適用している。位置誤差が所定の許容誤差を超えた場合リトライを行っている。   (d): A uniform setting is applied to the retry condition of the moving stage 5. When the position error exceeds a predetermined allowable error, a retry is performed.

(e) :MRヘッドにおけるピン層反転は、測定結果のダイビット波形を人が観測して判断を行っている。   (e): The pin layer inversion in the MR head is determined by a person observing the dibit waveform of the measurement result.

前記のような従来のものにおいては、次のような課題があった。   The conventional apparatus as described above has the following problems.

(1) :前記(a) に関しては、現在、測定限界まで使用して測定を行うことが必要となっている。そのため、ヘッドIC等のUDT要素を交換、又は変更する際、再度システム全体の評価を行う必要があるが、これらの一連の作業は手間と時間がかかる。他方、回路のバラツキを完全に無くすことはできない。すなわち、複数の調整手段を設けることで、バラツキを減らすことは可能であるが、その調整に要する手間と時間がかかり過ぎるため、実用的とは言えない。   (1): With regard to (a) above, it is currently necessary to perform measurement using the measurement limit. For this reason, when replacing or changing a UDT element such as a head IC, it is necessary to evaluate the entire system again. However, these series of operations take time and effort. On the other hand, circuit variations cannot be completely eliminated. That is, by providing a plurality of adjusting means, it is possible to reduce variations, but it is not practical because it takes too much time and labor for the adjustment.

(2) :前記(b) に関しては、前記(a) と同様に、UDT要素の周波数特性を動的に把握する手段と、その情報によりシステム全体の周波数特性を把握する手段を設け、その周波数特性を基に、測定値に補正をかける手段が必要である。従って、手間と時間がかかり過ぎるため、実用的とは言えない。   (2): Regarding (b), as in (a) above, a means for dynamically grasping the frequency characteristic of the UDT element and a means for grasping the frequency characteristic of the entire system from the information are provided, and the frequency A means for correcting the measured value based on the characteristics is required. Therefore, it is not practical because it takes too much time and time.

(3) :前記(c) に関しては、マスバランスの測定と調整を行うことは、手間と時間がかかる。すなわち、マスバランスの測定と調整は、マスバランスが崩れた場合に必要となるもので、簡単な方法でマスバランスが崩れたか否かを判断する手段が望まれている(マスバランスが崩れていると判断された場合に限り、マスバランスの再測定と再調整を行う)が、実現できていない。   (3): Regarding (c), it takes time and effort to measure and adjust mass balance. In other words, measurement and adjustment of mass balance is necessary when mass balance is lost, and a means for determining whether mass balance has been lost by a simple method is desired (mass balance is lost). Only when it is determined that the mass balance is remeasured and readjusted).

なお、マスバランス測定器を使用せず、現状の機能を拡張する程度(制御ソフトウェアの改造程度)で、スピンドルの振動状態を把握することが必要であるが、実現は難しい。   In addition, it is necessary to grasp the vibration state of the spindle without extending the current function (modifying the control software) without using a mass balance measuring instrument, but this is difficult to achieve.

(4) :前記(d) に関しては、システムが最適なリトライ条件を選択できる手段が必要であり、且つ、システムに不具合があっても、リトライ条件を動的に変化させて、システム劣化をある程度まで許容して、UDTを使用可能な状態に維持する手段が必要であるが、このような手段は提供されていない。   (4): With regard to (d) above, there is a need for a means by which the system can select the optimum retry condition, and even if there is a malfunction in the system, the retry condition is dynamically changed to some extent cause system degradation. There is a need for a means to allow and maintain the UDT in a usable state, but no such means are provided.

(5) :前記(e) に関しては、ピン層反転を自動検出して、正確なデータのみ測定できる手段が必要であるが、このような手段は提供されていない。   (5): Regarding (e) above, a means capable of automatically detecting pinned layer inversion and measuring only accurate data is required, but such a means is not provided.

本発明は、このような従来の課題を解決し、人手や時間をかけずに、常に良好な評価ができるようにし、測定の信頼性を向上させることを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve such a conventional problem, to always perform good evaluation without manpower and time, and to improve measurement reliability.

本発明は前記の目的を達成するため、次のように構成した。図1は本発明の原理説明図である。以下、図1を参照しながら説明する。   In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention. Hereinafter, a description will be given with reference to FIG.

(1) :媒体2を回転させるスピンドル機構1と、前記媒体2に対して情報の書込み、読込みを行うヘッドを移動させる移動ステージ5と、各種のヘッド媒体に対し、情報の書込み/読込み制御を行い、その際得られたデータに基づきヘッド媒体の特性を評価する制御装置6を備えた汎用型ヘッド媒体評価装置において、スピンドル機構1の回転速度と移動ステージ5の位置決め精度の関係を評価して、全回転速度で位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構1のマスバランスを調整し、スピンドル機構1の振動を全回転速度で減少させると共に、前記位置決め精度が目標値を超えた場合を、スピンドル機構1のマスバランス再調整の指標とするスピンドル振動評価手段(制御装置6の一部)を備えている。   (1): Spindle mechanism 1 for rotating medium 2, moving stage 5 for moving a head for writing and reading information on medium 2, and information writing / reading control for various head media In a general-purpose head medium evaluation apparatus having a control device 6 for evaluating the characteristics of the head medium based on the data obtained at that time, the relationship between the rotational speed of the spindle mechanism 1 and the positioning accuracy of the moving stage 5 is evaluated. When the mass balance of the spindle mechanism 1 is adjusted so that the positioning accuracy is less than or equal to the target value at all rotational speeds, and the vibration of the spindle mechanism 1 is reduced at the total rotational speed, and the positioning accuracy exceeds the target value. Is provided with spindle vibration evaluation means (a part of the control device 6) that uses as an index for readjustment of the mass balance of the spindle mechanism 1.

(2) :媒体2を回転させるスピンドル機構と、前記媒体に対して情報の書込み、読込みを行うヘッドを移動させる移動ステージ5と、各種のヘッド媒体に対し、情報の書込み/読込み制御を行い、その際得られたデータに基づきヘッド媒体の特性を評価する制御装置を備えた汎用型ヘッド媒体評価装置において、移動ステージ5の位置決め精度に応じたリトライ条件を、リトライ回転数に応じて動的に変化させることで、位置決め精度を維持する位置決め精度制御手段(制御装置6の一部)を備えている。   (2): A spindle mechanism for rotating the medium 2, a moving stage 5 for moving a head for writing and reading information on the medium, and information writing / reading control for various head media, In a general-purpose head medium evaluation apparatus having a control apparatus that evaluates the characteristics of the head medium based on the data obtained at that time, the retry condition according to the positioning accuracy of the moving stage 5 is dynamically changed according to the retry rotational speed. It is provided with positioning accuracy control means (a part of the control device 6) for maintaining the positioning accuracy by changing.

(作用)
前記構成に基づく本発明の作用を説明する。
(Function)
The operation of the present invention based on the above configuration will be described.

