JP2007237376A - Method and apparatus for freezing and fixing workpiece - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、加工時にワークを凍結して固定する際に、ワークの凍結を確実に維持させるとともに低価格で行うことができるワークの冷凍固定方法及びワークの冷凍固定装置に関する。 The present invention relates to a work refrigeration fixing method and a work refrigeration fixing apparatus that can reliably maintain the work freezing and can be performed at low cost when the work is frozen and fixed during processing.
ワークに対してフライス加工、研削加工、切削加工、穴あけ加工、研磨加工などの機械加工を行う場合、ワークをそれらの加工装置に固定する必要がある。ワークの固定方法として、マグネットチャック、真空チャック、バイスなどが用いられていた。
しかしながら、それらのワークの固定方法では、ワークの材質や形状などに制限されるような場合があり、ワークを確実に安全に固定できないことがある。
そのため、例えば、切削加工処理されるワークをサブストレートにワックスで固定して加工装置によって固定する方法がある。
この作業については、ホットプレート上でサブストレートにワークをワックスで貼り付け、切削加工装置にサブストレートを固定し、その後ワークを切断している。そして、ワークの切削後は、切削装置からサブストレートを外し、ホットプレート上に載せて、ワークを取り除き、ワークに付着しているワックスを除去するため、洗浄が行われる。
When performing machining such as milling, grinding, cutting, drilling, and polishing on a workpiece, it is necessary to fix the workpiece to those machining apparatuses. Magnet chucks, vacuum chucks, vices, and the like have been used as methods for fixing the workpiece.
However, these work fixing methods may be limited by the material and shape of the work, and the work may not be securely fixed securely.
Therefore, for example, there is a method in which a workpiece to be cut is fixed to a substrate with wax and fixed by a processing apparatus.
For this work, the workpiece is affixed to the substrate with wax on the hot plate, the substrate is fixed to the cutting device, and then the workpiece is cut. Then, after the workpiece is cut, the substrate is removed from the cutting device, placed on a hot plate, the workpiece is removed, and the wax adhering to the workpiece is removed for cleaning.
ワックスは接着力の点では、接着強度が大きい利点がある。しかしながら、ワークをワックスで固定するには、ホットプレート上でサブストレートにワークをワックスで貼り付ける工程があり、ワークをワックスによって高温下(120℃)のもとで貼る作業に手間がかかり、精度よく貼ることが困難である。
ブレードによる切削時では、ブレードの砥石にワックスが目詰まりを起こし、ブレードの切れ味が悪くなる。ワークの切削後は、ワークを高温で剥がす作業が必要であり、切断された小さなワークを剥がすことが困難である。さらに、ワークをサブストレートから剥がした後は、ワークからワックスを除去するため、有機溶剤やアルコールでワックスを洗浄除去しなければならず、また洗浄工程が複雑でコストがかかり、ワークが脆い材質である場合は、洗浄時に割れや欠けを発生させていた。
これを解決するための方法として、凍結式固定法がある。この技術は、冷凍固定装置のワークをサブストレートに凝固剤を介在させて凍結固定し、サブストレートをチャックテーブルに固定し、凝固剤の凝固点よりも低い温度の冷却水をチャックテーブル(ワーク)に供給して、ワークを固定するようにしている。
この凍結式固定法は、ワックスの洗浄による手間は省けるようになったが、凝固剤のコストが高く、ワークの切断面積に比べて接着面積が小さいときは、ワークが剥離してしまうおそれがある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ワックスを使用することなく、ワークをサブストレートに凝固剤を介在させて凍結固定し、サブストレートをチャックテーブルに固定する方法によって、ワークの凍結を確実に維持させるとともに低価格で行うことができるワークの冷凍固定方法及びワークの冷凍固定装置を提供することにある。
Wax has the advantage of high adhesive strength in terms of adhesive strength. However, fixing the workpiece with wax involves the process of attaching the workpiece to the substrate on the hot plate with wax, and it takes time and effort to paste the workpiece with wax under high temperature (120 ° C). It is difficult to stick well.
At the time of cutting with a blade, wax clogs the grinding wheel of the blade, resulting in poor blade sharpness. After the workpiece is cut, it is necessary to remove the workpiece at a high temperature, and it is difficult to remove the cut small workpiece. Furthermore, after removing the workpiece from the substrate, the wax must be removed by washing with an organic solvent or alcohol in order to remove the wax from the workpiece, and the washing process is complicated and costly. In some cases, cracks and chips were generated during cleaning.
As a method for solving this, there is a freeze-type fixing method. This technology freezes and fixes a workpiece of a refrigeration fixing device with a coagulant interposed in a substrate, fixes the substrate to a chuck table, and supplies cooling water having a temperature lower than the solidification point of the coagulant to the chuck table (work). Supply and fix the work.
This freeze-type fixing method can save the labor of washing the wax, but the cost of the coagulant is high, and the workpiece may be peeled off when the bonding area is smaller than the cutting area of the workpiece. .
The present invention has been made in view of such circumstances, and without using wax, a work is freeze-fixed by interposing a coagulant on the substrate, and the substrate is fixed to the chuck table. Another object of the present invention is to provide a work refrigeration fixing method and a work refrigeration fixing apparatus that can reliably maintain the work freezing and can be performed at low cost.
上記目的を達成するために、本発明のワークの冷凍固定方法は、液状若しくは粘状の凝固剤をワークとサブストレートとの間に介在させて、前記凝固剤を冷凍して前記ワークと前記サブストレートを前記凝固剤によって冷凍固定し、前記ワークが固定されたサブストレートをチャックテーブルに固定し、処理具によって前記ワークが加工処理されるワークの冷凍固定方法において、前記凝固剤が接着性を有する水溶性ポリマーとした。
上記ワークの冷凍固定方法は、前記水溶性ポリマーがポリビニルアルコール、デンプン、アルギン酸ソーダ、カルボキシメチルセルロースのいずれか1以上を含むことが好ましい。
上記ワークの冷凍固定方法は、前記水溶性ポリマーの凝固点よりも低い温度の冷却水を前記ワークに供給するようにした。
本発明のワークの冷凍固定装置は、ワークを固定するチャックテーブルと、前記ワークを加工処理する処理具と、該処理具を支持する支持部材と、前記チャックテーブルを水平方向へ移送する移送手段と、前記支持部材をチャックテーブルに対して上下動させる昇降手段と、前記移送手段及び昇降手段を支持しこれらを制御する制御部を内部に配設した基台とを備え、前記ワークを液状又は粘状の凝固剤によってサブストレートに凍結固定するとともに、該サブストレートをチャックテーブルに固定するようにしたワークの冷凍固定装置において、前記凝固剤が水溶性ポリマーとした。
上記ワークの冷凍固定装置は、前記水溶性ポリマーがポリビニルアルコール、デンプン、アルギン酸ソーダ、カルボキシメチルセルロースのいずれか1以上を含むことが好ましい。
上記ワークの冷凍固定装置は、前記水溶性ポリマーの凝固点よりも低い温度の冷却水を前記ワークに供給するようにした。
In order to achieve the above object, a method for freezing and fixing a workpiece according to the present invention includes interposing a liquid or viscous coagulant between a workpiece and a substrate, freezing the coagulant and freezing the workpiece and the sub. In a method for freezing and fixing a workpiece in which a straight is frozen and fixed by the coagulant, a substrate to which the workpiece is fixed is fixed to a chuck table, and the workpiece is processed by a processing tool, the coagulant has adhesiveness. A water-soluble polymer was obtained.
