JP2008031295A - Heat conductive paste - Google Patents

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弘樹 佐野
Hiroshi Hara
寛 原
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat conductive paste having high heat radiation property and excellent in handling property. <P>SOLUTION: This conductive paste controlled in viscosity and excellent in handling property is prepared by compounding 5-80 wt.% pitch-type carbon staple fiber filler, using a mesophase pitch as its feedstock and having an average fiber diameter of 5-20 μm, an average length of 5-6,000 μm, and the percentage of the fiber diameter variance to the average fiber length (CV value) of 5-20, having high heat conductivity and a smooth surface, and having a crystallite size based on the growth direction of its hexagonal net surface of not smaller than 5 nm, to a polyorganosiloxane. The heat conductivity of this heat conductive paste is not lower than 3 W/(m×K). <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ピッチ系炭素短繊維フィラーを原料に用いた熱伝導性ペーストに関わるものである。さらに詳しくは、メルトブロー法によって作製した三次元ランダムマット状ピッチ系炭素繊維マットを粉砕してなるピッチ系炭素短繊維フィラーのサイズ、熱伝導率や表面性を制御することで、ハンドリング性及び熱伝導性に優れた熱伝導性ペーストに関わり、発熱性電子部品の放熱材料に適している。   The present invention relates to a thermally conductive paste using pitch-based short carbon fiber filler as a raw material. More specifically, by controlling the size, thermal conductivity, and surface properties of the pitch-based carbon short fiber filler obtained by pulverizing a three-dimensional random mat-like pitch-based carbon fiber mat produced by the melt-blowing method, handling properties and heat conduction are controlled. It is suitable for heat dissipation materials for heat-generating electronic components.

近年、発熱性電子部品の高密度化や、携帯用パソコンをはじめとする電子機器の小型、薄型、軽量化に伴い、それらに用いられる放熱部材の低熱抵抗化の要求が益々高まっており、放熱部材の薄化が要求されている。放熱部材としては、シリコーンゴムに熱伝導性無機粉末が充填された硬化物からなる熱伝導性シート、シリコーンゲルに熱伝導性無機粉末が充填され、柔軟性を有する硬化物からなる熱伝導性スペーサー、液状シリコーンに熱伝導性無機粉末が充填された流動性のある熱伝導性ペースト、樹脂の相変化を利用したフェーズチェンジ型放熱部材等が例示される。これらのうち、薄葉化が容易なものは、放熱ペースト及びフェーズチェンジ型放熱部材であるが、汎用品においては、価格メリットと実績から放熱ペーストが好んで使用されている。   In recent years, with the increase in the density of heat-generating electronic components and the reduction in size, thickness, and weight of electronic devices such as portable personal computers, there has been an increasing demand for lower heat resistance of heat-dissipating members used in them. Thinning of members is required. As a heat dissipation member, a thermally conductive sheet made of a cured product in which silicone rubber is filled with a thermally conductive inorganic powder, a thermally conductive spacer made of a cured product having flexibility and filled with a silicone gel and a thermally conductive inorganic powder. Examples thereof include a fluid heat conductive paste in which a liquid silicone is filled with a heat conductive inorganic powder, a phase change type heat radiation member utilizing a phase change of a resin, and the like. Among these, those that can be easily thinned are the heat radiation paste and the phase change type heat radiation member. However, in general-purpose products, the heat radiation paste is preferably used because of its cost merit and performance.

熱伝導性グリースの熱伝導率を向上させるには、液状マトリクスに熱伝導材を高充填させると共に、薄葉化すればよく、その薄葉化のためにはペーストの粘度と充填材のサイズを調整すればよい。熱伝導性が優れた物質として、酸化アルミニウムや窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、炭化ケイ素、石英、水酸化アルミニウムなどの金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属水酸化物などが知られている。しかし、金属材料系の充填材は比重が高く熱伝導性グリースの重量が大きくなってしまう。また、粉末状の熱伝導材を用いた場合、ネットワークを形成しにくいため、高い熱伝導性を得にくい。よって、熱伝導性を向上させるには熱伝導材を多量に使用する必要があり、その結果として、熱伝導性ペーストの重量増やコスト増につながり、必ずしも使い勝手の良いものとはいい難い。   In order to improve the thermal conductivity of the thermal grease, it is only necessary to fill the liquid matrix with a high thermal conductive material and make it thin, and to make the thin leaf, adjust the viscosity of the paste and the size of the filler. That's fine. Materials with excellent thermal conductivity include metal oxides such as aluminum oxide, boron nitride, aluminum nitride, magnesium oxide, zinc oxide, silicon carbide, quartz, and aluminum hydroxide, metal nitride, metal carbide, metal hydroxide, etc. It has been known. However, the metal material-based filler has a high specific gravity and the weight of the heat conductive grease is increased. In addition, when a powdery heat conductive material is used, it is difficult to form a network, so that high heat conductivity is difficult to obtain. Therefore, in order to improve thermal conductivity, it is necessary to use a large amount of a thermal conductive material. As a result, the thermal conductive paste increases in weight and cost, and is not necessarily easy to use.

そこで、比重が低く熱伝導率の高い炭素材料、中でも炭素繊維を用いた熱伝導性ペーストが(特許文献1参照)研究されている。しかし、既存の炭素繊維はピッチやPANなどから繊維を作成し、これを不融化、黒鉛化した後に粉砕して作成しているため、その表面が乱れており分散性に優れているとは言いがたく、粘度の高くハンドリング性に劣る熱伝導性ペーストが得られてしまう。
特開2002−146672号公報
Therefore, a carbon material having a low specific gravity and a high thermal conductivity, in particular, a thermal conductive paste using carbon fiber has been studied (see Patent Document 1). However, because existing carbon fibers are made from pitch, PAN, etc., made infusible, graphitized and then pulverized, the surface is disturbed and it is said that it has excellent dispersibility. A heat conductive paste having a high viscosity and a poor handling property is obtained.
JP 2002-146672 A

上記のように、熱伝導性が高く低粘度でハンドリング性に優れるペーストが求められているという観点から、分散性に優れた熱伝導材をペーストに添加するのが望ましい。また、ここに用いられる熱伝導材は高い熱伝導性を有すると同時に、ペーストの中で繊維状態を維持できるような強度を有することが求められている。   As described above, it is desirable to add a heat conductive material excellent in dispersibility to the paste from the viewpoint that a paste having high thermal conductivity, low viscosity and excellent handling properties is required. Moreover, the heat conductive material used here is calculated | required to have the intensity | strength which can maintain a fiber state in a paste while having high heat conductivity.

