JP2007248732A - Optical power monitor - Google Patents
Optical power monitor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007248732A JP2007248732A JP2006070967A JP2006070967A JP2007248732A JP 2007248732 A JP2007248732 A JP 2007248732A JP 2006070967 A JP2006070967 A JP 2006070967A JP 2006070967 A JP2006070967 A JP 2006070967A JP 2007248732 A JP2007248732 A JP 2007248732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- power monitor
- fusion
- optical power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、主に光通信分野において用いられる光パワーモニターに係るものである。 The present invention relates to an optical power monitor mainly used in the field of optical communication.
近年、情報通信における技術革新は目覚しく、インターネットの普及による通信速度の
高速化の要求および情報量の増加に対応するため、電気信号による通信から光信号による
通信へと移行しつつある。多くの基幹となるケーブルは、多数の中継点から情報が集まっ
てくるため、処理能力と処理速度から光ケーブルへと置き換わって来ている。光ケーブル
とユーザー端末との間の通信が見直されるようになり、より安くより快適な情報通信環境
の整備への要求は、ますます強くなってきている。
In recent years, technological innovation in information communication has been remarkable, and in order to respond to the demand for higher communication speed and the increase in the amount of information due to the spread of the Internet, there is a shift from communication using electrical signals to communication using optical signals. Many core cables have been replaced by optical cables due to their processing capacity and processing speed because information gathers from many relay points. As communication between optical cables and user terminals has been reviewed, the demand for a cheaper and more comfortable information communication environment has been increasing.
光通信網が整備されてくると、情報の授受が高速に行なわれるようになり、またそれに
伴って新たな用途も拡大していくため、光通信網を行き交う情報量は益々増加することに
なる。光ファイバーの処理できる情報量を上げるには、単位時間あたりの信号量を増大さ
せるために高周波の信号を使用することや、波長多重方式と称され異なる情報を持つ多数
の波長の信号を単一な光ファイバー中で同時に送信するという技術が用いられている。ま
た、緻密で信頼性の高い通信網を形成するには、多方向、多経路への接続を確保する必要
があり、保守用途の観点からも複数の光ファイバーの利用は必須となっている。
As the optical communication network is improved, the exchange of information will be carried out at high speed, and new applications will be expanded accordingly, so the amount of information passing through the optical communication network will increase more and more. . In order to increase the amount of information that can be processed by an optical fiber, a high-frequency signal is used to increase the amount of signal per unit time, or multiple wavelength signals having different information, which is called wavelength multiplexing, can be combined into a single signal. A technique of transmitting simultaneously in an optical fiber is used. In addition, in order to form a dense and highly reliable communication network, it is necessary to secure connections in multiple directions and multiple paths, and the use of a plurality of optical fibers is essential from the viewpoint of maintenance applications.
多数の信号を光ファイバーで伝送する光通信回路を形成する際には、波長多重した光信
号を各波長に分波したり、逆にそれぞれの波長の光信号を合波したり、更には、光信号の
分岐や挿入を行なうと言ったWavelength Division Multipl
ex(以下、WDMと略す)システムが必要になる。情報量が増加すると共に、扱われる
情報の重要性も高くなる。光信号が欠落した場合には、どの光信号がどこで欠落したのか
を迅速に把握する必要がある。光信号の接続の有無だけでなく、信号強度を確認すること
も必要となる。また、伝送距離が長くなると光ファイバー中を伝播するだけでも光信号強
度が減衰してしまうため、光信号を増幅するためのErbium Doped Fibe
r Amplifier(以下、EDFAと略す)という装置も必要になる。EDFAは
増幅の割合を判断することを目的としており、外部から入力した光信号の強度や増幅した
後外部に出射する光信号の強度を、正確に把握することが必要となる。信頼性の高い光通
信システムを構築するためには、こうした細かいモニタリング機能を備えることが不可欠
となってきている。
When forming an optical communication circuit that transmits a large number of signals through an optical fiber, the wavelength-multiplexed optical signal is demultiplexed into wavelengths, or the optical signals of the respective wavelengths are combined, Wavelength Division Multipl that said to perform signal branching and insertion
An ex (hereinafter abbreviated as WDM) system is required. As the amount of information increases, the importance of the information to be handled increases. When an optical signal is lost, it is necessary to quickly grasp which optical signal is lost where. In addition to the presence or absence of optical signal connection, it is also necessary to check the signal strength. Further, when the transmission distance is increased, the optical signal intensity is attenuated only by propagating through the optical fiber. Therefore, the Erbium Doped Fiber for amplifying the optical signal is used.
An apparatus called r Amplifier (hereinafter abbreviated as EDFA) is also required. The EDFA is intended to determine the amplification rate, and it is necessary to accurately grasp the intensity of the optical signal input from the outside and the intensity of the optical signal output after amplification. In order to construct a highly reliable optical communication system, it is indispensable to have such a fine monitoring function.
光信号のモニタリング方法としては、光カプラで一部の光信号を分岐し、分岐した光信
号を光ファイバーに接続された光ダイオードで検知するという手法が用いられていた。こ
の方式では、各部品を融着接続することが必要であり、実装工数低減の妨げとなっていた
。また、光カプラは光ファイバーの光信号伝播部位であるコアを近接することで光信号を
分岐させるという構造である。コア近接部の長さが分岐量の重要なパラメーターであるこ
とから、製品のサイズを小さくすることも困難であった。最近では、特に多重化する波長
数を多くして、一度に伝達できる情報量を多くしている。信号検知は各波長に分波して行
なわれるため、1台の装置で必要となる光パワーモニターの数量が多くなる。光パワーモ
ニターに割り振られる装置内の収納スペースは限られているため、光パワーモニターの小
型化が必須となってきている。
As a method for monitoring an optical signal, a method of branching a part of the optical signal with an optical coupler and detecting the branched optical signal with a photodiode connected to an optical fiber has been used. In this method, each component needs to be fusion-bonded, which hinders reduction in mounting man-hours. The optical coupler has a structure in which an optical signal is branched by bringing a core that is an optical signal propagation portion of an optical fiber close to the optical coupler. Since the length of the core proximity part is an important parameter of the branching amount, it is difficult to reduce the size of the product. Recently, the amount of information that can be transmitted at once is increased by increasing the number of wavelengths to be multiplexed. Since signal detection is performed by demultiplexing each wavelength, the number of optical power monitors required for one apparatus increases. Since the storage space in the apparatus allocated to the optical power monitor is limited, it is becoming essential to reduce the size of the optical power monitor.
小型化された光パワーモニターの一例が、特許文献1に開示されている。開示されてい
る構造を図12に示す。図12b)は、光パワーモニター70の断面図である。図12a
)は、光パワーモニター70複数本をケース69に組込んだ光パワーモニター組立体71
の一例で、ケースの上蓋を取り除いた状態を示す。図12b)で、2本の光ファイバー5
1,52を有するマルチキャピラリーガラスフェルール53とGRIN(Gradien
t Index)レンズ54を所定の空隙55を開けて対向させる。GRINレンズの端
面にはフィルター56が形成されており、GRINレンズを通ってきた光の反射と透過を
行なう。透過した光は空隙57を通り光ダイオード58で電気信号に変換され端子59か
ら取り出される。光ダイオード58の電気出力値で、光路内の光の強度値を得ることがで
きる。マルチキャピラリーガラスフェルール53とGRINレンズ54はガラスチューブ
60で位置決めされている。GRINレンズは中心軸から外周方向に向かって放射状に連
続的に屈折率が変化しているガラス製の円柱である。中心から外周に向かって屈折率は大
きくなっており、光が外周側に向かって広がれば広がるほど、光の進行方向は中心軸方向
に曲げられることになる。
An example of a miniaturized optical power monitor is disclosed in
) Is an optical
It shows an example in which the upper lid of the case is removed. In FIG. 12b), two
1 and 52 multicapillary glass ferrule 53 and GRIN (Gradien
t Index)
図12b)を用いて光の流れを説明する。光ファイバー51から空隙55に入った光(
入力光)はGRINレンズ54を通りGRINレンズ端面のフィルター56に到達する。
フィルター56に到達した光の大部分は反射しGRINレンズ54と空隙55を通り、光
ファイバー52に入り出力光となる。フィルター56を透過した光は空隙57を通り、フ
ォトンデテクター58に入り電気信号に変換され、端子59から電気信号として出力され
る。これら一連の光の経路を実線の矢印で示している。逆に、光ファイバー52から光を
入れると前述した光路と同様の経過をたどり、光ファイバー51から光を取り出す(出力
光)ことができる。これら一連の光の経路を破線の矢印で示している。説明には特許文献
に記載されている名称を用いており、本願発明では、フォトンデテクターは光ダイオード
と称している。
The flow of light will be described with reference to FIG. Light entering the
Input light) passes through the
Most of the light reaching the filter 56 is reflected, passes through the
図12b)に示した光パワーモニターの光は、空気中に一度は放出(放射)される構造
である。空気は光ファイバーと異なる屈折率を有するため、空気中に放射された光は拡散
してしまう。拡散した光を集光するためGRINレンズに代表されるレンズは必須の部品
である。このため、光パワーモニターの製品サイズがGRINレンズやガラスチューブの
サイズに依存することになる。そのため、図12a)の光パワーモニター組立体71の小
型化も難しいものである。
The light of the optical power monitor shown in FIG. 12b) has a structure that is emitted (radiated) once into the air. Since air has a refractive index different from that of the optical fiber, light emitted into the air diffuses. A lens typified by a GRIN lens is an essential component for condensing diffused light. For this reason, the product size of the optical power monitor depends on the size of the GRIN lens or the glass tube. Therefore, it is difficult to reduce the size of the optical
導波路を用いた光パワーモニターが、特許文献2に記載されている。図13a)に光導
波路モジュールの平面図を、図13b)に光量の測定原理を示す。基板81に略平行に複
数の導波路82が形成され、導波路82を直角に横断する溝83が設けられて、導波路が
入力端86側と出力端87側に分断される。溝83には反射フィルター84が挿入され、
反射フィルター84の入力端86側に光検知器85が配され、平面導波路型光回路80を
構成している。図13b)の断面図を用いて、光量測定方法を光の流れを使って説明する
。導波路82は、コア87を挟むように上部クラッド86と下部クラッド88が設けられ
ている。コア87を通った光は溝83の空気中に放出され、殆んどの光は反射フィルター
84を透過し出力端87側のコア87に入る。反射フィルター84で一部の光(破線の矢
印)は反射して光検出器85に入り、電気信号に変換され光路内の光の強度値を得ること
ができる。
An optical power monitor using a waveguide is described in
A
特許文献2の平面導波路型光回路80は、導波路を保持する基板の厚み、光検出器の保
持機構等が小型化をする上で障害になることは容易に理解できる。また、導波路と光ファ
イバーを接続する部位での光損失が大きいことは周知であり、低損失化を図ることは難し
い。損失を低減するため、特許文献2の光導波路を光ファイバーに置き換えることは容易
に着想できるものである。しかし、特許文献2と同様に入力側から入った光は一度空気中
に放出されることになる。空気中に放出された光を反射フィルターで出力側に入る光と光
検出器に入る光に分岐するため、光の損失を低減することも難しい。
It can be easily understood that the planar waveguide type
損失が少ないと考えられる特許文献1の光パワーモニター70でも、単一チャンネルの
光パワーモニター70の小型化は、個別のピッグテールファイバーとGRINレンズ、フ
ォトンデテクターを使用し組み上げる限り、φ3.0mm×20mmが限界と考えられる
。図12a)のように、多チャンネル化するとケース69に収納する分だけ、更に製品サ
イズが大きくなり、小型化が難しいという問題がある。
Even in the optical power monitor 70 of
本願特許の目的は、多チャンネル化しても小型化が可能であり、光損失の少ない光パワ
ーモニターを提供することである。
An object of the present patent is to provide an optical power monitor that can be reduced in size even when the number of channels is increased and that has little optical loss.
本願発明の光パワーモニターは、2本の光ファイバーの中心軸をオフセットさせて融着
し、融着部のコア部から伝播光の一部を、光伝播方向前方側光ファイバーのクラッド部に
漏洩させ、漏洩した光は光伝播方向前方側光ファイバーの融着部より前方側に設けられた
切欠き部の融着側の切欠き面で反射させ、反射した光は切欠き部の反対側のクラッドを透
過して光ファイバー外に放射し、放射された光を光ダイオードで検出し、伝播光の光量を
測定する光パワーモニターであって、融着部から切欠き部の融着側の切欠き面の光反射部
位が、クラッド部に漏洩した光が干渉して強め合う位置にあることが好ましい。
The optical power monitor of the present invention is fused by offsetting the central axes of the two optical fibers, causing a part of the propagation light to leak from the core part of the fusion part to the cladding part of the optical fiber in the light propagation direction front side, The leaked light is reflected by the notch surface on the fusion side of the notch provided in front of the fused part of the optical fiber on the front side in the light propagation direction, and the reflected light is transmitted through the cladding on the opposite side of the notch. An optical power monitor that radiates out of the optical fiber, detects the emitted light with a photodiode, and measures the amount of propagating light, and the light on the cut surface on the fusion side from the fusion portion It is preferable that the reflection part is in a position where light leaked to the cladding part interferes and strengthens.
融着部から切欠き部の融着側の切欠き面の光反射部位が、クラッド部に漏洩した光が干
渉して3次から4次の強め合う位置にあることが、より好ましい。
It is more preferable that the light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion from the fusion portion is in a position where the light leaking into the clad portion interferes with the third-order to fourth-order.
光ファイバーは、軸中心に位置するコアと外周部を覆うクラッドから成り、屈折率の大
きなコアと屈折率の小さなクラッドの境界面であるコア外周面で全反射を起こし、コア内
のみを光が伝播する構造である。2本の光ファイバーの中心軸を数μmオフセットさせて
融着すると、融着部の大部分がコア同士、もしくはクラッド同士が接続することになる。
コア同士が接続している部分では、光はそのままコアの中を伝播する。一方、コアの一部
がクラッドと融着接続した部分は、融着面に到達した光がクラッド部に漏洩する。漏洩光
はそのまま前方に進行するが、コアとクラッドでは屈折率が異なり、また融着面は三日月
状の形態をしているため、漏洩光は放射状に広がることになる。更に、クラッドの外周面
にて反射を繰返しながらクラッド内を伝播する。反射した光は干渉を起こすため、伝播途
中で光を強め合ったり弱め合ったりしながら進行する。クラッド内で反射を繰返しながら
伝播した光は、クラッドに設けた切欠き部における融着側の切欠き面で反射し、その進行
方向を変えて光ファイバー外に光を放射する。放射光の進行方向の延長線上に光ダイオー
ドを配置することにより、光量を電流に変換し、光量に比例した電気信号が得られるもの
である。
An optical fiber consists of a core located at the center of the axis and a cladding covering the outer periphery. Total reflection occurs at the outer peripheral surface of the core, which is the interface between the core with a high refractive index and the cladding with a low refractive index, and light propagates only within the core. It is a structure to do. If the central axes of the two optical fibers are fused with an offset of several μm, most of the fused portions are connected to each other between cores or clads.
In the part where the cores are connected, light propagates through the cores as they are. On the other hand, in a portion where a part of the core is fusion-spliced with the clad, light reaching the fusion surface leaks to the clad portion. Although the leaked light travels forward as it is, the refractive index differs between the core and the clad, and the fused surface has a crescent shape, so that the leaked light spreads radially. Furthermore, it propagates in the cladding while repeatedly reflecting on the outer peripheral surface of the cladding. Since the reflected light causes interference, the light travels while strengthening and weakening each other during propagation. The light propagated while being repeatedly reflected in the clad is reflected by the cut-out surface on the fusion side in the cut-out portion provided in the clad, and changes its traveling direction to radiate the light outside the optical fiber. By disposing the photodiode on the extension line in the traveling direction of the radiated light, the light amount is converted into a current, and an electric signal proportional to the light amount can be obtained.
コアの融着部の形状は、光伝播方向前方側より光ファイバーのコア部の接合部を見ると
、コアは数μmオフセットして接合されているので、光伝播方向後方側のコア断面が三日
月状に見える。三日月の最も太い部分がオフセットした値となる。融着部の横断面の形状
は、融着前の接合状態では、光ファイバーの中心軸に対しコア面は略垂直になっており、
略垂直面同士が数μmオフセットしているが、加熱融着することでコアの接合部は自然な
曲率を持って接合することになる。クラッド部も同様である。
As for the shape of the fused part of the core, when the joint part of the core part of the optical fiber is seen from the front side in the light propagation direction, the core is joined with an offset of several μm. Looks like. The thickest part of the crescent moon is the offset value. The shape of the cross section of the fused part is that the core surface is substantially perpendicular to the central axis of the optical fiber in the joined state before the fusion,
Although the substantially vertical planes are offset by several μm, the bonded portion of the core is bonded with a natural curvature by heat fusion. The same applies to the cladding.
融着面は三日月形と自然な曲率を持っている。自然な曲率を有する方向に出た光は、曲
率によって出る光の角度が変わるため、クラッド内で反射した光は干渉し合い、光は強め
合ったり弱め合ったりする。好ましくは、3次から4次で強め合った光を切欠き部の融着
側の切欠き面で反射させて、反射させた光を光ダイオードで検出する。このため融着部の
自然な曲率を有する面と切欠き部の融着側の切欠き面が所定の角度を持って対向している
ことが重要である。言い換えると、光ファイバーの中心軸に対し融着部は直交し、また切
欠き部も直交しているので融着部と切欠き部は平行となる。融着部と切欠き部はそれぞれ
光ファイバー直角断面に対し所定の角度を持っているので、融着部の自然な曲率を有する
面と切欠き部の融着側の切欠き面は所定の角度を持って対向することになる。一方、自然
な曲率と平行方向に出た光は、光ファイバーの中心軸に対して対称に出てクラッドで反射
するため、干渉を起こすことはない。
The fused surface has a crescent shape and a natural curvature. The light emitted in the direction having a natural curvature changes the angle of the light emitted depending on the curvature, so that the light reflected in the clad interferes with each other, and the light strengthens and weakens. Preferably, the intensified light from the third order to the fourth order is reflected by the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion, and the reflected light is detected by the photodiode. For this reason, it is important that the surface having the natural curvature of the fusion part and the cut surface on the fusion side of the notch part are opposed to each other with a predetermined angle. In other words, the fusion part is orthogonal to the central axis of the optical fiber, and the notch part is also orthogonal, so the fusion part and the notch part are parallel. Since the fusion part and the notch part each have a predetermined angle with respect to the optical fiber cross section, the surface having the natural curvature of the fusion part and the notch surface on the fusion side of the notch part have a predetermined angle. Hold it and face it. On the other hand, light emitted in a direction parallel to the natural curvature exits symmetrically with respect to the central axis of the optical fiber and is reflected by the clad, so that interference does not occur.
融着部の自然な曲率は、オフセットした方向(光伝播方向後方側のコア断面が三日月状
に見える方向)には大きく、オフセットと逆方向には小さくなることが、多くの実験、作
業結果より判っている。判り易くするため曲率ではなく傾き角度に置き換えて説明する。
傾き角度は、融着温度や突合せる力等の融着条件でばらつくが、5度以上15度以下に入
り、オフセット方向と逆方向の角度には、3度から6度の差があることが判っている。傾
き角度が異なるため、オフセットした方向に放射した光が反射を繰り返す周期と、オフセ
ットと逆方向に放射した光が反射を繰り返す周期にズレが生じ、干渉を起こし周期的に強
め合うところと弱め合うところのが発生する。最初に強め合うところを1次とすると、3
次もしくは4次の強め合うところに、切欠き部の融着側の切欠き面を配置することで、融
着部のコアからクラッドに漏洩した光を最も効率よく切り欠き面に集光することができる
。
From the results of many experiments and work, the natural curvature of the fused part is large in the offset direction (the direction in which the core cross section behind the light propagation direction looks like a crescent moon) and small in the direction opposite to the offset. I understand. In order to make it easy to understand, the description will be made by replacing with the inclination angle instead of the curvature.
The tilt angle varies depending on the fusing conditions such as the fusing temperature and the force to butt, but it is in the range of 5 degrees to 15 degrees, and there is a difference of 3 to 6 degrees in the angle opposite to the offset direction. I understand. Because the tilt angle is different, there is a gap between the period in which the light emitted in the offset direction repeats reflection and the period in which the light emitted in the opposite direction of the offset repeats reflection. But that happens. If the first strengthening point is the primary, 3
Concentrate the light leaked from the core of the welded part to the clad on the cutout surface most efficiently by arranging the cutout part on the fusion side of the cutout part at the second or fourth strengthening place. Can do.
本願発明の光パワーモニターは、切欠き部を設けた光ファイバーと光ダイオードをケー
スに納めた単一チャンネルの光パワーモニターとすることができる。また、複数個を並列
に並べて、多チャンネルの構成にすることもできる。光ダイオードを複数個並べることな
く、1個の多チャンネルの光ダイオードを用いることで、より小型化が可能となる。本願
発明の光パワーモニターは、光ファイバーを伝播する光の一部を融着部でコアからクラッ
ドに漏洩させて、漏洩した光を光ファイバーに設けた切り欠き面で略90度方向を変え、
切り欠き面と反対側のクラッドから光を空気中に出力し、その光を光ダイオードで電気信
号に変換するものである。クラッドから空気中に出た光を検出するので、隣接する光ファ
イバーから出た光や、ケースの外から入る光はノイズとなる。そのため、隣接する光ファ
イバー間の遮光とケースの遮光は必須である。
The optical power monitor of the present invention can be a single channel optical power monitor in which an optical fiber having a notch and a photodiode are housed in a case. Further, a plurality of channels can be arranged in parallel to form a multi-channel configuration. By using a single multi-channel photodiode without arranging a plurality of photodiodes, the size can be further reduced. The optical power monitor of the present invention leaks a part of the light propagating through the optical fiber from the core to the clad at the fusion part, and changes the direction of the leaked light by about 90 degrees at the notch surface provided in the optical fiber,
Light is output from the clad on the side opposite to the cut surface to the air, and the light is converted into an electric signal by a photodiode. Since light emitted from the clad into the air is detected, light emitted from an adjacent optical fiber or light entering from outside the case becomes noise. Therefore, light shielding between adjacent optical fibers and light shielding of the case are essential.
本願発明の光パワーモニターは、融着部と切欠き部の融着側の切欠き面の光反射部位が
、4.5mm以上7.5mm以下の距離であることが好ましい。
In the optical power monitor of the present invention, it is preferable that the light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side of the fusion portion and the cut-out portion is a distance of 4.5 mm or more and 7.5 mm or less.
融着部のコアからクラッドに漏洩した光の出射角度は、融着部の自然な曲率の形状に依
存するため計算で求めることは容易ではない。数多くの実験によって得られた結果より、
3次もしくは4次の強め合う位置に切欠き面を設けると受光感度が高くなることが判った
。これは、使用する光の波長から、オフセット融着部位から4.5mm以上7.5mm以
下離れた位置である。主流の通信用波長帯域は、1520nmから1620nmである。
波長によって3次もしくは4次の強め合う位置も異なるが、切欠き面の長さは十分に長い
ため、波長100nmの差は全く無視して良いものである。
The emission angle of the light leaked from the core of the fused part to the clad depends on the natural curvature shape of the fused part, so it is not easy to obtain by calculation. From the results obtained by numerous experiments,
It has been found that the light receiving sensitivity increases when a notch surface is provided at a position where the third order or fourth order strengthens each other. This is a position 4.5 mm or more and 7.5 mm or less away from the offset fusion site from the wavelength of light used. The main communication wavelength band is 1520 nm to 1620 nm.
Although the third-order or fourth-order strengthening position varies depending on the wavelength, the length of the cut-out surface is sufficiently long, so that the difference in wavelength of 100 nm can be completely ignored.
本願発明の光パワーモニターは、切欠き部の融着側の切欠き面は光伝播方向前方側光フ
ァイバー光軸に対し、38度以上45度以下であることが好ましい。
In the optical power monitor of the present invention, it is preferable that the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion is 38 degrees or more and 45 degrees or less with respect to the optical fiber optical axis on the front side in the light propagation direction.
切欠き部の融着側切欠き面は、クラッド内を伝播してきた光の進行方向を略90度変え
る機能を果すため、切欠き面の角度Θ1は38度以上45度以下が好ましい。38度より
小さいときは融着側切欠き面で光は反射するが、反射した光の方向が光ファイバー外周に
対して垂直ではなく、斜めに傾いた方向になる。つまり、大部分の光はクラッド外部へ放
射されるが、クラッド外周面で反射してクラッド内に戻ってくる光の量が多くなってしま
う。これは、クラッド外周面に対し38度以下の斜めに光が入ってくるためである。逆に
、融着側切欠き面の角度が45度を越えると、切欠き面を透過する割合が増大し受光感度
が低下してしまう。切欠き部の融着側切欠き面が38度以上45度以下の角度を有するこ
とで、良好な特性が得られるものである。
Since the fusion-side notch surface of the notch functions to change the traveling direction of light propagating in the clad by approximately 90 degrees, the angle Θ1 of the notch surface is preferably 38 degrees or more and 45 degrees or less. When the angle is less than 38 degrees, the light is reflected by the fusion-side cut-out surface, but the direction of the reflected light is not perpendicular to the outer periphery of the optical fiber but is inclined obliquely. That is, most of the light is radiated to the outside of the clad, but the amount of light reflected on the outer peripheral surface of the clad and returning into the clad increases. This is because light enters at an angle of 38 degrees or less with respect to the outer peripheral surface of the clad. On the other hand, when the angle of the fusion-side cutout surface exceeds 45 degrees, the ratio of transmission through the cutout surface increases and the light receiving sensitivity is lowered. Good characteristics can be obtained when the fusion-side cut-out surface of the cut-out portion has an angle of 38 ° to 45 °.
融着側切欠き面と反対側の切欠き面は、漏洩光の反射に対しては何の影響も及ぼさない
ため、どのような形状であっても構わないものである。また、切欠き部の底部の形状も特
に規定する必要はない。切欠き部は、研削加工で形成するのが容易である。光ファイバー
に加工応力を残さないため、切欠き部の断面形状は左右対称形が好ましく、特にくさび形
状が好ましい。融着側切欠き面の角度が正確に得られれば、研削加工に限定されることは
なく、イオンミリングの様なドライエッチング技術を用いて形成しても良い。
The cut-out surface opposite to the fusion-side cut-out surface does not have any influence on the reflection of leaked light, and therefore may have any shape. Further, the shape of the bottom of the notch need not be specified. The notch is easy to form by grinding. In order not to leave processing stress on the optical fiber, the cross-sectional shape of the notch is preferably symmetrical, and particularly preferably wedge-shaped. As long as the angle of the fusion-side cutout surface can be obtained accurately, the present invention is not limited to grinding, and may be formed using a dry etching technique such as ion milling.
本願発明の光パワーモニターは、切欠き部の底部とコア部外周面との間隔dは0.5μ
m以上8μm以下の間隔を有することが好ましい。
In the optical power monitor of the present invention, the distance d between the bottom of the notch and the outer peripheral surface of the core is 0.5 μm.
It is preferable to have an interval of m or more and 8 μm or less.
コア内の光の一部をクラッド内に漏洩させて、融着側切欠き面で反射させ光ダイオード
で検知するため、光を切欠き面に確実に当てることが重要である。切欠き部の深さが浅く
なる、つまり融着側切欠き面の面積が小さくなると、光の全てが切欠き面に当たらず、コ
ア近傍のクラッド内を伝播する光の割合が大きくなってしまう。そのため、コア部外周面
と切欠き部の底面(切欠き面のコア側端面)との間隔は、8μm以下に抑えることが重要
である。一方、光ファイバーはコア内を光が伝播する構造になっているものの、厳格な境
界が存在する訳ではないので、コア近傍のクラッドに漏洩して伝播して行く光が存在する
。切欠き部の深さが深くなり、コア部外周面と切欠き部の底面との間隔が0.5μm以下
になると、コア近傍のクラッドを伝播している光及びコア内を伝播している光が漏洩し損
失になってしまう。このため、切欠き部の底部とコア部外周面との間隔は、0.5μm以
上8μm以下であることが好ましい。
Since a part of the light in the core is leaked into the clad, reflected by the cut-out side of the fusion side and detected by the photodiode, it is important that the light is reliably applied to the cut-out surface. If the depth of the notch becomes shallow, that is, if the area of the fusion notch is reduced, not all of the light hits the notch and the proportion of light propagating in the cladding near the core increases. . For this reason, it is important to keep the distance between the outer peripheral surface of the core portion and the bottom surface of the notch (the end surface on the core side of the notch) to 8 μm or less. On the other hand, although the optical fiber has a structure in which light propagates in the core, there is no strict boundary, so there is light that propagates leaking into the cladding near the core. When the depth of the notch becomes deep and the distance between the outer peripheral surface of the core and the bottom of the notch is 0.5 μm or less, the light propagating in the cladding near the core and the light propagating in the core Leaks and becomes a loss. For this reason, it is preferable that the space | interval of the bottom part of a notch part and a core part outer peripheral surface is 0.5 micrometer or more and 8 micrometers or less.
融着部のコアからクラッドに漏洩しクラッドで反射しながら、干渉で強め合った光が融
着側切欠き面に当たり略90度光の方向を変える。光は切欠き面側のクラッドを通り、更
にコアと切欠き部と反対側のクラッドを通り、光ファイバーの外に出て光ダイオードに入
る。
While leaking from the core of the fused part to the clad and reflected by the clad, the light strengthened by interference hits the cut-out side of the fusion side and changes the direction of the light by approximately 90 degrees. The light passes through the clad on the side of the notch, further passes through the clad on the side opposite to the core and the notch, exits the optical fiber, and enters the photodiode.
本願発明の光パワーモニターは、2本の光ファイバーの中心軸間の距離をオフセット量
hとし、オフセット量hを変えることで光伝播方向前方側光ファイバーのクラッド部に漏
洩させる光量を決め、オフセット量hは光ファイバーのコア径kの0.05k以上0.3
2k以下であることが好ましい。
The optical power monitor of the present invention uses the distance between the central axes of two optical fibers as an offset amount h, and by changing the offset amount h, determines the amount of light leaked to the clad portion of the optical fiber in the light propagation direction, and the offset amount h Is more than 0.05k of optical fiber core diameter k 0.3
It is preferable that it is 2k or less.
オフセット量hを変化させると、クラッドへ漏洩する光の量を変えることができる。コ
ア内の光の強度分布は、ガウス分布に従うため、オフセット量が大きくなるに従い光量変
化は大きくなる。一般的に用いられているシングルモード光ファイバーでは、コア径kは
9.2μm(波長1310nm)である。2.5μmのオフセット量で融着させた時に、
受光感度は100mA/W程度となる。受光感度は、光ダイオードに入る光の強さ(W)
当たりの光ダイオードの出力電流(mA)で、(mA/W)で表している。
When the offset amount h is changed, the amount of light leaking to the cladding can be changed. Since the intensity distribution of the light in the core follows a Gaussian distribution, the light amount change increases as the offset amount increases. In a commonly used single mode optical fiber, the core diameter k is 9.2 μm (wavelength 1310 nm). When fused with an offset amount of 2.5 μm,
The light receiving sensitivity is about 100 mA / W. Photosensitivity is the intensity of light entering the photodiode (W)
The output current (mA) of the corresponding photodiode is represented by (mA / W).
本願発明の光パワーモニターは、切欠き部の融着側の切欠き面の光反射部位の面粗さR
aは、2nm以下であることが好ましい。
In the optical power monitor of the present invention, the surface roughness R of the light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion.
a is preferably 2 nm or less.
クラッド内を伝播した光は切欠き部の融着側の切欠き面で反射するが、この反射面の面
粗さによって、光ダイオードに入る光量が変化する、つまり受光感度が変化することにな
る。面粗さが粗くなると、光散乱により反射光が広がるため、光ダイオードに入射する光
が弱くなってしまう。Raが2nm以下であれば、高い受光感度が得られる。Raは、J
IS B0601に従い測定した値である。また、使用する光の波長が1550nm近傍
の長波長であるので、表面粗さRaだけでなく表面のうねりを規定するのも光反射率の低
減に効果がある。JIS B0631に従い包絡うねり曲線から粗さモチーフの平均長さ
ARを求め、ARが使用する波長の1/2以下であることが好ましい。うねりの平均長さ
を使用する波長より小さくすることで、光の反射効果を上げることが可能となる。
The light propagating in the clad is reflected by the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion. The surface roughness of the reflection surface changes the amount of light entering the photodiode, that is, the light receiving sensitivity changes. . When the surface roughness becomes rough, the reflected light spreads due to light scattering, so that the light incident on the photodiode becomes weak. If Ra is 2 nm or less, high light receiving sensitivity can be obtained. Ra is J
It is a value measured according to IS B0601. In addition, since the wavelength of light used is a long wavelength in the vicinity of 1550 nm, defining not only the surface roughness Ra but also the surface waviness is effective in reducing the light reflectance. The average length AR of the roughness motif is obtained from the envelope undulation curve according to JIS B0631, and it is preferable that it is not more than ½ of the wavelength used by AR. By making the average length of waviness smaller than the wavelength to be used, the light reflection effect can be increased.
本願発明の光パワーモニターは、切欠き部の少なくとも融着側の切欠き面に、光反射率
の高い膜を形成することができる。
The optical power monitor of the present invention can form a film having a high light reflectivity on at least the cut-out surface of the cut-out portion on the fusion side.
切欠き面に高光反射膜を設けることは、受光感度を上げるうえで有効である。高光反射
膜は反射する際の光散乱を抑える効果と、反射面での透過を抑える効果により、光反射効
率を上げることができるものである。膜材質としては、光反射率の高い金(Au)や銀(
Ag)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)が望ましい。酸化しやすいAgやAl、Cu
より、酸化し難いAuを用いることが経時的安定性の面から好ましいものである。成膜は
、蒸着やスパッタリングを用いることができる。光反射膜は融着側切欠き面だけに設ける
のではなく、光ダイオードと対向する部位以外の光ファイバー外周面と切欠き部に設ける
こともできる。光ダイオードと対向する部位以外を光反射膜で被うことにより、外部光の
影響を抑える効果が得られる。
Providing a high light reflection film on the notched surface is effective in increasing the light receiving sensitivity. The high light reflection film can increase the light reflection efficiency by the effect of suppressing light scattering at the time of reflection and the effect of suppressing transmission on the reflection surface. Examples of film materials include gold (Au) and silver (Au
Ag), aluminum (Al), and copper (Cu) are desirable. Ag, Al, Cu, which is easily oxidized
From the viewpoint of temporal stability, it is more preferable to use Au that is difficult to oxidize. Vapor deposition or sputtering can be used for film formation. The light reflecting film may be provided not only on the fusion-side cutout surface but also on the outer peripheral surface of the optical fiber and the cutout portion other than the portion facing the photodiode. The effect of suppressing the influence of external light can be obtained by covering the portion other than the portion facing the photodiode with the light reflecting film.
光ダイオードは、湿度により光を電流に変換する特性の経時変化が起こることが知られ
ている。そのため、本願発明の光パワーモニターの密封ケース内は、乾燥窒素や乾燥アル
ゴンを充填することが好ましいものである。
A photodiode is known to change with time in characteristics of converting light into current due to humidity. For this reason, it is preferable that the sealed case of the optical power monitor of the present invention is filled with dry nitrogen or dry argon.
2本の光ファイバーの中心軸をオフセット融着して、コアからクラッド内に光を漏洩さ
せ、漏洩した光の3次もしくは4次の強め合った光をクラッドに設けた切欠き面で反射さ
せ、略90度光の進行方向を変えてクラッド外に放射させた後、光ダイオードで検知する
ことで、多チャンネル化しても小型化が可能であり、光伝播損失の少ない光パワーモニタ
ーを提供することが可能になった。
Offset fusion of the central axes of the two optical fibers, leakage of light from the core into the cladding, reflection of the third or fourth intensified light of the leaked light at the notch surface provided in the cladding, To provide an optical power monitor that can be reduced in size even if the number of channels is increased by detecting with a photodiode after changing the traveling direction of the light by approximately 90 degrees and radiating it outside the cladding, and reducing optical propagation loss. Became possible.
以下、本願発明を図面を参照しながら実施例に基づいて詳細に説明する。説明を判り易
くするため、同一の部品、部位には同じ符号を用いている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on examples with reference to the drawings. In order to make the explanation easy to understand, the same reference numerals are used for the same parts and parts.
図1に本願発明の上蓋を外した光パワーモニターの平面図、図2に光パワーモニターの
断面図、図3に融着部と切欠き部の拡大断面図、図4に融着部のコアからクラッドに漏洩
した光の進行状況の説明図を示す。
FIG. 1 is a plan view of an optical power monitor with the top cover removed, FIG. 2 is a sectional view of the optical power monitor, FIG. 3 is an enlarged sectional view of a fusion part and a notch part, and FIG. 4 is a core of the fusion part. The explanatory view of the progress of the light leaked from the clad to the clad is shown.
図1と図2を参照しながら本願発明の光パワーモニター組立体1の構造について詳細に
説明する。図1は8組の光パワーモニター構成部材を一つのケース9に組込んだ8チャン
ネル型光パワーモニター1である。ケース9から保護チューブ8を介して光伝播方向後方
側光ファイバー2と光伝播方向前方側光ファイバー3を外部に引き出し、乾燥窒素ガスを
充填して樹脂(図示せず)で上蓋11を接着した。ケース9の外側側面から光ダイオード
7の電極10を取り出している。ケース9内を通る光ダイオード7と電極10の配線の図
示は省略した。ケース9の内底には、2個の光ファイバー固定ブロック4と光ダイオード
7を接着剤で固定した。光ファイバー固定ブロック4は、光ファイバーの間隔を精度良く
保つため8個のV型溝を有している。光ファイバー固定ブロック4のV溝に光ファイバー
を樹脂で固着した。光ダイオード7は8チャンネルで、光ファイバーの切欠き部6に対応
した位置に配した。本願では融着された光伝播方向後方側光ファイバー2と光伝播方向前
方側光ファイバー3を、特に断りのない限り単に光ファイバーと称している。また、光フ
ァイバー間の光の干渉を防ぐため、光ファイバー間には遮光板30を設けている。
The structure of the optical
図3を用いて、各部の寸法や光の流れ等に付いて説明する。図3a)に示すように、光
伝播方向後方側光ファイバー2の中心軸15と光伝播方向前方側光ファイバー3の中心軸
16を、2μmのオフセット量hで融着した。融着は融着機のオフセット融着モードを使
用した。所定のオフセット量hを入力すると、光伝播方向後方側光ファイバー2をオフセ
ット量hの距離ステッピングモーターで移動した後、加熱して融着を行なった。オフセッ
ト融着を行った光ファイバーの融着部から6.80mm離れた位置に、研削加工でV形状
の切欠き部6の光反射部位14が来るように切欠き部6を形成した。切欠き部6の深さを
55.0μmとしたので、切欠き部底部12とコア外周部との間隔dは2.9μmとなっ
た。切欠き部6の融着側の切欠き面の中心軸に対する角度Θ1は40.5度、切欠き部の
面粗さはRaで1.2nm、包絡うねり曲線からの求めた粗さモチーフの平均長さARは
580nmであった。参考までに、切欠き部6の融着側と反対側の切欠き面の角度Θ2は
、45.2度であった。切欠き部の融着側の面には金の光反射膜20を、0.03μmの
厚みに真空蒸着で形成した。
With reference to FIG. 3, the dimensions of each part and the flow of light will be described. As shown in FIG. 3 a), the
光伝播方向後方側光ファイバー2入った光(実線の矢印)は、融着部5でクラッド側に
漏れる光(破線の矢印)と光伝播方向前方側光ファイバー3に入る光(実線の矢印)に分
かれる。光伝播方向前方側光ファイバー3に入る光は、一度も空気中に出ることなくコア
内を通過していく。従来の光パワーモニターでは、一度は空気中に出てから光ファイバー
もしくは光導波路に戻るものであった。光ダイオードに入る漏洩光以外の光は、一度も空
気中に出ない点が本願光パワーモニターの特徴の一つであり、これが低伝播損失が得られ
る理由の一つである。融着部5でクラッド側に漏洩した光は、クラッド内で反射を繰り返
し3次もしくは4次の干渉で強め合い、切欠き部6の光反射部位14で略90度光路が曲
げられ、クラッド−コア−クラッドを通り空気中に出て光ダイオード7に入り、電気信号
に変換される。
The light (solid arrow) entering the rear
図3a)のA部のコアのオフセット融着部を、図3b)図3c)を用いてより詳細に説
明する。図3b)は融着部を図3c)のX方向から見た断面図である。光伝播方向後方側
光ファイバー2のコア部と光伝播方向前方側光ファイバー3のコア部の接合部は、溶融し
たコア部が作り出す自然の曲率17で一体化される。この自然の曲率17を通過した漏洩
光は、種々の角度を持ってクラッド内に入り反射を繰り返す。反射を繰返した光は干渉を
起こし、光を強め合ったり弱め合ったりする。自然の曲率17は光の干渉を起こさせると
言う重要な働きを担うものである。図3c)に、光伝播方向前方側光ファイバー3から見
た融着部のコアを示している。光伝播方向後方側光ファイバー2は、三日月形コア部18
を形成している。
The offset fused part of the core of the A part in FIG. 3a) will be described in more detail with reference to FIGS. 3b) and 3c). FIG. 3b) is a cross-sectional view of the fused portion as seen from the X direction of FIG. 3c). The joint between the core portion of the
Is forming.
図3c)のX方向、Y方向から見た漏洩光の流れを図4に示す。図4a)に、X方向か
ら見た光の流れを示す。三日月形コア部18から出た漏洩光は、自然な曲率17の部位で
光の出る方向が分かれる。Θuの角度で出た光(破線の矢印)とΘdの角度で出た光(実
線の矢印)は、クラッドの外周部で反射を繰返して進む。このため、破線と実線の矢印が
先端が接近した部分が光の強め合った部分となる。最初に強め合ったのを1次とし、3次
もしくは4次が切欠き部6の光反射部位14に当たり、略90度方向を変えて光ダイオー
ド7に入る。強め合う部分と弱め合う部分は交互に現れる。図4b)に、Y方向から見た
光の流れを示す。三日月形コア部から出た光は左右対称であるので、光の干渉は起こさず
クラッド外周部で反射を繰返して進み切欠き部に達するものである。本実施例では、Θu
は14.0度、Θdは9.6度であった。
FIG. 4 shows the flow of leaked light viewed from the X and Y directions in FIG. 3c). FIG. 4a) shows the flow of light as seen from the X direction. The leakage light emitted from the crescent-shaped
Was 14.0 degrees and Θd was 9.6 degrees.
20個の完成した光パワーモニター1に、波長1550nmで光強度1.2mWの光を
入射し、光パワーモニター特性を評価した。8チャンネルで20個であるので総計160
チャンネルの特性を測定し、これらの平均値をとった。伝播損失は0.72(−dB)で
受光感度は64.4(mA/W)と良好な値が得られた。光ファイバー間に遮光板を入れ
ることで、クロストークは48.3(−dB)まで低下させることができた。保護チュー
ブ8と電極10を除いたケース9と上蓋11の外形寸法は、23mmL×17mmW×2
.6mmhと従来の図11a)の光パワーモニター組立体に比べ、体積で1/5と大幅に
小型化ができた。
Twenty completed optical power monitors 1 were irradiated with light having a wavelength of 1550 nm and a light intensity of 1.2 mW, and the optical power monitor characteristics were evaluated. Since there are 20 channels in 8 channels, a total of 160
Channel characteristics were measured and averaged. The propagation loss was 0.72 (-dB) and the light receiving sensitivity was 64.4 (mA / W), which was a good value. By placing a light shielding plate between the optical fibers, the crosstalk could be reduced to 48.3 (-dB). The outer dimensions of the
. Compared with the conventional optical power monitor assembly of 6 mmh in FIG. 11 a), the volume can be significantly reduced to 1/5.
図5に、融着部から切欠き部までの距離Lと光ダイオードの受光感度の関係を示す。融
着部から切欠き部までの距離Lを0.8mmから9.0mmまで変化させて、受光感度を
測定した。距離L以外の、切欠き部の形状(角度)や寸法、光反射膜等は実施例1と同じ
である。融着部から切欠き部までの距離Lが、約1,3,5,7,9mmで受光感度が大
きく約2,4,6,8mmで受光感度が小さくなっているのが判る。受光感度が大きくな
っているところが光の干渉で強め合ったところで、受光感度が小さくなっているところが
光の干渉で弱め合ったところになる。約1mmのところが1次の干渉で光を強め合ったと
ころになる。次数が大きくなるにつれて受光感度も高くなり、3次と4次で最も高い受光
感度を示した。3次もしくは4次の干渉光を使うことで、高い受光感度を有する光パワー
モニターが得られることが実証できた。
FIG. 5 shows the relationship between the distance L from the fused part to the notch and the light receiving sensitivity of the photodiode. The light receiving sensitivity was measured by changing the distance L from the fused part to the notch part from 0.8 mm to 9.0 mm. Other than the distance L, the shape (angle) and dimensions of the notch, the light reflection film, and the like are the same as those in the first embodiment. It can be seen that the light receiving sensitivity is large when the distance L from the fused portion to the notch portion is about 1, 3, 5, 7, 9 mm, and the light receiving sensitivity is low at about 2, 4, 6, 8 mm. Where the light receiving sensitivity is increased, it is strengthened by light interference, and where the light receiving sensitivity is decreased, it is weakened by light interference. About 1 mm is a place where light is strengthened by primary interference. As the order increased, the light receiving sensitivity also increased, and the highest light receiving sensitivity was exhibited in the third and fourth orders. It has been proved that an optical power monitor having high light receiving sensitivity can be obtained by using third-order or fourth-order interference light.
図6に、切欠き面の角度Θ1と受光感度の関係を示す。融着部から切欠き部までの距離
Lは6.80mmとし4次の干渉光を用いた。切欠き面の角度Θ1を28度から60度ま
で変化させて光パワーモニターを製作した。受光感度の測定方法や光反射膜等は、実施例
1と同じとした。切欠き面の角度Θ1が38度から45度の間では、いずれも、受光感度
は60mA/Wよりも大きな値を示しているが、38度以下と45度以上の角度では急激
に受光感度が低下している。受光感度低下の原因は、38度より小さいと融着側切欠き面
で光は反射するが、反射した光の方向が光ファイバー外周に対して垂直ではなく斜めに傾
いた方向になる。つまり、大部分の光はクラッド外部へ放射されるが、クラッド外周面で
反射してクラッド内に戻ってくる光の量が多くなってしまう。これは、クラッド外周面に
38度以下の斜めに光が入って来ためと考えられる。逆に、融着側切欠き面の角度が45
度を越えると、切欠き面を透過する割合が増大し、受光感度が低下してしまうためと考え
られる。
FIG. 6 shows the relationship between the angle Θ1 of the notch surface and the light receiving sensitivity. The distance L from the fused part to the notch was 6.80 mm, and fourth-order interference light was used. The optical power monitor was manufactured by changing the angle Θ1 of the notch from 28 degrees to 60 degrees. The light receiving sensitivity measurement method and the light reflecting film were the same as those in Example 1. In the case where the angle Θ1 of the notch is between 38 degrees and 45 degrees, the light receiving sensitivity shows a value larger than 60 mA / W, but the light receiving sensitivity suddenly decreases at angles of 38 degrees or less and 45 degrees or more. It is falling. The cause of the decrease in the light receiving sensitivity is that if the angle is less than 38 degrees, the light is reflected by the cut-out surface on the fusion side, but the direction of the reflected light is not perpendicular to the outer periphery of the optical fiber but inclined. That is, most of the light is radiated to the outside of the clad, but the amount of light reflected on the outer peripheral surface of the clad and returning into the clad increases. This is considered to be because light enters the outer circumferential surface of the clad at an angle of 38 degrees or less. Conversely, the angle of the cut-out surface on the fusion side is 45
If it exceeds the degree, it is considered that the ratio of transmitting through the notch surface increases and the light receiving sensitivity decreases.
図7は、オフセット量h/コア径kと受光感度の関係を示す。オフセット量h/コア径
kの値を、0.02から0.32まで変化させて光パワーモニターを製作した。受光感度
の測定方法や切欠き部の位置や角度、光反射膜等は実施例1と同じとした。オフセット量
h/コア径kが大きくなるに従い、受光感度が大きくなっていることが判る。オフセット
量hが大きくなるとクラッド側に漏れる光が大きくなるため、切欠き部に入る光量が多く
なる。このため、光ダイオードに入射する光量が増え、受光感度が高い値を示したもので
ある。受光感度が高いということは、光ファイバー内を伝播する光強度が小さくなっても
、正確なモニターが可能になると言うことである。しかしこれは、光ファイバー内を伝播
する光の多くを抽出することを意味することであり、伝播損失という観点からは不利にな
る。
FIG. 7 shows the relationship between the offset amount h / core diameter k and the light receiving sensitivity. An optical power monitor was manufactured by changing the value of offset amount h / core diameter k from 0.02 to 0.32. The light receiving sensitivity measurement method, the position and angle of the notch, the light reflection film, and the like were the same as those in Example 1. It can be seen that the light receiving sensitivity increases as the offset amount h / core diameter k increases. As the offset amount h increases, the amount of light that leaks to the clad side increases, so that the amount of light entering the notch increases. For this reason, the amount of light incident on the photodiode increases, and the light receiving sensitivity shows a high value. The high light receiving sensitivity means that accurate monitoring is possible even if the intensity of light propagating in the optical fiber is reduced. However, this means that most of the light propagating in the optical fiber is extracted, which is disadvantageous from the viewpoint of propagation loss.
図8に、オフセット量h/コア径kと伝播損失の関係を示す。オフセット量h/コア径
kの割合が大きくなると、伝播損失が大きくなることが判る。これは、光ファイバー内の
伝播光の光強度が低下する割合が大きくなることを意味している。受光感度と伝播損失の
両方の特性から、光パワーモニターの性能が決まるものである。オフセット量h/コア径
kを、0.05k以上0.32k以下とすることで、高い受光感度で伝播損失の小さい高
性能な光パワーモニターが得られた。受光感度と伝播損失に求められる値は、光通信装置
がネットワークのどの部分で使用されるか、また、光強度の増幅を行なっているアンプが
どのように配置されるかに依存するため、光通信装置の装置設計によって決まるものであ
る。
FIG. 8 shows the relationship between the offset amount h / core diameter k and propagation loss. It can be seen that the propagation loss increases as the ratio of offset amount h / core diameter k increases. This means that the rate at which the light intensity of propagating light in the optical fiber decreases is increased. The performance of the optical power monitor is determined by the characteristics of both light receiving sensitivity and propagation loss. By setting the offset amount h / core diameter k to 0.05 k or more and 0.32 k or less, a high-performance optical power monitor with high light receiving sensitivity and small propagation loss was obtained. The values required for light reception sensitivity and propagation loss depend on where the optical communication device is used in the network and how the amplifier that amplifies the light intensity is arranged. It depends on the device design of the communication device.
図9に、切欠き面の面粗さと受光感度の関係を示す。切欠き面の面粗さRaを0.1n
mから10.0nmまで変化させて光パワーモニターを製作した。面粗さは、ダイアモン
ド砥石の粒度を変えて実現した。尚、面粗さRaは、JIS B0601に従い、触針式
の表面粗さ計で測定した値である。面粗さ測定は同時に切欠き部の加工を行った、光ファ
イバーを切欠き部で折って測定した。切欠き部には光反射膜として金を真空蒸着した。光
はクラッド材と金の光反射膜の界面で反射するので、面粗さが粗いと乱反射を起こし易く
なる。2nmを超えると、乱反射が起こったためか急激に受光感度が低下することが確認
できた。
FIG. 9 shows the relationship between the surface roughness of the notch surface and the light receiving sensitivity. The surface roughness Ra of the notched surface is 0.1 n
The optical power monitor was manufactured by changing from m to 10.0 nm. Surface roughness was achieved by changing the grain size of the diamond wheel. The surface roughness Ra is a value measured with a stylus type surface roughness meter in accordance with JIS B0601. The surface roughness was measured by folding the optical fiber at the same time after processing the notch. Gold was vacuum-deposited as a light reflecting film on the notch. Since light is reflected at the interface between the clad material and the gold light reflecting film, rough reflection tends to occur if the surface roughness is rough. When the thickness exceeds 2 nm, it has been confirmed that the light receiving sensitivity rapidly decreases because of irregular reflection.
図10に、切欠き面の包絡うねり曲線から求めた粗さモチーフの平均長さARと受光感
度の関係を示す。ARは、100nmから2800nmまで変化させて光パワーモニター
を製作した。面粗さRaは1.2nmとし、他は実施例1と同じとした。ARの測定は、
JIS B0631に従い、面粗さの測定と同様に同時加工を行った光ファイバーを切欠
き部で折って測定した。粗さモチーフの平均長さARが大きくなると、切欠き面のうねり
の周期が光ファイバー内を伝播している光の波長に近くなるため、面の影響を受けやすく
なる。切欠き面で反射した光が反射光間で干渉を起こし、受光感度の低下がみられたので
ある。粗さモチーフの平均長さARは略800nm以下が良いことが確認できた。この8
00nmは使用する光の波長の約1/2に相当する。
FIG. 10 shows the relationship between the average length AR of the roughness motif obtained from the envelope waviness curve of the notch and the light receiving sensitivity. The optical power monitor was manufactured by changing the AR from 100 nm to 2800 nm. The surface roughness Ra was 1.2 nm, and the others were the same as those in Example 1. The AR measurement is
According to JIS B0631, the optical fiber which was processed simultaneously as in the measurement of the surface roughness was folded at the notch and measured. When the average length AR of the roughness motif is increased, the undulation period of the notch surface is close to the wavelength of light propagating in the optical fiber, so that the surface is easily affected. The light reflected by the cut-out surface caused interference between the reflected lights, and a decrease in light receiving sensitivity was observed. It was confirmed that the average length AR of the roughness motif is preferably about 800 nm or less. This 8
00 nm corresponds to about ½ of the wavelength of light used.
図11に、切欠き部の底部とコア部外周面との距離dと受光感度及び伝播損失の関係を
示す。距離dを0.2μmから15μmまで変化させて光パワーモニターを製作した。距
離d以外は、実施例1と同じとした。dが0.5μmから8μmの範囲では、受光感度変
化は非常に小さい。しかし、dが大きくなると、切欠き面の面積が小さくなるため、受光
感度は徐々に減少している。一方、dが0.5μmより小さくなると、切欠き部の底部は
コア部に非常に接近した状態となる。光ファイバーでは主にコア部を光が伝播するが、実
際はコア近傍では若干の光がクラッドに漏洩しており、この漏洩した光が切欠き部で反射
されてモニターされることになる。そのため、dが0.5μmより小さいときは、受光感
度は上がるが伝播損失も大きくなってしまっている。dは0.5μmから8μmの範囲で
、受光感度及び伝播損失の変化が少ない安定した光パワーモニターが得られることが実証
できた。
FIG. 11 shows the relationship between the distance d between the bottom of the notch and the outer peripheral surface of the core, the light receiving sensitivity, and the propagation loss. The optical power monitor was manufactured by changing the distance d from 0.2 μm to 15 μm. Except for the distance d, it was the same as Example 1. When d is in the range of 0.5 μm to 8 μm, the change in light receiving sensitivity is very small. However, as d increases, the area of the notch surface decreases, and the light receiving sensitivity gradually decreases. On the other hand, when d is smaller than 0.5 μm, the bottom of the notch is very close to the core. In the optical fiber, light mainly propagates through the core portion. Actually, however, some light leaks to the cladding in the vicinity of the core, and this leaked light is reflected by the notch and monitored. Therefore, when d is smaller than 0.5 μm, the light receiving sensitivity is increased, but the propagation loss is also increased. It was verified that a stable optical power monitor with little change in light receiving sensitivity and propagation loss can be obtained when d is in the range of 0.5 μm to 8 μm.
1 パワーモニター、2 光伝播方向後方側光ファイバー、
3 光伝播方向前方側光ファイバー、4 光ファイバー固定ブロック、
5 融着部、6 切欠き部、
7 光ダイオード、8 保護チューブ、
9 ケース、10 電極、
11 上蓋、12 切欠き部底部、
13 コア外周部、14 光反射部位、
15 中心軸a、16 中心軸b、
17 自然な曲率、18 三日月形コア部、
20 光反射膜、30 遮光板、
51 光ファイバー、52 光ファイバー、
53 マルチキャピラリーガラスフェルール、54 GRINレンズ、
55 空隙、56 フィルター、
57 空隙、58 フォトンデテクター、
59 電極、60 ガラスチューブ、
69 ケース、70 光パワーモニター、
71 光パワーモニター組立体、80平面導波路型光回路、
81 基板、82 導波路、
83 溝、84 反射フィルター、
85 光検出器、86 上クラッド、
87 コア、88 下部クラッド。
1 power monitor, 2 optical fiber in the back propagation direction,
3 Front optical fiber in the light propagation direction, 4 Optical fiber fixing block,
5 fused parts, 6 notched parts,
7 photodiode, 8 protective tube,
9 cases, 10 electrodes,
11 Upper lid, 12 Notch bottom,
13 core outer periphery, 14 light reflection part,
15 central axis a, 16 central axis b,
17 Natural curvature, 18 Crescent core,
20 light reflecting film, 30 light shielding plate,
51 optical fiber, 52 optical fiber,
53 Multicapillary glass ferrule, 54 GRIN lens,
55 air gap, 56 filter,
57 gap, 58 photon detector,
59 electrodes, 60 glass tubes,
69 cases, 70 optical power monitors,
71 optical power monitor assembly, 80 plane waveguide type optical circuit,
81 substrate, 82 waveguide,
83 grooves, 84 reflective filters,
85 photodetectors, 86 upper cladding,
87 core, 88 lower cladding.
小型化された光パワーモニターの一例が、特許文献1に開示されている。開示されてい
る構造を図12に示す。図12b)は、光パワーモニター70の断面図である。図12a
)は、光パワーモニター70複数本をケース69に組込んだ光パワーモニター組立体71
の一例で、ケースの上蓋を取り除いた状態を示す。図12b)で、2本の光ファイバー5
1,52を有するマルチキャピラリーガラスフェルール53とGRIN(Gradien
t Index)レンズ54を所定の空隙55を開けて対向させる。GRINレンズの端
面にはフィルター56が形成されており、GRINレンズを通ってきた光の反射と透過を
行なう。透過した光は空隙57を通り光ダイオード58で電気信号に変換され電極59か
ら取り出される。光ダイオード58の電気出力値で、光路内の光の強度値を得ることがで
きる。マルチキャピラリーガラスフェルール53とGRINレンズ54はガラスチューブ
60で位置決めされている。GRINレンズは中心軸から外周方向に向かって放射状に連
続的に屈折率が変化しているガラス製の円柱である。中心から外周に向かって屈折率は大
きくなっており、光が外周側に向かって広がれば広がるほど、光の進行方向は中心軸方向
に曲げられることになる。
An example of a miniaturized optical power monitor is disclosed in
) Is an optical
It shows an example in which the upper lid of the case is removed. In FIG. 12b), two
1 and 52 multicapillary glass ferrule 53 and GRIN (Gradien
t Index)
図12b)を用いて光の流れを説明する。光ファイバー51から空隙55に入った光(
入力光)はGRINレンズ54を通りGRINレンズ端面のフィルター56に到達する。
フィルター56に到達した光の大部分は反射しGRINレンズ54と空隙55を通り、光
ファイバー52に入り出力光となる。フィルター56を透過した光は空隙57を通り、光
ダイオード58に入り電気信号に変換され、電極59から電気信号として出力される。こ
れら一連の光の経路を実線の矢印で示している。逆に、光ファイバー52から光を入れる
と前述した光路と同様の経過をたどり、光ファイバー51から光を取り出す(出力光)こ
とができる。これら一連の光の経路を破線の矢印で示している。
The flow of light will be described with reference to FIG. Light entering the
Input light) passes through the
Most of the light reaching the filter 56 is reflected, passes through the
It enters the
導波路を用いた光パワーモニターが、特許文献2に記載されている。図13a)に光導
波路モジュールの平面図を、図13b)に光量の測定原理を示す。基板81に略平行に複
数の導波路82が形成され、導波路82を直角に横断する溝83が設けられて、導波路が
入力側と出力側に分断される。溝83には反射フィルター84が挿入され、反射フィルタ
ー84の入力側に光検知器85が配され、平面導波路型光回路80を構成している。図1
3b)の断面図を用いて、光量測定方法を光の流れを使って説明する。導波路82は、コ
ア87を挟むように上部クラッド86と下部クラッド88が設けられている。コア87を
通った光は溝83の空気中に放出され、殆んどの光は反射フィルター84を透過し出力側
のコア87に入る。反射フィルター84で一部の光(破線の矢印)は反射して光検出器8
5に入り、電気信号に変換され光路内の光の強度値を得ることができる。
An optical power monitor using a waveguide is described in
Divided into input side and output side . A
The light quantity measuring method will be described using the flow of light with reference to the cross-sectional view of 3b). The
5 is converted into an electric signal and the intensity value of the light in the optical path can be obtained.
損失が少ないと考えられる特許文献1の光パワーモニター70でも、単一チャンネルの
光パワーモニター70の小型化は、個別のピッグテールファイバーとGRINレンズ、光
ダイオードを使用し組み上げる限り、φ3.0mm×20mmが限界と考えられる。図1
2a)のように、多チャンネル化するとケース69に収納する分だけ、更に製品サイズが
大きくなり、小型化が難しいという問題がある。
Loss even optical power monitor 70 of
As long as a diode is used and assembled, φ3.0 mm × 20 mm is considered the limit. FIG.
As in 2a), when the number of channels is increased, the product size is further increased by the amount accommodated in the
図1に本願発明の上蓋を外した光パワーモニターの平面図、図2に図1のj−j’断面
図、図3に融着部と切欠き部の拡大断面図、図4に融着部のコアからクラッドに漏洩した
光の進行状況の説明図を示す。
FIG. 1 is a plan view of an optical power monitor with the top cover removed, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line j ′ of FIG.
FIG . 3, FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the fusion part and the notch part, and FIG. 4 is an explanatory view of the progress of light leaked from the core of the fusion part to the cladding.
1 パワーモニター、2 光伝播方向後方側光ファイバー、
3 光伝播方向前方側光ファイバー、4 光ファイバー固定ブロック、
5 融着部、6 切欠き部、
7 光ダイオード、8 保護チューブ、
9 ケース、10 電極、
11 上蓋、12 切欠き部底部、
13 コア外周部、14 光反射部位、
15 中心軸a、16 中心軸b、
17 自然な曲率、18 三日月形コア部、
20 光反射膜、30 遮光板、
51 光ファイバー、52 光ファイバー、
53 マルチキャピラリーガラスフェルール、54 GRINレンズ、
55 空隙、56 フィルター、
57 空隙、58 光ダイオード、
59 電極、60 ガラスチューブ、
69 ケース、70 光パワーモニター、
71 光パワーモニター組立体、80 平面導波路型光回路、
81 基板、82 導波路、
83 溝、84 反射フィルター、
85 光検出器、86 上部クラッド、
87 コア、88 下部クラッド。
1 power monitor, 2 optical fiber in the back propagation direction,
3 Front optical fiber in the light propagation direction, 4 Optical fiber fixing block,
5 fused parts, 6 notched parts,
7 photodiode, 8 protective tube,
9 cases, 10 electrodes,
11 Upper lid, 12 Notch bottom,
13 core outer periphery, 14 light reflection part,
15 central axis a, 16 central axis b,
17 Natural curvature, 18 Crescent core,
20 light reflecting film, 30 light shielding plate,
51 optical fiber, 52 optical fiber,
53 Multicapillary glass ferrule, 54 GRIN lens,
55 air gap, 56 filter,
57 air gap, 58 photodiode ,
59 electrodes, 60 glass tubes,
69 cases, 70 optical power monitors,
71 optical power monitor assembly, 80 planar waveguide optical circuit,
81 substrate, 82 waveguide,
83 grooves, 84 reflective filters,
85 photodetectors, 86 upper cladding ,
87 core, 88 lower cladding.
融着部の自然な曲率は、オフセットした方向(光伝播方向後方側のコア断面が三日月状
に見える方向の三日月の外側の弧の頂点方向)には曲率半径は大きく、オフセットと逆方
向(光伝播方向後方側のコア断面が三日月状に見える方向の三日月の内側の弧の頂点方向
)には曲率半径が小さくなることが、多くの実験、作業結果より判っている。判り易くす
るため曲率ではなく傾き角度に置き換えて説明する。傾き角度は、融着温度や突合せる力
等の融着条件でばらつくが、5度以上15度以下に入り、オフセット方向と逆方向の角度
には、3度から6度の差があることが判っている。傾き角度が異なるため、オフセットし
た方向に放射した光が反射を繰り返す周期と、オフセットと逆方向に放射した光が反射を
繰り返す周期にズレが生じ、干渉を起こし周期的に強め合うところと弱め合うところが発
生する。最初に強め合うところを1次とすると、3次もしくは4次の強め合うところに、
切欠き部の融着側の切欠き面を配置することで、融着部のコアからクラッドに漏洩した光
を最も効率よく切り欠き面に集光することができる。
以 上
The natural curvature of the fused part is large in the offset direction ( the apex direction of the arc outside the crescent moon in the direction in which the core cross section behind the light propagation direction looks like a crescent moon ), and in the opposite direction to the offset (light The apex direction of the arc inside the crescent moon in the direction in which the core cross section behind the propagation direction looks like a crescent moon
) Shows that the radius of curvature is small from many experiments and work results. In order to make it easy to understand, the description will be made by replacing with the inclination angle instead of the curvature. The tilt angle varies depending on the fusing conditions such as the fusing temperature and the force to butt, but it is in the range of 5 degrees to 15 degrees, and there is a difference of 3 to 6 degrees in the angle opposite to the offset direction. I understand. Because the tilt angle is different, there is a gap between the period in which the light emitted in the offset direction repeats reflection and the period in which the light emitted in the opposite direction of the offset repeats reflection. However, it occurs. If the first strengthening place is the primary, the third or fourth strengthening place,
By disposing the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion, the light leaked from the core of the fusion-bond portion to the clad can be collected most efficiently on the cut-out surface.
more than
Claims (8)
部を、光伝播方向前方側光ファイバーのクラッド部に漏洩させ、漏洩した光は光伝播方向
前方側光ファイバーの融着部より前方側に設けられた切欠き部の融着側の切欠き面で反射
させ、反射した光は切欠き部の反対側のクラッドを透過して光ファイバー外に放射し、放
射された光を光ダイオードで検出し、伝播光の光量を測定する光パワーモニターであって
、融着部から切欠き部の融着側の切欠き面の光反射部位が、クラッド部に漏洩した光が干
渉して強め合う位置にあることを特徴とする光パワーモニター。 The optical axes of the two optical fibers are fused by offsetting, and a part of the propagation light is leaked from the core part of the fusion part to the clad part of the optical fiber on the front side in the light propagation direction, and the leaked light is forward in the light propagation direction. Reflected by the notch surface on the fusion side of the notch provided on the front side from the fusion part of the side optical fiber, the reflected light is transmitted through the cladding on the opposite side of the notch and radiated out of the optical fiber, An optical power monitor that detects the emitted light with a photodiode and measures the amount of propagating light. The light reflection part of the cut surface on the fusion side from the fusion part leaks to the cladding part. An optical power monitor characterized by being in a position where it interferes and strengthens.
漏洩した光が干渉して強め合う位置にあることを特徴とする請求項1に記載の光パワーモ
ニター。 2. The light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion from the fusion portion is in a position where light leaking from the third-order to the fourth-order clad portion interferes and strengthens. Optical power monitor as described in
下であることを特徴とする請求項1および2に記載の光パワーモニター。 3. The optical power monitor according to claim 1, wherein a light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side from the fusion part is 4.5 mm or more and 7.5 mm or less.
45度以下であることを特徴とする請求項1から3に記載の光パワーモニター。 4. The optical power monitor according to claim 1, wherein a cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion is at least 38 degrees and at most 45 degrees with respect to the optical fiber optical axis on the front side in the light propagation direction.
特徴とする請求項1から4に記載の光パワーモニター。 5. The optical power monitor according to claim 1, wherein the bottom portion of the cutout portion and the outer peripheral surface of the core portion have an interval of 0.5 μm or more and 8 μm or less.
ことで光伝播方向前方側光ファイバーのクラッド部に漏洩させる光量を決め、オフセット
量hは光ファイバーのコア径kの0.05k以上0.32k以下である事を特徴とする請
求項1に記載の光パワーモニター。 The distance between the central axes of the two optical fibers is defined as an offset amount h, and by changing the offset amount h, the amount of light leaked to the clad portion of the optical fiber on the front side in the light propagation direction is determined, and the offset amount h is 0 of the core diameter k of the optical fiber. The optical power monitor according to claim 1, wherein the optical power monitor is 0.05 k or more and 0.32 k or less.
徴とする請求項1から4に記載の光パワーモニター。 5. The optical power monitor according to claim 1, wherein the surface roughness Ra of the light reflection portion of the cut-out surface on the fusion side of the cut-out portion is 2 nm or less.
する請求項1から4および7に記載の光パワーモニター。
8. The optical power monitor according to claim 1, wherein a film having a high light reflectivity is formed on at least a notch surface of the notch portion on the fusion side.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070967A JP4051687B2 (en) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | Optical power monitor |
EP07004466A EP1835316A1 (en) | 2006-03-15 | 2007-03-05 | Optical power monitor |
US11/682,575 US7412137B2 (en) | 2006-03-15 | 2007-03-06 | Optical power monitor |
KR1020070023310A KR20070093822A (en) | 2006-03-15 | 2007-03-09 | Optical power monitor |
CNA2007100881305A CN101038356A (en) | 2006-03-15 | 2007-03-15 | Optical power monitor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006070967A JP4051687B2 (en) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | Optical power monitor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007248732A true JP2007248732A (en) | 2007-09-27 |
JP4051687B2 JP4051687B2 (en) | 2008-02-27 |
Family
ID=38593113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006070967A Expired - Fee Related JP4051687B2 (en) | 2006-03-15 | 2006-03-15 | Optical power monitor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4051687B2 (en) |
CN (1) | CN101038356A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009223149A (en) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Fujikura Ltd | Optical connector for high power |
JP2010002608A (en) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | Laser beam transmitting apparatus and fiber laser oscillator equipped with the same |
JP2010237483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Anritsu Corp | Optical modulator module |
WO2014034596A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社オーク製作所 | Illumination monitoring apparatus and exposure apparatus provided with same |
JP2015087661A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 住友大阪セメント株式会社 | Optical waveguide device |
JP2015200708A (en) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日立金属株式会社 | communication light visualization module |
JP2015200707A (en) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日立金属株式会社 | Duplex lc communication light detection adapter and duplex lc communication light detection structure |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103513349A (en) * | 2013-09-24 | 2014-01-15 | 广西安捷讯电子科技有限公司 | Light power monitor |
CN110455495B (en) * | 2019-07-31 | 2021-05-11 | 华中科技大学鄂州工业技术研究院 | Fiber laser mode stability detection device and method |
-
2006
- 2006-03-15 JP JP2006070967A patent/JP4051687B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-15 CN CNA2007100881305A patent/CN101038356A/en active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009223149A (en) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Fujikura Ltd | Optical connector for high power |
US8206041B2 (en) | 2008-03-18 | 2012-06-26 | Fujikura Ltd. | High power optical connector and optical fiber system using the same |
JP2010002608A (en) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | Laser beam transmitting apparatus and fiber laser oscillator equipped with the same |
JP2010237483A (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Anritsu Corp | Optical modulator module |
WO2014034596A1 (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 株式会社オーク製作所 | Illumination monitoring apparatus and exposure apparatus provided with same |
JP2014049611A (en) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Orc Manufacturing Co Ltd | Illumination monitoring device and exposure apparatus with the same |
JP2015087661A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 住友大阪セメント株式会社 | Optical waveguide device |
JP2015200708A (en) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日立金属株式会社 | communication light visualization module |
JP2015200707A (en) * | 2014-04-04 | 2015-11-12 | 日立金属株式会社 | Duplex lc communication light detection adapter and duplex lc communication light detection structure |
US9813218B2 (en) | 2014-04-04 | 2017-11-07 | Hitachi Metals, Ltd. | Duplex LC communication light detecting adapter and duplex LC communication light detecting structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101038356A (en) | 2007-09-19 |
JP4051687B2 (en) | 2008-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4051687B2 (en) | Optical power monitor | |
KR20070093822A (en) | Optical power monitor | |
US10848247B2 (en) | Optical mode matching | |
JP3821167B2 (en) | Unidirectional optical power monitor | |
JP2007206584A (en) | Unidirectional optical power monitor | |
JP2007219514A (en) | Optical tap module | |
US20080089644A1 (en) | Optical fiber for out-coupling optical signal and apparatus for detecting optical signal using the same optical fiber | |
JP2008181025A (en) | Single fiber bidirectional optical module | |
JP5918930B2 (en) | Array type photo module | |
CA2394004A1 (en) | Integrated isolator fused coupler method and apparatus | |
EP1606659A2 (en) | Low-less optical fiber tap with integral reflecting suface | |
JP2004252454A (en) | Planar lightwave circuit package | |
JP2008209520A (en) | Optical filter module | |
JPWO2009004713A1 (en) | Bidirectional optical power monitor and its assembly | |
JP2009092940A (en) | Optical power monitor and manufacturing method thereof | |
JP6540310B2 (en) | Fiber optic terminal | |
JP2004271803A (en) | Optical waveguide device and optical system using the device | |
US9535218B1 (en) | Fiber optics fiber inline tap monitoring | |
JP2004221420A (en) | Optical monitor, optical monitor array, optical system using optical monitor and photodiode | |
JP7251782B2 (en) | Wavelength selective filter | |
JP4019384B1 (en) | Optical power monitor | |
JP2005345694A (en) | Optical integration module | |
JP4524748B2 (en) | Optical monitor and optical monitor array and optical system using the same | |
JP4555269B2 (en) | Fiber type coupler, light detection device, and laser module | |
JP2004302292A (en) | Optical fiber terminal, its manufacturing method and optical coupler, and optical component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |