JP2007193232A - Light source device - Google Patents

Light source device Download PDF

Info

Publication number
JP2007193232A
JP2007193232A JP2006013021A JP2006013021A JP2007193232A JP 2007193232 A JP2007193232 A JP 2007193232A JP 2006013021 A JP2006013021 A JP 2006013021A JP 2006013021 A JP2006013021 A JP 2006013021A JP 2007193232 A JP2007193232 A JP 2007193232A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
light
optical
optical fiber
spectrum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006013021A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4882386B2 (en
Inventor
Toshiaki Okuno
俊明 奥野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2006013021A priority Critical patent/JP4882386B2/en
Priority to CN200780002590XA priority patent/CN101371192B/en
Priority to US11/883,364 priority patent/US8054537B2/en
Priority to PCT/JP2007/050591 priority patent/WO2007083660A1/en
Priority to EP07706906A priority patent/EP1925975A4/en
Publication of JP2007193232A publication Critical patent/JP2007193232A/en
Priority to US13/012,377 priority patent/US7982943B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4882386B2 publication Critical patent/JP4882386B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light source device that can vary the spectral form of SC (super continuum) light to be emitted. <P>SOLUTION: A light source device 1a is equipped with a pulse light source 2 that emits an optical pulse train P1 of ultrashort pulse light having a pulse width of several femtoseconds, an optical fiber 11 optically coupled with the pulse light source 2 and receiving the light pulse train P1 to emit SC light P2, and an optical axis adjusting unit 3 optically coupled between the pulse light source 2 and the optical fiber 11. The optical axis adjusting unit 3 varies the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 by using misalignment of optical axes between the pulse light source 2 and the optical fiber 11, and thereby varies the maximum power in each pulse included in the pulse train P1. Thus, the spectral form of the SC light P2 can be preferably varied. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、スーパーコンティニューム光(SC光)を出力するための光源装置に関するものである。   The present invention relates to a light source device for outputting super continuum light (SC light).

広帯域光源のひとつであるSC光源は、その高出力性、広帯域性、スペクトル平坦性などから、様々な応用分野への重要光源として期待されている。このようなSC光源装置として様々な構成のものが提案されているが、光ファイバ内で生成させる構成は、簡便であり、相互作用長を容易に長くでき、且つスペクトル制御も容易であることから、一般的に広く用いられている。   The SC light source, which is one of the broadband light sources, is expected as an important light source for various application fields because of its high output power, wide bandwidth, and spectral flatness. Although various types of SC light source devices have been proposed, the configuration generated in the optical fiber is simple, the interaction length can be easily increased, and spectrum control is easy. Generally, it is widely used.

なお、このようなSC光源装置としては、例えば特許文献1に記載されたコヒーレント広帯域光源や、非特許文献1に記載された広帯域近赤外パルスレーザ光源がある。
特開平11−160744号公報 奥野他5名、「光ファイバーの非線形性を応用した広帯域近赤外パルスレーザ光源」、第21回近赤外フォーラム講演要旨集、近赤外研究会、2005年11月、p.173
Examples of such an SC light source device include a coherent broadband light source described in Patent Document 1 and a broadband near-infrared pulsed laser light source described in Non-Patent Document 1.
JP-A-11-160744 Okuno et al., “Broadband near-infrared pulsed laser light source applying non-linearity of optical fiber”, Proceedings of the 21st Near-Infrared Forum Lecture, Near-Infrared Study Group, November 2005, p. 173

SC光源は、そのスペクトル形状が広帯域に亘ってなだらかであることが特徴である。しかし、応用分野によっては、SC光のスペクトル形状を変えつつ利用したい場合がある。例えば、赤外分光測定において複数の物質の濃度を順に測定する際に、該複数の物質それぞれに固有の吸収波長にあわせてSC光のスペクトル形状を変えることができれば、測定精度がより向上する。しかしながら、従来より知られているSC光源装置には、このようにSC光のスペクトル形状を可変にできるものが存在しなかった。   The SC light source is characterized in that its spectral shape is gentle over a wide band. However, depending on the application field, it may be desired to change the spectrum shape of the SC light. For example, when the concentration of a plurality of substances is sequentially measured in infrared spectroscopic measurement, if the spectrum shape of the SC light can be changed in accordance with the absorption wavelength specific to each of the plurality of substances, the measurement accuracy is further improved. However, there has been no SC light source device known so far that can vary the spectrum shape of SC light in this way.

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、出射するSC光のスペクトル形状を可変にできる光源装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a light source device that can vary the spectrum shape of emitted SC light.

上記課題を解決するため、本発明の第1の光源装置は、光パルス列を出射する種光源と、種光源に光結合され、光パルス列を受けてSC光を出射する光ファイバとを備え、SC光のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段を有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a first light source device of the present invention includes a seed light source that emits an optical pulse train, and an optical fiber that is optically coupled to the seed light source and that emits SC light upon receiving the optical pulse train. Spectral variable means for changing the spectral shape of light is provided.

上記した第1の光源装置によれば、スペクトル可変手段によって、SC光のスペクトル形状を可変にできる。これにより、例えば赤外分光測定において複数の物質の濃度を順に測定する際に、該複数の物質それぞれに固有の吸収波長にあわせてSC光のスペクトル形状を変えることができるので、測定精度がより向上する。   According to the first light source device described above, the spectrum shape of the SC light can be varied by the spectrum varying means. Thus, for example, when measuring the concentration of a plurality of substances in order in infrared spectroscopic measurement, the spectrum shape of the SC light can be changed in accordance with the absorption wavelength specific to each of the plurality of substances, so that the measurement accuracy is further improved. improves.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。これにより、スペクトル幅を拡大・縮小させたり、スペクトル強度の波長依存性を変化させたりすることができる。   Further, the first light source device may be characterized in that the spectrum changing means changes the spectrum shape of the SC light by changing the maximum power of each pulse included in the optical pulse train. Thereby, the spectrum width can be enlarged / reduced, and the wavelength dependence of the spectrum intensity can be changed.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源に含まれる励起用レーザ光源の出力パワーを変化させることにより、光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることを特徴としてもよい。励起用レーザ光源の出力パワーは、励起用レーザ光源へ供給する電流量によって容易に制御可能である。従って、この光源装置によれば、光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを、励起用レーザ光源の電流量といった一つのパラメータを用いて容易に変化させることができる。   The first light source device may be characterized in that the spectrum varying means changes the maximum power of each pulse included in the optical pulse train by changing the output power of the excitation laser light source included in the seed light source. Good. The output power of the excitation laser light source can be easily controlled by the amount of current supplied to the excitation laser light source. Therefore, according to this light source device, the maximum power of each pulse included in the optical pulse train can be easily changed using one parameter such as the current amount of the excitation laser light source.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合された増幅率可変の光増幅器であることを特徴としてもよい。光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを光増幅器によって増幅し、且つ増幅率を可変とすることにより、SC光のスペクトル形状を容易に制御できる。また、この場合、種光源の出力パワーは一定でもよいので、光パルス列を安定して得られる。また、この場合、光増幅器に入射される光のスペクトル形状と、光増幅器から出射される光のスペクトル形状とが互いに異なっていてもよい。光ファイバに入射される光パルス列の各パルスの最大パワーに加え、光増幅器における光パルス列のスペクトル形状の変化をも考慮することにより、SC光のスペクトル形状を所望の形状により近づけることができる。   Further, the first light source device may be characterized in that the spectrum varying means is a variable gain optical amplifier optically coupled between the seed light source and the optical fiber. By amplifying the maximum power of each pulse included in the optical pulse train with an optical amplifier and making the gain variable, the spectral shape of the SC light can be easily controlled. In this case, since the output power of the seed light source may be constant, an optical pulse train can be obtained stably. In this case, the spectral shape of the light incident on the optical amplifier may be different from the spectral shape of the light emitted from the optical amplifier. In addition to the maximum power of each pulse of the optical pulse train incident on the optical fiber, the change in the spectral shape of the optical pulse train in the optical amplifier is also taken into consideration, whereby the spectral shape of the SC light can be made closer to a desired shape.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合された減衰率可変の光減衰器であることを特徴としてもよい。光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを光減衰器によって減衰し、且つ減衰率を可変とすることにより、光パルス列の雑音特性、時間波形、及びスペクトル形状には影響を与えずに光パルス列の各パルスの最大パワーを制御できる。従って、この光源装置によれば、SC光のスペクトル形状を精度よく制御できる。   Further, the first light source device may be characterized in that the spectrum changing means is a variable attenuation factor optical attenuator optically coupled between the seed light source and the optical fiber. The maximum power of each pulse included in the optical pulse train is attenuated by the optical attenuator and the attenuation factor is made variable, so that the noise characteristics, time waveform, and spectrum shape of the optical pulse train are not affected. The maximum power of each pulse can be controlled. Therefore, according to this light source device, the spectrum shape of the SC light can be controlled with high accuracy.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間の光軸のずれを利用して種光源と光ファイバとの光結合効率を変化させることにより、光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることを特徴としてもよい。これにより、SC光のスペクトル形状を好適に制御できるとともに、光増幅器や光減衰器を用いる場合と比較して光損失を低く抑えることができる。   In the first light source device, the spectrum varying means changes the optical coupling efficiency between the seed light source and the optical fiber by using the optical axis shift between the seed light source and the optical fiber, thereby changing the optical pulse train. The maximum power of each included pulse may be changed. As a result, the spectral shape of the SC light can be suitably controlled, and the optical loss can be suppressed as compared with the case where an optical amplifier or an optical attenuator is used.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合されており、光ファイバに入射される光パルス列に含まれる各パルスの時間波形を変化させることによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。これにより、SC光のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   In the first light source device, the spectrum varying means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and changes the time waveform of each pulse included in the optical pulse train incident on the optical fiber. The spectral shape of the SC light may be changed. Thereby, the spectrum shape of SC light can be changed suitably.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合されており、光ファイバに入射される光パルス列の中心波長を変化させることによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。SC光のスペクトル形状は、光ファイバの分散特性及び光パルス列の中心波長の影響を受ける。従って、この光源装置によれば、SC光のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   In the first light source device, the spectrum changing means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and the spectral shape of the SC light is changed by changing the center wavelength of the optical pulse train incident on the optical fiber. It is good also as changing. The spectral shape of the SC light is affected by the dispersion characteristics of the optical fiber and the center wavelength of the optical pulse train. Therefore, according to this light source device, the spectral shape of the SC light can be suitably changed.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合されており、光ファイバに入射される光パルス列のスペクトル形状を変化させることによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。これにより、SC光のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   In the first light source device, the spectrum varying means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and the spectral shape of the SC light is changed by changing the spectral shape of the optical pulse train incident on the optical fiber. It is good also as changing. Thereby, the spectrum shape of SC light can be changed suitably.

また、第1の光源装置は、スペクトル可変手段が、種光源と光ファイバとの間に光結合されており、光ファイバに入射される光パルス列の偏波方向を変化させることによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。SC光のスペクトル形状は、光パルス列の偏波及び光ファイバの偏波依存性の影響を受ける。従って、この光源装置によれば、SC光のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   In the first light source device, the spectrum varying means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and the spectrum of the SC light is changed by changing the polarization direction of the optical pulse train incident on the optical fiber. The shape may be changed. The spectrum shape of SC light is affected by the polarization of the optical pulse train and the polarization dependence of the optical fiber. Therefore, according to this light source device, the spectral shape of the SC light can be suitably changed.

また、本発明による第2の光源装置は、連続光を出射する種光源と、種光源に光結合され、連続光を受けてSC光を出射する光ファイバとを備え、SC光のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段を有することを特徴とする。   A second light source device according to the present invention includes a seed light source that emits continuous light, and an optical fiber that is optically coupled to the seed light source and receives continuous light to emit SC light. It has a spectrum variable means for making it variable.