そこで、適切な熱伝導率を有し、さらに熱伝導性が向上し、加えてタック性を有する熱伝導性ペーストが強く望まれていた。また、マネジメントすべき素子・部材・部品の発熱が大きいため、耐熱性も必要とされていた。その他用途として、電波遮蔽の効果も必要とされていた。   Therefore, there has been a strong demand for a thermal conductive paste having an appropriate thermal conductivity, further improving thermal conductivity, and additionally having tackiness. In addition, heat generation is required because of the large heat generation of the elements, members, and parts to be managed. For other purposes, the effect of shielding radio waves was also required.

本発明者らは、熱伝導性ペーストの熱伝導性を向上させ、更に低粘度でハンドリング性を向上させることを鑑み、表面が平滑なピッチ系炭素短繊維フィラーが、ペースト内での分散性に優れ良好な熱伝導率を達成しつつ、熱伝導性ペーストのハンドリング性が著しく改善されることを見出し本願発明に到達した。   In view of improving the thermal conductivity of the thermal conductive paste and further improving the handling property with a low viscosity, the present inventors have found that a pitch-based carbon short fiber filler with a smooth surface is highly dispersible in the paste. It has been found that the handling property of the thermal conductive paste is remarkably improved while achieving excellent and excellent thermal conductivity, and has reached the present invention.

即ち、本発明の目的は、
熱伝導材としてのピッチ系炭素短繊維フィラーとオルガノポリシロキサンとを複合した熱伝導性ペーストであって、当該ピッチ系炭素短繊維フィラーの走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平滑であり、六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズが5nm以上であり、当該熱伝導性ペーストに当該ピッチ系炭素短繊維フィラーを5〜80重量%含み、当該熱伝導性ペーストの熱伝導率が3W/(m・K)以上であることを特徴とする熱伝導性ペーストによって達成される。
That is, the object of the present invention is to
A heat conductive paste composed of a composite of pitch-based carbon short fiber filler and organopolysiloxane as a heat conductive material, and the surface of the pitch-based carbon short fiber filler observed with a scanning electron microscope is substantially smooth. The crystallite size derived from the growth direction of the hexagonal mesh surface is 5 nm or more, the thermal conductive paste contains 5 to 80% by weight of the pitch-based carbon short fiber filler, and the thermal conductivity of the thermal conductive paste is This is achieved by a heat conductive paste characterized by being 3 W / (m · K) or more.

更に、本発明には、当該炭素繊維がメソフェーズピッチを原料とし、平均繊維径が5〜20μm、平均長さが5〜6000μm、平均繊維径に対する繊維径分散の百分率(CV値)が5〜20であること、当該熱伝導性ペーストの粘度が25℃、シェアレート1.7(1/s)の条件において5〜150Pa・S(50〜1500poise)であること、熱伝導材としてのピッチ系炭素短繊維フィラーに対して、1〜50重量%の酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、石英、水酸化アルミニウムの群より選ばれる1種以上の無機フィラーを含むことが包含される。   Furthermore, in the present invention, the carbon fiber is made from mesophase pitch, the average fiber diameter is 5 to 20 μm, the average length is 5 to 6000 μm, and the percentage of fiber diameter dispersion with respect to the average fiber diameter (CV value) is 5 to 20. That the thermal conductive paste has a viscosity of 25 to 150 Pa · S (50 to 1500 poise) under conditions of 25 ° C. and a shear rate of 1.7 (1 / s), and pitch-based carbon as a thermal conductive material. 1 to 50% by weight of aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxynitride, quartz, and aluminum hydroxide are included with respect to the short fiber filler. Is included.

本発明の熱伝導性ペーストは、黒鉛結晶の広がり(六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズ)を一定サイズ以上に制御したピッチ系炭素短繊維フィラーの表面の平滑性を利用することで、高い熱伝導性と低粘度に由来する高いハンドリング性が両立できることを可能にせしめている。さらに、タック性に富むことより、電子部品用放熱シートや熱交換器等への密着性を高め、熱伝導効率を高めるとともに、軽量化を達成することが可能になる。また、耐熱性の高いシリコーンを使用することで耐熱性が期待できる。   The thermal conductive paste of the present invention utilizes the smoothness of the surface of the pitch-based carbon short fiber filler in which the spread of the graphite crystal (crystallite size derived from the growth direction of the hexagonal network surface) is controlled to a certain size or more. This makes it possible to achieve both high thermal conductivity and high handling properties derived from low viscosity. Furthermore, since it is rich in tackiness, it is possible to improve adhesion to an electronic component heat-dissipating sheet, a heat exchanger, and the like, increase heat conduction efficiency, and achieve weight reduction. Moreover, heat resistance can be expected by using silicone having high heat resistance.

次に、本発明の実施の形態について順次説明していく。
本発明で用いられるピッチ系炭素短繊維フィラーの原料としては、例えば、ナフタレンやフェナントレンといった縮合多環炭化水素化合物、石油系ピッチや石炭系ピッチといった縮合複素環化合物等が挙げられる。その中でもナフタレンやフェナントレンといった縮合多環炭化水素化合物が好ましく、特に光学的異方性ピッチ、すなわちメソフェーズピッチが好ましい。これらは、一種を単独で用いても、二種以上を適宜組み合わせて用いてもよいが、メソフェーズピッチを単独で用いることが炭素繊維の熱伝導性を向上させる上で特に好ましい。
Next, embodiments of the present invention will be described sequentially.
Examples of the raw material for the pitch-based carbon short fiber filler used in the present invention include condensed polycyclic hydrocarbon compounds such as naphthalene and phenanthrene, and condensed heterocyclic compounds such as petroleum-based pitch and coal-based pitch. Among them, condensed polycyclic hydrocarbon compounds such as naphthalene and phenanthrene are preferable, and optically anisotropic pitch, that is, mesophase pitch is particularly preferable. These may be used alone or in combination of two or more, but it is particularly preferable to use mesophase pitch alone in order to improve the thermal conductivity of the carbon fiber.

