JP2008039852A - Glass optical element and its manufacturing method - Google Patents

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Koichi Nishio
広一 西尾
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Agc Techno Glass Co Ltd
Agcテクノグラス株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass optical element improved in durability of an optical film and assembling precision to optical equipment. <P>SOLUTION: On a rectangular plate-like lens array 1, two principal planes as light transmission faces 2 and 3 are formed, and a cell-like lens 5 are formed on one light transmission face 2. The lens array is provided with: a metal mold processing face 7 molded by metal mold processing composing some of four end faces; a division face 8 division-processed by cutting or breakage composing the remaining end face except for the metal mold processing face 7; and an anti-reflection film 12 formed partly on the other light transmission face 3 by spacing a prescribed interval from the division face 8. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば液晶プロジェクタの光学系に用いられるレンズアレイなどのガラス光学素子及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a glass optical element and its manufacturing method, such as a lens array used for an optical system of a liquid crystal projector.

インテグレータレンズ又はフライアイレンズなどとも称するレンズアレイは、例えば軟化状態のガラスを、マトリックス状にレンズアレイの形状が刻まれた金型で1つずつプレス成形した後、レンズの刻まれていない面を研磨することで例えば矩形板状に成形される。 Lens array, also referred to as an integrator lens or fly's eye lens, for example a glass softened state, after the shape of the lens array formed by pressing one in mold engraved in a matrix, the engraved non surfaces of the lens is shaped for example into a rectangular plate shape be polished. ほとんどの場合、この矩形のガラス基板の研磨面に反射防止膜を真空蒸着などの方法で成膜することで、レンズアレイが得られる。 In most cases, an antireflection film on the polished surface of the glass substrate of the rectangular By deposited by a method such as vacuum deposition, the lens array is obtained. このようにして製造されたレンズアレイでは、金型によってその端面に例えば凹凸が形成され、この凹凸部分が光学機器へ組み付ける際の係合部分などとして利用される。 In such a lens array that is manufactured, for example, irregularities on its end face is formed by the mold, the uneven portion is utilized as the engaging portion of the time of assembling the optical device.

また一方で、このようなレンズアレイを光学部品として用いるプロジェクタは、パーソナルコンピュータやDVDドライブなどの映像関連機器の普及に伴って、プレゼンテーションなどで利用される業務用から、一般家庭用に至るまで用途が拡大している。 On the other hand, a projector is used as the optical component such lens arrays, with the spread of video equipment such as a personal computer or a DVD drive, use a commercial utilized such as a presentation, ranging for homes There has been an expansion. これに伴ってプロジェクタ自体の小型化が進められている。 Miniaturization of the projector itself Along with this has been promoted. 例えば光源の反射鏡に回転楕円面反射鏡を用い、集光光学系を合わせることによって光源からの光を細い平行光束にし、その後段の光学部品や液晶デバイスなどの表示素子自体に小型のものを使用することで、プロジェクタの小型化が図られている。 The rotary ellipsoidal reflecting mirrors used for example in the reflector of the light source, the light from the light source into a narrow parallel beam by setting the focusing optical system, those small display element itself, such as a subsequent stage of the optical components and the liquid crystal device the use, miniaturization of the projector is achieved. こうした装置の内部に使用されるレンズアレイなどの光学部品には小型化が求められており、併せて低価格化が要求されている。 The optical components such as lens array used in the interior of such devices has been required miniaturization, together cost reduction is required.

したがって、このような要求に対応するために、上記した製造方法、つまりレンズアレイ1つずつに対し、成形、研磨、成膜を、洗浄しつつ繰り返し行うこと代えて、複数のレンズアレイを互いに隣接させて配置した状態で一体成形し、成形後に各レンズアレイ毎に分断する製法、あるいは一体成形した複数のレンズアレイを一体のまま、片面又は両面にコーティング処理を施し、その後、各レンズアレイ毎に分断するといった製法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, in order to meet such a demand, a manufacturing method described above, with respect to that is the lens array one by, molding, polishing, film deposition, instead repeated that washed while adjacent a plurality of lens arrays each other integrally formed in a state of being placed in, process to divide each lens array after molding or remain integral multiple lens array are integrally formed, the coating process performed on one or both sides, then, for each lens array process such dividing has been proposed (e.g., see Patent Document 1).

また、平板型マイクロレンズアレイの複数ピース分の大きさを有するガラス基板の一面にレンズ部となる凹部を各ピース毎に形成し、次いでこの凹部に高屈折率樹脂を充填してレンズ部を形成した後、1ピース分の大きさに切断する方法なども提案されている(例えば、特許文献2参照)。 Further, form a recess serving as a lens portion on one surface of the glass substrate is formed for each piece, and then the lens unit is filled with a high refractive index resin in the concave portion having a plurality pieces of magnitude, of the flat-plate microlens array after, it has also been proposed a method of cutting to a size of one piece component (e.g., see Patent Document 2).

ここで、レンズアレイがプロジェクタに内装される際には、レンズアレイの光透過面が光軸に対して正確に配置される必要がある。 Here, when the lens array is furnished to the projector, it is necessary to light transmitting surface of the lens array are accurately positioned with respect to the optical axis. レンズアレイの中心と光軸中心とのずれや、光軸に対するレンズアレイの上下左右方向の角度ずれがあると、正確な光路が得られなくなり、光の利用効率が極端に低下し、投射画像が暗くなる。 And the deviation between the center and the center of the optical axis of the lens array, when a vertical and horizontal direction of the angular displacement of the lens array with respect to the optical axis, no longer accurate optical path is obtained, the utilization efficiency of light is extremely reduced, the projection image Get dark. また、この場合、照度むらなどの不都合が生じる。 In addition, in this case, it occurs problems such as uneven illuminance.

さらに、投射型のプロジェクタにおいては、投射像の照度むらを解消するために、それぞれ照度分布の異なる二枚のレンズアレイを光路上に離間して設けている。 Furthermore, in the projection type projector, in order to eliminate the uneven illuminance of the projected image, it is spaced apart two sheets of lens arrays having different respective illuminance distribution on the optical path. これらは他の光学要素と接着して組み込まれるものの他、これらレンズアレイの端面を基準面として用い、光路上に組み付けられるものがある。 These others are incorporated by bonding with other optical elements, with the end surface of the lens array as a reference surface, there is assembled to the optical path.

レンズアレイの端面を基準面として用いる場合には、これらの端面の形状精度が重要になる。 When using an end surface of the lens array as a reference surface, the shape accuracy of these end faces is important. 上記特許文献1、2に記載されているように、多数個を一体成形した基板から切断によって個々のレンズアレイを切り出す場合、切断精度が光学的精度に直接影響する。 As described in Patent Documents 1 and 2, when cutting out individual lens array by cutting a large number of integrally molded board, cutting accuracy is directly affect the optical precision. 切断面に傾きがあると、光軸に対する光透過面の角度ずれが生じ、また切断位置のばらつきはレンズアレイの中心と光軸とのずれの原因になる。 If there is an inclination to the cutting plane, the angle deviation of the light transmitting surface occurs with respect to the optical axis and the variation of the cutting position causes the misalignment between the center and the optical axis of the lens array. いずれにしても切断などの後加工に依存する限り、加工のばらつきを皆無にすることは困難である。 As long as dependent on post-processing, such as any case be cut, it is difficult to completely eliminate variations in processing. 製品外周の芯取加工を前提とした場合には、端面からレンズアレイの中心までの距離を所定の値に保つために、切削分の削りしろが、必要になるので、それだけ成形効率が低下することになる。 When assuming the Sint product processing periphery, in order to keep the distance from the end face to the center of the lens array to a predetermined value, the white cutting cutting amount, because they are needed, the more the molding efficiency is reduced It will be.

特に、特許文献1の場合、切断面をそのまま位置決めに利用しようとすると、レンズの光軸中心と位置決め面となる切断面との間の距離を正確に測定して切断しなければならないが、現実には成形ピッチのばらつき、切断精度などによるばらつきが原因となり、正確な位置決めを行うことは難しくなっている。 In particular, in the case of Patent Document 1, an attempt to use the cutting surface as it is positioned, but must be cut to precisely measure the distance between the cutting surface as the optical axis and the positioning plane of the lens, the real variations in molding pitch, the variation due to the cutting accuracy causes, by performing accurate positioning is difficult.

以上のような課題を解消するために、レンズアレイの新たな製法が提案されている(例えば、特許文献3参照)。 To solve the above problems, a new method of the lens array have been proposed (e.g., see Patent Document 3). 特許文献3の製法では、レンズアレイの四つの端面のうちの金型により成形された隣接する二つの端面を取り付けの基準面とすることで、比較的高精度なこの金型加工面を利用し正確な位置決め及び組付けを行うことができる。 The method of Patent Document 3, the two end faces of adjacent molded by a mold of the four end faces of the lens array by the reference surface of the mounting, utilizing a relatively high accuracy the die working surface it is possible to perform accurate positioning and assembling. また、特許文献3の製法では、軟化状態のガラス材料を用い金型によって例えば四枚分のレンズアレイを一体成形し、この四枚分のレンズアレイが一体化された成形体の状態で、研磨及び成膜工程を行うことにより、ハンドリングを容易にするとともに、工数及び加工コストの削減を図っている。 Further, in the method of Patent Document 3, by the glass material using dies softened state integrally molded four sheets lens array, e.g., in the form of molded lens array of these four sheets are integrated, polished and by performing the film forming process, together with ease of handling, thereby achieving a reduction of man-hour and processing cost.
特開2000−37787号公報 JP 2000-37787 JP 特開平9−90360号公報 JP 9-90360 discloses 特開2005−107410号公報 JP 2005-107410 JP

しかしながら、複数のレンズアレイが一体となった成形体の状態で成膜工程を行った後に切断又は破断によって各レンズアレイ毎に分離させる場合、次のような課題があることがわかった。 However, when a plurality of lens arrays can be separated for each lens array by cutting or breaking after the film forming process in the state of the molded body together, it was found that there are the following problems. すなわち、上記特許文献1又は特許文献3の方法では、一体成形されたレンズアレイに成膜した後に各レンズアレイ間を切断または破断するため、レンズアレイ上に形成された反射防止膜などのコート層も同時に切断又は破断される。 That is, in the method of Patent Document 1 or Patent Document 3, for cutting or breaking between the lens array after forming the lens array are integrally molded, the coating layer such as an antireflection film formed on the lens array also cut or broken at the same time. このため、コート層の分断された端部は、膜が荒れた状態となってレンズアレイ本体との密着力が低下する。 Thus, shed ends of coating layer, adhesion between the lens array body is lowered in a state where the film is rough.

一方、液晶プロジェクタなどに内装されるレンズアレイは、光源の近傍に配置されるため、光源からの熱を受けて使用時には高温になり、非使用時には常温にまで冷却される。 On the other hand, a lens array that is furnished to a liquid crystal projector may be placed in the vicinity of the light source, it becomes hot in use by the heat from the light source, when not in use is cooled to ambient temperature. この冷熱サイクルを繰り返すうちに、コート層の端部とレンズアレイ本体との隙間に大気中の水分が浸透し、コート層の端部から膜剥れや膜クラックが生じ、長期的な品質の安定性が損なわれるおそれがある。 While repeating this thermal cycle, and a gap permeated moisture in the atmosphere to the end portion and the lens array body of the coating layer, cause peeling Re and film cracks from the end of the coating layer, stable long-term quality there is a possibility that sex may be impaired.

そこで、本発明は、こうした従来の課題を解決するためのものであり、光学機器への組付け精度を向上させることができると共に、光学膜の耐久性を改善し長期的に安定した光学品質を維持できるガラス光学素子及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention is intended to solve such conventional problems, it is possible to improve the assembling accuracy of the optical instruments, the long-term stable optical quality improved durability of the optical film and to provide a glass optical element and a manufacturing method thereof can be maintained.

本発明のガラス光学素子は、二つの主面が各々光透過面として構成され、少なくとも一方の前記光透過面にセル状レンズが形成された矩形板状のガラス光学素子であって、四つの端面のうちの幾つかを構成する金型加工により成形された金型加工面と、前記金型加工面を除く残りの端面を構成する切断又は破断により分断加工された分断面と、前記分断面から所定の間隔を空けて少なくとも一方の光透過面上に部分的に形成された光学膜と、を具備することを特徴とする。 Glass optical elements of the present invention, two main surface is configured as respective light transmitting surface, a rectangular plate-shaped glass optical elements cellular lenses are formed on at least one of the light transmitting surface, four end faces a cutting surface which is divided processed by cutting or breaking constituting the remaining end face except the mold processing surface which is formed by a die process, the mold processing surface constituting some of the, from the partial sectional characterized in that it comprises a and an optical film which is partially formed on at least one light transmitting surface on at predetermined intervals.

