JP2008051641A - Direct current test apparatus - Google Patents

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Kunihiro Matsuura
邦博 松浦
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a direct current test apparatus for high voltage which can be configured at low cost without the use of a high withstand voltage switch. <P>SOLUTION: The direct current test apparatus comprises: a power amplifier 14 which applies a direct current voltage to a high voltage side terminal of DUT 26; an insulation type DC/DC converter 28 which applies a positive and negative power supply voltage to the power amplifier 14; a current detecting resistance part 16 connected to a low voltage side terminal of DUT 26; a differential amplification circuit 18 to measure a current supplied to DUT 26 on the basis of a potential difference between both ends of a current detecting resistance in the current detecting resistance part 16; and ADC 20. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、直流試験装置に関し、特に、高電圧を被試験デバイスに印加する高電圧用の直流試験装置に関する。   The present invention relates to a DC test apparatus, and more particularly to a DC test apparatus for high voltage that applies a high voltage to a device under test.

半導体集積回路等の電子デバイスの試験として、電子デバイスに所定の直流電圧を印加し、その際に電子デバイスに供給される直流電流を測定する電圧印加電流測定試験等の直流試験が知られている。   As a test of an electronic device such as a semiconductor integrated circuit, a direct current test such as a voltage application current measurement test in which a predetermined direct current voltage is applied to the electronic device and a direct current supplied to the electronic device is measured at that time is known. .

従来の直流試験装置においては、被試験デバイス（ＤＵＴ）に対して直流電圧を供給するためのフォースラインに電流検出用抵抗が設けられ、電流検出用抵抗の両端の電位差に基づきＤＵＴに供給される直流電流が測定される。また、直流電流の測定レンジを切り換えるために、複数の電流検出用抵抗と、複数の電流検出用抵抗のそれぞれに対応する複数のスイッチとを有する電流検出用抵抗部をフォースラインに設け、複数のスイッチの切り換えにより、ＤＵＴに供給される直流電流が流れる電流検出用抵抗を切り換えることが行われている。
特開平７−２６０８５９号公報 In a conventional DC test apparatus, a current detection resistor is provided in a force line for supplying a DC voltage to a device under test (DUT) and is supplied to the DUT based on a potential difference between both ends of the current detection resistor. DC current is measured. In addition, in order to switch the DC current measurement range, a current detection resistor unit having a plurality of current detection resistors and a plurality of switches corresponding to each of the plurality of current detection resistors is provided in the force line. By switching the switch, the current detection resistor through which the direct current supplied to the DUT flows is switched.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-260859

このように、従来の直流試験装置においては、フォースライン側に設けられたスイッチの切り換えにより、直流電流の測定レンジが切り換えられていた。   As described above, in the conventional DC test apparatus, the DC current measurement range is switched by switching the switch provided on the force line side.

しかしながら、高電圧の直流電圧を印加する高電圧用の直流試験装置の場合、直流電流の測定レンジを切り換えるためのスイッチに高耐圧のスイッチを用いる必要があるため、装置が高価なものになっていた。   However, in the case of a high-voltage DC test apparatus that applies a high-voltage DC voltage, it is necessary to use a high-voltage switch as a switch for switching the DC current measurement range, which makes the apparatus expensive. It was.

本発明の目的は、高耐圧のスイッチを用いることなく、安価に構成することができる高電圧用の直流試験装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a high-voltage DC test apparatus that can be configured at low cost without using a high-voltage switch.

上記目的は、被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する増幅器と、前記増幅器に正負の電源電圧を供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、前記被試験デバイスの低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗と、前記電流検出用抵抗に直列に接続されたスイッチと、前記電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記被試験デバイスに供給される電流を測定する電流測定部とを有することを特徴とする直流試験装置により達成される。   The purpose is to connect an amplifier that supplies a DC voltage to the high voltage side terminal of the device under test, an isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the amplifier, and a low voltage side terminal of the device under test A current detecting resistor, a switch connected in series to the current detecting resistor, and a current measuring unit that measures a current supplied to the device under test based on a potential difference between both ends of the current detecting resistor; It is achieved by a direct current test apparatus characterized by having

また、上記の直流試験装置において、複数の前記電流検出用抵抗と、複数の前記電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記スイッチとを有し、複数の前記スイッチの切り換えにより、複数の前記電流検出用抵抗のいずれかが前記被試験デバイスの低電圧側端子に接続されるようにしてもよい。   Further, in the DC test apparatus, the plurality of current detection resistors, and a plurality of the switches connected in series to each of the plurality of current detection resistors, by switching the plurality of switches, Any of the plurality of current detection resistors may be connected to a low voltage side terminal of the device under test.

また、上記目的は、第１の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第１の増幅器と、前記第１の増幅器に正負の電源電圧を供給する第１の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された第１の電流検出用抵抗と、前記電流検出用抵抗に直列に接続された第１のスイッチと、前記第１の電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第１の被試験デバイスに供給される電流を測定する第１の電流測定部と、第２の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第２の増幅器と、前記第２の増幅器に正負の電源電圧を供給する第２の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された第２の電流検出用抵抗と、前記電流検出用抵抗に直列に接続された第２のスイッチと、前記第２の電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第２の被試験デバイスに供給される電流を測定する第２の電流測定部とを有することを特徴とする直流試験装置により達成される。   In addition, the object is to provide a first amplifier that supplies a DC voltage to the high-voltage side terminal of the first device under test, and a first insulation type DC / DC that supplies a positive and negative power supply voltage to the first amplifier. A converter; a first current detection resistor connected to a low voltage side terminal of the first device under test; a first switch connected in series to the current detection resistor; and the first current. A direct current voltage is supplied to the first current measuring unit for measuring the current supplied to the first device under test based on the potential difference between both ends of the detection resistor and the high voltage side terminal of the second device under test. A second amplifier; a second isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the second amplifier; and a second current connected to a low voltage side terminal of the second device under test. Connected in series with the detection resistor and the current detection resistor. And a second current measuring unit for measuring a current supplied to the second device under test based on a potential difference between both ends of the second current detection resistor. Achieved by a direct current test apparatus.

また、上記の直流試験装置において、複数の前記第１の電流検出用抵抗と、複数の前記第１の電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記第１のスイッチとを有し、複数の前記第１のスイッチの切り換えにより、複数の前記第１の電流検出用抵抗のいずれかが前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子に接続され、複数の前記第２の電流検出用抵抗と、複数の前記第２の電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記第２のスイッチとを有し、複数の前記第２のスイッチの切り換えにより、複数の前記第２の電流検出用抵抗のいずれかが前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続されるようにしてもよい。   In the DC test device, the plurality of first current detection resistors and the plurality of first switches connected in series to the plurality of first current detection resistors, respectively. By switching the plurality of first switches, one of the plurality of first current detection resistors is connected to the low voltage side terminal of the first device under test, and the plurality of second current detections are performed. And a plurality of second switches connected in series to each of the plurality of second current detection resistors, and the plurality of second switches are switched by switching the plurality of second switches. Any one of the current detection resistors may be connected to the low voltage side terminal of the second device under test.

また、上記目的は、第１の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第１の増幅器と、第２の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第２の増幅器と、前記第１の増幅器及び第２の増幅器に正負の電源電圧を供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子及び前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗と、前記電流検出用抵抗に直列に接続されたスイッチと、前記電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第１の被試験デバイスに供給される電流及び前記第２の被試験デバイスに供給される電流を測定する電流測定部とを有することを特徴とする直流試験装置により達成される。   Further, the above object is to provide a first amplifier that supplies a DC voltage to the high voltage side terminal of the first device under test, and a second amplifier that supplies a DC voltage to the high voltage side terminal of the second device under test. An isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the first amplifier and the second amplifier, a low voltage side terminal of the first device under test, and a low voltage of the second device under test. A current detection resistor connected to the voltage side terminal, a switch connected in series to the current detection resistor, and a potential difference between both ends of the current detection resistor are supplied to the first device under test. It is achieved by a direct current test apparatus comprising a current measuring unit that measures a current and a current supplied to the second device under test.

また、上記の直流試験装置において、複数の前記電流検出用抵抗と、複数の前記電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記スイッチとを有し、複数の前記スイッチの切り換えにより、複数の前記電流検出用抵抗のいずれかが前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子及び前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続されるようにしてもよい。   Further, in the DC test apparatus, the plurality of current detection resistors, and a plurality of the switches connected in series to each of the plurality of current detection resistors, by switching the plurality of switches, Any of the plurality of current detection resistors may be connected to the low voltage side terminal of the first device under test and the low voltage side terminal of the second device under test.

本発明によれば、被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する増幅器と、増幅器に正負の電源電圧を供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、被試験デバイスの低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗と、電流検出用抵抗に直列に接続されたスイッチと、電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、被試験デバイスに供給される電流を測定する電流測定部とを有するように直流試験装置を構成するので、高耐圧のスイッチを用いることなく、高電圧用の直流試験装置を安価に構成することができる。   According to the present invention, an amplifier that supplies a DC voltage to the high voltage side terminal of the device under test, an isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the amplifier, and a low voltage side terminal of the device under test are connected. A current detecting resistor, a switch connected in series to the current detecting resistor, and a current measuring unit for measuring a current supplied to the device under test based on a potential difference between both ends of the current detecting resistor. Therefore, a high-voltage DC test apparatus can be configured at low cost without using a high-breakdown-voltage switch.

［複数チャンネルを備えた直流試験装置］
直流試験装置は、一般的に、複数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に対して直流試験を行うために、複数のチャンネルが同一ボード上に実装されている。図３は、電圧印加電流測定試験を行うための複数チャンネルを同一ボード上に備えた直流試験装置の構成を示すブロック図である。 [DC test equipment with multiple channels]
A DC test apparatus generally has a plurality of channels mounted on the same board in order to perform a DC test on a plurality of devices under test (DUT). FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a DC test apparatus provided with a plurality of channels for performing a voltage application current measurement test on the same board.

図示するように、直流試験装置は、複数のＤＵＴ１１６に対して直流試験を行うために、複数のチャンネルを同一ボード上に備えている。なお、図３では２つのチャンネルＣＨ１、ＣＨ２を示しているが、通常、２以上の多数チャンネル、例えば６４チャンネルを備えている。   As shown in the figure, the DC test apparatus includes a plurality of channels on the same board in order to perform a DC test on a plurality of DUTs 116. In FIG. 3, although two channels CH1 and CH2 are shown, usually, two or more multiple channels, for example, 64 channels are provided.

直流試験装置の各チャンネルは、ボード側に、Ｄ／Ａ変換器（ＤＡＣ）１００と、反転増幅回路１０２と、電力用の増幅器（パワーアンプ）１０４と、電流検出用抵抗部１０６と、差動増幅回路１０８と、Ａ／Ｄ変換器（ＡＤＣ）１１０と、電圧検出用バッファ１１２とを有し、プローブ側において、チャンネルの出力端１１４に、半導体集積回路等の電子デバイスであるＤＵＴ１１６が接続されている。   Each channel of the DC test apparatus includes, on the board side, a D / A converter (DAC) 100, an inverting amplifier circuit 102, a power amplifier (power amplifier) 104, a current detection resistor unit 106, and a differential. It has an amplifier circuit 108, an A / D converter (ADC) 110, and a voltage detection buffer 112. On the probe side, a DUT 116, which is an electronic device such as a semiconductor integrated circuit, is connected to the output end 114 of the channel. ing.

ＤＡＣ１００は、デジタル信号である出力電圧制御信号が入力端子に入力され、入力された出力電圧制御信号に基づきアナログ信号である直流電圧を出力端子から出力する。   In the DAC 100, an output voltage control signal that is a digital signal is input to an input terminal, and a DC voltage that is an analog signal is output from the output terminal based on the input output voltage control signal.

反転増幅回路１０２は、抵抗１１８、１２０と、演算増幅器１２２とを有している。抵抗１１８の一端は、ＤＡＣ１００の出力端子に接続されている。抵抗１１８の他端は、演算増幅器１２２の負入力端子に接続されている。演算増幅器１２２の正入力端子は、グラウンドに接続されている。抵抗１２０の一端は、チャンネルの出力端１１４に接続されたセンスラインＳＬに設けられた電圧検出用バッファ１１２の出力端子に接続されている。抵抗１２０の他端は、抵抗１１８の他端と、演算増幅器１２２の負入力端子とに接続されている。演算増幅器１２２の出力端子は、パワーアンプ１０４の入力端子に接続されている。反転増幅回路１０２は、ＤＡＣ１００から抵抗１１８の一端に入力された直流電圧を増幅した電圧を、演算増幅器１２２の出力端子から出力する。   The inverting amplifier circuit 102 includes resistors 118 and 120 and an operational amplifier 122. One end of the resistor 118 is connected to the output terminal of the DAC 100. The other end of the resistor 118 is connected to the negative input terminal of the operational amplifier 122. The positive input terminal of the operational amplifier 122 is connected to the ground. One end of the resistor 120 is connected to the output terminal of the voltage detection buffer 112 provided on the sense line SL connected to the output end 114 of the channel. The other end of the resistor 120 is connected to the other end of the resistor 118 and the negative input terminal of the operational amplifier 122. The output terminal of the operational amplifier 122 is connected to the input terminal of the power amplifier 104. The inverting amplifier circuit 102 outputs from the output terminal of the operational amplifier 122 a voltage obtained by amplifying the DC voltage input from the DAC 100 to one end of the resistor 118.

パワーアンプ１０４は、反転増幅回路１０２の出力電圧が入力端子に入力され、入力された電圧を増幅した電圧を出力端子から出力する。パワーアンプ１０４の出力電圧は、電流検出用抵抗部１０６が設けられたフォースラインＦＬを通して出力端１１４に供給される。   In the power amplifier 104, the output voltage of the inverting amplifier circuit 102 is input to the input terminal, and a voltage obtained by amplifying the input voltage is output from the output terminal. The output voltage of the power amplifier 104 is supplied to the output terminal 114 through the force line FL in which the current detection resistor unit 106 is provided.

