JP2008021365A - Information recording medium and manufacturing method thereof, and information recording/reproducing device - Google Patents

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哲典 神田
Akira Yano
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an information recording medium suitable for high-density magnetic recording, capable of realizing both of high magnetic anisotropy energy and fine crystal particles, and an information recording device to which the information recording medium is mounted. <P>SOLUTION: The information recording medium has, on a nonmagnetic substrate, a soft magnetic base layer formed of a soft magnetic material, a recording layer made of a laminated film in which a layer including Co as a main component and a layer including Pd as a main component are laminated alternately on an amorphous underlayer composed of an alloy layer including Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, and Pt, or Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, and Pt as main components, and a protective layer. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は情報の記録再生を行うために用いる情報記録媒体及びそれを備えた情報記録再生装置に関し、特に高密度記録に適した情報記録媒体及びそれを備えた情報記録再生装置に関する。   The present invention relates to an information recording medium used for recording / reproducing information and an information recording / reproducing apparatus including the information recording medium, and more particularly to an information recording medium suitable for high-density recording and an information recording / reproducing apparatus including the information recording medium.

情報化社会の発展には目覚しいものがあり、文字情報のみならず音声及び画像情報を高速に処理することができる装置の1つとしてコンピュータ等に装着されている磁気記録方式の情報記録装置が知られている。現在は、この磁気記録方式の情報記録装置の記録密度を向上させつつ、情報記録装置を小型化する方向に開発が進められてきている。典型的な磁気記録方式の情報記録装置は、複数の情報記録媒体をスピンドル上に回転可能に装着している。各情報記録媒体は、基板とその上に形成された磁性膜からなり、情報の記録は、特定の磁化方向を有する磁区を磁性膜中に形成することにより行われる。従来、記録される磁化の方向は、磁性膜面内であり、面内磁気記録方式と呼ばれている。面内磁気記録方式の情報記録装置の高密度記録化は、磁性膜の膜厚を薄くし、構成する磁性結晶粒の粒径を微小化させ、且つ、各粒子間の磁気的相互作用を低減させることで達成してきた。   There is a remarkable development in the information society, and one of the devices that can process not only text information but also voice and image information at high speed is known as a magnetic recording type information recording device mounted on a computer or the like. It has been. At present, development is progressing in the direction of downsizing the information recording apparatus while improving the recording density of the magnetic recording type information recording apparatus. A typical magnetic recording type information recording apparatus has a plurality of information recording media rotatably mounted on a spindle. Each information recording medium includes a substrate and a magnetic film formed thereon, and information recording is performed by forming a magnetic domain having a specific magnetization direction in the magnetic film. Conventionally, the direction of magnetization recorded is in the plane of the magnetic film, which is called the in-plane magnetic recording method. High-density recording of the in-plane magnetic recording type information recording apparatus reduces the thickness of the magnetic film, reduces the size of the magnetic crystal grains, and reduces the magnetic interaction between the grains. Has been achieved.

しかし、結晶粒の微小化と各粒子間の磁気的相互作用の低減は、記録されたビットを構成する磁化の熱安定性を低下させることが問題となっている。この問題を緩和するために提案されているのが、垂直磁気記録方式で、これは、記録される磁化の方向を、基板に対して垂直方向にする。その結果、隣接ビット間は、静磁気的に安定で、且つ、記録遷移領域は鋭くなる。さらに記録層と基板の間に軟磁性材料で構成された層(軟磁性裏打ち層)を加えることで、記録時の磁場を急峻にすることができるので、高い磁気異方性をもつ材料への記録が可能になり、磁化の熱安定性が向上するので、より高密度の記録が可能になる。   However, miniaturization of crystal grains and reduction of the magnetic interaction between the grains are problematic in that the thermal stability of magnetization constituting the recorded bit is lowered. In order to alleviate this problem, a perpendicular magnetic recording method has been proposed, which makes the direction of recorded magnetization perpendicular to the substrate. As a result, the adjacent bits are magnetostatically stable and the recording transition area becomes sharp. Furthermore, by adding a layer made of a soft magnetic material (soft magnetic backing layer) between the recording layer and the substrate, the magnetic field at the time of recording can be sharpened. Recording becomes possible and the thermal stability of magnetization is improved, so that higher density recording is possible.

上述の面内磁気記録方式の情報記録媒体にはCoPtCr基合金(以降、CoPtCr基合金媒体と称す)が使用されており、垂直磁気記録方式の情報記録媒体としても同じCoPtCr基合金媒体が主に研究されてきた。CoPtCr基合金の場合、磁気異方性はCoの結晶構造に起因する結晶磁気異方性に依る。Ptは磁気異方性を高める為に添加され、Crは媒体の結晶粒界を非磁性にするために添加される。   A CoPtCr-based alloy (hereinafter referred to as a CoPtCr-based alloy medium) is used for the above-described information recording medium of the in-plane magnetic recording system, and the same CoPtCr-based alloy medium is mainly used as the information recording medium of the perpendicular magnetic recording system. Have been studied. In the case of a CoPtCr-based alloy, the magnetic anisotropy depends on the magnetocrystalline anisotropy due to the Co crystal structure. Pt is added to increase the magnetic anisotropy, and Cr is added to make the crystal grain boundary of the medium nonmagnetic.

一方で、磁気異方性が増加すると、媒体の保磁力が増加し、保磁力が高すぎる場合には、記録ヘッドから発生する磁場では充分に記録ができなくなる。この問題を回避する方法として、記録時に媒体を加熱・昇温して媒体の保磁力を低下させて記録する熱アシスト磁気記録方式が提案されている。   On the other hand, when the magnetic anisotropy increases, the coercive force of the medium increases, and when the coercive force is too high, the magnetic field generated from the recording head cannot sufficiently perform recording. As a method for avoiding this problem, a heat-assisted magnetic recording method has been proposed in which recording is performed by heating and raising the temperature of the medium during recording to reduce the coercive force of the medium.

