JP2007261167A - Inkjet recording head - Google Patents

Inkjet recording head Download PDF

Info

Publication number
JP2007261167A
JP2007261167A JP2006091078A JP2006091078A JP2007261167A JP 2007261167 A JP2007261167 A JP 2007261167A JP 2006091078 A JP2006091078 A JP 2006091078A JP 2006091078 A JP2006091078 A JP 2006091078A JP 2007261167 A JP2007261167 A JP 2007261167A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
recording head
jet recording
ink jet
nozzles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006091078A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Hasegawa
研二 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2006091078A priority Critical patent/JP2007261167A/en
Publication of JP2007261167A publication Critical patent/JP2007261167A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To make defects of an image by an ink hitting time difference hard to occur by reducing a distance between discharging port rows when ink feeding ports are arranged under a zigzag form. <P>SOLUTION: A distance L between the discharging port rows is made smaller by arranging discharging ports 102 along one edge on the internal side of an ink feeding port 110 of a two-row zigzag arrangement. Thus, the ink hitting time difference is made smaller. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体に外部からエネルギーを加えることによって、所望の液体を吐出するインクジェット記録ヘッド、特に、熱エネルギーで液体を加熱発泡させて発生する運動エネルギーを利用して液体を吐出するインクジェット記録ヘッドに関するものである。   The present invention relates to an ink jet recording head that discharges a desired liquid by applying energy to the liquid from the outside, and in particular, an ink jet recording head that discharges a liquid using kinetic energy generated by heating and foaming the liquid with thermal energy. It is about.

この種のインクジェット記録ヘッドに関し、例えば特開昭54-51837に記載されているインクジェット記録法は、熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の原動力を得るという点において、他のインクジェット記録方法とは異なる特徴を有している。即ち、上述の公報に開示されている記録法は、熱エネルギーの作用を受けた液体が加熱されて気泡を発生し、この気泡発生に基づく作用力によって、記録ヘッド部先端のオリフィスから液滴が形成され、この液滴が被記録部材に付着して情報の記録が行われるということを特徴としている。この記録法に適用される記録ヘッドは、一般に液体を吐出するために設けられたオリフィスと、このオリフィスに連通して液滴を吐出するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部及び熱エネルギーを発生する手段である熱変換体としての発熱抵抗層とそれをインクから保護する上部保護層と蓄熱するための下部層を具備している。   With respect to this type of ink jet recording head, for example, the ink jet recording method described in Japanese Patent Laid-Open No. Sho 54-51837 is another ink jet recording method in that it provides thermal energy to a liquid to obtain droplet driving force. It has different characteristics. That is, in the recording method disclosed in the above publication, the liquid subjected to the action of thermal energy is heated to generate bubbles, and droplets are discharged from the orifice at the tip of the recording head by the action force based on the generation of bubbles. It is characterized in that information is recorded by forming the droplets on the recording member. A recording head applied to this recording method generally includes an orifice provided for ejecting a liquid, and a heat acting portion that is a portion where heat energy for ejecting droplets communicated with the orifice acts on the liquid. A liquid discharge section having a liquid flow path having a liquid crystal structure as a part, a heating resistance layer as a heat conversion body that is a means for generating thermal energy, an upper protective layer that protects it from ink, and a lower layer for storing heat It has.

近年では、より高速に高精細の画像の記録を実現するため、より印字幅が広く、よりオリフィスの配置密度の高いものが要求されており、その要求に対応したインクジェット記録ヘッドの従来例を図10〜12を用いて説明する。   In recent years, in order to realize high-definition image recording at a higher speed, there has been a demand for a wider print width and a higher arrangement density of orifices. 10 to 12 will be described.

図10は従来のインクジェット記録ヘッドの一例を示す外観斜視図で、図11は、その主要部の断面を模式的に示した模式的斜視図、図12は、その上面を模式的に示した模式的平面図である。   FIG. 10 is an external perspective view showing an example of a conventional ink jet recording head, FIG. 11 is a schematic perspective view schematically showing the cross section of the main part, and FIG. 12 is a schematic view schematically showing the top surface thereof. FIG.

このインクジェット記録ヘッドは、シリコン基板101上にヒーター111を設け、ノズル材113でノズルを形成する。インクは、シリコン基板101を貫通する穴として形成されたインク供給口110を通じてシリコン基板101の裏面から供給される。ヒーター111に電気エネルギを印加してインクを加熱、発泡させることで、インクを吐出口102から吐出させ、記録を行う。ヒーター111への電気エネルギの印加は、外部から電気コネクタ108を通じて入力される信号に応じて、電気回路基板107、フレキシブル回路基板105を通じてシリコン基板101上に設けられた、駆動素子103内のトランジスタ回路によって行われる。駆動素子103にはその実装部にインクが進入するのを防止するため、封止材112が盛られている。このようなインクジェット記録ヘッドに、高密度、高精度のノズル及び吐出口を形成する方法として特開平5-330066,及び特開平6-286149に示されている方法が提案されている。また、インク供給口110の形成については、特開平10-138478に開示されているような、Si(110)基板に垂直エッチした供給口形成する方法が知られている。   In this ink jet recording head, a heater 111 is provided on a silicon substrate 101 and nozzles are formed by a nozzle material 113. Ink is supplied from the back surface of the silicon substrate 101 through an ink supply port 110 formed as a hole penetrating the silicon substrate 101. By applying electric energy to the heater 111 to heat and foam the ink, the ink is ejected from the ejection port 102 and recording is performed. Application of electric energy to the heater 111 is performed by a transistor circuit in the driving element 103 provided on the silicon substrate 101 through the electric circuit board 107 and the flexible circuit board 105 in accordance with a signal input from the outside through the electric connector 108. Is done by. The driving element 103 is provided with a sealing material 112 for preventing ink from entering the mounting portion. As methods for forming high-density, high-precision nozzles and ejection openings in such an ink jet recording head, methods disclosed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 5-330066 and 6-286149 have been proposed. As for the formation of the ink supply port 110, there is known a method of forming a supply port etched perpendicularly to the Si (110) substrate as disclosed in JP-A-10-138478.

このような構成のインクジェット記録ヘッドを長尺化する場合は、上記の手法にて形成されたインク供給口を、図12に示すように、1列のノズル列に対し、複数個のインク供給口110を設け、シリコン基板301の機械的強度を保つための梁115が設けられている。また、サイズの小さいインクジェット記録ヘッドに比べ、シリコン基板301の厚さを厚くすることでシリコン基板301の機械的強度を保つ方法が従来知られている。
特開昭54−51837号公報 特開平5−330066号公報 特開平6−286149号公報 特開平10−138478号公報
When the ink jet recording head having such a configuration is elongated, the ink supply ports formed by the above-described method are provided with a plurality of ink supply ports for one nozzle row as shown in FIG. 110 and a beam 115 for maintaining the mechanical strength of the silicon substrate 301 is provided. Further, a method for maintaining the mechanical strength of the silicon substrate 301 by increasing the thickness of the silicon substrate 301 as compared with a small-sized ink jet recording head is conventionally known.
JP 54-51837 A JP-A-5-330066 JP-A-6-286149 JP-A-10-138478

しかしながら、上記説明したような従来の構成のインクジェット記録ヘッドには以下のような問題点があった。   However, the conventional ink jet recording head as described above has the following problems.

上記の梁115を設けることで、梁にかかるノズル116が発生してしまい、このノズルでは、特にインク吐出口102までの流抵抗が大きくなり、インクのリフィル周波数が特に低くなってしまっていた。   By providing the beam 115, the nozzle 116 is generated on the beam. In this nozzle, the flow resistance to the ink discharge port 102 is particularly large, and the ink refill frequency is particularly low.

さらに、ヘッドの長尺化にともない、インク供給口110の小さなインクジェット記録ヘッドに比べ、どうしても梁115部分の機械的強度が低くなってしまい、インクジェット記録ヘッドの製造工程中での破損が多く、歩留まりの低下を招いてしまっていた。   Further, as the head becomes longer, the mechanical strength of the beam 115 part inevitably becomes lower than that of the ink jet recording head having a small ink supply port 110, and there are many damages in the manufacturing process of the ink jet recording head, and the yield. Has led to a decline.

このような問題を解決するための方法の1つとして、インク供給口110を図12のように一列に形成するのではなく、図13、図14に示すように2列の千鳥配置に並べることが考えられる。このようにすることにより、ヘッドの機械的強度を高くすることができ、かつ、梁の部分にかかるノズルが無くなるため、インクのリフィル周波数が低くなることも無い。しかしながらインク供給口を2列にすることに伴って吐出口102も2列となる。そのため、例えば、図13、図14に示す吐出口AとB、A’とB’等のように、違う列に属する吐出口によって隣り合った画素が記録される場合に、2つの吐出口列間の距離Lと、図のX方向へ走査速度に対応したインク打込時間差が生じることになる。隣り合った画素に時間差をもってインクが打込まれた場合、後から打込まれたインクが、先に打込まれた隣のインクの影響を受けその一部が隣の画素へ移動してしまう場合がある。その場合、画素当たり同種同量のインクが打込まれながら、隣合った画素で記録物の光学濃度が異なるということになり、画像としていわゆる白スジ、黒スジといった欠陥となる。このインク打込み時間差の影響は、時間差の大小、画素密度、インクの種類や打込み量、被記録材の種類によって異なるが、一般的に光沢紙など、より高画質な記録に適した被記録材において顕著であり、いずれの場合にもインクの打込み時間差が大きいほど顕著になる。   As one method for solving such a problem, the ink supply ports 110 are not formed in one line as shown in FIG. 12, but are arranged in a two-row staggered arrangement as shown in FIGS. Can be considered. By doing so, the mechanical strength of the head can be increased, and the nozzles applied to the beam portions are eliminated, so that the ink refill frequency is not lowered. However, as the ink supply ports are arranged in two rows, the ejection ports 102 are also arranged in two rows. Therefore, for example, when adjacent pixels are recorded by the discharge ports belonging to different columns, such as the discharge ports A and B, A ′ and B ′ shown in FIGS. A distance L between them and an ink placing time difference corresponding to the scanning speed in the X direction in the figure are generated. When ink is applied to adjacent pixels with a time lag, the ink that is applied later is affected by the adjacent ink that has been previously applied, and part of the ink moves to the adjacent pixel. There is. In this case, the same type and amount of ink is applied per pixel, but the optical density of the recorded material differs between adjacent pixels, resulting in defects such as so-called white stripes and black stripes. The effect of this ink driving time difference varies depending on the time difference, pixel density, ink type and amount, and type of recording material, but generally for recording materials suitable for higher image quality recording such as glossy paper. In any case, the difference is greater as the difference in the ink ejection time is larger.

本発明は、まず、インク供給口を2列千鳥状に配設し、かつ、複数の電気熱変換素子およびそれに対応したノズル、吐出口を、前記千鳥状に並んだ複数の供給口の、内側に位置する一辺に沿って配設されていることを特徴とする。このような構成をとることにより、上記従来例の、梁にかかるノズルをなくし、全てのノズルのインクリフィル特性を向上し、インクジェット記録ヘッドをより高速印字に対応できるものにするとともに、幅の細い梁状の構造をなくすことで、インクジェットの機械的強度も向上させ、さらに吐出口列の間隔Lを十分小さくすることができ、結果として前述の隣り合った画素にインクが打込まれる時間差も小さく、より高品質な記録に適したインクジェット記録ヘッドを提供するものである。   In the present invention, first, ink supply ports are arranged in a zigzag pattern in two rows, and a plurality of electrothermal conversion elements and nozzles and discharge ports corresponding thereto are arranged inside the plurality of supply ports arranged in a staggered pattern. It arrange | positions along one side located in this. By adopting such a configuration, the above-described conventional example eliminates the nozzles on the beam, improves the ink refill characteristics of all the nozzles, makes the inkjet recording head compatible with higher speed printing, and has a narrow width. By eliminating the beam-like structure, the mechanical strength of the ink jet can be improved, and the interval L between the ejection port arrays can be made sufficiently small. As a result, the time difference in which ink is ejected into the adjacent pixels is also small. An ink jet recording head suitable for higher quality recording is provided.

以上説明してきたように、本発明は、インク供給口を複数個千鳥状に配設することで、前述の、梁にかかるノズルをなくし、全てのノズルのインクリフィル特性を向上して、インクジェット記録ヘッドをより高速印字に対応できるものにするとともに、幅の細い梁状の構造をなくすことで、インクジェットの機械的強度も向上させ、さらにノズル・吐出口列の間隔を小さくして、隣合う画素でのインク打込み時間差による画像の欠陥を生じにくくすることができる。   As described above, according to the present invention, the plurality of ink supply ports are arranged in a staggered manner, so that the above-mentioned nozzles on the beam are eliminated, and the ink refill characteristics of all the nozzles are improved. By making the head compatible with higher-speed printing and eliminating the narrow beam-like structure, the mechanical strength of the ink jet is also improved, and the interval between the nozzle and discharge port arrays is reduced, so that adjacent pixels Therefore, it is possible to make it difficult to cause image defects due to the difference in the ink implantation time.

(実施例1)
図1〜図9は本発明の第1の実施例を説明するための図であり、図1は、本発明の実施例の模式的外観斜視図、図2は、模式的断面図、図3は、本実施例のインクジェット記録ヘッドの上面を模式的に示した模式的平面図、図4,図5は、それぞれ図3のA-A断面及びB-B断面における断面図、図9は、本発明のインクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置の構造を模式的に示した斜視図である。
Example 1
1 to 9 are diagrams for explaining a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic external perspective view of the embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic sectional view, and FIG. FIG. 4 is a schematic plan view schematically showing the upper surface of the ink jet recording head of the present embodiment, FIGS. 4 and 5 are cross sectional views taken along the AA and BB sections of FIG. 3, respectively, and FIG. It is the perspective view which showed typically the structure of the inkjet recording device using a recording head.

本発明のインクジェット記録ヘッドは、シリコン基板101上にヒーター111を設け、ノズル材113でノズルを形成する。インクは、支持部材106中に形成されたインク共通液室117から、ベースプレート104を通り、シリコン基板101を貫通する穴として形成されたインク供給口110を通じてシリコン基板101の裏面からヒーター111上に供給される。   In the ink jet recording head of the present invention, a heater 111 is provided on a silicon substrate 101 and nozzles are formed by a nozzle material 113. Ink is supplied from the ink common liquid chamber 117 formed in the support member 106 through the base plate 104 to the heater 111 from the back surface of the silicon substrate 101 through the ink supply port 110 formed as a hole penetrating the silicon substrate 101. Is done.

インク供給口110の形成法は、面方位が(100)のシリコン基板101を用いて、シリコンの異方性エッチング法を用いて形成した。   The ink supply port 110 was formed using a silicon substrate 101 having a plane orientation of (100) and using a silicon anisotropic etching method.

印字は、ヒーター111に電気エネルギを印加してインクを加熱、発泡させることで、インクを吐出口102から吐出させ、記録を行う。ヒーター111への電気エネルギの印加は、外部から電気コネクタ108を通じて入力される信号に応じて、電気回路基板107、フレキシブル回路基板105を通じてシリコン基板101上に設けられた、駆動素子103内のトランジスタ回路によって行われる。駆動素子103にはその実装部にインクが進入するのを防止するため、封止材112が盛られている。   Printing is performed by applying electric energy to the heater 111 to heat and foam the ink, thereby discharging the ink from the discharge port 102. Application of electric energy to the heater 111 is performed by a transistor circuit in the driving element 103 provided on the silicon substrate 101 through the electric circuit board 107 and the flexible circuit board 105 in accordance with a signal input from the outside through the electric connector 108. Is done by. The driving element 103 is provided with a sealing material 112 for preventing ink from entering the mounting portion.

本発明においては、ノズル114列は2列設け、インク供給口110は、そのノズル114列それぞれに対応して図3に示すように千鳥に配列されている。インク供給口が千鳥状に配置されているため、図3中A-A断面及びB-B断面は図4および図5のような形状になっている。このため、シリコン基板101の機械的強度も向上している。また、ノズル114は全てインク供給口110の縁に配置されているため、各々のノズル114のインクリフィル特性も均一に高められている。   In the present invention, two nozzles 114 are provided, and the ink supply ports 110 are arranged in a staggered manner as shown in FIG. 3 corresponding to each of the nozzles 114. Since the ink supply ports are arranged in a staggered manner, the AA cross section and the BB cross section in FIG. 3 are shaped as shown in FIGS. For this reason, the mechanical strength of the silicon substrate 101 is also improved. In addition, since all the nozzles 114 are arranged at the edge of the ink supply port 110, the ink refill characteristics of each nozzle 114 are also improved uniformly.

図9に本発明のインクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置を模式的に示す。図9には、本発明のインクジェット記録ヘッド120が4本用いられており、その各々にイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色が充填されている。これらのインクジェット記録ヘッドは、上記の構造にすることで、長尺化を実現しており、図9に示すように、記録用紙201の幅いっぱいの印字幅をもっている。そのため、印字の際は、インクジェット記録ヘッド120を動かすことなく、記録用紙201を紙搬送ベルト202に吸着してインクジェット記録ヘッド120の下を1度くぐらせ、印字を行うことで印字を完了するものである。   FIG. 9 schematically shows an ink jet recording apparatus using the ink jet recording head of the present invention. In FIG. 9, four inkjet recording heads 120 of the present invention are used, each of which is filled with yellow, magenta, cyan, and black colors. These ink jet recording heads are made long by adopting the above-described structure, and as shown in FIG. 9, the recording width of the recording paper 201 is full. Therefore, when printing, without moving the ink jet recording head 120, the recording paper 201 is attracted to the paper conveying belt 202 and passes under the ink jet recording head 120 once to complete the printing. It is.

本発明は、このように、インク供給口110を複数個千鳥に配列し、全てのノズル114をインク供給口110に隣接して配置することで、個々のノズル114のリフィル特性を向上しつつ、シリコン基板101の機械的強度が向上されており、かつ、ノズル、吐出口を、前記千鳥状に並んだ複数の供給口の、内側に位置する一辺に沿って配設することにより、2つのノズル・吐出口列の間隔Lが小さく、それにより隣合う画素間のインク打込み時間差が小さく、黒スジや白スジなどの画像欠陥の生じにくい高品質な記録に適したインクジェット記録ヘッドを提供するものである。   As described above, the present invention arranges a plurality of ink supply ports 110 in a staggered manner and arranges all the nozzles 114 adjacent to the ink supply ports 110, thereby improving the refill characteristics of the individual nozzles 114, The mechanical strength of the silicon substrate 101 is improved, and two nozzles are provided by disposing nozzles and discharge ports along one side located inside the plurality of supply ports arranged in a staggered pattern. An ink jet recording head suitable for high-quality recording, in which the gap L between the ejection port arrays is small and thereby the difference in ink ejection time between adjacent pixels is small and image defects such as black stripes and white stripes are unlikely to occur. is there.

(実施例2)
図6は、本発明の第2の実施例のインクジェット記録ヘッドの上面を模式的に示した模式的平面図、図7,図8は、それぞれ図6のA-A断面及びB-B断面における断面図である。この場合には(110)方位のSi単結晶基板を用いている。実施例1と同様にSiの異方性エッチングによりインク供給口110を形成している。この場合にはインク供給口110の壁面を基板面に対して垂直に形成することが可能なため、千鳥状に配設した2列のインク供給口110の間隔を実施例1の場合よりも近づけることができる。このため、供給口列の内側に配置した吐出口列を一列に並べることも可能であり、この場合にはインク打込み時間差は無くなり、打込み時間差によって生ずる画像の欠陥を防止することができる。
(Example 2)
FIG. 6 is a schematic plan view schematically showing the upper surface of the ink jet recording head according to the second embodiment of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are cross-sectional views taken along the AA and BB sections of FIG. 6, respectively. . In this case, a (110) -oriented Si single crystal substrate is used. As in the first embodiment, the ink supply port 110 is formed by anisotropic etching of Si. In this case, since the wall surface of the ink supply port 110 can be formed perpendicular to the substrate surface, the interval between the two rows of ink supply ports 110 arranged in a staggered manner is made closer than in the case of the first embodiment. be able to. For this reason, it is also possible to arrange the ejection port arrays arranged inside the supply port array in a single line, and in this case, there is no ink ejection time difference, and image defects caused by the ejection time difference can be prevented.

本発明のインクジェット記録ヘッドの実施例を示す模式的斜視図Schematic perspective view showing an embodiment of the ink jet recording head of the present invention. 本発明のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的断面図Schematic sectional view of the main part of the ink jet recording head of the present invention 本発明のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的上面図Schematic top view of the main part of the inkjet recording head of the present invention 図3のA-A断面における断面図Sectional view in the AA section of FIG. 図3のB-B断面における断面図Sectional view taken along the line BB in FIG. 本発明の第2の実施例のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的上面図Schematic top view of the main part of the ink jet recording head of the second embodiment of the present invention 図6のA-A断面における断面図Sectional view in the AA cross section of FIG. 図6のB-B断面における断面図Sectional view in the BB cross section of FIG. 本発明のインクジェット記録ヘッドを使用した記録装置の模式的斜視図Schematic perspective view of a recording apparatus using the inkjet recording head of the present invention 従来のインクジェット記録ヘッドの模式的斜視図Schematic perspective view of a conventional inkjet recording head 従来のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的断面斜視図Schematic sectional perspective view of the main part of a conventional ink jet recording head 従来のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的断面図Schematic cross-sectional view of the main parts of a conventional inkjet recording head 従来のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的上面図Schematic top view of the main parts of a conventional inkjet recording head 従来のインクジェット記録ヘッドの主要部分の模式的上面図Schematic top view of the main parts of a conventional inkjet recording head

符号の説明Explanation of symbols

101 シリコン基板
102 インク吐出口
103 駆動素子
104 ベースプレート
105 フレキシブル回路基板
106 支持部材
107 電気回路基板
108 電気コネクタ
109 キャップ受け
110 インク供給口
111 ヒーター
112 封止材
113 ノズル材
114 ノズル
115 梁
201 記録用紙
202 紙搬送ベルト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Silicon substrate 102 Ink discharge port 103 Drive element 104 Base plate 105 Flexible circuit board 106 Support member 107 Electrical circuit board 108 Electrical connector 109 Cap receiver 110 Ink supply port 111 Heater 112 Sealing material 113 Nozzle material 114 Nozzle 115 Beam 201 Recording paper 202 Paper conveyor belt

Claims (3)

基板上に配設され、外部から入力される電気的信号に従って、印加された電気的エネルギーを熱エネルギーに変換する複数個の電気熱変換素子と、該電気熱変換素子に対応して列状に配設され、前記熱エネルギーでインクを発泡吐出させる複数個のノズルと、前記基板の厚さ方向の貫通口として形成され、該複数個のノズルにインクを供給する、複数個のインク供給口とを有し、被記録材にインクを吐出させて記録を行う、インクジェット記録ヘッドにおいて、該複数個のインク供給口が千鳥状に2列に配設されており、かつ、前記電気熱変換素子およびそれに対応したノズルが、前記複数の供給口の、該供給口が形成する2つの列の内側に位置する一辺に沿って配設されていることを特徴とする、インクジェット記録ヘッド。   A plurality of electrothermal transducers disposed on the substrate and converting applied electrical energy into thermal energy in accordance with electrical signals input from the outside, and arranged in rows corresponding to the electrothermal transducers A plurality of nozzles arranged to foam and discharge ink with the thermal energy, and a plurality of ink supply ports formed as through holes in the thickness direction of the substrate and supplying ink to the plurality of nozzles; In the ink jet recording head, the plurality of ink supply ports are arranged in a staggered manner in two rows, and the electrothermal conversion elements and An ink jet recording head, wherein nozzles corresponding to the nozzles are arranged along one side of the plurality of supply ports located inside two rows formed by the supply ports. 前記基板がSi製である第1の請求項に記載のインクジェット記録ヘッド。   The ink jet recording head according to claim 1, wherein the substrate is made of Si. 前記基板がSiの単結晶基板であり、かつ前記電気熱変換素子およびそれに対応したノズルが該Si単結晶基板の(100)面または(110)面に配設されており、かつ、前記基板の厚さ方向の貫通口として形成されるインク供給口の壁面が前記Si単結晶基板の(111)面で形成されていることを特徴とする、第1の請求項に記載のインクジェット記録ヘッド。   The substrate is a Si single crystal substrate, and the electrothermal conversion element and the nozzle corresponding thereto are disposed on the (100) plane or the (110) plane of the Si single crystal substrate, 2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a wall surface of an ink supply port formed as a through-hole in the thickness direction is formed by a (111) plane of the Si single crystal substrate.
JP2006091078A 2006-03-29 2006-03-29 Inkjet recording head Withdrawn JP2007261167A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006091078A JP2007261167A (en) 2006-03-29 2006-03-29 Inkjet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006091078A JP2007261167A (en) 2006-03-29 2006-03-29 Inkjet recording head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007261167A true JP2007261167A (en) 2007-10-11

Family

ID=38634623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006091078A Withdrawn JP2007261167A (en) 2006-03-29 2006-03-29 Inkjet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007261167A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010179609A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Canon Inc Liquid delivery head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010179609A (en) * 2009-02-06 2010-08-19 Canon Inc Liquid delivery head

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5534683B2 (en) Inkjet recording head
JP5084478B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP4533055B2 (en) Liquid jet recording head
KR100974980B1 (en) Inkjet recording head
JP2006123551A (en) Nozzle plate, inkjet printing head with the same and manufacturing method of nozzle plate
JP6302401B2 (en) Inkjet head and printer
JP2008149601A (en) Inkjet recording method
JP4577226B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
JP2004001488A (en) Inkjet head
US8474951B2 (en) Liquid ejection head
JP2001058407A (en) Ink-jet recording apparatus and ink-jet recording head
JP2001047622A (en) Ink jet recording head
JP2006231857A (en) Ink-jet recording method
JP2007261167A (en) Inkjet recording head
KR101723262B1 (en) Inkjet printhead having common conductive track on nozzle plate
JP2007090651A (en) Inkjet printer
JP2004243574A (en) Ink jet recording head and ink jet recording method
JP5328702B2 (en) Inkjet recording device
JP5110864B2 (en) Ink jet recording head and recording element substrate of the recording head
JP2006076041A (en) Liquid ejection head and liquid ejector
JP2001315355A (en) Ink jet head and ink jet printer
US20020109753A1 (en) High density jetting a high density jetting apparatus
US20020036676A1 (en) Ink jet recording method and ink jet recording apparatus
JP3586987B2 (en) Inkjet print head
JP2006175800A (en) Inkjet recording method

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20090602