光ファイバへ入射される光が連続光であっても、該連続光が比較的高いパワーを有していれば光ファイバ内でSC光が生成され得る。そして、上記した第2の光源装置によれば、スペクトル可変手段によって、SC光のスペクトル形状を可変にできる。従って、例えば赤外分光測定において複数の物質の濃度を順に測定する際に、該複数の物質それぞれに固有の吸収波長にあわせてSC光のスペクトル形状を変えることができるので、測定精度がより向上する。   Even if the light incident on the optical fiber is continuous light, SC light can be generated in the optical fiber if the continuous light has a relatively high power. According to the second light source device described above, the spectrum shape of the SC light can be varied by the spectrum varying means. Therefore, for example, when measuring the concentration of a plurality of substances in sequence in infrared spectroscopy, the spectral shape of the SC light can be changed in accordance with the absorption wavelength specific to each of the plurality of substances, so that the measurement accuracy is further improved. To do.

また、第2の光源装置は、光ファイバに入射される連続光のパワーが100mW以上であることを特徴としてもよい。これにより、光ファイバ内で帯域数十nm以上のSC光を好適に生成できる。   The second light source device may be characterized in that the power of continuous light incident on the optical fiber is 100 mW or more. Thereby, it is possible to suitably generate SC light having a bandwidth of several tens of nanometers or more in the optical fiber.

また、第1または第2の光源装置は、光ファイバに入射される光パルス列または連続光の波長範囲に波長1550nmが含まれることを特徴としてもよい。これにより、光ファイバの低損失な領域で効率良くSC光を生成できる。   Further, the first or second light source device may be characterized in that a wavelength of 1550 nm is included in a wavelength range of an optical pulse train or continuous light incident on an optical fiber. Thereby, SC light can be efficiently generated in a low-loss region of the optical fiber.

また、第1または第2の光源装置は、スペクトル可変手段が、光ファイバの出射端に光結合された帯域可変フィルタであることを特徴としてもよい。これにより、SC光のスペクトル形状を、所望の帯域幅を有する形状に容易に変化させることができる。   Further, the first or second light source device may be characterized in that the spectrum variable means is a band variable filter optically coupled to the output end of the optical fiber. Thereby, the spectrum shape of SC light can be easily changed to a shape having a desired bandwidth.

また、第1または第2の光源装置は、スペクトル可変手段が、光ファイバの温度を制御することによりSC光のスペクトル形状を変化させることを特徴としてもよい。これにより、光ファイバの分散特性を好適に変化させ得るので、SC光のスペクトル形状を好適に変化させることができる。また、この場合、スペクトル可変手段は、光ファイバに接して設けられた温調素子を含むことが好ましい。これにより、光ファイバの温度を容易に制御できる。   The first or second light source device may be characterized in that the spectrum changing means changes the spectrum shape of the SC light by controlling the temperature of the optical fiber. Thereby, since the dispersion characteristic of the optical fiber can be suitably changed, the spectrum shape of the SC light can be suitably changed. In this case, the spectrum changing means preferably includes a temperature control element provided in contact with the optical fiber. Thereby, the temperature of the optical fiber can be easily controlled.

また、第1または第2の光源装置は、スペクトル可変手段が、SC光を装置外部へ出射するための光導波路に形成された曲率可変の曲部であることを特徴としてもよい。SC光の光導波路がこのような曲部を有することによって、SC光に任意の曲げ損失を与え、スペクトル形状を好適に変化させることができる。   The first or second light source device may be characterized in that the spectrum varying means is a curved portion with a variable curvature formed in an optical waveguide for emitting SC light to the outside of the device. When the optical waveguide of the SC light has such a curved portion, it is possible to give an arbitrary bending loss to the SC light and change the spectrum shape suitably.

また、第1または第2の光源装置は、光ファイバの出射端に光結合されSC光のスペクトル形状を検出する検出手段を更に備えることを特徴としてもよい。この検出手段によってSC光のスペクトル形状を検出することにより、該スペクトル形状を利用してスペクトル可変手段をフィードバック制御することが可能となり、スペクトル形状の制御を高精度且つ安定して行うことができる。   The first or second light source device may further include a detecting unit that is optically coupled to the emission end of the optical fiber and detects the spectral shape of the SC light. By detecting the spectrum shape of the SC light by this detection means, the spectrum variable means can be feedback controlled using the spectrum shape, and the spectrum shape can be controlled with high accuracy and stability.

また、第1または第2の光源装置は、SC光のスペクトル幅が、光ファイバに入射される光パルス列または連続光のスペクトル幅の10倍以上であることを特徴としてもよい。SC光のスペクトル幅が光パルス列(または連続光)のスペクトル幅の10倍以上になると、光パルス列や光ファイバの特性(非線形性)の揺らぎに起因するSC光のスペクトル形状の変形が顕著となる。従って、このような場合、スペクトル可変手段によってSC光のスペクトル形状を任意に変形させ得ることが望ましい。   Further, the first or second light source device may be characterized in that the spectrum width of the SC light is 10 times or more of the optical pulse train incident on the optical fiber or the spectrum width of the continuous light. When the spectrum width of the SC light becomes 10 times or more of the spectrum width of the optical pulse train (or continuous light), the deformation of the spectral shape of the SC light due to fluctuations in the characteristics (nonlinearity) of the optical pulse train or optical fiber becomes significant. . Therefore, in such a case, it is desirable that the spectrum shape of the SC light can be arbitrarily changed by the spectrum changing means.

また、第1または第2の光源装置は、波長1400nmにおけるSC光のスペクトル強度が、波長1600nmにおけるSC光のスペクトル強度よりも3dB以上大きいことを特徴としてもよい。例えば生体などに対して赤外分光測定を行う場合、波長1400nm付近は水分に吸収される波長帯なので、当該波長帯におけるSC光のスペクトル強度を他の波長帯(例えば波長1600nm)より3dB以上大きくしておくことにより、この波長帯におけるスペクトル情報の欠落を回避して測定精度を高めることができる。   The first or second light source device may be characterized in that the spectral intensity of the SC light at a wavelength of 1400 nm is 3 dB or more larger than the spectral intensity of the SC light at a wavelength of 1600 nm. For example, when infrared spectroscopic measurement is performed on a living body or the like, the wavelength band around 1400 nm is a wavelength band that is absorbed by moisture. By doing so, loss of spectrum information in this wavelength band can be avoided and measurement accuracy can be improved.

また、第1または第2の光源装置は、波長1560nm付近におけるSC光のスペクトル強度が平坦であることを特徴としてもよい。例えば赤外分光測定によりグルコース濃度の変化を測定する場合、波長1560nm付近の波長帯において吸収ピーク波長がグルコース濃度に応じてシフトする現象を利用することがある。このとき、波長1560nm付近におけるSC光のスペクトル強度が平坦であれば、グルコース濃度の変化を高精度に測定することが可能となる。なお、ここでいう「波長1560nm付近」とは、例えば波長1530nm以上1590nm以下の範囲をいう。また、「スペクトル強度が平坦」とは、例えば当該波長範囲における最大スペクトル強度と最小スペクトル強度との差が最大スペクトル波長の50%以下であることをいう。   Further, the first or second light source device may be characterized in that the spectrum intensity of the SC light in the vicinity of the wavelength of 1560 nm is flat. For example, when a change in glucose concentration is measured by infrared spectroscopy, a phenomenon in which the absorption peak wavelength shifts in accordance with the glucose concentration in a wavelength band near 1560 nm may be used. At this time, if the spectral intensity of the SC light near the wavelength of 1560 nm is flat, it is possible to measure the change in glucose concentration with high accuracy. Here, “near wavelength 1560 nm” means, for example, a range of wavelength 1530 nm to 1590 nm. “Spectral intensity is flat” means that, for example, the difference between the maximum spectrum intensity and the minimum spectrum intensity in the wavelength range is 50% or less of the maximum spectrum wavelength.

本発明の光源装置によれば、出射するSC光のスペクトル形状を可変にできる。   According to the light source device of the present invention, the spectrum shape of the emitted SC light can be made variable.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る光源装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a light source device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図1(a)及び(b)は、本発明の実施形態に係る光源装置1a及び1bの構成をそれぞれ示す図である。図1(a)を参照すると、光源装置1aは、パルス光源2と、光軸調整部3と、光ファイバ11と、コリメータレンズ12と、集光レンズ13とを備える。パルス光源2は、本実施形態における種光源であり、図示しない電源装置から電源供給を受けて光パルス列P1を出射する。   FIGS. 1A and 1B are diagrams respectively showing configurations of light source devices 1a and 1b according to the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1A, the light source device 1 a includes a pulse light source 2, an optical axis adjustment unit 3, an optical fiber 11, a collimator lens 12, and a condenser lens 13. The pulse light source 2 is a seed light source in the present embodiment, and emits an optical pulse train P1 upon receiving power supply from a power supply device (not shown).

また、光ファイバ11は、コリメータレンズ12及び集光レンズ13を介してパルス光源2と光結合されており、光パルス列P1を受けて、パルス状のスーパーコンティニューム(SC:Supercontinuum)光P2を出射する。具体的には、光ファイバ11は、光パルス列P1が有するスペクトル幅を例えば2倍以上に拡大することにより、広帯域にわたってなだらかなスペクトル形状を有するSC光P2を生成する。なお、光パルス列P1の波長範囲が1550nmを含むことが好ましく、該波長範囲の中心波長が1550nm付近にあることが尚好ましい。これにより、光ファイバ11の低損失な領域で効率良くSC光を生成できる。   The optical fiber 11 is optically coupled to the pulsed light source 2 via the collimator lens 12 and the condenser lens 13, and receives the optical pulse train P1 and emits a pulsed supercontinuum (SC) light P2. To do. Specifically, the optical fiber 11 generates SC light P2 having a gentle spectral shape over a wide band by expanding the spectral width of the optical pulse train P1 to, for example, twice or more. Note that the wavelength range of the optical pulse train P1 preferably includes 1550 nm, and the center wavelength of the wavelength range is more preferably in the vicinity of 1550 nm. Thereby, SC light can be efficiently generated in a low-loss region of the optical fiber 11.

光軸調整部3は、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段である。光軸調整部3は、パルス光源2と光ファイバ11との間の光軸のずれを利用してパルス光源2と光ファイバ11との光結合効率を変化させることにより、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーを変化させる。本実施形態の光軸調整部3は、集光レンズ13を変位させる第1の駆動部31と、光ファイバ11の光入射端を変位させる第2の駆動部32とを有する。第1の駆動部31は、集光レンズ13を光軸方向及び光軸方向と交差する方向に変位させて、パルス光源2と光ファイバ11との光結合効率を変化させる。第2の駆動部32は、光ファイバ11の光入射端を光軸方向と交差する方向に変位させて、パルス光源2と光ファイバ11との光結合効率を変化させる。   The optical axis adjustment unit 3 is a spectrum variable means for changing the spectrum shape of the SC light P2. The optical axis adjustment unit 3 is included in the optical pulse train P <b> 1 by changing the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 using the deviation of the optical axis between the pulse light source 2 and the optical fiber 11. Change the maximum power of each pulse. The optical axis adjustment unit 3 of the present embodiment includes a first drive unit 31 that displaces the condenser lens 13 and a second drive unit 32 that displaces the light incident end of the optical fiber 11. The first drive unit 31 changes the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 by displacing the condensing lens 13 in the optical axis direction and the direction intersecting the optical axis direction. The second drive unit 32 changes the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 by displacing the light incident end of the optical fiber 11 in a direction crossing the optical axis direction.

図1(b)を参照すると、光源装置1bは、パルス光源2と、帯域可変フィルタ4と、光ファイバ11と、コリメータレンズ12と、集光レンズ13とを備える。このうち、パルス光源2、光ファイバ11、コリメータレンズ12、及び集光レンズ13の構成及び機能は、上記光源装置1aと同様である。   Referring to FIG. 1B, the light source device 1 b includes a pulse light source 2, a variable band filter 4, an optical fiber 11, a collimator lens 12, and a condenser lens 13. Among these, the configurations and functions of the pulse light source 2, the optical fiber 11, the collimator lens 12, and the condenser lens 13 are the same as those of the light source device 1a.