(a) :前記(1) では、スピンドル振動評価手段は、スピンドル機構1の回転速度と移動ステージ5の位置決め精度の関係を評価して、全回転速度で位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構1のマスバランスを調整し、スピンドル機構1の振動を全回転速度で減少させる。この場合、前記位置決め精度が目標値を超えた場合を、スピンドル機構1のマスバランス再調整の指標とする。 このようにすれば、現状のUDTで簡単にスピンドルの振動を評価できるので、安心して測定ができ、測定の信頼性を向上できる。   (a): In the above (1), the spindle vibration evaluating means evaluates the relationship between the rotational speed of the spindle mechanism 1 and the positioning accuracy of the moving stage 5 so that the positioning accuracy is less than the target value at all rotational speeds. The mass balance of the spindle mechanism 1 is adjusted, and the vibration of the spindle mechanism 1 is reduced at the full rotation speed. In this case, the case where the positioning accuracy exceeds the target value is used as an index for mass balance readjustment of the spindle mechanism 1. In this way, the vibration of the spindle can be easily evaluated with the current UDT, so that the measurement can be performed with confidence and the reliability of the measurement can be improved.

(b) :前記(2) では、位置決め制御手段は、移動ステージ5の位置決め精度に応じたリトライ条件を、リトライ回転数に応じて動的に変化させることで、位置決め精度を維持する。このようにすれば、システムのメカ系が多少劣化しても、リトライ条件の動的変更により、位置決め精度を好状態に保てるので、測定の信頼性を向上できる。   (b): In the above (2), the positioning control means maintains the positioning accuracy by dynamically changing the retry condition according to the positioning accuracy of the moving stage 5 according to the retry rotational speed. In this way, even if the mechanical system of the system is somewhat degraded, the positioning accuracy can be maintained in a good state by dynamically changing the retry conditions, so that the measurement reliability can be improved.

以上説明したように、本発明によれば次のような効果がある。   As described above, the present invention has the following effects.

(1) :請求項1では、スピンドル振動評価手段は、スピンドル機構の回転速度と移動ステージの位置決め精度の関係を評価して、全回転速度で位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構のマスバランスを調整し、スピンドル機構の振動を全回転速度で減少させる。この場合、前記位置決め精度が目標値を超えた場合を、スピンドル機構1のマスバランス再調整の指標とする。   (1): In claim 1, the spindle vibration evaluating means evaluates the relationship between the rotational speed of the spindle mechanism and the positioning accuracy of the moving stage, so that the positioning accuracy is less than the target value at all rotational speeds. The mass balance is adjusted to reduce the spindle mechanism vibration at full rotation speed. In this case, the case where the positioning accuracy exceeds the target value is used as an index for mass balance readjustment of the spindle mechanism 1.

このようにすれば、現状のUDTで簡単にスピンドルの振動を評価できるので、安心して測定ができ、測定の信頼性を向上できる。   In this way, the vibration of the spindle can be easily evaluated with the current UDT, so that the measurement can be performed with confidence and the reliability of the measurement can be improved.

(2) :請求項2では、位置決め制御手段は、移動ステージの位置決め精度に応じたリトライ条件を、リトライ回転数に応じて動的に変化させることで位置決め精度を維持する。このようにすれば、システムのメカ系が多少劣化しても、リトライ条件の動的変更により位置決め精度を良好な状態に保てるので、測定の信頼性を向上できる。   (2) In claim 2, the positioning control means maintains the positioning accuracy by dynamically changing the retry condition according to the positioning accuracy of the moving stage according to the retry rotation speed. In this way, even if the mechanical system of the system is somewhat degraded, the positioning accuracy can be maintained in a good state by dynamically changing the retry conditions, so that the measurement reliability can be improved.

以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

§1:UDTの説明
(1) :システム全体の説明
図2はUDTの外観図である。以下、図2に基づいてUDTの構成を説明する。図2に示したように、UDT(汎用型ヘッド媒体評価装置)は、媒体(磁気ディスク)2を取り付けて回転させるスピンドル機構1と、ヘッド(書込み/読込みヘッド)3を有するスライダ4を取り付け、移動可能に構成された移動ステージ5と、制御装置6を備えている。この場合、ヘッド3と媒体2は取り外し自在となっており、該ヘッド3と媒体2を交換しながら各種のヘッド媒体について評価ができるように構成されている。
§1: Description of UDT
(1): Description of entire system FIG. 2 is an external view of a UDT. Hereinafter, the configuration of the UDT will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the UDT (universal head medium evaluation apparatus) has a spindle mechanism 1 for attaching and rotating a medium (magnetic disk) 2 and a slider 4 having a head (write / read head) 3. A movable stage 5 configured to be movable and a control device 6 are provided. In this case, the head 3 and the medium 2 are detachable, and various head media can be evaluated while exchanging the head 3 and the medium 2.

制御装置6には、制御回路10と、評価回路11と、システム制御部12と、不揮発性メモリ18を備え、ヘッド媒体の評価を行うように構成されている。そして、制御回路10には、媒体2に対する信号書込み制御を行う信号書込み制御部13と、媒体2に対する信号読込み制御を行う信号読込み制御部14と、移動ステージ5に対する移動制御を行うステージ移動制御部15と、スピンドル機構1に対する回転制御を行うスピンドル回転制御部16が設けてある。   The control device 6 includes a control circuit 10, an evaluation circuit 11, a system control unit 12, and a nonvolatile memory 18, and is configured to evaluate the head medium. The control circuit 10 includes a signal writing control unit 13 that performs signal writing control on the medium 2, a signal reading control unit 14 that performs signal reading control on the medium 2, and a stage movement control unit that performs movement control on the moving stage 5. 15 and a spindle rotation control unit 16 that performs rotation control on the spindle mechanism 1 is provided.

評価回路11は、例えば、DSP(ディジタル・シグナル・プロセッサ)を備え、このDSPにより、制御回路10の制御で、ヘッド3を介して媒体2に信号を書込んだり、読込んだデータからヘッド媒体の評価を行うものである。   The evaluation circuit 11 includes, for example, a DSP (digital signal processor), and by this DSP, a signal is written to the medium 2 via the head 3 under the control of the control circuit 10, or the head medium is read from the read data. Is to evaluate.

システム制御部12は、パーソナルコンピュータ、或いはワークステーション等のコンピュータ等により構成され、システム全体の制御を行うものである。この場合、システム制御部12は、制御回路10、評価回路11、不揮発性メモリ18に対する各種の制御を行うものである。   The system control unit 12 is configured by a personal computer, a computer such as a workstation, or the like, and controls the entire system. In this case, the system control unit 12 performs various controls on the control circuit 10, the evaluation circuit 11, and the nonvolatile memory 18.

スピンドル機構1は、制御回路10からの制御信号に基づき、媒体2を指示された通りに回転駆動するものである。移動ステージ5は、制御装置6からの制御信号により移動可能に構成され、この移動ステージ5の移動によりヘッド3の位置決めを行うものである。ヘッド3は、移動ステージ5の移動により媒体2上の指定されたトラックへ位置づけされ、媒体2に対して、信号の書込み/読込み(ライト/リード)を行うものである。   The spindle mechanism 1 rotates the medium 2 as instructed based on a control signal from the control circuit 10. The moving stage 5 is configured to be movable by a control signal from the control device 6, and the head 3 is positioned by the movement of the moving stage 5. The head 3 is positioned at a designated track on the medium 2 by the movement of the moving stage 5, and performs signal writing / reading (writing / reading) on the medium 2.

前記構成のUDTは、汎用性と評価設備の性格上、各種の評価対象に対し、装置実装状態以上の評価能力を要求され、それを満足するように設計、製造されている。前記UDTでヘッド媒体の評価を行うには、制御回路10の制御により、移動ステージ5を移動させてヘッド3の位置決め制御を行う。この時、制御回路10の制御はオープン制御であり、クローズ制御は行わない。   The UDT configured as described above is designed and manufactured to satisfy the evaluation capability required for the various evaluation objects, which is equal to or higher than the device mounting state, due to the versatility and the characteristics of the evaluation equipment. In order to evaluate the head medium using the UDT, the moving stage 5 is moved under the control of the control circuit 10 to control the positioning of the head 3. At this time, the control of the control circuit 10 is open control, and close control is not performed.

