JP2007307760A

JP2007307760A - Inkjet nozzle plate, liquid droplet delivering apparatus, image forming apparatus and method for manufacturing inkjet nozzle

Info

Publication number: JP2007307760A
Application number: JP2006137950A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Kobayashi; 丈司小林; Shoji Nakamura; 昌治中村
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2006-05-17
Filing date: 2006-05-17
Publication date: 2007-11-29

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress turbulence of an image caused by mist. <P>SOLUTION: An inkjet nozzle plate 10 is equipped with a flow path plate 11 in which a recessed part or a through-hole 11a to be a flow path for ink is formed, and a resin-made nozzle sheet 12 with a delivering hole 10a for delivering the ink flowing through the recessed part or the through-hole 11a as liquid droplets which is fixed on this flow path plate 11 and is communicated with the recessed part or the through-hole 11a. In the inkjet nozzle plate 10, the nozzle sheet 12 is fixed on the flow path plate 11 with an ultraviolet-curable material under the condition that a tensile force is applied. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、画像を記録するのに使用するインクジェットヘッド（液滴吐出装置）、これに用いるインクジェットノズル板及びその製造方法、ならびにインクジェット方式で画像を記録するインクジェット記録装置（画像形成装置）に関するものである。 The present invention relates to an ink jet head (droplet discharge device) used for recording an image, an ink jet nozzle plate used therefor, a manufacturing method thereof, and an ink jet recording device (image forming device) for recording an image by an ink jet method. It is.

従来、この種のインクジェット記録装置としては、インクジェットヘッドによって記録体に画像を記録するもの、流路板の表面に複数の吐出孔を有するニッケル等の金属ノズル部材が張力を作用させるように固定されるもの等が知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。 Conventionally, as this type of ink jet recording apparatus, an ink jet head is used to record an image on a recording medium, and a metal nozzle member such as nickel having a plurality of discharge holes on the surface of a flow path plate is fixed so that tension is applied. Are known (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

特許文献１では、インクジェットヘッドは、インクの流路となる複数の凹部又は貫通穴が形成された流路板の表面に、これら凹部又は貫通穴のそれぞれに連通する複数の吐出孔を有するノズル部材が固定されたインクジェットノズル板を有している。流路板の凹部又は貫通穴は、ノズル部材の吐出孔の径よりも大きな断面積となっており、微小径の吐出孔の裏側でインクを貯留している。
このように貯留されるインクが圧電素子等の加圧手段によって加圧されることで、インクジェットノズル板の吐出孔からインク滴が吐出する。そして、これが記録体に付着することで、画像が記録される。 In Patent Document 1, an ink jet head has a nozzle member having a plurality of ejection holes communicating with each of these recesses or through holes on the surface of a flow path plate in which a plurality of recesses or through holes serving as ink channels are formed. Has an inkjet nozzle plate fixed thereto. The recess or the through hole of the flow path plate has a cross-sectional area larger than the diameter of the discharge hole of the nozzle member, and stores ink on the back side of the discharge hole having a minute diameter.
When the stored ink is pressurized by a pressurizing unit such as a piezoelectric element, ink droplets are ejected from the ejection holes of the inkjet nozzle plate. And this adheres to a recording body, and an image is recorded.

また、特許文献２には、インクの流路となる複数の凹部又は貫通穴が形成された流路板の表面に、これら凹部又は貫通穴のそれぞれに連通する複数の吐出孔を有するニッケル等の金属ノズル部材が張力を作用させるように固定されたインクジェットヘッドが記載されている。
特開２００３−１１３６８公報特開平０２−１３９２４２号公報 Further, in Patent Document 2, nickel or the like having a plurality of discharge holes communicating with each of the recesses or the through holes on the surface of the flow path plate in which the plurality of recesses or the through holes serving as the ink flow paths are formed. An ink jet head is described in which a metal nozzle member is fixed to exert a tension.
JP2003-11368A Japanese Patent Laid-Open No. 02-139242

しかしながら、特許文献１のインクジェットノズル板を用いるインクジェット記録装置では、画像を記録するためのインク滴の他に、インクを霧状に吐出させて記録体に付着させてしまう現象、いわゆるミストによって画像を乱すことがあった。高解像度化に伴ってより小さなインク滴を吐出させるようにインクジェットノズル板を構成する近年においては、かかるミストがとくに生じ易くなる傾向にある。
また、特許文献２のインクジェットノズル板を用いるインクジェット記録装置では、ニッケルからなるノズル板に所要の数のノズル開口を列設する工程、ノズル板をエポキシ樹脂等の接着剤、はんだ付け、レーザスポット溶接等の溶接、ネジ止め等である締結等の手段により筐体と位置合わせを正確に行った上で接合する工程というように煩雑な工程を必要とし生産性を悪化させる傾向にある。 However, in the ink jet recording apparatus using the ink jet nozzle plate of Patent Document 1, in addition to ink droplets for recording an image, an image is generated by a phenomenon in which ink is ejected in a mist form and attached to a recording body, so-called mist. I was disturbed. In recent years, in which the inkjet nozzle plate is configured to eject smaller ink droplets as the resolution increases, such mist tends to be particularly likely to occur.
Further, in the ink jet recording apparatus using the ink jet nozzle plate of Patent Document 2, a step of arranging a required number of nozzle openings on a nozzle plate made of nickel, an adhesive such as epoxy resin, soldering, and laser spot welding. Therefore, a complicated process such as a process of joining after accurately aligning with the housing by means such as fastening such as welding, screwing, etc., tends to deteriorate productivity.

本発明者の研究によれば、ミストを引き起こす原因は、近年におけるインク滴を吐出させるための吐出孔を形成するノズル部材の厚みがより薄くなって来ていることにある可能性が高いと結論付けるに至った。
すなわち、より小径のインク滴を吐出させる場合においては、インク滴を吐出させるための吐出孔をより小径にするとともに、その吐出孔を形成するノズル部材の厚みをより薄くしている。 According to the inventor's research, it is concluded that the cause of the mist is likely due to the fact that the thickness of the nozzle member that forms the ejection hole for ejecting ink droplets in recent years is becoming thinner. It came to attach.
That is, when ejecting ink droplets with a smaller diameter, the ejection holes for ejecting ink droplets are made smaller in diameter, and the thickness of the nozzle member that forms the ejection holes is made thinner.

ノズル部材の厚みが大きいと、インク滴の大きさが吐出方向に大きくなってしまい、十分に小径なインク滴を吐出することが困難になるからである。このようなノズル部材は、シート状あるいはフィルム状の薄厚なものであるため、吐出の際に流路内のインクが加圧されるのに伴って、吐出孔の周囲を吐出側に撓ませながらインク滴を吐出させる。
かかる撓みは、吐出後の加圧力の解放に伴って吐出孔の周囲をリバウンドさせ、その反動によって吐出孔内のインクを霧（ミスト）状に飛び散らせている可能性が十分にあると考えられる。
そこで、本発明の目的は、ミストによる画像の乱れを抑えることができるインクジェットノズル板及びその製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することにある。 This is because if the thickness of the nozzle member is large, the size of the ink droplet increases in the ejection direction, making it difficult to eject a sufficiently small diameter ink droplet. Since such a nozzle member is a thin sheet or film, while the ink in the flow path is pressurized at the time of discharge, the periphery of the discharge hole is bent toward the discharge side. Ink droplets are ejected.
It is considered that such a deflection sufficiently rebounds the periphery of the ejection hole with the release of the applied pressure after ejection, and the reaction in the rebound causes the ink in the ejection hole to be scattered in a mist shape. .
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ink jet nozzle plate, a method for manufacturing the ink jet nozzle plate, an ink jet head, and an ink jet recording apparatus that can suppress image disturbance due to mist.

上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、インクの流路となる凹部又は貫通穴が形成された流路板と、この流路板に固定されかつ前記凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートとを備えるインクジェットノズル板において、前記ノズルシートは張力を掛けた状態で前記流路板に紫外線硬化材料で固定されているインクジェットノズル板を特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、液滴を吐出するためのインクジェットノズル板と、このインクジェットノズル板内のインクを加圧する加圧手段とを備える液滴吐出装置において、前記インクジェットノズル板として、請求項１記載のインクジェットノズル板を用いる液滴吐出装置を特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is a flow path plate in which a recess or a through hole serving as an ink flow path is formed, and the recess or the through hole fixed to the flow path plate. In an inkjet nozzle plate comprising a resin nozzle sheet having ejection holes for ejecting ink that has circulated through the recesses or through-holes as droplets so as to communicate with the nozzle sheet, the nozzle sheet is in a state in which tension is applied It features an inkjet nozzle plate that is fixed to the flow path plate with an ultraviolet curable material.
According to a second aspect of the present invention, there is provided a droplet discharge device including an inkjet nozzle plate for discharging droplets and a pressurizing unit that pressurizes ink in the inkjet nozzle plate. A droplet discharge apparatus using the inkjet nozzle plate according to claim 1.

また、請求項３に記載の発明は、液滴吐出装置から吐出した液滴を記録体に付着させて画像を記録する画像形成装置において、前記液滴吐出装置として、請求項２記載の液滴吐出装置を用いる画像形成装置を特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、流路板に固定されかつこの流路板の凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートとを備えるインクジェットノズル板を製造するインクジェットノズルの製造方法において、前記流路板と前記樹脂からなるノズルシートに張力をかけた状態で紫外線硬化材料を介して密着させ、前記ノズルシートに紫外光を照射することにより吐出孔を設け、前記紫外線硬化材料に紫外光を照射し、前記流路板と前記ノズルシートとを接着固定させるインクジェットノズルの製造方法を特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the image forming apparatus for recording an image by attaching the liquid droplet ejected from the liquid droplet ejecting apparatus to a recording medium, the liquid droplet ejecting apparatus according to claim 2 is used as the liquid droplet ejecting apparatus. An image forming apparatus using a discharge device is characterized.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the ink for discharging the ink fixed to the flow path plate and flowing through the recess or the through hole so as to communicate with the recess or the through hole of the flow path plate. An inkjet nozzle manufacturing method for manufacturing an inkjet nozzle plate comprising a resin nozzle sheet having discharge holes, wherein the flow path plate and the nozzle sheet made of resin are in close contact with each other via an ultraviolet curable material. And a method of manufacturing an inkjet nozzle in which an ejection hole is provided by irradiating the nozzle sheet with ultraviolet light, the ultraviolet curable material is irradiated with ultraviolet light, and the flow path plate and the nozzle sheet are bonded and fixed. .

本発明によれば、複数の吐出孔を有する薄肉のノズルシートが張力を掛けた状態で流路板に紫外線硬化材料で固定されているので、張力を掛けないで固定された従来のノズルシートに比べて、インク滴を吐出する際の加圧による撓みが小さくなる。これにより、撓みがリバウンドする際の反動による吐出孔内からのインクの飛び散りが少なくなり、これによって、ミストによる画像の乱れを抑えることができる。
また、紫外光を照射することにより吐出孔を設けると同時に、紫外線硬化材料に紫外光を照射し、流路板と、樹脂性ノズルシートとを接着固定させるので、紫外光のエネルギロスが少なくなる上、複数の工程が必要なくなるため容易にノズルを製造できる。また、接着固定部にスポット的に紫外光を照射できるため、余剰の硬化材料を硬化させることなく、容易に洗い流すことができる。 According to the present invention, since the thin nozzle sheet having a plurality of discharge holes is fixed to the flow path plate with the ultraviolet curable material in a tensioned state, the conventional nozzle sheet fixed without being tensioned is used. In comparison, bending due to pressurization when ejecting ink droplets is reduced. Thereby, the scattering of ink from the inside of the ejection hole due to the reaction when the deflection rebounds is reduced, and thereby the disturbance of the image due to the mist can be suppressed.
In addition, the discharge hole is provided by irradiating ultraviolet light, and at the same time, the ultraviolet curable material is irradiated with ultraviolet light, and the flow path plate and the resin nozzle sheet are bonded and fixed, so that the energy loss of ultraviolet light is reduced. Moreover, since a plurality of processes are not required, the nozzle can be easily manufactured. Moreover, since the ultraviolet light can be irradiated to the adhesive fixing portion in a spot manner, it can be easily washed away without curing the excessive curable material.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に係わるインクジェットプリンタを示す斜視図である。以下、本発明を適用したインクジェット記録装置（画像形成装置）として、インクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）の実施の形態について説明する。
図１において、プリンタ１は、互いに所定の距離をおいて相対向する２枚の側板２、２を有する筺体３を備えている。これら２枚の側板２、２には、両者間を架橋するように２本のガイドレール４、５が互いに平行になるように固定されている。
棒状のガイドレール４、５は、キャリッジ６をガイドレールの長手方向に沿って移動可能に保持している。このキャリッジ６は、インクジェットヘッド（液滴吐出装置）７を搭載しており、図示しないモータ等の駆動源によってガイドレールの長手方向に往復移動可能になっている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an ink jet printer according to the present invention. Hereinafter, an embodiment of an ink jet printer (hereinafter simply referred to as a printer) will be described as an ink jet recording apparatus (image forming apparatus) to which the present invention is applied.
In FIG. 1, a printer 1 includes a housing 3 having two side plates 2 and 2 facing each other at a predetermined distance. Two guide rails 4 and 5 are fixed to these two side plates 2 and 2 so as to be parallel to each other so as to bridge the two.
The bar-shaped guide rails 4 and 5 hold the carriage 6 so as to be movable along the longitudinal direction of the guide rail. The carriage 6 is equipped with an ink jet head (droplet discharge device) 7 and can be reciprocated in the longitudinal direction of the guide rail by a driving source such as a motor (not shown).

このように往復移動可能なキャリッジ６には、図示しない駆動源によって回転駆動される搬送ローラ８が対面している。また、筺体３の図中後部には、用紙Ｐを複数枚重ねた紙束の状態で載置する用紙ガイド板９が固定されている。
この用紙ガイド板９上に載置された紙束の一番上の用紙Ｐは、搬送ローラ８に圧接するように配置される。そして、搬送ローラ８の回転に伴って、キャリッジ６との対向位置である印字位置に向けて搬送される。 In this way, the carriage 6 that can reciprocate is opposed to a conveyance roller 8 that is rotationally driven by a drive source (not shown). A paper guide plate 9 is fixed to the rear portion of the housing 3 in the drawing in which a plurality of paper sheets P are stacked in a stacked state.
The uppermost sheet P of the sheet bundle placed on the sheet guide plate 9 is disposed so as to be in pressure contact with the transport roller 8. Then, along with the rotation of the conveyance roller 8, the conveyance roller 8 is conveyed toward a printing position that is a position facing the carriage 6.

インクジェットヘッド７は、キャリッジ６の往復移動に伴い、用紙Ｐの搬送方向である副走査方向と直交する主走査方向に移動しながら、インク滴（液滴）を噴射させて用紙Ｐに画像を記録する。
キャリッジ６は、かかる構成のインクジェットヘッド７を、その吐出孔が下方に向く状態で保持している。なお、キャリッジ６には、インクジェットヘッド７にインクを供給するためのインクカートリッジが交換可能に装着されている。 The ink-jet head 7 records an image on the paper P by ejecting ink droplets (droplets) while moving in the main scanning direction orthogonal to the sub-scanning direction that is the conveyance direction of the paper P as the carriage 6 reciprocates. To do.
The carriage 6 holds the ink jet head 7 having such a configuration in a state where the discharge hole faces downward. An ink cartridge for supplying ink to the inkjet head 7 is replaceably mounted on the carriage 6.

図２はインクジェットヘッドの先端に固定されるインクジェットノズル板をインク吐出側からみた平面図である。図２に示されるように、インクジェットヘッド７の先端にはインクジェットノズル板１０が固定されている。このインクジェットノズル板１０は、３８［ｍｍ］×５［ｍｍ］の平面内に形成された複数の吐出孔１０ａを有している。これらの吐出孔１０ａからのインクの吐出は、それぞれ個別に適宜制御されるようになっている。 FIG. 2 is a plan view of an ink jet nozzle plate fixed to the tip of the ink jet head as seen from the ink discharge side. As shown in FIG. 2, an inkjet nozzle plate 10 is fixed to the tip of the inkjet head 7. The inkjet nozzle plate 10 has a plurality of ejection holes 10a formed in a plane of 38 [mm] × 5 [mm]. The ejection of ink from these ejection holes 10a is individually controlled as appropriate.

図３はインクジェットノズル板の要部を示す部分拡大断面図である。図４はインクジェットノズル板をインク流入側から見た部分拡大平面図である。これらの図において、インクジェットノズル板１０は、ＳｉＯ₂からなる厚さ７０〜１００［μｍ］の流路板１１と、この表面に固定された厚さ２５［μｍ］のポリイミド、ポリエチレンナフタレート又はポリエチレンテレフタレートからなるノズルシート１２とを有している。
流路板１１は、ＳｉＯ₂からなる厚さ７５〜１００［μｍ］の基板に対して、その厚さ方向に貫通する複数の貫通穴１１ａが異方性エッチングによって形成されたものである。これらの貫通穴１１ａは、それぞれ流入側（図３中、上側）から流出側（図３中、下側）に向けてのインクの流路となるもので、その平面形状は、図４に示すように菱形状になっている。菱形の一辺の長さは１００［μｍ］程度である。 FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view showing the main part of the inkjet nozzle plate. FIG. 4 is a partially enlarged plan view of the ink jet nozzle plate viewed from the ink inflow side. In these drawings, an inkjet nozzle plate 10 includes a flow path plate 11 made of SiO ₂ and having a thickness of 70 to 100 [μm], and a polyimide, polyethylene naphthalate or polyethylene having a thickness of 25 [μm] fixed to the surface. And a nozzle sheet 12 made of terephthalate.
In the flow path plate 11, a plurality of through holes 11a penetrating in the thickness direction are formed by anisotropic etching with respect to a substrate made of SiO ₂ and having a thickness of 75 to 100 [μm]. These through holes 11a serve as ink flow paths from the inflow side (upper side in FIG. 3) to the outflow side (lower side in FIG. 3), and the planar shape thereof is shown in FIG. It has a rhombus shape. The length of one side of the rhombus is about 100 [μm].

ノズルシート１２は、流路板１１の貫通穴１１ａを流通してきたインクをインク滴として吐出するための複数の吐出孔１０ａ（インクジェットノズル板１０の吐出孔と同じ）を、流路板１１の貫通穴１１ａのそれぞれに対して１対１で連通させるように、流路板１１の表面に固定されている。
吐出孔１０ａは、平面形状が直径２６［μｍ］の真円状となっており、図４に示すように、ノズルシート１２の平面上で２列に並ぶように複数形成されている。それぞれの列の延在する方向は用紙に対する副走査方向に対応しており、１列内では１９４個の吐出孔１０ａが一直線状に約１５０［μｍ］のピッチで並んでいる。
１９４個の吐出孔１０ａからなる孔列が用紙に対する主走査方向に２列に並んでいる。それぞれの列内における吐出孔１０ａの副走査方向における位置は、１／２ピッチずつずれている。これにより、インクジェットヘッド７（図１）が主走査方向に１回動作する毎に、最大で３８８滴のインク滴が吐出され、用紙に３８８ドットが記録される。なお、吐出孔１０ａは、後述されるエキシマレーザによって穿孔加工されたものである。 The nozzle sheet 12 penetrates the flow path plate 11 through a plurality of discharge holes 10a (same as the discharge holes of the ink jet nozzle plate 10) for discharging ink that has circulated through the through holes 11a of the flow path plate 11 as ink droplets. It is fixed to the surface of the flow path plate 11 so as to communicate with each of the holes 11a on a one-to-one basis.
The discharge holes 10a have a perfect circular shape with a diameter of 26 [μm], and a plurality of the discharge holes 10a are formed in two rows on the plane of the nozzle sheet 12, as shown in FIG. The extending direction of each row corresponds to the sub-scanning direction with respect to the paper. In one row, 194 ejection holes 10a are arranged in a straight line at a pitch of about 150 [μm].
A hole array composed of 194 ejection holes 10a is arranged in two lines in the main scanning direction with respect to the paper. The positions of the ejection holes 10a in each row in the sub-scanning direction are shifted by ½ pitch. Thus, every time the inkjet head 7 (FIG. 1) operates once in the main scanning direction, a maximum of 388 ink droplets are ejected, and 388 dots are recorded on the paper. The discharge hole 10a is drilled by an excimer laser described later.

流路板１１の各貫通穴１１ａ内は、図示しないインクカートリッジから導かれてきたインクで満たされる。そして、インクジェットヘッド７は、図示しない圧電素子を用いた周知の技術によって、各貫通穴１１ａ内のインクを、貫通穴１１ａ毎に個別に加圧するようになっている。加圧されたインクは、ノズルシート１２の吐出孔１０ａからインク滴として吐出される。
本インクジェット記録装置（画像形成装置）のインクジェットヘッド（液滴吐出装置）のように、吐出孔１０ａが厚さ２５［μｍ］程度の薄厚のノズルシート１２に形成されたインクジェットノズル板１０を用いるものでは、吐出の際に以下に述べるような現象によるミストを引き起こす可能性が十分にある。 Each through hole 11a of the flow path plate 11 is filled with ink guided from an ink cartridge (not shown). The ink jet head 7 is configured to pressurize the ink in each through hole 11a individually for each through hole 11a by a known technique using a piezoelectric element (not shown). The pressurized ink is ejected as ink droplets from the ejection holes 10 a of the nozzle sheet 12.
An inkjet nozzle plate 10 in which ejection holes 10a are formed in a thin nozzle sheet 12 having a thickness of about 25 [μm], as in an inkjet head (droplet ejection apparatus) of the present inkjet recording apparatus (image forming apparatus) Then, there is a possibility of causing mist due to the phenomenon described below during ejection.

図５はインク吐出時のノズルシートの撓みを説明する部分拡大断面図である。すなわち、図示のように、流路板１１の貫通穴１１ａ内のインクの加圧に伴って、ノズルシート１２における吐出孔１０ａの周囲の箇所が吐出側に大きく撓むようになる。ここで、貫通穴１１ａ内のインクが加圧力から解消されると、それまで撓んでいたシート箇所がリバウンドし、その反動によって吐出孔１０ａからインクがミスト状（霧状）に飛び出す。これをミスト現象と称している。
そこで、本インクジェット記録装置では、インクジェットノズル板１０として、ノズルシート１２を、テンション（張力）を掛けた状態で流路板１１に固定したものを用いている。
かかる構成のインクジェットノズル板１０のノズルシート１２は、張力を掛けないで固定された従来のノズルシートに比べて、インク滴を吐出する際の加圧による撓みが小さくなる。これにより、撓みがリバウンドする際の反動による吐出孔１０ａ内からのインクの飛び散りが少なくなる。よって、ミストによる画像の乱れを抑えることができる。 FIG. 5 is a partial enlarged cross-sectional view for explaining the deflection of the nozzle sheet during ink ejection. That is, as shown in the drawing, the portion around the discharge hole 10a in the nozzle sheet 12 is greatly bent toward the discharge side as the ink in the through hole 11a of the flow path plate 11 is pressurized. Here, when the ink in the through-hole 11a is released from the applied pressure, the sheet portion that has been bent until then rebounds, and by the reaction, the ink jumps out from the ejection hole 10a in a mist form. This is called the mist phenomenon.
Therefore, in the present ink jet recording apparatus, as the ink jet nozzle plate 10, a nozzle sheet 12 fixed to the flow path plate 11 in a tensioned state is used.
The nozzle sheet 12 of the inkjet nozzle plate 10 having such a configuration is less bent by pressurization when ejecting ink droplets than a conventional nozzle sheet fixed without applying tension. Thereby, the scattering of the ink from the inside of the ejection hole 10a by the reaction when the bending rebounds is reduced. Therefore, image disturbance due to mist can be suppressed.

次に、本インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットノズル板１０を製造するインクジェットノズル板の製造方法について説明する。このインクジェットノズル板の製造方法では、異方性エッチング等の技術により、流路となる複数の貫通穴１１ａを形成した流路板１１の表面に、ノズルシート１２を接着剤によって固定してインクジェットノズル板１０を得る。
この固定の際、テンショナ（図示せず）によってテンションを掛けたノズルシート１２、あるいは、テンショナによってテンションを掛けて枠に固定された後、テンションを維持した状態でテンショナが取り外されたノズルシート１２を用いる。 Next, the manufacturing method of the inkjet nozzle plate which manufactures the inkjet nozzle plate 10 mounted in this inkjet recording device is demonstrated. In this inkjet nozzle plate manufacturing method, the nozzle sheet 12 is fixed to the surface of the flow path plate 11 in which a plurality of through holes 11a serving as the flow path are formed by a technique such as anisotropic etching, using an adhesive. A plate 10 is obtained.
At the time of fixing, the nozzle sheet 12 that is tensioned by a tensioner (not shown) or the nozzle sheet 12 that is tensioned by the tensioner and fixed to the frame and then the tensioner is removed while maintaining the tension is used. Use.

テンショナとしては、印刷マスク製造の分野などで用いられる周知のものを用いることができるが、本出願人が特開平１１−２６８２３０号公報で提案した円形テンショナを用いることが望ましい。この円形テンショナは、テンション付与対象となるシート材の中心側から外縁側に向けて、法線方向に均一なテンションを掛けることができる。
なお、ノズルシート１２については、テンションを掛けた状態で流路板１１に固定してから、エキシマレーザの照射により複数の吐出孔１２ａを形成してもよいし、吐出孔１２ａを形成してから、テンションを掛けた状態で流路板１１に固定してもよい。 As the tensioner, a well-known one used in the field of printing mask manufacture or the like can be used. However, it is desirable to use a circular tensioner proposed by the applicant in Japanese Patent Laid-Open No. 11-268230. This circular tensioner can apply a uniform tension in the normal direction from the center side to the outer edge side of the sheet material to be tensioned.
The nozzle sheet 12 may be fixed to the flow path plate 11 in a tensioned state, and then a plurality of discharge holes 12a may be formed by excimer laser irradiation, or after the discharge holes 12a are formed. Alternatively, it may be fixed to the flow path plate 11 in a tensioned state.

図６は流路板に固定される前のノズルシートと、流路板の前駆体であるポリイミドフィルムとを示す概略斜視図である。図６には、流路板１１（図３）に固定される前のノズルシート１２と、流路板１１の前駆体であるポリイミドフィルム１３とを示している。
図６において、ノズルシート１２は、上述の円形テンショナによってテンションを掛けた状態でリング状の枠１４に接着された後、そのテンションを維持した状態で円形テンショナが取り外されたものである。ノズルシート１２における枠１４内の箇所には、テンションが掛かっている状態である。 FIG. 6 is a schematic perspective view showing a nozzle sheet before being fixed to the flow path plate and a polyimide film which is a precursor of the flow path plate. FIG. 6 shows the nozzle sheet 12 before being fixed to the flow path plate 11 (FIG. 3) and the polyimide film 13 that is a precursor of the flow path plate 11.
In FIG. 6, the nozzle sheet 12 is bonded to the ring-shaped frame 14 while being tensioned by the above-described circular tensioner, and then the circular tensioner is removed while maintaining the tension. In the nozzle sheet 12, a portion in the frame 14 is in a tensioned state.

一方、流路板１１の前駆体であるポリイミドフィルム１３には、複数の貫通穴１３ａが異方性エッチング等によって形成されている。これらの貫通穴１３ａは、ポリイミドフィルム１３の円形平面で、１９４個×２列＝３８８個からなる１つの穴パターン（これはインクジェットヘッド１個分に相当する）を形成している。
そして、ポリイミドフィルム１３には、このように３８８個の貫通穴１３ａからなる穴パターンが、アレイ状に並んで複数形成されている。すなわち、ポリイミドフィルム１３には、インクジェットヘッド複数分の貫通穴１３ａが形成されている。このポリイミドフィルム１３の貫通穴１３ａは、後工程でポリイミドフィルム１３が切断されてフィルム表面が複数に分割された複数の流路板１１になった際に、流路板１１の貫通穴１１ａとなる。 On the other hand, a plurality of through holes 13a are formed in the polyimide film 13 which is a precursor of the flow path plate 11 by anisotropic etching or the like. These through-holes 13a are circular planes of the polyimide film 13 and form one hole pattern (corresponding to one inkjet head) composed of 194 × 2 rows = 388.
In the polyimide film 13, a plurality of hole patterns made up of 388 through holes 13a are formed side by side in an array. That is, the polyimide film 13 has through holes 13a for a plurality of ink jet heads. The through hole 13a of the polyimide film 13 becomes the through hole 11a of the flow path plate 11 when the polyimide film 13 is cut in a later process to become a plurality of flow path plates 11 divided into a plurality of film surfaces. .

上述のようにしてテンションが掛けられて枠１４に固定されたノズルシート１２にも、インクヘッドヘッド１個分ではなく、複数個分に対応する数の吐出孔１２ａが形成されている。
ポリイミドフィルムの表面には、ＵＶ硬化接着剤等が塗布された後、枠１４に固定されたノズルシート１２が接着固定される。そして、ノズルシート１２及びにエキシマレーザの照射により複数の吐出孔１２ａを形成し、接着剤が乾いたら、ポリイミドフィルムの表面に密着させたノズルシート１２の表側から、吐出孔１２ａを形成するために利用したエキシマレーザの余剰の光を充分に減衰した紫外光を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させかつ接着させる。
枠１４からノズルシート１２がくり抜かれた後、図６のポリイミドフィルム１３に示した分割線の位置で、ノズルシート１２及びポリイミドフィルム１３が複数に分割されて、複数のインクジェットノズル板が得られる。 The nozzle sheet 12 that is tensioned and fixed to the frame 14 as described above is also formed with a number of ejection holes 12a corresponding to a plurality of ink heads instead of one ink head.
After the UV curable adhesive or the like is applied to the surface of the polyimide film, the nozzle sheet 12 fixed to the frame 14 is bonded and fixed. Then, a plurality of discharge holes 12a are formed in the nozzle sheet 12 and excimer laser irradiation, and when the adhesive is dried, the discharge holes 12a are formed from the front side of the nozzle sheet 12 adhered to the surface of the polyimide film. The excess light of the used excimer laser is irradiated with ultraviolet light that is sufficiently attenuated to cure and bond the ultraviolet curable resin.
After the nozzle sheet 12 is cut out from the frame 14, the nozzle sheet 12 and the polyimide film 13 are divided into a plurality of portions at the position of the dividing line shown in the polyimide film 13 in FIG. 6 to obtain a plurality of inkjet nozzle plates.

図７はノズルシートに複数の吐出孔を穿孔加工する際に用いられるエキシマレーザ加工装置を示す概略構成図である。図７には、ノズルシート１２に複数の吐出孔１２ａを穿孔加工する際に用いられるエキシマレーザ加工装置を示している。
同図において、レーザ発振器１５から出射されたエキシマレーザ光Ｌは、ホモジェナイザ１６、フィールドレンズ１７、そのアパーチャマスク１８、結像レンズ１９を順次通過した後、図示しないＸ−Ｙテーブルの底板、天板を経てマザー基板に到達する。
図示のレーザ照射部には、できるだけコンパクトにする目的で、エキシマレーザ光Ｌの進行方向をその光路の途中で変化させる複数の反射ミラーを設けているが、同図においては、便宜上、それら反射ミラーの図示を省略している。エキシマレーザによる加工対象となる図示しないノズルシートは、図示しないＸ−Ｙテーブル上に固定されている。 FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an excimer laser processing apparatus used when a plurality of discharge holes are formed in a nozzle sheet. FIG. 7 shows an excimer laser processing apparatus used when punching a plurality of discharge holes 12 a in the nozzle sheet 12.
In this figure, an excimer laser beam L emitted from a laser oscillator 15 sequentially passes through a homogenizer 16, a field lens 17, its aperture mask 18, and an imaging lens 19, and then a bottom plate and a top plate of an XY table (not shown). To reach the mother board.
The illustrated laser irradiation unit is provided with a plurality of reflecting mirrors that change the traveling direction of the excimer laser light L in the middle of its optical path for the purpose of making it as compact as possible. In FIG. Is omitted. A nozzle sheet (not shown) to be processed by the excimer laser is fixed on an XY table (not shown).

図８はレーザ照射部のホモジェナイザを拡大して示す拡大構成図である。図７および図８を参照して、ホモジェナイザ１６は、第１レンズアレイ対２０と、第２レンズアレイ対２３と、分散抑制用集光レンズ２６とを有している。
第１レンズアレイ対２０及び第２レンズアレイ対２３は、それぞれ、ｙ軸分割レンズアレイ２１、２４と、ｘ軸分割レンズアレイ２２、２５とから構成されている。
ホモジェナイザ１６内では、２枚のｙ軸分割レンズアレイ２１、２４、２枚のｘ軸分割レンズアレイ２２、２５と、１枚の分散抑制用集光レンズ２６が、エキシマレーザ光Ｌの光軸Ｃ上に一直線状に並ぶように配設されている。
ホモジェナイザ１６に進入したエキシマレーザ光Ｌは、ｙ軸分割レンズアレイ２１、ｘ軸分割レンズアレイ２２、ｙ軸分割レンズアレイ２４、ｘ軸分割レンズアレイ２５、分散抑制用集光レンズ２６を順次通過していく。 FIG. 8 is an enlarged configuration diagram showing the homogenizer of the laser irradiation unit in an enlarged manner. 7 and 8, the homogenizer 16 has a first lens array pair 20, a second lens array pair 23, and a dispersion-suppressing condensing lens 26.
The first lens array pair 20 and the second lens array pair 23 are composed of y-axis split lens arrays 21 and 24 and x-axis split lens arrays 22 and 25, respectively.
In the homogenizer 16, the two y-axis split lens arrays 21 and 24, the two x-axis split lens arrays 22 and 25, and the single dispersion-reducing condensing lens 26 are included in the optical axis C of the excimer laser light L. They are arranged in a straight line on the top.
The excimer laser light L that has entered the homogenizer 16 sequentially passes through the y-axis split lens array 21, the x-axis split lens array 22, the y-axis split lens array 24, the x-axis split lens array 25, and the dispersion suppressing condensing lens 26. To go.

図９はホモジェナイザにおける４枚のレンズアレイを示す斜視図である。ホモジェナイザ１６における４枚のレンズアレイを示している同図において、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、ｚ軸のうち、ｚ軸は、図７に示すエキシマレーザ光Ｌの光軸Ｃと平行な軸である。
第１レンズアレイ対２０のｙ軸分割レンズアレイ２１は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２１ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。これら１１個のシリンドリカルレンズ２１ａは、入射してくるエキシマレーザ光Ｌをｙ軸方向に１１分割する。
一方、第１レンズアレイ対２０のｘ軸分割レンズアレイ２２は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２２ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。
これら３個のシリンドリカルレンズ２２ａは、ｙ軸方向で１１分割された分割光を、ｘ軸方向に３分割する。ホモジェナイザ１６に進入したエキシマレーザ光Ｌは、第１レンズアレイ対２０により、ｙ軸方向、ｘ軸方向にそれぞれ１１分割、３分割されて、合計で３３本の分割光となる。これら分割光は、ｙ軸方向に１１本、ｘ軸方向に３本というマトリクスで並ぶ。 FIG. 9 is a perspective view showing four lens arrays in the homogenizer. In the figure showing the four lens arrays in the homogenizer 16, among the x, y, and z axes orthogonal to each other, the z axis is an axis parallel to the optical axis C of the excimer laser light L shown in FIG. It is.
The y-axis split lens array 21 of the first lens array pair 20 is an array of 11 horizontally long cylindrical lenses 21a of 2 mm × 24 mm arranged in the y-axis direction. These 11 cylindrical lenses 21a divide the incident excimer laser light L into 11 parts in the y-axis direction.
On the other hand, the x-axis split lens array 22 of the first lens array pair 20 is configured by arranging three vertically long cylindrical lenses 22a of 22 mm × 8 mm in the x-axis direction.
These three cylindrical lenses 22a divide the divided light divided into 11 in the y-axis direction into three in the x-axis direction. The excimer laser light L that has entered the homogenizer 16 is divided into 11 parts and 3 parts by the first lens array pair 20 in the y-axis direction and the x-axis direction, respectively, for a total of 33 divided lights. These split lights are arranged in a matrix of 11 in the y-axis direction and 3 in the x-axis direction.

第２レンズアレイ対２３のｙ軸分割レンズアレイ２４は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２４ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。また、第２レンズアレイ対２３のｘ軸分割レンズアレイ２５は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２５ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。
第１レンズアレイ対２０によって得られた３３本の分割光は、第２レンズアレイ対２３を通過する。第２レンズアレイ対２３では、３３本の分割光が、それぞれシリンドリカルレンズ間を跨がずに、各シリンドリカルレンズの何れかに収まるように通過していく。
このため、第２レンズアレイ対２３内で、３３本の分割光が更に分割されることはない。例えば、第２レンズアレイ対２３のｙ軸分割レンズアレイ２４では、３３本の分割光のうち、同一のｘ軸上に並ぶ３本ずつが、ｙ軸分割レンズアレイ２４に設けられた１１個のシリンドリカルレンズ２４ａのうち、同一のものに進入する。
また、ｘ軸分割レンズアレイ２５では、３３本の分割光のうち、同一のｙ軸上に並ぶ１１ずつが、ｘ軸分割レンズアレイ２５に設けられた３個のシリンドリカルレンズ２５ａのうち、同一のものに進入する。第２レンズアレイ対２３を通過した３３本の分割光は、それぞれ、異なる光軸を中心にして、焦点に向けて集光するようになる。 The y-axis split lens array 24 of the second lens array pair 23 is an array of 11 horizontally long cylindrical lenses 24a of 2 mm × 24 mm arranged in the y-axis direction. The x-axis split lens array 25 of the second lens array pair 23 is configured by arranging three vertically long cylindrical lenses 25a of 22 mm × 8 mm in the x-axis direction.
The 33 divided lights obtained by the first lens array pair 20 pass through the second lens array pair 23. In the second lens array pair 23, the 33 divided lights pass so as to be accommodated in any of the cylindrical lenses without straddling the cylindrical lenses.
For this reason, the 33 divided lights are not further divided in the second lens array pair 23. For example, in the y-axis split lens array 24 of the second lens array pair 23, three of the 33 split lights arranged on the same x-axis are each 11 pieces provided in the y-axis split lens array 24. The cylindrical lens 24a enters the same lens.
Further, in the x-axis split lens array 25, 11 of the 33 split lights arranged on the same y-axis are the same among the three cylindrical lenses 25 a provided in the x-axis split lens array 25. Enter things. The 33 divided lights that have passed through the second lens array pair 23 are condensed toward the focal point, with different optical axes as the centers.

先に示した図７において、フィールドレンズ１７は、次段に配設されるアパーチャマスク１８を介して、結像レンズ１９のレンズ入射瞳に結像するように３３本の分割光を導くいわゆる絞りとしての役割を担っている。
ホモジェナイザ１６からでてくる３３本の分割光は、アパーチャマスク１８の光入射面上で互いにピッタリと重なり合って、３７ｍｍ×４．５ｍｍのレーザスポットを形成する。このように各分割光が重なり合うことにより、レーザ発振器１５から出射されたガウシアンビームの横断面方向におけるエネルギ強度分布が均一化せしめられ、アパーチャマスク１８通過後のマスク処理光がトップハットビームになる。 In FIG. 7 described above, the field lens 17 is a so-called stop that guides 33 divided lights so as to form an image on the lens entrance pupil of the imaging lens 19 via the aperture mask 18 disposed in the next stage. As a role.
The 33 divided lights coming from the homogenizer 16 are perfectly overlapped with each other on the light incident surface of the aperture mask 18 to form a 37 mm × 4.5 mm laser spot. By overlapping the divided lights in this way, the energy intensity distribution in the cross-sectional direction of the Gaussian beam emitted from the laser oscillator 15 is made uniform, and the mask processing light after passing through the aperture mask 18 becomes a top hat beam.

アパーチャマスク１８は、上述の１９４個×２列＝３８８個の吐出孔のうち、３３個×２列＝６６個の開口を有している。アパーチャマスク１８の入射面に照射されたエキシマレーザ光は、これらの開口を通過して、６６本の加工用レーザ光となる。
そして、これらの加工用レーザ光が図示しないシート部材に一括照射されることにより、ノズルシートに６６個の吐出孔が一括加工される。このような６６個の吐出孔の一括加工が合計で５回繰り返されることで、ノズルシートに合計で３３０個の吐出孔が形成される。
この後、アパーチャマスク１８が２９個×２列＝５８個の開口を有するものに変更された後、ノズルシートに５８個の吐出孔が形成されると、最終的に、ノズルシートに３８８個の開口が形成される。 The aperture mask 18 has 33 × 2 rows = 66 openings among the above-described 194 × 2 rows = 388 ejection holes. The excimer laser light applied to the incident surface of the aperture mask 18 passes through these openings and becomes 66 processing laser lights.
These processing laser beams are collectively irradiated onto a sheet member (not shown), whereby 66 discharge holes are collectively processed in the nozzle sheet. Such batch processing of 66 discharge holes is repeated 5 times in total, so that 330 discharge holes are formed in the nozzle sheet in total.
Thereafter, after the aperture mask 18 is changed to one having 29 × 2 rows = 58 openings, and 58 ejection holes are formed in the nozzle sheet, finally, 388 pieces are formed in the nozzle sheet. An opening is formed.

ノズル孔を形成する時の余剰な光を利用する簡単な方法では、特開２００４−２９９３２０公報のように、ノズル穴１０a（図３）貫通後の光を、裏面に反射物を設置し、その光を反射拡散する方法がある。
また、より良い方法では、図７に示すようにアパーチャマスクで、マスク処理光以外の遮光された光は、装置内に拡散反射し消滅する。そこで、この拡散反射する光を、アパーチャマスク上面の反射鏡で結像レンズ１９を迂回させながらノズルシートまで伝搬させ照射する方法もある。 In a simple method of using surplus light when forming the nozzle hole, as in JP-A-2004-299320, the light after passing through the nozzle hole 10a (FIG. 3) is provided with a reflector on the back surface. There is a method of reflecting and diffusing light.
In a better method, as shown in FIG. 7, the light that is blocked by the aperture mask other than the mask processing light is diffusely reflected in the apparatus and disappears. Therefore, there is also a method of irradiating the diffusely reflected light by propagating it to the nozzle sheet while bypassing the imaging lens 19 with a reflecting mirror on the upper surface of the aperture mask.

図１０はポリイミドフィルムの表面に接着剤を塗布する工程を示す模式図である。同図において、ポリイミドフィルム１３は、水平方向に移動可能な固定台２７の上に固定されている。
この固定台２７の上方には、図示しない駆動系によって回転駆動せしめられる塗布ローラ２８と、これに当接しながら連れ回る接着剤供給ローラ２９と、接着剤タンク３０とが配設されている。
接着剤タンク３０内には接着剤Ｂが貯留されており、接着剤供給ローラ２９はその周面の一部を接着剤タンク３０内の接着剤に浸すような位置で従動可能に支持されている。ゴム等の弾性材料で形成されたローラ部を有する塗布ローラ２８が回転駆動されると、これに当接している接着剤供給ローラ２９が連れ回りながら、接着剤タンク内３０の接着剤Ｂを汲み上げる。 FIG. 10 is a schematic view showing a step of applying an adhesive to the surface of the polyimide film. In the figure, the polyimide film 13 is fixed on a fixed base 27 that is movable in the horizontal direction.
Above the fixed base 27, an application roller 28 that is driven to rotate by a drive system (not shown), an adhesive supply roller 29 that rotates while contacting the application roller 28, and an adhesive tank 30 are disposed.
The adhesive B is stored in the adhesive tank 30, and the adhesive supply roller 29 is supported so as to be driven at a position where a part of the peripheral surface is immersed in the adhesive in the adhesive tank 30. . When the application roller 28 having a roller portion formed of an elastic material such as rubber is driven to rotate, the adhesive supply roller 29 that is in contact with the application roller 28 is rotated, and the adhesive B in the adhesive tank 30 is pumped up. .

そして、表面に付着した接着剤を塗布ローラ２８との当接部にて塗布ローラ２８の表面に供給する。ポリイミドフィルム１３は、固定台２７とともに移動する過程で、表面に接着剤が一様な厚みで供給された塗布ローラ２８に接触する。そして、この塗布ローラ２８によって接着剤が一様な厚みで塗布される。
なお、接着剤Ｂとしては、溶剤の揮発によって硬化するものの他、２剤混合型エポキシ系接着剤や紫外線硬化樹脂のように、化学的反応によって硬化するものを用いることができる。中でも、紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射によって迅速に硬化するので、製造時間の短縮化を図る上で有利である。 Then, the adhesive adhering to the surface is supplied to the surface of the application roller 28 at the contact portion with the application roller 28. In the process of moving together with the fixed base 27, the polyimide film 13 comes into contact with the coating roller 28 whose surface is supplied with an adhesive having a uniform thickness. The application roller 28 applies the adhesive with a uniform thickness.
As the adhesive B, in addition to those that are cured by the volatilization of the solvent, those that are cured by a chemical reaction such as a two-component mixed epoxy adhesive or an ultraviolet curable resin can be used. Among these, the ultraviolet curable resin is advantageous in terms of shortening the manufacturing time because it is rapidly cured by irradiation with ultraviolet rays.

ノズルシート１２として、光を良好に透過させ得るものを用いれば、紫外線硬化樹脂を介してポリイミドフィルム１３の表面に密着せしめたノズルシート１２の表側から、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させることができるため、紫外光であるエキシマレーザによりノズルシート１２にノズル孔１０ａを形成する時の余剰な光を利用して同時に紫外線硬化樹脂を硬化させることができる。
これまで流路として図３に示すように、貫通穴を設けた流路板１１に、ノズルシート１２を固定したインクジェットノズル板１０の例について説明したが、流路として凹部を設けた流路板に、ノズルシートを固定するインクジェットノズル板についても本発明の適用が可能である。かかるインクジェットノズル板としては、特許文献１のものを例示することができる。 If a nozzle sheet 12 that can transmit light satisfactorily is used, the ultraviolet curable resin is cured by irradiating ultraviolet rays from the front side of the nozzle sheet 12 adhered to the surface of the polyimide film 13 via the ultraviolet curable resin. Therefore, the ultraviolet curable resin can be cured at the same time using excess light when the nozzle hole 10a is formed in the nozzle sheet 12 by the excimer laser which is ultraviolet light.
The example of the inkjet nozzle plate 10 in which the nozzle sheet 12 is fixed to the flow channel plate 11 provided with the through holes as shown in FIG. 3 has been described so far. In addition, the present invention can be applied to an ink jet nozzle plate for fixing a nozzle sheet. As such an inkjet nozzle plate, the thing of patent document 1 can be illustrated.

また、ノズルシート１２（図３）がテンションを掛けた状態で流路板１１に固定されているか否かについては、ノズルシート１２を流路板１１から切り取ることによって確認することができる。
具体的には、ノズルシート１２の全面のうち、流路板１１の凹部又は貫通穴１１ａに対面しつつ中に浮いている箇所を、凹部又は貫通穴１１ａの輪郭に沿って切り抜くことによって確認することができる。
この切り抜いた箇所が、凹部又は貫通穴１１ａの平面よりも小さくなっていれば、それは切り抜きによってテンションから解放されたことに起因して、その箇所が縮んだことを示している。切り抜く方法としては、繊細な刃を用いる方法や、レーザ照射による方法などを挙げることができる。 Further, whether or not the nozzle sheet 12 (FIG. 3) is fixed to the flow path plate 11 in a tensioned state can be confirmed by cutting the nozzle sheet 12 from the flow path plate 11.
Specifically, a portion of the entire surface of the nozzle sheet 12 that is floating while facing the recess or the through hole 11a of the flow path plate 11 is confirmed by cutting out along the contour of the recess or the through hole 11a. be able to.
If this cut-out location is smaller than the plane of the recess or through-hole 11a, it indicates that the location has shrunk due to being released from the tension by the cut-out. Examples of the cutting method include a method using a delicate blade and a method using laser irradiation.

本発明に係わるインクジェットプリンタを示す斜視図である。1 is a perspective view showing an ink jet printer according to the present invention. インクジェットヘッドの先端に固定されるインクジェットノズル板をインク吐出側からみた平面図である。It is the top view which looked at the inkjet nozzle plate fixed to the front-end | tip of an inkjet head from the ink discharge side. インクジェットノズル板を示す部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view which shows an inkjet nozzle plate. インクジェットノズル板をインク流入側から見た部分拡大平面図である。It is the elements on larger scale which looked at the ink-jet nozzle board from the ink inflow side. インク吐出時のノズルシートの撓みを説明する部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view explaining the bending of the nozzle sheet at the time of ink discharge. 流路板に固定される前のノズルシートと、流路板の前駆体であるポリイミドフィルムとを示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the nozzle sheet before being fixed to a flow-path board, and the polyimide film which is a precursor of a flow-path board. レーザ照射部のホモジェナイザ１６を拡大して示す拡大構成図である。It is an enlarged block diagram which expands and shows the homogenizer 16 of a laser irradiation part. レーザ照射部のホモジェナイザを拡大して示す拡大構成図である。It is an enlarged block diagram which expands and shows the homogenizer of a laser irradiation part. ホモジェナイザにおける４枚のレンズアレイを示す斜視図である。It is a perspective view which shows four lens arrays in a homogenizer. ポリイミドフィルムの表面に接着剤を塗布する工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the process of apply | coating an adhesive agent on the surface of a polyimide film.

Explanation of symbols

１画像形成装置（インクジェット記録装置、プリンタ）
７液滴吐出装置（インクジェットヘッド）
１０インクジェットノズル板
１０ａ吐出孔
１１流路板
１１ａ貫通穴
１２ノズルシート
１３ポリイミドフィルム（流路板）
１４枠 1 Image forming device (inkjet recording device, printer)
7 Droplet ejection device (inkjet head)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inkjet nozzle plate 10a Discharge hole 11 Channel plate 11a Through hole 12 Nozzle sheet 13 Polyimide film (channel plate)
14 frames

Claims

A flow path plate in which a recess or a through hole serving as an ink flow path is formed, and a droplet of ink that is fixed to the flow path plate and that has passed through the recess or the through hole so as to communicate with the recess or the through hole. An ink jet nozzle plate having a discharge nozzle for discharging the nozzle plate, the nozzle sheet being fixed to the flow path plate with an ultraviolet curable material in a tensioned state. Inkjet nozzle plate characterized.

A liquid droplet ejection apparatus comprising: an ink jet nozzle plate for ejecting liquid droplets; and a pressurizing unit that pressurizes ink in the ink jet nozzle plate. The ink jet nozzle plate according to claim 1 is used as the ink jet nozzle plate. A droplet discharge apparatus characterized by

An image forming apparatus for recording an image by attaching droplets ejected from a droplet ejecting apparatus to a recording body, wherein the droplet ejecting apparatus according to claim 2 is used as the droplet ejecting apparatus. apparatus.

A resin nozzle sheet having a discharge hole that is fixed to the flow path plate and that discharges ink that has passed through the recess or the through hole as droplets so as to communicate with the recess or the through hole of the flow path plate. In the method for manufacturing an inkjet nozzle plate for manufacturing an inkjet nozzle plate, the nozzle sheet made of an ultraviolet curable material is in close contact with the flow path plate and the nozzle sheet made of the resin, and the nozzle sheet is irradiated with ultraviolet light. A method for manufacturing an ink jet nozzle, comprising: providing an ejection hole by irradiating the ultraviolet curable material with ultraviolet light to bond and fix the flow path plate and the nozzle sheet.