JP2007275979A - Welding method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プロジェクション溶接方法に関する。 The present invention relates to a projection welding method.
プロジェクション溶接とは、以下のような溶接方法として知られている。 Projection welding is known as the following welding method.
一方の接合対象にプロジェクションと呼ばれる突起を設け、このプロジェクションと他方の接合対象を接触させる。そして、この接触面に、大電流を流すとともに圧力を掛けることで、プロジェクションを潰し、接合部材を接合する。これが、プロジェクション溶接の原理である。 One projection object is provided with a projection called a projection, and this projection is brought into contact with the other object. Then, by applying a large current and applying pressure to the contact surface, the projection is crushed and the joining member is joined. This is the principle of projection welding.
一方、プロジェクション溶接によって製造される製品として、特許文献1の圧力センサが知られている。この圧力センサは、S15C等の炭素鋼やSUS等で構成されるメタルダイアフラムを、アルミ製のハウジング内部に備え、このメタルダイアフラムへ掛かった圧力を検出するものである。
On the other hand, the pressure sensor of
特許文献1には、圧力センサの具体的な製造方法として以下の手順が開示されている。まず、ハウジングに設けられたプロジェクションと、S15C等の炭素鋼やSUS等で構成されるリングプレートとの接合面をプロジェクション溶接する。次に、このリングプレートの上にメタルダイアフラムを重ね、さらにメタルダイアフラムの上にS15C等の炭素鋼やSUS等で構成されるリングウェルドを重ねる。そして、リングウェルド側から、レーザ溶接を行い、リングウェルドとメタルダイアフラムとリングプレートとを溶接する。これにより、メタルダイアフラムは、リングプレートを介して、ハウジングに固定される。
なお、レーザ溶接において、溶接焦点に溶接対象が位置しない場合、溶接対象同士が十分に溶接されない場合がある。このため、リングウェルドが所定位置に位置するように、プロジェクション溶接時にプロジェクションが所定量潰れていることが望ましい。
プロジェクションが潰れる量にばらつきを発生させないには、プロジェクション溶接時に流す電流を精度良く制御することが必要である。しかし、プロジェクション溶接では、短時間で莫大な電流量を流す必要があるため、電流量を正確に制御することが難しい。 In order not to cause variations in the amount of collapse of the projection, it is necessary to accurately control the current that flows during projection welding. However, in projection welding, since it is necessary to flow a huge amount of current in a short time, it is difficult to accurately control the amount of current.
本発明は、上記点に鑑み、プロジェクションを潰す際に、潰れ量がばらつくことを抑制するプロジェクション溶接方法を提供することを目的とする。 In view of the above points, an object of the present invention is to provide a projection welding method that suppresses variation in the amount of crushing when crushing a projection.
上記目的を達成するために請求項1に記載の発明は、突起状のプロジェクション(30c)を備える第一部材(30)の該プロジェクション(30c)と、該第一部材(30)に対向する第二部材(35b)とを接触させ、接触面に電流を流すとともに、該接触面に対して垂直な圧力を加圧することで、該プロジェクション(30c)を潰し、該第一部材(30)と該第二部材(35b)とを接合するプロジェクション溶接方法において、前記プロジェクション(30c)が所定量潰れた以降における、前記第二部材(35b)の前記第一部材(30)に対する接近を抑制するストッパー(30d)が用いられることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention according to
このように、プロジェクションが所定量潰れた際に、ストッパーによって、第二部材と第一部材とが接近しないようにすることで、プロジェクションの潰れ量を所定量にすることができる。 In this way, when the projection is crushed by a predetermined amount, the projection is crushed by a predetermined amount by preventing the second member and the first member from approaching each other by the stopper.
請求項2に記載の発明は、突起状のプロジェクション(30c)を備える第一部材(30)の該プロジェクション(30c)と、該第一部材(30)に対向する第二部材(35b)とを接触させ、接触面に電流を流すとともに、該接触面に対して垂直な圧力を加圧することで、該プロジェクション(30c)を潰し、該第一部材(30)と該第二部材(35b)とを接合するプロジェクション溶接方法において、前記第一部材(30)において前記第二部材(35b)に対向する面、該第二部材(35b)において該第一部材(30)に対向する面の少なくとも一方に、前記プロジェクション(30c)よりも低い突起であるとともに、該プロジェクション(30c)が所定量潰れた以降における、該第二部材(35b)の該第一部材(30)に対する接近を抑制するストッパー(30d)が用いられることを特徴とする。 The invention according to claim 2 includes the projection (30c) of the first member (30) including the projection (30c) and the second member (35b) facing the first member (30). The projection (30c) is crushed by causing a current to flow through the contact surface and applying a pressure perpendicular to the contact surface, and the first member (30) and the second member (35b) In the projection welding method for joining together, at least one of the surface of the first member (30) facing the second member (35b) and the surface of the second member (35b) facing the first member (30) In addition, the projection is lower than the projection (30c), and the first member (30) of the second member (35b) after the projection (30c) is crushed by a predetermined amount. Suppressing approach stopper (30d), characterized in that the employed against.
このように、第一部材の第二部材側の面、もしくは、第二部材の第一部材側の面に、プロジェクションよりも低い突起であるストッパーを備えることで、プロジェクションの潰れ量が所定量以下である間は、潰れを阻害することない。そして、プロジェクションの潰れ量が所定量となった以降は、ストッパーが第一部材または第二部材に接触し、プロジェクションの潰れを抑制する。 Thus, by providing a stopper that is a projection lower than the projection on the surface of the first member on the second member side or the surface of the second member on the first member side, the amount of collapse of the projection is less than a predetermined amount. While it is, it does not inhibit crushing. Then, after the projection collapse amount reaches a predetermined amount, the stopper comes into contact with the first member or the second member to suppress the projection collapse.
請求項3に記載の発明は、突起状のプロジェクション(30c)を備えるとともに、第一治具(71)により支持された第一部材(30)の該プロジェクション(30c)と、該第一部材(30)に対向するとともに第二治具(73)により支持された第二部材(35b)とを接触させ、接触面に電流を流すとともに、該接触面に対して垂直な圧力を加圧することで、該プロジェクション(30c)を潰し、該第一部材(30)と該第二部材(35b)とを接合するプロジェクション溶接方法において、前記プロジェクション(30c)と前記第二部材(35b)とが接触した時点において、前記第一治具(71)と前記第二治具(73)との間、該第一治具(71)と該第二部材(35b)との間、該第一部材(30)と該第二治具(73)との間の少なくとも1箇所以上には所定の間隙(74)があり、前記間隙(74)は、前記プロジェクション(30c)が所定量潰れた際に、消失することを特徴とする。 The invention according to claim 3 includes the projection (30c) of the first member (30) supported by the first jig (71), the projection (30c), and the first member (30c). 30) and the second member (35b) supported by the second jig (73) is brought into contact with each other, current is passed through the contact surface, and a pressure perpendicular to the contact surface is applied. In the projection welding method in which the projection (30c) is crushed and the first member (30) and the second member (35b) are joined, the projection (30c) and the second member (35b) are in contact with each other. At the time, between the first jig (71) and the second jig (73), between the first jig (71) and the second member (35b), the first member (30 ) And the second jig (73 There is a predetermined gap (74) is more than at least one location between said gap (74), when the projection (30c) has collapsed a predetermined amount, characterized in that it disappears.
このように、第一治具と第二治具との間、または、第一治具と第二部材との間、または、第一部材と第二治具との間に、間隙を設ける。この間隙は、プロジェクションが潰れるに従って、狭くなる。さらに、この間隙は、プロジェクションが所定量潰れた時点で、無くなる。間隙が無くなった時点で、第一治具と第二治具、または、第一治具と第二部材、または、第一部材と第二治具とが接触しているため、プロジェクションはこの時点以降は潰れない。すなわち、プロジェクションの潰れ量を所定量にすることができる。 Thus, a gap is provided between the first jig and the second jig, between the first jig and the second member, or between the first member and the second jig. This gap narrows as the projection collapses. Further, this gap disappears when the projection is collapsed by a predetermined amount. When the gap disappears, the first jig and the second jig, or the first jig and the second member, or the first member and the second jig are in contact. After that it will not collapse. That is, the amount of projection collapse can be set to a predetermined amount.
請求項4に記載の発明は、前記プロジェクション(30c)および前記ストッパー(30d)は、各々、円周上に形成され、前記各々の円周は、共通の中心を持つことを特徴とする。 The invention according to claim 4 is characterized in that the projection (30c) and the stopper (30d) are each formed on a circumference, and each circumference has a common center.
プロジェクションと、ストッパーとを同心円状に形成することにより、プロジェクションとストッパーとの間の距離が一定となるため、第一部材が第二部材を安定して支持することができる。 By forming the projection and the stopper concentrically, the distance between the projection and the stopper becomes constant, so that the first member can stably support the second member.
請求項5に記載の発明は、前記ストッパー(30d)は、前記円周上に連続的に形成されることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is characterized in that the stopper (30d) is continuously formed on the circumference.
ストッパーを円周上に連続的に生成することで、環状のストッパーを形成することができる。そして、環状であるため、ストッパーは、第二部材の全周に接触することができ、安定して第二部材を支持することが可能となる。 An annular stopper can be formed by continuously generating the stopper on the circumference. And since it is cyclic | annular, a stopper can contact the perimeter of a 2nd member, and it becomes possible to support a 2nd member stably.
請求項6に記載の発明は、前記ストッパー(30d)は、前記円周上に断続的に形成されるとともに、少なくとも3点以上で前記第二部材(35b)を支持することを特徴とする。 The invention according to claim 6 is characterized in that the stopper (30d) is intermittently formed on the circumference and supports the second member (35b) at at least three points.
ストッパーを円周上に断続的に形成することで、ストッパーの体積を少なくすることができ、環状にストッパーを生成する場合に比べて軽量化可能である。 By forming the stopper intermittently on the circumference, the volume of the stopper can be reduced, and the weight can be reduced compared to the case where the stopper is formed in an annular shape.
請求項7に記載の発明は、前記ストッパー(30d)と、前記プロジェクション(30c)とは、異なる部材に形成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 7 is characterized in that the stopper (30d) and the projection (30c) are formed on different members.
ストッパーと、プロジェクションとを別々の部材に形成することで、各部材の特長を備えたストッパーおよびプロジェクションを形成できる。例えば、ストッパーを押圧に対して潰れ難い素材で形成し、プロジェクションを押圧に対して潰れ易い素材で形成すれば、低い押圧力でプロジェクション溶接を行うことができる。 By forming the stopper and the projection on separate members, it is possible to form a stopper and a projection having the features of each member. For example, if the stopper is formed of a material that is not easily crushed by pressing, and the projection is formed of a material that is easily crushed by pressing, projection welding can be performed with a low pressing force.
請求項8に記載の発明は、前記ストッパー(30d)と、前記プロジェクション(30c)とは、同じ部材に形成されていることを特徴とする。 The invention according to claim 8 is characterized in that the stopper (30d) and the projection (30c) are formed on the same member.
請求項9に記載の発明は、前記通電は、前記ストッパー(30d)が、前記第一部材(30)または前記第二部材(35b)に接触する前に停止されていることを特徴とする。 The invention according to claim 9 is characterized in that the energization is stopped before the stopper (30d) contacts the first member (30) or the second member (35b).
このように、ストッパーが、前記第一部材または前記第二部材に接触する前に、通電を終了することで、ストッパーがプロジェクションと同様に潰れてしまうことを防止することができる。 In this way, by stopping energization before the stopper comes into contact with the first member or the second member, it is possible to prevent the stopper from being crushed similarly to the projection.
請求項10に記載の発明は、前記間隙(74)は、前記プロジェクション(30c)の潰れ量と等しいことを特徴とする。
The invention according to
これにより、間隙の幅を調整することで、プロジェクションの潰れ量を調整することができる。 Thereby, the amount of collapse of the projection can be adjusted by adjusting the width of the gap.
請求項11に記載の発明は、前記第一部材(30)と、前記第二部材(35b)とは、異種金属であることを特徴とする。 The invention according to claim 11 is characterized in that the first member (30) and the second member (35b) are made of different metals.
これにより、例えば、第一部材を酸化に強い金属、第二部材を軽量な金属などとすることができる。 Thereby, for example, the first member can be made of a metal resistant to oxidation, and the second member can be made of a lightweight metal.
請求項12に記載の発明は、前記第一部材(30)はSUSにより構成され、前記第二部材(35b)はアルミニウムにより構成されることを特徴とする。
The invention according to
これにより、第一部材は腐食に強いSUSで構成され、第二部材は軽量なアルミニウムを用いることができる。 Accordingly, the first member is made of SUS that is resistant to corrosion, and lightweight aluminum can be used for the second member.
請求項13に記載の発明は、前記第一部材(30)はアルミニウムにより構成され、前記第二部材(35b)はSUSにより構成されることを特徴とする。
The invention according to
これにより、第一部材は軽量なアルミニウムで構成され、第二部材は腐食に強いSUSを用いることができる。 Thereby, the first member is made of lightweight aluminum, and the second member can use SUS that is resistant to corrosion.
請求項14に記載の発明は、前記ストッパー(30d)は、前記プロジェクション(30c)よりも広い面積で、該ストッパー(30d)が形成される部材に対向する部材に接することを特徴とする。
The invention according to
接触面積が広いため、ストッパーは、安定して接触する部材を支持することができる。 Since the contact area is wide, the stopper can support a member that makes stable contact.
請求項15に記載の発明は、前記ストッパー(30d)は、前記プロジェクション(30c)よりも狭い面積で、該ストッパー(30d)が形成される部材に対向する部材に接することを特徴とする。
The invention according to
これにより、プロジェクションの溶接面積を広くすることができ、堅固な溶接を行うことが可能である。 Thereby, the welding area of a projection can be enlarged and it is possible to perform firm welding.
請求項16に記載の発明は、前記溶接方法は圧力センサ(S1)を生成する際の溶接方法であって、前記第一部材は、ハウジング(30)であり、前記第二部材は、リングプレート(35b)であり、前記リングプレート(35b)の外周には、メタルダイアフラム(34)が接合され、前記メタルダイアフラム(34)の外周にはリングウェルド(35a)が接合され、前記リングウェルド(35a)は、ケース(10)に接合され、前記メタルダイアフラム(34)と前記リングウェルド(35)および前記ケース(10)によって囲まれる部分を圧力検出室(40)として、該圧力検出室(40)内に前記センシング部(20)が配置された圧力センサ(S1)を生成する際の溶接方法であることを特徴とする。 The invention according to claim 16 is the welding method when the welding method generates the pressure sensor (S1), wherein the first member is a housing (30), and the second member is a ring plate. (35b), a metal diaphragm (34) is joined to the outer periphery of the ring plate (35b), a ring weld (35a) is joined to the outer periphery of the metal diaphragm (34), and the ring weld (35a) ) Is joined to the case (10), and a portion surrounded by the metal diaphragm (34), the ring weld (35) and the case (10) is defined as a pressure detection chamber (40), and the pressure detection chamber (40) It is a welding method at the time of producing | generating the pressure sensor (S1) by which the said sensing part (20) is arrange | positioned in the inside, It is characterized by the above-mentioned.
このように、リングプレートを備え、このリングプレートをハウジングの一面に接合したのち、このリングプレートの上にメタルダイアフラムおよびリングウェルドを配置し、これらを接合するようにしている。そして、ストッパーを用いてプロジェクションの潰れ量を一定とすることで、リングプレートとハウジングとの接合面を平らにでき、リングプレートとハウジングとを強固に接合できる。 As described above, the ring plate is provided, and after the ring plate is joined to one surface of the housing, the metal diaphragm and the ring weld are arranged on the ring plate so as to join them. Then, by using the stopper to make the projection collapse constant, the joint surface between the ring plate and the housing can be flattened, and the ring plate and the housing can be firmly joined.
そして、このようなリングプレートの上にメタルダイアフラムおよびリングウェルドを載せ、これらを接合する場合、これら各部品はそれぞれ同質の金属材料で構成されていることから、容易に溶接される。 When a metal diaphragm and a ring weld are placed on such a ring plate and joined together, these parts are easily welded because they are made of the same metal material.
したがって、メタルダイアフラムとハウジングとが異種金属材料によって構成されていても、これらを確実に接合できると共に、これらの間のシール性を確保することができる。 Therefore, even if the metal diaphragm and the housing are made of different metal materials, they can be reliably joined and the sealing performance between them can be ensured.