電流検出用抵抗部１０６は、パワーアンプ１０４の出力電圧を出力端１１４に供給するフォースラインＦＬに設けられ、一端がパワーアンプ１０４の出力端子に接続され、他端がチャンネルの出力端１１４に接続されている。電流検出用抵抗部１０６は、複数の電流検出用抵抗１２４、１２６と、複数の電流検出用抵抗１２４、１２６のそれぞれに対応して設けられた複数のスイッチ１２８、１３０とを有している。複数の電流検出用抵抗１２４、１２６には、それぞれ対応するスイッチ１２８、１３０が直列に接続され、これらがパワーアンプ１０４と出力端１１４との間に並列に接続されている。スイッチ１２８、１３０の切り換えにより、パワーアンプ１０４と出力端１１４との間に接続される電流検出用抵抗が変えられ、直流電流の測定レンジが切り換えられる。   The current detection resistor unit 106 is provided in a force line FL that supplies the output voltage of the power amplifier 104 to the output terminal 114, one end connected to the output terminal of the power amplifier 104, and the other terminal connected to the channel output terminal 114. Has been. The current detection resistor unit 106 includes a plurality of current detection resistors 124 and 126 and a plurality of switches 128 and 130 provided corresponding to the plurality of current detection resistors 124 and 126, respectively. Corresponding switches 128 and 130 are connected in series to the plurality of current detection resistors 124 and 126, respectively, and these are connected in parallel between the power amplifier 104 and the output end 114. By switching the switches 128 and 130, the current detection resistor connected between the power amplifier 104 and the output end 114 is changed, and the DC current measurement range is switched.

差動増幅回路１０８は、抵抗１３２、１３４、１３６、１３８と、演算増幅器１４０とを有している。抵抗１３２の一端は、電流検出用抵抗部１０６の一端に接続されている。抵抗１３２の他端は、演算増幅器１４０の負入力端子に接続されている。抵抗１３４の一端は、電流検出用抵抗部１０６の他端に接続されている。抵抗１３４の他端は、演算増幅器１４０の正入力端子に接続されている。抵抗１３６の一端は、抵抗１３２の他端と、演算増幅器１４０の負入力端子に接続されている。抵抗１３６の他端は、演算増幅器１４０の出力端子と、ＡＤＣ１１０の入力端子に接続されている。抵抗１３８の一端は、抵抗１３４の他端と、演算増幅器１４０の正入力端子に接続されている。抵抗１３８の他端は、グランドに接続されている。演算増幅器１４０の出力端子は、ＡＤＣ１１０の入力端子に接続されている。差動増幅回路１０８は、電流検出用抵抗部１０６においてパワーアンプ１０４と出力端１１４との間に接続された電流検出用抵抗の両端の電位差に応じた電圧を、演算増幅器１４０の出力端子から出力する。   The differential amplifier circuit 108 includes resistors 132, 134, 136, and 138 and an operational amplifier 140. One end of the resistor 132 is connected to one end of the current detection resistor unit 106. The other end of the resistor 132 is connected to the negative input terminal of the operational amplifier 140. One end of the resistor 134 is connected to the other end of the current detection resistor unit 106. The other end of the resistor 134 is connected to the positive input terminal of the operational amplifier 140. One end of the resistor 136 is connected to the other end of the resistor 132 and the negative input terminal of the operational amplifier 140. The other end of the resistor 136 is connected to the output terminal of the operational amplifier 140 and the input terminal of the ADC 110. One end of the resistor 138 is connected to the other end of the resistor 134 and the positive input terminal of the operational amplifier 140. The other end of the resistor 138 is connected to the ground. The output terminal of the operational amplifier 140 is connected to the input terminal of the ADC 110. The differential amplifier circuit 108 outputs, from the output terminal of the operational amplifier 140, a voltage corresponding to the potential difference between both ends of the current detection resistor connected between the power amplifier 104 and the output end 114 in the current detection resistor unit 106. To do.

ＡＤＣ１１０は、差動増幅回路１０８の出力電圧に基づいて、ＤＵＴ１１６に供給される直流電流を測定する。   The ADC 110 measures the direct current supplied to the DUT 116 based on the output voltage of the differential amplifier circuit 108.

チャンネルの出力端１１４の電圧は、センスラインＳＬを通して電圧検出用バッファ１１２に入力される。電圧検出用バッファ１１２は、バッファした電圧を、抵抗１２０を介して演算増幅器１２２の負入力端子に供給する。このような回路構成によりチャンネルの出力端１１４での電圧が一定となるように帰還制御される。   The voltage at the output end 114 of the channel is input to the voltage detection buffer 112 through the sense line SL. The voltage detection buffer 112 supplies the buffered voltage to the negative input terminal of the operational amplifier 122 via the resistor 120. With such a circuit configuration, feedback control is performed so that the voltage at the output terminal 114 of the channel becomes constant.

チャンネルの出力端１１４には、ＤＵＴ１１６の高電圧側端子、具体的には高電圧側電源用端子が接続されている。ＤＵＴ１１６の高電圧側端子には、電流検出用抵抗部１０８が設けられたフォースラインＦＬを通してパワーアンプ１０４の出力電圧が供給される。ＤＵＴ１１６の低電圧側端子、具体的には低電圧側電源用端子は、リターンラインＲＬを通してグラウンドに接続されている。   The output terminal 114 of the channel is connected to a high voltage side terminal of the DUT 116, specifically, a high voltage side power supply terminal. The output voltage of the power amplifier 104 is supplied to the high voltage side terminal of the DUT 116 through the force line FL provided with the current detection resistor unit 108. The low voltage side terminal of the DUT 116, specifically, the low voltage side power supply terminal is connected to the ground through the return line RL.

同一ボード上に実装された各チャンネルのリターンラインＲＬは、共通のグラウンドに接続されている。   The return lines RL of the channels mounted on the same board are connected to a common ground.

このような回路構成を有する直流試験装置において、チャンネル毎に、フォースラインＦＬを通してＤＵＴ１１６に直流電圧が供給され、このときＤＵＴ１１６に供給される直流電流が測定される。   In the DC test apparatus having such a circuit configuration, a DC voltage is supplied to the DUT 116 through the force line FL for each channel, and the DC current supplied to the DUT 116 at this time is measured.

ＤＵＴ１１６に高電圧の直流電圧を印加する高電圧用の直流試験装置においては、各チャンネルの測定レンジを切り換えるためのスイッチ１２８、１３０に、高耐圧のスイッチを用いる必要がある。この場合、チャンネル毎に測定レンジ数に応じて高耐圧のスイッチを用意する必要があるため、フォースラインＦＬ側で電流測定を行ったのでは、コスト高になってしまう。   In a high-voltage DC test apparatus that applies a high-voltage DC voltage to the DUT 116, it is necessary to use high-breakdown-voltage switches for the switches 128 and 130 for switching the measurement range of each channel. In this case, since it is necessary to prepare a high withstand voltage switch according to the number of measurement ranges for each channel, if current measurement is performed on the force line FL side, the cost becomes high.

他方、リターンラインＲＬ側に電流検出用抵抗を設けて電流測定を行えば、高耐圧用のスイッチが不要になると考えられる。図４は、図３に示す直流試験装置においてリターンラインＲＬ側に電流検出用抵抗を設けた場合を示すブロック図である。   On the other hand, if a current detection resistor is provided on the return line RL side and current measurement is performed, it is considered that a high withstand voltage switch is unnecessary. FIG. 4 is a block diagram showing a case where a current detection resistor is provided on the return line RL side in the DC test apparatus shown in FIG.

高耐圧用のスイッチが不要になる構成として、図４中の楕円内に示すように、リターンライン側に電流検出用抵抗１４２を設けることが考えられる。しかしながら、各チャンネルのＤＵＴ１１６の低電圧側端子は、リターンラインＲＬを通して、共通のグラウンドに接続されている。このため、リターンラインＲＬ側に電流検出用抵抗１４２を設けたとしても、複数のＤＵＴ１１６に供給された直流電流の合計を測定することはできるが、個々のＤＵＴ１１６に供給された電流を測定することは困難であった。   As a configuration that eliminates the need for a high withstand voltage switch, it is conceivable to provide a current detection resistor 142 on the return line side as shown in an ellipse in FIG. However, the low voltage side terminal of the DUT 116 of each channel is connected to a common ground through the return line RL. Therefore, even if the current detection resistor 142 is provided on the return line RL side, it is possible to measure the sum of the direct currents supplied to the plurality of DUTs 116, but to measure the currents supplied to the individual DUTs 116. Was difficult.

本発明による直流試験装置は、高耐圧用のスイッチを必要とすることなく、同一ボード上に実装された複数のチャンネルのそれぞれにおいて、ＤＵＴに供給される直流電流を個別に測定することを可能にするものである。以下、実施形態において、本発明による直流試験装置について詳述する。   The DC test apparatus according to the present invention can individually measure the DC current supplied to the DUT in each of a plurality of channels mounted on the same board without requiring a switch for high withstand voltage. To do. Hereinafter, in the embodiment, a DC test apparatus according to the present invention will be described in detail.

［第１実施形態］
本発明の第１実施形態による半導体直流試験装置について図１を用いて説明する。図１は本実施形態による半導体直流試験装置の構成を示すブロック図である。 [First Embodiment]
A semiconductor DC test apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the semiconductor DC test apparatus according to the present embodiment.

本実施形態による直流試験装置は、複数のＤＵＴに対して直流試験を行うために、複数のチャンネルを同一ボード上に備えている。そして、チャンネル毎に、ＤＵＴに対して高電圧の直流電圧を印加し、その際にＤＵＴに供給される直流電流を測定する電圧印加電流測定試験を行う。なお、図１では２つのチャンネルＣＨ１、ＣＨ２を示している。   The DC test apparatus according to the present embodiment includes a plurality of channels on the same board in order to perform a DC test on a plurality of DUTs. Then, for each channel, a high-voltage DC voltage is applied to the DUT, and a voltage application current measurement test is performed in which the DC current supplied to the DUT is measured. In FIG. 1, two channels CH1 and CH2 are shown.

直流試験装置の各チャンネルは、ボード側に、Ｄ／Ａ変換器（ＤＡＣ）１０と、反転増幅回路１２と、電力用の増幅器（パワーアンプ）１４と、電流検出用抵抗部１６と、差動増幅回路１８と、Ａ／Ｄ変換器（ＡＤＣ）２０と、電圧検出用バッファ２２とを有し、プローブ側において、チャンネルの出力端２４に、半導体集積回路等の電子デバイスであるＤＵＴ２６が接続されている。   Each channel of the DC test apparatus includes, on the board side, a D / A converter (DAC) 10, an inverting amplifier circuit 12, a power amplifier (power amplifier) 14, a current detection resistor unit 16, and a differential. It has an amplifier circuit 18, an A / D converter (ADC) 20, and a voltage detection buffer 22. On the probe side, a DUT 26, which is an electronic device such as a semiconductor integrated circuit, is connected to the output terminal 24 of the channel. ing.

複数のチャンネルのパワーアンプ１４のそれぞれには、電源として、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８が接続されており、正の電源電圧ＶＰ及び負の電源電圧ＶＮが供給されるようになっている。 Each of the power amplifiers 14 of the plurality of channels is connected with an isolated DC / DC converter 28 as a power source, and is supplied with a positive power source voltage VP and a negative power source voltage V N. .

ＤＡＣ１０は、デジタル信号である出力電圧制御信号が入力端子に入力され、入力された出力電圧制御信号に基づきアナログ信号である直流電圧を出力端子から出力する。   The DAC 10 receives an output voltage control signal that is a digital signal at an input terminal, and outputs a DC voltage that is an analog signal from the output terminal based on the input output voltage control signal.

反転増幅回路１２は、抵抗３０、３２と、演算増幅器３４とを有している。抵抗３０の一端は、ＤＡＣ１０の出力端子に接続されている。抵抗３０の他端は、演算増幅器３４の負入力端子に接続されている。演算増幅器３４の正入力端子は、グラウンドに接続されている。抵抗３２の一端は、チャンネルの出力端２４に接続されたセンスラインＳＬに設けられた電圧検出用バッファ２２の出力端子に接続されている。抵抗３２の他端は、抵抗３０の他端と、演算増幅器３４の負入力端子とに接続されている。演算増幅器３４の出力端子は、パワーアンプ１４の入力端子に接続されている。反転増幅回路１２は、ＤＡＣ１０から抵抗３０の一端に入力された直流電圧を増幅した電圧を、演算増幅器３４の出力端子から出力する。   The inverting amplifier circuit 12 includes resistors 30 and 32 and an operational amplifier 34. One end of the resistor 30 is connected to the output terminal of the DAC 10. The other end of the resistor 30 is connected to the negative input terminal of the operational amplifier 34. The positive input terminal of the operational amplifier 34 is connected to the ground. One end of the resistor 32 is connected to the output terminal of the voltage detection buffer 22 provided on the sense line SL connected to the output terminal 24 of the channel. The other end of the resistor 32 is connected to the other end of the resistor 30 and the negative input terminal of the operational amplifier 34. The output terminal of the operational amplifier 34 is connected to the input terminal of the power amplifier 14. The inverting amplifier circuit 12 outputs, from the output terminal of the operational amplifier 34, a voltage obtained by amplifying the DC voltage input from the DAC 10 to one end of the resistor 30.

パワーアンプ１４は、反転増幅回路１２の出力電圧が入力端子に入力され、入力された電圧を増幅した電圧を出力端子から出力する。パワーアンプ１４の出力電圧は、フォースラインＦＬを通して出力端２４に供給される。   In the power amplifier 14, the output voltage of the inverting amplifier circuit 12 is input to the input terminal, and a voltage obtained by amplifying the input voltage is output from the output terminal. The output voltage of the power amplifier 14 is supplied to the output terminal 24 through the force line FL.

パワーアンプ１４には、入力側と出力側とが絶縁された絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８により、正の電源電圧ＶＰと、負の電源電圧ＶＮとが供給される。 The power amplifier 14, the input side and the output side and is insulated insulated type DC / DC converter 28, a positive power supply voltage V P, a negative power supply voltage V N is supplied.

絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８は、トランス絶縁型のものであり、正の電源電圧ＶＰを出力するためのトランス３６と、負の電源電圧を出力するためのトランス３８とを備えている。トランス３６の２次側の巻線の一端から正の電源電圧ＶＰが出力され、トランス３８の２次側の巻線の一端から負の電源電圧ＶＮが出力される。これらのトランス３６、３８の２次側の巻線の他端は、互いに共通のグラウンドに接続されている。 The insulation type DC / DC converter 28 is a transformer insulation type, and includes a transformer 36 for outputting a positive power supply voltage VP and a transformer 38 for outputting a negative power supply voltage. A positive power supply voltage VP is output from one end of the secondary winding of the transformer 36, and a negative power supply voltage VN is output from one end of the secondary winding of the transformer 38. The other ends of the secondary windings of these transformers 36 and 38 are connected to a common ground.

チャンネルの出力端２４の電圧は、センスラインＳＬを通して電圧検出用バッファ２２に入力される。電圧検出用バッファ２２は、バッファした電圧を、抵抗３２を介して演算増幅器３４の負入力端子に供給する。このような回路構成によりチャンネルの出力端２４での電圧が一定となるように帰還制御される。   The voltage at the output terminal 24 of the channel is input to the voltage detection buffer 22 through the sense line SL. The voltage detection buffer 22 supplies the buffered voltage to the negative input terminal of the operational amplifier 34 via the resistor 32. With such a circuit configuration, feedback control is performed so that the voltage at the output terminal 24 of the channel becomes constant.

チャンネルの出力端２４には、ＤＵＴ２６の高電圧側端子、具体的には高電圧側電源用端子が接続されている。ＤＵＴ２６の高電圧側端子には、フォースラインＦＬを通してパワーアンプ１４の出力電圧が供給される。   The output terminal 24 of the channel is connected to a high voltage side terminal of the DUT 26, specifically, a high voltage side power supply terminal. The output voltage of the power amplifier 14 is supplied to the high voltage side terminal of the DUT 26 through the force line FL.

ＤＵＴ２６の低電圧側端子、具体的には低電圧側電源用端子には、電流検出用抵抗部１６が設けられたリターンラインＲＬが接続されている。リターンラインＲＬは、グラウンドに接続されている。また、同一ボード上に実装された各チャンネルにおけるＤＵＴ２６の低電圧側端子は、共通のグラウンドに接続されている。   A return line RL provided with a current detection resistor 16 is connected to a low voltage side terminal of the DUT 26, specifically, a low voltage side power supply terminal. The return line RL is connected to the ground. In addition, the low voltage side terminals of the DUT 26 in each channel mounted on the same board are connected to a common ground.

なお、本願明細書では、ＤＵＴの端子に関して、電圧の絶対値の大きな端子を高電圧側端子と称し、電圧の絶対値の小さな端子を低電圧側端子と称する。   In the present specification, regarding the DUT terminal, a terminal having a large absolute value of voltage is referred to as a high voltage side terminal, and a terminal having a small absolute value of voltage is referred to as a low voltage side terminal.

電流検出用抵抗部１６は、各チャンネルにおいて、ＤＵＴ２６の低電圧側端子に接続されたリターンラインＲＬに設けられている。電流検出用抵抗部１６の一端は、ＤＵＴ２６の低電圧側端子に接続されている。電流検出用抵抗部１６の他端は、グラウンドに接続されている。電流検出用抵抗部１６は、複数の電流検出用抵抗４０、４２と、複数の電流検出用抵抗４０、４２のそれぞれに対応して設けられた複数のスイッチ４４、４６とを有している。複数の電流検出用抵抗４０、４２には、それぞれ対応するスイッチ４４、４６が直列に接続され、これらがＤＵＴ２６の低電圧側端子に並列に接続されている。スイッチ４４、４６の切り換えにより、ＤＵＴ２６の低電圧側端子に接続される電流検出用抵抗が変えられ、直流電流の測定レンジが切り換えられる。   The current detection resistor unit 16 is provided in a return line RL connected to the low voltage side terminal of the DUT 26 in each channel. One end of the current detection resistor unit 16 is connected to the low voltage side terminal of the DUT 26. The other end of the current detection resistor unit 16 is connected to the ground. The current detection resistor unit 16 includes a plurality of current detection resistors 40 and 42 and a plurality of switches 44 and 46 provided corresponding to the plurality of current detection resistors 40 and 42, respectively. Corresponding switches 44 and 46 are connected in series to the plurality of current detection resistors 40 and 42, respectively, and these are connected in parallel to the low voltage side terminal of the DUT 26. By switching the switches 44 and 46, the current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the DUT 26 is changed, and the DC current measurement range is switched.

差動増幅回路１８は、抵抗４８、５０、５２、５４と、演算増幅器５６とを有している。抵抗４８の一端は、電流検出用抵抗部１６の他端に接続されている。抵抗４８の他端は、演算増幅器５６の負入力端子に接続されている。抵抗５０の一端は、電流検出用抵抗部１６の一端に接続されている。抵抗５０の他端は、演算増幅器５６の正入力端子に接続されている。抵抗５２の一端は、抵抗４８の他端と、演算増幅器５６の負入力端子に接続されている。抵抗５２の他端は、演算増幅器５６の出力端子と、ＡＤＣ２０の入力端子に接続されている。抵抗５４の一端は、抵抗５０の他端と、演算増幅器５６の正入力端子に接続されている。抵抗５４の他端は、グランドに接続されている。演算増幅器５６の出力端子は、ＡＤＣ２０の入力端子に接続されている。差動増幅回路１０８は、電流検出用抵抗部１６においてＤＵＴ２６の低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗の両端の電位差を増幅した電圧を、演算増幅器５６の出力端子から出力する。   The differential amplifier circuit 18 includes resistors 48, 50, 52 and 54 and an operational amplifier 56. One end of the resistor 48 is connected to the other end of the current detection resistor unit 16. The other end of the resistor 48 is connected to the negative input terminal of the operational amplifier 56. One end of the resistor 50 is connected to one end of the current detection resistor unit 16. The other end of the resistor 50 is connected to the positive input terminal of the operational amplifier 56. One end of the resistor 52 is connected to the other end of the resistor 48 and the negative input terminal of the operational amplifier 56. The other end of the resistor 52 is connected to the output terminal of the operational amplifier 56 and the input terminal of the ADC 20. One end of the resistor 54 is connected to the other end of the resistor 50 and the positive input terminal of the operational amplifier 56. The other end of the resistor 54 is connected to the ground. The output terminal of the operational amplifier 56 is connected to the input terminal of the ADC 20. The differential amplifier circuit 108 outputs, from the output terminal of the operational amplifier 56, a voltage obtained by amplifying the potential difference between both ends of the current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the DUT 26 in the current detection resistor unit 16.

ＡＤＣ２０は、差動増幅回路１８の出力電圧に基づいて、ＤＵＴ２６に供給される直流電流を測定する。   The ADC 20 measures the direct current supplied to the DUT 26 based on the output voltage of the differential amplifier circuit 18.