帯域可変フィルタ4は、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段である。帯域可変フィルタ4は、光ファイバ11の光出射端に光結合されており、光ファイバ11から出射されるSC光P2の帯域幅を制限するとともに、制限する帯域幅やその中心波長が可変となっている。SC光P2は、帯域可変フィルタ4を通過して、光源装置1bの外部へ出射される。   The band variable filter 4 is a spectrum variable means for changing the spectrum shape of the SC light P2. The band-variable filter 4 is optically coupled to the light emitting end of the optical fiber 11 and limits the bandwidth of the SC light P2 emitted from the optical fiber 11, and the bandwidth to be restricted and its center wavelength are variable. ing. The SC light P2 passes through the band variable filter 4 and is emitted to the outside of the light source device 1b.

ここで、図2は、パルス光源2の一例として、パルス光源2aの構成を示す図である。パルス光源2aは、いわゆるアクティブ(能動)モード同期型の超短パルス光発生源であり、リング型共振器によって構成されている。すなわち、パルス光源2aは、半導体レーザ素子21と、LN変調器22aと、LN変調器22aを駆動する信号発生器22bと、リング状のキャビティ(光導波路)23とを有する。半導体レーザ素子21は、カプラ23aを介してキャビティ23のリング状部分と光結合されている。また、キャビティ23のリング状部分は、カプラ23cを介して出力用光導波路23dと光結合されている。キャビティ23のリング状部分には、エルビウム添加光ファイバ(EDF)23b、及びLN変調器22aが直列に光結合されている。   Here, FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a pulse light source 2 a as an example of the pulse light source 2. The pulsed light source 2a is a so-called active mode-locked ultrashort pulsed light source, and is composed of a ring resonator. That is, the pulse light source 2a includes a semiconductor laser element 21, an LN modulator 22a, a signal generator 22b that drives the LN modulator 22a, and a ring-shaped cavity (optical waveguide) 23. The semiconductor laser element 21 is optically coupled to the ring-shaped portion of the cavity 23 through a coupler 23a. The ring-shaped portion of the cavity 23 is optically coupled to the output optical waveguide 23d through the coupler 23c. An erbium-doped optical fiber (EDF) 23 b and an LN modulator 22 a are optically coupled in series to the ring-shaped portion of the cavity 23.

或る周波数の電気的パルス信号を信号発生器22bがLN変調器22aに送ると、LN変調器22aにおける光損失が該周波数に応じた周期で減少する。キャビティ23のリング状部分へは半導体レーザ素子21から励起光が入射される。そして、この励起光によって励起された光に含まれる各モードの位相が同期したときに発振が生じるようにLN変調器22aを制御すれば、パルス幅が数フェムト秒程度の超短パルスレーザ光が生じて出力用光導波路23dから外部へ周期的に出射される。図1(a),(b)に示した光源装置1a,1bにおいては、この周期的な超短パルス光を、光パルス列P1として利用する。このとき、光パルス列P1の繰り返し周波数は、信号発生器22bからLN変調器22aへ送られる電気的パルス信号の周波数と一致する。   When the signal generator 22b sends an electrical pulse signal of a certain frequency to the LN modulator 22a, the optical loss in the LN modulator 22a decreases at a period corresponding to the frequency. Excitation light is incident on the ring-shaped portion of the cavity 23 from the semiconductor laser element 21. If the LN modulator 22a is controlled so that oscillation occurs when the phases of the modes contained in the light pumped by the pump light are synchronized, an ultrashort pulse laser beam having a pulse width of about several femtoseconds can be obtained. It is generated and periodically emitted from the output optical waveguide 23d to the outside. In the light source devices 1a and 1b shown in FIGS. 1A and 1B, this periodic ultrashort pulse light is used as the optical pulse train P1. At this time, the repetition frequency of the optical pulse train P1 matches the frequency of the electrical pulse signal sent from the signal generator 22b to the LN modulator 22a.

また、図3は、パルス光源2の他の一例として、パルス光源2bの構成を示す図である。パルス光源2bは、いわゆるパッシブ(受動)モード同期型の超短パルス光発生源であり、リング型共振器によって構成されている。すなわち、パルス光源2bは、半導体レーザ素子21と、リング状のキャビティ(光導波路)23と、反射ミラー24aと、反射ミラー24aに取り付けられたピエゾモータ24bと、ピエゾモータ24bを駆動する信号発生器24cとを有する。なお、半導体レーザ素子21がキャビティ23と光結合されている点、キャビティ23が出力用光導波路23dを有する点、及び、キャビティ23のリング状部分にEDF23bが光結合されている点は、上記パルス光源2a(図2)と同様である。   FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a pulse light source 2b as another example of the pulse light source 2. The pulse light source 2b is a so-called passive mode-locked ultrashort pulsed light source, and is constituted by a ring resonator. That is, the pulse light source 2b includes a semiconductor laser element 21, a ring-shaped cavity (optical waveguide) 23, a reflection mirror 24a, a piezo motor 24b attached to the reflection mirror 24a, and a signal generator 24c for driving the piezo motor 24b. Have The point that the semiconductor laser element 21 is optically coupled to the cavity 23, the point that the cavity 23 has the output optical waveguide 23d, and the point that the EDF 23b is optically coupled to the ring-shaped portion of the cavity 23 are the above-mentioned pulses. This is the same as the light source 2a (FIG. 2).

パルス光源2bにおいては、上記パルス光源2aのLN変調器22aに代えて反射ミラー24aが設けられている。反射ミラー24aは、キャビティ23のリング状部分の一部を構成しており、反射ミラー24aの位置が振動することによってキャビティ23のリング状部分の長さが周期的に変化する。反射ミラー24aの振動は、ピエゾモータ24bによって与えられる。また、その振動周波数は、ピエゾモータ24bを駆動する信号発生器24cによって制御される。   In the pulse light source 2b, a reflection mirror 24a is provided in place of the LN modulator 22a of the pulse light source 2a. The reflection mirror 24a constitutes a part of the ring-shaped portion of the cavity 23, and the length of the ring-shaped portion of the cavity 23 changes periodically as the position of the reflection mirror 24a vibrates. The vibration of the reflection mirror 24a is given by the piezo motor 24b. The vibration frequency is controlled by a signal generator 24c that drives the piezo motor 24b.

或る周波数の電気的パルス信号を信号発生器24cがピエゾモータ24bに送ると、キャビティ23の長さが該周波数に応じた周期で変動する。キャビティ23のリング状部分へは半導体レーザ素子21から励起光が入射される。そして、キャビティ23の長さがソリトン条件を満たす瞬間に、パルス幅が数フェムト秒程度の超短パルスレーザ光が発生する。この超短パルス光は、光パルス列P1として出力用光導波路23dから外部へ周期的に出射される。このとき、光パルス列P1の繰り返し周波数は、信号発生器24cからピエゾモータ24bへ送られる電気的パルス信号の周波数と一致する。なお、パルス光源2bにおいては、反射ミラー24aを機械的に駆動することによって周期的な超短パルス光を発生させているため、LN変調器22aを電気的に駆動する構成のパルス光源2aと比較して、光パルス列P1の繰り返し周波数が小さくなる傾向がある。   When the signal generator 24c sends an electrical pulse signal having a certain frequency to the piezo motor 24b, the length of the cavity 23 varies in a cycle corresponding to the frequency. Excitation light is incident on the ring-shaped portion of the cavity 23 from the semiconductor laser element 21. Then, at the moment when the length of the cavity 23 satisfies the soliton condition, ultrashort pulse laser light having a pulse width of about several femtoseconds is generated. The ultrashort pulse light is periodically emitted from the output optical waveguide 23d to the outside as an optical pulse train P1. At this time, the repetition frequency of the optical pulse train P1 matches the frequency of the electrical pulse signal sent from the signal generator 24c to the piezo motor 24b. In the pulsed light source 2b, periodic ultrashort pulsed light is generated by mechanically driving the reflection mirror 24a. Therefore, the pulsed light source 2b is compared with the pulsed light source 2a configured to electrically drive the LN modulator 22a. Thus, the repetition frequency of the optical pulse train P1 tends to decrease.

また、図4は、パルス光源2の他の一例として、パルス光源2cの構成を示す図である。パルス光源2cは、いわゆるパッシブ(受動)モード同期型の超短パルス光発生源であり、Er:Yb共添加ガラスによる固体レーザによって構成されている。すなわち、パルス光源2cは、半導体レーザ素子21と、可飽和吸収体及び反射鏡が一体に構成された可飽和吸収ミラー25と、コリメータレンズ26aと、プリズム26b及び26cと、出力用カプラ26dと、ミラー27a〜27cと、Er:Yb共添加ガラス板28とを有する。このうち、半導体レーザ素子21及びコリメータレンズ26a以外の構成要素は、レーザ発振のためのキャビティCAを構成している。   FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a pulse light source 2 c as another example of the pulse light source 2. The pulsed light source 2c is a so-called passive mode-locked ultrashort pulsed light source, and is composed of a solid-state laser made of Er: Yb co-doped glass. That is, the pulse light source 2c includes a semiconductor laser element 21, a saturable absorber mirror 25 in which a saturable absorber and a reflector are integrally formed, a collimator lens 26a, prisms 26b and 26c, an output coupler 26d, Mirrors 27a to 27c and an Er: Yb co-added glass plate 28 are included. Among these components, components other than the semiconductor laser element 21 and the collimator lens 26a constitute a cavity CA for laser oscillation.

半導体レーザ素子21から出射された励起光は、コリメータレンズ26a及びミラー27aを介してEr:Yb共添加ガラス板28に達し、Er:Yb共添加ガラス板28を励起する。Er:Yb共添加ガラス板28は、可飽和吸収ミラー25、プリズム26b及び26c、出力用カプラ26d、並びにミラー27a〜27cからなるキャビティCA上に配置されている。キャビティCAを進む光は、Er:Yb共添加ガラス板28によって増幅されつつ、可飽和吸収ミラー25と出力用カプラ26dとの間で往復する。   Excitation light emitted from the semiconductor laser element 21 reaches the Er: Yb co-doped glass plate 28 via the collimator lens 26a and the mirror 27a, and excites the Er: Yb co-doped glass plate 28. The Er: Yb co-doped glass plate 28 is disposed on a cavity CA including the saturable absorbing mirror 25, prisms 26b and 26c, an output coupler 26d, and mirrors 27a to 27c. The light traveling through the cavity CA reciprocates between the saturable absorber mirror 25 and the output coupler 26d while being amplified by the Er: Yb co-doped glass plate 28.

可飽和吸収ミラー25は、弱い光を吸収し、強い光を反射する性質を有する。可飽和吸収ミラー25に到達した光に含まれる各モードの位相が同期したときに光の強度が極大となるので、この瞬間にのみ可飽和吸収ミラー25は反射ミラーとして機能し、レーザ発振が生じる。従って、このレーザ光はパルス幅が数フェムト秒程度の超短パルス光となり、光パルス列P1として出力用カプラ26dから外部へ出射される。このとき、光パルス列P1の繰り返し周波数は、キャビティCAの長さに応じた値となる。   The saturable absorbing mirror 25 has a property of absorbing weak light and reflecting strong light. Since the intensity of the light becomes maximum when the phases of the modes included in the light reaching the saturable absorber mirror 25 are synchronized, the saturable absorber mirror 25 functions as a reflecting mirror only at this moment and laser oscillation occurs. . Therefore, this laser light becomes ultrashort pulse light having a pulse width of about several femtoseconds, and is emitted to the outside from the output coupler 26d as an optical pulse train P1. At this time, the repetition frequency of the optical pulse train P1 is a value corresponding to the length of the cavity CA.

