JP2007505754A - 被覆研磨材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
研磨物品は、突出研磨材ユニット(400)のアレイを含む。各ユニットは、基部と、基部と同一平面である平面上に投影されると基部から中心が外れる遠位の頂端部とを有する。研磨物品は、上記の研磨材ユニット(400)を含むように形成された研磨コーティングに結合されたバッキングを含む。研磨物品の製造方法は、製造ツール、研磨スラリー、およびバッキングを挟持することを含む。スラリー中のバインダーは、製造中に硬化される。研磨物品は、ワークピースを研磨するために使用することができる。
Description
本発明は、研磨材アレイ、研磨物品、このような研磨物品の製造方法およびこのような研磨物品の使用方法に関する。該研磨物品は、研磨コーティングがバッキングの少なくとも1つの表面に結合されたバッキングを含む。研磨コーティングは、有用なジオメトリを示す突出ユニットを含むように形作られる。
研磨物品は、百年をはるかに超える間、ワークピース表面を研磨および仕上げするために用いられてきた。これらの用途は、高研削量の高圧金属研削方法から、眼科用レンズなどの微細研磨までの範囲にわたっている。一般に、研磨物品は、互いに結合される(例えば、結合された研磨または研削ホイール)か、あるいはバッキングに結合された(例えば、被覆研磨材)複数の研磨粒子を含む。被覆研磨材では、通常は単一層、場合によっては2層の研磨粒子が存在する。これらの研磨粒子が磨耗すると被覆研磨材は本質的に摩滅し、通常は廃棄される。
構造化研磨材は、特許文献1(ピーパー(Pieper)ら)によって教示される。重要なことには、ピーパーにより教示される構造化研磨材は、比較的高いカット比と、ワークピース表面の比較的微細な表面仕上げとをもたらす。構造化研磨材は、バッキングに結合された無作為でない正確に形作られた研磨複合体を含む。
ピーパーにより教示されるもののような構造化研磨材は、高カット比などの望ましい特徴を示すが、それでも構造化研磨材は、時間が経てばその有効性を失う傾向がある。従って、構造化研磨材は、その初めの3または4回の研磨サイクルにおいて特定のカット比(例えば、1サイクルあたりのグラム数で表現される)をもたらすが、5または10サイクル後には、その初期の値のほんの一部のカット比しかもたらすことができない。このようなカット比の低下は、効率的な研磨技術を提供するという目標に反する。
米国特許第5,152,917号明細書
上記のことから明らかであるように、構造化研磨材がその寿命を長くし、そしてそのカット比の低下を最小限にするように製造され得る方式が必要とされている。
本発明は、研磨材アレイ、研磨物品、研磨物品の製造方法および研磨物品の使用方法に関する。本発明の1つの実施形態によると、複数の突出ユニットの研磨材アレイは、各ユニットが少なくとも砥粒およびバインダーで構成された本体を有するような構造であり得る。各本体は、基部と、基部から最も遠位の領域とを有することができる。研磨材アレイは、二次元に分配された複数の突出ユニットを含むことができる。各突出ユニットは、周縁部を有する基部を有する。各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると、遠位領域の投影と基部の中心点との間のオフセットベクトルを定義する。複数の突出ユニットのオフセットベクトルは、ゼロの限界まで近づく総和を示さない。
本発明のもう1つの実施形態によると、研磨物品は、表側および裏側表面を有するバッキングを含む。研磨コーティングは、バッキングの表側表面に結合され得る。研磨コーティングは、二次元に分配された複数の突出ユニットを含むことができる。各突出ユニットは、周縁部を有する基部を有する。各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると、遠位領域の投影と基部の中心点との間のオフセットベクトルを定義する。複数の突出ユニットのオフセットベクトルは、ゼロの限界まで近づく総和を示さない。
本発明は、研磨材アレイ、研磨物品、研磨物品の製造方法および研磨物品の使用方法に関する。
図1を参照すると、研磨物品20は、境界25により隔てられた研磨複合体22を含む。研磨複合体は、バッキング21の表面に結合される。複合体の形状に関連する境界によって、1つの研磨複合体は、別の隣接する研磨複合からいくらか隔てられるようにされる。個々の研磨複合体を形成するために、研磨複合体の形状を形成する境界の部分は、互いに隔てられていなければならない。図2において、基部、または研磨複合体のバッキングに最も近い部分は、その隣の研磨複合体と当接できることに注意されたい。研磨複合体22は、バインダー23中に分配された複数の研磨粒子24と、研削助剤26とを含む。また、研磨複合体のいくつかは当接するが、他の研磨複合体はその間に開放空間を有する、バッキングに結合された研磨複合体の組み合わせを有することも本発明の範囲内である。
バッキング
本発明のバッキングは表側表面および裏側表面を有し、従来のどの研磨材バッキングでもよい。有用なバッキングの例としては、高分子フィルム、プライマー処理した高分子フィルム、布、紙、バルカンファイバー、不織布、およびこれらの組み合わせがある。その他の有用なバッキングとしては、米国特許第5,316,812号明細書に開示されるような繊維強化熱可塑性バッキング、ならびに国際公開第93/12911号パンフレットに開示されるような継ぎ目のない無端バッキングがあげられる。またバッキングは、バッキングを密封するためおよび/またはバッキングのいくつかの物理特性を変更するための処理を含有することもできる。これらの処理は、当該技術分野においてよく知られている。
本発明のバッキングは表側表面および裏側表面を有し、従来のどの研磨材バッキングでもよい。有用なバッキングの例としては、高分子フィルム、プライマー処理した高分子フィルム、布、紙、バルカンファイバー、不織布、およびこれらの組み合わせがある。その他の有用なバッキングとしては、米国特許第5,316,812号明細書に開示されるような繊維強化熱可塑性バッキング、ならびに国際公開第93/12911号パンフレットに開示されるような継ぎ目のない無端バッキングがあげられる。またバッキングは、バッキングを密封するためおよび/またはバッキングのいくつかの物理特性を変更するための処理を含有することもできる。これらの処理は、当該技術分野においてよく知られている。
またバッキングは、得られる被覆研磨材を支持パッドまたはバックアップパッドに固定できるようにするために、その裏側表面に取付手段を有することもできる。この取付手段は、上記の米国特許第5,316,812号明細書に開示されるように、感圧接着剤、フックアンドループ取付けシステムの一方の表面、またはねじ山の付いた突出部であり得る。あるいは、本願譲受人の米国特許第5,201,101号明細書(参照によって以下に援用される)に記載されるように、互いにかみ合った取付けシステムが存在してもよい。
また研磨物品の裏側は、スリップ防止または摩擦コーティングを含有することもできる。このようなコーティングの例としては、接着剤中に分散された無機微粒子(例えば、炭酸カルシウムまたは石英)があげられる。
研磨コーティング
研磨粒子
研磨粒子は、通常、約0.1〜1500マイクロメートルの範囲、普通は約0.1〜400マイクロメートルの間、好ましくは0.1〜100マイクロメートルの間、最も好ましくは0.1〜50マイクロメートルの間の粒径を有する。研磨粒子は、少なくとも約8、より好ましくは約9のモース硬度を有するのが好ましい。このような研磨粒子の例としては、溶融酸化アルミニウム(茶色酸化アルミニウム、熱処理酸化アルミニウムおよび白色酸化アルミニウムを含む)、セラミック酸化アルミニウム、緑色炭化ケイ素、炭化ケイ素、クロミア、アルミナジルコニア、ダイアモンド、酸化鉄、セリア、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、ガーネットおよびこれらの組み合わせがあげられる。
研磨粒子
研磨粒子は、通常、約0.1〜1500マイクロメートルの範囲、普通は約0.1〜400マイクロメートルの間、好ましくは0.1〜100マイクロメートルの間、最も好ましくは0.1〜50マイクロメートルの間の粒径を有する。研磨粒子は、少なくとも約8、より好ましくは約9のモース硬度を有するのが好ましい。このような研磨粒子の例としては、溶融酸化アルミニウム(茶色酸化アルミニウム、熱処理酸化アルミニウムおよび白色酸化アルミニウムを含む)、セラミック酸化アルミニウム、緑色炭化ケイ素、炭化ケイ素、クロミア、アルミナジルコニア、ダイアモンド、酸化鉄、セリア、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、ガーネットおよびこれらの組み合わせがあげられる。
用語「研磨粒子」は、単一の研磨粒子が一緒に結合されて、研磨凝集体を形成する場合も包含する。研磨凝集体は、米国特許第4,311,489号明細書、同第4,652,275号明細書、および同第4,799,939号明細書(参照によって本明細書中に援用される)に更に記載されている。
