JP2007315959A - Lens-measuring device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lens-measuring device capable of smoothly measuring lenses of different kinds. <P>SOLUTION: In this lens-measuring device for measuring the optical characteristics of a lens 1, when a tray 7 for storing the lens 1 is arranged on a lens measuring position, the kind of the lens 1 stored in the tray 7 is detected based on information attached to the tray 7, and measurement setting of a measuring part 2 is performed, corresponding to the kind of the lens 1. As a result, there is no need for the operator of a device to perform measurement setting, corresponding to the kind of the lens 1 that is to be measured, to thereby enable smooth measuring work. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置に関するものである。   The present invention relates to a lens measuring device that measures optical characteristics of a lens.

従来、レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置として、例えば、特開2004−294076号公報に記載されるように、レンズのMTF値の測定やMTF−デフォーカス特性を測定する測定装置が知られている。この装置は、装置内に配置された被検レンズに基準チャートを介してハロゲンランプなどの光を入射し、被検レンズから出射される光像を固体撮像素子で検出して、被検レンズのMTF値の測定やMTF−デフォーカス特性を測定しようとするものである。
特開2004−294076号公報
2. Description of the Related Art Conventionally, as a lens measuring device that measures the optical characteristics of a lens, for example, a measuring device that measures the MTF value of a lens or the MTF-defocus characteristic is known, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-294076. ing. In this apparatus, light such as a halogen lamp is incident on a test lens disposed in the apparatus via a reference chart, and a light image emitted from the test lens is detected by a solid-state imaging device. It is intended to measure the MTF value and the MTF-defocus characteristic.
JP 2004-294076 A

しかしながら、このようなレンズ測定装置において、種類の異なる被検レンズの測定を行う場合、円滑に測定作業が行えないという問題点がある。例えば、種類の異なる被検レンズを測定するときにレンズの焦点距離が変わる場合には、基準チャートの配置位置の設定など測定系の設定を変更する必要がある。その変更の都度、作業員が測定系の設定を変更するのは煩雑な作業となり、測定作業が効率よく行えない。また、設定変更を誤って基準チャートが適切な位置に設定されていないと、正確な測定が行えなえず、場合によっては、装置の破損を来すおそれもある。   However, in such a lens measuring apparatus, when measuring different types of test lenses, there is a problem that the measuring operation cannot be performed smoothly. For example, if the focal length of the lens changes when measuring different types of test lenses, it is necessary to change the setting of the measurement system, such as the setting position of the reference chart. Every time the change is made, it is complicated work for the worker to change the setting of the measurement system, and the measurement work cannot be performed efficiently. In addition, if the reference chart is not set to an appropriate position by mistake in changing the setting, accurate measurement cannot be performed, and in some cases, the apparatus may be damaged.

そこで本発明は、このような技術課題を解決するためになされたものであって、測定すべきレンズの種類に応じて自動的に測定設定することにより、種類の異なるレンズの測定が円滑に行えるレンズ測定装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve such a technical problem, and by automatically measuring and setting according to the type of lens to be measured, it is possible to smoothly measure different types of lenses. An object of the present invention is to provide a lens measuring device.

すなわち、本発明に係るレンズ測定装置は、レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置において、測定対象となるレンズを保持する保持具と、前記保持具がレンズ測定位置に配置されたときに、前記保持具に付される情報に基づいて前記保持具に保持されるレンズの種類を検出する検出手段と、前記検出手段により検出されたレンズの種類に応じて測定部の測定設定を行う測定設定手段とを備えて構成されている。   That is, the lens measuring device according to the present invention is a lens measuring device that measures the optical characteristics of a lens, and a holder that holds a lens to be measured, and the holder is disposed at a lens measurement position. Detection means for detecting the type of lens held by the holder based on information attached to the holder, and measurement setting means for performing measurement setting of the measurement unit according to the type of lens detected by the detection means And is configured.

この発明によれば、レンズを保持した保持具がレンズ測定位置に配置されたときに保持具に付与される情報に基づいてレンズの種類が検出されそのレンズに応じて測定部の測定設定が行われる。このため、レンズ測定装置の操作者が測定するレンズの種類に応じて測定の設定を行う必要がなく、測定作業が円滑に行える。また、保持具をレンズ測定位置に配置することにより、自動的にレンズの種類が認識されるため、レンズの種類を間違えて測定設定されることが防止できる。   According to the present invention, the type of the lens is detected based on the information given to the holder when the holder holding the lens is arranged at the lens measurement position, and the measurement setting of the measurement unit is performed according to the lens. Is called. For this reason, it is not necessary for the operator of the lens measurement device to set measurement according to the type of lens to be measured, and the measurement operation can be performed smoothly. Further, since the type of the lens is automatically recognized by arranging the holder at the lens measurement position, it is possible to prevent the measurement from being set by mistake in the type of the lens.

また本発明に係るレンズ測定装置は、前記レンズの焦点位置にチャートを配置し逆投影により前記レンズの光学特性を測定する装置であって、前記測定設定手段が前記レンズの種類に応じて前記チャートの位置を設定することが好ましい。   The lens measuring device according to the present invention is a device that arranges a chart at the focal position of the lens and measures the optical characteristics of the lens by back projection, wherein the measurement setting means determines the chart according to the type of the lens. It is preferable to set the position.

この発明によれば、逆投影でレンズの光学特性を測定することにより、チャートがレンズの近い位置に配置されることとなる。この場合において、測定設定手段がレンズに応じてチャート位置を自動設定するため、装置の操作者が誤って測定設定しチャートが保持具やレンズに接触して破損するなどの事態を防止することができる。   According to the present invention, by measuring the optical characteristics of the lens by back projection, the chart is arranged at a position close to the lens. In this case, since the measurement setting means automatically sets the chart position according to the lens, it is possible to prevent a situation in which the operator of the apparatus makes a measurement setting accidentally and the chart is damaged due to contact with the holder or the lens. it can.

また本発明に係るレンズ測定装置において、前記レンズの光学特性として少なくともMTFを測定するものであることが好ましい。   In the lens measuring device according to the present invention, it is preferable that at least MTF is measured as an optical characteristic of the lens.

本発明によれば、測定すべきレンズの種類に応じて自動的に測定設定することにより、種類の異なるレンズの測定を円滑に行うことができる。   According to the present invention, by automatically measuring and setting according to the type of lens to be measured, different types of lenses can be measured smoothly.

以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図における部材や部材に形成される部分の構成比率は説明のものと必ずしも一致していない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In addition, the constituent ratios of members and portions formed in the members in the drawings do not necessarily match those described.

図1は、本発明の実施形態に係るレンズ測定装置の構成概要図である。本実施形態に係るレンズ測定装置は、レンズ1の光学特性を測定する装置であり、例えばMTF(Modulation Transfer Function)の測定に用いられる。レンズ測定装置は、測定部2、解析制御部3、モニタ4、判定部5及び電源部6を備えて構成されている。測定部2は、レンズ1の光学特性を測定するものである。測定部2及び電源部6は、装置本体を構成するものであり、例えばそれぞれ別個の筐体21、61に各構成部品を収容している。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a lens measuring apparatus according to an embodiment of the present invention. The lens measurement device according to the present embodiment is a device that measures the optical characteristics of the lens 1 and is used, for example, for measuring MTF (Modulation Transfer Function). The lens measurement device includes a measurement unit 2, an analysis control unit 3, a monitor 4, a determination unit 5, and a power supply unit 6. The measuring unit 2 measures the optical characteristics of the lens 1. The measurement unit 2 and the power supply unit 6 constitute an apparatus main body, and each component is accommodated in, for example, separate casings 21 and 61.

測定部2は、電源部6上に載置されている。例えば、測定部2は、防振ゴム62を介して電源部6上に載置され、電源部6の作動により生ずる振動が伝達しないように設けられている。これにより、振動の少ない環境でレンズ1の光学特性が測定できる。   The measurement unit 2 is placed on the power supply unit 6. For example, the measurement unit 2 is placed on the power supply unit 6 via the vibration isolating rubber 62 and is provided so that vibrations generated by the operation of the power supply unit 6 are not transmitted. Thereby, the optical characteristic of the lens 1 can be measured in an environment with little vibration.

測定対象物であるレンズ1は、トレー7に保持されて測定される。トレー7は、レンズ1を保持する保持具であって、レンズ1に光を透過できるように支持する構造となっている。トレー7は、複数のレンズ1を一度に収容できるものを用いることが好ましい。測定部2には、トレー7を載置するXYステージ22が設けられている。XYステージ22は、トレー7を載置させ、トレー7をX方向である左右方向とY方向である前後方向に移動可能に構成され、そのトレー7の移動によって測定対象となるレンズ1を移動させる。XYステージ22としては、トレー7をX方向及びY方向に移動可能なものであればいずれのものを用いてもよい。   The lens 1 which is a measurement object is held on the tray 7 and measured. The tray 7 is a holder that holds the lens 1 and has a structure that supports the lens 1 so that light can be transmitted. It is preferable to use a tray 7 that can accommodate a plurality of lenses 1 at a time. The measurement unit 2 is provided with an XY stage 22 on which the tray 7 is placed. The XY stage 22 is configured to place the tray 7 and to move the tray 7 in the left-right direction that is the X direction and the front-rear direction that is the Y direction, and the lens 1 to be measured is moved by the movement of the tray 7. . Any XY stage 22 may be used as long as it can move the tray 7 in the X and Y directions.

XYステージ22には、トレー7に保持されるレンズ1の種類を検出する検出部22aが設けられている。検出部22aは、トレー7に設けられる識別部71の情報に基づいてトレー7が保持するレンズ1の種類を検出する。また、検出部22aは、トレー7に設けられる識別部71の情報に基づいてトレー7の識別番号を検出する。トレー7の識別番号は、同じ種類のトレー7を個々に識別するための番号であり、トレー7ごとに異なる識別番号が割り当てられている。このトレー7の識別番号としては、連続したシリアル番号を割り当てることが好ましい。   The XY stage 22 is provided with a detection unit 22 a that detects the type of the lens 1 held on the tray 7. The detection unit 22 a detects the type of the lens 1 held by the tray 7 based on information from the identification unit 71 provided on the tray 7. Further, the detection unit 22 a detects the identification number of the tray 7 based on the information of the identification unit 71 provided on the tray 7. The identification number of the tray 7 is a number for individually identifying the same type of tray 7, and a different identification number is assigned to each tray 7. As the identification number of the tray 7, it is preferable to assign a continuous serial number.

測定部2には、チャート23が配置されている。チャート23は、レンズ1に入力する入力像を形成するものであり、積分球24とレンズ1との間に配される。この測定部2は、逆投影によりレンズ1の光学特性を測定するものである。すなわち、レンズ1に対し光像を投影するチャート23がレンズ1の焦点位置に配置される。   A chart 23 is arranged in the measurement unit 2. The chart 23 forms an input image input to the lens 1, and is arranged between the integrating sphere 24 and the lens 1. The measuring unit 2 measures the optical characteristics of the lens 1 by back projection. That is, the chart 23 for projecting the optical image onto the lens 1 is disposed at the focal position of the lens 1.

チャート23は、Zステージ25に取り付けられている。Zステージ25は、チャート23をZ方向である上下方向に移動可能に構成され、チャート23をレンズ1に対して任意に接近及び離間させる。これにより、レンズ1に対するチャート23の位置調整を行うことができる。Zステージ25としては、チャート23をZ方向に移動可能なものであればいずれのものを用いてもよい。   The chart 23 is attached to the Z stage 25. The Z stage 25 is configured to be able to move the chart 23 in the vertical direction, which is the Z direction, and arbitrarily moves the chart 23 toward and away from the lens 1. Thereby, the position of the chart 23 relative to the lens 1 can be adjusted. Any Z stage 25 may be used as long as it can move the chart 23 in the Z direction.

測定部2には、積分球24が設置されている。積分球24は、チャート23に向けて入力光を発光する発光源となるものであり、例えばチャート23の下方位置に取り付けられている。積分球24は、出力口24aを有し、内面に拡散面24bを形成した球体である。積分球24には、光源部63で発せられる光がライトガイド64を通じて入射される。積分球24に入射された光は、積分球24の内部で繰り返し反射され、出力口24aから光量ムラのごく少ない光となって出力される。   An integrating sphere 24 is installed in the measurement unit 2. The integrating sphere 24 serves as a light emission source that emits input light toward the chart 23, and is attached to a position below the chart 23, for example. The integrating sphere 24 is a sphere having an output port 24a and having a diffusion surface 24b formed on the inner surface. The light emitted from the light source unit 63 is incident on the integrating sphere 24 through the light guide 64. The light incident on the integrating sphere 24 is repeatedly reflected inside the integrating sphere 24, and is output as light with very little light amount unevenness from the output port 24a.

測定部2には、カメラ26が設置されている。カメラ26は、レンズ1から出力される出力像を受像する撮像手段である。カメラ26としては、例えばCCD(Charge Coupled Device)などの固体撮像素子を備えたものが用いられる。レンズ1の出力像は、レンズ1に入力されるチャート23の入力像がレンズ1によってカメラ26に結像される像である。   A camera 26 is installed in the measurement unit 2. The camera 26 is an imaging unit that receives an output image output from the lens 1. As the camera 26, for example, a camera provided with a solid-state imaging device such as a charge coupled device (CCD) is used. The output image of the lens 1 is an image in which the input image of the chart 23 input to the lens 1 is formed on the camera 26 by the lens 1.

カメラ26としては、レンズ1の異なる箇所の光学特性を検出するために複数のものを用いることが好ましい。このカメラ26は、例えば9つ設置される。この場合、左右方向及び前後方向に3つずつ配列される。これにより、レンズ1の前後左右の9箇所における光学特性を測定することができる。カメラ26の受像信号は、解析制御部3に入力される。   As the camera 26, it is preferable to use a plurality of cameras in order to detect optical characteristics of different portions of the lens 1. For example, nine cameras 26 are installed. In this case, three are arranged in the left-right direction and the front-back direction. Thereby, the optical characteristics in nine places on the front, rear, left and right of the lens 1 can be measured. An image reception signal of the camera 26 is input to the analysis control unit 3.

電源部6には、光源部63が設置されている。光源部63は、積分球24に入力する光を発光する光源であり、例えばハロゲンランプを備えたものが用いられる。光源部63から出力された光はライトガイド64を通じて積分球24に入力される。また、電源部6には、駆動部64が設置されている。駆動部64は、XYステージ22及びZステージ25の駆動制御を行うものである。この駆動部64は、例えばXYステージ22及びZステージ25がパルスモータの駆動により作動する場合、パルスモータコントローラにより構成される。駆動部64は、解析制御部3から出力される制御信号に従ってXYステージ22及びZステージ25に駆動信号を出力する。   The power source unit 6 is provided with a light source unit 63. The light source unit 63 is a light source that emits light input to the integrating sphere 24. For example, a light source unit including a halogen lamp is used. The light output from the light source unit 63 is input to the integrating sphere 24 through the light guide 64. The power supply unit 6 is provided with a drive unit 64. The drive unit 64 performs drive control of the XY stage 22 and the Z stage 25. For example, when the XY stage 22 and the Z stage 25 are operated by driving a pulse motor, the drive unit 64 is configured by a pulse motor controller. The drive unit 64 outputs drive signals to the XY stage 22 and the Z stage 25 according to the control signal output from the analysis control unit 3.

また、電源部6には、制御部65が設置されている。制御部65は、主に光源部63の発光制御を行うものである。また、制御部65は、XYステージ22の検出部22aの検出信号を入力し、その検出信号を解析制御部3へ出力する。また、電源部6には、電源66が設置されている。電源66は、光源部63、駆動部64及び制御部65の電力供給源となるものである。また、電源部6には、ファン67が設置されている。ファン67は、電源部6内の熱を排出して冷却する冷却手段として機能するものであり、例えば回転羽根を備えたものが用いられる。   The power supply unit 6 is provided with a control unit 65. The control unit 65 mainly performs light emission control of the light source unit 63. The control unit 65 receives a detection signal from the detection unit 22 a of the XY stage 22 and outputs the detection signal to the analysis control unit 3. The power supply unit 6 is provided with a power supply 66. The power source 66 is a power supply source for the light source unit 63, the drive unit 64, and the control unit 65. In addition, a fan 67 is installed in the power supply unit 6. The fan 67 functions as a cooling unit that discharges and cools the heat in the power supply unit 6. For example, a fan provided with rotating blades is used.

解析制御部3は、装置全体の制御を行うものであり、例えばCPU、ROM、RAMを含むコンピュータを主体として構成されている。この解析制御部3としては、例えばパーソナルコンピュータの本体部が用いられる。解析制御部3は、測定部2に装着されたトレー7の情報に基づいて測定するレンズ1の種類を認識し、そのレンズ1の種類に応じたレンズ光学特性の測定の設定を行う測定設定手段として機能する。例えば、解析制御部3には、レンズ1の種類に応じた測定設定データが登録されている。具体的には、レンズ1の種類に応じたチャート23の位置設定データ、トレー7の種類に応じたXYステージ22の移動位置データなどが登録されている。また、解析制御部3は、カメラ26の受像信号を入力し、その受像信号に基づいてレンズ1のMTFなどの光学特性を解析する解析手段として機能する。   The analysis control unit 3 controls the entire apparatus, and is configured mainly by a computer including a CPU, a ROM, and a RAM, for example. As the analysis control unit 3, for example, a main body of a personal computer is used. The analysis control unit 3 recognizes the type of the lens 1 to be measured based on the information of the tray 7 attached to the measurement unit 2, and sets the measurement of the lens optical characteristic according to the type of the lens 1. Function as. For example, the measurement control data corresponding to the type of the lens 1 is registered in the analysis control unit 3. Specifically, position setting data of the chart 23 corresponding to the type of the lens 1, movement position data of the XY stage 22 corresponding to the type of the tray 7, and the like are registered. The analysis control unit 3 functions as an analysis unit that receives an image reception signal of the camera 26 and analyzes optical characteristics such as MTF of the lens 1 based on the image reception signal.

モニタ4は、解析制御部3に接続され、レンズ1の光学特性の測定結果などを表示する表示手段として機能するものである。また、モニタ4により、レンズ1を測定する際の測定設定の表示も行われる。   The monitor 4 is connected to the analysis control unit 3 and functions as display means for displaying the measurement result of the optical characteristics of the lens 1 and the like. The monitor 4 also displays measurement settings when the lens 1 is measured.

判定部5は、トレー7に保持されたレンズ1の測定結果を判定するものである。判定部5は、トレー7を載置可能に構成され、載置したトレー7を認識する認識部51、測定結果NGとなったレンズ1を表示する表示部52を備えている。判定部5は、解析制御部3と接続され、トレー7の検出情報及びレンズ1の測定結果情報を取得可能となっている。   The determination unit 5 determines the measurement result of the lens 1 held on the tray 7. The determination unit 5 is configured to be able to mount the tray 7 and includes a recognition unit 51 that recognizes the mounted tray 7 and a display unit 52 that displays the lens 1 that has become the measurement result NG. The determination unit 5 is connected to the analysis control unit 3 and can acquire detection information of the tray 7 and measurement result information of the lens 1.

判定部5に測定済みのトレー7を載置すると、認識部51がトレー7の識別部71に基づいてトレー7を認識する。そして、このトレー7に保持される各レンズ1の測定結果を解析制御部3から取得して、表示部52が測定結果NGのレンズ1を特定の色彩で表示する。例えば、表示部52は、トレー7の各レンズ1の配置位置に対応して複数の発光体が配設されており、NGとなったレンズ1に対応する発光体を赤く発光させる。これにより、装置の操作者は、複数保持されるレンズ1の中から測定結果NGとなったレンズ1を容易に判定でき、そのNGのレンズ1をトレー7上から取り除くことができる。   When the measured tray 7 is placed on the determination unit 5, the recognition unit 51 recognizes the tray 7 based on the identification unit 71 of the tray 7. And the measurement result of each lens 1 hold | maintained at this tray 7 is acquired from the analysis control part 3, and the display part 52 displays the lens 1 of the measurement result NG with a specific color. For example, the display unit 52 is provided with a plurality of light emitters corresponding to the arrangement positions of the respective lenses 1 on the tray 7, and causes the light emitters corresponding to the NG lens 1 to emit red light. As a result, the operator of the apparatus can easily determine the lens 1 having the measurement result NG from the plurality of lenses 1 held, and can remove the NG lens 1 from the tray 7.

図2にトレー7の平面図を示す。図3は、図2のIII−IIIにおけるトレー7の断面図である。図4は、図2のIV−IVから見たトレー7の側面図である。   FIG. 2 shows a plan view of the tray 7. 3 is a cross-sectional view of the tray 7 taken along line III-III in FIG. FIG. 4 is a side view of the tray 7 as viewed from IV-IV in FIG.

図2、3に示すように、トレー7には、複数のレンズ1を保持する保持部72が形成されている。保持部72は、例えばトレー7の上面を下方に窪ませてレンズ1を収容可能に構成される。保持部72には、底部を貫通して形成される貫通孔73が設けられている。貫通孔73は、レンズ測定時に入力像を透過させるための孔である。保持部72は、縦横に配列して形成され、例えば6個×6個に配列され、トレー7上に36個形成される。   As shown in FIGS. 2 and 3, the tray 7 has a holding portion 72 that holds the plurality of lenses 1. The holding part 72 is configured to accommodate the lens 1 by, for example, denting the upper surface of the tray 7 downward. The holding portion 72 is provided with a through hole 73 formed through the bottom portion. The through hole 73 is a hole for transmitting an input image at the time of lens measurement. The holding portions 72 are formed to be arranged vertically and horizontally, for example, 6 × 6 pieces, and 36 pieces are formed on the tray 7.

図4に示すように、トレー7には、識別部71が設けられている。識別部71は、トレー7の種類及び識別番号を示すものであって、例えば、複数の凹凸部71aを組み合わせたものが用いられる。識別部71は、下方側に対し凹凸するN個の凹凸部71aを並設して構成され、凹凸部71aの凹凸を設定してNビットの情報を構築することができる。そして、このNビットの情報に応じてトレー7の種類及びトレー7の識別番号を設定することにより、Nビットの情報に基づいてトレー7の種類及びトレー7の識別番号を認識することが可能となる。識別部71には、例えば七つの凹凸部71aが形成され、7ビットの情報を有するものとされる。   As shown in FIG. 4, the tray 7 is provided with an identification unit 71. The identification unit 71 indicates the type and identification number of the tray 7, and for example, a combination of a plurality of concave and convex portions 71a is used. The identification unit 71 is configured by arranging N uneven portions 71a that are uneven on the lower side, and can set the unevenness of the uneven portion 71a to construct N-bit information. By setting the type of tray 7 and the identification number of tray 7 according to the N-bit information, it is possible to recognize the type of tray 7 and the identification number of tray 7 based on the N-bit information. Become. For example, seven irregularities 71a are formed in the identification unit 71 and have 7-bit information.

トレー7の識別部71に基づいてトレー7の種類及びトレー7の識別番号を検出する検出部22aとしては、例えば凹凸部71aの凹凸に応じてオンオフするスイッチを備えたものが用いられる。検出部22aは、スイッチのオンオフ状態に応じてトレー7の識別部71における凹凸部71aの凹凸状態を検知し、その凹凸状態に基づいてトレー7の種類、即ちトレー7に保持されるレンズ1の種類及びトレー7の識別番号を検出する。また、判定部5の認識部51も、検出部22aと同様なものが用いて構成すればよい。   As the detection unit 22a that detects the type of the tray 7 and the identification number of the tray 7 based on the identification unit 71 of the tray 7, for example, a detection unit having a switch that is turned on / off according to the unevenness of the uneven portion 71a is used. The detection unit 22a detects the uneven state of the uneven portion 71a in the identification unit 71 of the tray 7 according to the on / off state of the switch, and based on the uneven state, the type of the tray 7, that is, the lens 1 held on the tray 7 is detected. The type and the identification number of the tray 7 are detected. Further, the recognition unit 51 of the determination unit 5 may be configured using the same one as the detection unit 22a.

なお、この検出部22a及び認識部51は、トレー7の情報を読み取れるものであれば、上述したもの以外のものでもよく、例えばトレー7にバーコードを付し、そのバーコードを読み取ってトレー7の情報を検出するものであってもよい。   The detection unit 22a and the recognition unit 51 may be other than those described above as long as the information on the tray 7 can be read. For example, a barcode is attached to the tray 7, the barcode is read, and the tray 7 is read. This information may be detected.

図5は、チャート23の平面図である。   FIG. 5 is a plan view of the chart 23.

図5に示すように、チャート23は、スリット23aを形成した部分のみ光の透過を許容し、その他の部分の光の透過を遮断する板体により構成される。スリット23aは、例えば中央位置の測定点p1とその周囲に放射状に配置された複数の測定点p2〜p9が十字状に開口するように形成されている。また、測定点p1〜p9を縦3つ横3つに配列して形成してもよい。各測定点p1〜p9において、スリット23aに十字状に形成しておくことが好ましい。このようにスリット23aに複数の測定点p1〜p9を設けることにより、レンズ1の各部の光学特性を個別に測定することができ、レンズ1の光学特性を精密に測定することができる。   As shown in FIG. 5, the chart 23 is configured by a plate body that allows light transmission only in a portion where the slit 23 a is formed and blocks light transmission in other portions. The slit 23a is formed such that, for example, a measurement point p1 at the center position and a plurality of measurement points p2 to p9 arranged radially around the opening are formed in a cross shape. Alternatively, the measurement points p1 to p9 may be arranged in three rows and three rows. At each of the measurement points p1 to p9, it is preferable to form a cross in the slit 23a. By providing the plurality of measurement points p1 to p9 in the slit 23a as described above, the optical characteristics of each part of the lens 1 can be individually measured, and the optical characteristics of the lens 1 can be accurately measured.

次に、本実施形態に係るレンズ測定装置の基本動作について説明する。   Next, the basic operation of the lens measuring apparatus according to this embodiment will be described.

図6は、本実施形態に係るレンズ測定装置の基本動作を示すフローチャートである。図6における制御処理は、主に解析制御部3によって実行される。図6のS10に示すように、まず、トレー7が測定部2の測定位置に装着されたか否かが判断される。この判断処理は、例えばXYステージ22の検出部22aの検出信号に基づいて行えばよい。S10にて、トレー7が測定部2の測定位置に装着されたと判断されたときには、トレー識別情報の読み込み処理が行われる(S12)。   FIG. 6 is a flowchart showing the basic operation of the lens measuring apparatus according to this embodiment. The control process in FIG. 6 is mainly executed by the analysis control unit 3. As shown in S <b> 10 of FIG. 6, first, it is determined whether or not the tray 7 is mounted at the measurement position of the measurement unit 2. This determination process may be performed based on, for example, a detection signal from the detection unit 22a of the XY stage 22. When it is determined in S10 that the tray 7 is mounted at the measurement position of the measurement unit 2, a process for reading tray identification information is performed (S12).

このトレー識別情報の読み込み処理は、検出部22aの検出信号に基づいて行われる。すなわち、検出部22aの検出信号に含まれる7ビットの情報に基づいてトレー7の種類及びトレー7の識別番号が検出され、そのトレー7の種類、そのトレー7に保持されるレンズ1の種類及びトレー7の識別番号がそれぞれ読み込まれる。   The tray identification information reading process is performed based on the detection signal of the detection unit 22a. That is, the type of the tray 7 and the identification number of the tray 7 are detected based on the 7-bit information included in the detection signal of the detection unit 22a, and the type of the tray 7, the type of the lens 1 held on the tray 7, and The identification number of the tray 7 is read.

そして、S14に移行し、測定設定処理が行われる。この測定設定処理は、レンズ1の光学特性の測定に際し、その測定系の設定を行う処理である。例えば、測定設定として、レンズ1の焦点距離に対応してチャート23の位置設定が行われる。レンズ1の種類に応じて解析制御部3から駆動部64に駆動制御信号が出力され、駆動部64の駆動信号を受けてZステージ25が作動し、チャート23のZ方向の位置設定が行われる。このような測定設定により、装置の操作者がレンズ1の種類に応じて測定設定を行う必要がなく、測定作業が円滑に行える。また、誤って測定設定が行われることを防止できる。   And it transfers to S14 and a measurement setting process is performed. This measurement setting process is a process for setting the measurement system when measuring the optical characteristics of the lens 1. For example, as the measurement setting, the position of the chart 23 is set corresponding to the focal length of the lens 1. A drive control signal is output from the analysis control unit 3 to the drive unit 64 in accordance with the type of the lens 1, the Z stage 25 is activated in response to the drive signal of the drive unit 64, and the position setting in the Z direction of the chart 23 is performed. . With such measurement settings, it is not necessary for the operator of the apparatus to perform measurement settings according to the type of the lens 1, and the measurement operation can be performed smoothly. Moreover, it is possible to prevent erroneous measurement settings.

また、測定設定として、トレー7のレンズ1保持位置に対応してXYステージ22の移動設定プログラムの読み込みが行われる。また、測定設定として、レンズ1の種類に応じて積分球24から出力される光の光量を設定する場合もある。   Further, as a measurement setting, the movement setting program for the XY stage 22 is read in correspondence with the lens 1 holding position of the tray 7. Further, as a measurement setting, the amount of light output from the integrating sphere 24 may be set according to the type of the lens 1.

そして、S16に移行し、測定開始ボタンがオンとなったか否かが判断される。図示しない測定開始ボタンを装置の操作者が押下した場合、測定開始ボタンがオンとなったと判断される。測定開始ボタンがオンとなったと判断された場合には、測定処理が行われる(S18)。   Then, the process proceeds to S16, and it is determined whether or not the measurement start button is turned on. When the operator of the apparatus presses a measurement start button (not shown), it is determined that the measurement start button is turned on. If it is determined that the measurement start button is turned on, a measurement process is performed (S18).

測定処理は、測定すべきレンズ1がチャート23の真上に来るようにXYステージ22を動作させ、積分球24から光を出力させ、レンズ1から出力される光像を撮像したカメラ26の撮像画像に基づいてレンズ1の光学特性を解析して行われる。積分球24から出射された光は、チャート23のスリット23aを透過してレンズ1に入射される。そして、レンズ1から出力されるスリット23aの光像は、カメラ26に撮像される。その際、スリット23aの測定点p1〜p9に対しそれぞれ割り当てられたカメラ26がそれらの測定点p1〜p9における光像を撮像する。   In the measurement process, the XY stage 22 is operated so that the lens 1 to be measured is directly above the chart 23, the light is output from the integrating sphere 24, and the imaging of the camera 26 that images the optical image output from the lens 1. This is done by analyzing the optical characteristics of the lens 1 based on the image. The light emitted from the integrating sphere 24 passes through the slit 23 a of the chart 23 and enters the lens 1. The optical image of the slit 23 a output from the lens 1 is picked up by the camera 26. At that time, the cameras 26 respectively assigned to the measurement points p1 to p9 of the slit 23a take optical images at the measurement points p1 to p9.

レンズ1の光学特性としては、MTFが測定される。MTFは、例えばスリット23aの光像画像の線像強度分布を求め、それをフーリエ変換して算出される。このMTFは、測定点p1〜p9ごとに算出される。また、図7に示すような空間周波数に対するMTFの光学特性や図8に示すようなデフォーカスに対するMTFの光学特性が算出される。また、レンズ1の光学特性としては、レンズ1の焦点距離、焦点深度、偏芯状態などが測定される。これらの光学特性は、MTFと同様に、測定点p1〜p9ごとに測定することが好ましい。   As an optical characteristic of the lens 1, MTF is measured. The MTF is calculated by, for example, obtaining a line image intensity distribution of the optical image image of the slit 23a and performing a Fourier transform thereof. This MTF is calculated for each of the measurement points p1 to p9. Further, the optical characteristics of the MTF with respect to the spatial frequency as shown in FIG. 7 and the optical characteristics of the MTF with respect to the defocus as shown in FIG. 8 are calculated. Further, as the optical characteristics of the lens 1, a focal length, a focal depth, an eccentric state, and the like of the lens 1 are measured. These optical characteristics are preferably measured at each of the measurement points p1 to p9, similarly to the MTF.

そして、図6のS20に移行し、測定結果判断処理が行われる。この測定結果判断処理は、測定したレンズ1の光学特性が予め設定される許容範囲内の特性になっているか否かを判断する処理である。例えばレンズ1のMTF値が許容範囲内の値になっているか否かが判断される。レンズ1のMTF値が許容範囲内の値になっていない場合には、そのレンズ1はNGレンズとして処理される。   And it transfers to S20 of FIG. 6 and a measurement result judgment process is performed. This measurement result determination process is a process for determining whether or not the measured optical characteristic of the lens 1 is a characteristic within a preset allowable range. For example, it is determined whether or not the MTF value of the lens 1 is within the allowable range. If the MTF value of the lens 1 is not within the allowable range, the lens 1 is processed as an NG lens.

そして、S22に移行し、測定したレンズ1の光学特性がNGであるか否かが判断される。測定したレンズ1の光学特性が許容範囲内にない場合には、レンズ1がNGであると判断され、NGカウントアップ処理が行われる(S24)。NGカウントアップ処理は、NGとなったレンズ1のトレー7上のレンズ保持位置(保持部72)に対するカウント値がインクリメントされる。このカウント値は、トレー7ごとのレンズ保持位置に対しそれぞれ設定され、それぞれのレンズ保持位置におけるNG回数を示している。   Then, the process proceeds to S22, and it is determined whether or not the measured optical characteristic of the lens 1 is NG. If the measured optical characteristics of the lens 1 are not within the allowable range, it is determined that the lens 1 is NG, and NG count-up processing is performed (S24). In the NG count-up process, the count value for the lens holding position (holding portion 72) on the tray 7 of the lens 1 that has become NG is incremented. This count value is set for each lens holding position for each tray 7 and indicates the number of NG times at each lens holding position.

そして、S26に移行し、結果表示処理が行われる。結果表示処理は、測定したレンズ1がNGであることをモニタ4に表示する処理である。例えば、図9に示すように、NG表示41が画像表示される。この表示を操作者が見ることにより、トレー7上のレンズ1のいずれかが光学特性の基準値を満たさないものがあることを容易に知ることができる。   And it transfers to S26 and a result display process is performed. The result display process is a process for displaying on the monitor 4 that the measured lens 1 is NG. For example, as shown in FIG. 9, the NG display 41 is displayed as an image. By viewing this display, the operator can easily know that any of the lenses 1 on the tray 7 does not satisfy the optical characteristic reference value.

また、その際、レンズ1がどのようなNGであったかをNG内容ごとに異なる色彩で表示することが好ましい。例えば、図9に示すように、トレー7のレンズ保持位置(保持部72の形成位置)に対応したトレー表示42が表示され、縦A〜F、横1〜6としてA1、B2というように座標値でレンズ保持位置が特定できるように表示される。このトレー表示42において、例えば、MTFが許容範囲外でNGの場合にはそのNGのレンズ1の位置が赤色に表示され、FFLがNGの場合には茶色に表示され、偏芯がNGの場合にはオンレジ色に表示され、焦点深度がNGの場合にはピンク色に表示される。   At this time, it is preferable to display what kind of NG the lens 1 is in different colors for each NG content. For example, as shown in FIG. 9, a tray display 42 corresponding to the lens holding position of the tray 7 (formation position of the holding portion 72) is displayed, and the coordinates such as A1 and B2 are set as A to F and 1 to 6 in the vertical direction. The value is displayed so that the lens holding position can be specified by the value. In the tray display 42, for example, when the MTF is out of the allowable range and NG, the position of the NG lens 1 is displayed in red, when the FFL is NG, it is displayed in brown, and when the eccentricity is NG. Is displayed in an on-registry color, and is displayed in a pink color when the depth of focus is NG.

このようにNG内容ごとに異なる色彩で表示することにより、レンズ1の光学特性がどの項目のNGであるのか容易に認識することができる。また、NGの色彩を他の者に知らせることにより、レンズ1のNG内容の情報を容易に伝達することができる。特に装置の操作者が使用言語の異なる者にNG内容を伝える場合に、そのNG内容を容易に伝えることができる。   By displaying in different colors for each NG content in this way, it is possible to easily recognize which item NG the optical characteristic of the lens 1 is. In addition, by notifying other persons of the color of NG, information on the NG content of the lens 1 can be easily transmitted. In particular, when the operator of the apparatus conveys NG contents to persons using different languages, the NG contents can be easily transmitted.

一方、図6のS22にて、測定したレンズ1の光学特性がNGでないと判断された場合には、測定結果処理が行われる(S28)。この結果表示処理は、測定したレンズ1がNGでなくOKであることをモニタ4に表示する処理である。例えば、図10に示すように、OK表示43が画像表示される。この表示を操作者が見ることにより、トレー7上のレンズ1の全てが光学特性の基準値を満たしていることを容易に知ることができる。なお、測定したレンズ1がNGでなく、かつOKでもなく、判断保留の場合には、「保留」を表示する場合もある。   On the other hand, if it is determined in S22 of FIG. 6 that the measured optical characteristic of the lens 1 is not NG, measurement result processing is performed (S28). This result display process is a process for displaying on the monitor 4 that the measured lens 1 is OK instead of NG. For example, as shown in FIG. 10, an OK display 43 is displayed as an image. By viewing this display, the operator can easily know that all the lenses 1 on the tray 7 satisfy the optical characteristic reference value. In addition, when the measured lens 1 is not NG and not OK and the determination is on hold, “hold” may be displayed.

そして、S30に移行し、トレー7上の全てのレンズ1の測定が終了した否かが判断される。例えば、トレー7の位置をXYステージ22を作動させることにより移動させて、トレー7上のレンズ1を端から順次測定していく場合、トレー7上の全てのレンズ1が測定し終えたか否かが判断される。トレー7上の全てのレンズ1が測定し終えていない場合には、S18に戻る。   Then, the process proceeds to S30, and it is determined whether or not the measurement of all the lenses 1 on the tray 7 has been completed. For example, when the position of the tray 7 is moved by operating the XY stage 22 and the lenses 1 on the tray 7 are sequentially measured from the end, whether or not all the lenses 1 on the tray 7 have been measured. Is judged. If all the lenses 1 on the tray 7 have not been measured, the process returns to S18.

一方、S30にてトレー7上の全てのレンズ1が測定し終えたと判断された場合には、警告処理が行われる(S32)。警告処理は、S24にてカウントアップしたNGカウンタ値が設定値以上となった場合に、レンズ測定系に異常があるおそれがあることを警告する処理である。例えば、同じ識別番号のトレー7における特定のレンズ保持位置のNGが連続してn回NGである場合には、トレー7に異常があることが警告される。この場合、m回測定でn回NGである場合に警告してもよい。警告の仕方は、モニタ4への画像表示、音声の出力、ランプ等の発光部材の発光などによって行われる。一方、S24にてカウントアップしたNGカウンタ値が設定値以上となっていない場合には、警告処理においてレンズ測定系の異常を警告する処理は行われない。この警告処理を終えたら、制御処理を終了する。   On the other hand, if it is determined in S30 that all the lenses 1 on the tray 7 have been measured, a warning process is performed (S32). The warning process is a process for warning that there is a possibility that there is an abnormality in the lens measurement system when the NG counter value counted up in S24 exceeds a set value. For example, when NG at a specific lens holding position in the tray 7 having the same identification number is NG continuously n times, it is warned that the tray 7 is abnormal. In this case, you may warn when it is NG n times by m times measurement. The warning is performed by displaying an image on the monitor 4, outputting a sound, or emitting light from a light emitting member such as a lamp. On the other hand, if the NG counter value counted up in S24 is not greater than or equal to the set value, the warning process is not performed to warn of abnormality of the lens measurement system. When this warning process is finished, the control process is finished.

以上のように、本実施形態に係るレンズ測定装置によれば、レンズ1を保持したトレー7がレンズ測定位置に配置された場合にトレー7に付与される情報に基づいてレンズ1の種類が検出され、測定部3の測定セットアップが行われる。このため、レンズ測定装置の操作者が測定するレンズ1の種類に応じて測定の設定を行う必要がなく、測定作業が円滑に行える。   As described above, according to the lens measurement device according to the present embodiment, the type of the lens 1 is detected based on the information given to the tray 7 when the tray 7 holding the lens 1 is disposed at the lens measurement position. Then, the measurement setup of the measurement unit 3 is performed. For this reason, it is not necessary to set the measurement according to the type of the lens 1 to be measured by the operator of the lens measuring apparatus, and the measurement operation can be performed smoothly.

また、トレー7をレンズ測定位置に配置することにより、自動的にレンズ1の種類が認識されるため、レンズ1の種類を間違えて測定設定してしまうことが防止できる。   In addition, since the type of the lens 1 is automatically recognized by arranging the tray 7 at the lens measurement position, it is possible to prevent the wrong setting of the type of the lens 1 from being set.

特に逆投影でレンズ1の光学特性を測定する場合には、測定設定の誤りにより、チャートがトレー7やレンズ1に接触して破損するなどの事態が未然に防止できる。   In particular, when the optical characteristics of the lens 1 are measured by back projection, it is possible to prevent a situation in which the chart comes into contact with the tray 7 or the lens 1 and is damaged due to an erroneous measurement setting.

なお、上述した実施形態に係るレンズ測定装置は、本発明に係るレンズ測定装置の一例を示すものである。本発明に係るレンズ測定装置は、これらの実施形態に係るレンズ測定装置に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、実施形態に係るレンズ測定装置を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。   The lens measuring device according to the above-described embodiment is an example of the lens measuring device according to the present invention. The lens measuring device according to the present invention is not limited to the lens measuring device according to these embodiments, and the lens measuring device according to the embodiments is modified or changed without changing the gist described in each claim, or It may be applied to other things.

本発明の実施形態に係るレンズ測定装置の構成概要図である。1 is a schematic configuration diagram of a lens measuring device according to an embodiment of the present invention. 図1におけるレンズ測定装置に用いられるトレーの平面図である。It is a top view of the tray used for the lens measuring apparatus in FIG. 図2のIII−IIIにおけるトレーの断面図である。It is sectional drawing of the tray in III-III of FIG. 図2のIV−IVから見たトレーの側面図である。It is a side view of the tray seen from IV-IV of FIG. 図1におけるレンズ測定装置に用いられるチャートの説明図である。It is explanatory drawing of the chart used for the lens measuring apparatus in FIG. 図1のレンズ測定装置の基本動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the basic operation | movement of the lens measuring apparatus of FIG. 図1のレンズ測定装置における測定結果の説明図である。It is explanatory drawing of the measurement result in the lens measuring apparatus of FIG. 図1のレンズ測定装置における測定結果の説明図である。It is explanatory drawing of the measurement result in the lens measuring apparatus of FIG. 図1のレンズ測定装置における測定結果表示の説明図である。It is explanatory drawing of the measurement result display in the lens measuring device of FIG. 図1のレンズ測定装置における測定結果表示の説明図である。It is explanatory drawing of the measurement result display in the lens measuring device of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…レンズ、2…測定部、3…解析制御部、4…モニタ、5…判定部、6…電源部、7…トレー、23…チャート、24…積分球、26…カメラ、62…防振ゴム。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lens, 2 ... Measurement part, 3 ... Analysis control part, 4 ... Monitor, 5 ... Determination part, 6 ... Power supply part, 7 ... Tray, 23 ... Chart, 24 ... Integrating sphere, 26 ... Camera, 62 ... Vibration isolation Rubber.

Claims (3)

レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置において、
測定対象となるレンズを保持する保持具と、
前記保持具がレンズ測定位置に配置されたときに、前記保持具に付される情報に基づいて前記保持具に保持されるレンズの種類を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出されたレンズの種類に応じて測定部の測定設定を行う測定設定手段と、
を備えたレンズ測定装置。
In a lens measuring device that measures the optical characteristics of a lens,
A holder for holding the lens to be measured;
Detecting means for detecting a type of a lens held by the holder based on information attached to the holder when the holder is arranged at a lens measurement position;
Measurement setting means for performing measurement setting of the measurement unit according to the type of the lens detected by the detection means;
A lens measuring device.
前記レンズの焦点位置にチャートを配置し逆投影により前記レンズの光学特性を測定する装置であって、
前記測定設定手段が前記レンズの種類に応じて前記チャートの位置を設定すること、
を特徴とする請求項1に記載のレンズ測定装置。
An apparatus that arranges a chart at a focal position of the lens and measures optical characteristics of the lens by back projection,
The measurement setting means sets the position of the chart according to the type of the lens;
The lens measuring device according to claim 1.
前記レンズの光学特性として少なくともMTFを測定するものであることを特徴とする請求項1又は2に記載のレンズ測定装置。
The lens measuring device according to claim 1, wherein at least MTF is measured as an optical characteristic of the lens.
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