以上の構成を有する光源装置1a及び1bの動作について説明する。図2〜4に示されたパルス光源2a〜2cのうち何れかの構成を有するパルス光源2は、光パルス列P1を出射する。この光パルス列P1は、パルス幅が数フェムト秒程度の超短パルス光が周期的に並んで構成される。光パルス列P1は、コリメータレンズ12によってコリメートされた後、集光レンズ13によって集光される。なお、パルス光源2から出射される光パルス列P1の各光パルスの最大パワーは例えば70〜80kWといった値である。また、光パルス列P1の繰り返し周波数は例えば50MHzといった値である。また、光パルス列P1のパルス幅は、例えば300フェムト秒以下といった値である。また、光パルス列P1の時間平均パワーは、例えば70〜80mWといった値である。   The operation of the light source devices 1a and 1b having the above configuration will be described. The pulse light source 2 having any one of the pulse light sources 2a to 2c shown in FIGS. 2 to 4 emits an optical pulse train P1. The optical pulse train P1 is configured by periodically arranging ultrashort pulse lights having a pulse width of about several femtoseconds. The optical pulse train P <b> 1 is collimated by the collimator lens 12 and then condensed by the condenser lens 13. The maximum power of each optical pulse of the optical pulse train P1 emitted from the pulse light source 2 is a value of, for example, 70 to 80 kW. The repetition frequency of the optical pulse train P1 is a value such as 50 MHz. The pulse width of the optical pulse train P1 is a value such as 300 femtoseconds or less. Further, the time average power of the optical pulse train P1 is a value of, for example, 70 to 80 mW.

光パルス列P1は、集光レンズ13によって集光された後、光ファイバ11へ入射される。そして、光ファイバ11における非線形光学効果(断熱的ソリトン圧縮効果)によって各光パルスのスペクトル帯域幅が2倍以上に拡張され、広帯域にわたってなだらかなスペクトル形状を有するパルス状のSC光P2が生成される。SC光P2は、光源装置1aの光出射端から外部へ出射される。   The optical pulse train P <b> 1 is collected by the condenser lens 13 and then incident on the optical fiber 11. Then, the spectral bandwidth of each optical pulse is expanded more than twice by the nonlinear optical effect (adiabatic soliton compression effect) in the optical fiber 11, and the pulsed SC light P2 having a gentle spectral shape over the wide band is generated. . The SC light P2 is emitted from the light emitting end of the light source device 1a to the outside.

光源装置1a(図1(a))においては、パルス光源2と光ファイバ11の光入射端との光結合効率が、光軸調整部3によって任意に設定される。具体的には、集光レンズ13の光軸と光ファイバ11の入射端の光軸とのずれ量、或いは集光レンズ13の焦点位置と光ファイバ11の入射端位置とのずれ量を、第1及び第2の駆動部31及び32によって変化させることにより、パルス光源2と光ファイバ11との光結合効率が調節される。   In the light source device 1 a (FIG. 1A), the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the light incident end of the optical fiber 11 is arbitrarily set by the optical axis adjustment unit 3. Specifically, the amount of deviation between the optical axis of the condenser lens 13 and the optical axis of the incident end of the optical fiber 11 or the amount of deviation between the focal position of the condenser lens 13 and the incident end position of the optical fiber 11 is expressed as follows. By changing by the first and second driving units 31 and 32, the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 is adjusted.

ここで、図5(a)は、集光レンズ13の光軸と光ファイバ11の入射端の光軸とが一致し、且つ集光レンズ13の焦点位置と光ファイバ11の入射端位置とが一致している場合(すなわち、パルス光源2と光ファイバ11の光入射端との光結合効率が最大である場合)における、光ファイバ11への入射波形Pの一例を示すグラフである。また、図5(b)は、集光レンズ13の光軸と光ファイバ11の入射端の光軸とがずれている場合、或いは集光レンズ13の焦点位置と光ファイバ11の入射端の位置とがずれている場合における、光ファイバ11への入射波形Pの一例を示すグラフである。 Here, in FIG. 5A, the optical axis of the condenser lens 13 coincides with the optical axis of the incident end of the optical fiber 11, and the focal position of the condenser lens 13 and the incident end position of the optical fiber 11 are the same. If they match (i.e., if the optical coupling efficiency between the light incident end of the pulse light source 2 and the optical fiber 11 is the maximum) in a graph showing an example of an incident waveform P a to the optical fiber 11. FIG. 5B shows the case where the optical axis of the condenser lens 13 is shifted from the optical axis of the incident end of the optical fiber 11, or the focal position of the condenser lens 13 and the position of the incident end of the optical fiber 11. when the bets are shifted, is a graph showing an example of an incident waveform P B to the optical fiber 11.

パルス光源2と光ファイバ11の光入射端との光結合効率が最大である場合、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーがPWとすると(図5(a)参照)、集光レンズ13の光軸と光ファイバ11の入射端の光軸とがずれている場合、或いは集光レンズ13の焦点位置と光ファイバ11の入射端の位置とがずれている場合には、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーはPWよりも小さいPWとなる(図5(b)参照)。このように、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーが変化すると、光ファイバ11における非線形光学効果によって生じるSC光P2のスペクトル形状が変化する。このことを利用して、光源装置1a(図1(a))においては、SC光P2のスペクトル形状が所望の形状となるように、パルス光源2と光ファイバ11の光入射端との光結合効率を変化させる。 When the optical coupling efficiency between the pulse light source 2 and the light incident end of the optical fiber 11 is the maximum, if the maximum power of each pulse included in the optical pulse train P1 is PW 1 (see FIG. 5A), the condenser lens When the optical axis of 13 and the optical axis of the incident end of the optical fiber 11 are deviated, or when the focal position of the condenser lens 13 and the position of the incident end of the optical fiber 11 are deviated, the optical pulse train P1. The maximum power of each pulse included in is PW 2 smaller than PW 1 (see FIG. 5B). As described above, when the maximum power of each pulse included in the optical pulse train P1 changes, the spectral shape of the SC light P2 generated by the nonlinear optical effect in the optical fiber 11 changes. By utilizing this, in the light source device 1a (FIG. 1A), the optical coupling between the pulse light source 2 and the light incident end of the optical fiber 11 so that the spectrum shape of the SC light P2 becomes a desired shape. Change efficiency.

また、光源装置1b(図1(b))においては、光ファイバ11から出射されたSC光P2のスペクトル帯域幅を帯域可変フィルタ4によって変化させる。ここで、図6は、光ファイバ11から出射されたSC光P2のスペクトル形状の一例(グラフSP1)と、帯域可変フィルタ4を通過したSC光P2のスペクトル形状の一例(グラフSP2及びSP3)とを示すグラフである。なお、図6において、グラフSP3は、帯域可変フィルタ4の通過帯域幅がグラフSP2よりも小さい場合の例を示している。また、図6において、縦軸のスペクトル強度の値は規格化されている。この図6に示すように、光源装置1b(図1(b))においては、SC光P2のスペクトル形状のうち主に帯域幅に係る形状を、所望の形状となるように帯域可変フィルタ4によって好適に変化させている。   Further, in the light source device 1 b (FIG. 1B), the spectral bandwidth of the SC light P <b> 2 emitted from the optical fiber 11 is changed by the band variable filter 4. Here, FIG. 6 shows an example (graph SP1) of the spectrum shape of the SC light P2 emitted from the optical fiber 11, and an example (graphs SP2 and SP3) of the spectrum shape of the SC light P2 that has passed through the band variable filter 4. It is a graph which shows. In FIG. 6, the graph SP3 shows an example in which the pass bandwidth of the band variable filter 4 is smaller than that of the graph SP2. In FIG. 6, the value of the spectral intensity on the vertical axis is normalized. As shown in FIG. 6, in the light source device 1 b (FIG. 1B), the shape mainly related to the bandwidth of the spectrum shape of the SC light P <b> 2 is changed by the band-variable filter 4 so as to become a desired shape. It is preferably changed.

なお、本実施形態では光軸調整部3を備える光源装置1aと帯域可変フィルタ4を備える光源装置1bとを説明したが、本発明に係る光源装置は、光軸調整部3及び帯域可変フィルタ4の双方を備えると更に好ましい。これにより、SC光P2のスペクトル形状を変化させる際の自由度が増す。   In the present embodiment, the light source device 1a including the optical axis adjustment unit 3 and the light source device 1b including the band variable filter 4 have been described. However, the light source device according to the present invention includes the optical axis adjustment unit 3 and the band variable filter 4. More preferably, both of these are provided. Thereby, the freedom degree at the time of changing the spectrum shape of SC light P2 increases.

以上に説明したように、本実施形態の光源装置1aまたは1bによれば、光軸調整部3または帯域可変フィルタ4によって、SC光P2のスペクトル形状を可変にできる。これにより、例えば赤外分光測定において複数の物質の濃度を順に測定する際に、該複数の物質それぞれに固有の吸収波長にあわせてSC光のスペクトル形状を変えることができるので、測定精度がより向上する。   As described above, according to the light source device 1a or 1b of the present embodiment, the spectrum shape of the SC light P2 can be varied by the optical axis adjustment unit 3 or the band variable filter 4. Thus, for example, when measuring the concentration of a plurality of substances in order in infrared spectroscopic measurement, the spectrum shape of the SC light can be changed in accordance with the absorption wavelength specific to each of the plurality of substances, so that the measurement accuracy is further improved. improves.

ここで、図7(a)及び(b)は、赤外分光測定について説明するための図である。図7(a)に示すように、まず、光源装置1a(1b)から出射されたSC光P2を被測定対象物101に照射する。そして、被測定対象物101を透過した光を検出器102によって検出する。このとき、被測定対象物101に照射されたSC光P2のうち、被測定対象物101に含まれる物質に固有の吸収波長と一致する波長成分は、当該物質の濃度に応じて被測定対象物101に吸収される。従って、SC光P2のスペクトル形状と被測定対象物101を透過した光のスペクトル形状とを比較することにより、被測定対象物101に含まれる当該物質の濃度がわかる。   Here, FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining the infrared spectroscopic measurement. As shown in FIG. 7A, first, the object 101 to be measured is irradiated with the SC light P2 emitted from the light source device 1a (1b). Then, the light that has passed through the measurement object 101 is detected by the detector 102. At this time, among the SC light P2 irradiated to the measurement target object 101, the wavelength component that matches the absorption wavelength specific to the substance contained in the measurement target object 101 is the measurement target object according to the concentration of the substance. 101 is absorbed. Therefore, by comparing the spectrum shape of the SC light P2 and the spectrum shape of the light transmitted through the measurement target object 101, the concentration of the substance contained in the measurement target object 101 can be determined.

図7(b)は、光源装置1aまたは1bから出射されるSC光P2のスペクトル形状の一例を示すグラフである。例えば、被測定対象物101が水分を含むもの(生体など)である場合、波長1400nm(図7(b)の波長A)付近は水分に吸収される波長帯なので、当該波長帯におけるSC光のスペクトル強度を他の波長帯(例えば波長1600nm)より例えば3dB以上大きくしておくことにより、この波長帯におけるスペクトル情報の欠落を回避して測定精度を高めることができる。従って、このような場合には、SC光P2のスペクトル形状が例えば図7(b)に示すグラフSP4のような形状となるように、光軸調整部3または(及び)帯域可変フィルタ4によってSC光P2のスペクトル形状を変化させるとよい。   FIG. 7B is a graph showing an example of the spectrum shape of the SC light P2 emitted from the light source device 1a or 1b. For example, when the object 101 to be measured includes water (such as a living body), the vicinity of the wavelength of 1400 nm (wavelength A in FIG. 7B) is a wavelength band that is absorbed by water, so By setting the spectrum intensity to be, for example, 3 dB or more larger than other wavelength bands (for example, wavelength 1600 nm), it is possible to avoid missing spectrum information in this wavelength band and improve the measurement accuracy. Therefore, in such a case, the SC is adjusted by the optical axis adjustment unit 3 or (and) the band-variable filter 4 so that the spectrum shape of the SC light P2 becomes, for example, a shape as shown in the graph SP4 in FIG. The spectral shape of the light P2 may be changed.

ゼロ分散波長が1400nm以上1600nm以下にあり、光パルス列の入力波長が当該ゼロ分散波長よりも長波長側にあるように調整することにより、波長1400nmにおけるSC光のスペクトル強度を波長1600nmにおけるSC光のスペクトル強度よりも3dB以上大きくすることが可能になる。勿論、外部フィルタを使っても良い。   By adjusting so that the zero dispersion wavelength is 1400 nm or more and 1600 nm or less and the input wavelength of the optical pulse train is on the longer wavelength side than the zero dispersion wavelength, the spectrum intensity of the SC light at the wavelength 1400 nm is adjusted. It becomes possible to make it 3 dB or more larger than the spectral intensity. Of course, an external filter may be used.

また、例えば被測定対象物101に含まれるグルコース濃度の変化を測定する場合、波長1560nm(図7(b)の波長B)付近の波長帯域内において吸収ピーク波長が水分子の水素結合の影響を受けてグルコース濃度に応じてシフトする現象を利用することがある(例えば、特開平10−325794参照)。このとき、波長1560nm付近におけるSC光P2のスペクトル強度が平坦であれば、吸収ピーク波長が変化しても該ピーク波長におけるSC光P2の強度はほぼ一定なので、グルコース濃度の変化を高精度に測定することが可能となる。従って、このような場合においても、SC光P2のスペクトル形状が例えば図7(b)に示すグラフSP4のような形状となるように、光軸調整部3または(及び)帯域可変フィルタ4によってSC光P2のスペクトル形状を変化させるとよい。このように、被測定物質の吸収ピーク波長の近傍で平坦なスペクトル強度特性をSC光P2が有することにより、吸収ピーク波長のシフトといった微小な変化を感度よく検出できる。なお、このときのスペクトル強度特性の平坦度は、最大スペクトル強度の50%以内であることが好ましい。   Further, for example, when measuring a change in the glucose concentration contained in the measurement object 101, the absorption peak wavelength is influenced by the hydrogen bond of water molecules in the wavelength band near 1560 nm (wavelength B in FIG. 7B). In some cases, a phenomenon of shifting depending on the glucose concentration is used (see, for example, JP-A-10-325794). At this time, if the spectrum intensity of the SC light P2 near the wavelength of 1560 nm is flat, even if the absorption peak wavelength changes, the intensity of the SC light P2 at the peak wavelength is almost constant, so the change in glucose concentration is measured with high accuracy. It becomes possible to do. Therefore, even in such a case, the optical axis adjusting unit 3 or (and) the band-variable filter 4 adjusts the SC shape so that the spectrum shape of the SC light P2 becomes a shape like the graph SP4 shown in FIG. The spectral shape of the light P2 may be changed. Thus, since the SC light P2 has a flat spectral intensity characteristic in the vicinity of the absorption peak wavelength of the substance to be measured, a minute change such as a shift of the absorption peak wavelength can be detected with high sensitivity. Note that the flatness of the spectral intensity characteristic at this time is preferably within 50% of the maximum spectral intensity.

例えば光パルス列の入力波長が1560nm以下にあり光パルス列の入力波長よりも光ファイバのゼロ分散波長が短波長側にあるように調整することにより、波長1560nm付近におけるSC光のスペクトル強度を平坦にすることができる。また、光パルス列の入力波長が1500〜1620nmにあり入力波長での光ファイバの波長分散値が負であるように調整することでも、波長1560nm付近におけるSC光のスペクトル強度を平坦にすることができる。勿論、外部フィルタを使ってもよい。   For example, the spectral intensity of the SC light near the wavelength of 1560 nm is flattened by adjusting the input wavelength of the optical pulse train to be 1560 nm or less and adjusting the zero dispersion wavelength of the optical fiber to be shorter than the input wavelength of the optical pulse train. be able to. The spectral intensity of the SC light near the wavelength of 1560 nm can also be flattened by adjusting the input wavelength of the optical pulse train to 1500 to 1620 nm and adjusting the chromatic dispersion value of the optical fiber at the input wavelength to be negative. . Of course, an external filter may be used.

また、例えば被測定対象物101に含まれるグルコース濃度、CO濃度、またはNO濃度を測定する場合、これらの物質が大きな吸収特性を示す波長2.1μm(図7(b)の波長C)付近の波長帯におけるSC光P2のスペクトル強度が大きいことが好ましい。従って、このような場合には、SC光P2のスペクトル形状がグラフSP5のような形状となるように、光軸調整部3または(及び)帯域可変フィルタ4によってSC光P2のスペクトル形状を変化させるとよい。 For example, when measuring the glucose concentration, the CO 2 concentration, or the NO X concentration contained in the measurement object 101, a wavelength of 2.1 μm (wavelength C in FIG. 7B) in which these substances exhibit large absorption characteristics. It is preferable that the spectral intensity of the SC light P2 in the nearby wavelength band is large. Therefore, in such a case, the spectrum shape of the SC light P2 is changed by the optical axis adjustment unit 3 or (and) the band-variable filter 4 so that the spectrum shape of the SC light P2 becomes a shape like the graph SP5. Good.

また、本実施形態の光源装置1aにおいては、スペクトル可変手段としての光軸調整部3が、パルス光源2と光ファイバ11との間の光軸のずれを利用してパルス光源2と光ファイバ11との光結合効率を変化させることにより、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーを変化させている。これにより、SC光P2のスペクトル形状を好適に制御できるとともに、パルス光源2と光ファイバ11との間に光増幅器や光減衰器を用いる場合と比較して、光損失を低く抑えることができる。   Further, in the light source device 1 a of the present embodiment, the optical axis adjustment unit 3 serving as a spectrum changing unit utilizes the optical axis shift between the pulse light source 2 and the optical fiber 11 to make use of the pulse light source 2 and the optical fiber 11. The maximum power of each pulse included in the optical pulse train P1 is changed by changing the optical coupling efficiency. As a result, the spectral shape of the SC light P2 can be suitably controlled, and the optical loss can be suppressed lower than when an optical amplifier or an optical attenuator is used between the pulse light source 2 and the optical fiber 11.

また、本実施形態の光源装置1bにおいては、スペクトル可変手段としての帯域可変フィルタ4が光ファイバ11の出射端に光結合されている。これにより、SC光P2のスペクトル形状を、所望の帯域幅を有する形状に容易に変化させることができる。   Further, in the light source device 1 b of the present embodiment, the band-variable filter 4 serving as a spectrum varying unit is optically coupled to the emission end of the optical fiber 11. Thereby, the spectral shape of the SC light P2 can be easily changed to a shape having a desired bandwidth.

なお、光源装置1a(1b)においては、SC光P2のスペクトル幅は、光ファイバ11が受ける光パルス列P1のスペクトル幅の10倍以上であってもよい。SC光P2のスペクトル幅が光パルス列P1のスペクトル幅の10倍以上になると、光パルス列P1や光ファイバ11の特性(非線形性)の揺らぎに起因するSC光P2のスペクトル形状の変形が顕著となる。従って、このような場合、スペクトル可変手段(本実施形態では、光軸調整部3及び帯域可変フィルタ4)によってSC光P2のスペクトル形状を制御することが望ましい。   In the light source device 1a (1b), the spectrum width of the SC light P2 may be 10 times or more the spectrum width of the optical pulse train P1 received by the optical fiber 11. When the spectral width of the SC light P2 becomes 10 times or more the spectral width of the optical pulse train P1, the deformation of the spectral shape of the SC light P2 due to fluctuations in the characteristics (nonlinearity) of the optical pulse train P1 and the optical fiber 11 becomes significant. . Therefore, in such a case, it is desirable to control the spectrum shape of the SC light P2 by the spectrum variable means (in this embodiment, the optical axis adjustment unit 3 and the band variable filter 4).

(第1の変形例)
図8(a)は、上記実施形態の第1変形例に係る光源装置1cの構成を示す図である。図8(a)を参照すると、本変形例の光源装置1cは、パルス光源2と、パルス圧縮・拡大器5と、光ファイバ11とを備える。このうち、パルス光源2及び光ファイバ11の構成及び機能については、上記実施形態と同様なので、詳細な説明を省略する。
(First modification)
FIG. 8A is a diagram illustrating a configuration of a light source device 1c according to a first modification of the embodiment. Referring to FIG. 8A, the light source device 1 c of this modification includes a pulse light source 2, a pulse compressor / expander 5, and an optical fiber 11. Among these, since the configurations and functions of the pulse light source 2 and the optical fiber 11 are the same as those in the above embodiment, a detailed description thereof is omitted.

パルス圧縮・拡大器5は、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段である。具体的には、パルス圧縮・拡大器5は、パルス光源2と光ファイバ11との間に光結合されており、光パルス列P1に含まれる各光パルスの時間幅や高さ(最大パワー)といったパルス形状を変化させることにより、SC光P2のスペクトル形状を所望の形状に変化させる。パルス圧縮・拡大器5としては、例えば可変分散補償器などの分散デバイスが好適に用いられる。   The pulse compressor / expander 5 is a spectrum variable means for changing the spectrum shape of the SC light P2. Specifically, the pulse compressor / expander 5 is optically coupled between the pulse light source 2 and the optical fiber 11, and the time width and height (maximum power) of each optical pulse included in the optical pulse train P1 are as follows. By changing the pulse shape, the spectral shape of the SC light P2 is changed to a desired shape. As the pulse compressor / expander 5, a dispersion device such as a variable dispersion compensator is preferably used.

ここで、図8(b)は、光パルス列P1に含まれる各パルスの時間幅を変化させた場合における、SC光P2のスペクトル形状の変化を示すグラフである。なお、図8(b)は、光ファイバ11の長さを10m、光パルス列P1の時間平均パワーを100mWとしたときのグラフである。また、図8(b)において、グラフSP6〜SP8は、光パルス列P1のパルス時間幅をそれぞれ200フェムト秒、0.5ピコ秒、及び1ピコ秒としたときのスペクトル形状を示している。また、図8(b)において、縦軸のスペクトル強度の値は規格化されている。   Here, FIG. 8B is a graph showing changes in the spectral shape of the SC light P2 when the time width of each pulse included in the optical pulse train P1 is changed. FIG. 8B is a graph when the length of the optical fiber 11 is 10 m and the time average power of the optical pulse train P1 is 100 mW. In FIG. 8B, graphs SP6 to SP8 show the spectrum shapes when the pulse time widths of the optical pulse train P1 are 200 femtoseconds, 0.5 picoseconds, and 1 picosecond, respectively. In FIG. 8B, the value of the spectral intensity on the vertical axis is normalized.

この図8(b)に示すように、パルス圧縮・拡大器5によって光パルス列P1に含まれる各光パルスの時間幅を変化させることにより、SC光P2のスペクトル形状(主にスペクトル帯域幅)を効果的に変化させることができる。従って、本発明に係るスペクトル可変手段は、本変形例のパルス圧縮・拡大器5によって好適に実現される。   As shown in FIG. 8B, the spectral shape (mainly spectral bandwidth) of the SC light P2 is changed by changing the time width of each optical pulse included in the optical pulse train P1 by the pulse compressor / expander 5. It can be changed effectively. Therefore, the spectrum varying means according to the present invention is preferably realized by the pulse compressor / expander 5 of the present modification.

(第2の変形例)
図9は、上記実施形態の第2変形例に係る光源装置1dの構成を示す図である。図9を参照すると、本変形例の光源装置1dは、連続光源20と、減衰率可変の光減衰器6と、光ファイバ11と、帯域可変フィルタ4とを備える。このうち、光ファイバ11及び帯域可変フィルタ4の構成及び機能については、上記実施形態と同様である。
(Second modification)
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a light source device 1d according to a second modification of the embodiment. Referring to FIG. 9, the light source device 1 d of the present modification includes a continuous light source 20, a variable attenuation factor optical attenuator 6, an optical fiber 11, and a variable band filter 4. Among these, the configurations and functions of the optical fiber 11 and the variable band filter 4 are the same as those in the above embodiment.