In the method for freezing and fixing the workpiece, the water-soluble polymer preferably contains one or more of polyvinyl alcohol, starch, sodium alginate, and carboxymethyl cellulose.
In the method for freezing and fixing the workpiece, cooling water having a temperature lower than the freezing point of the water-soluble polymer is supplied to the workpiece.
The work refrigeration fixing apparatus according to the present invention includes a chuck table for fixing a work, a processing tool for processing the work, a support member for supporting the processing tool, and a transfer means for transferring the chuck table in a horizontal direction. Elevating means for moving the support member up and down with respect to the chuck table; and a base in which a control unit for supporting and controlling the transfer means and elevating means is provided. In the refrigeration fixing apparatus for workpieces, which is freeze-fixed to a substrate with a solid coagulant and the substrate is fixed to a chuck table, the coagulant is a water-soluble polymer.
In the work freeze-fixing apparatus, the water-soluble polymer preferably contains one or more of polyvinyl alcohol, starch, sodium alginate, and carboxymethylcellulose.
The work refrigeration fixing device supplies cooling water having a temperature lower than the freezing point of the water-soluble polymer to the work.
さらに加えて、上記ワークの冷凍固定装置は、ワークを固定するチャックテーブルと、前記ワークを加工処理する処理具と、該処理具を支持する支持部材と、前記チャックテーブルを水平方向へ移送する移送手段と、前記支持部材をチャックテーブルに対して上下動させる昇降手段と、前記ワークをサブストレートに凍結固定し、該ワークの凍結状態を維持させるためのワークへの冷却水の供給手段と、該冷却水の回収部材と、前記移送手段及び昇降手段を支持しこれらを制御する制御部を内部に配設した基台とを備えたワークの冷凍固定装置において、前記冷却水の回収部材を、冷却水を回収する側の内装パネルと該内装パネルの外側に位置する外装パネルとで形成し、これらの内装パネルと外装パネルを非接触状態でかつそれらのパネル間に断熱材を介して組付けるようにした。
上記冷凍固定装置は、前記回収部材を前記基台側へ取付けるための取付金具の一端部を前記内装パネルに連結し、前記外装パネルに形成したスリット又は孔から前記取付金具の他端部を突出させ、該他端部と前記基台側取付部との間に断熱性を有する樹脂連結部材を設け、該樹脂連結部材を介して、前記回収部材を前記基台側に取付けるようにした。
上記冷凍固定装置は、前記水平方向へ移送する移送手段が基台に対して前記チャックテーブルをX軸方向に移送するX軸スライダと、該X軸方向に直交する基台のY軸方向に前記X軸スライダを移送するY軸スライダとを備え、前記X軸スライダに前記チャックテーブルと前記回収部材としての断熱トレイを配設することができる。
上記冷凍固定装置は、前記Y軸スライダに前記断熱トレイから排出される冷却水を導入する前記回収部材の一部としてのX軸断熱ドレンを配設することができる。
上記冷凍固定装置は、前記基台に前記X軸断熱ドレンから排出される冷却水を導入する前記回収部材の一部としてのY軸断熱ドレンを配設することができる。
上記冷凍固定装置は、前記X軸断熱ドレンを前記断熱トレイの冷却水の排出口の直下に配置し、X軸断熱ドレンを前記断熱トレイの排出口におけるX軸方向の移動範囲に対応させて延在し、かつ前記Y軸断熱ドレンを前記X軸断熱ドレンの冷却水の排出口の直下に配置し、Y軸断熱ドレンを前記X軸断熱ドレンの排出口におけるY軸方向の移動範囲に対応させて延在することができる。
上記冷凍固定装置は、前記ワークの周囲に断熱防水カバーを配設し、該断熱防水カバーを前記X軸スライダに固定することができる。
上記冷凍固定装置は、前記Y軸スライダに前記X軸断熱ドレンを樹脂製のブラケットを介して取付け、前記基台に前記Y軸断熱ドレンを樹脂製のブラケットを介して取付け、前記Y軸スライダに断熱防水カバーを樹脂製の取付けブラケットを介して取付けできる。
In addition, the work refrigeration fixing apparatus includes a chuck table for fixing the work, a processing tool for processing the work, a support member for supporting the processing tool, and a transfer for transferring the chuck table in the horizontal direction. Means, elevating means for moving the support member up and down with respect to the chuck table, means for supplying cooling water to the work for freezing and fixing the work to the substrate and maintaining the frozen state of the work, In a work refrigeration fixing apparatus, comprising: a cooling water recovery member; and a base having therein a control unit that supports and controls the transfer means and the lifting means, the cooling water recovery member is cooled Formed by an interior panel on the side of collecting water and an exterior panel located outside the interior panel, these interior panel and exterior panel are in a non-contact state and those panels It was to assemble through a heat-insulating material.
In the refrigeration fixing apparatus, one end of a mounting bracket for mounting the recovery member to the base side is connected to the interior panel, and the other end of the mounting bracket protrudes from a slit or hole formed in the exterior panel. Then, a resin connecting member having heat insulation is provided between the other end and the base-side mounting portion, and the recovery member is attached to the base side via the resin connecting member.
In the refrigeration fixing device, the transfer means for transferring in the horizontal direction moves the chuck table in the X-axis direction with respect to a base, and the Y-axis direction of the base orthogonal to the X-axis direction. A Y-axis slider for transferring the X-axis slider, and the X-axis slider may be provided with the chuck table and a heat insulating tray as the recovery member.
