JP2008045646A

JP2008045646A - Fluid-pressure actuator

Info

Publication number: JP2008045646A
Application number: JP2006220900A
Authority: JP
Inventors: Manabu Horiuchi; 学堀内
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2006-08-14
Filing date: 2006-08-14
Publication date: 2008-02-28

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid-pressure actuator carrying out space saving of a device, avoiding damage of a shock absorber, and capable of carrying out service life elongation. <P>SOLUTION: The shock absorber 19 is integrated with first and second driving pistons 17a, 17b reciprocating in first and second cylinder chambers 13a, 13b of the oscillating actuator 10. By this, a work W can be protected from impact by operating the shock absorber 19 in stroke ends of the driving pistons 17a, 17b. Since dead space of the driving piston is used, it can be hollowed while avoiding enlargement to carry out weight reduction and space saving, and damage of the shock absorber 19 can be positively avoided. Bending moment with respect to the driving pistons at impact absorption is suppressed to carry out service life elongation of the oscillating actuator 10. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、被加工物や治具等のワークを移動する流体圧アクチュエータに係り、特に、駆動ピストンのストロークエンドでの急停止を防ぎ、衝撃からワークを保護し得る流体圧アクチュエータに関する。 The present invention relates to a fluid pressure actuator that moves a workpiece such as a workpiece or a jig, and more particularly, to a fluid pressure actuator that can prevent a sudden stop at a stroke end of a drive piston and protect the workpiece from an impact.

生産ライン上に組み込まれて電子部品などの被加工物等（ワーク）を移動する流体圧アクチュエータには、例えば、外部から供給される圧縮エアを駆動源として作動するものがある。この圧縮エアによって作動する流体圧アクチュエータは、アクチュエータ本体内に形成される端壁を有するシリンダ室と、シリンダ室内を往復動する駆動ピストンとを備え、シリンダ室内に圧縮エアを給排することで駆動ピストンを直線方向に駆動し、これにより、駆動ピストンと連動されるワークを一の位置から他の位置へ移動させることができる。このような流体圧アクチュエータとしては、例えば、特許文献１に記載された揺動アクチュエータや特許文献２に記載されたロッドレスシリンダがある。 Some fluid pressure actuators that are incorporated on a production line and move workpieces (workpieces) such as electronic components operate with compressed air supplied from the outside as a drive source, for example. The fluid pressure actuator operated by compressed air includes a cylinder chamber having an end wall formed in the actuator body and a drive piston that reciprocates in the cylinder chamber, and is driven by supplying and discharging compressed air to and from the cylinder chamber. The piston is driven in a linear direction, whereby the work interlocked with the drive piston can be moved from one position to another position. Examples of such a fluid pressure actuator include a swing actuator described in Patent Document 1 and a rodless cylinder described in Patent Document 2.

特許文献１に記載された揺動アクチュエータは、アクチュエータ本体に並列に一対のシリンダ室を有するとともに、各シリンダ室内に円盤状のテーブルが装着されたピニオンを露出するように設け、各シリンダ室内にはピニオンに噛合うラックを有する駆動ピストンをそれぞれ往復動自在に設けている。テーブルには径方向外側に突出する揺動レバーが装着され、アクチュエータ本体には揺動レバーの揺動方向の当接面と対向する一対のショックアブソーバが取付プレートを介して装着されている。テーブルは、シリンダ室内に圧縮エアを給排して各駆動ピストンを各シリンダ室内で相反する方向へ往復動させることでピニオンを介して回動し、これにより、テーブルに装着されるワークを揺動移動させることができる。そして、テーブルの揺動範囲の端部では、揺動レバーがショックアブソーバに衝突することによって、各駆動ピストンの急停止を防止し、衝撃からワークを保護することができる。 The swing actuator described in Patent Document 1 has a pair of cylinder chambers in parallel with the actuator body, and is provided so as to expose a pinion mounted with a disk-shaped table in each cylinder chamber. A drive piston having a rack meshing with the pinion is provided so as to freely reciprocate. A swing lever protruding radially outward is mounted on the table, and a pair of shock absorbers facing the contact surface in the swing direction of the swing lever is mounted on the actuator body via a mounting plate. The table is rotated via a pinion by supplying and discharging compressed air into and out of the cylinder chamber and reciprocating the drive pistons in opposite directions in each cylinder chamber, thereby swinging the workpiece mounted on the table. Can be moved. Then, at the end of the swing range of the table, the swing lever collides with the shock absorber, so that the sudden stop of each drive piston can be prevented and the workpiece can be protected from the impact.

特許文献２に記載されるロッドレスシリンダは、シリンダ室への圧縮エアの給排によってアクチュエータ本体内を往復動する駆動ピストンを備え、この駆動ピストンに一体に設けられたピストンヨークが、アクチュエータ本体の軸方向に沿って設けられたスリットを介して外部に突出されて、このピストンヨークにはワークが装着されるピストンマウントが設けられている。アクチュエータ本体の端部には、支持アームによって支持されたショックアブソーバを有するストッパ装置本体が設けられており、ショックアブソーバには、ピストンマウントの側壁が衝突するようになっている。これにより、シリンダ室内を往復動するピストンマウントの急停止を防止し、衝撃からワークを保護することができる。
特開平１１−２１０７０６号公報特開平０７−１５８６１２号公報 The rodless cylinder described in Patent Document 2 includes a drive piston that reciprocates within the actuator body by supplying and discharging compressed air to and from the cylinder chamber, and a piston yoke that is provided integrally with the drive piston includes The piston yoke is provided with a piston mount that is projected to the outside through a slit provided along the axial direction and on which a workpiece is mounted. A stopper device body having a shock absorber supported by a support arm is provided at an end of the actuator body, and the side wall of the piston mount collides with the shock absorber. Thereby, the sudden stop of the piston mount that reciprocates in the cylinder chamber can be prevented, and the workpiece can be protected from impact.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-210706 Japanese Patent Laid-Open No. 07-158612

しかしながら、上記特許文献１に記載された揺動アクチュエータによれば、テーブルには揺動レバーが設けられるとともに、アクチュエータ本体には一対のショックアブソーバが取付けられた取付プレートを有しているので、揺動アクチュエータの大型化が避けられず重量が嵩むといった問題があった。また、揺動アクチュエータの駆動時にはテーブルの揺動に応じて揺動レバーも揺動するが、揺動レバーの径方向への突出量が大きく、生産ライン上に複数の揺動アクチュエータを隣接して設けることが困難等、生産ライン上での配置自由度が低いものであった。上記特許文献２に記載されたロッドレスシリンダにおいても、支持アームを介してショックアブソーバが装着されたストッパ装着本体をアクチュエータ本体に取付けるため、ロッドレスシリンダの高さ寸法や長さ寸法が長くなって、その大型化が避けられず重量が嵩むといった問題があった。 However, according to the oscillating actuator described in Patent Document 1, the oscillating lever is provided on the table, and the actuator body has a mounting plate to which a pair of shock absorbers are attached. There is a problem that the size of the dynamic actuator is inevitably increased and the weight is increased. In addition, when the swing actuator is driven, the swing lever swings according to the swing of the table. However, the swing lever has a large protruding amount in the radial direction, and a plurality of swing actuators are adjacent to each other on the production line. The degree of freedom of arrangement on the production line was low due to difficulty in installation. Also in the rodless cylinder described in Patent Document 2, the height and length of the rodless cylinder are increased because the stopper mounting body with the shock absorber mounted thereon is attached to the actuator body via the support arm. However, there is a problem that the increase in weight is inevitable.

上記各特許文献に係る流体圧アクチュエータは、いずれもショックアブソーバをアクチュエータ本体の外部に露出して装着しているので、ショックアブソーバにワーク等が接触してショックアブソーバを損傷するおそれがあり、ショックアブソーバが損傷した場合においては、ショックアブソーバを十分に機能させることができなくなり、衝撃からのワークの保護が困難になるといった問題も生じ得る。ショックアブソーバをアクチュエータ本体の外部に露出して装着したものとしては図９に示すものもあり、この流体圧アクチュエータＡは、テーブルＢを移動させるための駆動ピストン（図示せず）の軸心Ｃ１と、ショックアブソーバＤの軸心Ｃ２とが偏心した位置にある。したがって、ショックアブソーバＤによる衝撃吸収時にテーブルＢには曲げモーメントが生じ、テーブルＢのスライド機構Ｅに負担が掛かって流体圧アクチュエータＡの長期に亘る安定した動作が困難になるおそれがある。 In each of the fluid pressure actuators according to the above-mentioned patent documents, the shock absorber is exposed and attached to the outside of the actuator body, so there is a possibility that a workpiece or the like contacts the shock absorber and damages the shock absorber. In the case of damage, the shock absorber cannot function sufficiently, and it may be difficult to protect the workpiece from impact. As shown in FIG. 9, the shock absorber is mounted outside the actuator body. The fluid pressure actuator A includes a shaft C1 of a drive piston (not shown) for moving the table B. The shaft center C2 of the shock absorber D is in an eccentric position. Therefore, when the shock is absorbed by the shock absorber D, a bending moment is generated in the table B, and a load is applied to the slide mechanism E of the table B, which may make it difficult to perform stable operation over a long period of time.

本発明の目的は、装置の省スペース化を図るとともにショックアブソーバの損傷を回避し、長寿命化を図ることができる流体圧アクチュエータを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a fluid pressure actuator that can reduce the space of the apparatus, avoid damage to the shock absorber, and extend the service life.

本発明の流体圧アクチュエータは、端壁が設けられるアクチュエータ本体を有し、前記アクチュエータ本体に形成されるシリンダ室内に組み込まれる駆動ピストンを、前記シリンダ室への流体の給排により往復動する流体圧アクチュエータであって、前記駆動ピストンに形成された中空部内に、前記中空部から前記シリンダ室内に突出する緩衝ロッドを有するショックアブソーバを設け、前記ショックアブソーバの緩衝ロッドは、前記端壁に衝突することを特徴とする。 The fluid pressure actuator according to the present invention has an actuator main body provided with an end wall, and fluid pressure that reciprocates a drive piston incorporated in a cylinder chamber formed in the actuator main body by supplying and discharging fluid to the cylinder chamber. A shock absorber having a buffer rod protruding from the hollow portion into the cylinder chamber is provided in a hollow portion formed in the drive piston, and the shock rod of the shock absorber collides with the end wall. It is characterized by.

本発明の流体圧アクチュエータは、前記ショックアブソーバは、前記緩衝ロッドに取付けられるとともに前記駆動ピストンに形成された中空部内に軸方向に往復動自在に設けられ前記中空部内の液体を流動させて減衰力を発生する緩衝ピストンと、前記中空部内に設けられ前記緩衝ロッドを前記シリンダ室内に突出する位置に復帰させる復帰ばねとを有することを特徴とする。 In the fluid pressure actuator according to the present invention, the shock absorber is attached to the buffer rod and is reciprocally movable in the axial direction in a hollow portion formed in the drive piston, and a damping force is generated by flowing the liquid in the hollow portion. And a return spring provided in the hollow portion for returning the buffer rod to a position protruding into the cylinder chamber.

