JP2008044170A - Liquid droplet jet head and liquid droplet jet device - Google Patents

Liquid droplet jet head and liquid droplet jet device Download PDF

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JP2008044170A JP2006220332A JP2006220332A JP2008044170A JP 2008044170 A JP2008044170 A JP 2008044170A JP 2006220332 A JP2006220332 A JP 2006220332A JP 2006220332 A JP2006220332 A JP 2006220332A JP 2008044170 A JP2008044170 A JP 2008044170A
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Yasushi Matsuno
靖史 松野
Akira Sano
朗 佐野
Masahiro Fujii
正寛 藤井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a miniaturized liquid droplet jet head of improve operation speed and quality. <P>SOLUTION: This liquid droplet jet head comprises a nozzle array, ejection chambers 2, 200, a plurality of common liquid droplet chambers 4, 3, 400, 300, diaphragms 7, 70, and a drive means. The plurality of common liquid droplet chambers 4, 3, 400, 300 form a lamination structure by laminating them. The plurality of ejection chambers 2, 200 are coupled to the common liquid droplet chambers 4, 3, 400, 300 to form a plurality of liquid droplet ejection sections w, x, y, z. The ejection chambers 2, 200 of each of the liquid droplet ejection sections w, x, y, z are arranged in a nozzle array direction, and nozzle holes 11, 110 communicating to the ejection chambers 2, 200 of each of the liquid droplet ejection sections w, x, y, z are arranged in a line. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge head and a droplet discharge device.

従来のインクジェットヘッドは、複数色の単色圧力室(吐出室)が所定の順序で配列されて圧力室ブロックを形成し、この圧力室ブロックがライン状に複数個配列され、多色圧力室を形成していた。この多色圧力室が含む各単色圧力室には、圧力室ブロックの配列方向と平行に配置されたインク色ごとの共通インク流路から、インク供給路を介して所定色のインクが供給される。このように、異なる色を吐出するノズルを交互に配置すると、印刷速度が向上し、印刷品質が向上する(例えば、特許文献1参照)。   In a conventional inkjet head, a plurality of single color pressure chambers (discharge chambers) are arranged in a predetermined order to form a pressure chamber block, and a plurality of pressure chamber blocks are arranged in a line to form a multicolor pressure chamber. Was. Each single color pressure chamber included in the multicolor pressure chamber is supplied with ink of a predetermined color via an ink supply path from a common ink flow path for each ink color arranged parallel to the arrangement direction of the pressure chamber blocks. . In this way, when nozzles that discharge different colors are alternately arranged, the printing speed is improved and the printing quality is improved (see, for example, Patent Document 1).

特開平7−329294号公報(第4−5頁、図2、図3)JP 7-329294 A (page 4-5, FIG. 2, FIG. 3)

従来のインクジェットヘッドでは、複数の共通インク室やそれに相当する流路をインクジェットヘッド内において並列に配置しているため、インクジェットヘッドを小型化する際の妨げとなっていた。また、従来のインクジェットヘッドでは、両方向印字として印刷を行う際、各色の組み合わせの順番が往路と復路で異なる場合があり、高品質化が困難であった。   In the conventional ink jet head, a plurality of common ink chambers and corresponding flow paths are arranged in parallel in the ink jet head, which hinders the downsizing of the ink jet head. Further, in the conventional inkjet head, when printing as bidirectional printing, the order of the combination of each color may be different between the forward path and the backward path, and it is difficult to improve the quality.

本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、操作速度及び品質が向上するとともに、小型化することが可能な液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to provide a droplet discharge head and a droplet discharge apparatus that can improve the operation speed and quality and can be downsized. To do.

本発明に係る液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に対して複数の前記吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列されるものである。
これにより、液滴吐出ヘッドの操作速度及び品質が向上するとともに、液滴吐出ヘッドの小型化が可能となる。液滴吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合は、インクジェットヘッドを走査する際、ノズル列が1列であるので、往路と復路で色の重ね方が同じであり、両方向印字でも高印字品質となる。また、高精度に着弾液滴(異なる色のインク滴)を重ねることができる。
A droplet discharge head according to the present invention includes a nozzle row including a plurality of nozzle holes, a plurality of discharge chambers communicating with the respective nozzle holes, and a plurality of discharge chambers connected to the discharge chambers and supplying liquid to the discharge chambers. A common droplet chamber; a diaphragm formed on a bottom surface of the discharge chamber; and driving means for displacing the diaphragm to discharge the liquid in the discharge chamber from the nozzle hole. The droplet chambers have a laminated structure formed by stacking, and a plurality of discharge chambers are formed in communication with each common droplet chamber to form a plurality of droplet discharge portions. The chambers are arranged in the nozzle row direction, and the nozzle holes communicating with the respective discharge chambers of the respective droplet discharge portions are arranged in a row.
Thereby, the operation speed and quality of the droplet discharge head are improved, and the droplet discharge head can be downsized. When the droplet discharge head is an ink jet head, since the nozzle row is one when scanning the ink jet head, the color overlap is the same in the forward pass and the return pass, and high print quality is obtained even in bidirectional printing. In addition, landing droplets (ink droplets of different colors) can be stacked with high accuracy.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部がノズル列の両側に配設されて2列の向かい合う吐出室を構成すると共に、前記液滴吐出部の向かい合う前記吐出室が千鳥に配置されたものである。
これにより、共通液滴室が積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に異なる液滴が供給される構造であり、向かい合う液滴吐出部の一方の列に配置された吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
In the droplet discharge head according to the present invention, the droplet discharge portions are arranged on both sides of the nozzle row to form two rows of discharge chambers facing each other, and the discharge chambers facing the droplet discharge portions are staggered. Is arranged.
Thereby, the common droplet chamber has a stacked structure, and different droplets are supplied to the respective common droplet chambers. With respect to the discharge chambers arranged in one row of the opposite droplet discharge portions, Each droplet can be supplied alternately.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の両側でそれぞれ2層の積層構造を形成するものである。
これにより、2つの共通液滴室が積層構造とされ、それぞれに異なる液滴が供給される構造であり、向かい合う2列の液滴吐出部の一方の列に配置された吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
In the droplet discharge head according to the present invention, the common droplet chamber of the droplet discharge portion forms a two-layered structure on each side of the nozzle row.
Thereby, the two common droplet chambers have a stacked structure, and different droplets are supplied to each of them. With respect to the discharge chambers arranged in one row of the two droplet discharge portions facing each other, Each droplet can be supplied alternately.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部がノズル列の一方の側に配設されて1列の吐出室を構成するものである。
これにより、共通液滴室が積層構造として一方の側に配置され、共通液滴室のそれぞれに異なる液滴が供給される構造であり、液滴吐出部の一の吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
In the liquid droplet ejection head according to the present invention, the liquid droplet ejection section is disposed on one side of the nozzle row to constitute a row of ejection chambers.
As a result, the common droplet chamber is arranged on one side as a stacked structure, and different droplets are supplied to each of the common droplet chambers. Each droplet can be supplied to the.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の一方の側で4層の積層構造を形成するものである。
これにより、4つの共通液滴室が積層構造とされ、それぞれに異なる液滴が供給される構造であり、液滴吐出部の一の吐出室に対して、交互にそれぞれの液滴を供給することができる。
In the droplet discharge head according to the present invention, the common droplet chamber of the droplet discharge portion forms a four-layer laminated structure on one side of the nozzle row.
As a result, the four common droplet chambers have a stacked structure, and different droplets are supplied to each of them, and each droplet is alternately supplied to one discharge chamber of the droplet discharge section. be able to.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、異なる種類の液体が前記それぞれの液滴吐出部の共通液滴室に供給され、それぞれの共通液滴室より該共通液滴室に対応する吐出室に供給されてそれぞれの吐出室に対応するノズル孔より吐出され、異なる液体のドットが前記ノズル列方向に順次形成されるものである。
これにより、液滴吐出装置がインクジェットヘッドである場合、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、両方向印字でも高印字品質となる。また、高精度に異なる色のインク滴を重ねることができる。
In the droplet discharge head according to the present invention, different types of liquids are supplied to the common droplet chambers of the respective droplet discharge portions, and the discharge chambers corresponding to the common droplet chambers from the respective common droplet chambers. Are discharged from nozzle holes corresponding to the respective discharge chambers, and different liquid dots are sequentially formed in the nozzle row direction.
As a result, when the droplet discharge device is an inkjet head, the color superposition method is the same in the forward pass and the return pass, and high print quality is obtained even in bidirectional printing. In addition, ink droplets of different colors can be superimposed with high accuracy.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、第1の液滴吐出部及び第2の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、第3の液滴吐出部及び第4の液滴吐出部が前記ノズル列の他方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第1の液滴吐出部の吐出室、第3の液滴吐出部の吐出室、第2の液滴吐出部の吐出室、第4の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第1の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第1の液が吐出され、前記第3の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第3の液が吐出され、前記第2の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第2の液が吐出され、前記第4の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第4の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成するものである。
これにより、液滴吐出装置がインクジェットヘッドである場合、4色のノズル配色に上記のノズル配置をして、高印字品質で、高精度に色を重ねることができる。ヘッド走査を両方向印字として印刷の高速化を行う場合、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で異なると、印字品質が十分でなくなり、色の重なりの精度が低下するが、本発明では、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で同じなので、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、上記のような問題は生じない。
In the droplet discharge head according to the present invention, the first droplet discharge portion and the second droplet discharge portion are arranged on one side of the nozzle row, and the third droplet discharge portion and the fourth droplet discharge portion are arranged. A droplet discharge portion is disposed on the other side of the nozzle row, and these are in the nozzle row direction, the discharge chamber of the first droplet discharge portion, the discharge chamber of the third droplet discharge portion, and the second droplet The discharge chamber of the discharge unit and the discharge chamber of the fourth droplet discharge unit are repeatedly arranged in this order, the first liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the first droplet discharge unit, and the third liquid is discharged. The third liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the droplet discharge section, the second liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the second droplet discharge section, and the fourth droplet discharge section The fourth liquid is discharged from the nozzle holes of the discharge chambers, and the discharge liquid discharged from these nozzle holes is repeated in the order of arrangement of the discharge chambers in the nozzle row direction. And it forms a dot rows.
As a result, when the droplet discharge device is an ink jet head, the above-described nozzle arrangement can be arranged in four color nozzle arrangements, and the colors can be superimposed with high print quality and high accuracy. When speeding up printing with head scanning as bidirectional printing, if the order of superimposing colors differs between the forward path and the backward path, the print quality will be insufficient and the accuracy of color superposition will be reduced. Since the order of superimposing is the same in the forward path and the backward path, the color superposition is the same in the scanning forward path and the backward path, and the above problem does not occur.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、第1の液滴吐出部、第2の液滴吐出部、第3の液滴吐出部及び第4の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第1の液滴吐出部の吐出室、第2の液滴吐出部の吐出室、第3の液滴吐出部の吐出室及び第4の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第1の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第1の液が吐出され、前記第2の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第2の液が吐出され、前記第3の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第3の液が吐出され、前記第4の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第4の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成するものである。
これにより、液滴吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合、4色のノズル配色に上記のノズル配置をして、高印字品質で、高精度に色を重ねることができる。
ヘッド走査を両方向印字として印刷の高速化を行う場合、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で異なると、印字品質が十分でなくなり、色の重なりの精度が低下するが、本発明では、各色の重ね合わせの順番が往路と復路で同じなので、走査の往路と復路で色の重ね方が同じであり、上記のような問題は生じない。
In the droplet discharge head according to the present invention, the first droplet discharge portion, the second droplet discharge portion, the third droplet discharge portion, and the fourth droplet discharge portion may be one of the nozzle rows. These are arranged on the side, and these are the discharge chamber of the first droplet discharge portion, the discharge chamber of the second droplet discharge portion, the discharge chamber of the third droplet discharge portion, and the fourth droplet in the nozzle row direction. Repeatedly arranged in the order of the discharge chambers of the discharge unit, the first liquid is discharged from the nozzle holes of the discharge chamber of the first droplet discharge unit, and from the nozzle holes of the discharge chamber of the second droplet discharge unit The second liquid is discharged, the third liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the third droplet discharge section, and the fourth liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the fourth droplet discharge section. Is discharged, and the discharge liquid discharged from these nozzle holes forms a dot row in which the discharge chambers are repeated in the arrangement order of the discharge chambers in the nozzle row direction.
As a result, when the droplet discharge head is an inkjet head, the above-described nozzle arrangement can be arranged in four color nozzle arrangements so that colors can be superimposed with high print quality and high accuracy.
When speeding up printing with head scanning as bidirectional printing, if the order of superimposing colors differs between the forward path and the backward path, the print quality will be insufficient and the accuracy of color superposition will be reduced. Since the order of superimposing is the same in the forward path and the backward path, the color superposition is the same in the scanning forward path and the backward path, and the above problem does not occur.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、前記積層された共通液滴室の間にダイアフラムが設けられたものである。
これにより、液滴吐出ヘッドの共通液滴室間の圧力干渉を防止することができる。
In the droplet discharge head according to the present invention, a diaphragm is provided between the stacked common droplet chambers.
Thereby, pressure interference between the common droplet chambers of the droplet discharge head can be prevented.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、フェイスイジェクトタイプである。
これにより、液滴吐出ヘッドの薄板化が可能となる。
The droplet discharge head according to the present invention is a face eject type.
This makes it possible to reduce the thickness of the droplet discharge head.

