JP2008011583A - Linear motor - Google Patents

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JP2008011583A JP2006175984A JP2006175984A JP2008011583A JP 2008011583 A JP2008011583 A JP 2008011583A JP 2006175984 A JP2006175984 A JP 2006175984A JP 2006175984 A JP2006175984 A JP 2006175984A JP 2008011583 A JP2008011583 A JP 2008011583A
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permanent magnet
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slider
linear motor
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Satoru Suzuki
悟 鈴木
Naokazu Yokoyama
直和 横山
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IAI Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear motor in which an impact of flux leakage on a magnetic encoder can be reduced without enlarging a device. <P>SOLUTION: In a linear motor comprising a housing, a permanent magnet contained and arranged in the housing, a slider installed slidably on the housing, and a magnetic linear encoder composed of a coil fixed to the slider and a head having a magnetic scale fixed to the housing and a sensor fixed to the slider, a magnetic shield member composed of a soft magnetic material is interposed between the magnetic linear encoder and the permanent magnet and the head is made of a soft magnetic material. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ハウジング側に永久磁石を設置し、一方、ハウジングに対して移動可能に設置されたスライダ側にコイルを設置し、該コイルに電流を流すことにより永久磁石とコイルとの関係によってスライダを移動させるリニアモータに係り、特に、そこに使用されている磁気式リニアエンコーダと上記永久磁石との間に永久磁石側からの漏れ磁束を遮断する磁気シールド部材を設置し、それによって、磁気式リニアエンコーダが漏れ磁束の影響で誤動作することを防止することができるように工夫したものに関する。   In the present invention, a permanent magnet is installed on the housing side, while a coil is installed on the slider side that is movably installed with respect to the housing, and a current is passed through the coil so that the slider is controlled by the relationship between the permanent magnet and the coil. In particular, a magnetic shield member for blocking leakage magnetic flux from the permanent magnet side is installed between the magnetic linear encoder used in the linear motor and the permanent magnet. The present invention relates to a linear encoder that can be prevented from malfunctioning due to the influence of leakage magnetic flux.

従来のリニアモータは、例えば、図5に示すような構成になっている。図5(a)はリニアモータの横断面図であり、図5(b)は図5(a)のb部を拡大して示す横断面図である。まず、ハウジング101があり、このハウジング101は、ベース103と、このベース103の上方に設置されたケース105とから構成されている。上記ケース105の中心位置には、複数個の永久磁石107が筒体109内に収容された状態で積層・配置されている。   A conventional linear motor has a configuration as shown in FIG. 5, for example. Fig.5 (a) is a cross-sectional view of a linear motor, FIG.5 (b) is a cross-sectional view which expands and shows the b section of Fig.5 (a). First, there is a housing 101, and the housing 101 is composed of a base 103 and a case 105 installed above the base 103. A plurality of permanent magnets 107 are stacked and disposed in the center position of the case 105 in a state where the permanent magnets 107 are accommodated in the cylindrical body 109.

一方、上記ケース105の上部には開口部111が形成されていて、この開口部111に沿って軸方向に移動可能な状態でスライダ113が設置されている。このスライダ113の下面側にはブラケット115が取り付けられていて、このブラケット115にはコイル117が取り付けられている。上記コイル117は上記永久磁石105の外周側に設置されている。   On the other hand, an opening 111 is formed in the upper part of the case 105, and a slider 113 is installed so as to be movable in the axial direction along the opening 111. A bracket 115 is attached to the lower surface side of the slider 113, and a coil 117 is attached to the bracket 115. The coil 117 is installed on the outer peripheral side of the permanent magnet 105.

そして、上記コイル117に適宜の方向の電流を流すことにより、永久磁石107とコイル117との関係によってスライダ113が適宜の方向に移動することになる。   Then, by passing a current in an appropriate direction through the coil 117, the slider 113 moves in an appropriate direction depending on the relationship between the permanent magnet 107 and the coil 117.

又、上記スライダ113と上記ベース103の間には磁気式エンコーダ119が設置されている。この磁気式エンコーダ119は、ヘッド121と、該ヘッド119内に組み込まれたセンサ123と、上記ベース103側に取り付けられた磁気スケール125とから構成されている。この磁気スケール125には着磁ピッチαmmにて多極着磁が施されている。上記センサ123と磁気スケール125との関係によってスライダ113の位置を検出するものである。   A magnetic encoder 119 is installed between the slider 113 and the base 103. The magnetic encoder 119 includes a head 121, a sensor 123 incorporated in the head 119, and a magnetic scale 125 attached to the base 103 side. The magnetic scale 125 is multipolarized with a magnetization pitch αmm. The position of the slider 113 is detected by the relationship between the sensor 123 and the magnetic scale 125.

すなわち、上記スライダ113が移動すると、スライダ113に取り付けられている上記センサ123が全ストロークにわたって磁気スケール125との間で磁束変化を検出する。検出された信号はヘッド121内にて増幅されて出力される。具体的には、A相(サイン波)、A相に対して90°位相がずれたB相(コサイン波)、両端の概略ストローク長に位置する二つのZ相の信号である。   That is, when the slider 113 moves, the sensor 123 attached to the slider 113 detects a change in magnetic flux with the magnetic scale 125 over the entire stroke. The detected signal is amplified in the head 121 and output. Specifically, they are an A phase (sine wave), a B phase (cosine wave) that is 90 ° out of phase with respect to the A phase, and two Z phase signals positioned at the approximate stroke length at both ends.

尚、リニアエンコーダとしては、上記したような磁気式のもの以外にも光学式のものもある。光学式のリニアエンコーダの場合には、光の反射を利用する構成になっているので、スケールに異物、例えば、油、埃、塵等が付着している場合には、光センサが反射光を検出することができなくなってしまい、そのため、スケールを常時清浄に保持しなければならない。
これに対して、磁気式のリニアエンコーダの場合にはそのような管理は不要であるという利点がある。
Note that there are optical encoders other than the magnetic encoders as described above. In the case of an optical linear encoder, since it is configured to use reflection of light, when a foreign object such as oil, dust, or dust adheres to the scale, the optical sensor emits reflected light. It becomes impossible to detect, so the scale must be kept clean at all times.
On the other hand, in the case of a magnetic linear encoder, there is an advantage that such management is unnecessary.

又、上記スライダ113とハウジング101との間に設置されたガイド機構について説明する。まず、ベース103は浅い凹部形状となっていて、その左右両内側面には一対のガイドレール131、131が設置されている。一方、スライダ113側の下端部であって左右両側部にはガイド部材133、133が設置されている。上記ガイドレール131、131とガイド部材133、133との間には複数個のボール135が設置されている。そして、上記スライダ113は上記ガイド部材133、133、ボール135、135を介してガイドレール131、131に沿って移動するものである。   A guide mechanism installed between the slider 113 and the housing 101 will be described. First, the base 103 has a shallow concave shape, and a pair of guide rails 131 and 131 are provided on both the left and right inner surfaces thereof. On the other hand, guide members 133 and 133 are installed at the lower end on the slider 113 side and on both the left and right sides. A plurality of balls 135 are installed between the guide rails 131 and 131 and the guide members 133 and 133. The slider 113 moves along the guide rails 131 and 131 via the guide members 133 and 133 and the balls 135 and 135.

上記従来の構成によると次のような問題があった。すなわち、永久磁石107の外周にコイル117が設置されていて、ヨークが存在しない構成になっているので、磁気回路が閉じられておらず、その結果、大きな磁束漏れが発生してしまうことになる。このような磁束漏れが発生した場合には、それが磁気式エンコーダ119に影響を与えてしまい、磁気式エンコーダ119の検出精度が低下してしまうという問題があった。
又、このような問題を解決するために磁気式エンコーダ119を永久磁石107に対して大きく離間させることが考えられる。しかしながら、それでは、装置が大型化してしまうことになる。又、単に磁気式エンコーダ119を永久磁石105に対して離間させるだけでは磁束漏れの影響を排除するには至らなかった。
The conventional configuration has the following problems. That is, since the coil 117 is installed on the outer periphery of the permanent magnet 107 and the yoke is not present, the magnetic circuit is not closed, and as a result, a large magnetic flux leakage occurs. . When such a magnetic flux leakage occurs, there is a problem that it affects the magnetic encoder 119 and the detection accuracy of the magnetic encoder 119 is lowered.
In order to solve such a problem, it can be considered that the magnetic encoder 119 is largely separated from the permanent magnet 107. However, this would increase the size of the device. Further, simply separating the magnetic encoder 119 from the permanent magnet 105 has not eliminated the influence of magnetic flux leakage.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、装置を大型化させることになく磁束漏れの磁気式エンコーダに対する影響を軽減させることが可能なリニアモータを提供することにある。   The present invention has been made based on such points, and an object thereof is to provide a linear motor capable of reducing the influence of magnetic flux leakage on a magnetic encoder without increasing the size of the apparatus. It is in.

