JP2007310213A

JP2007310213A - Charged spacer sprayer, charged spacer spray method and liquid crystal panel

Info

Publication number: JP2007310213A
Application number: JP2006140158A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Kudo; 幸博工藤
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2006-05-19
Filing date: 2006-05-19
Publication date: 2007-11-29

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that when spraying spacers charged to a specified polarity toward a substrate by using a nozzle, some emitted spacers attach to a nozzle itself owing to the flying-back or the like, and when the spacers attached to the nozzle itself form an aggregate of the spacers on the surface of the nozzle, the aggregate falls to the substrate, whereby the substrate is contaminated. <P>SOLUTION: In order to prevent spacers moving in a spray box from attaching to a nozzle part, attachment of the spacers to the nozzle part is suppressed by utilizing an electric repulsive force in a cover part. Therein, the cover part is charged into the same polarity with the spacers. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、帯電スペーサの散布装置、帯電スペーサの散布方法、及び液晶パネルに関する。 The present invention relates to a charging spacer spraying apparatus, a charging spacer spraying method, and a liquid crystal panel.

液晶パネルの製造方法に関して、図５に示すように、電極基板２３０と対向基板２１０との間に微粒子状のスペーサ２２０を介在させることで、このスペーサの大きさに応じた空間（セルギャップ２４０）を基板間に設け、このセルギャップ２４０に液晶材料を充填して液晶パネル２００を製造する技術が知られている。尚、基板上にスペーサを配置する方法は、フォトリソグラフィー技術を利用したもの、スペーサを含む分散媒体（液体、気体等）を利用したもの、が知られている。 As shown in FIG. 5, with respect to the method of manufacturing the liquid crystal panel, a space (cell gap 240) corresponding to the size of the spacer is provided by interposing a particulate spacer 220 between the electrode substrate 230 and the counter substrate 210. Is provided between the substrates, and a liquid crystal panel 200 is manufactured by filling the cell gap 240 with a liquid crystal material. As a method for arranging the spacer on the substrate, a method using a photolithography technique and a method using a dispersion medium (liquid, gas, etc.) including the spacer are known.

特に、スペーサを含む分散媒体を利用する場合には、スペーサの利用効率（スペーサの散布量に対する基板付着量の割合）を向上させることも望まれている。 In particular, when using a dispersion medium including a spacer, it is also desired to improve the utilization efficiency of the spacer (ratio of the amount of substrate adhesion to the amount of spacer sprayed).

特許文献１には、所定の極性に帯電したスペーサ（以下、帯電スペーサ）を基板上に散布する際、このスペーサと同じ極性に散布箱の内壁面を帯電させることで、スペーサを効率的に基板上に配置する技術が開示されている。すなわち、スペーサと散布箱内壁面との間の電気的な斥力を利用して、スペーサを基板上に集中的に散布し、スペーサの利用効率を向上させている。 In Patent Document 1, when spacers charged to a predetermined polarity (hereinafter referred to as charged spacers) are sprayed on a substrate, the spacers are efficiently mounted on the substrate by charging the inner wall surface of the spray box with the same polarity as this spacer. Techniques for placing on top are disclosed. That is, using the repulsive force between the spacer and the inner wall surface of the scattering box, the spacer is intensively sprayed on the substrate to improve the utilization efficiency of the spacer.

また、特許文献２には、上記した点のほか、帯電スペーサを基板に散布する際、このスペーサと異なる極性に基板の上面を帯電させることで、スペーサを効率的に基板上に散布する技術が開示されている。すなわち、スペーサと基板との電気的な引力、及びスペーサと散布箱内壁面との電気的な斥力を利用して、スペーサを基板上に集中的に散布し、スペーサの利用効率を向上させている。
特開平５−１５８０４９特開平５−６６４０７ In addition to the above-described points, Patent Document 2 discloses a technique for efficiently dispersing spacers on a substrate by charging the upper surface of the substrate with a polarity different from that of the spacers when the charged spacers are dispersed on the substrate. It is disclosed. In other words, the spacer is intensively dispersed on the substrate by using the electric attractive force between the spacer and the substrate and the electric repulsive force between the spacer and the inner wall surface of the scattering box, thereby improving the utilization efficiency of the spacer. .
JP-A-5-158049 JP-A-5-66407

ところで、帯電スペーサを含む分散媒体を基板（処理対象物）に向けて放出する際には、一般的に、ノズルを用いる（特許文献１、特許文献２参照）。このノズルの先端から放出されたスペーサは、分散媒体の運動等に基づいて、散布箱内の内部を拡散する。このとき、放出されたスペーサの中には、ノズル自体に付着するものもある。ノズル自体にスペーサが付着し、ノズル表面にスペーサの凝集体が形成されると、この凝集体が基板に落下し、基板を汚染する場合がある。 By the way, when discharging a dispersion medium including a charged spacer toward a substrate (processing object), a nozzle is generally used (see Patent Documents 1 and 2). The spacer discharged from the tip of the nozzle diffuses inside the spray box based on the movement of the dispersion medium. At this time, some of the released spacers adhere to the nozzle itself. When spacers adhere to the nozzle itself and spacer aggregates are formed on the nozzle surface, the aggregates may fall on the substrate and contaminate the substrate.

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、スペーサの凝集体によって基板が汚染されることを抑制することができる帯電スペーサの散布装置、帯電スペーサの散布方法を提供するとともに、これによって得られた液晶パネルを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a charging spacer spraying device and a charging spacer spraying method capable of suppressing contamination of a substrate by an aggregate of spacers. In addition, an object of the present invention is to provide a liquid crystal panel obtained thereby.

本発明にかかる帯電スペーサの散布装置は、処理対象物に向けて所定の極性に帯電したスペーサを放出するノズル部と、電気的な斥力を利用して、スペーサがノズル部に付着することを抑制するカバー部と、を備える。 The charging spacer spraying device according to the present invention suppresses adhesion of the spacer to the nozzle portion by using a nozzle portion that discharges the spacer charged to a predetermined polarity toward the object to be processed and an electric repulsive force. And a cover part for performing.

本発明にかかる帯電スペーサの散布方法は、カバー部における電気的な斥力によって、所定の極性に帯電したスペーサがノズル部に付着することが抑制された状態で、ノズル部を用いてスペーサを処理対象物に向けて散布する。 The method for spraying charged spacers according to the present invention is to treat the spacers using the nozzle part while the spacers charged to a predetermined polarity are prevented from adhering to the nozzle part by the electric repulsive force in the cover part. Scatter towards the object.

また、本発明にかかる液晶パネルは、処理対象物に向けて所定の極性に帯電したスペーサを放出するノズル部と、電気的な斥力を利用して、スペーサがノズル部に付着することを抑制するカバー部と、を備える帯電スペーサの散布装置を用いて得られる。または、カバー部における電気的な斥力によって、所定の極性に帯電したスペーサがノズル部に付着することが抑制された状態で、ノズル部を用いてスペーサを処理対象物に向けて散布する帯電スペーサの散布方法を用いて得られる。 In addition, the liquid crystal panel according to the present invention suppresses adhesion of the spacer to the nozzle portion by using a nozzle portion that discharges the spacer charged to a predetermined polarity toward the object to be processed and an electric repulsive force. And a cover spacer. Alternatively, a charged spacer that sprays the spacer toward the object to be processed using the nozzle unit in a state where the spacer charged to a predetermined polarity is prevented from adhering to the nozzle unit by an electrical repulsive force in the cover unit. Obtained using a spraying method.

本発明によれば、スペーサの凝集体によって処理対象物が汚染されることを抑制できる帯電スペーサの散布装置、帯電スペーサの散布方法を提供するとともに、この装置又はこの方法を用いて得られた液晶パネルを提供することができる。 According to the present invention, there is provided a charging spacer spraying device and a charging spacer spraying method capable of suppressing contamination of a processing object by an aggregate of spacers, and a liquid crystal obtained by using this device or this method. Panels can be provided.

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。尚、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさ等を反映するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings are schematic and do not reflect the exact size or the like of the components shown.

「実施の形態１」
図１に、帯電スペーサの散布装置１の概略断面図を示す。図１に示すように、帯電スペーサの散布装置１は、ステージ３、ステージ３上に配置された基板（処理対象物）４を内部に含む散布箱２を有する。この散布箱２は、直方体状の構造であって、密閉性が確保されている。また、散布箱２は、ステージ３の上面３ａ付近を境として、絶縁体２ｂにより、上部２ａと下部２ｃとに分離されている。尚、ステージ３上に配置される基板４は、ステージ３の側部の固定ピン（不図示）により仮止めされている。 “Embodiment 1”
FIG. 1 is a schematic sectional view of a charging spacer spraying device 1. As shown in FIG. 1, a charging spacer spraying apparatus 1 includes a stage 3 and a spraying box 2 that includes a substrate (processing object) 4 disposed on the stage 3. The spreading box 2 has a rectangular parallelepiped structure and has a sealing property. Further, the spray box 2 is separated into an upper portion 2a and a lower portion 2c by an insulator 2b with the vicinity of the upper surface 3a of the stage 3 as a boundary. The substrate 4 disposed on the stage 3 is temporarily fixed by fixing pins (not shown) on the side of the stage 3.

散布装置１は、スペーサ流路７を介して、スペーサ供給部６に接続するノズル部５を有する。ノズル部５は、基板４の上面４ａに対向する位置にあって、その先端５ｃから基板４に向けて、正の極性（所定の極性）に帯電したスペーサを放出する。なお、このスペーサは、スペーサ流路７を移動するときに、スペーサ流路７の内壁と摩擦することで、正の極性に帯電する。 The spraying device 1 has a nozzle unit 5 connected to the spacer supply unit 6 via the spacer channel 7. The nozzle unit 5 is located at a position facing the upper surface 4 a of the substrate 4, and discharges a spacer charged with a positive polarity (predetermined polarity) from the tip 5 c toward the substrate 4. The spacer is charged to a positive polarity by friction with the inner wall of the spacer channel 7 when the spacer channel 7 is moved.

ノズル部５は、基板４に対して効果的にスペーサを散布できるように、スペーサを放出する方向を変更可能に構成されている。すなわち、このノズル部５は、基部５ｂと、基部５ｂに対して長い胴部を有する筒部５ａとを有する。筒部５ａは、基部５ｂを中心として可動（ここでは、旋回）するように構成されている（図１の矢印参照）。 The nozzle unit 5 is configured to be able to change the direction in which the spacers are discharged so that the spacers can be effectively dispersed on the substrate 4. That is, this nozzle part 5 has the base 5b and the cylinder part 5a which has a trunk | drum long with respect to the base 5b. The cylindrical portion 5a is configured to move (here, turn) around the base portion 5b (see the arrow in FIG. 1).

また、ノズル部５は、ノズル支持部９に支持され、散布箱２の内部に配置されている。ノズル支持部９は、散布箱２の上部２ａに設けた貫通穴２ｅを塞ぐとともに、ノズル部５及びスペーサ流路７を機械的に支持している。 The nozzle unit 5 is supported by the nozzle support unit 9 and is disposed inside the spray box 2. The nozzle support part 9 mechanically supports the nozzle part 5 and the spacer channel 7 while closing the through hole 2 e provided in the upper part 2 a of the spray box 2.

スペーサ供給部６は、その内部に多数のスペーサ（ここでは、寸法２〜６μｍ程度のガラス、プラスチック等の材料からなる）を有する。また、スペーサ供給部６は、その一部に分散媒体としての気体（高圧の窒素、空気（クリーンエアー）等）の導入部６ａを有する。 The spacer supply unit 6 includes a large number of spacers (here, made of a material such as glass or plastic having a size of about 2 to 6 μm). Moreover, the spacer supply part 6 has the introduction part 6a of gas (high pressure nitrogen, air (clean air), etc.) as a dispersion medium in a part thereof.

スペーサ供給部６内にあるスペーサは、スペーサ供給部６の導入部６ａから導入される気体の運動によって、スペーサ流路７を介して、ノズル部５に運ばれる。そして、ノズル部５の先端５ｃから散布箱２の内部に、スペーサは放出される。なお、ノズル部５、スペーサ流路７は、筒状の部材から構成されており、スペーサ供給部６は、所定の内部空間を有する部材から構成されている。また、スペーサ供給部６は、スペーサ計測部（不図示）を有し、スペーサの投入量が計測できるように構成されている。 The spacer in the spacer supply part 6 is carried to the nozzle part 5 through the spacer flow path 7 by the movement of the gas introduced from the introduction part 6 a of the spacer supply part 6. Then, the spacer is discharged from the tip 5 c of the nozzle portion 5 into the spray box 2. In addition, the nozzle part 5 and the spacer flow path 7 are comprised from the cylindrical member, and the spacer supply part 6 is comprised from the member which has predetermined | prescribed internal space. Moreover, the spacer supply part 6 has a spacer measurement part (not shown), and is comprised so that the insertion amount of a spacer can be measured.

本実施形態では、散布装置１は、散布箱２の内部に、カバー部８を有する。ここでは、カバー部８は、絶縁体１０を介して、散布箱２の上部２ａに固定されている。 In the present embodiment, the spraying device 1 has a cover portion 8 inside the spraying box 2. Here, the cover portion 8 is fixed to the upper portion 2 a of the spray box 2 via the insulator 10.

カバー部８は、ノズル部５を収納するように構成されている。すなわち、ノズル部５を囲みながら、ノズル部５に沿って延在するように構成されている。また、カバー部８は、ノズル部５が旋回する空間を確保するため、ラッパ状に構成されている。すなわち、基板４に向かってカバー部８の断面積は拡大する。なお、この場合、カバー部８の先端部分８ａは、基板４の中心部分の周りの部分（以下、単に周りの部分）の上方にあり、カバー部８の後端部分８ｂは、カバー部８の先端部分８ａと比較して、基板４の中央部分の上方にある。 The cover portion 8 is configured to accommodate the nozzle portion 5. That is, it is configured to extend along the nozzle portion 5 while surrounding the nozzle portion 5. Moreover, the cover part 8 is comprised in the trumpet shape in order to ensure the space where the nozzle part 5 turns. That is, the cross-sectional area of the cover portion 8 increases toward the substrate 4. In this case, the front end portion 8 a of the cover portion 8 is above a portion around the central portion of the substrate 4 (hereinafter simply referred to as a surrounding portion), and the rear end portion 8 b of the cover portion 8 is Compared with the front end portion 8 a, it is above the central portion of the substrate 4.

また、本実施形態では、このカバー部８は、単層の導電性部材（金属部材、導電性樹脂からなる部材等）から構成されており、スイッチＳＷを有するリード配線を介して、正の電源電圧ＶＣＣ（＋１０ＫＶ）に接続される。そして、散布装置１が動作するとき（ノズル部５がスペーサを放出するとき）には、スイッチＳＷがオン状態にあり、カバー部８は電源電圧ＶＣＣに接続され、放出されるべきスペーサと同じ、正の極性に帯電される。そして、ノズル部５に散布箱２の内部を運動するスペーサが付着することを抑制する。なお、このカバー部８は、ノズル部５から放出されるスペーサが進行する軌道を変更する機能をも奏する（この点については後述する）。このカバー部に印加されるべき正の極性の電荷量は、帯電しているスペーサの電荷量よりも大きくする（例えば、２ＫＶ程度）と良い。 In the present embodiment, the cover portion 8 is composed of a single-layer conductive member (a metal member, a member made of a conductive resin, etc.), and is connected to a positive power source via a lead wiring having a switch SW. Connected to voltage VCC (+10 KV). When the spraying device 1 operates (when the nozzle unit 5 releases the spacer), the switch SW is in the on state, and the cover unit 8 is connected to the power supply voltage VCC and is the same as the spacer to be discharged. Charged to positive polarity. And it suppresses that the spacer which moves the inside of the distribution box 2 adheres to the nozzle part 5. FIG. The cover portion 8 also has a function of changing the trajectory along which the spacer discharged from the nozzle portion 5 travels (this will be described later). The amount of positive polarity charge to be applied to the cover is preferably larger than the charge amount of the charged spacer (for example, about 2 KV).

ここで、図１及び図２を参照しつつ、電気的な斥力を受けて、ノズル部から放出されたスペーサの進行軌道が変更されることについて説明する。 Here, referring to FIG. 1 and FIG. 2, it will be described that the traveling trajectory of the spacer discharged from the nozzle portion is changed by receiving an electric repulsive force.

ノズル部５から散布箱２の内部に放出されたスペーサは、分散媒体である気体の運動に従い、散布箱２の内部を拡散する。また、この際、スペーサＳＰ１とスペーサＳＰ２同士は互いに同じ極性に帯電しているため、互いに反発しあう（図２参照）。 The spacer released from the nozzle unit 5 into the inside of the spray box 2 diffuses inside the spray box 2 according to the movement of the gas that is the dispersion medium. At this time, the spacers SP1 and SP2 are charged with the same polarity, and thus repel each other (see FIG. 2).

図１に示すように、本実施形態では、ノズル部５は、その基部５ｂを中心として筒部５ａが旋回可能に構成されている。ノズル部５の先端５ｃが、基板４の中心部分に臨むときには、基板４の周りの部分（中心部分の周りの部分）に臨むときに比べて、スペーサが第一軌道Ｄ１（基板４の上面４ａに交差する方向の軌道）に沿って進行する確率が高い。他方、ノズル部５の先端５ｃが、基板４の周りの部分に臨むときには、基板４の中心部分に臨むときに比べて、スペーサが第二軌道Ｄ２（基板４の上面４ａに交差しない方向の軌道）に沿って進行する確率が高い。ノズル部５の先端５ｃが、基板４の周りの部分に臨むときに、より多くのスペーサを第一軌道Ｄ１に沿って進行させることができれば、スペーサの利用効率（スペーサの散布量に対する基板付着量の割合）が向上する。 As shown in FIG. 1, in this embodiment, the nozzle part 5 is comprised so that the cylinder part 5a can turn centering | focusing on the base 5b. When the tip 5c of the nozzle portion 5 faces the central portion of the substrate 4, the spacers are arranged in the first track D1 (the upper surface 4a of the substrate 4) as compared with the portion around the substrate 4 (portion around the central portion). The probability of traveling along a trajectory in a direction intersecting with is high. On the other hand, when the tip 5c of the nozzle portion 5 faces the portion around the substrate 4, the spacer is in the second orbit D2 (orbit in a direction not intersecting with the upper surface 4a of the substrate 4) as compared to when facing the center portion of the substrate 4. ) Is likely to travel along. If more spacers can be advanced along the first track D1 when the tip 5c of the nozzle portion 5 faces the portion around the substrate 4, the use efficiency of the spacer (the substrate adhesion amount with respect to the spacer dispersion amount) Ratio) is improved.

本実施形態では、上述のように、カバー部８が、ノズル部５を収納するように構成されている。さらに、カバー部８は、ノズル部５から放出されるスペーサと同じ、正の極性に帯電されている。かかる構成により、ノズル部５の先端５ｃが基板４の周りの部分に臨むときであっても、図２に示すように、カバー部８とスペーサＳＰ２との間の電気的な斥力に基づいて、第二軌道Ｄ２に沿って進行するスペーサＳＰ２を第一軌道Ｄ１に沿って進行するように変更できる。すなわち、カバー部８は、スペーサが進行する軌道を、より好ましい軌道に修正する。そして、スペーサの利用効率を高めることができる。スペーサの利用効率を高めることで、散布箱２内で浮遊する過剰なスペーサの量が少なくなり、ノズル部５にスペーサが付着することも抑制できる。 In the present embodiment, as described above, the cover portion 8 is configured to house the nozzle portion 5. Further, the cover portion 8 is charged with the same positive polarity as the spacer discharged from the nozzle portion 5. With this configuration, even when the tip 5c of the nozzle portion 5 faces the portion around the substrate 4, as shown in FIG. 2, based on the electrical repulsive force between the cover portion 8 and the spacer SP2, The spacer SP2 traveling along the second track D2 can be changed to travel along the first track D1. That is, the cover unit 8 corrects the trajectory in which the spacer travels to a more preferable trajectory. And the utilization efficiency of a spacer can be improved. By increasing the utilization efficiency of the spacers, the amount of excess spacers floating in the spray box 2 is reduced, and the spacers can be prevented from adhering to the nozzle portion 5.

ところで、スペーサの凝集体が基板４に落下し基板４を汚染する問題は、本実施形態のように、ノズル部５が可動に構成されている場合に特に問題となる。上述のとおり、本実施形態では、この点に鑑み、帯電スペーサと同じ極性に帯電されるカバー部８が、ノズル部５を収納するように構成されている（図１参照）。これにより、ノズル部５が旋回する空間を確保しつつ、ノズル部５にスペーサが付着することを好適に抑制する。 By the way, the problem that the aggregate of spacers falls on the substrate 4 and contaminates the substrate 4 becomes a problem particularly when the nozzle portion 5 is configured to be movable as in this embodiment. As described above, in this embodiment, in view of this point, the cover portion 8 charged to the same polarity as the charging spacer is configured to house the nozzle portion 5 (see FIG. 1). Thereby, it is suppressed suitably that a spacer adheres to the nozzle part 5, ensuring the space where the nozzle part 5 turns.

また、本実施形態では、散布箱２の上部２ａは、スペーサと同じく、正の極性に帯電されている。上部２ａを正の電源ＶＣＣに接続しても良いが、イオン発生装置付きのエアガンにより、散布箱２の上部２ａを正の極性に帯電させても良い。これによって、散布箱の内壁とスペーサとの間の電気的な斥力により、スペーサの利用効率を高めることができる。 In the present embodiment, the upper part 2a of the spray box 2 is charged with a positive polarity, like the spacer. Although the upper part 2a may be connected to the positive power supply VCC, the upper part 2a of the spray box 2 may be charged to a positive polarity by an air gun with an ion generator. Thereby, the utilization efficiency of a spacer can be improved by the electrical repulsive force between the inner wall of a dispersion box, and a spacer.

また、ステージ３はグランド電位に固定されている。また、散布箱２の下部２ｃも、グランド電位に固定されている。これにより、正の極性に帯電したスペーサは、基板４に向けて好適にノズル部５から放出される。 The stage 3 is fixed at the ground potential. The lower part 2c of the spray box 2 is also fixed to the ground potential. Thereby, the positively charged spacer is preferably discharged from the nozzle portion 5 toward the substrate 4.

また、散布箱２の下部２ｃには、分散媒体気体の排出部２ｄが設けられている。散布装置１が動作しているときは、この排出部２ｄに接続する吸引装置（不図示）により、散布箱２の内部は排気状態にある。本実施形態では、この排出部２ｄを、ノズル部５の先端５ｃに対して、基板４よりも離れた位置に設けている。これにより、分散媒体としての気体の流れを基板方向に好適に形成し、スペーサが進行する軌道を好適に設定できる。また、ノズル部５から一度放出されたスペーサが、ノズル部５に舞い戻ることにより、スペーサがノズル部５に付着することを抑制できる。なお、排出部２ｄは、必ずしも一つである必要はなく、複数設けてもよい。 A dispersion medium gas discharge part 2d is provided in the lower part 2c of the spray box 2. When the spraying device 1 is operating, the inside of the spraying box 2 is in an exhausted state by a suction device (not shown) connected to the discharge part 2d. In the present embodiment, the discharge portion 2 d is provided at a position farther from the substrate 4 than the tip 5 c of the nozzle portion 5. Thereby, the gas flow as the dispersion medium is suitably formed in the substrate direction, and the trajectory along which the spacer travels can be suitably set. In addition, the spacer once released from the nozzle unit 5 returns to the nozzle unit 5, thereby preventing the spacer from adhering to the nozzle unit 5. Note that the number of the discharge portions 2d is not necessarily one, and a plurality of discharge portions may be provided.

上述した構成にて、スペーサの利用効率を測定したところ、スペーサの利用効率は５０％程度となり、従来の利用効率１０％に比べて、スペーサの利用効率が改善された。また、ノズル部５から基板４にスペーサの凝集体が落下することが抑制された結果、従来に比べて、液晶パネル（図５参照）の不良品の発生率も低くなった。 When the spacer utilization efficiency was measured with the above-described configuration, the spacer utilization efficiency was about 50%, which was improved compared to the conventional utilization efficiency of 10%. In addition, as a result of the spacer aggregates being prevented from dropping from the nozzle portion 5 onto the substrate 4, the incidence of defective products of the liquid crystal panel (see FIG. 5) was also lower than before.

「実施の形態２」
図３に、本発明の第二の実施形態を説明するため、帯電スペーサの散布装置１００の概略断面図を示す。同一の要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 “Embodiment 2”
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a charging spacer spraying device 100 for explaining a second embodiment of the present invention. The same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

実施の形態１と異なる点は、カバー部８がノズル部５を収納する態様である。すなわち、本実施形態では、カバー部８は、ノズル部５と一体に構成されている。つまり、絶縁体１０を介して、ノズル部５の基部５ｂに固定されている。また、カバー部８は、ノズル部５に対して略一定の間隔を保ちつつ、基板４に向かって、ノズル部５に沿って延在して構成されている。実施の形態１と同じく、ノズル部５の筒部５ａは、基部５ｂに対して、旋回可能に構成されているが、本実施形態では、カバー部８自体も、ノズル部５の旋回に従って旋回するように構成されている。 The difference from the first embodiment is that the cover portion 8 houses the nozzle portion 5. That is, in the present embodiment, the cover portion 8 is configured integrally with the nozzle portion 5. That is, it is fixed to the base portion 5 b of the nozzle portion 5 through the insulator 10. The cover portion 8 is configured to extend along the nozzle portion 5 toward the substrate 4 while maintaining a substantially constant interval with respect to the nozzle portion 5. As in the first embodiment, the cylindrical portion 5a of the nozzle portion 5 is configured to be rotatable with respect to the base portion 5b. However, in this embodiment, the cover portion 8 itself also rotates according to the rotation of the nozzle portion 5. It is configured as follows.

本実施形態のように、カバー部８が、ノズル部５に一体に構成されることにより、スペーサがノズル部５自体に付着することを抑制できる。カバー部８自体は、スペーサと同じ極性に帯電しているから、カバー部自体にスペーサが付着することもない。また、ノズル部５が旋回するに従ってカバー部８も同じく旋回することで、より好適にスペーサを散布できる（図２も併せて参照）。 As in the present embodiment, the cover portion 8 is configured integrally with the nozzle portion 5, whereby the spacer can be prevented from adhering to the nozzle portion 5 itself. Since the cover portion 8 itself is charged with the same polarity as the spacer, the spacer does not adhere to the cover portion itself. Further, as the nozzle portion 5 turns, the cover portion 8 also turns, so that the spacers can be dispersed more suitably (see also FIG. 2).

「実施の形態３」
図３に、本発明の第三の実施形態を説明するため、帯電スペーサの散布装置１０１の概略断面図を示す。同一の要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 “Embodiment 3”
FIG. 3 shows a schematic cross-sectional view of a charging spacer spraying device 101 for explaining a third embodiment of the present invention. The same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

実施の形態１と異なる点は、ノズル部５とカバー部８との間の空間に、スペーサと同じ極性に帯電した、スペーサの分散媒体と同じ媒体（気体）の流路Ｒ１を形成した点である。 The difference from the first embodiment is that a flow path R1 of the same medium (gas) as the dispersion medium of the spacer is formed in the space between the nozzle portion 5 and the cover portion 8 and charged with the same polarity as the spacer. is there.

ノズル支持部９は、気体流路２０を有する。そして、この気体流路２０には、放電部２１を介して、ポンプ２２が接続されている。ポンプ２２から送り込まれる気体は、放電部２１において、スペーサと同じ極性に帯電される。そして、このように帯電された気体は、気体流路２０を介して、ノズル部５とカバー部８との間の流路Ｒ１に流れ込む。これにより、スペーサの舞い戻り等によって、スペーサがノズル部５自体やカバー部８の表面に付着することを抑制できる。 The nozzle support portion 9 has a gas flow path 20. A pump 22 is connected to the gas flow path 20 via a discharge part 21. The gas fed from the pump 22 is charged to the same polarity as the spacer in the discharge unit 21. The gas thus charged flows into the flow path R1 between the nozzle part 5 and the cover part 8 via the gas flow path 20. Thereby, it can suppress that a spacer adheres to the nozzle part 5 itself or the surface of the cover part 8 by the return of a spacer.

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。スペーサがいずれの極性に帯電するのかは、スペーサの材料によって変わり得る。また、言うまでもなく、放電（コロナ放電）技術等を用いて、スペーサを所定の極性に強制的に帯電させることもできる。また、カバー部は、必ずしも単層から構成される必要はない。カバー部を複層から構成してもよい。さらに、清掃作業の簡便化のため、ノズル部５又はカバー部８を散布箱２に対して着脱可能に構成してもよい。散布箱２の構成は任意である。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the spirit of the invention. To which polarity the spacer is charged may vary depending on the material of the spacer. Needless to say, the spacer can be forcibly charged to a predetermined polarity using a discharge (corona discharge) technique or the like. Moreover, the cover part does not necessarily need to be composed of a single layer. You may comprise a cover part from a multilayer. Furthermore, the nozzle part 5 or the cover part 8 may be configured to be detachable from the spray box 2 for the sake of simplifying the cleaning work. The configuration of the spray box 2 is arbitrary.

本発明は、液晶ディスプレイの製造に用いることができる。 The present invention can be used for manufacturing a liquid crystal display.

実施の形態１にかかる帯電スペーサの散布装置の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a charging spacer spraying device according to a first exemplary embodiment; 正の極性に帯電したスペーサが、同じく正の極性に帯電したカバー部により、電気的な斥力を受ける仕組みを説明するための概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view for explaining a mechanism in which a spacer charged to a positive polarity receives an electric repulsive force by a cover portion that is also charged to a positive polarity. 実施の形態２にかかる帯電スペーサの散布装置の概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a charging spacer spraying device according to a second exemplary embodiment. 実施の形態３にかかる帯電スペーサの散布装置の概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of a charging spacer spraying device according to a third embodiment. 一般的な液晶パネルの構造を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structure of a common liquid crystal panel.

Explanation of symbols

１散布装置
２散布箱
３ステージ
３ａ上面
４基板
４ａ上面
５ノズル部
５ｃ先端
６スペーサ供給部
６ａ導入部
７スペーサ流路
８カバー部
８ａ先端部分
８ｂ後端部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spreading device 2 Spreading box 3 Stage 3a Upper surface 4 Substrate 4a Upper surface 5 Nozzle part 5c Tip 6 Spacer supply part 6a Introduction part 7 Spacer flow path 8 Cover part 8a Tip part 8b Rear end part

Claims

A charging spacer comprising: a nozzle portion that discharges a spacer charged to a predetermined polarity toward the object to be processed; and a cover portion that prevents the spacer from adhering to the nozzle portion using an electric repulsive force. Spraying device.

2. The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein the cover portion changes a traveling trajectory of the spacer discharged from the nozzle portion by using an electric repulsive force. 3.

2. The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein the cover portion has a surface charged to the same polarity as the spacer.

4. The charging spacer spraying device according to claim 3, wherein the entire surface of the cover portion is charged with the same polarity as the spacer.

5. The charging spacer spraying device according to claim 4, wherein the cover portion is formed of a single-layer conductive member.

The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein the cover portion is configured to surround the nozzle portion.

The charging spacer spraying device according to claim 6, wherein the cover portion is configured to extend so that a cross-sectional area is widened toward the processing object.

2. The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein the nozzle portion is configured to change a direction in which the spacer is discharged.

The charging spacer spraying device according to claim 8, wherein the cover portion is configured integrally with the nozzle portion.

The charging spacer spraying device according to claim 9, wherein the cover portion is configured to extend at substantially equal intervals along the nozzle portion.

2. The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein a flow path of a medium charged with the same polarity as the spacer is formed in a space between the nozzle portion and the cover portion.

2. The charging spacer spraying device according to claim 1, wherein the nozzle part and the cover part are inside a spraying box.

A charged spacer that sprays the spacer toward the object to be processed using the nozzle unit in a state in which the spacer charged to a predetermined polarity is suppressed from adhering to the nozzle unit by an electrical repulsive force in the cover unit. Spraying method.

The charging method for charging spacers according to claim 13, wherein the cover portion changes a traveling trajectory of the spacer discharged from the nozzle portion using an electric repulsive force.

14. The charging spacer spraying method according to claim 13, wherein the cover portion has a surface charged to the same polarity as the spacer.

16. The charging spacer spraying method according to claim 15, wherein the entire surface of the cover portion is charged with the same polarity as the spacer.

The charging spacer spraying method according to claim 13, wherein the cover portion is configured to surround the nozzle portion.

14. The charging spacer spraying device according to claim 13, wherein the nozzle portion is configured to change a direction in which the spacer is discharged.

14. The charging spacer spraying method according to claim 13, wherein the nozzle part and the cover part are inside a spray box.

A liquid crystal panel manufactured using the charging spacer spraying device according to claim 1 or the charging spacer spraying method according to claim 13.