本発明によれば、光透過面上の光学膜が、前記分断面から所定の間隔をあけて形成されているので、分断面が加工成形される際の切断又は破断による物理的な影響が光学膜に及ぶことを回避することができる。 According to the present invention, the optical film on the light transmitting surface, since it is formed at a predetermined distance from said partial cross-section, the physical effect of cutting or breaking when the partial cross-section is machined shaping optical it is possible to avoid that spans the membrane. これにより、端縁部分を含む光学膜は、膜全体として成膜時の状態を維持でき、例えば高温にさらされるような使用環境にあっても膜剥れや膜クラックを生じ難く、長期的に安定した光学品質を維持することができる。 Thus, an optical film including its edge portion can maintain the state at the time of film formation as a whole film, for example, hardly occurs film peeling and film cracks even in use environments such as exposure to high temperature, long term it is possible to maintain a stable optical quality.

ここで、本発明の矩形板状のガラス光学素子では、四つの端面のうちの互いに隣接する所定の二つの端面は、前記分断面で構成されることが好ましく、また、互いに隣接する残りの二つの端面は、前記金型加工面で構成されることが望ましい。 Here, a rectangular plate-shaped glass optical element of the present invention, the predetermined two end surfaces adjacent to each other of the four end faces, it is preferable to be composed of the partial cross-section, also, other two adjacent to each other One of the end surface is preferably constructed in the mold processing surface.

また、本発明においては、前記金型加工面の一部を、位置決め用の基準面として形成することで、金型成形により高い加工精度を得られるこの基準面を利用して、本発明のガラス光学素子を組み込むべき例えばプロジェクタなどの光学機器への正確な位置決め及び組付けを実現することができる。 In the present invention, a portion of the mold processing surface, by forming a reference surface for positioning, by utilizing the reference surface obtained high machining accuracy molding, the glass of the present invention it is possible to realize a precise positioning and assembly of the optical instrument, such as a projector to incorporate optical elements. 特に、矩形板状のガラス光学素子の四つの端面のうちの隣接する二つの端面を金型加工面とし、かつこの金型加工面一部を位置決め用の基準面として形成することで、矩形板状のガラス光学素子の表面に沿った方向のセル状レンズの角度ずれを防止できる。 In particular, the two end faces of adjacent one of the four end surfaces of the rectangular plate-shaped glass optical elements and the die working surface, and by forming the die machining surface portion as a reference surface for positioning, rectangular plate Jo of the angular deviation of the direction of the cell-like lens along the surface of the glass optical element can be prevented. また、上記基準面とセル状レンズとを一体で金型成形することが望ましい。 It is also desirable to mold integrally molded and the reference surface and the cell-like lens. このような構成により、上述したプロジェクタ内において、ガラス光学素子上のセル状レンズを光軸に対してより正確に配置できるので、光の利用効率が高められた鮮明な投光画像が得られ、また、照度むらの発生などを抑制することもできる。 With such a configuration, in the projector described above, since the cellular lens on the optical glass element can be more precisely positioned relative to the optical axis, sharp projection image light use efficiency is enhanced is obtained, it is also possible to suppress such generation of the uneven illuminance.

また、前述した基準面を含む金型加工面を凹凸面で形成することで、上述したプロジェクタなどに対する位置決め及び組み付けをより好適に行うことができる。 Further, by forming in a concavo-convex surface die machining plane including the reference surface described above, it is possible to position and assembly for such a projector as described above more appropriately.

さらに、上述した基準面を有する金型加工面以外の端面、すなわち、分断面は、組付け時の位置決めには使用されないので、高い精度を必要とせず、しかも、加工成形される際の切断又は破断による物理的な影響が光学膜に及ぶことがないので、ラフな切断や破断によって形成されても支障がなく、これにより、製造工程を簡略化でき、また製造コストを低減させることができる。 Furthermore, the end face other than the die working surface having a reference surface mentioned above, i.e., minute cross-section, because it is not used for positioning during assembly does not need high precision, moreover, cutting the time to be processed molded or since physical effects due to breakage never extends to the optical film, there is no problem even if being formed by a rough cutting or breaking, thereby, possible to simplify the manufacturing process and can reduce the manufacturing cost. なお、本発明の矩形板状のガラス光学素子においては、その角が切り欠かれていたり、曲線状であってもよい。 In the rectangular plate-shaped glass optical element of the present invention, the or corners have been cut, it may be curved.

また、本発明においては、前記セル状レンズが形成されている前記光透過面は、前記セル状レンズの周縁を囲むフランジ部を有し、このフランジ部の表面よりも前記セル状レンズが凹んだ位置に形成されていることが好ましい。 In the present invention, the light transmitting surface on which cell-like lens is formed has a flange portion surrounding the periphery of the cell-like lens, it dented the cellular lens than the surface of the flange portion it is preferably formed at a position. このフランジ部をガラス光学素子の把持部として利用することで、例えば製造工程でのガラス光学素子のハンドリングが容易となる。 The flange portion by using as a gripping portion of the glass optical element, for example the handling of the glass optical element in the manufacturing process is facilitated. さらに、フランジ部の表面よりもセル状レンズが凹んだ位置に形成されることにより、例えば製造工程において、セル状レンズ側を下向きにしてガラス光学素子を載置した場合でも、レンズ面が直接載置面に触れることがないので、セル状レンズの汚損及び傷つきが防止される。 Furthermore, by being formed at a position dented cellular lens than the surface of the flange portion, for example in the manufacturing process, even when placing the glass optical elements with a cellular lens downward, placing the lens surface is directly since there is no touching the surface, fouling of the cellular lenses and damaged is prevented. また、このような構成のガラス光学素子は、セル状レンズ側を下向きにして載置できるので、例えばセル状レンズの形成されていない光透過面側の研磨面や成膜面などを特別に保護することなく、机上などに直接載置でき、取り扱いが容易である。 Also, glass optical element having such a configuration, since the cellular lens can be placed in the downward, for example, such as cellular lens light transmitting surface side of the polishing surface and the deposition surface is not formed specially protected without, etc. can directly placed desk, it is easy to handle.

また、本発明のガラス光学素子では、分断面の少なくとも一辺が、面取り加工されていることが好ましい。 Further, a glass optical element of the present invention, at least one side of the minute section is, which is preferably chamfered. すなわち、ガラスの切断面は、鋭利であることから、切断又は破断によって形成された端面は、面取り加工されていることが好ましく、この面取り加工により、切断面や破断面からのガラス片が光透過面に付着したり光透過面を傷付けたりすることを防止するのに有効である。 That is, the cut surface of the glass, because it is sharp, the end surface formed by cutting or breaking is preferred to be chamfered by the chamfering, the glass pieces light transmission from the cut surface and fracture surface is effective to prevent or damage the adhered to the surface or the light transmitting surface. また、本発明では、光透過面上の光学膜が、分断面から所定の間隔をあけて形成されているので、上述した面取り加工の際の物理的な影響が光学膜に直接的に及ぶことを回避でき、これにより、面取り加工を容易に行うことができる。 In the present invention, the optical film on the light transmitting surface, because it is formed from a partial cross-section at a predetermined interval, the physical impact of the chamfering described above spans directly to the optical film the can be avoided, thereby, it is possible to perform chamfering easily.

また、本発明のガラス光学素子においては、前記セル状レンズは、二つの前記光透過面のうちの一方にのみ形成されており、前記セル状レンズの形成されていない他方の前記光透過面が光学研磨され、その研磨面の上に前記光学膜が形成されていることを特徴とする。 In the optical glass element of the present invention, the cell-like lens is formed only on one of the two said light transmitting surface, the other of the light transmitting surface which is not formed of the cellular lenses It is optically polished, wherein the optical film is formed on the polished surface. また、前記光学膜としては、反射防止膜、紫外線カット膜、赤外線カット膜のいずれか一つ又はこれらの組合せからなるものが使用される。 Further, as the optical film, antireflection film, ultraviolet protection film, is made of any one or combination of the infrared cutoff film is used.

例えば、ガラス光学素子に紫外線カット作用を付与する目的で紫外線カット膜を成膜する場合、二つの光透過面のうちのいずれの面にも成膜することも可能であるが、凹凸のあるセル状レンズの形成面側に成膜するよりも平面研磨された面に成膜するほうが、均質で光の入射角度による影響が出難い膜を容易に成膜することができる。 For example, when forming an ultraviolet cut film for the purpose of imparting UV acting on the glass optical element, although it is possible also to deposit on any surface of the two light transmitting surface, an uneven cell better forming the planar polished surface than deposited on the forming surface side of the Jo lens, a homogeneous hardly be affected by the incident angle of light film can be easily formed. また、前記光学膜としては、光学系による反射損失低減の目的での反射防止膜、液晶表示素子などへの影響を排除するための紫外線カット膜、赤外線カット膜などを目的に応じて成膜する。 Further, as the optical film, deposited according antireflection film for the purpose of reflection loss reduction by the optical system, a liquid crystal display ultraviolet protection film to eliminate the influence of the element to such, an infrared cutoff film on the purpose . さらに、このような光学膜を成膜する場合、真空蒸着又はスパッタリングによる成膜方法が、膜の光学的品質や膜の耐久性の面などを考慮した場合に好適である。 Furthermore, when forming such an optical film, the film forming method by vacuum evaporation or sputtering, is preferred when considering the durability of the surface of optical quality and film layer. また、本発明のガラス光学素子は、上述したようにプロジェクタ内部の光学系に好適に用いることができる。 The glass optical element of the present invention can be suitably used for an optical system of the projector as described above.

本発明のガラス光学素子の製造方法は、二つの主面が各々光透過面として構成される共に一方の前記光透過面にセル状レンズを有する矩形板状のガラス光学素子を製造する製造方法であって、製造すべき前記ガラス光学素子の反転形状を複数個分有する金型により、軟化状態のガラス材料をプレスし、複数個分の前記ガラス光学素子が一体成形された成形体を得るプレス成形工程と、前記プレス成形工程で得られた前記成形体の前記セル状レンズの形成されていない他方の前記光透過面側を光学研磨する光学研磨工程と、前記光学研磨工程で光学研磨された前記他方の光透過面上に定められている成形体分断のための分断予定線を含む所定幅をマスクし、マスクしたこの他方の光透過面上に光学膜を被着させる成膜工程と、前記成膜工程で前 Method of manufacturing a glass optical element of the present invention is a method of manufacturing a rectangular plate-shaped glass optical element having a cell-like lens together one of the light transmitting surface formed as two major faces each light transmitting surface there are, by a die having a plurality min the reverse shape of the glass optical element to be manufactured, the glass material softened and pressed, press molding to obtain a molded product in which the glass optical element a plurality amount has been integrally molded a step, the optical polishing step of optically polishing the other of the light transmitting surface side is not formed of the resulting above cellular lens of the molded body in the press molding process, the optically polished by the optical polishing step masking the predetermined width including a cutting plan lines for moldings division which is defined in the other of the light transmitting surface, and a film forming step of depositing an optical film as a mask was the other light transmitting surface, the before the film forming process 光学膜を被着された前記成形体を前記分断予定線に沿ってガラス光学素子毎に分断する分断工程と、を有することを特徴とする。 It characterized by having a a dividing step of dividing each glass optical element along said shaped body is deposited an optical film wherein be cut line.

本発明のガラス光学素子の製造方法によれば、複数個分のガラス光学素子を一体成形した状態の扱い易いサイズの成形体に対し研磨及び成膜加工を行なうことができるので、ハンドリングなどに伴う傷付きなどを低減でき、また一体加工による利点として工数及び加工コストを削減することができる。 According to the method of manufacturing a glass optical element of the present invention, it is possible to perform the polishing and deposition process to tractable size of the molded body in a state of integrally molded glass optical element a plurality minute, accompanied like handling can be reduced such as scratches, also can be reduced man-hour and processing cost as advantages of integrated processing. また、本発明では、複数個分のガラス光学素子が一体に成形された成形体を個別のガラス光学素子に分断するための分断予定線を含む所定幅をマスクして光学膜を被着させるため、光透過面上の光学膜が、前記分断面から所定の間隔をあけて形成されることになる。 In the present invention, since the plurality fraction of glass optical elements of depositing an optical film by masking a predetermined width including a cutting plan lines for separating into individual glass optical element molded body formed integrally the optical film on the light transmitting surface, to be formed with a predetermined spacing from the partial cross-section. これにより、その後の分断工程で分断予定線に沿って成形体を個々のガラス光学素子に切断又は破断する際に、光学膜自体に切断又は破断時の影響を与えることなく、成形体を分断することができる。 Accordingly, when the subsequent cutting or breaking the moldings along section scheduled lines dividing step into individual glass optical elements without affecting during cutting or breaking the optical film itself, cutting the molded body be able to.