尚、本願発明の先行技術として、例えば、特許文献1がある。   As a prior art of the present invention, for example, there is Patent Document 1.

特開2004−343874号公報JP 2004-343874 A

上記目的を達成するべく本願発明の請求項1によるリニアモータは、ハウジングと、上記ハウジング内にシャフト状に収容・設置された永久磁石と、上記ハウジングに移動可能に設置されたスライダと、上記スライダに取り付けられ上記永久磁石の外周を囲むように設置されたコイルと、上記ハウジングに取り付けられた磁気スケール及び上記スライダに取り付けられセンサを備えたヘッドとから構成された磁気式リニアエンコーダと、を具備してなるリニアモータにおいて、上記磁気式リニアエンコーダと上記永久磁石の間に軟磁性材料からなる磁気シールド部材を設置し、且つ、上記ヘッドを軟磁性材料製としたことを特徴とするものである。
又、請求項2によるリニアモータは、請求項1記載のリニアモータにおいて、 上記ハウジングはベースと該ベースに取り付けられたケースとから構成されていて、上記磁気スケールは上記ベースに取り付けられていて、上記磁気シールド部材は上記磁気スケールとベースとの間に設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項3によるリニアモータは、請求項2記載のリニアモータにおいて、 上記ヘッドと上記永久磁石との間に別の磁気シールド部材が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項4によるリニアモータは、請求項1〜請求項3の何れかに記載のリニアモータにおいて、上記軟磁性材料は、比透磁率が1000〜1000000、
保持力が0.01〜10(KA/m)程度のものであることを特徴とするものである。
To achieve the above object, a linear motor according to a first aspect of the present invention includes a housing, a permanent magnet housed and installed in a shaft shape in the housing, a slider movably installed in the housing, and the slider A magnetic linear encoder comprising a coil attached to the outer periphery of the permanent magnet and surrounding the outer periphery of the permanent magnet; a magnetic scale attached to the housing; and a head attached to the slider and provided with a sensor. In this linear motor, a magnetic shield member made of a soft magnetic material is installed between the magnetic linear encoder and the permanent magnet, and the head is made of a soft magnetic material. .
The linear motor according to claim 2 is the linear motor according to claim 1, wherein the housing is composed of a base and a case attached to the base, and the magnetic scale is attached to the base. The magnetic shield member is installed between the magnetic scale and the base.
According to a third aspect of the present invention, there is provided the linear motor according to the second aspect, wherein another magnetic shield member is provided between the head and the permanent magnet.
The linear motor according to claim 4 is the linear motor according to any one of claims 1 to 3, wherein the soft magnetic material has a relative magnetic permeability of 1,000 to 1,000,000.
The holding power is about 0.01 to 10 (KA / m).