本発明の流体圧アクチュエータは、前記端壁に、前記緩衝ロッドの衝突位置を調節する調節ボルトを設けることを特徴とする。 The fluid pressure actuator according to the present invention is characterized in that an adjustment bolt for adjusting a collision position of the buffer rod is provided on the end wall.

本発明の流体圧アクチュエータは、前記アクチュエータ本体に前記駆動ピストンに形成されたラックに噛合うピニオンを回転自在に取付け、前記ピニオンに設けられた揺動軸を前記駆動ピストンにより揺動することを特徴とする。 In the fluid pressure actuator of the present invention, a pinion that meshes with a rack formed on the drive piston is rotatably attached to the actuator body, and a swing shaft provided on the pinion is swung by the drive piston. And

本発明の流体圧アクチュエータは、前記アクチュエータ本体に軸方向に延びるスリットを設けるとともに前記スリットを介して外部に突出するピストンヨークを前記駆動ピストンに設け、前記ピストンヨークにピストンマウントを装着することを特徴とする。 The fluid pressure actuator of the present invention is characterized in that a slit extending in the axial direction is provided in the actuator body, a piston yoke protruding outside through the slit is provided in the drive piston, and a piston mount is attached to the piston yoke. And

本発明の流体圧アクチュエータは、前記駆動ピストンの一端部側に前記アクチュエータ本体の一端部から突出するピストンロッドを設け、前記駆動ピストンの他端部側から前記緩衝ロッドを突出させることを特徴とする。 The fluid pressure actuator according to the present invention is characterized in that a piston rod that protrudes from one end of the actuator body is provided on one end of the drive piston, and the buffer rod protrudes from the other end of the drive piston. .

本発明の流体圧アクチュエータによれば、駆動ピストンに形成された中空部内に、中空部からシリンダ室内に突出する緩衝ロッドを有するショックアブソーバを設け、ショックアブソーバの緩衝ロッドを端壁に衝突するようにしたので、駆動ピストンにショックアブソーバを一体化することができる。したがって、駆動ピストンのシリンダ室内におけるストロークエンドでショックアブソーバを作動させることができ、駆動ピストンの急停止を防止し、衝撃からワークを保護することができる。ショックアブソーバを取付プレートや支持アームを介してアクチュエータ本体の外部に露出して設ける必要が無くなり、流体圧アクチュエータの省スペース化や軽量化を図ることができる。シリンダ室内の駆動ピストンにショックアブソーバを同軸状に一体化することができるので、ワーク等の接触によるショックアブソーバの損傷を回避することができ、また、衝撃吸収時における曲げモーメントの発生を抑制して流体圧アクチュエータの長寿命化を図ることができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, a shock absorber having a buffer rod protruding from the hollow portion into the cylinder chamber is provided in the hollow portion formed in the drive piston, and the shock rod of the shock absorber collides with the end wall. As a result, the shock absorber can be integrated with the drive piston. Therefore, the shock absorber can be operated at the stroke end in the cylinder chamber of the drive piston, the sudden stop of the drive piston can be prevented, and the workpiece can be protected from the impact. The shock absorber need not be exposed to the outside of the actuator main body via the mounting plate or the support arm, and the space saving and weight reduction of the fluid pressure actuator can be achieved. Since the shock absorber can be coaxially integrated with the drive piston in the cylinder chamber, damage to the shock absorber due to contact with the workpiece can be avoided, and the generation of bending moment during shock absorption is suppressed. The life of the fluid pressure actuator can be extended.

本発明の流体圧アクチュエータによれば、ショックアブソーバは、緩衝ロッドに取付けられるとともに駆動ピストンに形成された中空部内に軸方向に往復動自在に設けられ中空部内の液体を流動させて減衰力を発生する緩衝ピストンと、中空部内に設けられ緩衝ロッドをシリンダ室内に突出する位置に復帰させる復帰ばねとを有するので、緩衝ピストンが発生する減衰力によって衝撃を吸収した後、復帰ばねの弾性力によって緩衝ロッドを復帰させることができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, the shock absorber is attached to the buffer rod and is reciprocally movable in the axial direction in the hollow portion formed in the drive piston, and generates a damping force by flowing the liquid in the hollow portion. And a return spring provided in the hollow portion for returning the buffer rod to a position protruding into the cylinder chamber, so that the shock is absorbed by the damping force generated by the buffer piston, and then buffered by the elastic force of the return spring. The rod can be returned.

本発明の流体圧アクチュエータによれば、端壁に、緩衝ロッドの衝突位置を調節する調節ボルトを設けるので、調節ボルトにより緩衝ロッドの衝突位置を調節することで駆動ピストンのストロークを調節することができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, since the adjustment bolt for adjusting the collision position of the buffer rod is provided on the end wall, the stroke of the drive piston can be adjusted by adjusting the collision position of the buffer rod with the adjustment bolt. it can.

本発明の流体圧アクチュエータによれば、アクチュエータ本体に駆動ピストンに形成されたラックに噛合うピニオンを回転自在に取付け、ピニオンに設けられた揺動軸を駆動ピストンにより揺動するようにしたので、揺動型の流体圧アクチュエータの駆動ピストンに、ショックアブソーバを一体化することができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, the pinion engaged with the rack formed on the drive piston is rotatably attached to the actuator body, and the swing shaft provided on the pinion is swung by the drive piston. A shock absorber can be integrated with the drive piston of the oscillating fluid pressure actuator.

本発明の流体圧アクチュエータによれば、アクチュエータ本体に軸方向に延びるスリットを設けるとともにスリットを介して外部に突出するピストンヨークを駆動ピストンに設け、ピストンヨークにピストンマウントを装着するようにしたので、ロッドレス型の流体圧アクチュエータの駆動ピストンに、ショックアブソーバを一体化することができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, the actuator main body is provided with the slit extending in the axial direction and the piston yoke protruding outside through the slit is provided in the drive piston, and the piston yoke is attached to the piston yoke. A shock absorber can be integrated with the drive piston of the rodless fluid pressure actuator.

本発明の流体圧アクチュエータによれば、駆動ピストンの一端部側にアクチュエータ本体の一端部から突出するピストンロッドを設け、駆動ピストンの他端部側から緩衝ロッドを突出させるようにしたので、ピストンロッド突出型の流体圧アクチュエータの駆動ピストンに、ショックアブソーバを一体化することができる。 According to the fluid pressure actuator of the present invention, the piston rod that protrudes from one end of the actuator main body is provided on one end of the drive piston, and the buffer rod protrudes from the other end of the drive piston. A shock absorber can be integrated with the drive piston of the protruding fluid pressure actuator.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。各実施の形態を示すそれぞれの図面には、共通の機能を有する部材に同一の符号を付すこととし、重複する詳細な説明については省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each drawing showing each embodiment, members having a common function are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図１（ａ），（ｂ）は本発明の第１実施の形態に係る流体圧アクチュエータを示す平面図および側面図を、図２は図１（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図を、図３は図２に示す駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図をそれぞれ表している。 1A and 1B are a plan view and a side view showing a fluid pressure actuator according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the drive piston shown in FIG. 2 in an enlarged manner.

図１に示すように、流体圧アクチュエータとしての揺動型アクチュエータ１０は、アルミ合金等の金属材料を切削加工することにより略直方体形状に形成されるアクチュエータ本体１１と、このアクチュエータ本体１１に対して回転自在に装着され、被移動対象物としてのワークＷ（図中破線）を揺動移動する略円盤形状のテーブル１２とを有している。テーブル１２には、当該テーブル１２上にワークＷを載置して固定するためのボルト（図示せず）がねじ結合される複数のねじ孔１２ａ（図示では４つ）が形成されている。 As shown in FIG. 1, an oscillating actuator 10 as a fluid pressure actuator includes an actuator body 11 formed into a substantially rectangular parallelepiped shape by cutting a metal material such as an aluminum alloy, and the actuator body 11. It has a substantially disk-shaped table 12 that is rotatably mounted and that swings and moves a workpiece W (broken line in the figure) as an object to be moved. The table 12 is formed with a plurality of screw holes 12a (four in the drawing) to which bolts (not shown) for mounting and fixing the workpiece W on the table 12 are screwed.

図２に示すように、アクチュエータ本体１１の内部には、第１シリンダ室１３ａと第２シリンダ室１３ｂとが並列となるように図中左右方向に延びて形成されている。これらの各シリンダ室１３ａ，１３ｂの両端側（図中左右側）は、アクチュエータ本体１１の両端部に装着される一対のエンドカバー１４ａ，１４ｂによってそれぞれ閉塞されており、各エンドカバー１４ａ，１４ｂは、各シリンダ室１３ａ，１３ｂを形成する端壁を構成している。各シリンダ室１３ａ，１３ｂは、それぞれの間に形成される隔壁１５によって隔離されており、この隔壁１５の図中左右方向における略中央部分には、ピニオン１６を所定の間隔をもって収容する歯車収容部１５ａが形成されている。 As shown in FIG. 2, a first cylinder chamber 13 a and a second cylinder chamber 13 b are formed in the actuator body 11 so as to extend in the left-right direction in the drawing so as to be in parallel. Both end sides (left and right sides in the figure) of the cylinder chambers 13a and 13b are respectively closed by a pair of end covers 14a and 14b attached to both end portions of the actuator body 11, and the end covers 14a and 14b are respectively closed. The end walls forming the cylinder chambers 13a and 13b are configured. The cylinder chambers 13a and 13b are separated by a partition wall 15 formed therebetween, and a gear housing portion for housing the pinion 16 at a predetermined interval at a substantially central portion of the partition wall 15 in the horizontal direction in the drawing. 15a is formed.

歯車収容部１５ａの略中心部分には、アクチュエータ本体１１を貫通するとともに図示しない軸受を介して回転自在に回転軸（揺動軸）１６ａが取付けられている。この回転軸１６ａの一端側には、所定のピッチの歯部１６ｂが全周に亘って形成されたピニオン１６が装着されており、このピニオン１６の歯部１６ｂは各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内に露出されている。回転軸１６ａの他端側はアクチュエータ本体１１の外部に延出されており、この回転軸１６ａの他端側には、図１に示すようにテーブル１２が装着されている。これにより、ピニオン１６とテーブル１２とは回転軸１６ａを介して一体回転できるようになっている。 A rotation shaft (oscillation shaft) 16a is attached to a substantially central portion of the gear housing portion 15a through the actuator body 11 and rotatably through a bearing (not shown). A pinion 16 having a predetermined pitch tooth portion 16b formed over the entire circumference is mounted on one end of the rotary shaft 16a. The tooth portion 16b of the pinion 16 is placed in each cylinder chamber 13a, 13b. Exposed. The other end side of the rotating shaft 16a extends to the outside of the actuator body 11, and a table 12 is mounted on the other end side of the rotating shaft 16a as shown in FIG. Thereby, the pinion 16 and the table 12 can be integrally rotated via the rotating shaft 16a.

