JP2008030354A - Liquid droplet discharge device - Google Patents

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JP2008030354A JP2006207743A JP2006207743A JP2008030354A JP 2008030354 A JP2008030354 A JP 2008030354A JP 2006207743 A JP2006207743 A JP 2006207743A JP 2006207743 A JP2006207743 A JP 2006207743A JP 2008030354 A JP2008030354 A JP 2008030354A
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Hiroyuki Ishikawa
博幸 石川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the generation of crosstalk and simultaneously to reduce in size. <P>SOLUTION: In a flow path unit 40, two manifolds 25a, 25b extending along the arranging direction of pressure chambers 21 are arranged in positions where they overlap the plurality of pressure chambers 21 arranged in one line in a plan view. The manifold 25a is in communication with odd number pressure chambers 21 through throttle flow paths 27 on the other hand the manifold 25b is in communication with the odd number pressure chambers 21 through the throttle flow paths 27. Further, an ink flowing in port 32 formed in the odd number pressure chambers 21 and through which an ink fed from the manifold 25a flows in and an ink flowing in port 32 formed in even number pressure chambers 21 and through which an ink flows in from the manifold 25b are positioned on the same line along the arranging direction of the pressure chambers 21. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge device that discharges droplets from a nozzle.

被吐出体に液滴を吐出する液滴吐出装置として、特許文献1には、ノズルから記録用紙にインクを吐出するインクジェットヘッドが開示されている。かかるインクジェットヘッドは、複数のノズルにそれぞれ連通していると共に、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、圧力室に連通していると共に、圧力室の配列方向に沿って延在するマニホールドとを備えている。そして、1つの圧力室列に属する圧力室には、当該圧力室列の配列方向に沿って延在する1つのマニホールドからインクが供給される。かかるインクジェットヘッドにおいては、圧電アクチュエータで圧力室内のインクに圧力を付与することにより、ノズルからインクが吐出されるように構成されている。   As a droplet discharge device that discharges droplets onto a discharge target body, Patent Document 1 discloses an inkjet head that discharges ink from a nozzle onto a recording sheet. Such an ink jet head communicates with each of a plurality of nozzles, communicates with a plurality of pressure chambers arranged along one direction, and the pressure chambers, and extends along the arrangement direction of the pressure chambers. And a manifold. Ink is supplied to the pressure chambers belonging to one pressure chamber row from one manifold extending along the arrangement direction of the pressure chamber rows. Such an ink jet head is configured such that ink is ejected from the nozzles by applying pressure to the ink in the pressure chamber with a piezoelectric actuator.

上述のように、1つの圧力室列に属する圧力室に、1つのマニホールドからインクを供給する場合には、ある圧力室における圧力変動が、マニホールドを介して隣接する別の圧力室に伝播する、いわゆるクロストークが生じやすい。クロストークが生じると、インクジェットヘッドの吐出安定性が損なわれることになる。   As described above, when ink is supplied from one manifold to pressure chambers belonging to one pressure chamber row, pressure fluctuation in one pressure chamber propagates to another adjacent pressure chamber via the manifold. So-called crosstalk is likely to occur. When crosstalk occurs, the ejection stability of the inkjet head is impaired.

一方、特許文献2には、1つの圧力室列に属する圧力室のうち互いに隣接する2つの圧力室に対して、互いに異なる2つのマニホールドからそれぞれインクが供給されるインクジェットヘッドが開示されている。より詳細には、特許文献2のインクジェットヘッドでは、複数の圧力室のうち端から奇数番目の圧力室には、マニホールドから供給されるインクが流入するインク流入口が、圧力室の配列方向と直交する方向に沿う一端に形成されている。また、偶数番目の圧力室には、インク流入口が前記一端に対する他端に形成されている。そして、圧力室列の両側に圧力室の配列方向に沿って延在するマニホールドがそれぞれ配置されており、各圧力室には、インク流入口が形成されている端部側に配置されているマニホールドからインクが供給される。かかるインクジェットヘッドにおいては、圧力室における圧力変動が、マニホールドを介して隣接する圧力室に伝播するのを防止することができるので、クロストークの発生の抑制が可能となる。
特開2006−68941号公報(図2) 特開2001−301167号公報(図2)
On the other hand, Patent Document 2 discloses an inkjet head in which ink is supplied from two different manifolds to two adjacent pressure chambers among pressure chambers belonging to one pressure chamber row. More specifically, in the ink jet head of Patent Document 2, an ink inflow port into which ink supplied from a manifold flows is orthogonal to the arrangement direction of the pressure chambers in the odd-numbered pressure chambers among the plurality of pressure chambers. It is formed at one end along the direction. In addition, in the even-numbered pressure chamber, an ink inlet is formed at the other end with respect to the one end. Manifolds extending along the direction in which the pressure chambers are arranged are arranged on both sides of the pressure chamber row, and each pressure chamber has a manifold arranged on the end side where the ink inlet is formed. Ink is supplied from. In such an ink jet head, it is possible to prevent the pressure fluctuation in the pressure chamber from propagating to the adjacent pressure chamber via the manifold, so that the occurrence of crosstalk can be suppressed.
JP 2006-68941 A (FIG. 2) Japanese Patent Laying-Open No. 2001-301167 (FIG. 2)

しかしながら、特許文献2に開示されているインクジェットヘッドのように、奇数番目の圧力室のインク流入口と偶数番目の圧力室のインク流入口とが、圧力室の配列方向と直交する方向に関して互いに相反する位置に形成されている場合には、圧力室に供給するインクが溜められる2つのマニホールドを近接して配置することが困難である。したがって、インクジェットヘッドが大型化するという問題が生じる。   However, as in the ink jet head disclosed in Patent Document 2, the ink inlets of the odd-numbered pressure chambers and the ink inlets of the even-numbered pressure chambers conflict with each other in the direction perpendicular to the direction in which the pressure chambers are arranged. If it is formed at such a position, it is difficult to arrange the two manifolds in which ink to be supplied to the pressure chambers are stored close to each other. Accordingly, there arises a problem that the ink jet head is enlarged.

そこで、本発明の目的は、クロストークの発生を抑制すると共に、小型化が可能な液滴吐出装置を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a droplet discharge device that can suppress the occurrence of crosstalk and can be miniaturized.

本発明の液滴吐出装置は、所定の配列方向に沿って配列された複数の圧力室と、前記複数の圧力室にそれぞれ連通しており、液滴を吐出する複数のノズルと、前記配列方向に沿って延在していると共に、前記複数の圧力室のうち最も端にある圧力室から奇数番目に当たる圧力室に連通する第1のマニホールドと、前記配列方向に沿って延在していると共に、前記最も端にある圧力室から偶数番目に当たる圧力室に連通する第2のマニホールドとを備えており、前記奇数番目に当たる圧力室に形成されており、前記第1のマニホールドから供給される液体が流入する液体流入口と、前記偶数番目に当たる圧力室に形成されており、前記第2のマニホールドから供給される液体が流入する液体流入口とが、前記配列方向に沿う同一直線上に位置している。   The droplet discharge device of the present invention includes a plurality of pressure chambers arranged along a predetermined arrangement direction, a plurality of nozzles communicating with the plurality of pressure chambers, respectively, for discharging droplets, and the arrangement direction A first manifold communicating with an odd-numbered pressure chamber from the pressure chamber at the end of the plurality of pressure chambers, and extending along the arrangement direction A second manifold communicating with the even numbered pressure chamber from the pressure chamber at the extreme end, formed in the odd numbered pressure chamber, and the liquid supplied from the first manifold An inflowing liquid inflow port and a liquid inflowing port into which the liquid supplied from the second manifold flows are located on the same straight line along the arrangement direction. There.

この構成によると、配列方向に互いに隣接する2つの圧力室に対して、互いに異なる第1および第2のマニホールドからそれぞれ液体が供給される。したがって、圧力室における圧力変動が、マニホールドを介して配列方向に隣接する圧力室に伝播するのを防止することができ、クロストークの発生の抑制が可能となる。さらに、奇数番目の圧力室に形成された液体流入口と、偶数番目の圧力室に形成された液体流入口とが配列方向に沿う一直線上に位置しているので、配列方向に沿って延在する2つのマニホールドを近接して配置することが容易となる。よって、液滴吐出装置の小型化が可能となる。   According to this configuration, the liquid is supplied from the first and second manifolds different from each other to two pressure chambers adjacent to each other in the arrangement direction. Therefore, it is possible to prevent the pressure fluctuation in the pressure chamber from propagating to the pressure chambers adjacent in the arrangement direction via the manifold, and it is possible to suppress the occurrence of crosstalk. Furthermore, since the liquid inlet formed in the odd-numbered pressure chambers and the liquid inlet formed in the even-numbered pressure chambers are located on a straight line along the arrangement direction, the liquid inlets extend along the arrangement direction. It is easy to place the two manifolds close to each other. Therefore, it is possible to reduce the size of the droplet discharge device.

本発明の液滴吐出装置では、前記第1のマニホールドに形成されており、前記奇数番目に当たる圧力室に供給する液体が流出する液体流出口と、前記第2のマニホールドに形成されており、前記偶数番目に当たる圧力室に供給する液体が流出する液体流出口とが、前記配列方向に沿う同一直線上に位置していることが好ましい。   In the droplet discharge device according to the present invention, the liquid droplet discharge port is formed in the first manifold, and is formed in the liquid manifold and the second manifold through which the liquid supplied to the odd-numbered pressure chambers flows out. It is preferable that the liquid outflow port from which the liquid supplied to the pressure chamber corresponding to the even number is outflow is positioned on the same straight line along the arrangement direction.