このような回路構成を有する直流試験装置において、チャンネル毎に、フォースラインＦＬを通してＤＵＴ２６に高電圧の直流電圧が供給され、このときＤＵＴ２６に供給される直流電流が測定される。   In the DC test apparatus having such a circuit configuration, a high DC voltage is supplied to the DUT 26 through the force line FL for each channel, and at this time, the DC current supplied to the DUT 26 is measured.

本実施形態による直流試験装置は、同一ボード上に実装された複数のチャンネルのそれぞれにおいて、パワーアンプ１４に正負の電源電圧ＶＰ、ＶＮを供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８を有し、ＤＵＴ２６に供給される直流電流を測定するための電流検出用抵抗部１６がリターンラインＲＬに設けられていることに主たる特徴がある。 The DC test apparatus according to the present embodiment includes an insulated DC / DC converter 28 that supplies positive and negative power supply voltages V P and V N to the power amplifier 14 in each of a plurality of channels mounted on the same board. The main feature is that the return line RL is provided with a current detection resistor 16 for measuring the direct current supplied to the DUT 26.

高電圧の直流電圧を印加する直流試験装置において、図３に示すようにフォースラインＦＬに電流検出用抵抗部１０６を設けた場合には、直流電流の測定レンジを切り換えるためのスイッチ１２８、１３０に高耐圧のスイッチを用いる必要があった。   In a DC test apparatus for applying a high DC voltage, when the current detection resistor 106 is provided in the force line FL as shown in FIG. 3, the switches 128 and 130 for switching the DC current measurement range are provided. It was necessary to use a high voltage switch.

これに対して、本実施形態による直流試験装置は、同一ボード上に実装された各チャンネルにおいて、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８を用いて、パワーアンプ１４に対して正負の電源電圧ＶＰ、ＶＮを個別に供給している。 On the other hand, the DC test apparatus according to the present embodiment uses positive and negative power supply voltages V P and V with respect to the power amplifier 14 using the isolated DC / DC converter 28 in each channel mounted on the same board. N is supplied separately.

このように、各チャンネルにおいて、電源として絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８を用いて絶縁することにより、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８の正の電源電圧ＶＰを供給する＋端子からの電流は、パワーアンプ１４の出力端子に接続されたフォースラインＦＬを流れ、ＤＵＴ２６の内部を流れた後、リターンラインＲＬに流れることになる。ここで、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８は、電池と同様の働きにより、＋端子からの電流が、負の電源電圧ＶＮを供給する−端子に戻ってくる構造になっている。したがって、本実施形態では、各チャンネルにおいて、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８の−端子に戻ってくる電流、すなわちリターンラインＲＬに流れる電流を観測することにより、ＤＵＴ２６に流れた直流電流を測定することが可能になっている。 Thus, in each channel, by insulating with insulation type DC / DC converter 28 as a power source, the current from the + terminal for supplying a positive power supply voltage V P of the isolated DC / DC converters 28, the power It flows through the force line FL connected to the output terminal of the amplifier 14, flows through the DUT 26, and then flows to the return line RL. Here, the insulated DC / DC converter 28 has a structure in which the current from the + terminal returns to the − terminal that supplies the negative power supply voltage V N by the same function as the battery. Therefore, in this embodiment, in each channel, the direct current flowing through the DUT 26 is measured by observing the current returning to the negative terminal of the isolated DC / DC converter 28, that is, the current flowing through the return line RL. Is possible.

電流検出用抵抗部１６をリターンラインＲＬに設けた場合、電流検出用抵抗部１６におけるスイッチ４４、４６に印加される電圧は、ＤＵＴ２６から出力されリターンラインＲＬに流れる電流値に電流検出用抵抗の抵抗値を乗じた値となる。ここで、通常のアプリケーション設計では、ＤＵＴ２６から出力される電流は小さいため、スイッチ４４、４６に印加される電圧は例えば１０Ｖ以下の低電圧となる。したがって、電流検出用抵抗部１６における測定レンジ切り換え用のスイッチ４４、４６には高価な高耐圧のスイッチを用いる必要がなく、より安価な低耐圧のスイッチを用いることができる。これにより、ＤＵＴに高電圧を印加する直流試験装置を安価に構成することができる。測定レンジ切り換え用のスイッチを多く用いる構成ほど、コストを削減することができる。   When the current detection resistor unit 16 is provided in the return line RL, the voltage applied to the switches 44 and 46 in the current detection resistor unit 16 is output from the DUT 26 to the current value flowing through the return line RL. The value is multiplied by the resistance value. Here, in a normal application design, since the current output from the DUT 26 is small, the voltage applied to the switches 44 and 46 is a low voltage of 10 V or less, for example. Therefore, it is not necessary to use an expensive high breakdown voltage switch as the measurement range switching switches 44 and 46 in the current detection resistor section 16, and a cheaper low breakdown voltage switch can be used. Thereby, the direct-current test apparatus which applies a high voltage to DUT can be comprised at low cost. The cost can be reduced as the configuration uses more measurement range switching switches.

このように、本実施形態によれば、同一ボード上に実装された各チャンネルにおいて、パワーアンプ１４に電源電圧ＶＰ、ＶＮを供給する電源として絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８を備え、リターンラインＲＬに電流測定を行うための電流検出用抵抗部１６が設けられているので、測定レンジ切り換え用のスイッチ４４、４６に高価な高耐圧のスイッチを用いる必要がなく、高電圧用の直流試験装置を安価に構成することができる。 As described above, according to the present embodiment, in each channel mounted on the same board, the insulated DC / DC converter 28 is provided as a power source for supplying the power supply voltages V P and V N to the power amplifier 14, and the return line is provided. Since the current detection resistor 16 for measuring current is provided in the RL, there is no need to use expensive high withstand voltage switches for the measurement range switching switches 44 and 46, and a DC test apparatus for high voltage. Can be configured at low cost.

［第２実施形態］
本発明の第２実施形態による半導体直流試験装置について図２を用いて説明する。図２は本実施形態による半導体直流試験装置の構成を示すブロック図である。なお、第１実施形態による直流試験装置と同一の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。 [Second Embodiment]
A semiconductor DC test apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the semiconductor DC test apparatus according to the present embodiment. The same components as those of the DC test apparatus according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted or simplified.

本実施形態による直流試験装置は、特定のチャンネル間で、パワーアンプ１４に正負の電源電圧ＶＰ、ＶＮを供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８、並びに電流測定を行うための電流検出用抵抗部１６、差動増幅回路１８、及びＡＤＣ２０を共通化したものである。 The DC test apparatus according to the present embodiment includes an insulated DC / DC converter 28 that supplies positive and negative power supply voltages V P and V N to a power amplifier 14 between specific channels, and a current detection resistor for performing current measurement. The unit 16, the differential amplifier circuit 18, and the ADC 20 are shared.

図２は、チャンネルＣＨ１とチャンネルＣＨ２との間でこれらを共通化した場合を示している。   FIG. 2 shows a case where the channels CH1 and CH2 are shared.