各シリンダ室１３ａ，１３ｂの内部には、図中左右方向に延びて長尺に形成されたラックとしての第１駆動ピストン１７ａおよび第２駆動ピストン１７ｂがそれぞれ往復動自在に設けられており、これらの各駆動ピストン１７ａ，１７ｂは、各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内を左側室ａ１，ｂ１と右側室ａ２，ｂ２とにそれぞれ画成している。各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの外周の一部には、ピニオン１６の歯部１６ｂと噛合うラック１８ａ，１８ｂがそれぞれ軸方向に延びて形成されており、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂは、それぞれのラック１８ａ，１８ｂを対向させてピニオン１６の歯部１６ｂに噛合うよう、それぞれのシリンダ室１３ａ，１３ｂ内に配置されている。各駆動ピストン１７ａ，１７ｂは、その内部が中空となるように略筒状に形成されており、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの内部には、同一構成のショックアブソーバ１９がそれぞれ形成されている。 In each cylinder chamber 13a, 13b, a first drive piston 17a and a second drive piston 17b as racks extending in the left-right direction in the figure and formed in a long shape are reciprocally mounted. The drive pistons 17a and 17b define the cylinder chambers 13a and 13b as left chambers a1 and b1 and right chambers a2 and b2, respectively. Racks 18a and 18b meshing with the tooth portions 16b of the pinion 16 are formed in a part of the outer periphery of the drive pistons 17a and 17b so as to extend in the axial direction. The drive pistons 17a and 17b It arrange | positions in each cylinder chamber 13a, 13b so that 18a, 18b may be opposed and it may mesh | engage with the tooth | gear part 16b of the pinion 16. FIG. Each drive piston 17a, 17b is formed in a substantially cylindrical shape so that the inside thereof is hollow, and a shock absorber 19 having the same configuration is formed inside each drive piston 17a, 17b.

アクチュエータ本体１１に装着される図中左方側のエンドカバー１４ａには、端部に合成ゴム等よりなるバンパ２０を有する一対の調節ボルト２１が設けられ、この調節ボルト２１は、バンパ２０側が各シリンダ室１３ａ，１３ｂの内部に向くようにエンドカバー１４ａにねじ込まれている。これらの各調節ボルト２１の各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内への突出量をそれぞれ適宜調節することにより、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内でのストロークを調節でき、これにより、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂと連動するピニオン１６の回転角度、つまり、テーブル１２の揺動角度を調節することができる。なお、調節ボルト２１にねじ結合される六角ナット２２は、調節ボルト２１のエンドカバー１４ａに対する位置調整後の緩み止めを行う緩み止めナットとして機能するものである。 A pair of adjustment bolts 21 having bumpers 20 made of synthetic rubber or the like are provided at the end portions of the end cover 14a on the left side in the figure attached to the actuator main body 11. It is screwed into the end cover 14a so as to face the inside of the cylinder chambers 13a and 13b. By appropriately adjusting the amount of protrusion of each adjusting bolt 21 into each cylinder chamber 13a, 13b, the stroke of each driving piston 17a, 17b in each cylinder chamber 13a, 13b can be adjusted. The rotation angle of the pinion 16 interlocked with each drive piston 17a, 17b, that is, the swing angle of the table 12 can be adjusted. The hexagonal nut 22 screwed to the adjustment bolt 21 functions as a locking nut that prevents the adjustment bolt 21 from being loosened after the position of the adjusting bolt 21 is adjusted with respect to the end cover 14a.

次に、第１駆動ピストン１７ａおよび第２駆動ピストン１７ｂの詳細構造について説明する。各駆動ピストン１７ａ，１７ｂはそれぞれ同一構成であるため、以下の各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの構造説明では、それぞれを区別することなく単に駆動ピストン１７等と表して説明する。 Next, the detailed structure of the first drive piston 17a and the second drive piston 17b will be described. Since the drive pistons 17a and 17b have the same configuration, in the following description of the structure of the drive pistons 17a and 17b, the drive pistons 17a and 17b will be simply expressed as the drive pistons 17 and the like without being distinguished from each other.

図３に示すように、駆動ピストン１７の内部には、当該駆動ピストン１７を軸方向に貫通するようにして、中空部３０とこの中空部３０に連通する貫通孔３１とが形成されている。中空部３０は、貫通孔３１側（図中右方側）から第１中空筒部３０ａ，第２中空筒部３０ｂおよび第３中空筒部３０ｃを有しており、各中空筒部の直径寸法はその順番で徐々に大きくなっている。中空部３０の内部には、ショックアブソーバ１９が形成されており、中空部３０の開口側（図中左方側）に蓋部材３２を装着することにより、ショックアブソーバ１９と駆動ピストン１７とが一体化されるようになっている。 As shown in FIG. 3, a hollow portion 30 and a through hole 31 communicating with the hollow portion 30 are formed inside the drive piston 17 so as to penetrate the drive piston 17 in the axial direction. The hollow part 30 has a first hollow cylinder part 30a, a second hollow cylinder part 30b, and a third hollow cylinder part 30c from the through hole 31 side (right side in the figure), and the diameter dimension of each hollow cylinder part. Is gradually increasing in that order. A shock absorber 19 is formed inside the hollow portion 30, and the shock absorber 19 and the drive piston 17 are integrated by attaching a lid member 32 to the opening side (left side in the figure) of the hollow portion 30. It has come to be.

駆動ピストン１７の両端側には、一対の第１環状溝３３が形成されており、これらの各第１環状溝３３には、断面が略Ｕ字形状のピストンパッキン３４がそれぞれ装着されている。各ピストンパッキン３４は、そのＵ字形状の開口側がシリンダ室１３側にそれぞれ向いており（図２参照）、これにより、シリンダ室１３に供給される圧縮エアの圧力が大きくなるにしたがってピストンパッキン３４の開口側が開く方向に変形されて、ピストンパッキン３４のシール力が増加するようになっている。駆動ピストン１７の各第１環状溝３３よりも図中中央寄りには、一対の第２環状溝３５が形成されており、これらの各第２環状溝３５には断面が略長方形形状のウエアリング３６がそれぞれ装着されている。このように駆動ピストン１７は、所謂２段シール構造を採用しており、優れたシール性能が得られるものとなっている。 A pair of first annular grooves 33 are formed at both ends of the drive piston 17, and piston packings 34 each having a substantially U-shaped cross section are mounted in each of the first annular grooves 33. Each piston packing 34 has its U-shaped opening side facing the cylinder chamber 13 side (see FIG. 2), and as a result, the pressure of the compressed air supplied to the cylinder chamber 13 increases. The opening side is deformed in the opening direction, and the sealing force of the piston packing 34 is increased. A pair of second annular grooves 35 are formed closer to the center of the drawing than the first annular grooves 33 of the drive piston 17, and the wear rings having a substantially rectangular cross section in each of the second annular grooves 35. 36 are respectively mounted. Thus, the drive piston 17 employs a so-called two-stage seal structure, and an excellent sealing performance can be obtained.

駆動ピストン１７の図中右方側には、第２環状溝３５に隣接してマグネット収容凹部３７が形成されており、このマグネット収容凹部３７には、マグネット（永久磁石）３８が装着されている。このマグネット３８は、アクチュエータ本体１１の外部側面に装着されるセンサスイッチ（図示せず）に接近したときに、その磁力によってセンサスイッチをＯＮとする一方、離れたときにＯＦＦとする。このように、駆動ピストン１７にマグネット３８を装着することでセンサスイッチをＯＮ−ＯＦＦ動作させ、センサスイッチに接続されるコントローラ（図示せず）にＯＮ−ＯＦＦ信号を検出させることにより、駆動ピストン１７のシリンダ室１３内における位置を検出して、テーブル１２に装着されたワークＷ（図１参照）が何れの方向に揺動した状態にあるのかを判断できるようにしている。 A magnet housing recess 37 is formed adjacent to the second annular groove 35 on the right side of the drive piston 17 in the figure, and a magnet (permanent magnet) 38 is mounted in the magnet housing recess 37. . The magnet 38 turns on the sensor switch by the magnetic force when approaching a sensor switch (not shown) mounted on the outer side surface of the actuator body 11 and turns off when the magnet 38 is separated. As described above, the magnet 38 is attached to the drive piston 17 to turn the sensor switch ON / OFF, and the controller (not shown) connected to the sensor switch detects the ON-OFF signal, thereby driving the drive piston 17. The position in the cylinder chamber 13 is detected so that it can be determined in which direction the work W (see FIG. 1) mounted on the table 12 is swung.

駆動ピストン１７の内部の第１中空筒部３０ａ，第２中空筒部３０ｂおよび第３中空筒部３０ｃは、それぞれショックアブソーバ１９を構成しており、第１中空筒部３０ａに連通する貫通孔３１は、第１および第２中空筒部３０ａ，３０ｂにシリコーンオイル等の油液（液体）Ｏを封入するための油液封入通路となっている。貫通孔３１の図中右方側は、第１および第２中空筒部３０ａ，３０ｂにエアが混入しないように油液Ｏを封入した後に、プラグＰによって閉塞するようにしている。 The first hollow cylinder part 30a, the second hollow cylinder part 30b, and the third hollow cylinder part 30c inside the drive piston 17 constitute the shock absorber 19, and the through hole 31 communicated with the first hollow cylinder part 30a. Is an oil liquid enclosing passage for enclosing oil liquid (liquid) O such as silicone oil in the first and second hollow cylinder portions 30a, 30b. The right side of the through hole 31 in the figure is sealed with a plug P after the oil liquid O is sealed so that air does not enter the first and second hollow cylinder portions 30a and 30b.

第２中空筒部３０ｂ内には、その軸方向に移動自在に緩衝ピストンとしての環状ピストン３９が設けられており、この環状ピストン３９の外周側と第２中空筒部３０ｂの内周側との間には微少隙間Ｓが形成されている。この微少隙間Ｓは、環状ピストン３９が第２中空筒部３０ｂ内を図中右方側へ移動して油液Ｏが流動する際に、所定の流動抵抗を付与、つまり、所定の減衰力を発生する絞りとして機能する。 An annular piston 39 serving as a buffer piston is provided in the second hollow cylinder portion 30b so as to be movable in the axial direction thereof. An outer peripheral side of the annular piston 39 and an inner peripheral side of the second hollow cylinder portion 30b are provided. A minute gap S is formed between them. The minute gap S gives a predetermined flow resistance when the annular piston 39 moves to the right side in the drawing in the second hollow cylinder portion 30b and flows the oil liquid O, that is, has a predetermined damping force. It functions as an aperture that occurs.

環状ピストン３９には、緩衝ロッド４０の一端側が装着されており、緩衝ロッド４０の他端側は、蓋部材３２を貫いて駆動ピストン１７の外部に延出されている。第３中空筒部３０ｃには、ロッドガイド４１が往復動自在に設けられており、このロッドガイド４１は緩衝ロッド４０を摺動自在に案内するようになっている。ロッドガイド４１の外周側には、環状溝４２が形成されており、この環状溝４２内には、Ｏリング４３が装着されている。このＯリング４３は、第３中空筒部３０ｃの内周壁に対して摺接するとともに、第２中空筒部３０ｂ内の油液Ｏの漏洩を阻止するようになっている。 One end side of the buffer rod 40 is attached to the annular piston 39, and the other end side of the buffer rod 40 extends through the lid member 32 to the outside of the drive piston 17. The third hollow cylinder portion 30c is provided with a rod guide 41 that can reciprocate. The rod guide 41 guides the buffer rod 40 in a slidable manner. An annular groove 42 is formed on the outer peripheral side of the rod guide 41, and an O-ring 43 is mounted in the annular groove 42. The O-ring 43 is in sliding contact with the inner peripheral wall of the third hollow cylinder part 30c and prevents leakage of the oil liquid O in the second hollow cylinder part 30b.

ロッドガイド４１の内周側には、環状のパッキン収容溝４４が形成されており、このパッキン収容溝４４には、断面が略Ｕ字形状のパッキンシール４５が装着されている。パッキンシール４５は、そのＵ字形状の開口側が第２中空筒部３０ｂ側に向いており、これにより、パッキンシール４５の開口側が第２中空筒部３０ｂ内の圧力を受けて開口する方向に変形されて、第２中空筒部３０ｂ内の油液Ｏの漏洩を阻止するようにしている。 An annular packing receiving groove 44 is formed on the inner peripheral side of the rod guide 41, and a packing seal 45 having a substantially U-shaped cross section is attached to the packing receiving groove 44. The packing seal 45 has its U-shaped opening side facing the second hollow cylinder part 30b, so that the opening side of the packing seal 45 is deformed in a direction to open under the pressure in the second hollow cylinder part 30b. Thus, leakage of the oil liquid O in the second hollow cylinder portion 30b is prevented.

環状ピストン３９との底部との間には、コイルスプリングよりなる復帰ばね４６が所定のセット荷重をもって装着されており、この復帰ばね４６は、緩衝ロッド４０を介して図中右方側に移動した環状ピストン３９を、図３に示す所定の初期位置、つまり、緩衝ロッド４０が図２に示す左側室ａ１，ｂ１に突出する位置に復帰させるようになっている。蓋部材３２とロッドガイド４１との間には、復帰ばね４６よりも大きいばね力のコイルスプリングよりなる圧力保持ばね４７が装着されており、この圧力保持ばね４７は、ロッドガイド４１を図中右方側へ常時押圧して、これにより、第２中空筒部３０ｂ内を大気圧よりも高い圧力に保持するようになっている。 A return spring 46 made of a coil spring is mounted with a predetermined set load between the bottom of the annular piston 39 and this return spring 46 has moved to the right side in the figure via the buffer rod 40. The annular piston 39 is returned to a predetermined initial position shown in FIG. 3, that is, a position where the buffer rod 40 protrudes into the left chambers a1 and b1 shown in FIG. A pressure holding spring 47 made of a coil spring having a spring force larger than that of the return spring 46 is mounted between the lid member 32 and the rod guide 41. The pressure holding spring 47 moves the rod guide 41 to the right in the figure. By pressing constantly toward the side, the inside of the second hollow cylindrical portion 30b is held at a pressure higher than the atmospheric pressure.

このように構成されるショックアブソーバ１９は、緩衝ロッド４０が駆動ピストン１７の中空部３０内に進入すると、環状ピストン３９が第２中空筒部３０ｂ内を図中右方側へ移動し、これにより、第２中空筒部３０ｂ内の油液Ｏが環状ピストン３９の図中右側から左側へ微少隙間Ｓを介して流動し、これにより減衰力が発生するようになっている。 In the shock absorber 19 configured as described above, when the buffer rod 40 enters the hollow portion 30 of the drive piston 17, the annular piston 39 moves in the second hollow cylindrical portion 30b to the right side in the drawing, thereby The oil liquid O in the second hollow cylinder portion 30b flows from the right side to the left side of the annular piston 39 in the figure through the minute gap S, thereby generating a damping force.

環状ピストン３９の移動に伴い緩衝ロッド４０が第２中空筒部３０ｂに対して進入または退出すると、第２中空筒部３０ｂ内の油液Ｏが流動し、この油液Ｏの流動により第３中空筒部３０ｃ内のロッドガイド４１が、図中左方側または右方側へ移動するようになっている。 When the buffer rod 40 enters or leaves the second hollow cylindrical portion 30b with the movement of the annular piston 39, the oil liquid O in the second hollow cylindrical portion 30b flows, and the third hollow is generated by the flow of the oil liquid O. The rod guide 41 in the cylinder part 30c moves to the left side or the right side in the figure.

次に、以上のように構成される本発明の第１実施の形態に係る揺動型アクチュエータ１０の動作について、図２および図３を参照して説明する。 Next, the operation of the oscillating actuator 10 according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS.

図示しないコンプレッサや圧縮エアが貯留されたエアタンク等の圧縮エア供給源から、第１シリンダ室１３ａの左側室ａ１と、第２シリンダ室１３ｂの右側室ｂ２とに流体としての圧縮エアを供給すると、第１駆動ピストン１７ａは図中右方へ駆動され、第２駆動ピストン１７ｂは図中左方へ駆動される。ここで、第１シリンダ室１３ａの右側室ａ２内および第２シリンダ室１３ｂの左側室ｂ１内のエアは、図示しないバルブ等を介して外部に排出される。このように、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂが各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内を軸方向に相反する方向へ駆動されることにより、ピニオン１６が時計方向に回転する。このピニオン１６の回転に伴い所定方向にテーブル１２が揺動移動されて、テーブル１２に装着されたワークＷを揺動移動させることができる。 When compressed air as a fluid is supplied to a left chamber a1 of the first cylinder chamber 13a and a right chamber b2 of the second cylinder chamber 13b from a compressed air supply source such as a compressor (not shown) or an air tank in which compressed air is stored, The first drive piston 17a is driven rightward in the figure, and the second drive piston 17b is driven leftward in the figure. Here, the air in the right chamber a2 of the first cylinder chamber 13a and the left chamber b1 of the second cylinder chamber 13b is discharged to the outside through a valve or the like (not shown). In this way, the drive pistons 17a and 17b are driven in the opposite directions in the axial direction in the cylinder chambers 13a and 13b, whereby the pinion 16 rotates in the clockwise direction. As the pinion 16 rotates, the table 12 is swung in a predetermined direction, and the work W mounted on the table 12 can be swung.

その後、第２駆動ピストン１７ｂが第２シリンダ室１３ｂ内を摺動して図中左方側のストロークエンドまで移動すると、第２駆動ピストン１７ｂに一体化されたショックアブソーバ１９の緩衝ロッド４０が、調節ボルト２１を介してエンドカバー１４ａに衝突することになる。このとき、緩衝ロッド４０は調節ボルト２１のバンパ２０に衝突されるので、相互のメタルコンタクトを回避して異音の発生が抑制される。緩衝ロッド４０が調節ボルト２１に衝突することにより、緩衝ロッド４０が第２駆動ピストン１７ｂ内に進入し、これにより、ショックアブソーバ１９が減衰力を発生してテーブル１２の急停止が防止され、ワークＷを衝撃から保護することができる。 Thereafter, when the second drive piston 17b slides in the second cylinder chamber 13b and moves to the left stroke end in the drawing, the buffer rod 40 of the shock absorber 19 integrated with the second drive piston 17b is It will collide with the end cover 14a via the adjusting bolt 21. At this time, since the buffer rod 40 collides with the bumper 20 of the adjusting bolt 21, the occurrence of abnormal noise is suppressed by avoiding mutual metal contact. When the shock absorbing rod 40 collides with the adjusting bolt 21, the shock absorbing rod 40 enters the second drive piston 17b, whereby the shock absorber 19 generates a damping force to prevent the table 12 from being stopped suddenly. W can be protected from impact.

ここで、第１駆動ピストン１７ａにおける緩衝ロッド４０の突出側、つまり、左側室ａ１側は、圧縮エアにより大気圧よりも高い圧力を受けるので、緩衝ロッド４０と蓋部材３２との隙間を介して圧縮エアが第２中空筒部３０ｂ内に入り込もうとする。しかし、圧縮エアの圧力と圧力保持ばね４７のばね力とによって、ロッドガイド４１は図中右方側へ押圧されているので、第２中空筒部３０ｂ内の圧力は高められた状態にあり、パッキンシール４５のシール力が増加した状態となっている。したがって、圧縮エアが第２中空筒部３０ｂ内に入り込むことは無い。 Here, the protruding side of the buffer rod 40 in the first drive piston 17a, that is, the left chamber a1 side receives a pressure higher than the atmospheric pressure by the compressed air, so that the gap between the buffer rod 40 and the lid member 32 is interposed. The compressed air tends to enter the second hollow cylinder portion 30b. However, since the rod guide 41 is pressed to the right side in the drawing by the pressure of the compressed air and the spring force of the pressure holding spring 47, the pressure in the second hollow cylindrical portion 30b is in a state of being increased, The sealing force of the packing seal 45 is in an increased state. Therefore, the compressed air does not enter the second hollow cylinder portion 30b.

テーブル１２を反時計方向に揺動するには、第１シリンダ室１３ａの左側室ａ１と第２シリンダ室１３ｂの右側室ｂ２からバルブ等を介して圧縮エアを大気開放するとともに、第１シリンダ室１３ａの右側室ａ２と第２シリンダ室１３ｂの左側室ｂ１とに圧縮エアを供給するようにする。すると、上記とは逆に、第１駆動ピストン１７ａは図中左方側へ駆動され、第２駆動ピストン１７ｂは図中右方側へ駆動される。したがって、ピニオン１６が反時計方向に回動してテーブル１２に装着されたワークＷを反時計方向に揺動移動することができる。ここで、第１駆動ピストン１７ａのショックアブソーバ１９は上記と同様の動作を行なうようになっている。 In order to swing the table 12 counterclockwise, the compressed air is released from the left chamber a1 of the first cylinder chamber 13a and the right chamber b2 of the second cylinder chamber 13b through a valve or the like, and the first cylinder chamber Compressed air is supplied to the right chamber a2 of 13a and the left chamber b1 of the second cylinder chamber 13b. Then, contrary to the above, the first drive piston 17a is driven to the left side in the figure, and the second drive piston 17b is driven to the right side in the figure. Therefore, the pinion 16 can be rotated counterclockwise to swing and move the workpiece W mounted on the table 12 in the counterclockwise direction. Here, the shock absorber 19 of the first drive piston 17a performs the same operation as described above.

以上詳述したように、第１実施の形態に係る揺動型アクチュエータ１０によれば、第１および第２駆動ピストン１７ａ，１７ｂにショックアブソーバ１９を一体化することができる。したがって、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内におけるストロークエンドでショックアブソーバ１９を作動させることができ、各駆動ピストン１７ａ，１７ｂの急停止を防止し、衝撃からワークＷを保護することができる。 As described above in detail, according to the oscillating actuator 10 according to the first embodiment, the shock absorber 19 can be integrated with the first and second drive pistons 17a and 17b. Therefore, the shock absorber 19 can be operated at the stroke end in each cylinder chamber 13a, 13b of each drive piston 17a, 17b, preventing sudden stop of each drive piston 17a, 17b, and protecting the workpiece W from impact. be able to.

