JP2007201309A - Parameter renewal system of simulation - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a parameter renewal system of a simulation capable of accurately grasping a process load required to achieve a production plan. <P>SOLUTION: The system renewing the parameter inputted in a computer for simulating the process load of the production line for manufacturing a semiconductor device comprises the steps of simulating the process load by inputting the production plan and the parameter of the semiconductor device, and determining the incoming parameter inputted in the computer by the subsequent go-round simulation on the basis of the actual parameter becoming evident in the actual operation of the production line in the process load obtained in the simulation. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、シミュレーションのパラメータ更新システムに関し、特に、生産計画を達成するために必要な工程負荷をより精度高く把握できるようにした技術に関する。   The present invention relates to a simulation parameter update system, and more particularly to a technique that enables a process load necessary for achieving a production plan to be grasped with higher accuracy.

従来から、工場内の生産をシミュレートして生産管理をする技術が知られている（例えば、特許文献１〜４参照。）。例えば特許文献１には、生産ラインのシミュレーションで必要とする設備や投入計画といったデータを作成するためのひな型をテンプレートとして保有しておき、このテンプレートへパラメータを入力することによってシミュレーションモデルを作成する技術が開示されている。
特開２０００−１７３８８２号公報 特開２００３−２８８４７６号公報 特開２００２−２３８２３号公報 特開平８−７００３号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, techniques for managing production by simulating production in a factory are known (see, for example, Patent Documents 1 to 4). For example, in Patent Document 1, a template for creating data such as equipment required for simulation of a production line and input plan is stored as a template, and a simulation model is created by inputting parameters to the template. Is disclosed.
JP 2000-173882 A JP 2003-288476 A JP 2002-23823 A JP-A-8-7003

ところで、シミュレーションのパラメータは、生産ラインの装置・設備を担当する設備技術者や、半導体装置（製品）の検査工程を担当する製品技術者等によってその値が設定されていることが一般的である。これらの値は設備技術者や製品技術者によって定期的に見直され、できるだけ現実に近い値に設定されることが好ましい。しかし、半導体装置の生産工場では、装置の処理能力や製品の歩留まりが過少評価され、パラメータの値が実際の能力よりも低めに設定される傾向が特に強い。   By the way, values of simulation parameters are generally set by equipment engineers in charge of production line equipment / equipment, product engineers in charge of semiconductor device (product) inspection processes, and the like. . These values are reviewed regularly by equipment engineers and product engineers, and are preferably set as close to reality as possible. However, in the semiconductor device production factory, the processing capacity of the device and the yield of the product are underestimated, and the parameter value tends to be set lower than the actual capability.

例えば、ウエーハ１枚当たりのドライエッチングに要する時間が１分程度である場合、ドライエッチング装置担当の設備技術者はその所要時間を１分よりも長く設定しがちである。また、半導体装置（製品）の歩留まりが９５％程度である場合、当該製品を担当する製品技術者はその歩留まりを９５％よりも低く設定しがちである。
このように、パラメータにマージンを持たせる理由は、処理能力の不足や生産計画の未達といったリスクを低減するためである。半導体装置の生産工場はそのほとんどが２４時間フル稼働であるが、このような生産工場では生産処理が休みなく続くために時間的余裕がなく、しかも製品が出来上がるまでに数週間〜数ヶ月を要するため、装置が意図せずダウンしたり、歩留まりが予想外に低かったりした場合にはその取り返しが困難である。パラメータにマージンを持たせることで、トラブルが発生した場合でもその取り返しが容易となる。 For example, when the time required for dry etching per wafer is about 1 minute, the equipment engineer in charge of the dry etching apparatus tends to set the required time longer than 1 minute. Further, when the yield of a semiconductor device (product) is about 95%, a product engineer in charge of the product tends to set the yield lower than 95%.
As described above, the reason why the parameter has a margin is to reduce risks such as a shortage of processing capacity and a failure to achieve the production plan. Most of the production plants for semiconductor devices are in full operation for 24 hours. However, in such production plants, there is no time for production processing to continue without a break, and it takes several weeks to several months for the product to be completed. Therefore, if the device goes down unintentionally or the yield is unexpectedly low, it is difficult to recover. By giving a margin to the parameter, it is easy to recover even if a problem occurs.

しかしながら、上記マージンは設備技術者や製品技術者の経験や、勘、予想に基づいて決定されていたので、ドライエッチング装置の待機（空き）時間が必要以上に長くなっていたり、製品の生産数が生産計画で予定されていた数よりも多くなっていたりする場合も少なくなくなかった。
本発明は、このような解決すべき問題に着目してなされたものであって、生産計画を達成するために必要な工程負荷をより精度高く把握できるようにしたシミュレーションのパラメータ更新システムの提供を目的とする。 However, since the above margin was determined based on the experience, intuition, and expectation of equipment engineers and product engineers, the standby (vacant) time of the dry etching equipment was longer than necessary, and the number of products produced. Often there were more than the number planned in the production plan.
The present invention has been made paying attention to such a problem to be solved, and provides a simulation parameter update system that can more accurately grasp the process load necessary to achieve a production plan. Objective.

上記目的を達成するために、発明１のシミュレーションのパラメータ更新システムは、半導体装置を生産する生産ラインの工程負荷をシミュレーションするためにコンピュータに入力されるパラメータ、を更新するシステムであって、前記半導体装置の生産計画と前記パラメータとを前記コンピュータに入力して前記工程負荷をシミュレーションし、前記シミュレーションによって得られた前記工程負荷で前記生産ラインが実際に動くことによって明らかとなる実績パラメータに基づいて、次回以降のシミュレーションで前記コンピュータに入力される次期パラメータを決定する、ことを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, a simulation parameter update system according to a first aspect of the present invention is a system for updating parameters input to a computer for simulating a process load of a production line for producing a semiconductor device, wherein the semiconductor The production plan of the apparatus and the parameters are input to the computer to simulate the process load, and based on the actual parameters that are clarified by actually moving the production line at the process load obtained by the simulation, The next parameter input to the computer is determined in the next and subsequent simulations.

ここで、「生産ライン」とは、例えば、ウエーハ上に多数のＩＣを作り込む前工程や、ＩＣが作り込まれたウエーハをダイシングしてチップ化し、ＩＣチップをパッケージに収納する後工程や、前工程と後工程との間（或いは後工程の後）の検査工程等の何れか一、又はそれらの組合せのことである。「工程負荷」とは、例えば、生産計画を達成するために必要な装置の台数や、治具の台数、人員（作業者、事務員）の配置数等のことである。「パラメータ」とは、例えば、装置の処理能力（単位時間当たりの処理数、メンテナンス周期、１回当たりのメンテナンス所要時間）や、人員の作業能力（単位時間当たりの作業量、休憩の周期、１回当たりの休憩時間）、半導体装置の歩留まり等のことである。「生産計画」とは、例えば、一ヶ月当たり又は四半期当たりの半導体装置の生産目標数のことである。生産計画は、例えば、前工程ではウエーハの枚数で示され、後工程ではＩＣチップの個数で示される。「コンピュータ」とは、シミュレーション機能を備えたコンピュータのことである。   Here, the “production line” means, for example, a pre-process for making a large number of ICs on a wafer, a post-process for dicing a wafer in which ICs are built, and storing the IC chip in a package, It is any one of the inspection process between the pre-process and the post-process (or after the post-process), or a combination thereof. “Process load” is, for example, the number of devices necessary to achieve a production plan, the number of jigs, the number of personnel (operators, clerks), and the like. “Parameter” means, for example, the processing capacity of the apparatus (the number of processes per unit time, the maintenance cycle, the time required for maintenance per time), the work capacity of personnel (the amount of work per unit time, the period of breaks, Break time), the yield of semiconductor devices, and the like. “Production plan” is, for example, the target number of semiconductor devices produced per month or quarter. For example, the production plan is indicated by the number of wafers in the previous process, and is indicated by the number of IC chips in the subsequent process. A “computer” is a computer having a simulation function.

発明２のシミュレーションのパラメータ更新システムは、発明１のパラメータ更新システムにおいて、前記実績パラメータを前記次期パラメータに決定することを特徴とするものである。
発明１、２のパラメータ更新システムによれば、次回以降のシミュレーションでコンピュータに入力される次期パラメータに生産ラインの実績が反映されるので、シミュレーションと実際の生産との差が小さくなり、シミュレーションの精度を高めることができる。これにより、生産計画を達成するために必要な工程負荷をより精度高く把握することが可能となる。 A simulation parameter update system according to a second aspect of the present invention is the parameter update system according to the first aspect, wherein the actual performance parameter is determined as the next parameter.
According to the parameter updating system of the first and second aspects, the production line results are reflected in the next parameter input to the computer in the next and subsequent simulations, so the difference between the simulation and the actual production is reduced, and the simulation accuracy is reduced. Can be increased. Thereby, it becomes possible to grasp the process load necessary for achieving the production plan with higher accuracy.

発明３のシミュレーションのパラメータ更新システムは、発明１のパラメータ更新システムにおいて、前記次期パラメータを決定する際に、前記パラメータと前記実績パラメータとを比較してコスト面で有利な方を前記次期パラメータに決定することを特徴とするものである。
ここで、「コスト面で有利な方」とは、例えば、ドライエッチング装置のウエーハ１枚当たりのエッチング所要時間に関して説明すると、設備技術者によって最初に設定されたパラメータ（処理時間）が１分３０秒で、当月の実績パラメータが１分１０秒の場合には、実績パラメータである１分１０秒が「コスト面で有利な方」である。一方、設備技術者によって最初に設定されたパラメータ（処理時間）が１分３０秒で、当月の実績パラメータが１分５０秒の場合には、設備技術者によって最初に設定されたパラメータである１分３０秒が「コスト面で有利な方」である。 The simulation parameter update system according to a third aspect of the present invention is the parameter update system according to the first aspect, wherein when determining the next parameter, the parameter is compared with the actual parameter to determine which one is advantageous in terms of cost as the next parameter. It is characterized by doing.
Here, “cost advantageous” means, for example, the time required for etching per wafer in a dry etching apparatus. The parameter (processing time) initially set by the facility engineer is 1 minute 30 When the actual parameter of the current month is 1 minute and 10 seconds, the actual parameter of 1 minute and 10 seconds is the “cost advantageous”. On the other hand, when the parameter (processing time) initially set by the equipment engineer is 1 minute 30 seconds and the actual parameter for the current month is 1 minute 50 seconds, the parameter is the first parameter set by the equipment engineer 1 Minute 30 seconds is the “cost advantage”.

発明３のパラメータ更新システムによれば、シミュレーション精度の向上を図りつつ、生産コストの増大を抑制することが可能である。   According to the parameter update system of the invention 3, it is possible to suppress an increase in production cost while improving the simulation accuracy.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るシミュレーションのパラメータ更新システム１０を示すブロック図である。ここでは、例えば、パッケージングされたＩＣチップの検査ラインの工程負荷を、シミュレーション機能を備えたコンピュータ（即ち、シミュレータ）を用いてシミュレーションする場合について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing a simulation parameter update system 10 according to an embodiment of the present invention. Here, for example, a case will be described in which the process load on the inspection line of a packaged IC chip is simulated using a computer (that is, a simulator) having a simulation function.

まず始めに、コンピュータにマスタデータ１と、生産計画に関する情報２とを入力する。マスタデータ１としては、例えば、テスタの処理能力に関する情報や、人員の作業能力に関する情報や、予想されるＩＣチップの歩留まりに関する情報等がある。テスタの処理能力に関する情報としては、例えば、単位時間当たりの検査数、メンテナンス周期、メンテナンス１回当たりの所要時間などがある。また、人員の作業能力に関する情報としては、例えば、単位時間当たりの作業量、休憩の周期、１回当たりの休憩時間などがある。
また、生産計画に関する情報２としては、例えば、ＩＣチップの一ヶ月当たりの良品出荷目標数がある。 First, master data 1 and information 2 relating to a production plan are input to a computer. The master data 1 includes, for example, information on the processing capability of the tester, information on the work capability of personnel, information on the expected yield of IC chips, and the like. Examples of the information on the processing capability of the tester include the number of inspections per unit time, a maintenance cycle, and a required time per maintenance. Examples of information on the work ability of personnel include a work amount per unit time, a break cycle, and a break time per time.
Moreover, as the information 2 regarding the production plan, for example, there is a non-defective shipment target number per month of the IC chip.

次に、コンピュータのシミュレーション機能を動作させて工程負荷を算出する。ここでは、例えば、生産計画を達成するために必要なテスタの台数や、バーンインボードの枚数、外観検査を行う検査員の人数、事務職員の人数などが工程負荷として算出される（ステップＳ１）。次に、算出された工程負荷に基づいてテスタやバーンインボードを準備すると共に、人員を配置して検査ラインを構築する（ステップＳ２）。そして、この検査ラインで、ＩＣチップの検査を一ヶ月間行う（ステップＳ３）。   Next, the process load is calculated by operating the simulation function of the computer. Here, for example, the number of testers necessary to achieve the production plan, the number of burn-in boards, the number of inspectors who perform appearance inspection, the number of office workers, and the like are calculated as process loads (step S1). Next, a tester and a burn-in board are prepared based on the calculated process load, and personnel are arranged to construct an inspection line (step S2). Then, the IC chip is inspected for one month on this inspection line (step S3).

ＩＣチップの検査を一ヶ月間行ったら、その結果（即ち、実績データ３）を検証する。ここでは、実績データ３として、テスタの一ヶ月間の実処理能力に関する情報（テスタの単位時間当たりの実際の検査数、メンテナンスの実際の周期、メンテナンス１回当たりの実際の所要時間など）や、人員の一ヶ月間の実作業能力に関する情報（単位時間当たりの実際の作業量、休憩の実際の周期、１回当たりの実際の休憩時間など）や、ＩＣチップの一ヶ月間の実際の歩留まりに関する情報等を取得する。
そして、この取得した情報（即ち、実績データ３）をコンピュータに入力し、実績データ３と、ステップＳ１でコンピュータに入力したマスタデータ１とを比較してその数値差を検証する（ステップＳ４）。 After the IC chip is inspected for one month, the result (ie, the performance data 3) is verified. Here, as the performance data 3, information on the actual processing capacity of the tester for one month (the actual number of inspections per unit time of the tester, the actual cycle of maintenance, the actual required time per maintenance, etc.) Information on actual work ability for one month (actual work amount per unit time, actual cycle of break, actual break time per time, etc.) and actual yield of IC chip for one month Get information.
Then, the acquired information (that is, the result data 3) is input to the computer, the result data 3 is compared with the master data 1 input to the computer in step S1, and the numerical difference is verified (step S4).

ここで、数値差が小さい場合には、次回以降のシミュレーションでも今回と同じ数値をマスタデータ１としてコンピュータに入力すれば良い。例えば、マスタデータ１として入力されたＩＣチップの予想歩留まりが９２％であり、ＩＣチップの一ヶ月間の実際の歩留まりが９２％である場合には、その差はないので、次回以降のシミュレーションでも今回と同じ数値［９２％］をマスタデータ１としてコンピュータに入力する。つまり、次期パラメータは［９２％］である。   Here, if the numerical difference is small, the same numerical value as this time may be input to the computer as the master data 1 in the next and subsequent simulations. For example, when the expected yield of the IC chip input as the master data 1 is 92% and the actual yield of the IC chip for one month is 92%, there is no difference. The same numerical value [92%] as this time is input as master data 1 to the computer. That is, the next parameter is [92%].

一方、実績データ３と、ステップＳ１でコンピュータに入力したマスタデータ１との数値差が大きい場合には、次回以降のシミュレーションでは実績データ３をマスタデータ１としてコンピュータに入力し、検査ラインの工程負荷をシミュレーションする。例えば、マスタデータ１として先に入力されたＩＣチップの予想歩留まりが９２％であり、実際の歩留まりが平均で９５％であった場合には、次回以降のシミュレーションでは実績データ［９５％］をマスタデータ１としてコンピュータに入力する。つまり、次期パラメータは［９５％］である。   On the other hand, if the numerical value difference between the actual data 3 and the master data 1 input to the computer in step S1 is large, the actual data 3 is input to the computer as the master data 1 in the next simulation and the process load on the inspection line To simulate. For example, when the expected yield of the IC chip previously input as the master data 1 is 92% and the actual yield is 95% on average, the actual data [95%] is used as the master in the subsequent simulations. Data 1 is input to the computer. That is, the next parameter is [95%].

また、テスタの単位時間当たりの検査数を例に挙げると、マスタデータ１として先に入力されたテスタの検査数が１００個／単位時間であり、実際の検査数が平均で１２０個／単位時間であった場合には、次回以降のシミュレーションでは実績データ［１２０個／単位時間］をマスタデータ１としてコンピュータに入力する。
実績データを使用するかマスタデータを使用するかの判断はコンピュータを操作する人が行っても良いし、コンピュータが自動的に判断するようにしても良い。コンピュータに自動的に判断させる場合には、実績データを使用する場合とマスタデータを使用する場合との境界線（閾値）となる基準値を、コンピュータに予め入力しておく。 Taking the number of inspections per unit time of the tester as an example, the number of inspections of the tester previously input as the master data 1 is 100 / unit time, and the average number of inspections is 120 / unit time on average. If this is the case, the actual data [120 pieces / unit time] is input to the computer as master data 1 in the next and subsequent simulations.
Whether to use the record data or the master data may be determined by a person who operates the computer, or the computer may determine automatically. In the case of making the computer automatically determine, a reference value serving as a boundary line (threshold value) between using actual data and using master data is input to the computer in advance.

このように、本発明の実施の形態によれば、次回以降のシミュレーションでコンピュータに入力される次期パラメータに検査ラインの実績が反映されるので、シミュレーションと実際の検査との差が小さくなり、シミュレーションの精度を高めることができる。これにより、検査ラインにおいて生産計画を達成するために必要な工程負荷をより精度高く把握することが可能となる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, since the results of the inspection line are reflected in the next parameter input to the computer in the next and subsequent simulations, the difference between the simulation and the actual inspection is reduced, and the simulation is performed. Can improve the accuracy. Thereby, it becomes possible to grasp the process load necessary for achieving the production plan in the inspection line with higher accuracy.

なお、上記実施の形態では、実績データ３と、ステップＳ１でコンピュータに入力したマスタデータ１との数値差が大きい場合には、次回以降のシミュレーションでは実績データ３をマスタデータ１として使用することについて説明した。しかしながら、本発明では、上記数値差が大きい場合にマスタデータ１を無条件に実績データ３と置き換えるのではなく、マスタデータ１と実績データ３とを比較して、コスト面で有利な方をマスタデータ１として次回以降使用する構成であっても良い。   In the above embodiment, when there is a large numerical difference between the actual data 3 and the master data 1 input to the computer in step S1, the actual data 3 is used as the master data 1 in the next simulation. explained. However, in the present invention, when the numerical difference is large, the master data 1 is not replaced with the actual data 3 unconditionally. The data 1 may be used after the next time.