The refrigeration fixing device may be provided with an X-axis heat insulating drain as a part of the recovery member that introduces cooling water discharged from the heat insulating tray into the Y-axis slider.
The refrigeration / fixing device may be provided with a Y-axis heat-insulating drain as a part of the recovery member that introduces cooling water discharged from the X-axis heat-insulating drain into the base.
In the refrigeration fixing device, the X-axis heat insulating drain is disposed immediately below the cooling water discharge port of the heat insulating tray, and the X-axis heat insulating drain is extended corresponding to the movement range of the heat insulating tray in the X-axis direction. And the Y-axis heat insulation drain is disposed immediately below the cooling water discharge port of the X-axis heat insulation drain, and the Y-axis heat insulation drain is made to correspond to the movement range in the Y-axis direction at the X-axis heat insulation drain discharge port. Can be extended.
The refrigeration fixing device can be provided with a heat insulating waterproof cover around the workpiece, and the heat insulating waterproof cover can be fixed to the X-axis slider.
In the refrigeration fixing apparatus, the X-axis heat insulation drain is attached to the Y-axis slider via a resin bracket, the Y-axis heat insulation drain is attached to the base via a resin bracket, and the Y-axis slider is attached to the Y-axis slider. A heat insulating waterproof cover can be attached via a resin mounting bracket.
上記目的を達成するために、本発明のワークの冷凍固定方法は、液状若しくは粘状の凝固剤をワークとサブストレートとの間に介在させて、前記凝固剤を冷凍して前記ワークと前記サブストレートを前記凝固剤によって冷凍固定し、前記ワークが固定されたサブストレートをチャックテーブルに固定し、処理具によって前記ワークが加工処理されるワークの冷凍固定方法において、前記凝固剤が接着性を有する水溶性ポリマーとしたので、ワークの凍結時において、ワークとサブストレートの固定力が大きくなる。また、加工処理後は、サブストレートに凍結固定されたワークを水で容易に分離することができる。特に、加工処理が切削加工である場合は、ワークを直ちに分離することができる。水溶性でないものは、1個宛サブストレートから剥がす必要があるが、その手間がかからなくなった。
上記ワークの冷凍固定方法は、前記水溶性ポリマーがポリビニルアルコール、デンプン、アルギン酸ソーダ、カルボキシメチルセルロースのいずれか1以上を含むので、従来品よりも、ワークの固定強度が大きく低価格での実施が可能となった。
上記ワークの冷凍固定方法は、前記水溶性ポリマーの凝固点よりも低い温度の冷却水を前記ワークに供給するようにしたので、作業時によりワークが確実にサブストレートに固定される。
上記ワークの冷凍固定装置は、ワークを固定するチャックテーブルと、前記ワークを加工処理する処理具と、該処理具を支持する支持部材と、前記チャックテーブルを水平方向へ移送する移送手段と、前記支持部材をチャックテーブルに対して上下動させる昇降手段と、前記移送手段及び昇降手段を支持しこれらを制御する制御部を内部に配設した基台とを備え、前記ワークを液状又は粘状の凝固剤によってサブストレートに凍結固定するとともに、該サブストレートをチャックテーブルに固定するようにしたワークの冷凍固定装置において、前記凝固剤が水溶性ポリマーとしたので、ワークの凍結時において、ワークとサブストレートの固定力が大きくなる。また、加工処理後は、サブストレートに凍結固定されたワークを水で容易に分離することができる。特に、加工処理が切削加工である場合は、ワークを直ちに分離することができる。水溶性でないものは、1個宛サブストレートから剥がす必要があるが、その手間がかからなくなった。
上記ワークの冷凍固定装置は、前記水溶性ポリマーがポリビニルアルコール、デンプン、アルギン酸ソーダ、カルボキシメチルセルロースのいずれか1以上を含むので、従来品よりも、ワークの固定強度が大きく低価格での実施が可能となった。
上記ワークの冷凍固定装置は、前記水溶性ポリマーの凝固点よりも低い温度の冷却水を前記ワークに供給するようにしたので、作業時によりワークが確実にサブストレートに固定される。
In order to achieve the above object, a method for freezing and fixing a workpiece according to the present invention includes interposing a liquid or viscous coagulant between a workpiece and a substrate, freezing the coagulant and freezing the workpiece and the sub. In a method for freezing and fixing a workpiece in which a straight is frozen and fixed by the coagulant, a substrate to which the workpiece is fixed is fixed to a chuck table, and the workpiece is processed by a processing tool, the coagulant has adhesiveness. Since the water-soluble polymer is used, the fixing force between the workpiece and the substrate increases when the workpiece is frozen. Further, after the processing, the work freeze-fixed on the substrate can be easily separated with water. In particular, when the processing is cutting, the workpiece can be separated immediately. Those that are not water-soluble need to be peeled off from the one-to-one substrate.
Since the water-soluble polymer contains one or more of polyvinyl alcohol, starch, sodium alginate, and carboxymethylcellulose, the work can be frozen and fixed at a higher cost than conventional products. It became.
In the method for freezing and fixing the workpiece, cooling water having a temperature lower than the freezing point of the water-soluble polymer is supplied to the workpiece, so that the workpiece is securely fixed to the substrate during operation.
The work refrigeration fixing apparatus includes a chuck table for fixing a work, a processing tool for processing the work, a support member for supporting the processing tool, a transfer means for transferring the chuck table in a horizontal direction, Elevating means for moving the support member up and down with respect to the chuck table, and a base having a control unit for supporting and controlling the transfer means and the elevating means inside, the work being in a liquid or viscous form In the work freezing and fixing apparatus in which the substrate is fixed to the chuck table by freezing and fixing with a coagulant, the coagulant is made of a water-soluble polymer. The straight fixing force increases. Further, after the processing, the work freeze-fixed on the substrate can be easily separated with water. In particular, when the processing is cutting, the workpiece can be separated immediately. Those that are not water-soluble need to be peeled off from the one-to-one substrate.
Since the water-soluble polymer contains any one or more of polyvinyl alcohol, starch, sodium alginate, and carboxymethylcellulose, the work freeze-fixing device has a larger work fixing strength and can be implemented at a lower price than conventional products. It became.
Since the work refrigeration fixing apparatus supplies cooling water having a temperature lower than the freezing point of the water-soluble polymer to the work, the work is reliably fixed to the substrate during operation.
以下、本発明のワークの冷凍固定装置の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係わるワークの冷凍切断装置を斜め上方から見た全体斜視図、図2は冷凍切断装置の分解斜視図、図3は冷凍切断装置の正面図、図4は冷凍切断装置の平面図、図5は冷凍切断装置の右側面図、図5は冷凍切断装置の左側面図である。なお、本実施の形態では、冷凍切断装置の幅方向をX軸方向とし、その前後方向をY軸方向とし、上下方向をZ軸方向とする。
冷凍切断装置1は基台2としての機械本体3と電装ボックス4を並設し、機械本体3の上面には、チャックテーブル5を移動させる移送機構を設けている。移送機構は、冷凍切断装置1の前後方向となるY軸方向にチャックテーブル5を移動するY軸移送機構7と、その幅方向にチャックテーブル5を移動するX軸移送機構8とを備え、さらにワークに対してブレードを昇降させるZ軸移送機構9を備えている。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a work refrigeration fixing apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
1 is an overall perspective view of a work freezing and cutting apparatus according to the present invention as viewed obliquely from above, FIG. 2 is an exploded perspective view of the freezing cutting apparatus, FIG. 3 is a front view of the freezing cutting apparatus, and FIG. FIG. 5 is a right side view of the frozen cutting apparatus, and FIG. 5 is a left side view of the frozen cutting apparatus. In the present embodiment, the width direction of the freezing and cutting apparatus is the X-axis direction, the front-rear direction is the Y-axis direction, and the vertical direction is the Z-axis direction.
The freezing and cutting
初めに、この移送機構の構成について説明する。
図2に示すように、Y軸移送機構7は、機械本体3上にボールナットブロック10を取付け、ボールナットブロック10には、Y軸スクリュー11が冷凍切断装置1の前後方向に貫通している。Y軸スクリュー11の左右両側には、Y軸スクリュー11に平行させて、ガイドレール12が機械本体3の上面に取付けられている。左右ガイドレール12には、その各々に2個設けられ、ガイドレール12に円滑に摺動する摺動部材13を嵌合させている。この摺動部材13の上部には、Y軸スライダ14が固定される。
Y軸スライダ14は、その本体部15の前後側面から前側に突出させた一対の前脚部16とその後側に突出させた後脚部17を取付けている。前後脚部16,17は、摺動部材13上に載置して固定される。Y軸スライダ14の下面には、図6に示すように下側に突出するスクリュー支持材18が設けられている。スクリュー支持材18は、Y軸スクリュー11の前側一端を軸支し、Y軸スクリュー11は軸周りの回転が阻止されるように支持されている。
First, the configuration of this transfer mechanism will be described.
As shown in FIG. 2, the Y-axis transfer mechanism 7 has a
The Y-
図7は、Y軸スクリュー11を軸方向に移動させるための構成を示す図である。
機械本体3の内部には、駆動モータ23が設けられ、駆動モータ23から上方に延び、ボールナットブロック10の内部に差し込まれるモータ軸24の先端には、ウォームギア22が取付けられている。一方、ボールナットブロック10には、冷凍切断装置1の前後方向に貫通するナット孔19に、中空のウォームホイール20が螺着し、ウォームホイール20の内孔に形成した雌ねじ21に、Y軸スクリュー11がボールナットブロック10を貫通するように螺着している。そして、ウォームホイール20には、上述したウォームギア22を螺合している。
したがって、駆動モータ23が回転すると、駆動力がウォームギア22、ウォームホイール20と伝達し、ウォームホイール20が回転すると、Y軸スクリュー11は回転が阻止されているので、ウォームホイール20の回転量に応じて軸方向へ移動される。こうして、Y軸スクリュー11が正転又は反転し、冷凍切断装置1の前後方向に対するY軸スライダ14の進退移動が可能になる。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration for moving the Y-
A
Therefore, when the
図2に示すように、開口が上向きで断面がほぼコ字形状のY軸スライダ14の内部には、冷凍切断装置1の幅方向に延びるX軸スクリュー25が配設されている。X軸スクリュー25は、図8に示すように、両端部が軸受け29,30によって回転可能に軸支され、一方の軸受け30側ではX軸駆動モータ31の回転軸と連結されている。
X軸スクリュー25の径方向両側部、すなわちY軸スライダ14の内面の前側及び後側には、ガイドレール27,28を設け、これらのガイドレール27,28はX軸スクリュー25に平行するように、Y軸スライダ14の長手(X軸)方向の一端部から他端部まで延在させている。図9に示すように、前側ガイドレール27はほぼ矩形断面形状であり、後側ガイドレール28は上部に三角形状の切込み28aを形成している。
As shown in FIG. 2, an
Y軸スライダ14の上部には、X軸スライダ26が配設される。X軸スライダ26の下面側には、Y軸スライダ14の一方のガイドレール27に載置される脚部32と他方のガイドレール28に載置される脚部33を設けている。他方の脚部33の下端部は、切込み28aに対応させて三角形状に突出させている。X軸スライダ26の前後方向における中間部には、下側に突出させたX軸ボールナットブロック34を設け、X軸スクリュー25をボールナットに螺着させている。図8に示すX軸駆動モータ31を駆動させると、X軸スクリュー25の回動に応じて、X軸スライダ26がX軸方向へ進退移動することができる。
An
次に、ワークを固定する断熱チャックテーブルの構成について説明する。
図10に示すように、X軸スライダ26の上面側には、断熱チャックテーブル5が取付けられている。断熱チャックテーブル5は、X軸スライダ26の上面中央に板状に突出させて形成した島部36に配設されている。そして、断熱チャックテーブル5は、島部36面に固定して載置される金属板37と、金属板37の上部に断熱材38、冷却プレート39、バキュームチャック40の順に配置される。断熱材38の材質は特に限定されないが、本実施の形態では樹脂製断熱材が使用される。冷却プレート39は、内部に冷却水が流れる流通路41を形成している。バキュームチャック40には、図示しない、真空装置と接続されている吸着孔42が多数形成されている。
Next, the structure of the heat insulation chuck table which fixes a workpiece | work is demonstrated.
As shown in FIG. 10, the heat insulating chuck table 5 is attached to the upper surface side of the
図2に示すように、X軸スライダ26の上面には、冷却水を回収する断熱トレイ43が載置される。断熱トレイ43は、主として底面43aとその周囲から立設するリブ上の外部縦壁43bからなり、これらは、図11に示すように、内装パネル44と外装パネル45とで形成され、パネル44,45の間に断熱材47が配設されている。本実施の形態では、内装パネル44及び外装パネル45はステンレス板材が用いられ(以下に説明する他の内装パネル及び外装パネルについても同様である)、断熱材47は、独立気泡エラストマーが使用されている(以下に説明する他の断熱材についても同様である)。
図11に示すように、断熱トレイ43は、内装パネル44に固定されたL字形の固定金具69を外装パネル45に形成したスリット45aから突出させて、X軸スライダ26に取付けたコ字形金具70と樹脂連結部材71を介してボルト72、ナット73などで固定される。樹脂連結部材71は、断熱性の良い樹脂を使用することができ、本実施の形態ではジュラコン(登録商標)が使用されている(なお、以下に説明する樹脂連結部材についても同じ材質である)。
As shown in FIG. 2, a
As shown in FIG. 11, the
図10に示すように、断熱トレイ43は、内装パネル44及び外装パネル45の各々中央に矩形孔44a,45bを形成し、これらの矩形孔44a,45bは、断熱トレイ43をX軸スライダ26に取付ける際に、矩形孔44a,45bに断熱チャックテーブル5が差し込まれる。矩形孔44aの縁部が断熱チャックテーブル5に形成したフランジ5a上に載置される。
この断熱トレイ43は、図4に示す断熱トレイ43の底面43aの周囲から突出させたリブ状の外縦壁43bを形成し、この外部縦壁43bが、ワークを固定する冷却水の堰としての役割を果たす。
As shown in FIG. 10, the
The
次に、Z軸移送機構9の構成について説明する。
Z軸移送機構9には、図2に示すようにZ軸スライダ48を設けている。Z軸スライダ48は、本体部48aの横断面形状がほぼ矩形であり上下方向に長く、上部にスピンドル50を設け、スピンドル50にワークを切削するブレード49を取付けている。本体部48aの両側部にはガイドレール51が取付けられている。Z軸スライダ48は、機械本体3に昇降可能に取付けられ、機械本体3の背面側にある溝部52にZ軸スライダ48を嵌合させている。図4に示すように、溝部52の左右後部には、ガイドレール51の一対の抜止め53が取付けられている。Z軸スライダ48は、機械本体3に配設された図示しない油圧シリンダに連結され、油圧シリンダの昇降に応じて上下動することができる。
Next, the configuration of the Z-axis transfer mechanism 9 will be described.
The Z-axis transfer mechanism 9 is provided with a Z-
次に、ワーク、ブレードなどを覆う断熱防水カバー46について説明する。
断熱トレイ43の上部には、ケース状の断熱防水カバー46が装着される。この断熱防水カバー46は、ワーク及びZ軸スライダ48のブレード49を覆うとともに、冷却水の飛び跳ねを防止する役割を果たす。
図12に示すように、断熱防水カバー46は、ブレード49を覆うボックス状のカバー部54と、蓋部55を併設している。カバー部54には、天井壁に開口54aを形成し、開口54aには透明板54bが装着されている。また、図13に示すように、カバー部54の背後にもまた、開口54fを形成し、透明板54gが装着されている。
Next, the heat insulating
On the top of the
As shown in FIG. 12, the heat insulating
図12に示すように、カバー部54の前面壁には、開口54c(図2参照)が形成され、この開口54cには横方向に移動可能な、透明のスライド窓54dが装着される。スライド窓54dには、開閉の際に用いる取っ手54eが取付けられている。
カバー部54の側部にある蓋部55の上面には、横方向に移動するスライド蓋55aが配設されている。スライド蓋55aには、開閉の際に用いられる取っ手55bが取付けられている。このスライド蓋55aの直下にチャックテーブル5を移動し、スライド蓋55aを開放することにより、ワークの出し入れができる。
カバー部54の背面には、図12及び図13に示すように断熱防水カバー46をY軸スライダ14に取付けるための取付金具56,57が固定されている。断熱防水カバー46は、図2に示すクランク形状の取付ブラケット58と、ほぼ直板状の取付ブラケット59の上端部が樹脂連結部材108,109を介して取付金具56,57に取付られ、取付ブラケット58,59の下端部がY軸スライダ14の一対の後脚部17上に取付けられる。
As shown in FIG. 12, an
A
As shown in FIGS. 12 and 13, mounting
断熱防水カバー46は、板材をボックス状に形成した内装パネル60の周囲を樹脂製の断熱材61で覆い、図15及び図16で示すように断熱材61の表面は、金属製の外装パネル62で覆っている。外装パネル62は、内装パネル60との直接の接触部はなく、外装パネル62の端縁部62aが内装パネル60と間隔を開けて配設されている。すなわち、外装パネル62が内装パネル60との関係で浮いた状態に形成される。そして、端縁部62aでは、端縁部62aの外側に位置する固定用樹脂材63が、該固定用樹脂材63と断熱材61との間に、端縁部62aを狭着するようにして配設されている。
固定用樹脂材63は、図15に示すように、軸を水平方向に向けたビス64によって、外装パネル62に取付けられる一方、図15に示すように、軸を垂直方向に向けたボルト65によって、内装パネル60に固定される。この取付方については、図13に示す他の固定用樹脂材63についても同様である。なお、固定用樹脂材63は、図で示さないが断熱防水カバー46の縁部や開口の縁部全体に施されている。
The heat insulating
As shown in FIG. 15, the fixing
次に、ワークを冷却させる冷却水の排水路に関連する構造について説明する。
図1に示すように、Z軸スライダ48のブレード49の近傍には冷却水のノズル66が備えられている。この冷却水を回収する断熱トレイ43の後側部には、図4に示すように、排水口43dが形成され、配水管67が排水口43dに接続されて、下方側に、下端部が無接続状態で延びている。なお、断熱トレイ43については、傾斜面などを設けて排水口43d側を低くすることが好ましい。
図8に示すように、Y軸スライダ14には、後側面の一端側には、断面が開口側を上に向けたコ字形状のX軸断熱ドレン68が取付けられている。
このX軸断熱ドレン68は、X軸方向に樋状に長く延び、上述した配水管67の下端部が内部に導入されている。X軸スライダ26がX軸方向に進退動する際に、X軸スライダ26がどの位置にあっても、排水管67の下端部がX軸断熱ドレン68の直上方に位置し、冷却水がX軸断熱ドレン68に回収できるように構成する。すなわち、断熱トレイ43は、X軸断熱ドレン68に対してX軸方向への相対移動が可能であるが、Y軸方向への相対移動が規制される。図8に示すように、X軸断熱ドレン68の冷凍切断装置1における内方側端部には、排水口75が形成されている。
Next, a structure related to a cooling water drain for cooling the workpiece will be described.
As shown in FIG. 1, a cooling
As shown in FIG. 8, the Y-
This X-axis
電装ボックス4の上面には、Y軸断熱ドレン74が配設される。Y軸断熱ドレン74は、Y軸方向に樋状に長く延び、上述したX軸断熱ドレン68の排水口75の直下に位置するように配置される。Y軸スライダ14がY軸方向に進退動する際に、Y軸がどの位置にあっても、排水口75が常にY軸断熱ドレン74の直上方に位置し、冷却水がX軸断熱ドレン68に回収できるように構成する。すなわち、X軸断熱ドレン68は、Y軸断熱ドレン74に対して、Y軸方向への相対移動が可能であるが、X軸方向への相対移動が規制される。図4に示すように、X軸断熱ドレン68の冷凍切断装置1における後方側端部には、排水口76が形成されている。このY軸断熱ドレン74と上述のX軸断熱ドレン68は、冷却水が排水されるように各々の排水口75,76が低くなるような傾斜を形成することが望ましい。
A Y-axis
次に、Y軸断熱ドレン74の断熱構造について、その取付構造と併せて説明する。
図17及び図18に示すように、Y軸断熱ドレン74は、冷却水と直接接触する内装パネル79と接触しない外側の外装パネル80とを備え、内装パネル79の前端面は、冷凍切断装置1の前方側へ突出する取付フランジ81を形成している。内装パネル79と外装パネル80との間には、断熱材82が配設されている。そして、Y軸断熱ドレン74の上部外側周囲には、断熱材82を切欠いた部分に固定用樹脂材83が装着されている。この固定用樹脂材83を配設した部位では外装パネル80の上端部を、固定用樹脂材83の底部に沿って内側に曲げた折曲部80aを形成している。そして、ビス64によって内装パネル79と固定用樹脂材83を固定し、ボルト65によって外装パネル80と固定用樹脂材83を固定している。よって、Y軸断熱ドレン74の内装パネル79と外装パネル80とが直接接触する部分はなく、ボルト65についても、内装パネル79と接触するおそれがある部分については、孔84を形成することによって、内装パネル79と外装パネル80とが、ボルト65を介して間接的に接触することを阻止している。すなわち、断熱材82、固定用樹脂83の介在により、内装パネル79と外装パネル80は熱的に遮断される。
Next, the heat insulating structure of the Y-axis
As shown in FIGS. 17 and 18, the Y-axis
図17に示すように、電装ボックス4の前部にはL字形の取付ステー77を取付け、その先端部を冷凍固定装置1の後方側に延在させている。Y軸断熱ドレン74は、電装ボックス4上に浮かして配置され、その前端部が樹脂連結部材78を介して取付ステー77にボルト72などにより固定される。Y軸断熱ドレン74の後端部は、図19に示すように、内装パネル79に固定されてY軸断熱ドレン74の内装パネル79から下方に突出する取付フランジ85を設けている。取付フランジ85が外装パネル80と交差する部分には、外装パネル80にスリット88を形成し、取付フランジ85は、外装パネル80と接触していない。一方、電装ボックス4の後側面には取付ブラケット86を固定し、取付フランジ85と取付ブラケット86の間に樹脂連結部材87を介してボルト72とナット73などにより固定される。このように、内装パネル79を介してY軸断熱ドレン74が、電装ボックス4に固定される。
X軸断熱ドレン68について説明は省略するが、X軸断熱ドレン68に、Y軸断熱ドレン74と同様に内装パネルと外装パネルとが断熱材、固定用樹脂を用いることによって非接触状態で配設され、内装パネルに固定した取付フランジが外装パネルに形成したスリットから非接触状態で突出し、この取付フランジが樹脂連結部材を介して、Y軸スライダ14に固定した取付ブラケットにより固定される。
As shown in FIG. 17, an L-shaped attachment stay 77 is attached to the front portion of the
Although the description of the X-axis
図20は、冷凍切断装置とその周辺装置の冷凍システム図である。
冷凍切断装置1には、この冷凍切断装置1と併設して冷凍機90を設けている。冷凍機90は、温度上昇した冷却水を減温させるものであり、冷却水の冷却後、ポンプ91により管路92を通り、図10に示す冷凍切断装置1の冷却プレート39に冷却水を圧送する。冷却プレート39の流通路41を通った冷却水は、管路93を通り冷凍機90に戻される。
また、冷凍機90のポンプ91からは、予備冷却プレート94へ管路95を介して冷却水が圧送される。予備冷却プレート94では、その上面にサブストレート97が載置され、サブストレート97とワーク98が冷凍固定される。予備冷却プレート94を通った冷却水は、管路96を通り冷凍機90に戻される。
FIG. 20 is a refrigeration system diagram of the refrigeration cutting apparatus and its peripheral devices.
The freezing and cutting
Further, the cooling water is pumped from the
冷凍機90には、さらに他のポンプ99が備えられ、このポンプ99からは、冷却水が管路100を圧送され、冷凍切断装置1のノズル66から噴出される。この冷却水は、上述した断熱トレイ43に回収され、X軸断熱ドレン68、Y軸断熱ドレン74を介して冷凍切断装置1の外に排出され、Y軸断熱ドレン74の排水口76に接続された管路101を介して、その下流側に配置された循環中継タンク102に、一旦溜められる。次いで、循環中継タンク102に備えられたポンプ103によって、管路104を圧送され、切削粉除去装置105に供給される。ここで、ワーク98の切削粉がろ過された冷却水はポンプ106により管路107を圧送されて冷凍機90に戻される。
The
以下、本発明のワークの冷凍固定装置における作用について説明する。
前作業として、予め予備冷却プレート94を5℃−15℃程度に冷却しておく。ワークの凝固剤としては、水溶性ポリマーのポリビニルアルコール(以下PVAと略す)を使用してワークを固定できる。サブストレート97(及び/又はワーク98)にPVAを塗布するときはハケによってPVAを塗布することができ、ワーク98をサブストレート97上に載せる。PVAは粘性があるので、ワーク98がサブストレート上に仮保持される。したがって、凝固剤として粘性があるものが好ましい。また、サブストレート97にカーボンなどの多孔性のものや、水分が染み込むような材質のものを用いるようなときは、凝固剤がシリコンオイルや水であると、シリコンオイルがカーボン等の内部に染み込んで、接着することができないことがあるが、粘性があれば、カーボンの内部に凝固剤が染み込むことがなく、ワーク98をサブストレート97に固定できる。
水溶性ポリマーであって、粘性のある凝固剤として、PVAの他、常温で接着力を有するデンプン、アルギン酸ソーダ、カルボキシメチルセルロース(CMC)などの水溶性ポリマーを使用することができる。
Hereinafter, the operation of the work refrigeration fixing apparatus according to the present invention will be described.
As a pre-operation, the
In addition to PVA, water-soluble polymers such as starch, sodium alginate, and carboxymethylcellulose (CMC) that have adhesive strength at room temperature can be used as a viscous coagulant.
また、水は、サブストレート97がガラスであるときガラス面の全体に水を塗ると表面張力によって、散点的に水玉となり、ガラスとの濡れ(付着)性が悪く、例えば転がりやすい丸棒の円周面を所定の位置に正確に固定することが困難であり、接着力も小さい。PVAは粘性、粘着性があり、ガラス面の全体にハケで斑なく(ガラス面に斑なく塗ることは必須ではないが)塗ることができ、丸棒なども転がることなく、位置決めを容易に行うことができる。
そして、ワーク98をサブストレート97上に仮保持させた後は、予備冷却プレート94上にて、サブストレート97とワーク98を冷却する。
Also, when the
After the
サブストレート97とワーク98が冷凍固定した後、それらを冷凍固定装置1のチャックテーブル5の上に載置し、バキュームチャック40の吸引力によりサブストレート97を固定する。次いで、Y軸スライダ14、X軸スライダ26及びZ軸スライダ48を適宜移動させて、ブレード49に対するワーク98の位置決めを行う。そして、ノズル66から冷却水をワーク98に向けて噴出させて、サブストレート97とワーク98の冷凍固定状態を維持させたまま、ワーク98をブレード49で切削する。ノズル66から噴出される冷却水の温度は2℃−15℃の範囲とする。ワーク98の切削は、ブレード49を回転させて、チャックテーブル5をブレード49に対してX軸方向に移動させて行う。Y軸スライダ14及びX軸スライダ26のいずれを移動させても、断熱トレイ43に取付けた配水管67の排出端は、X軸断熱ドレン68の直上に位置し、X軸断熱ドレン68の排水口75はY軸断熱ドレン74の直上に位置する。
After the
そして、図21に示すように、回転刃であるブレード49を駆動手段によって回転させて、ワーク98を切削する。このとき、ブレード49を切断するとともに、サブストレート97の表面部分も僅かに切断される。ワークの形状が、サブストレート97に対して接着面積の小さい形状、例えば図21に示すように丸棒形状のワーク98の外周面のように、サブストレート97に対して線接触しているようなワーク98を切断するときにも、PVCの冷凍固定力は、充分に切断に耐えうる強度で、ワーク98の剥離が防止されるようになった。
切削作業中では、ノズル66から噴出された冷却水は、ブレード49に当たると吹き上げられて、カバー部54の内面に配設される内装カバーパネル60に跳ね飛ばされて、冷やされる。しかしながら、この内側に配設されている内装カバーパネル60が外側に装着されている外装カバーパネル62と接触していないので、これらのカバーパネル60,62間に熱伝導がなく、それらの間には断熱材61が装填されており、外装カバーパネル62に結露が発生するのを防止できる。
Then, as shown in FIG. 21, the
During the cutting operation, the cooling water ejected from the
跳ね飛ばされた冷却水やチャックテーブル5から流下した冷却水は、断熱トレイ43に回収される。断熱トレイ43は、断熱材47を配設し、内装パネル44と外装パネル45とが非接触状態であるので、底部に位置する外装パネル45側に冷熱が伝わることがなく、結露が生じない。よって、結露による水滴が下側に配置されているY軸スライダ14に設けたX軸スクリュー25に流下することなく、その錆びの発生を防止する。
断熱トレイ43に回収された冷却水は、その排出口43dから配水管67を介してX軸断熱ドレン68に流下し、次いでX軸断熱ドレン68の排水口75からY軸断熱ドレン74に流下する。
The splashed cooling water or the cooling water flowing down from the chuck table 5 is collected in the
The cooling water collected in the
断熱トレイ43は、内装パネル44側が直接冷却水と接触するが、内装パネル44と外装パネル45が、断熱材47を介在させて非接触状態で組付けられているので、外装パネル45側の熱が内装パネル44側に伝わることなく、外装パネル45面は常温に近い温度が維持されて、結露が生じることが防止される。
同様に、Y軸断熱ドレン74についても、直接冷却水と接触する内装パネル79が、外装パネル80と非接触状態にあるので、外装パネル80に結露が生じることなく、X軸断熱ドレン68についても同じく、結露の発生を防止できる。
Although the
Similarly, since the
Y軸断熱ドレン74は、Y軸断熱ドレン74自体を取付箇所の電装ボックス4から浮かして配置しているので、冷熱が電装ボックス4側に伝わることがない。Y軸断熱ドレン74を電装ボックス4側に取付ける取付フランジ81,85は、冷却水と接触する内装パネル79と接触しているが、樹脂連結部材78,87を介して電装ボックス4側に取付けしているので、電装ボックス4に冷熱が伝わらず、内部に配設されている電装部品が凍結することがない。これについては、X軸断熱ドレン68についても、同じ構造であるので、Y軸スライダ14に冷熱が伝わらない。
Since the Y-axis
同様に、断熱防水カバー46の内装パネル44に直接連結されている取付金具56,57には冷熱が伝わるが、樹脂連結部材108,109(図2参照)を介して、取付ブラケット58,59によってY軸スライダ14に取付けるので、内装パネル44の冷熱がY軸スライダ14側に伝わることがない。よって、Y軸スライダ14の構造部材が冷熱によって、その作動に支障を来たすことを防止できる。
断熱トレイ43もまた、図11に示すように、断熱トレイ43をX軸スライダ26に取付けるために、固定金具69及びコ字形金具70の間に樹脂連結部材71を設けており、断熱トレイ43の内装パネル44の冷熱がX軸スライダ26に伝わることがない。よって、X軸スライダ26の構造部材が冷熱によって、その作動に支障を来たすことを防止できる。
Similarly, cold heat is transmitted to the mounting
As shown in FIG. 11, the
ワーク98を切削した後は、サブストレート97と未だサブストレート97に凍結固定されているワーク98を取り出し、予め準備していた温水槽(又は水槽)にサブストレート97及びワーク98を浸漬して解凍する。凝固剤としてのPVAは水溶性であるので、容易に水に溶かすことができる。
よって、ワーク98をサブストレート97から分離する手作業、すなわち、再度サブストレートを120℃程度熱し、ワックスを溶かしてから1つ1つの切断されたワークをサブストレートから剥離させる必要ない。また、凝固剤としてワックスを使わないので、面倒なワックス洗浄工程が省略できる。特に、ワークが薄く、小さい場合に本願発明は特に効果的である。
なお、切断したワーク98をそのままサブストレート97に保持させるときは、PVAがもともと接着剤であるので、水分が除去してPVAが乾燥すると、そのままワーク98がサブストレート97に接着されるので、そのまま、自然乾燥等をすれば、全体がサブストレート97の接着したまま残される。
After cutting the
Therefore, it is not necessary to manually separate the workpiece 98 from the
When the
以下、本発明のPAVの接着力に対する試験結果を示す。
[実施例1]
図22に示すように、厚さ5mmの板ガラス110をサブストレートとし、縦×横(底面)が10×10mmの角柱ガラス111をワークとし、板ガラス110と角柱ガラス111との接着部の接着力を計測した。角柱ガラス111の引き剥がし方法は、角柱ガラス111の板ガラス110面から5cmの高さの部分を水平方向へ引き、そのときの引っ張り力を計測した。
図23は、図22に対応するモーメント図である。角柱ガラス111が傾く角部を作用点sとし、接着力fと引っ張り力Fの作用点までの距離の回転モーメントを計算し、引っ張り力Fを図って接着力fを導き出した。接着力fと支点sまでの距離は、角柱ガラス111の底辺の長さの半分(平均値)の0.5cmとした。
凝固剤としての試料は、本実施例ではPVAとし、比較例として、ワックス、水、シリコン系オイルを用いた。
PVA、水、シリコン系オイル(凍結凝固剤としての市販品)は、マイナス15℃で凍結凝固させた。PVAの希釈濃度は100%である。
PVAの試験結果を表1に示す。
The test results for the adhesive strength of the PAV of the present invention are shown below.
[Example 1]
As shown in FIG. 22, a
FIG. 23 is a moment diagram corresponding to FIG. A corner portion where the
The sample as the coagulant was PVA in this example, and wax, water, and silicon oil were used as comparative examples.
PVA, water, and silicon-based oil (commercially available products as freeze-coagulating agents) were freeze-coagulated at minus 15 ° C. The dilution concentration of PVA is 100%.
The test results of PVA are shown in Table 1.
[実施例2]
次に、PVAを水で薄めて、上記角柱ガラスとガラス板との接着力を測定した。条件は、PVAの濃度を希釈した以外は同じである。結果を表2及び表3に示す。表2は、PVAの希釈濃度(水)に対する接着力の試験結果のアベレージを示す。表3は、各試験の回数毎のデータを示す。なお、シリコン系オイルは市販で、冷凍固定用として販売されているものをそのまま使用した。
[Example 2]
Next, PVA was diluted with water, and the adhesive force between the prismatic glass and the glass plate was measured. The conditions are the same except that the concentration of PVA is diluted. The results are shown in Tables 2 and 3. Table 2 shows the average of the test results of the adhesive strength against the diluted concentration of PVA (water). Table 3 shows the data for each number of tests. In addition, silicon-based oil is commercially available and used as it is for freezing and fixing.
このように、PVAは、角柱ガラスとガラス板とを、従来品の冷凍凝固剤よりも大きな力で冷凍固定できるのが、確認できた。
なお、接着力はワックスが最も大きいが、加熱、剥がし、ワックス洗浄などの作業があるので、切削時間の短縮、切削までに至る予備作業の容易性の利点の方が大きい。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は勿論、本発明の技術的思想に基づいて、種々の変更が可能である。
本実施の形態では、冷凍固定装置をワークの切断装置で説明したが、冷凍固定装置は切断機以外の冷凍固定装置、例えば研磨機の冷凍固定装置にも適用が可能である。
Thus, it was confirmed that PVA can freeze and fix a prismatic glass and a glass plate with a greater force than a conventional frozen coagulant.
The wax has the largest adhesive strength, but since there are operations such as heating, peeling, and wax cleaning, the advantages of the shortening of the cutting time and the ease of the preliminary work up to the cutting are greater.
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be variously modified based on the technical idea of the present invention.
In the present embodiment, the refrigeration fixing device has been described as a workpiece cutting device. However, the refrigeration fixing device can be applied to a refrigeration fixing device other than a cutting machine, for example, a refrigeration fixing device of a polishing machine.
1 冷凍切断装置
2 基台
5 チャックテーブル
14 Y軸スライダ
26 X軸スライダ
38,47,61,82 断熱材
43 断熱トレイ
44,79 内装パネル
45,80 外装パネル
48 Z軸スライダ
49 ブレード
63,83 固定用樹脂材
68 X軸断熱ドレン
71,78,87 樹脂連結部材
74 Y軸断熱ドレン
98 ワーク
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記凝固剤が接着性を有する水溶性ポリマーであることを特徴とするワークの冷凍固定方法。 A liquid or viscous coagulant is interposed between the workpiece and the substrate, the coagulant is frozen, and the workpiece and the substrate are frozen and fixed with the coagulant, and the substrate is fixed with the workpiece. In a method for freezing and fixing a workpiece in which the workpiece is processed by a processing tool.
A method for freezing and fixing a workpiece, wherein the coagulant is a water-soluble polymer having adhesiveness.
前記凝固剤が水溶性ポリマーであることを特徴とするワークの冷凍固定装置。 A chuck table for fixing a workpiece, a processing tool for processing the workpiece, a support member for supporting the processing tool, a transfer means for transferring the chuck table in a horizontal direction, and the support member for the chuck table Elevating means for moving up and down, and a base in which a control unit for supporting and controlling the transfer means and elevating means is provided, and the work is frozen and fixed to the substrate by a liquid or viscous coagulant. In addition, in the refrigeration fixing device of the work that is configured to fix the substrate to the chuck table,
The apparatus for freezing and fixing a workpiece, wherein the coagulant is a water-soluble polymer.
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