図示するように、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８は、チャンネルＣＨ１のパワーアンプ１４と、チャンネルＣＨ２のパワーアンプ１４とに正の電源電圧ＶＰ及び負の電源電圧ＶＮを供給する。 As shown, insulated type DC / DC converter 28 supplies the power amplifier 14 of the channel CH1, in the power amplifier 14 of the channel CH2 the positive supply voltage V P and the negative power supply voltage V N.

電流検出用抵抗部１６は、チャンネルＣＨ１のＤＵＴ２６のリターンラインＲＬと、チャンネルＣＨ２のＤＵＴ２６のリターンラインＲＬとに共通接続する接続線に設けられている。電流検出用抵抗部１６の一端は、チャンネルＣＨ１のＤＵＴ２６の低電圧側端子とチャンネルＣＨ２のＤＵＴ２６の低電圧側端子とに接続されている。電流検出用抵抗部１６の他端は、グラウンドに接続されている。   The current detection resistor unit 16 is provided on a connection line commonly connected to the return line RL of the DUT 26 of the channel CH1 and the return line RL of the DUT 26 of the channel CH2. One end of the current detection resistor 16 is connected to the low voltage side terminal of the DUT 26 of the channel CH1 and the low voltage side terminal of the DUT 26 of the channel CH2. The other end of the current detection resistor unit 16 is connected to the ground.

差動増幅回路１８は、電流検出用抵抗部１６において、チャンネルＣＨ１のＤＵＴ２６の低電圧側端子とチャンネルＣＨ２のＤＵＴ２６の低電圧側端子とに接続された電流検出用抵抗の両端の電位差を増幅した電圧を出力する。   In the current detection resistor unit 16, the differential amplifier circuit 18 amplifies the potential difference between both ends of the current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the DUT 26 of the channel CH1 and the low voltage side terminal of the DUT 26 of the channel CH2. Output voltage.

ＡＤＣ２０は、差動増幅回路１８の出力電圧に基づき、チャンネルＣＨ１のＤＵＴ２６に供給される電流とチャンネルＣＨ２のＤＵＴ２６に供給される電流との合計を測定する。   The ADC 20 measures the total of the current supplied to the DUT 26 of the channel CH1 and the current supplied to the DUT 26 of the channel CH2 based on the output voltage of the differential amplifier circuit 18.

このように、パワーアンプ１４に電源電圧ＶＰ、ＶＮを供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８を特定のチャンネル間で共通化し、共通化したチャンネルの複数のＤＵＴ２６に供給される電流の合計を測定するようにしてもよい。 In this way, the isolated DC / DC converter 28 that supplies the power supply voltages V P and V N to the power amplifier 14 is shared between specific channels, and the total current supplied to the plurality of DUTs 26 of the shared channels is calculated. You may make it measure.

なお、上述のように絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８、電流検出用抵抗部１６、差動増幅回路１８、及びＡＤＣ２０を共通化した場合においても、共通化したチャンネルのいずれか１チャンネルのパワーアンプ１４に電源電圧ＶＰ、ＶＮを供給するようにすれば、ＤＵＴ２６に供給される電流を個別に測定することができる。 Even when the isolated DC / DC converter 28, the current detection resistor 16, the differential amplifier circuit 18, and the ADC 20 are shared as described above, the power amplifier 14 of any one of the shared channels is used. If the power supply voltages V P and V N are supplied to, the current supplied to the DUT 26 can be individually measured.

また、上記では、２つのチャンネルについて絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ２８等を共通化する場合について説明したが、２以上の複数のチャンネルでこれらを共通化してもよい。   In the above description, the case where the insulated DC / DC converter 28 and the like are shared by two channels has been described. However, these may be shared by two or more channels.

［変形実施形態］
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。 [Modified Embodiment]
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.

例えば、上記実施形態では、ＤＵＴ２６に対して直流試験を行うためのチャンネル数が２の場合について説明したが、チャンネル数はこれに限定されるものではなく、ＤＵＴ２６の品種等に応じて、２以上の複数のチャンネルを備えていてもよい。   For example, in the above embodiment, the case where the number of channels for performing a DC test on the DUT 26 is two has been described. However, the number of channels is not limited to this, and two or more according to the type of the DUT 26 or the like. A plurality of channels may be provided.

また、上記実施形態では、電流検出用抵抗部１６における電流検出用抵抗及びスイッチの組が２組である場合について説明したが、電流検出用抵抗及びスイッチの組数は、必要とされる直流電流の測定レンジ数に応じて適宜変更することができる。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where there were two sets of the current detection resistors and switches in the current detection resistor section 16, the number of sets of the current detection resistors and switches was the required DC current. It can be changed as appropriate according to the number of measurement ranges.

また、上記実施形態では、ＤＡＣ１０とパワーアンプ１４との間に反転増幅回路１２を設ける場合について説明したが、反転増幅回路１２にかえて、非反転増幅回路を設けてもよい。   In the above embodiment, the case where the inverting amplifier circuit 12 is provided between the DAC 10 and the power amplifier 14 has been described. However, a non-inverting amplifier circuit may be provided instead of the inverting amplifier circuit 12.

また、上記実施形態では、差動増幅回路１８及びＡＤＣ２０を用いて直流電流を測定する場合について説明したが、直流電流の測定には、種々の回路、センサ等を用いることができる。   In the above embodiment, the case where the direct current is measured using the differential amplifier circuit 18 and the ADC 20 has been described, but various circuits, sensors, and the like can be used for the measurement of the direct current.

また、上記実施形態では、ＤＵＴ２６の電源用端子にフォースラインＦＬ及びリターンラインＲＬを接続して直流試験を行う場合について説明したが、ＤＵＴ２６における種々の高電圧側端子及び低電圧側端子にそれぞれフォースラインＦＬ及びリターンラインＲＬを接続して直流試験を行う場合に広く本発明を適用することができる。例えば、ＤＵＴ２６の高電圧側の信号用端子にフォースラインＦＬを接続し、ＤＵＴ２６の低電圧側の信号用端子にリターンラインＲＬを接続して直流試験を行う場合についても本発明を適用することができる。   In the above embodiment, the case where the DC line test is performed by connecting the force line FL and the return line RL to the power supply terminal of the DUT 26 has been described. However, the force is applied to each of the various high voltage side terminals and low voltage side terminals in the DUT 26. The present invention can be widely applied when a DC test is performed by connecting the line FL and the return line RL. For example, the present invention can be applied to the case where the DC line test is performed by connecting the force line FL to the signal terminal on the high voltage side of the DUT 26 and connecting the return line RL to the signal terminal on the low voltage side of the DUT 26. it can.