T.Oikawa et.al, IEEE Trans. Magn., vol.38, pp.1976-1978, 2002T.Oikawa et.al, IEEE Trans. Magn., Vol.38, pp.1976-1978, 2002

しかしながら、高い記録密度を実現するためには磁化の熱安定性をさらに高める必要があり、CoPtCr基合金よりも高い磁気異方性を持つ材料を媒体に適用する必要がある。このような材料の一つとして、Coを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層したCo/Pd多層膜がある。この材料は、CoとPdの界面に起因して、高い磁気異方性を示す。ただし、単に多層膜を生成するだけでは結晶粒子が大きいので、磁気記録媒体におけるS/Nはよくならない。そこで、この材料を磁気記録媒体に適用してS/Nも良好に取れるようにするためには、結晶粒径を微細化する必要がある。   However, in order to realize a high recording density, it is necessary to further increase the thermal stability of magnetization, and it is necessary to apply a material having a higher magnetic anisotropy than the CoPtCr-based alloy to the medium. As one of such materials, there is a Co / Pd multilayer film in which layers containing Co as a main component and layers containing Pd as a main component are alternately stacked. This material exhibits high magnetic anisotropy due to the Co / Pd interface. However, the S / N in the magnetic recording medium is not improved because crystal grains are large simply by forming a multilayer film. Therefore, in order to apply this material to a magnetic recording medium so as to obtain good S / N, it is necessary to reduce the crystal grain size.

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、高い磁気異方性エネルギーと微細な結晶粒を両立する、高密度磁気記録に適した情報記録媒体及びそれを備えた情報記録再生装置を提供するものである。   The present invention has been made in view of such a situation, and is an information recording medium suitable for high-density magnetic recording, which achieves both high magnetic anisotropy energy and fine crystal grains, and an information recording / reproducing apparatus including the same. Is to provide.

上記課題を解決するため、本発明による情報記録媒体は、記録層がCoを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料であって、残留磁化が膜面内方向より膜面に対して垂直方向の方が大きい垂直磁気記録方式あるいは熱アシスト磁気記録方式の情報記録媒体であって、下地層が非晶質のY、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Pt、Vの中から選ばれる少なくとも一つの元素を主成分として含むことを特徴とする。この新規の情報記録媒体は、情報磁気特性及び記録特性に優れたものである。   In order to solve the above-mentioned problems, an information recording medium according to the present invention is a magnetic material in which a recording layer is formed by alternately laminating a layer containing Co as a main component and a layer containing Pd as a main component. An information recording medium of a perpendicular magnetic recording method or a heat-assisted magnetic recording method in which the direction perpendicular to the film surface is larger than the direction, and the underlayer is amorphous Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, It contains at least one element selected from Pt and V as a main component. This new information recording medium is excellent in information magnetic characteristics and recording characteristics.

薄膜の微細組織を制御するには特に薄膜の初期成長を制御することが重要である。初期成長に大きく影響を与える因子として、膜成長界面の表面エネルギーが挙げられる。下地層よりも高い表面エネルギーを持つ材料で薄膜を形成する場合、成長する薄膜はできるだけ表面エネルギーを下げるような膜成長を行うため、微細な結晶粒になりやすく、逆に、下地層よりも低い表面エネルギーを持つ材料で薄膜を形成する場合、結晶粒が粗大化しやすい傾向がある。   In order to control the microstructure of the thin film, it is particularly important to control the initial growth of the thin film. A factor that greatly affects the initial growth is the surface energy of the film growth interface. When a thin film is formed with a material having a surface energy higher than that of the underlayer, the growing thin film is grown so as to reduce the surface energy as much as possible, so that it tends to become fine crystal grains, and conversely lower than the underlayer. When forming a thin film with a material having surface energy, the crystal grains tend to be coarse.

さらに、下地層と格子定数の近い材料を成長させる場合、下地層上にヘテロエピタキシャル成長する傾向が強くなり、結晶粒径は下地層の結晶構造の影響を受けやすくなる。したがって、薄膜形成及び成長時の結晶粒径や結晶面配向を制御するためには下地層の材料選択、形成方法が非常に重要となる。   Further, when a material having a lattice constant close to that of the underlayer is grown, the tendency to heteroepitaxially grow on the underlayer is increased, and the crystal grain size is easily affected by the crystal structure of the underlayer. Therefore, in order to control the crystal grain size and crystal plane orientation during thin film formation and growth, the material selection and formation method of the underlayer are very important.

そこで我々は種々の材料及び条件を検討した結果、特にCoよりも表面エネルギー低い材料を用いて下地層を形成し、且つ、その結晶性を制御することで、Co/Pd多層膜の結晶粒を微細化できることを見出した。   Therefore, as a result of examining various materials and conditions, we formed the underlayer using a material whose surface energy is lower than that of Co, and controlled the crystallinity of the Co / Pd multilayer film. It was found that it can be miniaturized.

具体的には、Coよりも表面エネルギーの小さな元素であるY、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Pt、Vの中から選ばれる少なくとも一つの元素を主成分として含む材料を用いる。   Specifically, a material containing as a main component at least one element selected from Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, Pt, and V, which is an element having a surface energy smaller than that of Co, is used.

また、本発明では、上記本発明の情報記録媒体に対して、記録層の膜面に対して垂直方向の磁化を与え、かつ、上記軟磁性裏打ち層の膜面に対して平行方向の磁化を与え、記録層と軟磁性裏打ち層と協働して磁気回路を構成する磁気ヘッドと、該磁気記録媒体を該ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動装置とを備えた垂直磁気記録方式の情報記録再生装置が提供される。   In the present invention, the information recording medium of the present invention is magnetized in the direction perpendicular to the film surface of the recording layer, and is also magnetized in the direction parallel to the film surface of the soft magnetic backing layer. And a perpendicular magnetic recording system comprising: a magnetic head that forms a magnetic circuit in cooperation with a recording layer and a soft magnetic underlayer; and a drive device for driving the magnetic recording medium relative to the head An information recording / reproducing apparatus is provided.

さらに、本発明の磁気記録媒体に対して、加熱機構により媒体を加熱しながら記録層の膜面に対して垂直方向の磁化を与え、かつ、上記軟磁性裏打ち層の膜面に対して平行方向の磁化を与え、記録層と軟磁性裏打ち層と協働して磁気回路を構成する磁気ヘッドと、該磁気記録媒体を該ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動装置とを備えた熱アシスト磁気記録方式の情報記録再生装置が提供される。   Further, the magnetic recording medium of the present invention is magnetized in a direction perpendicular to the film surface of the recording layer while heating the medium by a heating mechanism, and parallel to the film surface of the soft magnetic backing layer. And a magnetic head that forms a magnetic circuit in cooperation with the recording layer and the soft magnetic underlayer, and a drive device that drives the magnetic recording medium relative to the head. An assist magnetic recording type information recording / reproducing apparatus is provided.

なお、本発明の磁気記録媒体では、下地層の下に軟磁性裏打ち層を設けても良い。軟磁性裏打ち層の役割は、磁気ヘッドを用いて記録層に情報を記録再生するときに、磁気ヘッドから漏れ出した磁束を記録層に集束させる役割を持つ。軟磁性裏打ち層の材料としては、飽和磁化が大きく、保磁力が小さく、且つ、透磁率が高い軟磁性材料が好ましく、それに対応する材料として、例えば、CoTaZr膜などがある。また、この軟磁性裏打ち層の膜厚は、25〜500nmの範囲であることが望ましい。   In the magnetic recording medium of the present invention, a soft magnetic backing layer may be provided under the underlayer. The role of the soft magnetic backing layer is to focus the magnetic flux leaking from the magnetic head on the recording layer when information is recorded on and reproduced from the recording layer using the magnetic head. As a material for the soft magnetic underlayer, a soft magnetic material having a large saturation magnetization, a small coercive force, and a high magnetic permeability is preferable, and a material corresponding thereto is, for example, a CoTaZr film. The film thickness of the soft magnetic backing layer is preferably in the range of 25 to 500 nm.

以上まとめると、本発明による情報記録媒体は、残留磁化が膜面内方向より膜面に対して垂直方向の方が大きい垂直磁気記録方式で用いられる情報記録媒体であって、下地層と、前記下地層上に形成され、Coを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料である記録層と、を備え、前記下地層は、Coよりも表面エネルギーが低く、磁性材料でない元素を含む材料で形成されていることを特徴とするものである。   In summary, the information recording medium according to the present invention is an information recording medium used in a perpendicular magnetic recording system in which the residual magnetization is larger in the direction perpendicular to the film surface than in the in-film direction. A recording layer that is formed on the underlayer and is a magnetic material in which layers containing Co as a main component and layers containing Pd as a main component are alternately stacked, and the underlayer has a lower surface energy than Co It is formed of a material containing an element that is not a magnetic material.

また、上記情報記録媒体は、垂直磁気記録方式で用いられる情報記録媒体の製造方法であって、基板上に密着層を形成する工程と、前記密着層上に軟磁性裏打ち層を形成する工程と、前記軟磁性裏打ち層上に下地層を形成する工程と、前記下地層上に記録層を形成する工程と、前記記録層上に保護層を形成する工程とを備え、前記記録層はCoを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料で形成され、前記下地層はCoよりも表面エネルギーが低く、磁性材料でない元素を含む材料で形成されることを特徴とする情報記録媒体の製造方法によって製造することが可能である。   The information recording medium is a method of manufacturing an information recording medium used in a perpendicular magnetic recording method, the step of forming an adhesion layer on a substrate, and the step of forming a soft magnetic backing layer on the adhesion layer. A step of forming an underlayer on the soft magnetic underlayer, a step of forming a recording layer on the underlayer, and a step of forming a protective layer on the recording layer, the recording layer comprising Co It is formed of a magnetic material in which layers containing a main component and layers containing Pd as a main component are alternately stacked, and the underlayer is formed of a material containing an element which is lower in surface energy than Co and is not a magnetic material. It can be manufactured by the manufacturing method of the information recording medium.

さらに、本発明による情報記録再生装置は、前記情報記録媒体に対して、その情報記録媒体の記録層の膜面に対して垂直方向の磁化を与える磁気ヘッドと、前記情報記録媒体を前記磁気ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動手段とを備えることを特徴とする。この情報記録再生装置は、熱アシスト記録をしない場合の構成に関するものである。   Furthermore, the information recording / reproducing apparatus according to the present invention includes a magnetic head that gives magnetization in the direction perpendicular to the film surface of the recording layer of the information recording medium, and the information recording medium to the magnetic head. And a driving means for relatively driving the motor. This information recording / reproducing apparatus relates to a configuration in the case where heat-assisted recording is not performed.

また、本発明による情報記録再生装置は、前記情報記録媒体に対して、その情報記録媒体の記録層を加熱しながら膜面に対して垂直方向の磁化を与える媒体加熱機構を備える磁気ヘッドと、前記情報記録媒体を前記磁気ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動手段と、を備えることを特徴とする。この情報記録再生装置は、熱アシスト記録をする場合の構成に関するものである。   An information recording / reproducing apparatus according to the present invention includes a magnetic head provided with a medium heating mechanism that gives magnetization in the direction perpendicular to the film surface while heating the recording layer of the information recording medium to the information recording medium; Drive means for driving the information recording medium relative to the magnetic head. This information recording / reproducing apparatus relates to a configuration in the case of performing heat assist recording.

さらなる本発明の特徴は、以下本発明を実施するための最良の形態および添付図面によって明らかになるものである。   Further features of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the present invention and the accompanying drawings.

本発明の磁気記録媒体によれば、高密度磁気記録媒体として、Y、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Ptを主成分とする合金下地層、CoとPdを交互に積層する磁性層を備えることにより、優れた記録特性を両立する高密度記録可能な情報記録媒体及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することができる。   According to the magnetic recording medium of the present invention, as a high-density magnetic recording medium, an alloy underlayer mainly composed of Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, and Pt, and a magnetic layer in which Co and Pd are alternately stacked are provided. By providing the information recording medium, it is possible to provide an information recording medium capable of high-density recording that achieves both excellent recording characteristics and an information recording / reproducing apparatus including the information recording medium.

以下に、添付図面を用いて、本発明の情報記録媒体及び情報記録装置の実施形態について具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の本質的な範囲を逸脱しない限り適宜変更は可能である。   Embodiments of an information recording medium and an information recording apparatus of the present invention will be specifically described below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to this, and can be modified as appropriate without departing from the essential scope of the present invention.

<第1の実施形態>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る磁気ディスクの概略断面図を示している。図1に示すように、磁気ディスク10は、基板1上に、密着層2、軟磁性裏打ち層3、下地層4、記録層5、及び保護層6を順次積層した構造を有する。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a magnetic disk according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the magnetic disk 10 has a structure in which an adhesion layer 2, a soft magnetic backing layer 3, an underlayer 4, a recording layer 5, and a protective layer 6 are sequentially laminated on a substrate 1.

密着層2は、基板1とその上に積層された膜との剥離を防ぐための層であり、軟磁性裏打ち層3は、情報記録の際に記録層に印加される磁場を集束するための層である。下地層4は、記録層5の微細組織を制御するための層である。記録層5は、情報が磁化情報として記録される層であり、その磁化方向は膜面に対して垂直方向となる。保護層6は、基板1上に順次積層された積層膜2〜5を保護するための層である。   The adhesion layer 2 is a layer for preventing separation between the substrate 1 and a film laminated thereon, and the soft magnetic backing layer 3 is for focusing a magnetic field applied to the recording layer during information recording. Is a layer. The underlayer 4 is a layer for controlling the fine structure of the recording layer 5. The recording layer 5 is a layer in which information is recorded as magnetization information, and the magnetization direction is perpendicular to the film surface. The protective layer 6 is a layer for protecting the laminated films 2 to 5 sequentially laminated on the substrate 1.

以下、この磁気ディスクの作製方法を説明する。基板1には直径2.5インチ(6.5cm)の円板状のガラス基板を用いている。その基板1上に、密着層2としてTi膜を、DCスパッタリングにより形成する。スパッタリング条件は、ガス圧0.28Pa、投入電力500Wとし、ターゲットはTiとする。また、密着層2の膜厚は5nmとする。これらの数値は具体例であって、これに限定されるものではない。   Hereinafter, a method for producing this magnetic disk will be described. As the substrate 1, a disk-shaped glass substrate having a diameter of 2.5 inches (6.5 cm) is used. On the substrate 1, a Ti film is formed as the adhesion layer 2 by DC sputtering. The sputtering conditions are a gas pressure of 0.28 Pa, an input power of 500 W, and a target of Ti. The film thickness of the adhesion layer 2 is 5 nm. These numerical values are specific examples and are not limited thereto.

次いで、密着層2上に、軟磁性裏打ち層3としてCoTaZr膜をDCスパッタリングにより形成した。スパッタリング条件は、ガス圧0.28Pa、投入電力400Wとし、ターゲットの組成はCo88Ta10Zr(at%)とする。また、軟磁性裏打ち層3の膜厚は100nmとする。なお、量産性の観点からこの軟磁性裏打ち層3の厚さはなるべく薄くすることが好ましいが、薄すぎると磁束を通しづらくなる。そこで、50nmから150nmの範囲の厚さとするのが好ましく、本実施形態では100nmとしている。 Next, a CoTaZr film as a soft magnetic backing layer 3 was formed on the adhesion layer 2 by DC sputtering. The sputtering conditions are a gas pressure of 0.28 Pa, an input power of 400 W, and the target composition is Co 88 Ta 10 Zr 2 (at%). The thickness of the soft magnetic backing layer 3 is 100 nm. From the viewpoint of mass productivity, it is preferable to make the thickness of the soft magnetic backing layer 3 as thin as possible. However, if it is too thin, it is difficult to pass magnetic flux. Therefore, the thickness is preferably in the range of 50 nm to 150 nm, and in the present embodiment, the thickness is set to 100 nm.

次に、軟磁性裏打ち層3上に、下地層4としてPdSi合金膜をDCマグネトロンスパッタ法により形成する。PdSi合金はPdターゲット及びSiターゲットを同時放電し、各ターゲットへの投入電力を調整することでPdSi合金組成を調整する。また、ここで下地層の膜厚は10nmとしている。磁気ヘッドから軟磁性層までの距離はできるだけ短い方がいいが、あまり膜厚が薄すぎると前述の組織制御がうまく作用しなくなってしまう。そこで、一般的には下地層の膜厚は、5nmから15nmにするのが好ましく、少なくとも20nm以下である必要がある。   Next, a PdSi alloy film is formed as a base layer 4 on the soft magnetic backing layer 3 by a DC magnetron sputtering method. The PdSi alloy simultaneously discharges the Pd target and the Si target, and adjusts the power applied to each target to adjust the PdSi alloy composition. Here, the thickness of the underlayer is 10 nm. The distance from the magnetic head to the soft magnetic layer should be as short as possible. However, if the film thickness is too thin, the above-described structure control will not work well. Therefore, in general, the thickness of the underlayer is preferably 5 nm to 15 nm, and needs to be at least 20 nm or less.

なお、本実施形態においては、下地層としてPd(パラジウム)を含む材料を用いているが、その他Y(イットリウム)、Zr(ジルコニウム)、Ti(チタン)、Hf(ハフニウム)、Cr(クロム)、Pt(白金)及びV(バナジウム)を含む合金を用いてもPdを用いた場合と同様の効果が得られる。   In this embodiment, a material containing Pd (palladium) is used for the underlayer, but other materials such as Y (yttrium), Zr (zirconium), Ti (titanium), Hf (hafnium), Cr (chromium), Even when an alloy containing Pt (platinum) and V (vanadium) is used, the same effect as that obtained when Pd is used can be obtained.

次に、下地層4上に、記録層5としてCo/Pd多層膜磁性膜を形成する。多層膜は、Arガスを用いて、DCマグネトロンスパッタ法でPdターゲット、Coターゲットを放電し、各ターゲット上についたシャッターを開閉することによって、0.2nm厚のCoと0.7nm厚のPdを交互に下地層4上に積層する方法で形成する。積層数は各20層とし、スパッタリング条件はガス圧0.8Pa、Coターゲット、Pdターゲット共に投入電力100Wとする。なお、多層膜の1つの層は、トータルで1nm未満とするのが好ましく、上述のようにCo膜厚:Pd膜厚=2:7の他、3:7としてもよい。この条件であれば、高い垂直磁気異方性を示す。   Next, a Co / Pd multilayer magnetic film is formed as the recording layer 5 on the underlayer 4. The multilayer film uses Ar gas to discharge Pd targets and Co targets by DC magnetron sputtering, and opens and closes a shutter on each target, so that 0.2 nm thick Co and 0.7 nm thick Pd are formed. It forms by the method of laminating | stacking on the base layer 4 by turns. The number of stacked layers is 20 layers, and the sputtering conditions are a gas pressure of 0.8 Pa, a Co target, and a Pd target with an input power of 100 W. One layer of the multilayer film is preferably less than 1 nm in total, and as described above, Co film thickness: Pd film thickness = 2: 7, or 3: 7. Under this condition, high perpendicular magnetic anisotropy is exhibited.

最後に、記録層5上に、保護層6としてアモルファスカーボン膜をDCスパッタリングにより形成する。スパッタリング条件はガス圧0.20Pa、投入電力300Wとし、保護層6の膜厚は3nmとしている。   Finally, an amorphous carbon film is formed as a protective layer 6 on the recording layer 5 by DC sputtering. The sputtering conditions are a gas pressure of 0.20 Pa, an input power of 300 W, and the thickness of the protective layer 6 is 3 nm.

(比較例1)
比較例1では下地層4として、Pd層を用いた。それ以外は第1の実施形態と同様にして作製する。そして、第1の実施形態、比較例1について、結晶性を測定するためにX線回折により評価する。その評価結果は図2に示すようになる。図2において、横軸は2θ(回折角)、縦軸はX線の強度を示している。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, a Pd layer was used as the base layer 4. Other than that, it produces similarly to 1st Embodiment. The first embodiment and Comparative Example 1 are evaluated by X-ray diffraction in order to measure crystallinity. The evaluation result is as shown in FIG. In FIG. 2, the horizontal axis represents 2θ (diffraction angle) and the vertical axis represents the intensity of X-rays.

第1の実施形態及び比較例1共に、Co/Pd多層膜の(111)に起因するピーク(各層の面間隔に相当)が41°付近に観測される。これによれば、下地層を変えてもCoPd層のピークに影響を与えないことが分かる。   In both the first embodiment and the first comparative example, a peak (corresponding to the surface spacing of each layer) due to (111) of the Co / Pd multilayer film is observed around 41 °. According to this, it can be seen that changing the underlayer does not affect the peak of the CoPd layer.

一方、比較例1の場合、下地層Pdのピークが40.2°に観測されるのに対し、第1の実施形態の下地層に起因するピーク強度はSi添加量と共に減少し、13at%においては、ほとんどピークが観測されない。つまり、第1の実施形態では下地層の結晶格子が崩れていることが分かる。   On the other hand, in the case of Comparative Example 1, the peak of the underlayer Pd is observed at 40.2 °, whereas the peak intensity due to the underlayer of the first embodiment decreases with the Si addition amount, and at 13 at%. Almost no peaks are observed. That is, it can be seen that the crystal lattice of the underlayer is broken in the first embodiment.

この変化を調べるため、第1の実施形態のSi添加量が13at%の試料と比較例1の試料の断面及び平面透過原子顕微鏡(TEM)観察を行った。その結果を図3に示す。図3Aは試料の断面TEM像を示し、図3Bは試料の平面TEM像を示している。   In order to investigate this change, the cross section and the plane transmission atomic microscope (TEM) observation of the sample with the Si addition amount of 13 at% of the first embodiment and the sample of Comparative Example 1 were performed. The result is shown in FIG. FIG. 3A shows a cross-sectional TEM image of the sample, and FIG. 3B shows a planar TEM image of the sample.

図3Aの断面TEM像から、比較例1の試料では結晶質の下地層であるのに対し、Si添加量13at%の試料では、下地層が非晶質になっていることがわかる。つまり、図3Aの下地層部分を見ると、比較例1の場合には結晶格子が明瞭に観察されるのに対して、本実施形態の場合には結晶は不明瞭で非結晶化していることが分かる。また、図3Bの平面TEM像からも、Siの添加に伴い第1の実施形態のCo/Pd多層膜の結晶粒径が微小化していることがわかる。   From the cross-sectional TEM image of FIG. 3A, it can be seen that the sample of Comparative Example 1 is a crystalline underlayer, whereas the sample with a Si addition amount of 13 at% is amorphous. 3A shows that the crystal lattice is clearly observed in Comparative Example 1, whereas the crystal is unclear and non-crystallized in this embodiment. I understand. 3B also shows that the crystal grain size of the Co / Pd multilayer film of the first embodiment is miniaturized with the addition of Si.

図4にSi添加量と結晶粒径の関係について示す。Si添加量に伴い、結晶粒径は12nmから6nmとほぼ半分に減少している。
表1に、平面TEM像解析から得られた実施例1と比較例1の結晶粒径を示す。
FIG. 4 shows the relationship between the Si addition amount and the crystal grain size. With the addition amount of Si, the crystal grain size is reduced to almost half from 12 nm to 6 nm.
Table 1 shows the crystal grain sizes of Example 1 and Comparative Example 1 obtained from planar TEM image analysis.

Figure 2008021365
Figure 2008021365

以上の実験結果から、同じ材料を使っても結晶性の変化に伴い、Co/Pd多層膜の結晶粒径の変化が生じることがわかる。下地層の結晶質の変化が影響したと考えられ、結晶性が劣化することに伴い下地層の結晶配向面の影響が小さくなり、下地層の材料固有である表面エネルギーがCo/Pd多層膜に強く影響を及ぼしたと考えられる。   From the above experimental results, it can be seen that even when the same material is used, the crystal grain size of the Co / Pd multilayer film changes as the crystallinity changes. It is thought that the change in the crystallinity of the underlayer affected, and as the crystallinity deteriorates, the influence of the crystal orientation plane of the underlayer is reduced, and the surface energy inherent to the material of the underlayer is reduced in the Co / Pd multilayer film. It is thought that it had a strong influence.

(比較例2)
比較例2では下地層3として、Ta87Si13(at%)層を用いている。それ以外は第1の実施形態と同様である。
比較例2の試料のX線回折を測定し、下地層が非晶質になっていることを確認した。比較例2の平面TEM像から求めた結晶粒径を表2に示す。
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, a Ta 87 Si 13 (at%) layer is used as the underlayer 3. The rest is the same as in the first embodiment.
X-ray diffraction of the sample of Comparative Example 2 was measured, and it was confirmed that the underlayer was amorphous. Table 2 shows the crystal grain size obtained from the planar TEM image of Comparative Example 2.

Figure 2008021365
Figure 2008021365

比較例2の結晶粒径は、Siを加えたにも拘わらず比較例1よりも大きくなっている。この理由は、下地層の主成分であるTaの表面エネルギーがCoやPdよりも大きいためである。つまり、下地層上に形成するCo及びPdは表面エネルギーを下げるために層状成長し易くなるためと考えられる。   The crystal grain size of Comparative Example 2 is larger than that of Comparative Example 1 despite the addition of Si. This is because the surface energy of Ta, which is the main component of the underlayer, is larger than Co and Pd. In other words, it is considered that Co and Pd formed on the underlayer are easily grown in layers in order to reduce the surface energy.

次に第1の実施形態、比較例1及び比較例2の記録再生特性の評価について説明する。記録再生特性を評価する際には、下地層下部に軟磁性裏打ち層CoTaZrを100nm形成する。この軟磁性裏打ち層は記録磁場を強める効果があるので、記録特性を向上させることができる。   Next, the evaluation of the recording / reproduction characteristics of the first embodiment, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 will be described. When evaluating the recording / reproducing characteristics, a soft magnetic backing layer CoTaZr is formed to a thickness of 100 nm below the underlayer. Since the soft magnetic underlayer has an effect of increasing the recording magnetic field, the recording characteristics can be improved.

第1の実施形態及び比較例1による情報記録媒体の保護層上に1nmの厚さの潤滑剤を塗布した後、その情報記録媒体を、図5に示した情報記録再生装置50内に装着して記録再生特性を評価する。   After applying a 1 nm thick lubricant on the protective layer of the information recording medium according to the first embodiment and the comparative example 1, the information recording medium is mounted in the information recording / reproducing apparatus 50 shown in FIG. To evaluate the recording and playback characteristics.

図5における情報記録再生装置50では、図示しない上位装置から記録あるいは再生制御信号が記録/再生制御端子を介して記録/再生制御回路53に入力される。また、記録/再生回路54は、記録/再生データ端子を介して上位装置へ再生データを出力し、或いは上位装置から記録データを受信する。   In the information recording / reproducing apparatus 50 in FIG. 5, a recording or reproduction control signal is input to a recording / reproduction control circuit 53 from a host apparatus (not shown) via a recording / reproduction control terminal. Further, the recording / reproducing circuit 54 outputs the reproduction data to the host device via the recording / playback data terminal or receives the recording data from the host device.

そして、記録/再生制御回路53は、記録/再生制御信号により、半導体レーザー駆動回路55に対し記録または再生に応じたレーザー駆動電流を出力するよう指示する。また、記録/再生制御回路53は、記録/再生回路54に対し記録データまたは再生データを処理するよう指示し、記録手段および再生手段である磁気ヘッド駆動回路52に対し記録信号または再生信号を処理するよう指示する。   Then, the recording / reproducing control circuit 53 instructs the semiconductor laser driving circuit 55 to output a laser driving current corresponding to the recording or reproducing by the recording / reproducing control signal. The recording / reproducing control circuit 53 instructs the recording / reproducing circuit 54 to process the recording data or the reproducing data, and processes the recording signal or the reproducing signal to the magnetic head driving circuit 52 which is the recording unit and the reproducing unit. Instruct them to do so.

半導体レーザー駆動回路55は、記録または再生に応じた駆動電流で半導体レーザー56を駆動する。半導体レーザー56は半導体レーザー駆動回路55からの駆動電流の大きさに応じた強さのレーザービームを出射し、微小光学ヘッド57に照射する。   The semiconductor laser drive circuit 55 drives the semiconductor laser 56 with a drive current corresponding to recording or reproduction. The semiconductor laser 56 emits a laser beam having an intensity corresponding to the magnitude of the drive current from the semiconductor laser drive circuit 55 and irradiates the micro optical head 57.

図6は、記録/再生ヘッド60の概略構成を示す断面図である。この記録/再生ヘッド60は、磁気ヘッド51(記録用磁気ヘッド61及び再生用磁気ヘッド62)と熱アシスト時に用いられる光照射部を構成する微小光学ヘッド57とを備えている。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the recording / reproducing head 60. The recording / reproducing head 60 includes a magnetic head 51 (recording magnetic head 61 and reproducing magnetic head 62) and a micro optical head 57 that constitutes a light irradiation unit used during heat assist.

図6において、磁気ヘッド51には波長405nmレーザーを発生する光レーザーと開口部が一体化した光照射部(微小光学ヘッド57)が組み込まれており、熱アシスト記録による情報記録を実行する際には、媒体10を加熱することができる。例えば、記録用磁気ヘッドとしては薄膜磁気ヘッド、再生用磁気ヘッドとしてはスピンバルブ型磁気ヘッドを用いることができ、これらと光照射部は一体化されている。   In FIG. 6, the magnetic head 51 incorporates a light irradiator (micro optical head 57) in which an optical laser that generates a laser having a wavelength of 405 nm and an opening are integrated, and when performing information recording by heat-assisted recording. Can heat the medium 10. For example, a thin film magnetic head can be used as the recording magnetic head, and a spin valve magnetic head can be used as the reproducing magnetic head, and these and the light irradiation unit are integrated.

図6に示されるように、ヘッド構造としては、記録用磁気ヘッド61(トレーリングシールド付、トレーリングシールドギャップ長Gts=35nm、Tw=70−100nm、磁束密度2.45T)、再生用磁気ヘッド62(Twr=60nm、Gs=50nm、MR比=13%)を用いている。再生用磁気ヘッド62は磁気シールド63により再生ヘッド直下のビットからもれる磁束を検出することができる。この一体型磁気ヘッド60は、磁気ヘッド用駆動回路52により制御され、情報記録再生装置50の磁気ヘッド面と情報記録媒体面との距離は5nmに保たれている。そして、磁気ヘッド駆動装置52は、磁気ヘッド51に対して情報記録媒体10を相対的に駆動する。   As shown in FIG. 6, the head structure includes a recording magnetic head 61 (with trailing shield, trailing shield gap length Gts = 35 nm, Tw = 70-100 nm, magnetic flux density 2.45 T), reproducing magnetic head. 62 (Twr = 60 nm, Gs = 50 nm, MR ratio = 13%) is used. The reproducing magnetic head 62 can detect the magnetic flux leaking from the bit immediately below the reproducing head by the magnetic shield 63. The integrated magnetic head 60 is controlled by a magnetic head drive circuit 52, and the distance between the magnetic head surface of the information recording / reproducing apparatus 50 and the information recording medium surface is kept at 5 nm. The magnetic head driving device 52 drives the information recording medium 10 relative to the magnetic head 51.

この情報記録再生装置50の磁気ヘッド51により、情報記録媒体10の記録層4の膜面に対して垂直方向の磁化を与え、かつ、軟磁性裏打ち層6の膜面に対して平行方向の磁化を与え、記録層及び軟磁性裏打ち層6と協働して磁気回路を構成することができる。   Magnetization in a direction perpendicular to the film surface of the recording layer 4 of the information recording medium 10 is given by the magnetic head 51 of the information recording / reproducing apparatus 50, and magnetization in a direction parallel to the film surface of the soft magnetic backing layer 6. And a magnetic circuit can be constructed in cooperation with the recording layer and the soft magnetic backing layer 6.

この情報記録媒体10を用いて、線記録密度20kFCIの信号を記録した際の再生出力(Slf)とし、線記録密度1000kFCIでのノイズ(Nd)との比を情報記録媒体の記録再生特性(Slf/Nd比)として評価した。記録は、光レーザーに10mWのパワーを印加して記録媒体を加熱しながら行った。表3にSlf/Nd比の測定結果を示す。   This information recording medium 10 is used as a reproduction output (Slf) when a signal having a linear recording density of 20 kFCI is recorded, and a ratio with a noise (Nd) at a linear recording density of 1000 kFCI is a recording / reproduction characteristic (Slf) of the information recording medium. / Nd ratio). Recording was performed while heating the recording medium by applying a power of 10 mW to the optical laser. Table 3 shows the measurement results of the Slf / Nd ratio.