また、研磨粒子上に表面コーティングを有することも、本発明の範囲内である。表面コーティングは、多くの異なる機能を有することができる。場合によって、表面コーティングは、研磨粒子のバインダーへの接着を増大させたり、研磨粒子の研磨特性を変更したりする。表面コーティングの例としては、カップリング剤、ハライド塩、シリカを含む金属酸化物、耐火性金属窒化物、耐火性金属炭化物などがある。
研磨複合体中には、希釈粒子が存在してもよい。これらの希釈粒子の粒径は、研磨粒子と同程度の大きさでよい。このような希釈粒子の例としては、石膏、大理石、石灰岩、フリント(flint)、シリカ、ガラスバブル、ガラスビーズ、アルミニウムケイ酸塩などがある。
バインダー
研磨粒子は有機バインダー中に分散されて、研磨複合体を形成する。バインダーは、有機重合性樹脂を含むバインダー前駆体から誘導される。本発明の研磨物品を製造する間、バインダー前駆体は、重合または硬化工程の開始に役立つエネルギー源に曝露される。エネルギー源の例としては熱エネルギーおよび放射エネルギーがあり、後者は、電子ビーム、紫外光、および可視光を含む。この重合工程の間に、樹脂は重合され、バインダー前駆体は凝固したバインダーに変化される。バインダー前駆体が凝固すると、研磨コーティングが形成される。また研磨コーティング中のバインダーは、通常、研磨コーティングのバッキングへの接着を担う。
研磨粒子は有機バインダー中に分散されて、研磨複合体を形成する。バインダーは、有機重合性樹脂を含むバインダー前駆体から誘導される。本発明の研磨物品を製造する間、バインダー前駆体は、重合または硬化工程の開始に役立つエネルギー源に曝露される。エネルギー源の例としては熱エネルギーおよび放射エネルギーがあり、後者は、電子ビーム、紫外光、および可視光を含む。この重合工程の間に、樹脂は重合され、バインダー前駆体は凝固したバインダーに変化される。バインダー前駆体が凝固すると、研磨コーティングが形成される。また研磨コーティング中のバインダーは、通常、研磨コーティングのバッキングへの接着を担う。
本発明で使用するための2つの好ましい種類の樹脂、縮合硬化性樹脂および付加重合性樹脂が存在する。好ましいバインダー前駆体は、付加重合性樹脂を含む。というのは、これらの樹脂は、放射エネルギーへの暴露によって容易に硬化されるからである。付加重合性樹脂は、カチオン機構またはフリーラジカル機構によって重合することができる。使用されるエネルギー源およびバインダー前駆体の化学的性質に依存して、重合の開始を助けるために硬化剤、開始剤、または触媒が好ましいこともある。
典型的で好ましい有機樹脂の例としては、フェノール樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、アクリレート化ウレタン、アクリレート化エポキシ、エチレン性不飽和化合物、ペンダント不飽和カルボニル基を有するアミノプラスト誘導体、少なくとも1つのペンダントアクリレート基を有するイソシアヌレート誘導体、少なくとも1つのペンダントアクリレート基を有するイソシアネート誘導体、ビニルエーテル、エポキシ樹脂、ならびにこれらの混合物および組み合わせがあげられる。用語「アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートを包含する。
フェノール樹脂は、その熱特性、有効性、およびコストのために、研磨物品バインダーにおいて広く使用されている。2つの型のフェノール樹脂、レゾールおよびノボラックがある。レゾールフェノール樹脂は、1対1以上、通常は1.5:1.0〜3.0:1.0であるホルムアルデヒド対フェノールのモル比を有する。ノボラック樹脂は、1対1より小さいホルムアルデヒド対フェノールのモル比を有する。市販のフェノール樹脂の例としては、オクシデンタル・ケミカルズ社(Occidental Chemicals Corp.)からの商品名「デュレズ(Durez)」および「バルカム(Varcum)」と、モンサント(Monsanto)からの商品名「レジノックス(Resinox)」と、アシュランド・ケミカル社(Ashland Chemical Co.)からの商品名「エアロフェン(Aerofene)」と、アシュランド・ケミカル社からの「エアロタップ(Aerotap)」とによって知られているものがある。
アクリレート化ウレタンは、ヒドロキシ末端のイソシアネートNCO延長ポリエステルまたはポリエーテルのジアクリレートエステルである。市販のアクリレート化ウレタンの例としては、モートン・チオコール・ケミカル(Morton Thiokol Chemical)から入手可能な商品名「ユビセイン(UVITHANE)782」、ならびにラドキュア・スペシャルティーズ(Radcure Specialties)から入手可能な商品名「CMD6600」、「CMD8400」、および「CMD8805」で知られているものがある。
アクリレート化エポキシは、ビスフェノールAエポキシ樹脂のジアクリレートエステルなどのエポキシ樹脂のジアクリレートエステルである。市販のアクリレート化エポキシの例としては、ラドキュア・スペシャルティーズから入手可能な商品名「CMD3500」、「CMD3600」、および「CMD3700」で知られているものがある。
エチレン性不飽和樹脂は、炭素、水素、および酸素、そして任意で窒素およびハロゲンの原子を含有するモノマーおよびポリマー化合物の両方を含む。酸素または窒素原子もしくはその両方は、一般に、エーテル、エステル、ウレタン、アミド、および尿素基中に存在する。
エチレン性不飽和化合物は、好ましくは約4,000未満の分子量を有し、脂肪族モノヒドロキシ基または脂肪族ポリヒドロキシ基を含有する化合物と、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸との反応から製造されるエステルであるのが好ましい。アクリレート樹脂の代表例としては、メチルメタクリレート、エチルメタクリレートスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールメタクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセロールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートおよびペンタエリスリトールテトラアクリレートがあげられる。その他のエチレン性不飽和樹脂としては、ジアリルフタレート、ジアリルアジペート、およびN,N−ジアリルアドキプアミド(diallyladkipamide)などの、モノアリル、ポリアリル、およびポリメタリルエステルならびにカルボン酸のアミドがあげられる。更にその他の窒素含有化合物としては、トリス(2−アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、1,3,5−トリ(2−メチアクリロキシエチル(methyacryloxyethyl))−トリアジン、アクリルアミド、メチルアクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−ビニルピロリドン、およびN−ビニルピペリドンがあげられる。
アミノプラスト樹脂は、1つの分子またはオリゴマーあたり、少なくとも1つのペンダントα,β−不飽和カルボニル基を有する。これらの不飽和カルボニル基は、アクリレート、メタクリレート、またはアクリルアミド型の基であり得る。このような材料の例としては、N−(ヒドロキシメチル)アクリルアミド、N,N’−オキシジメチレンビスアクリルアミド、オルトおよびパラアクリルアミドメチル化フェノール、アクリルアミドメチル化フェノールノボラック、およびこれらの組み合わせがあげられる。これらの材料は、米国特許第4,903,440号明細書および同第5,236,472号明細書(いずれも参照によって本明細書中に援用される)に更に記載されている。
少なくとも1つのペンダントアクリレート基を有するイソシアヌレート誘導体および少なくとも1つのペンダントアクリレート基を有するイソシアネート誘導体は、参照によって以下に援用される米国特許第4,652,274号明細書に更に記載されている。好ましいイソシアヌレート材料は、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレートである。
エポキシ樹脂はオキシランを有し、開環により重合される。このようなエポキシド樹脂には、モノマーエポキシ樹脂およびオリゴマーエポキシ樹脂が含まれる。いくつかの好ましいエポキシ樹脂の例としては、2,2−ビス[4−(2,3−エポキシプロポキシ)−フェニルプロパン](ビスフェノールのジグリシジルエーテル)、ならびにシェル・ケミカル社(Shell Chemical Co.)から入手可能な商品名「エポン(Epon)828」、「エポン1004」、および「エポン1001F」、ダウ・ケミカル社(Dow Chemical Co.)から入手可能な商品名「DER−331」、「DER−332」、および「DER−334」などの市販の材料があげられる。その他の適切なエポキシ樹脂としては、フェノールホルムアルデヒドノボラックのグリシジルエーテル(例えば、ダウ・ケミカル社から入手可能な「DEN−431「および「DEN−428」)がある。