そして、制御回路10の制御により媒体2に対し、ヘッド3を介して情報の書込み/読込み(ライト/リード)を行い、評価時のデータを取得する。そして、評価回路11において前記得られたデータを基に、ヘッド媒体の特性の評価を行う。なお、評価情報の一部はディジタル化されてシステム制御部12にて処理する。また、読み出されたヘッド信号等は、ディジタル化されてシステム制御部12に転送され、該システム制御部12上で評価される。   Then, information is written / read (write / read) to / from the medium 2 via the head 3 under the control of the control circuit 10 to obtain data at the time of evaluation. Then, the evaluation circuit 11 evaluates the characteristics of the head medium based on the obtained data. A part of the evaluation information is digitized and processed by the system control unit 12. The read head signal and the like are digitized and transferred to the system control unit 12 and evaluated on the system control unit 12.

(2) :信号読み取り側の説明
図3はUDTのリード系ブロック図である。前記UDTの信号読み取り側には、ヘッド3に接続されたヘッドIC21と、前記ヘッドIC21の出力を増幅するプリアンプ22と、前記プリアンプ22の出力を増幅するメインアンプ23と、前記メインアンプ23の出力をディジタル信号に変換するADC(アナログ/ディジタルコンバータ)24等が設けてあり、該ADC24でディジタル化した信号をシステム制御部12に取り込むように構成されている。なお、前記ヘッドIC21、プリアンプ22、メインアンプ23、ADC24は、UDT要素である。
(2): Explanation on signal reading side FIG. 3 is a block diagram of a UDT read system. On the signal reading side of the UDT, a head IC 21 connected to the head 3, a preamplifier 22 that amplifies the output of the head IC 21, a main amplifier 23 that amplifies the output of the preamplifier 22, and an output of the main amplifier 23 An ADC (analog / digital converter) 24 or the like for converting the signal into a digital signal is provided, and the system controller 12 is configured to take in a signal digitized by the ADC 24. The head IC 21, the preamplifier 22, the main amplifier 23, and the ADC 24 are UDT elements.

§2:UDTの評価の概要説明
前記UDTの評価の概要は次の通りである。
§2: Outline of UDT evaluation Outline of the UDT evaluation is as follows.

(1) :UDTには、UDTの信号伝達系を構成するUDT要素毎の周波数特性を、前記UDT要素毎に記憶しておく不揮発性の記憶手段(フラッシュメモリや電池でバックアップしたRAM等の不揮発性メモリ18、ハードディスク装置等)を備えると共に、前記記憶手段から前記UDT要素毎に周波数特性を読み出して、システム全体の周波数特性を求める手段と、システム全体の周波数特性を基に、与えられたアルゴリズムに従って測定限界を設定し、オペレータ等に提示する手段を備える。   (1): The UDT includes a non-volatile storage means (non-volatile storage such as a flash memory or a RAM backed up by a battery) that stores the frequency characteristics of each UDT element constituting the UDT signal transmission system for each UDT element. A memory 18 and a hard disk device, etc., and a means for obtaining a frequency characteristic of the entire system by reading out a frequency characteristic for each UDT element from the storage means, and a given algorithm based on the frequency characteristic of the entire system The measurement limit is set in accordance with the above and provided to the operator or the like.

例えば、システム制御部(例えば、パーソナルコンピュータ)12が、前記記憶手段からUDT要素毎の周波数特性を読み出し、その個々の周波数特性の情報より、UDTシステム全体の周波数特性を演算して求める。そして、UDTシステム全体の周波数特性より、オペレータから与えられたアルゴリズムに従って、測定限界を設定し、オペレータに明示できるようにする。   For example, the system control unit (for example, personal computer) 12 reads out the frequency characteristic for each UDT element from the storage means, and calculates and obtains the frequency characteristic of the entire UDT system from the information of the individual frequency characteristics. Then, based on the frequency characteristics of the entire UDT system, a measurement limit is set according to an algorithm given by the operator so that it can be clearly shown to the operator.

この場合、前記UDT要素毎の周波数特性の情報は、計算式(近似式)又は、スペクトラム情報(ゲインと位相、又は複素系フーリエ係数)又は、帯域制限情報、例えば、フラットネス帯域、通常の帯域(例えば、−3dBダウン)で保持する。また、システム全体の周波数特性から求めたフラットネス帯域を、測定する信号書込み周波数の上限とする。更に、前記システム全体の周波数特性から求めた帯域を、ノイズ測定帯域の上限とする。   In this case, the frequency characteristic information for each UDT element may be a calculation formula (approximation formula), spectrum information (gain and phase, or complex Fourier coefficient), or band limit information such as a flatness band or a normal band. (Eg, -3 dB down). The flatness band obtained from the frequency characteristics of the entire system is set as the upper limit of the signal writing frequency to be measured. Furthermore, the band obtained from the frequency characteristics of the entire system is set as the upper limit of the noise measurement band.

このようにすれば、UDT要素を交換する等、システム条件(周波数特性)が変化しても、それに応じた測定限界を提示できるので、適しない測定範囲での測定は避けられ、測定の信頼性を向上できる。   In this way, even if system conditions (frequency characteristics) change, such as by exchanging UDT elements, measurement limits can be presented accordingly, so measurement in an unsuitable measurement range can be avoided, and measurement reliability Can be improved.

(2) :UDTに、UDTの信号伝達系を構成する要素毎の周波数特性を、前記要素毎に記憶しておく不揮発性の記憶手段を備えると共に、前記記憶手段から前記要素毎に周波数特性を読み出して、システム全体の周波数特性を求め、前記システム全体の周波数特性から補正データを求め、この補正データを用いて、システム全体の周波数特性がフラットになるように補正する手段を備える。   (2): The UDT includes non-volatile storage means for storing the frequency characteristics of each element constituting the signal transmission system of the UDT for each element, and the frequency characteristics for each element are stored from the storage means. Readout is performed to obtain a frequency characteristic of the entire system, correction data is obtained from the frequency characteristic of the entire system, and the correction data is used to correct the frequency characteristic of the entire system to be flat.

この場合、周波数特性の補正処理はシステム制御部12が行うが、この処理では、信号波形をA/D変換器でディジタル信号に変換してシステム制御部12に取り込んだ測定値(時間領域のディジタル値)に、離散フーリエ変換を行い周波数領域に変換する。次に、周波数領域で周波数特性の補正計算を行なった後、その結果に離散逆フーリエ変換を行なって時間領域に再生した信号波形より測定項目を算出する。また、前記周波数特性の補正を行う周波数領域の範囲を、書込み信号上限、又は、ノイズ測定上限に限定する。   In this case, the frequency characteristic correction process is performed by the system control unit 12. In this process, the measured value (time-domain digital signal) obtained by converting the signal waveform into a digital signal by the A / D converter and taking it in the system control unit 12 is used. Value) is subjected to discrete Fourier transform to be converted to the frequency domain. Next, after performing frequency characteristic correction calculation in the frequency domain, a discrete inverse Fourier transform is performed on the result, and a measurement item is calculated from the signal waveform reproduced in the time domain. Further, the range of the frequency region in which the frequency characteristic is corrected is limited to the write signal upper limit or the noise measurement upper limit.