Figure 2008021365
Figure 2008021365

<第2の実施形態>
第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の膜構造で記録再生評価を行っている。その際に、第1の実施形態とは異なり、記録時の熱アシストは行わず(つまり、図5の微小光ヘッド57からのレーザー照射をOFFにする)、室温で記録を行う通常の垂直磁気記録で行う。また、第1の実施形態と同様に、線記録密度20kFCIの信号を記録した際の再生出力(Slf)とし、線記録密度1000kFCIでのノイズ(Nd)との比を情報記録媒体の記録再生特性(Slf/Nd比)として評価する。表4にSlf/Nd比の測定結果を示す。なお、表4には比較のために、比較例1の媒体に対しても、垂直磁気記録を行った場合の記録再生特性も併せて示している。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, the recording / reproduction evaluation is performed with the same film structure as in the first embodiment. At that time, unlike the first embodiment, thermal assist during recording is not performed (that is, the laser irradiation from the minute optical head 57 in FIG. 5 is turned off), and normal perpendicular magnetic recording is performed at room temperature. Do it by recording. Similarly to the first embodiment, the reproduction output (Slf) when a signal with a linear recording density of 20 kFCI is recorded, and the ratio with the noise (Nd) at a linear recording density of 1000 kFCI is the recording / reproduction characteristic of the information recording medium. Evaluation is made as (Slf / Nd ratio). Table 4 shows the measurement results of the Slf / Nd ratio. For comparison, Table 4 also shows the recording / reproducing characteristics when perpendicular magnetic recording is performed on the medium of Comparative Example 1.

Figure 2008021365
Figure 2008021365

このように従来の垂直磁気記録方式でも、第2の実施形態の方が比較例1及び比較例2よりも優れた記録再生特性を示すことが分かる。   Thus, it can be seen that, even in the conventional perpendicular magnetic recording system, the second embodiment exhibits better recording and reproduction characteristics than Comparative Example 1 and Comparative Example 2.

<第3の実施形態>
第3の実施形態では、Coよりも表面エネルギーの低い種々の合金材料を用いて下地層4を形成し、第1の実施形態と同様の膜構造を採用している。
<Third Embodiment>
In the third embodiment, the underlayer 4 is formed using various alloy materials having a surface energy lower than that of Co, and the same film structure as that of the first embodiment is employed.

表5は、作製した磁気記録媒体の下地層の材料、磁気特性及び線記録密度20kFCIの信号を記録した際の再生出力(Slf)とし、線記録密度1000kFCIでのノイズ(Nd)との比を情報記録媒体の記録再生特性(Slf/Nd比)結果を示している。なお、記録時には光レーザーで媒体を加熱する熱アシスト磁気記録方式及び光レーザーを用いない、垂直磁気記録方式双方の記録再生評価を行っている。   Table 5 shows the material of the underlayer of the produced magnetic recording medium, the magnetic characteristics, and the reproduction output (Slf) when recording a signal with a linear recording density of 20 kFCI, and the ratio with the noise (Nd) at a linear recording density of 1000 kFCI. The recording / reproduction characteristic (Slf / Nd ratio) result of the information recording medium is shown. During recording, both the thermally assisted magnetic recording method in which the medium is heated with an optical laser and the perpendicular magnetic recording method without using the optical laser are evaluated.

Figure 2008021365
Figure 2008021365

なお、下地層の膜厚は20nm以下であることが望ましい。これは、記録ヘッドと軟磁性裏打ち層とのスペーシングを近づける方が記録特性を向上させるからである。   Note that the thickness of the underlayer is desirably 20 nm or less. This is because the closer the spacing between the recording head and the soft magnetic underlayer, the better the recording characteristics.

上述の各実施形態では、情報記録媒体の基板材料としてガラスを用いた例を説明したが、本発明はこれに限定されない。場合によっては、アルミニウム、ポリカーボネードなどのプラスチック、あるいは、樹脂等を用いても良い。   In each of the above-described embodiments, the example in which glass is used as the substrate material of the information recording medium has been described, but the present invention is not limited to this. In some cases, a plastic such as aluminum or polycarbonate, or a resin may be used.

また、各実施形態では、情報記録媒体の軟磁性裏打ち層としてCoTaZr膜を設けた例を用いて説明したが、本発明はこれに限定されない。軟磁性裏打ち層としては、FeTaC、FeTaN、FeAlSi、FeC、CoB、CoTaNb、NiFe、あるいは、それらの軟磁性膜とC膜の積層膜であっても良い。ただ、CoTaZr膜はもっとも望ましい。   Moreover, although each embodiment demonstrated using the example which provided the CoTaZr film | membrane as a soft magnetic backing layer of an information recording medium, this invention is not limited to this. The soft magnetic backing layer may be FeTaC, FeTaN, FeAlSi, FeC, CoB, CoTaNb, NiFe, or a laminated film of these soft magnetic films and C films. However, the CoTaZr film is most desirable.

さらに、各実施形態では下地層を非結質化する元素をSiとしているが、これに限られず、C(カーボン)やB(ホウ素:ボロン)を用いることも可能である。   Furthermore, in each embodiment, Si is used as an element for deconsolidating the underlayer, but the present invention is not limited to this, and C (carbon) or B (boron: boron) can also be used.

以上のように、本発明の実施形態による磁気記録媒体によれば、下地層上に形成され、Coを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料である記録層を備え、この下地層は、Coよりも表面エネルギーが低く、磁性材料でない元素を含む材料で形成されているので、記録再生特性を有する情報記録媒体及びそれを備えた情報記録再生装置を提供することができる。   As described above, according to the magnetic recording medium according to the embodiment of the present invention, the recording is a magnetic material that is formed on the underlayer and alternately stacks the layer mainly composed of Co and the layer mainly composed of Pd. Since the underlayer has a surface energy lower than that of Co and is formed of a material containing an element that is not a magnetic material, an information recording medium having recording / reproducing characteristics and an information recording / reproducing apparatus including the same are provided. can do.

ここで、例えば、Y、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、PtあるいはY、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Ptを主成分とする合金層で構成された下地層上に記録層がCoを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性記録層を構成する構造を採用することにより、具体的に上記情報記録媒体が実現される。   Here, for example, a recording layer is formed on an underlayer composed of Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, Pt or an alloy layer mainly composed of Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, Pt. The information recording medium is specifically realized by adopting a structure that forms a magnetic recording layer in which layers containing Co as a main component and layers containing Pd as a main component are alternately laminated.