本変形例の連続光源20は、連続光P3を出射する種光源である。連続光源20は、光減衰器6を介して光ファイバ11へ連続光P3を提供する。なお、光ファイバ11へ入射される光が連続光であっても、該連続光が比較的高いパワーを有していれば光ファイバ11内でSC光P2が生成され得る。   The continuous light source 20 of this modification is a seed light source that emits continuous light P3. The continuous light source 20 provides continuous light P3 to the optical fiber 11 via the optical attenuator 6. Even if the light incident on the optical fiber 11 is continuous light, the SC light P2 can be generated in the optical fiber 11 if the continuous light has a relatively high power.

光減衰器6は、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段である。具体的には、光減衰器6は、連続光P3のパワーを変化させることにより、SC光P2のスペクトル形状を変化させる。すなわち、光ファイバ11へ入射される連続光P3のパワーを変化させると、光ファイバ11内において生成されるパルス(SC光P2)の条件が変化するため、SC光P2のスペクトル形状も変化することとなる。本発明に係るスペクトル可変手段は、本変形例のように減衰率可変の光減衰器6によって好適に実現される。   The optical attenuator 6 is a spectral variable means for changing the spectral shape of the SC light P2. Specifically, the optical attenuator 6 changes the spectral shape of the SC light P2 by changing the power of the continuous light P3. That is, when the power of the continuous light P3 incident on the optical fiber 11 is changed, the condition of the pulse (SC light P2) generated in the optical fiber 11 changes, so that the spectrum shape of the SC light P2 also changes. It becomes. The spectrum varying means according to the present invention is preferably realized by the optical attenuator 6 having a variable attenuation factor as in the present modification.

なお、本変形例においては、光ファイバ11に入射される連続光P3のパワーが100mW以上であることが好ましい。これにより、光ファイバ11内においてSC光P2を好適に発生させ得る。また、本変形例のように、光ファイバ11の光出力端側に帯域可変フィルタ4を更に配置することにより、SC光P2のスペクトル形状を所望の形状により近づけることができる。   In the present modification, the power of the continuous light P3 incident on the optical fiber 11 is preferably 100 mW or more. Thereby, the SC light P2 can be suitably generated in the optical fiber 11. Further, as in the present modification, by further arranging the band variable filter 4 on the light output end side of the optical fiber 11, the spectrum shape of the SC light P2 can be made closer to a desired shape.

(第3の変形例)
図10(a)は、上記実施形態の第3変形例に係る光源装置1eの構成を示すブロック図である。図10(a)を参照すると、本変形例の光源装置1eは、パルス光源2と、パルス可変部7と、光ファイバ11と、制御部14とを備える。このうち、パルス光源2及び光ファイバ11の構成については、上記実施形態と同様である。
(Third Modification)
FIG. 10A is a block diagram illustrating a configuration of a light source device 1e according to a third modification of the embodiment. Referring to FIG. 10A, the light source device 1 e of this modification includes a pulse light source 2, a pulse variable unit 7, an optical fiber 11, and a control unit 14. Among these, the configurations of the pulse light source 2 and the optical fiber 11 are the same as those in the above embodiment.

パルス可変部7は、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段であり、パルス光源2と光ファイバ11との間に光結合されている。パルス可変部7には、例えば図1(a)に示した上記実施形態の光軸調整部3、図8(a)に示した第1変形例のパルス圧縮・拡大器5、或いは図9に示した第2変形例の光減衰器6を適用できる。   The pulse varying section 7 is a spectrum varying means for varying the spectrum shape of the SC light P 2, and is optically coupled between the pulse light source 2 and the optical fiber 11. The pulse variable unit 7 includes, for example, the optical axis adjusting unit 3 of the above-described embodiment shown in FIG. 1A, the pulse compressor / expander 5 of the first modification shown in FIG. 8A, or FIG. The optical attenuator 6 of the second modification shown can be applied.

また、パルス可変部7に帯域可変フィルタを適用し、光ファイバ11に入射される光パルス列P1のスペクトル形状(特に、スペクトル幅及び中心波長の少なくとも一方)を変化させることによりSC光P2のスペクトル形状を変化させてもよい。SC光P2のスペクトル形状は、光ファイバ11の分散特性並びに光パルス列P1のスペクトル幅及び中心波長の影響を受けるので、パルス光源2と光ファイバ11との間に帯域可変フィルタを光結合することにより、SC光P2のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   Further, by applying a band-variable filter to the pulse variable section 7 and changing the spectral shape (in particular, at least one of the spectral width and the central wavelength) of the optical pulse train P1 incident on the optical fiber 11, the spectral shape of the SC light P2 May be changed. Since the spectral shape of the SC light P2 is affected by the dispersion characteristics of the optical fiber 11 and the spectral width and center wavelength of the optical pulse train P1, a band-variable filter is optically coupled between the pulse light source 2 and the optical fiber 11. The spectral shape of the SC light P2 can be suitably changed.

また、パルス可変部7は、光ファイバ11に入射される光パルス列P1の偏波方向を変化させることによりSC光P2のスペクトル形状を変化させてもよい。SC光P2のスペクトル形状は、光パルス列P1の偏波及び光ファイバ11の偏波依存性の影響を受けるので、光パルス列P1の偏波方向を変化させることにより、SC光P2のスペクトル形状を好適に変化させることができる。   The pulse variable unit 7 may change the spectrum shape of the SC light P2 by changing the polarization direction of the optical pulse train P1 incident on the optical fiber 11. Since the spectral shape of the SC light P2 is affected by the polarization of the optical pulse train P1 and the polarization dependence of the optical fiber 11, the spectral shape of the SC light P2 is preferably changed by changing the polarization direction of the optical pulse train P1. Can be changed.

本変形例の制御部14もまた、SC光P2のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段として機能する。すなわち、制御部14は、パルス光源2の励起用レーザ光源(例えば、図2〜4に示した半導体レーザ素子21)の出力パワーを制御するための制御信号Sをパルス光源2へ送り、励起用レーザ光源の出力パワーを変化させることにより、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーを変化させる。例えば上記第2変形例(図9参照)においては、光減衰器6を用いて光パルス列P1の各パルスの最大パワーを変化させているが、励起用レーザ光源の出力パワーを変化させることによっても光パルス列P1の各パルスの最大パワーを容易に変化させ得る。しかも、励起用レーザ光源の出力パワーは、励起用レーザ光源へ供給する電流量によって容易に制御可能である。従って、この構成により、光パルス列P1の各パルスの最大パワーを、励起用レーザ光源の電流量といった一つのパラメータを用いて容易に変化させることができる。 The control unit 14 of the present modification also functions as a spectrum changing unit for changing the spectrum shape of the SC light P2. That is, the control unit 14 sends the control signal S 1 for controlling the output power of the excitation laser light source of the pulse light source 2 (for example, the semiconductor laser element 21 shown in FIGS. 2 to 4) to the pulse light source 2 for excitation. By changing the output power of the laser light source, the maximum power of each pulse included in the optical pulse train P1 is changed. For example, in the second modified example (see FIG. 9), the maximum power of each pulse of the optical pulse train P1 is changed using the optical attenuator 6, but it is also possible to change the output power of the excitation laser light source. The maximum power of each pulse of the optical pulse train P1 can be easily changed. In addition, the output power of the excitation laser light source can be easily controlled by the amount of current supplied to the excitation laser light source. Therefore, with this configuration, the maximum power of each pulse of the optical pulse train P1 can be easily changed using one parameter such as the amount of current of the excitation laser light source.

また、本変形例の制御部14は、光ファイバ11の温度を制御することによりSC光P2のスペクトル形状を変化させるスペクトル可変手段として機能する。すなわち、制御部14は、光ファイバ11の温度制御を行うための制御信号Sを、光ファイバ11に接して設けられたペルチェ素子などの温調素子9へ送る。これにより、光ファイバ11の分散特性を好適に変化させ得るので、SC光P2のスペクトル形状を好適に変化させることができる。なお、光ファイバ11は、コイル状に巻回されることにより温調素子9の温度が伝導され易くなっていることが好ましい。 In addition, the control unit 14 of the present modification functions as a spectrum variable unit that changes the spectrum shape of the SC light P2 by controlling the temperature of the optical fiber 11. That is, the control unit 14 sends a control signal S 2 for controlling the temperature of the optical fiber 11 to the temperature control element 9 such as a Peltier element provided in contact with the optical fiber 11. Thereby, since the dispersion characteristic of the optical fiber 11 can be changed suitably, the spectrum shape of SC light P2 can be changed suitably. In addition, it is preferable that the temperature of the temperature control element 9 is easily conducted by winding the optical fiber 11 in a coil shape.

また、制御部14は、所望のスペクトル形状を有するSC光P2を得るために、パルス可変部7を制御する。例えば、パルス可変部7が光軸調整部3を含む場合、制御部14は、図1(a)に示した第1及び第2の駆動部31及び32を駆動するための駆動信号を、制御信号Sとしてパルス可変部7へ送る。また、パルス可変部7がパルス圧縮・拡大器5(図8(a))を含む場合や、パルス可変部7が光減衰器6(図9)を含む場合には、制御部14は、パルス圧縮・拡大器5や光減衰器6を制御するための制御信号Sをパルス可変部7へ送る。これにより、所望のスペクトル形状を有するSC光P2を好適に得ることができる。 Further, the control unit 14 controls the pulse varying unit 7 in order to obtain the SC light P2 having a desired spectral shape. For example, when the pulse variable unit 7 includes the optical axis adjustment unit 3, the control unit 14 controls drive signals for driving the first and second drive units 31 and 32 shown in FIG. Send a signal S 3 to the pulse changing unit 7. When the pulse variable unit 7 includes the pulse compressor / expander 5 (FIG. 8A) or when the pulse variable unit 7 includes the optical attenuator 6 (FIG. 9), the control unit 14 A control signal S 3 for controlling the compressor / expander 5 and the optical attenuator 6 is sent to the pulse variable section 7. Thereby, the SC light P2 having a desired spectral shape can be suitably obtained.

(第4の変形例)
図10(b)は、上記実施形態の第4変形例に係る光源装置1fの構成を示すブロック図である。図10(b)を参照すると、本変形例の光源装置1fは、パルス光源2(または連続光源20)と、スペクトル可変部8と、光ファイバ11と、光増幅器15と、制御部16とを備える。このうち、パルス光源2(連続光源20)及び光ファイバ11の構成については、上記実施形態と同様である。
(Fourth modification)
FIG. 10B is a block diagram illustrating a configuration of a light source device 1f according to a fourth modification of the embodiment. Referring to FIG. 10B, the light source device 1f of this modification includes a pulse light source 2 (or continuous light source 20), a spectrum variable unit 8, an optical fiber 11, an optical amplifier 15, and a control unit 16. Prepare. Among these, about the structure of the pulse light source 2 (continuous light source 20) and the optical fiber 11, it is the same as that of the said embodiment.

光増幅器15は、SC光P2のスペクトル形状を変化させるためのスペクトル可変手段であり、光パルス列P1に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることによりSC光P2のスペクトル形状を変化させる。光増幅器15は増幅率が可変となっており、その増幅率を制御するための制御信号Sを制御部16から受け、該制御信号Sに応じた増幅率でもってパルス光源2からの光パルス列P1(または連続光源20からの連続光P3)を増幅する。 The optical amplifier 15 is a spectrum variable means for changing the spectrum shape of the SC light P2, and changes the spectrum shape of the SC light P2 by changing the maximum power of each pulse included in the optical pulse train P1. The optical amplifier 15 has a gain variable, light from the control signal S 4 for controlling the amplification factor received from the control unit 16, pulse light source 2 with an amplification factor in accordance with the control signal S 4 The pulse train P1 (or continuous light P3 from the continuous light source 20) is amplified.

本変形例のように、スペクトル可変手段は、パルス光源2(連続光源20)と光ファイバ11との間に光結合された増幅率可変の光増幅器15であってもよい。これにより、SC光P2のスペクトル形状を容易に制御できる。また、種光源としてパルス光源2を用いる場合、光パルス列P1の各パルスの最大パワーは一定でもよいので、光パルス列P1を安定して得られる。また、この場合、光増幅器15に入射される光のスペクトル形状と、光増幅器15から出射される光のスペクトル形状とが互いに異なっていてもよい。光ファイバ11に入射される光パルス列P1の各パルスの最大パワーに加え、光増幅器15における光パルス列P1のスペクトル形状の変化をも考慮することにより、SC光P2のスペクトル形状を所望の形状により近づけることができる。   As in this modification, the spectrum varying means may be a variable amplification factor optical amplifier 15 optically coupled between the pulse light source 2 (continuous light source 20) and the optical fiber 11. Thereby, the spectrum shape of SC light P2 can be controlled easily. When the pulse light source 2 is used as a seed light source, the maximum power of each pulse of the optical pulse train P1 may be constant, so that the optical pulse train P1 can be obtained stably. In this case, the spectral shape of the light incident on the optical amplifier 15 and the spectral shape of the light emitted from the optical amplifier 15 may be different from each other. In addition to the maximum power of each pulse of the optical pulse train P1 incident on the optical fiber 11, the spectral shape of the SC light P2 is made closer to a desired shape by taking into account the change in the spectral shape of the optical pulse train P1 in the optical amplifier 15. be able to.

スペクトル可変部8は、SC光P2のスペクトル形状を変化させるための別のスペクトル可変手段である。スペクトル可変部8には、例えば図9に示した第2変形例の帯域可変フィルタ4を適用できる。また、スペクトル可変部8は、SC光P2を装置外部へ出射するための光導波路に形成された曲率可変の曲部であってもよい。SC光P2を出射するための光導波路がこのような曲部を有することによって、SC光P2に任意の曲げ損失を与え、SC光P2のスペクトル形状を好適に変化させることができる。スペクトル可変部8は、SC光P2のスペクトル形状を制御するための制御信号Sを制御部16から受け、該制御信号Sに応じたスペクトル形状となるように通過帯域を変化させるか、或いは光導波路の曲率を変化させる。これにより、SC光P2のスペクトル形状を好適に制御できる。 The spectrum variable section 8 is another spectrum variable means for changing the spectrum shape of the SC light P2. For example, the band variable filter 4 of the second modification shown in FIG. 9 can be applied to the spectrum variable unit 8. Further, the spectrum variable section 8 may be a curved section having a variable curvature formed in an optical waveguide for emitting the SC light P2 to the outside of the apparatus. Since the optical waveguide for emitting the SC light P2 has such a curved portion, it is possible to give an arbitrary bending loss to the SC light P2 and to suitably change the spectral shape of the SC light P2. Or spectral variable unit 8 receives a control signal S 5 for controlling the spectral shape of the SC light P2 from the control unit 16 changes the pass band so that the spectral shape corresponding to the control signal S 5, or The curvature of the optical waveguide is changed. Thereby, the spectrum shape of SC light P2 can be controlled suitably.

制御部16は、上述した制御信号S及びSのほか、第3変形例の制御部14と同様に、パルス光源2(連続光源20)の励起用レーザ光源の出力パワーを制御するための制御信号Sをパルス光源2(連続光源20)へ送り、励起用レーザ光源の出力パワーを変化させることにより、光パルス列P1(連続光P3)の最大パワーを変化させる。また、制御部16は、光ファイバ11の温度制御を行うための制御信号Sを、光ファイバ11に接して設けられた温調素子9へ送ることにより、光ファイバ11の分散特性を変化させる。 Control unit 16, in addition to the control signal S 4 and S 5 mentioned above, in the same manner as the control unit 14 of the third modification, for controlling the output power of the excitation laser light source of the pulse light source 2 (continuous light source 20) sends the control signals S 1 to the pulse light source 2 (continuous light source 20), by changing the output power of the excitation laser light source, to change the maximum power of the optical pulse train P1 (continuous light P3). In addition, the control unit 16 changes the dispersion characteristic of the optical fiber 11 by sending a control signal S 2 for controlling the temperature of the optical fiber 11 to the temperature control element 9 provided in contact with the optical fiber 11. .

(第5の変形例)
図11は、上記実施形態の第5変形例に係る光源装置1gの構成を示すブロック図である。図11を参照すると、本変形例の光源装置1gは、パルス光源2と、パルス可変部7と、光ファイバ11と、制御部17と、検出器18と、分波器19とを備える。このうち、パルス光源2、パルス可変部7、及び光ファイバ11の構成については、上記実施形態と同様である。
(Fifth modification)
FIG. 11 is a block diagram illustrating a configuration of a light source device 1g according to a fifth modification of the embodiment. Referring to FIG. 11, the light source device 1 g of the present modification includes a pulse light source 2, a pulse variable unit 7, an optical fiber 11, a control unit 17, a detector 18, and a duplexer 19. Among these, the configurations of the pulse light source 2, the pulse variable unit 7, and the optical fiber 11 are the same as those in the above embodiment.

検出器18は、SC光P2のスペクトル形状を検出するための検出手段である。検出器18は、光ファイバ11の出射端と分波器19を介して光結合されており、SC光P2の一部を取り込む。検出器18は、波長可変フィルタ18aと、光検出素子18bと、信号処理部18cとを有する。検出器18に取り込まれた一部のSC光P2は、波長可変フィルタ18aを通過した後、光検出素子18bにおいて光電変換され、周期的な電気信号となる。そして、この電気信号に基づいて、信号処理部18cにおいてスペクトル形状(各周波数毎のスペクトル強度)が検出される。この検出結果は、制御部17へ送られる。   The detector 18 is a detection means for detecting the spectral shape of the SC light P2. The detector 18 is optically coupled to the emission end of the optical fiber 11 via the duplexer 19 and takes in part of the SC light P2. The detector 18 includes a wavelength tunable filter 18a, a light detection element 18b, and a signal processing unit 18c. A part of the SC light P2 taken in by the detector 18 passes through the wavelength tunable filter 18a, and then is photoelectrically converted by the photodetector 18b to become a periodic electrical signal. Based on this electrical signal, the signal processing unit 18c detects the spectrum shape (spectrum intensity for each frequency). The detection result is sent to the control unit 17.

制御部17は、検出器18によって検出されたSC光P2のスペクトル形状に基づいて、パルス光源2の励起用レーザ光源の出力パワーを変化させるための制御信号S、光ファイバ11の温度制御を行うための制御信号S、及びパルス可変部7を制御するための制御信号Sを生成し、それぞれパルス光源2、温調素子9、及びパルス可変部7へ送る。このように、検出器18によってSC光P2のスペクトル形状を検出することにより、検出結果を利用してスペクトル可変手段(パルス可変部7、制御部17)をフィードバック制御することが可能となり、スペクトル形状の制御を高精度且つ安定して行うことができる。 The controller 17 controls the control signal S 1 for changing the output power of the excitation laser light source of the pulse light source 2 and the temperature control of the optical fiber 11 based on the spectrum shape of the SC light P 2 detected by the detector 18. A control signal S 2 to be performed and a control signal S 3 to control the pulse variable unit 7 are generated and sent to the pulse light source 2, the temperature adjustment element 9, and the pulse variable unit 7, respectively. Thus, by detecting the spectrum shape of the SC light P2 by the detector 18, it is possible to feedback control the spectrum variable means (pulse variable unit 7, control unit 17) using the detection result, and the spectrum shape. Can be controlled with high accuracy and stability.

以上に説明した本発明に係る光源装置は、上記実施形態及び各変形例に限らず、様々な変形や構成要素の付加が可能である。例えば、上記実施形態や各変形例において、本発明に係るスペクトル可変手段の様々な態様を説明したが、本発明に係る光源装置は、上記した各スペクトル可変手段のうち任意の複数の手段を組み合わせて構成されてもよい。   The light source device according to the present invention described above is not limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications and additions of components are possible. For example, in the above-described embodiments and modifications, various aspects of the spectrum varying unit according to the present invention have been described. However, the light source device according to the present invention combines a plurality of arbitrary units among the above-described spectrum varying units. May be configured.

図1(a)及び(b)は、本発明の実施形態に係る光源装置の構成をそれぞれ示す図である。FIGS. 1A and 1B are diagrams each showing a configuration of a light source device according to an embodiment of the present invention. 図2は、パルス光源の一例の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an example of a pulse light source. 図3は、パルス光源の他の一例の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of another example of the pulse light source. 図4は、パルス光源の他の一例の構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating the configuration of another example of the pulse light source. 図5(a)は、集光レンズの光軸と光ファイバの入射端の光軸とが一致し、且つ集光レンズの焦点位置と光ファイバの入射端位置とが一致している場合における、光ファイバへの入射波形の一例を示すグラフである。図5(b)は、集光レンズの光軸と光ファイバの入射端の光軸とがずれている場合、或いは集光レンズの焦点位置と光ファイバの入射端の位置とがずれている場合における、光ファイバへの入射波形の一例を示すグラフである。FIG. 5A shows a case where the optical axis of the condensing lens and the optical axis of the incident end of the optical fiber coincide, and the focal position of the condensing lens and the incident end position of the optical fiber coincide. It is a graph which shows an example of the incident waveform to an optical fiber. FIG. 5B shows the case where the optical axis of the condensing lens is shifted from the optical axis of the incident end of the optical fiber, or the focal position of the condensing lens is shifted from the position of the incident end of the optical fiber. It is a graph which shows an example of the incident waveform to the optical fiber in. 図6は、光ファイバから出射されたSC光のスペクトル形状の一例(SP1)と、帯域可変フィルタを通過したSC光のスペクトル形状の一例(SP2及びSP3)とを示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing an example (SP1) of the spectrum shape of the SC light emitted from the optical fiber and an example (SP2 and SP3) of the spectrum shape of the SC light that has passed through the band-variable filter. 図7(a)及び(b)は、赤外分光測定について説明するための図である。FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining infrared spectroscopic measurement. 図8(a)は、第1変形例に係る光源装置の構成を示す図である。図8(b)は、光パルス列に含まれる各パルスの時間幅を変化させた場合における、SC光のスペクトル形状の変化を示すグラフである。FIG. 8A is a diagram illustrating a configuration of a light source device according to a first modification. FIG. 8B is a graph showing changes in the spectrum shape of the SC light when the time width of each pulse included in the optical pulse train is changed. 図9は、第2変形例に係る光源装置の構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a light source device according to a second modification. 図10(a)は、第3変形例に係る光源装置の構成を示すブロック図である。図10(b)は、第4変形例に係る光源装置の構成を示すブロック図である。FIG. 10A is a block diagram illustrating a configuration of a light source device according to a third modification. FIG. 10B is a block diagram illustrating a configuration of the light source device according to the fourth modification. 図11は、第5変形例に係る光源装置の構成を示すブロック図である。FIG. 11 is a block diagram illustrating a configuration of a light source device according to a fifth modification.

符号の説明Explanation of symbols

1a〜1g…光源装置、2,2a〜2c…パルス光源、3…光軸調整部、4…帯域可変フィルタ、5…パルス圧縮・拡大器、6…光減衰器、7…パルス可変部、8…スペクトル可変部、9…温調素子、11…光ファイバ、12…コリメータレンズ、13…集光レンズ、14,16,17…制御部、15…光増幅器、15…周波数制御部、18…検出器、19…分波器、20…連続光源、21…半導体レーザ素子、22a…LN変調器、22b,24c,52…信号発生器、23…キャビティ、24a…反射ミラー、24b…ピエゾモータ、25…可飽和吸収ミラー、28…Er:Yb共添加ガラス板、31…第1の駆動部、32…第2の駆動部、P1…光パルス列、P2…SC光、P3…連続光。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a-1g ... Light source device, 2, 2a-2c ... Pulse light source, 3 ... Optical axis adjustment part, 4 ... Band variable filter, 5 ... Pulse compression / expansion device, 6 ... Optical attenuator, 7 ... Pulse variable part, 8 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Spectrum variable part, 9 ... Temperature control element, 11 ... Optical fiber, 12 ... Collimator lens, 13 ... Condensing lens, 14, 16, 17 ... Control part, 15 ... Optical amplifier, 15 ... Frequency control part, 18 ... Detection 19 ... demultiplexer, 20 ... continuous light source, 21 ... semiconductor laser element, 22a ... LN modulator, 22b, 24c, 52 ... signal generator, 23 ... cavity, 24a ... reflection mirror, 24b ... piezo motor, 25 ... Saturable absorption mirror, 28... Er: Yb co-doped glass plate, 31... First drive unit, 32... Second drive unit, P 1 .. optical pulse train, P 2.