また、ショックアブソーバ１９を、従前のように取付プレートや支持アームを介してアクチュエータ本体１１の外部に露出して設ける必要が無くなり、揺動型アクチュエータ１０の外観形状を凹凸の少ない形状にすることができ、生産ライン上での配置自由度を高めることができるほか、揺動型アクチュエータ１０の省スペース化や軽量化を図ることができる。 Further, the shock absorber 19 need not be exposed to the outside of the actuator body 11 via the mounting plate or the support arm as before, and the appearance of the oscillating actuator 10 can be made to have a shape with less unevenness. In addition, the degree of freedom of arrangement on the production line can be increased, and space saving and weight reduction of the oscillating actuator 10 can be achieved.

さらに、各シリンダ室１３ａ，１３ｂ内を摺動する各駆動ピストン１７ａ，１７ｂにショックアブソーバ１９を同軸状に一体化したので、ワークＷ等の接触によるショックアブソーバ１９の損傷を確実に回避することができ、また、衝撃吸収時における各駆動ピストン１７ａ，１７ｂに対する曲げモーメントの発生を抑制して揺動型アクチュエータ１０の長寿命化を図ることができる。 Further, since the shock absorber 19 is coaxially integrated with the drive pistons 17a and 17b sliding in the cylinder chambers 13a and 13b, damage to the shock absorber 19 due to contact with the workpiece W or the like can be reliably avoided. In addition, it is possible to extend the life of the oscillating actuator 10 by suppressing the generation of a bending moment with respect to each of the drive pistons 17a and 17b when absorbing the impact.

また、第１実施の形態に係る揺動型アクチュエータ１０によれば、ショックアブソーバ１９は、環状ピストン３９と復帰ばね４６とを有するので、環状ピストン３９が発生する減衰力によって衝撃を吸収した後、復帰ばね４６の弾性力によって緩衝ロッド４０を復帰させることができる。 Further, according to the oscillating actuator 10 according to the first embodiment, since the shock absorber 19 has the annular piston 39 and the return spring 46, after absorbing the impact by the damping force generated by the annular piston 39, The buffer rod 40 can be returned by the elastic force of the return spring 46.

さらに、第１実施の形態に係る揺動型アクチュエータ１０によれば、エンドカバー１４ａに、緩衝ロッド４０の衝突位置を調節する調節ボルト２１を設けたので、調節ボルト２１により緩衝ロッド４０の衝突位置を調節することで各駆動ピストン１７ａ，１７ｂのストロークを調節することができる。 Furthermore, according to the oscillating actuator 10 according to the first embodiment, since the adjustment bolt 21 for adjusting the collision position of the buffer rod 40 is provided on the end cover 14a, the collision position of the buffer rod 40 by the adjustment bolt 21 is provided. By adjusting the stroke, the stroke of each drive piston 17a, 17b can be adjusted.

また、第１実施の形態に係る揺動型アクチュエータ１０によれば、揺動型の流体圧アクチュエータの駆動ピストンにショックアブソーバ１９を一体化することができるので、ラックとして機能する比較的長尺の駆動ピストンのデッドスペース（中実部）を有効利用して、駆動ピストンの大型化を回避しつつ、駆動ピストンを中空としてその軽量化を図ることができる。 Further, according to the oscillating actuator 10 according to the first embodiment, since the shock absorber 19 can be integrated with the drive piston of the oscillating fluid pressure actuator, it is a relatively long length that functions as a rack. By effectively using the dead space (solid portion) of the drive piston, the drive piston can be made hollow while reducing the size of the drive piston, and the weight thereof can be reduced.

次に、本発明の第２実施の形態に係る流体圧アクチュエータについて図面を用いて説明する。図４は第２実施の形態における図２に対応する断面図を、図５は図４に示す駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図をそれぞれ表している。 Next, a fluid pressure actuator according to a second embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a cross-sectional view corresponding to FIG. 2 in the second embodiment, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the drive piston shown in FIG. 4 in an enlarged manner.

図４に示すように、流体圧アクチュエータとしての揺動型アクチュエータ５０は、第１実施の形態に対して調節ボルト２１とマグネット３８（図２参照）とを省略した簡略型であり、テーブル（図示せず）の揺動角度が固定式（非調節式）であるとともにセンサレスとなっている。アクチュエータ本体１１に形成された各シリンダ室１３ａ，１３ｂには、第１実施の形態における各駆動ピストン１７ａ，１７ｂ（図２参照）とは構成が異なる第１駆動ピストン５１ａと第２駆動ピストン５１ｂとが往復動自在に設けられている。 As shown in FIG. 4, the oscillating actuator 50 as a fluid pressure actuator is a simplified type in which the adjusting bolt 21 and the magnet 38 (see FIG. 2) are omitted from the first embodiment. The swing angle of not shown is fixed (non-adjustable) and sensorless. The cylinder chambers 13a and 13b formed in the actuator body 11 include a first drive piston 51a and a second drive piston 51b having different configurations from the drive pistons 17a and 17b (see FIG. 2) in the first embodiment. Is provided so as to freely reciprocate.

各駆動ピストン５１ａ，５１ｂ（以下、駆動ピストン５１等と表す）の中空部３０には、第１実施の形態におけるショックアブソーバ１９とは構成が異なるショックアブソーバ５２が形成されている。ショックアブソーバ５２は、第３中空筒部３０ｃに固定されるロッドガイド４１を備え、このロッドガイド４１には、環状収容部５３が形成されている。この環状収容部５３は、切欠部５４を介して第２中空筒部３０ｂと連通しており、第２中空筒部３０ｂ内の油液Ｏが行き来できるようになっている。 A shock absorber 52 having a configuration different from that of the shock absorber 19 in the first embodiment is formed in the hollow portion 30 of each of the drive pistons 51a and 51b (hereinafter referred to as the drive piston 51 and the like). The shock absorber 52 includes a rod guide 41 that is fixed to the third hollow cylinder portion 30 c, and an annular housing portion 53 is formed in the rod guide 41. The annular housing part 53 communicates with the second hollow cylinder part 30b through the notch part 54 so that the oil O in the second hollow cylinder part 30b can come and go.

環状収容部５３には、略ドーナツ形状のアキュムレータ５５が装着されており、このアキュムレータ５５は、無数の気泡を含む弾性変形可能なスポンジ状物質により形成されている。このアキュムレータ５５は、緩衝ロッド４０が第２中空筒部３０ｂに対して進入または退出した際に、油液Ｏによって圧縮または膨張変形するようになっている。 A substantially donut-shaped accumulator 55 is attached to the annular housing portion 53, and this accumulator 55 is formed of an elastically deformable sponge-like material containing innumerable bubbles. The accumulator 55 is configured to be compressed or expanded by the oil liquid O when the buffer rod 40 enters or leaves the second hollow cylinder portion 30b.

ロッドガイド４１の図中左方側には、通路ブロック５６が隣接して固定されており、この通路ブロック５６には、径方向（図中上方側）に延びる連通路５６ａと、通路ブロック５６の外周側に形成され、連通路５６ａと連通する周方向に延びる環状通路５６ｂとが形成されている。通路ブロック５６の径方向内側には、所定の環状隙間Ｌを介して緩衝ロッド４０が配置されており、環状隙間Ｌは連通路５６ａを介して環状通路５６ｂと連通している。 A passage block 56 is adjacently fixed to the left side of the rod guide 41 in the drawing, and the passage block 56 includes a communication passage 56a extending in a radial direction (upper side in the drawing) and a passage block 56. An annular passage 56b is formed on the outer peripheral side and extends in the circumferential direction and communicates with the communication passage 56a. A buffer rod 40 is disposed on the radially inner side of the passage block 56 via a predetermined annular gap L, and the annular gap L communicates with the annular passage 56b via a communication path 56a.

通路ブロック５６に形成された環状通路５６ｂの図中左方側には、Ｏリング５７が装着される環状溝５８と、断面が略Ｕ字形状のパッキンシール５９が装着されるパッキン収容部６０とが形成されている。パッキンシール５９のＵ字形状の開口側は蓋部材３２側を向いており、蓋部材３２側から入り込もうとする圧縮エアの圧力によって、パッキンシール５９の開口側が開口する方向に変形するようになっている。 On the left side of the annular passage 56b formed in the passage block 56 in the figure, an annular groove 58 to which the O-ring 57 is attached, and a packing housing portion 60 to which a substantially U-shaped packing seal 59 is attached. Is formed. The U-shaped opening side of the packing seal 59 faces the lid member 32 side, and is deformed in the direction in which the opening side of the packing seal 59 opens due to the pressure of compressed air entering from the lid member 32 side. Yes.

通路ブロック５６と蓋部材３２との間には、緩衝ロッド４０を摺動自在に案内するスリーブ６１が径方向内側に装着されたスリーブブロック６２が設けられている。このスリーブブロック６２に装着されたスリーブ６１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等の摩擦抵抗の小さな素材により形成されており、これにより、緩衝ロッド４０を円滑に案内できるようになっている。 Between the passage block 56 and the lid member 32, there is provided a sleeve block 62 in which a sleeve 61 for slidably guiding the buffer rod 40 is mounted on the radially inner side. The sleeve 61 attached to the sleeve block 62 is formed of a material having a small frictional resistance such as polytetrafluoroethylene, and can thereby guide the buffer rod 40 smoothly.

駆動ピストン５１におけるラック１８ａの図中左方側には、通路ブロック５６の環状通路５６ｂと連通する連通孔６３が形成されており、この連通孔６３は、連通路５６ａおよび環状通路５６ｂを介して、環状隙間Ｌと歯車収容部１５ａ側とを連通させている。そして、駆動ピストン５１の図中左方側の圧縮エアが、蓋部材３２，スリーブ６１およびパッキンシール５９を介して環状隙間Ｌに入り込んだとしても、この圧縮エアを低圧側となる歯車収容部１５ａ側（図４参照）に逃がすことができるので、第２中空筒部３０ｂの内部に圧縮エアが混入することは無い。 A communication hole 63 communicating with the annular passage 56b of the passage block 56 is formed on the left side of the rack 18a in the drawing of the drive piston 51. The communication hole 63 is connected via the communication passage 56a and the annular passage 56b. The annular gap L communicates with the gear housing 15a side. Even if the compressed air on the left side of the drive piston 51 in the drawing enters the annular gap L through the lid member 32, the sleeve 61, and the packing seal 59, the compressed air is supplied to the gear housing portion 15a on the low pressure side. Since it can escape to the side (refer FIG. 4), compressed air does not mix in the inside of the 2nd hollow cylinder part 30b.

以上のように構成される第２実施の形態に係る揺動型アクチュエータ５０においても、揺動角度が非調節式であることとセンサレスであることを除いては、上述した第１実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。これに加え、第２実施の形態に係る揺動型アクチュエータ５０によれば、テーブルの揺動角度を調節するための調節ボルトを省略しているので、より小型化・軽量化を図ることができるとともに、揺動型アクチュエータ５０の外観形状をさらに凹凸の少ない形状とすることができるので、生産ライン上での配置自由度をより高めることができる。 Also in the oscillating actuator 50 according to the second embodiment configured as described above, except that the oscillating angle is non-adjustable and sensorless, the first embodiment described above is used. Similar effects can be obtained. In addition, according to the oscillating actuator 50 according to the second embodiment, the adjusting bolt for adjusting the oscillating angle of the table is omitted, so that the size and weight can be further reduced. At the same time, the outer shape of the oscillating actuator 50 can be made to be a shape with less unevenness, so that the degree of freedom of arrangement on the production line can be further increased.

ただし、第２実施の形態に係る揺動型アクチュエータ５０においては、エンドカバー１４ａと緩衝ロッド４０とが相互にメタルコンタクトする構成のものを示したが、メタルコンタクトによる異音の発生を防止すべく、例えば、エンドカバー１４ａの図中右方側や緩衝ロッド４０の図中左方側等に合成ゴム等よりなるバンパを装着するようにしても良い。また、第２実施の形態に係る駆動ピストン５１と第１実施の形態に係る駆動ピストン１７とを相互に入れ替えても良く、この場合においても、上述した第１実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 However, in the oscillating actuator 50 according to the second embodiment, the end cover 14a and the buffer rod 40 are configured to be in metal contact with each other. However, in order to prevent the generation of abnormal noise due to the metal contact. For example, a bumper made of synthetic rubber or the like may be attached to the right side of the end cover 14a in the drawing, the left side of the buffer rod 40 in the drawing, or the like. In addition, the drive piston 51 according to the second embodiment and the drive piston 17 according to the first embodiment may be interchanged with each other. In this case as well, the same functions and effects as those of the first embodiment described above can be obtained. Can play.

次に、本発明の第３実施の形態に係る流体圧アクチュエータについて図面を用いて説明する。図６は第３実施の形態における駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図を表している。 Next, a fluid pressure actuator according to a third embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. FIG. 6 is an enlarged sectional view showing the driving piston in the third embodiment in an enlarged manner.

図６に示す駆動ピストン６４は、上述した揺動型アクチュエータ１０，５０のアクチュエータ本体１１（図２および図４参照）に設けられるものであり、この駆動ピストン６４は、第２実施の形態における駆動ピストン５１（図５参照）に比して、通路ブロック５６およびアキュムレータ５５を備えず、緩衝ロッド４０を駆動ピストン６４の軸方向に貫いて設けた点が異なっている。 The drive piston 64 shown in FIG. 6 is provided in the actuator main body 11 (see FIGS. 2 and 4) of the swing type actuators 10 and 50 described above, and this drive piston 64 is the drive in the second embodiment. Compared with the piston 51 (see FIG. 5), the passage block 56 and the accumulator 55 are not provided, and the buffer rod 40 is provided so as to penetrate the drive piston 64 in the axial direction.

緩衝ロッド４０の略中央部分には、環状ピストン３９が装着されており、この環状ピストン３９を境に、緩衝ロッド４０は左側ロッド部４０ａと右側ロッド部４０ｂとに分けられている。緩衝ロッド４０の左側ロッド部４０ａは、ロッドガイド４１，スリーブ６１および蓋部材３２を貫いて、駆動ピストン６４の外部、つまり、シリンダ室１３内（図２参照）に延出されるようになっている。 An annular piston 39 is mounted at a substantially central portion of the buffer rod 40. The buffer rod 40 is divided into a left rod portion 40a and a right rod portion 40b with the annular piston 39 as a boundary. The left rod portion 40a of the buffer rod 40 passes through the rod guide 41, the sleeve 61 and the lid member 32, and extends outside the drive piston 64, that is, inside the cylinder chamber 13 (see FIG. 2). .

駆動ピストン６４の図中右方側には、駆動ピストン６４の端部からラック１８に臨む深さの筒状凹部６４ａが形成されており、この筒状凹部６４ａは、壁部６４ｂによって環状ピストン３９側と隔離されている。壁部６４ｂには穿孔６５が形成されており、この穿孔６５を貫いて筒状凹部６４ａに向けて緩衝ロッド４０の右側ロッド部４０ｂが延出されている。 On the right side of the drive piston 64 in the figure, a cylindrical recess 64a having a depth facing the rack 18 from the end of the drive piston 64 is formed. The cylindrical recess 64a is formed by the wall portion 64b and the annular piston 39. Isolated from the side. A perforation 65 is formed in the wall portion 64b, and the right rod portion 40b of the buffer rod 40 extends through the perforation 65 toward the cylindrical recess 64a.

緩衝ロッド４０の内側には、油液注入孔４０ｃが形成されており、この油液注入孔４０ｃを介して油液Ｏを中空筒部内に封入するようにしており、中空筒部内へ油液Ｏを封入した後、油液注入孔４０ｃを剛球４０ｄで閉塞するようになっている。 An oil liquid injection hole 40c is formed inside the buffer rod 40, and the oil liquid O is sealed in the hollow cylinder through the oil liquid injection hole 40c. Then, the oil injection hole 40c is closed with a hard ball 40d.

壁部６４ｂの図中左方側には、シール装着筒部６６が形成されており、このシール装着筒部６６には、断面が略Ｕ字形状のパッキンシール６７が装着されている。このパッキンシール６７のＵ字形状の開口側は、第１中空筒部３０ａ側を向いており、これにより第１中空筒部３０ａからの油液Ｏの外部への漏洩を防止するようになっている。 A seal mounting cylinder portion 66 is formed on the left side of the wall portion 64b in the drawing, and a seal seal 67 having a substantially U-shaped cross section is mounted on the seal mounting cylinder portion 66. The U-shaped opening side of the packing seal 67 faces the first hollow cylinder part 30a, thereby preventing leakage of the oil liquid O from the first hollow cylinder part 30a to the outside. Yes.

シール装着筒部６６の図中左方側には、環状のばね座６８が装着されるばね座装着筒部６９が形成されている。ばね座装着筒部６９に装着されるばね座６８は、復帰ばね４６の図中右方側を支持している。 A spring seat mounting cylinder portion 69 to which an annular spring seat 68 is mounted is formed on the left side of the seal mounting cylinder portion 66 in the drawing. A spring seat 68 mounted on the spring seat mounting cylinder 69 supports the right side of the return spring 46 in the drawing.

以上のように構成される第２実施の形態に係る揺動型アクチュエータにおいても、上述した第１実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。これに加え、第３実施の形態に係る揺動型アクチュエータによれば、第１中空筒部３０ａに向けて左側ロッド部４０ａが進入した際、それに伴って第１中空筒部３０ａから右側ロッド部４０ｂが筒状凹部６４ａに向けて退出するので、油液Ｏによって圧縮または膨張変形するアキュムレータを省略することができる。よって、揺動型アクチュエータの構造や組立工程を簡略化してコストダウンを図ることができる。 Also in the oscillating actuator according to the second embodiment configured as described above, the same operational effects as those of the first embodiment described above can be achieved. In addition, according to the oscillating actuator according to the third embodiment, when the left rod portion 40a enters the first hollow tube portion 30a, the right rod portion is moved from the first hollow tube portion 30a accordingly. Since 40b retreats toward the cylindrical recess 64a, an accumulator that is compressed or expanded by the oil liquid O can be omitted. Therefore, the structure and assembly process of the oscillating actuator can be simplified and the cost can be reduced.

次に、本発明の第４実施の形態に係る流体圧アクチュエータについて図面を用いて説明する。図７は第４実施の形態に係る流体圧アクチュエータの断面図を示している。 Next, a fluid pressure actuator according to a fourth embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7 shows a cross-sectional view of a fluid pressure actuator according to the fourth embodiment.

図７に示すように、流体圧アクチュエータとしてのロッドレスシリンダ７０は、シールバンドを有するスリット式のロッドレスシリンダである。このロッドレスシリンダ７０は、アルミ合金等の金属材料を押し出し加工することにより略棒状形状に形成されるアクチュエータ本体７１を有しており、このアクチュエータ本体７１の内部には、図中左右方向に延びるシリンダ室７２が形成されている。シリンダ室７２の両端側（図中左右側）は、アクチュエータ本体７１の両端部に装着される一対のエンドカバー７３ａ，７３ｂによってそれぞれ閉塞されており、各エンドカバー７３ａ，７３ｂは、シリンダ室７２を形成する端壁を構成している。 As shown in FIG. 7, a rodless cylinder 70 as a fluid pressure actuator is a slit-type rodless cylinder having a seal band. The rodless cylinder 70 has an actuator body 71 formed in a substantially rod shape by extruding a metal material such as an aluminum alloy. The actuator body 71 extends in the left-right direction in the figure. A cylinder chamber 72 is formed. Both end sides (left and right sides in the figure) of the cylinder chamber 72 are respectively closed by a pair of end covers 73a and 73b attached to both end portions of the actuator body 71. The end covers 73a and 73b It constitutes the end wall to be formed.

シリンダ室７２の内部には、駆動ピストン７４が摺動自在に設けられており、この駆動ピストン７４は、シリンダ室７２内を左側室７２ａと右側室７２ｂとに画成している。左側室７２ａおよび右側室７２ｂは、各エンドカバー７３ａ，７３ｂにそれぞれ形成された連通孔７５ａ，７５ｂを介して外部と連通するようになっている。 A drive piston 74 is slidably provided inside the cylinder chamber 72. The drive piston 74 defines a left chamber 72a and a right chamber 72b in the cylinder chamber 72. The left chamber 72a and the right chamber 72b communicate with the outside through communication holes 75a and 75b formed in the end covers 73a and 73b, respectively.

アクチュエータ本体７１の図中上方側には、アクチュエータ本体７１の軸方向に全域に亘って延びるスリット７６が形成されている。このスリット７６は、その図中上下方向から設けられるアウターシールバンド７７およびインナーシールバンド７８によって閉塞されており、これらは可撓性を有する薄膜状の金属材料、例えば、ステンレスクロム鋼によって形成されている。アウターシールバンド７７は外部からシリンダ室７２内に埃等が入り込むことを防止し、インナーシールバンド７８は、シリンダ室７２内の圧縮エアが外部に漏洩すること防止するようになっている。 On the upper side of the actuator main body 71 in the figure, a slit 76 extending over the entire region in the axial direction of the actuator main body 71 is formed. The slit 76 is closed by an outer seal band 77 and an inner seal band 78 provided in the vertical direction in the figure, and these are formed by a thin film metal material having flexibility, for example, stainless chrome steel. Yes. The outer seal band 77 prevents dust and the like from entering the cylinder chamber 72 from the outside, and the inner seal band 78 prevents the compressed air in the cylinder chamber 72 from leaking to the outside.

駆動ピストン７４の図中左右方向における略中央部分には、ピストンヨーク７９が装着されており、このピストンヨーク７９はスリット７６から各シールバンド７７，７８を介して図中上方側に突出している。ピストンヨーク７９は、各シールバンド７７，７８の間に設けられており、各シールバンド７７，７８は、ピストンヨーク７９の移動に追従して変形するようになっている。 A piston yoke 79 is attached to a substantially central portion of the drive piston 74 in the left-right direction in the figure, and this piston yoke 79 protrudes upward from the slit 76 through the seal bands 77 and 78 in the figure. The piston yoke 79 is provided between the seal bands 77 and 78, and the seal bands 77 and 78 are deformed following the movement of the piston yoke 79.

ピストンヨーク７９の図中上方側には、２本のロールピン８０を介してピストンマウント８１が装着されている。このピストンマウント８１はアルミ合金等の金属材料により形成されており、ピストンマウント８１上には、ワークＷが装着されるようになっている。ピストンマウント８１の脚部８１ａには、アウターシールバンド７７に摺接する合成樹脂等よりなるスクレーパ８２が装着されており、このスクレーパ８２は、アウターシールバンド７７上に付着した埃等を除去するとともに、ピストンマウント８１を円滑に作動させる役割を果たしている。 A piston mount 81 is mounted on the upper side of the piston yoke 79 in the drawing via two roll pins 80. The piston mount 81 is made of a metal material such as an aluminum alloy, and a workpiece W is mounted on the piston mount 81. A scraper 82 made of a synthetic resin or the like that is in sliding contact with the outer seal band 77 is attached to the leg portion 81a of the piston mount 81. The scraper 82 removes dust and the like attached on the outer seal band 77, and The piston mount 81 is operated smoothly.

駆動ピストン７４は、図５に示す第２実施の形態における駆動ピストン５１からラック１８を省略するとともに、図中左右方向で対称となるように一対の駆動ピストン５１を対向配置し、これらを相互に接続した構成を採っており、駆動ピストン７４の図中左右側からは、各エンドカバー７３ａ，７３ｂにそれぞれ衝突する一対の緩衝ロッド４０，４０が延出されている。駆動ピストン７４の内部に対向して形成される各ショックアブソーバ５２は、上述した第２実施の形態と同様の動作をするものである。 In the drive piston 74, the rack 18 is omitted from the drive piston 51 in the second embodiment shown in FIG. 5, and a pair of drive pistons 51 are arranged opposite to each other so as to be symmetrical in the left-right direction in the drawing, A pair of buffer rods 40, 40 that collide with the end covers 73a, 73b are extended from the left and right sides of the drive piston 74 in the drawing. Each shock absorber 52 formed facing the inside of the drive piston 74 operates in the same manner as in the second embodiment described above.

次に、以上のように構成される本発明の第４実施の形態に係るロッドレスシリンダ７０の動作について説明する。 Next, the operation of the rodless cylinder 70 according to the fourth embodiment of the present invention configured as described above will be described.

図示しないコンプレッサや圧縮エアが貯留されたエアタンク等の圧縮エア供給源から、例えば、シリンダ室７２の左側室７２ａに圧縮エアを供給すると、駆動ピストン７４は図中右方側へ駆動される。ここで、シリンダ室７２の右側室７２ｂ内のエアは、図示しないバルブ等を介して外部に排出される。このように、駆動ピストン７４がシリンダ室７２内を軸方向に向けて駆動されることにより、これに追従してピストンヨーク７９に装着されたピストンマウント８１が駆動され、よって、ワークＷを移動（往復動）することができる。 When compressed air is supplied from a compressed air supply source such as a compressor (not shown) or an air tank in which compressed air is stored, for example, to the left chamber 72a of the cylinder chamber 72, the drive piston 74 is driven rightward in the figure. Here, the air in the right chamber 72b of the cylinder chamber 72 is discharged to the outside through a valve or the like (not shown). In this way, when the drive piston 74 is driven in the axial direction in the cylinder chamber 72, the piston mount 81 mounted on the piston yoke 79 is driven following this, thereby moving the workpiece W ( Reciprocating).

その後、駆動ピストン７４がシリンダ室７２内を摺動して図中右方側のストロークエンドまで移動すると、ショックアブソーバ５２の緩衝ロッド４０がエンドカバー７３ｂに衝突することになる。緩衝ロッド４０がエンドカバー７３ｂに衝突することにより、上述した第２実施の形態と同様にショックアブソーバ５２が減衰力を発生してピストンマウント８１の急停止が防止され、したがって、ワークＷを衝撃から保護することができる。 Thereafter, when the drive piston 74 slides in the cylinder chamber 72 and moves to the right stroke end in the drawing, the buffer rod 40 of the shock absorber 52 collides with the end cover 73b. When the shock absorbing rod 40 collides with the end cover 73b, the shock absorber 52 generates a damping force to prevent the piston mount 81 from stopping suddenly as in the second embodiment described above. Can be protected.

ピストンマウント８１を図中左方側に移動するには、シリンダ室７２の左側室７２ａからバルブ等を介して圧縮エアを大気開放するとともに、シリンダ室７２の右側室７２ｂに圧縮エアを供給するようにする。すると、上記とは逆に、駆動ピストン７４は図中左方側へ駆動され、ワークＷを図中左方側に移動することができる。 In order to move the piston mount 81 to the left in the figure, the compressed air is released from the left chamber 72a of the cylinder chamber 72 to the atmosphere via a valve or the like, and the compressed air is supplied to the right chamber 72b of the cylinder chamber 72. To. Then, contrary to the above, the drive piston 74 is driven to the left side in the figure, and the workpiece W can be moved to the left side in the figure.

以上のように構成される第４実施の形態に係るロッドレスシリンダ７０においても、上述した第１実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。これに加え、第４実施の形態に係るロッドレスシリンダ７０によれば、ロッドレスシリンダ７０の駆動ピストン７４にショックアブソーバ５２を一体化したので、ロッドレスシリンダの駆動ピストンにおける比較的大きなデッドスペースを有効利用することができる。したがって、ロッドレスシリンダの駆動ピストンの大型化を回避しつつ、駆動ピストンを中空としてその軽量化を図ることができる。 Also in the rodless cylinder 70 according to the fourth embodiment configured as described above, the same function and effect as those of the first embodiment described above can be achieved. In addition, according to the rodless cylinder 70 according to the fourth embodiment, since the shock absorber 52 is integrated with the drive piston 74 of the rodless cylinder 70, a relatively large dead space in the drive piston of the rodless cylinder is provided. It can be used effectively. Therefore, it is possible to reduce the weight of the drive piston by making it hollow while avoiding an increase in the size of the drive piston of the rodless cylinder.

ただし、第４実施の形態に係るロッドレスシリンダ７０においては、各エンドカバー７３ａ，７３ｂと緩衝ロッド４０とが相互にメタルコンタクトする構成のものを示したが、メタルコンタクトによる異音の発生を防止すべく、例えば、各エンドカバー７３ａ，７３ｂのシリンダ室７２側や緩衝ロッド４０の突出側等に合成ゴム等よりなるバンパを装着するようにしても良い。また、上述した第１実施形態における調節ボルト２１（図２参照）を、各エンドカバー７３ａ，７３ｂに装着するようにしても良い。さらに、駆動ピストン７４を、図３や図６に示す駆動ピストン１７，６４からラック１８を省略するとともに、図中左右方向に対称となるように一対の駆動ピストン１７，６４を対向配置し、これらを相互に接続した構成を採るようにしても良い。 However, in the rodless cylinder 70 according to the fourth embodiment, the end cover 73a, 73b and the buffer rod 40 are configured to be in metal contact with each other, but the generation of noise due to the metal contact is prevented. For example, a bumper made of synthetic rubber or the like may be mounted on the cylinder chamber 72 side of each end cover 73a, 73b, the protruding side of the buffer rod 40, or the like. Further, the adjustment bolt 21 (see FIG. 2) in the first embodiment described above may be attached to each end cover 73a, 73b. Further, the drive piston 74 is omitted from the drive pistons 17 and 64 shown in FIG. 3 and FIG. It is also possible to adopt a configuration in which these are connected to each other.

次に、本発明の第５実施の形態に係る流体圧アクチュエータについて図面を用いて説明する。図８は第５実施の形態に係る流体圧アクチュエータの断面図を示している。 Next, a fluid pressure actuator according to a fifth embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 shows a sectional view of a fluid pressure actuator according to the fifth embodiment.

図８に示すように、流体圧アクチュエータとしてのエアシリンダ９０は、アルミ合金等の金属材料を切削加工することにより略直方体形状に形成されるアクチュエータ本体９１を有しており、このアクチュエータ本体９１の内部には、図中左右方向に延びるシリンダ室９２が形成されている。シリンダ室９２の一端側（図中左方側）は開口され、シリンダ室９２の他端側（図中右方側）はアクチュエータ本体９１の他端部に一体に形成されるエンドカバー９３によって閉塞されており、このエンドカバー９３はシリンダ室９２を形成する端壁を構成している。 As shown in FIG. 8, an air cylinder 90 as a fluid pressure actuator has an actuator body 91 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape by cutting a metal material such as an aluminum alloy. A cylinder chamber 92 extending in the left-right direction in the drawing is formed inside. One end side (left side in the figure) of the cylinder chamber 92 is opened, and the other end side (right side in the figure) of the cylinder chamber 92 is closed by an end cover 93 formed integrally with the other end portion of the actuator body 91. The end cover 93 constitutes an end wall that forms the cylinder chamber 92.

シリンダ室９２の内部には、外周側にＯリング９４が装着された駆動ピストン９５が往復動自在に設けられており、この駆動ピストン９５は、シリンダ室９２内を左側室９２ａと右側室９２ｂとに画成している。左側室９２ａおよび右側室９２ｂは、アクチュエータ本体９１の軸方向にそれぞれ離間して形成された連通孔９６ａ，９６ｂを介して外部と連通するようになっている。 Inside the cylinder chamber 92, a drive piston 95 having an O-ring 94 mounted on the outer peripheral side is provided so as to be able to reciprocate. The drive piston 95 includes a left chamber 92a, a right chamber 92b, and a cylinder chamber 92. It is defined in. The left chamber 92a and the right chamber 92b communicate with the outside through communication holes 96a and 96b formed separately from each other in the axial direction of the actuator body 91.

駆動ピストン９５の一端部側には、ピストンロッド９７が接続して設けられ、このピストンロッド９７の一端部側は、アクチュエータ本体９１の開口部９８に装着されるガイド部材９９を貫いてアクチュエータ本体９１の外部に突出されている。ここで、ピストンロッド９７の一端部側にはワークＷが装着されるようになっている。アクチュエータ本体９１の開口部９８に装着されるガイド部材９９は、略Ｃ字形状のスナップリング１００によって抜け止めされている。 A piston rod 97 is connected to one end portion of the drive piston 95, and the one end portion side of the piston rod 97 passes through a guide member 99 attached to the opening 98 of the actuator body 91, and the actuator body 91. Protrudes outside. Here, a workpiece W is mounted on one end portion side of the piston rod 97. The guide member 99 attached to the opening 98 of the actuator body 91 is prevented from coming off by a substantially C-shaped snap ring 100.

ガイド部材９９の外周にはＯリング１０１が装着されており、このＯリング１０１によってガイド部材９９とアクチュエータ本体９１との間をシール（密封）している。ガイド部材９９の内周にはパッキンシール１０２が装着されており、このパッキンシール１０２によってガイド部材９９とピストンロッド９７との間をシールしている。パッキンシール１０２の開口側は、高圧側となるシリンダ室９２の左側室９２ａ側に向けられている。 An O-ring 101 is mounted on the outer periphery of the guide member 99, and the guide member 99 and the actuator body 91 are sealed (sealed) by the O-ring 101. A packing seal 102 is attached to the inner periphery of the guide member 99, and the seal between the guide member 99 and the piston rod 97 is sealed by the packing seal 102. The opening side of the packing seal 102 is directed to the left chamber 92a side of the cylinder chamber 92 which is the high pressure side.

駆動ピストン９５の中空部３０に形成されるショックアブソーバ１０３は、上述した第２実施の形態におけるショックアブソーバ５２（図５参照）に対して、通路ブロック５６とスリーブブロック６２とを省略した簡易型となっており、減衰力の発生メカニズムは同様となっている。 The shock absorber 103 formed in the hollow portion 30 of the drive piston 95 is a simplified type in which the passage block 56 and the sleeve block 62 are omitted from the shock absorber 52 (see FIG. 5) in the second embodiment described above. The generation mechanism of the damping force is the same.

次に、以上のように構成される本発明の第５実施の形態に係るエアシリンダ９０の動作について説明する。 Next, the operation of the air cylinder 90 according to the fifth embodiment of the present invention configured as described above will be described.

図示しないコンプレッサや圧縮エアを貯留したエアタンク等の圧縮エア供給源から、例えば、シリンダ室９２の左側室９２ａに圧縮エアを供給すると、駆動ピストン９５は図中右方側へ駆動される。ここで、シリンダ室９２の右側室９２ｂ内のエアは、図示しないバルブ等を介して外部に排出される。このように、駆動ピストン９５がシリンダ室９２内を軸方向に向けて駆動されることによりピストンロッド９７が駆動され、よって、ワークＷを移動（往復動）することができる。 For example, when compressed air is supplied from a compressed air supply source such as a compressor or an air tank storing compressed air to the left chamber 92a of the cylinder chamber 92, the drive piston 95 is driven rightward in the drawing. Here, the air in the right chamber 92b of the cylinder chamber 92 is discharged to the outside through a valve or the like (not shown). Thus, the piston rod 97 is driven by driving the drive piston 95 in the cylinder chamber 92 in the axial direction, so that the workpiece W can be moved (reciprocated).

その後、駆動ピストン９５がシリンダ室９２内を摺動して図中右方側のストロークエンドまで移動すると、駆動ピストン９５の他端部側から突出したショックアブソーバ１０３の緩衝ロッド４０がエンドカバー９３に衝突することになる。緩衝ロッド４０がエンドカバー９３に衝突することにより、ショックアブソーバ１０３が減衰力を発生してピストンロッド９７の急停止が防止され、したがって、ワークＷを衝撃から保護することができる。 Thereafter, when the drive piston 95 slides in the cylinder chamber 92 and moves to the stroke end on the right side in the figure, the buffer rod 40 of the shock absorber 103 protruding from the other end side of the drive piston 95 is attached to the end cover 93. It will collide. When the buffer rod 40 collides with the end cover 93, the shock absorber 103 generates a damping force to prevent the piston rod 97 from being stopped suddenly. Therefore, the workpiece W can be protected from the impact.

ピストンロッド９７を図中左方側に移動するには、シリンダ室９２の左側室９２ａからバルブ等を介して圧縮エアを大気開放するとともに、シリンダ室９２の右側室９２ｂに圧縮エアを供給するようにする。すると、上記とは逆に、駆動ピストン９５は図中左方側へ駆動され、ワークＷを図中左方側に移動することができる。ここで、本実施形態におけるエアシリンダ９０においては、ワークＷの図中左方側への移動に対して、ピストンロッド９７の急停止を防止するショックアブソーバは備えていない。 In order to move the piston rod 97 to the left in the figure, the compressed air is released from the left chamber 92a of the cylinder chamber 92 to the atmosphere via a valve or the like, and the compressed air is supplied to the right chamber 92b of the cylinder chamber 92. To. Then, contrary to the above, the drive piston 95 is driven to the left side in the figure, and the workpiece W can be moved to the left side in the figure. Here, the air cylinder 90 in the present embodiment is not provided with a shock absorber that prevents the piston rod 97 from suddenly stopping when the workpiece W moves to the left side in the drawing.

以上のように構成される第５実施の形態に係るエアシリンダ９０においても、上述した第１実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。 Also in the air cylinder 90 according to the fifth embodiment configured as described above, the same operational effects as those of the first embodiment described above can be achieved.

ただし、第５実施の形態に係るエアシリンダ９０においては、エンドカバー９３と緩衝ロッド４０とが相互にメタルコンタクトする構成のものを示したが、メタルコンタクトによる異音の発生を防止すべく、例えば、エンドカバー９３のシリンダ室９２側や緩衝ロッド４０の突出側等に合成ゴム等よりなるバンパを装着するようにしても良い。また、上述した第１実施形態における調節ボルト２１（図２参照）を、エンドカバー９３に装着するようにしても良い。さらに、駆動ピストン９５に形成されるショックアブソーバを、ショックアブソーバ１０３に換えて、図３（第１実施の形態）や図５（第２実施の形態）に示すショックアブソーバ１９，５２とすることもできる。 However, in the air cylinder 90 according to the fifth embodiment, the end cover 93 and the buffer rod 40 are configured to be in metal contact with each other, but in order to prevent the generation of noise due to the metal contact, for example, Further, a bumper made of synthetic rubber or the like may be mounted on the cylinder chamber 92 side of the end cover 93, the protruding side of the buffer rod 40, or the like. Further, the adjustment bolt 21 (see FIG. 2) in the first embodiment described above may be attached to the end cover 93. Further, the shock absorber formed on the drive piston 95 may be replaced with the shock absorber 103 to be the shock absorbers 19 and 52 shown in FIG. 3 (first embodiment) and FIG. 5 (second embodiment). it can.

なお、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記各実施の形態においては、駆動源としてエアコンプレッサや圧縮エアが貯留されたエアタンク等から送られる圧縮エアを利用したものを示したが、本発明はこれに限らず、液圧ポンプ等から送られるオイル等の非圧縮性流体を用いて駆動するようにしても良い。この場合、非圧縮性流体であることから、シリンダ室内への流体の給排量を精度良く制御することにより、ワークの位置制御を高精度で行なうことができるようになる。 In addition, this invention is not limited to said each embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary. For example, in each of the above-described embodiments, an example is shown in which compressed air sent from an air compressor or an air tank in which compressed air is stored is used as a drive source. However, the present invention is not limited to this, and a hydraulic pump or the like You may make it drive using incompressible fluids, such as oil sent from. In this case, since the fluid is an incompressible fluid, the position control of the workpiece can be performed with high accuracy by accurately controlling the fluid supply / discharge amount into the cylinder chamber.

（ａ），（ｂ）は、本発明の第１実施の形態に係る流体圧アクチュエータを示す平面図および側面図である。(A), (b) is the top view and side view which show the fluid pressure actuator which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line of FIG.1 (b). 図２に示す駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged drive piston shown in FIG. 2. 第２実施の形態における図２に対応する断面図である。It is sectional drawing corresponding to FIG. 2 in 2nd Embodiment. 図４に示す駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which expands and shows the drive piston shown in FIG. 第３実施の形態における駆動ピストンを拡大して示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which expands and shows the drive piston in 3rd Embodiment. 第４実施の形態に係る流体圧アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the fluid pressure actuator which concerns on 4th Embodiment. 第５実施の形態に係る流体圧アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the fluid pressure actuator which concerns on 5th Embodiment. 従来技術における流体圧アクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the fluid pressure actuator in a prior art.

Explanation of symbols

１０，５０揺動型アクチュエータ（流体圧アクチュエータ）
１１，７１，９１アクチュエータ本体
１２テーブル
１３，７２，９２シリンダ室
１４ａ，１４ｂ，７３ａ，７３ｂ，９３エンドカバー（端壁）
１６ピニオン
１６ｂ歯部
１７，５１，６４，７４，９５駆動ピストン
１８ラック
１９，５２，１０３ショックアブソーバ
３０中空部
３９環状ピストン
４０緩衝ロッド
４１ロッドガイド（体積補償部）
５５アキュムレータ（体積補償部）
７０ロッドレスシリンダ（流体圧アクチュエータ）
７６スリット
７９ピストンヨーク
８１ピストンマウント
９０エアシリンダ（流体圧アクチュエータ）
９７ピストンロッド
９８開口部
９９ガイド部材
Ｓ微少隙間
Ｗワーク 10, 50 Swing type actuator (fluid pressure actuator)
11, 71, 91 Actuator body 12 Table 13, 72, 92 Cylinder chamber 14a, 14b, 73a, 73b, 93 End cover (end wall)
16 Pinion 16b Tooth part 17, 51, 64, 74, 95 Drive piston 18 Rack 19, 52, 103 Shock absorber 30 Hollow part 39 Annular piston 40 Buffer rod 41 Rod guide (volume compensation part)
55 Accumulator (Volume Compensation Unit)
70 Rodless cylinder (fluid pressure actuator)
76 Slit 79 Piston yoke 81 Piston mount 90 Air cylinder (fluid pressure actuator)
97 Piston rod 98 Opening 99 Guide member S Small gap W Workpiece

Claims

A fluid pressure actuator having an actuator body provided with an end wall, and reciprocating a drive piston incorporated in a cylinder chamber formed in the actuator body by supplying and discharging fluid to the cylinder chamber;
In the hollow portion formed in the drive piston, a shock absorber having a buffer rod protruding from the hollow portion into the cylinder chamber is provided,
The fluid pressure actuator according to claim 1, wherein a shock absorber rod of the shock absorber collides with the end wall.

2. The fluid pressure actuator according to claim 1, wherein the shock absorber is attached to the buffer rod and is reciprocally movable in the axial direction in a hollow portion formed in the drive piston to flow the liquid in the hollow portion. A fluid pressure actuator comprising: a buffer piston that generates a damping force; and a return spring that is provided in the hollow portion and returns the buffer rod to a position protruding into the cylinder chamber.

3. The fluid pressure actuator according to claim 1, wherein an adjustment bolt for adjusting a collision position of the buffer rod is provided on the end wall.

The fluid pressure actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein a pinion that meshes with a rack formed on the drive piston is rotatably attached to the actuator body, and a swing shaft provided on the pinion is provided. A fluid pressure actuator swinging by the drive piston.

The fluid pressure actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the actuator main body is provided with a slit extending in the axial direction and a piston yoke protruding outside through the slit is provided in the drive piston. A fluid pressure actuator having a piston mount mounted on a yoke.

The fluid pressure actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein a piston rod that protrudes from one end of the actuator body is provided on one end of the drive piston, and the other end of the drive piston A fluid pressure actuator characterized by protruding a buffer rod.