また、本発明のガラス光学素子の製造方法においては、前記成形体は、所定の基準位置に対し、四個分のガラス光学素子各々が、回転対称の関係を満たすように田の字状に配置された状態で成形されていることが好ましい。 In the method of manufacturing a glass optical element of the present invention, the molded body to a predetermined reference position, the glass optical element each of four content, disposed in the form of field so as to satisfy the relation of rotational symmetry which is preferably formed in a state of being. つまり例えば、プロジェクタ用のレンズアレイは、通常、縦横比が異なるセル状レンズの集合体であり、その行数と列数も異なるのが一般的である。 Thus, for example, a lens array for a projector is generally a collection of aspect ratios different cellular lens, the number of the row and column numbers also differs in general. そこで、上述したように、当該成形体表面に沿った方向の中心位置に対して回転対称となるように四個分のガラス光学素子を成形体上に配置することで、分断後に、プロジェクタ用のレンズアレイの用途に対応したほぼ同一形状の四つのガラス光学素子を得ることができる。 Therefore, as described above, by disposing the glass optical elements of four minutes such that the rotational symmetry with respect to the direction of the center position along the surface of the molded body on the molded article, after cutting, for a projector the lens array applications can be obtained four glass optical elements having substantially the same shape corresponding.

また、本発明のガラス光学素子の製造方法では、前記プレス成形工程において、ガラス光学素子毎の各セル状レンズの周縁を各々囲むフランジ部が成形される共に、前記各セル状レンズが前記フランジ部の表面よりも凹んだ位置に成形され、さらに、前記分断工程において、前記分断予定線を含む所定幅を除いて前記光学膜が被着された前記他方の光透過面側から、当該破断予定線に沿って切断刃を当接させることにより、前記成形体がガラス光学素子毎に分断されることが好ましい。 Further, in the method of manufacturing a glass optical element of the present invention, in the press molding process, both the flange portion surrounding each of the peripheral edge of each cell-like lenses of each glass optical element is molded, each cellular lenses the flange portion is molded in a position recessed from the surface of the further, in the dividing step, the cutting plan lines from said other light transmissive surface side of the optical film is deposited except a predetermined width including a said breakable line by abutting the cutting blade along a, it is preferable that the molded body is divided for each glass optical element.

上述したフランジ部を成形することにより、光学研磨側や光学膜側を上向きにしかつフランジ部側を下向きにして成形体を載置できるので、光学研磨する側の面や光学膜側が上向きになる状態で、光学研磨工程や分断工程を実施することができ、研磨面や光学膜を傷付けることなく、ガラス光学素子を得ることができる。 By forming a flange portion as described above, since the optical polishing side and the optical film side can be placed a molded body in the downward only One flange portion upwardly, the surface and the optical film side of the side to be optically polished faces upward state in, it is possible to implement an optical polishing step and dividing step, without damaging the polished surface and the optical film, it is possible to obtain an optical glass element. これにより、その後の分断工程で分断予定線に沿って成形体を個々のガラス光学素子に切断又は破断する際に、光学膜自体に切断又は破断時の影響を与えることなく、成形体を分断することができる。 Accordingly, when the subsequent cutting or breaking the moldings along section scheduled lines dividing step into individual glass optical elements without affecting during cutting or breaking the optical film itself, cutting the molded body be able to. さらに、本発明の製法では、分断予定線を含む所定幅を除いて光学膜が被着された光透過面側から破断予定線に沿って切断刃を当接させるので、光学膜に損傷を与えることなく成形体を分断することができる。 Further, in the method of the present invention, the optical film except the predetermined width including a division planned line so abut the cutting blade along a breakable line from the light transmitting surface side which is deposited, damaging the optical film it is possible to separate the molded body without.

このように本発明は、光学機器への組付け精度を向上させることができると共に、光学膜の耐久性を改善し長期的に安定した光学品質を維持することの可能なガラス光学素子及びその製造方法を提供することができる。 Thus the present invention, it is possible to improve the assembling accuracy of the optical instruments, to improve the durability of the optical film long-term stable glass optical element and its manufacturing capable of maintaining the optical quality was the method can be provided.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。 It will be described below with reference to best modes for carrying out the present invention with reference to the drawings.
(第1の実施の形態) (First Embodiment)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るガラス光学素子としての液晶プロジェクタ用のレンズアレイを示す斜視図であり、図2は、その平面図である。 Figure 1 is a perspective view showing a lens array for a liquid crystal projector as optical glass element according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view thereof. また、図3は、図2に示すレンズアレイのA−A断面図であり、図4は、図3のB部詳細図である。 Further, FIG. 3 is an A-A sectional view of the lens array shown in FIG. 2, FIG. 4 is a B section detail view of FIG.

図1〜図4に示すように、インテグレータレンズ又はフライアイレンズなどとも称するレンズアレイ1は、矩形板状の外形を有し二つの主面が各々光透過面2、3として構成されている。 As shown in FIGS. 1 to 4, a lens array 1, also referred to as an integrator lens or fly's eye lens, two main surfaces having a rectangular plate-like outer shape is formed respectively as a light transmitting surface 2. この一方の光透過面2には、4行×5列に配列されたセル状レンズ(セル状に並ぶ複数のレンズ)5が形成されている。 On the light transmitting surface 2 of the one hand, four rows × 5 array of cellular lens rows (a plurality arranged in cellular lens) 5 is formed. また、レンズアレイ1の光透過面2側には、セル状レンズ5の周縁を囲むフランジ部6が設けられている。 Further, the light transmitting surface 2 side of the lens array 1, a flange portion 6 surrounding the periphery of the cellular lens 5 is provided. セル状レンズ5は、このフランジ部6の表面よりも凹んだ位置に形成されている。 Cellular lens 5 is formed in a position recessed from the surface of the flange portion 6.

また、レンズアレイ1の外縁を形成する四つの端面のうちの互いに隣接する所定の二つの端面は、金型加工により成形された金型加工面7により構成されている。 The predetermined two end surfaces adjacent to each other of the four end surfaces forming the outer edge of the lens array 1 is constituted by a die working surface 7 which is molded by mold processing. 一方、レンズアレイ1の外縁を形成する四つの端面のうちの金型加工面7を除く、互いに隣接する残りの二つの端面は、切断又は破断により分断加工された分断面8により構成されている。 On the other hand, except for the mold processing surface 7 of the four end surfaces forming the outer edge of the lens array 1 and the remaining two end faces which are adjacent to each other is constituted by a cutting surface 8 is divided processed by cutting or breaking .

また、前者の金型加工面7の一部は、位置決め用の基準面9として形成されている。 Also, some of the former of the mold working surface 7 is formed as a reference plane 9 for positioning. この基準面9は、光透過面2、3に対して垂直、すなわち光透過面2、3を透過する光の光軸に対して平行になるように構成されている。 The reference surface 9 is configured to be parallel to the optical axis of the light transmitted through a vertical, i.e. a light transmitting surface 2 with respect to the light transmitting surface 2. また、基準面9は、金型加工面7全体に対して相対的に突出する凸部として形成されている。 Further, reference surface 9 is formed as a convex portion relatively protrudes to the entire mold processing surface 7. なお、金型加工面7の基準面9以外の部位は、基準面9に対して相対的に凹部となる斜面10で形成されている。 Incidentally, portions other than the reference surface 9 of the die working surface 7 is formed at the slope 10 to be relatively concave with respect to the reference plane 9. 斜面10は、光透過面3側から光透過面2側に向かうにつれて僅かにレンズアレイ1の中心側に傾斜している。 Slope 10 is inclined toward the center of the slightly lens array 1 as a light transmitting surface 3 side toward the light transmitting surface 2 side.

また、図1〜図4に示すように、レンズアレイ1の少なくとも切断又は破断により形成された分断面8の各稜部には、面取り加工が施され、面取り部11が形成されている。 Further, as shown in FIGS. 1 to 4, each ridge of the lens array 1 at least cut or formed by the fracture split surfaces 8, chamfering processing is given, the chamfered portion 11 is formed. なお、金型加工により形成された金型加工面の各稜部にもR面又はC面などによる面取り部が形成されている。 Incidentally, the chamfered portion due R plane or C plane to the ridge of the mold processing surface formed by die machining is formed. さらに、セル状レンズ5が形成されていない他方の光透過面3は、光学研磨されており、その研磨面の上に真空蒸着又はスパッタリングにより成膜された光学膜として反射防止膜12が形成されている。 Moreover, other light transmitting surface 3 cellular lens 5 is not formed is optically polished, the antireflection film 12 is formed as an optical film formed by vacuum deposition or sputtering on the polished surface ing. この反射防止膜12は、分断面8から所定の間隔を空けて他方の光透過面3上に部分的に形成さている。 The anti-reflection film 12, the minute cross-sectional 8 at a predetermined interval are formed partially on the other light transmitting surface 3. 詳述すると、この反射防止膜12は、光透過面2側のセル状レンズ5の形成領域を光透過面3側から少なくとも覆い、かつ光透過面3の外縁(分断面8)から、所定の間隔、例えば約1〜2mmの幅の後述する非成膜部分(図10Bの非成膜部26参照)を残して成膜されている。 More specifically, the anti-reflection film 12 covers at least a formation region of the cellular lens 5 of the light transmitting surface 2 side from the light transmitting surface 3 side and from the outer edge of the light transmitting surface 3 (min section 8), the predetermined intervals, for example, leaving the non-deposition portion, described later, of a width of approximately 1 to 2 mm (see non film forming section 26 in FIG. 10B) are deposited.

なお、プロジェクタ用としてのレンズアレイ1の代表的なサイズを例示すると、レンズアレイ1が40〜70mm角で、セルサイズが縦3〜5mm、セルの縦横比が4:3〜16:9などであり、外周のフランジ部6の幅は、約2〜4mmである。 Incidentally, when illustrate representative size of the lens array 1 for use with a projector, lens array 1 in 40~70mm angle, cell size Vertical 3 to 5 mm, aspect ratio of the cell 4: 3 to 16: 9, etc. There, the width of the flange portion 6 of the outer circumference is about 2-4 mm. なお、レンズアレイ1は、20mm〜40mm程度のサイズのものも勿論適用可能である。 The lens array 1 is of course also applicable of a size of about 20 mm to 40 mm.

このようなレンズアレイ1は、例えば以下のようにしてプロジェクタの光学系に組み込まれて使用される。 Such a lens array 1 is used by being incorporated in an optical system of a projector, for example, as follows. 例えば、光透過面2、3側からみたレンズアレイ1の外形サイズに対応する開口部を持つ金属製の板金部品又は成形部品からなる枠体を用意する。 For example, providing a frame body made of a metallic sheet metal part or molded part having an opening corresponding to the outer size of the lens array 1 as viewed from the light transmitting surface 2 side. さらに枠体には、その内側面に所定の位置決め面が設けられている。 More frame, predetermined positioning surface is provided on its inner surface. また、枠体には、板ばね、コイルスプリング、ボルトなど、位置決め面に対しレンズアレイ1の基準面9を押圧しつつ固定するための押圧固定部品が設けられている。 Further, the frame member, a leaf spring, a coil spring, a bolt, etc., pressed and fixed parts for fixing while pressing the reference surface 9 of the lens array 1 is provided to the positioning surface. レンズアレイ1の基準面9を枠体の位置決め面に強固に固定するために、この押圧固定部品に加え、接着材を併用してもよい。 The reference surface 9 of the lens array 1 in order to firmly fix the positioning surface of the frame, in addition to the press fixing part may be used in combination an adhesive. このような押圧固定部品や接着剤などを利用してレンズアレイ1が開口部に嵌め込まれた枠体は、プロジェクタの光学系の光路上に、その他の光学部品と光軸を一致させるようにして正確に位置決め固定される。 Frame to the lens array 1 by utilizing such such pressed and fixed parts and the adhesive is fitted in the opening, on the optical path of the optical system of the projector, so as to match the other optical components and the optical axis It is accurately positioned and fixed. また、金型加工面7に形成された斜面10は、当該斜面10に嵌合するように枠体に設けておいた係合片と係合させるようにしてもよい。 Further, the slope 10 formed in die machining surface 7 may be engaged with the engaging piece which had been provided on the frame so as to fit to the slope 10.

また、本実施形態のレンズアレイ1は、基準面9を有する金型加工面7とセル状レンズ5とが金型によって一体成形されている。 Further, the lens array 1 of this embodiment includes a die working surface 7 and the cell-like lens 5 having a reference surface 9 are integrally molded by the mold. これにより、基準面9からセル状レンズ5までの距離は、金型の精度によって決まるので、高い部品精度を得ることができる。 Thus, the distance from the reference surface 9 to the cell-like lens 5, so determined by the mold of precision, it is possible to obtain a high component accuracy. したがって、上記枠体の位置決め面に対しレンズアレイ1の基準面9を位置合わせすることで、レンズアレイ1上のセル状レンズ5を所望の位置に高精度に位置決めすることができる。 Therefore, by aligning the reference surface 9 of the lens array 1 to the positioning surface of the frame member, the cellular lens 5 on the lens array 1 can be positioned with high accuracy at a desired position.

