JP2007287280A - Transmission wiring structure and disk driving device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は伝送配線構造体及びディスク・ドライブ装置に関し、特に、伝送配線構造体の金属層における孔の形成に関する。 The present invention relates to a transmission wiring structure and a disk drive device, and more particularly to formation of a hole in a metal layer of the transmission wiring structure.
ディスク・ドライブ装置として、光ディスク、光磁気ディスクあるいはフレキシビル磁気ディスクなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られているが、その中で、ハードディスク・ドライブ(HDD)は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータ・システムにとどまらず、動画像記録再生装置、カー・ナビゲーション・システム、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブル・メモリなど、HDDの用途は、その優れた特性により益々拡大している。 As a disk drive device, there are known devices that use various modes of media such as an optical disk, a magneto-optical disk, or a flexivir magnetic disk. Among them, a hard disk drive (HDD) is a computer storage device. As one of the storage devices indispensable in the present computer system, it is widely used. In addition to computer systems, HDD applications such as moving image recording / playback devices, car navigation systems, and removable memories used in digital cameras are increasingly expanding due to their superior characteristics. .
HDDは、データを記憶する磁気ディスクと、磁気ディスクからのデータ読み出し及び/もしくは書き込みを行うヘッド・スライダ、及び、ヘッド・スライダを磁気ディスク上の所望の位置に移動するアクチュエータを備えている。アクチュエータはボイス・コイル・モータによって駆動され、回動軸を中心として回動することによって、回転する磁気ディスク上でヘッド・スライダを半径方向に移動する。 The HDD includes a magnetic disk that stores data, a head slider that reads and / or writes data from the magnetic disk, and an actuator that moves the head slider to a desired position on the magnetic disk. The actuator is driven by a voice coil motor, and moves about the rotation axis to move the head slider in the radial direction on the rotating magnetic disk.
ヘッド・スライダは、スライダと、そのスライダの面上に形成されたヘッド素子部を備えている。ヘッド素子部は、磁気ディスクへの記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子、及び/又は、磁気ディスクからの磁界を電気信号に変換する再生素子を有している。アクチュエータは弾性を有するサスペンションを備え、ヘッド・スライダはサスペンションに固着されている。アクチュエータに支持されたヘッド・スライダは、回転する磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上する。 The head slider includes a slider and a head element portion formed on the surface of the slider. The head element section has a recording element that converts an electric signal into a magnetic field according to data stored in the magnetic disk and / or a reproducing element that converts a magnetic field from the magnetic disk into an electric signal. The actuator includes an elastic suspension, and the head slider is fixed to the suspension. The head slider supported by the actuator flies over the rotating magnetic disk with a certain gap.
サスペンションは、ヘッド・スライダを磁気ディスク対向面側で保持するジンバルと、ジンバルを磁気ディスク対向面側で保持するロード・ビームとを備えている。アクチュエータ上には、プリアンプICとヘッド上の素子との間の信号を伝送するための配線構造部(以下、トレースと呼ぶ)が形成される。アクチュエータ上の回動軸近傍においてFPC(Flexible Printed Circuit)上にプリアンプICが実装されており、トレースはそのFPCと接続される。トレースの伝送信号はプリアンプICが増幅する。 The suspension includes a gimbal that holds the head slider on the side facing the magnetic disk, and a load beam that holds the gimbal on the side facing the magnetic disk. A wiring structure (hereinafter referred to as a trace) for transmitting a signal between the preamplifier IC and the element on the head is formed on the actuator. A preamplifier IC is mounted on a flexible printed circuit (FPC) in the vicinity of the rotation axis on the actuator, and the trace is connected to the FPC. The transmission signal of the trace is amplified by the preamplifier IC.
トレースの一つの構造として、ジンバルに連続して形成された金属層と、その金属層上に形成された複数の伝送線と、各伝送線を金属層及び他の伝送線から絶縁する絶縁層とを備えるものが知られている。トレースが金属層を有することで、製造時のハンドリング性をあげることができる。トレースの金属層において、FPC接続される外部接続パッドと重なる複数の孔を形成することが、例えば、特許文献1に開示されている。金属層の外部接続パッドと重なる位置に孔を形成することによって、金属層による寄生容量を低減し、トレースのデータ転送周波数を高めることができるとされている。
しかし、トレースの金属層における安易な孔の形成は、伝送線の伝送特性を大きく損なう。伝送線が高周波信号を伝送する場合、金属層に形成された孔が、伝送信号に対するインピーダンスの変化として表れ、伝送信号の多重反射が起こりうる。これによって伝送信号にノイズが現れ、信号品質の低下もしくは正確な信号伝送が不可能なる。従って、トレースの接続パッドと重なる金属層に孔を形成する場合、信号伝送特性を考慮した設計が要求される。特に、金属層に形成する孔のピッチが、信号伝送特性に影響する重要なファクタとなる。 However, easy formation of holes in the metal layer of the trace greatly impairs the transmission characteristics of the transmission line. When the transmission line transmits a high-frequency signal, a hole formed in the metal layer appears as a change in impedance with respect to the transmission signal, and multiple reflection of the transmission signal can occur. As a result, noise appears in the transmission signal, and signal quality is deteriorated or accurate signal transmission is impossible. Therefore, when the hole is formed in the metal layer overlapping the connection pad of the trace, a design in consideration of the signal transmission characteristic is required. In particular, the pitch of the holes formed in the metal layer is an important factor affecting the signal transmission characteristics.
本発明の一つの態様に係る伝送配線構造体は、金属層と、前記金属層の上において延びており信号を伝送する伝送線と、前記金属層の上に形成された前記伝送線と他の伝送線とを相互接続する接続端子と、前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続端子との間に形成された絶縁層を有する。前記金属層は、前記接続端子と重なる複数の孔を有する。前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下である。接続端子と重なる上記態様の複数の孔によって、伝送特性を向上することができる。 A transmission wiring structure according to one aspect of the present invention includes a metal layer, a transmission line that extends on the metal layer and transmits a signal, the transmission line formed on the metal layer, and other transmission lines. A connection terminal interconnecting the transmission line; and an insulating layer formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection terminal. The metal layer has a plurality of holes overlapping with the connection terminals. At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1/3 of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. 300 or less. Transmission characteristics can be improved by the plurality of holes of the above aspect overlapping the connection terminals.