このようにすれば、UDTのシステム条件(周波数特性)が変化しても、それに依存しない測定条件で測定できる。従って、常に同一条件での測定が行え、測定の信頼性を向上できる。   In this way, even if the system conditions (frequency characteristics) of the UDT change, measurement can be performed under measurement conditions that do not depend on it. Therefore, the measurement can always be performed under the same conditions, and the measurement reliability can be improved.

(3) :UDTに、スピンドル機構1の回転速度と移動ステージ5の位置決め精度の関係を評価して、全回転速度で位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構1のマスバランスを調整し、スピンドル機構1の振動を全回転速度で減少させると共に、前記位置決め精度が目標値を超えた場合を、スピンドル機構1のマスバランス再調整の指標とする手段を備える。   (3): Evaluate the relationship between the rotational speed of the spindle mechanism 1 and the positioning accuracy of the moving stage 5 with UDT, and adjust the mass balance of the spindle mechanism 1 so that the positioning accuracy is less than the target value at all rotational speeds. And a means for reducing the vibration of the spindle mechanism 1 at the total rotational speed and using as an index of mass balance readjustment of the spindle mechanism 1 when the positioning accuracy exceeds a target value.

すなわち、マスバランスが崩れるとスピンドル機構1が振動する。スピンドル機構1が振動すると、ヘッド/アームの移動ステージ5はメカ共振を起こし、位置決め精度を悪化させる。このため、移動ステージ5の位置決め精度の評価からスピンドル機構1の振動を間接的に評価する手段を設ける。   That is, when the mass balance is lost, the spindle mechanism 1 vibrates. When the spindle mechanism 1 vibrates, the head / arm moving stage 5 causes mechanical resonance, which deteriorates the positioning accuracy. For this reason, means for indirectly evaluating the vibration of the spindle mechanism 1 from the evaluation of the positioning accuracy of the moving stage 5 is provided.

また、メカ共振が最大となる周波数(スピンドル機構1の回転速度)では、位置決め誤差の振れ幅は大きくなり、スピンドル機構1の振動が検知し易くなることから、メカ共振が最大となるスピンドル回転速度でマスバランスの調整を行う手段を設ける。このようにすれば、現状のUDTシステムで簡単にスピンドル機構1の振動を評価できるので、安心して測定を行え、測定の信頼性を向上できる。   Further, at the frequency at which the mechanical resonance is maximum (the rotational speed of the spindle mechanism 1), the amplitude of the positioning error becomes large and the vibration of the spindle mechanism 1 can be easily detected. Therefore, the spindle rotational speed at which the mechanical resonance is maximized. A means for adjusting the mass balance is provided. In this way, the vibration of the spindle mechanism 1 can be easily evaluated with the current UDT system, so that the measurement can be performed with confidence and the reliability of the measurement can be improved.

この場合、移動ステージ5の機構部に共振を起こさせるスピンドル回転速度にて、位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構5のマスバランスの調整を行うことにより、感度良くマスバランスの調整を行うことができる。なお、マスバランスは、スピンドル機構5の振動をハウジングを介して測定し、その振動の加速度を二重積分して求めた変位の変化分がゼロになるように調整する。   In this case, the mass balance is adjusted with high sensitivity by adjusting the mass balance of the spindle mechanism 5 so that the positioning accuracy is equal to or less than the target value at the spindle rotation speed that causes the mechanism of the moving stage 5 to resonate. It can be performed. The mass balance is adjusted so that the change in displacement obtained by measuring the vibration of the spindle mechanism 5 through the housing and double integrating the acceleration of the vibration becomes zero.

また、前記の場合、移動ステージ5の機構部に共振を起こさせるスピンドル回転速度の内、共振による位置決め精度の劣化が最大のスピンドル回転速度でマスバランス調整を行う。   In the above-described case, the mass balance adjustment is performed at the spindle rotation speed at which the deterioration of the positioning accuracy due to the resonance is maximized among the spindle rotation speeds that cause the mechanism of the moving stage 5 to resonate.

(4) :UDTに、移動ステージ5の位置決め精度に応じたリトライ条件を、リトライ回転数に応じて動的に変化させることで、位置決め精度を維持する手段を備える。すなわち、移動ステージ5のリトライ条件を動的に変化させて、システム全体の状態悪化にある程度応じられる手段を設ける。この場合、リトライ回数に応じて許容誤差を変化させる手段を設ける。このようにすれば、システムのメカ系が多少劣化しても、リトライ条件の動的変更により、位置決め精度を好状態に保てるので、測定の信頼性を向上できる。   (4): The UDT is provided with means for maintaining the positioning accuracy by dynamically changing the retry condition according to the positioning accuracy of the moving stage 5 according to the retry rotation speed. In other words, means for dynamically changing the retry condition of the moving stage 5 and responding to the deterioration of the state of the entire system is provided. In this case, means for changing the allowable error according to the number of retries is provided. In this way, even if the mechanical system of the system is somewhat degraded, the positioning accuracy can be maintained in a good state by dynamically changing the retry conditions, so that the measurement reliability can be improved.

なお、前記リトライ条件とは、位置決め動作を終了するか、再度、位置決めを行うかを判定するための位置誤差の許容値等の条件である。例えば、位置をディジタル値で発生する位置センサを用いたフィードバック制御を行う方式の場合は、位置センサの分解能(ステップ)の整数倍で位置決め許容誤差を設定し、且つ、許容誤差を超えた場合にリトライを発生させる。そして、指定した回数(ゼロ設定回数)までは、許容誤差をゼロに設定し、その回数以降は、許容誤差をゼロ以外に設定する。   The retry condition is a condition such as an allowable value of a position error for determining whether to end the positioning operation or to perform positioning again. For example, in the case of a feedback control method using a position sensor that generates a position as a digital value, a positioning tolerance is set at an integer multiple of the resolution (step) of the position sensor, and the tolerance is exceeded. Generate a retry. Then, the allowable error is set to zero until the specified number of times (zero set number), and after that number, the allowable error is set to a value other than zero.

更に、リトライ回数が所定の回数(エラー設定回数)を超えたら移動エラーを発生させる。なお、前記ゼロ設定回数は、1、又は2、又はエラー設定回数の比例回数(1/2倍、1倍など)を移動ステージ5の位置決め精度より選択する。また、システムの現在の位置決め精度の能力に応じて、ゼロ設定回数を、位置決め精度が良好な状態から1を選択し、次に2を選択し、移動ステージ5に不具合があっても、UDTを起動させなければならない場合比例回数を設定する。   Further, a movement error is generated when the number of retries exceeds a predetermined number (error set number). The number of zero setting is selected from 1 or 2, or a proportional number of times of error setting (1/2 times, 1 time, etc.) based on the positioning accuracy of the moving stage 5. Also, depending on the current positioning accuracy capability of the system, select the number of zero settings, select 1 from the state where the positioning accuracy is good, then select 2, and even if the moving stage 5 is defective, UDT Set a proportional number if it must be activated.

また、経年変化(寿命)に伴う移動ステージ5の位置決め精度の劣化に応じて、ゼロ設定回数を1→2→比例回数と変化させる。劣化の判定は、リトライ発生回数をモニタして、その頻度を判定することで行う。   Further, the zero setting number is changed from 1 → 2 → proportional number in accordance with the deterioration of the positioning accuracy of the moving stage 5 due to the secular change (lifetime). Degradation is determined by monitoring the number of retries and determining its frequency.

