JP2007248400A - Liquid oxygen detecting apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid oxygen detecting apparatus having a simple constitution capable of being safely and easily used. <P>SOLUTION: The liquid oxygen detection apparatus is provided with a nonmagnetic piping 1 to which liquid oxygen 2 can be introduced; an electromagnet 3, having an electric power source 5 arranged in the periphery of the nonmagnetic piping 1; and a self-inductance measuring device 6 for measuring the self-inductance, which depends on the quantity of flow of the liquid oxygen 2 flowing through the nonmagnetic piping 1. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、冷却媒体などとして用いられる液体酸素の検知装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid oxygen detector used as a cooling medium or the like.

従来、冷却媒体などとして用いられる液体酸素が供給されているか否かを検査するには、有効な手だてがないのが現状である。   Conventionally, there is no effective method for inspecting whether liquid oxygen used as a cooling medium is supplied.

本願発明者は、低温容器内の配管のガス漏れ箇所を正確に、しかも迅速に測定することができる低温容器内の配管のガス漏れ箇所検査システムを既に提案している（下記特許文献１）。
特開２００６−０６４６０１号公報 The inventor of the present application has already proposed a gas leak location inspection system for piping in a cryogenic container that can accurately and quickly measure the location of gas leakage in the piping in the cryogenic vessel (Patent Document 1 below).
JP 2006-066401 A

しかしながら、液体酸素の検出については十分な研究はなされておらず、特に、密閉容器内の液体酸素配管の液体酸素漏れ検知については、有効な手だてがないのが現状である。   However, sufficient research has not been made on the detection of liquid oxygen, and there is currently no effective method for detecting liquid oxygen leakage in the liquid oxygen piping in the sealed container.

本発明は、上記状況に鑑みて、構成が簡単で、安全かつ容易に用いることができる液体酸素検知装置を提供することを目的とする。   In view of the above situation, an object of the present invention is to provide a liquid oxygen detector that has a simple configuration and can be used safely and easily.

本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕液体酸素検知装置において、液体酸素を導入可能な非磁性配管と、この非磁性配管の外周に配置される電源を有する電磁石と、前記非磁性配管を流れる液体酸素の流量に依存する自己インダクタンスを測定する自己インダクタンスの測定手段とを具備することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides
[1] In the liquid oxygen detection device, self-depending on the non-magnetic pipe capable of introducing liquid oxygen, an electromagnet having a power source arranged on the outer periphery of the non-magnetic pipe, and the flow rate of liquid oxygen flowing through the non-magnetic pipe And a self-inductance measuring means for measuring the inductance.

〔２〕上記〔１〕記載の液体酸素検知装置において、前記自己インダクタンスの測定手段が、前記非磁性配管の近傍に配置される磁気センサおよびこの磁気センサに接続される検出器であることを特徴とする。   [2] The liquid oxygen detector according to [1], wherein the self-inductance measuring means is a magnetic sensor disposed in the vicinity of the nonmagnetic pipe and a detector connected to the magnetic sensor. And

〔３〕上記〔１〕記載の液体酸素検知装置において、前記自己インダクタンスの測定手段が、前記非磁性配管の外周に配置される検出用のコイルと、この検出用のコイルの近傍に配置される磁気センサおよびこの磁気センサに接続される検出器であることを特徴とする。   [3] In the liquid oxygen detection device according to [1], the self-inductance measuring unit is disposed in the vicinity of the detection coil disposed on the outer periphery of the nonmagnetic pipe and the detection coil. A magnetic sensor and a detector connected to the magnetic sensor.

〔４〕液体酸素検知装置において、液体酸素を導入可能な非磁性配管と、この非磁性配管の外周に配置され、起磁力が異なるように構成される一対のコイルを有する電源を有する電磁石と、この電磁石の対向する空間の垂直方向に配置される磁気センサおよびこの磁気センサに接続される検出器とを具備することを特徴とする。   [4] In the liquid oxygen detection device, a nonmagnetic pipe capable of introducing liquid oxygen, an electromagnet having a power source having a pair of coils arranged on the outer periphery of the nonmagnetic pipe and configured to have different magnetomotive forces, It comprises a magnetic sensor arranged in the vertical direction of the space where the electromagnet faces and a detector connected to the magnetic sensor.

〔５〕上記〔４〕記載の液体酸素検知装置において、前記磁気センサの背後にキャンセルコイルを配置することを特徴とする。   [5] The liquid oxygen detection device according to [4], wherein a cancel coil is disposed behind the magnetic sensor.

〔６〕上記〔５〕記載の液体酸素検知装置において、前記キャンセルコイルにはファンクションジェネレータを接続することを特徴とする。   [6] The liquid oxygen detector according to [5], wherein a function generator is connected to the cancel coil.

〔７〕上記〔４〕、〔５〕又は〔６〕記載の液体酸素検知装置において、前記電磁石を覆うとともに、前記磁気センサと対向する部位に開口を有するシールド円筒体を配置することを特徴とする。   [7] The liquid oxygen detector according to [4], [5], or [6], wherein a shield cylindrical body that covers the electromagnet and that has an opening at a portion facing the magnetic sensor is disposed. To do.

〔８〕液体酸素検知装置において、液体酸素を導入可能な非磁性配管と、この非磁性配管の外周に配置され、外部の磁気発生装置により磁場を与えられるコイルと、前記液体酸素の流量に依存する前記コイルの自己インダクタンスを測定する起電力を検出する手段とを具備することを特徴とする。   [8] In the liquid oxygen detector, a non-magnetic pipe capable of introducing liquid oxygen, a coil disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe and provided with a magnetic field by an external magnet generator, and the flow rate of the liquid oxygen And means for detecting an electromotive force for measuring the self-inductance of the coil.

〔９〕上記〔８〕記載の液体酸素検知装置において、前記コイルに検出用コイルを接続し、前記検出用コイルからの磁場を検出する磁場検出手段を具備することを特徴とする。   [9] The liquid oxygen detection device according to [8], wherein a detection coil is connected to the coil, and magnetic field detection means for detecting a magnetic field from the detection coil is provided.

本発明によれば、液体酸素の検知を、簡便、安全かつ容易に行うことができる。   According to the present invention, liquid oxygen can be detected simply, safely and easily.

本発明の液体酸素検知装置は、液体酸素を導入可能な非磁性配管と、この非磁性配管の外周に配置される電源を有する電磁石と、前記非磁性配管を流れる液体酸素の流量に依存する自己インダクタンスを測定する自己インダクタンスの測定手段とを具備する。   The liquid oxygen detection device according to the present invention includes a nonmagnetic pipe capable of introducing liquid oxygen, an electromagnet having a power source disposed on the outer periphery of the nonmagnetic pipe, and a self depending on the flow rate of liquid oxygen flowing through the nonmagnetic pipe. And a self-inductance measuring means for measuring the inductance.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
液体酸素検知装置
図１は本発明の第１実施例を示す液体酸素の検知装置の模式図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
Liquid Oxygen Detection Device FIG. 1 is a schematic diagram of a liquid oxygen detection device showing a first embodiment of the present invention.

この図において、１は液体酸素２が流れる非磁性配管、例えば、テフロン、銅、ステンレススチールＳＵＳなど、３はその非磁性配管１の外周に配置されるコイル４を有する電磁石（ソレノイド）、５は電磁石３に接続される電源、６はその電磁石３のコイル４に接続される自己インダクタンスの測定器である。   In this figure, 1 is a non-magnetic pipe through which liquid oxygen 2 flows, for example, Teflon, copper, stainless steel SUS, etc. 3 is an electromagnet (solenoid) having a coil 4 disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe 1, 5 A power source connected to the electromagnet 3 and a self-inductance measuring device 6 connected to the coil 4 of the electromagnet 3.

このように、液体酸素２を電磁石（ソレノイド）３中に通過させる。   Thus, the liquid oxygen 2 is passed through the electromagnet (solenoid) 3.

そこで、電磁石（ソレノイド）３内に何もない、つまり、液体酸素２が流れない場合の自己インダクタンスＬ0 は次式のように表現される。 Therefore, the self-inductance L 0 when there is nothing in the electromagnet (solenoid) 3, that is, when the liquid oxygen 2 does not flow, is expressed as the following equation.

Ｌ0 ＝Ｋ×μ0 πａ2 （Ｎ2 ／ｌ）
ここで、Ｋ：長岡係数、ａ：ソレノイドの半径、Ｎ：巻数、ｌ：コイル長である。 L 0 = K × μ 0 πa 2 (N 2 / l)
Here, K: Nagaoka coefficient, a: radius of solenoid, N: number of turns, l: coil length.

そして、透磁率μは、以下の式で書き表される。   The magnetic permeability μ is expressed by the following formula.

μ＝μ0 （１＋Ｘ）
ここで、Ｘは磁化率である。液体酸素のＸは、３．４６×１０-3 である。 μ = μ 0 (1 + X)
Here, X is a magnetic susceptibility. The X of liquid oxygen is 3.46 × 10 −3 .

ここで、液体酸素２が流路断面積Ｓ１で流れており、電磁石（ソレノイド）３の断面積をＳ２と仮定する。その場合の自己インダクタンスＬは次のように表現できる。   Here, it is assumed that the liquid oxygen 2 flows in the flow path cross-sectional area S1, and the cross-sectional area of the electromagnet (solenoid) 3 is S2. The self-inductance L in that case can be expressed as follows.

Ｌ＝｛１＋（Ｓ１／Ｓ２）Ｘ｝Ｌ0
液体酸素２の量によって電磁石（ソレノイド）３の断面積Ｓ２が異なり、それに伴って自己インダクタンスＬが変化する。それ以外の量は既知であることから、自己インダクタンスＬを測定することにより、液体酸素２の流量が把握できる。 L = {1+ (S1 / S2) X} L 0
The cross-sectional area S2 of the electromagnet (solenoid) 3 varies depending on the amount of liquid oxygen 2, and the self-inductance L changes accordingly. Since other amounts are known, the flow rate of the liquid oxygen 2 can be grasped by measuring the self-inductance L.

その測定方法としては、
（１）自己インダクタンスＬを直接測る方法（ブリッジ法）
（２）電磁石（ソレノイド）に電流を通して磁場を測定する方法などが考えられる。 As its measurement method,
(1) Method of directly measuring self-inductance L (bridge method)
(2) A method of measuring a magnetic field by passing an electric current through an electromagnet (solenoid) can be considered.

上記（２）については、少し離れた場所で高感度磁気センサー（ＳＱＵＩＤ、フラックスゲート、ホール素子等）で測定する方法が考えられる。センサー部にもコイルをおいて磁場を増大させることも考えられる。   Regarding (2) above, a method of measuring with a highly sensitive magnetic sensor (SQUID, fluxgate, Hall element, etc.) at a slightly distant place can be considered. It is also possible to increase the magnetic field by placing a coil in the sensor unit.

図２は本発明の第２実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。   FIG. 2 is a schematic view of a liquid oxygen detector showing a second embodiment of the present invention.

この図において、１１は液体酸素１２が流れる非磁性配管、１３はその非磁性配管１１の外周に配置されるコイル１４を有する電磁石、１５は電磁石１３に接続される電源、１６は液体酸素１２が流れる非磁性配管１１の近傍に配置される磁気センサ、１７はその磁気センサ１６に接続される検出器である。   In this figure, 11 is a non-magnetic pipe through which liquid oxygen 12 flows, 13 is an electromagnet having a coil 14 disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe 11, 15 is a power source connected to the electromagnet 13, and 16 is liquid oxygen 12 A magnetic sensor 17 disposed in the vicinity of the flowing nonmagnetic pipe 11 is a detector connected to the magnetic sensor 16.

この実施例では、非磁性配管１１を流れる液体酸素１２を直接測ることができる。   In this embodiment, the liquid oxygen 12 flowing through the nonmagnetic pipe 11 can be directly measured.

図３は本発明の第３実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。   FIG. 3 is a schematic view of a liquid oxygen detector showing a third embodiment of the present invention.

この図において、２１は液体酸素２２が流れる非磁性配管、２３はその非磁性配管２１の外周に配置されるコイル２４を有する電磁石、２５は電磁石２３に接続される電源、２６は液体酸素２２が流れる非磁性配管２１の外周に配置される検出用コイル、２７はその検出用コイル２６の近傍に配置される磁気センサ、２８はその磁気センサ２７に接続される検出器である。   In this figure, 21 is a non-magnetic pipe through which liquid oxygen 22 flows, 23 is an electromagnet having a coil 24 arranged on the outer periphery of the non-magnetic pipe 21, 25 is a power source connected to the electromagnet 23, and 26 is liquid oxygen 22 A detection coil disposed on the outer periphery of the flowing nonmagnetic pipe 21, 27 is a magnetic sensor disposed near the detection coil 26, and 28 is a detector connected to the magnetic sensor 27.

この実施例では、検出用コイル２６を介在させることにより、磁場を増大させて非磁性配管２１を流れる液体酸素２２を測ることができる。   In this embodiment, it is possible to measure the liquid oxygen 22 flowing through the nonmagnetic pipe 21 by increasing the magnetic field by interposing the detection coil 26.

図４は本発明の第４実施例を示す液体酸素検知装置の模式図、図５はその磁場の印加状況を示す模式図である。   FIG. 4 is a schematic diagram of a liquid oxygen detector showing a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic diagram showing the application state of the magnetic field.

これらの図において、液体酸素３２が流れる非磁性配管３１と、非磁性配管３１の外周に配置される、コイル３４を有する電磁石３３と、これに対になったコイル３６を有する電磁石３５との一対を配置し、それぞれに電源３７，３８を備えている。一対の電磁石３３と３５が対向する部位の垂直方向に磁気センサ３９を配置し、この磁気センサ３９には検出器４０が接続されている。   In these figures, a pair of a nonmagnetic pipe 31 through which liquid oxygen 32 flows, an electromagnet 33 having a coil 34 and an electromagnet 35 having a coil 36 paired with the electromagnet 33 disposed on the outer periphery of the nonmagnetic pipe 31. Are provided with power supplies 37 and 38, respectively. A magnetic sensor 39 is arranged in a vertical direction of a portion where the pair of electromagnets 33 and 35 are opposed to each other, and a detector 40 is connected to the magnetic sensor 39.

そこで、図５に示すように、電磁石３３の起磁力が電磁石３５の起磁力より大きくなるように設計すると、磁気センサ３９には電磁石３３の起磁力と電磁石３５の起磁力の差分が付与されることになる。電磁石３３の起磁力と電磁石３５の起磁力に差を持たせるためには、例えば、電源３７と３８が同じ出力を有する場合には電磁石３３と電磁石３５とのコイルの巻数を変える。また、その巻数を変えない場合には、電源３７と３８との出力を変えるようにすればよい。   Therefore, as shown in FIG. 5, when the magnetomotive force of the electromagnet 33 is designed to be larger than that of the electromagnet 35, the magnetic sensor 39 is given a difference between the magnetomotive force of the electromagnet 33 and the magnetomotive force of the electromagnet 35. It will be. In order to give a difference between the magnetomotive force of the electromagnet 33 and the magnetomotive force of the electromagnet 35, for example, when the power supplies 37 and 38 have the same output, the number of turns of the coils of the electromagnet 33 and the electromagnet 35 is changed. If the number of turns is not changed, the outputs of the power sources 37 and 38 may be changed.

図６は本発明の第５実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。   FIG. 6 is a schematic view of a liquid oxygen detector showing a fifth embodiment of the present invention.

この実施例においては、電磁石３３と電磁石３５とはシールド円筒体４１で覆うようにし、このシールド円筒体４１の電磁石３３と電磁石３５が対向する部位の垂直方向（ここでは、上方向）には開口４２が形成され、この開口４２の上方に磁気センサ４３とそれに接続される検出器４４を配置する。また、その磁気センサ４３の上方にはキャンセルコイル４５を配置し、そのキャンセルコイル４５にはファンクションジェネレータ４６を接続するようにしている。   In this embodiment, the electromagnet 33 and the electromagnet 35 are covered with a shield cylindrical body 41, and an opening is formed in the vertical direction (here, the upward direction) of the portion of the shield cylindrical body 41 where the electromagnet 33 and the electromagnet 35 face each other. 42 is formed, and a magnetic sensor 43 and a detector 44 connected thereto are arranged above the opening 42. A cancel coil 45 is disposed above the magnetic sensor 43, and a function generator 46 is connected to the cancel coil 45.

このように、起磁力の異なる一対の電磁石３４と３６で磁気センサ４３には磁場を差動的に印加するようにしたので、開口部４２からの磁場は磁気センサ４３で検出されるとともに、漏れ磁場はキャンセルコイル４５でキャンセルすることにより、漏れ磁場を補償するようにしている。   As described above, since the magnetic field is differentially applied to the magnetic sensor 43 by the pair of electromagnets 34 and 36 having different magnetomotive forces, the magnetic field from the opening 42 is detected by the magnetic sensor 43 and leaks. The magnetic field is canceled by the cancel coil 45 to compensate for the leakage magnetic field.

図７は本発明の第６実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。   FIG. 7 is a schematic view of a liquid oxygen detector showing a sixth embodiment of the present invention.

この実施例においては、液体酸素５２が流れる非磁性配管５１と、非磁性配管５１の外周に配置される、コイル５３と、このコイル５３の近傍には磁場発生用永久磁石又は電磁石（外部に配置される磁場発生装置）５４を配置する。そのコイル５３には自己インダクタンスを計測する測定器５５を接続する。   In this embodiment, a non-magnetic pipe 51 through which liquid oxygen 52 flows, a coil 53 disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe 51, and a magnetic field generating permanent magnet or electromagnet (disposed outside) near the coil 53. Magnetic field generator 54) to be placed. A measuring device 55 that measures self-inductance is connected to the coil 53.

そこで、磁場発生用永久磁石又は電磁石５４によって第１のコイル５３には予め磁場が発生している。その磁場が発生している第１のコイル５３内を流れていた液体酸素５２が、例えば、流れなくなると、第１のコイル５３内の磁束密度が変化し、第１のコイル５３の自己インダクタンスが変化する。この自己インダクタンスの変化を自己インダクタンスを計測する測定器５５で検出することができる。   Therefore, a magnetic field is generated in advance in the first coil 53 by the magnetic field generating permanent magnet or electromagnet 54. For example, when the liquid oxygen 52 flowing in the first coil 53 in which the magnetic field is generated stops flowing, the magnetic flux density in the first coil 53 changes, and the self-inductance of the first coil 53 changes. Change. This change in self-inductance can be detected by a measuring device 55 that measures the self-inductance.

図８は本発明の第７実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。   FIG. 8 is a schematic view of a liquid oxygen detector showing a seventh embodiment of the present invention.

この実施例においては、液体酸素５２が流れる非磁性配管５１と、非磁性配管５１の外周に配置される、コイル５３と、このコイル５３の近傍には磁場発生用永久磁石又は電磁石（外部に配置される磁場発生装置）５４を配置する。コイル５３には検出用コイル５６を接続する。その検出用コイル５６の近傍には磁気センサ５７を配置し、その磁気センサ５７には検出器５８を接続するようにしている。   In this embodiment, a non-magnetic pipe 51 through which liquid oxygen 52 flows, a coil 53 disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe 51, and a magnetic field generating permanent magnet or electromagnet (disposed outside) near the coil 53. Magnetic field generator 54) to be placed. A detection coil 56 is connected to the coil 53. A magnetic sensor 57 is disposed in the vicinity of the detection coil 56, and a detector 58 is connected to the magnetic sensor 57.

そこで、磁場発生用永久磁石又は電磁石５４によってコイル５３には予め磁場が発生している。その磁場が発生しているコイル５３内を流れていた液体酸素５２が、例えば、流れなくなると、コイル５３内の磁束密度が変化し、コイル５３に起電力が生じる。すると、コイル５３に接続されている検出用コイル５６にも磁場が発生する。その磁場を磁気センサ５７と検出器５８で検出することにより、液体酸素５２が流れなくなったことを検知することができる。   Therefore, a magnetic field is generated in advance in the coil 53 by the magnetic field generating permanent magnet or electromagnet 54. For example, when the liquid oxygen 52 flowing in the coil 53 in which the magnetic field is generated stops flowing, the magnetic flux density in the coil 53 changes and an electromotive force is generated in the coil 53. Then, a magnetic field is also generated in the detection coil 56 connected to the coil 53. By detecting the magnetic field with the magnetic sensor 57 and the detector 58, it can be detected that the liquid oxygen 52 has stopped flowing.

このように構成したので、外部環境に作用されることなく、正確な液体酸素の検出を行うことができる。また、検出用コイル５６は遠隔位置に配置できるので、安全な場所で監視することができる。   Since it comprised in this way, it can detect liquid oxygen correctly, without acting on an external environment. Further, since the detection coil 56 can be arranged at a remote position, it can be monitored in a safe place.

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。   In addition, this invention is not limited to the said Example, Based on the meaning of this invention, a various deformation | transformation is possible and these are not excluded from the scope of the present invention.

本発明の液体酸素検知装置は、簡便、安全かつ容易に取り扱うことができる液体酸素検知装置として利用可能である。   The liquid oxygen detection device of the present invention can be used as a liquid oxygen detection device that can be handled simply, safely and easily.

本発明の第１実施例を示す液体酸素の検知装置の模式図である。1 is a schematic diagram of a liquid oxygen detection device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第２実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detector which shows 2nd Example of this invention. 本発明の第３実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detector which shows 3rd Example of this invention. 本発明の第４実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detection apparatus which shows 4th Example of this invention. 本発明の第４実施例を示す液体酸素検知装置の磁場の印加状況を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the application condition of the magnetic field of the liquid oxygen detection apparatus which shows 4th Example of this invention. 本発明の第５実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detection apparatus which shows 5th Example of this invention. 本発明の第６実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detection apparatus which shows 6th Example of this invention. 本発明の第７実施例を示す液体酸素検知装置の模式図である。It is a schematic diagram of the liquid oxygen detection apparatus which shows 7th Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，１１，２１，３１，５１ 非磁性配管
２，１２，２２，３２，５２ 液体酸素
３，１３，２３，３３，３５ 電磁石（ソレノイド）
４，１４，２４，３４，３６ コイル
５，１５，２５，３７，３８ 電磁石に接続される電源
６，５５ 測定器
１６，２７，３９，４３，５７ 磁気センサ
１７，２８，４０，４４，５８ 検出器
２６，５６ 検出用コイル
４１ シールド円筒体
４２ 開口
４５ キャンセルコイル
４６ ファンクションジェネレータ
５３ コイル
５４ 磁場発生用永久磁石又は電磁石 1, 11, 21, 31, 51 Non-magnetic piping 2, 12, 22, 32, 52 Liquid oxygen 3, 13, 23, 33, 35 Electromagnet (solenoid)
4, 14, 24, 34, 36 Coils 5, 15, 25, 37, 38 Power supply connected to electromagnet 6,55 Measuring device 16, 27, 39, 43, 57 Magnetic sensor 17, 28, 40, 44, 58 Detectors 26, 56 Coil for detection 41 Shield cylindrical body 42 Opening 45 Cancel coil 46 Function generator 53 Coil 54 Permanent magnet or electromagnet for magnetic field generation

Claims (9)

（ａ）液体酸素を導入可能な非磁性配管と、
（ｂ）該非磁性配管の外周に配置される電源を有する電磁石と、
（ｃ）前記非磁性配管を流れる液体酸素の流量に依存する自己インダクタンスを測定する自己インダクタンスの測定手段とを具備することを特徴とする液体酸素検知装置。 (A) a non-magnetic pipe capable of introducing liquid oxygen;
(B) an electromagnet having a power source disposed on the outer periphery of the non-magnetic pipe;
(C) A liquid oxygen detector comprising self-inductance measuring means for measuring self-inductance depending on a flow rate of liquid oxygen flowing through the non-magnetic pipe. 請求項１記載の液体酸素検知装置において、前記自己インダクタンスの測定手段が、前記非磁性配管の近傍に配置される磁気センサおよび該磁気センサに接続される検出器であることを特徴とする液体酸素検知装置。   2. The liquid oxygen detector according to claim 1, wherein the self-inductance measuring means is a magnetic sensor disposed in the vicinity of the non-magnetic pipe and a detector connected to the magnetic sensor. Detection device. 請求項１記載の液体酸素検知装置において、前記自己インダクタンスの測定手段が、前記非磁性配管の外周に配置される検出用のコイルと、該検出用のコイルの近傍に配置される磁気センサおよび該磁気センサに接続される検出器であることを特徴とする液体酸素検知装置。   2. The liquid oxygen detector according to claim 1, wherein the self-inductance measuring means includes a detection coil disposed on an outer periphery of the nonmagnetic pipe, a magnetic sensor disposed in the vicinity of the detection coil, and the A liquid oxygen detection device characterized by being a detector connected to a magnetic sensor. （ａ）液体酸素を導入可能な非磁性配管と、
（ｂ）該非磁性配管の外周に配置され、起磁力が異なるように構成される一対のコイルを有する電源を有する電磁石と、
（ｃ）該電磁石の対向する空間の垂直方向に配置される磁気センサおよび該磁気センサに接続される検出器とを具備することを特徴とする液体酸素検知装置。 (A) a non-magnetic pipe capable of introducing liquid oxygen;
(B) an electromagnet having a power source having a pair of coils arranged on the outer periphery of the nonmagnetic pipe and configured to have different magnetomotive forces;
(C) A liquid oxygen detector comprising: a magnetic sensor arranged in a vertical direction of a space in which the electromagnet faces and a detector connected to the magnetic sensor. 請求項４記載の液体酸素検知装置において、前記磁気センサの背後にキャンセルコイルを配置することを特徴とする液体酸素検知装置。   5. The liquid oxygen detector according to claim 4, wherein a cancel coil is disposed behind the magnetic sensor. 請求項５記載の液体酸素検知装置において、前記キャンセルコイルにはファンクションジェネレータを接続することを特徴とする液体酸素検知装置。   6. The liquid oxygen detection apparatus according to claim 5, wherein a function generator is connected to the cancel coil. 請求項４、５又は６記載の液体酸素検知装置において、前記電磁石を覆うとともに、前記磁気センサと対向する部位に開口を有するシールド円筒体を配置することを特徴とする液体酸素検知装置。   7. The liquid oxygen detection device according to claim 4, wherein a shield cylindrical body that covers the electromagnet and has an opening at a portion facing the magnetic sensor is disposed. （ａ）液体酸素を導入可能な非磁性配管と、
（ｂ）該非磁性配管の外周に配置され、外部の磁気発生装置により磁場を与えられるコイルと、
（ｃ）前記液体酸素の流量に依存する前記コイルの自己インダクタンスを測定する手段とを具備することを特徴とする液体酸素検知装置。 (A) a non-magnetic pipe capable of introducing liquid oxygen;
(B) a coil disposed on the outer periphery of the nonmagnetic pipe and provided with a magnetic field by an external magnetism generator;
And (c) means for measuring the self-inductance of the coil depending on the flow rate of the liquid oxygen. 請求項８記載の液体酸素検知装置において、前記コイルに検出用コイルを接続し、前記検出用コイルからの磁場を検出する磁場検出手段を具備することを特徴とする液体酸素検知装置。   9. The liquid oxygen detection apparatus according to claim 8, further comprising a magnetic field detection means for connecting a detection coil to the coil and detecting a magnetic field from the detection coil.
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