なお、図1〜図4では、金型加工面7の凸部を基準面9として適用しているが、凹部を基準面とすることも可能である。 In FIG. 1-4, but is applied as a reference surface 9 a convex portion of the die working surface 7, can be a reference plane a recess. また、この基準面9は、図1及び図2に示すように、一つの端面に間隔を空けて二個所以上設けることで、位置合わせの精度が向上する。 Also, the reference surface 9, as shown in FIGS. 1 and 2, by spaced one end face provided above two plants, to improve the accuracy of the alignment. なお、金型加工面7の斜面10は、プレス成形での金型の抜き勾配でもある。 Incidentally, the inclined surface 10 of the die working surface 7 is also the draft angle of the mold in the press molding.

また、分断面8は、相対する側の基準面9と平行な面であることが望ましいが、レンズアレイ1と上記した枠体の位置決め面を密着させ得る押圧力を受け止めることができれば、基準面9と平行な面でなくてもよい。 Also, the minute section 8 is desirably a plane parallel to the reference surface 9 of the opposite side, if it is possible to receive a pressing force capable of close contact with the positioning surface of the lens array 1 and the above-mentioned frame, the reference plane 9 and may not be parallel surfaces.

次に、本実施形態に係るレンズアレイ1の製造方法を、ガラス素材の作製、金型、プレス成形工程、研摩工程、反射防止膜の成膜工程及び分断工程の順に説明する。 Next, a manufacturing method of the lens array 1 according to the present embodiment, the production of the glass material, the mold press forming process, grinding process, will be described in the order of the deposition process and dividing step of the antireflection film.

[ガラス素材の作製] [Production of glass material]
予め製品重量の1.3〜5倍のガラス素材を用意する。 In advance to prepare a 1.3 to 5 times that of the glass material of the product weight. このガラス素材は、周知の方法で溶融されたガラスを型内に鋳込む、又は溶融炉から連続的に引き出してロッド状に成形し、適当な長さに切断するなどの方法で得る。 The glass material is cast into a mold of glass that has been melted in a known manner, or formed into a rod shape is continuously withdrawn from the melting furnace, obtainable by the process, such as cutting into appropriate lengths. プロジェクタ用のレンズアレイ1は、上述したように光源の近傍に配設されて高温になるため、温度変化による熱膨張が光学特性に影響しないようにガラス自体の耐熱性を確保する目的で、比較的低膨張のガラスが適用される。 Lens array 1 for a projector, since a high temperature is disposed in the vicinity of the light source as described above, for the purpose of thermal expansion due to a temperature change to secure the heat resistance of the glass itself so as not to affect the optical properties, compared specifically low expansion glass is applied. ここで、ガラスの熔融性やプレス成形による形状転写性などを考慮すると、平均線膨張係数が30×10 -7 /℃〜45×10 -7 /℃程度の硼珪酸ガラスが好適である。 Here, when considering the shape transferability by meltability and press molding of glass, average linear expansion coefficient of 30 × 10 -7 / ℃ ~45 × 10 -7 / ℃ about borosilicate glass is preferred. なお、平均線膨張係数が100×10 -7 /℃程度までのガラスは、使用可能である。 The glass average linear expansion coefficient of up to about 100 × 10 -7 / ℃ can be used. ただし、この場合、ガラスの機械的強度及び耐熱強度を高めるために、風冷強化することが好ましい。 However, in this case, in order to increase the mechanical strength and heat resistance of the glass, it is preferable to enhance air-cooling. この際の風冷強化は、強化処理後に切断するとガラスに割れが生じるおそれがあるため、成形体を各レンズアレイに分離した後に行うことが望ましい。 Air cooling tempering at this time, there is a possibility that cracks occur in the glass when cut after hardening, it is preferable to perform the compact after separation into each lens array. また、本実施形態では、平均線膨張係数が32×10 -7 /℃の硼珪酸ガラスをガラス素材として用いる。 Further, in the present embodiment, the average linear expansion coefficient of used borosilicate glass 32 × 10 -7 / ℃ as a glass material.

[金型] [Mold]
次に、プレス成形で用いる金型について、図5A〜図7Bに基づき説明を行う。 Next, the mold used in press molding will be described based on FIG 5A~ Figure 7B. ここで、図5Aは、レンズアレイ1の成形に用いる金型14の断面図であり、また、図5Bは、金型14を構成する上型15の底面図である。 Here, FIG. 5A is a sectional view of a mold 14 used for molding the lens array 1, and FIG. 5B is a bottom view of the upper mold 15 constituting the mold 14. また、図6は、図5Aの金型14のプレス成形時の状態を模式的に示す断面図である。 6 is a sectional view showing a state during press forming of the mold 14 of FIG. 5A schematically. さらに、図7Aは、セル状レンズの中央部が凸形状となるレンズアレイ1を成形する場合に好適な金型の構造を示す断面図であり、図7Bは、セル状レンズの中央部が凹形状となるレンズアレイ1を成形する場合に好適な金型の構造を示す断面図である。 Further, FIG. 7A is a sectional view showing a preferred mold structure when the center portion of the cellular lens molding the lens array 1 serving as a convex shape, FIG. 7B, the central portion of the cellular lens concave it is a sectional view showing a preferred mold structure when molding the lens array 1 to be shaped.

図5Aに示すように、金型14は、上型15と下型16とから構成される。 As shown in FIG. 5A, the mold 14 comprises an upper die 15 and lower die 16.. また、金型14は、図5A〜図6に示すように、製造すべきレンズアレイ1の反転形状を複数個分(図5Bの例示では4×2個分)有し、軟化状態のガラス材料をプレスし、複数個分のレンズアレイ1が一体成形された後述する成形体20aを得る。 Further, the mold 14, as shown in FIG 5A~ 6 has a plurality min the reverse shape of the lens array 1 to be produced (corresponding to two 4 × in the illustrated in FIG. 5B), a glass material softened It was pressed to obtain a molded body 20a to be described later lens array 1 a plurality amount has been integrally molded. 上型15は、セル状レンズ5を成形するための複数のレンズ成形面17を持つプランジャ18とレンズアレイ1の金型加工面7を形成するリング19とを備える。 Upper die 15 is provided with a ring 19 forming a die working surface 7 of the plunger 18 and the lens array 1 having a plurality of lens forming surfaces 17 for forming a cellular lens 5.

下型16と協働して製品の厚さを決める上型15のリング19のプレス部分は、所望の製品肉厚より若干厚めの高さに設定されている。 Press section of the ring 19 of the upper die 15 which cooperates with the lower die 16 determines the thickness of the product is set slightly thicker height than a desired product thickness. 例えば、この高さは、製品肉厚が2.5mmの場合、3mm程度に設定される。 For example, the height, the product thickness if of 2.5 mm, is set to about 3 mm. 成形体における余剰の厚みは、後に研削及び研摩される。 Excess thickness in the molding body is ground and polished after.

また、図5Bに示すように、個々のレンズ成形面17は、レンズアレイ1のセル状レンズ5の反転形状で形成された4列×5行のセルを有する。 Further, as shown in FIG. 5B, the individual lens forming surfaces 17 has four columns × 5 rows of cells formed in the reverse shape of the cell-like lens 5 of the lens array 1. 上型15には、四つで一組の当該レンズ成形面17が二組設けられている。 The upper mold 15 is provided a pair of the lens forming surfaces 17 of four two sets. これにより、上型15は、下型16と協同しつつ八個分(レンズアレイ四個×二組)のレンズアレイ1が一体化された成形体20aを一度のプレスで成形する。 Accordingly, the upper mold 15 is molded in a single press molded body 20a in which the lens array 1 is integrated in eight minutes while cooperating with the lower die 16 (the lens array four × two sets). さらに詳述すると、このような成形体20aは、所定の基準位置17aに対し、四個分のレンズアレイ1(四個分のセル状レンズ5)各々が、回転対称の関係を満たすように田の字状に配置された状態のものが2組分(レンズアレイ四個×二組分)一体成形される。 In more detail, such compacts 20a is for a given reference position 17a, four partial lens arrays 1 (cellular lens 5 of four minutes) each, field so as to satisfy the relationship of rotational symmetry those conditions that is disposed in the form that (four × two sets partial lens array) two pairs fraction are integrally molded.

なお、上述したプランジャ18は、図5Aに示したように、レンズアレイ1の反転形状を複数個分一体的に形成した一つの金型(単一の金型ブロック)で構成されることが好ましい。 Incidentally, the plunger 18 described above, as shown in FIG. 5A, is preferably configured in one of a mold a reverse shape were formed plurality fraction integrally of the lens array 1 (single mold block) . つまり例えば、プランジャ18のレンズ成形面17を成形するための金型ブロックを、レンズ成形面毎やセル状レンズの列又は行毎に別体とした入子構造とすることも可能である。 Thus, for example, a mold block for molding a lens molding face 17 of the plunger 18, it is also possible to nest structure was separately for each column or row of the lens forming surfaces or each cellular lens. しかしながら、入子構造とした個々の金型ブロックから、プレス成形時に成形される各レンズアレイ側に対し、均一に押圧力が加わらなかった場合、一体成形された単一の成形体20a上に肉厚の異なる複数のセル状レンズが形成される場合がある。 However, meat from the individual mold blocks and nested structure, for each lens array side to be molded at the time of press forming, the uniform when pressure is not applied, on a single molded body 20a integrally formed there may be multiple cellular lens having different thicknesses is formed.

この場合、一体成形された上記成形体20aに対し研削及び研摩を行っても、セル状レンズ5の成形時の肉厚差を解消することができず、したがって、この後、成形体20aから分断されたレンズアレイ毎の個々のセル状レンズ5は、肉厚が異なるものとなり、光学的に同一の屈折特性が得られないという不具合を生じる。 In this case, even if the grinding and polishing to the molded body 20a which is integrally molded, it is impossible to eliminate the difference in thickness between the time of molding the cellular lens 5, therefore, after this, the split from the molded body 20a lenses each cellular lens per array 5 is made as the wall thickness is different, resulting in inconvenience that optically identical refractive properties can not be obtained. これに対し、レンズアレイ1の反転形状を複数個分一体的に形成した単一の金型ブロックからなるプランジャ18を用いた場合には、このような不具合が生じないので、一体成形された成形体20aに対し研削及び研摩を行い、さらにこの成形体20aの分断後、互いに同一の光学特性を持ったセル状レンズを搭載するレンズアレイを得ることができる。 In contrast, in the case of using a plunger 18 comprising a reverse shape of the lens array 1 from the plurality minute integrally-formed single mold blocks, since such a problem does not occur, which is integrally molded molding performs grinding and polishing to the body 20a, it is possible to further after cutting of the molded body 20a, obtain a lens array for mounting a cellular lens having the same optical characteristics.

なお、プランジャ18を入子構造にすることは、上記した不具合を生じるものの、以下のような目的を達成しようとする場合には有用である。 Incidentally, to the plunger 18 to nest structure, while causing inconvenience described above is useful when attempting to achieve the following purposes. つまり例えば、レンズアレイの外形を変更せずにセル状レンズ全体のレンズパターンにのみ変更を加えたい場合や、またプレス成形時、一つのセル状レンズにおける各セル間の段差に空気が溜まり金型形状が正確にガラスに転写できなくなることを防止する目的で、入子間の間隙を空気抜きとして利用する場合である。 Thus, for example, if you only want to make changes to the cellular lenses entire lens patterns without changing the external shape of the lens array and also during press molding, air is accumulated molds step between each cell in one cell like the lens for the purpose of shape can be prevented from not be precisely transferred to the glass, it is a case of using the gap between the insert as an air vent. さらには、一つのセル状レンズの個々のセルのエッジ部など、金型の損耗が激しい部分の入子のみを差し替えて組み込むことで、容易かつ安価に金型を補修できるようにすることを目的とする場合である。 Furthermore, an edge portion of the individual cells of one cell-like lens, the incorporation of the mold wear is replaced only insert intense part, easily and inexpensively intended to allow repair of the mold is a case to be.

また、本実施形態のレンズアレイ1において、そのレンズアレイ本体の大きさや形状にもよるが、一回のプレス成形による成形型数(レンズアレイ1の成形数)が多くなると、成形面積が大きくなる。 Further, in the lens array 1 of this embodiment, depending on the size and shape of the lens array body, the number of mold by a single press-molding (molding of the lens array 1) is increased, the molding area increases . この場合、ガラスは、金型に熱を奪われ流動性が低下するため、肉不足不良になり易く、十分な展延性が得られず成形精度が低下する。 In this case, the glass, to decrease deprived of thermal fluidity in a mold tends to become meat shortage poor molding accuracy decreases, sufficient ductility can not be obtained. ここで、平均線膨張係数が32×10 -7 /℃の硼珪酸ガラスをガラス素材とした場合で、かつレンズアレイ1の長さが例えば30mm程度までの場合、良好な転写精度で成形を行うことができる。 In the case of the average linear expansion coefficient of 32 × 10 -7 / ℃ borosilicate glass if the glass material, and until, for example, 30mm about the length of the lens array 1, and molded in a good transfer accuracy be able to. これよりも平均線膨張係数が大きく成形性がよいガラス素材を適用した場合には、より大きなサイズのレンズアレイを成形することが可能となる。 Than this when the average linear expansion coefficient was applied good glass material increases moldability, it becomes possible to mold the lens array of larger size.