例えば、マスタデータ１として先に入力されたテスタの検査数が１００個／単位時間であり、実際の検査数が平均で９０個／単位時間であった場合には、コスト面で有利な方は１００個／単位時間である。従って、この場合には、次回以降のシミュレーションでも１００個／単位時間をマスタデータ１としてコンピュータに入力する。
一方、マスタデータ１として先に入力されたテスタの検査数が１００個／単位時間であり、実際の検査数が平均で１２０個／単位時間であった場合には、コスト面で有利な方は１２０個／単位時間である。従って、この場合には、次回以降のシミュレーションで１２０個／単位時間をマスタデータ１としてコンピュータに入力する。 For example, if the number of inspections of the tester previously input as the master data 1 is 100 / unit time and the actual number of inspections is 90 / unit time on average, the one that is advantageous in terms of cost is 100 pieces / unit time. Therefore, in this case, 100 pieces / unit time are input to the computer as master data 1 in the subsequent simulations.
On the other hand, if the number of inspections of the tester previously input as the master data 1 is 100 / unit time and the actual number of inspections is 120 / unit time on average, the one that is advantageous in terms of cost is 120 pieces / unit time. Therefore, in this case, 120 pieces / unit time are input to the computer as master data 1 in the next and subsequent simulations.

つまり、コンピュータに入力されたマスタデータ１と実績データ３とを項目毎に比較して、実績データ３の方がコスト面で有利であることが明らかとなった項目についてのみ、実績データ３を次回以降のマスタデータ１として使用する。実績データ３の方がコスト面で不利であることが明らかとなった項目についてはマスタデータ１の変更を行わない。このような構成であれば、シミュレーション精度の向上を図りつつ、生産コストの増大を抑制することが可能である。   That is, the master data 1 and the actual data 3 input to the computer are compared for each item, and the actual data 3 is only stored for the items that the actual data 3 has been found to be advantageous in terms of cost. Used as master data 1 thereafter. The master data 1 is not changed for items for which it is clear that the performance data 3 is disadvantageous in terms of cost. With such a configuration, it is possible to suppress an increase in production cost while improving simulation accuracy.

実施の形態に係るシミュレーションのパラメータ更新システム１０を示す図。The figure which shows the parameter update system 10 of the simulation which concerns on embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１ マスタデータ、２ 生産計画、３ 実績データ、１０ パラメータ更新システム   1 Master data, 2 Production plan, 3 Actual data, 10 Parameter update system

Claims (3)

半導体装置を生産する生産ラインの工程負荷をシミュレーションするためにコンピュータに入力されるパラメータ、を更新するシステムであって、
前記半導体装置の生産計画と前記パラメータとを前記コンピュータに入力して前記工程負荷をシミュレーションし、
前記シミュレーションによって得られた前記工程負荷で前記生産ラインが実際に動くことによって明らかとなる実績パラメータに基づいて、次回以降のシミュレーションで前記コンピュータに入力される次期パラメータを決定する、ことを特徴とするシミュレーションのパラメータ更新システム。 A system for updating parameters input to a computer in order to simulate a process load of a production line that produces semiconductor devices,
The semiconductor device production plan and the parameters are input to the computer to simulate the process load,
The next parameter to be input to the computer is determined in the next and subsequent simulations based on performance parameters that are clarified when the production line actually moves with the process load obtained by the simulation. Simulation parameter update system. 前記実績パラメータを前記次期パラメータに決定することを特徴とする請求項１に記載のシミュレーションのパラメータ更新システム。   The simulation parameter update system according to claim 1, wherein the performance parameter is determined as the next parameter. 前記次期パラメータを決定する際に、前記パラメータと前記実績パラメータとを比較してコスト面で有利な方を前記次期パラメータに決定することを特徴とする請求項１に記載のシミュレーションのパラメータ更新システム。   2. The simulation parameter update system according to claim 1, wherein, when determining the next parameter, the next parameter is determined by comparing the parameter with the actual parameter to determine the one that is advantageous in terms of cost.
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