液体が流れる流路における流路抵抗は、流路面積(液体の流れ方向と直交する断面の面積)と流路の長さとに依存する。よって、それぞれ長さの異なる流路の流路抵抗を揃えるには、流路面積をそれぞれ変える必要がある。かかる場合には、全体の流路形状が複雑になり好ましくない。上述の構成によると、複数の圧力室にそれぞれ形成されている液体流入口と、第1および第2のマニホールドに形成されている液体流出口とを連通する複数の流路の長さを揃えることができる。したがって、全体の流路形状を複雑にすることなく、液体流入口と液体流出口とを連通する複数の流路の流路抵抗を揃えることができる。   The channel resistance in the channel through which the liquid flows depends on the channel area (area of the cross section orthogonal to the liquid flow direction) and the length of the channel. Therefore, in order to make the channel resistances of the channels having different lengths uniform, it is necessary to change the channel areas. In such a case, the overall flow path shape becomes complicated, which is not preferable. According to the above-described configuration, the lengths of the plurality of flow paths communicating the liquid inlets formed in the plurality of pressure chambers and the liquid outlets formed in the first and second manifolds are made uniform. Can do. Therefore, the flow path resistances of a plurality of flow paths that connect the liquid inlet and the liquid outlet can be made uniform without complicating the overall flow path shape.

本発明の液滴吐出装置では、前記第1および第2のマニホールドが互いに隣接していると共に、前記第1のマニホールドにおける前記奇数番目に当たる圧力室に対応する部分には、前記第2のマニホールド側に突出した第1の突出部が形成されており、前記第2のマニホールドにおける前記偶数番目に当たる圧力室に対応する部分には、前記配列方向に沿って前記第1の突出部と重なり合うように、前記第1のマニホールド側に突出した第2の突出部が形成されており、前記第1および第2の突出部における前記配列方向に沿って重なり合う部分に、前記液体流出口が形成されていてもよい。この構成によると、液体流出口を配列方向に沿う同一直線上に確実に配置することができる。   In the droplet discharge device of the present invention, the first and second manifolds are adjacent to each other, and a portion corresponding to the odd-numbered pressure chamber in the first manifold is provided on the second manifold side. A first protrusion protruding to the second manifold is formed, and a portion corresponding to the even-numbered pressure chamber in the second manifold is overlapped with the first protrusion along the arrangement direction. A second projecting portion projecting toward the first manifold is formed, and the liquid outlet is formed in a portion of the first and second projecting portions that overlaps in the arrangement direction. Good. According to this configuration, the liquid outlets can be reliably arranged on the same straight line along the arrangement direction.

本発明の液滴吐出装置では、前記奇数番目に当たる圧力室の前記液体流入口と前記第1のマニホールドから当該圧力室に供給する液体が流出する前記液体流出口とを連通する流路の流路形状と、前記偶数番目に当たる圧力室の前記液体流入口と前記第2のマニホールドから当該圧力室に供給する液体が流出する前記液体流出口とを連通する流路の流路形状とが、互いに等しいことが好ましい。この構成によると、複数の圧力室にそれぞれ形成されている液体流入口と第1および第2のマニホールドに形成されている液体流出口とを連通する複数の流路の流路抵抗を確実に揃えることができる。   In the droplet discharge device of the present invention, the flow path of the flow path that connects the liquid inlet of the odd-numbered pressure chamber and the liquid outlet from which the liquid supplied to the pressure chamber flows out from the first manifold. The shape and the channel shape of the channel that connects the liquid inlet of the even-numbered pressure chamber and the liquid outlet from which the liquid supplied to the pressure chamber flows from the second manifold are equal to each other. It is preferable. According to this configuration, the channel resistances of the plurality of channels that connect the liquid inlets formed in the plurality of pressure chambers and the liquid outlets formed in the first and second manifolds are reliably aligned. be able to.

本発明の液滴吐出装置では、前記第1および第2のマニホールドが、前記複数の圧力室の配列平面に垂直な方向に関して前記複数の圧力室と重なって配置されていることが好ましい。この構成によると、液滴吐出装置を確実に小型化することができる。   In the droplet discharge device of the present invention, it is preferable that the first and second manifolds are disposed so as to overlap the plurality of pressure chambers in a direction perpendicular to an arrangement plane of the plurality of pressure chambers. According to this configuration, the droplet discharge device can be reliably downsized.

本発明の液滴吐出装置では、前記第1および第2のマニホールドと、前記圧力室とが、複数の金属製板を積層し、拡散接合することによって形成されたプレート積層体に形成されており、前記第1および第2のマニホールドが、前記複数の金属製板のうち、同一の板に形成されていてもよい。   In the droplet discharge device of the present invention, the first and second manifolds and the pressure chamber are formed in a plate laminate formed by laminating a plurality of metal plates and diffusion bonding them. The first and second manifolds may be formed on the same plate among the plurality of metal plates.

ここで、「(第1および第2のマニホールドが)同一の板に形成されている」とは、第1および第2のマニホールドが1枚の板に形成されている場合だけでなく、複数の板に跨って形成されている場合も含む。   Here, “(the first and second manifolds are formed on the same plate)” is not only the case where the first and second manifolds are formed on one plate, but also a plurality of The case where it is formed across the plate is also included.

複数の金属板を積層し、高温下で積層方向に高圧を加えて金属板同士を接合させる拡散接合によってプレート積層体を形成する際に、マニホールドの幅(マニホールドの延在方向と金属板の積層方向とに直交する方向に沿う長さ)が長い場合には、マニホールドの空間によって、積層方向に関してマニホールドと重なり合う領域に圧力が十分加わらない場合がある。このような場合には、マニホールドと重なり合う部分において金属板同士が適切に接合されない。上記構成によると、1つの圧力室列に対して1つのマニホールドが設けられている場合と比べて、単位圧力室当たりのマニホールドの容積を変えることなく、マニホールドの幅を短くすることができる。したがって、マニホールドの容積を十分に確保しつつ、好適に拡散接合を行うことができる。   When forming a plate stack by diffusion bonding in which multiple metal plates are stacked and high pressure is applied in the stacking direction at high temperatures to join the metal plates, the manifold width (manifold extension direction and metal plate stacking) When the length along the direction orthogonal to the direction) is long, pressure may not be sufficiently applied to the area overlapping the manifold in the stacking direction due to the space of the manifold. In such a case, the metal plates are not appropriately joined at the portion overlapping the manifold. According to the above configuration, the width of the manifold can be shortened without changing the volume of the manifold per unit pressure chamber, compared to the case where one manifold is provided for one pressure chamber row. Therefore, it is possible to suitably perform diffusion bonding while ensuring a sufficient volume of the manifold.

本発明の液滴吐出装置では、前記複数のノズルが前記配列方向に沿う同一直線上に配置されていてもよい。この構成によると、複数のノズルが配列方向に沿う同一直線上に配置されていない場合に比べて、配列方向に沿って高密度にノズルを配置することができる。   In the droplet discharge device of the present invention, the plurality of nozzles may be arranged on the same straight line along the arrangement direction. According to this configuration, the nozzles can be arranged at a higher density along the arrangement direction than when a plurality of nozzles are not arranged on the same straight line along the arrangement direction.

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施の形態は、記録用紙に対してインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例である。図1は、本実施の形態に係るインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの概略構成を示す図である。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The present embodiment is an example in which the present invention is applied to an inkjet head that ejects ink onto a recording sheet. FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an inkjet printer including an inkjet head according to the present embodiment.

図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、走査方向(図1における左右方向)に移動可能なキャリッジ10と、記録用紙と対向するようにキャリッジ10に支持されていると共に、インクを吐出するシリアル式のインクジェットヘッド20と、記録用紙を走査方向と直交する紙送り方向(図1における右奥から左手前に向かう方向)に搬送する搬送ローラ60とを主に備えている。かかるインクジェットプリンタ1においては、インクジェットヘッド20が、キャリッジ10と一体的に走査方向へ移動しつつ、記録用紙に対してインクを吐出する。そして、インクジェットヘッド20により記録された記録用紙は、搬送ローラ60により紙送り方向へ排出される。   As shown in FIG. 1, an inkjet printer 1 includes a carriage 10 that can be moved in a scanning direction (left and right direction in FIG. 1), a serial that is supported by the carriage 10 so as to face a recording sheet, and that ejects ink. The ink jet head 20 of the type and a transport roller 60 for transporting the recording paper in a paper feed direction (a direction from the right back to the left front in FIG. 1) perpendicular to the scanning direction are mainly provided. In the ink jet printer 1, the ink jet head 20 ejects ink onto the recording paper while moving in the scanning direction integrally with the carriage 10. Then, the recording paper recorded by the inkjet head 20 is discharged in the paper feeding direction by the transport roller 60.

次に、インクジェットヘッド20について、図2〜図5を参照して詳細に説明する。図2は、インクジェットヘッド20の上面図(記録用紙と対向する側とは反対側からみた図)である。また、図3は図2の部分拡大図である。さらに、図4(a)は図3のIVa-IVa線に沿う断面図であり、図4(b)は図3のIVb-IVb線に沿う断面図である。図5は、インクジェットヘッドに含まれる流路ユニットの分解斜視図である。   Next, the inkjet head 20 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is a top view of the inkjet head 20 (viewed from the side opposite to the side facing the recording paper). FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 4A is a cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IVb-IVb in FIG. FIG. 5 is an exploded perspective view of the flow path unit included in the inkjet head.

図2〜図4に示すように、インクジェットヘッド20は、内部に圧力室21を含む個別インク流路が形成された流路ユニット40と、流路ユニット40の上面に積層された圧電アクチュエータ50とを備えている。   As shown in FIGS. 2 to 4, the inkjet head 20 includes a channel unit 40 in which an individual ink channel including a pressure chamber 21 is formed, and a piezoelectric actuator 50 stacked on the upper surface of the channel unit 40. It has.

ここで、流路ユニット40について説明する。図4、5に示すように、流路ユニット40は、キャビティープレート41、ベースプレート42、アパーチャプレート43、サプライプレート44、マニホールドプレート45、カバープレート46、およびノズルプレート47を備えている。これら7枚のプレートの平面形状は、いずれも走査方向に沿う辺が短辺、紙送り方向に沿う辺が長辺となるような矩形状である。そして、プレート41〜47は、積層状態で互いに接合されている。   Here, the flow path unit 40 will be described. As shown in FIGS. 4 and 5, the flow path unit 40 includes a cavity plate 41, a base plate 42, an aperture plate 43, a supply plate 44, a manifold plate 45, a cover plate 46, and a nozzle plate 47. The plane shapes of these seven plates are all rectangular so that the sides along the scanning direction are short sides and the sides along the paper feed direction are long sides. And the plates 41-47 are mutually joined by the lamination state.

流路ユニット40を構成するプレート41〜47のうち、ノズルプレート47を除く6枚のプレート41〜46は、ステンレス鋼製の板である。したがって、これら6枚のプレート41〜46に、後述するマニホールド25a、25bや圧力室21等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。そして、これら6枚のプレート41〜46は、図示しない治具によって積層方向に加圧された状態で1000℃程度に加熱され、拡散接合により接合される。このとき、図4に示すように、互いに接合された6枚のプレート41〜46によってプレート積層体48が構成される。また、ノズルプレート47は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成されている。ノズルプレート47は、接着剤によってプレート積層体48の下面、すなわちカバープレート46の下面に接着される。あるいは、ノズルプレート47もプレート41〜46と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されており、プレート41〜46と一緒に拡散接合されてもよい。   Among the plates 41 to 47 constituting the flow path unit 40, the six plates 41 to 46 excluding the nozzle plate 47 are stainless steel plates. Therefore, ink passages such as manifolds 25a and 25b and pressure chambers 21 to be described later can be easily formed in these six plates 41 to 46 by etching. And these six plates 41-46 are heated to about 1000 degreeC in the state pressurized by the lamination direction with the jig | tool which is not shown in figure, and are joined by diffusion bonding. At this time, as shown in FIG. 4, a plate laminate 48 is constituted by the six plates 41 to 46 joined to each other. The nozzle plate 47 is made of, for example, a polymer synthetic resin material such as polyimide. The nozzle plate 47 is bonded to the lower surface of the plate laminate 48, that is, the lower surface of the cover plate 46 by an adhesive. Alternatively, the nozzle plate 47 is also formed of a metal material such as stainless steel like the plates 41 to 46 and may be diffusion bonded together with the plates 41 to 46.

キャビティープレート41には、その長手方向(紙送り方向)に沿って配列された複数の圧力室21が千鳥状に形成されている。すなわち、複数の圧力室21によって走査方向に隣接する2つの圧力室列が形成されている。これら複数の圧力室21は、流路ユニット40の上面(後述する振動板51が接合されるキャビティープレート41の上面)において開口している。各圧力室21は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向がキャビティープレート41の短手方向(走査方向)に一致する。なお、以下の説明において、圧力室21の配列方向は、単に「配列方向」と称することとする。   A plurality of pressure chambers 21 arranged in the longitudinal direction (paper feeding direction) are formed in the cavity plate 41 in a staggered manner. That is, two pressure chamber rows adjacent in the scanning direction are formed by the plurality of pressure chambers 21. The plurality of pressure chambers 21 are open on the upper surface of the flow path unit 40 (the upper surface of a cavity plate 41 to which a diaphragm 51 described later is joined). Each pressure chamber 21 is formed in a substantially elliptical shape in plan view, and the long axis direction thereof coincides with the short direction (scanning direction) of the cavity plate 41. In the following description, the arrangement direction of the pressure chambers 21 is simply referred to as “the arrangement direction”.

また、図2、5に示すように、キャビティープレート41の長手方向の一端側(図2における紙面上方側)には、2つの貫通孔が形成されている。かかる貫通孔は、後で詳述するようにマニホールドプレート45に形成されるマニホールド25a、25bに連通するインク供給路35を構成するものである。つまり、ベースプレート42、アパーチャプレート43、およびサプライプレート44における平面視でキャビティープレート41の上記貫通孔に重なる位置にも同様に、インク供給路35を構成する貫通孔がそれぞれ形成されている。インク供給路35は、図示しないインクタンクに連なっている。   As shown in FIGS. 2 and 5, two through-holes are formed on one end side in the longitudinal direction of the cavity plate 41 (upward side in the drawing in FIG. 2). The through hole constitutes an ink supply path 35 communicating with the manifolds 25a and 25b formed in the manifold plate 45 as will be described in detail later. That is, the through holes constituting the ink supply path 35 are similarly formed at positions where the base plate 42, the aperture plate 43, and the supply plate 44 overlap the through holes of the cavity plate 41 in plan view. The ink supply path 35 is connected to an ink tank (not shown).

ベースプレート42の平面視で圧力室21の長軸方向一端部(当該圧力室21が属する圧力室列に隣接する圧力室列が配置されている側の端部:以降、単に「一端部」と称する)近傍に重なる位置には、貫通孔が形成されている。かかる貫通孔は、後で詳述するように圧力室21とノズルプレート47に形成されるノズル29とを連通させる連通路28を構成するものである。つまり、アパーチャプレート43、サプライプレート44、マニホールドプレート45、およびカバープレート46における平面視でベースプレート42の上記貫通孔に重なる位置にも同様に、連通路28を構成する貫通孔がそれぞれ形成されている。図4に示すように、連通路28は、プレートの積層方向に沿って延びている。   One end of the pressure chamber 21 in the long axis direction in plan view of the base plate 42 (the end on the side where the pressure chamber row adjacent to the pressure chamber row to which the pressure chamber 21 belongs: hereinafter, simply referred to as “one end”) ) A through hole is formed at a position overlapping the vicinity. The through hole constitutes a communication path 28 that allows the pressure chamber 21 and the nozzle 29 formed in the nozzle plate 47 to communicate with each other as described in detail later. That is, the through holes constituting the communication path 28 are also formed in the aperture plate 43, the supply plate 44, the manifold plate 45, and the cover plate 46 at positions overlapping the through holes of the base plate 42 in plan view. . As shown in FIG. 4, the communication passage 28 extends along the stacking direction of the plates.

また、ベースプレート42の平面視で圧力室21の長軸方向他端部(連通路28が連なっている側とは反対側の端部:以降、単に「他端部」と称する)近傍に重なる位置には、略円形の貫通孔22が形成されている。つまり、ベースプレート42には、1列に配列された複数の圧力室21の他端部にそれぞれ連通する複数の貫通孔22が、配列方向に沿う同一直線上に形成されている。なお、複数の貫通孔22の径はいずれも等しい。   Further, when viewed in plan view of the base plate 42, the position overlaps with the vicinity of the other end in the major axis direction of the pressure chamber 21 (the end opposite to the side where the communication path 28 is connected: hereinafter simply referred to as “the other end”). Is formed with a substantially circular through-hole 22. That is, the base plate 42 is formed with a plurality of through holes 22 communicating with the other end portions of the plurality of pressure chambers 21 arranged in a line on the same straight line along the arrangement direction. The diameters of the plurality of through holes 22 are all equal.

アパーチャプレート43には、平面視でベースプレート42の貫通孔22に重なる位置(換言すると、圧力室21の他端部に重なる位置)から、圧力室21の略中央部分に重なる位置まで、圧力室21の長軸方向に沿って延びる長細形状のアパーチャ23が形成されている。つまり、アパーチャプレート43には、1列に配列された複数の圧力室21の他端部に、貫通孔22を介してそれぞれ連通する複数のアパーチャ23が形成されている。さらに、複数のアパーチャ23の延在方向に沿う長さはいずれも等しい。ここで、アパーチャ23の流路面積(インクの流れ方向と直交する鉛直断面の面積)は、圧力室21の流路面積よりも十分小さくなっている。また、複数のアパーチャ23の流路面積はいずれも等しい。なお、アパーチャ23はフルエッチングによって形成されているので、アパーチャ23の高さ(プレートの積層方向に沿う長さ)はアパーチャプレート43の厚みに一致する。したがって、アパーチャ23の幅(アパーチャプレート43の長手方向に沿う長さ)のみを調整することで、複数のアパーチャ23の流路面積を揃えることができる。   In the aperture plate 43, the pressure chamber 21 extends from a position overlapping the through hole 22 of the base plate 42 in a plan view (in other words, a position overlapping the other end of the pressure chamber 21) to a position overlapping the substantially central portion of the pressure chamber 21. A long and narrow aperture 23 extending along the long axis direction is formed. That is, the aperture plate 43 is formed with a plurality of apertures 23 communicating with the other end portions of the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row through the through holes 22. Furthermore, the lengths along the extending direction of the plurality of apertures 23 are all equal. Here, the flow path area of the aperture 23 (the area of the vertical cross section orthogonal to the ink flow direction) is sufficiently smaller than the flow path area of the pressure chamber 21. Further, the flow areas of the plurality of apertures 23 are all equal. Since the aperture 23 is formed by full etching, the height of the aperture 23 (length along the plate stacking direction) matches the thickness of the aperture plate 43. Therefore, by adjusting only the width of the aperture 23 (the length along the longitudinal direction of the aperture plate 43), the flow path areas of the plurality of apertures 23 can be made uniform.

サプライプレート44には、平面視で圧力室21の略中央部分に重なる位置、すなわちアパーチャ23の貫通孔22に連通する側とは反対側の一端部に重なる位置に貫通孔24が形成されている。つまり、サプライプレート44には、1列に配列された複数の圧力室21の他端部に連なる複数のアパーチャ23にそれぞれ連通する複数の貫通孔24が、配列方向に沿う同一直線上に形成されている。なお、複数の貫通孔24の径はいずれも等しい。   A through hole 24 is formed in the supply plate 44 at a position that overlaps the substantially central portion of the pressure chamber 21 in plan view, that is, a position that overlaps one end of the aperture 23 opposite to the side communicating with the through hole 22. . That is, the supply plate 44 is formed with a plurality of through holes 24 communicating with the plurality of apertures 23 connected to the other ends of the plurality of pressure chambers 21 arranged in a line on the same straight line along the arrangement direction. ing. The diameters of the plurality of through holes 24 are all equal.