また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、エッジイジェクトタイプである。
これにより、液滴吐出ヘッドのノズル面平面形状の小型化が可能となる。また、ノズル連通流路が不要となり、流路抵抗を低減することが可能となる。
The droplet discharge head according to the present invention is an edge eject type.
As a result, the planar shape of the nozzle surface of the droplet discharge head can be reduced. Further, the nozzle communication channel is not necessary, and the channel resistance can be reduced.

本発明に係る液滴吐出装置は、複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、それぞれの共通液滴室に対して複数の前記吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列された液滴吐出ヘッドを備えたものである。
これにより、操作速度及び品質(印刷速度及び印刷品質)が向上するとともに、小型化した液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することができる。
A droplet discharge device according to the present invention includes a plurality of nozzle rows including a plurality of nozzle holes, a plurality of discharge chambers communicating with the respective nozzle holes, and a plurality of discharge chambers connected to the discharge chambers and supplying liquid to the discharge chambers. A common droplet chamber; a diaphragm formed on a bottom surface of the discharge chamber; and driving means for displacing the diaphragm to discharge the liquid in the discharge chamber from the nozzle hole. The droplet chambers have a laminated structure formed by stacking, and a plurality of discharge chambers are formed in communication with each common droplet chamber to form a plurality of droplet discharge portions. A chamber is arranged in the nozzle row direction, and includes a droplet discharge head in which nozzle holes communicating with the discharge chambers of the droplet discharge portions are arranged in a row.
As a result, the operation speed and quality (printing speed and printing quality) can be improved, and a liquid droplet ejection apparatus including a miniaturized liquid droplet ejection head can be provided.

実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1に係るインクジェットヘッドの要部を示す分解斜視図、図2は図1に示したインクジェットヘッドの組み立て状態の平面説明図、図3は図2をイ−イ線で切断した状態の縦断面図である。なお、図1の分解斜視図は、図の手前側及び右側を一部省略した状態で示してある。
図1〜図3において、インクジェットヘッドは、ノズル基板10、リザーバ基板20、キャビティ基板30及び電極基板40の4つの基板を、この順に貼り合わせて4層構造としたものである。
以下、各基板の構成について詳述する。なお、説明にあっては、インクジェットヘッドのノズル列の一方の側(図1の奥側あるいは図2の右側に位置してインク圧力室を含んだ第1の列部A側)、及び他方の側(図1の手前側あるいは図2の左側に位置してインク圧力室を含んだ第2の列部B側)に分けて説明する。
Embodiment 1 FIG.
1 is an exploded perspective view showing an essential part of an ink jet head according to Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is an explanatory plan view of the assembled state of the ink jet head shown in FIG. 1, and FIG. It is a longitudinal cross-sectional view of the state cut | disconnected by the line. In addition, the exploded perspective view of FIG. 1 is shown in a state in which the front side and the right side of the drawing are partially omitted.
1 to 3, the inkjet head has a four-layer structure in which four substrates, a nozzle substrate 10, a reservoir substrate 20, a cavity substrate 30, and an electrode substrate 40 are bonded together in this order.
Hereinafter, the configuration of each substrate will be described in detail. In the description, one side of the nozzle row of the inkjet head (the first row A side including the ink pressure chamber located on the back side in FIG. 1 or the right side in FIG. 2) and the other side This will be described separately on the side (the second row B side including the ink pressure chamber located on the near side in FIG. 1 or the left side in FIG. 2).

ノズル基板10はシリコン材から作製されている。ノズル基板10には多数のノズル孔11、110が所定の間隔(隣接するノズル孔が同じピッチで、以下1ピッチということがある)で一列に配設され、基板面に対し垂直に貫通されている。一列に配置されたノズル列の第1の列部A側に属するノズル孔11(第1のノズル孔11a,第2のノズル孔11b,第3のノズル孔11c,第4のノズル孔11d・・)と、ノズル列の第2の列部B側に属するノズル孔110(第1のノズル孔110a、第2のノズル孔110b,第3のノズル孔110c,第4のノズル孔110d・・)とは、直線上に交互に配置されている。すなわち、全体として、第1のノズル孔11a,第1のノズル孔110a、第2のノズル孔11b,第2のノズル孔110b,第3のノズル孔11c,第3のノズル孔110c,第4のノズル孔11d、第4のノズル孔110d・・の順に配置されている。そして、ノズル孔11を備えた第1の列部Aと、ノズル孔110を備えた第2の列部Bとは、ノズル列の両側に向かい合って配置されている。
なお、ノズル基板10には、第1のリザーバ(第1の共通インク室または共通液滴室)(後述)の上面位置に、吐出室(後述)間の圧力干渉を防止するための第1のダイアフラム12、第2のダイアフラム(図示せず)が設けられている。
The nozzle substrate 10 is made of a silicon material. A large number of nozzle holes 11 and 110 are arranged in the nozzle substrate 10 at a predetermined interval (adjacent nozzle holes are the same pitch, hereinafter may be referred to as one pitch) and penetrated perpendicularly to the substrate surface. Yes. Nozzle holes 11 (first nozzle hole 11a, second nozzle hole 11b, third nozzle hole 11c, fourth nozzle hole 11d,... Belonging to the first row portion A side of the nozzle rows arranged in a row. ), And nozzle holes 110 (first nozzle hole 110a, second nozzle hole 110b, third nozzle hole 110c, fourth nozzle hole 110d...) Belonging to the second row portion B side of the nozzle row, Are alternately arranged on a straight line. That is, as a whole, the first nozzle hole 11a, the first nozzle hole 110a, the second nozzle hole 11b, the second nozzle hole 110b, the third nozzle hole 11c, the third nozzle hole 110c, and the fourth The nozzle holes 11d and the fourth nozzle holes 110d are arranged in this order. And the 1st row part A provided with nozzle hole 11 and the 2nd row part B provided with nozzle hole 110 are arranged facing both sides of a nozzle row.
The nozzle substrate 10 includes a first reservoir for preventing pressure interference between discharge chambers (described later) at the upper surface position of a first reservoir (first common ink chamber or common droplet chamber) (described later). A diaphragm 12 and a second diaphragm (not shown) are provided.

リザーバ基板20はシリコン材から作製されている。リザーバ基板20の第1の列部A側には、リザーバ基板20を垂直に貫通し、ノズル基板10に設けたノズル孔11(第1のノズル孔11a,第2のノズル孔11b,第3のノズル孔11c,第4のノズル孔11d・・・)にそれぞれ独立して連通するこれらのノズル孔11よりも少し大きい径のノズル連通流路21(第1のノズル連通流路21a,第2のノズル連通流路21b,第3のノズル連通流路21c,第4のノズル連通流路21d・・・)が設けられている。   The reservoir substrate 20 is made of a silicon material. On the first row portion A side of the reservoir substrate 20, the reservoir substrate 20 is vertically penetrated, and nozzle holes 11 (first nozzle holes 11 a, second nozzle holes 11 b, and third nozzles) provided in the nozzle substrate 10 are provided. The nozzle communication channel 21 (the first nozzle communication channel 21a, the second nozzle channel 11a, the second nozzle hole 11d,...) Having a slightly larger diameter than the nozzle holes 11 communicating independently with each other. A nozzle communication channel 21b, a third nozzle communication channel 21c, a fourth nozzle communication channel 21d,...) Are provided.

リザーバ基板20の第2の列部B側には、リザーバ基板20を垂直に貫通し、ノズル基板10に設けたノズル孔110(第1のノズル孔110a,第2のノズル孔110b,第3のノズル孔110c,第4のノズル孔110d・・・)にそれぞれ独立して連通するこれらのノズル孔110よりも少し大きい径のノズル連通流路210(第1のノズル連通流路210a,第2のノズル連通流路210b,第3の連通流路210c,第4の連通流路210d・・・)が設けられている。
なお、リザーバ基板20を貫通するノズル連通流路21、210は、ノズル基板10のノズル孔11、110とそれぞれ同軸上に設けられ、これによってインク滴が吐出する際に直進性が得られる。
On the second row portion B side of the reservoir substrate 20, the reservoir substrate 20 is vertically penetrated, and the nozzle holes 110 (the first nozzle hole 110 a, the second nozzle hole 110 b, the third nozzle hole 110 provided in the nozzle substrate 10 are provided. The nozzle communication channel 210 (the first nozzle communication channel 210a, the second nozzle communication channel 210a, the second nozzle hole 110d,...) Having a slightly larger diameter than the nozzle holes 110 communicating independently with each other. Nozzle communication channel 210b, third communication channel 210c, fourth communication channel 210d,...) Are provided.
Note that the nozzle communication channels 21 and 210 penetrating the reservoir substrate 20 are provided coaxially with the nozzle holes 11 and 110 of the nozzle substrate 10, respectively, so that straightness is obtained when ink droplets are ejected.

また、リザーバ基板20の第1の列部A側には、ノズル連通流路21の一部(一つおきに配置される第1のノズル連通流路21a、第3のノズル連通流路21c・・・)が、キャビテイ基板30に設けられた吐出室2になる吐出凹部31の一部(一つおきに配置された第1の吐出凹部31a、第3の吐出凹部31c・・・)を介して連通する、第1のリザーバ(第1の共通インク室)3となる第1のリザーバ凹部22が形成されている。   Further, on the first row portion A side of the reservoir substrate 20, a part of the nozzle communication channel 21 (the first nozzle communication channel 21a, the third nozzle communication channel 21c. ..) Through a part of the discharge recesses 31 (the first discharge recesses 31a, the third discharge recesses 31c,... Arranged alternately) that become the discharge chambers 2 provided in the cavity substrate 30. A first reservoir recess 22 is formed which serves as a first reservoir (first common ink chamber) 3 communicating with each other.

第1のリザーバ3になる第1のリザーバ凹部22の底壁には、吐出室2の一部(吐出室2になる第1の吐出凹部31a、第3の吐出凹部31c・・・)にインクを供給するための供給口5(供給口5a・・・)と、外部から第1のリザーバ3にインクを供給するための第1のインク供給孔6の一部になる供給孔とが貫通されている。
なお、リザーバ基板20の第1のリザーバ凹部22の下面には、キャビティ基板30との接合面側が断面凹状に形成され、ダイアフラム23を形成する凹部23aが設けられている。
On the bottom wall of the first reservoir recess 22 that becomes the first reservoir 3, ink is applied to a part of the discharge chamber 2 (the first discharge recess 31 a that becomes the discharge chamber 2, the third discharge recess 31 c...). Supply port 5 (supply port 5a...) And a supply hole that is a part of the first ink supply hole 6 for supplying ink from the outside to the first reservoir 3 are penetrated. ing.
Note that, on the lower surface of the first reservoir concave portion 22 of the reservoir substrate 20, a concave surface 23 a that forms a diaphragm 23 is provided in which the joint surface side with the cavity substrate 30 is formed in a concave shape in cross section.