前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における平均ピッチは、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることが好ましい。さらに、前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の最大ピッチは、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることが好ましい。あるいは、前記複数の孔の全ての方向における最大ピッチは、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることが好ましい。これによって、複数の孔による伝送信号への悪影響をより確実に防ぐことができる。 The average pitch in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is preferably 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. Furthermore, it is preferable that the maximum pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. Alternatively, it is preferable that the maximum pitch in all directions of the plurality of holes is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. Thereby, it is possible to more reliably prevent adverse effects on the transmission signal due to the plurality of holes.
前記接続端子と重なる前記金属層の領域において、その開口率は40%以下であることが好ましい。これによって、ハンドリングあるいは半田接合時における接続端子の機械的強度を得ることができる。 In the region of the metal layer that overlaps with the connection terminal, the aperture ratio is preferably 40% or less. Thereby, the mechanical strength of the connection terminal at the time of handling or solder joining can be obtained.
本発明の他の態様に係る伝送配線構造体は、金属層と、前記金属層の上において延びており信号を伝送する伝送線と、前記金属層の上に形成された前記伝送線と他の伝送線とを相互接続する接続端子と、前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続端子との間に形成された絶縁層とを有する。前記金属層は、前記伝送線と重なりその伝送線が延びる方向に配列された孔列と、前記接続端子と重なる複数の孔とを有する。前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、前記孔列の主ピッチ以下である。接続端子と重なる上記態様の複数の孔によって、伝送特性を向上することができる。 A transmission wiring structure according to another aspect of the present invention includes: a metal layer; a transmission line that extends on the metal layer and transmits a signal; the transmission line formed on the metal layer; A connection terminal interconnecting the transmission line; and an insulating layer formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection terminal. The metal layer includes a hole row that overlaps the transmission line and is arranged in a direction in which the transmission line extends, and a plurality of holes that overlap the connection terminal. At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is equal to or less than the main pitch of the hole row. Transmission characteristics can be improved by the plurality of holes of the above aspect overlapping the connection terminals.
前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における平均ピッチは、前記孔列の主ピッチ以下であることが好ましい。さらに、前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の最大ピッチは、前記孔列の主ピッチ以下であることが好ましい。さらには、前記複数の孔の全ての方向における最大ピッチは、前記孔列の主ピッチ以下であることが好ましい。これによって、複数の孔による伝送信号への悪影響をより確実に防ぐことができる。 It is preferable that the average pitch in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is equal to or less than the main pitch of the hole row. Furthermore, it is preferable that a maximum pitch of the plurality of holes in an input / output direction of a signal of the transmission line with respect to the connection terminal is equal to or less than a main pitch of the hole row. Furthermore, it is preferable that the maximum pitch in all directions of the plurality of holes is equal to or less than the main pitch of the hole row. Thereby, it is possible to more reliably prevent adverse effects on the transmission signal due to the plurality of holes.
本発明の他の態様に係るディスク・ドライブ装置は、データを記録するディスクを回転するモータと、前記ディスクにアクセスするヘッドと、前記ヘッドを支持し、回動軸を中心として回動することによって前記ディスク上を浮上するヘッドを移動し、そのヘッドと配線基板とを接続する配線構造部を有する、アクチュエータを備える。前記配線構造部は、金属層と、その金属層の上において延びており前記ヘッドに接続された伝送線と、その伝送線と連続して形成され前記配線基板と接続された接続パッドと、前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続パッドとの間に形成された絶縁層を有する。前記金属層は、前記伝送線と重なりその伝送線が延びる方向に配列された孔列と、前記接続端子と重なる複数の孔とを有する。前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下である。 A disk drive device according to another aspect of the present invention includes a motor that rotates a disk that records data, a head that accesses the disk, a head that supports the head, and rotates about a rotation axis. An actuator having a wiring structure for moving a head floating above the disk and connecting the head and a wiring board is provided. The wiring structure portion includes a metal layer, a transmission line extending on the metal layer and connected to the head, a connection pad formed continuously with the transmission line and connected to the wiring board, An insulating layer is formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection pad. The metal layer includes a hole row that overlaps the transmission line and is arranged in a direction in which the transmission line extends, and a plurality of holes that overlap the connection terminal. At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1/3 of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. 300 or less.
本発明によれば、信号を伝送する配線構造部における伝送特性を向上することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the transmission characteristic in the wiring structure part which transmits a signal can be improved.
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。尚、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて各要素の重複説明は省略されている。以下においては、ディスク・ドライブ装置の一例であるハードディスク・ドライブ(HDD)に例において、本発明の好ましい態様を説明する。 Hereinafter, embodiments to which the present invention can be applied will be described. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description of each element is omitted as necessary for clarity of explanation. In the following, preferred embodiments of the present invention will be described by taking a hard disk drive (HDD) as an example of a disk drive device as an example.
本形態のHDDに使用されるサスペンションは、ヘッド・スライダに接続され、ヘッド・スライダの信号を伝送するトレースを備える。トレースは、金属層とその金属層の上に形成された複数の伝送線と、各伝送線を金属層及び他の伝送線から絶縁する絶縁層とを有している。トレースはさらに複数の接続パッドを備え、各接続パッドはFPCの伝送線と接続されている。金属層は、接続パッドと重なる複数の孔を有し、また、この複数の孔は所定のピッチで配置されている。金属層が接続パッドと重なる所定ピッチの複数の孔を有することで、高周波伝送特性を損なうことなく伝送損失を低減することができる。 The suspension used in the HDD of this embodiment includes a trace that is connected to the head slider and transmits a signal of the head slider. The trace includes a metal layer, a plurality of transmission lines formed on the metal layer, and an insulating layer that insulates each transmission line from the metal layer and other transmission lines. The trace further includes a plurality of connection pads, and each connection pad is connected to an FPC transmission line. The metal layer has a plurality of holes overlapping the connection pads, and the plurality of holes are arranged at a predetermined pitch. By having a plurality of holes with a predetermined pitch where the metal layer overlaps with the connection pads, transmission loss can be reduced without impairing high-frequency transmission characteristics.