原料ピッチの軟化点はメトラー法により求めることができ、250℃以上350℃以下が好ましい。軟化点が250℃より低いと、不融化の際に繊維同士の融着や大きな熱収縮が発生する。また、350℃より高いとピッチの熱分解が生じ糸状になりにくくなる。   The softening point of the raw material pitch can be determined by the Mettler method, and is preferably 250 ° C. or higher and 350 ° C. or lower. When the softening point is lower than 250 ° C., fusion between fibers and large heat shrinkage occur during infusibilization. On the other hand, when the temperature is higher than 350 ° C., thermal decomposition of the pitch occurs and it becomes difficult to form a yarn.

原料ピッチはメルトブロー法により紡糸され、その後不融化、焼成、粉砕を経て最後に黒鉛化することによってピッチ系炭素短繊維フィラーとする。以下各工程について説明する。   The raw material pitch is spun by a melt blow method, then infusible, fired, pulverized, and finally graphitized to form a pitch-based carbon short fiber filler. Each step will be described below.

本発明においては、ピッチ系炭素短繊維フィラーの原料となるピッチ繊維の紡糸ノズルの形状については特に制約はないが、ノズル孔の長さと孔径の比3よりも小さいものが好ましく用いられ、更に好ましくは1.5よりも小さいものが用いられる。紡糸時のノズルの温度についても特に制約はなく、安定した紡糸状態が維持できる温度、即ち、紡糸ピッチの粘度が2〜200Pa・S、好ましくは30〜150Pa・Sになる温度であればよい。   In the present invention, there is no particular limitation on the shape of the spinning nozzle of pitch fiber used as a raw material for the pitch-based carbon short fiber filler, but a nozzle hole length / hole diameter ratio smaller than 3 is preferably used, and more preferably Is smaller than 1.5. The temperature of the nozzle at the time of spinning is not particularly limited, and may be a temperature at which a stable spinning state can be maintained, that is, a temperature at which the viscosity of the spinning pitch is 2 to 200 Pa · S, preferably 30 to 150 Pa · S.

ノズル孔から出糸されたピッチ繊維は、100〜350℃に加温された毎分100〜10000mの線速度のガスを細化点近傍に吹き付けることによって短繊維化される。吹き付けるガスは空気、窒素、アルゴンを用いることができるが、コストパフォーマンスの点から空気が好ましい。   The pitch fibers drawn out from the nozzle holes are shortened by blowing a gas having a linear velocity of 100 to 10,000 m per minute heated to 100 to 350 ° C. in the vicinity of the thinning point. As the gas to be blown, air, nitrogen, or argon can be used, but air is preferable from the viewpoint of cost performance.

ピッチ繊維は、金網ベルト上に捕集され連続的なマット状になり、さらにクロスラップされることで3次元ランダムマットとなる。
3次元ランダムマットとは、クロスラップされていることに加え、ピッチ繊維が三次元的に交絡しているマットをいう。この交絡は、ノズルから、金網ベルトに到達する間にチムニと呼ばれる筒において達成される。線状の繊維が立体的に交絡するために、通常一次元的な挙動しか示さない繊維の特性が立体においても反映されるようになる。
Pitch fibers are collected on a wire mesh belt to form a continuous mat, and further cross-wrapped to form a three-dimensional random mat.
The three-dimensional random mat refers to a mat in which pitch fibers are entangled three-dimensionally in addition to being cross-wrapped. This entanglement is achieved in a cylinder called chimney while reaching the wire mesh belt from the nozzle. Since the linear fibers are entangled three-dimensionally, the characteristics of the fibers that normally exhibit only one-dimensional behavior are reflected in the three-dimensional.

このようにして得られたピッチ繊維よりなる3次元ランダムマットは、公知の方法で不融化する。不融化は、空気、或いはオゾン、二酸化窒素、窒素、酸素、ヨウ素、臭素を空気に添加したガスを用いて200〜350℃で達成される。安全性、利便性を考慮すると空気中で実施することが好ましい。また、不融化したピッチ繊維は、真空中、或いは窒素、アルゴン、クリプトン等の不活性ガス中で焼成されるが、常圧で、且つコストの安い窒素中で実施される。不融化後、ピッチ繊維を粉砕することで、ピッチ系短繊維フィラーを得ることができる。粉砕は公知の方法によって行うことができる。具体的には、ボールミル、ジェットミル、クラッシャーなどを用いることができる。粉砕後、ピッチ系短繊維フィラーを焼成し黒鉛化する。焼成温度は、炭素繊維としての熱伝導率を高くするためには、2000〜3500℃にすることが好ましい。より好ましくは2300〜3500℃である。焼成の際に黒鉛性のルツボに入れ処理すると、外部からの物理的、化学的作用を遮断でき好ましい。黒鉛製のルツボは上記の原料となるピッチ系短繊維フィラーを、所望の量入れることが出来るものであるならば大きさ、形状に制約はないが、焼成中または冷却中に炉内の酸化性のガス、または炭素蒸気との反応によるピッチ系炭素短繊維フィラーの損傷を防ぐために、フタ付きの気密性の高いものが好適に利用できる。   The three-dimensional random mat made of pitch fibers thus obtained is infusible by a known method. Infusibilization is achieved at 200 to 350 ° C. using air or a gas obtained by adding ozone, nitrogen dioxide, nitrogen, oxygen, iodine, bromine to air. Considering safety and convenience, it is preferable to carry out in the air. The infusible pitch fiber is fired in vacuum or in an inert gas such as nitrogen, argon, krypton, etc., but is carried out at normal pressure and in low-cost nitrogen. After infusibilization, the pitch-based short fiber filler can be obtained by grinding the pitch fiber. The pulverization can be performed by a known method. Specifically, a ball mill, a jet mill, a crusher, or the like can be used. After grinding, the pitch-based short fiber filler is fired and graphitized. The firing temperature is preferably 2000 to 3500 ° C. in order to increase the thermal conductivity of the carbon fiber. More preferably, it is 2300-3500 degreeC. It is preferable to place it in a graphite crucible at the time of firing because it can block external physical and chemical effects. The crucible made of graphite is not limited in size and shape as long as the desired amount of pitch-based short fiber filler as the above raw material can be added, but the oxidizing property in the furnace during firing or cooling is not limited. In order to prevent damage to the pitch-based carbon short fiber filler due to the reaction with this gas or carbon vapor, a highly airtight one with a lid can be suitably used.