第1の実施形態による情報記録媒体の断面構造を示す図である。It is a figure which shows the cross-section of the information recording medium by 1st Embodiment. 第1の実施形態と比較例1のX線回折測定結果を示すグラフである。It is a graph which shows the X-ray-diffraction measurement result of 1st Embodiment and the comparative example 1. FIG. 第1の実施形態及び比較例1の透過電子顕微鏡像を示す図である。It is a figure which shows the transmission electron microscope image of 1st Embodiment and the comparative example 1. FIG. 第1の実施形態及び比較例1のSi添加量と結晶粒径の関係について示す図である。It is a figure shown about the relationship between Si addition amount of 1st Embodiment and Comparative Example 1 and a crystal grain diameter. 本発明による情報記録媒体を備えた情報記録装置の概略図である。It is the schematic of the information recording device provided with the information recording medium by this invention. 磁気ヘッドの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a magnetic head.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 密着層
3 軟磁性裏打ち層
4 下地層
5 記録層
6 保護層
10 情報記録媒体
50 情報記録再生装置
51 磁気ヘッド
52 磁気ヘッド駆動系
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Adhesion layer 3 Soft magnetic backing layer 4 Underlayer 5 Recording layer 6 Protective layer 10 Information recording medium 50 Information recording / reproducing apparatus 51 Magnetic head 52 Magnetic head drive system

Claims (10)

残留磁化が膜面内方向より膜面に対して垂直方向の方が大きい垂直磁気記録方式で用いられる情報記録媒体であって、
下地層と、
前記下地層上に形成され、Coを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料である記録層と、を備え、
前記下地層は、Coよりも表面エネルギーが低く、磁性材料でない元素を含む材料で形成されていることを特徴とする情報記録媒体。
An information recording medium used in a perpendicular magnetic recording system in which the remanent magnetization is larger in the direction perpendicular to the film surface than in the film surface direction,
An underlayer,
A recording layer that is a magnetic material formed on the underlayer and alternately stacks a layer containing Co as a main component and a layer containing Pd as a main component;
The information recording medium according to claim 1, wherein the underlayer is made of a material having a surface energy lower than that of Co and containing an element that is not a magnetic material.
前記下地層は、Y、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Pt及びVのうち少なくとも一つの元素を主成分として含む材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載の情報記録媒体。   2. The information recording medium according to claim 1, wherein the underlayer is formed of a material containing at least one element of Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, Pt, and V as a main component. . 前記下地層を形成する材料は、さらに前記下地層の結晶構造を非晶質化する元素を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の情報記録媒体。   3. The information recording medium according to claim 1, wherein the material forming the underlayer further contains an element that makes the crystal structure of the underlayer amorphous. 前記下地層の膜厚は、20nm以下であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to any one of claims 1 to 3, wherein the underlayer has a thickness of 20 nm or less. 垂直磁気記録方式で用いられる情報記録媒体の製造方法であって、
基板上に密着層を形成する工程と、
前記密着層上に軟磁性裏打ち層を形成する工程と、
前記軟磁性裏打ち層上に下地層を形成する工程と、
前記下地層上に記録層を形成する工程と、
前記記録層上に保護層を形成する工程と、を備え、
前記記録層はCoを主成分とする層とPdを主成分とする層を交互に積層する磁性材料で形成され、前記下地層はCoよりも表面エネルギーが低く、磁性材料でない元素を含む材料で形成されることを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
A method of manufacturing an information recording medium used in a perpendicular magnetic recording method,
Forming an adhesion layer on the substrate;
Forming a soft magnetic backing layer on the adhesion layer;
Forming an underlayer on the soft magnetic underlayer;
Forming a recording layer on the underlayer;
Forming a protective layer on the recording layer,
The recording layer is formed of a magnetic material in which a layer containing Co as a main component and a layer containing Pd as a main component are alternately stacked. The underlayer has a surface energy lower than that of Co and contains an element that is not a magnetic material. A method for producing an information recording medium, characterized in that the information recording medium is formed.
前記下地層は、Y、Zr、Pd、Ti、Hf、Cr、Pt及びVのうち少なくとも一つの元素を主成分として含む材料で形成されることを特徴とする請求項5に記載の情報記録媒体の製造方法。   6. The information recording medium according to claim 5, wherein the underlayer is formed of a material containing at least one element of Y, Zr, Pd, Ti, Hf, Cr, Pt, and V as a main component. Manufacturing method. 前記下地層を形成する材料は、さらに前記下地層の結晶構造を非晶質化する元素を含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の情報記録媒体の製造方法。   7. The method of manufacturing an information recording medium according to claim 5, wherein the material forming the underlayer further includes an element that makes the crystal structure of the underlayer amorphous. 前記軟磁性裏打ち層の膜厚は150nm以下であり、前記下地層の膜厚は20nm以下であり、前記記録層の膜厚は20nm以下であることを特徴とする請求項5乃至7の何れか1項に記載の情報記録媒体の製造方法。   The film thickness of the soft magnetic underlayer is 150 nm or less, the film thickness of the underlayer is 20 nm or less, and the film thickness of the recording layer is 20 nm or less. 2. A method for producing an information recording medium according to item 1. 請求項1乃至4の何れか1項に記載の情報記録媒体に対して、その情報記録媒体の記録層の膜面に対して垂直方向の磁化を与える磁気ヘッドと、
前記情報記録媒体を前記磁気ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動手段と
を備えることを特徴とする情報記録再生装置。
A magnetic head that gives magnetization in the direction perpendicular to the film surface of the recording layer of the information recording medium to the information recording medium according to any one of claims 1 to 4,
An information recording / reproducing apparatus comprising: drive means for driving the information recording medium relative to the magnetic head.
請求項1乃至4の何れか1項に記載の情報記録媒体に対して、その情報記録媒体の記録層を加熱しながら膜面に対して垂直方向の磁化を与える媒体加熱機構を備える磁気ヘッドと、
前記情報記録媒体を前記磁気ヘッドに対して相対的に駆動するための駆動手段と、
を備えることを特徴とする情報記録再生装置。
5. A magnetic head comprising a medium heating mechanism that applies magnetization to the information recording medium according to claim 1 in a direction perpendicular to the film surface while heating the recording layer of the information recording medium; ,
Driving means for driving the information recording medium relative to the magnetic head;
An information recording / reproducing apparatus comprising:
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