まず、本発明が適用されるHDDの全体構成について、図1を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係るHDD100の全体構成を模式的に示す上面図である。図1は、アクチュエータが動作時の配置にあるHDD100の状態を示している。データを記録するディスクの一例ある磁気ディスク101は不揮発性の記録ディスクであって、磁性層が磁化されることによってデータを記録する。ベース102は、ガスケット(不図示)を介してベース102の上部開口を塞ぐカバー(不図示)と固定することによって筐体の一例であるディスク・エンクロージャを構成し、HDD100の各構成要素を収容することができる。
First, the entire configuration of an HDD to which the present invention is applied will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a top view schematically showing the overall configuration of the
クランプ104は磁気ディスク101をスピンドル・モータ103に固定する。ベース102の底面に固定されたスピンドル・モータ103は、磁気ディスク101を所定の角速度(速さ)で回転する。ヘッドの一例であるヘッド・スライダ105は磁気ディスク101にアクセスする。ヘッド・スライダ105は、リード及び/もしくはライト素子を有するヘッド素子部とヘッド素子部が固定されたスライダとを有している。アクチュエータ106は、ヘッド・スライダ105を保持し、移動する。アクチュエータ106は回動軸107に回動自在に保持されており、自身を回動する駆動機構としてのボイス・コイル・モータ(VCM)109を備えている。アクチュエータ106は、ヘッド・スライダ105が配置されたその先端部から、サスペンション110、アーム111及びコイル・サポート112の順で結合された各構成部材を備えている。
The
ヘッド・スライダ105を支持するサスペンション110の構成については、後に詳細に説明する。コイル・サポート112は、フラットコイル113を保持している。ランプ115は磁気ディスク101の外周端部に近接し、磁気ディスク101の回転が停止するときなどに、ヘッド・スライダ105を磁気ディスク101の面上からアンロードする退避位置を備える。タブ116はサスペンション110の先端部に形成されており、ロード/アンロードにおいてランプ115上を摺動する。なお、本発明をCSS(Contact Start Stop)タイプのHDDに適用することもできる。
The configuration of the
磁気ディスク101からのデータの読み取り/書き込みのため、アクチュエータ106は回転している磁気ディスク101表面のデータ領域上にヘッド・スライダ105を移動する。アクチュエータ106が回動することによって、ヘッド・スライダ105が磁気ディスク101の記録面の半径方向に沿って移動する。磁気ディスク101に対向するスライダのABS(Air Bearing Surface)面で発生する力とサスペンション110による押し付け力とがバランスすることによって、ヘッド・スライダ105は磁気ディスク101上を所定のギャップを置いて浮上する。
In order to read / write data from / to the
ヘッド・スライダ105の信号は、アクチュエータ106に固定されているトレース122が伝送する。伝送配線構造部の一例であるトレース122は、その一端がヘッド・スライダ105に接続され、その他端はプリアンプIC123が実装されたFPC(Flexible Printed Circuit)143に接続される。トレース122は、ヘッド・スライダ105とプリアンプIC123との間の信号を伝送する。本形態のトレース122は、サスペンション110と一体的に形成されており、そのサスペンション110から延出し、磁気ディスク101の反対側において、アーム111の回動方向を向く側面に沿って延びている。本形態のHDD100は、このトレース122の構造に一つの特徴を有する。この点については後に詳述する。
A signal of the
FPC143はコネクタ147を介して、ベース101裏面に実装される制御回路基板(不図示)と回路的に接続されている。FPC143は、制御回路とプリアンプIC123との間の信号を伝送する。HDD100の動作制御及びその信号処理は、制御回路基板上の制御回路が行う。FPC143は、リード/ライト信号の他、プリアンプIC123への電源及び制御信号を伝送する。
The
図2は、ヘッド・アセンブリの一例であるHSA(Head Stack Assembly)140の構成を模式的に示している。HSA140は、アクチュエータ106とヘッド・スライダ13とを備えるアセンブリである。HSA140は、アクチュエータ14の側面に沿って延びるトレース122a−122dを備えている。トレース122a−122dは、ヘッド・スライダ13の信号を伝送する。HSA140は、FPC143、コイル・サポート112内に固定されたVCMコイル113、軸受けユニット用孔145及びHGA(ヘッド・ジンバル・アセンブリ)120a−120dを備えている。ヘッド・アセンブリの一例であるHGA120a−120dは、サスペンション110とその上に実装されたヘッド・スライダ105とのアセンブリである。HGA120a−120dは、それぞれHSA140のアーム148a−148cに連結されている。アーム148a−148cは、ステンレスやアルミニウムなどの金属で形成されている。
FIG. 2 schematically shows the configuration of an HSA (Head Stack Assembly) 140 that is an example of a head assembly. The
図3(a)及び図3(b)は、本実施形態に係るヘッド・ジンバル・アセンブリ(HGA)120の構成を模式的に示す平面図である。図3(a)は磁気ディスク101の記録面に対向する面を示し、図3(b)はその反対面を示している。本形態のサスペンション110は、ジンバル301、ロード・ビーム302及びマウント・プレート303を備えている。ロード・ビーム302はヒンジ部361を有している。ヒンジ部361は、孔362を有してその剛性が弱められており、ヘッド・スライダ105が磁気ディスク101の回転によって気流から受ける浮力に対抗する負圧を与えるバネ機能を示す。また、ロード・ビーム302は、アクチュエータ106が回動する際に、ジンバル301を安定した姿勢で支持するための剛性機能を有する。ベース・プレート305は、ロード・ビーム302をアーム148に固定するための強度を有する。
FIGS. 3A and 3B are plan views schematically showing the configuration of the head gimbal assembly (HGA) 120 according to the present embodiment. 3A shows a surface facing the recording surface of the
ジンバル301は例えばステンレス鋼で形成することができ、所望の弾性を有する。ジンバル301の前部において、舌片状のジンバル・タング308が形成されている。ジンバル・タング308には、ヘッド・スライダ105が低弾性エポキシ樹脂などによって固着されている。ジンバル・タング308は、ビーム・プレート304のディンプルを中心として、ヘッド・スライダ105を、ピッチ方向あるいはロール方向に回動させる。
The
トレース122は、ジンバル301から連続して形成され、ジンバル301端部から延在する。トレース122はジンバル301の磁気ディスク101の回転軸と反対側の側部から、延在している。ジンバル301から延びるトレース122は、ロード・ビーム302及びアームの側部(磁気ディスク101中心と反対側の側部)に沿って回動軸107側(アクチュエータ後側)に向かって延びている。トレース122の一部は、スポット溶接によって、ベース・プレート305に溶着される。
The
本形態において、トレース122はジンバル301と一体的に形成されている。ジンバル301上の配線構造と同様に、トレース122は基材としてのステンレス金属層、金属層上のポリイミド絶縁層、ポリイミド絶縁層上の伝送線及びポリイミド保護層によって形成されている(図5(b)参照)。トレース122の各層は、ジンバル301上の配線構造の対応層と連続して形成されている。トレース122及びジンバル301上の配線構造は、周知のフォトリソグラフィ・エッチング技術によって形成することができる。各伝送線の一端は、ヘッド・スライダ105上の回路に接続され、プリアンプIC123とヘッド・スライダ105との間で信号転送を行う。
In this embodiment, the
図4は、図3(a)におけるトレース122から、ポリイミド保護層を取り除いた構造を模式的に示している。本例のトレース122は、6本の伝送線を備え、さらに、その金属層に一部の伝送線と重なる孔列255を有している。図5(a)は、図4における円Vで囲まれた部分の構造を模式的に示している。図5(a)に示すように、トレース122は、ライト・ライン・ペア222と、リード・ライン・ペア223と、ヒータ・ライン・ペア224を備えている。ライト・ライン・ペア222は、ライト・ライン222a、222bからなり、リード・ライン・ペア223はリード・ライン223a、223bからなり、ヒータ・ライン・ペア224はヒータ・ライン224a、224bからなる。
FIG. 4 schematically shows a structure in which the polyimide protective layer is removed from the
ライト・ライン・ペア222はライト素子に接続されライト信号を伝送する。リード・ライン・ペア223は、リード素子に接続されリード信号を伝送する。ヒータ・ライン・ペア224は、ヒータに接続されたヒータ信号を伝送する。ライト・ライン・ペア222とリード・ライン・ペア223との間を、ヒータ・ライン・ペア224が延びている。本例のヘッド・スライダ105はヒータを備え、その熱よってヘッド素子部の突出量を調整し、磁気ディスク101との間のギャップを制御する。
The
上述のように、トレース122は、その金属層において、ライト・ライン・ペア222と重なる孔列255を有している。トレース122が孔列255を有することによって、ライト・ライン・ペアの伝送損失を低減することができる。この点については、後に詳述する。図5(a)は、7つの孔255a−255gを例示している。各孔255a−255gはライト・ライン・ペア222に沿って離間して配列されており、また、各孔255a−255gはライト・ライン・ペア222と重なり、他の伝送線から離間している。
As described above, the
図5(b)は、図5(a)のB−B切断線におけるトレース122の断面図を模式的に示している。図5(c)は、図5(a)のC−C切断線におけるトレース122の断面図を模式的に示している。図5(b)及び(c)に示すように、トレース122は金属層123、その上に形成された伝送配線222−224、伝送配線222−224と金属層123との間のポリイミド絶縁層124、そして、伝送配線222−224をカバーするポリイミド絶縁保護層125を備えている。図5(c)に示すように、孔255cはライト・ライン・ペア222と重なり、他の伝送線とは重なっていない。
FIG. 5B schematically shows a cross-sectional view of the
図4に戻って、トレース122はサスペンション110から磁気ディスク101の反対側に延出し、ヒンジ部361と対向する位置を通過して、さらに、ロード・ビーム302に沿って延びている。ロード・ビーム302のアーム側端において、トレース122は、ロード・ビーム302から離れる方向にわずかに屈曲して、さらに、テール221が直線状に延びている。テール221の反ヘッド・スライダ105側端が、そのテール221よりも幅が広いタブ231へとつながっている。孔列255は、ジンバル301上で始まり、タブ231近傍まで続いている。
Returning to FIG. 4, the
トレース122の後端部(回動軸側端部)には、FPC143との接続を行うためのタブ231が形成されている。タブ231の幅は、テール221よりも大きく形成されている。タブ231には、FPC143との半田接続を可能とするための複数の接続パッド232a−232fが形成されている。各接続パッド232a−232fはトレース122の各伝送線222−224と接続されている。タブ231は、回動軸15近傍においてFPC143と接続され、その上に配置されているプリアンプIC123に回路的に接続される。
A
図6(a)は図3(a)における円VIAで囲まれた部分の拡大図であり、図6(b)は図3(b)における円VIBで囲まれた部分の拡大図である。図6(a)に示すように、タブ231は、保護層125から露出した接続パッド232a−232fを有している。接続パッド232a−232fは半田によってFPC143に接続される。各接続パッド232a−232fは離間しており、接続パッド232a−232fと金属層123との間には絶縁層124が存在している。図6(b)に示すように、タブ231の金属層123において、各接続パッド232a−232fと重なる各領域において、複数の孔234−239が形成されている。また、図6(b)には、ライト・ライン・ペアと重なる孔列255の一部が示されている。
6A is an enlarged view of a portion surrounded by a circle VIA in FIG. 3A, and FIG. 6B is an enlarged view of a portion surrounded by a circle VIB in FIG. 3B. As shown in FIG. 6A, the
図7(a)は、図6(a)の各部材を透過的に描いた透視図である。図7(b)は、図7(a)におけるB−B切断線によって示される部分の断面構造を模式的に示している。図7(a)に示すように、接続パッド232a及び232bは、それぞれライト・ライン222a及び222bと連続的に接続している。また、接続パッド232c及び232dは、それぞれヒータ・ライン224a及び224bと連続的に接続し、接続パッド232e及び232fは、それぞれリード・ライン223a及び223bと連続的に接続している。
FIG. 7A is a perspective view transparently depicting each member of FIG. FIG. 7B schematically shows a cross-sectional structure of a portion indicated by a BB cutting line in FIG. As shown in FIG. 7A, the
金属層123は、それぞれが複数の孔からなる孔群234−239を有し、各孔群234−239は、それぞれ接続パッド232a−232fと重なるように形成されている。各孔群234−239の各孔は、その全てもしくは一部が接続パッド232a−232fと重なる。接続パッド232a−232fと重なる複数の孔を、金属層123に形成することによって、各接続パッド232a−232fにおける伝送損失を低減することができる。図7(b)に示すように、接続パッド232bは、絶縁保護層125から露出しており、その下には絶縁層124が形成されている。金属層123の各孔235a−235eは、接続パッド232bにその全領域が重なっている。各孔235a−235eからは、絶縁層124が露出している。
The