本発明のエポキシ樹脂は、適切なカチオン硬化剤を添加して、カチオン機構によって重合することができる。カチオン硬化剤は酸源を生成して、エポキシ樹脂の重合を開始させる。これらのカチオン硬化剤は、オニウムカチオンと、金属または半金属のハロゲン含有錯体アニオンとを有する塩を含むことができる。その他のカチオン硬化剤には、参照によって以下に援用される米国特許第4,751,138号明細書(6欄、65行〜9欄、45行)に更に記載される、有機金属錯体カチオンと、金属または半金属のハロゲン含有錯体アニオンとを有する塩が含まれる。もう1つの例は有機金属塩であり、米国特許第4,985,340号明細書(4欄、65行〜14欄、50行)、ならびに欧州特許出願第306,161号明細書および同第306,162号明細書(両方とも1989年3月8日に公開)(全て参照によって援用される)には、オニウム塩が記載されている。更に他のカチオン硬化剤としては、欧州特許出願第109,581号明細書(1983年11月21日公開、参照によって援用される)に記載される有機金属錯体のイオン性塩があり、この場合、金属は、周期表のIVB、VB、VIB、VIIBおよびVIIIB族の元素から選択される。
フリーラジカル硬化性樹脂に関して、場合によって、研磨スラリーは、更に、フリーラジカル硬化剤を含むのが好ましい。しかしながら、電子ビームエネルギー源の場合には、電子ビーム自体がフリーラジカルを発生させるので、硬化剤は必ずしも必要であるとは限らない。
フリーラジカル熱開始剤の例としては、過酸化物、例えば過酸化ベンゾイル、アゾ化合物、ベンゾフェノン、およびキノンがあげられる。紫外光または可視光のいずれかのエネルギー源では、この硬化剤は、光開始剤と呼ばれることもある。紫外光に露光されたときにフリーラジカル源を生成する開始剤の例としては、有機過酸化物、アゾ化合物、キノン、ベンゾフェノン、ニトロソ化合物、アクリルハライド、ヒドロゾン、メルカプト化合物、ピリリウム化合物、トリアクリルイミダゾール、ビスイミダゾール、クロロアルキトリアジン(chloroalkytriazine)、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、チオキサントン、およびアセトフェノン誘導体、ならびにこれらの混合物からなる群から選択されるものがあげられるが、これらに限定されない。可視放射に露光されたときにフリーラジカル源を生成する開始剤の例は、三元光開始剤系を含有する被覆研磨材バインダーという表題の米国特許第4,735,632号明細書(参照によって本明細書中に援用される)において見出すことができる。可視光と共に使用するのに好ましい開始剤は、チバ・ガイギー・コーポレーション(Ciba Geigy Corporation)から市販されている「イルガキュア(Irgacure)369」である。
研削助剤
研削助剤は、研磨物品に添加すると研磨の化学的および物理的な工程に著しい影響を有し、改良された性能をもたらす材料、好ましくは微粒子材料と定義される。通常、そして好ましくは、研削助剤は微粒子としてスラリーに添加されるが、液体でスラリーに添加されてもよい。研削助剤の存在は、研削助剤を含有しない研磨物品と比較して、対応する研磨物品の研削効率またはカット比(cut rate)(消失された研磨物品の重量あたりの、除去されたワークピースの重量と定義される)を増大させ得る。特に、当該技術分野では、研削助剤は、1)砥粒と研磨中のワークピースとの間の摩擦を低下させる、2)砥粒が「キャッピング(capping)」することを防止する、すなわち、金属粒子(金属ワークピースの場合)が砥粒の上部に融合されることを防止する、3)砥粒とワークピースの間の界面温度を低下させる、4)必要とされる研削力を低減する、または5)金属ワークピースの酸化を防止する、のいずれかであろうと確信される。一般に研削助剤の添加は、研磨物品の耐用年数を増大させる。
研削助剤は、研磨物品に添加すると研磨の化学的および物理的な工程に著しい影響を有し、改良された性能をもたらす材料、好ましくは微粒子材料と定義される。通常、そして好ましくは、研削助剤は微粒子としてスラリーに添加されるが、液体でスラリーに添加されてもよい。研削助剤の存在は、研削助剤を含有しない研磨物品と比較して、対応する研磨物品の研削効率またはカット比(cut rate)(消失された研磨物品の重量あたりの、除去されたワークピースの重量と定義される)を増大させ得る。特に、当該技術分野では、研削助剤は、1)砥粒と研磨中のワークピースとの間の摩擦を低下させる、2)砥粒が「キャッピング(capping)」することを防止する、すなわち、金属粒子(金属ワークピースの場合)が砥粒の上部に融合されることを防止する、3)砥粒とワークピースの間の界面温度を低下させる、4)必要とされる研削力を低減する、または5)金属ワークピースの酸化を防止する、のいずれかであろうと確信される。一般に研削助剤の添加は、研磨物品の耐用年数を増大させる。
本発明において有用な研削助剤は様々な種類の異なる材料を包含し、無機ベースでも有機ベースでもよい。研削助剤の化学基の例としては、ワックス、有機ハライド化合物、ハライド塩、ならびに金属およびその合金があげられる。有機ハライド化合物は、通常、研磨の間に破壊されて、ハロゲン酸または気体のハライド化合物を放出し得る。このような材料の例としては、テトラクロロナフタレン(tetrachloronaphtalene)、ペンタクロロナフタレンおよびポリ塩化ビニルのような塩素化ワックスがある。ハライド塩の例としては、塩化ナトリウム、カリウムクリオライト、ナトリウムクリオライト、アンモニウムクリオライト、テトラフルオロホウ酸カリウム、テトラフルオロホウ酸ナトリウム、フッ化ケイ素、塩化カリウム、塩化マグネシウムがある。金属の例としては、スズ、鉛、ビスマス、コバルト、アンチモン、カドミウム、鉄チタンがあり、その他の種々雑多な研削助剤としては、硫黄、有機硫黄化合物、グラファイトおよび金属硫化物がある。また、異なる研削助剤の組み合わせを使用し、場合によってはこれが相乗効果を生じ得ることも本発明の範囲内である。
上記の研削助剤の例は、単なる代表例であることが意図される。本発明において使用するために好ましい研削助剤はクリオライトであり、最も好ましくは、テトラフルオロホウ酸カリウム(KBF4)である。
研削助剤は、研磨材ではないと考えられる。すなわち、研削助剤のモース硬度は8未満である。また研削助剤は不純物を含有することもあり、これらの不純物は、研磨物品の性能に著しく悪い影響を与えてはならない。
研削助剤の粒径は、好ましくは、約0.1〜100マイクロメートルの範囲であり、より好ましくは、10〜70マイクロメートルの間である。一般に、研削助剤の粒径は、好ましくは研磨粒子の粒径と等しいか、あるいはそれより小さい。
研磨コーティングは、一般に、少なくとも約1重量%、通常少なくとも約2.5重量%、好ましくは少なくとも約5重量%、より好ましくは少なくとも約10重量%の研削助剤を含み、そして最も好ましくは、少なくとも約20重量%の研削助剤を含む。約50重量%よりも多い研削助剤は、研削性能が低下し得ると理論付けられるので(より少ない研磨粒子が存在するので)、有害であり得る。研削助剤の量が増大するにつれて、カット比により測定される相対的な研削性能も増大することは驚くべきことであった。研磨コーティング中の研削助剤の量が増大するにつれて研磨粒子の相対量は減少するので、これは思いがけないことであった。研削助剤ではなく、研磨粒子がワークピース表面のカッティングを担う。一般に、研磨コーティングは、5〜90重量%、好ましくは20〜80重量%の研磨粒子と、5〜80重量%、好ましくは5〜40重量%のバインダーと、5〜60重量%、好ましくは10〜40重量%の研削助剤とを含む。
任意的な添加剤
本発明において有用なスラリーは、更に、例えば、フィラー、繊維、潤滑剤、湿潤剤、チキソトロピー材料、界面活性剤、顔料、染料、帯電防止剤、カップリング剤、可塑剤、および懸濁化剤などの添加剤を任意で含むことができる。これらの材料の量は、所望される特性を提供するように選択される。これらの使用は、研磨複合体の侵食性に影響を与え得る。場合によっては、添加剤は、研磨複合体をより浸食性にするために故意に添加され、それにより、鈍くなった研磨粒子を排除して新しい研磨粒子を露出させる。
本発明において有用なスラリーは、更に、例えば、フィラー、繊維、潤滑剤、湿潤剤、チキソトロピー材料、界面活性剤、顔料、染料、帯電防止剤、カップリング剤、可塑剤、および懸濁化剤などの添加剤を任意で含むことができる。これらの材料の量は、所望される特性を提供するように選択される。これらの使用は、研磨複合体の侵食性に影響を与え得る。場合によっては、添加剤は、研磨複合体をより浸食性にするために故意に添加され、それにより、鈍くなった研磨粒子を排除して新しい研磨粒子を露出させる。