以上述べたように本願発明の請求項1によるリニアモータは、ハウジングと、上記ハウジング内にシャフト状に収容・設置された永久磁石と、上記ハウジングに移動可能に設置されたスライダと、上記スライダに取り付けられ上記永久磁石の外周を囲むように設置されたコイルと、上記ハウジングに取り付けられた磁気スケール及び上記スライダに取り付けられセンサを備えたヘッドとから構成された磁気式リニアエンコーダと、を具備してなるリニアモータにおいて、上記磁気式リニアエンコーダと上記永久磁石の間に軟磁性材料からなる磁気シールド部材を設置し、且つ、上記ヘッドを軟磁性材料製とした構成になっているので、まず、磁気シールド部材を設置したことにより、永久磁石側からの漏れ磁束が磁気式リニアエンコーダに与える影響を軽減させることができる。それによって、磁気式リニアエンコーダによる位置検出の精度を向上させることができる。
又、ヘッド自体が上記磁気シールド部材と同じ軟磁性材料製であるので、それによっても、漏れ磁束が磁気式リニアエンコーダに与える影響を軽減させることができ、上記効果をより高いものとすることができる。
又、漏れ磁束を遮断できるので、磁気式リニアエンコーダを永久磁石に対して大きく離間・配置させる必要はなく、よって、装置が大型化してしまうこともない。
又、上記ハウジングをベースと該ベースに取り付けられたケースとから構成して、上記磁気スケールを上記ベースに取り付け、上記磁気シールド部材を上記磁気スケールとベースとの間に設置した場合は、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、上記ヘッドと上記永久磁石との間に別の磁気シールド部材を設置した場合には、上記効果をさらに高めることができる。
又、上記軟磁性材料を、比透磁率が1000〜1000000、
保持力が0.01〜10(KA/m)程度のものとした場合には、上記効果がより確実なものとなる。
As described above, the linear motor according to claim 1 of the present invention includes a housing, a permanent magnet housed and installed in a shaft shape in the housing, a slider movably installed in the housing, and the slider. A magnetic linear encoder comprising a coil attached to surround the outer periphery of the permanent magnet, a magnetic scale attached to the housing, and a head attached to the slider and provided with a sensor. In the linear motor, a magnetic shield member made of a soft magnetic material is installed between the magnetic linear encoder and the permanent magnet, and the head is made of a soft magnetic material. By installing a magnetic shield member, leakage magnetic flux from the permanent magnet side is applied to the magnetic linear encoder. Impact can be reduced to that. Thereby, the accuracy of position detection by the magnetic linear encoder can be improved.
In addition, since the head itself is made of the same soft magnetic material as the magnetic shield member, the influence of the leakage magnetic flux on the magnetic linear encoder can be reduced, and the above effect can be further enhanced. it can.
Further, since the leakage magnetic flux can be cut off, the magnetic linear encoder does not need to be separated and arranged with respect to the permanent magnet, so that the apparatus is not increased in size.
Further, when the housing is composed of a base and a case attached to the base, the magnetic scale is attached to the base, and the magnetic shield member is installed between the magnetic scale and the base, the above effects are obtained. Can be made more reliable.
Further, when another magnetic shield member is installed between the head and the permanent magnet, the above effect can be further enhanced.
The soft magnetic material has a relative magnetic permeability of 1000 to 1000000,
When the holding force is about 0.01 to 10 (KA / m), the above-described effect is more reliable.

以下、図1乃至図3を参照して本発明の第1の実施の形態を説明する。図1は本実施の形態によるリニアモータの一部の構成を示す側断面図、図2は図1のII−II断面図である。まず、ハウジング1があり、このハウジング1は、ベース3と、このベース3の上方に設置されたケース5とから構成されている。上記ケース5の中心位置には、複数個の永久磁石7が筒体9内に収容された状態で積層・配置されている。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of a part of a linear motor according to the present embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. First, there is a housing 1, and the housing 1 is composed of a base 3 and a case 5 installed above the base 3. At the center position of the case 5, a plurality of permanent magnets 7 are stacked and arranged in a state of being accommodated in the cylindrical body 9.

一方、上記ケース5の上部には開口部11が形成されていて、この開口部11に沿って軸方向に移動可能な状態でスライダ13が設置されている。このスライダ13の下面側にはブラケット15が取り付けられていて、このブラケット15にはコイル17が取り付けられている。上記コイル17は上記永久磁石7の外周側に設置されている。   On the other hand, an opening 11 is formed in the upper part of the case 5, and a slider 13 is installed so as to be movable in the axial direction along the opening 11. A bracket 15 is attached to the lower surface side of the slider 13, and a coil 17 is attached to the bracket 15. The coil 17 is installed on the outer peripheral side of the permanent magnet 7.

そして、上記コイル17に適宜の方向の電流を流すことにより、永久磁石7とコイル17との関係によってスライダ13が適宜の方向に移動することになる。   Then, by passing a current in an appropriate direction through the coil 17, the slider 13 moves in an appropriate direction depending on the relationship between the permanent magnet 7 and the coil 17.

又、上記スライダ13と上記ベース3との間には磁気式エンコーダ19が設置されている。この磁気式エンコーダ19は、スライダ13側に取り付けられたヘッド21と、該ヘッド21内に組み込まれたセンサ23と、上記ベース3側に取り付けられた磁気スケール25とから構成されている。この磁気スケール25には着磁ピッチα mmにて多極着磁が施されている。上記ヘッド21と磁気スケール25との関係によってスライダ13の位置を検出するものである。
尚、上記ヘッド21とセンサ23であるが、図3に示すように、ヘッド21内にセンサ23が内蔵された構成になっている。
A magnetic encoder 19 is installed between the slider 13 and the base 3. The magnetic encoder 19 includes a head 21 attached to the slider 13 side, a sensor 23 incorporated in the head 21, and a magnetic scale 25 attached to the base 3 side. The magnetic scale 25 is subjected to multipolar magnetization at a magnetization pitch α mm. The position of the slider 13 is detected by the relationship between the head 21 and the magnetic scale 25.
Although the head 21 and the sensor 23 are shown in FIG. 3, the sensor 23 is built in the head 21 as shown in FIG.

そして、上記スライダ13が移動すると、スライダ13に取り付けられている上記センサ23が全ストロークにわたって磁気スケール25との間で磁束変化を検出する。検出された信号はヘッド21内にて増幅されて出力される。具体的には、A相(サイン波)、A相に対して90°位相がずれたB相(コサイン波)、両端の概略ストローク長に位置する二つのZ相の信号である。   When the slider 13 moves, the sensor 23 attached to the slider 13 detects a change in magnetic flux with the magnetic scale 25 over the entire stroke. The detected signal is amplified in the head 21 and output. Specifically, they are an A phase (sine wave), a B phase (cosine wave) that is 90 ° out of phase with respect to the A phase, and two Z phase signals positioned at the approximate stroke length at both ends.

上記磁気スケール25とベース3との間には磁気シールド部材31が設置されている。この磁気シールド部材31は板状をなしていて図2中紙面に直交する方向に、少なくとも、磁気スケール25をカバーできる範囲で延長・設置されている。この磁気シールド部材31によっても永久磁石7側からの漏れ磁束の磁気スケール25への影響を遮断するものである。上記磁気シールド部材31は軟磁性材料製であり、この軟磁性材料は比透磁率が1000〜1000000、
保持力が0.1〜100程度のものである。
A magnetic shield member 31 is installed between the magnetic scale 25 and the base 3. The magnetic shield member 31 has a plate shape and is extended and installed in a direction orthogonal to the paper surface in FIG. This magnetic shield member 31 also blocks the influence of the leakage magnetic flux from the permanent magnet 7 side on the magnetic scale 25. The magnetic shield member 31 is made of a soft magnetic material, and the soft magnetic material has a relative permeability of 1000 to 1000000,
The holding power is about 0.1 to 100.

又、この実施の形態の場合には、上記ヘッド21も同様の軟磁性材料製となっている。よって、センサ23と磁気スケール25は、軟磁性材料製の磁気シールド部材31とヘッド21とによって挟み込まれた構成になっており、それによって、永久磁石7側からの漏れ磁束のセンサ23や磁気スケール25への影響を遮断するようにしたものである。   In this embodiment, the head 21 is also made of the same soft magnetic material. Therefore, the sensor 23 and the magnetic scale 25 are configured to be sandwiched between the magnetic shield member 31 made of a soft magnetic material and the head 21, so that the leakage magnetic flux sensor 23 and the magnetic scale from the permanent magnet 7 side can be obtained. The influence on 25 is cut off.

尚、上記スライダ13とハウジング1との間に設置されたガイド機構は次のような構成になっている。まず、ベース3は浅い凹部形状となっていて、その左右両内側面には一対のガイドレール51、51が設置されている。一方、スライダ13側の下端部であって左右両側部にはガイド部材53、53が設置されている。上記ガイドレール51、51とガイド部材53、53との間には複数個のボール55が設置されている。そして、上記スライダ13は上記ガイド部材53、53、ボール55、55を介してガイドレール51、51に沿って移動するものである。   The guide mechanism installed between the slider 13 and the housing 1 has the following configuration. First, the base 3 has a shallow concave shape, and a pair of guide rails 51, 51 are provided on both the left and right inner surfaces thereof. On the other hand, guide members 53, 53 are provided at the lower end portion on the slider 13 side and on the left and right side portions. A plurality of balls 55 are installed between the guide rails 51 and 51 and the guide members 53 and 53. The slider 13 moves along the guide rails 51 and 51 via the guide members 53 and 53 and the balls 55 and 55.

以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、磁気シールド部材31を設置したことにより、永久磁石7側からの漏れ磁束がセンサ23や磁気スケール25に与える影響を遮断することができる。それによって、磁気式リニアエンコーダ19による位置検出の精度を向上させることができる。
又、この実施の形態の場合には、ヘッド23自体が上記磁気シールド部材31と同じ軟磁性材料製であるので、それによって、永久磁石7側からの漏れ磁束がセンサ23や磁気スケール25に与える影響を軽減させることができる。それによって、上記効果をより確実なものとすることができる。
又、永久磁石7側からの漏れ磁束を遮断できるので、磁気式リニアエンコーダ19を永久磁石7に対して大きく離間・配置させる必要はなく、よって、装置が大型化してしまうこともない。
As described above, according to the present embodiment, the following effects can be obtained.
First, by installing the magnetic shield member 31, it is possible to block the influence of the leakage magnetic flux from the permanent magnet 7 side on the sensor 23 and the magnetic scale 25. Thereby, the accuracy of position detection by the magnetic linear encoder 19 can be improved.
In this embodiment, since the head 23 itself is made of the same soft magnetic material as the magnetic shield member 31, the leakage magnetic flux from the permanent magnet 7 side is given to the sensor 23 and the magnetic scale 25. The impact can be reduced. Thereby, the above-mentioned effect can be made more reliable.
Further, since the leakage magnetic flux from the permanent magnet 7 side can be cut off, the magnetic linear encoder 19 does not need to be separated and arranged with respect to the permanent magnet 7, so that the size of the apparatus is not increased.

次に、図4を参照して本発明の第2の実施の形態を説明する。この第2の実施の形態の場合には、前記第1の実施の形態の構成に加えて、さらに別の磁気シールド部材41を設置したものである。これは、ヘッド21と永久磁石7の間に設置されたものであり、図示するように、その横断面形状がL字形状をなしていて、図中紙面に直交する方向に、少なくとも、磁気スケール25をカバーできる範囲で延長・設置されている。
その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同様であり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第1の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、別の磁気シールド部材41を設置したことにより、その効果をさらに高めることができるものである。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the case of the second embodiment, in addition to the configuration of the first embodiment, another magnetic shield member 41 is installed. This is installed between the head 21 and the permanent magnet 7. As shown in the drawing, the cross-sectional shape is L-shaped, and at least in the direction perpendicular to the paper surface in the figure, the magnetic scale. It is extended and installed in a range that can cover 25.
Other configurations are the same as those in the case of the first embodiment, and the same reference numerals are given to the same portions in the drawing, and the description thereof is omitted.
Therefore, the same effect as in the case of the first embodiment can be obtained, and the effect can be further enhanced by installing another magnetic shield member 41.

尚、本発明は前記第1、第2の実施の形態に限定されるものではない。
例えば、磁気シールド部材の個数、形状、設置場所についてはこれを特に限定するものではない。
その他、図示した構成はあくまで一例であってそれに限定されるようなものではない。
The present invention is not limited to the first and second embodiments.
For example, the number, shape, and installation location of the magnetic shield members are not particularly limited.
In addition, the illustrated configuration is merely an example and is not limited thereto.

本発明は、ハウジング側に永久磁石を設置し、一方、ハウジングに対して移動可能に設置されたスライダ側にコイルを設置し、該コイルに電流を流すことにより永久磁石とコイルとの関係によってスライダを移動させるリニアモータに係り、特に、そこに使用されている磁気式リニアエンコーダと上記永久磁石との間に永久磁石側からの漏れ磁束を遮断する磁気シールド部材を設置し、それによって、磁気式リニアエンコーダが漏れ磁束の影響で誤動作することを防止することができるように工夫したものに関し、例えば、各種の一軸アクチュエータに好適である。 In the present invention, a permanent magnet is installed on the housing side, while a coil is installed on the slider side that is movably installed with respect to the housing, and a current is passed through the coil so that the slider is controlled by the relationship between the permanent magnet and the coil. In particular, a magnetic shield member for blocking leakage magnetic flux from the permanent magnet side is installed between the magnetic linear encoder used in the linear motor and the permanent magnet. The linear encoder is devised so that it can be prevented from malfunctioning due to the influence of leakage magnetic flux, and is suitable for various uniaxial actuators, for example.

本発明の第1の実施の形態を示す図で、リニアモータの構成を示す一部側断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is a partial sectional side view which shows the structure of a linear motor. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図2(a)は図1のII−II断面図、図2(b)は図2(a)のb部を拡大して示す断面図である。2A and 2B are views showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 2A is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view showing an enlarged portion b of FIG. It is. 本発明の第1の実施の形態を示す図で、図3(a)はヘッドの側面図、図3(b)は図3(a)のb−b断面図である。FIG. 3A is a side view of the head, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line bb in FIG. 3A, illustrating the first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態を示す図で、図4(a)はリニアモータの一部の構成を示す横断面図、図4(b)は図4(a)のb部を拡大して示す断面図である。4A and 4B are diagrams showing a second embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a cross-sectional view showing a configuration of a part of a linear motor, and FIG. 4B is an enlarged view of a portion b in FIG. FIG. 従来例を示す図で、図5(a)はリニアモータの横断面図、図5(b)は図5(a)のb部を拡大して示す横断面図である。FIG. 5A is a cross-sectional view of a linear motor, and FIG. 5B is an enlarged cross-sectional view of a portion b of FIG. 5A.

符号の説明Explanation of symbols

1 ハウジング
3 ベース
5 ケース
7 永久磁石
13 スライダ
17 コイル
19 磁気式リニアエンコーダ
21 ヘッド
23 センサ
25 磁気スケール
31 磁気シールド部材
41 磁気シールド部材






















1 Housing
3 Base 5 Case 7 Permanent magnet 13 Slider
17 Coil 19 Magnetic Linear Encoder 21 Head 23 Sensor 25 Magnetic Scale 31 Magnetic Shield Member 41 Magnetic Shield Member






















Claims (4)

ハウジングと、上記ハウジング内にシャフト状に収容・設置された永久磁石と、上記ハウジングに移動可能に設置されたスライダと、上記スライダに取り付けられ上記永久磁石の外周を囲むように設置されたコイルと、上記ハウジングに取り付けられた磁気スケール及び上記スライダに取り付けられセンサを備えたヘッドとから構成された磁気式リニアエンコーダと、を具備してなるリニアモータにおいて、
上記磁気式リニアエンコーダと上記永久磁石の間に軟磁性材料からなる磁気シールド部材を設置し、且つ、上記ヘッドを軟磁性材料製としたことを特徴とするリニアモータ。
A housing, a permanent magnet housed and installed in a shaft shape in the housing, a slider movably installed in the housing, and a coil installed on the slider so as to surround the outer periphery of the permanent magnet; A magnetic linear encoder comprising a magnetic scale attached to the housing and a head attached to the slider and provided with a sensor.
A linear motor comprising a magnetic shield member made of a soft magnetic material between the magnetic linear encoder and the permanent magnet, and the head made of a soft magnetic material.
請求項1記載のリニアモータにおいて、
上記ハウジングはベースと該ベースに取り付けられたケースとから構成されていて、上記磁気スケールは上記ベースに取り付けられていて、上記磁気シールド部材は上記磁気スケールとベースとの間に設置されていることを特徴とするリニアモータ。
The linear motor according to claim 1,
The housing is composed of a base and a case attached to the base, the magnetic scale is attached to the base, and the magnetic shield member is installed between the magnetic scale and the base. A linear motor characterized by
請求項2記載のリニアモータにおいて、
上記ヘッドと上記永久磁石との間に別の磁気シールド部材が設置されていることを特徴とするリニアモータ。
The linear motor according to claim 2,
A linear motor, wherein another magnetic shield member is installed between the head and the permanent magnet.
請求項1〜請求項3の何れかに記載のリニアモータにおいて、
上記軟磁性材料は、比透磁率が1000〜1000000、
保持力が0.01〜10(KA/m)程度のものであることを特徴とするリニアモータ。
In the linear motor according to any one of claims 1 to 3,
The soft magnetic material has a relative permeability of 1000 to 1000000,
A linear motor having a holding force of about 0.01 to 10 (KA / m).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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