本発明で用いるピッチ系炭素短繊維フィラーは、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平滑であることを特徴とする。ここで平滑であるとは、走査型電子顕微鏡による観察において、表面の凹凸が確認されないこと、表面の亀裂が確認されないこと、フィラーに割れが確認されないことを意味する。ここで、実質的にとは、例えば電子顕微鏡での観察のおいて、視野中(倍率1000)に上記欠陥部が10箇所以下であれば、含まれていてもよいことを意味し、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平滑であると、ピッチ系炭素短繊維フィラーとマトリクスを混合して熱伝導性ペーストを作成した場合、ピッチ系炭素短繊維フィラーとマトリクスの相互作用が小さくなり、その結果、熱伝導性ペーストの粘度が小さくなり、ハンドリング性が向上する。逆に、ピッチ系炭素短繊維フィラーが平滑でないと、ピッチ系炭素短繊維フィラーとマトリクスの相互作用が大きくなり、その結果、熱伝導性ペーストの粘度が大きくなり、ハンドリング性が低下する。   The pitch-based carbon short fiber filler used in the present invention is characterized in that the surface observed with a scanning electron microscope is substantially smooth. Here, the term “smooth” means that surface irregularities are not confirmed, cracks on the surface are not confirmed, and cracks are not confirmed on the filler in observation with a scanning electron microscope. Here, “substantially” means that, for example, in the observation with an electron microscope, the defect may be included in the field of view (magnification 1000) as long as there are 10 or less defects. When the surface to be observed with an electron microscope is substantially smooth, the interaction between the pitch-based carbon short fiber filler and the matrix is reduced when the pitch-based carbon short fiber filler and the matrix are mixed to create a thermally conductive paste. As a result, the viscosity of the heat conductive paste is reduced and the handling property is improved. On the other hand, if the pitch-based carbon short fiber filler is not smooth, the interaction between the pitch-based carbon short fiber filler and the matrix increases, and as a result, the viscosity of the heat conductive paste increases and the handling property decreases.

ピッチ系炭素短繊維フィラーの観察表面を平滑にするには、炭素繊維フィラーを粉砕後に黒鉛化することによりピッチ系炭素短繊維フィラーの欠損を抑制することによって達成することができる。黒鉛後に粉砕すると、ピッチ系炭素短繊維フィラーの欠損が多くなり、走査型電子顕微鏡での観察表面に欠損が観察される。   Smoothing the observation surface of the pitch-based carbon short fiber filler can be achieved by suppressing the loss of the pitch-based carbon short fiber filler by graphitizing the carbon fiber filler after pulverization. When pulverized after graphite, defects in the pitch-based carbon short fiber filler increase, and defects are observed on the surface observed with a scanning electron microscope.

本発明で用いるピッチ系炭素短繊維フィラーは、六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズが5nm以上であることが必要である。六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズは公知の方法によって求めることができ、X線回折法にて得られる炭素結晶の(110)面からの回折線によって求めることができる。結晶子サイズが重要になるのは、熱伝導が主としてフォノンによって担われており、フォノンを発生するのが結晶であることに由来している。より好ましくは、20nm以上であり、さらに好ましくは30nm以上である。   The pitch-based carbon short fiber filler used in the present invention needs to have a crystallite size derived from the growth direction of the hexagonal network surface of 5 nm or more. The crystallite size derived from the growth direction of the hexagonal network surface can be determined by a known method, and can be determined by diffraction lines from the (110) plane of the carbon crystal obtained by the X-ray diffraction method. The reason why the crystallite size is important is that heat conduction is mainly performed by phonons, and it is the crystals that generate phonons. More preferably, it is 20 nm or more, and more preferably 30 nm or more.

3次元ランダムマット状炭素繊維の平均繊維径は5〜20μmであることが必要である。5μm以下の場合には、マットの形状が保持できなくなることがあり生産性が悪い。繊維径が20μmを超えると、不融化工程でのムラが大きくなり部分的に融着が起こったりするところが発生する。より好ましくは5〜15μmであり、さらに好ましくは8〜12μmである。   The average fiber diameter of the three-dimensional random mat-like carbon fiber needs to be 5 to 20 μm. When the thickness is 5 μm or less, the shape of the mat may not be maintained, and productivity is poor. When the fiber diameter exceeds 20 μm, unevenness in the infusibilization process becomes large, and a part where fusion occurs partially occurs. More preferably, it is 5-15 micrometers, More preferably, it is 8-12 micrometers.

これに対してピッチ系炭素短繊維フィラーの平均長さは5〜6000μmであることが好ましい。5μmを下回ると繊維としての特徴が失われ、十分な熱伝導度を発揮できない。一方6000mmを超えると繊維の交絡が著しく増大し、熱伝導性ペーストの粘度が高くなりハンドリングが困難になる。より好ましくは10〜3000μm、さらに好ましくは20〜1000mmである。   On the other hand, the average length of the pitch-based carbon short fiber filler is preferably 5 to 6000 μm. When the thickness is less than 5 μm, the characteristics as a fiber are lost, and sufficient thermal conductivity cannot be exhibited. On the other hand, if it exceeds 6000 mm, the entanglement of the fibers will remarkably increase, and the viscosity of the heat conductive paste will become high and handling will become difficult. More preferably, it is 10-3000 micrometers, More preferably, it is 20-1000 mm.