本発明において有用な帯電防止剤の例としては、グラファイト、カーボンブラック、酸化バナジウム、保湿剤などがある。これらの帯電防止剤は、米国特許第5,061,294号明細書、同第5,137,542号明細書、および同第5,203,884号明細書に開示されている(参照によって以下に援用される)。
カップリング剤は、バインダー前駆体と、フィラー粒子または研磨粒子との間に結合ブリッジを提供することができる。有用なカップリング剤の例としては、シラン、チタネート、およびジルコアルミネートがある。有用なスラリーは、好ましくは、約0.01〜3重量%のカップリング剤を含有する。
本発明において有用な懸濁化剤の例は、150平方メートル/グラム未満の表面積を有するアモルファスシリカ粒子であり、デグサ社(DeGussa Corp.)から商品名「OX−50」で市販されている。
研磨複合体を含む研磨コーティング
本発明の1つの好ましい態様では、研磨コーティングは、バッキングに結合された複数の研磨複合体の形態である。一般に、各研磨複合体は、正確な形状を有することが好ましい。各複合体の正確な形状は、明確で認識可能な境界によって決定される。これらの明確で認識可能な境界は、研磨物品の断面を走査型電子顕微鏡などの顕微鏡下で検査すると、容易に目で見ることができ、明らかである。比較において、正確な形状を持たない複合体を含む研磨コーティングでは、境界は確定的ではなく、判読しがたいこともある。これらの明確で認識可能な境界は、正確な形状のアウトラインまたは輪郭を形成する。これらの境界は、1つの研磨複合体を別の研磨複合体からいくらか隔てると共に、1つの研磨複合体を別の研磨複合体と区別する。
本発明の1つの好ましい態様では、研磨コーティングは、バッキングに結合された複数の研磨複合体の形態である。一般に、各研磨複合体は、正確な形状を有することが好ましい。各複合体の正確な形状は、明確で認識可能な境界によって決定される。これらの明確で認識可能な境界は、研磨物品の断面を走査型電子顕微鏡などの顕微鏡下で検査すると、容易に目で見ることができ、明らかである。比較において、正確な形状を持たない複合体を含む研磨コーティングでは、境界は確定的ではなく、判読しがたいこともある。これらの明確で認識可能な境界は、正確な形状のアウトラインまたは輪郭を形成する。これらの境界は、1つの研磨複合体を別の研磨複合体からいくらか隔てると共に、1つの研磨複合体を別の研磨複合体と区別する。
図1を参照すると、研磨物品10は、境界25により隔てられた研磨複合体22を含む。複合体の形状に関連する境界によって、1つの研磨複合体は、別の隣接する研磨複合体からいくらか隔てられるようにされる。個々の研磨複合体を形成するために、研磨複合体の形状を形成する境界の部分は、互いに隔てられていなければならない。図1において、基部またはバッキングに最も近い研磨複合体の部分は、その隣の研磨複合体に当接できることに注意されたい。研磨複合体22は、バインダー23中に分散された複数の研磨粒子24と、研削助剤26とを含む。また、研磨複合体のいくつかは当接するが、他の研磨複合体はその間に開放空間を有する、バッキングに結合された研磨複合体の組み合わせを有することも本発明の範囲内である。
場合によっては、形状を形成する境界は平面である。平面を有する形状では、少なくとも3つの平面が存在する。所与の形状のための平面の数は所望のジオメトリによって変化することができ、例えば平面の数は、3から、20を超える範囲であり得る。一般に、3〜10の平面、好ましくは3〜6の平面が存在する。これらの平面は交差して所望の形状を形成し、これらの平面が交差する角度は、形状の寸法を決定し得る。
本発明のもう1つの態様では、研磨複合体の一部は、異なる寸法の研磨複合体を隣に有する。本発明のこの態様では、少なくとも10%、好ましくは少なくとも30%、より好ましくは少なくとも50%および最も好ましくは少なくとも60%の研磨複合体は、異なる寸法を持つ隣接の研磨複合体を有する。これらの異なる寸法は、研磨複合体の形状、平面境界間の角度、または研磨複合体の寸法に関係し得る。隣の研磨複合体のこれらの異なる寸法の結果、研磨または微細化中のワークピース上に比較的微細な表面仕上げを生じる研磨物品がもたらされる。本発明のこの態様は、更に、1993年9月13日に出願された本願譲受人の同時係属中の米国特許出願第08/120,300号明細書に記載されている。
研磨複合体形状はどんな形状でもよいが、好ましくは、矩形、円錐形、半円形、円形三角形、四角形、六角形、ピラミッド形、八角形などのジオメトリ形状である。好ましい形状の実施形態は、「ジオメトリ」という表題のセクションにおいて以下で提示される。個々の研磨複合体形状は、本明細書中では、「突出ユニット」と呼ばれることもある。好ましい形状はピラミッド形であり、このピラミッドの基部には、3つまたは4つの側面をつけることができる。また、研磨複合体の断面の表面積は、バッキングから離れると減少する、あるいはその長さに沿って減少することが好ましい。この変化する表面積は、結果として、研磨複合体が使用中に磨耗するにつれて不均一な圧力を生じる。更に、研磨物品の製造中、この変化する表面積の結果、研磨複合体は、製造ツールから容易に解放される。一般に、1平方cmあたり少なくとも5つの個々の研磨複合体が存在する。場合によっては、1平方cmあたり少なくとも500の個々の研磨複合体が存在し得る。
研磨物品の製造方法
本発明の研磨物品のいずれかを製造するための本質的なステップは、スラリーの調製である。スラリーは、適切な混合技術により、バインダー前駆体、研削助剤、研磨粒子および任意的な添加剤を一緒に混ぜ合わせて製造される。混合技術の例としては低せん断および高せん断混合があるが、高せん断混合が好ましい。研磨スラリーの粘度を低下させるために、混合ステップと組み合わせて超音波エネルギーが用いられてもよい。通常、研磨粒子および研削助剤は、バインダー前駆体中に徐々に添加される。スラリー中の気泡の量は、混合ステップの間、真空に引くことによって最小限にすることができる。場合によっては、通常30°〜70℃の範囲でスラリーを加熱し、粘度を低下させるのが好ましい。スラリーは、スラリーが十分に被覆可能であり、研磨粒子および研削助剤がスラリーから沈降しない神学的(theological)特性を有することが重要である。
本発明の研磨物品のいずれかを製造するための本質的なステップは、スラリーの調製である。スラリーは、適切な混合技術により、バインダー前駆体、研削助剤、研磨粒子および任意的な添加剤を一緒に混ぜ合わせて製造される。混合技術の例としては低せん断および高せん断混合があるが、高せん断混合が好ましい。研磨スラリーの粘度を低下させるために、混合ステップと組み合わせて超音波エネルギーが用いられてもよい。通常、研磨粒子および研削助剤は、バインダー前駆体中に徐々に添加される。スラリー中の気泡の量は、混合ステップの間、真空に引くことによって最小限にすることができる。場合によっては、通常30°〜70℃の範囲でスラリーを加熱し、粘度を低下させるのが好ましい。スラリーは、スラリーが十分に被覆可能であり、研磨粒子および研削助剤がスラリーから沈降しない神学的(theological)特性を有することが重要である。
エネルギー源
スラリーが製造ツール(以下に説明される)からの転移などによりバッキング上に被覆された後、スラリーをエネルギー源に曝露して、バインダー前駆体中の樹脂の重合を開始させることができる。エネルギー源の例としては、熱エネルギーおよび放射エネルギーがある。エネルギーの量は、バインダー前駆体の化学的性質、研磨スラリーの寸法、研磨粒子の量およびタイプ、ならびに任意的な添加剤の量およびタイプなどのいくつかの因子に依存する。熱エネルギーでは、温度は約30°〜150℃の範囲でよく、一般に40°〜120℃の範囲である。曝露時間は、約5分から、24時間を超える範囲であり得る。
スラリーが製造ツール(以下に説明される)からの転移などによりバッキング上に被覆された後、スラリーをエネルギー源に曝露して、バインダー前駆体中の樹脂の重合を開始させることができる。エネルギー源の例としては、熱エネルギーおよび放射エネルギーがある。エネルギーの量は、バインダー前駆体の化学的性質、研磨スラリーの寸法、研磨粒子の量およびタイプ、ならびに任意的な添加剤の量およびタイプなどのいくつかの因子に依存する。熱エネルギーでは、温度は約30°〜150℃の範囲でよく、一般に40°〜120℃の範囲である。曝露時間は、約5分から、24時間を超える範囲であり得る。
適切な放射エネルギー源としては、電子ビーム、紫外光、または可視光がある。電離放射としても知られる電子ビーム放射は、約0.1〜約10Mradのエネルギーレベル、好ましくは約1〜約10Mradのエネルギーレベルで用いることができる。紫外放射は、約200〜約400ナノメートルの範囲内、好ましくは約250〜400ナノメートルの範囲内の波長を有する微粒子ではない放射を指す。可視放射は、約400〜約800ナノメートルの範囲内、好ましくは約400〜約550ナノメートルの範囲内の波長を有する微粒子でない放射を指す。300〜600ワット/インチの可視光を使用するのが好ましい。
この重合工程が完了した後、バインダー前駆体はバインダーに変化され、スラリーは研磨コーティングに変化される。得られた研磨物品は、一般に、使用できる状態にある。しかしながら、場合によっては、加湿または屈曲などの他の工程が更に必要であることもある。研磨物品は、研磨物品が使用される前に円錐形、無端ベルト、シート、ディスクなどの所望の形態に変えることができる。
製造ツール
本発明の第3および第4の態様に関して、場合によっては、研磨コーティングは正確に成形された研磨複合体として存在するのが好ましい。このタイプの研磨物品を製造するために、通常、製造ツールが必要とされる。
本発明の第3および第4の態様に関して、場合によっては、研磨コーティングは正確に成形された研磨複合体として存在するのが好ましい。このタイプの研磨物品を製造するために、通常、製造ツールが必要とされる。
製造ツールは、複数の空洞を含有する。これらの空洞は、実質的に研磨複合体の反対の形状であり、研磨複合体の形状の作成を担う。空洞の寸法は、研磨複合体の所望の形状および寸法を提供するように選択される。空洞の形状または寸法が適切に製造されないと、得られた製造ツールは、研磨複合体の所望の寸法を提供することができない。
空洞は、隣接する空洞の間に空間のあるドットのようなパターンで存在することもできるし、あるいは、空洞は互いに接合されてもよい。空洞は、互いに接合されるのが好ましい。更に、空洞の形状は、研磨複合体の断面積がバッキングから離れると減少するように選択される。
製造ツールは、ベルト、シート、連続シートまたはウェブ、ロートグラビアロールなどのコーティングロール、コーティングロールに取り付けられたスリーブ、またはダイであり得る。製造ツールは、金属、(例えば、ニッケル)、金属合金、またはプラスチックで構成することができる。金属製の製造ツールは、彫刻、ボビング、電鋳、ダイアモンド旋削などの従来の技術によって製造することができる。金属製の製造ツールのための1つの好ましい技法は、ダイアモンド旋削である。
熱可塑性のツールは、金属製マスターツールから複製することができる。マスターツールは、製造ツールに所望されるものと反対のパターンを有し得る。マスターツールは、製造ツールと同じ方法で製造することができる。マスターツールは、好ましくは、金属、例えばニッケルから製造され、ダイアモンド旋削される。熱可塑性シート材料は、任意でマスターツールと共に加熱することができ、2つを一緒にプレスすることにより熱可塑性材料はマスターツールパターンでエンボス加工される。また、熱可塑性樹脂は、マスターツール上に押出または鋳造し、次にプレスすることもできる。熱可塑性材料は冷却されて凝固し、製造ツールを作り出す。好ましい熱可塑性樹脂製の製造ツールの材料の例としては、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン、およびこれらの組み合わせがあげられる。熱可塑性樹脂製の製造ツールが用いられる場合、熱可塑性樹脂製の製造ツールを変形させ得る過剰の熱を発生しないように注意しなければならない。
また、製造ツールは、研磨物品を製造ツールから容易に解放可能にするために剥離コーティングを含有してもよい。金属のためのこのような剥離コーティングの例としては、硬質炭化物、窒化物またはホウ化物コーティングがある。熱可塑性樹脂のための剥離コーティングの例としては、シリコーンおよびフルオロケミカルがある。
図2に示される本発明の研磨物品を製造するための1つの方法は、図2に示されている。バッキング41は、捲き戻しステーション42を出て行き、同時に製造ツール46は、捲き戻しステーション45を出て行く。製造ツール46は、被覆ステーション44によってスラリーで被覆される。粘度を低下させるために、被覆の前にスラリーを加熱すること、および/またはスラリーを超音波にさらすことも可能である。被覆ステーションは、ドロップダイコーター(drop die coater)、ナイフコーター、カーテンコーター、真空ダイコーターまたはダイコーターなどの従来の被覆手段でよい。被覆の間、気泡の形成は最小限にされなければならない。好ましい被覆技術は、米国特許第3,594,865号明細書、同第4,959,265号明細書、および同第5,077,870号明細書(全て参照によって本明細書中に援用される)に開示されるような真空流体ベアリングダイ(vacuum fluid bearing die)である。製造ツールが被覆されたら、バッキングおよびスラリーは、スラリーがバッキングの表側表面を湿潤させるように、任意の手段で接触させられる。図2において、スラリーは、接触ニップロール47によってバッキングと接触させられる。また接触ニップロール47は、次に、得られた構造を支持ドラム43に対して押圧する。エネルギー源48(好ましくは可視光源)は、十分な量のエネルギーをスラリー中に透過させ、バインダー前駆体を少なくとも部分的に硬化させる。部分的に硬化という用語は、逆さにした試験管からスラリーが流出しない状態までバインダー前駆体が重合されることを意味する。バインダー前駆体は、任意のエネルギー源により、製造ツールから取り外されたらすぐに完全に硬化され得る。これに続いて、製造ツールは、もう一度製造ツールを再使用できるようにマンドレル49に巻き直される。任意で、製造ツールは、前駆体が少しも硬化しないうちにバインダー前駆体から取り外されてもよい。取り外された後、前駆体は硬化され、製造ツールは、再使用のためにマンドレル49に巻き直され得る。更に、研磨物品120は、マンドレル121に巻き取られる。バインダー前駆体が完全に硬化されていなければ、バインダー前駆体は、時間経過によって、および/またはエネルギー源への曝露によって完全に硬化させることができる。この第1の方法に従う研磨物品を製造するための更なるステップは、米国特許第5,152,917号明細書および1993年1月14日に出願された米国特許出願第08/004,929号明細書に更に記載されており、いずれも参照によって本明細書中に援用される。無作為に形作られた研磨複合体は、1993年9月13日出願の同時係属中の米国特許出願第08/120,300号明細書(参照によって本明細書中に援用される)に記載される工具および手順によって製造することができる。
バインダー前駆体は、放射エネルギーによって硬化されるのが好ましい。放射エネルギーは、製造ツールが放射エネルギーをあまり吸収しない限りは、製造ツールを透過することができる。更に、放射エネルギー源は、製造ツールをあまり劣化させてはならない。熱可塑性樹脂製の製造ツールおよび紫外または可視光を使用するのが好ましい。
スラリーは、製造ツールの空洞内ではなく、バッキング上に被覆させることもできる。次に、スラリーが被覆されたバッキングは、スラリーが製造ツールの空洞内に流れ込むように製造ツールと接触させられる。研磨物品を製造するための残りのステップは、上記で詳述したものと同じである。
図3にはもう1つの方法が示されている。バッキング51は、捲き戻しステーション52を出て行き、スラリー54は、被覆ステーション53によって製造ツール55の空洞内に被覆される。スラリーは、ドロップダイコーティング、ロールコーティング、ナイフコーティング、カーテンコーティング、真空ダイコーティング、またはダイコーティングなどの多くの技法のうちの1つによって、ツール上に被覆させることができる。この場合もやはり、粘度を低下させるために、被覆の前にスラリーを加熱すること、および/またはスラリーを超音波にさらすことが可能である。被覆の間、気泡の形成は最小限にされなければならない。次に、バッキングと、研磨スラリーを含有する製造ツールとは、スラリーがバッキングの表側表面を湿潤させるように、ニップロール56によって接触させられる。次に、スラリー中のバインダー前駆体は、エネルギー源57に曝露することにより少なくとも部分的に硬化される。この少なくとも部分的な硬化の後、スラリーは、バッキングに結合または接着した研磨複合体59に変化される。得られた研磨物品は、ニップロール58によって製造ツールから取り外され、捲き直しステーション60に巻き取られる。任意で、製造ツールは、前駆体が少しも硬化しないうちにバインダー前駆体から取り外されてもよい。製造ツールが取り外されたら、前駆体を硬化させることができる。いずれの場合でも、エネルギー源は、熱エネルギーまたは放射エネルギーであり得る。エネルギー源が紫外光または可視光のいずれかであれば、バッキングは紫外または可視光に対して透過性であるのが好ましい。このようなバッキングの例は、ポリエステルバッキングである。
スラリーは、バッキングの表側表面に直接被覆させることもできる。次に、スラリーが被覆されたバッキングは、スラリーが製造ツールの空洞内を湿潤させるように、製造ツールと接触させられる。研磨物品を製造するための残りのステップは、上記で詳述したものと同じである。
ワークピース表面の微細化方法
本発明のもう1つの態様は、金属表面を研磨する方法に関する。この方法は、本発明の研磨物品と、金属表面を有するワークピースとを摩擦接触させることを伴う。用語「研磨する」は、金属製ワークピースの一部が研磨物品によってカットまたは除去されることを意味する。更に、ワークピース表面に関連する表面仕上げは、通常、この微細化工程の後に減少される。1つの典型的な表面仕上げの尺度はRaであり、Raは算術的な表面仕上げであり、通常はマイクロインチまたはマイクロメートルで測定される。表面仕上げは、ペルトメータ(Perthometer)またはサートロニック(Surtronic)などのプロファイロメータによって測定することができる。
本発明のもう1つの態様は、金属表面を研磨する方法に関する。この方法は、本発明の研磨物品と、金属表面を有するワークピースとを摩擦接触させることを伴う。用語「研磨する」は、金属製ワークピースの一部が研磨物品によってカットまたは除去されることを意味する。更に、ワークピース表面に関連する表面仕上げは、通常、この微細化工程の後に減少される。1つの典型的な表面仕上げの尺度はRaであり、Raは算術的な表面仕上げであり、通常はマイクロインチまたはマイクロメートルで測定される。表面仕上げは、ペルトメータ(Perthometer)またはサートロニック(Surtronic)などのプロファイロメータによって測定することができる。
ワークピース
金属製ワークピースは、軟鋼、ステンレス鋼、チタンなどの金属、金属合金、異種金属合金(exotic metal alloy)などのどのタイプでもよい。ワークピースは平坦でもよいし、あるいは、形状またはそれに関連する輪郭を有していてもよい。
金属製ワークピースは、軟鋼、ステンレス鋼、チタンなどの金属、金属合金、異種金属合金(exotic metal alloy)などのどのタイプでもよい。ワークピースは平坦でもよいし、あるいは、形状またはそれに関連する輪郭を有していてもよい。
用途に応じて、界面を研磨する力は、約0.1kgから、1000kgを超えるまでの範囲であり得る。一般には、この範囲は、1kg〜500kgの界面を研磨する力である。また、用途に応じて、研磨中に液体が存在してもよい。この液体は、水および/または有機化合物であり得る。典型的な有機化合物の例としては、潤滑剤、油、乳化された有機化合物、切削液、セッケンなどがあげられる。また、これらの液体は、消泡剤、脱脂剤、防蝕剤などのその他の添加剤を含有してもよい。研磨物品は、使用中に、研磨界面で振動してもよい。場合によっては、この振動は、研磨中のワークピースにより微細な表面をもたらすことができる。
本発明の研磨物品は手で使用することもできるし、あるいは、機械と組み合わせて使用することもできる。研磨物品およびワークピースのうちの少なくとも1つまたは両方は、研削中に他方に対して動かされる。研磨物品は、ベルト、テープロール、ディスク、シートなどに加工することができる。ベルト用途では、研磨材シートの2つの自由端部が互いいに接合されて、接合部が形成される。1992年7月24日に出願された本願譲受人の同時係属中の米国特許出願第07/919,541号明細書(参照よって以下に援用される)に記載されるような、接合部のないベルトを使用することも本発明の範囲内である。一般に無端研磨材ベルトは、少なくとも1つのアイドラーロールおよびプラテンまたは接触ホイールを横切る。プラテンまたは接触ホイールの硬度は、所望のカット比およびワークピース表面の仕上げを得るように調整される。研磨材ベルトの速度は、所望されるカット比および表面仕上げに依存する。ベルトの寸法は、幅約5mm〜1,000mm、および長さ約5mm〜10,000mmの範囲でよい。研磨材テープは、連続した長さの研磨物品である。これらは、幅が約1mm〜1,000mmの範囲、一般には5mm〜250mmの間でよい。研磨材テープは、通常、巻き戻され、テープをワークピースに対して押圧する支持パッドを横切って、次に巻き直される。研磨材テープは、研磨界面を通って連続的に供給され、インデックスを付けることができる。研磨材ディスクは、直径が約50mm〜1,000mmの範囲でよい。通常、研磨材ディスクは、取付手段によってバックアップパッドに固定される。これらの研磨材ディスクは、100〜20,000回転/分、通常1,000〜15,000回転/分で回転することができる。
ジオメトリ
「研磨複合体を含む研磨コーティング」という表題の本開示のセクションにおいて暗示されるように、研磨複合体は、研磨複合体が結合されるバッキングから突出するユニットに形作ることができる。形作られた個々の複合研磨材は、本明細書では「突出ユニット」と呼ばれる。突出ユニットのために選択される特定のジオメトリは、突出ユニットが位置される構造化研磨物品の性能に影響を与え得る。以下に与えられるジオメトリ構成は、高い初期カット比(1サイクルあたりの質量で測定される)を提供し、そして各連続的な研磨サイクルと共に最小限のカット比の低下を示すように選択される。
「研磨複合体を含む研磨コーティング」という表題の本開示のセクションにおいて暗示されるように、研磨複合体は、研磨複合体が結合されるバッキングから突出するユニットに形作ることができる。形作られた個々の複合研磨材は、本明細書では「突出ユニット」と呼ばれる。突出ユニットのために選択される特定のジオメトリは、突出ユニットが位置される構造化研磨物品の性能に影響を与え得る。以下に与えられるジオメトリ構成は、高い初期カット比(1サイクルあたりの質量で測定される)を提供し、そして各連続的な研磨サイクルと共に最小限のカット比の低下を示すように選択される。
図4A〜H、5、ならびに6Aおよび6Bに示される突出ユニット、ならびに本明細書中で説明されるその他の突出ユニットは、上記の製造方法を用いて、上記の材料から構造化することができる。図4A〜H、5、ならびに6Aおよび6Bは突出ユニット内に砥粒およびバインダーを描いていないが、突出ユニットは砥粒およびバインダーを構成材料として有するので、このような粒およびバインダーが存在することは理解される。
図4Aは、突出ユニット400の平面図を描く。突出ユニットは、正方形の形状の基部401を有する。基部401以外に、突出ユニット400は、基部401の様々な側部のそれぞれから線状頂端部406まで延在する4つの側面を有する。図4Aの視点のために、側面403および405だけしか見ることができない。
図4Aから分かるように、線状頂端部406は、基部401と同一平面である平面に投影されると、基部401の反対側に配置される側部の間に延在する。突出ユニットの基部と同一平面である平面への、頂端部406などの頂端部の投影について言及する場合、「頂端部の投影」または「線状頂端部の投影」という用語が本明細書中で使用され得る。線状頂端部406の投影がその間に延在する、反対側に配置される側部の中心点は、小さいハッシュ(hashing)で識別される。線状頂端部406の投影は、反対側に配置された側部の中心点の間に延在しない。
図4Aの突出ユニットは、図4Bに示されるように、二次元アレイに配列され得る。図4Bは、各突出ユニット400の基部が、隣接の突出ユニット400基部と当接するように配置された実質的に同一の突出ユニット400のアレイを描く。突出ユニット400は、バッキング408に結合され、研磨物品を形成して示される。図4Bに描かれるアレイは、2×2で示されているが、アレイは、原則としてどんなサイズでもよい。更に、図4Cに示されるように、アレイは、隣接する突出ユニット400の基部が互いに当接しないように構成されてもよい。
図4Dは、突出ユニット410を描く。図4Dにおいて分かるように、突出ユニットは、その投影が基部414の一方の側部から他方の側部まで延在するのに不十分な長さを有する線状頂端部412を有する。従って、側部のそれぞれは、基部414から遠位の線状頂端部まで、内側に次第に細くなる。特に、線状頂端部412の投影が外挿されれば、その外挿は、基部414の反対側に配置される側部のいずれの中心点とも合致しない。このようにして、線状頂端部412の投影は、基部414の反対側に配置された側部の中心点「の間に」延在しないということができる。
図4Eは、更にもう1つの突出ユニット416を描く。図4A、4B、4C、および4Dに描かれる突出ユニットは、そのそれぞれの線状頂端部412が、同様の構成の使用により、そのそれぞれの基部の反対側に配置される側部の中心点の間に延在せず、線状頂端部が、そのそれぞれの基部の全ての側部に対して斜めになっているという特徴を示す。図4Eに示されるように、線状頂端部418の投影は、基部420の側部のいくつかに対して平行でもよいが、基部420反対側に配置される側部の中心点の間に延在しない。
図4Fは、更にもう1つの突出ユニット422を描く。図4Fは、突出ユニットの頂端部は線状でよいが、直線であることは必須ではないことを実証する。突出ユニット422は、曲線の(直線とは対照的に)頂端部424を有する。曲線状頂端部424の投影は、基部426の反対側に配置される側部の中心点の間に延在しない。
図4A、4B、4C、4D、4E、および4Fにおいて提示された基部は、全て正方形の形状である。このような制限は必須ではない。原則として、基部は任意の閉鎖形状でよい。例えば、基部は規則的または不規則な多角形でもよく、平行四辺形、矩形、または任意の四角形でもよい。基部は、円形または楕円形でもよい。基部の側部は、直線でも曲線でもよい。例えば、図4Gに描かれる突出ユニット428は4つの側部を有し、そのうち2つは、曲線430および432である。基部の反対側に配置される曲線側部の中心点は、曲線側部を、第1の区分の長さが第2の区分の長さに等しい2つの区分に分割することにより分かる。例えば、側部430は2つの区分、区分ABおよびBCに分割されている。中心点である点Bは、区分ABの長さが区分BCの長さに等しいように位置決めされる。中心性のその他の尺度を用いて直線でない線の中心点を識別できることは、当業者には理解される。この場合もやはり、線状頂端部434の投影は反対側に配置される側部430と432との間に延在するが、そのそれぞれの中心点は通らない。
図4Hは、五角形の形状である基部438を有する突出ユニット436を描く。側部ABの中心点は小さいハッシュマークで識別される。特に、突出ユニット436は、一見したところでは、側部ABの反対に配置される側部を有さないように見える。基部の反対側に配置される側部上の非中心点の間に延在するように線状頂端部440を方向付けるために、ABの反対側の側部は、複合区分ACDEBであると考えることができる。区分ACDの長さは区分DEBの長さに等しいので、側部ACDEBの中心点は点Dである。従って、線状頂端部440は、基部438の反対側に配置される側部の中心点の間に延在しないことがはっきりと分かる。
図4Hに関連した説明から抽出される一般的原理は、特定の方式を使用して、基部の所与の側部の反対側に配置される側部を発見できることである。一言で言えば、基部の所与の側部の範囲を定める一組の側部は、集合的に、所与の側部の反対側に配置される単一の側部であると考えることができる(例えば、側部ACDEBは側部ABの範囲を定め、側部ABの反対側に配置されると考えることができる)。
図5は、突出ユニットの二次元アレイを含む研磨物品500の斜視図を描いており、そのうちいくつかは参照番号502で識別されている。各突出ユニット502は、矩形である基部を有する。本発明の1つの実施形態によると、基部の長さおよび幅は、1〜150ミルでよい。各基部は、線状頂端部504を有する。本発明の1つの実施形態によると、線状頂端部は、60ミルまで基部よりも上に向けられ得る。図5の基部のそれぞれは、同じサイズおよびジオメトリを有するように描かれているが、いずれの条件も必須ではない。基部は、変化するサイズおよび/またはジオメトリを有してもよい。また、線状頂端部504のそれぞれは互いに平行であるように描かれているが、この条件は必須ではない。線状頂端部504は、互いに平行でなくてもよい。最後に、線状頂端部のそれぞれは、そのそれぞれの基部から一定の距離であるように描かれているが、この条件も必須ではない。基部とそのそれぞれの線状頂端部504との間の距離は、突出ユニット502同士の間で変化してもよい。
図6Aは、突出ユニット600〜606のアレイを描く。突出ユニット600〜606のそれぞれは、実質的に点の形状である頂端部608〜614を有する。先行する実施例のいずれかの線状頂端部はどれも、線状区分で具体化されるのとは対照的に、点で具体化されてもよい。説明を図6Aに戻して、突出ユニット600〜606のそれぞれにおいて、頂端部608〜614は、中心から離れて位置する。各頂端部608〜614の投影は、それぞれの基部の中心および/または質量中心から頂端部608〜614の投影まで延在するオフセットベクトルv1、v2、v3、およびv4を定義する。特に、オフセットベクトルv1、v2、v3、およびv4の総和は、ゼロに等しくない。例えば、オフセットベクトルv1、v2、v3、およびv4のそれぞれが単位ベクトルであると仮定すれば、ベクトルの総和は2yである。突出ユニットの大型アレイでは、オフセットベクトルの総和は、総計されるベクトルの数が無限大に近づくので、ゼロの限界まで近づかないはずである。
別の言い方をすると、全体としてみると、アレイは、頂端部608〜614の位置決めに関して正味の方向性(net directionality)を示すはずである。
図6Bは、線状頂端部616〜622を有する突出ユニットに当てはまるような正味の釣り合いの考えを示す。図6Bから分かるように、線状頂端部616〜622の投影は、それぞれの基部の中心および/または質量中心から頂端部616〜622の投影の中心まで延在するオフセットベクトルv1、v2、v3、およびv4を定義する。この場合もやはり、突出ユニットの大きいアレイでは、総計されるベクトルの数が無限大に近づくので、オフセットベクトルの総和は、ゼロの限界まで近づかないはずである。
別の言い方をすると、全体としてみると、アレイは、頂端部608〜614の位置決めに関して正味の方向性を示すはずである。
本発明の様々な修正および変更は、本発明の範囲および精神から逸脱することなく当業者には明らかになるであろう。そして本発明が、本明細書中に記載される説明となる実施形態に不当に制限されてはならないことは理解されるべきである。
Claims (16)
- 複数の突出ユニットの研磨材アレイであって、
各ユニットが、少なくとも砥粒およびバインダーで構成された本体を有し、各本体が、基部と、前記基部から最も遠位の領域とを有し、
前記研磨材アレイが、二次元に分配された複数の突出ユニットを含み、
各突出ユニットが、周縁部を有する基部を有し、
各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると前記基部の周縁部の範囲内に入り、前記遠位領域の投影と前記基部の中心点との間のオフセットベクトルが定義され、
複数の突出ユニットの前記オフセットベクトルがゼロの限界まで近づく総和を示さない研磨材アレイ。 - 各遠位領域が線状である、請求項1に記載の研磨材アレイ。
- 各遠位領域が直線である、請求項2に記載の研磨材アレイ。
- 各線状領域が曲線である、請求項2に記載の研磨材アレイ。
- 各基部が平行四辺形である、請求項1に記載の研磨材アレイ。
- 前記平行四辺形の側部がどれも、前記研磨材アレイが配置される物品の縁部に平行でない、請求項5に記載の研磨材アレイ。
- 各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると前記基部の周縁部の範囲内に入る、請求項1に記載の研磨材アレイ。
- 連続的な基部が当接しない、請求項1に記載の研磨材アレイ。
- 表側および裏側表面を有するバッキングと、
前記バッキングの表側表面に結合された研磨コーティングと、
を含む研磨物品であって、
前記研磨コーティングが、二次元に分配された複数の突出ユニットを含み、
各突出ユニットが、周縁部を有する基部を有し、
各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると前記基部の周縁部の範囲内に入り、前記遠位領域の投影と前記基部の中心点との間のオフセットベクトルが定義され、
複数の突出ユニットの前記オフセットベクトルがゼロの限界まで近づく総和を示さない研磨物品。 - 各遠位領域が線状である、請求項9に記載の研磨物品。
- 各遠位領域が直線である、請求項10に記載の研磨物品。
- 各遠位領域が曲線である、請求項10に記載の研磨物品。
- 各基部が平行四辺形である、請求項9に記載の研磨物品。
- 前記平行四辺形の側部がどれも、研磨材アレイが配置される物品の縁部に平行でない、請求項13に記載の研磨物品。
- 各ユニットでは、そのそれぞれの遠位領域は、そのそれぞれの基部と同一平面である平面に投影されると前記基部の周縁部の範囲内に入る、請求項9に記載の研磨物品。
- 連続的な基部が当接しない、請求項9に記載の研磨物品。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/668,410 US20050060944A1 (en) | 2003-09-23 | 2003-09-23 | Method of making a coated abrasive |
PCT/US2004/024090 WO2005035193A2 (en) | 2003-09-23 | 2004-07-27 | Method of making a coated abrasive |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007505754A true JP2007505754A (ja) | 2007-03-15 |
Family
ID=34313474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006527969A Withdrawn JP2007505754A (ja) | 2003-09-23 | 2004-07-27 | 被覆研磨材の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050060944A1 (ja) |
EP (1) | EP1680259A2 (ja) |
JP (1) | JP2007505754A (ja) |
KR (1) | KR20060093116A (ja) |
CN (1) | CN1882416A (ja) |
BR (1) | BRPI0414646A (ja) |
WO (1) | WO2005035193A2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0612788D0 (en) * | 2006-06-28 | 2006-08-09 | Insectshield Ltd | Pest control materials |
US8038750B2 (en) | 2007-07-13 | 2011-10-18 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive with overlayer, and method of making and using the same |
US8080073B2 (en) * | 2007-12-20 | 2011-12-20 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive article having a plurality of precisely-shaped abrasive composites |
US8348723B2 (en) * | 2009-09-16 | 2013-01-08 | 3M Innovative Properties Company | Structured abrasive article and method of using the same |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR881239A (fr) * | 1941-12-17 | 1943-04-19 | Nouveau procédé de fabrication et d'utilisation des compositions abrasives | |
DE2238387A1 (de) * | 1972-08-04 | 1974-03-28 | Winter & Sohn Ernst | Mehrschneidiges zerspanwerkzeug |
US5213590A (en) * | 1989-12-20 | 1993-05-25 | Neff Charles E | Article and a method for producing an article having a high friction surface |
US5181939A (en) * | 1989-12-20 | 1993-01-26 | Charles Neff | Article and a method for producing an article having a high friction surface |
EP0938951B1 (en) * | 1993-06-02 | 2002-09-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method of producing an abrasive tape |
ES2109709T3 (es) * | 1993-06-17 | 1998-01-16 | Minnesota Mining & Mfg | Articulos abrasivos con diseño y metodos de fabricacion y empleo de los mismos. |
US5484330A (en) * | 1993-07-21 | 1996-01-16 | General Electric Company | Abrasive tool insert |
US5489235A (en) * | 1993-09-13 | 1996-02-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article and method of making same |
DE69700910T2 (de) * | 1996-03-15 | 2000-06-29 | Norton Co | Einzelschleifschietmetall mit profilierter schneideoberfläche |
US5833724A (en) * | 1997-01-07 | 1998-11-10 | Norton Company | Structured abrasives with adhered functional powders |
US5863306A (en) * | 1997-01-07 | 1999-01-26 | Norton Company | Production of patterned abrasive surfaces |
US6194317B1 (en) * | 1998-04-30 | 2001-02-27 | 3M Innovative Properties Company | Method of planarizing the upper surface of a semiconductor wafer |
US6224465B1 (en) * | 1997-06-26 | 2001-05-01 | Stuart L. Meyer | Methods and apparatus for chemical mechanical planarization using a microreplicated surface |
US6217426B1 (en) * | 1999-04-06 | 2001-04-17 | Applied Materials, Inc. | CMP polishing pad |
US6319108B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Metal bond abrasive article comprising porous ceramic abrasive composites and method of using same to abrade a workpiece |
US6602123B1 (en) * | 2002-09-13 | 2003-08-05 | Infineon Technologies Ag | Finishing pad design for multidirectional use |
US6821196B2 (en) * | 2003-01-21 | 2004-11-23 | L.R. Oliver & Co., Inc. | Pyramidal molded tooth structure |
-
2003
- 2003-09-23 US US10/668,410 patent/US20050060944A1/en not_active Abandoned
-
2004
- 2004-07-27 EP EP04757311A patent/EP1680259A2/en not_active Withdrawn
- 2004-07-27 KR KR1020067007715A patent/KR20060093116A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-07-27 WO PCT/US2004/024090 patent/WO2005035193A2/en active Search and Examination
- 2004-07-27 BR BRPI0414646-8A patent/BRPI0414646A/pt not_active Application Discontinuation
- 2004-07-27 CN CNA2004800343631A patent/CN1882416A/zh active Pending
- 2004-07-27 JP JP2006527969A patent/JP2007505754A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1882416A (zh) | 2006-12-20 |
WO2005035193A3 (en) | 2005-06-09 |
US20050060944A1 (en) | 2005-03-24 |
KR20060093116A (ko) | 2006-08-23 |
EP1680259A2 (en) | 2006-07-19 |
WO2005035193A2 (en) | 2005-04-21 |
BRPI0414646A (pt) | 2006-11-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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