Claims (17)

光パルス列を出射する種光源と、
前記種光源に光結合され、前記光パルス列を受けてスーパーコンティニューム光(SC光)を出射する光ファイバと、
を備え、
前記SC光のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段を有することを特徴とする、光源装置。
A seed light source that emits an optical pulse train;
An optical fiber optically coupled to the seed light source and receiving the optical pulse train and emitting supercontinuum light (SC light);
With
A light source device comprising spectrum varying means for varying the spectrum shape of the SC light.
前記スペクトル可変手段が、前記光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。   2. The light source device according to claim 1, wherein the spectrum changing unit changes a spectrum shape of the SC light by changing a maximum power of each pulse included in the optical pulse train. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源に含まれる励起用レーザ光源の出力パワーを変化させることにより、前記光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることを特徴とする、請求項2に記載の光源装置。   The said spectrum variable means changes the maximum power of each pulse contained in the said optical pulse train by changing the output power of the excitation laser light source contained in the said seed light source, The said power source is characterized by the above-mentioned. Light source device. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合された増幅率可変の光増幅器であることを特徴とする、請求項2に記載の光源装置。   3. The light source device according to claim 2, wherein the spectrum varying means is a variable gain optical amplifier optically coupled between the seed light source and the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合された減衰率可変の光減衰器であることを特徴とする、請求項2に記載の光源装置。   3. The light source device according to claim 2, wherein the spectrum varying means is a variable attenuation factor optical attenuator optically coupled between the seed light source and the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間の光軸のずれを利用して前記種光源と前記光ファイバとの光結合効率を変化させることにより、前記光パルス列に含まれる各パルスの最大パワーを変化させることを特徴とする、請求項2に記載の光源装置。   Each of the spectrum variable means includes each optical pulse train included in the optical pulse train by changing an optical coupling efficiency between the seed light source and the optical fiber by using a deviation of an optical axis between the seed light source and the optical fiber. The light source device according to claim 2, wherein the maximum power of the pulse is changed. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合されており、前記光ファイバに入射される前記光パルス列に含まれる各パルスの時間波形を変化させることにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。   The spectrum variable means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and changes the time waveform of each pulse included in the optical pulse train incident on the optical fiber to change the SC light. The light source device according to claim 1, wherein a spectrum shape is changed. 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合されており、前記光ファイバに入射される前記光パルス列の中心波長を変化させることにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。   The spectrum variable means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and changes the spectrum shape of the SC light by changing the center wavelength of the optical pulse train incident on the optical fiber. The light source device according to claim 1, wherein: 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合されており、前記光ファイバに入射される前記光パルス列のスペクトル形状を変化させることにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。   The spectrum changing means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and changes the spectrum shape of the SC light by changing the spectrum shape of the optical pulse train incident on the optical fiber. The light source device according to claim 1, wherein: 前記スペクトル可変手段が、前記種光源と前記光ファイバとの間に光結合されており、前記光ファイバに入射される前記光パルス列の偏波方向を変化させることにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1に記載の光源装置。   The spectrum varying means is optically coupled between the seed light source and the optical fiber, and changes the spectrum shape of the SC light by changing the polarization direction of the optical pulse train incident on the optical fiber. The light source device according to claim 1, wherein: 連続光を出射する種光源と、
前記種光源に光結合され、前記連続光を受けてスーパーコンティニューム光(SC光)を出射する光ファイバと、
を備え、
前記SC光のスペクトル形状を可変にするためのスペクトル可変手段を有することを特徴とする、光源装置。
A seed light source that emits continuous light;
An optical fiber optically coupled to the seed light source and receiving the continuous light and emitting supercontinuum light (SC light);
With
A light source device comprising spectrum varying means for varying the spectrum shape of the SC light.
前記光ファイバに入射される前記光パルス列または前記連続光の波長範囲に波長1550nmが含まれることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein a wavelength of 1550 nm is included in a wavelength range of the optical pulse train or the continuous light incident on the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記光ファイバの出射端に光結合された帯域可変フィルタであることを特徴とする、請求項1または11に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein the spectrum varying unit is a band variable filter optically coupled to an output end of the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記光ファイバの温度を制御することにより前記SC光のスペクトル形状を変化させることを特徴とする、請求項1または11に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1 or 11, wherein the spectrum changing unit changes a spectrum shape of the SC light by controlling a temperature of the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記光ファイバに接して設けられた温調素子を含むことを特徴とする、請求項14に記載の光源装置。   The light source device according to claim 14, wherein the spectrum varying unit includes a temperature control element provided in contact with the optical fiber. 前記スペクトル可変手段が、前記SC光を装置外部へ出射するための光導波路に形成された曲率可変の曲部であることを特徴とする、請求項1または11に記載の光源装置。   12. The light source device according to claim 1 or 11, wherein the spectrum varying means is a curved portion having a variable curvature formed in an optical waveguide for emitting the SC light to the outside of the device. 前記光ファイバの出射端に光結合され前記SC光のスペクトル形状を検出する検出手段を更に備えることを特徴とする、請求項1〜16のいずれか一項に記載の光源装置。   The light source device according to any one of claims 1 to 16, further comprising a detection unit that is optically coupled to an emission end of the optical fiber and detects a spectral shape of the SC light.
JP2006013021A 2006-01-20 2006-01-20 Light source device Expired - Fee Related JP4882386B2 (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006013021A JP4882386B2 (en) 2006-01-20 2006-01-20 Light source device
CN200780002590XA CN101371192B (en) 2006-01-20 2007-01-17 Light source apparatus
US11/883,364 US8054537B2 (en) 2006-01-20 2007-01-17 Light source apparatus
PCT/JP2007/050591 WO2007083660A1 (en) 2006-01-20 2007-01-17 Light source device
EP07706906A EP1925975A4 (en) 2006-01-20 2007-01-17 Light source device
US13/012,377 US7982943B2 (en) 2006-01-20 2011-01-24 Light source apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006013021A JP4882386B2 (en) 2006-01-20 2006-01-20 Light source device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007193232A true JP2007193232A (en) 2007-08-02
JP4882386B2 JP4882386B2 (en) 2012-02-22

Family

ID=38448958

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006013021A Expired - Fee Related JP4882386B2 (en) 2006-01-20 2006-01-20 Light source device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4882386B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008250050A (en) * 2007-03-30 2008-10-16 Konica Minolta Opto Inc Optical device unit
JP2009169041A (en) * 2008-01-16 2009-07-30 Univ Nagoya Supercontinium light source

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04307982A (en) * 1991-04-05 1992-10-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Solid pulse laser
JPH09230393A (en) * 1996-02-21 1997-09-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> All light rays discriminating and reproducing circuit
WO2002071142A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-12 Nagoya Industrial Science Research Institute Wideband light spectrum generator and pulse light generator
JP2003167281A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Phase locked loop circuit for optical clock
US6717963B1 (en) * 2000-07-14 2004-04-06 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Raman fiber amplifier using a wide bandwidth continuous wave pump
JP2004527001A (en) * 2001-04-11 2004-09-02 ユニバーシティ、オブ、サウサンプトン Optical pulse light source and method for generating optical pulses
JP2004280118A (en) * 2003-03-18 2004-10-07 Furukawa Electric North America Inc Wideband raman pump source of swept wavelength
JP2005010212A (en) * 2003-06-16 2005-01-13 Sumitomo Electric Ind Ltd Raman amplifier and optical transmission system
US6856737B1 (en) * 2003-08-27 2005-02-15 Mesophotonics Limited Nonlinear optical device
JP2006293215A (en) * 2005-04-14 2006-10-26 Furukawa Electric Co Ltd:The Light waveform shaping unit and optical signal generating unit using the same
JP2007147663A (en) * 2004-07-06 2007-06-14 Tohoku Techno Arch Co Ltd Pulse laser beam generating apparatus
JP2007171394A (en) * 2005-12-20 2007-07-05 Sumitomo Electric Ind Ltd Wide-band light source

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04307982A (en) * 1991-04-05 1992-10-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Solid pulse laser
JPH09230393A (en) * 1996-02-21 1997-09-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> All light rays discriminating and reproducing circuit
US6717963B1 (en) * 2000-07-14 2004-04-06 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Raman fiber amplifier using a wide bandwidth continuous wave pump
WO2002071142A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-12 Nagoya Industrial Science Research Institute Wideband light spectrum generator and pulse light generator
JP2004527001A (en) * 2001-04-11 2004-09-02 ユニバーシティ、オブ、サウサンプトン Optical pulse light source and method for generating optical pulses
JP2003167281A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Phase locked loop circuit for optical clock
JP2004280118A (en) * 2003-03-18 2004-10-07 Furukawa Electric North America Inc Wideband raman pump source of swept wavelength
JP2005010212A (en) * 2003-06-16 2005-01-13 Sumitomo Electric Ind Ltd Raman amplifier and optical transmission system
US6856737B1 (en) * 2003-08-27 2005-02-15 Mesophotonics Limited Nonlinear optical device
JP2007147663A (en) * 2004-07-06 2007-06-14 Tohoku Techno Arch Co Ltd Pulse laser beam generating apparatus
JP2006293215A (en) * 2005-04-14 2006-10-26 Furukawa Electric Co Ltd:The Light waveform shaping unit and optical signal generating unit using the same
JP2007171394A (en) * 2005-12-20 2007-07-05 Sumitomo Electric Ind Ltd Wide-band light source

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008250050A (en) * 2007-03-30 2008-10-16 Konica Minolta Opto Inc Optical device unit
JP2009169041A (en) * 2008-01-16 2009-07-30 Univ Nagoya Supercontinium light source

Also Published As

Publication number Publication date
JP4882386B2 (en) 2012-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8054537B2 (en) Light source apparatus
US8120778B2 (en) Optical scanning and imaging systems based on dual pulsed laser systems
US7224518B2 (en) Fiber-optic amplification of light pulses
JP6431901B2 (en) Broadband supercontinuum light emitting device and use thereof
JP2009218488A (en) Device, method and program for stabilizing laser frequency
WO2005073795A1 (en) Electromagnetic wave generating device
US20070064749A1 (en) Deep ultraviolet laser apparatus
JP5255838B2 (en) Fiber amplifier based light source for semiconductor inspection
JP2007256365A (en) Optical frequency comb generation device
JP2019522377A (en) System for generating short or ultrashort light pulses
WO2009157235A1 (en) Multiphoton excitation measuring device
US20120147457A1 (en) Pulse-width converting apparatus and optical amplifying system
JP2007171394A (en) Wide-band light source
US8494016B2 (en) Mode locked laser system
US9256114B2 (en) Supercontinuum generation system
CN111725691A (en) Thulium-doped optical fiber optical frequency comb system based on nonlinear polarization rotation mode locking
JP2007193230A (en) Light source device
KR101394720B1 (en) Method and apparatus to generate high power femtosecond light pulses by combining nonlinear polarization rotation and saturable absortion
KR100809271B1 (en) Wavelength converted laser apparatus
JP4882386B2 (en) Light source device
JP2010139604A (en) Electromagnetic wave generation/transmission apparatus
JP2011002580A (en) Light source and method for stabilizing optical frequency comb
JP2006171624A (en) Terahertz wave generation system
JP2007193231A (en) Light source device
JP5818084B2 (en) Terahertz wave generation detection device and femtosecond laser generation device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080918

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110719

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111021

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111108

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111121

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4882386

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees