JP2007283645A - Thermal head, its manufacturing method, and printer - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal head which enables the precise formation of a thermal storage positioned between a heater and a space. <P>SOLUTION: In the thermal head 40 of the present invention, the thermal storage 49 positioned between the heater 43a and the space 48 is constituted of a covering layer 50 (a glass plate) formed on a substrate 41 so as to cover the upper surface of a protrusion 42. The thickness of the thermal storage 49 is easily adjusted by the thickness of the covering layer 50, and the thermal storage 49 is precisely formed. A printing characteristic fluctuation due to the thickness unevenness of the thermal storage 49 is thereby suppressed, and the thermal head having the space 48 just under the heater 43a is easily and stably manufactured. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクリボンの色材を印刷媒体に熱転写するサーマルヘッド、サーマルヘッドの製造方法およびプリンタ装置に関する。   The present invention relates to a thermal head that thermally transfers a color material of an ink ribbon to a print medium, a method for manufacturing the thermal head, and a printer apparatus.

印刷媒体に画像や文字を印刷するプリンタ装置としては、インクリボンの一方の面に設けられたインク層を形成する色材を紙等の印刷媒体に熱転写させてカラー画像や文字を印刷する熱転写型のプリンタ装置がある。このプリンタ装置は、インクリボンの色材を印刷媒体に熱転写させるサーマルヘッドと、このサーマルヘッドと対向する位置に設けられ、インクリボンおよび印刷媒体を支持するプラテンとを備えている。   As a printer device that prints images and characters on a print medium, a thermal transfer type that prints a color image or characters by thermally transferring a color material forming an ink layer provided on one surface of an ink ribbon to a print medium such as paper There is a printer device. The printer device includes a thermal head that thermally transfers the color material of the ink ribbon to the print medium, and a platen that is provided at a position facing the thermal head and supports the ink ribbon and the print medium.

図9は従来のサーマルヘッドの要部構成を模式的に示す断面図である。このサーマルヘッド10は、例えばガラス製の基板11の一方の面に突部12が形成されており、この突部12の上に発熱抵抗体13と、発熱抵抗体13を発熱させるための一対の電極14a,14bと、発熱抵抗体13および電極14a,14bを保護する保護層15とが順次設けられている。一対の電極14a,14b間で挟まれた発熱抵抗体13の露出領域は、発熱部13aとして構成されている。また、突部12は、発熱部13aをインクリボンおよび印刷媒体に対向させるために、略円弧状に形成されている。基板11の他方の面には、接着材料層16を介して放熱体17が接着されている。   FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing a main part configuration of a conventional thermal head. In this thermal head 10, a protrusion 12 is formed on one surface of a glass substrate 11, for example, and a heating resistor 13 and a pair of heat generating resistor 13 for generating heat are formed on the protrusion 12. The electrodes 14a and 14b and the protective layer 15 for protecting the heating resistor 13 and the electrodes 14a and 14b are sequentially provided. An exposed region of the heating resistor 13 sandwiched between the pair of electrodes 14a and 14b is configured as a heating portion 13a. Further, the protrusion 12 is formed in a substantially arc shape so that the heat generating portion 13a faces the ink ribbon and the print medium. A heat radiator 17 is bonded to the other surface of the substrate 11 via an adhesive material layer 16.

図9に示した従来のサーマルヘッド10において、印刷媒体にインクリボンの色材を熱転写させるときは、発熱抵抗体13を通電することで発熱部13aを発熱させ、これによりインクリボンの色材を昇華させて印刷媒体に色材を転写する。基板11および突部12は、熱伝導率の比較的低いガラスで構成されているため蓄熱性に優れる。従って、発熱部13aを直ちに高温にでき、色材の昇華温度に必要な消費電力を下げることができる。   In the conventional thermal head 10 shown in FIG. 9, when the ink ribbon color material is thermally transferred to the print medium, the heat generating resistor 13 is energized to cause the heat generating portion 13a to generate heat, thereby causing the ink ribbon color material to be transferred. Sublimate and transfer the color material to the print medium. Since the board | substrate 11 and the protrusion 12 are comprised with the glass with comparatively low heat conductivity, they are excellent in heat storage property. Therefore, the heat generating part 13a can be immediately heated to a high temperature, and the power consumption required for the sublimation temperature of the color material can be reduced.

しかしながら、この従来のサーマルヘッド10においては、突部12aに蓄積された熱が放熱されにくいため、発熱抵抗体13の通電を遮断した後、直ちに発熱部13aの温度を下げることができない。このため、応答性が悪くなり、印刷速度の高速化が図れないという問題がある。   However, in this conventional thermal head 10, since the heat accumulated in the protrusion 12a is not easily dissipated, the temperature of the heat generating part 13a cannot be lowered immediately after the heating resistor 13 is turned off. For this reason, there is a problem that the responsiveness is deteriorated and the printing speed cannot be increased.

この問題を解決するため、図10に示した構成のサーマルヘッド20がある。なお、図において図9に示したサーマルヘッド10と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   In order to solve this problem, there is a thermal head 20 configured as shown in FIG. In the figure, portions corresponding to those of the thermal head 10 shown in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

このサーマルヘッド20においては、突部12の内部であって発熱部13aの直下に空隙部28が設けられており、これら発熱部13aと空隙部28との間に所定厚みの蓄熱部29が形成されている。このサーマルヘッド20においては、空隙部28の内部の空気層がガラスよりも熱伝導率が低いため、インクリボン側への熱量が多くなり、色材を印刷媒体へ熱転写する際に、色材の昇華温度まで発熱部13aを昇温させるための消費電力を更に少なくできる。   In this thermal head 20, a gap portion 28 is provided in the protrusion 12 and immediately below the heat generating portion 13 a, and a heat storage portion 29 having a predetermined thickness is formed between the heat generating portion 13 a and the gap portion 28. Has been. In this thermal head 20, since the air layer inside the gap 28 has a lower thermal conductivity than glass, the amount of heat to the ink ribbon side increases, and when the color material is thermally transferred to the print medium, the color material The power consumption for raising the temperature of the heat generating portion 13a to the sublimation temperature can be further reduced.

また、このサーマルヘッド20においては、空隙部28を設けることによって、蓄熱部29の厚みを薄くできるので、蓄熱部29の放熱を短時間で行うことができ、発熱抵抗体13への通電を遮断した後、直ちに発熱部13aの温度を下げることができる。これにより、応答性が良好となり、印刷速度の高速化を図ることが可能となる。   Further, in the thermal head 20, by providing the gap portion 28, the thickness of the heat storage portion 29 can be reduced, so that the heat storage portion 29 can be radiated in a short time and the energization to the heating resistor 13 is interrupted. After that, the temperature of the heat generating part 13a can be lowered immediately. Thereby, the responsiveness is improved and the printing speed can be increased.

特開平2−45163号公報JP-A-2-45163

ところで、上述した従来のサーマルヘッド20においては、発熱部13aの熱効率および放熱特性は、発熱部13aと空隙部29との間に位置する蓄熱部29の厚さd(図10参照)で制御される。従来のサーマルヘッド20においては、基板11の突部12形成面とは反対側の面から砥石加工やエッチング加工等により空隙部29を形成することによって、蓄熱部29の所定の厚み(例えば数十μm)を得るようにしている。   By the way, in the conventional thermal head 20 described above, the thermal efficiency and heat dissipation characteristics of the heat generating part 13a are controlled by the thickness d (see FIG. 10) of the heat storage part 29 located between the heat generating part 13a and the gap part 29. The In the conventional thermal head 20, a predetermined thickness (for example, several tens of times) of the heat accumulating portion 29 is formed by forming the gap portion 29 by grinding stone processing, etching processing, or the like from the surface of the substrate 11 opposite to the projection 12 forming surface. μm).

しかしながら、基板11の反り等による加工バラツキや、加工後における突部12の強度不足による蓄熱部の破損が発生し易いため、空隙部29を高精度に形成することが困難な場合が多い。このため、蓄熱部29の厚さを精度良く制御することができず、印刷特性にバラツキが生じるという問題がある。また、発熱部13aの直下に空隙部29を有するサーマルヘッドを高い歩留まりで製造することができないという問題がある。   However, it is often difficult to form the gap portion 29 with high accuracy because processing variation due to warpage of the substrate 11 and damage to the heat storage portion due to insufficient strength of the protrusion 12 after processing are likely to occur. For this reason, there is a problem in that the thickness of the heat storage unit 29 cannot be accurately controlled, and the printing characteristics vary. Further, there is a problem that a thermal head having the gap 29 directly under the heat generating portion 13a cannot be manufactured with a high yield.

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、発熱部と空隙部との間に位置する蓄熱部を精度良く形成することができるサーマルヘッド、サーマルヘッドの製造方法および当該サーマルヘッドを備えたプリンタ装置を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and provides a thermal head that can accurately form a heat storage portion positioned between a heat generating portion and a gap portion, a method for manufacturing the thermal head, and a printer apparatus including the thermal head. The issue is to provide.

以上の課題を解決するに当たり、本発明のサーマルヘッドは、一方の面に突部を有する基板と、突部の上部に形成された発熱部と、突部に形成された空隙部と、発熱部と空隙部との間に形成された蓄熱部とを備え、蓄熱部は、突部の上面を覆うように基板上に形成された被覆層で構成されている。   In solving the above problems, the thermal head of the present invention includes a substrate having a protrusion on one surface, a heat generating part formed on the upper part of the protrusion, a gap formed on the protrusion, and a heat generating part. And a heat storage part formed between the gap and the heat storage part, and the heat storage part is formed of a coating layer formed on the substrate so as to cover the upper surface of the protrusion.

また、本発明のサーマルヘッドの製造方法は、一方の面に突部を有する基板を準備する工程と、突部に対して一方の面側から空隙部を形成する工程と、空隙部を覆うように基板上に被覆層を形成する工程と、被覆層を挟んで空隙部の直上に発熱部を形成する工程とを有している。   In addition, the method for manufacturing a thermal head according to the present invention includes a step of preparing a substrate having a protrusion on one surface, a step of forming a void portion from one surface side with respect to the protrusion, and a step of covering the void portion. And a step of forming a coating layer on the substrate and a step of forming a heat generating portion directly above the gap with the coating layer interposed therebetween.

本発明は、発熱部と空隙部との間に位置する蓄熱部を、突部の上面を覆うように基板上に形成された被覆層で構成しているので、蓄熱部の厚みを当該被覆層の厚みで容易に調整することができ、蓄熱部を精度よく形成することが可能となる。これにより、蓄熱部の厚みバラツキに起因する印刷特性の変動を抑えることができるとともに、発熱部の直下に空隙部を有するサーマルヘッドを容易かつ安定して製造することができる。   In the present invention, since the heat storage part located between the heat generating part and the gap part is constituted by a coating layer formed on the substrate so as to cover the upper surface of the protrusion, the thickness of the heat storage part is determined by the coating layer. The thickness can be easily adjusted, and the heat storage part can be accurately formed. As a result, it is possible to suppress a variation in printing characteristics due to the thickness variation of the heat storage part, and it is possible to easily and stably manufacture a thermal head having a gap directly under the heat generating part.

蓄熱部を構成する被覆層としては、必要とする蓄熱部の厚さを備えた板部材、特に、上記突部と同種の材料からなる板部材、例えば、ガラス板が好適である。被覆層と突部とを同種材料の組合せで構成することによって両者の熱膨張係数の整合が可能となり、サーマルヘッドの破損を防ぐことができる。   As the covering layer constituting the heat storage part, a plate member having the required thickness of the heat storage part, in particular, a plate member made of the same kind of material as the protrusions, for example, a glass plate is suitable. By configuring the coating layer and the protrusions with a combination of the same kind of materials, the thermal expansion coefficients of both can be matched, and damage to the thermal head can be prevented.

また、蓄熱部を構成する被覆層を、必要とする蓄熱部の厚さで成膜された被膜、例えばスパッタ膜で構成することもできる。この場合、被膜は単層でもよいし多層膜構造を有していてもよい。被膜を構成する材料は特に制限されず、必要とする強度、伝熱特性等を有する材料を適宜選択すればよい。なお、被膜の形成に際しては、突部に設けた空隙部をレジスト等の充填材を用いてあらかじめ充填しておき、成膜後に充填材を除去する処理を施すようにする。   Moreover, the coating layer which comprises a thermal storage part can also be comprised with the film formed into a film with the thickness of the required thermal storage part, for example, a sputtered film. In this case, the film may be a single layer or may have a multilayer film structure. The material constituting the coating is not particularly limited, and a material having the required strength, heat transfer characteristics, etc. may be appropriately selected. Note that when forming the coating, the gap provided in the protrusion is filled in advance using a filler such as a resist, and a process of removing the filler after film formation is performed.

また、本発明においては、突部に対する空隙部の形成を、当該突部が形成される基板の一方の面側から行うようにしているので、基板の機械的強度を大きく損なうことなく空隙部を形成することが可能となる。これにより、空隙部形成時あるいは空隙部形成後の基板のハンドリング時等における基板の破損を抑制できる。   In the present invention, since the gap is formed with respect to the protrusion from one surface side of the substrate on which the protrusion is formed, the gap is formed without greatly impairing the mechanical strength of the substrate. It becomes possible to form. Thereby, the breakage of the substrate at the time of forming the gap or at the time of handling the substrate after the formation of the gap can be suppressed.

以上述べたように、本発明によれば、発熱部と空隙部との間に位置する蓄熱部を精度良く形成することができる。これにより、蓄熱部の厚みバラツキに起因する印刷特性の変動を抑えることができるとともに、発熱部の直下に空隙部を有するサーマルヘッドを容易にかつ安定して製造することができる。   As described above, according to the present invention, the heat storage part positioned between the heat generating part and the gap part can be formed with high accuracy. As a result, it is possible to suppress variations in printing characteristics due to the thickness variation of the heat storage part, and it is possible to easily and stably manufacture a thermal head having a gap immediately below the heat generating part.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、本発明は以下の説明に限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the following description, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.

図1は本実施形態によるプリンタ装置30の概略構成図、図2はプリンタ装置30の要部の断面斜視図である。以下、このプリンタ装置30の構成について概略的に説明する。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a printer device 30 according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a main part of the printer device 30. Hereinafter, the configuration of the printer device 30 will be schematically described.

プリンタ装置30は、熱転写型あるいは昇華型のプリンタ装置であり、本発明に係るサーマルヘッド40を備え、このサーマルヘッド40でインクリボン1の色材を昇華させて印刷媒体2へ色材を転写させることで、カラー画像や文字を印刷する。   The printer device 30 is a thermal transfer type or sublimation type printer device, and includes a thermal head 40 according to the present invention. The thermal head 40 sublimates the color material of the ink ribbon 1 and transfers the color material to the print medium 2. In this way, color images and characters are printed.

ここで用いられるインクリボン1は、長尺状の樹脂フィルムからなり、一端が供給側スプール3aに、他端が巻取側スプール3bにそれぞれ支持され、これらに巻回された状態でインクカートリッジに収納されている。このインクリボン1は、樹脂フィルムの一方の面に、イエローの色材で形成されたインク層と、マゼンタの色材で形成されたインク層と、シアンの色材で形成されたインク層のほか、印刷媒体2上に印刷された画像や文字の保存性を向上するために印刷媒体2上に熱転写させるラミネートフィルムからなるラミネート層が設けられている。   The ink ribbon 1 used here is made of a long resin film, one end is supported by the supply-side spool 3a and the other end is supported by the take-up spool 3b. It is stored. The ink ribbon 1 includes an ink layer formed of a yellow color material, an ink layer formed of a magenta color material, and an ink layer formed of a cyan color material on one surface of a resin film. In order to improve the storability of images and characters printed on the print medium 2, a laminate layer made of a laminate film that is thermally transferred onto the print medium 2 is provided.

プリンタ装置30は、サーマルヘッド40と、このサーマルヘッド40と対向する位置に設けられたプラテン60と、装着されたインクリボン1の走行をガイドする複数のリボンガイド61a,61bと、インクリボン1とともにサーマルヘッド40とプラテン60との間に印刷媒体2を走行させるピンチローラ62aおよびキャプスタンローラ62b等を備えている。   The printer device 30 includes a thermal head 40, a platen 60 provided at a position facing the thermal head 40, a plurality of ribbon guides 61 a and 61 b that guide the travel of the mounted ink ribbon 1, and the ink ribbon 1. Between the thermal head 40 and the platen 60, there are provided a pinch roller 62a and a capstan roller 62b for running the printing medium 2.

このような構成のプリンタ装置30においては、プラテン60をサーマルヘッド40に押圧しながら、サーマルヘッド40とプラテン60との間において、巻取側スプール3bを巻取方向に回転させることでインクリボン1を巻取方向に走行させるとともに、ピンチローラ62aとキャプスタンローラ62bを排紙方向(図1中矢印A方向)に回転させることで排紙方向に印刷媒体2を走行させる。   In the printer device 30 having such a configuration, the ink ribbon 1 is rotated by rotating the winding side spool 3b in the winding direction between the thermal head 40 and the platen 60 while pressing the platen 60 against the thermal head 40. And the pinch roller 62a and the capstan roller 62b are rotated in the paper discharge direction (arrow A direction in FIG. 1), and the print medium 2 is moved in the paper discharge direction.

印刷する際には、先ず、サーマルヘッド40からインクリボン1のイエローのインク層に対して熱エネルギーを印加し、イエローの色材をインクリボン1と重なり合って走行している印刷媒体2に熱転写する。次に、イエローの色材が熱転写された画像や文字を形成する画像形成部にマゼンタの色材を熱転写するため、図1中矢印B方向に印刷媒体2をサーマルヘッド40側に逆走させ、画像形成部の始端をサーマルヘッド40と対向させるとともに、インクリボン1のマゼンタのインク層をサーマルヘッド40と対向させる。そして、マゼンタのインク層に対しても熱エネルギーを印加して、マゼンタの色材を印刷媒体2の画像形成部に熱転写させる。シアンの色材およびラミネートフィルムについても、同様の方法で印刷媒体2に順次熱転写して、カラー画像を印刷する。   When printing, first, thermal energy is applied from the thermal head 40 to the yellow ink layer of the ink ribbon 1, and the yellow color material is thermally transferred to the printing medium 2 that is running while overlapping the ink ribbon 1. . Next, in order to thermally transfer the magenta color material to the image forming portion for forming the image or characters on which the yellow color material is thermally transferred, the print medium 2 is moved backward toward the thermal head 40 in the direction of arrow B in FIG. The starting end of the image forming unit is opposed to the thermal head 40, and the magenta ink layer of the ink ribbon 1 is opposed to the thermal head 40. Then, thermal energy is also applied to the magenta ink layer to thermally transfer the magenta color material to the image forming portion of the print medium 2. The cyan color material and the laminate film are also sequentially heat-transferred to the printing medium 2 by the same method to print a color image.

このようなプリンタ装置30に用いられるサーマルヘッド40は、印刷媒体2の走行方向に対して直交方向に配置されており、印刷媒体2の幅方向の両端まで色材を熱転写できるように、図3中矢印L方向で示す長さが印刷媒体2の幅よりも長くなっている。   The thermal head 40 used in such a printer device 30 is arranged in a direction orthogonal to the traveling direction of the print medium 2, so that the color material can be thermally transferred to both ends in the width direction of the print medium 2. The length shown in the middle arrow L direction is longer than the width of the print medium 2.

次に、サーマルヘッド40の構成の詳細について説明する。
図3はサーマルヘッド40の全体斜視図、図4はサーマルヘッド40のヘッド部40Aの断面構造を示す部分破断斜視図である。
Next, details of the configuration of the thermal head 40 will be described.
FIG. 3 is an overall perspective view of the thermal head 40, and FIG. 4 is a partially broken perspective view showing a cross-sectional structure of the head portion 40 </ b> A of the thermal head 40.

サーマルヘッド40は、放熱体47の上に接着材料層46を介して接着された基板41を有しており、この基板41の幅方向中心部に長さ方向Lに沿ってヘッド部40Aが形成されている。ヘッド部40Aは外形が略円弧状を有しており、その頂部には発熱部43aが長さ方向Lに所定ピッチで直線的に配列されている。ヘッド部40Aは、基板41から外方へ突出形成されることによって、インクリボン1に対する当たりを良好にし、発熱部43aで発生させた熱エネルギーをインクリボン1に適切に印加できるようにしている。ヘッド部40Aの表面は、保護層45で覆われている。   The thermal head 40 has a substrate 41 bonded on a radiator 47 via an adhesive material layer 46, and a head portion 40 </ b> A is formed along the length direction L at the center portion in the width direction of the substrate 41. Has been. The head portion 40A has a substantially arcuate outer shape, and heat generating portions 43a are linearly arranged at a predetermined pitch in the length direction L at the top. The head portion 40A is formed so as to protrude outward from the substrate 41, so that the head ribbon 40A can make good contact with the ink ribbon 1, and heat energy generated by the heat generating portion 43a can be appropriately applied to the ink ribbon 1. The surface of the head portion 40A is covered with a protective layer 45.

発熱部43aは、一対の電極44a,44bで挟まれた構成を有しており、これら電極間44a,44bに電流が供給されたときの抵抗加熱作用によって発熱する。一方の電極44aは、個々の発熱体43a毎に形成された個別配線部52に接続されており、フレキシブル配線基板53を介して、電源供給用の制御基板55に電気的に接続されている。また、他方の電極44bは、すべての発熱体43aに対して共通の共通配線部51に接続されており、フレキシブル配線基板54を介して制御基板55に電気的に接続されている。制御基板55は、放熱体47に固定されており、外部接続用配線部材56を介して、プリンタ装置30の制御部(図示略)に接続されている。フレキシブル配線基板53には半導体素子(図示略)が実装されており、この半導体素子は、制御基板55から送られた印刷データに対応して各発熱部43aの発熱動作を個別に制御する。   The heat generating portion 43a has a configuration sandwiched between a pair of electrodes 44a and 44b, and generates heat by a resistance heating action when a current is supplied between the electrodes 44a and 44b. One electrode 44 a is connected to an individual wiring portion 52 formed for each heating element 43 a, and is electrically connected to a power supply control board 55 through a flexible wiring board 53. The other electrode 44 b is connected to the common wiring portion 51 common to all the heating elements 43 a and is electrically connected to the control board 55 via the flexible wiring board 54. The control board 55 is fixed to the heat radiating body 47 and is connected to a control unit (not shown) of the printer device 30 via an external connection wiring member 56. A semiconductor element (not shown) is mounted on the flexible wiring board 53, and this semiconductor element individually controls the heat generation operation of each heat generating portion 43 a corresponding to the print data sent from the control board 55.

ヘッド部40Aの内部には、発熱部43aの直下位置に空隙部48が設けられている。ヘッド部40Aは、後述するように、ガラス材料を主体として形成されており、空隙部48は、発熱部43aの列と対向するように長さ方向Lに沿って連続的に形成されている。   Inside the head portion 40A, a gap 48 is provided immediately below the heat generating portion 43a. As will be described later, the head portion 40A is formed mainly of a glass material, and the gap portion 48 is continuously formed along the length direction L so as to face the row of the heat generating portions 43a.

上記のように、ヘッド部40Aの内部に発熱部43aと対向するように空隙部48を設けることによって、ガラスよりも熱伝導率が低いという空気の特性により、発熱部43aで発生させた熱が放熱されにくくなり、発熱部43aと空隙部48との間の蓄熱部49に熱エネルギーが蓄熱しやすくなる。これにより、インクリボン1に対する熱の印加効率が高くなり、サーマルヘッド40の熱効率を良好にすることができる。   As described above, by providing the air gap 48 so as to face the heat generating portion 43a inside the head portion 40A, the heat generated in the heat generating portion 43a is generated due to the characteristic of air that the thermal conductivity is lower than that of glass. It becomes difficult to dissipate heat, and heat energy is easily stored in the heat storage part 49 between the heat generating part 43a and the gap part 48. Thereby, the heat application efficiency with respect to the ink ribbon 1 becomes high, and the thermal efficiency of the thermal head 40 can be made favorable.

また、ヘッド部40Aの内部に空隙部48を設けることによって、発熱部43a直下の蓄熱部49の厚みが薄くなり、発熱部43aの発熱動作を解除したときの蓄熱部49の放熱性を高め、当該発熱部43aの温度を速やかに低下させる。これにより、発熱/非発熱動作の応答性が高まり、印刷速度の高速化を図ることができる。   Further, by providing the gap portion 48 inside the head portion 40A, the thickness of the heat storage portion 49 immediately below the heat generation portion 43a is reduced, and the heat dissipation performance of the heat storage portion 49 when the heat generation operation of the heat generation portion 43a is released is improved. The temperature of the heat generating portion 43a is quickly reduced. Thereby, the responsiveness of the heat generation / non-heat generation operation is enhanced, and the printing speed can be increased.

以下、ヘッド部40Aの詳細について説明する。図5は、サーマルヘッド40のヘッド部40Aの構成の詳細を示す断面図である。   Hereinafter, details of the head unit 40A will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view showing details of the configuration of the head portion 40A of the thermal head 40. As shown in FIG.

基板41の一方の面(表面)には、外面が略円弧状の突部42が設けられている。この突部42は、いわゆるグレーズ層に対応し、ホウケイ酸ガラス等のガラス質材料で形成されている。本実施形態では、基板41として、表面に突部42が設けられたアルミナ基板が用いられている。なお、基板41の構成は上記に限らず、表面に突部42が一体形成されたガラス基板(図9参照)を用いてもよい。   One surface (front surface) of the substrate 41 is provided with a protrusion 42 whose outer surface is substantially arc-shaped. The protrusion 42 corresponds to a so-called glaze layer and is formed of a vitreous material such as borosilicate glass. In the present embodiment, an alumina substrate having a protrusion 42 on the surface is used as the substrate 41. In addition, the structure of the board | substrate 41 is not restricted above, You may use the glass substrate (refer FIG. 9) by which the protrusion 42 was integrally formed on the surface.

突部42には、空隙部48が設けられている。この空隙部48は、突部42の上面を覆う被覆層50によって上部が閉塞された空気層を形成している。突部42の上には、被覆層50を介して、発熱抵抗体43と、発熱抵抗体43を発熱させるための一対の電極44a,44bと、発熱抵抗体43および電極44a,44bを保護する保護層45とが順次設けられている。   A gap 48 is provided in the protrusion 42. The gap 48 forms an air layer whose upper part is closed by a covering layer 50 covering the upper surface of the protrusion 42. On the protrusion 42, the heating resistor 43, the pair of electrodes 44 a and 44 b for heating the heating resistor 43, and the heating resistor 43 and the electrodes 44 a and 44 b are protected via the coating layer 50. A protective layer 45 is sequentially provided.

本実施形態において、被覆層50は、突部42を構成するガラス材料と同種のガラス板からなる。この種のガラス材料としては、例えばホウケイ酸ガラスが用いられる。被覆層50を突部42と同種の材料で構成することにより、両者の熱膨張係数の整合を図って発熱時の破損を防ぐことができる。被覆層50は、突部42の上面を覆うように基板41上に接合されており、発熱部43aと空隙部48との間において蓄熱部49を構成する。   In the present embodiment, the covering layer 50 is made of a glass plate of the same type as the glass material constituting the protrusion 42. As this type of glass material, for example, borosilicate glass is used. By configuring the covering layer 50 with the same kind of material as that of the protrusion 42, it is possible to match the thermal expansion coefficients of the two and prevent damage during heat generation. The covering layer 50 is bonded onto the substrate 41 so as to cover the upper surface of the protrusion 42, and constitutes a heat storage part 49 between the heat generating part 43 a and the gap part 48.

発熱抵抗体43は、例えばTa−NやTa−SiO2等の高抵抗で耐熱性のある材料で形成されている。一対の電極44a,44b間で挟まれた発熱抵抗体43の露出領域は、発熱部43aとして構成されており、例えばドットサイズよりもやや大きく、略矩形または正方形状に形成されている。この発熱抵抗体43は、被覆層50の上にフォトリソグラフィ技術を用いてパターン形成される。   The heating resistor 43 is formed of a material having high resistance and heat resistance such as Ta—N or Ta—SiO 2, for example. An exposed region of the heating resistor 43 sandwiched between the pair of electrodes 44a and 44b is configured as a heating portion 43a, and is formed in a substantially rectangular or square shape, for example, slightly larger than the dot size. The heating resistor 43 is patterned on the coating layer 50 by using a photolithography technique.

発熱抵抗体43の両側に設けられる一対の電極44a,44bは、例えばアルミニウムや銅、金などの電気伝導性の良い材料で形成されている。図4に示したように、一方の電極44aは個別配線部52に接続され、他方の電極44bは共通配線部51に接続されている。これら電極44a,44b、共通配線部51および個別配線部52は、フォトリソグラフィ技術を用いて形成される。なお、これら電極44a,44b、共通配線部51および個別配線部52は、同一材料で同時にパターニングされてもよいし同種または異種材料で別々にパターニングされてもよい。   The pair of electrodes 44a and 44b provided on both sides of the heating resistor 43 is formed of a material having good electrical conductivity such as aluminum, copper, or gold. As shown in FIG. 4, one electrode 44 a is connected to the individual wiring part 52, and the other electrode 44 b is connected to the common wiring part 51. The electrodes 44a and 44b, the common wiring portion 51, and the individual wiring portion 52 are formed using a photolithography technique. The electrodes 44a and 44b, the common wiring portion 51, and the individual wiring portion 52 may be simultaneously patterned with the same material, or may be separately patterned with the same or different materials.

保護層45は、発熱部43a、電極44a,44b、供給配線部51および個別配線部52を覆い、サーマルヘッド40とインクリボン1が接した際に生じる摩擦等から発熱部43a、電極44a,44b等を保護する。この保護層45は、高温下で高強度、耐摩耗性等の機械的特性および耐熱性、耐熱衝撃性、熱伝導性等の熱的特性に優れた金属を含む無機材料で形成され、例えば、炭化ケイ素や窒化ケイ素等で形成されている。   The protective layer 45 covers the heat generating portion 43a, the electrodes 44a and 44b, the supply wiring portion 51, and the individual wiring portion 52, and the heat generating portion 43a and the electrodes 44a and 44b due to friction generated when the thermal head 40 and the ink ribbon 1 are in contact with each other. Protect etc. The protective layer 45 is formed of an inorganic material containing a metal having excellent mechanical properties such as high strength and wear resistance at high temperatures and thermal properties such as heat resistance, thermal shock resistance, and thermal conductivity. It is made of silicon carbide or silicon nitride.

一方、基板41の他方の面(裏面)には、接着材料層46を介して放熱体47が接着されている。接着材料層46には、熱伝導性、耐熱性に優れた熱硬化性材料が用いられ、例えば基板41よりも伝熱性に優れたシリコーン系接着剤が用いられる。放熱体47としてはアルミニウム、銅等の熱伝導性の高い金属材料が用いられている。   On the other hand, a radiator 47 is bonded to the other surface (back surface) of the substrate 41 via an adhesive material layer 46. For the adhesive material layer 46, a thermosetting material having excellent thermal conductivity and heat resistance is used, and for example, a silicone adhesive having better heat conductivity than the substrate 41 is used. As the radiator 47, a metal material having high thermal conductivity such as aluminum or copper is used.

以上のように、本実施形態のサーマルヘッド40、特にヘッド部40Aにおいては、一方の面に突部42を有する基板41と、突部42の上部に形成された発熱部43aと、突部42に形成された空隙部48と、発熱部43aと空隙部48との間に形成された蓄熱部49とを備え、この蓄熱部49が、突部42の上面を覆うように基板41上に形成された被覆層50で構成されている。蓄熱部49を被覆層50で構成することにより、蓄熱部49の厚みD(図5参照)を当該被覆層50の厚みで容易に調整することができ、蓄熱部49を精度良く形成することが可能となる。これにより、蓄熱部49の厚みバラツキに起因する印刷特性の変動を抑えることができる。   As described above, in the thermal head 40 of the present embodiment, particularly the head portion 40A, the substrate 41 having the protrusion 42 on one surface, the heat generating portion 43a formed on the upper portion of the protrusion 42, and the protrusion 42. And a heat storage portion 49 formed between the heat generating portion 43a and the space portion 48. The heat storage portion 49 is formed on the substrate 41 so as to cover the upper surface of the protrusion 42. The covering layer 50 is formed. By configuring the heat storage unit 49 with the coating layer 50, the thickness D (see FIG. 5) of the heat storage unit 49 can be easily adjusted by the thickness of the coating layer 50, and the heat storage unit 49 can be formed with high accuracy. It becomes possible. Thereby, the fluctuation | variation of the printing characteristic resulting from the thickness variation of the thermal storage part 49 can be suppressed.

続いて、以上のように構成されるサーマルヘッド40、特にヘッド部40Aの製造方法について説明する。図6および図7は、ヘッド部40Aの製造工程を説明する工程断面図である。   Next, a method for manufacturing the thermal head 40 configured as described above, particularly the head portion 40A, will be described. 6 and 7 are process cross-sectional views illustrating the manufacturing process of the head portion 40A.

まず、一方の面に突部42を有する基板41を準備する(図6A)。
本実施形態では、アルミナ基板41上にガラス突部42が形成されたグレーズ基板が用いられる。なお、これに限らず、突部42が一方の面に一体形成されたガラス基板を用いてもよい。また、基板41は、ウェーハ状態で作製されるのが好ましい。各工程をウェーハレベルで実施できるので作業性がよく生産性も高いからである。
First, a substrate 41 having a protrusion 42 on one surface is prepared (FIG. 6A).
In the present embodiment, a glaze substrate in which a glass protrusion 42 is formed on an alumina substrate 41 is used. However, the present invention is not limited thereto, and a glass substrate in which the protrusions 42 are integrally formed on one surface may be used. The substrate 41 is preferably manufactured in a wafer state. This is because each process can be performed at the wafer level, so that workability is high and productivity is high.

次に、基板41上の突部42に対して上記一方の面側から溝状の空隙部28を形成する(図6B)。   Next, a groove-shaped gap 28 is formed from the one surface side with respect to the protrusion 42 on the substrate 41 (FIG. 6B).

突部42に対する空隙部48の形成方法としては、ダイサーあるいは砥石を用いた研削加工、フッ酸水溶液などによるエッチング加工、イオンビーム加工、ブラスト加工などの方法が挙げられる。空隙部28の形状、大きさ、形成深さ等は特に限定されないが、本実施形態では、空隙部48の側面が基板41に対して垂直で、空隙部48の底面が基板41の表面とほぼ一致するように形成される。加工後は、空隙部48の内面にフッ酸処理を施して、加工時に生じたマイクロクラックを除去するのが好ましい。   Examples of the method for forming the gap 48 with respect to the protrusion 42 include grinding using a dicer or a grindstone, etching using a hydrofluoric acid aqueous solution, ion beam processing, blasting, and the like. The shape, size, formation depth, and the like of the gap portion 28 are not particularly limited, but in this embodiment, the side surface of the gap portion 48 is perpendicular to the substrate 41 and the bottom surface of the gap portion 48 is substantially the same as the surface of the substrate 41. Formed to match. After the processing, it is preferable to perform hydrofluoric acid treatment on the inner surface of the gap 48 to remove microcracks generated during processing.

また、本実施形態においては、空隙部48の形成を、基板41の突部42形成面側から行うようにしているので、基板41の機械的強度を大きく損なうことなく空隙部48を形成することが可能となる。これにより、空隙部48の形成時あるいは空隙部48形成後の基板のハンドリング時における基板の破損を抑制することができる。   In the present embodiment, since the gap 48 is formed from the projection 42 forming surface side of the substrate 41, the gap 48 can be formed without significantly impairing the mechanical strength of the substrate 41. Is possible. Thereby, the breakage of the substrate during the formation of the gap 48 or the handling of the substrate after the formation of the gap 48 can be suppressed.

続いて、空隙部48を覆うように被覆層50を基板41上に形成する(図6C,D)。   Subsequently, a coating layer 50 is formed on the substrate 41 so as to cover the gap 48 (FIGS. 6C and D).

本実施形態において被覆層50にはガラス板が用いられており、このガラス板50を図6Cに示すガラス成形機を用いて基板41上に接合する。ガラス成形機は、基板41の裏面側を支持する固定金型21と、基板41の表面に対向する可動金型22とを備えている。可動金型22の内面側には、基板41上の突部42の形成領域に対応して凹所42aが設けられている。   In the present embodiment, a glass plate is used for the covering layer 50, and the glass plate 50 is bonded onto the substrate 41 using a glass molding machine shown in FIG. 6C. The glass molding machine includes a fixed mold 21 that supports the back side of the substrate 41 and a movable mold 22 that faces the surface of the substrate 41. On the inner surface side of the movable mold 22, a recess 42 a is provided corresponding to the formation region of the protrusion 42 on the substrate 41.

ガラス板50の接合時は、基板41にガラス板50を重ね合わせた後、ガラス板50のガラス転移点以上の所定温度に加熱して所定圧力でプレスする。これにより、ガラス板50は、基板41の表面形状にならって変形し、突部42および空隙部48を覆うようにして基板41上に接合される。   When the glass plate 50 is bonded, the glass plate 50 is superimposed on the substrate 41, and then heated to a predetermined temperature above the glass transition point of the glass plate 50 and pressed at a predetermined pressure. As a result, the glass plate 50 is deformed according to the surface shape of the substrate 41 and is bonded onto the substrate 41 so as to cover the protrusions 42 and the gaps 48.

ガラス板50は、ヘッド部40Aにおいて蓄熱部49を構成するため、ガラス板50の板厚によって蓄熱部49の厚さD(図5)が決定される。従って、蓄熱部49の形成厚が一定のサーマルヘッド40を安定して製造することができる。ガラス板50の厚さは、目的とする蓄熱部49の形成厚によって定まり、例えば30μmである。   Since the glass plate 50 constitutes the heat storage unit 49 in the head unit 40A, the thickness D (FIG. 5) of the heat storage unit 49 is determined by the thickness of the glass plate 50. Accordingly, it is possible to stably manufacture the thermal head 40 in which the formation thickness of the heat storage section 49 is constant. The thickness of the glass plate 50 is determined by the target thickness of the heat storage section 49, and is, for example, 30 μm.

ガラス板50は、予め高精度に板厚が制御されたものを用いるのが好ましい。このようなガラス板の製造方法は、特に限定されず、ダウンドロー法や研磨法、フッ酸水溶液を用いたエッチング加工などがある。例えば、ガラス板50の面内をフッ酸処理などでエッチング加工し目的とする厚みに調整した後、上述した熱プレス処理で基板41に接合する。   It is preferable to use a glass plate 50 whose thickness is controlled in advance with high accuracy. The method for producing such a glass plate is not particularly limited, and includes a downdraw method, a polishing method, and an etching process using a hydrofluoric acid aqueous solution. For example, the surface of the glass plate 50 is etched by a hydrofluoric acid process or the like to adjust the target thickness, and then bonded to the substrate 41 by the above-described hot press process.

また、本実施形態のように基板41がガラスと異なる材料で構成されている場合には、図6Cに示したように、基板41上にあらかじめSiO2膜58を成膜してもよい。これにより、界面におけるガラス板50の融着作用によって接合強度の向上を図ることができる。   In addition, when the substrate 41 is made of a material different from glass as in the present embodiment, the SiO 2 film 58 may be formed on the substrate 41 in advance as shown in FIG. 6C. Thereby, it is possible to improve the bonding strength by the fusion action of the glass plate 50 at the interface.

更に、基板41に対するガラス板50の接合方法は、上述したガラス成形機を用いた熱プレス法だけに限らず、例えば、基板41とガラス板50との間にフッ酸水溶液を浸透させ200℃程度の温度と適度な圧力を付与して接合する方法のほか、陽極接合法も採用可能である。   Furthermore, the method for bonding the glass plate 50 to the substrate 41 is not limited to the above-described hot press method using the glass molding machine, and for example, a hydrofluoric acid aqueous solution is infiltrated between the substrate 41 and the glass plate 50 at about 200 ° C. In addition to the method of bonding by applying an appropriate temperature and an appropriate pressure, an anodic bonding method can also be employed.

続いて、基板41の上にガラス板(被覆層)50を接合した後、発熱抵抗体43を成膜するとともに、成膜した発熱抵抗体43を所定形状にパターン形成する(図7E)。次いで、アルミニウムや銅などの導体層を発熱抵抗体43の上に成膜し、これを所定形状にパターニングすることで、電極44a,44b、共通配線部51および個別配線部52を形成する(図7F)。以上の各工程によって、蓄熱部49を挟んで空隙部48と対向する発熱部43aが形成される。   Subsequently, after a glass plate (covering layer) 50 is bonded onto the substrate 41, a heating resistor 43 is formed, and the formed heating resistor 43 is patterned into a predetermined shape (FIG. 7E). Next, a conductor layer such as aluminum or copper is formed on the heating resistor 43, and is patterned into a predetermined shape, thereby forming the electrodes 44a and 44b, the common wiring portion 51, and the individual wiring portion 52 (see FIG. 7F). Through the above steps, the heat generating portion 43a facing the gap portion 48 with the heat storage portion 49 interposed therebetween is formed.

最後に保護層45を形成するとともに、基板41の裏面を放熱体47に接着することによって、本実施形態のサーマルヘッド40が作製される(図7G,H)。なお、基板41を放熱体47に接着する工程は、基板41を個々の素子毎に分割、個片化した後に行ってもよいし、個片化する前のウェーハ状態で行ってもよい。   Finally, the protective layer 45 is formed, and the back surface of the substrate 41 is bonded to the heat radiator 47, whereby the thermal head 40 of the present embodiment is manufactured (FIGS. 7G and 7H). Note that the step of bonding the substrate 41 to the heat radiating body 47 may be performed after the substrate 41 is divided and divided into individual elements, or may be performed in a wafer state before being divided into individual pieces.

以上のように、本実施形態によれば、基板41上の突部42に対して空隙部48を形成した後、この空隙48を所定厚のガラス板50で被覆した構造を有しているので、発熱部43aと空隙部48との間に位置する蓄熱部49の形成厚をガラス板50の板厚で高精度に制御することができる。これにより、蓄熱部49の厚みバラツキに起因する印刷特性の変動を効果的に抑えることができる。また、蓄熱部49の形成厚を±1μm以下のオーダーで容易に制御することが可能となるので、蓄熱部49の形成厚が高度に制御されたサーマルヘッド40を容易にかつ安定して製造することができる。   As described above, according to the present embodiment, after the gap 48 is formed on the protrusion 42 on the substrate 41, the gap 48 is covered with the glass plate 50 having a predetermined thickness. The formation thickness of the heat storage part 49 located between the heat generating part 43a and the gap part 48 can be controlled with high accuracy by the thickness of the glass plate 50. Thereby, the fluctuation | variation of the printing characteristic resulting from the thickness variation of the thermal storage part 49 can be suppressed effectively. Further, since the formation thickness of the heat storage section 49 can be easily controlled on the order of ± 1 μm or less, the thermal head 40 in which the formation thickness of the heat storage section 49 is highly controlled is easily and stably manufactured. be able to.

蓄熱部49を構成する被覆層50は、上述したガラス板に限定されない。例えば、突部42を構成するガラスと同様な熱膨張係数を有し、所定の伝熱特性および機械的特性を備えた材料、例えばセラミックス、各種酸化物、金属材料等から適宜選択することができる。また、これらの材料を適度に複合化させて所定の熱的特性、機械的特性をもたせるようにしてもよい。   The covering layer 50 constituting the heat storage unit 49 is not limited to the glass plate described above. For example, a material having a thermal expansion coefficient similar to that of the glass constituting the protrusion 42 and having predetermined heat transfer characteristics and mechanical characteristics, for example, ceramics, various oxides, metal materials, etc., can be selected as appropriate. . Further, these materials may be appropriately combined to have predetermined thermal characteristics and mechanical characteristics.

また、被覆層50はガラス板等の板材に限らず、例えば、スパッタ法や真空蒸着法等の真空薄膜形成法で成膜される被膜で構成してもよい。図8にその一例を示す。   The covering layer 50 is not limited to a plate material such as a glass plate, and may be formed of a film formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method or a vacuum evaporation method. An example is shown in FIG.

まず、基板41表面の突部42に対して、上述したような方法で空隙部48を形成する(図8A)。次に、形成した空隙部48を充填材64で充填する(図8B)。充填材64には、例えば感光性レジスト材料等、所定の処理で除去可能な材料を用いるのが好適である。   First, the gap 48 is formed on the protrusion 42 on the surface of the substrate 41 by the method described above (FIG. 8A). Next, the formed gap 48 is filled with a filler 64 (FIG. 8B). For the filler 64, it is preferable to use a material that can be removed by a predetermined treatment such as a photosensitive resist material.

続いて、基板41の上に、突部42を被覆するように被膜65をスパッタ法で成膜する(図8C)。被膜65は、単層は勿論、多層構造としてもよい。被膜65を構成する材料としては、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、アルミナ膜など、熱的特性および機械的特性を考慮して適宜選択することができる。また、金属層を含めて伝熱性を制御するようにしてもよい。   Subsequently, a film 65 is formed on the substrate 41 by sputtering so as to cover the protrusions 42 (FIG. 8C). The coating 65 may have a multilayer structure as well as a single layer. The material constituting the coating 65 can be appropriately selected in consideration of thermal characteristics and mechanical characteristics such as a silicon oxide film, a silicon nitride film, and an alumina film. Moreover, you may make it control heat conductivity including a metal layer.

被覆層を真空薄膜形成法、特にスパッタ法で成膜した被膜65で形成することにより、成膜対象基板41に対する密着性を高くでき、膜質も良好で、必要とする膜厚を高精度に得ることができる。   By forming the coating layer with a film 65 formed by a vacuum thin film forming method, particularly a sputtering method, the adhesion to the film formation target substrate 41 can be improved, the film quality is good, and the required film thickness is obtained with high accuracy. be able to.

被膜65の形成後、空隙部48に充填された充填材64を除去する(図8D)。充填材64の除去方法としては、現像液を用いたレジスト剤の溶解除去のほか、材料の種類によっては加熱による昇華作用で消失させることができる。これにより、空隙部48の上部を閉塞する蓄熱部49を被膜65で形成することができる。以降、図7E〜Hと同様な工程を実施することで、上述した作用効果を有する本発明に係るサーマルヘッドを得ることができる。   After the formation of the coating 65, the filler 64 filled in the gap 48 is removed (FIG. 8D). As a method for removing the filler 64, in addition to dissolving and removing the resist agent using a developing solution, depending on the type of material, it can be eliminated by sublimation by heating. Thereby, the heat storage part 49 which closes the upper part of the space | gap part 48 can be formed with the film 65. FIG. Thereafter, the thermal head according to the present invention having the above-described effects can be obtained by performing the same processes as those in FIGS.

本発明の実施形態によるプリンタ装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a printer device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるプリンタ装置の要部の断面斜視図である。1 is a cross-sectional perspective view of a main part of a printer device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるサーマルヘッドの全体斜視図である。1 is an overall perspective view of a thermal head according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるサーマルヘッドの要部の構成を示す部分破断斜視図である。It is a partially broken perspective view which shows the structure of the principal part of the thermal head by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるサーマルヘッドの要部の構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the structure of the principal part of the thermal head by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるサーマルヘッドの製造方法を説明する工程断面図である。It is process sectional drawing explaining the manufacturing method of the thermal head by embodiment of this invention. 本発明の実施形態によるサーマルヘッドの製造方法を説明する工程断面図である。It is process sectional drawing explaining the manufacturing method of the thermal head by embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態によるサーマルヘッドの製造方法を説明する工程断面図である。It is process sectional drawing explaining the manufacturing method of the thermal head by other embodiment of this invention. 従来のサーマルヘッドの要部の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the principal part of the conventional thermal head. 従来の他のサーマルヘッドの要部の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the principal part of the other conventional thermal head.

符号の説明Explanation of symbols

1…インクリボン、2…印刷媒体、30…プリンタ装置、40…サーマルヘッド、40A…ヘッド部、41…基板、42…突部、43…発熱抵抗体、43a…発熱部、44a,44b…電極、45…保護層、46…接着材料層、47…放熱体、48…空隙部、49…蓄熱部、50…ガラス板(被覆層)、51…共通配線部、52…個別配線部、53,54…フレキシブル配線基板、55…制御基板、60…プラテン、61a,61b…リボンガイド、64…充填材、65…被膜(被覆層)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ink ribbon, 2 ... Print medium, 30 ... Printer apparatus, 40 ... Thermal head, 40A ... Head part, 41 ... Substrate, 42 ... Projection, 43 ... Heat generating resistor, 43a ... Heat generating part, 44a, 44b ... Electrode 45 ... Protective layer, 46 ... Adhesive material layer, 47 ... Heat radiator, 48 ... Gap, 49 ... Heat storage part, 50 ... Glass plate (covering layer), 51 ... Common wiring part, 52 ... Individual wiring part, 53, 54 ... Flexible wiring board, 55 ... Control board, 60 ... Platen, 61a, 61b ... Ribbon guide, 64 ... Filler, 65 ... Film (coating layer)

Claims (10)

一方の面に突部を有する基板と、
前記突部の上部に形成された発熱部と、
前記突部に形成された空隙部と、
前記発熱部と前記空隙部との間に配置された蓄熱部とを備え、
前記蓄熱部は、前記突部の上面を覆うように前記基板上に形成された被覆層からなる
ことを特徴とするサーマルヘッド。
A substrate having a protrusion on one side;
A heat generating part formed on the top of the protrusion;
A gap formed in the protrusion;
A heat storage part disposed between the heat generating part and the gap part,
The thermal storage unit includes a coating layer formed on the substrate so as to cover an upper surface of the protrusion.
前記被覆層は、前記基板上に接合されたガラス板である
ことを特徴とする請求項1に記載のサーマルヘッド。
The thermal head according to claim 1, wherein the coating layer is a glass plate bonded onto the substrate.
前記被覆層は、前記基板上に成膜された多層被膜である
ことを特徴とする請求項1に記載のサーマルヘッド。
The thermal head according to claim 1, wherein the coating layer is a multilayer coating film formed on the substrate.
前記突部は、ガラス材料からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のサーマルヘッド。
The thermal head according to claim 1, wherein the protrusion is made of a glass material.
前記基板の他方の面には、放熱体が接着されている
ことを特徴とする請求項1に記載のサーマルヘッド。
The thermal head according to claim 1, wherein a heat radiator is bonded to the other surface of the substrate.
一方の面に突部を有する基板を準備する工程と、
前記突部に対して前記一方の面側から空隙部を形成する工程と、
前記空隙部を覆うように前記基板上に被覆層を形成する工程と、
前記被覆層を挟んで前記空隙部の直上に発熱部を形成する工程とを有する
ことを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。
Preparing a substrate having a protrusion on one surface;
Forming a gap from the one surface side with respect to the protrusion;
Forming a coating layer on the substrate so as to cover the gap,
And a step of forming a heat generating portion directly above the gap with the coating layer interposed therebetween.
前記被覆層を形成する工程は、前記基板上に所定厚のガラス基板を接合する工程である
ことを特徴とする請求項6に記載のサーマルヘッドの製造方法。
The method of manufacturing a thermal head according to claim 6, wherein the step of forming the covering layer is a step of bonding a glass substrate having a predetermined thickness on the substrate.
前記被覆層を形成する工程は、
前記空隙部に充填材を充填する工程と、
前記基板上に真空薄膜形成法で被膜を成膜する工程と、
前記空隙部に充填した充填材を除去する工程とを有する
ことを特徴とする請求項6に記載のサーマルヘッドの製造方法。
The step of forming the coating layer includes
Filling the gap with a filler;
Forming a film on the substrate by a vacuum thin film forming method;
The method of manufacturing a thermal head according to claim 6, further comprising a step of removing the filler filled in the gap.
前記発熱部を形成した後、当該発熱部を通電するための電極を形成する工程を有する
ことを特徴とする請求項6に記載のサーマルヘッドの製造方法。
The method of manufacturing a thermal head according to claim 6, further comprising a step of forming an electrode for energizing the heat generating portion after forming the heat generating portion.
一方の面に突部を有する基板と、
前記突部の上部に形成された発熱部と、
前記突部に形成された空隙部と、
前記発熱部と前記空隙部との間に配置された蓄熱部とを備えたサーマルヘッドを有するプリンタ装置であって、
前記蓄熱部は、前記突部の上面を覆うように前記基板上に形成された被覆層からなる
ことを特徴とするプリンタ装置。

A substrate having a protrusion on one side;
A heat generating part formed on the top of the protrusion;
A gap formed in the protrusion;
A printer device having a thermal head including a heat storage unit disposed between the heat generation unit and the gap,
The heat storage unit is composed of a coating layer formed on the substrate so as to cover an upper surface of the protrusion.

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009184272A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Sony Corp Thermal head, thermal printer and manufacturing method of thermal head
JP2012201077A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Toshiba Hokuto Electronics Corp Thermal head
JP2014000728A (en) * 2012-06-19 2014-01-09 Seiko Instruments Inc Thermal head, printer and manufacturing method for thermal head

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009184272A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Sony Corp Thermal head, thermal printer and manufacturing method of thermal head
US8031215B2 (en) 2008-02-07 2011-10-04 Sony Corporation Thermal head, thermal printer and manufacturing method of thermal head
JP2012201077A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Toshiba Hokuto Electronics Corp Thermal head
JP2014000728A (en) * 2012-06-19 2014-01-09 Seiko Instruments Inc Thermal head, printer and manufacturing method for thermal head

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