なお、平均繊維径に対する繊維径分散の百分率として求められるCV値は、5〜20であることが好ましい。CV値が5を下回ることは工程上あり得ない。また、CV値が20を超えると不融化でトラブルを起こす直径が20μm以上の繊維が増える可能性が高くなり、生産性の観点から好ましくない。   In addition, it is preferable that the CV value calculated | required as a percentage of fiber diameter dispersion | distribution with respect to an average fiber diameter is 5-20. It is impossible in the process that the CV value is less than 5. On the other hand, if the CV value exceeds 20, the possibility of increasing the number of fibers having a diameter of 20 μm or more that causes trouble due to infusibilization increases, which is not preferable from the viewpoint of productivity.

本願発明に関わる熱伝導性ペーストの熱伝導率は公知の方法によって測定することができるが、その中でも、プローブ法、ホットディスク法、レーザーフラッシュ法が好ましく、特にプローブ法が簡易的で好ましい。一般に炭素繊維そのものの熱伝導度は数百W/(m・K)であるが、ペーストなど複合体にすると、欠陥の発生・空気の混入・予期せぬ空隙の発生により、熱伝導率は急激に低減する。よって、熱伝導性ペーストとしての熱伝導率は実質的に2W/(m・K)を超えることが困難であるとされてきた。しかし、本願発明ではピッチ系炭素短繊維フィラーを用いることでこれを解決し、ペーストとして3W/(m・K)以上を実現した。より望ましくは、5W/(m・K)以上であり、さらに望ましくは10W/(m・K)以上である。   The thermal conductivity of the thermal conductive paste according to the present invention can be measured by a known method. Among them, the probe method, hot disk method, and laser flash method are preferable, and the probe method is particularly simple and preferable. Generally, the thermal conductivity of carbon fiber itself is several hundred W / (m · K). However, when it is made into a composite such as a paste, the thermal conductivity is abrupt due to the occurrence of defects, air contamination, and unexpected voids. To reduce. Therefore, it has been considered difficult for the thermal conductivity of the thermally conductive paste to substantially exceed 2 W / (m · K). However, in the present invention, this problem was solved by using a pitch-based carbon short fiber filler, and a paste of 3 W / (m · K) or more was realized. More desirably, it is 5 W / (m · K) or more, and further desirably 10 W / (m · K) or more.

ピッチ系炭素短繊維フィラーの含有率は、熱伝導性ペースト中、5〜80質量%である。5質量%未満であると、熱伝導率が低く、いくら薄化しても低熱抵抗化は困難となる。80質量%をこえると、ペーストの流動性が低くなり、薄葉化が困難となる。さらに望ましくは10〜70質量%である。   The content rate of a pitch-type short carbon fiber filler is 5-80 mass% in a heat conductive paste. If it is less than 5% by mass, the thermal conductivity is low, and it is difficult to reduce the thermal resistance no matter how thin it is. If it exceeds 80% by mass, the fluidity of the paste becomes low, and thinning becomes difficult. More desirably, it is 10 to 70% by mass.

ペーストの粘度はシェアレート1.7(1/s)の時、50〜1500poiseであることが好ましい。さらに好ましくは100〜1000poiseである。50poise未満の時はペーストの流動性が高すぎて、直ぐに流れ出てしまいペーストとして不向きである。1500poiseを超えると、流動性が低すぎて薄葉化が困難になる。なお、粘度は公知の方法を用いて測定できるが、具体的にはB型粘度計を用いて測定することができる。   The viscosity of the paste is preferably 50 to 1500 poise when the shear rate is 1.7 (1 / s). More preferably, it is 100-1000 poise. When it is less than 50 poise, the fluidity of the paste is too high and immediately flows out, making it unsuitable as a paste. If it exceeds 1500 poise, the fluidity is too low and thinning becomes difficult. In addition, although a viscosity can be measured using a well-known method, it can be specifically measured using a B-type viscometer.

また、ピッチ系炭素短繊維フィラー以外の熱伝導材として、酸化アルミニウムや窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、炭化ケイ素、石英、水酸化アルミニウム、銀粉などの金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化物、金属炭化物、金属水酸化物、金属を添加剤として加えても構わない。より具体的には酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、石英、水酸化アルミニウムの群より選ばれる1種以上の無機フィラーを添加しても構わない。添加量は、ピッチ系炭素短繊維フィラーに対して1〜50重量%である。これらを用いることにより、熱伝導性ペーストの絶縁性を向上させることができる。   Moreover, as a heat conductive material other than the pitch-based carbon short fiber filler, metal oxides such as aluminum oxide, boron nitride, aluminum nitride, magnesium oxide, zinc oxide, silicon carbide, quartz, aluminum hydroxide, silver powder, metal nitride, Metal oxynitride, metal carbide, metal hydroxide, or metal may be added as an additive. More specifically, one or more inorganic fillers selected from the group consisting of aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxynitride, quartz, and aluminum hydroxide may be added. The addition amount is 1 to 50% by weight with respect to the pitch-based carbon short fiber filler. By using these, the insulating property of the heat conductive paste can be improved.

本発明で用いられるマトリクスとして使用されるオルガノポリシロキサンは、耐熱性・絶縁性等、電子材料の特性が備わったものである。これをマトリクスとすることによって信頼性の高い熱伝導性ペーストが得られる。本発明において用いるオルガノポリシロキサンは、下記一般式(1)で示されるものである。
SiO(4−a)/2 (1)
The organopolysiloxane used as a matrix used in the present invention has characteristics of electronic materials such as heat resistance and insulation. By using this as a matrix, a highly reliable heat conductive paste can be obtained. The organopolysiloxane used in the present invention is represented by the following general formula (1).
R 1 a SiO (4-a) / 2 (1)