図7(a)の例においては、各孔群234−239は、対応する各接続パッド232a−232fに対して、その一部の孔が完全に重なっており、他の一部の孔はその一部のみが重なっている。しかし、各接続パッド232a−232fに重なる全ての孔が、対応する接続パッドと完全に重なるように形成してもよい。また、各孔群234−239において、その一部の孔の内径が他の孔の内径と異なることができる。加工性の観点からは、孔は円形とすることが好ましいが、この形状に限定されることなく、設計によって好ましい形状を選択することができる。
In the example of FIG. 7 (a), each hole group 234-239 is partially overlapped with each
ここで、各孔群234−239において、孔は接続パッド232a−232f面内において、互いに垂直な2方向において、それぞれ複数配列されていることが好ましい。図7(a)の例においては、図のX及びY軸方向のそれぞれにおいて、複数の孔が形成されており、具体的には、X方向に3つの孔、Y軸方向に5もしくは6の孔が形成されている。
Here, in each hole group 234-239, it is preferable that a plurality of holes are arranged in two directions perpendicular to each other in the plane of the
ここで、接続パッドに重なるように形成された金属層の孔群による、伝送特性への影響について説明する。接続パッド232a−232fに交流信号が流れると、金属層123に誘導電流が発生する。金属層123を流れる誘導電流は、信号を伝送することによって誘導されるものであり、金属層123の抵抗との積で表される信号の伝送損失となる。
Here, the influence on the transmission characteristics by the hole group of the metal layer formed so as to overlap the connection pad will be described. When an AC signal flows through the
各孔群234−239が存在しない場合、金属層123の誘導電流は全く遮断されずに流れる。一方、各孔群234−239は、金属層123の誘導電流の流れの一部を遮断する。一部の電流は、孔群234−239の各孔を迂回するようにこれらの間を流れるが、孔群234−239は、金属層123に流れる電流の値を大きく低減することができる。これによって、信号伝送における伝送損失を大きく低減することができる。
When each hole group 234-239 does not exist, the induced current of the
接続パッドに重なる孔群によって、伝送損失の低減を図ることができるが、一方、孔群の形成においては、インピーダンス変化による多重反射の影響を考慮することが必要である。つまり、接続パッドに重なる孔群を形成することによって、接続バッドを流れる信号に対するインピーダンスが、孔のある部分とない部分とで変化する。信号伝送における多重反射の発生を抑制するためには、孔群における孔のピッチが重要な要素となる。 Although the transmission loss can be reduced by the hole group overlapping the connection pad, on the other hand, in the formation of the hole group, it is necessary to consider the influence of multiple reflection due to impedance change. That is, by forming a hole group that overlaps with the connection pad, the impedance with respect to a signal flowing through the connection pad changes between a portion with a hole and a portion without a hole. In order to suppress the occurrence of multiple reflections in signal transmission, the pitch of the holes in the hole group is an important factor.
ここで、孔群の存在によるインピーダンス変化の影響は、伝送信号電流の流れる方向において特に重要となる。接続パッドにおいては、伝送線と異なり、信号は一定方向のみならず、あらゆる方向に流れる。その一方で、接続パッドにおいても、伝送信号が主に流れる方向が存在する。図8は接続パッド232b及びその近傍の構造を模式的に示している。図8においてDで示すように、接続パッド232bと伝送線222bとの関係から接続パッド232bに対する伝送信号の入出力方向が規定されるが、伝送信号は主にその方向において流れる。従って、孔の形成においては、特にこの方向Dにおける孔ピッチが重要となってくる。
Here, the influence of the impedance change due to the presence of the hole group is particularly important in the direction in which the transmission signal current flows. In the connection pad, unlike the transmission line, the signal flows not only in a certain direction but also in all directions. On the other hand, there is a direction in which the transmission signal mainly flows in the connection pad. FIG. 8 schematically shows the
発明者らの検討によれば、接続パッドにおいて、伝送信号の入出力方向における孔の平均ピッチ、あるいは、全ての方向における孔の平均ピッチが、その伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることが好ましい。この条件を満たすことによって、伝送信号に対して孔群の存在によるインピーダンス変化が現れず、伝送信号を損なうノイズの発生を防止することができる。 According to the study by the inventors, in the connection pad, the average pitch of the holes in the input / output direction of the transmission signal or the average pitch of the holes in all directions is 1 / th of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. It is preferable that it is 300 or less. By satisfying this condition, an impedance change due to the presence of the hole group does not appear with respect to the transmission signal, and generation of noise that impairs the transmission signal can be prevented.
図8の例においては、入出力方向Dにおいて、各孔ピッチは同一であって、P1で示されている。従って、この方向において、平均ピッチと最大ピッチは共にP1となる。また、入出力方向Dに垂直な方向に隣接する孔間のピッチP2は、P1よりも大きい。この方向におけるピッチP2は、図8の例では全て同一である。従って、P2が、孔群235における全ての方向における最大ピッチとなっている。なお、孔のピッチは、隣接する孔の中心間距離と規定することができる。なお、設計によっては、ピッチP1やP2は、孔の位置によって変化しうる。
In the example of FIG. 8, in the input / output direction D, each hole pitch is the same and is indicated by P1. Therefore, in this direction, both the average pitch and the maximum pitch are P1. Further, the pitch P2 between the holes adjacent in the direction perpendicular to the input / output direction D is larger than P1. The pitch P2 in this direction is all the same in the example of FIG. Therefore, P2 is the maximum pitch in all directions in the
上述のように、伝送信号に対するインピーダンス変化の影響は、伝送信号の入出力方向における孔のピッチが重要である。従って、特に、伝送信号の入出力方向における孔の平均ピッチは、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることが好ましい。また、伝送信号の入出力方向及び全ての方向における孔の平均ピッチが上記範囲にあることは、より好ましい態様である。 As described above, the hole pitch in the input / output direction of the transmission signal is important for the influence of the impedance change on the transmission signal. Therefore, in particular, the average pitch of the holes in the input / output direction of the transmission signal is preferably 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. Moreover, it is a more preferable aspect that the average pitch of the holes in the input / output direction of the transmission signal and in all directions is in the above range.
伝送信号に対するインピーダンス変化は、複数の孔の平均的な影響として主に現れるが、その影響をより確実に抑えるためには、孔の最大ピッチが上記範囲にあることが好ましい。つまり、孔の最大ピッチが伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下であることによって、より確実に伝送信号へのノイズ発生を防止することができる。ここにおいても、伝送信号の方向が重要となる。伝送信号の入出力方向における最大ピッチが3次高調波の波長の1/300以下であることで、ノイズ発生の可能性は大きく低減することができる。より、確実な効果を図る場合には、全ての孔ピッチにおける最大ピッチが、上記範囲にあることが好ましい。 The impedance change with respect to the transmission signal mainly appears as an average influence of a plurality of holes. In order to suppress the influence more reliably, it is preferable that the maximum pitch of the holes is in the above range. That is, when the maximum pitch of the holes is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal, it is possible to more reliably prevent noise from being generated in the transmission signal. Again, the direction of the transmission signal is important. Since the maximum pitch in the input / output direction of the transmission signal is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic, the possibility of noise generation can be greatly reduced. In order to achieve a more reliable effect, it is preferable that the maximum pitch in all hole pitches be in the above range.
孔ピッチの設計においては、3次高調波までを考慮することで、伝送特性に対する影響を効果的に抑えることができる。しかし、ノイズ低減の点においてより確実な設計を行うためには、より高い周波数の高調波を考慮することが好ましい。発明者らの検討によれは、特に、伝送信号の5次高調波まで考慮することによって、孔ピッチのインピーダンス変化への影響をより確実に抑えることができる。従って、上記の各孔ピッチの値が、伝送信号の5次高調波の波長の1/300以下であるように設定することが、より好ましい設計となる。 In designing the hole pitch, the influence on the transmission characteristics can be effectively suppressed by considering up to the third harmonic. However, in order to perform a more reliable design in terms of noise reduction, it is preferable to consider higher frequency harmonics. According to the study by the inventors, in particular, the influence of the hole pitch on the impedance change can be more reliably suppressed by considering even the fifth harmonic of the transmission signal. Therefore, it is a more preferable design that the value of each hole pitch is set to 1/300 or less of the wavelength of the fifth harmonic of the transmission signal.
インピーダンス変化による伝送信号の多重反射が影響する領域としては、複数の孔を考慮することが必要となる。さらに、複数孔のピッチが、HDD1のデータ転送レートなどから算出される3次高調波の波長に対して短いことが必要である。HDD1のデータ転送レートをTRとすると、その基本波の最高周波数fは、αTR/2となる。ここで、αはデータ・コーディングによって付加されるデータによる係数であって、典型的には、1.1程度である。また、実際の伝送信号の3次高調波の波長λは、伝送信号の伝播速度をvとすると、v/3fと表される。 It is necessary to consider a plurality of holes as a region affected by multiple reflection of transmission signals due to impedance changes. Furthermore, the pitch of the plurality of holes needs to be shorter than the wavelength of the third harmonic calculated from the data transfer rate of the HDD 1 or the like. Assuming that the data transfer rate of the HDD 1 is TR, the highest frequency f of the fundamental wave is αTR / 2. Here, α is a coefficient based on data added by data coding, and is typically about 1.1. Further, the wavelength λ of the third harmonic of the actual transmission signal is represented as v / 3f, where v is the propagation speed of the transmission signal.
発明者らの検討によれば、多重反射を考慮した場合、少なくとも孔の10ピッチ分の長さがこのλの1/30以下であれば、伝送信号におけるノイズ発生を防止する効果を期待することができ、伝送信号におけるノイズ発生を効果的に抑えることができる。接続パッドと重なる孔の最大間隔は、上記例のように10ピッチ未満でありうるが、この平均ピッチが上述の条件を満たすことで、同様の効果を得ることができる。 According to the study by the inventors, when multiple reflections are taken into account, if the length of at least 10 pitches of holes is 1/30 or less of λ, an effect of preventing noise generation in a transmission signal is expected. And noise generation in the transmission signal can be effectively suppressed. Although the maximum distance between the holes overlapping with the connection pad can be less than 10 pitches as in the above example, the same effect can be obtained when this average pitch satisfies the above-described conditions.
ここで、HDD1のデータ転送レートが1Gbpsである場合、伝送信号の基本波の最高周波数fは、550MHz(=1.1×1G/2)となる。また、3次高調波の波長λは、約97mm(=1.6E8/(3×550M))となる。従って、孔のピッチは、約323μm(=λ/(30×10)=97mm/(30×10))以下に設定される。ここで、5次高調波まで考慮する場合は、孔のピッチは、約194μm以下となる。 Here, when the data transfer rate of the HDD 1 is 1 Gbps, the maximum frequency f of the fundamental wave of the transmission signal is 550 MHz (= 1.1 × 1 G / 2). The wavelength λ of the third harmonic is about 97 mm (= 1.6E8 / (3 × 550M)). Therefore, the pitch of the holes is set to about 323 μm (= λ / (30 × 10) = 97 mm / (30 × 10)) or less. Here, when considering up to the fifth harmonic, the pitch of the holes is about 194 μm or less.
金属層123に誘導される電流は、伝送信号の周波数が高いほど大きくなる。ヒータへの信号は、リード信号及びライト信号と比較して直流に近い。また、リード信号が正弦波に近い波形を示すのに対して、ライト信号は矩形波に近い波形を示す。このため、ライト信号の高調波成分は、リード信号よりも大きくなる。従って、ライト信号を伝送する接続パッド232a、232bにおいて、孔群234、235が特に重要となる。一方、ヒータ・ライン・ペア224などのように、ほとんど変化しない、もしくは、きわめて低い頻度でその伝送信号が変化するライン・ペアに対しては、その効果は小さい。
The current induced in the
上述の例においては、接続パッド232a−232fに対応して、各孔群234−239が形成されているが、例えば、ライト信号を伝送する接続パッド232a、232bのみに対応して、孔群234、235を形成することもできる。あるいは、ライト及びリード信号の接続パッドのみに対応した孔群234、235、238、239を形成することもできる。
In the above-described example, the hole groups 234-239 are formed corresponding to the
このように、ライト信号の伝送において孔群が重要であり、上記例においては、伝送線と重なる孔列としては、ライト・ライン・ペア222と重なる孔列255のみが示されている。孔列255は、接続パッドに対応する孔群のように、伝送線222の伝送損失を低減することができる。孔列255の形成においては、孔群と同様に、孔群の存在によるインピーダンス変化について考慮することが必要である。孔列255の孔ピッチは、ライト・ライン・ペア222における伝送特性を考慮して決定される。しかし、孔列255によって規定される伝送線の伝送特性を損なわないためには、孔群234、235の孔ピッチは、孔列255のピッチ以下であることが好ましい。なお、リード・ライン・ペア223に対しても、同様に孔列を形成することで、伝送損失の低減を図ることができる。この場合においては、上述と同様の観点から孔ピッチを設定することが好ましい。
Thus, the hole group is important in the transmission of the write signal. In the above example, only the
ライト信号とリード信号は、差動信号伝送方式(バランス伝送)によって伝送される。このため、各接続パッド間において伝送特性の相違があることは好ましくない。従って、ライト信号を伝送する接続パッド232a、232bのそれぞれに、孔群234、235が形成されていることが好ましく、さらに、これらの孔群234、235が同様の条件によって形成されていることが好ましい。リード信号を伝送する接続パッド232e、232fについても同様である。
The write signal and the read signal are transmitted by a differential signal transmission method (balanced transmission). For this reason, it is not preferable that there is a difference in transmission characteristics between the connection pads. Therefore, it is preferable that the
この点は、孔列255に対しても当てはめて考えることができる。つまり、各孔255a−255gは、ライト・ライン・ペア222の双方のラインに同様に重なっていることが重要である。ライン・ペアの一方のみに孔が重なる場合、ライン間の伝送特性が変化して、コモン・モード電流が発生し、さらに、放射の問題も発生しうるからである。なお、ヒータ信号(パワー)は、バランスもしくはアンバランスで伝送することができる。
This point can be applied to the
電気特性の観点からは、孔群における孔のピッチが上述の条件を満たすことが重要である。一方、接続パッド232a−232fは、半田によってFPC143に接続される。このため、機械設計の点から孔群の設計を行うことも重要である。接続パッドに重なる領域において、孔群による開口率は40%以下であることが好ましい。
From the viewpoint of electrical characteristics, it is important that the pitch of the holes in the hole group satisfies the above conditions. On the other hand, the
これによって、ハンドリング及び半田接合時における機械的強度を得ることができるとともに、半田接合による電気コンタクトも確実に得ることができる。特に、接続パッド232a−232fに予め半田を固着し、それを押しつぶしてからFPC143と接続する場合、半田押しつぶし工程における強度が重要となる。このため、このようなHDD1においては、その接続パッドに重なる領域において、孔群による開口率は30%以下であることが好ましい。
As a result, mechanical strength at the time of handling and solder joining can be obtained, and electrical contact by solder joining can also be reliably obtained. In particular, when solder is fixed to the
以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。例えば、トレースは、ヒータ・ライン・ペアを備えないこと、あるいは、それに代えてもしくはそれに加えて、他の信号を伝送する伝送線を有することができる。本発明は、垂直磁気記録と水平磁気記録の双方のHDDに適用することができるほか、リードもしくはライト素子のみ有するヘッドに適用することができる。また、他のタイプの記録ディスクを使用する装置の他、高周波信号を伝送する様々な形態の伝送配線構造に適用することができる。 As mentioned above, although this invention was demonstrated taking preferable embodiment as an example, this invention is not limited to said embodiment. A person skilled in the art can easily change, add, and convert each element of the above-described embodiment within the scope of the present invention. For example, the trace may not include a heater line pair, or may have transmission lines that transmit other signals instead or in addition thereto. The present invention can be applied to both perpendicular magnetic recording and horizontal magnetic recording HDDs, as well as a head having only a read or write element. In addition to apparatuses using other types of recording disks, the present invention can be applied to various forms of transmission wiring structures that transmit high-frequency signals.
100 ハードディスク・ドライブ、101 磁気ディスク、102 ベース
103 スピンドル・モータ、104 トップ・クランプ、105 ヘッド・スライダ
106 アクチュエータ、107 アクチュエータ回動軸
109 ボイス・コイル・モータ、110 サスペンション、111 アーム
112 コイル・サポート、113 フラットコイル、115 ランプ、116 タブ
120 ヘッド・ジンバル・アセンブリ、123 プリアンプIC、122 トレース
143 FPC、147 FPCコネクタ、221 テール
222 ライト・ライン・ペア、223 リード・ライン・ペア
224 ヒータ・ライン・ペア、232a−232f 接続パッド
234−239 孔群、255 孔列、255a−255g 孔、301 ジンバル
302 ロード・ビーム、303 マウント・プレート、308 ジンバル・タング
361 ヒンジ部、362 ヒンジ部孔
DESCRIPTION OF
Claims (14)
前記金属層の上において延びており信号を伝送する伝送線と、
前記金属層の上に形成された前記伝送線と他の伝送線とを相互接続する接続端子と、
前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続端子との間に形成された絶縁層と、を有し、
前記金属層は、前記接続端子と重なる複数の孔を有し、
前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下である、
伝送配線構造体。 A metal layer;
A transmission line extending over the metal layer and transmitting a signal;
A connection terminal interconnecting the transmission line and the other transmission line formed on the metal layer;
An insulating layer formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection terminal;
The metal layer has a plurality of holes overlapping with the connection terminals,
At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1 / wavelength of the third harmonic of the transmission signal. 300 or less,
Transmission wiring structure.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 The average pitch in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal.
The transmission wiring structure according to claim 1.
請求項2に記載の伝送配線構造体。 The maximum pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal.
The transmission wiring structure according to claim 2.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 The maximum pitch in all directions of the plurality of holes is 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal.
The transmission wiring structure according to claim 1.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 In the region of the metal layer overlapping the connection terminal, the aperture ratio is 40% or less.
The transmission wiring structure according to claim 1.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1/5 of the wavelength of the fifth harmonic of the transmission signal. 300 or less,
The transmission wiring structure according to claim 1.
前記金属層の上において延びており信号を伝送する伝送線と、
前記金属層の上に形成された前記伝送線と他の伝送線とを相互接続する接続端子と、
前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続端子との間に形成された絶縁層と、を有し、
前記金属層は、前記伝送線と重なりその伝送線が延びる方向に配列された孔列と、前記接続端子と重なる複数の孔とを有し、
前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、前記孔列の主ピッチ以下である、
伝送配線構造体。 A metal layer;
A transmission line extending over the metal layer and transmitting a signal;
A connection terminal interconnecting the transmission line and the other transmission line formed on the metal layer;
An insulating layer formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection terminal;
The metal layer has a plurality of holes that overlap the transmission line and are arranged in a direction in which the transmission line extends, and a plurality of holes that overlap the connection terminal,
At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is equal to or less than the main pitch of the hole row,
Transmission wiring structure.
請求項7に記載の伝送配線構造体。 The average pitch in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is equal to or less than the main pitch of the hole row,
The transmission wiring structure according to claim 7.
請求項8に記載の伝送配線構造体。 The maximum pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal is equal to or less than the main pitch of the hole row
The transmission wiring structure according to claim 8.
請求項7に記載の伝送配線構造体。 The maximum pitch in all directions of the plurality of holes is equal to or less than the main pitch of the hole row.
The transmission wiring structure according to claim 7.
請求項7に記載の伝送配線構造体。 In the region of the metal layer overlapping the connection terminal, the aperture ratio is 40% or less.
The transmission wiring structure according to claim 7.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1/3 of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. 300 or less,
The transmission wiring structure according to claim 1.
請求項1に記載の伝送配線構造体。 The average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes are 1/300 or less of the wavelength of the third harmonic of the transmission signal. is there,
The transmission wiring structure according to claim 1.
前記ディスクにアクセスするヘッドと、
前記ヘッドを支持し、回動軸を中心として回動することによって前記ディスク上を浮上するヘッドを移動し、そのヘッドと配線基板とを接続する配線構造部を有する、アクチュエータと、を備え、
前記配線構造部は、金属層と、その金属層の上において延びており前記ヘッドに接続された伝送線と、その伝送線と連続して形成され前記配線基板と接続された接続パッドと、
前記金属層と前記伝送線との間及び前記金属層と前記接続パッドとの間に形成された絶縁層と、を有し、
前記金属層は、前記伝送線と重なりその伝送線が延びる方向に配列された孔列と、前記接続端子と重なる複数の孔とを有し、
前記接続端子に対する前記伝送線の信号の入出力方向における前記複数の孔の平均ピッチ及び前記複数の孔の全ての方向における平均ピッチの少なくとも一方は、伝送信号の3次高調波の波長の1/300以下である、
ディスク・ドライブ装置。 A motor that rotates a disk for recording data;
A head for accessing the disk;
An actuator having a wiring structure for supporting the head and moving the head floating on the disk by rotating about a rotation axis and connecting the head and a wiring board; and
The wiring structure portion includes a metal layer, a transmission line extending on the metal layer and connected to the head, a connection pad formed continuously with the transmission line and connected to the wiring board,
An insulating layer formed between the metal layer and the transmission line and between the metal layer and the connection pad;
The metal layer has a plurality of holes that overlap the transmission line and are arranged in a direction in which the transmission line extends, and a plurality of holes that overlap the connection terminal,
At least one of the average pitch of the plurality of holes in the input / output direction of the signal of the transmission line with respect to the connection terminal and the average pitch in all directions of the plurality of holes is 1 / wavelength of the third harmonic of the transmission signal. 300 or less,
Disk drive device.
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