JP2007518254A - 多層アニール誘導無秩序化 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板表面の第1領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、基板に第1の熱処理サイクルを行い、第1領域に第1のバンドギャップを生成し、基板の表面の、第1領域と異なる第2領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、基板に第2の熱処理サイクルを行い、第2領域に第2のバンドギャップを生成し、累積バンドギャップを前記第1領域に生成し、累積バンドギャップでは前記第1および第2熱処理サイクルの結果が累積されている。
さらなる工程で累積バンドギャップを追加する。
【選択図】図3
Description
1.繰り返しの、[10、15−21]および/または様々な量の、照射−アニール [12−14]の組合せ、
2.様々な材料[2−5]の、および界面効果[2−5]の、誘電体キャップを選択、
3.QWIバリアマスク[7,9,25,26]と様々な厚さ[7,8]、
4.空間/解像効果[6、15]
QWI技術は数多くあるが、これらの技術を用いて制御された仕方で複数バンドギャップを共通基板上に規定する先行技術は不足している。
a)前記基板の表面の第1領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、
b)前記基板に第1の熱処理サイクルを行い、前記第1領域に第1のバンドギャップを生成し、
c)前記基板の前記表面の、前記第1領域と異なる第2領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、
d)前記基板に第2の熱処理サイクルを行い、前記第2領域に第2のバンドギャップを生成し、累積バンドギャップを前記第1領域に生成し、前記累積バンドギャップでは前記第1および第2熱処理サイクルの結果が累積されている。
連続熱処理の結果得られる累積バンドギャップの生成方法を、対称的か非対照的か決定し、
前記方法が対称的である場合は、
複数の累積バンドギャップBG1〜BGNのそれぞれに対し必要な熱処理条件を、熱処理シーケンスAN〜A1の間の少なくとも一つのサンプルの連続使用によって決定し、
ここで、ANは、A1はBGN-1からBGNを得るための前記熱処理、A2はBGN-2〜BGN-1を得るための前記熱処理というように、BG0〜BG1を得るための前記熱処理であり、
前記方法が非対称的である場合は、
複数の累積バンドギャップBG1〜BGNのそれぞれに対し必要な熱処理条件を、それぞれのバンドギャップに対してA1〜Anの順で行う熱処理シーケンスの一部または全工程で、複数のサンプルを使用して決定する。
本発明の具体例について、添付図面を参照し、実施例を用いて詳述する。
その他の実施例は添付する特許請求の範囲に含まれている。
Claims (23)
- 単一基板上に異なるバンドギャップを有する多層の量子井戸混合(QWI)領域を生成する方法であって、
a)前記基板の表面の第1領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、
b)前記基板に第1の熱処理サイクルを行い、前記第1領域に第1のバンドギャップを生じさせ、
c)前記基板の前記表面の、前記第1領域と異なる第2領域を、QWI開始材料を利用してパターニングし、
d)前記基板に第2の熱処理サイクルを行い、前記第2領域に第2のバンドギャップを生じさせ、累積バンドギャップを前記第1領域に生成し、前記累積バンドギャップでは前記第1および第2熱処理サイクルの結果が累積されている、
方法。 - 請求項1に記載された方法であって、
e)前記第1および第2領域とは異なる前記表面の第3領域において、前記基板表面をQWI開始材料でパターニングし、
f)第3の熱処理サイクルを前記基板表面で行い、
(i)第3領域に第3のバンドギャップを生じさせ、
(ii)第2領域に累積バンドギャップを生じさせ、前記第2領域の累積バンドギャップでは前記第2および第3熱処理サイクルの結果が累積されており、
(iii)前記第1領域に累積バンドギャップを生じさせ、前記第1領域の累積バンドギャップでは第1、第2および第3熱処理サイクルの結果が累積されている、
方法。 - 請求項2に記載された方法であって、
g)あらかじめQWI開始材料で覆われた前記表面の領域とは異なる、前記基板表面のその他の領域において、前記基板の前記表面をQWI開始材料でパターニングし、
h)連続熱処理サイクルを行って前記その他の領域にバンドギャップを生じさせ、直前に行われたパターニング工程に先立ちQWI開始材料で予め覆われた他の領域に累積バンドギャップを生じさせ、それぞれの累積バンドギャップでは、対応する領域に対して行われる全熱処理サイクルの結果が累積されている
方法。 - 請求項1乃至3の何れかに記載された方法であって、
QWI開始材料で覆われていない前記基板の隣接する領域を、QWI開始材料で覆う、方法。 - 請求項1乃至4の何れかに記載された方法であって、熱処理サイクルの少なくとも一つは高速熱アニールサイクルを含む、方法。
- 請求項5に記載された方法であって、熱処理サイクルの全ては高速熱アニールサイクルを含む、方法。
- 請求項1乃至6の何れかに記載された方法であって、前記基板の領域をQWI開始材料でパターニングする方法は、
フォトレジストを前記基板上に付着し、
前記フォトレジストに、QWI開始材料で覆われた前記基板の領域と同一の広がりを持つ窓を形成し、
前記QWI開始材料を前記基板上に付着し
前記フォトレジストを前記基板からリフトオフする、
方法。 - 請求項1乃至7の何れかに記載された方法であって、前記QWI開始材料は高不純物材料を含む、方法。
- 請求項8に記載された方法であって、前記高不純物は、硫黄、亜鉛、シリコン、フッ素、銅、ゲルマニウム、スズおよびセレンのうち1つあるいは複数を含む、方法。
- 請求項8または9に記載された方法であって、
前記高不純物材料は、硫黄、亜鉛、シリコン、フッ素、銅、ゲルマニウム、スズおよびセレンのうち1つあるいは複数を含む不純物を添加したシリカを含む、
方法。 - 請求項1乃至10の何れかに記載された方法であって、
前記QWI開始材料はスパッタ付着されている、方法。 - 請求項4に記載された方法であって、前記QWI抑制材料はPECVDシリカ層を含む、方法。
- 請求項1乃至12の何れかに記載された方法であって、
ある領域の前記QWI開始材料は、前記第一熱処理サイクルを行った後、後続熱処理サイクルを行う前に、前記QWI開始材料は、前記基板から除去される、
方法。 - 請求項1乃至12の何れかに記載された方法であって、
ある領域上の前記QWI開始材料は、前記後続熱処理サイクルのための前記基板上に保持される、
方法。 - 請求項14に記載された方法であって、
ある領域上の前記QWI開始材料は、全ての後続熱処理サイクルのための前記基板上に保持される、方法。 - 請求項1乃至15の何れかに記載された方法であって、
InP/AlInGaAs基板上で利用される、方法。 - 請求項1乃至16の何れかに記載された方法であって、前記熱処理サイクルのそれぞれの継続時間は、実質的に同一である、方法。
- 請求項17に記載された方法であって、前記熱処理サイクルのそれぞれは、異なる温度で行われる、方法。
- 請求項1乃至18の何れかに記載され、それぞれの熱処理サイクルに要するパラメーターを決定する方法であって、
連続熱処理の結果得られる累積バンドギャップの生成方法が、対称的か非対照的かを決定し、
前記方法が対称的である場合は、
複数の累積バンドギャップBG1〜BGNのそれぞれに対し必要な熱処理条件を、熱処理のシーケンスAN〜A1の間の少なくとも一つのサンプルの連続使用によって決定し、
ここで、ANは、A1はBGN-1からBGNを得るための前記熱処理、A2はBGN-2からBGN-1を得るための前記熱処理というように、BG0からBG1を得るための前記熱処理であり、
前記方法が非対称的である場合は、
複数の累積バンドギャップBG1〜BGNのそれぞれに対し必要な熱処理条件を、それぞれのバンドギャップに対してA1〜Anの順で行う熱処理シーケンスの一部または全工程で、複数のサンプルを使用して決定する、
方法。 - 請求項19に記載された方法であって、
(i)最小累積バンドギャップBG1をN番目の領域に得るために適した熱処理条件ANを設定し、
(ii)第1のサンプルに熱処理サイクルを行ってバンドギャップBG1を得、
(iii)累積バンドギャップBG2をN−1番目の領域に得るために適した熱処理条件AN-1を設定し、
(iv)前記第1のサンプルに、工程(ii)の後に熱処理サイクルAN-1を行ってバンドギャップBG2を得、
(v)第2のサンプルに熱処理サイクルAN-1を行い、さらにANを行って、バンドギャップBG2´を得、
(vi)処理が対称的であるか、すなわちBG2とBG2´が等しいかを定め、等しい場合は工程(vii)から(viii)を行い、等しくない場合は工程(ix)を行い、
(vii)累積バンドギャップBG3をN得るために適した熱処理条件AN-2を設定し、
(viii)前記第1のサンプルに、工程(iv)の後に熱処理サイクルAN-2を行ってバンドギャップBG3を得て、
(ix)前記累積バンドギャップBGn〜BG1のそれぞれを得る累積熱処理サイクルA1〜Anを、それぞれの累積バンドギャップのサンプルに対して設定する、
方法。 - 請求項20に記載された方法であって、
さらなる累積バンドギャップを得るために適した熱処理条件を設定するために、および前記累積バンドギャップのそれぞれに対して工程(ix)を完遂するべく前記第一および後続のサンプルに対する熱処理サイクルを行うために、
工程(vii)と(viii)とを反復して行う、
方法。 - 請求項1乃至21の何れかの方法を利用して製造された半導体光デバイス。
- 実質的に添付図面を参照してここに説明された方法。
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