上記式(1)において、Rは炭素数1〜18の飽和又は不飽和の1価炭化水素基から選択される1種もしくは2種以上の基である。このような基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、テトラデシル基、ヘキサデシル基、オクタデシル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロヘキシル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、2−フェニルエチル基、2−メチル−2−フェニルエチル基等のアラルキル基、3,3,3−トリフロロプロピル基、2−(パーフロロブチル)エチル基、2−(パーフロロオクチル)エチル基、p−クロロフェニル基等のハロゲン化炭化水素基などが挙げられるが、特にメチル基、フェニル基、及び炭素数6〜14のアルキル基が好ましい。aはシリコーンペースト組成物として要求される粘度の観点から、1.8〜2.2の範囲の正数がよく、特に1.9〜2.2の範囲の正数が好ましい。 In the above formula (1), R 1 is one or more groups selected from saturated or unsaturated monovalent hydrocarbon groups having 1 to 18 carbon atoms. Such groups include, for example, methyl groups, ethyl groups, propyl groups, hexyl groups, octyl groups, decyl groups, alkyl groups such as dodecyl groups, tetradecyl groups, hexadecyl groups, octadecyl groups, cyclopentyl groups, cyclohexyl groups, etc. An alkenyl group such as a cyclohexyl group, a vinyl group and an allyl group; an aryl group such as a phenyl group and a tolyl group; an aralkyl group such as a 2-phenylethyl group and a 2-methyl-2-phenylethyl group; Examples include halogenated hydrocarbon groups such as a fluoropropyl group, 2- (perfluorobutyl) ethyl group, 2- (perfluorooctyl) ethyl group, and p-chlorophenyl group. Particularly, methyl group, phenyl group, and carbon The alkyl group of several 6-14 is preferable. From the viewpoint of the viscosity required for the silicone paste composition, a is preferably a positive number in the range of 1.8 to 2.2, and particularly preferably a positive number in the range of 1.9 to 2.2.

また、本発明で使用するオルガノポリシロキサンの25℃における動粘度は、50mm/sより低いとシリコーンペースト組成物にした時にオイルブリードが出やすくなるし、500000mm/sより大きくなるとシリコーンペースト組成物にしたときの伸展性が乏しくなることから、25℃における動粘度が50〜500000mm/sであることが好ましく、特に100〜10,000mm/sであることが好ましい。なお、動粘度は公知の方法により測定できるが、具体的にはオストワルド粘度計により測定することができる。 In addition, when the kinematic viscosity at 25 ° C. of the organopolysiloxane used in the present invention is lower than 50 mm 2 / s, oil bleeding tends to occur when the silicone paste composition is used, and when it exceeds 500,000 mm 2 / s, the silicone paste composition from the extensibility becomes poor when the object, preferably a kinematic viscosity at 25 ° C. is 50~500000mm 2 / s, it is particularly preferably 100~10,000mm 2 / s. In addition, although kinematic viscosity can be measured by a well-known method, it can specifically measure with an Ostwald viscometer.

本発明の熱伝導性ペーストは、上記諸材料を万能混合攪拌機、ニーダー等で混練することによって製造することができる。さらに、MEK、MIBKのようなケトン系溶剤や各種アルコール、シクロヘキサンやヘキサン、トルエン、ベンゼン等で粘度を調整することができる。   The heat conductive paste of the present invention can be produced by kneading the above materials with a universal mixing stirrer, kneader or the like. Furthermore, the viscosity can be adjusted with ketone solvents such as MEK and MIBK, various alcohols, cyclohexane, hexane, toluene, benzene and the like.

本発明の熱伝導性ペーストの用途は、電子部品の放熱部材、熱伝導性充填剤、温度測定用等の絶縁性充填剤等がある。たとえば、本発明の熱伝導性ペーストは、MPUやパワートランジスタ、トランス等の発熱性電子部品からの熱を放熱フィンや放熱ファン等の放熱部品に伝熱させるために使用され、発熱性電子部品と放熱部品の間に挟み込まれて使用される。これによって、発熱性電子部品と放熱部品間の伝熱が良好となり、長期的に発熱性電子部品の誤作動を軽減させることができる。或いは、ヒートパイプとヒートシンクの接続や、種々の発熱体の入ったモジュールとヒートシンクとの接続に好適に用いることができる。   Applications of the heat conductive paste of the present invention include heat dissipating members for electronic parts, heat conductive fillers, insulating fillers for temperature measurement, and the like. For example, the heat conductive paste of the present invention is used to transfer heat from heat-generating electronic components such as MPUs, power transistors, and transformers to heat-dissipating components such as heat-dissipating fins and heat-dissipating fans. Used by being sandwiched between heat dissipation components. As a result, heat transfer between the heat-generating electronic component and the heat-dissipating component is improved, and malfunction of the heat-generating electronic component can be reduced in the long term. Or it can use suitably for the connection of a heat pipe and a heat sink, and the connection of the module containing various heat generating bodies, and a heat sink.

本発明の熱伝導性ペーストは、タック性を有し、貼合したい物質とのアラインメントを確保することが容易である。タック性の度合いは、ペーストの処理温度によって変化させることが可能である。   The heat conductive paste of the present invention has tackiness and it is easy to ensure alignment with the substance to be bonded. The degree of tackiness can be changed depending on the processing temperature of the paste.

混練する前にピッチ系炭素短繊維フィラーは、電解酸化などによる酸化処理やカップリング剤やサイジング剤で処理することで、表面を改質させたものを用いることもできる。また、無電解メッキ法、電解メッキ法、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングなどの物理的蒸着法、化学的蒸着法、塗装、浸漬、微細粒子を機械的に固着させるメカノケミカル法などの方法によって金属やセラミックスを表面に被覆させたものでもよい。以下、更に詳しく本発明について説明する。   Prior to kneading, the pitch-based carbon short fiber filler can be used in which the surface is modified by an oxidation treatment such as electrolytic oxidation or a treatment with a coupling agent or a sizing agent. Also, by electroless plating method, electrolytic plating method, physical vapor deposition method such as vacuum deposition, sputtering, ion plating, chemical vapor deposition method, painting, immersion, mechanochemical method for mechanically fixing fine particles, etc. A metal or ceramic coated on the surface may be used. Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

以下に実施例を示すが、本願発明はこれらに制限されるものではない。
なお、本実施例における各値は、以下の方法に従って求めた。
(1)ピッチ系炭素短繊維フィラーの直径は、焼成を経たフィラーを光学顕微鏡下でスケールを用いて測定した。
(2)ピッチ系炭素短繊維フィラーの糸長は、焼成を経たフィラーを抜き取り測長器で測定した。
(3)ピッチ系炭素短繊維フィラーの結晶子サイズは、X線回折に現れる(110)面からの反射を測定し、学振法にて求めた。
(4)ピッチ系炭素短繊維フィラーの表面は走査型電子顕微鏡で観察した。
(5)熱伝導性ペーストの熱伝導率は、ペーストをリファレンスプレート上に1mm厚に塗布し、京都電子製QTM−500を用いプローブ法で求めた。
(6)熱伝導性ペーストの粘度は、B型粘度計を用いて求めた。
Examples are shown below, but the present invention is not limited thereto.
In addition, each value in a present Example was calculated | required according to the following method.
(1) The diameter of the pitch-based carbon short fiber filler was measured by using a scale of the baked filler under an optical microscope.
(2) The yarn length of the pitch-based carbon short fiber filler was measured with a length measuring device by extracting the filler after firing.
(3) The crystallite size of the pitch-based carbon short fiber filler was determined by the Gakushin method by measuring reflection from the (110) plane appearing in X-ray diffraction.
(4) The surface of the pitch-based carbon short fiber filler was observed with a scanning electron microscope.
(5) The thermal conductivity of the heat conductive paste was obtained by applying the paste on a reference plate to a thickness of 1 mm and using a probe method using QTM-500 manufactured by Kyoto Electronics.
(6) The viscosity of the heat conductive paste was determined using a B-type viscometer.

[実施例1]
縮合多環炭化水素化合物よりなるピッチを主原料とした。光学的異方性割合は100%、軟化点が283℃であった。直径0.2mmφの孔のキャップを使用し、スリットから加熱空気を毎分5500mの線速度で噴出させて、溶融ピッチを牽引して平均直径14.5μmのピッチ系短繊維を作製した。紡出された繊維をベルト上に捕集してマットとし、さらにクロスラッピングで目付320g/mのピッチ系短繊維からなる3次元ランダムマットとした。
[Example 1]
A pitch made of a condensed polycyclic hydrocarbon compound was used as a main raw material. The optical anisotropy ratio was 100%, and the softening point was 283 ° C. Using a cap with a hole with a diameter of 0.2 mmφ, heated air was ejected from the slit at a linear velocity of 5500 m / min, and the melt pitch was pulled to produce pitch-based short fibers with an average diameter of 14.5 μm. The spun fibers were collected on a belt to form a mat, and a three-dimensional random mat made of pitch-based short fibers having a basis weight of 320 g / m 2 by cross-wrapping.

この3次元ランダムマットを空気中で170℃から285℃まで平均昇温速度6℃/分で昇温して不融化を行った。不融化した3次元ランダムマットをボールミルで粉砕し、3000℃で焼成した。焼成後のピッチ系炭素短繊維フィラーの糸径は平均で9.8μm、平均糸径に対する糸径分散の比は12%であった。糸長は平均で50mmであった。六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズは17nmであった。ピッチ系炭素短繊維フィラーの走査型電子顕微鏡で観察した表面は平滑であった。   This three-dimensional random mat was heated in the air from 170 ° C. to 285 ° C. at an average heating rate of 6 ° C./min for infusibilization. The infusible three-dimensional random mat was pulverized with a ball mill and fired at 3000 ° C. The average yarn diameter of the pitch-based carbon short fiber filler after firing was 9.8 μm, and the ratio of the yarn diameter dispersion to the average yarn diameter was 12%. The average yarn length was 50 mm. The crystallite size derived from the growth direction of the hexagonal network surface was 17 nm. The surface of the pitch-based carbon short fiber filler observed with a scanning electron microscope was smooth.

ピッチ系炭素短繊維フィラーを35重量%、シリコーンオイル(東芝シリコーン社製商品名「TSF451−500」)65重量%とをプラネタリーミキサーを用いて30分間混合しながら真空脱泡してペーストを製造した。
作製した熱伝導性ペーストの熱伝導率を測定したところ、6.2W/(m・K)であった。粘度は11Pa・S(110poise)であった。
A paste is prepared by vacuum defoaming while mixing 35% by weight of pitch-based carbon short fiber filler and 65% by weight of silicone oil (trade name “TSF451-500” manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) for 30 minutes using a planetary mixer. did.
It was 6.2 W / (m * K) when the heat conductivity of the produced heat conductive paste was measured. The viscosity was 11 Pa · S (110 poise).

[実施例2]
実施例1と同様の手法で3次元ランダムマット状炭素繊維を作製した。
ピッチ系炭素短繊維フィラーを50重量%、シリコーンオイル(東芝シリコーン社製商品名「TSF451−500」)50重量%とをプラネタリーミキサーを用いて30分間混合しながら真空脱泡してペーストを製造した。
作製した熱伝導性ペーストの熱伝導率を測定したところ、10.2W/(m・K)であった。粘度は45Pa・S(450poise)であった。
[Example 2]
Three-dimensional random mat-like carbon fibers were produced in the same manner as in Example 1.
50% by weight of pitch-based carbon short fiber filler and 50% by weight of silicone oil (trade name “TSF451-500” manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) are mixed with a planetary mixer for 30 minutes to produce a paste. did.
It was 10.2 W / (m * K) when the heat conductivity of the produced heat conductive paste was measured. The viscosity was 45 Pa · S (450 poise).

[実施例3]
実施例1と同様の手法で3次元ランダムマット状炭素繊維を作製した。
ピッチ系炭素短繊維フィラーを25重量%、窒化ホウ素を10重量部、シリコーンオイル(東芝シリコーン社製商品名「TSF451−500」)65重量%とをプラネタリーミキサーを用いて30分間混合しながら真空脱泡してペーストを製造した。
作製した熱伝導性ペーストの熱伝導率を測定したところ、3.9W/(m・K)であった。粘度は10Pa・S(100poise)であった。
[Example 3]
A three-dimensional random mat-like carbon fiber was produced in the same manner as in Example 1.
Vacuum while mixing for 30 minutes using a planetary mixer with 25% by weight of pitch-based carbon short fiber filler, 10 parts by weight of boron nitride, and 65% by weight of silicone oil (trade name “TSF451-500” manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) Defoamed to produce a paste.
It was 3.9 W / (m * K) when the heat conductivity of the produced heat conductive paste was measured. The viscosity was 10 Pa · S (100 poise).

[比較例1]
3次元ランダムマット状炭素繊維を焼成後に粉砕し、ピッチ系炭素短繊維フィラーを得た以外は、実施例1と同じ方法で熱伝導性ペーストを作製した。ピッチ系炭素短繊維フィラーの走査型電子顕微鏡で観察した表面は凹凸が目立って平滑でなかった。
作製した熱伝導性ペーストの熱伝導率を測定したところ、5.9W/(m・K)であった。粘度は240Pa・S(2400poise)と非常に高かった。
[Comparative Example 1]
A thermally conductive paste was prepared in the same manner as in Example 1 except that the three-dimensional random mat-like carbon fiber was pulverized after firing to obtain a pitch-based short carbon fiber filler. The surface of the pitch-based carbon short fiber filler observed with a scanning electron microscope was conspicuous and was not smooth.
It was 5.9 W / (m * K) when the heat conductivity of the produced heat conductive paste was measured. The viscosity was as high as 240 Pa · S (2400 poise).

[比較例2]
ピッチ系炭素短繊維フィラーの含有率を3%とした以外は、実施例1と同じ方法で熱伝導性ペーストを作製した。
成形された熱伝導性ペーストの熱伝導率を測定したところ、0.5W/(m・K)であった。粘度は3Pa・S(30poise)であった
[Comparative Example 2]
A heat conductive paste was produced in the same manner as in Example 1 except that the content of the pitch-based carbon short fiber filler was 3%.
The heat conductivity of the molded heat conductive paste was measured and found to be 0.5 W / (m · K). The viscosity was 3 Pa · S (30 poise).

本発明の熱伝導性ペーストは、黒鉛結晶の広がりを一定サイズ以上に制御したピッチ系炭素短繊維フィラーの表面の平滑性を利用することで、粘度を抑制しハンドリング性を高めつつ、高い熱伝導性が発現させることを可能にせしめている。さらに電子部品用放熱シートや熱交換器等への密着性を高め、熱伝導効率を高めるとともに、軽量化を達成することが可能になる。   The heat conductive paste of the present invention uses the smoothness of the surface of the pitch-based carbon short fiber filler in which the spread of the graphite crystal is controlled to a certain size or more, thereby suppressing the viscosity and improving the handling property while maintaining high heat conductivity. It makes it possible to express sex. Furthermore, it is possible to increase the adhesion to the heat radiation sheet for electronic parts, the heat exchanger, etc., increase the heat conduction efficiency, and achieve weight reduction.

Claims (4)

熱伝導材としてのピッチ系炭素短繊維フィラーとオルガノポリシロキサンとを複合した熱伝導性ペーストであって、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平滑であり、六角網面の成長方向に由来する結晶子サイズが5nm以上であり、当該熱伝導性ペーストに当該ピッチ系炭素短繊維フィラーを5〜80重量%含み、当該熱伝導性ペーストの熱伝導率が3W/(m・K)以上であることを特徴とする熱伝導性ペースト。   A heat conductive paste composed of a pitch-based carbon short fiber filler as a heat conductive material and an organopolysiloxane, and the surface observed with a scanning electron microscope is substantially smooth, and in the growth direction of the hexagonal mesh surface. The derived crystallite size is 5 nm or more, the thermal conductive paste contains 5 to 80 wt% of the pitch-based carbon short fiber filler, and the thermal conductivity of the thermal conductive paste is 3 W / (m · K) or more. A thermally conductive paste characterized by 当該炭素繊維がメソフェーズピッチを原料とし、平均繊維径が5〜20μm、平均長さが5〜6000μm、平均繊維径に対する繊維径分散の百分率(CV値)が5〜20である、請求項1記載の熱伝導性ペースト。   The said carbon fiber uses mesophase pitch as a raw material, The average fiber diameter is 5-20 micrometers, The average length is 5-6000 micrometers, The percentage (CV value) of the fiber diameter dispersion | distribution with respect to an average fiber diameter is 5-20. Thermally conductive paste. 当該熱伝導性ペーストの粘度が25℃、シェアレート1.7(1/s)の条件において5〜150Pa・S(50〜1500poise)である、請求項1〜2のいずれかに1項に記載の熱伝導性ペースト。   The viscosity of the said heat conductive paste is 5-150 Pa.S (50-1500 poise) in the conditions of 25 degreeC and a shear rate 1.7 (1 / s), It is any one of Claims 1-2. Thermally conductive paste. 熱伝導材としてのピッチ系炭素短繊維フィラーに対して、1〜50重量%の酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、石英、水酸化アルミニウムの群より選ばれる1種以上の無機フィラーを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱伝導性ペースト。   Selected from the group of 1 to 50% by weight of aluminum oxide, magnesium oxide, zinc oxide, boron nitride, aluminum nitride, aluminum oxynitride, quartz, and aluminum hydroxide with respect to pitch-based carbon short fiber filler as a heat conductive material The thermally conductive paste according to any one of claims 1 to 3, comprising one or more inorganic fillers.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009246063A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Hitachi Ltd Cooling structure of power module and semiconductor device using same
JP2010175948A (en) * 2009-01-30 2010-08-12 Furukawa Electric Co Ltd:The Parallel optical transmission apparatus
EP2673786A4 (en) * 2012-06-05 2014-04-02 Dow Corning Soft tacky gel for use in power converters
JP2016103028A (en) * 2015-12-21 2016-06-02 増田 麻言 Scanning projector and handheld projection device
CN106843428A (en) * 2017-01-18 2017-06-13 西安培华学院 A kind of computer CPU radiating high-efficiency heat conduction cream

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009246063A (en) * 2008-03-31 2009-10-22 Hitachi Ltd Cooling structure of power module and semiconductor device using same
JP2010175948A (en) * 2009-01-30 2010-08-12 Furukawa Electric Co Ltd:The Parallel optical transmission apparatus
EP2673786A4 (en) * 2012-06-05 2014-04-02 Dow Corning Soft tacky gel for use in power converters
JP2016103028A (en) * 2015-12-21 2016-06-02 増田 麻言 Scanning projector and handheld projection device
CN106843428A (en) * 2017-01-18 2017-06-13 西安培华学院 A kind of computer CPU radiating high-efficiency heat conduction cream

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