また、レンズアレイ1の一方の光透過面にのみセル状レンズ5を形成する場合、他方の光透過面は平面であってもよい。 In the case of forming a cellular lens 5 only one of the light transmitting surface of the lens array 1, the other light transmitting surface may be plane. また、図5A及び図6に示すように、下型16は、上型15の各々のレンズ成形面17の中心部分と対向する位置に断面が台形状の凸部21が形成されている。 Further, as shown in FIGS. 5A and 6, the lower die 16, the convex portion 21 of the central portion facing the cross section trapezoidal position of each lens forming surfaces 17 of the upper die 15 is formed. 凸部21は、プレス成形時に下型16にガラス素材を搭載した際に、ガラス素材に対し上下方向の押圧力を十分に加えることを可能にし、凸部21の法線方向への反力で軟化状態のガラス素材を上型15の隅々にまで行き渡らせ、肉不足の防止及び転写精度の向上を図る。 Protrusion 21, when mounting the glass material into the lower mold 16 during the press molding, possible to apply a pressing force in the vertical direction enough to the glass material, by the reaction force in the normal direction of the convex portion 21 the glass material softened allowed spread to every corner of the upper mold 15, to improve the prevention and transfer accuracy meat shortage.

軟化状態のガラスが冷却する過程で、厚肉部分は相対的に冷却速度が遅くなるため、先に冷却固化した部分よりも熱収縮の影響が大きく現われ、いわゆるひけが発生するが、下型16の凸部21により、成形体20aに凹部が形成されるため、全体の冷却速度が均一化され、ひけの発生が防止される。 In the course of glass softened state is cooled, since the thick part is relatively cooling rate becomes slower, appeared greatly affected by thermal contraction than the portion that is cooled and solidified earlier, so-called sink mark is generated, the lower mold 16 the convex portion 21, since the recesses are formed in the molded body 20a, the overall cooling rate is made uniform, occurrence of sink can be prevented. また、成形体20aの下型16に加工成形される側の部位(後述する図7A、図7B及び図8Bの余剰肉厚部分24)は、後工程で研摩され、平面に加工されるが、凹部がある分、研削量が削減され、これにより研磨工程の工数が低減される。 Also, part of the side to be processed formed in the lower die 16 of the body 20a (FIG. 7A to be described later, the excess thickness portion 24 of FIG. 7B and FIG. 8B) is polished in a subsequent process, but is processed in a plane, min with a recess, the grinding amount is reduced, which steps of the polishing process is reduced.

また、レンズアレイ1の両面にセル状レンズ5を形成する場合には、下型16にもセル状レンズ5の反転形状を有するレンズ成形面を形成した金型を用い、レンズアレイの各面の光軸を一致させるべく、上型と下型とに相互に係合するキー及びキー溝などを設け、上型及び下型の位置精度の向上を図る。 Also, the lens array 1 in the case of forming a cell-like lens 5 on both sides, using a mold to form a lens molding surface having a reverse shape of the cell-like lens 5 to the lower die 16, the lens array surfaces in order to match the optical axis, and the key and keyway to engage each other in the upper and lower molds provided, to improve the positional accuracy of the upper mold and the lower mold.

なお、図6に示す下型16の上述した凸部21の形状は、成形されるセル状レンズ5の形状に合せて、成形体の表裏面間の厚さがほぼ一定となるような形状に設定することが好ましい。 Incidentally, the above-described shape of the convex portion 21 of the lower mold 16 shown in Figure 6, in accordance with the shape of the cell-like lens 5 molded, shaped so that the thickness between the front and back surfaces of the molded body is substantially constant setting it is preferable to. 例えば、図7Aに示すように、中心部に向かって凸となる形状のセル状レンズ5aの場合、下型16の凸部21aもセル状レンズ5aのレンズ面とほぼ平行な凸形状とすることが望ましい。 For example, as shown in FIG. 7A, if the cellular lens 5a shape which is convex toward the center, be substantially parallel to a convex shape as lens surfaces of the even cellular lens 5a protrusion 21a of the lower die 16 It is desirable 一方、図7Bに示すように、周縁部の肉厚が厚く中心に向かって凹となる形状のセル状レンズ5bの場合、下型16の凸部21bもその周縁部が高く中央部が低い凹形状とすることが好ましい。 On the other hand, as shown in FIG. 7B, when the cellular lens 5b shape the thickness of the peripheral portion is recessed toward the center thick, low central protrusion 21b is also high that the peripheral portion of the lower die 16 concave it is preferable that the shape. これらの場合、下型16の凸部21a、21bの表面にセル状レンズ5a、5bと同様のセル形状を設ける必要はなく、全体として成形体の表裏面間の厚さがほぼ一定(表裏面がほぼ平行)となるような形状であればよい。 In these cases, it is not necessary to provide the convex portion 21a of the lower die 16, cellular lens 5a on the surface of the 21b, the same cell shape and 5b, substantially constant (front and rear surfaces thickness between front and back surfaces of the molded body as a whole There may be any shape such as to be substantially parallel). これにより、成形されるガラスの展延性を損なうことなく成形体20aの肉厚をほぼ一定とし、部分的な熱収縮差の影響を最小限にとどめることができる。 Thus, the thickness of the molded body 20a without impairing the ductility of the glass to be molded substantially as a constant, the impact of partial thermal contraction difference can be minimized.

[プレス成形工程] [Press molding process]
上記ガラス素材を、例えば炉内温度1200℃に設定した電気炉などにより加熱して、ガラス素材の表面温度がおよそ1000℃になるまで加熱する。 The glass material, for example, by heating by an electric furnace set at a furnace temperature of 1200 ° C., is heated until the surface temperature of the glass material is approximately 1000 ° C..

加熱されたガラス素材を下型16に載置し、上型15を下降させて押圧力を加え、金型形状を転写しプレス成形する。 The heated glass material is placed on the lower mold 16, the pressing force added to lower the upper die 15, it is press-formed by transferring the die shape. この際、精度良く転写を行うために、上型15に押圧力を加えたまま、この状態を所定時間保持する。 At this time, in order to accurately transfer, while adding a pressing force to the upper die 15, holds this state for a predetermined time. 保持時間は、ガラスの材質や製品サイズにもよるが、例えば10数秒から数10秒程度である。 Retention time depends on the glass material and product size, a few ten seconds for example 10 seconds. 上型15は、ガラスが冷却された後、上昇させる。 Upper die 15, after the glass has been cooled, it is raised.

また、連続成形による金型の温度上昇に起因して、工程条件が変動することを回避するために、金型14の温度をモニタし、所定の温度を超えた場合には金型14の表面に空気(ブローエア)を吹き付けたり、金型14の内部に冷却媒体を循環させるなどして金型14の温度を管理する。 Further, due to the temperature increase of the mold by continuous molding, in order to process conditions avoids fluctuations, monitoring the temperature of the mold 14, if it exceeds a predetermined temperature a surface of the mold 14 or blowing air (blow air), and the like circulate a cooling medium into the interior of the mold 14 for managing the temperature of the mold 14 in.

さらに、本プレス成形では、製品重量に比べ、過剰のガラス素材をプレスするため、上型15と下型16とは直接接触しない構成となる。 Furthermore, in the present press molding, as compared to the product weight, for pressing excess glass material, a structure that does not contact directly with the upper mold 15 and the lower die 16. このため、下型16の外縁の位置(外形サイズ)は、特に規定されるものではない。 Therefore, the position of the outer edge of the lower mold 16 (outer size) is not particularly defined. また、上型15のリング19は、成形部分を凸として外方に向かって後退する形状を持つ。 The ring 19 of the upper die 15 has a shape that retreats outward molded portion as a convex. このため、プレス時にガラスは、金型との接触によって急激に冷却固化することなく、金型14内に展延され、余剰のガラスは金型外にはみ出すことで流動抵抗が軽減され、高い転写精度を得ることができる。 Therefore, the glass during pressing, without rapidly cooled and solidified by contact with the mold, is spread in the mold 14, the excess glass flow resistance is reduced by protruding outside the mold, high transfer it can be obtained accurately.

ここで、本プレス成形工程では、リヒートプレスを適用している。 Here, in the present press molding process is applying the reheat press. このリヒートプレスでは、一旦冷却固化したガラス素材を外部から加熱軟化させるので、ガラス素材の表面付近の温度よりも内部の温度の方が相対的に低くなり、成形後の表面と内部との温度差が小さく、ひけの影響が小さくなる。 This reheat press, since the heating and softening a glass material is once cooled and solidified from the outside, towards the internal temperature than the temperature in the vicinity of the surface of the glass material is relatively low, the temperature difference between the surface and the interior of the molded is small, the effect of shrinkage is reduced. さらに、このようにして成形された図6に示す成形体20aは、徐冷炉によって徐冷された後、はみ出し部分22が切除される。 Further, the molded body 20a shown in FIG. 6, which is molded in this way, after being gradually cooled by the annealing furnace, protruding portion 22 is ablated.

[研摩工程] [Polishing Step]
次に、研摩工程について、図8A〜図8Cに基づき説明を行う。 Next, the polishing step will be described based on FIG 8A~ Figure 8C. ここで、図8Aは、はみ出し部分22切除後の四個分のレンズアレイ1が一体となった成形体20bを例示した平面図であり、図8Bは、その断面図である。 Here, FIG. 8A, the four pieces of the lens array 1 after protruding portion 22 resection is a plan view illustrating a molded body 20b which is integral, Figure 8B is a cross-sectional view thereof. また、図8Cは、図8Bに示した成形体20bに研磨を施して得られた成形体20cを示す断面図である。 Further, FIG. 8C is a sectional view showing a molded body 20c obtained by subjecting the polished molded body 20b shown in FIG. 8B.

まず、図8Bに示すように、成形体20bのセル状レンズ5が形成されていない側の他方の光透過面3を研削及び研摩する。 First, as shown in FIG. 8B, moldings 20b cellular lens 5 and the other light transmitting surface 3 on the side not formed to grinding and polishing of. すなわち、下型16の凸部21により成形された凹部23を含む他方の光透過面3側の余剰肉厚部分24を研削及び研摩し、その後、ラッピングにより肉厚をほぼ製品形状に整え、さらにポリッシング加工によって光学研摩を行う。 That is, the other light transmitting surface 3 side of the excess thickness portion 24 includes a recess 23 which is formed by the convex portion 21 of the lower die 16 by grinding and polishing, then established a thickness approximately the product shape by wrapping, further performing optical polishing by the polishing process.

この結果、余剰肉厚部分24が成形体20bから除去され、図8Cに示すように、端面が金型加工面7からなる四個分のレンズアレイ1が一体化された成形体20cが得られる。 As a result, the excess thickness portions 24 are removed from the molded body 20b, as shown in FIG. 8C, the molded body 20c of the lens array 1 of the four pieces of the end face is made of die machining surface 7 are integrated to obtain .

[成膜工程] [The film formation process]
次に、成膜工程について、図9A、図9B及び図10A、図10Bに基づき説明を行う。 Next, the film forming process, 9A, 9B and FIG. 10A, the explanation based on Figure 10B. ここで、図9Aは、研磨工程を経て得られた成形体20cをホルダ25で保持した状態を示す平面図であり、図9Bは、そのC−C断面図である。 Here, FIG. 9A, the molded body 20c obtained through the polishing process is a plan view showing a state held by the holder 25, FIG. 9B is its sectional view taken along line C-C. また、図10Aは、成膜工程を経て得られた成形体20dを反射防止膜12側からみた平面図であり、図10Bは、そのD−D断面図である。 Further, FIG. 10A is a plan view of the molded body 20d which is obtained through the deposition step from the anti-reflection film 12 side, FIG. 10B is its sectional view taken along line D-D.

まず、成形体20cのセル状レンズ5が形成されていない側の他方の光透過面3のうち、光学的機能領域、すなわち、セル状レンズ5の形成領域を他方の光透過面3側から覆う領域に対し反射防止膜12を真空蒸着、スパッタリングなどの方法で成膜する。 First, of the other light transmitting surface 3 on the side where the cellular lens 5 molded body 20c is not formed, the optical function area, i.e., covers the formation region of the cellular lens 5 from the other light transmitting surface 3 side vacuum deposited anti-reflection film 12 for a region, is formed by sputtering or the like. ここで、反射防止膜としては、例えばSiO 2 、TiO 2又はSiO 2 /TiO 2多層膜などが適当である。 Here, the anti-reflection film, such as SiO 2, TiO 2 or SiO 2 / TiO 2 multilayer film is suitable. また、必要に応じて光源からの紫外線を遮断するための膜を形成してもよい。 Further, the film may be formed for blocking the ultraviolet rays from the light source as needed.