また、リザーバ基板20の第2の列部B側には、第1の列部A側と同様に、ノズル連通流路210の一部(一つおきに配置される第1のノズル連通流路210a、第3のノズル連通流路210c・・・)が、キャビテイ基板30に設けられた吐出室200になる吐出凹部310の一部(一つおきに配置された第1の吐出凹部310a、第3の吐出凹部310c・・・)(後述)を介して連通する、第1のリザーバ(第1の共通インク室)300となる第1のリザーバ凹部220が形成されている。   Further, on the second row portion B side of the reservoir substrate 20, similarly to the first row portion A side, a part of the nozzle communication flow path 210 (first nozzle communication flow paths arranged every other one). 210a, the third nozzle communication flow path 210c... Are part of the discharge recesses 310 that become the discharge chambers 200 provided in the cavity substrate 30 (the first discharge recesses 310a, the second discharge recesses 310a, the second discharge recesses 310a, and the like). 3, the first reservoir recess 220 serving as the first reservoir (first common ink chamber) 300 is formed.

第1のリザーバ300になる第1のリザーバ凹部220の底壁には、吐出室200の一部(吐出室200になる第1の吐出凹部310a、第3の吐出凹部310c・・・)にインクを供給するための第1のインク供給孔60の一部になる供給孔とが貫通されている。
なお、リザーバ基板20の第1のリザーバ凹部220の下面には、第1の列部A側と同様にキャビティ基板30との接合面側が断面凹状に形成されており、ダイアフラムを形成する凹部(図示せず)が設けられている。
リザーバ基板20の全面にはインクによるシリコンの腐食を防ぐために、例えば熱酸化膜(SiO2 膜)からなるインク保護膜が形成されている(図示せず)。
On the bottom wall of the first reservoir recess 220 serving as the first reservoir 300, ink is applied to a part of the discharge chamber 200 (the first discharge recess 310a, the third discharge recess 310c... Serving as the discharge chamber 200). A supply hole which is a part of the first ink supply hole 60 for supplying the ink is penetrated.
Note that the lower surface of the first reservoir recess 220 of the reservoir substrate 20 is formed with a concave cross section on the joint surface side with the cavity substrate 30 in the same manner as the first row A side, and the recess (FIG. Not shown).
An ink protective film made of, for example, a thermal oxide film (SiO 2 film) is formed on the entire surface of the reservoir substrate 20 in order to prevent silicon corrosion due to ink (not shown).

キャビティ基板30はシリコン材から作製されている。キャビテイ基板30の第1の列部A側には、リザーバ基板20のノズル連通流路21(第1のノズル連通流路21a、第2のノズル連通流路21b、第3のノズル連通流路21c、第4の連通流路21d・・・)のそれぞれに独立して連通する吐出室2(第1の吐出室2a、第2の吐出室2b、第3の吐出室2c、第4の吐出室2d・・・)となる吐出凹部31(第1の吐出凹部31a,第2の吐出凹部31b,第3の吐出凹部31c,第4の吐出凹部31d・・・)が設けられている。   The cavity substrate 30 is made of a silicon material. On the first row portion A side of the cavity substrate 30, the nozzle communication channel 21 (first nozzle communication channel 21a, second nozzle communication channel 21b, third nozzle communication channel 21c of the reservoir substrate 20 is provided. , The fourth communication flow path 21d, and the discharge chamber 2 (the first discharge chamber 2a, the second discharge chamber 2b, the third discharge chamber 2c, and the fourth discharge chamber) that communicate with each other independently. 2d..., Which is a discharge recess 31 (first discharge recess 31a, second discharge recess 31b, third discharge recess 31c, fourth discharge recess 31d...).

吐出凹部31の底壁には振動板7が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。振動板7をボロン拡散層とすることにより、ウエットエッチングでのエッチングストップを十分に働かせることができるので、振動板7の厚みや面荒れを精度よく調整することができる。   The diaphragm 7 is provided on the bottom wall of the discharge recess 31 and is constituted by a boron diffusion layer formed by diffusing high-concentration boron into silicon. Since the diaphragm 7 is made of a boron diffusion layer, the etching stop in the wet etching can be sufficiently performed, so that the thickness and surface roughness of the diaphragm 7 can be adjusted with high accuracy.

吐出凹部31の一部(一つおきに配置された第2の吐出凹部31b、第4の吐出凹部31d・・・)に対しては、供給口32を介して連通する第2のリザーバ(第2の共通インク室または共通液滴室)4になる第2のリザーバ凹部33が形成されている。
なお、第2のリザーバ凹部33の底壁には、外部から第2のリザーバ凹部33にインクを供給するための第2のインク供給孔34の一部となる供給孔が貫通されている。
A part of the discharge recesses 31 (second discharge recesses 31b, fourth discharge recesses 31d, etc. arranged every other one) is connected to the second reservoir (the second reservoir) via the supply port 32. The second reservoir recess 33 is formed to be the second common ink chamber or the common droplet chamber 4).
A supply hole that is a part of the second ink supply hole 34 for supplying ink from the outside to the second reservoir recess 33 is passed through the bottom wall of the second reservoir recess 33.

また、第1の列部A側の吐出凹部31の他の部分(第2の吐出凹部31b、第4の吐出凹部31c・・・に対して一つおきに配置された第1の吐出凹部31a、第3の吐出凹部31d・・・)は、先のリザーバ基板20に設けた第1のリザーバ凹部22と供給口5(5a、5c・・・)を介して連通している。   Further, the first discharge recesses 31a are disposed alternately with respect to the other portions of the discharge recesses 31 on the first row A side (second discharge recesses 31b, fourth discharge recesses 31c,... , And the third discharge recess 31d... Communicate with the first reservoir recess 22 provided in the previous reservoir substrate 20 via the supply ports 5 (5a, 5c...).

キャビテイ基板30の第2の列部B側には、リザーバ基板20のノズル連通流路210(第1の連通流路210a、第2の連通流路210b、第3の連通流路210c、第4の連通流路210d・・・)のそれぞれに独立して連通する吐出室200(第1の吐出室200a、第2の吐出室200b、第3の吐出室200c、第4の吐出室200d・・・)となる吐出凹部310(第1の吐出凹部310a,第2の吐出凹部310b,第3の吐出凹部310c,第4の吐出凹部310d・・・)が設けられている。
吐出凹部310の底壁には振動板70が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。
On the side of the second row B of the cavity substrate 30, the nozzle communication channel 210 (first communication channel 210a, second communication channel 210b, third communication channel 210c, fourth channel of the reservoir substrate 20 is provided. Of the communication flow paths 210d... Independently communicated with each other (first discharge chamber 200a, second discharge chamber 200b, third discharge chamber 200c, fourth discharge chamber 200d,...). The discharge recess 310 (first discharge recess 310a, second discharge recess 310b, third discharge recess 310c, fourth discharge recess 310d,...) Is provided.
A diaphragm 70 is provided on the bottom wall of the discharge recess 310, and is constituted by a boron diffusion layer formed by diffusing high-concentration boron into silicon.

吐出凹部310の一部(一つおきに配置された第2の吐出凹部310b、第4の吐出凹部310d・・・)に対しては、供給口320を介して連通する第2のリザーバ(第2の共通インク室または共通液滴室)400になる第2のリザーバ凹部330が形成されている。
なお、第2のリザーバ凹部330の底壁には、外部から第2のリザーバ凹部330にインクを供給するための第2のインク供給孔340の一部となる供給孔が貫通されている。
A part of the discharge recesses 310 (the second discharge recesses 310b, the fourth discharge recesses 310d, etc. arranged every other one) is connected to the second reservoir (the first reservoir) via the supply port 320. A second reservoir recess 330 is formed which becomes the second common ink chamber or common droplet chamber 400).
A supply hole that is a part of the second ink supply hole 340 for supplying ink from the outside to the second reservoir recess 330 is passed through the bottom wall of the second reservoir recess 330.

吐出凹部310の他の部分(第2の吐出凹部310b、第4の吐出凹部310d・・・に対して一つおきに配置された第1の吐出凹部310a、第3の吐出凹部310d・・・)は、リザーバ基板20に設けた第1のリザーバ凹部200と供給口50(50a、50c・・・)を介して連通している。   Other portions of the discharge recesses 310 (the first discharge recesses 310a, the third discharge recesses 310d, etc. arranged alternately with respect to the second discharge recesses 310b, the fourth discharge recesses 310d,...). ) Communicates with the first reservoir recess 200 provided in the reservoir substrate 20 via the supply ports 50 (50a, 50c...).

キャビティ基板30の下面には、例えばTEOS(Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane:テトラエトキシシラン、珪酸エチル)を原料としたプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法)によるSiO2 膜からなる絶縁膜が形成されている(図示せず)。この絶縁膜は、インクジェットヘッドの駆動時における絶縁破壊や短絡を防止するために設けられている。一方、キャビティ基板30の上面には、リザーバ基板20と同様のインク保護膜(図示せず)が形成されている。
キャビティ基板30には、第1の列部A側の第1のリザーバ3にインクを供給する第1のインク供給孔6の一部になる供給孔が設けられ、第2の列部B側の第1のリザーバ300にインクを供給する第1のインク供給孔60の一部になる供給孔が設けられている。
On the lower surface of the cavity substrate 30, for example, an insulating film made of SiO 2 film is formed by plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) using TEOS (Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane) as a raw material. (Not shown). This insulating film is provided in order to prevent dielectric breakdown and short circuit when the ink jet head is driven. On the other hand, an ink protective film (not shown) similar to the reservoir substrate 20 is formed on the upper surface of the cavity substrate 30.
The cavity substrate 30 is provided with a supply hole that becomes a part of the first ink supply hole 6 that supplies ink to the first reservoir 3 on the first row portion A side, and on the second row portion B side. A supply hole that is a part of the first ink supply hole 60 that supplies ink to the first reservoir 300 is provided.

リザーバ基板20の第1の列部A側の第1のリザーバ凹部22の下部に形成された前述の凹部23aは、キャビティ基板30の第2のリザーバ凹部33の開口側に位置しており、吐出室間の圧力干渉を防止するための第2のダイアフラム23を形成している。
また、リザーバ基板20の第2の列部B側の第1のリザーバ凹部220の下部に形成された前述の凹部(図示せず)は、キャビティ基板30の第2のリザーバ凹部330の開口側に位置しており、吐出室間の圧力干渉を防止するための第2のダイアフラム(図示せず)を形成している。これらのダイアフラム23等は、リザーバ基板20の裏面からのドライエッチングによってその厚みを調整することができる。
The aforementioned recess 23 a formed in the lower portion of the first reservoir recess 22 on the first row A side of the reservoir substrate 20 is located on the opening side of the second reservoir recess 33 of the cavity substrate 30, and is ejected. A second diaphragm 23 for preventing pressure interference between the chambers is formed.
The aforementioned recess (not shown) formed in the lower portion of the first reservoir recess 220 on the second row B side of the reservoir substrate 20 is located on the opening side of the second reservoir recess 330 of the cavity substrate 30. It forms a second diaphragm (not shown) for preventing pressure interference between the discharge chambers. The thickness of these diaphragms 23 and the like can be adjusted by dry etching from the back surface of the reservoir substrate 20.

電極基板40はガラス材から作製されている。なかでも、キャビティ基板30のシリコン材と熱膨張係数の近い硼珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いるのが適している。硼珪酸系の耐熱硬質ガラスを用いることにより、電極基板40とキャビティ基板30を陽極接合する際、両基板の熱膨張係数が近いため、電極基板40とキャビティ基板30との間に生じる応力を低減することができ、その結果、剥離等の問題を生じることなく、電極基板40とキャビティ基板30を強固に接合することができる。   The electrode substrate 40 is made of a glass material. Among them, it is suitable to use a borosilicate heat-resistant hard glass having a thermal expansion coefficient close to that of the silicon material of the cavity substrate 30. By using borosilicate heat-resistant hard glass, the stress generated between the electrode substrate 40 and the cavity substrate 30 is reduced when the electrode substrate 40 and the cavity substrate 30 are anodically bonded because the thermal expansion coefficients of both substrates are close. As a result, the electrode substrate 40 and the cavity substrate 30 can be firmly bonded without causing problems such as peeling.