請求項17に記載の発明は、前記リングプレート(35b)の厚さは、0.3mm以上に設定されていることを特徴とする。 The invention according to claim 17 is characterized in that the thickness of the ring plate (35b) is set to 0.3 mm or more.
請求項18に記載の発明は、前記リングプレート(35b)の厚さは1.0〜1.5mmに設定されていることを特徴とする。 The invention according to claim 18 is characterized in that the thickness of the ring plate (35b) is set to 1.0 to 1.5 mm.
以下、実施例1から実施例3を用いて、本発明を実施するための最良の形態を述べる。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described using Examples 1 to 3.
〔実施例1〕
図1から図5を用いて、本発明のプロジェクション溶接を用いて生成された圧力センサについて説明する。図1に、実施例1における圧力センサS1の断面図を示すと共に、図2に図1の枠A領域の拡大図を示し、これらの図に基づいて説明する。なお、この圧力センサS1は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力を検出するものに適用される。
[Example 1]
The pressure sensor produced | generated using the projection welding of this invention is demonstrated using FIGS. 1-5. FIG. 1 shows a cross-sectional view of the pressure sensor S1 in the first embodiment, and FIG. 2 shows an enlarged view of the frame A region in FIG. 1 and will be described based on these drawings. In addition, this pressure sensor S1 is applied to what detects the refrigerant | coolant pressure in the refrigerant | coolant piping of the motor vehicle air conditioner mounted, for example.
図1に示されるように、第1のケースとしてのコネクタケース10は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施例1では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース10の一端部(図1中、下方側の端部)には、凹部11が形成されている。
As shown in FIG. 1, a
この凹部11の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子20が配設されている。
A
センサ素子20は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、このダイアフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。
The
そして、センサ素子20は、ガラス等よりなる台座21に陽極接合等により一体化されており、この台座21を凹部11の底面に接着することで、センサ素子20はコネクタケース10に搭載されている。
The
また、コネクタケース10には、センサ素子20と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル12が貫通している。
In addition, a plurality of metal rod-shaped
本実施例1では、ターミナル12は黄銅(真鍮)にメッキ処理(例えばNiメッキ)を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース10と一体に成形されることによってコネクタケース10内にて保持されている。
In the first embodiment, the terminal 12 is made of a material in which brass (brass) is plated (for example, Ni plating), and is held in the
各ターミナル12の一端側(図1中、下方端側)の端部は、センサ素子20の搭載領域の周囲において凹部11の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル12の他端側(図1中、上方端側)の端部は、コネクタケース10の他端側の開口部15内に露出している。
The end of each terminal 12 on one end side (the lower end side in FIG. 1) is disposed so as to protrude from the bottom surface of the recess 11 around the mounting area of the
この凹部11内に突出する各ターミナル12の一端部とセンサ素子20とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ13により結線され電気的に接続されている。
One end of each terminal 12 protruding into the recess 11 and the
また、凹部11内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤14が設けられており、このシール剤14によって、凹部11に突出するターミナル12の根元部とコネクタケース10との隙間が封止されている。
Further, a sealing
一方、図1において、コネクタケース10の他端部(図1中、上方側の端部)側は開口部15となっており、この開口部15は、ターミナル12の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材(図示せず)を介して上記外部回路(車両のECU等)に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。
On the other hand, in FIG. 1, the other end portion (the upper end portion in FIG. 1) side of the
つまり、開口部15内に露出する各ターミナル12の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子20と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ13およびターミナル12を介して行われるようになっている。
That is, the other end side of each terminal 12 exposed in the
また、図1に示されるように、コネクタケース10の一端部には、第2のケースとしてのハウジング30が組み付けられている。具体的には、ハウジング30には収容凹部30aが形成されており、この収容凹部30a内にコネクタケース10の一端側が挿入されることで、コネクタケース10にハウジング30が組みつけられた構成となっている。
As shown in FIG. 1, a
これにより、第1のケースとしてのコネクタケース10と第2のケースとしてのハウジング30とが一体に組み付けられてなるケーシング100が構成されており、このケーシング100内にセンサ素子20が設けられた形となっている。
Thus, a
このハウジング30は、例えばアルミニウム(Al)ややジュラルミン等の測定対象物と同種の軽金属材料よりなるものであり、測定対象物からの測定圧力が導入される圧力導入孔31を有する。上述したように、測定対象物としては、たとえば自動車エアコンの冷媒配管などであり、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力などである。
The
さらに、コネクタケース10の先端面10aとハウジング30における収容凹部30aのうちコネクタケース10の先端面10aと対向する一面30bとの間に、図2に示されるように、薄いメタルダイアフラム34がリングウェルド(押さえ部材)35aおよびメタルダイアフラム34よりも厚肉のリングプレート35bに挟まれた状態で配置されている。これらは溶接により互いに接合されている。
Further, as shown in FIG. 2, a
メタルダイアフラム34は、例えばSUS630系等の金属で構成され、リングウェルド35aは、例えばSUS316L等の金属で構成されている。リングプレート35bは、例えばSUS316L等のSUS材や、炭素鋼で構成されるのが望ましいが、SUSとAl材あるいは鉄材とAl材のクラッド材で構成されていても良い。また、このリングプレート35bの厚さは、0.3mm以上であればよいが、1.0〜1.5mm程度であればより好ましい。
The
図3は、図1のB−B面における断面図である。この図3に示すように、ハウジング30の一面30bのうち、リングプレート35bが接触する部位には、リング状の突起部(プロジェクション)30cおよびストッパー30dが環状に形成されており、リングプレート35bは、この突起部30cにてハウジング30に全周抵抗溶接されるとともに、ストッパー30dに支持されることで、圧力導入孔31の一端に気密接合されたものとなっている。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along plane BB in FIG. As shown in FIG. 3, a ring-shaped projection (projection) 30c and a
そして、図1に示されるように、ハウジング30のうち収容凹部30a側の端部がコネクタケース10の一端部にかしめられることで、かしめ部36が形成され、それによって、ハウジング30とコネクタケース10とが固定され一体化されている。
As shown in FIG. 1, the end portion on the
こうして組み合わせられたコネクタケース10とハウジング30とにおいて、コネクタケース10の凹部11とハウジング30のダイアフラム34との間で、圧力検出室40が構成されている。
In the
この圧力検出室40には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル(フッ素オイル等)が充填され封入されている。すなわち、凹部11にはセンサ素子20及びワイヤ13等の電気接続部分を覆うようにオイルが充填され、ダイアフラム34により覆われて封止された形となる。
The pressure detection chamber 40 is filled with oil (fluorine oil or the like) that is a pressure transmission medium and is a sealing liquid. That is, the recess 11 is filled with oil so as to cover the electrical connection portions such as the
このような圧力検出室40を構成することにより、圧力導入孔31から導入された圧力は、メタルダイアフラム34、オイルを介して、圧力検出室40内のセンサ素子20、ボンディングワイヤ13、ターミナル12に印加されることになる。
By constructing such a pressure detection chamber 40, the pressure introduced from the
また、本実施例1の圧力センサにおいては、コネクタケース10の先端面10aに、圧力検出室40の外周を囲むように、環状の溝(Oリング溝)42が形成され、この溝42内には、圧力検出室40を気密封止するためのOリング43が配設されている。
In the pressure sensor according to the first embodiment, an annular groove (O-ring groove) 42 is formed on the
このOリング43は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース10とハウジング30とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム34とOリング43とにより圧力検出室40が封止され閉塞される。
The O-
次に、上記圧力センサS1の製造方法について説明する。 Next, a manufacturing method of the pressure sensor S1 will be described.
まず、ターミナル12がインサート成形されたコネクタケース10を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース10の凹部11内へセンサ素子20を台座21を介し接着固定する。
First, the
そして、凹部11内へシール剤14を注入し、シール剤14を、凹部11の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤14がセンサ素子20の表面に付着しないように、注入量を調整する。
Then, the sealing
続いて、注入したシール剤14を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル12の一端部とセンサ素子20とをボンディングワイヤ13で結線し、電気的に接続する。
Subsequently, the injected sealing
そして、センサ素子20側を上にしてコネクタケース10を配置し、コネクタケース10の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイルを、凹部11へ一定量注入する。
Then, the
以下、図4(a)から(e)および図5(a)から(c)を用いて、リングプレート35bおよびリングウェルド35aをハウジング30に溶接固定し、溶接固定後のハウジング30とコネクタケース10とを合体させる流れを説明する。
4A to 4E and FIGS. 5A to 5C, the
図4(a)のように、リングプレート35bに対して、収容凹部方向から突起部方向に押圧し、リングプレート35bをハウジング30における収容凹部30a内に挿入する。このとき、突起部30cの全高がストッパー30dの全高よりも高いため、リングプレート35bは突起部30cに接触する。このとき、リングプレート35bと突起部30cとの間に電流を通電する。なお、図5(a)の時刻t0が電流の通電開始時刻である。溶接に使用する電流は、10kAから300kA程度と大電流であるため、図5(a)に示すように目標の電流値に到達する時刻がt2となり、若干の遅れ時間が発生する。一方、t0からt2の間においても、突起部30cには電流が流れているため、図5(b)の時刻t0からt2に示すように、この突起部30cの温度が上昇する。この図5(b)の温度T1とは、リングプレート35bを押圧した際に、突起部30cが潰れる最低温度である。このため、突起部30cの温度がT1以上となる時刻t1以降、図5(c)に示すように突起部30cが潰れ始める。
As shown in FIG. 4A, the
t2以降も、突起部30cに通電を行うと、図5(b)の時刻t3に示すように、突起部30cの温度が一定値に飽和する。さらに、図5(a)に示すように、t3以降のt4において、通電を停止する。これにより、図5(b)の時刻t4以降に示すように、突起部30cの温度低下が始まる。しかしながら、通電を停止した後(t4以降)も、突起部30cの温度がT1以上である間は、突起部30cは潰れ可能である。
Even after t2, when energization is performed on the
図5(b)および図5(c)のt5は、図4(b)に示すように、リングプレート35bがストッパー30dに接触した時刻である。この時、図5(b)のように、t5では、突起部30cの温度はT2(T2>T1)であり、突起部30cは潰れ可能状態である。しかし、図4(b)に示すようにリングプレート35bがストッパー30dに接触しているため、図5(c)のt5以降において突起部30cは潰れない。なお、この時刻t5では、既に通電が停止されているため、ストッパー30dの温度は低く、ストッパー30dが潰れることはない。このようにストッパー30dを用いることで、リングプレート35bは、突起部30cを所定量だけ潰しながら、ハウジング30に抵抗溶接される。
As shown in FIG. 4B, t5 in FIGS. 5B and 5C is the time when the
この後、図4(c)のようにリングプレート35bの上にリングウェルド35aを配置する。次に、図4(d)のように、リングウェルド35aの上面側からのレーザ溶接などにより、リングウェルド35a−メタルダイアフラム34−リングプレート35bの接合を行う。このとき、メタルダイアフラム34、リングウェルド35aおよびリングプレート35bは、すべて同質金属もしくは接合可能な金属で構成されていることから、容易に接合を行うことができる。
Thereafter, the
続いて、図4(e)に示すように、メタルダイアフラム34およびリングウェルド35a等と共にハウジング30を上から水平を保ったまま、コネクタケース10に嵌合するように降ろす。そして、この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室40内の余分な空気を除去する。
Subsequently, as shown in FIG. 4E, the
その後、コネクタケース10の先端面とハウジング30の一面30bとが十分接するまで押さえることによって、図2に示したメタルダイアフラム34とOリング43によってシールされた圧力検出室40が形成される。
Thereafter, the pressure detection chamber 40 sealed by the
最後に、ハウジング30の端部をコネクタケース10の一端側にかしめることにより、かしめ部36を形成する。こうして、ハウジング30とコネクタケース10とを一体化することにより、かしめ部36によるコネクタケース10とハウジング30との組み付け固定がなされる。このようにして、図1に示される圧力センサS1が完成する。
Finally, the
かかる圧力センサS1の基本的な圧力検出動作について述べる。 A basic pressure detection operation of the pressure sensor S1 will be described.
圧力センサS1は、たとえば、ハウジング30を車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付ける。そして、該配管内の圧力がハウジング30の圧力導入孔31より圧力センサS1内に導入される。
For example, the pressure sensor S1 attaches the
すると、導入された圧力がメタルダイアフラム34から圧力検出室40内のオイルを介して、センサ素子20の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子20から出力される。
Then, the introduced pressure is applied from the
このセンサ信号は、センサ素子20からワイヤ13、ターミナル12を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサS1における圧力検出が行われる。
This sensor signal is transmitted from the
以上説明したように、本実施例1の圧力センサS1は、リングプレート35bとハウジング30に設けられた突起部30cとが抵抗溶接される際において、突起部30cの潰れ量が所定量となったときに、ハウジング30に設けられたストッパー30dにリングプレート35bが接触する。これにより、突起部30cが所定量以上、潰れることを抑制することができ、突起部30cの潰れ量を所定量とすることができる。これにより、ハウジング30に対して、リングプレート35bを所定位置に配置することができるため、リングプレート35bに積層するメタルダイアフラム34およびリングウェルド35aも所定位置に配置可能である。
As described above, in the pressure sensor S1 of the first embodiment, when the
以下、突起部30cの潰れ量が所定量となることによる効果について述べる。第一の効果としては、リングウェルド35aが所定位置に存在するため、図4(d)のように、リングウェルド35aの上面側からのレーザ溶接を行う際に、レーザの焦点を正確に設定することができる。
Hereinafter, an effect obtained when the amount of collapse of the
また、第二の効果としては、リングプレート35bが突起部30cの他にストッパー30dによって支持されるため、リングプレート35bをハウジング30に強固に固定することができる。
As a second effect, since the
〔実施例2〕
図6を用いて実施例2について説明する。この実施例2はストッパー35dが治具に備えられている点で実施例1と異なる。なお、前述の実施例1と同等の構成については、実施例1と同様の符号を付し、本実施例2における説明を省略する。
[Example 2]
Example 2 will be described with reference to FIG. The second embodiment differs from the first embodiment in that a stopper 35d is provided on the jig. In addition, about the structure equivalent to above-mentioned Example 1, the code | symbol similar to Example 1 is attached | subjected and description in this Example 2 is abbreviate | omitted.
図6(a)から(d)は、リングプレート35bをハウジング30にプロジェクション溶接する流れを表す。図6(a)に示すように、ハウジング30をハウジング固定治具71に固定した状態で、リングプレート35bをハウジング30内部に挿入し、リングプレート35bを突起部30cに接触させる。
6A to 6D show a flow of projection welding the
そして、図6(b)に示すように、位置決め治具72をリングプレート35bに通し、リングプレート35bの延設方向へのずれを抑制する。
And as shown in FIG.6 (b), the
次に、図6(c)に示すように、押圧治具73をハウジング30と位置決め治具72との隙間に挿入し、リングプレート35bをハウジング方向へ押圧するとともにリングプレート35dに通電する。このとき、リングプレート35dは突起部30cに接触しているため、通電可能である。突起部30cは、この図6(c)以降、通電により発熱し、押圧治具73の押圧によって潰れる。なお、図6(c)に示すように、固定治具71と押圧治具73とはクリアランス74を挟んで対向している。そして、枠Cのように、クリアランス74を挟んだ固定治具71と押圧治具73の一部がストッパー30dとなる。
Next, as shown in FIG. 6C, the pressing
図6(c)以降、さらに通電と加圧とを行うと、図6(d)のように固定治具71と押圧治具73との間にあったクリアランス74が無くなり、両治具が接触する。このため、図6(d)以降は、通電と加圧を行ったとしても、突起部30cは潰れない。
After energization and pressurization after FIG. 6C, the
このように、治具間にクリアランス74を設け、これを用いて突起部30cを所定量だけ潰れるようにすることができる。
As described above, the
〔実施例3〕
図7を用いて実施例3について説明する。この実施例3は、ハウジング30のかしめ部36がストッパー機能を備える点で実施例2と異なる。なお、前述の各実施例と同等の構成については、各実施例と同様の符号を付し、本実施例3における説明を省略する。
Example 3
Example 3 will be described with reference to FIG. The third embodiment is different from the second embodiment in that the
図7(a)および(b)は、リングプレート35bをハウジング30にプロジェクション溶接する流れを表す。図7(a)に示すように、ハウジング30は固定治具71に固定され、リングプレート35bは、突起部30cに接触するとともに、位置決め治具72によってリングプレート35bの延設方向へのずれを抑制された状態となっている。さらに、図7(a)は、押圧治具73が、実施例2と同様にリングプレート35bを突起部30c方向に押圧するとともに、通電を開始した際の図である。なお、このとき、押圧治具73とハウジング30のかしめ部36間には若干のクリアランス74が存在する。そして、枠Dのように、クリアランス74を挟んだかしめ部36と押圧治具73の一部がストッパー30dとなる。
7A and 7B show a flow of projection welding the
この図7(a)の状態から、さらに押圧と通電を行うと、突起部30cが潰れ、リングプレート35bがハウジング30方向へ接近する。その後、図7(b)に示すように、ハウジングのかしめ部36が、押圧治具に接触する。このため、図7(b)以降は、通電と加圧を行ったとしても、突起部30cは潰れない。
When further pressing and energization are performed from the state of FIG. 7A, the
このように、実施例2のように治具間にクリアランスを設ける方法以外にも、ハウジング30のかしめ部36などの突出部分と治具とのクリアランス74を利用しても、突起部30cを所定量だけ潰れるようにすることができる。
As described above, in addition to the method of providing the clearance between the jigs as in the second embodiment, the
なお、かしめ部36は、図7(b)の後工程でハウジング30にコネクタケース10などを固定した後、内側にかしめることで、ハウジング30とコネクタケース10とを固定することが可能である。
The
〔その他の実施例〕
前述の実施例1のストッパー30dは、突起部30cの円周内側に位置するリング状(環状)であった。しかし、ストッパー30dは、突起部30cの円周外側に位置するリングであっても良いし、図8のようにリング上の一部分だけがストッパーとなっていても良い。また、ストッパー30dは、リングプレート35bを支持することから、リング状の突起部30cと同じ中心を持つ同心円上にあることが好ましい。しかしながら、ストッパーを、突起部30cと同じ同心円上以外の場所に位置していたとしても、突起部30cが所定量以上潰れないようにする効果と、リングプレート35bを支持する効果とを奏することができる。
[Other Examples]
The
また、突起部30cのリングプレート側の面積と、ストッパー30dのリングプレート側の面積は、どちら一方が広くても良い。突起部側の面積が、ストッパー側の面積よりも広い場合、リングプレート35bは広い範囲で溶接される。一方、ストッパー側の面積が、突起部側の面積よりも広い場合、リングプレート35bは広い面積で支持される。これにより、リングプレート35bが安定して支持されるとともに、リングプレート35bが所定距離以下まで接近することを抑制することができる。
Further, either the area of the
前述の実施例2および実施例3では、ストッパー35dが機能する時まで、すなわちクリアランス74が消失する時まで、突起部35cへの通電を行っていた。しかし、実施例1のように、ストッパー35dが機能する前、すなわちクリアランス74が消失する前に、突起部35cへの通電を終了しておき、通電終了からストッパー35dが機能するまでの間は、突起部35cが余熱で潰れるようにすれば、無駄な通電を行わずにプロジェクション溶接を行うことが可能である。
In Example 2 and Example 3 described above, energization to the protrusion 35c is performed until the stopper 35d functions, that is, until the
S1 圧力センサ
10 コネクタケース
11 凹部
12 ターミナル
13 ボンディングワイヤ
14 シール剤
15 開口部
20 センサ素子
21 台座
30 ハウジング
30a 収容凹部
30b 一面
30c 突起部
30d ストッパー
31 圧力導入孔
34 メタルダイアフラム
35a リングウェルド
35b リングプレート
36 かしめ部
40 圧力検出室
42 環状の溝(Oリング溝)
43 Oリング
71 固定治具
72 位置決め治具
73 押圧治具
74 クリアランス
100 ケーシング
43 O-
Claims (18)
前記プロジェクション(30c)が所定量潰れた以降における、前記第二部材(35b)の前記第一部材(30)に対する接近を抑制するストッパー(30d)が用いられることを特徴とするプロジェクション溶接方法。 The projection (30c) of the first member (30) including the projection-like projection (30c) is brought into contact with the second member (35b) facing the first member (30), and current is passed through the contact surface. In addition, in the projection welding method of crushing the projection (30c) by applying a pressure perpendicular to the contact surface, and joining the first member (30) and the second member (35b),
A projection welding method, wherein a stopper (30d) is used to suppress the approach of the second member (35b) to the first member (30) after the projection (30c) is crushed by a predetermined amount.
前記第一部材(30)において前記第二部材(35b)に対向する面、該第二部材(35b)において該第一部材(30)に対向する面の少なくとも一方に、前記プロジェクション(30c)よりも低い突起であるとともに、該プロジェクション(30c)が所定量潰れた以降における、該第二部材(35b)の該第一部材(30)に対する接近を抑制するストッパー(30d)が用いられることを特徴とするプロジェクション溶接方法。 The projection (30c) of the first member (30) including the projection-like projection (30c) is brought into contact with the second member (35b) facing the first member (30), and current is passed through the contact surface. In addition, in the projection welding method of crushing the projection (30c) by applying a pressure perpendicular to the contact surface, and joining the first member (30) and the second member (35b),
From the projection (30c) to at least one of the surface of the first member (30) facing the second member (35b) and the surface of the second member (35b) facing the first member (30). And a stopper (30d) that suppresses the approach of the second member (35b) to the first member (30) after the projection (30c) is crushed by a predetermined amount. Projection welding method.
前記プロジェクション(30c)と前記第二部材(35b)とが接触した時点において、前記第一治具(71)と前記第二治具(73)との間、該第一治具(71)と該第二部材(35b)との間、該第一部材(30)と該第二治具(73)との間の少なくとも1箇所以上には所定の間隙(74)があり、
前記間隙(74)は、前記プロジェクション(30c)が所定量潰れた際に、消失することを特徴とするプロジェクション溶接方法。 The projection (30c) is provided, and the projection (30c) of the first member (30) supported by the first jig (71) is opposed to the first member (30) and the second jig is supported. The projection (30c) is crushed by bringing the second member (35b) supported by the tool (73) into contact, causing a current to flow through the contact surface, and applying a pressure perpendicular to the contact surface, In the projection welding method for joining the first member (30) and the second member (35b),
When the projection (30c) and the second member (35b) contact each other, the first jig (71) and the first jig (71) are interposed between the first jig (71) and the second jig (73). There is a predetermined gap (74) in at least one place between the second member (35b) and the first member (30) and the second jig (73).
The projection welding method according to claim 1, wherein the gap (74) disappears when the projection (30c) is crushed by a predetermined amount.
前記各々の円周は、共通の中心を持つことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプロジェクション溶接方法。 The projection (30c) and the stopper (30d) are each formed on a circumference,
The projection welding method according to claim 1, wherein each circumference has a common center.
前記第一部材は、ハウジング(30)であり、
前記第二部材は、リングプレート(35b)であり、
前記リングプレート(35b)の外周には、メタルダイアフラム(34)が接合され、
前記メタルダイアフラム(34)の外周にはリングウェルド(35a)が接合され、
前記リングウェルド(35a)は、ケース(10)に接合され、
前記メタルダイアフラム(34)と前記リングウェルド(35)および前記ケース(10)によって囲まれる部分を圧力検出室(40)として、該圧力検出室(40)内に前記センシング部(20)が配置された圧力センサ(S1)を生成する際の溶接方法であることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれかに記載のプロジェクション溶接方法。 The welding method is a welding method when generating the pressure sensor (S1),
The first member is a housing (30);
The second member is a ring plate (35b),
A metal diaphragm (34) is joined to the outer periphery of the ring plate (35b),
A ring weld (35a) is joined to the outer periphery of the metal diaphragm (34),
The ring weld (35a) is joined to the case (10),
A portion surrounded by the metal diaphragm (34), the ring weld (35) and the case (10) is defined as a pressure detection chamber (40), and the sensing unit (20) is disposed in the pressure detection chamber (40). The projection welding method according to any one of claims 1 to 15, wherein the projection welding method is a welding method for generating a pressure sensor (S1).
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012197989A (en) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Fuji Koki Corp | Expansion valve |
EP2514549A1 (en) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | NHK SPRING Co., Ltd. | Projection welding apparatus, projection welding method and projection welding structure |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0433779A (en) * | 1990-05-30 | 1992-02-05 | Honda Motor Co Ltd | Welding and joining method for two metallic members with metallic plate between |
JPH06185616A (en) * | 1992-12-15 | 1994-07-08 | Origin Electric Co Ltd | Diaphragm type parts and manufacture thereof |
JPH06246460A (en) * | 1993-02-25 | 1994-09-06 | Yajima Giken Kk | Resistance welding machine |
JPH0825058A (en) * | 1994-07-08 | 1996-01-30 | Hitachi Ltd | Projection welding method |
JPH09182975A (en) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Daihatsu Motor Co Ltd | Spot welding electrode with positioning mechanism |
JP2000202638A (en) * | 1999-01-08 | 2000-07-25 | Origin Electric Co Ltd | Method for resistance welding and objects to be welded |
JP2002219574A (en) * | 2001-01-25 | 2002-08-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Manufacturing method for package |
JP2005106528A (en) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Toyoda Mach Works Ltd | Pressure sensor and its manufacturing method |
JP2005221315A (en) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Denso Corp | Pressure sensor |
JP2006084293A (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Denso Corp | Pressure sensor |
-
2006
- 2006-04-11 JP JP2006109041A patent/JP4747922B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0433779A (en) * | 1990-05-30 | 1992-02-05 | Honda Motor Co Ltd | Welding and joining method for two metallic members with metallic plate between |
JPH06185616A (en) * | 1992-12-15 | 1994-07-08 | Origin Electric Co Ltd | Diaphragm type parts and manufacture thereof |
JPH06246460A (en) * | 1993-02-25 | 1994-09-06 | Yajima Giken Kk | Resistance welding machine |
JPH0825058A (en) * | 1994-07-08 | 1996-01-30 | Hitachi Ltd | Projection welding method |
JPH09182975A (en) * | 1995-12-28 | 1997-07-15 | Daihatsu Motor Co Ltd | Spot welding electrode with positioning mechanism |
JP2000202638A (en) * | 1999-01-08 | 2000-07-25 | Origin Electric Co Ltd | Method for resistance welding and objects to be welded |
JP2002219574A (en) * | 2001-01-25 | 2002-08-06 | Matsushita Electric Works Ltd | Manufacturing method for package |
JP2005106528A (en) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Toyoda Mach Works Ltd | Pressure sensor and its manufacturing method |
JP2005221315A (en) * | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Denso Corp | Pressure sensor |
JP2006084293A (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Denso Corp | Pressure sensor |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012197989A (en) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Fuji Koki Corp | Expansion valve |
EP2514549A1 (en) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | NHK SPRING Co., Ltd. | Projection welding apparatus, projection welding method and projection welding structure |
US9205510B2 (en) | 2011-04-19 | 2015-12-08 | Nhk Spring Co., Ltd. | Projection welding apparatus, projection welding method and projection welding structure |
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Publication number | Publication date |
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