上述した枠体としてのホルダ25は、図9A及び図9Bに示すように、成形体20cの外周部分を支持する支持部29と、成形体20cをレンズアレイ毎に分断するための分断予定線30を含む所定幅に反射防止膜12が成膜されないようにする桟状のマスク部28と、で画成された四つの開口部27を有する。 Holder 25 as frame described above, as shown in FIGS. 9A and 9B, a supporting portion 29 for supporting the outer peripheral portion of the molded body 20c, be cut for separating the molded body 20c in each lens array lines 30 It has four openings 27 which the antireflection film 12 to the predetermined width is a mask portion 28 of 桟状 to prevent the deposition, in a defined including. このホルダ25は、成形体20cのセル状レンズ5に対応した光学的機能領域が成膜され、かつ光透過面3の外縁(分断面8)から、所定の間隔、例えば約1〜2mmの幅の後述する非成膜部分(図10Bの非成膜部26参照)を残して成膜されるように支持部29及びマスク部28の幅が設定されている。 The holder 25, the optical function area corresponding to the cellular lens 5 of the molded body 20c is formed, and from the outer edge of the light transmitting surface 3 (min section 8), a predetermined interval, for example, about 1~2mm width the width of the support portion 29 and the mask portion 28 so as to be deposited, leaving the non-film formation part (see non-film forming section 26 in FIG. 10B) which will be described later, is set. 支持部29の幅は、例えば幅1mm〜2mm程度、マスク部28の幅は、例えば幅2mm〜4mm程度に設定することができる。 The width of the support portion 29, for example, about the width 1 mm to 2 mm, the width of the mask portion 28 may be set to, for example, about the width 2 mm to 4 mm. なお、マスク部28の幅は、必要な成膜範囲を確保でき、しかも成膜部分が成形体20cの分断に影響を受けない領域であれば適宜変更可能である。 The width of the mask 28, can be ensured deposition extent necessary, moreover deposition portion can be appropriately changed as long as the region is not affected by the disruption of the molded body 20c.

このようにして得られた成形体20dは、図10A及び図10Bに示すように、一方の光透過面2側のセル状レンズ5の形成領域を他方の光透過面3側から完全に覆う範囲、すなわち、セル状レンズ5よりもやや広い範囲に反射防止膜12が被覆されている。 Such moldings 20d thus obtained is, as shown in FIGS. 10A and 10B, the range in which completely covers the one formation region of the cellular lens 5 of the light transmitting surface 2 side from the other light transmitting surface 3 side , i.e., the anti-reflection film 12 slightly wider range is covered than cellular lens 5. 詳細には、成形体20dは、その外縁部に1mm〜2mmの幅があり、かつ各レンズアレイ1の隣接する境界部分(成形体20dを分断するための分断予定線30を含む部分)に2mm〜4mm幅の非成膜部26を有する。 Specifically, the molded body 20d, it is the width of 1mm~2mm outer edges thereof, and 2mm to adjacent boundary portions of the lens array 1 (a portion including the division planned line 30 for separating the molded body 20d) having a non-film formation part 26 of ~4mm width.

なお、本実施例では、成形体20cの一方の光透過面3側(研磨面側)にのみ反射防止膜12を成膜した例を説明したが、セル状レンズ5の表面に成膜を行う場合には、ホルダ25に対し成形体20cの表裏を逆向きにセットすれば、上記同様マスクが施され、必要な光学的機能領域にのみ成膜することができる。 In the present embodiment has been described an example of forming the antireflection film 12 on only one of the light transmitting surface 3 side of the molded body 20c (polished surface), a film is formed on the surface of the cellular lens 5 in this case, if set to reverse the front and back of the molded body 20c to the holder 25, the same mask is applied, can be formed only in necessary optical function area. また、光学膜として紫外線カット膜、赤外線カット膜などを成膜する場合でも、上記同様、成形体20dの外縁部および各レンズアレイ1の隣接する境界部分に非成膜部26を形成できる。 The ultraviolet cut film as the optical film, when deposition an infrared cutoff film, the same, non-film forming section 26 can be formed on the outer edge portion and the adjacent boundary of each lens array 1 of the molded body 20d.

[分断工程] [Dividing step]
最後に、分断工程について図11に基づき説明を行う。 Finally, a description based on FIG. 11 for dividing step. ここで、図11は、成形体20dが四つのレンズアレイに分断された状態を示す平面図である。 Here, FIG. 11 is a plan view showing a state where the molded body 20d is divided into four lens array.

図11に示すように、反射防止膜12の成膜された成形体20dを(分断予定線30に沿って)四つのレンズアレイ1に分断する。 As shown in FIG. 11, the molded body 20d which is formed the antireflection film 12 (along section planned line 30) is divided into four lens array 1. 分断方法は、特に制限されるものではなく、スライサ、ダイシングソーなどの精密切断装置を用いることにより、正確な外径寸法と、成形体20dの表面(レンズアレイ1の光透過面2、3)に沿った方向に垂直な切断面が得られる。 Cutting method is not particularly limited, slicer, by using a precision cutting device such as a dicing saw, the exact outer diameter, the surface of the molded body 20d (light transmitting surfaces 2, 3 of the lens array 1) a cutting plane perpendicular to the direction along the is obtained. 簡便な方法として、カッタで成形体20dの表面に直線状の傷をつけ(分断予定線30を刻み)、これを折り曲げて破断することによる切り離しも可能である。 As a simple method, with a linear scratches on the surface of the molded body 20d by a cutter (increments be cut line 30), disconnecting it is also possible due to rupture by bending it. 切り離しの後には、必要に応じて切断面の稜部の面取りを行ないレンズアレイ1を得る。 After disconnecting obtains lens array 1 performs chamfered ridge portion of the cutting surface as required. この際、面取り部分の幅が反射防止膜12にかからないように面取りを行うことで、反射防止膜(光学膜)12の損傷を防止する。 In this case, since the width of the chamfered portion performs chamfering so as not the antireflection film 12, to prevent damage to the antireflection film (optical film) 12. 言い換えると、あらかじめ面取に必要な幅を考慮して非成膜部26の幅(上記成膜工程におけるホルダの支持部29およびマスク部28の幅)を設定することが好ましい。 In other words, it is preferable to set the taking into account the width required to advance chamfer width of the non-deposition portion 26 (the width of the holder supporting portion 29 and the mask portion 28 in the film forming step).

こうして得られるレンズアレイ1では、切断又は破断による分断面8ではない金型加工面7により、プロジェクタなどの光学機器に対するレンズアレイ1の位置決めを行なえるので、分断面8の精度は多少粗くても支障がなく、スクライブによる分断加工などを適用することができる。 In the lens array 1 thus obtained, the mold processing surface 7 is not a divided surface 8 by cutting or breaking, so perform the positioning of the lens array 1 for an optical device such as projector, the accuracy of the partial cross-section 8 be somewhat rough there is no problem, or the like can be applied cut processing by scribing. また、金型加工面7は、分断時の位置出し用の基準面として利用することもできる。 Further, mold processing surface 7 can also be utilized as a reference surface for positioning at the time of cutting.

また、このようなレンズアレイ1では、金型加工面7の基準面9により光学的中心の割り出し、あるいは位置決めを行えるため、芯取加工を必要としない。 Further, in such a lens array 1, indexing of the optical center by the reference surface 9 of the die working surface 7, or for enabling the positioning and does not require Sint processing. また、レンズアレイ1は、フランジ部6を有し、このフランジ部6の表面よりもセル状レンズ5の表面が凹んだ位置になる構成を有する。 Further, the lens array 1 has a flange portion 6 has a structure comprising a position surface recessed a cellular lens 5 than the surface of the flange portion 6. したがって、レンズアレイ1によれば、切断加工などの際にセル状レンズ5の表面を下向きに載置した場合でも、セル状レンズ5が直接載置面に触れることはなく、セル状レンズ5の汚染や傷つきが防止される。 Therefore, according to the lens array 1, even when placed on the surface of the cellular lens 5 downwardly during such cutting, the cellular lens 5 is not touching the mounting surface directly, the cellular lens 5 pollution and damage is prevented.

さらに、スクライブなどによる切断の後、分断面を整えるために、分断面を研削及び研磨する際には、金型加工面7を基準として複数枚のレンズアレイ1を揃え、この複数枚重ねた状態でレンズアレイ1を研削及び研磨することで、均等な加工を行なうことができる。 State even after cleavage by such scribing, in order to adjust the minutes section, when grinding and polishing the partial cross-section, aligns the plurality of lens arrays 1 relative to the die working surface 7, overlaid the plurality in the lens array 1 by grinding and polishing, it is possible to perform uniform processing. この際、フランジ部6がセル状レンズ5の表面よりも突出しているので、互いに重ねられるレンズアレイ1どうしはフランジ部6が当接することになり、セル状レンズ5の損傷が防止される。 At this time, since the flange portion 6 is projected from the surface of the cellular lens 5, what was the lens array 1 are overlapped with each other will be the flange portion 6 comes into contact, damage cellular lens 5 can be prevented.

(第2の実施の形態) (Second Embodiment)
次に、本発明を実施したレンズアレイ1を光学系に適用した液晶プロジェクタについて図12に基づき説明を行う。 Next, a liquid crystal projector to which the lens array 1 embodying the present invention in the optical system will be described based on FIG. 12.

同図12に示すように、投射型表示装置の一つである液晶プロジェクタ70は、偏光照明装置90と、導光部99と、ダイクロイックミラー71、74と、反射ミラー72と、三枚の液晶ライトバルブ73、75、81と、クロスダイクロイックプリズム83と、投射レンズ84と、から主に構成される。 As shown in FIG. 12, the liquid crystal projector 70 is one of a projection type display device, the polarizing illumination device 90, the light guide unit 99, a dichroic mirror 71 and 74, a reflecting mirror 72, three sheets of liquid crystal a light valve 73,75,81, a cross dichroic prism 83, a projection lens 84 mainly composed.

ダイクロイックミラー71、74は、白色光Wを赤色光R、緑色光G、青色光Bの三色の色光に分離するための色光分離部である。 The dichroic mirror 71 and 74 is a color light separation unit for separating the white light W red light R, green light G, the three color light of the blue light B. 三枚の液晶ライトバルブ73、75、81は、与えられた画像信号に従って、三色の色光をそれぞれ変調して画像を形成する光変調部として機能する。 Three sheets liquid crystal light valves 73,75,81 of, in accordance with the image signal applied, functions as an optical modulator for forming an image by modulating three colors of the color lights, respectively. クロスダイクロイックプリズム83は、三色の色光を合成してカラー画像を形成する色光合成部として機能する。 The cross dichroic prism 83 functions as a color combining unit for forming a color image by combining the three color lights. 投射レンズ84は、合成されたカラー画像を表す光をスクリーン85上に投射する投射光学系である。 The projection lens 84 is a projection optical system for projecting light representing the synthesized color image on the screen 85.

ダイクロイックミラー71は、偏光照明装置90から出射された白色光Wの光束の赤色光Rの成分を透過させるとともに、青色光Bの成分と緑色光Gの成分とを反射する。 The dichroic mirror 71, and to reflect the components of the red light R of the light beam emitted white light W from the polarization illumination device 90, and reflects the component of the component and the green light G and blue light B. 透過した赤色光Rは、反射ミラー72で反射されて赤色光用の液晶ライトバルブ73に入光する。 The transmitted red light R is reflected by the reflecting mirror 72 is incident on the liquid crystal light valve 73 for red light. 一方、ダイクロイックミラー71で反射された青色光Bと緑色光Gのうちで、緑色光Gは、ダイクロイックミラー74によって反射され、緑色光用の液晶ライトバルブ75に入光する。 On the other hand, of the blue light B and green light G reflected by the dichroic mirror 71, the green light G is reflected by the dichroic mirror 74 is incident on the liquid crystal light valve 75 for green light. 他方、青色光Bは、ダイクロイックミラー74を透過し導光部99に入光する。 On the other hand, the blue light B, and enters the light guide portion 99 passes through the dichroic mirror 74.

ここで、この構成の液晶プロジェクタ70では、図12に示すように、青色光Bの光路長が三つの色光のうち最も長くなる。 Here, the liquid crystal projector 70 of this configuration, as shown in FIG. 12, the optical path length of the blue light B is most of the three color light long. そこで、ダイクロイックミラー74の後段には、リレーレンズ系で構成された上述した導光部99が設けられている。 Therefore, the subsequent stage of the dichroic mirror 74, the light guide portion 99 is provided as described above, which is constituted by a relay lens system. すなわち、青色光Bは、ダイクロイックミラー74を透過した後に、まず、入射レンズ76及び反射ミラー77を経て、リレーレンズ78に導かれる。 That is, the blue light B, and passes through the dichroic mirror 74, first, through the input lens 76 and the reflecting mirror 77, is guided to the relay lens 78. さらに、リレーレンズ78を通過した青色光Bは、反射ミラー79によって反射されて出射レンズ80に導光され、青色光用の液晶ライトバルブ81に入光する。 Further, the blue light B having passed through the relay lens 78 is reflected by the reflecting mirror 79 is guided to the exit lens 80, is incident on the liquid crystal light valve 81 for blue light.