(5) :UDTに、ダイビット波形の書込みに際し、書込み波形の正のピークの時間位置に「1」、負のピークの時間位置に「−1」、その他をゼロとしたウインドウ関数を作り、波形を読む際に、波形に前記ウインドウ関数を時間方向に走査しながら掛け合わせて求めた最大値と、前記ウインドウ関数に「−1」を掛けたウインドウ関数を同様に波形に掛け合わせて求めた最大値を比較し、後者が大きい場合はピン層反転と判定する手段を備える。   (5): When writing a dibit waveform to UDT, create a window function that sets “1” to the time position of the positive peak of the write waveform, “−1” to the time position of the negative peak, and zeros to the other. When reading the above, the maximum value obtained by multiplying the waveform by scanning the window function in the time direction and the window function obtained by multiplying the window function by "-1" are similarly obtained by multiplying the waveform. A means for comparing the values and determining that the pinned layer is reversed when the latter is large is provided.

すなわち、MRヘッドを使用した場合におけるピン層反転により生じるダイビット波形の極性反転を、パターンマッチングで検出する手段を設ける。このようにピン層反転を検出する手段を設けることで、間違った測定を避け、測定の信頼性を向上できる。   That is, there is provided means for detecting the polarity inversion of the dibit waveform caused by the pin layer inversion when the MR head is used by pattern matching. By providing a means for detecting pinned layer inversion in this way, erroneous measurement can be avoided and measurement reliability can be improved.

§3:具体的な評価処理の説明
以下、各例毎の具体的な評価処理を説明する。
§3: Description of specific evaluation processing Hereinafter, specific evaluation processing for each example will be described.

(例1)
例1は、システム全体の周波数特性から測定限界を設定し、制限する例である。図3に示したように、周波数特性に関わる回路ブロックをUDT要素単位(ヘッドIC21、プリアンプ22、メインアンプ23、ADC24)で分け、予め、UDT要素毎に周波数特性を測定し、その周波数特性の情報をUDT要素毎に区別して不揮発性メモリ18に記憶しておく。
(Example 1)
Example 1 is an example in which a measurement limit is set and limited from the frequency characteristics of the entire system. As shown in FIG. 3, a circuit block related to frequency characteristics is divided into UDT element units (head IC 21, preamplifier 22, main amplifier 23, ADC 24), and frequency characteristics are measured in advance for each UDT element, Information is stored in the nonvolatile memory 18 separately for each UDT element.

この場合、UDT要素毎の周波数特性は、UDTではなく、他の測定器を使用して測定し、その測定データを、要素毎に区別して不揮発性メモリ18に記憶させておく。なお、前記不揮発性メモリ18を配する余地が得られない場合は、前記不揮発性メモリ18の代わりに、情報ファイル(例えば、システム制御部12に設けたハードディスク装置の記憶媒体上のファイル)を用いる。   In this case, the frequency characteristic for each UDT element is measured by using another measuring device instead of the UDT, and the measurement data is stored in the nonvolatile memory 18 separately for each element. When there is no room for the non-volatile memory 18, an information file (for example, a file on a storage medium of a hard disk device provided in the system control unit 12) is used instead of the non-volatile memory 18. .

システム制御部12は、不揮発性メモリ18(又は、システム制御部12に設けたハードディスク装置)から、各UDT要素の周波数特性を読取り、演算して(掛け算)して、システム全体の周波数特性を算出する。この周波数特性を基に、測定限界を設定する。例えば、図3のUDT要素の周波数特性をそれぞれ、   The system control unit 12 reads the frequency characteristics of each UDT element from the nonvolatile memory 18 (or the hard disk device provided in the system control unit 12), calculates (multiplies), and calculates the frequency characteristics of the entire system. To do. The measurement limit is set based on this frequency characteristic. For example, the frequency characteristics of the UDT element in FIG.

Figure 2008052900
Figure 2008052900

とすれば、システム全体の周波数特性は、   If so, the frequency characteristic of the whole system is

Figure 2008052900
Figure 2008052900

として求められる。   As required.

通常では、評価信号を書込んで測定する場合は、システム全体の周波数特性のフラットネスが成り立つ範囲で信号を書込むようにする。つまり、フラットネスの上限を測定信号の上限とする。また、ノイズ測定は、その測定上限をシステム帯域(−3dBダウン)までとする。なお、これらの設定は一例であり、オペレータの評価基準に応じて任意に決定しても構わない。   Usually, when measuring by writing an evaluation signal, the signal is written in a range where the flatness of the frequency characteristic of the entire system is established. That is, the upper limit of the flatness is set as the upper limit of the measurement signal. Further, the noise measurement is performed with the measurement upper limit up to the system bandwidth (-3 dB down). Note that these settings are merely examples, and may be arbitrarily determined according to the evaluation criteria of the operator.

(例2)
例2は、システム全体の周波数特性からフラットネスを補正する例である。前述と同様にして、システム全体の周波数特性を算出し、それより、補正用周波数特性を算出する。この補正用周波数特性は、前記システム全体の周波数特性の逆特性、又は、フラットネス或いは帯域まで等範囲を限定した領域での前記システム全体の周波数特性の逆特性として求める。すなわち、
(Example 2)
Example 2 is an example in which flatness is corrected from the frequency characteristics of the entire system. In the same manner as described above, the frequency characteristic of the entire system is calculated, and the correction frequency characteristic is calculated therefrom. The frequency characteristic for correction is obtained as an inverse characteristic of the frequency characteristic of the entire system, or as an inverse characteristic of the frequency characteristic of the entire system in a region where the range is limited to flatness or a band. That is,

Figure 2008052900
Figure 2008052900

帯域制限を行う場合には、   When performing bandwidth limitation,

Figure 2008052900
Figure 2008052900

測定に際し、測定結果と補正用周波数特性を離散フーリエ変換して周波数領域に変換し、周波数領域で測定結果と掛けて周波数特性の補正を行ない、更に、離散逆フーリエ変換を行なって、元の時間領域の信号波形に戻す。この際、測定に不要な高域成分などは、周波数領域の計算の際に除去する。この場合、必要な周波数帯域までのスペクトル成分(フーリエ変換値)で計算を実施するが、除去すべき周波数成分に対応するフーリエ係数はゼロにすれば良い。   At the time of measurement, the measurement result and the frequency characteristic for correction are subjected to discrete Fourier transform and converted to the frequency domain, and the frequency characteristic is corrected by multiplying the measurement result in the frequency domain, and further, the discrete inverse Fourier transform is performed to obtain the original time. Return to the signal waveform of the area. At this time, high frequency components unnecessary for the measurement are removed in the frequency domain calculation. In this case, the calculation is performed with spectral components (Fourier transform values) up to the necessary frequency band, but the Fourier coefficient corresponding to the frequency component to be removed may be zero.

補正後の信号波形を用いて、従来と同様の評価を行う。帯域制限フィルタは、

Figure 2008052900
The same evaluation as before is performed using the corrected signal waveform. Bandwidth limiting filter
Figure 2008052900

のフーリエ係数をX(i)(但し、i=0 to N)とすると、帯域がFcの時、サンプリングをFsとすれば、帯域制限の上限Ncは、Nc=N×Fc/Fsと表され、X(i)=1(但し、i=0 to Nc)、X(i)=0(i=Nc+1 to N)で示すことができる。なお、求める結果がスペクトラムの場合は、周波数領域で求めた結果をそのまま使用し、時間領域に戻す必要はない。なお、前記フーリエ変換に使用する計算式は次の通りである。 Assuming that the Fourier coefficient is X (i) (where i = 0 to N), when the band is Fc and the sampling is Fs, the upper limit Nc of the band limitation is expressed as Nc = N × Fc / Fs. , X (i) = 1 (where i = 0 to Nc), X (i) = 0 (i = N c + 1 to N). When the result to be obtained is a spectrum, it is not necessary to use the result obtained in the frequency domain as it is and return to the time domain. The calculation formula used for the Fourier transform is as follows.