本発明の第１実施形態による直流試験装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the direct-current test apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態による直流試験装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the direct current | flow test apparatus by 2nd Embodiment of this invention. 従来の直流試験装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the conventional DC test apparatus. 従来の直流試験装置においてリターンラインに電流検出用抵抗を設けた場合を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the case where the resistance for a current detection is provided in the return line in the conventional DC test apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１０…ＤＡＣ
１２…反転増幅回路
１４…パワーアンプ
１６…電流検出用抵抗部
１８…差動増幅回路
２０…ＡＤＣ
２２…電圧検出用バッファ
２４…出力端
２６…ＤＵＴ
２８…絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ
３０、３２…抵抗
３４…演算増幅器
３６、３８…トランス
４０、４２…電流検出用抵抗
４４、４６…スイッチ
４８、５０、５２、５４…抵抗
５６…演算増幅器
１００…ＤＡＣ
１０２…反転増幅回路
１０４…パワーアンプ
１０６…電流検出用抵抗部
１０８…差動増幅回路
１１０…ＡＤＣ
１１２…電圧検出用バッファ
１１４…出力端
１１６…ＤＵＴ
１１８、１２０…抵抗
１２２…演算増幅器
１２４、１２６…電流検出用抵抗
１２８、１３０…スイッチ
１３２、１３４、１３６、１３８…抵抗
１４０…演算増幅器
１４２…電流検出用抵抗 10 ... DAC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... Inverting amplifier circuit 14 ... Power amplifier 16 ... Current detection resistor 18 ... Differential amplifier circuit 20 ... ADC
22 ... Voltage detection buffer 24 ... Output end 26 ... DUT
28 ... Isolated DC / DC converters 30, 32 ... Resistors 34 ... Operational amplifiers 36, 38 ... Transformers 40, 42 ... Current detection resistors 44, 46 ... Switches 48, 50, 52, 54 ... Resistors 56 ... Operational amplifier 100 ... DAC
DESCRIPTION OF SYMBOLS 102 ... Inverting amplifier circuit 104 ... Power amplifier 106 ... Current detection resistance part 108 ... Differential amplifier circuit 110 ... ADC
112 ... Voltage detection buffer 114 ... Output end 116 ... DUT
118, 120 ... resistor 122 ... operational amplifier 124, 126 ... current detection resistor 128, 130 ... switch 132, 134, 136, 138 ... resistor 140 ... operational amplifier 142 ... current detection resistor

Claims (6)

被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する増幅器と、
前記増幅器に正負の電源電圧を供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記被試験デバイスの低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗に直列に接続されたスイッチと、
前記電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記被試験デバイスに供給される電流を測定する電流測定部と
を有することを特徴とする直流試験装置。 An amplifier for supplying a DC voltage to the high voltage side terminal of the device under test;
An isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the amplifier;
A current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the device under test;
A switch connected in series with the current detection resistor;
A DC test apparatus, comprising: a current measuring unit that measures a current supplied to the device under test based on a potential difference between both ends of the current detection resistor. 請求項１記載の直流試験装置において、
複数の前記電流検出用抵抗と、複数の前記電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記スイッチとを有し、複数の前記スイッチの切り換えにより、複数の前記電流検出用抵抗のいずれかが前記被試験デバイスの低電圧側端子に接続される
ことを特徴とする直流試験装置。 The DC test apparatus according to claim 1, wherein
A plurality of the current detection resistors, and a plurality of the switches connected in series to the plurality of current detection resistors, and by switching the plurality of switches, any of the plurality of current detection resistors Is connected to the low voltage side terminal of the device under test. 第１の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第１の増幅器と、
前記第１の増幅器に正負の電源電圧を供給する第１の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された第１の電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗に直列に接続された第１のスイッチと、
前記第１の電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第１の被試験デバイスに供給される電流を測定する第１の電流測定部と、
第２の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第２の増幅器と、
前記第２の増幅器に正負の電源電圧を供給する第２の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された第２の電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗に直列に接続された第２のスイッチと、
前記第２の電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第２の被試験デバイスに供給される電流を測定する第２の電流測定部と
を有することを特徴とする直流試験装置。 A first amplifier for supplying a DC voltage to the high voltage side terminal of the first device under test;
A first isolated DC / DC converter that supplies positive and negative power supply voltages to the first amplifier;
A first current detection resistor connected to a low voltage side terminal of the first device under test;
A first switch connected in series to the current detection resistor;
A first current measurement unit for measuring a current supplied to the first device under test based on a potential difference between both ends of the first current detection resistor;
A second amplifier for supplying a DC voltage to the high voltage side terminal of the second device under test;
A second isolated DC / DC converter for supplying positive and negative power supply voltages to the second amplifier;
A second current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the second device under test;
A second switch connected in series to the current detection resistor;
And a second current measuring unit for measuring a current supplied to the second device under test based on a potential difference between both ends of the second current detection resistor. 請求項３記載の直流試験装置において、
複数の前記第１の電流検出用抵抗と、複数の前記第１の電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記第１のスイッチとを有し、複数の前記第１のスイッチの切り換えにより、複数の前記第１の電流検出用抵抗のいずれかが前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子に接続され、
複数の前記第２の電流検出用抵抗と、複数の前記第２の電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記第２のスイッチとを有し、複数の前記第２のスイッチの切り換えにより、複数の前記第２の電流検出用抵抗のいずれかが前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続される
ことを特徴とする直流試験装置。 The DC test apparatus according to claim 3, wherein
A plurality of the first current detection resistors and a plurality of the first switches connected in series to the plurality of first current detection resistors, respectively. By switching, one of the plurality of first current detection resistors is connected to the low voltage side terminal of the first device under test,
A plurality of second current detection resistors, and a plurality of second switches connected in series to each of the plurality of second current detection resistors. One of the plurality of second current detection resistors is connected to the low-voltage side terminal of the second device under test by switching. 第１の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第１の増幅器と、
第２の被試験デバイスの高電圧側端子に直流電圧を供給する第２の増幅器と、
前記第１の増幅器及び第２の増幅器に正負の電源電圧を供給する絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータと、
前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子及び前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続された電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗に直列に接続されたスイッチと、
前記電流検出用抵抗の両端の電位差に基づき、前記第１の被試験デバイスに供給される電流及び前記第２の被試験デバイスに供給される電流を測定する電流測定部と
を有することを特徴とする直流試験装置。 A first amplifier for supplying a DC voltage to the high voltage side terminal of the first device under test;
A second amplifier for supplying a DC voltage to the high voltage side terminal of the second device under test;
An isolated DC / DC converter for supplying positive and negative power supply voltages to the first amplifier and the second amplifier;
A current detection resistor connected to the low voltage side terminal of the first device under test and the low voltage side terminal of the second device under test;
A switch connected in series with the current detection resistor;
A current measuring unit for measuring a current supplied to the first device under test and a current supplied to the second device under test based on a potential difference between both ends of the current detection resistor; DC testing equipment. 請求項５記載の直流試験装置において、
複数の前記電流検出用抵抗と、複数の前記電流検出用抵抗のそれぞれに直列に接続された複数の前記スイッチとを有し、複数の前記スイッチの切り換えにより、複数の前記電流検出用抵抗のいずれかが前記第１の被試験デバイスの低電圧側端子及び前記第２の被試験デバイスの低電圧側端子に接続される
ことを特徴とする直流試験装置。 The DC test apparatus according to claim 5, wherein
A plurality of the current detection resistors, and a plurality of the switches connected in series to the plurality of current detection resistors, and by switching the plurality of switches, any of the plurality of current detection resistors Is connected to the low voltage side terminal of the first device under test and the low voltage side terminal of the second device under test.
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