三つの液晶ライトバルブ73、75、81は、図示しない外部の制御回路から与えられた画像情報である画像信号にしたがって、それぞれの色光を変調し、それぞれの色成分の画像情報を含む色光を生成する。 Three of the liquid crystal light valves 73,75,81 in accordance with the image signal is an image information provided from an external control circuit (not shown), modulates the respective color lights, generate colored light containing image information for each color component to. 変調された三つの色光は、クロスダイクロイックプリズム83に入射する。 The modulated three color light was is incident on the cross dichroic prism 83. クロスダイクロイックプリズム83には、赤色光Rを反射する誘電体多層膜と、青色光Bを反射する誘電体多層とが十字状に形成されている。 The cross dichroic prism 83, a dielectric multilayer film for reflecting the red light R, and a dielectric multilayer that reflects blue light B are formed in a cross shape. これらの誘電体多層膜によって3つの色光が合成されて、カラー映像を表す光が形成される。 Three color lights by these dielectric multilayer films are synthesized, light representing a color image is formed. 合成された光は、投射光学系である投射レンズ84によってスクリーン85上に投射され、映像が拡大されて表示される。 The synthesized light is projected onto the screen 85 by the projection lens 84 is a projection optical system, the displayed image is enlarged.

また、液晶プロジェクタ70の偏光照明装置90は、光源部91と偏光発生装置92とから構成されている。 Further, polarized illuminator 90 of the liquid crystal projector 70 is composed of a light source unit 91 polarized light generator 92. 光源部91は、s偏光成分とp偏光成分とを含むランダムな変偏光方向の光束を出射する。 Light source unit 91 emits a light beam random Henhen light direction and a s-polarized light component and p-polarized light component. 光源部91から出射された光束は、偏光発生装置92によって偏光方向がほぼ揃った一種類の直線偏光、例えばs偏光光に変換される。 The light flux emitted from the light source unit 91, the polarization direction is converted substantially uniform one type of linearly polarized light, for example, s-polarized light by the polarization generator 92.

また、光源部91は、光源ランプと、放物面リフレクタとを備えている。 Further, the light source unit 91 includes a light source lamp, a parabolic reflector. 光源ランプから放射された光は、放物面リフレクタによって一方的に反射され、略平行な光束となって偏光発生装置92に入射する。 Light emitted from the light source lamp is unilaterally reflected by the parabolic reflector, it enters the polarized light generator 92 in a substantially parallel beam. なお、モバイル用など小型の液晶プロジェクタでは、反射鏡からの光束を絞って光学系を小型化する目的で、楕円面反射鏡が用いられることが多い。 In the small-sized liquid crystal projector such as for mobile, in order to miniaturize the optical system focuses the light beam from the reflecting mirror, it is often used ellipsoidal reflector.

偏光発生装置92は、第1の光学要素93と、第2の光学要素98とを備えている。 Polarized light generator 92 includes a first optical element 93, and a second optical element 98. 第1の光学要素93及び第2の光学要素98は、互いの中心が光軸と一致するように配置されている。 The first optical element 93 and the second optical element 98 is arranged in such a manner that the center of each other is coincident with the optical axis. また、第2の光学要素98は、光学素子94と出射側レンズ97とを備えている。 The second optical element 98, and a exit lens 97 and the optical element 94. そして、光学素子94及び出射側レンズ97は、各々の中心が光軸と一致するように配置されている。 The optical element 94 and the exit lens 97 is arranged so that each center is coincident with the optical axis.

光学素子94は、集光レンズアレイ95と二つの偏光変換素子アレイ96とを備えている。 The optical element 94, and a condenser lens array 95 and the two polarization conversion element array 96. 集光レンズアレイ95は、第1の光学要素93と同一構造のレンズアレイであり、相対する向きに配置される。 Condenser lens array 95 is a lens array of the first optical element 93 and the same structure are arranged in opposite directions. また、集光レンズアレイ95は、第1の光学要素93とともに、各光束分割レンズで分割された複数の分割光束を集光する役割を有する。 Further, the condenser lens array 95, the first optical element 93 has a role of a plurality of divided light beams split by the beam splitting lens condenses. 偏光変換素子アレイ96は、入射された光束を一種類の直線偏光光、例えばs偏光光に変換して出射する機能を有する。 Polarization conversion element array 96, one type of linearly polarized light beams are incident, it has a function of emitting by converting, for example, s-polarized light.

ここで、集光レンズアレイ95及び第1の光学要素93として上述したレンズアレイ1が適用されている。 Here, the lens array 1 is applied as described above as a condenser lens array 95 and the first optical element 93. レンズアレイ1は、矩形板状の輪郭を有する微小な光束分割レンズ(セル状レンズ5)が、縦方向にM行、横方向にN列のマトリックス状に配列された構成を有する。 Lens array 1, small light flux dividing lenses having a rectangular plate-shaped profile (cellular lens 5), M rows in the longitudinal direction, having the structure arranged in a matrix of N columns in the transverse direction. レンズアレイ1では、金型加工面7で構成された基準面9を有することで、レンズアレイ1の中心と光軸中心、光軸とレンズアレイ1の向きとを正確に位置合わせすることができる。 In the lens array 1, by having a reference surface 9, which is composed of die working surface 7, the center and the center of the optical axis of the lens array 1, and the optical axis of the lens array 1 and the orientation can be accurately aligned . これにより、正確な光路が得られ、液晶プロジェクタ70の光の利用効率を高めるとともに投光画像を明るく保ち、照度むらなどの不都合が生じることを回避できる。 Thus, accurate optical path is obtained, keeping brighter projection image to enhance the utilization efficiency of light of the liquid crystal projector 70, it can be avoided inconveniences such as uneven illuminance occurs. また、本実施形態に係る液晶プロジェクタ70に組み込まれたレンズアレイ1では、金型加工面7や分断面8から所定の間隔を空けて反射防止膜12が形成されているため、液晶プロジェクタ70への組み込み時に反射防止膜12が係止具などに直接接触することを回避でき、これにより係止部分からの膜剥れや膜クラックの発生を防止できる。 Further, in the lens array 1 is incorporated in a liquid crystal projector 70 according to this embodiment, since the antireflection film 12 from the mold working surface 7 and divided surface 8 at a predetermined interval is formed, the liquid crystal projector 70 antireflection film 12 during incorporation can be prevented from being in direct contact with the like locking tool, thereby preventing the occurrence of film peeling and film crack from the locking portion.

以上、本発明を各実施の形態により具体的に説明したが、本発明は、これらの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。 While the present invention has been illustrated by the embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications are possible without departing from the scope of the invention.

(他の実施の形態) (Other embodiments)
上述した第1の実施形態では、四枚分のレンズアレイが一体で成形された成形体に対し、研磨や成膜加工を施す製法について例示したが、例えば図13Aに示すように、八枚分のレンズアレイ1が一体で成形された成形体50に対し、研磨、成膜加工を行い、その後、レンズアレイを一枚ずつ分断するようにしてもよい。 In the first embodiment described above, with respect to the molded body molded lens array four sheets are integrally, it has been illustrated method performing polishing or deposition process, for example, as shown in FIG. 13A, eight sheets to form 50 to the lens array 1 is formed integrally, polished, subjected to film forming processing, then the lens array may be divided one by one. この場合、図13Aの各セル状レンズ5上に示した矢印の方向が、レンズアレイ1の分断後、上方向となる金型で成形を行うことで、分断後の各レンズアレイ1の左側(矢印の方向をレンズアレイ1の上とした場合の左側)の端面が金型加工面7となる。 In this case, the direction of the arrow shown on the cellular lens 5 in FIG. 13A, after cutting of the lens array 1, by performing molding in a mold having an upper direction, the left side of each lens array 1 after cutting ( the end face of the left side) in the case where the upper direction of the arrow of the lens array 1 is die working surface 7. すなわち、この金型加工面7を基準として光学機器への組付けを行うことで、精度の高い組み付けが実現される。 That is, the mold processing surface 7 by performing the assembly of the optical apparatus as a reference, the assembly of high precision is realized. また、図13Bは、六枚分のレンズアレイ1が一体で成形された成形体55を示すもので、図中、各セル状レンズ5上に示した矢印の方向が、レンズアレイ1の分断後、上方向となる金型で成形を行うことで、分断後の各レンズアレイ1の下側(矢印の方向をレンズアレイ1の上とした場合の下側)の端面が金型加工面7となる例である。 Further, FIG. 13B, shows the molded body 55 of the lens array 1 six sheets are molded integrally, in the figure, the direction of the arrow shown on the cellular lens 5, after cutting of the lens array 1 , by performing molding in a mold having an upper direction, and the end face mold working surface 7 of the lower side of each lens array 1 after cutting (lower case of the top of the direction of the arrow lens array 1) is a further examples. この例も同様に、高精度な組み付けが実現される。 This example likewise highly accurate assembly is realized. さらにまた、図示しないが二枚分のレンズアレイが一体で成形された成形体に対し、研磨、成膜加工を行い、その後、レンズアレイを一枚ずつ分断するようにしてもよい。 Furthermore, the lens array is not shown two partial Whereas molded body formed integrally, polished, subjected to film forming processing, then the lens array may be divided one by one. この場合、二枚分のレンズアレイを、図13A又は図13Bの上下に位置する一組分のレンズアレイと同様の位置関係とすることで、分断後、分断面を除く三つの端面が金型加工面となる。 In this case, the lens array of the two sheets, by the same positional relationship with the lens array of a set amount of positions above and below in FIG. 13A or 13B, the split post, three end faces except the partial cross-section mold the machined surface.

また、一体に成形されるレンズアレイの枚数は、各レンズアレイの大きさによっても異なるが、プレス成形時のガラスの展延性(形状転写精度)を考慮して適宜設定することができる。 Further, the number of the lens array to be molded integrally, also differ depending on the size of the lens array can be appropriately set in consideration of the ductility of the glass during press molding (shape transfer accuracy). さらに、上記実施形態においては、各レンズアレイ1のフランジ部6の表面よりもセル状レンズ5の表面が凹んでいる形状のものについて説明したが、本発明は、フランジ部よりもセル状レンズの表面が凸となった形状のレンズアレイにも適用可能である。 Further, in the above embodiment, the description is made as to the concave shape at the surface of the cellular lens 5 than the surface of the flange portion 6 of the lens array 1, the present invention provides a cellular lens than the flange portion surface is also applicable to a lens array shape is convex.

また、上記した第1の実施形態では、主にレンズアレイの一方の光透過面にのみセル状レンズを形成する場合について詳述したが、レンズアレイの製造方法の[金型]の欄で例示したように、レンズアレイ1の両面にセル状レンズ5を形成する場合には、下型16にもセル状レンズ5の反転形状を有するレンズ成形面を形成した金型を用いてプレス成形を行う。 In the first embodiment described above primarily it has been described in detail for the case of forming a cellular lens only one of the light transmitting surface of the lens array, illustrated in the section of [die] of a method of manufacturing the lens array as was the case of forming a cellular lens 5 on both surfaces of the lens array 1 performs press molding using a mold to form a lens molding surface having a reverse shape of the cell-like lens 5 to the lower die 16 . この場合、上記第1の実施形態における研磨工程は不要となる。 In this case, the polishing process in the first embodiment becomes unnecessary.

ただし、第1の実施形態と同様、製品重量に比べ過剰のガラス素材をプレスして金型からはみ出した余剰のガラスを切除した場合には、その切断面をプロジェクタなどの照明装置への組みつけの障害にならないように研削又は研磨して整えることが好ましい。 However, as in the first embodiment, when the excised excess glass protruding excess of the glass material than the product weight from the mold and pressed, the assembly of the cut surface to the lighting apparatus such as a projector it is preferable to arrange the ground or polished to avoid the fault. 過剰のガラス素材を用いず(適正量のガラス素材を用い)、成形時、上型と下型の周縁部が密接するようにした金型でプレス成形する場合には、ガラスのはみ出しが生じないので、原則として成形体の端面を研削又は研磨するには及ばない。 Without using an excess of the glass material (using a glass material appropriate amount), during molding, if the periphery of the upper mold and the lower mold is press-molded in a mold which is adapted to close does not occur protrusion of the glass since, it falls short of grinding or polishing the end surface of the green body in principle. 次いで、成膜工程では、第1の実施形態におけるセル状レンズ5の表面に成膜を行う場合と同様にして必要な光学的機能領域にのみ成膜を行った後、分断予定線に沿って四つのレンズアレイに分断する(その他の点は第1の実施形態に同じ)。 Then, the film-forming step, after the film formation only on the optical function area required in the same manner as in the case of forming a film on the surface of the cellular lens 5 of the first embodiment, along section scheduled line dividing into four lens array (in other respects identical to the first embodiment). このようにレンズアレイ1の両面にセル状レンズ5を形成する場合でも、上記第1の実施形態とほぼ同様に前記分断面から所定の間隔を空けて光学膜が形成されたレンズアレイを得ることができる。 Even in the case of forming a cellular lens 5 on both surfaces of the thus lens array 1, to obtain the lens array formed optical film at a predetermined interval from substantially the same manner as the partial section as the first embodiment can.