Figure 2008052900
Figure 2008052900

Figure 2008052900
Figure 2008052900

(例3)
例3は、スピンドル機構1の振動状態を移動ステージ5の位置決め精度で評価する例である。スピンドル機構1にアンバランス等が生じるとスピンドル機構1は振動する。移動ステージ5は、スピンドル機構1の振動を受けて、位置決め精度が劣化する。特に、スピンドル機構1と移動ステージ5がメカ共振を起こすと位置決め精度は大幅に劣化する。従って、位置決め精度を評価することで間接的にスピンドル機構1の振動を評価できる。
(Example 3)
Example 3 is an example in which the vibration state of the spindle mechanism 1 is evaluated with the positioning accuracy of the moving stage 5. When an imbalance or the like occurs in the spindle mechanism 1, the spindle mechanism 1 vibrates. The moving stage 5 receives the vibration of the spindle mechanism 1 and the positioning accuracy deteriorates. In particular, when the spindle mechanism 1 and the moving stage 5 cause mechanical resonance, the positioning accuracy is greatly deteriorated. Therefore, the vibration of the spindle mechanism 1 can be indirectly evaluated by evaluating the positioning accuracy.

また、スピンドル機構1の回転速度を変化させてメカ共振が顕著な周波数で評価することで、メカ共振が無い場合に比べて評価値が拡大され評価し易くなる。すなわち、測定ゲインが上がったように見える。位置決め精度を評価することにより、スピンドル機構1の振動を間接的に把握できる。但し、位置決め精度からスピンドル機構1の振動の大きさの絶対値を把握するのは容易ではない。   Further, by evaluating the frequency at which the mechanical resonance is remarkable by changing the rotation speed of the spindle mechanism 1, the evaluation value is expanded and the evaluation becomes easier than in the case where there is no mechanical resonance. That is, the measurement gain appears to have increased. By evaluating the positioning accuracy, the vibration of the spindle mechanism 1 can be indirectly grasped. However, it is not easy to grasp the absolute value of the magnitude of vibration of the spindle mechanism 1 from the positioning accuracy.

従って、位置決め精度が所定のレベル以内であれば、正常と判断してヘッド媒体の測定を行ない、所定のレベル以上であれば、異常と判断して、スピンドル機構1のマスバランスの再調整を行う。再調整を行なっても位置決め精度が向上しない場合は、スピンドル機構1の振動以外の原因(移動ステージ5のモータの故障)と判断できる。なお、前記所定のレベルについては、ヘッド媒体の測定に支障の無い位置決め精度、或いは、移動ステージ5が保証する位置決め精度を満たしていれば良い。   Accordingly, if the positioning accuracy is within a predetermined level, the head medium is determined to be normal, and if it is above the predetermined level, it is determined to be abnormal, and the mass balance of the spindle mechanism 1 is readjusted. . If the positioning accuracy does not improve even after readjustment, it can be determined that the cause is other than the vibration of the spindle mechanism 1 (the motor of the moving stage 5 is broken). The predetermined level only needs to satisfy the positioning accuracy that does not hinder the measurement of the head medium or the positioning accuracy guaranteed by the moving stage 5.

測定方法としては、先ず、スピンドル機構1の回転速度を変えながら、位置決め精度を測定するためのプログラムを作成し、このプログラムにより測定を行う。一般に、UDTのシステム制御部12では、スピンドル機構1の回転速度を設定したり、位置誤差情報を把握するように構成されているので、現行のソフトウェアを改造するだけで対処できる。なお、通常は、ハードウェアの改造は不要となり、簡単に本発明を適用できる。   As a measuring method, first, a program for measuring positioning accuracy is created while changing the rotation speed of the spindle mechanism 1, and measurement is performed using this program. In general, the system control unit 12 of the UDT is configured to set the rotation speed of the spindle mechanism 1 and to grasp position error information, so that it can be dealt with only by modifying the current software. Normally, no hardware modification is required, and the present invention can be easily applied.

次に、スピンドル機構1の回転速度を変えながら、位置決め精度を評価し、位置決め精度が最大に劣化する回転速度を求め、その回転速度でスピンドル機構1のアンバランス調整を行い、振動の減少を図る。メカ共振により振動が強調されるので評価し易い。   Next, while changing the rotation speed of the spindle mechanism 1, the positioning accuracy is evaluated, the rotation speed at which the positioning accuracy is deteriorated to the maximum is obtained, the unbalance adjustment of the spindle mechanism 1 is performed at the rotation speed, and the vibration is reduced. . Since vibration is emphasized by mechanical resonance, it is easy to evaluate.

一方、回転速度に依存せず、位置決め精度が良好であれば、安心してそのUDTを評価に使用すれば良い。なお、システムの使用条件が限られる場合(特定の回転速度しか使用しない場合)は、その条件で位置決め精度が良ければ使用可能であるので、特定の回転速度で位置決め精度を評価しても構わない。但し、アンバランス調整はメカ共振を起こす回転速度で行うのが、より測定精度向上につながる。   On the other hand, if the positioning accuracy is good without depending on the rotation speed, the UDT may be used for evaluation with confidence. If the system usage conditions are limited (when only a specific rotation speed is used), the positioning accuracy can be evaluated at a specific rotation speed because the system can be used if the positioning accuracy is good under those conditions. . However, unbalance adjustment is performed at a rotational speed that causes mechanical resonance, which leads to improved measurement accuracy.

(例4)
例4は、移動ステージ5の状態に応じて、リトライ条件を変えて位置決め精度を維持する例である。目標位置への移動終了時の位置決め誤差で再調整(リトライ)操作を行う制御系にて、リトライ条件を動的に切り換えて移動ステージ5を制御する。
(Example 4)
Example 4 is an example in which the positioning accuracy is maintained by changing the retry condition according to the state of the moving stage 5. In a control system that performs a readjustment (retry) operation with a positioning error at the end of the movement to the target position, the moving stage 5 is controlled by dynamically switching the retry conditions.

位置誤差に対する許容値(許容誤差)を設定し、(位置誤差)>(許容誤差)の場合リトライを行う。通常許容誤差は一回の目標位置への移動動作では固定(リトライ毎に同じ値を適用)であるが、本発明では、動的に変化(リトライ回数に応じて値を変化)させて、移動効率と位置決め制御の向上を両立させる。   An allowable value (allowable error) for the position error is set. If (Position error)> (Allowable error), retry is performed. Normally, the tolerance is fixed for a single movement to the target position (the same value is applied for each retry), but in the present invention, it is dynamically changed (the value is changed according to the number of retries) and moved. Combines efficiency and improved positioning control.

なお、UDTなどの評価システムに用いる移動ステージ5で、移動中は駆動機構(駆動回路)を稼働し、移動後は駆動部の駆動力をカットする超音波モータなどを想定している。これらのモータは、目標位置へ移動終了すれば、その位置(位置決め精度)が保持されるため、リトライなどで目標位置へ到達できれば良い。   It is assumed that the moving stage 5 used in the evaluation system such as UDT is an ultrasonic motor that operates a driving mechanism (driving circuit) during movement and cuts the driving force of the driving unit after movement. When these motors finish moving to the target position, the position (positioning accuracy) is maintained, so it is only necessary to reach the target position by retrying or the like.