電極基板40の第1の列部A側には、キャビティ基板30の振動板7に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部41が設けられ、電極基板40の第2の列部B側には、キャビティ基板30の振動板70に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部410が設けられ、これらはエッチングにより形成されている。
第1の列部A側の電極凹部41(41a、41b・・・)の底面、及び第2の列部Bの電極凹部410(410a、410b・・・)の底面には、それぞれ、ITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)からなる個別電極8(8a、8b・・・)、及び個別電極80(80a、80b・・・)が、スパッタにより形成されている。したがって、第1の列部A側の振動板7と個別電極8、及び第2の列部B側の振動板70と個別電極80の間に形成されるエアギャップG(空隙)は、第1の列部A側の電極凹部41の深さと個別電極8の厚みにより、及び第2の列部B側の電極凹部410の深さと個別電極80の厚みにより決まることになる。このエアギャップGは、インクジェットヘッド1の吐出特性に大きく影響する。このエアギャップGの開放端部は、エポキシ接着剤等からなる封止材(図示せず)により気密に封止されている。
On the first row portion A side of the electrode substrate 40, electrode concave portions 41 are respectively provided at positions on the surface of the cavity substrate 30 facing the diaphragm 7, and on the second row portion B side of the electrode substrate 40, Electrode recesses 410 are respectively provided at positions on the surface of the cavity substrate 30 facing the vibration plate 70, and these are formed by etching.
On the bottom surface of the electrode recess 41 (41a, 41b ...) on the first row A side and the bottom surface of the electrode recess 410 (410a, 410b ...) on the second row B, ITO ( The individual electrodes 8 (8a, 8b...) And the individual electrodes 80 (80a, 80b...) Made of Indium Tin Oxide are formed by sputtering. Therefore, the air gap G (gap) formed between the diaphragm 7 and the individual electrode 8 on the first row A side and the diaphragm 70 and the individual electrode 80 on the second row B side is the first. The depth of the electrode recess 41 on the column A side and the thickness of the individual electrode 8, and the depth of the electrode recess 410 on the second column B side and the thickness of the individual electrode 80 are determined. The air gap G greatly affects the ejection characteristics of the inkjet head 1. The open end of the air gap G is hermetically sealed with a sealing material (not shown) made of an epoxy adhesive or the like.

第1の列部A側の個別電極8の端子部85は、リザーバ基板20およびキャビティ基板30の端部が開口された電極取り出し部9側に露出しており、電極取り出し部9において、例えばドライバIC等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板(図示せず)が、各個別電極8の端子部85と、キャビティ基板30の端部に設けられた共通電極35とに接続されている。
第2の列部B側の個別電極80の端子部(図示せず)は、リザーバ基板20およびキャビティ基板30の端部が開口された電極取り出し部(図示せず)側に露出しており、電極取り出し部において、例えばドライバIC等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板(図示せず)が、各個別電極80の端子部(図示せず)と、キャビティ基板30の端部に設けられた共通電極(図示せず)とに接続されている。
また、電極基板40には、インクカートリッジ(図示せず)に接続されるインクの供給孔6,34の一部を構成する孔部が設けられている。
The terminal portion 85 of the individual electrode 8 on the first row portion A side is exposed to the electrode extraction portion 9 side where the end portions of the reservoir substrate 20 and the cavity substrate 30 are opened. A flexible wiring board (not shown) on which a drive control circuit such as an IC is mounted is connected to the terminal portion 85 of each individual electrode 8 and the common electrode 35 provided at the end of the cavity substrate 30.
The terminal portions (not shown) of the individual electrodes 80 on the second row portion B side are exposed to the electrode extraction portion (not shown) side where the end portions of the reservoir substrate 20 and the cavity substrate 30 are opened, In the electrode extraction portion, for example, a flexible wiring board (not shown) on which a drive control circuit such as a driver IC is mounted is provided at a terminal portion (not shown) of each individual electrode 80 and an end portion of the cavity substrate 30. And a common electrode (not shown).
Further, the electrode substrate 40 is provided with holes that constitute part of the ink supply holes 6 and 34 connected to an ink cartridge (not shown).

次に、上記のように構成されたインクジェットヘッド1の動作について、図2、図3を用いて説明する。インクジェットヘッド1の第1の列部A側には、第1の液滴吐出部wが形成されて、外部のインクカートリッジ内のインク(例えばイエロ−Y)が、第1のインク供給孔6を通じて第1のリザーバ3内に供給され、個々の供給口5(5a、5c・・・)から、吐出室2(第1の吐出室2a、第3の吐出室2c・・・)、ノズル連通流路21(第1のノズル連通流路21a,第3のノズル連通流路21c・・・)を経て、ノズル孔11(第1のノズル孔11a、第3のノズル孔11c・・・)の先端まで満たされている。
また、第1の列部A側には、第2の液滴吐出部xが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばブラックK)が、第2のインク供給孔34を通じて第2のリザーバ4内に供給され、個々の供給口32(32b、32d・・・)から、それぞれの吐出室2(第2の吐出室2b、第4の吐出室2d・・・)、ノズル連通流路21(第2のノズル連通流路21b、第4のノズル連通流路21d・・・)を経て、ノズル孔11(第2のノズル孔11b、第4のノズル孔11d・・・)の先端まで満たされている。
Next, the operation of the inkjet head 1 configured as described above will be described with reference to FIGS. A first droplet discharge portion w is formed on the first row portion A side of the inkjet head 1, and ink (for example, yellow-Y) in an external ink cartridge passes through the first ink supply hole 6. Supplied into the first reservoir 3, the discharge chamber 2 (first discharge chamber 2 a, third discharge chamber 2 c...), Nozzle communication flow from the individual supply ports 5 (5 a, 5 c...) The tip of the nozzle hole 11 (the first nozzle hole 11a, the third nozzle hole 11c...) Through the passage 21 (the first nozzle communication flow path 21a, the third nozzle communication flow path 21c...). Has been met.
In addition, a second droplet discharge portion x is formed on the first row portion A side, and ink (for example, black K) in another external ink cartridge passes through the second ink supply hole 34 to form the second droplet discharge portion x. 2 are supplied into the reservoir 4 and from the individual supply ports 32 (32b, 32d...), The respective discharge chambers 2 (second discharge chamber 2b, fourth discharge chamber 2d...), Nozzle communication. The nozzle hole 11 (second nozzle hole 11b, fourth nozzle hole 11d...) Passes through the flow path 21 (second nozzle communication flow path 21b, fourth nozzle communication flow path 21d...). Filled up to the tip.

さらに、第2の列部B側には、第3の液滴吐出部yが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばシアンC)が、第1のインク供給孔60を通じて第1のリザーバ300内に供給され、個々の供給口50(50a、50c・・・)から、それぞれの吐出室200(第1の吐出室200a、第3の吐出室200c・・・)、ノズル連通流路210(第1のノズル連通流路210a,第3のノズル連通流路210c・・・)を経て、ノズル孔110(第1のノズル孔110a、第3のノズル孔110c・・・)の先端まで満たされている。
また、第2の列部B側には、第4の液滴吐出部zが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばマゼンタM)が、第2のインク供給孔340を通じて第2のリザーバ400内に供給され、個々の供給口320(320b、320d・・・)から、それぞれの吐出室200(第2の吐出室200b、第4の吐出室200d・・・)、ノズル連通流路210(第2のノズル連通流路210b、第4のノズル連通流路210d・・・)を経て、ノズル孔110(第2のノズル孔110b、第4のノズル孔110d・・・)の先端まで満たされている。
Further, a third droplet discharge portion y is formed on the second row portion B side, and ink (for example, cyan C) in another external ink cartridge passes through the first ink supply hole 60 to form the first ink. Are supplied into one reservoir 300, and are connected to respective discharge chambers 200 (first discharge chamber 200a, third discharge chamber 200c...) And nozzle communication from individual supply ports 50 (50a, 50c...). The nozzle hole 110 (the first nozzle hole 110a, the third nozzle hole 110c...) Passes through the flow path 210 (the first nozzle communication flow path 210a, the third nozzle communication flow path 210c...). Filled up to the tip.
In addition, a fourth droplet discharge portion z is formed on the second row portion B side, and the ink (for example, magenta M) in another external ink cartridge passes through the second ink supply hole 340 to form the second droplet discharge portion z. 2 are supplied into the reservoir 400, and from the individual supply ports 320 (320b, 320d...), The respective discharge chambers 200 (second discharge chamber 200b, fourth discharge chamber 200d...), Nozzle communication. The nozzle hole 110 (the second nozzle hole 110b, the fourth nozzle hole 110d,...) Passes through the flow path 210 (the second nozzle communication path 210b, the fourth nozzle communication path 210d,...). Filled up to the tip.

上記のようにインクが充填された状態で、駆動制御回路により、第1の列部A側の個別電極8及び第2の列部B側の個別電極80に駆動信号(パルス電圧)を供給すると、個別電極8、80には駆動制御回路からパルス電圧が印加され、個別電極8、80をプラスに帯電させ、一方、これに対応する振動板7、70はマイナスに帯電する。このとき、個別電極8、80と振動板7、70と間に静電気力(クーロン力)が発生するため、この静電気力により振動板7、70は個別電極8、80側に引き寄せられて撓む。これによって、吐出室2、200の容積が増大する。次に、パルス電圧をオフにすると、上記静電気力がなくなり、振動板7、70はその弾性力により元に戻り、その際、吐出室2、200の容積が急激に減少するため、そのときの圧力により、吐出室2、200内のインクの一部がノズル孔11、110から吐出される。   When a drive signal (pulse voltage) is supplied to the individual electrode 8 on the first column A side and the individual electrode 80 on the second column B side by the drive control circuit with the ink filled as described above. A pulse voltage is applied to the individual electrodes 8 and 80 from the drive control circuit to charge the individual electrodes 8 and 80 positively, while the corresponding diaphragms 7 and 70 are negatively charged. At this time, since electrostatic force (Coulomb force) is generated between the individual electrodes 8 and 80 and the diaphragms 7 and 70, the diaphragms 7 and 70 are attracted toward the individual electrodes 8 and 80 and bent by the electrostatic force. . As a result, the volume of the discharge chambers 2 and 200 increases. Next, when the pulse voltage is turned off, the electrostatic force disappears, and the diaphragms 7 and 70 return to their original state due to the elastic force. At this time, the volume of the discharge chambers 2 and 200 is rapidly reduced. Part of the ink in the discharge chambers 2 and 200 is discharged from the nozzle holes 11 and 110 by the pressure.

こうして、第1の列部A側の第1の液滴吐出部wの吐出室2(第1の吐出室2a、第3の吐出室2c・・・)内のインク(イエローY)は、ノズル連通流路21(第1のノズル連通流路21a、第3のノズル連通流路21c・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第1のノズル孔11a、第3のノズル孔11c・・・)から吐出される。
また、第1の列部A側の第2の液滴吐出部xの吐出室2(第2の吐出室2b、第4の吐出室2d・・・)内のインク(ブラックK)は、ノズル連通流路21(第2のノズル連通流路21b、第4のノズル連通流路21d・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第2のノズル孔11b、第4のノズル孔11d・・・)から吐出される。
Thus, the ink (yellow Y) in the discharge chamber 2 (the first discharge chamber 2a, the third discharge chamber 2c,...) Of the first droplet discharge portion w on the first row portion A side is the nozzle. The nozzle hole 11 (first nozzle hole 11a, third nozzle) passes through the communication channel 21 (first nozzle communication channel 21a, third nozzle communication channel 21c...) And becomes ink droplets. It is discharged from the holes 11c.
The ink (black K) in the discharge chamber 2 (second discharge chamber 2b, fourth discharge chamber 2d,...) Of the second droplet discharge section x on the first row portion A side is a nozzle. It passes through the communication channel 21 (second nozzle communication channel 21b, fourth nozzle communication channel 21d...) And becomes ink droplets to form nozzle holes 11 (second nozzle holes 11b, fourth nozzles). It is discharged from the holes 11d.

さらに、第2の列部B側の第3の液滴吐出部yの吐出室200(第1の吐出室200a、第3の吐出室200c・・・)内のインク(シアンC)は、ノズル連通流路210(第1のノズル連通流路210a、第3のノズル連通流路210c・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔110(第1のノズル孔110a、第3のノズル孔110c・・・)から吐出される。
また、第2の列部B側の第4の液滴吐出部zの吐出室200(第2の吐出室200b、第4の吐出室200d・・・)内のインク(マゼンタM)は、ノズル連通流路210(第2のノズル連通流路210b、第4のノズル連通流路210d・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔110(第2のノズル孔110b、第4のノズル孔110d・・・)から吐出される。
Further, the ink (cyan C) in the discharge chamber 200 (first discharge chamber 200a, third discharge chamber 200c...) Of the third droplet discharge portion y on the second row portion B side is a nozzle. The nozzle hole 110 (first nozzle hole 110a, third nozzle) passes through the communication channel 210 (first nozzle communication channel 210a, third nozzle communication channel 210c...) And becomes ink droplets. Are discharged from the holes 110c.
Further, the ink (magenta M) in the discharge chamber 200 (second discharge chamber 200b, fourth discharge chamber 200d...) Of the fourth droplet discharge portion z on the second row portion B side is a nozzle. The nozzle hole 110 (second nozzle hole 110b, fourth nozzle) passes through the communication channel 210 (second nozzle communication channel 210b, fourth nozzle communication channel 210d...) And becomes ink droplets. Are discharged from the holes 110d.

そして、再びパルス電圧が印加され、第1の列部A側の振動板7が個別電極8側に撓むことにより、第1の液滴吐出部wのインク(イエローY)が、第1のリザーバ3から供給口5(5a、5c・・・)を通って、吐出室2(第1の吐出室2a、第3の吐出室2c・・・)内に補給される。また、第2の液滴吐出部xのインク(ブラックK)が、第2のリザーバ4から供給口32(32b、32d・・・)を通って、吐出室2(第2の吐出室2b、第4の吐出室2d・・・)内に補給される。
また、第2の列部B側の振動板70が個別電極80側に撓むことにより、第3の液滴吐出部yのインク(シアンC)が、第1のリザーバ300から供給口50(50a、50c・・・)を通って、吐出室200(第1の吐出室200a、第3の吐出室200c・・・)内に補給される。また、第4の液滴吐出部zのインク(マゼンタM)が、第2のリザーバ400から供給口320(320b、320d・・・)を通って、吐出室200(第2の吐出室200b、第4の吐出室200d・・・)内に補給される。
Then, the pulse voltage is applied again, and the diaphragm 7 on the first row portion A side bends toward the individual electrode 8 side, so that the ink (yellow Y) of the first droplet discharge portion w becomes the first From the reservoir 3 through the supply port 5 (5a, 5c...), The discharge chamber 2 (first discharge chamber 2a, third discharge chamber 2c...) Is replenished. Further, the ink (black K) of the second droplet discharge section x passes through the supply port 32 (32b, 32d,...) From the second reservoir 4 to the discharge chamber 2 (second discharge chamber 2b, The fourth discharge chamber 2d ...) is replenished.
Further, the diaphragm 70 on the second row B side bends to the individual electrode 80 side, so that the ink (cyan C) of the third droplet discharge portion y is supplied from the first reservoir 300 to the supply port 50 ( 50a, 50c...) Is supplied into the discharge chamber 200 (first discharge chamber 200a, third discharge chamber 200c...). Further, the ink (magenta M) in the fourth droplet discharge section z passes through the supply port 320 (320b, 320d,...) From the second reservoir 400, and then the discharge chamber 200 (second discharge chamber 200b, The fourth discharge chamber 200d ...) is replenished.

こうして、図4に示すように、第1の列部A側の第1の液滴吐出部wのノズル孔11(第1のノズル孔11a、第3のノズル孔11c・・・)からは、イエローY1,Y3・・・が吐出され、第2の液滴吐出部xのノズル孔11(第2のノズル孔11b、第4のノズル孔11d・・・)からはブラックK2、K4・・・が吐出されて、紙面上には、列線方向に交互に異なった色彩のドット列(Y1,K2、Y3、K4・・・)が形成される。
また、第2の列部B側の第3の液滴吐出部yのノズル孔110(第1のノズル孔110a、第3のノズル孔110c・・・)からはシアンC1,C3・・・が吐出され、第4の液滴吐出部zのノズル孔110(第2のノズル孔110b、第4のノズル孔110d・・・)からはマゼンタM2,M4・・・が吐出されて、紙面上には、列線方向に交互に異なった色彩のドット列(C1,M2、C3、M4・・・)が形成される。
Thus, as shown in FIG. 4, from the nozzle holes 11 (first nozzle hole 11a, third nozzle hole 11c...) Of the first droplet discharge portion w on the first row portion A side, Yellow Y1, Y3,... Are ejected, and black K2, K4,... Are ejected from the nozzle holes 11 (second nozzle hole 11b, fourth nozzle hole 11d,...) Of the second droplet discharge section x. Are ejected to form dot rows (Y1, K2, Y3, K4...) Having different colors alternately in the row line direction on the paper surface.
Further, cyan C1, C3,... Are generated from the nozzle holes 110 (first nozzle hole 110a, third nozzle hole 110c,...) Of the third droplet discharge unit y on the second row B side. Magenta M2, M4,... Are ejected from the nozzle holes 110 (second nozzle hole 110b, fourth nozzle hole 110d,...) Of the fourth droplet discharge section z, and are ejected onto the paper surface. Are formed with dot rows (C1, M2, C3, M4...) Of different colors alternately in the column line direction.

上記の場合、第1の列部A側のノズル孔11と第2の列部B側のノズル孔110とは、それぞれ列部において、列方向に2ピッチの間隔で設けられており、紙面上に形成された第1の列部A側のドット列のY1、K2、Y3、K4・・・のドットと、第2の列部B側のドット列のC1,M2、C3、M4・・・のドットとは、列方向に互いに1ピッチずれた状態で形成されている。   In the above case, the nozzle holes 11 on the first row portion A side and the nozzle holes 110 on the second row portion B side are respectively provided in the row direction at intervals of 2 pitches in the row direction. The dots Y1, K2, Y3, K4... Of the first row A side dot row and the C1, M2, C3, M4. The dots are formed in a state shifted by 1 pitch in the row direction.

図5により詳述すると、図の左側は、第2の列部B側によるドット列であり、シアンC1、マゼンタK2、シアンC3、マゼンタK4・・・のドットが列方向に2ピッチずれた状態で交互に重複する。図の右側は、第2の列部B側に対してノズル位置が列方向に1ピッチずれた第1の列部A側によるドット列であり、イエローY1、ブラックK2、イエローY3・・・のドットが列方向に交互に2ピッチずれた状態で重複する。それぞれの列部A、Bにおけるドットの大きさは、列方向に隣接する他色のドット中心までの距離が円半径となる大きさ(2ピッチずれた状態)となる。   More specifically with reference to FIG. 5, the left side of the figure is a dot row on the second row B side, and the dots of cyan C1, magenta K2, cyan C3, magenta K4... Are shifted by 2 pitches in the row direction. Overlapping alternately. The right side of the figure is a dot row on the first row portion A side where the nozzle position is shifted by one pitch in the row direction with respect to the second row portion B side, and yellow Y1, black K2, yellow Y3. The dots overlap in a state where they are alternately shifted by 2 pitches in the row direction. The size of the dots in each of the row portions A and B is such that the distance to the dot centers of other colors adjacent in the row direction becomes a circle radius (a state shifted by 2 pitches).

そして、第1の列部A側における列線と第2の列部B側における列線は、図5において、理解を容易にするため2本の列線として平行に独立させて記載したが、実際には、第1の列部A側におけるノズル孔11と、第2の列部B側におけるノズル孔110とは、図6に示すように、一列に配置されている、すなわち同一直線上に配置されており、図5に示したこれらの列線は、図6に示すように重なり合う同一の列線である。よって、第1の列部A側及び第2の列部B側におけるドット列は、図6に示すように、同一の直線上に位置し、イエローY1、シアンC1、ブラックK2、マゼンタM2、イエローY3、シアンC3、ブラックK4・・・のように、同一直線上に1ピッチの間隔で配置される。こうして、同一直線上に4色のノズル配色が行われ、フルカラーが実現される。   And the column line on the first column part A side and the column line on the second column part B side are described in parallel independently as two column lines in FIG. Actually, the nozzle holes 11 on the first row portion A side and the nozzle holes 110 on the second row portion B side are arranged in a line as shown in FIG. 6, that is, on the same straight line. These column lines shown in FIG. 5 are the same column lines that overlap as shown in FIG. Therefore, as shown in FIG. 6, the dot rows on the first row portion A side and the second row portion B side are located on the same straight line, and yellow Y1, cyan C1, black K2, magenta M2, yellow Like Y3, cyan C3, black K4,..., They are arranged on the same straight line at intervals of one pitch. In this way, four colors of nozzles are arranged on the same straight line, and a full color is realized.

上記のようにして、紙面の列線上に4色のノズル配色が交互に形成されるが、上記の配色はヘッドが移動する方向(図2の左右方向、図6の左右方向)のおいての一場面であり、ヘッドは上記のような(図6のような)ドット列を形成しつつ、図2(図6)の左右方向に移動する。
図6の一方向(例えば図の右側方向)に移動したのち、端部において方向を変え、逆方向(図6の左側方向)に移動する。
この際、紙面はヘッドの移動方向とは直行する方向に移動している。
As described above, the four nozzle color schemes are alternately formed on the line of the paper. The above color schemes are in the direction in which the head moves (the horizontal direction in FIG. 2 and the horizontal direction in FIG. 6). This is one scene, and the head moves in the left-right direction in FIG. 2 (FIG. 6) while forming the dot row as shown above (as in FIG. 6).
After moving in one direction of FIG. 6 (for example, the right side of the figure), the direction is changed at the end and moved in the opposite direction (left side of FIG. 6).
At this time, the paper surface moves in a direction perpendicular to the moving direction of the head.

実施の形態1によれば、図2に示すように、向かい合う2列の吐出室(第1の列部A側の吐出室2と第2の列部B側の吐出室200)が千鳥状に配置され、それぞれの吐出室2,200に連通するノズル11、100は、一列に配置されているので、図6に示すように、1走査でフルカラー表現(3色コンポジット+ブラック)が可能となる。そして、ヘッド走査を両方向印字として行う場合、図6に示すように、各色の重ね合わせが走査の往路と復路で異なることはなく、各色の重ね合わせの順番が常に一定になる。こうして、4色のノズル配色において、両方向印字であっても高印字品質となり、高精度に色(着弾液滴)を重ねることができ、印刷品質が向上し、高画質を実現することができ、インクジェットヘッドを小型化することが可能となる。
また、2つのリザーバ3,4に接してダイアフラム12、23を設けたので、吐出室2間の圧力干渉を防止することができる。
さらに、フェイスイジェクトタイプのインクジェットヘッドにおいて上記の構造を採用したため、インクジェットヘッドの薄型化が可能となる。
According to the first embodiment, as shown in FIG. 2, two rows of discharge chambers (the discharge chamber 2 on the first row portion A side and the discharge chamber 200 on the second row portion B side) facing each other are staggered. Since the nozzles 11 and 100 arranged and communicating with the respective discharge chambers 2 and 200 are arranged in a line, as shown in FIG. 6, full color expression (three-color composite + black) can be performed by one scan. . When head scanning is performed as bidirectional printing, as shown in FIG. 6, the superposition of each color does not differ between the forward path and the backward path of scanning, and the order of superposition of each color is always constant. In this way, with the four-color nozzle arrangement, even with bidirectional printing, high print quality can be achieved, colors (landing droplets) can be superimposed with high accuracy, print quality can be improved, and high image quality can be achieved. It becomes possible to reduce the size of the inkjet head.
In addition, since the diaphragms 12 and 23 are provided in contact with the two reservoirs 3 and 4, pressure interference between the discharge chambers 2 can be prevented.
Further, since the above structure is adopted in the face eject type ink jet head, the ink jet head can be made thin.

実施の形態2.
図7は本発明の実施の形態2に係るインクジェットヘッドの平面説明図、図8は図7をロ−ロ線で切断した状態の縦断面図である。
実施の形態1では、向かい合う2列の吐出室が千鳥状に配置され、それぞれの吐出室に連通するノズルは一列に配置されて、それぞれの列側に属する2つの共通インク室が積層構造として配置されている2列4色の2列構造である場合を示したが、実施の形態2では、液滴吐出室が一列に配置され、それぞれの吐出室に連通するノズルは一列に配置されて、4つの共通インク室が積層構造として配置された1列4色の片列構造としたものである。そして、かかるインクジェットヘッドは、ノズル基板10、第3のリザーバ基板20a、第2のリザーバ基板20b、第1のリザーバ基板20c、キャビティ基板30及び電極基板40の4つの基板を、この順に貼り合わせた6層構造によって構成したものである。
以下、各基板の構成について詳述する。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 7 is an explanatory plan view of an ink jet head according to Embodiment 2 of the present invention, and FIG. 8 is a longitudinal sectional view of FIG. 7 cut along a roll line.
In Embodiment 1, two rows of discharge chambers facing each other are arranged in a staggered manner, nozzles communicating with the respective discharge chambers are arranged in one row, and two common ink chambers belonging to each row side are arranged in a stacked structure. In the second embodiment, the droplet discharge chambers are arranged in one row, and the nozzles communicating with the respective discharge chambers are arranged in one row. This is a one-row, four-color, single-row structure in which four common ink chambers are arranged as a laminated structure. In this ink jet head, the four substrates of the nozzle substrate 10, the third reservoir substrate 20a, the second reservoir substrate 20b, the first reservoir substrate 20c, the cavity substrate 30 and the electrode substrate 40 are bonded together in this order. It has a 6-layer structure.
Hereinafter, the configuration of each substrate will be described in detail.

ノズル基板10はシリコン材から作製されている。ノズル基板10には多数のノズル孔11(第1のノズル孔11a,第2のノズル孔11b,第3のノズル孔11c,第4のノズル孔11d、第5のノズル孔11e,第6のノズル孔11f,第7のノズル孔11g,第8のノズル孔11h・・・)が、同じピッチで一列に配置され、基板面に対し垂直に貫通されている。   The nozzle substrate 10 is made of a silicon material. The nozzle substrate 10 has a number of nozzle holes 11 (first nozzle holes 11a, second nozzle holes 11b, third nozzle holes 11c, fourth nozzle holes 11d, fifth nozzle holes 11e, sixth nozzles). The holes 11f, the seventh nozzle holes 11g, the eighth nozzle holes 11h,...) Are arranged in a line at the same pitch and penetrated perpendicularly to the substrate surface.

リザーバ基板20は、シリコン材から作製されている。実施の形態2では、リザーバ基板20は3つの基板を積層してなり、ノズル基板10側より、第3のリザーバ基板20a、第2のリザーバ基板20b、第1のリザーバ基板20cの順序で積層してある。
第1、第2、第3のリザーバ基板20c、20b、20aには、これらを垂直に貫通し、ノズル基板10に設けたノズル孔11(第1のノズル孔11a,第2のノズル孔11b,第3のノズル孔11c,第4のノズル孔11d・・・)にそれぞれ独立して連通するノズル孔11よりも少し大きい径のノズル連通流路21(第1の連通流路21a,第2の連通流路21b,第3の連通流路21c,第4の連通流路21d・・・)が設けられている。
The reservoir substrate 20 is made of a silicon material. In the second embodiment, the reservoir substrate 20 is formed by stacking three substrates, and the third reservoir substrate 20a, the second reservoir substrate 20b, and the first reservoir substrate 20c are stacked in this order from the nozzle substrate 10 side. It is.
The first, second, and third reservoir substrates 20c, 20b, and 20a are vertically penetrated through the nozzle holes 11 (the first nozzle hole 11a, the second nozzle hole 11b, The nozzle communication channel 21 (the first communication channel 21a, the second communication channel 21a, the second communication channel 21a, the second nozzle hole 11d,...) Has a slightly larger diameter than the nozzle holes 11 that communicate with each other independently. A communication channel 21b, a third communication channel 21c, a fourth communication channel 21d,...) Are provided.

第1のリザーバ基板20cには、ノズル連通流路21の一部(第2のノズル連通流路21b、それより順次3つおきに配置された第6の連通流路21f・・・)が、キャビテイ基板30に設けられた吐出室2(3つおきに配置された第2の吐出室2b、第6の吐出室2f・・・)を介して連通する第2のリザーバ(第2の共通インク室)3cが形成されている。そして、第2のリザーバ3cの底壁には、吐出室2の一部(第2の吐出室2b、第6の吐出室2f・・・)にインクを供給するための供給口5(5b、5f・・・)と、外部から第1のリザーバ3cにインクを供給するための第2のインク供給口6cの一部になる供給孔とが貫通されている。   In the first reservoir substrate 20c, a part of the nozzle communication channel 21 (second nozzle communication channel 21b, and sixth communication channels 21f arranged sequentially every three from the second nozzle communication channel 21b), A second reservoir (second common ink) communicating with each other via the discharge chambers 2 (second discharge chambers 2b, sixth discharge chambers 2f,... Arranged every third) provided on the cavity substrate 30. Chamber) 3c is formed. A supply port 5 (5b, 5b) for supplying ink to a part of the discharge chamber 2 (second discharge chamber 2b, sixth discharge chamber 2f,...) Is formed on the bottom wall of the second reservoir 3c. 5f...) And a supply hole that is a part of the second ink supply port 6c for supplying ink from the outside to the first reservoir 3c are penetrated.

第2のリザーバ基板20bには、ノズル連通流路21の一部(第4の連通流路21d、それより順次3つおきに配置された第8の連通流路21h・・・)が、キャビテイ基板30に設けられた吐出室2(3つおきに配置された第4の吐出室2d、第8の吐出室2h・・・)を介して連通する中央リザーバ(中央の共通インク室)3bが形成されている。そして、第2のリザーバ2の底壁には、吐出室2の一部(第4の吐出室2d、第8の吐出室2h・・・)にインクを供給するための供給口5(5d、5h・・・)と、外部から中央リザーバ3bにインクを供給するための中央インク供給口6bの一部になる供給孔とが貫通されている。   In the second reservoir substrate 20b, a part of the nozzle communication channel 21 (fourth communication channel 21d, and eighth communication channels 21h arranged in order from every third channel) is cavityd. A central reservoir (central common ink chamber) 3b communicated via the ejection chambers 2 (fourth ejection chambers 2d, eighth ejection chambers 2h,... Arranged every third) provided on the substrate 30. Is formed. A supply port 5 (5d, 5d) for supplying ink to a part of the discharge chamber 2 (fourth discharge chamber 2d, eighth discharge chamber 2h,...) Is formed in the bottom wall of the second reservoir 2. 5h...) And a supply hole that is a part of the central ink supply port 6b for supplying ink to the central reservoir 3b from the outside is penetrated.

第3のリザーバ基板20aには、ノズル連通流路21の一部(第1のノズル連通流路21a、それより順次3つおきに配置された第5のノズル連通流路21e・・・)が、キャビテイ基板30に設けられた吐出室2(3つおきに配置された第1の吐出室2a、第5の吐出室2e・・・)を介して連通する上部リザーバ(上部の共通インク室)3aが形成されている。そして、上部リザーバ3aの底壁には、吐出室2の一部(第1の吐出室2a、第5の吐出室2e・・・)にインクを供給するための供給口5a、5e・・・と、外部から上部リザーバ3aにインクを供給するための上部インク供給口6aの一部になる供給孔とが貫通されている。   In the third reservoir substrate 20a, a part of the nozzle communication channel 21 (the first nozzle communication channel 21a, and the fifth nozzle communication channel 21e.. And an upper reservoir (upper common ink chamber) communicating with each other through the discharge chambers 2 (the first discharge chamber 2a, the fifth discharge chamber 2e,... Arranged every third) provided on the cavity substrate 30. 3a is formed. Further, on the bottom wall of the upper reservoir 3a, supply ports 5a, 5e,... For supplying ink to a part of the discharge chamber 2 (first discharge chamber 2a, fifth discharge chamber 2e,...). And a supply hole that is a part of the upper ink supply port 6a for supplying ink from the outside to the upper reservoir 3a.

キャビティ基板30はシリコン材から作製されている。キャビテイ基板30には、リザーバ基板20のノズル連通流路21のそれぞれに独立して連通する吐出室(インク圧力室)2(第1の吐出室2a、第2の吐出室2b、第3の吐出室2c、第4の吐出室2d・・・)が設けられている。
吐出室2の底壁には振動板7が設けられており、シリコンに高濃度のボロンを拡散することにより形成されるボロン拡散層により構成されている。
The cavity substrate 30 is made of a silicon material. The cavity substrate 30 includes a discharge chamber (ink pressure chamber) 2 (first discharge chamber 2 a, second discharge chamber 2 b, third discharge) that communicates independently with each of the nozzle communication channels 21 of the reservoir substrate 20. Chamber 2c, fourth discharge chamber 2d...).
A diaphragm 7 is provided on the bottom wall of the discharge chamber 2 and is constituted by a boron diffusion layer formed by diffusing high-concentration boron into silicon.

吐出室2の一部(一つおきに配置された第3の吐出室2c、第7の吐出室2g・・・)に対しては、供給口32(32c、32g・・・)を介して連通する第1のリザーバ(第1の共通インク室または共通液滴室)4が形成されている。
なお、第1のリザーバ4の底壁には、外部から第1のリザーバ4にインクを供給するための第1のインク供給口34の一部となる供給孔が貫通されている。
A part of the discharge chamber 2 (the third discharge chamber 2c arranged every other chamber, the seventh discharge chamber 2g...) Is supplied through the supply port 32 (32c, 32g...). A first reservoir (first common ink chamber or common droplet chamber) 4 that communicates is formed.
The bottom wall of the first reservoir 4 passes through a supply hole that is a part of the first ink supply port 34 for supplying ink to the first reservoir 4 from the outside.

キャビティ基板30の下面には、例えばTEOS(Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane:テトラエトキシシラン、珪酸エチル)を原料としたプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法)によるSiO2 膜からなる絶縁膜が形成されている(図示せず)。一方、キャビティ基板30の上面には、リザーバ基板20と同様のインク保護膜(図示せず)が形成されている。 On the lower surface of the cavity substrate 30, for example, an insulating film made of SiO 2 film is formed by plasma CVD (Chemical Vapor Deposition) using TEOS (Tetraethylorthosilicate Tetraethoxysilane) as a raw material. (Not shown). On the other hand, an ink protective film (not shown) similar to the reservoir substrate 20 is formed on the upper surface of the cavity substrate 30.

電極基板40はガラス材から作製されている。
電極基板40には、キャビティ基板30の振動板7に対向する表面の位置にそれぞれ電極凹部41が設けられ、各電極凹部41の底面には、一般に、ITO(Indium Tin Oxide:インジウム錫酸化物)からなる個別電極8が、スパッタにより形成されている。
個別電極8の端子部85は、リザーバ基板20およびキャビティ基板30の端部が開口された電極取り出し部9側に露出しており、電極取り出し部9において、例えばドライバIC等の駆動制御回路が搭載されたフレキシブル配線基板(図示せず)が、各個別電極8の端子部85と、キャビティ基板30の端部に設けられた共通電極35とに接続されている。
また、電極基板40には、それぞれのインクカートリッジ(図示せず)に接続されるインク供給口34、6c、6b、6aの一部となる供給孔が貫通している。
The electrode substrate 40 is made of a glass material.
The electrode substrate 40 is provided with an electrode recess 41 at a position on the surface of the cavity substrate 30 facing the diaphragm 7. Generally, an ITO (Indium Tin Oxide) is formed on the bottom surface of each electrode recess 41. The individual electrode 8 made of is formed by sputtering.
The terminal portion 85 of the individual electrode 8 is exposed to the electrode extraction portion 9 side where the end portions of the reservoir substrate 20 and the cavity substrate 30 are opened, and a drive control circuit such as a driver IC is mounted on the electrode extraction portion 9. The formed flexible wiring board (not shown) is connected to the terminal portion 85 of each individual electrode 8 and the common electrode 35 provided at the end of the cavity substrate 30.
In addition, the electrode substrate 40 passes through supply holes that are part of the ink supply ports 34, 6c, 6b, 6a connected to the respective ink cartridges (not shown).

上記のように構成されたインクジェットヘッドの動作について、図7、図8を用いて説明する。インクジェットヘッド1には、第1の液滴吐出部sが形成されて、外部のインクカートリッジ内のインク(例えばイエロ−Y)が、上部インク供給孔6aを通じて上部リザーバ3a内に供給され、個々の供給口5(5a,5e・・・)から、吐出室2(第1の吐出室2a、第5の吐出室2e・・・)、ノズル連通流路21(第1の連通流路21a,第5の連通流路21e・・・)を経て、ノズル孔11(第1のノズル孔11a、第5のノズル孔11e・・・)の先端まで満たされている。   The operation of the ink jet head configured as described above will be described with reference to FIGS. The ink jet head 1 is formed with a first droplet discharge portion s, and ink (for example, yellow-Y) in an external ink cartridge is supplied into the upper reservoir 3a through the upper ink supply hole 6a. From the supply port 5 (5a, 5e...), The discharge chamber 2 (first discharge chamber 2a, fifth discharge chamber 2e...), The nozzle communication channel 21 (first communication channel 21a, first) 5, and the tip of the nozzle hole 11 (first nozzle hole 11a, fifth nozzle hole 11e...) Is filled.

また、第2の液滴吐出部tが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばシアンC)が、第1のインク供給孔6cを通じて第1のリザーバ3c内に供給され、個々の供給口5(5b、5f・・・)から、それぞれの吐出室2(第2の吐出室2b、第6の吐出室2f・・・)、ノズル連通流路21(第2のノズル連通流路21b,第6のノズル連通流路21f・・・)を経て、ノズル孔11(第2のノズル孔11b、第6のノズル孔11f・・・)の先端まで満たされている。   In addition, the second droplet discharge portion t is formed, and the ink (for example, cyan C) in another external ink cartridge is supplied into the first reservoir 3c through the first ink supply hole 6c, and is individually supplied. From the supply ports 5 (5b, 5f...), The respective discharge chambers 2 (second discharge chamber 2b, sixth discharge chamber 2f...), Nozzle communication channel 21 (second nozzle communication flow) The nozzles 11 (second nozzle holes 11b, sixth nozzle holes 11f,...) Are filled up through the passages 21b, the sixth nozzle communication channels 21f,.

さらに、第3の液滴吐出部uが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばブラックK)が、第2のインク供給孔34を通じて第2のリザーバ4内に供給され、供給口32(32c、32g・・・)から、それぞれの吐出室2(第3の吐出室2c、第7の吐出室2g・・・)、ノズル連通流路21(第3のノズル連通流路21c、第7のノズル連通流路21g・・・)を経て、ノズル孔11(第3のノズル孔11c、第7のノズル孔11g・・・)の先端まで満たされている。   Further, the third droplet discharge unit u is formed, and the ink (for example, black K) in another external ink cartridge is supplied into the second reservoir 4 through the second ink supply hole 34 and supplied. From the ports 32 (32c, 32g...), The respective discharge chambers 2 (third discharge chamber 2c, seventh discharge chamber 2g...), Nozzle communication channel 21 (third nozzle communication channel 21c). , The nozzle nozzle 11 (third nozzle hole 11c, seventh nozzle hole 11g...) Is filled through the seventh nozzle communication channel 21g.

また、第4の液滴吐出部vが形成されて、外部の別のインクカートリッジ内のインク(例えばマゼンタM)が、中央インク供給孔6bを通じて中央リザーバ3b内に供給され、供給口5(5d、5h・・・)から、それぞれの吐出室2(第4の吐出室2d、第8の吐出室2h・・・)、ノズル連通流路21(第4の連通流路21d、第8のノズル連通流路21h・・・)を経て、ノズル孔11(第4のノズル孔11d、第8のノズル孔11h・・・)の先端まで満たされている。   In addition, a fourth droplet discharge portion v is formed, and ink (for example, magenta M) in another external ink cartridge is supplied into the central reservoir 3b through the central ink supply hole 6b, and the supply port 5 (5d). 5h..., From each discharge chamber 2 (fourth discharge chamber 2d, eighth discharge chamber 2h...), Nozzle communication channel 21 (fourth communication channel 21d, eighth nozzle). It is filled up to the tip of the nozzle hole 11 (the fourth nozzle hole 11d, the eighth nozzle hole 11h...) Through the communication flow path 21h.

こうして、第1の液滴吐出部sの吐出室2(第1の吐出室2a、第5の吐出室2e・・・)内のインク(イエローY)は、ノズル連通流路21(第1のノズル連通流路21a、第5のノズル連通流路21e・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第1のノズル孔11a、第5のノズル孔11e・・・)から吐出される。
また、第2の液滴吐出部tの吐出室2(第2の吐出室2b、第6の吐出室2f・・・)内のインク(シアンC)は、ノズル連通流路21(第2の連通流路21b、第6の連通流路21f・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第2のノズル孔11b、第6のノズル孔11f・・・)から吐出される。
Thus, the ink (yellow Y) in the discharge chamber 2 (first discharge chamber 2a, fifth discharge chamber 2e...) Of the first droplet discharge section s is transferred to the nozzle communication channel 21 (first Passes through the nozzle communication flow path 21a, the fifth nozzle communication flow path 21e,..., And is ejected from the nozzle holes 11 (the first nozzle holes 11a, the fifth nozzle holes 11e,...) As ink droplets. Is done.
Further, the ink (cyan C) in the discharge chamber 2 (second discharge chamber 2b, sixth discharge chamber 2f...) Of the second droplet discharge section t is transferred to the nozzle communication channel 21 (second discharge chamber 2). Passes through the communication channel 21b, the sixth communication channel 21f,..., And is ejected from the nozzle holes 11 (second nozzle hole 11b, sixth nozzle hole 11f,...) As ink droplets. .

また、第3の液滴吐出部uの吐出室2(第3の吐出室2c、第7の吐出室2g・・・)内のインク(ブラックK)は、ノズル連通流路21(第3のノズル連通流路21c、第7のノズル連通流路21g・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第3のノズル孔11c、第7のノズル孔11g・・・)から吐出される。
また、第4の液滴吐出部vの吐出室2(第4の吐出室2d、第8の吐出室2h・・・)内のインク(マゼンタM)は、ノズル連通流路21(第4のノズル連通流路21c、第8のノズル連通流路21h・・・)を通過し、インク滴となってノズル孔11(第4のノズル孔11c、第8のノズル孔11h・・・)から吐出される。
Further, the ink (black K) in the discharge chamber 2 (third discharge chamber 2c, seventh discharge chamber 2g...) Of the third droplet discharge section u is transferred to the nozzle communication channel 21 (third Passes through the nozzle communication channel 21c, the seventh nozzle communication channel 21g..., And is ejected from the nozzle holes 11 (third nozzle hole 11c, seventh nozzle hole 11g...) As ink droplets. Is done.
Further, the ink (magenta M) in the discharge chamber 2 (fourth discharge chamber 2d, eighth discharge chamber 2h,...) Of the fourth droplet discharge section v is transferred to the nozzle communication flow path 21 (fourth flow path). Passes through the nozzle communication channel 21c, the eighth nozzle communication channel 21h, etc., and is discharged as ink droplets from the nozzle holes 11 (fourth nozzle hole 11c, eighth nozzle hole 11h,...). Is done.

実施の形態2によれば、図7、図8に示すように、吐出室2が一列に配置され、それぞれの吐出室2に連通するノズル11は一列に配置されて、4つの共通インク室4、3c、3b、3aが積層構造として配置された1列4色の片列構造にしたので、1走査でフルカラー表現(3色コンポジット+ブラック)が可能となる。そして、ヘッド走査を両方向印字として行う場合、ノズル11は一列に配置されているので、各色の重ね合わせが走査の往路と復路で異なることはなく、各色の重ね合わせの順番が常に一定になる。こうして、4色のノズル配色において、両方向印字であっても高印字品質となり、高精度に色(着弾液滴)を重ねることができ、印刷品質が向上し、高画質を実現することができ、インクジェットヘッドを小型化することができる。   According to the second embodiment, as shown in FIGS. 7 and 8, the discharge chambers 2 are arranged in a row, and the nozzles 11 communicating with the respective discharge chambers 2 are arranged in a row, and four common ink chambers 4 are arranged. Since a single-row structure of 4 colors in 1 row in which 3c, 3b, and 3a are arranged as a stacked structure, full color expression (3-color composite + black) is possible in one scan. When the head scanning is performed as bi-directional printing, the nozzles 11 are arranged in a line, so that the superposition of each color does not differ between the forward and backward scans, and the superposition order of each color is always constant. In this way, with the four-color nozzle arrangement, even with bidirectional printing, high print quality can be achieved, colors (landing droplets) can be superimposed with high accuracy, print quality can be improved, and high image quality can be achieved. The inkjet head can be reduced in size.

なお、上記の説明ではフェイスイジェクトタイプのインクジェットヘッドについて説明示したが、エッジイジェクトタイプのインクジェットヘッドに適用することもできる。
エッジイジェクトタイプのインクジェットヘッドによれば、ノズル基板10の平面形状を小型化することが可能となる。また、フェイスイジェクトタイプにおいて不可欠なノズル連通流路21が不要になるため、流路抵抗を低減することが可能となる。
In the above description, the face eject type ink jet head has been described. However, the present invention can also be applied to an edge eject type ink jet head.
According to the edge eject type inkjet head, the planar shape of the nozzle substrate 10 can be reduced. Further, since the nozzle communication flow path 21 which is indispensable in the face eject type is not necessary, the flow path resistance can be reduced.

実施の形態3.
図9は実施の形態3に係るインクジェットプリンタの斜視図、図10は図9の要部の斜視図である。
図9、図10において、インクジェットプリンタ150は、被印刷物であるプリント紙160が支持されるドラム151と、プリント紙160にインクを吐出して記録を行うインクジェットヘッド152とによって主に構成されている。
また、インクジェットヘッド152にインクを供給するためのインク供給手段がある(図示せず)。プリント紙160は、ドラム151の軸方向に平行に設けられた紙圧着ローラ153により、ドラム151に圧着して保持される。そして、送りネジ154がドラム151の軸方向に平行に設けられ、インクジェットヘッド152が保持されている。送りネジ154が回転することによって、インクジェットヘッド152がドラム151の軸方向に移動するようになっている。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 9 is a perspective view of the ink jet printer according to Embodiment 3, and FIG. 10 is a perspective view of the main part of FIG.
9 and 10, the ink jet printer 150 is mainly configured by a drum 151 on which a print paper 160 that is a printing object is supported, and an ink jet head 152 that performs recording by discharging ink onto the print paper 160. .
There is an ink supply means (not shown) for supplying ink to the inkjet head 152. The print paper 160 is held by being pressed against the drum 151 by a paper press roller 153 provided parallel to the axial direction of the drum 151. A feed screw 154 is provided in parallel with the axial direction of the drum 151, and the inkjet head 152 is held. The inkjet head 152 is moved in the axial direction of the drum 151 by the rotation of the feed screw 154.

一方、ドラム151は、ベルト155等を介してモータ156により回転駆動される。また、プリント制御手段157は、印画データ及び制御信号に基づいて送りネジ154及びモータ156を駆動させ、また、ここでは図示していないが、発振駆動回路を駆動させて振動板7を振動させ、制御をしながらプリント紙160に印刷を行う。   On the other hand, the drum 151 is rotationally driven by a motor 156 via a belt 155 or the like. Further, the print control unit 157 drives the feed screw 154 and the motor 156 based on the print data and the control signal, and although not shown here, drives the oscillation drive circuit to vibrate the diaphragm 7, Printing is performed on the printing paper 160 while controlling.

上記の説明では、液体をインクとしてプリント紙160に吐出するようにしているが、液滴吐出ヘッドから吐出する液体は上記のインクに限定されるものではない。
例えば、カラーフィルタとなる基板に吐出させる用途においては、カラーフィルタ用の顔料を含む液体、有機化合物等の電界発光素子を用いた表示パネル(OLED等)の基板に吐出させる用途においては、発光素子となる化合物を含む液体、基板上に電気配線する用途においては、例えば導電性金属を含む液体を、それぞれの装置において設けられた液滴吐出ヘッドから吐出させるようにしてもよい。
In the above description, liquid is ejected as ink onto the print paper 160, but the liquid ejected from the droplet ejection head is not limited to the above-described ink.
For example, in an application to be discharged onto a substrate to be a color filter, a light emitting element is used in an application to be discharged onto a substrate of a display panel (OLED or the like) using an electroluminescent element such as a liquid containing a color filter pigment or an organic compound. For example, a liquid containing a compound and a liquid containing a conductive metal may be discharged from a droplet discharge head provided in each device.

また、液滴吐出ヘッドをディスペンサとし、生体分子のマイクロアレイとなる基板に吐出する用途に用いる場合では、DNA(Deoxyribo Nucleic Acids :デオキシリボ核酸)、他の核酸(例えば、Ribo Nucleic Acid:リボ核酸、Peptide Nucleic Acids:ペプチド核酸等)、タンパク質等のプローブを含む液体を吐出させるようにしてもよい。その他、布等の染料の吐出等にも利用することができる。   In addition, when the droplet discharge head is used as a dispenser and used for discharging onto a substrate that is a microarray of biomolecules, DNA (Deoxyribo Nucleic Acids: deoxyribonucleic acid), other nucleic acids (for example, Ribo Nucleic Acid: ribonucleic acid, Peptide Nucleic Acids: peptide nucleic acids, etc.), and liquids containing probes such as proteins may be discharged. In addition, it can also be used for discharging dyes such as cloth.

本発明の実施の形態1に係るインクジェットヘッドの要部を示す分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view showing the main part of the inkjet head according to Embodiment 1 of the invention. 図1に示したインクジェットヘッドの組み立て状態の平面説明図。FIG. 2 is an explanatory plan view of an assembled state of the ink jet head shown in FIG. 1. 図2をイ−イ線で切断した縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which cut | disconnected FIG. 2 by the II line. インクジェットヘッドから吐出されたインクドットの配列を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an array of ink dots ejected from an inkjet head. インクジェットヘッドから吐出されたインクドットの状態を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a state of ink dots ejected from an inkjet head. 実施の形態1に係るインクジェットヘッドから吐出されたインクドットの状態を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a state of ink dots ejected from the inkjet head according to the first embodiment. 本発明の実施の形態2に係るインクジェットヘッドの平面説明図。Plane explanatory drawing of the inkjet head which concerns on Embodiment 2 of this invention. 図7をロ−ロ線で切断した縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which cut | disconnected FIG. 7 by the roll line. 本発明の実施の形態3に係るインクジェットプリンタの斜視図。FIG. 6 is a perspective view of an ink jet printer according to Embodiment 3 of the present invention. 図9の要部の斜視図。The perspective view of the principal part of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

2、200 吐出室、3、3a、3b、3c、4、300、400 リザーバ(共通液滴室)、7,70 振動板、8、80 個別電極、10 ノズル基板、11、110 ノズル孔、12、23 ダイアフラム、20、20a、20b、20c リザーバ基板、30 キャビティ基板、40 電極基板、A 第1の列部、B 第2の列部、s、t、u、v、w、x、y、z 液滴吐出部。
2,200 Discharge chamber, 3, 3a, 3b, 3c, 4, 300, 400 Reservoir (common droplet chamber), 7,70 Vibration plate, 8, 80 Individual electrode, 10 Nozzle substrate, 11, 110 Nozzle hole, 12 , 23 Diaphragm, 20, 20a, 20b, 20c Reservoir substrate, 30 Cavity substrate, 40 Electrode substrate, A 1st row portion, B 2nd row portion, s, t, u, v, w, x, y, z Droplet discharge unit.

Claims (12)

複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、
前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、
それぞれの共通液滴室に対して複数の吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、
前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A nozzle row composed of a plurality of nozzle holes, a plurality of discharge chambers communicating with the respective nozzle holes, a plurality of common droplet chambers communicating with each of the discharge chambers and supplying a liquid to the discharge chambers, A vibration plate formed on the bottom surface, and driving means for displacing the vibration plate to discharge the liquid in the discharge chamber from the nozzle hole,
The plurality of common droplet chambers has a stacked structure formed by stacking,
A plurality of discharge chambers communicate with each common droplet chamber to form a plurality of droplet discharge portions,
A droplet discharge device characterized in that discharge chambers of the droplet discharge portions are arranged in the nozzle row direction, and nozzle holes communicating with the discharge chambers of the droplet discharge portions are arranged in a line. head.
前記液滴吐出部がノズル列の両側に配設されて2列の向かい合う吐出室を構成すると共に、前記液滴吐出部の向かい合う前記吐出室が千鳥状に配置されたことを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。   The droplet discharge units are arranged on both sides of a nozzle row to form two rows of discharge chambers facing each other, and the discharge chambers facing the droplet discharge units are arranged in a staggered manner. 1. A droplet discharge head according to 1. 前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の両側でそれぞれ2層の積層構造を形成することを特徴とする請求項2記載の液滴吐出ヘッド。   3. The droplet discharge head according to claim 2, wherein the common droplet chamber of the droplet discharge section forms a two-layered structure on each side of the nozzle row. 前記液滴吐出部がノズル列の一方の側に配設されて1列の吐出室を構成することを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。   The droplet discharge head according to claim 1, wherein the droplet discharge unit is disposed on one side of the nozzle row to constitute a row of discharge chambers. 前記液滴吐出部の共通液滴室がノズル列の一方の側で4層の積層構造を形成することを特徴とする請求項4記載の液滴吐出ヘッド。   5. The droplet discharge head according to claim 4, wherein the common droplet chamber of the droplet discharge portion forms a four-layer stacked structure on one side of the nozzle row. 異なる種類の液体が前記それぞれの液滴吐出部の共通液滴室に供給され、それぞれの共通液滴室より該共通液滴室に対応する吐出室に供給されてそれぞれの吐出室のノズル孔より吐出され、異なる液体のドットが前記ノズル列方向に所定の順序で繰り返し形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   Different types of liquids are supplied to the common droplet chambers of the respective droplet discharge units, supplied from the respective common droplet chambers to the discharge chambers corresponding to the common droplet chambers, and from the nozzle holes of the respective discharge chambers. The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein different liquid dots are ejected and formed repeatedly in a predetermined order in the nozzle row direction. 第1の液滴吐出部及び第2の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、第3の液滴吐出部及び第4の液滴吐出部が前記ノズル列の他方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第1の液滴吐出部の吐出室、第3の液滴吐出部の吐出室、第2の液滴吐出部の吐出室、第4の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第1の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第1の液が吐出され、前記第3の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第3の液が吐出され、前記第2の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第2の液が吐出され、前記第4の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第4の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成することを特徴とする請求項1、2、3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   The first droplet discharge portion and the second droplet discharge portion are arranged on one side of the nozzle row, and the third droplet discharge portion and the fourth droplet discharge portion are on the other side of the nozzle row. These are arranged in the nozzle row direction, the discharge chamber of the first droplet discharge unit, the discharge chamber of the third droplet discharge unit, the discharge chamber of the second droplet discharge unit, the fourth droplet discharge in the nozzle row direction The first liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the first droplet discharge unit, and the nozzle hole of the discharge chamber of the third droplet discharge unit is discharged from the nozzle hole of the third droplet discharge unit. 3 liquid is discharged, the second liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the second droplet discharge portion, and the fourth liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the fourth droplet discharge portion. The ejected liquid ejected from these nozzle holes forms a dot row that is repeated in the nozzle row direction in the arrangement order of the ejection chambers. Droplet discharge head according to any one of claims 1, 2 and 3 that. 第1の液滴吐出部、第2の液滴吐出部、第3の液滴吐出部及び第4の液滴吐出部が前記ノズル列の一方の側に配置され、これらが前記ノズル列方向に第1の液滴吐出部の吐出室、第2の液滴吐出部の吐出室、第3の液滴吐出部の吐出室及び第4の液滴吐出部の吐出室の順で繰り返し配置され、前記第1の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第1の液が吐出され、前記第2の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第2の液が吐出され、前記第3の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第3の液が吐出され、前記第4の液滴吐出部の吐出室のノズル孔から第4の液が吐出されて、これらのノズル孔から吐出された吐出液が前記ノズル列方向に前記吐出室の配置順序で繰り返されるドット列を形成することを特徴とする請求項1、4、5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   The first droplet discharge unit, the second droplet discharge unit, the third droplet discharge unit, and the fourth droplet discharge unit are arranged on one side of the nozzle row, and these are arranged in the nozzle row direction. The discharge chamber of the first droplet discharge section, the discharge chamber of the second droplet discharge section, the discharge chamber of the third droplet discharge section, and the discharge chamber of the fourth droplet discharge section are repeatedly arranged in this order. The first liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the first droplet discharge unit, the second liquid is discharged from the nozzle hole of the discharge chamber of the second droplet discharge unit, and the third liquid is discharged. The third liquid is discharged from the nozzle holes of the discharge chamber of the droplet discharge section, the fourth liquid is discharged from the nozzle holes of the discharge chamber of the fourth droplet discharge section, and is discharged from these nozzle holes. 6. The dot row in which the discharged liquid is repeated in the nozzle row direction in the arrangement order of the discharge chambers. Liquid droplet ejection head of. 積層して構成された前記各共通液滴室の間にダイアフラムが設けられたことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein a diaphragm is provided between the common liquid droplet chambers configured to be stacked. フェイスイジェクトタイプであることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the liquid droplet ejection head is of a face eject type. エッジイジェクトタイプであることを特徴とする請求項1、4、5、8、9のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid droplet ejection head according to claim 1, wherein the liquid droplet ejection head is of an edge eject type. 複数のノズル孔からなるノズル列と、前記それぞれのノズル孔と連通する複数の吐出室と、前記各吐出室と連通され吐出室に液体を供給する複数の共通液滴室と、前記吐出室の底面に形成された振動板と、該振動板を変位させて前記吐出室の液体を前記ノズル孔から吐出させる駆動手段とを有し、
前記複数の共通液滴室は積層して形成された積層構造とされ、
それぞれの共通液滴室に対して複数の吐出室が連通されて複数の液滴吐出部が形成され、
前記各液滴吐出部の吐出室が前記ノズル列方向に配置されるとともに、前記各液滴吐出部のそれぞれの吐出室に連通するノズル孔が一列に配列された液滴吐出ヘッド、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
A nozzle row composed of a plurality of nozzle holes, a plurality of discharge chambers communicating with the respective nozzle holes, a plurality of common droplet chambers communicating with each of the discharge chambers and supplying a liquid to the discharge chambers, A vibration plate formed on the bottom surface, and driving means for displacing the vibration plate to discharge the liquid in the discharge chamber from the nozzle hole,
The plurality of common droplet chambers has a stacked structure formed by stacking,
A plurality of discharge chambers communicate with each common droplet chamber to form a plurality of droplet discharge portions,
A droplet discharge head in which discharge chambers of the droplet discharge units are arranged in the nozzle row direction, and nozzle holes communicating with the discharge chambers of the droplet discharge units are arranged in a line;
A droplet discharge apparatus comprising:
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