ここで、レンズアレイの両面にセル状レンズを形成する場合の製造方法を整理すると、二つの主面が各々光透過面として構成されると共に両方の前記光透過面にセル状レンズを有する矩形板状のガラス光学素子を製造する製造方法であって、製造すべき前記ガラス光学素子の反転形状をそれぞれ複数個分有する上型と下型とにより、軟化状態のガラス材料をプレスし、複数個分の前記ガラス光学素子が一体成形された成形体を得るプレス成形工程と、前記光透過面上に定められている成形体分断のための分断予定線を含む所定幅をマスクし、マスクした光透過面上に光学膜を被着させる成膜工程と、前記成膜工程で前記光学膜を被着された前記成形体を前記分断予定線に沿ってガラス光学素子毎に分断する分断工程と、を有することを特徴と Here, when organizing a method for manufacturing a case of forming a cellular lens on both surfaces of the lens array, a rectangular plate having a cellular lens to both the light transmissive surface with configured as two major faces each light transmitting surface a method of manufacturing a Jo glass optical element, by the upper and lower molds the reverse shape of the glass optical element to be manufactured with each plurality minute, the glass material softened and pressed, a plurality min wherein the press molding step of the glass optical element to obtain an integral molded shaped bodies, masks a predetermined width including a cutting plan lines for moldings division which is defined on the light transmitting surface, the light transmittance of masking of a film forming step of depositing an optical film on the surface, and a dividing step of dividing each glass optical elements deposited been said molded body the optical film along the cutting plan lines the film-forming process and characterized in that it has るガラス光学素子の製造方法となる。 A method of manufacturing a glass optical element that.

本発明によれば、光学機器への組付け精度に優れたガラス光学素子を精密な後加工に頼ることなく生産性良く製造でき、しかも光学膜の耐久性にも優れるので、その産業上の価値は大きい。 According to the present invention, can be produced with good production without resorting to machining after precise assembling excellent glass optical elements on the accuracy of the optical instruments, and since also excellent in durability of the optical film, the value of its industrial It is large.

本発明の第1の実施の形態に係るガラス光学素子としての液晶プロジェクタ用のレンズアレイを示す斜視図。 Perspective view of a lens array for a liquid crystal projector as glass optical element according to a first embodiment of the present invention. 図1に示したレンズアレイの平面図。 Plan view of the lens array shown in FIG. 図2に示すレンズアレイのA−A断面図。 A-A sectional view of the lens array shown in FIG. 図3に示すレンズアレイのB部詳細図。 B section detail view of the lens array shown in FIG. 図1に示したレンズアレイの成形に用いる金型の断面図。 Sectional view of a mold used for the molding of the lens array shown in FIG. 図5Aの金型を構成する上型の底面図。 Bottom view of the upper mold constituting the mold of FIG. 5A. 図5Aの金型のプレス成形時の状態を模式的に示す断面図。 Sectional view schematically showing a state during press forming of the mold of FIG. 5A. セル状レンズの中央部が凸形状となるレンズアレイを成形する場合に好適な金型の構造を示す断面図。 Sectional view showing a preferred mold structure when the center portion of the cellular lenses forming a lens array comprising a convex shape. セル状レンズの中央部が凹形状となるレンズアレイを成形する場合に好適な金型の構造を示す断面図。 Sectional view showing a preferred mold structure when the center portion of the cellular lenses forming a lens array comprising a concave shape. はみ出し部分切除後の四個分のレンズアレイが一体となった成形体を例示した平面図。 Plan view lens array of four content illustrated a molded body formed by integrating after partial resection protruding. 図8Aに示した成形体の断面図。 Sectional view of the molded body shown in Figure 8A. 図8Bに示した成形体に研磨を施した状態を示す断面図。 Sectional view showing a state in which polished the molded body illustrated in FIG. 8B. 研磨工程を経て得られた成形体をホルダで保持した状態を示す平面図。 Plan view showing the state of holding the molded body obtained through the polishing process in the holder. 図9AのC−C断面図。 Sectional view taken along line C-C in Figure 9A. 成膜工程を経て得られた成形体を反射防止膜側からみた平面図。 Plan view seen from the molded body obtained through the deposition step antireflection film side. 図10AのD−D断面図。 D-D sectional view of FIG. 10A. 成形体が四つのレンズアレイに分断された状態を示す平面図。 Plan view showing a state where the molded body is divided into four lens array. 図1のレンズアレイを光学系に適用した第2の実施の形態に係る液晶プロジェクタの構成を示す図。 It shows a configuration of a liquid crystal projector according to a second embodiment according to the lens array of Figure 1 in the optical system. 本発明の他の実施形態に係るレンズアレイの製法を説明するための図。 Diagram for explaining a manufacturing method of a lens array according to another embodiment of the present invention. 図13Aに例示した製法とも異なるレンズアレイ他の製法を説明するための図。 Diagram for also explaining the different lens arrays other process as illustrated method in FIG. 13A.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1…レンズアレイ、2,3…光透過面、5,5a,5b…セル状レンズ、6…フランジ部、7…金型加工面、8…分断面、9…基準面、11…面取り部、12…反射防止膜(光学膜)、14…金型、20a,20b,20c,20d,50,55…成形体、24…余剰肉厚部分、25…ホルダ、26…非成膜部、27…開口部、28…マスク部、29…支持部、30…分断予定線、70…液晶プロジェクタ、93…第1の光学要素、95…集光レンズアレイ。 1 ... lens array, 2,3 ... light transmitting surface, 5, 5a, 5b ... cellular lens, 6 ... flange portion, 7 ... die working surface, 8 ... minute section, 9 ... reference surface, 11 ... chamfer, 12 ... antireflection film (optical film), 14 ... mold, 20a, 20b, 20c, 20d, 50, 55 ... formed body 24 ... excess thickness portion, 25 ... holder, 26 ... non-film forming section, 27 ... opening, 28 ... mask portion, 29 ... support portion, 30 ... be cut line, 70 ... liquid crystal projector, 93 ... first optical element 95 ... condenser lens array.

Claims (12)

  1. 二つの主面が各々光透過面として構成され、少なくとも一方の前記光透過面にセル状レンズが形成された矩形板状のガラス光学素子であって、 Two main surface is configured as respective light transmitting surface, a rectangular plate-shaped glass optical elements cellular lenses are formed on at least one of the light transmitting surface,
    四つの端面のうちの幾つかを構成する金型加工により成形された金型加工面と、 And mold processing surface which is formed by die machining constituting some of the four end faces,
    前記金型加工面を除く残りの端面を構成する切断又は破断により分断加工された分断面と、 A cutting surface which is divided processed by cutting or breaking constituting the remaining end faces except the die working surface,
    前記分断面から所定の間隔を空けて少なくとも一方の光透過面上に部分的に形成された光学膜と、 An optical film which is partially formed on at least one of the light transmitting plane at a predetermined distance from the partial section,
    を具備することを特徴とするガラス光学素子。 Glass optical element characterized by having a.
  2. 前記金型加工面は、前記四つの端面のうちの互いに隣接する所定の二つの端面を構成し、前記分断面は、互いに隣接する残りの二つの端面を構成することを特徴とする請求項1記載のガラス光学素子。 The die working surface constitutes a predetermined two end surfaces adjacent to each other among the four end faces, wherein the component cross-section, according to claim 1, characterized in that configure the remaining two end faces which are adjacent to each other glass optical element according.
  3. 前記金型加工面の一部は、位置決め用の基準面として形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のガラス光学素子。 Some of the die working surface, the glass optical element according to claim 1 or 2, characterized in that it is formed as a reference surface for positioning.
  4. 前記セル状レンズが形成されている前記光透過面は、前記セル状レンズの周縁を囲むフランジ部を有し、このフランジ部の表面よりも前記セル状レンズが凹んだ位置に形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 The light transmitting surface on which cell-like lens is formed has a flange portion surrounding the periphery of the cell-like lens, it is formed in a position recessed said cellular lens than the surface of the flange portion glass optical element according to any one of claims 1 to 3, wherein the.
  5. 前記分断面は、面取り加工されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 The partial cross-section, the optical glass element according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it is chamfered.
  6. 前記セル状レンズは、二つの前記光透過面のうちの一方の光透過面にのみ形成されており、前記セル状レンズの形成されていない他方の光透過面が光学研磨され、その研磨面の上に前記光学膜が形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 The cellular lens is formed on only one of the light transmitting surface of the two said light transmitting surface, the other light transmitting surface which is not formed of the cellular lens is optically polished, the polished surface glass optical element according to any one of claims 1 to 5, wherein the optical film is formed thereon.
  7. 前記光学膜は、反射防止膜、紫外線カット膜、赤外線カット膜のいずれか一つ又はこれらの組合せからなるものであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 Wherein the optical film, antireflection film, ultraviolet protection film, optical glass according to any one of claims 1 to 6, characterized in that is made of any one or combination of the infrared cutoff film element.
  8. 前記光学膜は、真空蒸着又はスパッタリングによって成膜されたものであることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 Wherein the optical film, the optical glass element according to any one of claims 1 to 7, characterized in that which is formed by vacuum deposition or sputtering.
  9. プロジェクタの光学系に用いられることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載のガラス光学素子。 Glass optical element according to any one of claims 1 to 8, characterized in that for use in an optical system of the projector.
  10. 二つの主面が各々光透過面として構成される共に一方の前記光透過面にセル状レンズを有する矩形板状のガラス光学素子を製造する製造方法であって、 A method for manufacturing a rectangular plate-shaped glass optical element having a cell-like lens together one of the light transmitting surface formed as two major faces each light transmitting surface,
    製造すべき前記ガラス光学素子の反転形状を複数個分有する金型により、軟化状態のガラス材料をプレスし、複数個分の前記ガラス光学素子が一体成形された成形体を得るプレス成形工程と、 The mold has a plurality min the reverse shape of the glass optical element to be manufactured, the glass material softened and pressed, and a press molding step of the glass optical element a plurality worth obtaining integrally molded moldings,
    前記プレス成形工程で得られた前記成形体の前記セル状レンズの形成されていない他方の前記光透過面側を光学研磨する光学研磨工程と、 An optical polishing step of optically polishing the other of the light transmitting surface side that is not formed of the cellular lens of the molded body obtained in the press molding process,
    前記光学研磨工程で光学研磨された前記他方の光透過面上に定められている成形体分断のための分断予定線を含む所定幅をマスクし、マスクしたこの他方の光透過面上に光学膜を被着させる成膜工程と、 The masked predetermined width including a cutting plan lines for moldings division which is defined in the optical polished the other light transmitting surface on the optical polishing step, a mask is an optical film to the other light transmitting surface on and the film-forming step of depositing,
    前記成膜工程で前記光学膜を被着された前記成形体を前記分断予定線に沿ってガラス光学素子毎に分断する分断工程と、 A dividing step of dividing each glass optical element the optical film deposited by said molded body in the film-forming step along the cutting scheduled line,
    を有することを特徴とするガラス光学素子の製造方法。 Method of manufacturing a glass optical element characterized by having.
  11. 前記成形体は、所定の基準位置に対し、四個分のガラス光学素子各々が、回転対称の関係を満たすように田の字状に配置された状態で成形されていることを特徴とする請求項10記載のガラス光学素子の製造方法。 Wherein said forming body is for a given reference position, the glass optical element each of four content, characterized in that it has been formed in a state of being disposed in the form of field so as to satisfy the relation of rotational symmetry method of manufacturing a glass optical element to claim 10.
  12. 前記プレス成形工程では、ガラス光学素子毎の各セル状レンズの周縁を各々囲むフランジ部が成形される共に、前記各セル状レンズが前記フランジ部の表面よりも凹んだ位置に成形され、 Wherein in the press molding process, both the flange portion surrounding each of the peripheral edge of each cell-like lenses of each glass optical element is molded, each cellular lenses are molded in a position recessed from the surface of the flange portion,
    前記分断工程では、前記分断予定線を含む所定幅を除いて前記光学膜が被着された前記他方の光透過面側から、当該破断予定線に沿って切断刃を当接させることにより、前記成形体がガラス光学素子毎に分断されることを特徴とする請求項10又は11記載のガラス光学素子の製造方法。 Wherein in the dividing step, from the cutting plan lines the other light transmitting surface side of the optical film is deposited except predetermined width including, by abutting the cutting blade along the breakable line, wherein method of manufacturing a glass optical element according to claim 10 or 11, wherein the molded body is characterized in that it is divided for each glass optical element.
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