位置決め精度が良好なシステムでは、初回のみ許容誤差を0(ゼロ)にする。2回目以降は許容誤差≠0とする。良好なシステムでは、通常1回目で目標位置に到達するが、外乱などが発生して目標を逸れた場合、位置決め精度を保証するために初回のみ許容誤差を0(ゼロ)とする。なお、2回目以降は、許容誤差≠0とするのは、ステージ移動モータの劣化などシステムに不具合が生じた場合、リトライ制御が抜け出さなくなるのを防ぐ目的と、多少の劣化の場合、位置決め制限を少し甘くして測定を続けるためである。   In a system with good positioning accuracy, the tolerance is set to 0 (zero) only for the first time. From the second time on, it is assumed that the tolerance ≠ 0. In a good system, the target position is usually reached at the first time. However, when a disturbance or the like occurs and the target deviates, the allowable error is set to 0 (zero) only for the first time in order to guarantee the positioning accuracy. In the second and subsequent times, the allowable error ≠ 0 is to prevent the retry control from coming out in the event of a system failure such as deterioration of the stage moving motor, and to limit positioning in the event of slight deterioration. This is to keep the measurement a little sweeter.

システムの不具合程度を位置決め精度で評価して、リトライ発生頻度が増加する場合は、更に、許容誤差≠0とする回数を増やす。例えば、リトライ回数が4回を超えた場合、エラー終了と設定していた場合、正常でリトライ回数が1回程度で済んでいた移動ステージ5が劣化して、常時、リトライ回数が4回を超えるようになった場合、リトライ回数を6回程度に設定することで、エラー終了がなくなる。   If the frequency of retries increases by evaluating the degree of system failure with positioning accuracy, the number of times that the allowable error ≠ 0 is further increased. For example, if the number of retries exceeds 4, or if it is set as an error end, the moving stage 5 that has been normal and has been retried only once will deteriorate, and the number of retries will always exceed 4 times. In such a case, the error termination is eliminated by setting the number of retries to about 6 times.

この場合、当然、リトライにより移動ステージ5の設定時間は増すが、製造ラインで使用するなど移動ステージ5の修理交換よりヘッド媒体の評価を優先しなければならない場合などに有効である。これにより、リトライ回数は増加するが、リトライ操作により目標位置に到達する確率が増大する、つまり、システムの不具合に対して、移動時間と位置決め精度のトレードオフを行う。   In this case, of course, the set time of the moving stage 5 increases due to the retry, but it is effective when the evaluation of the head medium has to be prioritized over the repair and replacement of the moving stage 5 such as use in a production line. As a result, the number of retries increases, but the probability of reaching the target position by the retry operation increases. In other words, a trade-off between the movement time and the positioning accuracy is performed for the malfunction of the system.

また、他の方法としては、リトライ回数が増える程、許容誤差を大きくする。例えば、位置決め精度の許容値の最大をPとした場合、リトライ回数=0〜n1まで許容誤差=0、リトライ回数=n1+1〜n2まで許容誤差=P/2、リトライ回数=n2+1〜n3まで許容誤差=Pとする。   As another method, the allowable error is increased as the number of retries increases. For example, if the maximum allowable positioning accuracy is P, the number of retries is 0 to n1, the allowable error is 0, the number of retries is n1 + 1 to n2, the allowable error is P / 2, and the number of retries is n2 to 1 to n3. = P.

モータが正常なら、n1回目までに移動を終了するが、モータが劣化すると小さい許容誤差では止まれず、大きな許容誤差で止まることになる。最小の許容誤差で止まることが理想であるが、実情によりヘッド媒体の評価を進める必要がある場合、位置決め精度を落として評価を継続できるメリットがある。   If the motor is normal, the movement is completed by the first time, but if the motor deteriorates, it will not stop with a small tolerance but will stop with a large tolerance. It is ideal to stop at the minimum allowable error, but there is an advantage that if the head medium needs to be evaluated according to the actual situation, the evaluation can be continued with the positioning accuracy lowered.

システムの不具合として経年変化による劣化が考えられる。その度合いに応じて許容誤差=0の回数を1回、2回、それ以上と動的に変化させる。正常なシステムであれば、1回乃至2回目には目標位置に達する。それ以上必要な場合は、システムの改善が必要な状態と考えられる。しかし、測定優先の暫定処置(修理待ち)のため、位置決め精度を維持するため、リトライ回数を増やして目標位置へ到達させる。   Deterioration due to secular change is considered as a malfunction of the system. Depending on the degree, the number of times of allowable error = 0 is dynamically changed once, twice or more. If the system is normal, the target position is reached in the first or second time. If more is needed, it is considered that the system needs to be improved. However, because of the provisional treatment (waiting for repair) prioritizing measurement, the number of retries is increased to reach the target position in order to maintain positioning accuracy.

そのために、許容誤差=0の設定回数を動的に増加させる。設定回数を多くする場合は、きめ細かい段階分けは不要である。それ以上の回数の目安は、システムで設定したリトライ回数制限(これ以上リトライした場合はエラーとする)の1/2倍、1倍など比例値で設定すれば良い。例えば、リトライ上限が8回の場合、許容誤差=0のリトライ回数を、1、2、4、8などと増加させる。   Therefore, the set number of times of allowable error = 0 is dynamically increased. When increasing the number of times of setting, fine step division is not necessary. A guideline for the number of times beyond that may be set as a proportional value such as 1/2 or 1 times the limit on the number of retries set by the system (an error will occur if more retries are made). For example, when the retry upper limit is 8, the number of retries with allowable error = 0 is increased to 1, 2, 4, 8, and the like.

なお、システムの経年変化は、現在の設定リトライ回数をモニタして、増加した場合、次の段階に移行すれば良い。或いは、移動エラーの頻度を評価して設定回数を変更する。   Note that the aging of the system may be shifted to the next stage when the current setting retry count is monitored and increased. Alternatively, the frequency of movement error is evaluated and the set number of times is changed.

(例5)
例5は、MRヘッドのピン層反転を検出する例である。ダイビット波形の書込み波形パターンの正のピークの時間位置に「1」、負のピークの時間位置に「−1」、その他を0としたウインドウ関数を作り、波形を読込む際に波形に前記ウインドウ関数を時間方向に操作しながら掛け合わせて求めた最大値と、前記ウインドウ関数に「−1」を掛けたウインドウ関数(前記ウインドウ関数の符号を反転したウインドウ関数)を同様に波形に掛け合わせて求めた最大値を比較し、後者の方が大きい場合はピン層反転が生じたと判定する。
(Example 5)
Example 5 is an example in which pin layer inversion of the MR head is detected. Write window function of dibit waveform Create a window function with “1” at the time position of the positive peak, “−1” at the time position of the negative peak, and 0 for others. The maximum value obtained by multiplying the function while operating in the time direction and the window function obtained by multiplying the window function by “−1” (the window function obtained by inverting the sign of the window function) are similarly multiplied by the waveform. The obtained maximum values are compared, and if the latter is larger, it is determined that pinned layer inversion has occurred.

図4は処理説明図であり、(1A)は正常出力波形、(1B)は異常出力波形(ピン層反転)、(2A)は正常出力波形と一致する窓関数パターン、(2B)は反転出力波形と一致する窓関数パターン(2Bの逆極性)を示す。   FIG. 4 is an explanatory diagram of processing, (1A) is a normal output waveform, (1B) is an abnormal output waveform (inverted pin layer), (2A) is a window function pattern that matches the normal output waveform, and (2B) is an inverted output. A window function pattern (reverse polarity of 2B) that matches the waveform is shown.