ここで、ベースプレート42、アパーチャプレート43、およびサプライプレート44にそれぞれ形成された、貫通孔22、アパーチャ23、および貫通孔24によって、絞り流路27が構成されている。図2〜図4に示すように、本実施の形態では、絞り流路27は、圧力室21と平面視で重なる位置に形成されている。なお、絞り流路27の機能については、後で詳述する。   Here, a throttle channel 27 is configured by the through hole 22, the aperture 23, and the through hole 24 formed in the base plate 42, the aperture plate 43, and the supply plate 44, respectively. As shown in FIGS. 2 to 4, in the present embodiment, the throttle channel 27 is formed at a position overlapping the pressure chamber 21 in plan view. The function of the throttle channel 27 will be described in detail later.

マニホールドプレート45において、平面視で1列に配列された複数の圧力室21と重なる位置には、配列方向に沿って延在する2つのマニホールド25a、25bが、圧力室21の長軸方向に隣接して形成されている。より詳細には、2つのマニホールド25a、25bは、平面視で各圧力室21の一端部および他端部からはみ出ることなく配置されている。ここで、2つのマニホールド25a、25bのうち、図2〜図4において紙面右側に位置するものがマニホールド25a、紙面左側に位置するものがマニホールド25bである。また、2つのマニホールド25a、25bは、走査方向(配列方向と直交する方向)における幅が等しく形成されている。なお、図2に示すように、2つのマニホールド25a、25bは、マニホールドプレート45の長手方向の一端側(図2における紙面上方側)において接続されている。そして、この2つのマニホールド25a、25bの接続部分に、上述のインク供給路35が連なっている。   In the manifold plate 45, two manifolds 25 a and 25 b extending along the arrangement direction are adjacent to each other in the major axis direction of the pressure chamber 21 at a position overlapping the plurality of pressure chambers 21 arranged in a line in a plan view. Is formed. More specifically, the two manifolds 25a and 25b are arranged without protruding from one end and the other end of each pressure chamber 21 in plan view. Here, of the two manifolds 25a and 25b, the one located on the right side in FIG. 2 to FIG. 4 is the manifold 25a, and the one located on the left side in FIG. The two manifolds 25a and 25b are formed to have the same width in the scanning direction (direction perpendicular to the arrangement direction). As shown in FIG. 2, the two manifolds 25a and 25b are connected to one end side in the longitudinal direction of the manifold plate 45 (the upper side in the drawing in FIG. 2). The ink supply path 35 is connected to a connection portion between the two manifolds 25a and 25b.

マニホールド25aには、1列に配列された複数の圧力室21のうち、図2において最も紙面下方に位置する圧力室21から奇数番目に当たる圧力室21(以降、単に「奇数番目の圧力室21」と称する)に対応する部分に、隣接するマニホールド25b側(図2中左側)に突出する突出部26aが形成されている。一方、マニホールド25bには、1列に配列された複数の圧力室21のうち、図2において最も紙面下方に位置する圧力室21から偶数番目に当たる圧力室21(以降、単に「偶数番目の圧力室21」と称する)に対応する部分に、隣接するマニホールド25a側(図2中右側)に突出する突出部26bが形成されている。図2、3、および図5に示すように、突出部26a、26bは、配列方向に沿って互いに重なり合う位置に形成されている。さらに、突出部26a、26bにおける配列方向に沿って重なり合う部分は、絞り流路27を構成する貫通孔24と平面視で重なっている。以上詳述した2つのマニホールド25a、25bは、配列方向と直交する方向(走査方向)における幅が等しくなっている。また、突出部26aと突出部26bとの平面視での形状が等しくなっている。また、配列方向において、隣接する突出部26aの形成間隔と隣接する突出部26bの形成間隔とは等しくなっている。従って、2つのマニホールド25a、25bは、その流路抵抗が等しいものとされている。   Among the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row, the manifold 25a has an odd number of pressure chambers 21 (hereinafter simply referred to as “odd number of pressure chambers 21”) from the pressure chamber 21 located at the lowest position in FIG. Is formed on a portion corresponding to the adjacent manifold 25b (left side in FIG. 2). On the other hand, among the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row, the manifold 25b has an even-numbered pressure chamber 21 (hereinafter simply referred to as an “even-numbered pressure chamber”) from the pressure chamber 21 located at the lowest position in FIG. A protruding portion 26b that protrudes to the adjacent manifold 25a side (the right side in FIG. 2) is formed at a portion corresponding to “21”. As shown in FIGS. 2, 3, and 5, the protrusions 26 a and 26 b are formed at positions that overlap each other along the arrangement direction. Further, the overlapping portions of the protruding portions 26 a and 26 b along the arrangement direction overlap with the through holes 24 constituting the throttle channel 27 in plan view. The two manifolds 25a and 25b described in detail above have the same width in the direction (scanning direction) orthogonal to the arrangement direction. Moreover, the shape in planar view of the protrusion part 26a and the protrusion part 26b is equal. Further, in the arrangement direction, the formation interval between the adjacent protrusions 26a is equal to the formation interval between the adjacent protrusions 26b. Accordingly, the two manifolds 25a and 25b have the same flow path resistance.

カバープレート46には、上述のように圧力室21とノズル29とを連通する連通路28を構成する貫通孔のみが形成されている。   As described above, the cover plate 46 is formed with only a through hole that constitutes the communication passage 28 that allows the pressure chamber 21 and the nozzle 29 to communicate with each other.

ノズルプレート47において、平面視で連通路28、すなわち圧力室21の一端部近傍に重なる位置には、ノズル29が形成されている。つまり、1列に配列された圧力室21に連通するノズル29は、配列方向に沿う同一直線上に配置される。これにより、ノズルプレート47には、2列に配列された複数のノズル29が千鳥状に配置されることとなる。ノズル29は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂の基板にエキシマレーザ加工を施すことにより形成される。   In the nozzle plate 47, a nozzle 29 is formed at a position overlapping the communication path 28, that is, near one end of the pressure chamber 21 in plan view. That is, the nozzles 29 communicating with the pressure chambers 21 arranged in a row are arranged on the same straight line along the arrangement direction. As a result, a plurality of nozzles 29 arranged in two rows are arranged in a staggered pattern on the nozzle plate 47. The nozzle 29 is formed, for example, by performing excimer laser processing on a polymer synthetic resin substrate such as polyimide.

そして、図4(a)に示すように、マニホールド25aは絞り流路27を介して奇数番目の圧力室21に連通する。また、図4(b)に示すように、マニホールド25bは絞り流路27を介して偶数番目の圧力室21に連通する。なお、マニホールド25aまたはマニホールド25bから1列に配列された複数の圧力室21に対して供給するインクが流出する複数のインク流出口31は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。また、圧力室21にマニホールド25aまたはマニホールド25bから供給されるインクが流入するインク流入口32は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。さらに、インク流出口31とインク流入口32とを連通する複数の絞り流路27の流路形状はいずれも等しい。加えて、圧力室21は、連通路28を介してノズル29に連通している。このように、流路ユニット40内には、マニホールド25aまたはマニホールド25bから絞り流路27および圧力室21を経てノズル29に至る個別インク流路が形成されている。   As shown in FIG. 4A, the manifold 25 a communicates with the odd-numbered pressure chambers 21 via the throttle channel 27. Further, as shown in FIG. 4B, the manifold 25 b communicates with the even-numbered pressure chambers 21 via the throttle channel 27. A plurality of ink outlets 31 through which ink to be supplied to the plurality of pressure chambers 21 arranged in a line from the manifold 25a or the manifold 25b is located on the same straight line along the arrangement direction. The ink inlet 32 into which the ink supplied from the manifold 25a or the manifold 25b flows into the pressure chamber 21 is located on the same straight line along the arrangement direction. Furthermore, the flow path shapes of the plurality of throttle flow paths 27 that communicate the ink outlet 31 and the ink inlet 32 are all the same. In addition, the pressure chamber 21 communicates with the nozzle 29 via the communication path 28. In this way, an individual ink flow path is formed in the flow path unit 40 from the manifold 25a or the manifold 25b to the nozzle 29 through the throttle flow path 27 and the pressure chamber 21.

ここで、絞り流路27の機能について説明する。インクジェットヘッド20においては、マニホールド25a、25bから供給された圧力室21内のインクに対して、後で詳述するように圧電アクチュエータ50により圧力が付与されて、圧力室21に連通するノズル29からインクの液滴が吐出されるようになっている。このとき、上述のように、絞り流路27のアパーチャ23における流路面積は、圧力室21の流路面積よりも十分小さいので、圧力室21内で発生した圧力波が絞り流路27を介してマニホールド25a、25bへ伝播するのを抑制することができる。これにより、圧力室21に加えられた吐出圧力(吐出エネルギー)をノズル29側へ効率よく伝達することが可能となる。   Here, the function of the throttle channel 27 will be described. In the inkjet head 20, pressure is applied to the ink in the pressure chamber 21 supplied from the manifolds 25 a and 25 b by the piezoelectric actuator 50 as will be described in detail later, and from the nozzle 29 communicating with the pressure chamber 21. Ink droplets are ejected. At this time, as described above, the flow path area in the aperture 23 of the throttle channel 27 is sufficiently smaller than the flow channel area of the pressure chamber 21, so that the pressure wave generated in the pressure chamber 21 passes through the throttle channel 27. Propagation to the manifolds 25a and 25b can be suppressed. As a result, the discharge pressure (discharge energy) applied to the pressure chamber 21 can be efficiently transmitted to the nozzle 29 side.

次に、圧電アクチュエータ50について説明する。図4に示すように、圧電アクチュエータ50は、流路ユニット40の上面(キャビティープレート41の上面)に配置された導電性を有する振動板51と、振動板51の表面に複数の圧力室21に跨って連続的に形成された圧電層52と、圧電層52の表面に複数の圧力室21にそれぞれ対応して形成された複数の個別電極53とを備えている。   Next, the piezoelectric actuator 50 will be described. As shown in FIG. 4, the piezoelectric actuator 50 includes a conductive vibration plate 51 disposed on the upper surface of the flow path unit 40 (the upper surface of the cavity plate 41), and a plurality of pressure chambers 21 on the surface of the vibration plate 51. And a plurality of individual electrodes 53 respectively formed on the surface of the piezoelectric layer 52 so as to correspond to the plurality of pressure chambers 21, respectively.

振動板51は、平面視が流路ユニット40を構成するプレート41〜47と等しい矩形状であるステンレス鋼製の板であり、複数の圧力室21の開口を塞ぐ状態でキャビティープレート41の上面に積層されて接合されている。また、振動板51は、複数の個別電極53に対向して個別電極53と振動板51との間の圧電層52に電界を作用させる共通電極を兼ねている。なお、振動板51は接地されており、常にグランド電位に保持されている。   The vibration plate 51 is a stainless steel plate having a rectangular shape that is equal to the plates 41 to 47 constituting the flow path unit 40 in plan view, and the upper surface of the cavity plate 41 in a state of closing the openings of the plurality of pressure chambers 21. Are laminated and bonded together. The diaphragm 51 also serves as a common electrode that opposes the plurality of individual electrodes 53 and applies an electric field to the piezoelectric layer 52 between the individual electrodes 53 and the diaphragm 51. The diaphragm 51 is grounded and is always held at the ground potential.

振動板51の表面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主成分とする圧電層52が形成されている。圧電層52は、複数の圧力室21に跨って連続的に形成されている。ここで、圧電層52は、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法(AD法)を用いて形成できる。また、圧電層52は、ゾルゲル法、スパッタ法、水熱合成法、あるいは、CVD(化学蒸着)法を用いることもできる。さらに、PZTのグリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートを振動板51の表面に貼り付けて圧電層52を形成することもできる。   On the surface of the diaphragm 51, there is formed a piezoelectric layer 52 mainly composed of lead zirconate titanate (PZT) which is a solid solution and is a ferroelectric substance of lead titanate and lead zirconate. The piezoelectric layer 52 is continuously formed across the plurality of pressure chambers 21. Here, the piezoelectric layer 52 can be formed by using, for example, an aerosol deposition method (AD method) in which an ultrafine particle material is deposited by colliding at high speed. For the piezoelectric layer 52, a sol-gel method, a sputtering method, a hydrothermal synthesis method, or a CVD (chemical vapor deposition) method can also be used. Furthermore, the piezoelectric layer 52 can also be formed by attaching a piezoelectric sheet obtained by firing a PZT green sheet to the surface of the diaphragm 51.

圧電層52の表面には、圧力室21よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極53が形成されている。個別電極53は、平面視で対応する圧力室21の中央部に重なる位置にそれぞれ形成されている。ここで、個別電極53は、金などの導電性材料からなる。また、圧電層52の表面において、複数の個別電極53の一端部(平面視で対応する圧力室21の他端部側の端部)には、端子部54がそれぞれ形成されている。端子部54は、フレキシブルプリント配線板等の可撓性を有する配線部材を介してドライバIC等の駆動回路と接続されており、複数の個別電極53に対して選択的に駆動電位が付与されるように構成されている。   A plurality of individual electrodes 53 having an elliptical planar shape that is slightly smaller than the pressure chamber 21 are formed on the surface of the piezoelectric layer 52. The individual electrodes 53 are respectively formed at positions overlapping the central portion of the corresponding pressure chamber 21 in plan view. Here, the individual electrode 53 is made of a conductive material such as gold. Further, on the surface of the piezoelectric layer 52, terminal portions 54 are respectively formed at one end portions of the plurality of individual electrodes 53 (end portions on the other end portion side of the pressure chamber 21 corresponding to the plan view). The terminal portion 54 is connected to a driving circuit such as a driver IC via a flexible wiring member such as a flexible printed wiring board, and a driving potential is selectively applied to the plurality of individual electrodes 53. It is configured as follows.

ここで、圧電アクチュエータ50の作用について説明する。複数の個別電極53に対して選択的に駆動電位が付与されると、駆動電位が付与された個別電極53と、個別電極53と対向していると共にグランド電位に保持されおり、共通電極として機能する振動板51との電位が異なる状態となり、圧電層52における個別電極53と振動板51との間に挟まれた部分には、厚み方向の電界が生じる。そして、圧電層52における駆動電位が付与された個別電極53に対応する部分は、分極方向である厚み方向と直交する水平方向に収縮する。このとき、圧電層52の収縮に伴って振動板51が圧力室21側に凸となるように変形するために、圧力室21内の容積が減少して圧力室21内のインクに圧力が付与される。これにより、圧力室21に連通するノズル29からインクの液滴が吐出される。   Here, the operation of the piezoelectric actuator 50 will be described. When a driving potential is selectively applied to the plurality of individual electrodes 53, the individual electrode 53 to which the driving potential is applied is opposed to the individual electrode 53 and held at the ground potential, and functions as a common electrode. Thus, the electric field in the thickness direction is generated in the portion of the piezoelectric layer 52 sandwiched between the individual electrode 53 and the diaphragm 51. The portion of the piezoelectric layer 52 corresponding to the individual electrode 53 to which the drive potential is applied contracts in the horizontal direction orthogonal to the thickness direction that is the polarization direction. At this time, since the diaphragm 51 is deformed so as to protrude toward the pressure chamber 21 as the piezoelectric layer 52 contracts, the volume in the pressure chamber 21 decreases and pressure is applied to the ink in the pressure chamber 21. Is done. As a result, ink droplets are ejected from the nozzles 29 communicating with the pressure chamber 21.

以上のように、本実施の形態のインクジェットヘッド20は、1列に配列された複数の圧力室21のうち、奇数番目の圧力室21に連通するマニホールド25aと、偶数番目の圧力室21に連通するマニホールド25bとを有している。そして、圧力室21にマニホールド25aまたはマニホールド25bから供給されるインクが流入するインク流入口32は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。したがって、配列方向に互いに隣接する2つの圧力室21に対して、互いに異なる2つのマニホールド25a、25bからそれぞれインクが供給されることとなるので、圧力室21における圧力変動が、マニホールド25a、25bを介して配列方向に隣接する圧力室21に伝播するのを防止することができる。よって、クロストークの発生の抑制が可能となる。さらに、インク流入口32が配列方向に沿う一直線上に位置しているので、配列方向に沿って延在する2つのマニホールド25a、25bを近接して配置することが容易となる。その結果、インクジェットヘッド20の小型化が可能となる。   As described above, the inkjet head 20 of the present embodiment communicates with the manifold 25a that communicates with the odd-numbered pressure chambers 21 and the even-numbered pressure chambers 21 among the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row. And a manifold 25b. The ink inlet 32 into which the ink supplied from the manifold 25a or the manifold 25b flows into the pressure chamber 21 is located on the same straight line along the arrangement direction. Accordingly, since ink is supplied from two different manifolds 25a and 25b to two pressure chambers 21 adjacent to each other in the arrangement direction, pressure fluctuations in the pressure chambers 21 cause the manifolds 25a and 25b to flow. Propagation to the pressure chambers 21 adjacent to each other in the arrangement direction can be prevented. Therefore, occurrence of crosstalk can be suppressed. Furthermore, since the ink inlet 32 is located on a straight line along the arrangement direction, it is easy to arrange the two manifolds 25a and 25b extending along the arrangement direction close to each other. As a result, the inkjet head 20 can be reduced in size.

また、本実施の形態のインクジェットヘッド20では、マニホールド25aまたはマニホールド25bから1列に配列された複数の圧力室21に対して供給するインクが流出する複数のインク流出口31は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。したがって、複数の圧力室21に設けられているインク流入口32と、第1および第2のマニホールドに設けられているインク流出口31とを連通する複数の絞り流路27の長さを揃えることができる。よって、複数の絞り流路27の長さが異なっている場合のように、各絞り流路27の流路面積を変え、全体の流路形状を複雑にすることなく、複数の絞り流路27の流路抵抗を揃えることができる。   Further, in the inkjet head 20 of the present embodiment, the plurality of ink outlets 31 through which the ink supplied to the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row from the manifold 25a or the manifold 25b flows out along the arrangement direction. Located on the same straight line. Therefore, the lengths of the plurality of throttle channels 27 that communicate the ink inlets 32 provided in the plurality of pressure chambers 21 and the ink outlets 31 provided in the first and second manifolds are made uniform. Can do. Therefore, as in the case where the lengths of the plurality of throttle channels 27 are different, the plurality of throttle channels 27 are changed without changing the channel area of each throttle channel 27 and complicating the overall channel shape. The flow path resistance can be made uniform.

さらに、本実施の形態のインクジェットヘッド20では、2つのマニホールド25a、25bが互いに隣接しており、マニホールド25aにおける奇数番目の圧力室21に対応する部分には、マニホールド25b側に突出した突出部26aが形成されている。一方、マニホールド25bにおける偶数番目の圧力室21に対応する部分には、配列方向に沿って突出部26aと重なり合うように、マニホールド25a側に突出した突出部26bが形成されている。そして、突出部26a、26bにおける配列方向に沿って重なり合う部分に、インク流出口31が形成されている。したがって、インク流出口31を配列方向に沿う同一直線上に確実に配置することができる。   Furthermore, in the inkjet head 20 of the present embodiment, the two manifolds 25a and 25b are adjacent to each other, and a portion corresponding to the odd-numbered pressure chamber 21 in the manifold 25a has a protruding portion 26a protruding toward the manifold 25b. Is formed. On the other hand, in the portion corresponding to the even-numbered pressure chambers 21 in the manifold 25b, a protruding portion 26b protruding toward the manifold 25a is formed so as to overlap the protruding portion 26a along the arrangement direction. And the ink outlet 31 is formed in the part which overlaps along the sequence direction in protrusion part 26a, 26b. Therefore, the ink outlet 31 can be reliably arranged on the same straight line along the arrangement direction.

加えて、本発明のインクジェットヘッド20では、奇数番目の圧力室21のインク流入口32とマニホールド25aのインク流出口31とを連通する絞り流路27の形状と、偶数番目の圧力室21のインク流入口32とマニホールド25bのインク流出口31とを連通する絞り流路27の形状とが互いに等しい。したがって、複数の圧力室21にそれぞれ形成されているインク流入口32とマニホールド25a、25bに形成されているインク流出口31とを連通する複数の絞り流路27の流路抵抗を確実に揃えることができる。   In addition, in the inkjet head 20 of the present invention, the shape of the throttle channel 27 that communicates the ink inlet 32 of the odd-numbered pressure chamber 21 and the ink outlet 31 of the manifold 25a, and the ink of the even-numbered pressure chamber 21. The shape of the throttle channel 27 that communicates the inlet 32 and the ink outlet 31 of the manifold 25b is equal to each other. Therefore, the flow resistances of the plurality of throttle channels 27 that communicate the ink inlets 32 formed in the plurality of pressure chambers 21 with the ink outlets 31 formed in the manifolds 25a and 25b are reliably aligned. Can do.

また、本発明のインクジェットヘッド20では、マニホールド25a、25bが、1列に配列された複数の圧力室21と平面視で重なって配置されている。したがって、インクジェットヘッド20を確実に小型化することができる。   Further, in the inkjet head 20 of the present invention, the manifolds 25a and 25b are arranged so as to overlap with the plurality of pressure chambers 21 arranged in a row in a plan view. Therefore, the inkjet head 20 can be reliably downsized.

また、本発明のインクジェットヘッド20では、いずれも金属製板である6枚のプレート41〜46を拡散接合によって互いに接合して作製されたプレート積層体48の内部に、マニホールド25a、25bおよび圧力室21が形成されており、2つのマニホールド25a、25bが一枚のマニホールドプレート45に形成されている。したがって、1列に配列された複数の圧力室21に対して1つのマニホールドが設けられている場合と比べて、単位圧力室当たりのマニホールドの容積を変えることなく、マニホールド25a、25bの幅(マニホールド25a、25bの延在方向とプレートの積層方向とに直交する方向に沿う長さ)を短くすることができる。したがって、マニホールド25a、25bの容積を十分に確保しつつ、好適に拡散接合を行うことができる。   Further, in the inkjet head 20 of the present invention, the manifolds 25a and 25b and the pressure chambers are formed inside the plate laminate 48 which is produced by joining the six plates 41 to 46, which are all metal plates, by diffusion bonding. 21 is formed, and two manifolds 25 a and 25 b are formed on one manifold plate 45. Therefore, compared with the case where one manifold is provided for a plurality of pressure chambers 21 arranged in a row, the widths of the manifolds 25a and 25b (manifolds are not changed) without changing the manifold volume per unit pressure chamber. The length along the direction perpendicular to the extending direction of 25a and 25b and the stacking direction of the plates can be shortened. Therefore, it is possible to suitably perform diffusion bonding while sufficiently securing the volumes of the manifolds 25a and 25b.

さらに、本発明のインクジェットヘッド20では、1列に配列された圧力室21に連通するノズル29は、配列方向に沿う同一直線上に配置される。したがって、複数のノズル29が配列方向に沿う同一直線上に配置されていない場合に比べて、配列方向に沿って高密度にノズル29を配置することができる。   Furthermore, in the inkjet head 20 of the present invention, the nozzles 29 communicating with the pressure chambers 21 arranged in a row are arranged on the same straight line along the arrangement direction. Therefore, compared with the case where the plurality of nozzles 29 are not arranged on the same straight line along the arrangement direction, the nozzles 29 can be arranged at a high density along the arrangement direction.

次に、図6、7を参照しつつ、本発明の第2の実施の形態について説明する。図6は、本実施の形態のインクジェットヘッドにおける上面図の部分拡大図であり、図7(a)は、図6のVIIa-VIIa線に沿う断面図であり、図7(b)は、図6のVIIb-VIIb線に沿う断面図である。本実施の形態は、インクジェットヘッド120の構成を除いては、第1の実施の形態と同様である。第2の実施の形態に係るインクジェットヘッド120の構成と、第1の実施の形態に係るインクジェットヘッド20の構成との主な相違点は、インクジェットヘッド20では、絞り流路27が平面視で圧力室21と重なる位置に形成されているが、本実施の形態のインクジェットヘッド120では、絞り流路127が平面視で圧力室21と重ならない位置に形成されていることである。なお、以下の説明において、第1の実施の形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 is a partially enlarged view of a top view of the ink jet head according to the present embodiment, FIG. 7A is a cross-sectional view taken along line VIIa-VIIa in FIG. 6, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VIIb-VIIb in FIG. The present embodiment is the same as the first embodiment except for the configuration of the inkjet head 120. The main difference between the configuration of the inkjet head 120 according to the second embodiment and the configuration of the inkjet head 20 according to the first embodiment is that, in the inkjet head 20, the throttle channel 27 is a pressure in a plan view. In the inkjet head 120 of the present embodiment, the throttle channel 127 is formed at a position that does not overlap with the pressure chamber 21 in plan view. In the following description, components having the same configurations as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted as appropriate.

図7に示すように、本実施の形態の流路ユニット140は、2枚のキャビティープレート141、142、サプライプレート144、マニホールドプレート145、カバープレート146、およびノズルプレート147を備えている。これら6枚のプレートのうち、ノズルプレート147を除く5枚のプレート141、142、144〜146はステンレス鋼製であり、拡散接合により互いに接合されてプレート積層体148を構成する。また、ノズルプレート147は、高分子樹脂材料により形成されており、接着剤によってプレート積層体148の下面に接着される。   As shown in FIG. 7, the flow path unit 140 according to the present embodiment includes two cavity plates 141 and 142, a supply plate 144, a manifold plate 145, a cover plate 146, and a nozzle plate 147. Of these six plates, the five plates 141, 142, 144 to 146 excluding the nozzle plate 147 are made of stainless steel, and are joined together by diffusion bonding to form a plate laminate 148. The nozzle plate 147 is made of a polymer resin material and is bonded to the lower surface of the plate laminate 148 with an adhesive.

そして、図7に示すように、圧力室121は、2枚のキャビティープレート141、141に跨って形成されている。また、2枚のキャビティープレート141、142のうち下方に位置するプレート142には、圧力室121の長軸方向に沿って延びるアパーチャ123が形成されている。図6、7に示すように、アパーチャ123は、キャビティープレート142における圧力室121を構成する貫通孔の一端部(図6、7における右側端部)に連通している。第1の実施の形態と同様に、アパーチャ123における流路抵抗は、圧力室121における流路抵抗よりも大きくなっている。   As shown in FIG. 7, the pressure chamber 121 is formed across the two cavity plates 141 and 141. An aperture 123 extending along the major axis direction of the pressure chamber 121 is formed in the plate 142 positioned below the two cavity plates 141 and 142. As shown in FIGS. 6 and 7, the aperture 123 communicates with one end portion (the right end portion in FIGS. 6 and 7) of the through hole constituting the pressure chamber 121 in the cavity plate 142. Similar to the first embodiment, the flow path resistance in the aperture 123 is larger than the flow path resistance in the pressure chamber 121.

サプライプレート144、マニホールドプレート145、およびカバープレート146には、圧力室121(より詳細には、圧力室121におけるアパーチャ123と連通している側の端部とは反対側の端部近傍)と、ノズル129とを連通する連通路128を構成する貫通孔がそれぞれ形成されている。   The supply plate 144, the manifold plate 145, and the cover plate 146 include a pressure chamber 121 (more specifically, the vicinity of the end of the pressure chamber 121 opposite to the end that is in communication with the aperture 123), A through-hole forming a communication path 128 that communicates with the nozzle 129 is formed.

また、サプライプレート144における平面視でアパーチャ123の圧力室121と連通している側とは反対側の端部と重なる位置には、貫通孔124が形成されている。キャビティープレート142、およびサプライプレート144に形成された、アパーチャ123、および貫通孔124によって、絞り流路127が構成されている。図6、7に示すように、絞り流路127は、圧力室121と平面視で重ならない位置に形成されている。   A through hole 124 is formed at a position overlapping the end of the supply plate 144 opposite to the side communicating with the pressure chamber 121 of the aperture 123 in plan view. The aperture 123 and the through hole 124 formed in the cavity plate 142 and the supply plate 144 constitute a throttle channel 127. As shown in FIGS. 6 and 7, the throttle channel 127 is formed at a position that does not overlap the pressure chamber 121 in plan view.

マニホールドプレート145には、配列方向に延在する2つのマニホールド125a、125bが、圧力室121の長軸方向に隣接して形成されている。図6、7において紙面右側に位置するマニホールド125aは、平面視で圧力室121と重ならない位置に形成されている。一方、図6、7において紙面左側に位置するマニホールド125bは、平面視で圧力室121の右側端部近傍と部分的に重なる位置に形成されている。   On the manifold plate 145, two manifolds 125a and 125b extending in the arrangement direction are formed adjacent to the long axis direction of the pressure chamber 121. 6 and 7, the manifold 125 a located on the right side of the drawing is formed at a position that does not overlap the pressure chamber 121 in plan view. On the other hand, the manifold 125b located on the left side in FIG. 6 and 7 is formed at a position that partially overlaps the vicinity of the right end of the pressure chamber 121 in plan view.

マニホールド125aには、奇数番目に当たる圧力室121に対応する部分に、隣接するマニホールド125b側に突出する突出部126aが形成されている。一方、マニホールド125bには、偶数番目に当たる圧力室121に対応する部分に、配列方向に沿って突出部126aと重なり合うように、マニホールド125a側に突出する突出部126bが形成されている。そして、突出部126a、126bにおける配列方向に沿って重なり合う部分には、絞り流路127が連なっている。   In the manifold 125a, a protrusion 126a that protrudes toward the adjacent manifold 125b is formed at a portion corresponding to the odd-numbered pressure chamber 121. On the other hand, the manifold 125b is formed with a protruding portion 126b protruding toward the manifold 125a so as to overlap the protruding portion 126a along the arrangement direction at a portion corresponding to the even pressure chamber 121. A throttle channel 127 is connected to the overlapping portions of the protruding portions 126a and 126b along the arrangement direction.

ノズルプレート147には、平面視で連通路128と重なる位置に形成されており、1列に配列された複数の圧力室121にそれぞれ連通する複数のノズル129が、配列方向に沿う同一直線上に配置されている。   The nozzle plate 147 is formed at a position overlapping the communication path 128 in plan view, and a plurality of nozzles 129 respectively communicating with the plurality of pressure chambers 121 arranged in a row are on the same straight line along the arrangement direction. Has been placed.

そして、流路ユニット40の内部には、図7(a)、(b)に示すように、マニホールド125aまたはマニホールド125bから絞り流路127、圧力室121を経てノズル129に至る個別インク流路が形成される。ここで、マニホールド125aまたはマニホールド125bから1列に配列された複数の圧力室121に対して供給するインクが流出する複数のインク流出口131は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。また、圧力室121にマニホールド125aまたはマニホールド125bから供給されるインクが流入するインク流入口132は、配列方向に沿う同一直線上に位置している。さらに、インク流出口131とインク流入口132とを連通する複数の絞り流路127の流路形状はいずれも等しくなる。   As shown in FIGS. 7A and 7B, an individual ink flow path from the manifold 125 a or the manifold 125 b to the nozzle 129 through the throttle flow path 127 and the pressure chamber 121 is provided inside the flow path unit 40. It is formed. Here, the plurality of ink outlets 131 from which the ink supplied to the plurality of pressure chambers 121 arranged in a line from the manifold 125a or the manifold 125b flows out are positioned on the same straight line along the arrangement direction. Further, the ink inlets 132 into which the ink supplied from the manifold 125a or the manifold 125b flows into the pressure chamber 121 are located on the same straight line along the arrangement direction. Further, the flow path shapes of the plurality of narrowed flow paths 127 communicating the ink outlet 131 and the ink inlet 132 are all equal.

以上のように、本実施の形態のインクジェットヘッド120は、第1の実施の形態のインクジェットヘッド20と同様に、クロストークの発生を抑制しつつ、小型化を可能とすることができる。   As described above, the inkjet head 120 of the present embodiment can be miniaturized while suppressing the occurrence of crosstalk, similarly to the inkjet head 20 of the first embodiment.

また、本実施の形態のインクジェットヘッド120では、絞り流路127は、平面視で圧力室121と重ならない位置に形成されている。したがって、絞り流路127が平面視で圧力室121と重なる位置に形成されている場合と比べて、流路ユニット140を構成するプレートの枚数を減らすことができる。   Further, in the inkjet head 120 of the present embodiment, the throttle channel 127 is formed at a position that does not overlap the pressure chamber 121 in plan view. Therefore, the number of plates constituting the flow path unit 140 can be reduced as compared with the case where the throttle flow path 127 is formed at a position overlapping the pressure chamber 121 in plan view.

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更を行うことが可能なものである。例えば、上述の第1および第2の実施の形態では、マニホールド25a、25b(125a、125b)が、1枚のマニホールドプレート45、145に形成されている場合について説明したが、マニホールド25a、25b(125a、125b)は、複数枚のプレートに跨って形成されていてもよい。   The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various design changes can be made as long as they are described in the claims. Is. For example, in the above-described first and second embodiments, the case where the manifolds 25a and 25b (125a and 125b) are formed on the single manifold plate 45 and 145 has been described, but the manifolds 25a and 25b ( 125a and 125b) may be formed across a plurality of plates.

また、上述の第1および第2の実施の形態では、マニホールド25a(125a)またはマニホールド25b(125b)から1列に配列された複数の圧力室21(121)に対して供給するインクが流出する複数のインク流出口31(131)が、配列方向に沿う同一直線上に位置している場合について説明したが、インク流出口31(131)は、一直線上に位置していなくてもよい。   In the first and second embodiments described above, the ink supplied to the plurality of pressure chambers 21 (121) arranged in a line from the manifold 25a (125a) or the manifold 25b (125b) flows out. Although the case where the plurality of ink outlets 31 (131) are located on the same straight line along the arrangement direction has been described, the ink outlets 31 (131) may not be located on a straight line.

さらに、上述の第1および第2の実施の形態では、2つのマニホールド25a、25b(125a、125b)が互いに隣接しているとともに、マニホールド25a(125a)における奇数番目の圧力室21に対応する部分には、マニホールド25b(125b)側に突出した突出部26a(126a)が形成されており、マニホールド25b(125b)における偶数番目の圧力室21に対応する部分には、配列方向に沿って突出部26a(126a)と重なり合うように、マニホールド25a(125a)側に突出した突出部26b(126b)が形成されている。そして、突出部26a、26b(126a、126b)における配列方向に沿って重なり合う部分に、インク流出口31(131)が形成されている場合について説明したが、これには限られない。例えば、マニホールド25b(125b)における奇数番目の圧力室21に対応する部分に、マニホールド25a(125a)側とは反対側に窪んだ窪み部が形成されており、マニホールド25b(125b)に形成された窪み部が、マニホールド25a(125a)に形成されている突出部26a(126a)に嵌り合うように、マニホールド125a、25b(125a、125b)が配置されていてもよい。   Further, in the first and second embodiments described above, the two manifolds 25a and 25b (125a and 125b) are adjacent to each other, and the portion corresponding to the odd-numbered pressure chambers 21 in the manifold 25a (125a). Is formed with a protruding portion 26a (126a) protruding toward the manifold 25b (125b), and a portion corresponding to the even-numbered pressure chamber 21 in the manifold 25b (125b) has a protruding portion along the arrangement direction. A protruding portion 26b (126b) protruding toward the manifold 25a (125a) is formed so as to overlap with 26a (126a). And although the case where the ink outlet 31 (131) was formed in the part which overlaps along the sequence direction in protrusion part 26a, 26b (126a, 126b) was demonstrated, it is not restricted to this. For example, a recessed portion that is recessed on the opposite side to the manifold 25a (125a) side is formed in a portion corresponding to the odd-numbered pressure chamber 21 in the manifold 25b (125b), and is formed in the manifold 25b (125b). Manifolds 125a and 25b (125a and 125b) may be arranged so that the depressions fit into the protrusions 26a (126a) formed in the manifold 25a (125a).

加えて、上述の第1および第2の実施の形態では、奇数番目の圧力室21(121)のインク流入口32(132)とマニホールド25a(125a)のインク流出口31(131)とを連通する絞り流路27(127)の形状と、偶数番目の圧力室21(121)のインク流入口32(132)とマニホールド25b(125b)のインク流出口31(131)とを連通する絞り流路27(127)の形状とが互いに等しい場合について説明したが、こられの絞り流路27(127)の形状は互いに異なっていてもよい。このとき、複数の絞り流路27(127)の流路抵抗が等しくなるように各絞り流路27(127)の長さおよび流路面積が調整されていてもよいし、複数の絞り流路27(127)の流路抵抗が異なっていてもよい。   In addition, in the first and second embodiments described above, the ink inlet 32 (132) of the odd-numbered pressure chamber 21 (121) communicates with the ink outlet 31 (131) of the manifold 25a (125a). Of the throttle channel 27 (127) to be connected, and the throttle channel that connects the ink inlet 32 (132) of the even-numbered pressure chamber 21 (121) and the ink outlet 31 (131) of the manifold 25b (125b). Although the case where the shape of 27 (127) is equal to each other has been described, the shape of the throttle channel 27 (127) may be different from each other. At this time, the length and channel area of each throttle channel 27 (127) may be adjusted so that the channel resistances of the plurality of throttle channels 27 (127) are equal, or the plurality of throttle channels 27 27 (127) may have different channel resistances.

また、上述の第1の実施の形態では、圧力室21の配列方向に沿って延在する2つのマニホールド25a、25bが、平面視で各圧力室21の一端部および他端部からはみ出ることなく配置されている場合について説明した。さらに、第2の実施の形態では、2つのマニホールド125a(125b)のうち、いずれか一方が平面視で圧力室121の端部近傍と部分的に重なるように配置されており、他方が平面視で圧力室121と重ならない位置に配置されている場合に説明した。しかしながら、圧力室21(121)とマニホールド25a、25b(125a、125b)との位置関係はこれらには限定されない。例えば、マニホールド25a、25b(125a、125b)は、圧力室21(121)と重ならない位置に配置されていてもよい。   In the first embodiment described above, the two manifolds 25a and 25b extending along the arrangement direction of the pressure chambers 21 do not protrude from one end and the other end of each pressure chamber 21 in plan view. The case where it is arranged has been described. Furthermore, in the second embodiment, one of the two manifolds 125a (125b) is arranged so as to partially overlap with the vicinity of the end of the pressure chamber 121 in plan view, and the other in plan view. The case where the pressure chamber 121 and the pressure chamber 121 do not overlap with each other has been described. However, the positional relationship between the pressure chamber 21 (121) and the manifolds 25a and 25b (125a and 125b) is not limited to these. For example, the manifolds 25a and 25b (125a and 125b) may be arranged at positions that do not overlap the pressure chamber 21 (121).

また、上述の第1および第2の実施の形態では、マニホールド25a、25b(125a、125b)と、圧力室21(121)とが、複数のプレート41〜46(141、142、144〜146)を積層し、拡散接合することによって形成されたプレート積層体48(148)に形成されている。そして、2つのマニホールド25a、25b(125a、125b)が同一のマニホールドプレート45(145)に形成されている場合について説明したが、これには限られない。例えば、2つのマニホールド25a、25b(125a、125b)が、プレート積層体48(148)を形成する複数のプレートのうち、互いに異なるプレートに形成されていてもよい。さらに、射出成形により形成された樹脂製の部材の内部に2つのマニホールド25a、25b(125a、125b)と圧力室21(121)とが形成されていてもよい。   In the first and second embodiments described above, the manifolds 25a and 25b (125a and 125b) and the pressure chamber 21 (121) include a plurality of plates 41 to 46 (141, 142, 144 to 146). Are laminated and diffusion-bonded to form a plate laminate 48 (148). The case where the two manifolds 25a and 25b (125a and 125b) are formed on the same manifold plate 45 (145) has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the two manifolds 25a and 25b (125a and 125b) may be formed on different plates among the plurality of plates forming the plate stack 48 (148). Further, two manifolds 25a and 25b (125a and 125b) and a pressure chamber 21 (121) may be formed inside a resin member formed by injection molding.

加えて、上述の第1および第2の実施の形態では、1列に配列された圧力室21(121)に連通するノズル29(129)が、配列方向に沿う同一直線上に配置される場合について説明したが、これには限られない。例えば、1列に配列された圧力室21(121)に連通するノズル29(129)が、千鳥状に配置されていてもよい。   In addition, in the above-described first and second embodiments, the nozzles 29 (129) communicating with the pressure chambers 21 (121) arranged in a row are arranged on the same straight line along the arrangement direction. However, the present invention is not limited to this. For example, the nozzles 29 (129) communicating with the pressure chambers 21 (121) arranged in a row may be arranged in a staggered manner.

また、上述の第1および第2の実施の形態では、圧力室21(121)のインク流入口32(132)とマニホールド25a、25b(125a、125b)のインク流出口31(131)とが絞り流路27(127)によって連通されている場合について説明したが、インク流入口32(132)とインク流出口31(131)とを連通する流路は、絞りの機能を有していない流路であってもよい。さらに、インク流入口32(132)とインク流出口31(131)とが一致しており、これらを連通する流路が形成されていなくてもよい。   In the first and second embodiments described above, the ink inlet 32 (132) of the pressure chamber 21 (121) and the ink outlet 31 (131) of the manifolds 25a and 25b (125a and 125b) are throttled. Although the case where the ink flow path 27 (127) communicates with the flow path 27 (127) has been described, the flow path that connects the ink inlet 32 (132) and the ink outlet 31 (131) is a flow path that does not have a restriction function. It may be. Further, the ink inflow port 32 (132) and the ink outflow port 31 (131) coincide with each other, and a flow path that connects these may not be formed.

本発明の第1の実施の形態にかかるインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの概略構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a schematic configuration of an inkjet printer including an inkjet head according to a first embodiment of the present invention. 図1に示すインクジェットヘッドの上面図である。It is a top view of the inkjet head shown in FIG. 図2の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2. (a)は図3のIVa-IVa線に沿う断面図であり、(b)は図3のIVb-IVb線に沿う断面図である。(A) is sectional drawing which follows the IVa-IVa line of FIG. 3, (b) is sectional drawing which follows the IVb-IVb line of FIG. 図4に示す流路ユニットの分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of the flow path unit shown in FIG. 4. 本発明の第2の実施の形態にかかるインクジェットヘッドにおける上面図の部分拡大図である。It is the elements on larger scale of the top view in the inkjet head concerning the 2nd Embodiment of this invention. (a)は図6のVIIa-VIIa線に沿う断面図であり、(b)は図6のVIIb-VIIb線に沿う断面図である。(A) is sectional drawing which follows the VIIa-VIIa line of FIG. 6, (b) is sectional drawing which follows the VIIb-VIIb line of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 インクジェットプリンタ
20、120 インクジェットヘッド(液滴吐出装置)
21、121 圧力室
25a、125a マニホールド(第1のマニホールド)
25b、125b マニホールド(第2のマニホールド)
26a、126a 突出部(第1の突出部)
26b、126b 突出部(第2の突出部)
27、127 絞り流路
29、129 ノズル
31、131 インク流出口(液体流出口)
32、132 インク流入口(液体流入口)
40、140 流路ユニット
41、141、142 キャビティープレート
42 ベースプレート
43 アパーチャプレート
44、144 サプライプレート
45、145 マニホールドプレート
46、146 カバープレート
47、147 ノズルプレート
48、148 プレート積層体
50 圧電アクチュエータ
1 Inkjet printer 20, 120 Inkjet head (droplet ejection device)
21, 121 Pressure chamber 25a, 125a Manifold (first manifold)
25b, 125b Manifold (second manifold)
26a, 126a Projection (first projection)
26b, 126b Protruding part (second projecting part)
27, 127 Restricted flow path 29, 129 Nozzle 31, 131 Ink outlet (liquid outlet)
32, 132 Ink inlet (liquid inlet)
40, 140 Channel unit 41, 141, 142 Cavity plate 42 Base plate 43 Aperture plate 44, 144 Supply plate 45, 145 Manifold plate 46, 146 Cover plate 47, 147 Nozzle plate 48, 148 Plate laminate 50 Piezoelectric actuator

Claims (7)

所定の配列方向に沿って配列された複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ連通しており、液滴を吐出する複数のノズルと、
前記配列方向に沿って延在していると共に、前記複数の圧力室のうち最も端にある圧力室から奇数番目に当たる圧力室に連通する第1のマニホールドと、
前記配列方向に沿って延在していると共に、前記最も端にある圧力室から偶数番目に当たる圧力室に連通する第2のマニホールドとを備えており、
前記奇数番目に当たる圧力室に形成されており、前記第1のマニホールドから供給される液体が流入する液体流入口と、前記偶数番目に当たる圧力室に形成されており、前記第2のマニホールドから供給される液体が流入する液体流入口とが、前記配列方向に沿う同一直線上に位置していることを特徴とする液滴吐出装置。
A plurality of pressure chambers arranged along a predetermined arrangement direction;
A plurality of nozzles respectively communicating with the plurality of pressure chambers and discharging droplets;
A first manifold that extends along the arrangement direction and communicates with an odd-numbered pressure chamber from an endmost pressure chamber of the plurality of pressure chambers;
A second manifold that extends along the arrangement direction and communicates with the even pressure chambers from the pressure chambers at the extreme ends,
Formed in the odd-numbered pressure chambers, formed in the liquid inlet into which the liquid supplied from the first manifold flows, and in the even-numbered pressure chambers, supplied from the second manifold And a liquid inflow port into which the liquid flowing in is located on the same straight line along the arrangement direction.
前記第1のマニホールドに形成されており、前記奇数番目に当たる圧力室に供給する液体が流出する液体流出口と、前記第2のマニホールドに形成されており、前記偶数番目に当たる圧力室に供給する液体が流出する液体流出口とが、前記配列方向に沿う同一直線上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。   A liquid outlet formed in the first manifold through which liquid supplied to the odd-numbered pressure chambers flows out, and a liquid formed in the second manifold and supplied to the even-numbered pressure chambers 2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the liquid outlet from which the liquid flows out is located on the same straight line along the arrangement direction. 前記第1および第2のマニホールドが互いに隣接していると共に、前記第1のマニホールドにおける前記奇数番目に当たる圧力室に対応する部分には、前記第2のマニホールド側に突出した第1の突出部が形成されており、前記第2のマニホールドにおける前記偶数番目に当たる圧力室に対応する部分には、前記配列方向に沿って前記第1の突出部と重なり合うように、前記第1のマニホールド側に突出した第2の突出部が形成されており、前記第1および第2の突出部における前記配列方向に沿って重なり合う部分に、前記液体流出口が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出装置。   The first and second manifolds are adjacent to each other, and a portion corresponding to the odd-numbered pressure chamber in the first manifold has a first protrusion that protrudes toward the second manifold. A portion corresponding to the even-numbered pressure chambers in the second manifold protrudes toward the first manifold so as to overlap the first protrusion along the arrangement direction. 3. The liquid outflow port is formed in a portion where a second protrusion is formed and the first and second protrusions overlap in the arrangement direction. 4. Droplet discharge device. 前記奇数番目に当たる圧力室の前記液体流入口と前記第1のマニホールドから当該圧力室に供給する液体が流出する前記液体流出口とを連通する流路の流路形状と、前記偶数番目に当たる圧力室の前記液体流入口と前記第2のマニホールドから当該圧力室に供給する液体が流出する前記液体流出口とを連通する流路の流路形状とが、互いに等しいことを特徴とする請求項2または3に記載の液滴吐出装置。   The channel shape of the channel that connects the liquid inlet of the odd-numbered pressure chamber and the liquid outlet from which the liquid supplied to the pressure chamber flows from the first manifold, and the even-numbered pressure chamber The flow path shapes of the flow paths communicating the liquid inlet and the liquid outlet from which the liquid supplied to the pressure chamber flows out from the second manifold are equal to each other. 4. The droplet discharge device according to 3. 前記第1および第2のマニホールドが、前記複数の圧力室の配列平面に垂直な方向に関して前記複数の圧力室と重なって配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。   The first and second manifolds are arranged so as to overlap with the plurality of pressure chambers in a direction perpendicular to an arrangement plane of the plurality of pressure chambers. The droplet discharge device according to 1. 前記第1および第2のマニホールドと、前記圧力室とが、複数の金属製板を積層し、拡散接合することによって形成されたプレート積層体に形成されており、
前記第1および第2のマニホールドが、前記複数の金属製板のうち、同一の板に形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。
The first and second manifolds and the pressure chamber are formed in a plate laminate formed by laminating a plurality of metal plates and diffusion bonding,
6. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the first and second manifolds are formed on the same plate among the plurality of metal plates.
前記複数のノズルが前記配列方向に沿う同一直線上に配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。   The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the plurality of nozzles are arranged on the same straight line along the arrangement direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011235628A (en) * 2010-05-11 2011-11-24 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd Inkjet print head and inkjet printer including the same
JP2014237276A (en) * 2013-06-10 2014-12-18 セイコーエプソン株式会社 Channel unit and liquid jet apparatus mounted with channel unit
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JP2018111282A (en) * 2017-01-13 2018-07-19 富士ゼロックス株式会社 Droplet discharge head, and droplet discharge device
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