JP2007335657A - プラズマ処置装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に減圧される処理室を形成する真空容器と、該真空容器内にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記真空容器内に配置した試料台201上に載置された試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、前記試料台に配置され前記試料を前記試料台に吸着させる手段と、前記試料台内に配置され、前記試料台の上方に移動して前記試料を試料台上面から押し上げるピン305と、前記減圧された処理室とは封止され大気圧にされた室内に配置され、前記ピンと連結されて内部のシリンダ内のピストンの動作により前記ピンを駆動する駆動機構320と、前記ピンと前記大気圧にされた室との間を封止するとともに前記ピンの動作に伴って伸縮するベローズ306と、可圧縮性の流体を前記ピストンにより仕切られる前記シリンダ内の空間に、シリンダ押し上げ力が所定値以下となるように調整して供給する調節器308を備えた。
【選択図】図3
Description
102 処理ブロック
103、104 処理ユニット
105 搬送室
106 ロック室
107 筐体
108 カセット
201 試料台
202 シャワープレート
203 石英プレート
210 放電室
211 チャンバ
212 大気ゲートバルブ
213 蓋
301 電極
304 シリンダ
305 ピン
306 ベローズ
308 圧力調節器
Claims (4)
- 内部に減圧される処理室を形成する真空容器と、
該真空容器内にプラズマを生成し、生成したプラズマにより前記真空容器内に配置した試料台上に載置された試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、
前記試料台に配置され前記試料を前記試料台に吸着させる手段と、
前記試料台内に配置され、前記試料台の上方に移動して前記試料を試料台上面から押し上げるピンと、
前記減圧された処理室とは封止され大気圧にされた室内に配置され、前記ピンと連結されて内部のシリンダ内のピストンの動作により前記ピンを駆動する駆動機構と、
前記ピンと前記大気圧にされた室との間を封止するとともに前記ピンの動作に伴って伸縮するベローズと、
可圧縮性の流体を前記ピストンにより仕切られる前記シリンダ内の空間に、シリンダ押し上げ力が所定値以下となるように調整して供給する調節器を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、
前記ピンが前記試料と接触した後、接触状態が所定時間以上連続した場合に前記ピンの駆動を停止することを特徴とするプラズマ処置装置。 - 請求項1または2記載のプラズマ処理装置において、
前記ピンまたはピンに連続されている部材の位置を検出するセンサを備え、該センサからの出力を用いて前記試料の試料台上面からの離脱を検出することを特徴とするプラズマ処理装置 - 請求項3記載の記載のプラズマ処理装置において、
前記試料の前記試料台上面からの離脱を検出した後は、前記所定値以上の押し上げ力で前記ピンを駆動することを特徴とするプラズマ処置装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006166171A JP2007335657A (ja) | 2006-06-15 | 2006-06-15 | プラズマ処置装置 |
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JP2007335657A5 JP2007335657A5 (ja) | 2009-06-18 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-06-15 JP JP2006166171A patent/JP2007335657A/ja active Pending
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