図4に示したように、(1A)、(1B)の波形に(2A)、(2B)の窓関数を掛け合わせて評価する。出力波形のピークをVopとすると(簡単にするため、正負同じレベルで説明する)、(2A)、(2B)の波形の時間軸(図の横方向)をずらしながら掛け合わせた結果のデータ列から最大値を求めると、次のようになる。   As shown in FIG. 4, the evaluation is performed by multiplying the waveforms of (1A) and (1B) by the window functions of (2A) and (2B). Assuming that the peak of the output waveform is Vop (for the sake of simplicity, explanation will be made with the same level of positive and negative), a data string obtained by multiplying the time axis (horizontal direction in the figure) of (2A) and (2B) while shifting The maximum value is obtained from the following.

すなわち、正常出力波形の場合、(1A)×(2A)=4Vop(Vop:ピーク値)、(1A)×(2B)=2Vopとなる。また、異常出力波形の場合、(1B)×(2A)=2Vopとなり、ピン層反転の場合、(1B)×(2B)=4Vopとなる。   That is, in the case of a normal output waveform, (1A) × (2A) = 4 Vop (Vop: peak value), (1A) × (2B) = 2 Vop. In the case of an abnormal output waveform, (1B) × (2A) = 2 Vop, and in the case of pinned layer inversion, (1B) × (2B) = 4 Vop.

正常出力波形では、正常出力波形と一致するパターンと掛け合わせた方が結果は大きくなるが、異常出力波形では異常出力波形と一致するパターンと掛け合わせた方が結果は大きくなる。これより、ピン層反転の有無が確認できる。   For a normal output waveform, the result is greater when multiplied by a pattern that matches the normal output waveform, whereas for an abnormal output waveform, the result is greater when multiplied by a pattern that matches the abnormal output waveform. From this, the presence or absence of pinned layer inversion can be confirmed.

§4:記録媒体とプログラムの説明
前記UDTが行う評価処理は、システム制御部(例えば、パーソナルコンピュータ)12のハードディスク装置に、予め、前記評価処理に必要なプログラムを格納しておき、該システム制御部12のCPUが、前記ハードディスク装置のプログラムを実行することにより行う。しかし、本発明はこのような例に限らず、前記ハードディスク装置に、次のようにしてプログラムを格納しても実現可能である。
§4: Description of recording medium and program In the evaluation process performed by the UDT, a program necessary for the evaluation process is stored in advance in the hard disk device of the system control unit (for example, personal computer) 12, and the system control The CPU of the unit 12 executes the program of the hard disk device. However, the present invention is not limited to such an example, and can be realized by storing a program in the hard disk device as follows.

(a) :リムーバブルディスクに格納されているプログラム(他の装置で作成したプログラム)を、システム制御部12のリムーバブルディスクドライブにより読み取り、前記ハードディスク装置の記録媒体(ハードディスク)に格納する。なお、前記リムーバブルディスクには、CD−ROM等の光ディスク、光磁気ディスク、フロッピィディスク等が含まれる。   (a): The program stored in the removable disk (program created by another device) is read by the removable disk drive of the system control unit 12 and stored in the recording medium (hard disk) of the hard disk device. The removable disk includes an optical disk such as a CD-ROM, a magneto-optical disk, and a floppy disk.

(b) :LAN等の通信回線を介して他の装置から伝送されたプログラムを、システム制御部12の通信制御部を介して受信し、そのデータを前記ハードディスク装置の記録媒体(ハードディスク)に格納する。   (b): A program transmitted from another device via a communication line such as a LAN is received via the communication control unit of the system control unit 12, and the data is stored in the recording medium (hard disk) of the hard disk device. To do.

本発明の原理説明図である。It is a principle explanatory view of the present invention. 本発明の実施の形態におけるUDTの外観図である。It is an external view of UDT in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態におけるUDTのリード系ブロック図である。It is a lead system block diagram of UDT in an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態における処理説明図である。It is processing explanatory drawing in embodiment of this invention. 従来例の説明図である。It is explanatory drawing of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1 スピンドル機構
2 媒体
3 ヘッド
4 スライダ
5 移動ステージ
6 制御装置
10 制御回路
11 評価回路
12 システム制御部
13 信号書込み制御部
14 信号読込み制御部
15 ステージ移動制御部
16 スピンドル回転制御部
21 ヘッドIC
22 プリアンプ
23 メインアンプ
24 ADC(アナログ/ディジタルコンバータ)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spindle mechanism 2 Medium 3 Head 4 Slider 5 Moving stage 6 Control apparatus 10 Control circuit 11 Evaluation circuit 12 System control part 13 Signal writing control part 14 Signal reading control part 15 Stage movement control part 16 Spindle rotation control part 21 Head IC
22 Preamplifier 23 Main Amplifier 24 ADC (Analog / Digital Converter)

Claims (2)

媒体を回転させるスピンドル機構と、前記媒体に対して情報の書込み、読込みを行うヘッドを移動させる移動ステージと、各種のヘッド媒体に対し、情報の書込み/読込み制御を行い、その際得られたデータに基づきヘッド媒体の特性を評価する制御装置を備えた汎用型ヘッド媒体評価装置において、
スピンドル機構の回転速度と移動ステージの位置決め精度の関係を評価して、全回転速度で位置決め精度が目標値以下になるように、スピンドル機構のマスバランスを調整し、スピンドル機構の振動を全回転速度で減少させると共に、前記位置決め精度が目標値を超えた場合を、スピンドル機構のマスバランス再調整の指標とするスピンドル振動評価手段を備えていることを特徴とする汎用型ヘッド媒体評価装置。
A spindle mechanism for rotating the medium, a moving stage for moving the head for writing and reading information on the medium, and data writing / reading control for various head media and data obtained at that time In a general-purpose head medium evaluation apparatus provided with a control device for evaluating the characteristics of the head medium based on
Evaluate the relationship between the rotation speed of the spindle mechanism and the positioning accuracy of the moving stage, adjust the mass balance of the spindle mechanism so that the positioning accuracy is below the target value at all rotation speeds, and adjust the spindle mechanism vibration to the full rotation speed. A general-purpose head medium evaluation device comprising: spindle vibration evaluation means that reduces the positioning accuracy when the positioning accuracy exceeds a target value, and uses as an index for readjustment of mass balance of the spindle mechanism.
媒体を回転させるスピンドル機構と、前記媒体に対して情報の書込み、読込みを行うヘッドを移動させる移動ステージと、各種のヘッド媒体に対し、情報の書込み/読込み制御を行い、その際得られたデータに基づきヘッド媒体の特性を評価する制御装置を備えた汎用型ヘッド媒体評価装置において、
移動ステージの位置決め精度に応じたリトライ条件を、リトライ回転数に応じて動的に変化させることで、位置決め精度を維持する位置決め精度制御手段を備えていることを特徴とする汎用型ヘッド媒体評価装置。
A spindle mechanism for rotating the medium, a moving stage for moving the head for writing and reading information on the medium, and data writing / reading control for various head media and data obtained at that time In a general-purpose head medium evaluation apparatus provided with a control device for evaluating the characteristics of the head medium based on
General-purpose head medium evaluation apparatus comprising positioning accuracy control means for maintaining positioning accuracy by dynamically changing a retry condition according to the positioning accuracy of the moving stage according to the retry rotational speed .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009259310A (en) * 2008-04-14 2009-11-05 Showa Denko Kk Seek evaluating method and device of magnetic recording medium

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